JP6260486B2 - Inspection device and inspection program - Google Patents

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Description

本発明は、検査対象物の化学的、医学的、又は生物学的な検査を行うための検査装置、及び、検査プログラムに関する。   The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection program for performing a chemical, medical, or biological inspection of an inspection object.

従来、生体物質、又は化学物質等の検体を検査するための検査装置が知られている。例えば特許文献1に開示の検体液分析装置は、基台、マイクロチップ、遠心力付与装置、光学式測定装置、及び、温度調整装置を備えている。温度調整装置は、基台内部の温度を上昇させるために、暖めた空気を基台内部に送り込む。遠心力付与装置は、マイクロチップの厚み方向と平行に延びる回転軸を支点としてマイクロチップを回転させ、マイクロチップに遠心力を付与させる。マイクロチップ内の全血は、血球成分と血漿成分とに遠心分離され、更に、血漿成分と試薬とが混合される。光学式測定装置は、試薬が混合された血漿成分にレーザ光を照射し、透過光を測定結果として検出する。測定結果は、血漿成分を分析するために使用される。   Conventionally, an inspection apparatus for inspecting a specimen such as a biological substance or a chemical substance is known. For example, the sample liquid analyzer disclosed in Patent Document 1 includes a base, a microchip, a centrifugal force applying device, an optical measuring device, and a temperature adjusting device. The temperature adjusting device sends warm air into the base to increase the temperature inside the base. The centrifugal force applying device rotates the microchip with a rotation axis extending in parallel with the thickness direction of the microchip as a fulcrum, and applies a centrifugal force to the microchip. Whole blood in the microchip is centrifuged into a blood cell component and a plasma component, and the plasma component and the reagent are further mixed. The optical measurement device irradiates a plasma component mixed with a reagent with laser light and detects transmitted light as a measurement result. The measurement results are used to analyze plasma components.

マイクロチップの厚み方向と直交する回転軸を支点とした回転によりマイクロチップに遠心力が付与される検査装置が知られている(例えば、特許文献2参照)。この検査装置の場合、回転によってマイクロチップが移動する基台内部の領域は、特許文献1に記載された検体液分析装置と比べて、回転軸方向に大きくなる場合がある。   An inspection device is known in which centrifugal force is applied to a microchip by rotation about a rotation axis orthogonal to the thickness direction of the microchip (see, for example, Patent Document 2). In the case of this inspection apparatus, the area inside the base where the microchip moves by rotation may be larger in the direction of the rotation axis than the sample liquid analyzer described in Patent Document 1.

特開2009−58409号公報JP 2009-58409 A 特開2014−81247号公報JP 2014-81247 A

マイクロチップの厚み方向と直交する回転軸を支点とした回転によりマイクロチップに遠心力が付与される検査装置において、特許文献1に記載された温度調整機構が使用されて基台内部の温度が管理される場合を例に挙げる。この場合、基台内部の領域は回転軸方向に相対的に大きいので、温度調整機構によって暖められた空気が基台内に送り込まれたときに、回転軸方向に温度分布が生じる場合がある。このため、基台内部のマイクロチップの回転軸方向の温度を均一にできない場合があるという問題点がある。   In an inspection apparatus in which a centrifugal force is applied to a microchip by rotation about a rotation axis orthogonal to the thickness direction of the microchip, the temperature inside the base is managed using the temperature adjustment mechanism described in Patent Document 1. Take the case where it is done as an example. In this case, since the area inside the base is relatively large in the direction of the rotation axis, when air heated by the temperature adjustment mechanism is sent into the base, a temperature distribution may occur in the direction of the rotation axis. For this reason, there exists a problem that the temperature of the rotation axis direction of the microchip inside a base may not be made uniform.

本発明の目的は、検査チップの回転軸方向の温度を均一にすることが可能な検査装置、及び、検査プログラムを提供することである。   The objective of this invention is providing the test | inspection apparatus and test | inspection program which can make uniform the temperature of the rotating shaft direction of a test | inspection chip.

本発明の第1態様に係る検査装置は、検査チップを保持するホルダと、主軸を中心として前記ホルダを回転させ、且つ、前記主軸と交差する方向に延びる揺動軸を中心として前記ホルダを回転させることにより、前記主軸の回転による遠心力の前記ホルダに対する方向を変化させる遠心機構と、前記遠心機構によって前記主軸を中心として回転する前記ホルダの回転範囲を少なくとも含む所定領域内に配置された温度調整機構と、前記所定領域内に配置された温度センサと、検査開始の指示を受け付ける受付手段と、前記温度センサによって検出された温度が、目標温度に対して許容される第1範囲内か否かを判断する第1判断手段と、前記受付手段が前記検査開始の指示を受け付け、且つ、前記第1判断手段が前記第1範囲内と判断する前に、前記温度センサが検出した温度が、前記目標温度を含む範囲であって、前記第1範囲よりも広い第2範囲内か否かを判断する第2判断手段と、前記第2判断手段によって前記第2範囲外であると判断された場合に、前記温度調整機構を発熱又は冷却させ、前記主軸を第1回転数で回転させる制御手段とを備えたことを特徴とする。 An inspection apparatus according to a first aspect of the present invention rotates a holder that holds an inspection chip, a holder that rotates about the main axis, and a swing axis that extends in a direction intersecting the main axis. And a temperature that is arranged in a predetermined region including at least a rotation mechanism of the holder that rotates around the main shaft by the centrifugal mechanism, and a centrifugal mechanism that changes a direction of the centrifugal force with respect to the holder by rotation of the main shaft. An adjustment mechanism, a temperature sensor arranged in the predetermined area, an accepting means for accepting an instruction to start an inspection, and whether or not the temperature detected by the temperature sensor is within a first range allowed for a target temperature A first determination unit that determines whether or not the reception unit receives an instruction to start the inspection, and before the first determination unit determines that it is within the first range. Wherein the temperature of said temperature sensor detects that, in a range including the target temperature, a second determination means for determining whether or not the wider second range than the first range, by the second determination means And a control unit that heats or cools the temperature adjusting mechanism and rotates the main shaft at a first rotational speed when it is determined that the temperature is out of the second range.

第1態様に係る検査装置は、検査開始の指示を受け付けた後、所定領域内の温度が第1範囲内となる前に、温度調整機構を発熱又は冷却させ、且つ、主軸を回転させる。温度調整機構が発熱又は冷却することに応じて、所定領域内の温度は変化する。主軸が回転することに応じて、所定領域内の空気は撹拌され、所定領域内の温度分布は抑制される。従って、検査装置は、検査チップの主軸方向の温度を短時間で均一にできる。   The inspection apparatus according to the first aspect causes the temperature adjustment mechanism to generate heat or cool and rotate the spindle before the temperature in the predetermined region falls within the first range after receiving an instruction to start the inspection. The temperature in the predetermined region changes according to the temperature adjustment mechanism generating heat or cooling. As the main shaft rotates, the air in the predetermined region is agitated and the temperature distribution in the predetermined region is suppressed. Therefore, the inspection apparatus can make the temperature in the main axis direction of the inspection chip uniform in a short time.

、検査装置は、所定領域内の温度を第2範囲内とするまでに要する時間を、所定領域内の温度を第1範囲内とするまでに要する時間以下にできる。 In addition , the inspection apparatus can reduce the time required for the temperature in the predetermined area to be within the second range to be equal to or less than the time required for the temperature in the predetermined area to be within the first range.

第1態様において、前記制御手段は、前記第2判断手段によって、前記第2範囲外であると判断された場合、相対的に発熱量が大きいパラメータに基づいて、前記温度調整機構を発熱させ、前記第2判断手段によって、前記第2範囲内であると判断された場合、相対的に発熱量が小さいパラメータに基づいて、前記温度調整機構を発熱させてもよい。この場合、検査装置は、所定領域内の温度が第2範囲外である場合に、発熱量を相対的に大きくすることによって、所定領域内の温度を短時間で第2範囲内とすることができる。   In the first aspect, when the control unit determines that the second determination unit is out of the second range, the control unit causes the temperature adjustment mechanism to generate heat based on a parameter having a relatively large heat generation amount. When the second determination means determines that the temperature is within the second range, the temperature adjustment mechanism may generate heat based on a parameter having a relatively small heat generation amount. In this case, when the temperature in the predetermined area is outside the second range, the inspection apparatus can bring the temperature in the predetermined area within the second range in a short time by relatively increasing the amount of heat generation. it can.

第1態様において、前記制御手段は、前記温度センサによって検出された前記温度と前記目標温度との差に基づく前記第1回転数で前記主軸を回転させる制御、及び、前記差に基づいて前記パラメータを変化させ、前記主軸を回転させる制御の少なくとも一方を実行してもよい。検査装置は、検出された温度と目標温度との差に基づく第1回転数で主軸を回転させることによって、検出された温度と目標温度との差が大きい場合でも、所定領域内の温度を効率的に第2範囲内とすることができる。又、検査装置は、検出された温度と目標温度との差に基づいてパラメータを変化させることによって、所定領域内の温度を効率的に第2範囲内とすることができる。   In the first aspect, the control means controls the spindle to rotate at the first rotational speed based on the difference between the temperature detected by the temperature sensor and the target temperature, and the parameter based on the difference It is also possible to execute at least one of the controls for rotating the main shaft by changing. The inspection device rotates the spindle at the first rotational speed based on the difference between the detected temperature and the target temperature, thereby efficiently converting the temperature in the predetermined region even when the difference between the detected temperature and the target temperature is large. Therefore, it can be within the second range. In addition, the inspection apparatus can efficiently set the temperature in the predetermined region within the second range by changing the parameter based on the difference between the detected temperature and the target temperature.

第1態様において、前記制御手段は、前記差の絶対値に比例した前記第1回転数で前記主軸を回転させる制御、及び、前記差が大きい程、前記発熱量が相対的に大きい前記パラメータに変化させ、前記主軸を回転させる制御の少なくとも一方を実行してもよい。この場合、差が大きい程、第1回転数は大きくなる。第1回転数が大きくなる程、所定領域内の空気は良好に撹拌される。又、検査装置は、差が大きい程、発熱量を大きくできる。従って、検査装置は、所定領域内の温度を第2範囲内とするまでの時間を、差の大小に関わらず一定にできる。   In the first aspect, the control means controls the rotation of the main shaft at the first rotational speed proportional to the absolute value of the difference, and sets the parameter that the heat generation amount is relatively larger as the difference is larger. You may perform at least one of the control which changes and rotates the said main axis | shaft. In this case, the greater the difference, the greater the first rotational speed. As the first rotational speed increases, the air in the predetermined region is better agitated. In addition, the inspection device can increase the amount of heat generated as the difference increases. Therefore, the inspection apparatus can make the time until the temperature in the predetermined region falls within the second range constant regardless of the magnitude of the difference.

第1態様において、前記制御手段は、前記温度センサによって検出された前記温度が前記目標温度よりも高い場合、前記温度調整機構を発熱させず、前記主軸を回転させてもよい。この場合、温度調整機構を発熱させずに主軸のみを回転させて所定領域内の空気を撹拌させることによって、所定領域内を冷却できる。   In the first aspect, when the temperature detected by the temperature sensor is higher than the target temperature, the control means may rotate the spindle without causing the temperature adjustment mechanism to generate heat. In this case, the inside of the predetermined region can be cooled by rotating only the main shaft and stirring the air in the predetermined region without causing the temperature adjusting mechanism to generate heat.

第1態様において、前記ホルダに前記検査チップが装着されているか否かを検出する検出手段を備え、前記制御手段は、前記検出手段による検出結果に基づく前記第1回転数で前記主軸を回転させてもよい。検査チップがホルダに装着されている状態とされていない状態とで、ホルダを回転させたときのホルダの安定性が異なる場合がある。これに対して、検査装置は、検査チップがホルダに装着されている状態とされていない状態とで、第1回転数を変更できる。従って、検査装置は、適切な回転数で検査チップ又はホルダを安定的に回転させ、所定領域内を適切に撹拌させることができる。   1st aspect WHEREIN: The detection means which detects whether the said test | inspection chip is mounted | worn with the said holder is provided, The said control means rotates the said spindle at the said 1st rotation speed based on the detection result by the said detection means. May be. The stability of the holder when the holder is rotated may be different depending on whether the inspection chip is attached to the holder or not. On the other hand, the inspection apparatus can change the first rotation speed depending on whether the inspection chip is attached to the holder or not. Therefore, the inspection apparatus can stably rotate the inspection chip or the holder at an appropriate number of rotations and appropriately agitate the predetermined area.

第1態様において、前記制御手段は、前記第1判断手段により前記第1範囲内でないと判断された場合、前記第1回転数よりも小さい第2回転数で前記主軸を回転させてもよい。この場合、検査チップ内の検体及び試薬が、遠心力によって移動することを抑制できる。 In a first aspect, the control means, wherein when it is determined not to be the first within range by the first determination means may rotate the main shaft at a second rotational speed lower than the first rotational speed. In this case, it is possible to suppress movement of the specimen and the reagent in the test chip due to centrifugal force.

第1態様において、前記温度センサは、前記ホルダに装着された前記検査チップにおける測定部付近の高さと同じ高さに設けられてもよい。この場合、温度センサは、検査チップの測定部の温度を適切に検出できる。   1st aspect WHEREIN: The said temperature sensor may be provided in the same height as the height of the measurement part vicinity in the said test | inspection chip with which the said holder was mounted | worn. In this case, the temperature sensor can appropriately detect the temperature of the measurement part of the inspection chip.

第1態様において、前記第1判断手段により前記第1範囲内と判断された後、前記目標温度を下げて前記温度調整機構を発熱させる温度変更手段を備えてもよい。この場合、所定領域内の温度が、変更前の目標温度よりも大きくなることを適切に抑制できる。   In the first aspect, there may be provided a temperature changing means for lowering the target temperature and generating the temperature adjusting mechanism after the first determining means determines that the temperature is within the first range. In this case, it can suppress appropriately that the temperature in a predetermined area | region becomes larger than the target temperature before a change.

本発明の第2態様に係る検査プログラムは、検査チップを保持するホルダと、主軸を中心として前記ホルダを回転させ、且つ、前記主軸と交差する方向に延びる揺動軸を中心として前記ホルダを回転させることにより、前記主軸の回転による遠心力の前記ホルダに対する方向を変化させる遠心機構と、前記遠心機構によって前記主軸を中心として回転する前記ホルダの回転範囲を少なくとも含む所定領域内に配置された温度調整機構と、前記所定領域内に配置された温度センサとを備えた検査装置のコンピュータに、検査開始の指示を受け付ける受付ステップと、前記温度センサによって検出された温度が、目標温度に対して許容される第1範囲内か否かを判断する第1判断ステップと、前記受付ステップが前記検査開始の指示を受け付け、且つ、前記第1判断ステップが前記第1範囲内と判断する前に、前記温度センサが検出した温度が、前記目標温度を含む範囲であって、前記第1範囲よりも広い第2範囲内か否かを判断する第2判断ステップと、前記第2判断ステップによって前記第2範囲外であると判断された場合に、前記温度調整機構を発熱又は冷却させ、前記主軸を第1回転数で回転させる制御ステップとを実行させる。第2態様によれば、第1態様と同様の効果を奏することができる。

An inspection program according to a second aspect of the present invention rotates a holder that holds an inspection chip, a holder that rotates about the main axis, and a swing axis that extends in a direction intersecting the main axis. And a temperature that is arranged in a predetermined region including at least a rotation mechanism of the holder that rotates around the main shaft by the centrifugal mechanism, and a centrifugal mechanism that changes a direction of the centrifugal force with respect to the holder by rotation of the main shaft. An accepting step of accepting an instruction to start an inspection to a computer of an inspection apparatus including an adjustment mechanism and a temperature sensor arranged in the predetermined area, and a temperature detected by the temperature sensor is allowed for a target temperature . a first determining step of determining whether the first range being said accepting step accepts an instruction of said inspection start, One, prior to the first determination step determines that the first range, the temperature of the temperature sensor detects is a range including the target temperature, or within the first wide second range than A second determination step for determining whether or not and the second determination step determines that the temperature adjustment mechanism is out of the second range, the temperature adjustment mechanism generates heat or is cooled, and the spindle rotates at a first rotation speed. Control steps to be executed. According to the 2nd aspect, there can exist an effect similar to a 1st aspect.

検査システム3の構成を示す斜視図である。2 is a perspective view showing a configuration of an inspection system 3. FIG. 図1のII−II線矢視方向断面図、及び、検査チップ2の斜視図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1 and a perspective view of a test chip 2. 上部筐体11を外した状態の検査システム3の上部の拡大斜視図、及び、検査システム3の電気的構成を示すブロック図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view of the upper part of the inspection system 3 with the upper housing 11 removed, and a block diagram showing the electrical configuration of the inspection system 3. 第1実施形態における第1メイン処理のフローチャートである。It is a flowchart of the 1st main process in 1st Embodiment. 第2実施形態におけるパラメータテーブル931を示す図である。It is a figure which shows the parameter table 931 in 2nd Embodiment. 第2実施形態における第2メイン処理のフローチャートである。It is a flowchart of the 2nd main process in 2nd Embodiment.

