JP6258011B2 - probe - Google Patents
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Description
本発明は、プローブ及びプローブの製造方法に関する。 The present invention relates to a probe and a method for manufacturing the probe.
例えば半導体集積回路等の製造工程において、ウエハに形成されている半導体集積回路等の電気的特性を測定する測定機器が用いられている。この様な測定機器は、例えばウエハに形成されている電極端子等の測定対象物にプローブを接触させることで、測定対象物の電気的特性を測定する。 For example, in a manufacturing process of a semiconductor integrated circuit or the like, a measuring instrument that measures electrical characteristics of the semiconductor integrated circuit or the like formed on a wafer is used. Such a measuring device measures the electrical characteristics of the measurement object by bringing the probe into contact with the measurement object such as an electrode terminal formed on the wafer.
測定機器に設けられるプローブは、例えば筐体の一方の端部が測定機器に接続され、他方の端部に測定対象物に接触する接触端子を有し、筐体内にコイルばねが内蔵されている。プローブが測定対象物に押圧されると、接触端子が筐体内のコイルばねの伸縮に伴って変位すると共に測定対象物を押し返すことで、測定対象物と測定機器との接続信頼性が確保される。 The probe provided in the measuring device has, for example, one end of the housing connected to the measuring device, a contact terminal that contacts the measurement object at the other end, and a coil spring built in the housing. . When the probe is pressed against the measurement object, the contact terminal is displaced along with the expansion and contraction of the coil spring in the housing and pushes back the measurement object, thereby ensuring the connection reliability between the measurement object and the measurement device. .
この様なプローブとして、1枚の板状部材から折り曲げ等によって製造可能なプローブが開示されている(例えば、特許文献1参照)。この様なプローブによれば、製造工程において複数の部品を組み立てる組み立て工程が省略されることで、製造時間が短縮されて生産性が向上する。 As such a probe, a probe that can be manufactured from one plate-like member by bending or the like is disclosed (for example, see Patent Document 1). According to such a probe, an assembling process for assembling a plurality of parts in the manufacturing process is omitted, so that the manufacturing time is shortened and the productivity is improved.
しかしながら、特許文献1に係るプローブを、高密度化された電子部品の測定に対応出来る様に小型化すると、十分な長さのコイルばねを設けることが出来ず、接触端子の可動範囲が小さくなる可能性がある。接触端子の可動範囲が小さいと、測定対象物と測定機器との接続信頼性が低下する虞がある。
However, if the probe according to
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、小型化が可能であり、接続信頼性に優れたプローブを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a probe that can be miniaturized and has excellent connection reliability.
本発明の一態様によれば、軸方向に伸縮するばね部と、前記ばね部の前記軸方向における一方側を覆い、前記一方側の端部に第1接点部を備える第1プランジャ部と、前記ばね部の前記軸方向における他方側を覆い、前記他方側の端部に第2接点部を備える第2プランジャ部とを有し、前記第1プランジャ部及び前記第2プランジャ部の一方は、側面に前記軸方向に延びるガイド穴を有し、前記第1プランジャ部及び前記第2プランジャ部の他方は、側面に前記第1プランジャ部及び前記第2プランジャ部の一方側に突出して前記ガイド穴に係合する係合爪を有し、前記第1プランジャ部、前記第2プランジャ部及び前記ばね部は連結されてはいないものであって、前記ガイド穴に前記係合爪が係合することにより、前記第1プランジャ部と前記第2プランジャ部との抜けが防止されている。 According to one aspect of the present invention, a spring part that expands and contracts in the axial direction, a first plunger part that covers one side of the spring part in the axial direction and includes a first contact part at the end of the one side; A second plunger portion that covers the other side of the spring portion in the axial direction and includes a second contact portion at an end of the other side, and one of the first plunger portion and the second plunger portion is: A guide hole extending in the axial direction is provided on a side surface, and the other of the first plunger portion and the second plunger portion protrudes to one side of the first plunger portion and the second plunger portion on the side surface, and the guide hole have a engaging claw which engages with the first plunger portion, the second plunger portion and the spring portion be those not been connected, said engagement claws in said guide hole are engaged By means of the first plunger part Serial omission of the second plunger portion that is prevented.
本発明の実施形態によれば、小型化が可能であり、接続信頼性に優れたプローブを提供できる。 According to the embodiment of the present invention, it is possible to provide a probe that can be miniaturized and has excellent connection reliability.
