JP6259653B2 - Cutting blade shape detection method - Google Patents

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Description

本発明は、切削ブレードの形状検出方法に関する。   The present invention relates to a cutting blade shape detection method.

切削ブレードによって継続して被加工物に切削を施すことにより切削ブレードに先細りが生じると、被加工物の裏面にチッピングが大きく発生したり、切削して個片化したチップの寸法サイズが所望サイズより大きくなって規格外となってしまったりするおそれがある。そのため、切削ブレードに先細りが生じた場合には、適宜新しい切削ブレードに交換している。また、例えば下記の特許文献１で開示された所謂フラットドレスを実施して切削ブレードの先端形状を修正している。   If the cutting blade is tapered by continuously cutting the work piece with the cutting blade, chipping occurs greatly on the back surface of the work piece, or the dimensional size of the chip that has been cut into pieces is the desired size. There is a risk of becoming larger and out of specification. For this reason, when the cutting blade is tapered, the cutting blade is appropriately replaced with a new one. Further, for example, a so-called flat dress disclosed in Patent Document 1 below is implemented to correct the tip shape of the cutting blade.

従来は、所定のタイミングで切削ブレードによってバー状の部材に切削溝を形成した後、バー状の部材を横倒しして該切削溝を顕微鏡で観察することで切削溝形状として転写された切削ブレード形状を確認し、ブレード交換の要否やフラットドレスの要否を判断している。そして、下記の特許文献２では、このようなブレード形状の確認作業を容易にする切削装置が提案されている。   Conventionally, after a cutting groove is formed in a bar-shaped member with a cutting blade at a predetermined timing, the cutting blade shape is transferred as a cutting groove shape by laying down the bar-shaped member and observing the cutting groove with a microscope. To determine whether it is necessary to replace the blade or whether a flat dress is necessary. And in following patent document 2, the cutting device which makes easy the confirmation operation | work of such a blade shape is proposed.

特開２０１０−２０１５８０号公報JP 2010-201580 A 特開２００７−２９６６０４号公報JP 2007-296604 A

しかしながら、バー状の部材に切削溝を形成した後、顕微鏡で観察するために作業者が横倒しするのには手間がかかる上、特許文献２に開示された切削装置を用いてバー状の部材を機械的に横倒しするとしても専用の複雑な構造が必要となり装置が大型化してしまうという問題がある。   However, after forming the cutting groove in the bar-shaped member, it takes time and labor for the operator to lie down for observation with a microscope, and the bar-shaped member is mounted using the cutting device disclosed in Patent Document 2. Even if it is mechanically laid down, there is a problem that a dedicated complicated structure is required and the apparatus becomes large.

本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、装置を大型化することなく容易に切削ブレードの形状を検出しうる切削ブレードの形状検出方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a cutting blade shape detection method capable of easily detecting the shape of the cutting blade without increasing the size of the apparatus.

本発明は、切削ブレードの形状検出方法であって、板状物に対して切削ブレードを切り込ませ、少なくとも第一の切り込み深さまで切り込んだ第一領域と、該第一の切り込み深さと異なる深さの第二の切り込み深さまで切り込んだ第二領域とを含む切削痕を板状物に形成する切削痕形成ステップと、該切削痕形成ステップを実施した後、撮像手段で該切削痕を撮像して該第一領域の該切削痕の第一幅を検出するとともに該第二領域の該切削痕の第二幅を検出することにより、該切削ブレードの先端から径方向に該第一の切り込み深さ及び該第二の切り込み深さ向かった位置における該切削ブレードの厚みがそれぞれ該第一幅及び該第二幅であると該切削ブレードの形状を検出する形状検出ステップと、を備え、該切削痕形成ステップでは、板状物に対する該切削ブレードの切り込み深さを変化させつつ板状物を該切削ブレードに対して相対移動させ、該第一の領域の延長線上に該第二の領域が位置する切削痕を板状物に形成する。 The present invention relates to a cutting blade shape detection method, in which a cutting blade is cut into a plate-like object, a first region cut at least to a first cutting depth, and a depth different from the first cutting depth. A cutting mark forming step for forming a cutting mark including a second region cut to a second cutting depth in a plate shape on the plate-like object, and after performing the cutting mark forming step, the cutting mark is imaged by an imaging unit. And detecting the first width of the cutting mark in the first region and detecting the second width of the cutting mark in the second region, thereby the first cutting depth in the radial direction from the tip of the cutting blade. and with the thickness of the cutting blade is in said first width and said second width, respectively the shape detecting step of detecting the cutting blade shape, in said second cutting depth toward the position, the cutting In the trace formation step, the plate The plate-like object is moved relative to the cutting blade while changing the cutting depth of the cutting blade with respect to the object, and the cutting trace in which the second region is located on the extension line of the first region is obtained. To form.