<1.検査システム3の概略構造>
本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。図1〜図3を参照して、検査システム3の概略構造について説明する。本実施形態の検査システム3は、液体である検体及び試薬を収容可能な図2に示す検査チップ2と、検査チップ2を用いて検査を行う検査装置1とを含む。図2及び図3に示すように、検査チップ2は、検査装置1のホルダ61に支持される。検査装置1がホルダ61と検査チップ2とから離間した垂直軸線A1を中心としてホルダ61及び検査チップ2を回転させると、遠心力がホルダ61及び検査チップ2に作用する。検査装置1が水平軸線A2を中心にホルダ61及び検査チップ2を回転させると、ホルダ61及び検査チップ2に作用する遠心力の方向である遠心方向が検査チップ2に対して切り替えられる。
<1. Schematic structure of inspection system 3>
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments embodying the present invention will be described with reference to the drawings. The schematic structure of the inspection system 3 will be described with reference to FIGS. The inspection system 3 of the present embodiment includes the inspection chip 2 shown in FIG. 2 that can store a sample and a reagent that are liquids, and the inspection apparatus 1 that performs inspection using the inspection chip 2. As shown in FIGS. 2 and 3, the inspection chip 2 is supported by a holder 61 of the inspection apparatus 1. When the inspection apparatus 1 rotates the holder 61 and the inspection chip 2 around the vertical axis A <b> 1 separated from the holder 61 and the inspection chip 2, centrifugal force acts on the holder 61 and the inspection chip 2. When the inspection apparatus 1 rotates the holder 61 and the inspection chip 2 about the horizontal axis A2, the centrifugal direction, which is the direction of the centrifugal force acting on the holder 61 and the inspection chip 2, is switched with respect to the inspection chip 2.

<2.検査装置1の構造>
図1〜図3を参照して、検査装置1の構造について説明する。以下の説明では、図2の上方、下方、右方、左方、紙面手前側、及び、紙面奥側を、夫々、検査装置1の上方、下方、前方、後方、左方、及び、右方とする。本実施形態では、垂直軸線A1の方向は検査装置1の上下方向であり、水平軸線A2の方向は、ホルダ61及び検査チップ2が垂直軸線A1を中心として回転される際の速度の方向である。なお、図3の斜視図は、検査装置1の図1に示す上部筐体11及び一対の側部筐体13が取り除かれた状態を示す。図3の斜視図では、後述の測定部7は省略されている。
<2. Structure of the inspection apparatus 1>
The structure of the inspection apparatus 1 will be described with reference to FIGS. In the following description, the upper, lower, right, left, front side, and back side of FIG. 2 are respectively the upper, lower, front, rear, left, and right sides of the inspection apparatus 1. And In the present embodiment, the direction of the vertical axis A1 is the vertical direction of the inspection apparatus 1, and the direction of the horizontal axis A2 is the direction of the speed when the holder 61 and the inspection chip 2 are rotated about the vertical axis A1. . 3 shows a state in which the upper housing 11 and the pair of side housings 13 shown in FIG. 1 of the inspection apparatus 1 are removed. In the perspective view of FIG. 3, a measuring unit 7 described later is omitted.

図1に示すように、検査装置1は筐体10を備える。筐体10は箱状のフレーム構造を有する。筐体10は、上部筐体11、下部筐体12、及び、一対の側部筐体13を備える。一対の側部筐体13は、上下方向に長い長方形の板材である。一対の側部筐体13の夫々の面は左右方向を向く。一対の側部筐体13は左右方向に離隔する。下部筐体12は、一対の側部筐体13の夫々の下端、前端の下側、及び、後端の下側の間に架け渡された板材である。上部筐体11は、一対の側部筐体13の夫々の上端、前端の上側、及び、後端の上側の間に架け渡された板材である。上部筐体11には、前側部分と上側部分との間に亘って穴部11Aが形成されている。上部筐体11は、長方形の板材である蓋部材11Bの一端部を、回転可能に支持する。蓋部材11Bの一端部と対向する他端部が、回転によって上部筐体11に近接した場合、蓋部材11Bは穴部11Aを覆う。又、上部筐体11の上側部分の右側に、電源スイッチ及び複数の操作スイッチを含む操作部94が設けられる。   As shown in FIG. 1, the inspection apparatus 1 includes a housing 10. The housing 10 has a box-shaped frame structure. The housing 10 includes an upper housing 11, a lower housing 12, and a pair of side housings 13. A pair of side housing | casing 13 is a rectangular board | plate material long in an up-down direction. Each surface of the pair of side housings 13 faces in the left-right direction. The pair of side housings 13 are separated in the left-right direction. The lower housing 12 is a plate member spanned between the lower end of each of the pair of side housings 13, the lower side of the front end, and the lower side of the rear end. The upper housing 11 is a plate member spanned between the upper ends of the pair of side housings 13, the upper side of the front end, and the upper side of the rear end. A hole 11A is formed in the upper housing 11 between the front portion and the upper portion. The upper housing 11 rotatably supports one end of a lid member 11B that is a rectangular plate material. When the other end facing the one end of the lid member 11B approaches the upper housing 11 by rotation, the lid member 11B covers the hole 11A. An operation unit 94 including a power switch and a plurality of operation switches is provided on the right side of the upper portion of the upper housing 11.

図2及び図3に示すように、検査装置1は、ケース80、上板32、ターンテーブル33、ラバーヒータ65、角度変更機構34、ホルダ61、及び、図3に示す制御装置90を、図1に示す筐体10の内部に備える。上板32は、下部筐体12の前側の上端と後側の上端との間に架け渡された、長方形の板材である。ラバーヒータ65は、上板32の上側に設けられた円盤状のヒータである。ターンテーブル33は、上板32及びラバーヒータ65の上側に回転可能に設けられた円盤である。後述する検査チップ2は、ターンテーブル33の上方に配置されたホルダ61に支持される。   2 and 3, the inspection apparatus 1 includes a case 80, an upper plate 32, a turntable 33, a rubber heater 65, an angle changing mechanism 34, a holder 61, and a control device 90 shown in FIG. 1 is provided inside the housing 10 shown in FIG. The upper plate 32 is a rectangular plate material spanned between the front upper end and the rear upper end of the lower housing 12. The rubber heater 65 is a disk-shaped heater provided on the upper side of the upper plate 32. The turntable 33 is a disk provided rotatably on the upper plate 32 and the rubber heater 65. An inspection chip 2 to be described later is supported by a holder 61 disposed above the turntable 33.

図2に示すように、検査チップ2は、透明な合成樹脂の板材20を主体とする。板材20の一方側の面は、シート291により封止され、板材20の他方側の面は、シート292により封止されている。シート291、292は透明の合成樹脂の薄板である。板材20とシート291との間、及び、板材20とシート292との間には、検査チップ2に封入された液体が流動可能な図示外の液体流路が形成されている。シート291,292は、板材20の流路形成面を封止する。検査チップ2に注入された試薬及び検体は、液体流路を流動する過程で定量又は混合され、混合液が生成される。混合液は、液体流路のうち一部分に形成された測定部293に貯留される。検査チップ2は、厚み方向が前後方向、及び左右方向に延びる向きで、ホルダ61に保持される。   As shown in FIG. 2, the inspection chip 2 is mainly composed of a transparent synthetic resin plate 20. One surface of the plate material 20 is sealed with a sheet 291, and the other surface of the plate material 20 is sealed with a sheet 292. The sheets 291 and 292 are transparent synthetic resin thin plates. Between the plate member 20 and the sheet 291 and between the plate member 20 and the sheet 292, a liquid flow path (not shown) through which the liquid sealed in the inspection chip 2 can flow is formed. The sheets 291 and 292 seal the flow path forming surface of the plate material 20. The reagent and specimen injected into the test chip 2 are quantified or mixed in the process of flowing through the liquid flow path, and a mixed liquid is generated. The liquid mixture is stored in a measurement unit 293 formed in a part of the liquid channel. The inspection chip 2 is held by the holder 61 with the thickness direction extending in the front-rear direction and the left-right direction.

角度変更機構34は、ターンテーブル33に設けられた駆動機構である。この角度変更機構34は、水平軸線A2を中心にホルダ61を回転させることで検査チップ2を回転させる。ケース80は、上板32の上側に設けられ、ターンテーブル33、ラバーヒータ65、角度変更機構34、及び、ホルダ61を覆う。検査チップ2に対して光学測定を行う図3に示す測定部7は、上板32の上側、且つ、ケース80の外部に設けられている。制御装置90は、検査装置1の各種処理を制御するコントローラである。図3に示すように、制御装置90は、図1に示す左側の側部筐体13の右側、且つ、上板32の下側に配置される。上板32の下部には、垂直軸線A1を中心にターンテーブル33を回転させる駆動機構が、次のように設けられている。   The angle changing mechanism 34 is a drive mechanism provided on the turntable 33. The angle changing mechanism 34 rotates the inspection chip 2 by rotating the holder 61 around the horizontal axis A2. The case 80 is provided above the upper plate 32 and covers the turntable 33, the rubber heater 65, the angle changing mechanism 34, and the holder 61. 3 for performing optical measurement on the inspection chip 2 is provided on the upper side of the upper plate 32 and on the outside of the case 80. The control device 90 is a controller that controls various processes of the inspection device 1. As shown in FIG. 3, the control device 90 is disposed on the right side of the left side housing 13 shown in FIG. 1 and on the lower side of the upper plate 32. A drive mechanism for rotating the turntable 33 around the vertical axis A1 is provided below the upper plate 32 as follows.

図2に示すように、筐体10内の中央部の下方寄りに、ターンテーブル33を回転させるための駆動力を供給する主軸モータ35、及び、下部筐体12の内部から上方に延びる主軸57が設置されている。主軸モータ35はDCモータである。主軸モータ35の軸36は、上方に突出し、主軸57に連結している。主軸57は、上板32を貫通して、上板32の上側に突出している。主軸57の上端部は、ターンテーブル33の中央部に接続されている。主軸57は、上板32の直下に設けられた支持部材53、及び、支持部材53の下側に設けられた支持部材54により、回転自在に保持されている。支持部材54の内部に設けられたボールベアリング54Aの内輪は、主軸57に接触し、主軸57の回転に応じて回転する。支持部材54は、ボールベアリング54Aの外輪を前端部で保持する。支持部材54の後端部は、後述のステッピングモータ51の右側に配置される。主軸モータ35が軸36を回転させると、駆動力が主軸57に伝達される。このとき、主軸57の回転に連動して、ターンテーブル33が主軸57を中心に回転する。   As shown in FIG. 2, a spindle motor 35 that supplies driving force for rotating the turntable 33, and a spindle 57 that extends upward from the inside of the lower casing 12, closer to the lower part of the central portion in the casing 10. Is installed. The main shaft motor 35 is a DC motor. The shaft 36 of the main shaft motor 35 protrudes upward and is connected to the main shaft 57. The main shaft 57 passes through the upper plate 32 and protrudes above the upper plate 32. The upper end portion of the main shaft 57 is connected to the center portion of the turntable 33. The main shaft 57 is rotatably supported by a support member 53 provided immediately below the upper plate 32 and a support member 54 provided below the support member 53. The inner ring of the ball bearing 54 </ b> A provided inside the support member 54 contacts the main shaft 57 and rotates according to the rotation of the main shaft 57. The support member 54 holds the outer ring of the ball bearing 54A at the front end. The rear end portion of the support member 54 is disposed on the right side of a stepping motor 51 described later. When the main shaft motor 35 rotates the shaft 36, the driving force is transmitted to the main shaft 57. At this time, the turntable 33 rotates around the main shaft 57 in conjunction with the rotation of the main shaft 57.

主軸57は、内部が中空の筒状体である。内軸40は、主軸57の内部において上下方向に移動可能な軸である。図3に示すように、内軸40は、上方から見て四角形である。内軸40の上端部は、主軸57内を貫通してターンテーブル33の上方に延び、後述する一対のラックギア43に接続されている。   The main shaft 57 is a cylindrical body having a hollow inside. The inner shaft 40 is a shaft that can move in the vertical direction inside the main shaft 57. As shown in FIG. 3, the inner shaft 40 has a quadrangular shape when viewed from above. The upper end portion of the inner shaft 40 extends through the main shaft 57 and above the turntable 33 and is connected to a pair of rack gears 43 described later.

図2に示すように、主軸57には、上下方向に延びるスリット57Aが設けられる。ボールベアリング54Aの内輪に、スリット57Aを介して主軸57の外側から内側に延びる図示外の連結部が設けられる。連結部の内側の端部は、内軸40に接続する。   As shown in FIG. 2, the main shaft 57 is provided with a slit 57A extending in the vertical direction. A coupling portion (not shown) extending from the outside of the main shaft 57 to the inside through the slit 57A is provided on the inner ring of the ball bearing 54A. The inner end of the connecting portion is connected to the inner shaft 40.

筐体10の中央部の後方寄りには、内軸40を上下動させるためのステッピングモータ51が固定されている。ステッピングモータ51の軸58は右方に向けて突出している。軸58の先端には、図示外のピニオンギアが固定されている。ピニオンギアは、支持部材54に固定された図示外のラックギアに噛み合っている。ステッピングモータ51が軸58を回転させると、ピニオンギアの回転に連動して、支持部材54及びボールベアリング54Aが上下動する。このとき、ボールベアリング54Aに設けられた連結部は、スリット57Aに沿って上下動する。内軸40は、連結部に連動して上下動する。   A stepping motor 51 for moving the inner shaft 40 up and down is fixed near the rear of the central portion of the housing 10. The shaft 58 of the stepping motor 51 protrudes rightward. A pinion gear (not shown) is fixed to the tip of the shaft 58. The pinion gear meshes with a rack gear (not shown) fixed to the support member 54. When the stepping motor 51 rotates the shaft 58, the support member 54 and the ball bearing 54A move up and down in conjunction with the rotation of the pinion gear. At this time, the connecting portion provided on the ball bearing 54A moves up and down along the slit 57A. The inner shaft 40 moves up and down in conjunction with the connecting portion.

角度変更機構34の詳細構造を説明する。角度変更機構34は、一対のラックギア43を備えている。一対のラックギア43は、金属製の板状部材である。図3に示すように、一対のラックギア43は、夫々、内軸40における互いに対向する面の上端に固定される。一方のラックギア43は、上側から見て内軸40から一方向側に延び、他方のラックギア43は、一方向側とは反対側に延びる。図2に示すように、一対のラックギア43における内軸40側とは反対側の端部には、ギア431が上下方向に形成されている。ラックギア43は、内軸40の上下動に伴って上下動する。   The detailed structure of the angle changing mechanism 34 will be described. The angle changing mechanism 34 includes a pair of rack gears 43. The pair of rack gears 43 are metal plate-like members. As shown in FIG. 3, the pair of rack gears 43 are fixed to the upper ends of the mutually facing surfaces of the inner shaft 40. One rack gear 43 extends from the inner shaft 40 in one direction when viewed from above, and the other rack gear 43 extends in the opposite direction to the one direction side. As shown in FIG. 2, a gear 431 is formed in the vertical direction at the end of the pair of rack gears 43 opposite to the inner shaft 40 side. The rack gear 43 moves up and down as the inner shaft 40 moves up and down.

図3に示すように、上側から見て各ラックギア43の反時計回り方向側には、夫々、支持部47が設けられている。支持部47は、ホルダ61を回転可能に支持する。より詳細には、図2及び図3に示すように、支持部47は、2つの円柱部471、延伸部472、及び支軸473を備えている。2つの円柱部471は、ラックギア43に沿って並べて配置され、上下方向に延びる。延伸部472は、円柱部471の上端から、ラックギア43に沿って内軸40から離れる方向に延び、その先端が支軸473を固定する。支軸473は、上側から見て時計回り方向側に延び、その先端が、ホルダ61に形成されたギア部76の内側に配置されている。ギア部76は、ラックギア43のギア431と噛み合っている。ラックギア43の上下動に伴ってギア部76が支軸473を中心に回転することで、ホルダ61が回転する。故に、ホルダ61に保持された検査チップ2が支軸473を中心に回転する。   As shown in FIG. 3, support portions 47 are provided on the counterclockwise direction sides of the rack gears 43 as viewed from above. The support part 47 supports the holder 61 rotatably. More specifically, as shown in FIGS. 2 and 3, the support portion 47 includes two cylindrical portions 471, an extending portion 472, and a support shaft 473. The two cylindrical portions 471 are arranged side by side along the rack gear 43 and extend in the vertical direction. The extending portion 472 extends from the upper end of the cylindrical portion 471 in a direction away from the inner shaft 40 along the rack gear 43, and the distal end fixes the support shaft 473. The support shaft 473 extends in the clockwise direction when viewed from above, and the tip thereof is disposed inside the gear portion 76 formed in the holder 61. The gear portion 76 meshes with the gear 431 of the rack gear 43. As the rack gear 43 moves up and down, the gear portion 76 rotates around the support shaft 473, whereby the holder 61 rotates. Therefore, the inspection chip 2 held by the holder 61 rotates around the support shaft 473.

