JP6259825B2 - 補償光学システムの調整方法、補償光学システム、及び補償光学システム用プログラムを記憶する記録媒体 - Google Patents
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Description
(1)空間光変調器への制御信号の大きさと、波面センサによる計測信号の大きさとの対応関係
(2)空間光変調器における制御点の位置と、波面センサにおける計測点の位置との対応関係
図1は、本実施形態に係る補償光学システム10の構成を概略的に示す図である。補償光学システム10は、例えば眼科検査装置、レーザ加工装置、顕微鏡装置、または補償光学装置などに組み込まれる。この補償光学システム10は、空間光変調器(Spatial Light Modulator;SLM)11、波面センサ12、制御部13、ビームスプリッタ14、リレーレンズ15及び16、並びに制御回路部17を備えている。
センサ12に入射する。
中心とレンズ124の中心とが完全に一致すると(図11(c))、図11(f)に示されるように、他の3枚のレンズ124によって形成される集光スポットPが、消滅するか或いは極めて微弱なものとなる。一方、一枚のレンズ124では、集光スポットPが全集光点像として形成される。
上述した実施形態では、位相パターンPAを表示した状態で光強度分布データDAを取得し(ステップS13)、位相パターンPBを表示した状態で光強度分布データDBを取得したのち(ステップS15)、これらの光強度分布データDA,DBから算出される特徴量VA1〜VA4と特徴量VB1〜VB4との差分ΔV1〜ΔV4を求めている。しかしながら、特徴量VA1〜VA4のみに基づいてキャリブレーションを行うことも可能である。
上記実施形態および第1変形例では、特徴量の算出の際、領域L0に隣接する領域L1〜L4について特徴量VA1〜VA4及び特徴量VB1〜VB4を算出し、これらの特徴量に基づいてキャリブレーションを行う。しかしながら、領域L0についての特徴量に基づいてキャリブレーションを行ってもよい。
上記実施形態および各変形例では、図20に示されたステップS18において変調面11aと波面センサ12との対応関係を調整する際、位相パターンPAの第1の領域B1を行方向(又は列方向)に一画素だけ移動させている。しかしながら、ステップS18における第1の領域B1の移動量は一画素に限られない。例えば、値Vx及びVyの大きさに応じて、第1の領域B1の移動量を変化させてもよい。一例としては、値Vxが所定値よりも小さいときには一回当たりの第1の領域B1の移動量を一画素とし、値Vxが所定値よりも大きいときには、一回当たりの第1の領域B1の移動量を2画素や3画素などとすることができる。なお、前述した第2変形例にこの方法を適用する場合、差分ΔV0の大きさに応じて、第1の領域B1の移動量を決定することができる。
上記実施形態および各変形例では、波面部分A4(図7を参照)の大きさが一つのレンズ124の径と一致するように、第1の領域B1の大きさを設定している(数式(5)を参照)。しかしながら、第1の領域B1の大きさはこれに限られず、以下に示すような種々の大きさに設定されてもよい。
上記実施形態および各変形例では、図20に示されたステップS12において、少なくとも一方向に線形性を有する第1の位相パターンを第1の領域B1に表示し、空間的に非線形な第2の位相パターンを第2の領域B2に表示している。しかしながら、少なくとも一方向に線形性を有する位相パターンを第2の領域B2に表示し、空間的に非線形な位相パターンを第1の領域B1に表示した場合であっても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、この場合、前述した数式(2)は、次のように書き換えられる。
上記実施形態および各変形例では、変調面11aにおいて第1の領域B1が一つのみ設定された場合を説明しているが、第1の領域B1は複数箇所設定されてもよい。これにより、複数の第1の領域B1のそれぞれに関して算出された特徴量に基づいて各第1の領域B1と波面センサ12との位置ずれを調べたのち、これらの位置ずれを統計的に処理し、その結果に基づいて、変調面11aと波面センサ12との対応関係をより精度良く調整することができる。