本発明にかかる切削ブレードの形状検出方法は、切削痕形成ステップを実施することで第一の切り込み深さから第二の切り込み深さへと切り込み深さを変化させた切削痕を板状物の表面に形成する。切削痕の第一の切り込み深さにおける第一幅は、切削ブレードの先端から径方向に第一の切り込み深さ分離反した位置における切削ブレードの厚みが転写されたものであり、同様に、切削痕の第二の切り込み深さにおける第二幅は、切削ブレードの先端から径方向に第二の切り込み深さ分離反した位置における切削ブレードの厚みが転写されたものであるため、形状検出ステップを実施し、撮像手段によって上方から第一領域及び第二領域を含む切削痕を撮像して第一の切り込み深さにおける切削痕の第一幅と第二の切り込み深さにおける切削痕の第二幅とをそれぞれ検出するだけで、板状物を横倒しすることなく切削ブレードの形状を検出でき、装置が大型化するのを防ぐとともに容易に切削ブレードの先端形状を検出することが可能となる。   In the cutting blade shape detection method according to the present invention, the cutting trace is changed from the first cutting depth to the second cutting depth by performing the cutting trace forming step. Form on the surface. The first width of the first cut depth of the cutting trace is the transfer of the thickness of the cutting blade at a position opposite to the first cutting depth in the radial direction from the tip of the cutting blade. Since the second width of the second cut depth of the mark is a transfer of the thickness of the cutting blade at a position opposite to the second cutting depth in the radial direction from the tip of the cutting blade, the shape detection step is performed. The first width of the cutting trace at the first cutting depth and the second width of the cutting trace at the second cutting depth by imaging the cutting trace including the first region and the second region from above by the imaging means , The shape of the cutting blade can be detected without causing the plate-shaped object to lie down, and the tip size of the cutting blade can be easily detected while preventing the apparatus from becoming large. .

切削手段及び板状物の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a cutting means and a plate-shaped object. 切削痕形成ステップを示す正面図及び平面図である。It is the front view and top view which show the cutting trace formation step. 切削痕形成ステップの変形例を示す正面図及び平面図である。It is the front view and top view which show the modification of the cutting trace formation step. 形状検出ステップを示す正面図である。It is a front view which shows a shape detection step. 形状検出ステップで検出された切削ブレードの形状を示す側面図である。It is a side view which shows the shape of the cutting blade detected by the shape detection step. ドレスステップを示す断面図である。It is sectional drawing which shows a dress step.

以下では、添付の図面を参照しながら、切削ブレードの交換の要否及び切削ブレードのフラットドレス（形状修正）の要否の判断のために行う切削ブレードの形状検出方法について説明する。   Hereinafter, a cutting blade shape detection method for determining whether or not a cutting blade needs to be replaced and whether or not a cutting blade needs to be flat dressed (shape correction) will be described with reference to the accompanying drawings.

（１）切削痕形成ステップ
図１及び図２に示すように、切削手段１０によって板状物１ａの表面２に切削を施して切削痕を形成する。板状物１ａは、被加工物の一例であり、切削ブレードの形状検出用の板状部材である。この板状物１ａは、例えば、シリコン、カーボンによって形成されている。板状物の形状は、特に限定されない。なお、デバイスが形成された板状ワークを用いて、デバイスが形成されていない不要領域に切削痕を形成するようにしてもよい。 (1) Cutting trace formation step As shown in FIGS. 1 and 2, the cutting means 10 cuts the surface 2 of the plate-like object 1a to form a cutting trace. The plate-like object 1a is an example of a workpiece, and is a plate-like member for detecting the shape of the cutting blade. The plate-like object 1a is made of, for example, silicon or carbon. The shape of the plate-like object is not particularly limited. In addition, you may make it form the cutting trace in the unnecessary area | region in which the device is not formed using the plate-shaped workpiece | work in which the device was formed.