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。 Hereinafter, embodiments for carrying out the invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same components are denoted by the same reference numerals, and redundant description may be omitted.
以下で説明する実施形態に係るプローブは、例えば電子部品や電気回路等の電気特性を測定する測定機器に設けられ、電子部品、電気回路等に形成されている電気パッド、電極端子等の測定対象物と測定機器との接続に用いられる。 The probe according to the embodiment described below is provided in a measuring device that measures electrical characteristics such as an electronic component or an electric circuit, and is an object to be measured such as an electric pad or an electrode terminal formed on the electronic component or electric circuit. Used to connect objects and measuring equipment.
図1は、実施形態に係るプローブ100を例示する図である。なお、以下の図中に示すX方向は、プローブ100の長手方向であり、プローブ100の軸方向である。Y方向は、プローブ100の短手方向である。Z方向は、X方向及びY方向に垂直な方向である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a
プローブ100は、一枚の導電性金属板から、後述する製造方法により形成され、図1に示す様に、第1プランジャ部10、ばね部30、第2プランジャ部50を有する。なお、以下の説明では、プローブ100の軸方向であるX方向において、第1プランジャ部10側を一方側、第2プランジャ部50側を他方側として説明する。
The
第1プランジャ部10は、円筒形状を有し、X方向に伸縮するばね部30の一方側を覆い、一方側端部には測定対象物に接触する第1接点部12が設けられている。第1接点部12は、第1プランジャ部10の一方側端部からプローブ100の中心軸に向かって突出し、第1プランジャ部10から脱落しない様にばね部30を係止する。
The
第2プランジャ部50は、円筒形状を有し、第1プランジャ部10及びばね部30の他方側を覆い、他方側端部には例えば測定機器に設けられている電極端子等に接続される第2接点部52が設けられている。第2接点部52は、第2プランジャ部50の他方側端部からプローブ100の中心軸に向かって突出し、第2プランジャ部50から脱落しない様にばね部30を係止する。第1プランジャ部10と第2プランジャ部50とは、側面同士が接触することで導通される。
The
ばね部30は、X方向に伸縮可能に形成され、一方側が第1プランジャ部10に覆われて第1接点部12により係止され、他方側が第2プランジャ部50に覆われて第2接点部52により係止されている。例えば、第1プランジャ部10の第1接点部12が測定対象物に接触して第2プランジャ部50に向かって押圧されるとばね部30はX方向に縮み、X方向に縮むばね部30に生じる復元力によって、第1接点部12が測定対象物に向かって押し返される。また、プローブ100は、測定対象物に対する押圧状態から開放されると、ばね部30がX方向に伸長し、第1プランジャ部10及び第2プランジャ部50が押し戻されて元の状態に戻る。
The
この様に、第1プランジャ部10及び第2プランジャ部50は、伸縮するばね部30によって、測定対象物との接触時において一方が他方に対して相対的に変位する。測定対象物との接触時には、ばね部30に生じる復元力によって第1プランジャ部10の第1接点部12が測定対象物に押し返されるため、測定機器と測定対象物との接続がより確実なものとなる。
In this manner, one of the
図2(a)は、実施形態に係るプローブ100の側面図である。また、図2(b)は、図2(a)のA−A断面の概略図である。
FIG. 2A is a side view of the
図2に示す様に、第1プランジャ部10には、一方側端部からX方向外側に突出し且つ中心軸に向かって折り曲げられている2つの第1接点部12が、Y方向に対向して設けられている。第1接点部12は、内面がばね部30の一方側端部に接触し、第1プランジャ部10から脱落しない様にばね部30を係止している。
As shown in FIG. 2, the
また、第2プランジャ部50には、他方側端部からX方向外側に突出し且つ中心軸に向かって折り曲げられている2つの第2接点部52が、Y方向に対向して設けられている。第2接点部52は、内面がばね部30の他方側端部に接触し、第2プランジャ部50から脱落しない様にばね部30を係止している。
In addition, the
この様な構成により、ばね部30は、第1プランジャ部10及び第2プランジャ部50に収容され、X方向において第1接点部12と第2接点部52との間に挟まれることでプローブ100からの脱落が防止されている。なお、第1接点部12及び第2接点部52の数、形状等は、本実施形態において例示する構成に限られない。
With such a configuration, the