本実施形態では、主軸モータ35がターンテーブル33を回転駆動するのに伴って、ホルダ61及び検査チップ2が垂直軸である内軸40を中心に回転して、ホルダ61及び検査チップ2に遠心力が作用する。ホルダ61及び検査チップ2の垂直軸線A1を中心とした回転を、公転と呼ぶ。一方、ステッピングモータ51が内軸40を上下動させるのに伴って、ホルダ61及び検査チップ2が水平軸である支軸473を中心に回転して、ホルダ61及び検査チップ2に作用する遠心力の遠心方向が相対変化する。ホルダ61及び検査チップ2の水平軸線A2を中心とした回転を、自転と呼ぶ。   In the present embodiment, as the spindle motor 35 rotates the turntable 33, the holder 61 and the inspection chip 2 rotate around the inner shaft 40 which is a vertical axis, and the holder 61 and the inspection chip 2 are centrifuged. Force acts. The rotation around the vertical axis A1 of the holder 61 and the inspection chip 2 is referred to as revolution. On the other hand, as the stepping motor 51 moves the inner shaft 40 up and down, the holder 61 and the inspection chip 2 rotate around the support shaft 473 that is a horizontal axis, and the centrifugal force acting on the holder 61 and the inspection chip 2. The centrifugal direction of the relative change. The rotation around the horizontal axis A2 of the holder 61 and the inspection chip 2 is referred to as rotation.

図2に示す支持部材54が可動範囲の最上端まで上昇した状態では、ラックギア43も可動範囲の最上端まで上昇する。このとき、ホルダ61及び検査チップ2は、自転角度が0度の定常状態になる。また、図2に示す支持部材54が可動範囲の最下端まで下降した状態では、ラックギア43も可動範囲の最下端まで下降する。このとき、ホルダ61及び検査チップ2は、定常状態から水平軸線A2を中心に反時計回りに90度回転した状態になる。つまり、本実施形態ではホルダ61及び検査チップ2が自転可能な角度幅は、自転角度0度〜90度である。   When the support member 54 shown in FIG. 2 is raised to the uppermost end of the movable range, the rack gear 43 is also raised to the uppermost end of the movable range. At this time, the holder 61 and the inspection chip 2 are in a steady state where the rotation angle is 0 degree. In the state where the support member 54 shown in FIG. 2 is lowered to the lowermost end of the movable range, the rack gear 43 is also lowered to the lowermost end of the movable range. At this time, the holder 61 and the inspection chip 2 are rotated from the steady state by 90 degrees counterclockwise about the horizontal axis A2. That is, in this embodiment, the angular width in which the holder 61 and the inspection chip 2 can rotate is the rotation angle of 0 degree to 90 degrees.

ケース80の詳細構造を説明する。図3に示すように、ケース80は、上側が閉塞した円筒部材である。ケース80は、側面部80A及び上面部80Bを有する。側面部80Aの前方上側から上面部80Bの前方に亘って穴部80Cが形成されている。ケース80は、上板32の上側に設置されている。より詳細には、ケース80は、ターンテーブル33の回転中心にある主軸57からみて、ホルダ61及び検査チップ2が回転される回転範囲の外側に設けられている。ケース80は、回転範囲を上側から覆う。以下、ケース80内の領域を「所定領域81」という。   The detailed structure of the case 80 will be described. As shown in FIG. 3, the case 80 is a cylindrical member whose upper side is closed. The case 80 has a side surface portion 80A and an upper surface portion 80B. A hole 80C is formed from the front upper side of the side surface 80A to the front of the upper surface 80B. The case 80 is installed on the upper side of the upper plate 32. More specifically, the case 80 is provided outside the rotation range in which the holder 61 and the inspection chip 2 are rotated as seen from the main shaft 57 at the rotation center of the turntable 33. Case 80 covers the rotation range from above. Hereinafter, the area in the case 80 is referred to as a “predetermined area 81”.

ケース80の側面部80Aの右斜め後側に、穴部80Dが形成される。ケース80の側面部80Aの左斜め後側に、穴部80Eが形成される。検査チップ2に対して光学測定を行う測定部7は、測定光を発光する光源71と、光源71から発せられた測定光を検出する光センサ72とを有する。光源71は、穴部80Dの右側に配置されている。光センサ72は、穴部80Eの左側に配置されている。   A hole 80 </ b> D is formed on the diagonally right rear side of the side surface 80 </ b> A of the case 80. A hole 80E is formed on the diagonally left rear side of the side surface 80A of the case 80. The measurement unit 7 that performs optical measurement on the inspection chip 2 includes a light source 71 that emits measurement light, and an optical sensor 72 that detects the measurement light emitted from the light source 71. The light source 71 is disposed on the right side of the hole 80D. The optical sensor 72 is disposed on the left side of the hole 80E.

本実施形態では、検査チップ2の公転可能範囲のうちで主軸57の後側位置が、検査チップ2に測定光が照射される測定位置である。検査チップ2が測定位置にある場合、光源71と光センサ72とを結ぶ測定光70が、検査チップ2の図2に示すシート291、292に対して略垂直に交差する。ホルダ61には、図2に示す検査チップ2が装着された状態で測定部293に近接する位置に、穴部61Aが形成されている。光源71からから射出した測定光70は、測定位置にある検査チップ2の測定部293を通過し、更に、ホルダ61の穴部61Aを通過して、光センサ72によって検出される。以上のようにして、測定部7による光学測定が行われる。   In the present embodiment, the position on the rear side of the main shaft 57 in the reciprocable range of the inspection chip 2 is a measurement position where the inspection chip 2 is irradiated with measurement light. When the inspection chip 2 is at the measurement position, the measurement light 70 connecting the light source 71 and the optical sensor 72 intersects the sheets 291 and 292 of the inspection chip 2 shown in FIG. A hole 61A is formed in the holder 61 at a position close to the measurement unit 293 in a state where the inspection chip 2 shown in FIG. The measurement light 70 emitted from the light source 71 passes through the measurement unit 293 of the inspection chip 2 at the measurement position, and further passes through the hole 61 </ b> A of the holder 61 and is detected by the optical sensor 72. As described above, optical measurement by the measurement unit 7 is performed.

図2及び図3に示すように、ケース80の側面部80Aの後方の下側は、後方に向けて箱状に突出する。以下、箱状に突出した部分を「突出部80F」という。突出部80Fの内面の上側に、温度センサ77が設けられる。温度センサ77は、前側に延びるサーミスタ77Aを有する。サーミスタ77Aの上下方向の位置は、ホルダ61の穴部61Aの上下方向の位置と等しい。即ち、サーミスタ77Aの高さは、ホルダ61に支持された検査チップ2の測定部293の高さと等しい。より詳細には、サーミスタ77Aの高さは、自転角度0度におけるホルダ61に支持された検査チップ2の測定部293の高さと等しい。   As shown in FIGS. 2 and 3, the lower rear side of the side surface portion 80 </ b> A of the case 80 protrudes in a box shape toward the rear. Hereinafter, the portion protruding in a box shape is referred to as a “projection 80F”. A temperature sensor 77 is provided above the inner surface of the protrusion 80F. The temperature sensor 77 has a thermistor 77A extending to the front side. The vertical position of the thermistor 77 </ b> A is equal to the vertical position of the hole 61 </ b> A of the holder 61. That is, the height of the thermistor 77 </ b> A is equal to the height of the measurement unit 293 of the inspection chip 2 supported by the holder 61. More specifically, the height of the thermistor 77A is equal to the height of the measuring portion 293 of the inspection chip 2 supported by the holder 61 at a rotation angle of 0 degree.

ラバーヒータ65の詳細構造を説明する。図3に示すように、ラバーヒータ65は、上板32のうちケース80の側面部80Aの下端と接触する部分の内側に設けられる。即ち、ラバーヒータ65は、所定領域81内の下端に設けられる。ラバーヒータ65は、2枚のラバーシートによって発熱線が挟まれた構造を有している。ラバーヒータ65は、電流が通流することによって発熱する。   The detailed structure of the rubber heater 65 will be described. As shown in FIG. 3, the rubber heater 65 is provided inside the portion of the upper plate 32 that contacts the lower end of the side surface portion 80 </ b> A of the case 80. That is, the rubber heater 65 is provided at the lower end in the predetermined area 81. The rubber heater 65 has a structure in which a heating wire is sandwiched between two rubber sheets. The rubber heater 65 generates heat when a current flows therethrough.

<3.制御装置90の電気的構成>
図3を参照して、制御装置90の電気的構成について説明する。制御装置90は、検査装置1の主制御を司るCPU91と、各種データを一時的に記憶するRAM92と、パラメータを記憶したフラッシュメモリ93と、制御プログラムを記憶したプログラムROM95とを有する。CPU91には、操作部94、ラバーヒータ65、及び、温度センサ77が接続されている。制御装置90としては、検査装置1に外部から接続されるパーソナルコンピュータを用いてもよいし、検査装置1に外部から接続される専用の制御装置を用いてもよい。
<3. Electrical configuration of control device 90>
The electrical configuration of the control device 90 will be described with reference to FIG. The control device 90 includes a CPU 91 that controls the main control of the inspection device 1, a RAM 92 that temporarily stores various data, a flash memory 93 that stores parameters, and a program ROM 95 that stores control programs. The CPU 91 is connected with an operation unit 94, a rubber heater 65, and a temperature sensor 77. As the control device 90, a personal computer connected to the inspection device 1 from the outside may be used, or a dedicated control device connected to the inspection device 1 from the outside may be used.

更に、CPU91には、公転コントローラ97、自転コントローラ98、及び、測定部7が接続されている。公転コントローラ97は、主軸モータ35を回転駆動させる制御信号を主軸モータ35に送信することによって、ホルダ61及び検査チップ2の公転を制御する。自転コントローラ98は、ステッピングモータ51を回転駆動させる制御信号をステッピングモータ51に送信することによって、ホルダ61及び検査チップ2の自転を制御する。測定部7は、検査チップ2の光学測定を実行する。詳細には、測定部7は、光源71の発光、及び、光センサ72の光検出を実行する。なお、CPU91が公転コントローラ97、自転コントローラ98及び測定部7を制御する。   Further, the revolution controller 97, the rotation controller 98, and the measurement unit 7 are connected to the CPU 91. The revolution controller 97 controls the revolution of the holder 61 and the inspection chip 2 by transmitting a control signal for rotating the spindle motor 35 to the spindle motor 35. The rotation controller 98 controls the rotation of the holder 61 and the inspection chip 2 by transmitting a control signal for rotating the stepping motor 51 to the stepping motor 51. The measurement unit 7 performs optical measurement of the inspection chip 2. Specifically, the measurement unit 7 performs light emission of the light source 71 and light detection of the optical sensor 72. The CPU 91 controls the revolution controller 97, the rotation controller 98, and the measuring unit 7.

<4−1.検査方法の第1実施形態(パラメータ)>
第1実施形態では、第1目標温度、第2目標温度、起動時ゲイン、定常時ゲイン、起動時温度範囲、定常時温度範囲、及び、主軸回転数が、フラッシュメモリ93にパラメータとして予め記憶されている。第1目標温度及び第2目標温度は、夫々、図3に示す所定領域81内の温度の目標値である。第2目標温度は、第1目標温度以下である。第1目標温度は、一例として34度である。第2目標温度は、一例として30度である。なお、第1目標温度は34度に限定されず、他の値でもよい。第2目標温度は30度に限定されず、他の値でもよい。
<4-1. First Embodiment of Inspection Method (Parameter)>
In the first embodiment, the first target temperature, the second target temperature, the startup gain, the steady gain, the startup temperature range, the steady temperature range, and the spindle speed are stored in advance in the flash memory 93 as parameters. ing. The first target temperature and the second target temperature are the target values of the temperature in the predetermined area 81 shown in FIG. The second target temperature is equal to or lower than the first target temperature. The first target temperature is 34 degrees as an example. The second target temperature is 30 degrees as an example. The first target temperature is not limited to 34 degrees and may be another value. The second target temperature is not limited to 30 degrees and may be another value.

起動時ゲインは、検査チップ2内の検体及び試薬の定量、混合、及び、混合液の光学測定を開始させるための入力操作が、後述するS11の処理によって検出される前までの間、フィードバック制御(P制御)に適用される比例ゲインである。なお、CPU91は、ラバーヒータ65に通流させる電流をPWM制御によって調整する。具体的には、CPU91は、ラバーヒータ65に通流させる電流のデューティー比を調整することによって電流を調整する。CPU91は、フィードバック制御に基づいてデューティー比を決定する。以下、先述の入力操作を「検査開始操作」という。定常時ゲインは、後述する図4に示すS11の処理によって検査開始操作が検出された後、フィードバック制御に適用される比例ゲインである。   The start-up gain is feedback controlled until the input operation for starting the quantification, mixing, and optical measurement of the liquid mixture in the test chip 2 is detected by the process of S11 described later. This is a proportional gain applied to (P control). Note that the CPU 91 adjusts the current passed through the rubber heater 65 by PWM control. Specifically, the CPU 91 adjusts the current by adjusting the duty ratio of the current passed through the rubber heater 65. The CPU 91 determines the duty ratio based on feedback control. Hereinafter, the above-described input operation is referred to as “inspection start operation”. The constant gain is a proportional gain applied to feedback control after an inspection start operation is detected by the process of S11 shown in FIG.

フィードバック制御に基づいてデューティー比が決定された場合の、単位時間当たりにラバーヒータ65に通流される電流は、起動時ゲインが適用された場合の方が、定常時ゲインが適用された場合よりも大きい。即ち、ラバーヒータ65の発熱量は、起動時ゲインが適用された場合の方が、定常時ゲインが適用された場合よりも大きい。従って、フィードバック制御によって所定領域81内の温度が第1目標温度又は第2目標温度に収束するまでに要する時間は、起動時ゲインが適用された場合の方が、定常時ゲインが適用された場合よりも短くなる。一方、フィードバック制御に基づいてデューティー比が決定された場合の、所定領域81内の温度と第1目標温度又は第2目標温度との誤差は、起動時ゲインが適用された場合の方が、定常時ゲインが適用された場合よりも大きくなる。即ち、定常時ゲインが適用された場合の方が、起動時ゲインが適用された場合よりも、所定領域81内の温度が第1目標温度又は第2目標温度に精度よく近づく。   When the duty ratio is determined based on feedback control, the current passed through the rubber heater 65 per unit time is greater when the startup gain is applied than when the steady-state gain is applied. large. That is, the amount of heat generated by the rubber heater 65 is greater when the startup gain is applied than when the steady-state gain is applied. Therefore, the time required for the temperature in the predetermined region 81 to converge to the first target temperature or the second target temperature by feedback control is greater when the startup gain is applied and when the steady-time gain is applied. Shorter than. On the other hand, the error between the temperature in the predetermined region 81 and the first target temperature or the second target temperature when the duty ratio is determined based on feedback control is more constant when the startup gain is applied. It becomes larger than the case where the constant gain is applied. That is, when the steady-state gain is applied, the temperature in the predetermined region 81 approaches the first target temperature or the second target temperature with higher accuracy than when the startup gain is applied.

起動時温度範囲は、後述するS11の処理によって検査開始操作が検出される前までの間で有効な、第2目標温度に対して許容される温度範囲である。起動時温度範囲は、一例として±3度である。定常時温度範囲は、後述するS11の処理によって検査開始操作が検出された後で有効な、第1目標温度に対して許容される温度範囲である。起動時温度範囲は、定常時温度範囲以上である。定常時温度範囲は、一例として±1度である。主軸回転数は、主軸57の単位時間当たりの回転数である。主軸回転数は、一例として300rpmである。なお、起動時温度範囲は±3度に限定されず、他の値でもよい。定常時温度範囲は±1度に限定されず、他の値でもよい。主軸回転数は、300rpmに限定されず、他の値でもよい。   The start-up temperature range is a temperature range that is valid for the second target temperature until the inspection start operation is detected by the process of S11 described later. The temperature range at start-up is ± 3 degrees as an example. The constant temperature range is a temperature range that is valid for the first target temperature that is effective after an inspection start operation is detected by the process of S11 described later. The startup temperature range is equal to or higher than the steady-state temperature range. The constant temperature range is ± 1 degree as an example. The spindle rotation speed is the rotation speed of the spindle 57 per unit time. The spindle rotation speed is 300 rpm as an example. The starting temperature range is not limited to ± 3 degrees, but may be other values. The constant temperature range is not limited to ± 1 degree, and may be other values. The number of rotations of the main shaft is not limited to 300 rpm and may be other values.