切削手段１０は、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドル１１と、スピンドル１１を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング１２と、スピンドル１１の先端に着脱可能に装着された切削ブレード１３とを少なくとも備えている。図示していないモータによってスピンドル１１が回転すると、切削ブレード１３を所定の回転速度で回転させることができる。切削手段１０には、切削手段１０をＺ軸方向に昇降させる切削送り手段３が接続されている。なお、切削手段１０及び切削送り手段３には、図示していないが、切削手段１０及び切削送り手段３を制御する制御手段が接続されている。   The cutting means 10 includes at least a spindle 11 having an axis in the Y-axis direction, a spindle housing 12 that rotatably surrounds the spindle 11, and a cutting blade 13 that is detachably attached to the tip of the spindle 11. . When the spindle 11 is rotated by a motor (not shown), the cutting blade 13 can be rotated at a predetermined rotation speed. The cutting means 10 is connected to a cutting feed means 3 that moves the cutting means 10 up and down in the Z-axis direction. Although not shown, the cutting means 10 and the cutting feed means 3 are connected to a control means for controlling the cutting means 10 and the cutting feed means 3.

板状物１ａに切削痕を形成するためには、スピンドル１１が回転し、切削ブレード１３を例えば矢印Ａ方向に回転させながら、切削送り手段３によって板状物１ａの表面２に接近する方向（−Ｚ方向）に切削ブレード１３を降下させ、板状物１ａを切削手段１０に対してＸ軸方向に相対移動させながら、切削ブレード１３の刃先１４で板状物１ａの外周縁一端（一端エッジ）から外周縁他端（他端エッジ）にかけて例えばトラバースカットを実施する。ここで、トラバースカットとは、被加工物１ａよりも外周側で所定高さに切削ブレード１３を位置付け、この状態で被加工物１ａをＸ軸方向に移動させることで切削ブレード１３を被加工物１ａに切り込ませた後、被加工物１ａをＸ軸方向の一端から他端まで切りきる加工のことである。
なお、チョッパートラバースカットにより切削痕を形成してもよい。チョッパートラバースカットとは、被加工物１ａの上方に位置付けた切削ブレード１３を所定高さへと下降させることで被加工物１ａに切り込み、次いで被加工物１ａをＸ軸方向に移動させることで切削ブレード１３にて被加工物１ａをＸ軸方向に切削した後、被加工物１ａを上方に退避させることで被加工物１ａにライン状の切削痕を形成する加工である（被加工物の外周縁は切りきらない）。 In order to form a cutting mark on the plate-like object 1a, the spindle 11 rotates, and the cutting blade 13 rotates in the direction of arrow A, for example, while the cutting feed means 3 approaches the surface 2 of the plate-like object 1a ( The cutting blade 13 is lowered in the −Z direction and the plate-like object 1a is moved relative to the cutting means 10 in the X-axis direction, while the outer edge of the plate-like object 1a (one end edge) is formed at the cutting edge 14 of the cutting blade 13. ) To the other end of the outer peripheral edge (the other end edge), for example, a traverse cut is performed. Here, the traverse cut means that the cutting blade 13 is positioned at a predetermined height on the outer peripheral side of the workpiece 1a, and the workpiece 1a is moved in the X-axis direction in this state so that the cutting blade 13 is moved to the workpiece. This is a process of cutting the workpiece 1a from one end to the other end in the X-axis direction after being cut into 1a.
In addition, you may form a cutting trace by a chopper traverse cut. The chopper traverse cut is a process in which the cutting blade 13 positioned above the workpiece 1a is lowered to a predetermined height to cut into the workpiece 1a, and then the workpiece 1a is moved in the X-axis direction for cutting. After cutting the workpiece 1a with the blade 13 in the X-axis direction, the workpiece 1a is retracted upward to form a line-shaped cutting mark on the workpiece 1a (outside of the workpiece). Do not cut the periphery.)

