JP6253616B2 - Pressure sensor - Google Patents

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Description

本開示は、内燃機関の燃焼室内の圧力を測定する圧力センサに関する。   The present disclosure relates to a pressure sensor that measures a pressure in a combustion chamber of an internal combustion engine.

圧力センサとして、エンジンヘッドに装着される主体金具と、ダイアフラムと受圧ロッドとを有する受圧部材と、受圧ロッドにねじ込まれる押えねじと、押えねじの頭部と主体金具との間に挟まれた圧電センサと、を有するものが、提案されている。ダイアフラムが燃焼圧を受けると、ダイアフラムが後方に押され、受圧ロッドが収縮変形し、押えねじの締め付け力が低下する。圧電センサは、締め付け力の変化を電気出力の変化に変換する。ここで、高温の燃焼ガスによるダイアフラムの熱変形量を少なくするために、ダイアフラムの前面に、熱遮蔽板が配設されている。   As a pressure sensor, a metal shell attached to the engine head, a pressure receiving member having a diaphragm and a pressure receiving rod, a press screw screwed into the pressure receiving rod, and a piezoelectric element sandwiched between the head of the press screw and the metal shell. A sensor having a sensor has been proposed. When the diaphragm receives the combustion pressure, the diaphragm is pushed rearward, the pressure receiving rod is contracted and deformed, and the tightening force of the presser screw is reduced. The piezoelectric sensor converts a change in tightening force into a change in electrical output. Here, in order to reduce the amount of thermal deformation of the diaphragm due to the high-temperature combustion gas, a heat shielding plate is disposed on the front surface of the diaphragm.

特開平7−318448号公報JP 7-318448 A 特開平7−19981号公報JP-A-7-19981

ところが、熱遮蔽板のような受熱のための部材を用いて測定誤差を小さくする点については、十分な工夫が成されていないのが実情であった。   However, the actual situation is that sufficient measures have not been taken to reduce the measurement error by using a heat receiving member such as a heat shielding plate.

本開示は、受熱のための部材を用いて測定誤差を小さくできる技術を開示する。   The present disclosure discloses a technique capable of reducing a measurement error by using a member for receiving heat.

本開示は、例えば、以下の適用例を開示する。   For example, the present disclosure discloses the following application examples.

[適用例1]
筒状の筐体と、前記筐体の先端側に接合部を介して接合され前記筐体の軸線に交差する方向に拡がり受圧した圧力に応じて撓むダイアフラムと、前記筐体内に配置され前記圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、前記ダイアフラムと前記センサ部とを接続する接続部と、前記ダイアフラムの先端側に配置され前記ダイアフラムに直接的または間接的に接続された、熱を受ける受熱部と、を備える圧力センサであって、
前記軸線に垂直な断面上で、前記受熱部から前記ダイアフラムまでの部分の断面を包含し、かつ、輪郭の全長が最小となる仮想的な領域である最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Snとし、
前記ダイアフラムと前記受熱部とを、前記軸線に垂直な投影面上に投影する場合に、前記投影面上において、
前記接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Sdとし、
前記受熱部の面積を、受熱面積Sn2とする場合に、
(Sn2/Sd)≧0.8、かつ、(Sn/Sd)≦0.25、を満たす、
圧力センサ。
[Application Example 1]
A cylindrical housing, a diaphragm joined to the front end side of the housing via a joint portion and extending in a direction intersecting the axis of the housing and bending in response to pressure received, and disposed in the housing A sensor unit having an electrical characteristic that varies depending on pressure, a connection unit that connects the diaphragm and the sensor unit, and a heat that is disposed on the distal end side of the diaphragm and connected directly or indirectly to the diaphragm. A pressure sensor comprising:
On the cross section perpendicular to the axis, connect the minimum value of the area of the minimum inclusion area that is a virtual area that includes the cross section of the portion from the heat receiving portion to the diaphragm and has the minimum overall length of the contour. Let the area Sn be
When projecting the diaphragm and the heat receiving unit on a projection plane perpendicular to the axis, on the projection plane,
The area of the region surrounded by the joint is defined as a diaphragm effective area Sd,
When the area of the heat receiving portion is the heat receiving area Sn2,
(Sn2 / Sd) ≧ 0.8 and (Sn / Sd) ≦ 0.25 are satisfied.
Pressure sensor.

この構成によれば、受熱部を用いて測定誤差を小さくできる。   According to this configuration, the measurement error can be reduced using the heat receiving portion.

[適用例2]
適用例1に記載の圧力センサであって、
(Sn2/Sd)≧1.0、を満たす
圧力センサ。
[Application Example 2]
The pressure sensor according to Application Example 1,
A pressure sensor satisfying (Sn2 / Sd) ≧ 1.0.

この構成によれば、受熱部を用いて測定誤差をさらに小さくできる。   According to this configuration, the measurement error can be further reduced using the heat receiving portion.

[適用例3]
適用例1または2に記載の圧力センサであって、
前記受熱部と前記ダイアフラムとの間の隙間の前記軸線に平行な方向の最小距離を、最小距離dとする場合に、
d≦0.5mm、を満たす、
圧力センサ。
[Application Example 3]
The pressure sensor according to Application Example 1 or 2,
When the minimum distance in the direction parallel to the axis of the gap between the heat receiving portion and the diaphragm is the minimum distance d,
d ≦ 0.5 mm is satisfied,
Pressure sensor.

この構成によれば、受熱部を用いて測定誤差をさらに小さくできる。   According to this configuration, the measurement error can be further reduced using the heat receiving portion.

[適用例4]
適用例1からのいずれか1項に記載の圧力センサであって、
(Sn/Sd)≦0.1、を満たす、
圧力センサ。
[Application Example 4]
The pressure sensor according to any one of Application Examples 1 to 3 ,
(Sn / Sd) ≦ 0.1 is satisfied,
Pressure sensor.

この構成によれば、受熱部を用いて測定誤差をさらに小さくできる。   According to this configuration, the measurement error can be further reduced using the heat receiving portion.

なお、本明細書に開示の技術は、種々の態様で実現することが可能であり、例えば、圧力センサ、その圧力センサを搭載する内燃機関等の態様で実現することができる。   The technology disclosed in the present specification can be realized in various modes, for example, in a mode of a pressure sensor, an internal combustion engine equipped with the pressure sensor, or the like.

第1実施形態としての圧力センサ10を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the pressure sensor 10 as 1st Embodiment. 圧力センサ10の先端部を拡大して示す断面図である。3 is an enlarged cross-sectional view of a tip portion of the pressure sensor 10. FIG. 素子部50の分解斜視図である。3 is an exploded perspective view of an element unit 50. FIG. 圧力センサ10の動作の説明図である。It is explanatory drawing of operation | movement of the pressure sensor. 参考例の圧力センサ10xの動作の説明図である。It is explanatory drawing of operation | movement of the pressure sensor 10x of a reference example. 第2実施形態の圧力センサ10aの説明図である。It is explanatory drawing of the pressure sensor 10a of 2nd Embodiment. 圧力センサ10のパラメータSn2、Sn、Sdの説明図である。It is explanatory drawing of parameter Sn2, Sn, Sd of the pressure sensor 10. FIG. 圧力センサ10aのパラメータSn2、Sn、Sdの説明図である。It is explanatory drawing of parameter Sn2, Sn, Sd of the pressure sensor 10a. 圧力センサによって測定される圧力の波形の例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of the waveform of the pressure measured by a pressure sensor. 評価試験の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of an evaluation test. 第3実施形態の圧力センサ10bの説明図である。It is explanatory drawing of the pressure sensor 10b of 3rd Embodiment. 第4実施形態の圧力センサ10cの説明図である。It is explanatory drawing of the pressure sensor 10c of 4th Embodiment.

A.第1実施形態:
図1は、第1実施形態としての圧力センサ10を示す説明図である。本実施形態の圧力センサ10は、内燃機関に取り付けられて、内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するために用いられる。図1に示すように、圧力センサ10は、主な構成要素として、筒状の第1金具20、第2金具80と、第3金具35と、受圧部40と、受熱部90と、素子部50と、ケーブル60と、を備えている。中心軸CLは、圧力センサ10の中心軸である。以下、中心軸CLを軸線CLとも呼び、軸線CLに平行な方向を、「軸線方向」とも呼ぶ。軸線CLを中心とする円の径方向を、単に「径方向」とも呼び、軸線CLを中心とする円の周方向を、単に「周方向」とも呼ぶ。また、軸線CLに沿って第1金具20から受圧部40へ向かう方向を、「先端方向Df」と呼び、先端方向Dfの反対方向を、「後端方向Dr」と呼ぶ。先端方向Df側を「先端側」と呼び、後端方向Dr側を「後端側」とも呼ぶ。
A. First embodiment:
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a pressure sensor 10 as the first embodiment. The pressure sensor 10 of this embodiment is attached to an internal combustion engine and used to detect the pressure in the combustion chamber of the internal combustion engine. As shown in FIG. 1, the pressure sensor 10 includes a cylindrical first metal fitting 20, a second metal fitting 80, a third metal fitting 35, a pressure receiving part 40, a heat receiving part 90, and an element part as main components. 50 and a cable 60. The central axis CL is the central axis of the pressure sensor 10. Hereinafter, the central axis CL is also referred to as an axis line CL, and a direction parallel to the axis line CL is also referred to as an “axis direction”. The radial direction of the circle centered on the axis CL is also simply referred to as “radial direction”, and the circumferential direction of the circle centered on the axis CL is also simply referred to as “circumferential direction”. A direction from the first metal fitting 20 toward the pressure receiving portion 40 along the axis CL is referred to as a “front end direction Df”, and a direction opposite to the front end direction Df is referred to as a “rear end direction Dr”. The front end direction Df side is referred to as “front end side”, and the rear end direction Dr side is also referred to as “rear end side”.

図1には、圧力センサ10の先端側の部分の軸線CLよりも左側の断面構成が示されている。この断面は、軸線CLを含む平断面(平面で切断された断面)である。また、図1には、圧力センサ10の他の部分の外観構成が示されている。本実施形態では、圧力センサ10の中心軸CLは、第1金具20と第2金具80と第3金具35と受圧部40と受熱部90と素子部50とのそれぞれの中心軸でもある。   FIG. 1 shows a cross-sectional configuration on the left side of the axis line CL of the tip side portion of the pressure sensor 10. This cross section is a flat cross section (cross section cut along a plane) including the axis CL. FIG. 1 shows an external configuration of another part of the pressure sensor 10. In the present embodiment, the central axis CL of the pressure sensor 10 is also the central axis of each of the first metal fitting 20, the second metal fitting 80, the third metal fitting 35, the pressure receiving part 40, the heat receiving part 90, and the element part 50.

第1金具20と第2金具80と第3金具35とは、中心軸CLに垂直な断面(以下、横断面とも呼ぶ)が円環状であって軸線方向に延びる筒形状を有している。本実施形態では、第1金具20と第2金具80と第3金具35とは、ステンレス鋼で形成されている。ただし、他の材料(例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料)を採用してもよい。   The first metal fitting 20, the second metal fitting 80, and the third metal fitting 35 have a cylindrical shape that has an annular cross section (hereinafter also referred to as a transverse cross section) perpendicular to the central axis CL and extends in the axial direction. In this embodiment, the 1st metal fitting 20, the 2nd metal fitting 80, and the 3rd metal fitting 35 are formed with stainless steel. However, other materials (for example, steel such as low carbon steel, various metal materials) may be adopted.

第1金具20には、中心軸CLを中心とする貫通孔である軸孔21が形成されている。また、第1金具20の後端側外周面には、ねじ部22および工具係合部24が設けられている。ねじ部22は、圧力センサ10を内燃機関のシリンダヘッドに固定するためのねじ溝を備えている。工具係合部24は、圧力センサ10の取り付けおよび取り外しに用いられる工具(図示しない)に係り合う外周形状(例えば、横断面が六角形)を有する。   The first metal fitting 20 is formed with a shaft hole 21 that is a through-hole centered on the central axis CL. In addition, a screw portion 22 and a tool engagement portion 24 are provided on the outer peripheral surface of the first metal fitting 20 on the rear end side. The screw portion 22 includes a screw groove for fixing the pressure sensor 10 to the cylinder head of the internal combustion engine. The tool engaging portion 24 has an outer peripheral shape (for example, a hexagonal cross section) that engages with a tool (not shown) used for attaching and detaching the pressure sensor 10.