<4−2.検査方法の第1実施形態(処理の流れ)>
CPU91は、操作部94の電源スイッチがONされたことを検出した場合、プログラムROM95に記憶されている制御プログラムに基づいて、図4に示す第1メイン処理を開始する。第1メイン処理が開始されたときに、検査チップ2がホルダ61に装着されているか否かは不定である。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶された第1目標温度及び第2目標温度を読み込む(S1)。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶された起動時ゲインを読み込む(S2)。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶された起動時温度範囲を読み込む(S3)。
<4-2. First Embodiment of Inspection Method (Process Flow)>
When the CPU 91 detects that the power switch of the operation unit 94 is turned on, the CPU 91 starts the first main process shown in FIG. 4 based on the control program stored in the program ROM 95. Whether or not the inspection chip 2 is mounted on the holder 61 when the first main process is started is undefined. The CPU 91 reads the first target temperature and the second target temperature stored in the flash memory 93 (S1). The CPU 91 reads the startup gain stored in the flash memory 93 (S2). The CPU 91 reads the startup temperature range stored in the flash memory 93 (S3).

CPU91は、S1の処理によって読み込んだ第1目標温度、及び、S2の処理によって読み込んだ起動時ゲインを適用して、フィードバック制御を開始する。これによって、ラバーヒータ65の発熱が開始され、且つ、所定領域81内の温度調整が開始される(S4)。より詳細には次の通りである。CPU91は、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、S1の処理によって読み込んだ第1目標温度を、フィードバック制御において目標とする温度に設定する。CPU91は、取得した温度と第1目標温度との温度偏差に起動時ゲインを適用させ、ラバーヒータ65に通流させる電流のデューティー比をフィードバック制御に基づいて決定する。CPU91は、決定したデューティー比で電流をラバーヒータ65に通流させることによって、ラバーヒータ65を発熱させる。例えば、CPU91は、ラバーヒータ65を制御する半導体スイッチにデューティー比に従う電圧を印加する。この結果、ラバーヒータ65に通流される電流もデューティー比に従う。CPU91は、温度センサ77によって検出される温度を一定周期で取得し、処理を繰り返す。これによってCPU91は、ラバーヒータ65の発熱温度を調整し、所定領域81内の温度を第1目標温度に近づける。   The CPU 91 starts the feedback control by applying the first target temperature read by the process of S1 and the start-up gain read by the process of S2. Thereby, heat generation of the rubber heater 65 is started, and temperature adjustment in the predetermined area 81 is started (S4). More details are as follows. The CPU 91 acquires the temperature detected by the temperature sensor 77. CPU91 sets the 1st target temperature read by the process of S1 as the target temperature in feedback control. The CPU 91 applies a startup gain to the temperature deviation between the acquired temperature and the first target temperature, and determines the duty ratio of the current to be passed through the rubber heater 65 based on feedback control. The CPU 91 causes the rubber heater 65 to generate heat by causing a current to flow through the rubber heater 65 at the determined duty ratio. For example, the CPU 91 applies a voltage according to the duty ratio to the semiconductor switch that controls the rubber heater 65. As a result, the current passed through the rubber heater 65 also follows the duty ratio. CPU91 acquires the temperature detected by temperature sensor 77 with a fixed period, and repeats processing. Thus, the CPU 91 adjusts the heat generation temperature of the rubber heater 65 and brings the temperature in the predetermined area 81 close to the first target temperature.

CPU91は、温度センサ77から取得した温度が、第1目標温度に対して起動時温度範囲内か否か判断する(S5)。以下、「第1目標温度に対して起動時温度範囲内か否か判断する」ことを、単に、「起動時温度範囲内か否か判断する」という。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲内と判断した場合(S5:YES)、処理をS9に進める。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲外と判断した場合(S5:NO)、フラッシュメモリ93に記憶された主軸回転数を読み込む。CPU91は、読み込んだ主軸回転数を公転コントローラ97にセットし、主軸57の回転を開始させる(S6)。ターンテーブル33及びホルダ61は、主軸回転数に応じた回転を開始する。ホルダ61が回転される、すなわち主軸57が回転されることによって、ラバーヒータ65によって暖められた所定領域81内の空気は、攪拌される。   The CPU 91 determines whether or not the temperature acquired from the temperature sensor 77 is within the startup temperature range with respect to the first target temperature (S5). Hereinafter, “determining whether the temperature is within the startup temperature range with respect to the first target temperature” is simply referred to as “determining whether the temperature is within the startup temperature range”. If the CPU 91 determines that the acquired temperature is within the startup temperature range (S5: YES), the process proceeds to S9. When the CPU 91 determines that the acquired temperature is outside the startup temperature range (S5: NO), the CPU 91 reads the spindle speed stored in the flash memory 93. The CPU 91 sets the read spindle rotational speed in the revolution controller 97 and starts the rotation of the spindle 57 (S6). The turntable 33 and the holder 61 start to rotate according to the spindle rotation speed. When the holder 61 is rotated, that is, the main shaft 57 is rotated, the air in the predetermined area 81 heated by the rubber heater 65 is agitated.

CPU91は、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲内か否か判断する(S7)。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲外と判断した場合(S7:NO)、処理をS7に戻す。CPU91は主軸57の回転を継続させ、所定領域81内の空気を継続して攪拌させる。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲内と判断した場合(S7:YES)、主軸モータ35の回転を停止させる(S8)。これによって、ターンテーブル33及びホルダ61は回転を停止させる。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶された定常時ゲインを読み込む(S9)。CPU91は、S4の処理によって開始したフィードバック制御における比例ゲインを、起動時ゲインから定常時ゲインに変更する(S9)。CPU91は、フラッシュメモリ93から定常時温度範囲を読み込む(S10)。   The CPU 91 acquires the temperature detected by the temperature sensor 77. The CPU 91 determines whether or not the acquired temperature is within the startup temperature range (S7). If the CPU 91 determines that the acquired temperature is outside the startup temperature range (S7: NO), the process returns to S7. The CPU 91 continues the rotation of the main shaft 57 and continuously stirs the air in the predetermined area 81. When the CPU 91 determines that the acquired temperature is within the startup temperature range (S7: YES), the CPU 91 stops the rotation of the spindle motor 35 (S8). As a result, the turntable 33 and the holder 61 stop rotating. The CPU 91 reads the steady-state gain stored in the flash memory 93 (S9). The CPU 91 changes the proportional gain in the feedback control started by the process of S4 from the startup gain to the steady gain (S9). The CPU 91 reads the normal temperature range from the flash memory 93 (S10).

なお、S8の処理が終了してから、例えば、CPU91は、蓋部材11Bのロックを解除し、検体及び試薬が注入された状態の検査チップ2をホルダ61に装着可能な状態とする。また、例えば、S8の処理が終了してから、CPU91は、操作部94に対する検査開始操作の検出を開始する。   In addition, after the process of S8 is complete | finished, for example, CPU91 cancels | releases the lock | rock of the cover member 11B, and makes the test | inspection chip 2 in the state in which the sample and the reagent were inject | poured into the holder 61 possible state. For example, after the process of S <b> 8 ends, the CPU 91 starts detecting an inspection start operation for the operation unit 94.

CPU91は、操作部94に対して検査開始操作が行われたことを検出したか判断する(S11)。CPU91は、検査開始操作が行われたことを検出しないと判断した場合(S11:NO)、処理をS16に進める。CPU91は、操作部94に対して検査開始操作が行われたことを検出したと判断した場合(S11:YES)、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、取得した温度が、第1目標温度に対して定常時温度範囲内か否か判断する(S12)。以下、「第1目標温度に対して定常時温度範囲内か否か判断する」ことを、単に、「定常時温度範囲内か否か判断する」という。CPU91は、取得した温度が定常時温度範囲外と判断した場合(S12:NO)、処理をS12に戻す。CPU91は、取得した温度が定常時温度範囲内と判断した場合(S12:YES)、S4の処理によって開始したフィードバック制御において目標とする温度を、第1目標温度から第2目標温度に下げる(S13)。   The CPU 91 determines whether it is detected that an inspection start operation has been performed on the operation unit 94 (S11). If the CPU 91 determines not to detect that the inspection start operation has been performed (S11: NO), the process proceeds to S16. CPU91 acquires temperature detected by temperature sensor 77, when it is judged that it was detected that inspection start operation was performed to operation part 94 (S11: YES). The CPU 91 determines whether or not the acquired temperature is within a normal temperature range with respect to the first target temperature (S12). Hereinafter, “determining whether the first target temperature is within the steady-state temperature range” is simply referred to as “determining whether the first target temperature is within the steady-state temperature range”. When the CPU 91 determines that the acquired temperature is outside the normal temperature range (S12: NO), the CPU 91 returns the process to S12. When the CPU 91 determines that the acquired temperature is within the steady-state temperature range (S12: YES), the CPU 91 lowers the target temperature in the feedback control started by the process of S4 from the first target temperature to the second target temperature (S13). ).

CPU91は検査処理を開始する(S14)。検査処理の概要は次の通りである。図3に示すように、CPU91は、フラッシュメモリ93に予め記憶されているモータの駆動情報を読み込み、公転コントローラ97に主軸モータ35の駆動情報をセットし、自転コントローラ98にステッピングモータ51の駆動情報をセットする。CPU91は、公転コントローラ97を制御し、主軸モータ35の駆動を開始する。この結果、ホルダ61及び検査チップ2が公転する。又、CPU91は、自転コントローラ98を制御し、ステッピングモータ51を駆動する。この結果、ホルダ61及び検査チップ2が自転する。ホルダ61及び検査チップ2に対して、自転角度に応じた向きの遠心力が作用する。遠心力の作用によって、検査チップ2内の検体及び試薬は、液体流路に沿って移動する。検体及び試薬は、液体流路内を移動する過程で定量され、混合される。混合液は、遠心力の作用によって測定部293に移動し、測定部293に貯留する。   The CPU 91 starts an inspection process (S14). The outline of the inspection process is as follows. As shown in FIG. 3, the CPU 91 reads motor drive information stored in advance in the flash memory 93, sets the drive information of the spindle motor 35 in the revolution controller 97, and drives the stepping motor 51 in the rotation controller 98. Set. The CPU 91 controls the revolution controller 97 to start driving the spindle motor 35. As a result, the holder 61 and the inspection chip 2 revolve. Further, the CPU 91 controls the rotation controller 98 and drives the stepping motor 51. As a result, the holder 61 and the inspection chip 2 rotate. A centrifugal force in a direction corresponding to the rotation angle acts on the holder 61 and the inspection chip 2. The specimen and reagent in the test chip 2 move along the liquid flow path by the action of the centrifugal force. The specimen and the reagent are quantified and mixed in the process of moving in the liquid channel. The liquid mixture moves to the measurement unit 293 by the action of centrifugal force and is stored in the measurement unit 293.

CPU91は、公転コントローラ97を制御し、検査チップ2を測定位置の角度まで回転させる。CPU91は、測定部7を制御して光源71を発光させる。測定光70は、ケース80の穴部80Dを介して検査チップ2の測定部293に照射される。測定光70は、測定部293に貯溜された混合液とホルダ61の穴部61Aとを通過し、ケース80の穴部80Eを介して光センサ72に受光される。CPU91は、光センサ72が受光した測定光70の変化量に基づいて、混合液の光学測定を行い、測定データを取得する。CPU91は、取得された測定データに基づいて、混合液の測定結果を算出する。測定結果は、フラッシュメモリ93に記憶される。なお、混合液の測定方法は、光学測定に限られず、他の方法でもよい。   The CPU 91 controls the revolution controller 97 to rotate the inspection chip 2 to the angle of the measurement position. The CPU 91 controls the measurement unit 7 to cause the light source 71 to emit light. The measurement light 70 is applied to the measurement unit 293 of the inspection chip 2 through the hole 80D of the case 80. The measurement light 70 passes through the mixed liquid stored in the measurement unit 293 and the hole 61A of the holder 61, and is received by the optical sensor 72 through the hole 80E of the case 80. The CPU 91 performs optical measurement of the liquid mixture based on the amount of change of the measurement light 70 received by the optical sensor 72 and acquires measurement data. CPU91 calculates the measurement result of a liquid mixture based on the acquired measurement data. The measurement result is stored in the flash memory 93. In addition, the measuring method of a liquid mixture is not restricted to an optical measurement, Another method may be sufficient.

図4に示すように、CPU91は、先述の検査処理を終了する(S15)。CPU91は、操作部94の電源スイッチがOFFされたことを検出したか判断する(S16)。CPU91は、電源スイッチがOFFされたことを検出しないと判断した場合(S16:NO)、処理をS9に戻す。CPU91は、電源スイッチがOFFされたことを検出したと判断した場合(S16:YES)、S4の処理によって開始したフィードバック制御を終了させる。これによってCPU91は、ラバーヒータ65の発熱を終了させ、所定領域81内の温度調整を終了させる(S17)。CPU91は、第1メイン処理を終了させる。   As shown in FIG. 4, the CPU 91 ends the above-described inspection process (S15). The CPU 91 determines whether it is detected that the power switch of the operation unit 94 is turned off (S16). If the CPU 91 determines not to detect that the power switch has been turned off (S16: NO), the process returns to S9. When the CPU 91 determines that the power switch is turned off (S16: YES), the CPU 91 ends the feedback control started by the process of S4. Thereby, the CPU 91 ends the heat generation of the rubber heater 65 and ends the temperature adjustment in the predetermined area 81 (S17). The CPU 91 ends the first main process.

<5−1.検査方法の第2実施形態(パラメータ)>
第2実施形態では、第1目標温度、第2目標温度、起動時温度範囲、定常時温度範囲、定常時ゲイン、及び、図5に示すパラメータテーブル931がフラッシュメモリ93に予め記憶されている。第1目標温度、第2目標温度、起動時温度範囲、定常時温度範囲、及び、定常時ゲインは、先述の第1実施形態と同一であるので、説明を省略する。
<5-1. Second Embodiment of Inspection Method (Parameter)>
In the second embodiment, the first target temperature, the second target temperature, the startup temperature range, the steady temperature range, the steady gain, and the parameter table 931 shown in FIG. The first target temperature, the second target temperature, the startup temperature range, the steady-state temperature range, and the steady-state gain are the same as those in the first embodiment described above, and a description thereof will be omitted.

図5を参照し、パラメータテーブル931について説明する。パラメータテーブル931では、起動時回転数、定常時回転数、及び、起動時ゲインが、温度偏差に対応付けられている。起動時回転数は、後述する図6に示すS38の処理が実行される前までの間で有効な、主軸57の単位時間当たりの回転数である。起動時回転数には、検査チップ2がホルダ61に装着された状態における起動時回転数と、検査チップ2がホルダ61に装着されていない状態における起動時回転数とが含まれる。以下、検査チップ2がホルダ61に装着された状態における起動時回転数を「チップ有回転数」という。検査チップ2がホルダ61に装着されていない状態における起動時回転数を「チップ無回転数」という。温度偏差は、温度センサ77によって検出される所定領域81内の温度を第1目標温度から減算した値を示す。定常時回転数は、後述する図6に示すS38の処理が実行された後で有効な、主軸57の単位時間当たりの回転数である。   The parameter table 931 will be described with reference to FIG. In the parameter table 931, the starting rotation speed, the steady rotation speed, and the starting gain are associated with the temperature deviation. The rotational speed at start-up is the rotational speed per unit time of the main shaft 57 that is effective until the processing of S38 shown in FIG. The startup rotation speed includes a startup rotation speed when the inspection chip 2 is mounted on the holder 61 and a startup rotation speed when the inspection chip 2 is not mounted on the holder 61. Hereinafter, the rotation speed at the start-up in a state where the inspection chip 2 is mounted on the holder 61 is referred to as “chip rotation speed”. The rotation speed at the start-up when the inspection chip 2 is not attached to the holder 61 is referred to as “chip non-rotation speed”. The temperature deviation indicates a value obtained by subtracting the temperature in the predetermined region 81 detected by the temperature sensor 77 from the first target temperature. The constant rotational speed is the rotational speed per unit time of the main shaft 57 that is effective after the processing of S38 shown in FIG.