図２に示すように、切削ブレード１３を−Ｚ方向に下降させて板状物１ａの表面２に切り込ませた後、板状物１ａに対する−Ｚ方向の深い切り込み深さから浅い切り込み深さへと切削ブレード１３の切り込み深さを変化させて、板状物１ａにおいて深さが一定でない切削痕４を形成する。具体的には、切削ブレード１３の刃先１４を板状物１ａの表面２から深い切り込み深さである第１の切り込み深さＨ１まで切り込ませるとともに、所定の範囲だけ板状物１ａを切削ブレード１３に対して−Ｘ方向に相対移動させることで板状物１ａに第１の切り込み深さＨ１まで切り込んだ第一領域５ａを含む切削痕４を形成する。このように形成された第一領域５ａにおける切削痕４のＹ軸方向の幅は、切削ブレード１３の先端形状に応じた第一幅６ａとなっている。   As shown in FIG. 2, after the cutting blade 13 is lowered in the −Z direction and cut into the surface 2 of the plate-like object 1 a, the shallow cut depth from the deep cut depth in the −Z direction to the plate-like object 1 a is obtained. The cutting depth 4 of the cutting blade 13 is changed to form a cutting mark 4 with a non-constant depth in the plate-like object 1a. Specifically, the cutting edge 13 of the cutting blade 13 is cut from the surface 2 of the plate-like object 1a to a first cutting depth H1, which is a deep cutting depth, and the plate-like object 1a is cut only within a predetermined range. The cutting trace 4 including the first region 5a cut to the first cutting depth H1 is formed in the plate-like object 1a by being relatively moved with respect to the -X direction. The width in the Y-axis direction of the cutting trace 4 in the first region 5 a formed in this way is the first width 6 a corresponding to the tip shape of the cutting blade 13.

次に、板状物１ａを切削ブレード１３に対してさらに相対移動させながら、図１で示した切削送り手段３によって切削ブレード１３の刃先１４をわずかに＋Ｚ方向に上昇させていき、第一の切り込み深さＨ１よりも浅い切り込み深さである第二の切り込み深さＨ２に切削ブレード１３の位置を位置づけ、回転する切削ブレード１３によって、板状物１ａに対し、第２の切り込み深さＨ２まで切り込んだ第二領域５ｂを含む切削痕４を形成する。このように形成された第二領域５ｂにおける切削痕４のＹ軸方向の幅は、切削ブレード１３の先端形状に応じた第二幅６ｂとなっている。   Next, while the plate-like object 1a is further moved relative to the cutting blade 13, the cutting edge 14 of the cutting blade 13 is slightly raised in the + Z direction by the cutting feed means 3 shown in FIG. The position of the cutting blade 13 is positioned at the second cutting depth H2, which is a cutting depth shallower than the cutting depth H1, and the rotating cutting blade 13 causes the plate-like object 1a to reach the second cutting depth H2. A cutting mark 4 including the cut second region 5b is formed. The width in the Y-axis direction of the cutting mark 4 in the second region 5b formed in this way is the second width 6b corresponding to the tip shape of the cutting blade 13.

なお、上記では、切削ブレード１３の位置を深い切り込み深さから浅い切り込み深さへとトラバースカットする切削動作を説明したが、切削ブレード１３の位置を浅い切り込み深さから深い切り込み深さへとトラバースカットしてもよい。   In the above description, the cutting operation for traversing the cutting blade 13 from the deep cutting depth to the shallow cutting depth has been described. However, the cutting blade 13 is traversed from the shallow cutting depth to the deep cutting depth. You may cut it.