上記実施形態および各変形例では、第1の領域B1(第5変形例では第2の領域B2)に表示される少なくとも一方向に線形性を有する第1の位相パターンの例として、定数a(若しくはa’)で表される略均一な分布を例示した。しかしながら、第1の位相パターンは、少なくとも一方向に傾斜した(線形的に変化する)位相分布であってもよい。このような位相パターンを含むキャリブレーション用の特殊な位相パターンPAは、次の数式(18)により表される。
第1の領域B1(第5変形例では第2の領域B2)に表示される第1の位相パターンは、図30に示されるような、第1の方向(例えば行方向)における位相分布がシリンドリカルレンズ効果を有し、第2の方向(例えば列方向)において位相値が略均一であるような位相分布であってもよい。このような位相分布を含むキャリブレーション用の特殊な位相パターンPAは、次の数式(19)により表される。
第1の領域B1(第5変形例では第2の領域B2)に表示される第1の位相パターンは、図31に示されるような、第1の方向(例えば行方向)における位相分布が回折格子を構成し、第2の方向(例えば列方向)において位相値が略均一であるような位相分布であってもよい。図31に示される第1の位相パターンを含む位相パターンPAが変調面11aに表示されると、波面センサ12では、行方向に分離される複数の集光スポットPが形成される。従って、この位相パターンPAを用いて、列方向のキャリブレーションを行うことができる。なお、行方向のキャリブレーションを行う際には、上記第1の方向を列方向とし、上記第2の方向を行方向とした第1の位相パターンを含む位相パターンPAを、変調面11aに表示することができる。
第1の領域B1(第5変形例では第2の領域B2)に表示される第1の位相パターンは、上記実施形態および第7〜9変形例に示された位相分布を互いに重ね合わせた合成パターンを含んでもよい。図32は、そのような重ね合わせによって得られる合成パターンの例を示す図である。図32(a)に示される位相パターンは図30に示されたものであり、図32(b)に示される位相パターンは、図28に示された位相パターンを90°回転させたものである。そして、図32(c)に示される位相パターンは、これらを重ね合わせた合成パターンである。図32(c)に示される位相パターンは第1の方向における位相分布が2次関数を有し、第2の方向における位相分布が線形関数を有する位相分布の位相パターンである。図32(c)に示された合成パターンを含む位相パターンPAが変調面11aに表示されると、波面センサ12では、行方向に拡散し、列方向に集束された集光スポットPが形成される。従って、この位相パターンPAを用いて、列方向のキャリブレーションを行うことができる。なお、行方向のキャリブレーションを行う際には、第1の方向を列方向とし、第2の方向を行方向とした上記合成パターンを第1の位相パターンとして含む位相パターンPAを、変調面11aに表示することができる。
上記実施形態および各変形例では、第2の領域B2(第5変形例では第1の領域B1)に表示される空間的に非線形な第2の位相パターンの例として、ランダム分布(図12)及びデフォーカス分布(図13)を例示した。第2の位相パターンはこれらに限られず、明瞭な集光スポットPが形成されないような位相分布を有していればよい。このような位相分布としては、例えばFresnel Zone Plate(FZP)型の位相パターンが挙げられる。FZP型位相パターンは、入射された略均一な位相値を有する光像Laを集光或いは発散させる作用を有する。従って、FZP型位相パターンにより集光或いは発散された光像Laがレンズ124に入射すると、集光スポットPの光軸方向の位置が、レンズ124の焦点面(すなわちイメージセンサ122の表面)からずれる。このため、イメージセンサ122の表面では、ぼけた点像が形成される。
上記実施形態および各変形例では、波面センサ12のレンズアレイ120として、図3に示されたように、複数のレンズ124が二次元格子状に配列された形態を例示している。しかしながら、波面センサ12のレンズアレイはこのような形態に限られない。例えば、図33に示されるように、レンズアレイ120は、正六角形の複数のレンズ128が隙間無く並んだハニカム構造を有していてもよい。なお、この場合、第1の領域B1は六角形に設定されてもよい。また、図21に示された領域L0等や特徴量計算領域R0等は、図34に示されるように、全て六角形に設定されてもよい。更に、図20のステップS18において算出された値Vx及びVyに相当する値は、領域L0を挟んで対向する領域(具体的には、領域L1及びL2、領域L3及びL4、並びに領域L5及びL6)において算出される特徴量から求められる。