チップ有回転数は、温度偏差が0に近づく程、値が小さくなる。即ち、チップ有回転数は、温度偏差の絶対値に比例する。チップ無回転数は、温度偏差が3度以上6度未満の場合に600rpmであり、温度偏差が6度以上の場合に800rpmとなる。チップ無回転数は、温度偏差が−6度以上−3度未満の場合に800rpmであり、温度偏差が−6度よりも小さい場合に1000rpmとなる。対応する温度偏差が同一の場合、チップ有回転数はチップ無回転数以上の値となる。   The tip rotation speed decreases as the temperature deviation approaches zero. That is, the chip rotation speed is proportional to the absolute value of the temperature deviation. The non-rotating speed of the chip is 600 rpm when the temperature deviation is 3 degrees or more and less than 6 degrees, and is 800 rpm when the temperature deviation is 6 degrees or more. The non-rotating speed of the chip is 800 rpm when the temperature deviation is -6 degrees or more and less than -3 degrees, and 1000 rpm when the temperature deviation is smaller than -6 degrees. When the corresponding temperature deviations are the same, the chip rotation speed is greater than the chip non-rotation speed.

定常時回転数は、温度偏差が0度以上3度未満の場合に300rpmであり、温度偏差が3度以上の場合に500rpmとなる。定常時回転数は、温度偏差が−3度以上0度未満の場合に400rpmであり、温度偏差が−3度よりも小さい場合に550rpmとなる。定常時回転数の最大値である550rpmは、例えば、起動時回転数の最小値である600rpmよりも小さい。即ち、定常時回転数は起動時回転数よりも小さい値となる。   The constant rotation speed is 300 rpm when the temperature deviation is 0 degree or more and less than 3 degrees, and 500 rpm when the temperature deviation is 3 degrees or more. The constant rotation speed is 400 rpm when the temperature deviation is -3 degrees or more and less than 0 degrees, and 550 rpm when the temperature deviation is smaller than -3 degrees. For example, 550 rpm, which is the maximum value of the constant rotational speed, is smaller than, for example, 600 rpm, which is the minimum value of the rotational speed at startup. That is, the steady-state rotation speed is smaller than the startup rotation speed.

0度以上の温度偏差に対し、起動時ゲインK1〜K5が関連付けられている。起動時ゲインK1〜K5は、K1>K2>K3>K4>K5の大小関係を有する。起動時ゲインは、温度偏差が正方向に大きくなる程、値が大きくなる。起動時ゲインが大きい程、フィードバック制御に基づいて決定される、ラバーヒータ65に通流される電流のデューティー比が相対的に大きくなる。従って、ラバーヒータ65の発熱量は、温度偏差が大きい程、相対的に大きくなる。一方、起動時ゲインが大きい程、フィードバック制御が行われた場合に、所定領域81内の温度と第1目標温度又は第2目標温度との誤差が相対的に大きくなりやすい。即ち、所定領域81内の温度は、温度偏差が小さい程、第1目標温度又は第2目標温度に精度よく近づく。なお、定常時ゲインは、起動時ゲインK5以下である。即ち、起動時ゲインK1〜K5の何れも定常時ゲイン以上である。0度未満の温度偏差に対し、ラバーヒータ65に電流を通流させないことを示す情報が、起動時ゲインの代わりに対応付けられており、図5にはヒータOFFと示されている。   Start-up gains K1 to K5 are associated with a temperature deviation of 0 degrees or more. The startup gains K1 to K5 have a magnitude relationship of K1> K2> K3> K4> K5. The startup gain increases as the temperature deviation increases in the positive direction. As the startup gain increases, the duty ratio of the current flowing through the rubber heater 65, which is determined based on the feedback control, becomes relatively large. Therefore, the amount of heat generated by the rubber heater 65 becomes relatively larger as the temperature deviation is larger. On the other hand, the larger the start-up gain, the greater the error between the temperature in the predetermined region 81 and the first target temperature or the second target temperature when feedback control is performed. That is, the temperature within the predetermined region 81 approaches the first target temperature or the second target temperature with accuracy as the temperature deviation is smaller. The steady-state gain is equal to or less than the startup gain K5. That is, any of the startup gains K1 to K5 is equal to or greater than the steady-state gain. Information indicating that no current flows through the rubber heater 65 is associated with the temperature deviation of less than 0 degrees instead of the startup gain, and the heater OFF is shown in FIG.

−3度以上3度未満の温度偏差に対し、起動時回転数は対応付けられていない。理由は、起動時温度範囲が±3度であるので、温度偏差が−3度以上3度未満の場合、CPU31は主軸57を回転させる必要がないためである。なお、図5に示すパラメータテーブル931の夫々のパラメータは一例であり、他の値でもよい。   The startup rotation speed is not associated with a temperature deviation of −3 degrees or more and less than 3 degrees. The reason is that since the temperature range at the time of startup is ± 3 degrees, the CPU 31 does not need to rotate the spindle 57 when the temperature deviation is not less than −3 degrees and less than 3 degrees. Each parameter in the parameter table 931 shown in FIG. 5 is an example, and other values may be used.

<5−2.検査方法の第2実施形態(処理の流れ)>
CPU91は、操作部94の電源スイッチがONされたことを検出した場合、プログラムROM95に記憶されている制御プログラムに基づいて、図6に示す第2メイン処理を開始する。第2メイン処理が開始されたときに、検査チップ2がホルダ61に装着されているか否かは不定である。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶された第1目標温度及び第2目標温度を読み込む(S21)。
<5-2. Second Embodiment of Inspection Method (Process Flow)>
When the CPU 91 detects that the power switch of the operation unit 94 is turned on, the CPU 91 starts the second main process shown in FIG. 6 based on the control program stored in the program ROM 95. Whether or not the inspection chip 2 is mounted on the holder 61 when the second main process is started is undefined. The CPU 91 reads the first target temperature and the second target temperature stored in the flash memory 93 (S21).

CPU91は、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、取得した温度を第1目標温度から減算し、温度偏差を算出する。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶されたパラメータテーブル931のうち、算出した温度偏差に対応する起動時ゲインを読み込む(S22)。なお、図5に示すように、0度未満の温度偏差に対し、ラバーヒータ65に電流を通流させないことを示す情報が、起動時ゲインの代わりに対応付けられている。従ってCPU91は、算出した温度偏差が0度未満の場合、ラバーヒータ65に電流を通流させないことを示す情報を、起動時ゲインとして読み込む。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶された起動時温度範囲を読み込む(S23)。   The CPU 91 acquires the temperature detected by the temperature sensor 77. The CPU 91 subtracts the acquired temperature from the first target temperature to calculate a temperature deviation. The CPU 91 reads a startup gain corresponding to the calculated temperature deviation in the parameter table 931 stored in the flash memory 93 (S22). As shown in FIG. 5, information indicating that no current is passed through the rubber heater 65 is associated with a temperature deviation of less than 0 degrees instead of the startup gain. Therefore, when the calculated temperature deviation is less than 0 degrees, the CPU 91 reads information indicating that no current is passed through the rubber heater 65 as a startup gain. The CPU 91 reads the startup temperature range stored in the flash memory 93 (S23).

CPU91は、S21の処理によって読み込んだ第1目標温度、及び、S22の処理によって読み込んだ起動時ゲインに基づいてフィードバック制御を開始する。これによって、ラバーヒータ65の発熱が開始され、且つ、所定領域81内の温度調整が開始される(S24)。フィードバック制御の詳細は、先述の第1実施形態と同一であるので、説明を省略する。なお、CPU91は、ラバーヒータ65に電流を通流させないことを示す情報を、起動時ゲインとして読み込んだ場合、フィードバック制御を実行せず、ラバーヒータ65を発熱させない。即ちCPU91は、温度センサ77から取得した温度が第1目標温度よりも大きい場合、フィードバック制御を実行せず、ラバーヒータ65を発熱させない。   The CPU 91 starts feedback control based on the first target temperature read by the process of S21 and the startup gain read by the process of S22. Thereby, heat generation of the rubber heater 65 is started, and temperature adjustment in the predetermined area 81 is started (S24). Details of the feedback control are the same as those in the first embodiment described above, and a description thereof will be omitted. Note that when the CPU 91 reads information indicating that no current is allowed to flow through the rubber heater 65 as the startup gain, the CPU 91 does not execute the feedback control and does not cause the rubber heater 65 to generate heat. That is, when the temperature acquired from the temperature sensor 77 is higher than the first target temperature, the CPU 91 does not execute feedback control and does not cause the rubber heater 65 to generate heat.

CPU91は、温度センサ77から取得した温度が起動時温度範囲内か否か判断する(S25)。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲内と判断した場合(S25:YES)、処理をS32に進める。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲外と判断した場合(S25:NO)、ホルダ61に検査チップ2が装着されているかを、次のようにして判断する(S26)。図3に示すように、CPU91は、公転コントローラ97を制御し、検査チップ2を測定位置の角度まで回転させる。CPU91は、測定部7を制御し、光源71から測定光70を発光させる。測定光70は光センサ72に受光される。CPU91は、光センサ72が受光した測定光70の強度を取得する。CPU91は、取得した測定光70の強度が所定の閾値よりも大きい場合、ホルダ61に検査チップ2が装着されていないと判断し、取得した測定光70の強度が所定の閾値以下の場合、ホルダ61に検査チップ2が装着されていると判断する。   The CPU 91 determines whether or not the temperature acquired from the temperature sensor 77 is within the startup temperature range (S25). If the CPU 91 determines that the acquired temperature is within the startup temperature range (S25: YES), the process proceeds to S32. When the CPU 91 determines that the acquired temperature is outside the startup temperature range (S25: NO), the CPU 91 determines whether the test chip 2 is mounted on the holder 61 as follows (S26). As shown in FIG. 3, the CPU 91 controls the revolution controller 97 to rotate the inspection chip 2 to the angle of the measurement position. The CPU 91 controls the measurement unit 7 to emit measurement light 70 from the light source 71. The measuring light 70 is received by the optical sensor 72. The CPU 91 acquires the intensity of the measurement light 70 received by the optical sensor 72. The CPU 91 determines that the test chip 2 is not attached to the holder 61 when the intensity of the acquired measurement light 70 is greater than a predetermined threshold value. If the intensity of the acquired measurement light 70 is equal to or less than the predetermined threshold value, the holder It is determined that the inspection chip 2 is attached to 61.

図6に示すように、CPU91は、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、取得した温度を第1目標温度から減算し、温度偏差を算出する(S27)。CPU91は、S26の処理によってホルダ61に検査チップ2が装着されていると判断した場合、フラッシュメモリ93に記憶されたパラメータテーブル931のチップ有回転数のうち、算出した温度偏差に対応するチップ有回転数を、起動時回転数として読み込む(S28)。CPU91は、S26の処理によってホルダ61に検査チップ2が装着されていないと判断した場合、フラッシュメモリ93に記憶されたパラメータテーブル931のチップ無回転数のうち、算出した温度偏差に対応するチップ無回転数を、起動時回転数として読み込む(S28)。CPU91は、読み込んだ起動時回転数を公転コントローラ97にセットし、主軸57の回転を開始させる(S29)。ターンテーブル33及びホルダ61は、起動時回転数に応じた回転を開始する。ホルダ61が回転される、すなわち主軸57が回転されることによって、ラバーヒータ65によって暖められた所定領域81内の空気は、攪拌される。   As shown in FIG. 6, the CPU 91 acquires the temperature detected by the temperature sensor 77. The CPU 91 subtracts the acquired temperature from the first target temperature to calculate a temperature deviation (S27). If the CPU 91 determines that the inspection chip 2 is attached to the holder 61 by the process of S26, the CPU 91 has a chip corresponding to the calculated temperature deviation among the rotation speeds of the chip in the parameter table 931 stored in the flash memory 93. The rotational speed is read as the rotational speed at startup (S28). If the CPU 91 determines that the inspection chip 2 is not attached to the holder 61 by the process of S26, the CPU 91 corresponding to the calculated temperature deviation out of the non-rotation speed of the chip in the parameter table 931 stored in the flash memory 93. The rotational speed is read as the rotational speed at startup (S28). The CPU 91 sets the read rotation speed at the start in the revolution controller 97 and starts the rotation of the main shaft 57 (S29). The turntable 33 and the holder 61 start to rotate according to the number of rotations at startup. When the holder 61 is rotated, that is, the main shaft 57 is rotated, the air in the predetermined area 81 heated by the rubber heater 65 is agitated.

CPU91は、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲内か否か判断する(S30)。CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲外と判断した場合(S30:NO)、処理をS27に戻す。CPU91は、温度センサ77によって検出される温度に応じて起動時回転数を変化させながら、主軸57の回転を継続させ、所定領域81内の空気を継続して攪拌させる。   The CPU 91 acquires the temperature detected by the temperature sensor 77. The CPU 91 determines whether or not the acquired temperature is within the startup temperature range (S30). If the CPU 91 determines that the acquired temperature is outside the startup temperature range (S30: NO), the process returns to S27. The CPU 91 continues the rotation of the main shaft 57 and continuously stirs the air in the predetermined area 81 while changing the rotational speed at startup according to the temperature detected by the temperature sensor 77.

CPU91は、取得した温度が起動時温度範囲内と判断した場合(S30:YES)、主軸モータ35の回転を停止させる(S31)。これによって、ターンテーブル33及びホルダ61は回転を停止させる。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶された定常時ゲインを読み込む(S32)。CPU91は、S24の処理によって開始したフィードバック制御における比例ゲインを、起動時ゲインから定常時ゲインに変更する(S32)。CPU91は、フラッシュメモリ93から定常時温度範囲を読み込む(S33)。   When the CPU 91 determines that the acquired temperature is within the startup temperature range (S30: YES), the CPU 91 stops the rotation of the spindle motor 35 (S31). As a result, the turntable 33 and the holder 61 stop rotating. The CPU 91 reads the steady-state gain stored in the flash memory 93 (S32). The CPU 91 changes the proportional gain in the feedback control started by the process of S24 from the startup gain to the steady gain (S32). The CPU 91 reads the normal temperature range from the flash memory 93 (S33).

なお、S33の処理が終了してから、例えば、CPU91は、蓋部材11Bのロックを解除し、検体及び試薬が注入された状態の検査チップ2をホルダ61に装着可能な状態とする。また、例えば、S33の処理が終了してから、CPU91は、操作部94に対する検査開始操作の検出を開始する。   In addition, after the process of S33 is completed, for example, the CPU 91 releases the lock of the lid member 11B so that the test chip 2 in a state where the sample and the reagent are injected can be attached to the holder 61. Further, for example, after the processing of S <b> 33 is completed, the CPU 91 starts detecting an inspection start operation for the operation unit 94.

CPU91は、操作部94に対して検査開始操作が行われたことを検出したか判断する(S34)。CPU91は、検査開始操作が行われたことを検出しないと判断した場合(S34:NO)、処理をS44に進める。CPU91は、操作部94に対して検査開始操作が行われたことを検出したと判断した場合(S34:YES)、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、取得した温度が定常時温度範囲内か否か判断する(S35)。CPU91は、取得した温度が定常時温度範囲内と判断した場合(S35:YES)、処理をS41に進める。   The CPU 91 determines whether it has been detected that an inspection start operation has been performed on the operation unit 94 (S34). If the CPU 91 determines not to detect that the inspection start operation has been performed (S34: NO), the process proceeds to S44. CPU91 acquires temperature detected by temperature sensor 77, when it is judged that it was detected that inspection start operation was performed to operation part 94 (S34: YES). The CPU 91 determines whether or not the acquired temperature is within the steady-state temperature range (S35). If the CPU 91 determines that the acquired temperature is within the steady-state temperature range (S35: YES), the process proceeds to S41.

CPU91は、取得した温度が定常時温度範囲外と判断した場合(S34:NO)、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、取得した温度を第1目標温度から減算し、温度偏差を算出する(S36)。CPU91は、フラッシュメモリ93に記憶されたパラメータテーブル931の定常時回転数のうち、算出した温度偏差に対応する定常時回転数を読み込む(S37)。CPU91は、読み込んだ定常時回転数を公転コントローラ97にセットし、主軸57の回転を開始させる(S38)。ターンテーブル33及びホルダ61は、定常時回転数に応じた回転を開始する。ホルダ61が回転される、すなわち主軸57が回転されることによって、所定領域81内の空気は攪拌される。   When the CPU 91 determines that the acquired temperature is outside the steady-state temperature range (S34: NO), the CPU 91 acquires the temperature detected by the temperature sensor 77. The CPU 91 subtracts the acquired temperature from the first target temperature to calculate a temperature deviation (S36). The CPU 91 reads the steady-state rotational speed corresponding to the calculated temperature deviation among the steady-state rotational speeds of the parameter table 931 stored in the flash memory 93 (S37). The CPU 91 sets the read normal rotation speed in the revolution controller 97, and starts the rotation of the main shaft 57 (S38). The turntable 33 and the holder 61 start to rotate according to the normal rotation speed. When the holder 61 is rotated, that is, the main shaft 57 is rotated, the air in the predetermined region 81 is agitated.

