JP6259902B2 - Polishing tool - Google Patents

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本発明は、研磨シートの製造方法及び研磨工具に関し、特に、凹形又は凸形の被研磨物の表面を研磨するときに使用する研磨シートの製造方法及び研磨工具に関する。   The present invention relates to a polishing sheet manufacturing method and a polishing tool, and more particularly to a polishing sheet manufacturing method and a polishing tool used when polishing the surface of a concave or convex object to be polished.

従来から、カメラ等の光学機器に用いられる球面レンズのような湾曲面を有するレンズの製造段階において、球面レンズの表面を研磨するために研磨工具が用いられている。研磨工具の表面には、被研磨物の曲面に対応する曲面を有する、発泡性ポリウレタン製の研磨シートが貼り付けられている。そして被研磨物の研磨時には、被研磨物と研磨シートとの間に研磨スラリーを供給しながら被研磨物と研磨工具とを相対的に回転及び揺動させることで被研磨物を研磨する(例えば、特許文献1)。   Conventionally, a polishing tool is used to polish the surface of a spherical lens in the manufacturing stage of a lens having a curved surface such as a spherical lens used in an optical apparatus such as a camera. A polishing sheet made of foamable polyurethane having a curved surface corresponding to the curved surface of the object to be polished is attached to the surface of the polishing tool. When polishing the object to be polished, the object to be polished is polished by relatively rotating and swinging the object to be polished and the polishing tool while supplying a polishing slurry between the object to be polished and the polishing sheet (for example, Patent Document 1).

また、特許文献1には、研磨シートの製造方法について記載されていないが、球面レンズを研磨するための研磨工具に用いられる研磨シートの製造方法としては、特許文献2及び3に記載されたものが知られている。   Further, Patent Document 1 does not describe a method for manufacturing an abrasive sheet, but the method for manufacturing an abrasive sheet used for a polishing tool for polishing a spherical lens is described in Patent Documents 2 and 3. It has been known.

特開2001−025950号公報JP 2001-025950 A 特開2001−162502号公報JP 2001-162502 A 特開2001−212743号公報JP 2001-212743 A

特許文献2には、花冠状のシートを準備し、シートの花弁片の側部同士を貼り付けることで平らなシートを立体形状の研磨シートとし、これを被研磨物の形状に対応する工具基体に貼り付けた研磨工具が記載されている。また、引用文献3にも同様に、円形のシートに切り込みを入れて立体的な形状とされた研磨シートを用いた研磨工具が記載されている。   In Patent Document 2, a corolla-shaped sheet is prepared, and a flat sheet is made into a three-dimensional polishing sheet by attaching side portions of the petal pieces of the sheet, and this is a tool base corresponding to the shape of the object to be polished. The polishing tool affixed to is described. Similarly, cited document 3 describes a polishing tool using a polishing sheet that is cut into a circular sheet to form a three-dimensional shape.

しかしながら、上述した特許文献2及び3に記載された研磨シートの製造方法では、平らな研磨シートに切り込みを入れて多数の花弁片のような片を形成し、これら片同士の側部同士を貼り合わせることで、半球状の研磨シートを形成しているので、研磨シートの研磨面には、片同士の接合部の盛り上がり、及び立体形成した際の研磨シートの皺が必ず存在する。そして研磨面に盛り上がり又は皺があると、研磨シートの片同士の間に隙間が形成されてしまい、その結果被研磨物に研磨斑が生じる、という問題があった。また、研磨シートの研磨面に盛り上がり又は皺があると研磨シートの片の間に隙間が形成されてしまい、研磨スラリーがその隙間を通って研磨シートと工具基体との間に侵入してしまう。そして研磨スラリーが研磨シートと工具基体との間に侵入すると工具基体と研磨シートとの間の接着力が弱まってしまい、研磨シートが工具基体から剥がれてしまう、という問題があった。   However, in the method for producing an abrasive sheet described in Patent Documents 2 and 3 described above, a flat abrasive sheet is cut to form pieces such as many petal pieces, and the sides of these pieces are pasted together. By combining them, a hemispherical polishing sheet is formed, so that the polishing surface of the polishing sheet always has a bulge of the joining portion between the pieces and wrinkles of the polishing sheet when three-dimensionally formed. If the polished surface is raised or wrinkled, there is a problem that a gap is formed between the pieces of the polishing sheet, and as a result, polishing spots are generated on the object to be polished. Further, if the polishing surface of the polishing sheet is raised or wrinkled, a gap is formed between the pieces of the polishing sheet, and the polishing slurry enters between the polishing sheet and the tool base through the gap. When the polishing slurry enters between the polishing sheet and the tool base, the adhesive force between the tool base and the polishing sheet is weakened, and the polishing sheet is peeled off from the tool base.