図2は、圧力センサ10の先端部、具体的には図1に領域Xとして示す部位を拡大して示す断面図である。この断面は、軸線CLを含む平断面である。第2金具80は、第1金具20の先端側に配置されており、第1金具20の先端に接合部26を介して接合されている。接合部26は、第1金具20と第2金具80とが溶接(例えば、レーザ溶接)の際に、溶融した部分である(以下、接合部26を「溶融部26」または「溶接痕26」とも呼ぶ)。接合部26は、第1金具20と第2金具80とが一体化した部分である。接合部26は、第1金具20の成分と第2金具80の成分とを含んでいる。第3金具35は、第2金具80の先端側に配置されており、第2金具80に接合部89を介して接合されている。接合部89は、第2金具80と第3金具35とが溶接(例えば、レーザ溶接)の際に、溶融した部分である(以下、接合部89を「溶融部89」または「溶接痕89」とも呼ぶ)。接合部89は、第2金具80と第3金具35とが一体化した部分である。接合部89は、第2金具80の成分と第3金具35の成分とを含んでいる。第3金具35の先端部には、先端側から後端側に向かって拡径する拡径部34が形成されている。圧力センサ10が内燃機関に取り付けられる場合、拡径部34は、内燃機関のシリンダヘッドに密着する。   FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the distal end portion of the pressure sensor 10, specifically, the portion indicated as the region X in FIG. This cross section is a flat cross section including the axis CL. The second metal fitting 80 is disposed on the front end side of the first metal fitting 20, and is joined to the front end of the first metal fitting 20 via the joining portion 26. The joint portion 26 is a melted portion when the first metal fitting 20 and the second metal fitting 80 are welded (for example, laser welding) (hereinafter, the joint portion 26 is referred to as “melting portion 26” or “welding mark 26”). Also called). The joint portion 26 is a portion where the first metal fitting 20 and the second metal fitting 80 are integrated. The joint portion 26 includes a component of the first metal fitting 20 and a component of the second metal fitting 80. The third metal fitting 35 is disposed on the distal end side of the second metal fitting 80, and is joined to the second metal fitting 80 via a joining portion 89. The joint portion 89 is a melted portion when the second metal fitting 80 and the third metal fitting 35 are welded (for example, laser welding) (hereinafter, the joint portion 89 is referred to as “melting portion 89” or “welding trace 89”). Also called). The joint portion 89 is a portion where the second metal fitting 80 and the third metal fitting 35 are integrated. The joint portion 89 includes the component of the second metal fitting 80 and the component of the third metal fitting 35. A diameter-expanded portion 34 that increases in diameter from the front end side toward the rear end side is formed at the front end portion of the third metal fitting 35. When the pressure sensor 10 is attached to the internal combustion engine, the enlarged diameter portion 34 is in close contact with the cylinder head of the internal combustion engine.

第2金具80には、中心軸CLを中心とする貫通孔である軸孔81が形成されている。第3金具35には、中心軸CLを中心とする貫通孔である軸孔39が形成されている。第1金具20の軸孔21と、第2金具80の軸孔81と、第3金具35の軸孔39とは、第1金具20の軸孔21に連通する連続な貫通孔を形成している。第2金具80の軸孔81内には、先端側から後端側に向かって順に、素子部50と押さえねじ32とが、配置されている。第3金具35の軸孔39内には、受圧部40が配置されている。   The second metal fitting 80 is formed with a shaft hole 81 that is a through-hole centered on the central axis CL. The third metal fitting 35 is formed with a shaft hole 39 that is a through-hole centered on the central axis CL. The shaft hole 21 of the first metal fitting 20, the shaft hole 81 of the second metal fitting 80, and the shaft hole 39 of the third metal fitting 35 form a continuous through hole communicating with the shaft hole 21 of the first metal fitting 20. Yes. In the shaft hole 81 of the second metal fitting 80, the element portion 50 and the holding screw 32 are arranged in order from the front end side to the rear end side. A pressure receiving portion 40 is disposed in the shaft hole 39 of the third metal fitting 35.

受圧部40は、ダイアフラム42とロッド44とを備えている。ダイアフラム42は、軸線CLを中心とする略円形の膜である。ダイアフラム42の外周側の縁42oは、全周に亘って、第2金具30の先端部に溶接されている(例えば、レーザ溶接)。ダイアフラム42の後端側の面の中央部には、ロッド44が接続されている。ロッド44は、軸線CLを中心とする円柱状の部分であり、ダイアフラム42から後端方向Dr側に向かって延びている。ロッド44の後端部49には、素子部50が接続されている。ダイアフラム42とロッド44とは、ステンレス鋼を用いて、一体的に形成されている(例えば、鍛造や削り出し)。ただし、ダイアフラム42とロッド44とを別々に形成した後に、溶接などによりダイアフラム42とロッド44とを一体化してもよい。また、他の材料(例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料)を採用してもよい。   The pressure receiving unit 40 includes a diaphragm 42 and a rod 44. The diaphragm 42 is a substantially circular film centered on the axis line CL. The outer edge 42o of the diaphragm 42 is welded to the tip of the second metal fitting 30 over the entire circumference (for example, laser welding). A rod 44 is connected to the center of the surface on the rear end side of the diaphragm 42. The rod 44 is a cylindrical portion centering on the axis CL, and extends from the diaphragm 42 toward the rear end direction Dr. The element portion 50 is connected to the rear end portion 49 of the rod 44. The diaphragm 42 and the rod 44 are integrally formed using stainless steel (for example, forging or shaving). However, after the diaphragm 42 and the rod 44 are separately formed, the diaphragm 42 and the rod 44 may be integrated by welding or the like. Moreover, you may employ | adopt other materials (For example, steel, such as low carbon steel, various metal materials).

ダイアフラム42の先端側の面には、受熱部90が接合されている(例えば、レーザ溶接)。受熱部90は、軸線CLを中心とする円盤状の板状部材である。後端方向Drを向いて圧力センサ10を見る場合、ダイアフラム42のおおよそ全体が、受熱部90によって隠されている。受熱部90は、接合部99を介して、ダイアフラム42(ひいては、受圧部40)に、接合されている。接合部99は、受熱部90とダイアフラム42(ひいては、受圧部40)とが溶接時に溶融した部分である(以下、接合部99を「溶融部99」または「溶接痕99」とも呼ぶ)。このような接合部99は、受熱部90とダイアフラム42とが一体化した部分である。また、接合部99は、受熱部90の成分とダイアフラム42の成分とを含んでいる。接合部99は、受熱部90の中央部に形成されている。受熱部90は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。   A heat receiving portion 90 is joined to the surface on the distal end side of the diaphragm 42 (for example, laser welding). The heat receiving part 90 is a disk-shaped plate member centering on the axis line CL. When the pressure sensor 10 is viewed in the rear end direction Dr, substantially the entire diaphragm 42 is hidden by the heat receiving unit 90. The heat receiving part 90 is joined to the diaphragm 42 (and thus the pressure receiving part 40) via the joining part 99. The joint portion 99 is a portion where the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42 (and hence the pressure receiving portion 40) are melted during welding (hereinafter, the joint portion 99 is also referred to as “melting portion 99” or “welding mark 99”). Such a joint portion 99 is a portion where the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42 are integrated. Further, the joint portion 99 includes a component of the heat receiving portion 90 and a component of the diaphragm 42. The joint 99 is formed at the center of the heat receiving part 90. The heat receiving portion 90 is formed using stainless steel in the present embodiment, but may be formed using other metals.

ダイアフラム42は、第3金具35の先端において、軸孔39を塞いでいる。ダイアフラム42は、内燃機関の燃焼室内に露出し、ダイアフラム42の先端方向Df側の面42fは、受圧面を形成する。本実施形態では、受圧面42fは、ダイアフラム42と受熱部90との間の隙間を通じて、燃焼室内の圧力を受け得る。また、ダイアフラム42は、受熱部90を通じて、燃焼室内の圧力に応じた荷重を受け得る。そして、ダイアフラム42は、燃焼室内の圧力に応じて変形する。ロッド44は、ダイアフラム42の変形に応じて軸線CLに沿って変位することによって、ダイアフラム42が受けた圧力に応じた荷重を、後端側の素子部50に伝達する。ダイアフラム42を薄くするほど、ダイアフラム42が変形し易くなるので、圧力センサ10の感度を高めることができる。   The diaphragm 42 closes the shaft hole 39 at the tip of the third metal fitting 35. The diaphragm 42 is exposed in the combustion chamber of the internal combustion engine, and the surface 42f on the tip end direction Df side of the diaphragm 42 forms a pressure receiving surface. In the present embodiment, the pressure receiving surface 42 f can receive the pressure in the combustion chamber through the gap between the diaphragm 42 and the heat receiving portion 90. Further, the diaphragm 42 can receive a load corresponding to the pressure in the combustion chamber through the heat receiving portion 90. And the diaphragm 42 deform | transforms according to the pressure in a combustion chamber. The rod 44 is displaced along the axis CL according to the deformation of the diaphragm 42, thereby transmitting a load corresponding to the pressure received by the diaphragm 42 to the element portion 50 on the rear end side. As the diaphragm 42 is made thinner, the diaphragm 42 is more easily deformed, so that the sensitivity of the pressure sensor 10 can be increased.

押さえねじ32は、第2金具80の軸孔81の後端側に取り付けられている。押さえねじ32には、軸線CLを中心とする貫通孔である軸孔36が形成されている。押さえねじ32の外周面には、雄ねじ37が形成されている。第2金具80の軸孔81の後端側の部分の内周面には、押さえねじ32の雄ねじ37に対応する雌ねじ88が形成されている。押さえねじ32は、第2金具80の後端側から、軸孔81内にねじ込まれている。押さえねじ32と受圧部40のロッド44との間には、素子部50が挟まれている。押さえねじ32は、素子部50に対して、予荷重を印加する。押さえねじ32を第2金具80にねじ込む場合の押さえねじ32の回転数を調整することによって、適切な予荷重を容易に実現できる。従って、圧力測定の精度を向上できる。なお、押さえねじ32は、ステンレス鋼で形成されている。ただし、他の材料(例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料)を採用してもよい。   The holding screw 32 is attached to the rear end side of the shaft hole 81 of the second metal fitting 80. The holding screw 32 is formed with a shaft hole 36 that is a through-hole centered on the axis CL. A male screw 37 is formed on the outer peripheral surface of the holding screw 32. A female screw 88 corresponding to the male screw 37 of the holding screw 32 is formed on the inner peripheral surface of the rear end side portion of the shaft hole 81 of the second metal fitting 80. The holding screw 32 is screwed into the shaft hole 81 from the rear end side of the second metal fitting 80. The element unit 50 is sandwiched between the holding screw 32 and the rod 44 of the pressure receiving unit 40. The holding screw 32 applies a preload to the element unit 50. By adjusting the number of rotations of the holding screw 32 when the holding screw 32 is screwed into the second metal fitting 80, an appropriate preload can be easily realized. Therefore, the accuracy of pressure measurement can be improved. Note that the holding screw 32 is made of stainless steel. However, other materials (for example, steel such as low carbon steel, various metal materials) may be adopted.