トラバースカットによって形成された切削痕４は、異なる切り込み深さを有していることから、後記の形状検出ステップを実施する際に第一の切り込み深さＨ１及び第二の切り込み深さＨ２の位置が把握できるようにしておく。例えば、図１で示した板状物１ａにおいてＸ軸方向における一端エッジから２０ｍｍ離間した位置までに第一の切り込み深さＨ１の切削痕４を形成し、板状物１ａの一端エッジから４０ｍｍ離間した位置から他端エッジまでに第二の切り込み深さＨ２の切削痕４を形成する。なお、本実施形態では、切削痕４の切り込み深さを２つの深さに分けているが、第一の切り込み深さＨ１及び第二の切り込み深さＨ２に加えて、例えば第三、第四、・・・の切り込み深さの切削痕を形成してもよい。   Since the cutting marks 4 formed by traverse cutting have different cutting depths, the positions of the first cutting depth H1 and the second cutting depth H2 when performing the shape detection step described later. To be able to grasp. For example, in the plate-like object 1a shown in FIG. 1, a cutting mark 4 having a first cutting depth H1 is formed at a position 20 mm away from one edge in the X-axis direction, and 40 mm away from one edge of the plate-like object 1a. A cutting mark 4 having a second cutting depth H2 is formed from the position to the other end edge. In the present embodiment, the cutting depth of the cutting mark 4 is divided into two depths, but in addition to the first cutting depth H1 and the second cutting depth H2, for example, third and fourth A cutting mark having a cutting depth of.

切削痕形成ステップの変形例として、図３に示すように、切削ブレード１３で板状物１ｂに対してチョッパーカットを実施してもよい。なお、チョッパーカットとは、切削ブレードを鉛直方向に切削送りするのみによって被加工物を切削する方法である。   As a modification of the cutting trace forming step, as shown in FIG. 3, chopper cutting may be performed on the plate-like object 1 b with the cutting blade 13. The chopper cut is a method of cutting a workpiece only by cutting and feeding a cutting blade in the vertical direction.

具体的には、図３に示すように、回転する切削ブレード１３を板状物１ｂの表面２に接近する−Ｚ方向に降下させ、切削ブレード１３を板状物１ｂの表面２から浅い切り込み深さである第１の切り込み深さＨ３まで切り込ませる。その結果、板状物１ｂに第１の切り込み深さＨ３まで切り込んだ第一領域８ａを含む切削痕７が形成される。このように形成された第一領域８ａにおける切削痕７のＹ軸方向の幅は、切削ブレード１３の先端形状に応じた第一幅９ａとなっている。その後は、切削ブレード１３を上昇させて板状物１ｂから退避させる。   Specifically, as shown in FIG. 3, the rotating cutting blade 13 is lowered in the −Z direction approaching the surface 2 of the plate-like object 1b, and the cutting blade 13 is shallowly cut from the surface 2 of the plate-like object 1b. The first cut depth H3 is cut. As a result, a cutting mark 7 including the first region 8a cut to the plate-like object 1b up to the first cutting depth H3 is formed. The width in the Y-axis direction of the cutting mark 7 in the first region 8 a formed in this way is the first width 9 a corresponding to the tip shape of the cutting blade 13. Thereafter, the cutting blade 13 is raised and retracted from the plate-like object 1b.

次に、板状物１ｂを切削ブレード１３に対してＸ軸方向に相対移動させて切削されていない部分を切削ブレード１３の下方に位置づけた後、回転する切削ブレード１３を板状物１ｂの表面２に接近する−Ｚ方向に降下させ、切削ブレード１３を板状物１ｂの表面２から第１の切り込み深さＨ３よりも深い第２の切り込み深さＨ４まで切り込ませる。その結果、板状物１ｂに第２の切り込み深さＨ４まで切り込んだ第二領域８ｂを含む切削痕７が形成される。このように形成された第二領域８ｂにおける切削痕７のＹ軸方向の幅は、切削ブレード１３の先端形状に応じた第二幅９ｂとなっている。なお、本実施形態では、切削痕７の切り込み深さを２つの深さに分けているが、第一の切り込み深さＨ３及び第二の切り込み深さＨ４に加えて、例えば第三、第四、・・・の切り込み深さの切削痕を形成してもよい。   Next, the plate-like object 1b is moved relative to the cutting blade 13 in the X-axis direction so that an uncut portion is positioned below the cutting blade 13, and then the rotating cutting blade 13 is placed on the surface of the plate-like object 1b. 2 is lowered in the −Z direction, and the cutting blade 13 is cut from the surface 2 of the plate-like object 1b to a second cutting depth H4 that is deeper than the first cutting depth H3. As a result, a cutting mark 7 including the second region 8b cut to the second cutting depth H4 is formed in the plate-like object 1b. The width in the Y-axis direction of the cutting trace 7 in the second region 8b formed in this way is the second width 9b corresponding to the tip shape of the cutting blade 13. In the present embodiment, the cutting depth of the cutting mark 7 is divided into two depths, but in addition to the first cutting depth H3 and the second cutting depth H4, for example, third and fourth. A cutting mark having a cutting depth of.