上記実施形態および各変形例では、第1の領域B1に対応する波面部分A4(図10を参照)の大きさが、レンズ124の径のn1倍(但し、n1は自然数)であるとしている。しかしながら、n1は自然数ではない実数(例えば0.8や1.2など)であってもよい。ここで、n1がそのような値をとる場合における、第1の領域B1の大きさとキャリブレーション精度との関係について説明する。図35は、図7の波面センサ12付近を拡大して示す図である。図35(a)は、第1の領域B1に対応する波面部分A4の幅が一つのレンズ124の径よりも若干大きい場合を示しており、図35(b)は、波面部分A4の幅が一つのレンズ124の径よりも若干小さい場合を示している。
上記実施形態では、図20に示されたステップS18において位相パターンPAの第1の領域B1を一画素ずつ移動させながら、ステップS12〜S18を繰り返し行っているが、次のような形態も可能である。すなわち、キャリブレーションを行う前に、ステップS12〜S18を行うことにより、複数の(例えば、第1の領域B1を構成する画素数と同じ数の)値Vx及びVyの組を予め取得しておく。そして、キャリブレーション時には、ステップS12〜S18(値Vx及びVyの算出まで)を一回のみ行い、得られた値Vx及びVyと、予め取得しておいた複数の値Vx及びVyの組とを比較する。このとき、例えば得られた値Vx及びVyと予め取得しておいた複数の値Vx及びVyの組との類似性の度合い(相関係数)を算出してもよい。そして、得られた値Vx及びVyに最も近い値Vx及びVyの組が算出された際の第1の領域B1の位置に基づいて、変調面11aと波面センサ12との対応関係を調整する。これにより、図20に示されたステップS12〜S18を繰り返すことなく、キャリブレーションを短時間で行うことができる。なお、値Vx及びVyの組に代えて、予め取得しておいた複数の光強度分布データDAや特徴量を比較対象としてもよい。
上記実施形態および各変形例において、第1の領域B1と、該第1の領域B1に対応するレンズ124とのずれ幅の最大値は、第1の領域B1の一辺の画素数wの±1/2倍である。従って、第1の領域B1と、該第1の領域B1に対応するレンズ124との位置関係の組み合わせの数はw×w通りである。そして、そのw×w通りの位置関係のうち、第1の領域B1の位置とレンズ124の位置とが完全に一致するのは一通りだけであり、他の(w×w−1)通りの場合、第1の領域B1は、レンズ124に対して行方向若しくは列方向、又はその双方に、各位置関係毎に固有のずれ量を有している。
Claims (9)
- 変調面に入射した光像の位相を空間的に変調する空間光変調器と、複数のレンズが二次元状に配列されたレンズアレイ、並びに前記レンズアレイによって形成された集光スポットを含む光強度分布を検出する光検出素子を有しており前記空間光変調器から変調後の前記光像を受ける波面センサとを備え、前記光強度分布から得られる前記光像の波面形状に基づいて前記空間光変調器に表示される位相パターンを制御することにより波面歪みを補償する補償光学システムにおいて、前記変調面と前記波面センサとの対応関係を調整する方法であって、
前記複数のレンズのうちの一若しくは互いに隣接する二以上のレンズに対応させようとする前記変調面上の第1の領域に、少なくとも一方向に線形性を有する位相パターン及び空間的に非線形な位相パターンのうち一方を表示させ、前記第1の領域を囲む第2の領域に前記少なくとも一方向に線形性を有する位相パターン及び前記空間的に非線形な位相パターンのうち他方を表示させた状態で、前記光検出素子により前記光強度分布を取得する第1の光強度分布取得ステップと、
前記第1の光強度分布取得ステップにおいて得られた前記光強度分布に含まれる前記集光スポットの明瞭さに基づいて、前記変調面と前記波面センサとの対応関係を調整する調整ステップと、
を備える補償光学システムの調整方法。 - 空間的に非線形な位相パターンを前記第1及び第2の領域に表示させた状態で、前記光検出素子により前記光強度分布を取得する第2の光強度分布取得ステップと、
前記第1の光強度分布取得ステップにおいて得られた前記光強度分布に含まれる前記集光スポットの明瞭さに関する数値と、前記第2の光強度分布取得ステップにおいて得られた前記光強度分布に含まれる前記集光スポットの明瞭さに関する数値との差分を算出する差分算出ステップと、
を更に備え、