そこで本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、研磨面に片同士の盛り上がりや折り曲げによる皺が存在しない研磨シートの製造方法及び研磨シートを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a method for producing a polishing sheet and a polishing sheet in which the polishing surface does not have wrinkles due to swelling or bending between pieces. .

上述した課題を解決するために、本発明による研磨シートの製造方法は、曲面状の被研磨面を有する被研磨物を研磨するために用いられる、研磨工具用の研磨シートの製造方法であって、被研磨物の被研磨面に対応する形状を有する工具基体の表面に、湿式成膜法により発泡性ポリウレタン製の研磨シートを形成することを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, a method for producing a polishing sheet according to the present invention is a method for producing a polishing sheet for a polishing tool, which is used for polishing a workpiece having a curved surface to be polished. A polishing sheet made of foamable polyurethane is formed on a surface of a tool base having a shape corresponding to a surface to be polished of an object to be polished by a wet film forming method.

このように構成された本発明によれば、湿式成膜法により、工具基体の表面に、直接、発泡性ポリウレタン製の研磨シートを形成することができる。これにより、被研磨物の曲面状の被研磨面に適合する形状の研磨シートを形成することができる。そしてこのように形成された研磨シートの表面には、盛り上がりや皺が存在しないので、被研磨物への研磨斑を抑制することができる。   According to the present invention configured as described above, the foamed polyurethane polishing sheet can be directly formed on the surface of the tool base by the wet film forming method. Thereby, the polishing sheet of a shape suitable for the curved surface to be polished of the object to be polished can be formed. And since the surface of the polishing sheet formed in this way does not have bulges or wrinkles, it is possible to suppress polishing spots on the object to be polished.

また、本発明において、好ましくは、研磨シートは、工具基体の表面にポリウレタン樹脂溶液を塗布し、工具基体を所定の軸周りに回転させ、工具基体のポリウレタン樹脂溶液が塗布された表面を凝固浴に浸漬させ、工具基体を凝固浴から取り出し、凝固液を乾燥させることで形成されている。   In the present invention, it is preferable that the polishing sheet is formed by applying a polyurethane resin solution to the surface of the tool base, rotating the tool base around a predetermined axis, and setting the surface of the tool base to which the polyurethane resin solution is applied to the coagulation bath. And the tool base is taken out of the coagulation bath, and the coagulation liquid is dried.

また、上述した課題を解決するために、本発明による研磨工具は、曲面状の被研磨面を有する被研磨物を研磨するために用いられる研磨工具であって、工具基体の表面に形成された研磨シートを備え、この研磨シートは、湿式成膜法を用いて、被研磨物の被研磨面に対応する形状を有する工具基体の表面に形成されていることを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, a polishing tool according to the present invention is a polishing tool used for polishing an object having a curved surface to be polished, and is formed on the surface of a tool base. A polishing sheet is provided, and the polishing sheet is formed on the surface of the tool base having a shape corresponding to the surface to be polished of the object to be polished by using a wet film forming method.