素子部50は、2個の電極52と、2個の電極52に挟まれた圧電素子51と、先端側の電極52の先端側に配置された押さえ板54と、後端側の電極52から後端方向Drに向かって順番に並ぶリード部53、押さえ板54、絶縁板55と、を備えている。図2に示すように、押さえ板54、電極52、圧電素子51、電極52、リード部53、押さえ板54、絶縁板55は、先端側から後端側に向かってこの順番に、積層されている。絶縁板55の後端側の面は、押さえねじ32の先端側の面に支持されている。ロッド44の後端部49は、先端側の押さえ板54の先端側の面に接触している。圧電素子51は、先端側の電極52と押さえ板54とを介して、ロッド44に接続されている。ロッド44と、先端側の押さえ板54と電極52との全体は、ダイアフラム42と圧電素子51とを接続する接続部100を形成している。   The element unit 50 includes two electrodes 52, a piezoelectric element 51 sandwiched between the two electrodes 52, a pressing plate 54 disposed on the front end side of the front end electrode 52, and an electrode 52 on the rear end side. A lead portion 53, a pressing plate 54, and an insulating plate 55 are arranged in order in the rear end direction Dr. As shown in FIG. 2, the pressing plate 54, the electrode 52, the piezoelectric element 51, the electrode 52, the lead portion 53, the pressing plate 54, and the insulating plate 55 are laminated in this order from the front end side to the rear end side. Yes. The surface on the rear end side of the insulating plate 55 is supported by the surface on the front end side of the press screw 32. The rear end portion 49 of the rod 44 is in contact with the front end surface of the front end holding plate 54. The piezoelectric element 51 is connected to the rod 44 via a tip-side electrode 52 and a pressing plate 54. The whole of the rod 44, the holding plate 54 on the distal end side, and the electrode 52 forms a connection portion 100 that connects the diaphragm 42 and the piezoelectric element 51.

図3は、素子部50の分解斜視図である。図示するように、圧電素子51と電極52とは軸線CLを中心とする円盤状の板状部材である。押さえ板54と絶縁板55とは、軸線CLを中心とする円環状の板状部材である。圧電素子51は、本実施形態では水晶を用いて形成されているが、他の材料で形成された圧電素子を採用してもよい。圧電素子51上では、受圧部40(図2)からロッド44を通じて伝達された荷重に応じて、電荷が生じる。圧電素子51は、荷重に応じた電荷(例えば、電気信号)を、2個の電極52を通じて、出力する。出力された電気信号に基づいて、ダイアフラム42の変形量、すなわち、燃焼室内の圧力を特定可能である。このように、圧電素子51は、受圧部40が受けた圧力によって変化する電気的特性を有している。電極52と押さえ板54とは、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。絶縁板55は、リード部53と押さえねじ32(図2)との間を絶縁するための部材である。本実施形態では、絶縁板55はアルミナで形成されているが、他種の絶縁性材料で形成されてもよい。   FIG. 3 is an exploded perspective view of the element unit 50. As shown in the drawing, the piezoelectric element 51 and the electrode 52 are disk-shaped plate members centered on the axis CL. The holding plate 54 and the insulating plate 55 are annular plate-like members centered on the axis line CL. The piezoelectric element 51 is formed using quartz in the present embodiment, but a piezoelectric element formed of another material may be adopted. On the piezoelectric element 51, an electric charge is generated according to the load transmitted through the rod 44 from the pressure receiving portion 40 (FIG. 2). The piezoelectric element 51 outputs an electric charge (for example, an electric signal) corresponding to the load through the two electrodes 52. Based on the output electric signal, the deformation amount of the diaphragm 42, that is, the pressure in the combustion chamber can be specified. Thus, the piezoelectric element 51 has an electrical characteristic that varies depending on the pressure received by the pressure receiving unit 40. The electrode 52 and the pressing plate 54 are formed using stainless steel in the present embodiment, but may be formed using other metals. The insulating plate 55 is a member for insulating between the lead portion 53 and the holding screw 32 (FIG. 2). In this embodiment, the insulating plate 55 is formed of alumina, but may be formed of other types of insulating materials.

リード部53は、略円盤状の板状部材である円盤部57と、円盤部57の中央部から後端方向Drに向かって延びる端子部56と、を備えている。端子部56は、押さえ板54の貫通孔54hと絶縁板55の貫通孔55hを通り抜けて、後端方向Dr側に突出している(図2)。リード部53は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。リード部53は、円盤部57と端子部56とを合わせた形状をステンレス鋼の平板から打ち抜いた後に、端子部56となる部分を折り曲げることにより作製することができる。   The lead part 53 includes a disk part 57 that is a substantially disk-shaped plate member, and a terminal part 56 that extends from the center part of the disk part 57 toward the rear end direction Dr. The terminal portion 56 passes through the through hole 54h of the pressing plate 54 and the through hole 55h of the insulating plate 55 and protrudes toward the rear end direction Dr (FIG. 2). The lead portion 53 is formed using stainless steel in the present embodiment, but may be formed using other metals. The lead part 53 can be produced by punching out the shape of the disk part 57 and the terminal part 56 from a stainless steel flat plate, and then bending the part to be the terminal part 56.

第2金具80(図2)の軸孔81内において、リード部53は、円盤部57が電極52と面接触すると共に、端子部56が後端側に延びるように配置される。端子部56は、押さえ板54の中央部の貫通孔54hと絶縁板55の中央部の貫通孔55hとを貫通している。端子部56の後端側の部分は、押さえねじ32の軸孔36の内壁面から離間した状態で、軸孔36内に配置されている。   In the shaft hole 81 of the second metal fitting 80 (FIG. 2), the lead portion 53 is arranged such that the disk portion 57 is in surface contact with the electrode 52 and the terminal portion 56 extends to the rear end side. The terminal portion 56 passes through the through hole 54 h at the center of the pressing plate 54 and the through hole 55 h at the center of the insulating plate 55. The rear end portion of the terminal portion 56 is disposed in the shaft hole 36 in a state of being separated from the inner wall surface of the shaft hole 36 of the presser screw 32.

素子部50を構成する各部材(絶縁板55を除く)は、第2金具80の軸孔81内において、第2金具80の内壁面から離間するように配置される。圧電素子51の後端側の電極52は、リード部53(本実施形態では、更に、押さえ板54)に電気的に接続されており、第1金具20と第2金具80と第3金具35とからは電気的に離れている。圧電素子51の先端側の電極52は、先端側の押さえ板54とロッド44とダイアフラム42とを通じて、第3金具35に電気的に接続されている。なお、本実施形態では、圧電素子51に掛かる荷重の分布を均等にするために、圧電素子51の後端側だけでなく先端側にも押さえ板54が配置されている。   Each member (excluding the insulating plate 55) constituting the element unit 50 is disposed in the shaft hole 81 of the second metal fitting 80 so as to be separated from the inner wall surface of the second metal fitting 80. The electrode 52 on the rear end side of the piezoelectric element 51 is electrically connected to a lead portion 53 (in this embodiment, further a holding plate 54), and the first metal fitting 20, the second metal fitting 80, and the third metal fitting 35 are connected. It is electrically separated from. The electrode 52 on the distal end side of the piezoelectric element 51 is electrically connected to the third metal fitting 35 through the holding plate 54 on the distal end side, the rod 44, and the diaphragm 42. In the present embodiment, in order to make the distribution of the load applied to the piezoelectric element 51 uniform, the pressing plate 54 is disposed not only on the rear end side but also on the front end side of the piezoelectric element 51.

第1金具20の軸孔21内には、ケーブル60が配置されている。ケーブル60は、圧電素子51の電荷に基づいて内燃機関の燃焼圧を検出するための図示しない電気回路に対して、圧電素子51の電荷を伝えるための部材である。本実施形態では、ケーブル60として、多層構造を有するいわゆるシールド線を用いて、ノイズを低減している。ケーブル60は、中心から外周側に向かって配置された、内部導体65と、絶縁体64と、導電コーティング63と、外部導体62と、ジャケット61と、を備えている。内部導体65は、複数の導線で構成されている。内部導体65の径方向の外側は、絶縁体64で囲まれている。絶縁体64の外周面には、導電コーティング63が設けられている。導電コーティング63の径方向外側には、網シールドである外部導体62が設けられている。外部導体62の外周面は、ジャケット61によって被覆されている。このように同軸上に配置された複数の部材を備えるケーブルは、同軸ケーブルとも呼ばれる。   A cable 60 is disposed in the shaft hole 21 of the first metal fitting 20. The cable 60 is a member for transmitting the electric charge of the piezoelectric element 51 to an electric circuit (not shown) for detecting the combustion pressure of the internal combustion engine based on the electric charge of the piezoelectric element 51. In this embodiment, noise is reduced by using a so-called shielded wire having a multilayer structure as the cable 60. The cable 60 includes an inner conductor 65, an insulator 64, a conductive coating 63, an outer conductor 62, and a jacket 61 arranged from the center toward the outer peripheral side. The inner conductor 65 is composed of a plurality of conductive wires. The outer side of the inner conductor 65 in the radial direction is surrounded by an insulator 64. A conductive coating 63 is provided on the outer peripheral surface of the insulator 64. An outer conductor 62 that is a mesh shield is provided on the outer side in the radial direction of the conductive coating 63. The outer peripheral surface of the outer conductor 62 is covered with a jacket 61. A cable including a plurality of members arranged coaxially in this way is also called a coaxial cable.

図2に示すように、ケーブル60の先端部では、ジャケット61に覆われた部分から先端側に向かって、ジャケット61に覆われない外部導体62が露出している。また、外部導体62が露出する部分から先端側に向かって、外部導体62に覆われない絶縁体64が露出している。さらに、絶縁体64が露出する部分から先端側に向かって、絶縁体64に覆われない内部導体65が露出している。   As shown in FIG. 2, the outer conductor 62 that is not covered by the jacket 61 is exposed from the portion covered by the jacket 61 toward the distal end side at the distal end portion of the cable 60. Further, the insulator 64 that is not covered by the external conductor 62 is exposed from the portion where the external conductor 62 is exposed toward the tip side. Further, the inner conductor 65 that is not covered by the insulator 64 is exposed from the portion where the insulator 64 is exposed toward the tip side.

ケーブル60の先端部で露出する内部導体65は、平板導線75と細径導線74とを介して、素子部50の端子部56に接続されている。具体的には、内部導体65の先端には、平板導線75が溶接されており、平板導線75の先端には、コイル状に巻回された細径導線74の後端が溶接されており、細径導線74の先端は、端子部56の後端部に溶接されている。平板導線75と細径導線74とは、圧電素子51の電荷を、端子部56から内部導体65に伝達できる。なお、内部導体65と端子部56とを接続するための構成としては、平板導線75と細径導線74とを用いる構成に代えて、他の任意の構成を採用可能である。   The internal conductor 65 exposed at the distal end portion of the cable 60 is connected to the terminal portion 56 of the element portion 50 through the flat plate conductive wire 75 and the small diameter conductive wire 74. Specifically, the flat conductor 75 is welded to the tip of the inner conductor 65, and the rear end of the thin conductor 74 wound in a coil shape is welded to the tip of the flat conductor 75, The distal end of the small diameter conductive wire 74 is welded to the rear end portion of the terminal portion 56. The flat conductive wire 75 and the thin conductive wire 74 can transmit the electric charge of the piezoelectric element 51 from the terminal portion 56 to the internal conductor 65. In addition, as a structure for connecting the internal conductor 65 and the terminal part 56, it replaces with the structure using the flat conducting wire 75 and the thin diameter conducting wire 74, and can employ | adopt other arbitrary structures.

端子部56の先端から、端子部56と細径導線74とを接続する溶接部よりも後端側の位置まで、端子部56の全体、および、細径導線74の先端部を含む範囲が、熱収縮チューブ72によって覆われている。これにより、端子部56と押さえねじ32との間の電気的な絶縁の信頼性が高められている。圧力センサ10を製造する際には、端子部56を有するリード部53と細径導線74との溶接による一体化と、熱収縮チューブ72による被覆とを、全体の組み立てに先立って行なえばよい。   From the tip of the terminal portion 56 to the position on the rear end side of the welded portion connecting the terminal portion 56 and the thin wire 74, the range including the entire terminal portion 56 and the tip of the thin wire 74 is Covered by a heat-shrinkable tube 72. Thereby, the reliability of the electrical insulation between the terminal part 56 and the holding screw 32 is improved. When manufacturing the pressure sensor 10, the integration of the lead portion 53 having the terminal portion 56 and the thin lead wire 74 by welding and the covering with the heat shrinkable tube 72 may be performed prior to the entire assembly.

外部導体62の先端部には、外部導体62の先端からさらに先端側に延びる接地導線76が接続されている。接地導線76は、外部導体62から連続して形成された撚り線で構成されている。接地導線76の先端部は、押さえねじ32の後端部に溶接されている。これにより、外部導体62は、接地導線76、押さえねじ32、第2金具80、第3金具35、および内燃機関のシリンダヘッドを通じて接地される。   A grounding conductor 76 extending from the distal end of the external conductor 62 to the distal end side is connected to the distal end portion of the external conductor 62. The grounding conductor 76 is composed of a stranded wire formed continuously from the outer conductor 62. The front end portion of the grounding conductor 76 is welded to the rear end portion of the holding screw 32. As a result, the outer conductor 62 is grounded through the grounding conductor 76, the holding screw 32, the second metal fitting 80, the third metal fitting 35, and the cylinder head of the internal combustion engine.