（２）形状検出ステップ
切削痕形成ステップを実施した後、図４に示すように、撮像手段１６によって上方から切削痕４を撮像して切削ブレード１３の形状を検出する。上記チョッパーカットによって形成された切削痕７に基づいて切削ブレード１３の形状を検出することもできるが、以下では、トラバースカットによって形成された切削痕４に基づいて切削ブレード１３を検出する場合について説明する。 (2) Shape detection step After performing the cutting trace formation step, as shown in FIG. 4, the imaging means 16 images the cutting trace 4 from above and detects the shape of the cutting blade 13. Although it is possible to detect the shape of the cutting blade 13 based on the cutting trace 7 formed by the chopper cut, a case where the cutting blade 13 is detected based on the cutting trace 4 formed by the traverse cut will be described below. To do.

撮像手段１６は、カメラであって、撮像手段１６によって取得された撮像データを記憶する記憶部１７に接続されている。なお、記憶部１７には、切削ブレードを交換するタイミングを判断するための切削ブレードの先端形状のしきい値をあらかじめ記憶させておく。   The imaging unit 16 is a camera, and is connected to a storage unit 17 that stores imaging data acquired by the imaging unit 16. The storage unit 17 stores in advance a threshold value of the tip shape of the cutting blade for determining the timing for replacing the cutting blade.

まず、撮像手段１６は、第一領域５ａにおける切削痕４を上方から撮像して切削痕４の第一幅６ａ（図２参照）を検出する。撮像手段１６によって検出された第一幅６ａの撮像データは記憶部１７に記憶される。切削痕４の第一幅６ａは、図５の部分拡大図に示すように、切削ブレード１３の刃先１４から径方向（切削ブレード１３の回転中心に向かう方向）に向かって第一の切り込み深さＨ１分だけ離反した位置における切削ブレード１３の第一の厚み１５ａと同一の幅となっている。   First, the imaging means 16 images the cutting trace 4 in the first region 5a from above and detects the first width 6a (see FIG. 2) of the cutting trace 4. The imaging data of the first width 6a detected by the imaging means 16 is stored in the storage unit 17. As shown in the partially enlarged view of FIG. 5, the first width 6 a of the cutting mark 4 is a first cutting depth from the cutting edge 14 of the cutting blade 13 toward the radial direction (direction toward the rotation center of the cutting blade 13). The width is the same as the first thickness 15a of the cutting blade 13 at a position separated by H1.

次いで、図４に示す板状物１を撮像手段１６に対してさらに相対移動させることにより、第二領域５ｂにおける切削痕４を上方に撮像手段１６を位置づけ、第二領域５ｂにおける切削痕４を撮像して切削痕４の第二幅６ｂ（図２参照）を検出する。撮像手段１６によって検出された第二幅６ｂの撮像データは記憶部１７に記憶される。切削痕４の第二幅６ｂは、図５の部分拡大図に示すように、切削ブレード１３の刃先１４から径方向に向かって第二の切り込み深さＨ２分だけ離反した位置における切削ブレード１３の第二の厚み１５ｂと同一の幅となっている。このようにして、切削痕４の第一幅６ａ及び第二幅６ｂの形状に基づいて切削ブレード１３の先端形状を検出することができる。   Next, the plate-like object 1 shown in FIG. 4 is further moved relative to the image pickup means 16 so that the cutting mark 4 in the second area 5b is positioned upward, and the cutting mark 4 in the second area 5b is set. The second width 6b (see FIG. 2) of the cutting mark 4 is detected by imaging. The imaging data of the second width 6b detected by the imaging unit 16 is stored in the storage unit 17. As shown in the partially enlarged view of FIG. 5, the second width 6 b of the cutting mark 4 is the cutting blade 13 at a position separated from the cutting edge 14 of the cutting blade 13 by the second cutting depth H2 in the radial direction. It has the same width as the second thickness 15b. In this way, the tip shape of the cutting blade 13 can be detected based on the shapes of the first width 6a and the second width 6b of the cutting trace 4.