このように構成された本発明によれば、湿式成膜法により、工具基体の表面に発泡性ポリウレタン製の研磨シートを形成することができる。これにより、被研磨物の曲面状の被研磨面に適合する形状の研磨シートを形成することができる。そしてこのような研磨シートの表面には、盛り上がりや皺が存在しないので、被研磨物への研磨斑を抑制することができる。   According to the present invention thus configured, an abrasive sheet made of foamable polyurethane can be formed on the surface of the tool base by a wet film forming method. Thereby, the polishing sheet of a shape suitable for the curved surface to be polished of the object to be polished can be formed. And since there is no swell or wrinkles on the surface of such a polishing sheet, polishing spots on the object to be polished can be suppressed.

以上のように、本発明によれば、研磨面に片同士の盛り上がりや折り曲げによる皺が存在しない研磨シートの製造方法及び研磨シートを提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a polishing sheet manufacturing method and a polishing sheet in which the polishing surface does not have wrinkles between pieces or wrinkles due to bending.

本発明の実施形態による研磨シートを有する研磨工具を示す側断面である。3 is a side cross-sectional view showing a polishing tool having a polishing sheet according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態による研磨シートの製造方法の各工程を示す図である。It is a figure which shows each process of the manufacturing method of the abrasive sheet by embodiment of this invention. 本発明の実施形態の変形例による研磨シートを有する研磨工具を示す側断面である。It is a side cross section which shows the polishing tool which has the polishing sheet by the modification of embodiment of this invention. 本発明の実施形態による研磨シートの製造方法の各工程を示す図である。It is a figure which shows each process of the manufacturing method of the abrasive sheet by embodiment of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態による研磨シート及びその製造方法について説明する。図1は、本発明の実施形態による研磨シートを有する研磨工具を示す側断面図である。   Hereinafter, a polishing sheet and a method for manufacturing the same according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side sectional view showing a polishing tool having an abrasive sheet according to an embodiment of the present invention.

まず、図1に示すように、研磨シート1を有する研磨工具3は、被研磨物として凹レンズ5を研磨するときに用いられる。   First, as shown in FIG. 1, a polishing tool 3 having a polishing sheet 1 is used when polishing a concave lens 5 as an object to be polished.

研磨工具3は、凹レンズ5の凹状の被研磨面7の形状に、相補的に対応する凸状表面を有する工具基体9を備えている。工具基体9の凸状表面には、発泡性ポリウレタン製の研磨シート1が形成されている。   The polishing tool 3 includes a tool base 9 having a convex surface that complementarily corresponds to the shape of the concave polished surface 7 of the concave lens 5. A polishing sheet 1 made of foamable polyurethane is formed on the convex surface of the tool base 9.

研磨時には、研磨工具3の工具基体9の凸状表面を凹レンズ5の被研磨面7によって形成される凹み内に押し込み、凹レンズ5と、研磨工具3との間に研磨スラリーを供給しながら両者を相対的に回転又は揺動させることで被研磨面7を研磨する。   At the time of polishing, the convex surface of the tool base 9 of the polishing tool 3 is pushed into a recess formed by the surface 7 to be polished of the concave lens 5, and both are supplied while supplying polishing slurry between the concave lens 5 and the polishing tool 3. The surface 7 to be polished is polished by rotating or swinging relatively.

研磨シート1は、湿式成膜法により工具基体9の凸状表面に形成された発泡性ポリウレタン製のシートである。以下、研磨シート1の製造方法について詳述する。   The polishing sheet 1 is a foamed polyurethane sheet formed on the convex surface of the tool base 9 by a wet film forming method. Hereinafter, the manufacturing method of the abrasive sheet 1 will be described in detail.