圧力センサ10を製造する際には、第3金具35の先端側から軸孔39内に、ロッド44が挿入される。ダイアフラム42と第3金具35とが溶接(例えば、レーザ溶接)されて、接合部45が形成される。接合部45は、ダイアフラム42と第3金具35とが溶接時に溶融した部分である(以下、接合部45を「溶融部45」または「溶接痕45」とも呼ぶ)。このような接合部45は、ダイアフラム42と第3金具35とが一体化した部分である。また、接合部45は、ダイアフラム42の成分と第3金具35の成分とを含んでいる。また、接合部45は、ダイアフラム42と第3金具35とを接合している。また、第2金具80の後端側から軸孔81内に、押さえねじ32がねじ込まれる。この段階では、押さえねじ32は、第2金具80に、仮に固定される。その後、第2金具80の先端側から軸孔81内に、素子部50が挿入される。素子部50のリード部53の端子部56は、予め、細径導線74及び熱収縮チューブ72と一体化されている。そして、押さえねじ32の軸孔36の先端側から細径導線74が挿入され、軸孔36の後端側から細径導線74が引き出される。絶縁板55の後端側の面は、押さえねじ32の先端側の面に支持される。これらの後に、第3金具35が、第2金具80の先端側に配置される。これにより、素子部50は、押さえねじ32とロッド44とに挟まれる。そして、第3金具35と第2金具80とが溶接されて、接合部89が形成される。その後、第2金具80に対して押さえねじ32を回転させることによって、素子部50に予荷重を印加する。押さえねじ32の回転数を調整することによって、予荷重を調整できる。   When manufacturing the pressure sensor 10, the rod 44 is inserted into the shaft hole 39 from the distal end side of the third metal fitting 35. The diaphragm 42 and the third metal fitting 35 are welded (for example, laser welding) to form the joint portion 45. The joining portion 45 is a portion where the diaphragm 42 and the third metal fitting 35 are melted during welding (hereinafter, the joining portion 45 is also referred to as “melting portion 45” or “welding mark 45”). Such a joint portion 45 is a portion where the diaphragm 42 and the third metal fitting 35 are integrated. Further, the joint portion 45 includes a component of the diaphragm 42 and a component of the third metal fitting 35. Further, the joint portion 45 joins the diaphragm 42 and the third metal fitting 35. The holding screw 32 is screwed into the shaft hole 81 from the rear end side of the second metal fitting 80. At this stage, the holding screw 32 is temporarily fixed to the second metal fitting 80. Thereafter, the element unit 50 is inserted into the shaft hole 81 from the distal end side of the second metal fitting 80. The terminal portion 56 of the lead portion 53 of the element portion 50 is integrated with the small-diameter conductive wire 74 and the heat shrinkable tube 72 in advance. And the thin diameter conducting wire 74 is inserted from the front end side of the shaft hole 36 of the holding screw 32, and the small diameter conducting wire 74 is drawn out from the rear end side of the shaft hole 36. The rear end surface of the insulating plate 55 is supported by the front end surface of the cap screw 32. After these, the third metal fitting 35 is disposed on the distal end side of the second metal fitting 80. As a result, the element unit 50 is sandwiched between the holding screw 32 and the rod 44. And the 3rd metal fitting 35 and the 2nd metal fitting 80 are welded, and the joined part 89 is formed. Thereafter, a preload is applied to the element portion 50 by rotating the holding screw 32 with respect to the second metal fitting 80. By adjusting the number of rotations of the holding screw 32, the preload can be adjusted.

そして、押さえねじ32(具体的には、軸孔36)の後端側から引き出された細径導線74の後端、および、内部導体65の先端を、平板導線75と溶接する。また、接地導線76の先端部と押さえねじ32の後端部とを溶接する。さらに、ケーブル60を第1金具20の軸孔21内に通して、第1金具20の先端と第2金具80とを溶接し、接合部26を形成する。その後、第1金具20の軸孔21内に溶融ゴムを注入して軸孔21内をゴム層で満たし(図示せず)、圧力センサ10を完成する。ゴム層を形成することにより、圧力センサ10内の防水性を向上させ、かつ、防振性も高めている。なお、溶融ゴムに代えて溶融樹脂を軸孔21内に注入してもよい。   Then, the rear end of the small-diameter conductive wire 74 drawn from the rear end side of the holding screw 32 (specifically, the shaft hole 36) and the front end of the internal conductor 65 are welded to the flat plate conductive wire 75. Further, the front end portion of the grounding conductor 76 and the rear end portion of the holding screw 32 are welded. Further, the cable 60 is passed through the shaft hole 21 of the first metal fitting 20, and the tip of the first metal fitting 20 and the second metal fitting 80 are welded to form the joint portion 26. Thereafter, molten rubber is injected into the shaft hole 21 of the first metal fitting 20 to fill the shaft hole 21 with a rubber layer (not shown), and the pressure sensor 10 is completed. By forming the rubber layer, the waterproof property in the pressure sensor 10 is improved and the vibration proof property is also improved. Note that molten resin may be injected into the shaft hole 21 instead of the molten rubber.

なお、第2金具80と第3金具35と素子部50と押さえねじ32との組み立ての順番としては、上記の順番に代えて、他の種々の順番を採用可能である。例えば、第3金具35にダイアフラム42を溶接し、第3金具35に第2金具80を溶接し、第2金具80の後端側から軸孔81内に素子部50を挿入し、第2金具80の後端側から軸孔81内に押さえねじ32をねじ込む、という順番を採用してもよい。   In addition, as an assembly order of the second metal fitting 80, the third metal fitting 35, the element portion 50, and the holding screw 32, other various orders can be adopted instead of the above-described order. For example, the diaphragm 42 is welded to the third metal fitting 35, the second metal fitting 80 is welded to the third metal fitting 35, the element portion 50 is inserted into the shaft hole 81 from the rear end side of the second metal fitting 80, and the second metal fitting 35 is inserted. An order in which the holding screw 32 is screwed into the shaft hole 81 from the rear end side of 80 may be adopted.

B.ダイアフラム42の熱膨張について:
図4は、圧力センサ10の動作の説明図である。図中には、圧力センサ10の先端側の一部分の軸線CLを含む平断面が示されている。ダイアフラム42の受圧面42fは、ダイアフラム42と受熱部90との間の隙間95を通じて、燃焼室内の圧力Pcを受け得る。また、ダイアフラム42は、受熱部90を通じて、圧力Pcに応じた荷重を受け得る。ダイアフラム42は、燃焼室内の圧力Pcに応じて撓む(変形する)。図4の実施形態では、ダイアフラム42は、軸線CLに平行な方向に撓む。ロッド44は、ダイアフラム42の撓み(変形)に応じて、軸線CLにおおよそ平行に変位する。これにより、ロッド44は、圧力Pcに応じた荷重を、素子部50に伝達する。
B. About thermal expansion of diaphragm 42:
FIG. 4 is an explanatory diagram of the operation of the pressure sensor 10. In the drawing, a plane cross section including a part of the axis CL on the tip side of the pressure sensor 10 is shown. The pressure receiving surface 42 f of the diaphragm 42 can receive the pressure Pc in the combustion chamber through the gap 95 between the diaphragm 42 and the heat receiving portion 90. Further, the diaphragm 42 can receive a load corresponding to the pressure Pc through the heat receiving portion 90. The diaphragm 42 bends (deforms) according to the pressure Pc in the combustion chamber. In the embodiment of FIG. 4, the diaphragm 42 bends in a direction parallel to the axis CL. The rod 44 is displaced approximately parallel to the axis CL in accordance with the bending (deformation) of the diaphragm 42. As a result, the rod 44 transmits a load corresponding to the pressure Pc to the element unit 50.

また、受熱部90は、ダイアフラム42よりも先端側、すなわち、燃焼室側に、配置されている。受熱部90は、ダイアフラム42の代わりに、燃焼室からの熱を受けることができる。例えば、燃料の燃焼で生じた熱が、燃焼室内のガスを通じて、受熱部90の先端側の面に伝導し得る。また、高温の燃焼ガスが、受熱部90の先端側の面に接触し得る。このように、受熱部90(特に、先端側の面)の温度が、高くなり得る。ダイアフラム42は、受熱部90の後端側に配置されているので、受熱部90と比べて、燃焼室からの熱を受け難い。従って、ダイアフラム42の熱膨張が抑制される。   Further, the heat receiving portion 90 is disposed on the tip side of the diaphragm 42, that is, on the combustion chamber side. The heat receiving unit 90 can receive heat from the combustion chamber instead of the diaphragm 42. For example, heat generated by the combustion of the fuel can be conducted to the surface on the front end side of the heat receiving unit 90 through the gas in the combustion chamber. Further, high-temperature combustion gas can come into contact with the surface on the front end side of the heat receiving unit 90. As described above, the temperature of the heat receiving unit 90 (particularly, the tip side surface) can be increased. Since the diaphragm 42 is disposed on the rear end side of the heat receiving unit 90, it is less likely to receive heat from the combustion chamber than the heat receiving unit 90. Therefore, the thermal expansion of the diaphragm 42 is suppressed.

図5は、参考例の圧力センサ10xの動作の説明図である。図中には、圧力センサ10xの先端側の一部分の軸線CLを含む平断面が示されている。図4の実施形態の圧力センサ10との差異は、受熱部90が省略されている点だけである。圧力センサ10xの他の部分の構成は、実施形態の圧力センサ10の対応する部分の構成と、同じである。   FIG. 5 is an explanatory diagram of the operation of the pressure sensor 10x of the reference example. In the drawing, a plane cross section including an axis CL of a part of the tip side of the pressure sensor 10x is shown. The only difference from the pressure sensor 10 of the embodiment of FIG. 4 is that the heat receiving portion 90 is omitted. The configuration of the other part of the pressure sensor 10x is the same as the configuration of the corresponding part of the pressure sensor 10 of the embodiment.

ダイアフラム42の受圧面42fは、図4の実施形態の受圧面42fと同様に、燃焼室内の圧力Pcを受ける。また、図5の参考例では、図4の実施形態とは異なり、受熱部90が省略されているので、ダイアフラム42の先端方向Df側の部分(例えば、受圧面42f)は、燃焼室からの熱を受ける。これにより、ダイアフラム42のうち、先端方向Df側の部分が、局所的に、熱膨張し得る。参考例では、ダイアフラム42の外周側の縁42oは、第3金具35に接合されている。従って、ダイアフラム42は、熱膨張によって、内周側に向かって伸びようとする。この場合、ダイアフラム42の熱膨張は、ロッド44に、軸線CLに平行な力を印加し得る。例えば、図5の参考例では、ダイアフラム42の受圧面42fの熱膨張は、ロッド44に、先端方向Dfの力Fを印加している。これにより、素子部50に印加される荷重が小さくなる。このように、参考例の圧力センサ10xでは、素子部50に印加される荷重が、燃焼ガスの温度に依存して大きく変動し得るので、素子部50からの信号の誤差が大きくなる。   The pressure receiving surface 42f of the diaphragm 42 receives the pressure Pc in the combustion chamber, similarly to the pressure receiving surface 42f of the embodiment of FIG. Further, in the reference example of FIG. 5, unlike the embodiment of FIG. 4, the heat receiving portion 90 is omitted, so that the portion (for example, the pressure receiving surface 42 f) on the tip end direction Df side of the diaphragm 42 is from the combustion chamber. Receive heat. Thereby, the part by the side of the front-end | tip direction Df among the diaphragms 42 can be thermally expanded locally. In the reference example, the outer edge 42 o of the diaphragm 42 is joined to the third metal fitting 35. Therefore, the diaphragm 42 tends to extend toward the inner peripheral side by thermal expansion. In this case, the thermal expansion of the diaphragm 42 can apply a force parallel to the axis CL to the rod 44. For example, in the reference example of FIG. 5, the thermal expansion of the pressure receiving surface 42 f of the diaphragm 42 applies a force F in the distal direction Df to the rod 44. Thereby, the load applied to the element part 50 becomes small. As described above, in the pressure sensor 10x of the reference example, the load applied to the element unit 50 can fluctuate greatly depending on the temperature of the combustion gas, so that the error of the signal from the element unit 50 increases.