CPU91は、温度センサ77によって検出される温度を取得する。CPU91は、取得した温度が定常時温度範囲内か否か判断する(S39)。CPU91は、取得した温度が定常時温度範囲外と判断した場合(S39:NO)、処理をS36に戻す。CPU91は、温度センサ77によって検出される温度に応じて定常時回転数を変化させながら、主軸57の回転を継続させ、所定領域81内の空気を継続して攪拌させる。   The CPU 91 acquires the temperature detected by the temperature sensor 77. The CPU 91 determines whether or not the acquired temperature is within the normal temperature range (S39). When the CPU 91 determines that the acquired temperature is outside the normal temperature range (S39: NO), the CPU 91 returns the process to S36. The CPU 91 continues the rotation of the main shaft 57 while changing the steady-state rotation speed according to the temperature detected by the temperature sensor 77, and continuously stirs the air in the predetermined area 81.

CPU91は、取得した温度が定常時温度範囲内と判断した場合(S39:YES)、主軸モータ35の回転を停止させる(S40)。CPU91は、S24の処理によって開始したフィードバック制御において目標とする温度を、第1目標温度から第2目標温度に下げる(S41)。   When the CPU 91 determines that the acquired temperature is within the normal temperature range (S39: YES), the CPU 91 stops the rotation of the spindle motor 35 (S40). The CPU 91 lowers the target temperature in the feedback control started by the process of S24 from the first target temperature to the second target temperature (S41).

S42及びS43の処理は、夫々、第1実施形態のS14及びS15の処理と同一であるので、説明を省略する。CPU91は、S43の処理の後、操作部94の電源スイッチがOFFされたことを検出したか判断する(S44)。CPU91は、電源スイッチがOFFされたことを検出しないと判断した場合(S44:NO)、処理をS32に戻す。CPU91は、電源スイッチがOFFされたことを検出したと判断した場合(S44:YES)、S24の処理によって開始したフィードバック制御を終了させる。これによってCPU91は、ラバーヒータ65の発熱を終了させ、所定領域81内の温度調整を終了させる(S45)。CPU91は、第2メイン処理を終了させる。   Since the processes of S42 and S43 are the same as the processes of S14 and S15 of the first embodiment, respectively, the description thereof is omitted. After the process of S43, the CPU 91 determines whether it is detected that the power switch of the operation unit 94 is turned off (S44). If the CPU 91 determines not to detect that the power switch has been turned off (S44: NO), it returns the process to S32. When the CPU 91 determines that the power switch is turned off (S44: YES), the CPU 91 ends the feedback control started by the process of S24. Thus, the CPU 91 ends the heat generation of the rubber heater 65 and ends the temperature adjustment in the predetermined area 81 (S45). The CPU 91 ends the second main process.

<6.本実施形態の主たる作用・効果>
以上説明したように、検査装置1では、検査チップ2の厚み方向が前後方向、及び左右方向に延びる状態で、ホルダ61に保持される。ホルダ61は、主軸モータ35がターンテーブル33を回転駆動するのに伴って、垂直軸線A1を中心として公転する。又、ホルダ61は、ステッピングモータ51が内軸40を上下動させるのに伴って、水平軸線A2を中心として自転する。CPU91は、操作部94に対して検査開始操作が行われたことを検出した後(S11:YES、S34:YES)、所定領域81内の温度が定常時温度範囲内となる(S12:YES、S35:YES)前に、ラバーヒータ65の発熱を開始させ(S4、S24)、且つ、主軸57を回転させる(S6,S29)。ラバーヒータ65が発熱することに応じて、所定領域81内の空気は暖められる。主軸57の回転に応じてホルダ61が公転することによって、暖められた所定領域81内の空気は撹拌される。
<6. Main actions and effects of this embodiment>
As described above, in the inspection apparatus 1, the inspection chip 2 is held by the holder 61 with the thickness direction of the inspection chip 2 extending in the front-rear direction and the left-right direction. The holder 61 revolves around the vertical axis A <b> 1 as the spindle motor 35 rotationally drives the turntable 33. Further, the holder 61 rotates about the horizontal axis A2 as the stepping motor 51 moves the inner shaft 40 up and down. The CPU 91 detects that the inspection start operation has been performed on the operation unit 94 (S11: YES, S34: YES), and then the temperature in the predetermined area 81 falls within the steady-state temperature range (S12: YES, Prior to S35: YES, heat generation of the rubber heater 65 is started (S4, S24), and the main shaft 57 is rotated (S6, S29). As the rubber heater 65 generates heat, the air in the predetermined area 81 is warmed. As the holder 61 revolves according to the rotation of the main shaft 57, the heated air in the predetermined area 81 is agitated.

なお、検査チップ2の厚み方向が前後方向、及び左右方向に延びる状態で公転した場合の方が、上下方向に延びる状態で公転した場合よりも、検査チップ2及びホルダ61の回転範囲の上下方向の大きさは相対的に大きくなる。このため、回転領域を含む所定領域81の大きさも上下方向に大きくなり、所定領域81内に温度分布が生じ易くなる。これに対してCPU91は、検査処理(S14、S42)が開始される前に、ラバーヒータ65を発熱させながらホルダ61を回転させる。このためCPU91は、所定領域81の大きさが上下方向に相対的に大きい場合でも、所定領域81内に温度分布が生じることを抑制できる。従ってCPU91は、ホルダ61に装着された状態の検査チップ2の上下方向の温度を均一にできる。又、所定領域81内の空気を攪拌することによって、ラバーヒータ65よりも上方に配置された検査チップ2の測定部293の周辺の温度を、短時間で上昇させることができる。   Note that the direction in which the thickness direction of the test chip 2 revolves in the front-rear direction and the left-right direction is higher in the vertical direction of the rotation range of the test chip 2 and the holder 61 than in the case where the test chip 2 revolves in the vertical direction. The size of is relatively large. For this reason, the size of the predetermined region 81 including the rotation region is also increased in the vertical direction, and a temperature distribution is easily generated in the predetermined region 81. On the other hand, the CPU 91 rotates the holder 61 while heating the rubber heater 65 before the inspection process (S14, S42) is started. For this reason, the CPU 91 can suppress the temperature distribution in the predetermined area 81 even when the predetermined area 81 is relatively large in the vertical direction. Therefore, the CPU 91 can make the temperature in the vertical direction of the inspection chip 2 mounted on the holder 61 uniform. In addition, by stirring the air in the predetermined region 81, the temperature around the measurement unit 293 of the inspection chip 2 disposed above the rubber heater 65 can be raised in a short time.

CPU91は、ラバーヒータ65の発熱を開始させた(S4、S24)後、所定領域81内の温度が起動時温度範囲内か否か判断する(S5、S25)。CPU91は、所定領域81内の温度が起動時温度範囲外と判断した場合(S5:NO、S25:NO)、主軸57の回転を開始させる(S6,S29)。CPU91は、所定領域81内の温度が起動時温度範囲内と判断した場合(S7:YES、S30:YES)、主軸57の回転を停止させる(S8,S31)。ここで、起動時温度範囲は定常時温度範囲以上である。このためCPU91は、所定領域81内の温度を起動時温度範囲内とするまでに要する時間を、所定領域81内の温度を定常時温度範囲内とするまでに要する時間以下にできるので、検査開始操作の受け付け(S11、S34)が可能な状態となるまでの時間を短縮できる。又、CPU91は、所定領域81内の温度を起動時温度範囲内とした後、更に、所定領域81内の温度が定常時温度範囲内か否か判断する(S12、S35、S39)。このように、CPU91は、所定領域81内の温度を段階艇的に制御することによって、所定領域81内の温度を適切に定常時温度範囲内とすることができる。   After starting the heat generation of the rubber heater 65 (S4, S24), the CPU 91 determines whether or not the temperature in the predetermined area 81 is within the startup temperature range (S5, S25). When the CPU 91 determines that the temperature in the predetermined area 81 is outside the startup temperature range (S5: NO, S25: NO), the CPU 91 starts the rotation of the main shaft 57 (S6, S29). When the CPU 91 determines that the temperature in the predetermined area 81 is within the startup temperature range (S7: YES, S30: YES), the CPU 91 stops the rotation of the spindle 57 (S8, S31). Here, the startup temperature range is equal to or higher than the steady-state temperature range. For this reason, the CPU 91 can reduce the time required for the temperature in the predetermined area 81 to be within the temperature range at startup to be equal to or less than the time required for the temperature in the predetermined area 81 to be within the normal temperature range. It is possible to shorten the time until the operation can be accepted (S11, S34). The CPU 91 determines whether the temperature in the predetermined area 81 is within the steady-state temperature range after the temperature in the predetermined area 81 is within the startup temperature range (S12, S35, S39). Thus, the CPU 91 can appropriately set the temperature in the predetermined area 81 within the steady-state temperature range by controlling the temperature in the predetermined area 81 in a stepwise manner.

CPU91は、所定領域81内の温度が起動時範囲内となるまでの間、フィードバック制御における比例ゲインを起動時ゲインとする。CPU91は、所定領域81内の温度が起動時範囲内と判断した場合(S5:YES、S7:YES、S25:YES、S30:YES)、フィードバック制御における比例ゲインを、起動時ゲインから定常時ゲインに変更する(S9、S32)。なお、ラバーヒータ65の発熱量は、起動時ゲインが適用された場合の方が、定常時ゲインが適用された場合よりも大きい。このためCPU91は、相対的に大きい発熱量に応じてラバーヒータ65を発熱させることによって、所定領域81内の温度を短時間で起動時範囲内とすることができる。又、CPU91は、所定領域81内の温度が起動時範囲内となった後、更にラバーヒータ65を発熱させて所定領域81内の温度を定常時範囲内とする場合に、ラバーヒータ65の発熱量を相対的に小さくする。これによってCPU91は、所定領域81内の温度と第1目標温度との誤差を小さくできるので、ラバーヒータ65によって所定領域81内の温度を第1目標温度に精度よく近づけることができる。   The CPU 91 sets the proportional gain in the feedback control as the startup gain until the temperature in the predetermined area 81 falls within the startup range. When the CPU 91 determines that the temperature in the predetermined area 81 is within the startup range (S5: YES, S7: YES, S25: YES, S30: YES), the proportional gain in the feedback control is changed from the startup gain to the steady-state gain. (S9, S32). The amount of heat generated by the rubber heater 65 is greater when the startup gain is applied than when the steady-state gain is applied. For this reason, the CPU 91 can bring the temperature in the predetermined region 81 into the start-up range in a short time by causing the rubber heater 65 to generate heat according to a relatively large amount of heat generation. Further, the CPU 91 generates heat of the rubber heater 65 when the temperature in the predetermined area 81 is within the starting time range, and when the rubber heater 65 is further heated so that the temperature in the predetermined area 81 is within the normal time range. Make the amount relatively small. As a result, the CPU 91 can reduce the error between the temperature in the predetermined area 81 and the first target temperature, so that the rubber heater 65 can bring the temperature in the predetermined area 81 close to the first target temperature with high accuracy.

CPU91は、温度センサ77によって検出された温度と、第1目標温度との温度偏差に基づき、パラメータテーブル931を参照して起動時回転数を読み込む(S28)。CPU91は、読み込んだ起動時回転数で主軸57を回転させることによって、所定領域81内の空気を撹拌させる。これによってCPU91は、温度偏差に応じて攪拌の程度を調整できるので、所定領域81内の温度を効率的に起動時範囲内にできる。又、CPU91は、温度センサ77によって検出された温度と、第1目標温度との温度偏差に基づき、パラメータテーブル931を参照して特定した起動時ゲインを、フィードバック制御に適用させる。これによってCPU91は、温度偏差に応じてラバーヒータ65の発熱量を調整できるので、所定領域81内の温度を効率的に起動時範囲内にできる。   Based on the temperature deviation between the temperature detected by the temperature sensor 77 and the first target temperature, the CPU 91 reads the rotational speed at startup with reference to the parameter table 931 (S28). The CPU 91 agitates the air in the predetermined area 81 by rotating the main shaft 57 at the read start-up rotation speed. Thus, the CPU 91 can adjust the degree of stirring according to the temperature deviation, so that the temperature in the predetermined area 81 can be efficiently within the startup range. Further, the CPU 91 applies the start-up gain specified with reference to the parameter table 931 based on the temperature deviation between the temperature detected by the temperature sensor 77 and the first target temperature to the feedback control. As a result, the CPU 91 can adjust the amount of heat generated by the rubber heater 65 in accordance with the temperature deviation, so that the temperature in the predetermined region 81 can be efficiently within the startup range.

なお、パラメータテーブル931では、温度偏差の絶対値が大きい程、起動時回転数は大きくなる。起動時回転数が大きくなる程、所定領域81内の空気は良好に撹拌される。従って、CPU91は、所定領域81内の温度を起動時範囲内とするまでの時間を、温度偏差の大小に関わらず一定にできる。又、パラメータテーブル931では、温度偏差の絶対値が大きい起動時ゲイン程、フィードバック制御に適用された場合にラバーヒータ65の発熱量が大きくなる。従って、CPU91は、所定領域81内の温度を起動時範囲内とするまでの時間を、温度偏差の大小に関わらず一定にできる。   In the parameter table 931, the greater the absolute value of the temperature deviation, the greater the starting rotation speed. As the rotational speed at startup increases, the air in the predetermined region 81 is better agitated. Therefore, the CPU 91 can make the time until the temperature in the predetermined area 81 falls within the startup range constant regardless of the temperature deviation. Also, in the parameter table 931, the heat gain of the rubber heater 65 increases when applied to feedback control as the startup gain has a larger absolute value of temperature deviation. Therefore, the CPU 91 can make the time until the temperature in the predetermined area 81 falls within the startup range constant regardless of the temperature deviation.

CPU91は、温度偏差が−0度未満の場合、具体的には、所定領域81内の温度が第1目標温度よりも大きい場合、ラバーヒータ65を発熱させずに主軸57のみを回転させ、所定領域81内の空気を撹拌させる。これによってCPU91は、所定領域81内の温度が高過ぎる場合に、所定領域81内を冷却させることができる。   When the temperature deviation is less than −0 degrees, specifically, when the temperature in the predetermined area 81 is higher than the first target temperature, the CPU 91 rotates only the main shaft 57 without causing the rubber heater 65 to generate heat. The air in the region 81 is agitated. Thus, the CPU 91 can cool the inside of the predetermined area 81 when the temperature in the predetermined area 81 is too high.

CPU91は、検査チップ2がホルダ61に装着されていると判断した場合、パラメータテーブル931のうちチップ有回転数を読み込む(S28)。CPU91は、検査チップ2がホルダ61に装着されていないと判断した場合、パラメータテーブル931のうちチップ無回転数を読み込む(S28)。チップ有回転数は、チップ無回転数よりも大きい。なお、検査チップ2が装着されていない状態でホルダ61が公転する場合、回転の重心バランスが悪くなる場合がある。この場合、検査チップ2が装着されている状態でホルダ61が公転する場合と比べて、異常振動が誘発されたり、回転が不安定になったりする場合がある。これに対してCPU91は、検査チップ2がホルダ61に装着されていない場合の主軸57の回転数(チップ無回転数)を、検査チップ2がホルダ61に装着されている場合の主軸57の回転数(チップ有回転数)よりも小さくする。従って、CPU91は、検査チップ2がホルダ61に装着されていない場合でも、適切な回転数でホルダ61を安定的に回転させ、所定領域81内を適切に撹拌させることができる。   When the CPU 91 determines that the inspection chip 2 is attached to the holder 61, the CPU 91 reads the chip rotation speed in the parameter table 931 (S28). When the CPU 91 determines that the inspection chip 2 is not attached to the holder 61, the CPU 91 reads the chip non-rotation number in the parameter table 931 (S28). The chip rotation speed is larger than the chip non-rotation speed. In addition, when the holder 61 revolves in the state where the test | inspection chip 2 is not mounted | worn, the gravity center balance of rotation may worsen. In this case, compared with the case where the holder 61 revolves with the inspection chip 2 mounted, abnormal vibration may be induced or rotation may become unstable. On the other hand, the CPU 91 determines the rotation speed of the main shaft 57 when the inspection chip 2 is not attached to the holder 61 (the rotation speed of the chip), and the rotation of the main spindle 57 when the inspection chip 2 is attached to the holder 61. Less than the number (the number of rotations with the chip). Therefore, even when the inspection chip 2 is not attached to the holder 61, the CPU 91 can stably rotate the holder 61 at an appropriate number of rotations and appropriately agitate the inside of the predetermined area 81.