前記調整ステップの際に、前記第1の光強度分布取得ステップにおいて得られた前記光強度分布に含まれる前記集光スポットの明瞭さに代えて、前記差分算出ステップにおいて得られた前記差分に基づいて前記変調面と前記波面センサとの対応関係を調整する請求項1に記載の補償光学システムの調整方法。 - 前記調整ステップにおける前記変調面と前記波面センサとの対応関係の調整とは、波面歪み補償用の前記位相パターンを表示する際に前記変調面上に想定される位置座標と前記波面センサとの相対位置関係の調整である請求項1または2に記載の補償光学システムの調整方法。
- 前記調整ステップにおける前記変調面と前記波面センサとの対応関係の調整とは、前記波面センサの取り付け位置と、前記空間光変調器の取り付け位置との相対関係の調整である請求項1または2に記載の補償光学システムの調整方法。
- 前記複数のレンズの配列方向における前記第1の領域の幅が、前記複数のレンズの配列ピッチの(n1/M)倍(但し、n1は自然数であり、Mは前記変調面と前記レンズアレイとの間の光学系の結像倍率)である請求項1〜4のいずれか一項に記載の補償光学システムの調整方法。
- 前記空間的に非線形な位相パターンが、位相の大きさの分布が不規則であるランダム分布、および前記集光スポットを拡径するデフォーカス分布のうち少なくとも一つを含む請求項1〜5のいずれか一項に記載の補償光学システムの調整方法。
- 前記少なくとも一方向に線形性を有する位相パターンが、略均一な位相分布、少なくとも一方向に傾斜した位相分布、第1の方向においてシリンドリカルレンズ効果を有し、該第1の方向と交差する第2の方向において略均一である位相分布、及び、第1の方向において回折格子を構成し、該第1の方向と交差する第2の方向において略均一である位相分布のうち少なくとも一つを含む請求項1〜6のいずれか一項に記載の補償光学システムの調整方法。
- 変調面に入射した光像の位相を空間的に変調する空間光変調器と、
複数のレンズが二次元状に配列されたレンズアレイ、並びに前記レンズアレイによって形成された集光スポットを含む光強度分布を検出する光検出素子を有しており前記空間光変調器から変調後の前記光像を受ける波面センサと、
前記光強度分布から得られる前記光像の波面形状に基づいて前記空間光変調器に表示される位相パターンを制御することにより波面歪みを補償する制御部と、
を備え、
前記制御部が、前記複数のレンズのうちの一若しくは互いに隣接する二以上のレンズに対応させようとする前記変調面上の第1の領域に、少なくとも一方向に線形性を有する位相パターン及び空間的に非線形な位相パターンのうち一方を表示させ、前記第1の領域を囲む第2の領域に前記少なくとも一方向に線形性を有する位相パターン及び前記空間的に非線形な位相パターンのうち他方を表示させた状態で、前記光検出素子により前記光強度分布を取得し、該光強度分布に含まれる前記集光スポットの明瞭さに基づいて前記変調面と前記波面センサとの対応関係を調整する補償光学システム。 - 変調面に入射した光像の位相を空間的に変調する空間光変調器と、複数のレンズが二次元状に配列されたレンズアレイ、並びに前記レンズアレイによって形成された集光スポットを含む光強度分布を検出する光検出素子を有しており前記空間光変調器から変調後の前記光像を受ける波面センサと、前記光強度分布から得られる前記光像の波面形状に基づいて前記空間光変調器に表示される位相パターンを制御することにより波面歪みを補償する制御部とを備える補償光学システムにおいて、前記制御部の動作を制御するための補償光学システム用プログラムを記憶する記録媒体であって、
前記補償光学システム用プログラムは、
前記複数のレンズのうちの一若しくは互いに隣接する二以上のレンズに対応させようとする前記変調面上の第1の領域に、少なくとも一方向に線形性を有する位相パターン及び空間的に非線形な位相パターンのうち一方を表示させ、前記第1の領域を囲む第2の領域に前記少なくとも一方向に線形性を有する位相パターン及び前記空間的に非線形な位相パターンのうち他方を表示させた状態で、前記光検出素子により前記光強度分布を取得する第1の光強度分布取得ステップと、
前記第1の光強度分布取得ステップにおいて得られた前記光強度分布に含まれる前記集光スポットの明瞭さに基づいて、前記変調面と前記波面センサとの対応関係を調整する調整ステップと、
を前記制御部に実行させる、
補償光学システム用プログラムを記憶する記録媒体。
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