図4に示す実施形態では、受熱部90によって、ダイアフラム42の熱膨張が抑制されている。従って、図5の参考例と比べて、第1実施形態では、素子部50からの信号の誤差を小さくできる。   In the embodiment shown in FIG. 4, thermal expansion of the diaphragm 42 is suppressed by the heat receiving unit 90. Therefore, as compared with the reference example of FIG. 5, in the first embodiment, the error of the signal from the element unit 50 can be reduced.

C.第2実施形態:
図6は、第2実施形態の圧力センサ10aの説明図である。図中には、図4と同様に、圧力センサ10aの先端側の部分の軸線CLを含む平断面が示されている。図4の第1実施形態との差異は、ロッド44aが、ダイアフラム42aよりも先端方向Df側まで延びている点と、このロッド44aの先端部に受熱部90が接合されている点と、だけである。圧力センサ10aの他の部分の構成は、第1実施形態の圧力センサ10の対応する部分の構成と、同じである。
C. Second embodiment:
FIG. 6 is an explanatory diagram of the pressure sensor 10a of the second embodiment. In the drawing, as in FIG. 4, a plane cross section including an axis CL of the tip side portion of the pressure sensor 10 a is shown. The only difference from the first embodiment of FIG. 4 is that the rod 44a extends to the tip direction Df side from the diaphragm 42a and that the heat receiving portion 90 is joined to the tip portion of the rod 44a. It is. The structure of the other part of the pressure sensor 10a is the same as the structure of the corresponding part of the pressure sensor 10 of the first embodiment.

第2実施形態では、受圧部40aは、ロッド44aと、ダイアフラム42aと、固定部41aとを、備えている。ダイアフラム42aは、軸線CLを中心とする円環形状の膜である。ダイアフラム42aの外周側の縁42aoは、全周に亘って、第3金具35の先端部に溶接されている(例えば、レーザ溶接)。ダイアフラム42aと第3金具35とを接合する接合部45は、溶接時に溶融した部分である。ダイアフラム42aの内周側の縁42aiには、固定部41aが接続されている。固定部41aは、軸線CLを中心とする円筒状の部分であり、ダイアフラム42aの縁42aiから先端方向Df側に向かって延びている。固定部41aとダイアフラム42aとは、ステンレス鋼を用いて、一体的に形成されている(例えば、鍛造や削り出し)。ただし、固定部41aとダイアフラム42aとを別々に形成した後に、溶接などにより固定部41aとダイアフラム42aとを一体化してもよい。また、他の材料(例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料)を採用してもよい。   In the second embodiment, the pressure receiving portion 40a includes a rod 44a, a diaphragm 42a, and a fixing portion 41a. The diaphragm 42a is an annular film centered on the axis CL. The outer peripheral edge 42ao of the diaphragm 42a is welded to the tip of the third metal fitting 35 over the entire circumference (for example, laser welding). The joint portion 45 that joins the diaphragm 42a and the third metal fitting 35 is a portion melted during welding. A fixed portion 41a is connected to the inner peripheral edge 42ai of the diaphragm 42a. The fixed portion 41a is a cylindrical portion centered on the axis CL, and extends from the edge 42ai of the diaphragm 42a toward the distal direction Df. The fixed portion 41a and the diaphragm 42a are integrally formed using stainless steel (for example, forging or shaving). However, after the fixing portion 41a and the diaphragm 42a are separately formed, the fixing portion 41a and the diaphragm 42a may be integrated by welding or the like. Moreover, you may employ | adopt other materials (For example, steel, such as low carbon steel, various metal materials).

固定部41aとダイアフラム42aとの内周側の貫通孔には、ロッド44aが挿入されている。ロッド44aは、軸線CLを中心とする円柱状の部材である。ロッド44aの後端面は、素子部50の先端側の押さえ板54の先端側の面に接触している。ロッド44aの先端部は、固定部41aから先端側へ突出している。ロッド44aは、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。   A rod 44a is inserted into a through hole on the inner peripheral side of the fixed portion 41a and the diaphragm 42a. The rod 44a is a columnar member centered on the axis CL. The rear end surface of the rod 44 a is in contact with the surface on the front end side of the pressing plate 54 on the front end side of the element unit 50. The distal end portion of the rod 44a protrudes from the fixed portion 41a toward the distal end side. The rod 44a is formed using stainless steel in the present embodiment, but may be formed using other metals.

固定部41aとロッド44aとは、全周に亘って、溶接されている(例えば、レーザ溶接)。このように、ダイアフラム42aは、固定部41aを介して、ロッド44aに接続されている。圧電素子51は、先端側の電極52と押さえ板54とを介して、ロッド44aに接続されている。固定部41aと、ロッド44aと、先端側の押さえ板54と電極52との全体は、ダイアフラム42aと圧電素子51とを接続する接続部100aを形成している。   The fixed portion 41a and the rod 44a are welded over the entire circumference (for example, laser welding). Thus, the diaphragm 42a is connected to the rod 44a through the fixing portion 41a. The piezoelectric element 51 is connected to the rod 44 a via the tip-side electrode 52 and the pressing plate 54. The whole of the fixing portion 41 a, the rod 44 a, the holding plate 54 on the distal end side, and the electrode 52 forms a connection portion 100 a that connects the diaphragm 42 a and the piezoelectric element 51.

受熱部90は、ロッド44aの先端面に接合されている(例えば、レーザ溶接)。受熱部90は、接合部99aを介して、ロッド44aに、接合されている。接合部99aは、受熱部90とロッド44aとが溶接時に溶融した部分である(以下、接合部99aを「溶融部99a」または「溶接痕99a」とも呼ぶ)。このような接合部99aは、受熱部90とロッド44aとが一体化した部分である。また、接合部99aは、受熱部90の成分とロッド44aの成分とを含んでいる。このように、第2実施形態では、受熱部90は、ロッド44aと固定部41aと介して、ダイアフラム42aに接続されている。接合部99aは、受熱部90の中央部に形成されている。第2実施形態では、接合部99aは、ロッド44aの先端側の端面の全体に亘って、形成されている。受熱部90は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。   The heat receiving part 90 is joined to the tip surface of the rod 44a (for example, laser welding). The heat receiving part 90 is joined to the rod 44a via the joint 99a. The joint portion 99a is a portion where the heat receiving portion 90 and the rod 44a are melted during welding (hereinafter, the joint portion 99a is also referred to as “melting portion 99a” or “welding mark 99a”). Such a joint portion 99a is a portion where the heat receiving portion 90 and the rod 44a are integrated. Further, the joint portion 99a includes a component of the heat receiving portion 90 and a component of the rod 44a. Thus, in 2nd Embodiment, the heat receiving part 90 is connected to the diaphragm 42a via the rod 44a and the fixing | fixed part 41a. The joint portion 99a is formed at the center of the heat receiving portion 90. In 2nd Embodiment, the junction part 99a is formed over the whole end surface at the front end side of the rod 44a. The heat receiving portion 90 is formed using stainless steel in the present embodiment, but may be formed using other metals.

後端方向Drを向いて圧力センサ10aを見る場合、ダイアフラム42aのおおよそ全体が、受熱部90によって隠されている。第1実施形態と同様に、受熱部90は、ダイアフラム42aの代わりに、燃焼室からの熱を受けることができる。ダイアフラム42aは、受熱部90の後端側に配置されているので、受熱部90と比べて、燃焼室からの熱を受け難い。従って、ダイアフラム42aの熱膨張が抑制される。図5の参考例と比べて、第2実施形態では、素子部50からの信号の誤差を小さくできる。   When the pressure sensor 10a is viewed in the rear end direction Dr, substantially the entire diaphragm 42a is hidden by the heat receiving unit 90. Similar to the first embodiment, the heat receiving unit 90 can receive heat from the combustion chamber instead of the diaphragm 42a. Since the diaphragm 42 a is disposed on the rear end side of the heat receiving unit 90, it is less likely to receive heat from the combustion chamber than the heat receiving unit 90. Therefore, the thermal expansion of the diaphragm 42a is suppressed. Compared to the reference example of FIG. 5, in the second embodiment, the error of the signal from the element unit 50 can be reduced.

D.評価試験:
圧力センサ10、10aのサンプルを用いた評価試験について説明する。評価試験では、圧力センサ10、10aによる圧力の測定結果の誤差が評価された。圧力センサ10、10aのサンプルとしては、受熱部90とダイアフラム42、42aとの間の最小距離dと、ダイアフラム42、42aの有効面積Sdと、接続面積Snと、受熱部90の受熱面積Sn2と、の組み合わせが異なる複数種類のサンプルが評価された。
D. Evaluation test:
An evaluation test using samples of the pressure sensors 10, 10a will be described. In the evaluation test, an error in the pressure measurement result by the pressure sensors 10, 10a was evaluated. Samples of the pressure sensors 10 and 10a include the minimum distance d between the heat receiving unit 90 and the diaphragms 42 and 42a, the effective area Sd of the diaphragms 42 and 42a, the connection area Sn, and the heat receiving area Sn2 of the heat receiving unit 90. Multiple types of samples with different combinations were evaluated.

図2には、第1実施形態における受熱部90とダイアフラム42との間の最小距離dが示されている。最小距離dは、受熱部90とダイアフラム42との間の隙間95の軸線CLに平行な方向の最小距離である。図2の実施形態では、ダイアフラム42の受圧面42fと、受熱部90の後端側の面とが直接的に接合されている。従って、最小距離dは、ゼロである。   FIG. 2 shows the minimum distance d between the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42 in the first embodiment. The minimum distance d is a minimum distance in a direction parallel to the axis CL of the gap 95 between the heat receiving unit 90 and the diaphragm 42. In the embodiment of FIG. 2, the pressure receiving surface 42 f of the diaphragm 42 and the surface on the rear end side of the heat receiving unit 90 are directly joined. Therefore, the minimum distance d is zero.

図6には、第2実施形態における受熱部90とダイアフラム42aとの間の最小距離dが示されている。図6の実施形態では、受熱部90は、ダイアフラム42aの先端方向Df側の面である受圧面42afから先端方向Dfへ離れた位置に配置されている。第2実施形態では、受圧面42afと受熱部90との間の隙間95aの軸線CLに平行な方向の最小距離dは、受熱部90の後端方向Dr側の面と、ダイアフラム42aの受圧面42afとの間の距離である。   FIG. 6 shows the minimum distance d between the heat receiving unit 90 and the diaphragm 42a in the second embodiment. In the embodiment of FIG. 6, the heat receiving portion 90 is disposed at a position away from the pressure receiving surface 42af, which is the surface on the distal direction Df side of the diaphragm 42a, in the distal direction Df. In the second embodiment, the minimum distance d in the direction parallel to the axis CL of the gap 95a between the pressure receiving surface 42af and the heat receiving portion 90 is the surface on the rear end direction Dr side of the heat receiving portion 90 and the pressure receiving surface of the diaphragm 42a. It is the distance between 42af.

最小距離dが小さい場合には、最小距離dが大きい場合と比べて、高温の燃焼ガスが隙間95、95aに流入し難い。従って、最小距離dが小さいほど、ダイアフラム42、42aの熱膨張が抑制される、すなわち、素子部50からの信号の誤差が小さくなる。   When the minimum distance d is small, the high-temperature combustion gas is less likely to flow into the gaps 95 and 95a than when the minimum distance d is large. Therefore, the smaller the minimum distance d, the more the thermal expansion of the diaphragms 42 and 42a is suppressed, that is, the error of the signal from the element unit 50 is reduced.