また、図2に示す様に、本実施形態に係るプローブ100では、ばね部30を、X方向において第1接点部12から第2接点部52までのほぼ全域に設けることが可能である。したがって、例えばプローブ100が小型化(X方向の長さが短くなる様に構成)された場合であっても、第1プランジャ部10及び第2プランジャ部50の可動範囲(ストローク)を確保するために必要な長さのばね部30をプローブ100内に設置可能である。そのため、プローブ100が小型化された場合であっても、第1プランジャ部10及び第2プランジャ部50の可動範囲が確保され、測定対象物と測定機器との接続信頼性に優れたプローブ100が提供される。
As shown in FIG. 2, in the
図3(a)は、実施形態に係るプローブ100の上面図である。また、図3(b)は、図3(a)のB−B断面の概略図である。
FIG. 3A is a top view of the
図3に示す様に、第2プランジャ部50の側面であって、第1プランジャ部10を覆う部分には、X方向に延びる矩形の貫通孔であるガイド穴54が設けられている。また、第1プランジャ部10の側面には、第2プランジャ部50のガイド穴54に対応する位置に、第1プランジャ部10の外周側に突出してガイド穴54に係合する係合爪14が設けられている。
As shown in FIG. 3, a
第1プランジャ部10の係合爪14が第2プランジャ部50のガイド穴54に係合することで、第1プランジャ部10及び第2プランジャ部50は、内部にばね部30を収容した状態で結合される。図3に図示される様に、係合爪14の図示左端部が、ガイド穴54の図示左端面に接することで、第2プランジャ部50に対する第1プランジャ部10の図3の図示左方向への移動が規制され、第1プランジャ部10と第2プランジャ部50との抜けも防止できる。第1プランジャ部10及び第2プランジャ部50は、例えば測定対象物に対して押圧されると、係合爪14がガイド穴54に沿って変位する。
When the engaging
本実施形態に係るプローブ100では、係合爪14及びガイド穴54が、周方向の異なる位置にそれぞれ3箇所設けられているが、係合爪14及びガイド穴54の数、形状等は、本実施形態において例示する構成に限られない。また、図3の態様とは逆に、第1プランジャ部10の側面にガイド穴を設け、第2プランジャ部50の側面に、第1プランジャ部側に突出して第1プランジャ部10のガイド穴に係合する係合爪を設けてもよい。
In the
次に、実施形態に係るプローブ100の製造方法について、図4から図8に例示する図面に基づいて説明する。なお、以下に示す図4から図7の各図には、プローブ100の原形となる板状部材又は製造過程におけるプローブ100を例示する正面図、上面図、左側面図及び右側面図が示されている。
Next, a method for manufacturing the
本実施形態に係るプローブ100は、図4に示す様に、第1プランジャ部10となる第1プランジャ領域11、ばね部30となるばね領域31、第2プランジャ部50となる第2プランジャ領域51が連結された一枚の板状部材から形成される。
As shown in FIG. 4, the
プローブ100の原形となる板状部材は、例えば導電性金属板から打ち抜き加工により形成される。第1プランジャ領域11には、ばね領域31側に第1接点部12となる部分が、第1プランジャ部10の側面となる部分に係合爪14となる部分が形成されている。ばね領域31は、複数の屈曲部を有する波形状に形成されている。第2プランジャ領域51には、ばね領域31側に第2接点部52となる部分が、第2プランジャ部50の側面となる部分であって係合爪14に対応する位置にガイド穴54となる部分が形成されている。
The plate-like member that is the original shape of the
第1プランジャ領域11とばね領域31とは、第1連結部20により連結され、ばね領域31と第2プランジャ領域51とは、第2連結部40により連結されている。
The
プローブ100は、図4に例示する板状部材から折り曲げ加工により形成され、まず図5に示す様に、ばね領域31が筒状に折り曲げられて、軸方向に伸縮可能な円筒状のばね部30が形成される。また、第1接点部12及び第2接点部52が、ばね部30が折り曲げられた側とは反対面側に折り曲げられる。
The
次に、図6に示す様に、ばね部30が形成された側に第1連結部20が折り曲げられ、次いで第1プランジャ領域11がばね部30の一方側を覆う円筒形状に折り曲げられ、第1プランジャ部10が形成される。
Next, as shown in FIG. 6, the first connecting
続いて、図7に示す様に、ばね部30が形成された側に第2連結部40が折り曲げられ、第2プランジャ領域51がばね部30及び第1プランジャ部10の他方側を覆う円筒形状に折り曲げられる。
Subsequently, as shown in FIG. 7, the second connecting portion 40 is bent on the side where the
最後に、図8に示す様に、係合爪14が第2プランジャ部50のガイド穴54に嵌る様に内側に折り曲げられた後、第1連結部20及び第2連結部40が切断され、本実施形態に係るプローブ100が形成される。プローブ100は、上記した様に、一枚の板状部材を折り曲げることで形成されるため、別体の部品を組み立てる必要がなく、製造工程が簡略化されて優れた生産性を有している。また、第1連結部20及び第2連結部40が切断されることで、より小型化が可能になっている。
Finally, as shown in FIG. 8, after the engaging
なお、第1連結部20及び第2連結部40が切断されるため、第1プランジャ部10、第2プランジャ部50及びばね部30はそれぞれ連結されていない状態になっている。そのため、第1接点部12、第2接点部52をプローブ100の軸方向内側に折り曲げて、ばね部30のプローブ100からの脱落を防ぐと共に、第1プランジャ部10に形成された係合爪14を第2プランジャ部50のガイド穴54に嵌めることで、第1プランジャ部10の第2プランジャ部50からの脱落を防いでいる。