CPU91は、検査開始操作が行われたことを検出した後(S34:YES)、所定領域81内の温度が定常時範囲外と判断した場合(S35:NO)、起動時回転数よりも小さい定常時回転数で主軸57を回転させる(S38)。これによってCPU91は、検査チップ2に作用する遠心力を相対的に小さくする。従ってCPU91は、ホルダ61に装着された検査チップ2内の検体及び試薬が、遠心力によって、検査チップ2の液体流路内を移動することを抑制できる。   After detecting that the inspection start operation has been performed (S34: YES), the CPU 91 determines that the temperature in the predetermined area 81 is out of the steady-state range (S35: NO), which is smaller than the rotation speed at startup. The main shaft 57 is rotated at a constant rotational speed (S38). As a result, the CPU 91 relatively reduces the centrifugal force acting on the inspection chip 2. Therefore, the CPU 91 can suppress the movement of the sample and reagent in the test chip 2 mounted on the holder 61 in the liquid flow path of the test chip 2 due to centrifugal force.

検査装置1において、検査チップ2に温度センサ77のサーミスタ77Aを直接取り付け、測定部293に貯留した混合液の温度を直接計測することが好ましい。しかしながら、検査チップ2は検査の過程で回転するため、サーミスタ77Aを検査チップ2に直接取り付けることができない。これに対して、検査装置1では、温度センサ77のサーミスタ77Aの高さと、ホルダ61に支持された検査チップ2の測定部293の高さとを等しくする。この場合、所定領域81内で高さ方向に温度分布が生じた場合でも、温度センサ77は、検査チップ2の測定部293に貯留した混合液の温度を、高い精度で検出できる。   In the inspection apparatus 1, it is preferable to directly attach the thermistor 77 </ b> A of the temperature sensor 77 to the inspection chip 2 and directly measure the temperature of the mixed liquid stored in the measurement unit 293. However, since the inspection chip 2 rotates during the inspection process, the thermistor 77A cannot be directly attached to the inspection chip 2. On the other hand, in the inspection apparatus 1, the height of the thermistor 77 </ b> A of the temperature sensor 77 is made equal to the height of the measurement unit 293 of the inspection chip 2 supported by the holder 61. In this case, even when a temperature distribution occurs in the height direction within the predetermined region 81, the temperature sensor 77 can detect the temperature of the liquid mixture stored in the measurement unit 293 of the test chip 2 with high accuracy.

検査装置1は、ラバーヒータ65によって所定領域81内を加熱させることはできるものの、所定領域81内を冷却させることはできない。このため、所定領域81内の温度は第1目標温度よりも常に低いことが好ましい。これに対してCPU91は、検査開始操作が行われたことを検出した後(S11:YES、S34:YES)、所定領域81内の温度が定常時範囲内と判断した場合、フィードバック制御において目標とする温度を、第1目標温度から、第1目標温度よりも小さい第2目標温度に下げる(S13、S41)。これによってCPU91は、所定領域81の温度が第1目標温度よりも高くなることを適切に抑制できる。   The inspection apparatus 1 can heat the inside of the predetermined area 81 with the rubber heater 65 but cannot cool the inside of the predetermined area 81. For this reason, it is preferable that the temperature in the predetermined area 81 is always lower than the first target temperature. On the other hand, after detecting that the inspection start operation has been performed (S11: YES, S34: YES), the CPU 91 determines that the temperature in the predetermined area 81 is within the steady-state range, The temperature to be reduced is lowered from the first target temperature to a second target temperature lower than the first target temperature (S13, S41). Thus, the CPU 91 can appropriately suppress the temperature of the predetermined area 81 from becoming higher than the first target temperature.

CPU91は、P制御によって所定領域81内の温度を調整する。これによって、所定領域81内の温度の上昇時に、第1目標温度又は第2目標温度を超過する現象、いわゆるオーバーシュートの発生を抑制できる。   The CPU 91 adjusts the temperature in the predetermined area 81 by P control. Thereby, when the temperature in the predetermined region 81 rises, the phenomenon of exceeding the first target temperature or the second target temperature, so-called overshoot, can be suppressed.

<7.その他>
本発明は上記実施形態に限定されず、種々の変更が可能である。上記実施形態において、ラバーヒータ65は、所定領域81内、且つ、上板32の上側に設けられていた。これに対し、ラバーヒータ65は、ケースの上面部80Bの下側に設けられてもよい。又、ラバーヒータ65は、上板32の上側、及び、ケースの上面部80Bの下側の両方に設けられてもよい。
<7. Other>
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. In the above embodiment, the rubber heater 65 is provided in the predetermined area 81 and on the upper side of the upper plate 32. On the other hand, the rubber heater 65 may be provided below the upper surface portion 80B of the case. The rubber heater 65 may be provided on both the upper side of the upper plate 32 and the lower side of the upper surface portion 80B of the case.

上記実施形態において、温度センサ77のサーミスタ77Aは、ホルダ61に支持された検査チップ2の測定部293の高さと等しい高さに設けられた。温度センサ77のサーミスタ77Aは、ホルダ61に支持された検査チップ2の測定部293の高さとは、厳密に等しくなくてもよい。サーミスタ77Aは、測定部293の高さよりも高い位置に設けられてもよいし、測定部293の高さよりも低い位置に設けられてもよい。具体的には、測定部293の高さに対して±5mmの範囲内にサーミスタ77Aが設けられていればよい。ただし、検査チップ2の形状、材質、また光学測定時間の長さなどによっては、±5mmに限定されなくてもよい。望ましくは、測定部293の高さの温度に対して±1℃の範囲内に、サーミスタ77Aが設けられていると良い。上記のフィードバック制御は、P制御に限定されず、PI制御又はPID制御であってもよい。   In the above embodiment, the thermistor 77 </ b> A of the temperature sensor 77 is provided at a height equal to the height of the measurement unit 293 of the inspection chip 2 supported by the holder 61. The thermistor 77 </ b> A of the temperature sensor 77 may not be exactly equal to the height of the measurement unit 293 of the inspection chip 2 supported by the holder 61. The thermistor 77 </ b> A may be provided at a position higher than the height of the measurement unit 293, or may be provided at a position lower than the height of the measurement unit 293. Specifically, the thermistor 77 </ b> A may be provided within a range of ± 5 mm with respect to the height of the measurement unit 293. However, depending on the shape and material of the inspection chip 2, the length of the optical measurement time, etc., it may not be limited to ± 5 mm. Desirably, the thermistor 77A may be provided within a range of ± 1 ° C. with respect to the temperature at the height of the measuring unit 293. Said feedback control is not limited to P control, PI control or PID control may be sufficient.

上記実施形態において、CPU91は、ラバーヒータ65に通流させる電流のデューティー比をフィードバック制御によって決定し、ラバーヒータ65の温度を調整した。CPU91は、別のパラメータをフィードバック制御によって決定し、ラバーヒータ65の温度を調整してもよい。例えばCPU91は、ラバーヒータ65に通流させる電流をPAM制御によって調整してもよい。即ち、CPU91は、電流の大きさを切り替えてラバーヒータ65に通流させることによって、ラバーヒータ65の温度を調整してもよい。CPU91は、温度センサ77から取得した温度と第1目標温度との温度偏差に起動時ゲイン又は定常時ゲインを適用させ、ラバーヒータ65に通流させる電流の大きさを、フィードバック制御に基づいて決定してもよい。   In the above embodiment, the CPU 91 determines the duty ratio of the current to be passed through the rubber heater 65 by feedback control, and adjusts the temperature of the rubber heater 65. The CPU 91 may determine another parameter by feedback control and adjust the temperature of the rubber heater 65. For example, the CPU 91 may adjust the current passed through the rubber heater 65 by PAM control. That is, the CPU 91 may adjust the temperature of the rubber heater 65 by switching the magnitude of the current and allowing it to flow through the rubber heater 65. The CPU 91 applies a start-up gain or a steady-state gain to the temperature deviation between the temperature acquired from the temperature sensor 77 and the first target temperature, and determines the magnitude of the current passed through the rubber heater 65 based on feedback control. May be.

上記第2実施形態において、CPU91は、パラメータテーブル931を参照し、起動時回転数及び起動時ゲインを温度偏差に応じて変化させた。CPU91は、パラメータテーブル931を参照し、起動時回転数又は起動時ゲインの何れか一方を、温度偏差に応じて変化させてもよい。例えば、CPU91は、温度偏差に応じて起動時回転数を変化させた場合、起動時ゲインを、温度偏差に依らず一定の値としてもよい。一方、例えば、CPU91は、温度偏差に応じて起動時ゲインを変化させた場合、起動時回転数を、温度偏差に依らず一定の値としてもよい。   In the second embodiment, the CPU 91 refers to the parameter table 931 and changes the starting rotation speed and the starting gain in accordance with the temperature deviation. The CPU 91 may refer to the parameter table 931 and change either the starting rotation speed or the starting gain according to the temperature deviation. For example, when changing the rotational speed at startup according to the temperature deviation, the CPU 91 may set the startup gain to a constant value regardless of the temperature deviation. On the other hand, for example, when the startup gain is changed according to the temperature deviation, the CPU 91 may set the startup rotational speed to a constant value regardless of the temperature deviation.

上記のパラメータテーブル931において、チップ無回転数は、温度偏差が6度以上の場合、800rpmで一定であり、温度偏差が−6度未満の場合、1000rpmで一定であった。チップ無回転数は、温度偏差の絶対値が大きくなる程、大きい値としてもよい。即ち、チップ無回転数は、チップ有回転数と同様に、温度偏差の絶対値に比例してもよい。上記のパラメータテーブル931において、チップ有回転数は、温度偏差に比例した。チップ有回転数は、温度偏差が所定の値以上の場合か、又は、所定の値未満の場合、チップ無回転数の場合と同様に一定の値としてもよい。   In the parameter table 931, the non-rotation speed of the chip is constant at 800 rpm when the temperature deviation is 6 degrees or more, and constant at 1000 rpm when the temperature deviation is less than −6 degrees. The tip non-rotational speed may be set to a larger value as the absolute value of the temperature deviation increases. That is, the tip non-rotation speed may be proportional to the absolute value of the temperature deviation, similar to the tip rotation speed. In the parameter table 931, the chip rotation speed is proportional to the temperature deviation. The chip rotation speed may be a constant value as in the case of the chip non-rotation speed when the temperature deviation is equal to or greater than a predetermined value or less than the predetermined value.

上記実施形態において、所定領域81内に設けられたラバーヒータ65の代わりに、ペルチェ素子が設けられてもよい。ペルチェ素子は、所定領域81内を冷却してもよい。又、ラバーヒータ65とペルチェ素子との両方が所定領域81内に設けられてもよい。CPU91は、ラバーヒータ65とペルチェ素子とを使用することによって、所定領域81内の加熱又は冷却を行ってもよい。又、所定領域81内の温度が起動時範囲よりも大きい場合、CPU91は、ラバーヒータ65を発熱させずにペルチェ素子によって所定領域81内を冷却し、所定領域81内の空気を撹拌させてもよい。なおこの場合、CPU91は、S13又はS41の処理によって、フィードバック制御における目標温度を第1目標温度から第2目標温度に下げなくてもよい。又、ラバーヒータ65の代わりに、周知のヒータが設けられてもよい。なお、周知のヒータは、発熱線がむき出しであってもよい。   In the above embodiment, a Peltier element may be provided instead of the rubber heater 65 provided in the predetermined region 81. The Peltier element may cool the inside of the predetermined area 81. Further, both the rubber heater 65 and the Peltier element may be provided in the predetermined region 81. The CPU 91 may perform heating or cooling in the predetermined area 81 by using the rubber heater 65 and the Peltier element. When the temperature in the predetermined area 81 is higher than the startup range, the CPU 91 may cool the predetermined area 81 with the Peltier element without causing the rubber heater 65 to generate heat, and stir the air in the predetermined area 81. Good. In this case, the CPU 91 does not have to lower the target temperature in the feedback control from the first target temperature to the second target temperature by the process of S13 or S41. Further, a known heater may be provided in place of the rubber heater 65. The well-known heater may have a heating line exposed.

第2実施形態のS30の処理によって、温度センサ77によって検出された温度が起動時温度範囲外と判断した場合(S30:NO)、CPU91は、処理をS30に戻してもよい。即ち、CPU91は、S28の処理によって読み込んだ起動時回転数で主軸57を継続して回転させ、所定領域81内の空気を継続して攪拌してもよい。第2実施形態のS39の処理によって、温度センサ77によって検出された温度が定常時温度範囲外と判断した場合(S39:NO)、CPU91は、処理をS39に戻してもよい。即ち、CPU91は、S37の処理によって読み込んだ定常時回転数で主軸57を継続して回転させ、所定領域81内の空気を継続して攪拌してもよい。   When the temperature detected by the temperature sensor 77 is determined to be outside the startup temperature range by the process of S30 of the second embodiment (S30: NO), the CPU 91 may return the process to S30. That is, the CPU 91 may continuously rotate the main shaft 57 at the starting rotation speed read in the process of S28 and continuously agitate the air in the predetermined area 81. If the temperature detected by the temperature sensor 77 is determined to be outside the normal temperature range by the process of S39 of the second embodiment (S39: NO), the CPU 91 may return the process to S39. That is, the CPU 91 may continuously rotate the main shaft 57 at the normal rotation speed read in the process of S37 and continuously agitate the air in the predetermined area 81.

第2実施形態のS26の処理によって、ホルダ61に検査チップ2が装着されているか否かを判断する方法は変更できる。例えば、ホルダ61に図示外のスイッチが設けられてもよい。スイッチは、ホルダ61に検査チップ2が装着されていない状態でOFFし、ホルダ61に検査チップ2が装着された状態でONしてもよい。CPU91は、スイッチのON/OFFを検出することによって、ホルダ61に検査チップ2が装着されているか否かを判断してもよい。また例えば、ケース80の穴部80Dに赤外線を入射させ、穴部80Eから出力される赤外線をセンサによって検出してもよい。CPU91は、センサによって検出された赤外線の強度に応じて、ホルダ61に検査チップ2が装着されているか否かを判断してもよい。   By the process of S26 of the second embodiment, the method for determining whether or not the inspection chip 2 is mounted on the holder 61 can be changed. For example, the holder 61 may be provided with a switch (not shown). The switch may be turned off when the inspection chip 2 is not attached to the holder 61 and may be turned on when the inspection chip 2 is attached to the holder 61. The CPU 91 may determine whether or not the inspection chip 2 is attached to the holder 61 by detecting ON / OFF of the switch. Further, for example, infrared light may be incident on the hole 80D of the case 80, and the infrared light output from the hole 80E may be detected by a sensor. The CPU 91 may determine whether or not the inspection chip 2 is attached to the holder 61 according to the intensity of infrared rays detected by the sensor.

第2実施形態において、CPU91は、ホルダ61に検査チップ2が装着されているか否かに関わらず、温度偏差に応じた共通の回転数で主軸57を回転させてもよい。定常時回転数は、起動時回転数と同一でもよいし、起動時回転数より大きくてもよい。   In the second embodiment, the CPU 91 may rotate the main shaft 57 at a common rotational speed corresponding to the temperature deviation regardless of whether or not the inspection chip 2 is attached to the holder 61. The constant rotation speed may be the same as the startup rotation speed or may be larger than the startup rotation speed.

上記において、CPU91は、第1実施形態におけるS4の処理、又は、第2実施形態におけるS24の処理によって、フィードバック制御に基づいてデューティー比を決定した。CPU91は、第1実施形態におけるS17の処理、又は、第2実施形態におけるS45の処理によってフィードバック制御を終了させるまでの間、温度偏差に応じたデューティー比の電流をラバーヒータ65に通流させ、所定領域81内の温度を調節した。これに対し、CPU91は、フィードバック制御以外の方法でデューティー比を決定してもよい。具体的には、以下の通りである。   In the above, CPU91 determined duty ratio based on feedback control by the process of S4 in 1st Embodiment, or the process of S24 in 2nd Embodiment. The CPU 91 passes the current of the duty ratio according to the temperature deviation through the rubber heater 65 until the feedback control is terminated by the process of S17 in the first embodiment or the process of S45 in the second embodiment. The temperature in the predetermined area 81 was adjusted. On the other hand, the CPU 91 may determine the duty ratio by a method other than the feedback control. Specifically, it is as follows.