図7は、第1実施形態の圧力センサ10のパラメータSn2、Sn、Sdの説明図である。図7(A)、図7(C)、図7(E)は、圧力センサ10の先端部の斜視図を示し、図7(B)、図7(D)は、受熱部90を軸線CLに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示し、図7(F)は、ダイアフラム42を軸線CLに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示している。図7(C)、図7(E)は、受熱部90が受圧部40から取り外された状態を示している。   FIG. 7 is an explanatory diagram of parameters Sn2, Sn, Sd of the pressure sensor 10 of the first embodiment. 7A, 7C, and 7E show perspective views of the tip of the pressure sensor 10, and FIGS. 7B and 7D show the heat receiving portion 90 as an axis CL. FIG. 7F shows a projection view obtained by projecting the diaphragm 42 onto the projection plane perpendicular to the axis CL. FIG. 7C and FIG. 7E show a state where the heat receiving portion 90 is removed from the pressure receiving portion 40.

図7(A)、図7(B)は、受熱面積Sn2を示している。図中では、受熱面積Sn2に対応する領域に、ハッチングが付されている。受熱面積Sn2は、図7(B)の投影図における受熱部90の全体の面積である。第1実施形態では、受熱部90の先端方向Df側の面の面積が、受熱面積Sn2に対応している。受熱面積Sn2は、燃焼室からの熱をダイアフラム42の代わりに受けることが可能な領域の面積を示している。受熱面積Sn2が大きい場合には、受熱面積Sn2が小さい場合と比べて、燃焼室からの熱がダイアフラム42に伝わり難い。従って、受熱面積Sn2が大きいほど、ダイアフラム42の熱膨張が抑制される、すなわち、素子部50からの信号の誤差が小さくなる。   FIG. 7A and FIG. 7B show the heat receiving area Sn2. In the drawing, a region corresponding to the heat receiving area Sn2 is hatched. The heat receiving area Sn2 is the entire area of the heat receiving unit 90 in the projection view of FIG. In the first embodiment, the area of the surface on the tip direction Df side of the heat receiving portion 90 corresponds to the heat receiving area Sn2. The heat receiving area Sn <b> 2 indicates an area of a region where heat from the combustion chamber can be received instead of the diaphragm 42. When the heat receiving area Sn2 is large, heat from the combustion chamber is less likely to be transmitted to the diaphragm 42 than when the heat receiving area Sn2 is small. Therefore, as the heat receiving area Sn2 is larger, the thermal expansion of the diaphragm 42 is suppressed, that is, the error of the signal from the element unit 50 is reduced.

図7(C)、図7(D)は、接続面積Snを示している。図中では、接続面積Snに対応する領域に、ハッチングが付されている。接続面積Snは、軸線CLに垂直な断面上で、受熱部90からダイアフラム42までの部分の断面を包含し、かつ、輪郭の全長が最小となる仮想的な領域である最小包含領域の面積の最小値である。受熱部90からダイアフラム42までの部分(以下、対象部分とも呼ぶ)は、受熱部90と、ダイアフラム42と、受熱部90とダイアフラム42とを接続する部分と、を含んでいる。対象部分の断面を包含し、かつ、輪郭の全長が最小となる最小包含領域は、凸包とも呼ばれる。最小包含領域は、1つの連続な領域である。このような最小包含領域の面積は、断面の軸線CLの方向の位置に応じて、変化し得る。接続面積Snは、このように断面の位置に応じて変化し得る最小包含領域の面積の最小値である。   7C and 7D show the connection area Sn. In the drawing, the region corresponding to the connection area Sn is hatched. The connection area Sn includes a cross section of a portion from the heat receiving portion 90 to the diaphragm 42 on a cross section perpendicular to the axis CL, and an area of a minimum inclusion region that is a virtual region in which the total length of the contour is minimum. The minimum value. A portion from the heat receiving portion 90 to the diaphragm 42 (hereinafter also referred to as a target portion) includes the heat receiving portion 90, the diaphragm 42, and a portion connecting the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42. The minimum inclusion region that includes the cross-section of the target portion and has the minimum total length of the contour is also called a convex hull. The minimum inclusion area is one continuous area. The area of such a minimum inclusion region can vary depending on the position in the direction of the axis CL of the cross section. The connection area Sn is the minimum value of the area of the minimum inclusion region that can change according to the position of the cross section.

第1実施形態では、受熱部90は、接合部99によって直接的にダイアフラム42に接続されているので、受熱部90とダイアフラム42とを接続する部分は、接合部99のうちの受熱部90の後端側の面とダイアフラム42の先端側の面との間の部分である。接続面積Sn、すなわち、最小包含領域の最小面積は、第1実施形態では、受熱部90からダイアフラム42までの部分を含む断面のうち、受熱部90とダイアフラム42との接続面(すなわち、受熱部90の後端側の面とダイアフラム42の先端側の面)を含む断面上において、接合部99の断面を含む最小包含領域の面積である。図7(D)の投影図には、受熱部90の後端側の表面におけるダイアフラム42に接合された接続部分93が示されている。この接続部分93は、受熱部90とダイアフラム42とを接合する接合部99(図2)の断面に対応している。この接続部分93を含む最小包含領域94の面積が、接続面積Snである。第1実施形態では、接続部分93の形状が略円形状であるので、最小包含領域94の形状は、接続部分93の形状とおおよそ同じであり、接続面積Snは、接続部分93の面積(すなわち、接合部99の断面積)と、おおよそ同じである。図7(C)の接続部分43は、ダイアフラム42のうちの接続部分93に対応する部分である。   In the first embodiment, the heat receiving portion 90 is directly connected to the diaphragm 42 by the joint portion 99, and therefore the portion connecting the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42 is the heat receiving portion 90 of the joint portion 99. This is a portion between the rear end surface and the front end surface of the diaphragm 42. In the first embodiment, the connection area Sn, that is, the minimum area of the minimum inclusion region is the connection surface between the heat receiving unit 90 and the diaphragm 42 (that is, the heat receiving unit) in the cross section including the portion from the heat receiving unit 90 to the diaphragm 42. 90 is the area of the minimum inclusion region including the cross section of the joint portion 99 on the cross section including the rear end surface 90 and the front end surface of the diaphragm 42. 7D shows a connection portion 93 joined to the diaphragm 42 on the surface on the rear end side of the heat receiving portion 90. FIG. The connection portion 93 corresponds to a cross section of a joint portion 99 (FIG. 2) that joins the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42. The area of the minimum inclusion region 94 including the connection portion 93 is the connection area Sn. In the first embodiment, since the shape of the connection portion 93 is substantially circular, the shape of the minimum inclusion region 94 is approximately the same as the shape of the connection portion 93, and the connection area Sn is the area of the connection portion 93 (that is, The cross-sectional area of the joint 99) is approximately the same. The connection portion 43 in FIG. 7C is a portion corresponding to the connection portion 93 in the diaphragm 42.

受熱部90は、燃焼室からの熱を受けて、熱膨張し得る(すなわち、変形し得る)。受熱部90のうちダイアフラム42との接続部分93が大きい場合、すなわち、接続面積Snが大きい場合には、受熱部90の変形が、ダイアフラム42に伝わりやすい。受熱部90の変形に起因してダイアフラム42が変形する場合、ダイアフラム42の変形に起因して素子部50に意図しない荷重が印加され得る。従って、接続面積Snが小さいほど、素子部50からの信号の誤差が小さくなる。   The heat receiving unit 90 can receive heat from the combustion chamber and thermally expand (that is, can deform). When the connection part 93 with the diaphragm 42 is large in the heat receiving unit 90, that is, when the connection area Sn is large, the deformation of the heat receiving unit 90 is easily transmitted to the diaphragm 42. When the diaphragm 42 is deformed due to the deformation of the heat receiving unit 90, an unintended load can be applied to the element unit 50 due to the deformation of the diaphragm 42. Therefore, the smaller the connection area Sn, the smaller the error of the signal from the element unit 50.

図7(E)、図7(F)は、ダイアフラム有効面積Sd(以下、単に「有効面積Sd」とも呼ぶ)を示している。図中では、有効面積Sdに対応する領域に、ハッチングが付されている。有効面積Sdは、図7(F)の投影図において、接合部45に囲まれた領域46の面積である。ここで、接合部45の内周側の輪郭45i(すなわち、領域46の輪郭45i)としては、ダイアフラム42の表面のうち第3金具35に接続された表面上における接合部45の内周側の輪郭が、採用される。例えば、図2、図7(F)の実施形態では、ダイアフラム42の後端側の面における接合部45の内周側の輪郭が、領域46の輪郭45iに対応する。   FIGS. 7E and 7F show the diaphragm effective area Sd (hereinafter also simply referred to as “effective area Sd”). In the drawing, the area corresponding to the effective area Sd is hatched. The effective area Sd is an area of a region 46 surrounded by the joint 45 in the projection view of FIG. Here, the inner peripheral side contour 45i of the joint portion 45 (that is, the contour 45i of the region 46) is the inner peripheral side of the joint portion 45 on the surface of the diaphragm 42 connected to the third metal fitting 35. A contour is employed. For example, in the embodiment of FIG. 2 and FIG. 7F, the contour on the inner peripheral side of the joint 45 on the surface on the rear end side of the diaphragm 42 corresponds to the contour 45 i of the region 46.

第1実施形態では、ダイアフラム42と第3金具35とを接合する接合部45は、図7(F)の投影図において、環状である。従って、ダイアフラム42のうち接合部45に囲まれた領域46内の部分が、燃焼室内の圧力に応じて、変形できる。後述するように、この領域46の有効面積Sdは、上記の受熱面積Sn2と対比される。   In 1st Embodiment, the junction part 45 which joins the diaphragm 42 and the 3rd metal fitting 35 is cyclic | annular in the projection view of FIG.7 (F). Therefore, the part in the area | region 46 enclosed by the junction part 45 among the diaphragms 42 can deform | transform according to the pressure in a combustion chamber. As will be described later, the effective area Sd of this region 46 is compared with the heat receiving area Sn2.

図8は、第2実施形態の圧力センサ10a(図6)のパラメータSn2、Sn、Sdの説明図である。図8(A)、図8(C)、図8(E)は、圧力センサ10aの先端部の斜視図を示し、図8(B)、図8(D)は、受熱部90を軸線CLに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示し、図8(F)は、ダイアフラム42aを軸線CLに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示している。図8(C)、図8(E)は、受熱部90がロッド44aから取り外された状態を示している。   FIG. 8 is an explanatory diagram of parameters Sn2, Sn, Sd of the pressure sensor 10a (FIG. 6) of the second embodiment. 8A, 8C, and 8E show perspective views of the tip of the pressure sensor 10a, and FIGS. 8B and 8D show the heat receiving portion 90 along the axis CL. FIG. 8F shows a projection view obtained by projecting the diaphragm 42a onto the projection plane perpendicular to the axis line CL. 8C and 8E show a state in which the heat receiving portion 90 is removed from the rod 44a.

図8(A)、図8(B)は、受熱面積Sn2を示している。図中では、受熱面積Sn2に対応する領域に、ハッチングが付されている。受熱面積Sn2は、図8(B)の投影図における受熱部90の全体の面積である。第2実施形態では、受熱部90の先端方向Df側の面の面積が、受熱面積Sn2に対応している。第1実施形態と同様に、第2実施形態においても、受熱面積Sn2が大きいほど、ダイアフラム42の熱膨張が抑制される、すなわち、素子部50からの信号の誤差が小さくなる。   8A and 8B show the heat receiving area Sn2. In the drawing, a region corresponding to the heat receiving area Sn2 is hatched. The heat receiving area Sn2 is the entire area of the heat receiving unit 90 in the projection view of FIG. In the second embodiment, the area of the surface on the tip direction Df side of the heat receiving portion 90 corresponds to the heat receiving area Sn2. Similarly to the first embodiment, also in the second embodiment, the larger the heat receiving area Sn2, the more the thermal expansion of the diaphragm 42 is suppressed, that is, the error of the signal from the element unit 50 becomes smaller.