図2は、研磨シートの製造方法の各工程を示す図である。
図2(a)に示すように、研磨シート1を製造する場合、先ず、被研磨物である凹レンズ5の被研磨面7と相補的に対応する形状の凸状表面を有する工具基体9を準備する。次いで、図2(b)に示すように、工具基体9の凸状表面に、ジメチルホルムアミド(DMF)を含むポリウレタン樹脂溶液を塗布する。
FIG. 2 is a diagram showing each step of the method for manufacturing an abrasive sheet.
As shown in FIG. 2 (a), when the polishing sheet 1 is manufactured, first, a tool base 9 having a convex surface having a shape corresponding to the polished surface 7 of the concave lens 5 that is an object to be polished is prepared. To do. Next, as shown in FIG. 2B, a polyurethane resin solution containing dimethylformamide (DMF) is applied to the convex surface of the tool base 9.

ポリウレタン樹脂溶液を塗布する工程では、粘度が5〜20Pa・sのポリウレタン樹脂溶液を、凸状表面全面にわたって厚さ1〜2mm程度に塗布する。このとき、例えば工具基体9をポリウレタン樹脂溶液中に浸漬させ、引き上げた後、余分な樹脂溶液をヘラで掻き取ることで樹脂の厚みを均一にするディップコーティングが好ましい。また、樹脂の厚みを均一にするためには、スリットダイコーティングやナイフコーティング等の塗膜方法を用いてもよい。   In the step of applying the polyurethane resin solution, a polyurethane resin solution having a viscosity of 5 to 20 Pa · s is applied over the entire convex surface to a thickness of about 1 to 2 mm. At this time, for example, dip coating is preferable in which the tool base 9 is immersed in a polyurethane resin solution and pulled up, and then the excess resin solution is scraped off with a spatula so that the thickness of the resin becomes uniform. In order to make the thickness of the resin uniform, a coating method such as slit die coating or knife coating may be used.

次いで、凸状表面を下に向けながら、ポリウレタン樹脂溶液が塗布された工具基体9を軸周りに回転させる。工具基体9の回転速度は、遠心力によって未硬化樹脂が飛散しない程度に設定されることが好ましく、上述した粘度の樹脂を用いた場合、5〜200rpm程度であることが好ましい。これにより、ポリウレタン樹脂溶液が凸状表面の頂部に溜まって頂部の膜が厚くなるのを防止することができる。   Next, the tool base 9 coated with the polyurethane resin solution is rotated around the axis while the convex surface is directed downward. The rotational speed of the tool base 9 is preferably set to such an extent that uncured resin is not scattered by centrifugal force. When the resin having the above-described viscosity is used, it is preferably about 5 to 200 rpm. Thereby, it can prevent that a polyurethane resin solution accumulates on the top part of a convex-shaped surface, and the film | membrane of a top part becomes thick.

次いで、図2(c)に示すように、ポリウレタン樹脂溶液が塗布された工具基体9を、水を主成分とする凝固液に浸漬させる。ポリウレタン樹脂溶液が塗布された工具基体9を凝固液に浸漬させると、先ず、凝固液と接触している、ポリウレタン樹脂溶液の表面が凝固してスキン層を形成する。そしてスキン層が形成されると、DMFの浸透圧によりスキン層の隙間を通して樹脂溶液中のDMFが凝固液中に拡散する。これとほぼ同時に、スキン層の隙間を通して凝固液が樹脂溶液中に流れ込み、スキン層付近から徐々に樹脂溶液の凝固が始まる。そして樹脂溶液中においてスキン層が疎水場を形成するため、凝固液はスキン層から離れる方向に集まりスキン層から離れた位置での樹脂密度が低くなる一方で、スキン層付近の樹脂密度が高くなる。これにより、樹脂内に、スキン層に対し略垂直に延びる涙形の空間が形成される。そしてポリウレタン樹脂溶液が塗布された凸状表面を凝固液に浸漬させ、ポリウレタン樹脂溶液内のDMFが完全に凝固液中に抜けた後、工具基体9を凝固液から引き上げる。次いで、乾燥機を用いて凝固液を乾燥させる。そして樹脂の空間内の凝固液が蒸発すると、樹脂内に多数の涙形の気泡が形成される。   Next, as shown in FIG. 2 (c), the tool base 9 to which the polyurethane resin solution is applied is immersed in a coagulating liquid containing water as a main component. When the tool base 9 coated with the polyurethane resin solution is immersed in the coagulating liquid, first, the surface of the polyurethane resin solution that is in contact with the coagulating liquid is coagulated to form a skin layer. When the skin layer is formed, DMF in the resin solution diffuses into the coagulation liquid through the gap between the skin layers due to the osmotic pressure of DMF. At substantially the same time, the coagulation liquid flows into the resin solution through the gaps in the skin layer, and the coagulation of the resin solution starts gradually from the vicinity of the skin layer. And since the skin layer forms a hydrophobic field in the resin solution, the coagulating liquid gathers in the direction away from the skin layer, and the resin density at the position away from the skin layer decreases, while the resin density near the skin layer increases. . Thereby, a teardrop-shaped space extending substantially perpendicular to the skin layer is formed in the resin. Then, the convex surface coated with the polyurethane resin solution is immersed in the coagulation liquid, and after the DMF in the polyurethane resin solution is completely removed into the coagulation liquid, the tool base 9 is pulled up from the coagulation liquid. Next, the coagulating liquid is dried using a dryer. When the coagulating liquid in the resin space evaporates, many tear-shaped bubbles are formed in the resin.