（３）ドレスステップ
形状検出ステップを実施した後、例えば、第一幅６ａの値と第二幅６ｂの値とが等しくなく、撮像手段１６によって取得された切削痕４の撮像データをもとに切削ブレード１３をドレスする必要があると判断したら、図６に示すように、ドレスに使用する板状部材２０に対して切削ブレード１３を切り込ませてドレスを実施する。具体的には、スピンドル１１が回転し、所定の回転速度で切削ブレード１３を例えば矢印Ａ方向に回転させながら、切削ブレード１３を板状部材２０の表面２０ａに接近する方向に降下させ、切削ブレード１３を該表面２０ａから切り込ませて溝２１を形成する。このようにして切削ブレード１３にドレスを施して、厚みを均一として先端形状をフラットな状態にする。 (3) Dressing step After performing the shape detection step, for example, the value of the first width 6a and the value of the second width 6b are not equal, and based on the imaging data of the cutting mark 4 acquired by the imaging means 16 If it is determined that the cutting blade 13 needs to be dressed, as shown in FIG. 6, the cutting blade 13 is cut into the plate-like member 20 used for the dressing and the dressing is performed. Specifically, the spindle 11 rotates, and the cutting blade 13 is lowered in a direction approaching the surface 20a of the plate-like member 20 while rotating the cutting blade 13 in a direction indicated by an arrow A at a predetermined rotational speed, for example. 13 is cut from the surface 20a to form a groove 21. In this way, the cutting blade 13 is dressed to make the tip shape flat with a uniform thickness.

（４）ブレード交換ステップ
また、形状検出ステップを実施した後、図４で示した記憶部１７に記憶された切削痕４の第一幅６ａの値と第二幅６ｂの値との差が、あらかじめ記憶部１７に記憶されたしきい値に達していると認識された場合には、切削ブレード１３の先端形状が磨耗していると判断して適宜新たな切削ブレードと交換する。 (4) Blade replacement step After performing the shape detection step, the difference between the value of the first width 6a and the value of the second width 6b of the cutting mark 4 stored in the storage unit 17 shown in FIG. When it is recognized that the threshold value stored in the storage unit 17 has been reached in advance, it is determined that the tip shape of the cutting blade 13 is worn and replaced with a new cutting blade as appropriate.

以上のとおり、本発明の切削ブレードの形状検出方法では、切削痕形成ステップを実施することで第一の切り込み深さＨ１から第二の切り込み深さＨ２へと切り込み深さを変化させた切削痕４を板状物１ａの表面２に形成した後、形状検出ステップを実施することにより、撮像手段１６によって上方から第一領域５ａ及び第二領域５ｂを撮像して切削痕４の第一幅６ａと第二幅６ｂとを検出する。切削痕４の第一の切り込み深さＨ１，Ｈ３における第一幅６ａ，９ａは、切削ブレード１３の先端から径方向に第一の切り込み深さＨ１，Ｈ３分離反した位置における切削ブレード１３の厚みが転写されたものであり、同様に、切削痕４の第二の切り込み深さＨ２，Ｈ４における第二幅６ｂ，９ｂは、切削ブレード１３の先端から径方向に第二の切り込み深さＨ２，Ｈ４分離反した位置における切削ブレード１３の厚みが転写されたものであるため、板状物１ａを横倒しすることなく、板状物１ａの上方から撮像手段１６で撮像するだけで、切削ブレード１３の先端形状を容易に検出できるため、切削ブレード１３の交換の要否及び切削ブレードのドレスの要否を的確に判断することができる。   As described above, in the cutting blade shape detection method according to the present invention, the cutting mark is changed from the first cutting depth H1 to the second cutting depth H2 by performing the cutting mark forming step. 4 is formed on the surface 2 of the plate-like object 1a, and then the shape detection step is performed, whereby the first region 5a and the second region 5b are imaged from above by the imaging means 16, and the first width 6a of the cutting mark 4 And the second width 6b are detected. The first widths 6a and 9a of the cutting marks 4 at the first cutting depths H1 and H3 are the thicknesses of the cutting blade 13 at the position where the first cutting depths H1 and H3 are separated from the tip of the cutting blade 13 in the radial direction. Similarly, the second widths 6b and 9b at the second cut depths H2 and H4 of the cutting trace 4 are the second cut depths H2 and H2 in the radial direction from the tip of the cutting blade 13. Since the thickness of the cutting blade 13 at the position separated from H4 is transferred, the image of the cutting blade 13 can be obtained only by taking an image from above the plate-like object 1a with the imaging means 16 without laying down the plate-like object 1a. Since the tip shape can be easily detected, it is possible to accurately determine whether or not the cutting blade 13 needs to be replaced and whether or not the cutting blade needs to be dressed.