図8(C)、図8(D)は、接続面積Snを示している。図中では、接続面積Snに対応する領域に、ハッチングが付されている。第2実施形態では、受熱部90(図6)は、ロッド44aと固定部41aとを介して、間接的にダイアフラム42aに接続されている(受熱部90とロッド44aとは接合部99aによって直接的に接続されている)。受熱部90からダイアフラム42aまでの部分は、受熱部90と、ダイアフラム42aと、受熱部90とダイアフラム42aとを接続する部分とを含んでいる。受熱部90とダイアフラム42aとを接続する部分は、接合部99aのうちの受熱部90の後端側の面とロッド44aの先端側の面との間の部分と、ロッド44aのうち固定部41aに接続された部分から受熱部90に接続された部分までの部分と、固定部41aと、を含んでいる。接続面積Sn、すなわち、最小包含領域の最小面積は、第2実施形態では、受熱部90からダイアフラム42aまでの部分を含む軸線CLに垂直な断面のうち、受熱部90の後端側の面と固定部41aの先端側の端との間の断面における最小包含領域の面積である。図8(D)の投影図には、受熱部90の後端側の表面におけるロッド44aに接続された接続部分93aが示されている。この接続部分93aは、受熱部90とロッド44aとを接合する接合部99a(図6)の断面に対応している。第2実施形態では、接続部分93aの形状は、ロッド44aの断面形状と同じであるので、この接続部分93aを含む最小包含領域94aの面積が、接続面積Snである。第2実施形態では、接続部分93aの形状(すなわち、ロッド44aの断面形状)が略円形状であるので、最小包含領域94aの形状は、接続部分93aの形状とおおよそ同じであり、接続面積Snは、接続部分93aの面積(すなわち、接合部99aの断面積、ひいては、ロッド44aの断面積)と、おおよそ同じである。図8(C)の接続部分43aは、ロッド44aのうちの接続部分93aに対応する部分である。   8C and 8D show the connection area Sn. In the drawing, the region corresponding to the connection area Sn is hatched. In the second embodiment, the heat receiving portion 90 (FIG. 6) is indirectly connected to the diaphragm 42a via the rod 44a and the fixing portion 41a (the heat receiving portion 90 and the rod 44a are directly connected by the joint portion 99a. Connected). The part from the heat receiving part 90 to the diaphragm 42a includes the heat receiving part 90, the diaphragm 42a, and a part connecting the heat receiving part 90 and the diaphragm 42a. The portion connecting the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42a is a portion between the rear end surface of the heat receiving portion 90 and the front end surface of the rod 44a in the joint portion 99a, and the fixed portion 41a of the rod 44a. The part from the part connected to the part connected to the heat receiving part 90, and the fixing | fixed part 41a are included. In the second embodiment, the connection area Sn, that is, the minimum area of the minimum inclusion region is the same as the surface on the rear end side of the heat receiving portion 90 in the cross section perpendicular to the axis CL including the portion from the heat receiving portion 90 to the diaphragm 42a. It is the area of the minimum inclusion region in the cross section between the end on the front end side of the fixing portion 41a. 8D shows a connection portion 93a connected to the rod 44a on the surface on the rear end side of the heat receiving portion 90. FIG. This connection portion 93a corresponds to a cross section of a joint portion 99a (FIG. 6) that joins the heat receiving portion 90 and the rod 44a. In the second embodiment, since the shape of the connection portion 93a is the same as the cross-sectional shape of the rod 44a, the area of the minimum inclusion region 94a including the connection portion 93a is the connection area Sn. In the second embodiment, since the shape of the connection portion 93a (that is, the cross-sectional shape of the rod 44a) is substantially circular, the shape of the minimum inclusion region 94a is approximately the same as the shape of the connection portion 93a, and the connection area Sn Is approximately the same as the area of the connecting portion 93a (that is, the cross-sectional area of the joint 99a and hence the cross-sectional area of the rod 44a). The connection portion 43a in FIG. 8C is a portion corresponding to the connection portion 93a in the rod 44a.

第1実施形態と同様に、第2実施形態においても、受熱部90は、燃焼室からの熱を受けて、熱膨張し得る(すなわち、変形し得る)。受熱部90の接続部分93aが大きい場合、すなわち、接続面積Snが大きい場合には、受熱部90の変形が、ダイアフラム42aに伝わりやすい。従って、接続面積Snが小さいほど、素子部50からの信号の誤差が小さくなる。   Similarly to the first embodiment, also in the second embodiment, the heat receiving unit 90 can be thermally expanded (that is, can be deformed) by receiving heat from the combustion chamber. When the connection portion 93a of the heat receiving unit 90 is large, that is, when the connection area Sn is large, the deformation of the heat receiving unit 90 is easily transmitted to the diaphragm 42a. Therefore, the smaller the connection area Sn, the smaller the error of the signal from the element unit 50.

図8(E)、図8(F)は、ダイアフラム有効面積Sd(有効面積Sd)を示している。図中では、有効面積Sdに対応する領域に、ハッチングが付されている。有効面積Sdは、図8(F)の投影図において、接合部45に囲まれた領域46aの面積である。ここで、接合部45の内周側の輪郭45i(すなわち、領域46aの輪郭45i)としては、ダイアフラム42の表面のうち第3金具35に接続された表面における接合部45の内周側の輪郭が、採用される。例えば、図6、図8(F)の実施形態では、ダイアフラム42aの後端側の面における接合部45の内周側の輪郭が、領域46aの輪郭45iに対応する。   8E and 8F show the diaphragm effective area Sd (effective area Sd). In the drawing, the area corresponding to the effective area Sd is hatched. The effective area Sd is an area of a region 46a surrounded by the joint 45 in the projection view of FIG. Here, as the contour 45i on the inner peripheral side of the joint 45 (that is, the contour 45i of the region 46a), the contour on the inner peripheral side of the joint 45 in the surface connected to the third metal fitting 35 among the surfaces of the diaphragm 42. Is adopted. For example, in the embodiment of FIGS. 6 and 8F, the contour on the inner peripheral side of the joint 45 on the rear end surface of the diaphragm 42a corresponds to the contour 45i of the region 46a.

第2実施形態では、ダイアフラム42aと第3金具35とを接合する接合部45は、図8(F)の投影図において、環状である。従って、受圧部40a(すなわち、ダイアフラム42aと固定部41aとロッド44a)のうち、接合部45に囲まれた領域46内の部分が、燃焼室内の圧力に応じて、変形できる。有効面積Sdは、接合部45に囲まれた領域46の全体の面積である。   In 2nd Embodiment, the junction part 45 which joins the diaphragm 42a and the 3rd metal fitting 35 is cyclic | annular in the projection view of FIG.8 (F). Accordingly, a portion of the pressure receiving portion 40a (that is, the diaphragm 42a, the fixed portion 41a, and the rod 44a) in the region 46 surrounded by the joint portion 45 can be deformed according to the pressure in the combustion chamber. The effective area Sd is the entire area of the region 46 surrounded by the joint portion 45.

図9は、圧力センサによって測定される圧力の波形の例を示すグラフである。横軸は、クランク角度CAを示し、縦軸は、圧力(単位は、kPa)を示している。ゼロ度のクランク角度CAは、上死点を示している。グラフ中には、基準グラフG1と、サンプルグラフG2と、が示されている。基準グラフG1は、目標となる圧力センサ(「目標センサ」とも呼ぶ)によって測定された圧力を示している。サンプルグラフG2は、圧力センサのサンプルによって測定された圧力を示している。   FIG. 9 is a graph showing an example of a pressure waveform measured by the pressure sensor. The horizontal axis represents the crank angle CA, and the vertical axis represents the pressure (unit: kPa). A crank angle CA of zero degrees indicates a top dead center. In the graph, a reference graph G1 and a sample graph G2 are shown. The reference graph G1 indicates the pressure measured by the target pressure sensor (also referred to as “target sensor”). The sample graph G2 shows the pressure measured by the pressure sensor sample.

評価試験では、内燃機関の同じシリンダ(すなわち、燃焼室)にサンプルのセンサと目標センサとを取り付け、そして、内燃機関を運転させることによって、サンプルのセンサと目標センサとのそれぞれから圧力の波形を取得した。内燃機関としては、直列4気筒、排気量1.3L、自然吸気の内燃機関が用いられた。内燃機関は、回転速度が1500rpmであり、軸トルクが40Nmであるという条件下で、運転された。   In the evaluation test, a sample sensor and a target sensor are attached to the same cylinder (that is, a combustion chamber) of the internal combustion engine, and the internal combustion engine is operated, thereby generating a pressure waveform from each of the sample sensor and the target sensor. I got it. As the internal combustion engine, an in-line four-cylinder engine with a displacement of 1.3 L and a natural intake air was used. The internal combustion engine was operated under conditions where the rotational speed was 1500 rpm and the shaft torque was 40 Nm.

図示するように、圧力センサのサンプルによって測定された圧力G2が、目標の圧力センサによって測定された圧力G1と異なる場合があった(図9の例では、クランク角度CAが、ゼロ度から180度の範囲内)。サンプルの圧力G2と目標の圧力G1との間に差が生じる場合、いずれのサンプルの圧力G2も、目標の圧力G1よりも小さくなる傾向にあった。目標となる圧力センサは、十分に良好な精度で圧力を測定できるように、予め調整されている。本評価試験では、サンプルの圧力G2と目標の圧力G1とを、5サイクルに亘って測定した。同じタイミングでの2つの圧力G1、G2の差分を算出した。差分の最大値Em(図9)を、各サイクル毎に特定した。そして、5個の最大差分Emの平均値を、サンプルの圧力センサの圧力誤差Epとして算出した。   As shown in the figure, the pressure G2 measured by the pressure sensor sample may be different from the pressure G1 measured by the target pressure sensor (in the example of FIG. 9, the crank angle CA is from zero degrees to 180 degrees). Within range). When a difference occurs between the sample pressure G2 and the target pressure G1, the pressure G2 of any sample tended to be smaller than the target pressure G1. The target pressure sensor is adjusted in advance so that the pressure can be measured with sufficiently good accuracy. In this evaluation test, the sample pressure G2 and the target pressure G1 were measured over five cycles. The difference between the two pressures G1 and G2 at the same timing was calculated. The maximum difference Em (FIG. 9) was specified for each cycle. The average value of the five maximum differences Em was calculated as the pressure error Ep of the pressure sensor of the sample.

図10(A)は、評価試験の結果を示すグラフである。横軸は、比率Sn/Sdを示し、縦軸は、圧力誤差Epを示している(単位は、kPa)。各グラフの1つのデータ点は、1つのサンプルの圧力誤差Epを示している。図10(A)の複数のサンプルは、第2実施形態の圧力センサ10a(例えば、図6)のサンプルであった。図10(A)の複数のサンプルに関しては、比率Sn/Sdは、0.05以上0.35以下の範囲内に分布していた。有効面積Sdは、12mm、16mm、20mmのいずれかであった。有効面積Sdの調整は、第3金具35の先端部の内径とダイアフラム42aの外径とを調整することにより、行われた(後述する他のグラフの複数のサンプルについても、同様)。比率Sn2/Sdは、0.8であり、最小距離dは、1mmであった。 FIG. 10A is a graph showing the results of the evaluation test. The horizontal axis represents the ratio Sn / Sd, and the vertical axis represents the pressure error Ep (unit: kPa). One data point in each graph represents the pressure error Ep for one sample. The plurality of samples in FIG. 10A are samples of the pressure sensor 10a (for example, FIG. 6) of the second embodiment. Regarding the plurality of samples in FIG. 10A, the ratio Sn / Sd was distributed in the range of 0.05 to 0.35. The effective area Sd was any of 12 mm 2 , 16 mm 2 , and 20 mm 2 . The effective area Sd was adjusted by adjusting the inner diameter of the tip of the third metal fitting 35 and the outer diameter of the diaphragm 42a (the same applies to a plurality of samples in other graphs described later). The ratio Sn2 / Sd was 0.8 and the minimum distance d was 1 mm.

図10(A)に示すように、比率Sn/Sdが小さいほど、圧力誤差Epが小さかった。この理由は、ダイアフラム42aの有効面積Sdに対する接続面積Snの割合が小さいほど、ダイアフラム42aの変形に対する受熱部90の変形の影響が小さいからである。   As shown in FIG. 10 (A), the smaller the ratio Sn / Sd, the smaller the pressure error Ep. This is because the smaller the ratio of the connection area Sn to the effective area Sd of the diaphragm 42a, the smaller the influence of the deformation of the heat receiving portion 90 on the deformation of the diaphragm 42a.