以上の工程により、図2(d)に示すように、工具基体9の凸状表面に、一様な厚みを有し、且つ内部に涙形の気泡を有するシート状の発泡性ポリウレタン樹脂層を形成することができる。そしてこのように湿式成膜法を用いて形成された研磨シート1は、継ぎ目、盛り上がり、皺等を有しておらず、実質的に均一な厚みを有している。   Through the above steps, as shown in FIG. 2 (d), a sheet-like foaming polyurethane resin layer having a uniform thickness on the convex surface of the tool base 9 and having tear-like bubbles inside is formed. Can be formed. And the polishing sheet 1 formed by using the wet film forming method in this way does not have seams, bulges, wrinkles, etc., and has a substantially uniform thickness.

そしてこのような均一な厚みを有する研磨シート1を用いることにより、凹レンズ5の被研磨面7への研磨斑を抑制することができる。また、研磨シート1は、立体形状を有する一枚のシートとして形成されているので、研磨スラリーが研磨シート1を通過して研磨シート1と工具基体9の凸状表面との間に入り込むのを防止することができる。   By using the polishing sheet 1 having such a uniform thickness, it is possible to suppress polishing spots on the polished surface 7 of the concave lens 5. Further, since the polishing sheet 1 is formed as a single sheet having a three-dimensional shape, the polishing slurry passes through the polishing sheet 1 and enters between the polishing sheet 1 and the convex surface of the tool base 9. Can be prevented.

図3は、上述した実施形態の変形例を示す。変形例では、被研磨物として凸レンズ11を用いる。   FIG. 3 shows a modification of the above-described embodiment. In the modification, the convex lens 11 is used as an object to be polished.

凸レンズ11の被研磨面13を研磨するための研磨工具15は、凸状の被研磨面13に相補的に対応する凹状表面を有する工具基体17と、工具基体17の凹状表面上に形成された研磨シート19とを有している。研磨シート19は、上述した研磨シート1と同様に、均一の厚さを有する発泡性ポリウレタン樹脂によって形成されている。   A polishing tool 15 for polishing the polishing target surface 13 of the convex lens 11 is formed on a tool base 17 having a concave surface corresponding to the convex polishing target surface 13 in a complementary manner, and a concave surface of the tool base 17. And a polishing sheet 19. The polishing sheet 19 is formed of a foamable polyurethane resin having a uniform thickness, similar to the polishing sheet 1 described above.