In addition, since the
以上で説明した様に、本実施形態に係るプローブ100は、一枚の板状部材から折り曲げ加工により形成され、第1連結部20及び第2連結部40が切断されることで小型化されている。また、本実施形態に係るプローブ100は、軸方向のほぼ全体にばね部30を設置可能であり、さらに小型化された場合であっても、第1プランジャ部10及び第2プランジャ部50の可動範囲を確保可能なばね部30を設置可能であり、測定対象物との接続信頼性が向上する。
As described above, the
以上、実施形態に係るプローブ及びプローブの製造方法について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。 The probe and the method for manufacturing the probe according to the embodiment have been described above, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be made within the scope of the present invention.
10 第1プランジャ部
11 第1プランジャ領域
12 第1接点部
14 係合爪
20 第1連結部
30 ばね部
31 ばね領域
40 第2連結部
50 第2プランジャ部
51 第2プランジャ領域
52 第2接点部
54 ガイド穴
100 プローブ
DESCRIPTION OF
3 0 Spring
31 spring region 40 second connecting
Claims (2)
前記ばね部の前記軸方向における一方側を覆い、前記一方側の端部に第1接点部を備える第1プランジャ部と、
前記ばね部の前記軸方向における他方側を覆い、前記他方側の端部に第2接点部を備える第2プランジャ部とを有し、
前記第1プランジャ部及び前記第2プランジャ部の一方は、側面に前記軸方向に延びるガイド穴を有し、
前記第1プランジャ部及び前記第2プランジャ部の他方は、側面に前記第1プランジャ部及び前記第2プランジャ部の一方側に突出して前記ガイド穴に係合する係合爪を有し、
前記第1プランジャ部、前記第2プランジャ部及び前記ばね部は連結されてはいないものであって、
前記ガイド穴に前記係合爪が係合することにより、前記第1プランジャ部と前記第2プランジャ部との抜けが防止されている
ことを特徴とするプローブ。 A spring portion extending and contracting in the axial direction;
A first plunger portion that covers one side of the spring portion in the axial direction and includes a first contact portion at an end of the one side;
A second plunger portion that covers the other side of the spring portion in the axial direction and includes a second contact portion at an end of the other side;
One of the first plunger part and the second plunger part has a guide hole extending in the axial direction on a side surface,
It said first plunger portion and the other of said second plunger portion, and protrudes to one side of the first plunger portion and the second plunger portions on the side surfaces have a engaging claw which engages with the guide hole,
The first plunger part, the second plunger part and the spring part are not connected,
Wherein by the engagement pawl into the guide hole are engaged, the probe characterized that you have been prevented escapes between said first plunger portion and the second plunger part.
前記第2接点部は、前記第2プランジャ部の前記他方側の端部から前記中心軸に向かって突出して前記ばね部を係止する
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブ。 The first contact portion protrudes from the one end portion of the first plunger portion toward the center axis side of the probe to lock the spring portion,
2. The probe according to claim 1, wherein the second contact portion protrudes from the other end portion of the second plunger portion toward the central axis to lock the spring portion.
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