１ａ，１ｂ：板状物 ２：表面 ３：切削送り手段 ４：切削痕 ５ａ：第一領域
５ｂ：第二領域 ６ａ：第一幅 ６ｂ：第二幅 ７：切削痕 ８ａ：第一領域
８ｂ：第二領域 ９ａ：第一幅 ９ｂ：第二幅 １０：切削手段 １１：スピンドル
１２：スピンドルハウジング １３：切削ブレード １４：刃先 １５ａ：第一の厚み
１５ｂ：第二の厚み １６：撮像手段 １７：記億部
２０：板状部材 ２０ａ：表面 ２１：溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a, 1b: Plate-like object 2: Surface 3: Cutting feed means 4: Cutting trace 5a: 1st area | region 5b: 2nd area | region 6a: 1st width 6b: 2nd width 7: Cutting trace 8a: 1st area | region 8b: Second region 9a: First width 9b: Second width 10: Cutting means 11: Spindle 12: Spindle housing 13: Cutting blade 14: Cutting edge 15a: First thickness 15b: Second thickness 16: Imaging means 17: Note Billion parts 20: plate-like member 20a: surface 21: groove

Claims (1)

切削ブレードの形状検出方法であって、
板状物に対して切削ブレードを切り込ませ、少なくとも第一の切り込み深さまで切り込んだ第一領域と、該第一の切り込み深さと異なる深さの第二の切り込み深さまで切り込んだ第二領域とを含む切削痕を板状物に形成する切削痕形成ステップと、
該切削痕形成ステップを実施した後、撮像手段で該切削痕を撮像して該第一領域の該切削痕の第一幅を検出するとともに該第二領域の該切削痕の第二幅を検出することにより、該切削ブレードの先端から径方向に該第一の切り込み深さ及び該第二の切り込み深さ向かった位置における該切削ブレードの厚みがそれぞれ該第一幅及び該第二幅であると該切削ブレードの形状を検出する形状検出ステップと、を備え、
該切削痕形成ステップでは、板状物に対する該切削ブレードの切り込み深さを変化させつつ板状物を該切削ブレードに対して相対移動させ、該第一の領域の延長線上に該第二の領域が位置する切削痕を板状物に形成する
切削ブレードの形状検出方法。 A method for detecting the shape of a cutting blade,
A cutting blade is cut into the plate-like object, a first region cut to at least a first cutting depth, a second region cut to a second cutting depth different from the first cutting depth, A cutting trace forming step for forming a cutting trace including a plate-like material;
After performing the cutting trace forming step, the cutting trace is imaged by an imaging means to detect the first width of the cutting trace in the first area and the second width of the cutting trace in the second area By doing so, the thickness of the cutting blade at the position toward the first cutting depth and the second cutting depth in the radial direction from the tip of the cutting blade is the first width and the second width, respectively. And a shape detection step for detecting the shape of the cutting blade ,
In the cutting mark forming step, the plate-like object is moved relative to the cutting blade while changing the cutting depth of the cutting blade with respect to the plate-like object, and the second region is formed on the extension line of the first region. A method for detecting the shape of a cutting blade, wherein a cutting mark on which a blade is located is formed on a plate-like object .
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