例えば、複数の温度偏差の夫々にデューティー比が対応付けられたデータが、フラッシュメモリ93に記憶されていてもよい。データの具体例として、例えば、温度偏差「+0.25度以上」に、デューティー比「0%」が対応付けられてもよい。温度偏差「±0.25度」に、デューティー比「10%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−0.25〜−0.75度」に、デューティー比「20%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−0.75〜−1.25度」に、デューティー比「30%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−1.25〜−1.75度」に、デューティー比「40%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−1.75〜−2.25度」に、デューティー比「50%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−2.25〜−2.75度」に、デューティー比「60%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−2.75〜−3.25度」に、デューティー比「70%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−3.25〜−3.75度」に、デューティー比「80%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−3.75〜−4.25度」に、デューティー比「90%」が対応付けられてもよい。温度偏差「−4.25度以下」に、デューティー比「100%」が対応付けられてもよい。   For example, data in which a duty ratio is associated with each of a plurality of temperature deviations may be stored in the flash memory 93. As a specific example of the data, for example, the duty ratio “0%” may be associated with the temperature deviation “+0.25 degrees or more”. The duty ratio “10%” may be associated with the temperature deviation “± 0.25 degrees”. The duty ratio “20%” may be associated with the temperature deviation “−0.25 to −0.75 degrees”. The duty ratio “30%” may be associated with the temperature deviation “−0.75 to −1.25 degrees”. The duty ratio “40%” may be associated with the temperature deviation “−1.25 to −1.75 degrees”. The duty ratio “50%” may be associated with the temperature deviation “−1.75 to −2.25 degrees”. The duty ratio “60%” may be associated with the temperature deviation “−2.25 to −2.75 degrees”. The duty ratio “70%” may be associated with the temperature deviation “−2.75 to −3.25 degrees”. The duty ratio “80%” may be associated with the temperature deviation “−3.25 to −3.75 degrees”. The duty ratio “90%” may be associated with the temperature deviation “−3.75 to −4.25 degrees”. The duty ratio “100%” may be associated with the temperature deviation “−4.25 degrees or less”.

CPU91は、第1実施形態におけるS7の処理、又は、第2実施形態におけるS30の処理によって、温度センサ77から取得した温度が起動時温度範囲外と判断した場合(S7:NO、又は、S30:NO)、取得した温度と第1目標温度との温度偏差を算出してもよい。CPU91は、算出した温度偏差に対応するデューティー比を、上記のデータに基づいて特定してもよい。CPU91は、特定したデューティー比の電流をラバーヒータ65に通流させることによって、所定領域81内の温度を調整してもよい。   When the CPU 91 determines that the temperature acquired from the temperature sensor 77 is out of the startup temperature range by the process of S7 in the first embodiment or the process of S30 in the second embodiment (S7: NO or S30: NO), a temperature deviation between the acquired temperature and the first target temperature may be calculated. The CPU 91 may specify a duty ratio corresponding to the calculated temperature deviation based on the above data. The CPU 91 may adjust the temperature in the predetermined area 81 by causing the current having the specified duty ratio to flow through the rubber heater 65.

CPU91は、第1実施形態におけるS12の処理によって、温度センサ77から取得した温度が定常時温度範囲外と判断した場合(S12:NO)、取得した温度と第1目標温度との温度偏差を算出してもよい。CPU91は、算出した温度偏差に対応するデューティー比を、上記のデータに基づいて特定してもよい。CPU91は、特定したデューティー比の電流をラバーヒータ65に通流させることによって、所定領域81内の温度を調整してもよい。   When the CPU 91 determines that the temperature acquired from the temperature sensor 77 is outside the steady-state temperature range by the process of S12 in the first embodiment (S12: NO), the CPU 91 calculates a temperature deviation between the acquired temperature and the first target temperature. May be. The CPU 91 may specify a duty ratio corresponding to the calculated temperature deviation based on the above data. The CPU 91 may adjust the temperature in the predetermined area 81 by causing the current having the specified duty ratio to flow through the rubber heater 65.

CPU91は、第2実施形態におけるS36の処理によって温度偏差を算出した後、算出した温度偏差に対応するデューティー比を、上記のデータに基づいて特定してもよい。CPU91は、特定したデューティー比の電流をラバーヒータ65に通流させることによって、所定領域81内の温度を調整してもよい。   After calculating the temperature deviation by the process of S36 in the second embodiment, the CPU 91 may specify the duty ratio corresponding to the calculated temperature deviation based on the above data. The CPU 91 may adjust the temperature in the predetermined area 81 by causing the current having the specified duty ratio to flow through the rubber heater 65.

CPU91は、第1実施形態におけるS14の処理、又は、第2実施形態におけるS42の処理によって検査処理を開始した後、温度センサ77から温度を取得してもよい。CPU91は、取得した温度と第1目標温度との温度偏差を算出してもよい。CPU91は、算出した温度偏差に対応するデューティー比を、上記のデータに基づいて特定してもよい。CPU91は、特定したデューティー比の電流をラバーヒータ65に通流させることによって、所定領域81内の温度を調整してもよい。   The CPU 91 may acquire the temperature from the temperature sensor 77 after starting the inspection process by the process of S14 in the first embodiment or the process of S42 in the second embodiment. The CPU 91 may calculate a temperature deviation between the acquired temperature and the first target temperature. The CPU 91 may specify a duty ratio corresponding to the calculated temperature deviation based on the above data. The CPU 91 may adjust the temperature in the predetermined area 81 by causing the current having the specified duty ratio to flow through the rubber heater 65.

主軸モータ35及びステッピングモータ51は本発明の「遠心機構」の一例である。支軸473は本発明の「揺動軸」の一例である。ラバーヒータ65は本発明の「温度調整機構」の一例である。S11、S34の処理を行うCPU91は本発明の「受付手段」の一例である。S12、S35の処理を行うCPU91は本発明の「第1判断手段」の一例である。定常時温度範囲は本発明の「第1範囲」の一例である。第1目標温度及び第2目標温度は本発明の「目標温度」の一例である。S4、S6、S24、S29の処理を行うCPU91は本発明の「制御手段」の一例である。起動時回転数は本発明の「第1回転数」の一例である。S5、S25の処理を行うCPU91は本発明の「第2判断手段」の一例である。起動時温度範囲は本発明の「第2範囲」の一例である。起動時ゲイン又は定常時ゲインは本発明の「パラメータ」の一例である。S26の処理を行うCPU91は本発明の「検出手段」の一例である。定常時回転数は本発明の「第2回転数」の一例である。S13、S41の処理を行うCPU91は本発明の「温度変更手段」の一例である。S11、S34の処理は本発明の「受付ステップ」の一例である。S12、S35の処理は本発明の「第1判断ステップ」の一例である。S4、S6、S24、S29の処理は本発明の「制御ステップ」の一例である。   The spindle motor 35 and the stepping motor 51 are examples of the “centrifugal mechanism” of the present invention. The support shaft 473 is an example of the “swing shaft” in the present invention. The rubber heater 65 is an example of the “temperature adjusting mechanism” in the present invention. The CPU 91 that performs the processes of S11 and S34 is an example of the “accepting means” in the present invention. The CPU 91 that performs the processes of S12 and S35 is an example of the “first determination unit” in the present invention. The constant temperature range is an example of the “first range” in the present invention. The first target temperature and the second target temperature are examples of the “target temperature” in the present invention. The CPU 91 that performs the processes of S4, S6, S24, and S29 is an example of the “control unit” in the present invention. The rotational speed at startup is an example of the “first rotational speed” in the present invention. The CPU 91 that performs the processes of S5 and S25 is an example of the “second determination unit” in the present invention. The startup temperature range is an example of the “second range” in the present invention. The start-up gain or the steady-state gain is an example of the “parameter” in the present invention. The CPU 91 that performs the process of S26 is an example of the “detection means” in the present invention. The constant rotational speed is an example of the “second rotational speed” in the present invention. The CPU 91 that performs the processes of S13 and S41 is an example of the “temperature changing means” in the present invention. The processing of S11 and S34 is an example of the “acceptance step” in the present invention. The processing of S12 and S35 is an example of the “first determination step” in the present invention. The processing of S4, S6, S24, and S29 is an example of the “control step” in the present invention.

1 :検査装置
2 :検査チップ
3 :検査システム
7 :測定部
33 :ターンテーブル
34 :角度変更機構
35 :主軸モータ
51 :ステッピングモータ
57 :主軸
61 :ホルダ
65 :ラバーヒータ
70 :測定光
71 :光源
72 :光センサ
77 :温度センサ
80 :ケース
81 :所定領域
90 :制御装置
91 :CPU
94 :操作部
293 :測定部
473 :支軸
931 :パラメータテーブル
A1 :垂直軸線
A2 :水平軸線
1: Inspection device 2: Inspection chip 3: Inspection system 7: Measuring unit 33: Turntable 34: Angle changing mechanism 35: Spindle motor 51: Stepping motor 57: Spindle 61: Holder 65: Rubber heater 70: Measuring light 71: Light source 72: Optical sensor 77: Temperature sensor 80: Case 81: Predetermined area 90: Control device 91: CPU
94: Operation unit 293: Measurement unit 473: Support shaft 931: Parameter table A1: Vertical axis A2: Horizontal axis

Claims (10)

検査チップを保持するホルダと、
主軸を中心として前記ホルダを回転させ、且つ、前記主軸と交差する方向に延びる揺動軸を中心として前記ホルダを回転させることにより、前記主軸の回転による遠心力の前記ホルダに対する方向を変化させる遠心機構と、
前記遠心機構によって前記主軸を中心として回転する前記ホルダの回転範囲を少なくとも含む所定領域内に配置された温度調整機構と、
前記所定領域内に配置された温度センサと、
検査開始の指示を受け付ける受付手段と、
前記温度センサによって検出された温度が、目標温度に対して許容される第1範囲内か否かを判断する第1判断手段と、
前記受付手段が前記検査開始の指示を受け付け、且つ、前記第1判断手段が前記第1範囲内と判断する前に、前記温度センサが検出した温度が、前記目標温度を含む範囲であって、前記第1範囲よりも広い第2範囲内か否かを判断する第2判断手段と、
前記第2判断手段によって前記第2範囲外であると判断された場合に、前記温度調整機構を発熱又は冷却させ、前記主軸を第1回転数で回転させる制御手段と
を備えたことを特徴とする検査装置。
A holder for holding an inspection chip;
Centrifugation that changes the direction of centrifugal force caused by rotation of the main shaft with respect to the holder by rotating the holder about the main shaft and rotating the holder about a swing shaft extending in a direction intersecting the main shaft. Mechanism,
A temperature adjusting mechanism disposed in a predetermined region including at least a rotation range of the holder that rotates around the main shaft by the centrifugal mechanism;
A temperature sensor disposed in the predetermined area;
A receiving means for receiving an instruction to start an inspection;
First determination means for determining whether or not a temperature detected by the temperature sensor is within a first range allowed for a target temperature;
The temperature detected by the temperature sensor before the reception unit receives the instruction to start the inspection and the first determination unit determines that the temperature is within the first range is a range including the target temperature, Second determination means for determining whether or not the second range is wider than the first range;
Control means for causing the temperature adjusting mechanism to generate heat or cool and rotate the spindle at a first rotational speed when the second determination means determines that the temperature is outside the second range. Inspection device to do.
前記制御手段は、
前記第2判断手段によって、前記第2範囲外であると判断された場合、相対的に発熱量が大きいパラメータに基づいて、前記温度調整機構を発熱させ、
前記第2判断手段によって、前記第2範囲内であると判断された場合、相対的に発熱量が小さいパラメータに基づいて、前記温度調整機構を発熱させることを特徴とする請求項に記載の検査装置。
The control means includes
When the second determination means determines that the temperature is outside the second range, the temperature adjustment mechanism is caused to generate heat based on a parameter having a relatively large amount of heat generation,
2. The temperature adjustment mechanism according to claim 1 , wherein when the second determination unit determines that the temperature is within the second range, the temperature adjustment mechanism generates heat based on a parameter having a relatively small heat generation amount. Inspection device.
前記制御手段は、前記温度センサによって検出された前記温度と前記目標温度との差に基づく前記第1回転数で前記主軸を回転させる制御、及び、前記差に基づいて前記パラメータを変化させ、前記主軸を回転させる制御の少なくとも一方を実行することを特徴とする請求項に記載の検査装置。 The control means controls the spindle to rotate at the first rotational speed based on the difference between the temperature detected by the temperature sensor and the target temperature, and changes the parameter based on the difference, The inspection apparatus according to claim 2 , wherein at least one of control for rotating the main shaft is executed. 前記制御手段は、前記差の絶対値に比例した前記第1回転数で前記主軸を回転させる制御、及び、前記差が大きい程、前記発熱量が相対的に大きい前記パラメータに変化させ、前記主軸を回転させる制御の少なくとも一方を実行することを特徴とする請求項に記載の検査装置。 The control means controls the spindle to rotate at the first rotational speed proportional to the absolute value of the difference, and changes the parameter so that the amount of heat generation is relatively larger as the difference is larger. The inspection apparatus according to claim 3 , wherein at least one of the control for rotating the motor is executed. 前記制御手段は、前記温度センサによって検出された前記温度が前記目標温度よりも高い場合、前記温度調整機構を発熱させず、前記主軸を回転させることを特徴とする請求項1からの何れかに記載の検査装置。 Wherein if the temperature detected by the temperature sensor is higher than the target temperature, the without heating temperature adjusting mechanism, any one of claims 1 to 4, characterized in that rotating the spindle The inspection device described in 1. 前記ホルダに前記検査チップが装着されているか否かを検出する検出手段を備え、
前記制御手段は、前記検出手段による検出結果に基づく前記第1回転数で前記主軸を回転させることを特徴とする請求項1からの何れかに記載の検査装置。
Detecting means for detecting whether or not the inspection chip is mounted on the holder;
Wherein, the inspection apparatus according to any one of claims 1-5, characterized in that rotating the main shaft at the first rotation speed based on a detection result of said detecting means.
前記制御手段は、前記第1判断手段により前記第1範囲内でないと判断された場合、前記第1回転数よりも小さい第2回転数で前記主軸を回転させることを特徴とする請求項1からの何れかに記載の検査装置。 The control means of claims 1 to the case where it is determined not to be the first within range by the first determination means, characterized in that rotating the main shaft at a second rotational speed lower than the first rotational speed 6. The inspection apparatus according to any one of 6 . 前記温度センサは、前記ホルダに装着された前記検査チップにおける測定部付近の高さと同じ高さに設けられたことを特徴とする請求項1からの何れかに記載の検査装置。 The temperature sensor, the inspection apparatus according to any one of claims 1 to 7, characterized in that provided at the same height as the height of the vicinity of the measurement portion in the test chip mounted in the holder. 前記第1判断手段により前記第1範囲内と判断された後、前記目標温度を下げて前記温度調整機構を発熱させる温度変更手段を備えたことを特徴とする請求項1からの何れかに記載の検査装置。 After it is determined that the first range by said first determination means, to any of claims 1 to 8, characterized in that it comprises a temperature changing means for heating said temperature adjusting mechanism is lowered the target temperature The inspection device described. 検査チップを保持するホルダと、主軸を中心として前記ホルダを回転させ、且つ、前記主軸と交差する方向に延びる揺動軸を中心として前記ホルダを回転させることにより、前記主軸の回転による遠心力の前記ホルダに対する方向を変化させる遠心機構と、前記遠心機構によって前記主軸を中心として回転する前記ホルダの回転範囲を少なくとも含む所定領域内に配置された温度調整機構と、前記所定領域内に配置された温度センサとを備えた検査装置のコンピュータに、
検査開始の指示を受け付ける受付ステップと、
前記温度センサによって検出された温度が、目標温度に対して許容される第1範囲内か否かを判断する第1判断ステップと、
前記受付ステップが前記検査開始の指示を受け付け、且つ、前記第1判断ステップが前記第1範囲内と判断する前に、前記温度センサが検出した温度が、前記目標温度を含む範囲であって、前記第1範囲よりも広い第2範囲内か否かを判断する第2判断ステップと、
前記第2判断ステップによって前記第2範囲外であると判断された場合に、前記温度調整機構を発熱又は冷却させ、前記主軸を第1回転数で回転させる制御ステップと
を実行させることを特徴とする検査プログラム。
By rotating the holder around the main axis and the holder holding the inspection chip, and rotating the holder around the swing axis extending in the direction intersecting the main axis, the centrifugal force due to the rotation of the main axis A centrifugal mechanism that changes a direction with respect to the holder; a temperature adjustment mechanism that is disposed in a predetermined region that includes at least a rotation range of the holder that rotates about the main axis by the centrifugal mechanism; and that is disposed in the predetermined region. In the computer of the inspection device equipped with a temperature sensor,
A reception step for receiving an instruction to start an inspection;
A first determination step of determining whether or not a temperature detected by the temperature sensor is within a first range allowed for a target temperature;
The reception step receives an instruction to start the inspection, and the temperature detected by the temperature sensor before the first determination step determines that it is within the first range, is a range including the target temperature, A second determination step of determining whether or not the second range is wider than the first range;
When it is determined by the second determination step that the temperature is outside the second range, the temperature adjustment mechanism generates or cools, and the control step of rotating the main shaft at a first rotational speed is executed. Inspection program.
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