図4は、変形例による研磨シートの製造方法の各工程を示す図である。
図4(a)に示すように、研磨シート19を製造する場合、先ず、被研磨物である凸レンズ11の被研磨面13と相補的に対応する形状の凹状表面を有する工具基体17を準備する。次いで、図4(b)に示すように、工具基体17の凹状表面に、DMFを含むポリウレタン樹脂溶液を塗布する。
FIG. 4 is a diagram illustrating each step of a method for manufacturing an abrasive sheet according to a modification.
As shown in FIG. 4A, when the polishing sheet 19 is manufactured, first, a tool base 17 having a concave surface having a shape that complementarily corresponds to the surface to be polished 13 of the convex lens 11 that is an object to be polished is prepared. . Next, as shown in FIG. 4B, a polyurethane resin solution containing DMF is applied to the concave surface of the tool base 17.

次いで、凹状表面を上に向けながら、ポリウレタン樹脂溶液が塗布された工具基体17を軸周りに回転させる。次いで、図4(c)に示すように、ポリウレタン樹脂溶液が塗布された工具基体17を、凝固液に浸漬させる。これにより、樹脂の表面にスキン層が形成され、樹脂内部には、スキン層に対し略垂直に延びる涙形の気泡が形成される。そして樹脂溶液内のDMFが抜けた後、工具基体17を凝固液から引き上げ、凝固液を乾燥させる。   Next, the tool base 17 coated with the polyurethane resin solution is rotated around the axis while the concave surface is directed upward. Next, as shown in FIG. 4C, the tool base 17 coated with the polyurethane resin solution is immersed in the coagulation liquid. As a result, a skin layer is formed on the surface of the resin, and tear-shaped bubbles extending substantially perpendicular to the skin layer are formed inside the resin. Then, after the DMF in the resin solution is removed, the tool base 17 is pulled up from the coagulating liquid, and the coagulating liquid is dried.

以上の工程により、図4(d)に示すように、工具基体17の凹状表面に、一様な厚みを有し、且つ内部に涙形の気泡を有するシート状の発泡性ポリウレタン樹脂層を形成することができる。そしてこのように湿式成膜法を用いて形成された研磨シート19も、研磨シート1と同様に、継ぎ目、盛り上がり、皺等を有しておらず、実質的に均一な厚みを有している。   Through the above steps, as shown in FIG. 4 (d), a sheet-like foaming polyurethane resin layer having a uniform thickness and having tear-shaped bubbles inside is formed on the concave surface of the tool base 17. can do. And the polishing sheet 19 formed by using the wet film forming method as described above does not have seams, bulges, wrinkles, etc., and has a substantially uniform thickness, similarly to the polishing sheet 1. .

本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、上述の実施形態の構成は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and the configuration of the above-described embodiment can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention.

上述の実施形態では、凹レンズ及び凸レンズを被研磨物としたが、被研磨物としては、任意の軸周りに回転させた立体形状を有していればどのようなものでもよい。   In the above-described embodiment, the concave lens and the convex lens are objects to be polished, but the object to be polished may be any object as long as it has a three-dimensional shape rotated around an arbitrary axis.

1,19 研磨シート
3,15 研磨工具
5,13 被研磨物
9,17 工具基体
1,19 Polishing sheet 3,15 Polishing tool 5,13 Polishing object 9,17 Tool base

Claims (1)

曲面状の被研磨面を有する被研磨物を研磨するために用いられる研磨工具であって、
工具基体の表面に形成された研磨シートを備え、
この研磨シートは、前記被研磨物の被研磨面に対応する形状を有する前記工具基体の表面に形成され、継ぎ目、盛り上がり、および皺を有しておらず、均一な厚みを有している研磨シートであり、該研磨シート内部には、研磨シートの研磨面から垂直に延びる涙形の気泡が形成されている、研磨工具。
A polishing tool used for polishing an object to be polished having a curved surface to be polished,
Comprising an abrasive sheet formed on the surface of the tool substrate;
The polishing sheet is formed on the surface of the tool base having a shape corresponding to the surface to be polished of the object to be polished , and has no seam, bulge, and wrinkle, and has a uniform thickness. A polishing tool, which is a sheet, and in the polishing sheet, tear-shaped bubbles extending perpendicularly from the polishing surface of the polishing sheet are formed.
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