図10(A)に示すように、比率Sn/Sdが0.25以下である場合には、200kPa以下という良好な圧力誤差Epを実現できた。200kPa以下の圧力誤差Epを実現した比率Sn/Sdは、0.05、0.1、0.15、0.2、0.25であった。比率Sn/Sdの好ましい範囲(下限以上、上限以下の範囲)を、上記の5個の値を用いて定めてもよい。具体的には、上記の5個の値のうちの任意の値を、比率Sn/Sdの好ましい範囲の上限として採用してもよい。例えば、比率Sn/Sdは、0.25以下であることが好ましく、0.1以下であることが特に好ましい。また、これらの値のうちの上限以下の任意の値を、下限として採用してもよい。例えば、比率Sn/Sdは、0.05以上であってよい。   As shown in FIG. 10A, when the ratio Sn / Sd is 0.25 or less, a good pressure error Ep of 200 kPa or less can be realized. The ratio Sn / Sd that realized the pressure error Ep of 200 kPa or less was 0.05, 0.1, 0.15, 0.2, and 0.25. A preferred range (range between the lower limit and the upper limit) of the ratio Sn / Sd may be determined using the above five values. Specifically, any value of the above five values may be adopted as the upper limit of the preferable range of the ratio Sn / Sd. For example, the ratio Sn / Sd is preferably 0.25 or less, and particularly preferably 0.1 or less. Moreover, you may employ | adopt the arbitrary values below the upper limit among these values as a minimum. For example, the ratio Sn / Sd may be 0.05 or more.

なお、比率Sn/Sdが小さいほど、ダイアフラム42aの変形に対する受熱部90の変形の影響が小さいので、比率Sn/Sdは、上記の5個の値のうちの最小値である0.05よりも小さくてもよい。ただし、比率Sn/Sdが小さい場合には、受熱部90が圧力センサから外れやすい。従って、比率Sn/Sdは、ゼロよりも大きいことが好ましく、受熱部90が圧力センサ10から外れないような接続強度を実現できるように、決定されることが好ましい。   Note that the smaller the ratio Sn / Sd, the smaller the influence of the deformation of the heat receiving portion 90 on the deformation of the diaphragm 42a, so the ratio Sn / Sd is less than 0.05, which is the minimum value among the above five values. It may be small. However, when the ratio Sn / Sd is small, the heat receiving unit 90 is easily detached from the pressure sensor. Therefore, the ratio Sn / Sd is preferably larger than zero, and is preferably determined so as to realize a connection strength such that the heat receiving unit 90 does not come off from the pressure sensor 10.

図10(B)は、別の複数のサンプルの評価試験の結果を示すグラフである。横軸は、比率Sn/Sdを示し、縦軸は、圧力誤差Epを示している(単位は、kPa)。図10(B)の複数のサンプルは、第2実施形態の圧力センサ10a(例えば、図6)のサンプルであった。図10(B)の複数のサンプルに関しては、比率Sn/Sdは、0.05以上0.35以下の範囲内に分布していた。有効面積Sdは、12mm、16mm、20mmのいずれかであった。図10(A)の複数のサンプルとは異なり、比率Sn2/Sdが1であり、最小距離dが0.5mmであった。 FIG. 10B is a graph showing the results of an evaluation test of another plurality of samples. The horizontal axis represents the ratio Sn / Sd, and the vertical axis represents the pressure error Ep (unit: kPa). The plurality of samples in FIG. 10B are samples of the pressure sensor 10a (for example, FIG. 6) of the second embodiment. For a plurality of samples in FIG. 10B, the ratio Sn / Sd was distributed within a range of 0.05 to 0.35. The effective area Sd was any of 12 mm 2 , 16 mm 2 , and 20 mm 2 . Unlike the plurality of samples in FIG. 10A, the ratio Sn2 / Sd was 1, and the minimum distance d was 0.5 mm.

図10(B)に示すように、比率Sn/Sdが小さいほど、圧力誤差Epが小さかった。また、圧力誤差Epは、比率Sn/Sdに依らず、60kPa以下であった。このように、図10(B)の複数のサンプルは、図10(A)の複数のサンプルと比べて、良好な圧力誤差Epを実現できた。この理由は、比率Sn2/Sdと最小距離dとが、より好ましい値に調整されたからである(詳細は、後述)。   As shown in FIG. 10B, the smaller the ratio Sn / Sd, the smaller the pressure error Ep. The pressure error Ep was 60 kPa or less regardless of the ratio Sn / Sd. As described above, the plurality of samples in FIG. 10B can realize a better pressure error Ep than the plurality of samples in FIG. This is because the ratio Sn2 / Sd and the minimum distance d are adjusted to more preferable values (details will be described later).

図10(C)は、別の複数のサンプルの評価試験の結果を示すグラフである。横軸は、比率Sn2/Sdを示し、縦軸は、圧力誤差Epを示している(単位は、kPa)。図10(C)の複数のサンプルは、第2実施形態の圧力センサ10a(例えば、図6)のサンプルであった。図10(C)の複数のサンプルに関しては、比率Sn2/Sdは、0.7以上1.1以下の範囲内に分布していた。有効面積Sdは、12mm、16mm、20mmのいずれかであった。比率Sn/Sdは、0.25であり、最小距離dは、1mmであった。比率Sn/Sdは、上記の好ましい範囲内であった。最小距離dは、図10(A)の複数のサンプルと共通であった。 FIG. 10C is a graph showing the results of evaluation tests on a plurality of other samples. The horizontal axis indicates the ratio Sn2 / Sd, and the vertical axis indicates the pressure error Ep (unit is kPa). The plurality of samples in FIG. 10C are samples of the pressure sensor 10a (for example, FIG. 6) of the second embodiment. Regarding the plurality of samples in FIG. 10C, the ratio Sn2 / Sd was distributed within the range of 0.7 to 1.1. The effective area Sd was any of 12 mm 2 , 16 mm 2 , and 20 mm 2 . The ratio Sn / Sd was 0.25 and the minimum distance d was 1 mm. The ratio Sn / Sd was within the above preferred range. The minimum distance d is common to the plurality of samples in FIG.

比率Sn2/Sd=1.1のサンプルでは、受熱部90(図6)の外径は、ダイアフラム42aの外径と同じであった。比率Sn2/Sdが1よりも大きい理由は、ダイアフラム有効面積Sdからは、接合部45の面積が除かれているからである。比率Sn2/Sdが1以下のサンプルでは、受熱部90の外径が、ダイアフラム42aの外径よりも小さかった。   In the sample with the ratio Sn2 / Sd = 1.1, the outer diameter of the heat receiving portion 90 (FIG. 6) was the same as the outer diameter of the diaphragm 42a. The reason why the ratio Sn2 / Sd is larger than 1 is that the area of the joint 45 is excluded from the diaphragm effective area Sd. In the sample with the ratio Sn2 / Sd of 1 or less, the outer diameter of the heat receiving portion 90 was smaller than the outer diameter of the diaphragm 42a.

図10(C)に示すように、比率Sn2/Sdが大きいほど、圧力誤差Epが小さかった。この理由は、以下の通りである。比率Sn2/Sdが大きい場合には、ダイアフラム42aのうち受熱部90の後端側に隠れている部分の割合が大きいので、燃焼室からの熱がダイアフラム42aに伝わり難い。従って、比率Sn2/Sdが大きいほど、ダイアフラム42aの熱膨張が抑制される、ひいては、圧力誤差Epを小さくできる。   As shown in FIG. 10C, the larger the ratio Sn2 / Sd, the smaller the pressure error Ep. The reason for this is as follows. When the ratio Sn2 / Sd is large, the ratio of the portion hidden behind the heat receiving portion 90 in the diaphragm 42a is large, so that heat from the combustion chamber is difficult to be transmitted to the diaphragm 42a. Therefore, the larger the ratio Sn2 / Sd, the more the thermal expansion of the diaphragm 42a is suppressed, and hence the pressure error Ep can be reduced.

図10(C)に示すように、比率Sn2/Sdが0.8以上である場合には、200kPa以下という良好な圧力誤差Epを実現できた。200kPa以下の圧力誤差Epを実現した比率Sn2/Sdは、0.8、0.9、1、1.1であった。比率Sn2/Sdの好ましい範囲(下限以上、上限以下の範囲)を、上記の4個の値を用いて定めてもよい。具体的には、上記の4個の値のうちの任意の値を、比率Sn2/Sdの好ましい範囲の下限として採用してもよい。例えば、比率Sn2/Sdは、0.8以上であることが好ましく、1以上であることが特に好ましい。また、これらの値のうちの下限以上の任意の値を、上限として採用してもよい。例えば、比率Sn2/Sdは、1.1以下であってよい。   As shown in FIG. 10C, when the ratio Sn2 / Sd is 0.8 or more, a good pressure error Ep of 200 kPa or less can be realized. The ratio Sn2 / Sd that realized the pressure error Ep of 200 kPa or less was 0.8, 0.9, 1, 1.1. A preferable range (range between the lower limit and the upper limit) of the ratio Sn2 / Sd may be determined using the above four values. Specifically, any value of the above four values may be adopted as the lower limit of the preferable range of the ratio Sn2 / Sd. For example, the ratio Sn2 / Sd is preferably 0.8 or more, and particularly preferably 1 or more. Moreover, you may employ | adopt the arbitrary values more than the minimum among these values as an upper limit. For example, the ratio Sn2 / Sd may be 1.1 or less.

なお、比率Sn2/Sdが大きいほど、ダイアフラム42aが燃焼室からの熱を受けにくいので、比率Sn2/Sdは、上記の4個の値のうちの最大値である1.1よりも大きくても良い。ただし、比率Sn2/Sdが大きい場合には、受熱部90が、内燃機関のシリンダヘッドの圧力センサ10の取り付け孔に接触しやすい。従って、比率Sn2/Sdの上限は、受熱部90がシリンダヘッドの取り付け孔に接触しないように、決定されていることが好ましく、例えば、比率Sn2/Sdが1.2以下であることが好ましい。   The larger the ratio Sn2 / Sd, the more difficult the diaphragm 42a receives the heat from the combustion chamber. Therefore, even if the ratio Sn2 / Sd is larger than 1.1, which is the maximum value among the above four values. good. However, when the ratio Sn2 / Sd is large, the heat receiving portion 90 tends to come into contact with the mounting hole of the pressure sensor 10 of the cylinder head of the internal combustion engine. Therefore, the upper limit of the ratio Sn2 / Sd is preferably determined so that the heat receiving portion 90 does not contact the mounting hole of the cylinder head. For example, the ratio Sn2 / Sd is preferably 1.2 or less.

図10(D)〜図10(E)は、別の複数のサンプルの評価試験の結果を示すグラフである。横軸は、最小距離dを示し、縦軸は、圧力誤差Epを示している(単位は、kPa)。図10(D)〜図10(E)の複数のサンプルに関しては、最小距離dは、0.0、0.3、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、1.0、1.2(mm)のいずれかであった。有効面積Sdは、12mm、16mm、20mmのいずれかであった。最小距離dが0.0mmである複数のサンプルは、第1実施形態の圧力センサ10(例えば、図2)のサンプルであった。最小距離dが0.0mmよりも大きい複数のサンプルは、第2実施形態の圧力センサ10a(例えば、図6)のサンプルであった。 FIG. 10D to FIG. 10E are graphs showing the results of evaluation tests of different samples. The horizontal axis indicates the minimum distance d, and the vertical axis indicates the pressure error Ep (unit: kPa). For the plurality of samples of FIGS. 10D-10E, the minimum distance d is 0.0, 0.3, 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8. 1.0 or 1.2 (mm). The effective area Sd was any of 12 mm 2 , 16 mm 2 , and 20 mm 2 . The plurality of samples whose minimum distance d is 0.0 mm is the sample of the pressure sensor 10 (for example, FIG. 2) of the first embodiment. The plurality of samples whose minimum distance d is larger than 0.0 mm are samples of the pressure sensor 10a (for example, FIG. 6) of the second embodiment.

また、比率Sn/Sdは、図10(D)、図10(E)の複数のサンプルに共通であり、0.25であった。この比率Sn/Sdは、上記の好ましい範囲内であった。比率Sn2/Sdは、図10(D)では、1であり、図10(E)では、0.8であった。これらの比率Sn2/Sdは、上記の好ましい範囲内であった。   The ratio Sn / Sd was common to the plurality of samples in FIGS. 10D and 10E, and was 0.25. This ratio Sn / Sd was within the above preferred range. The ratio Sn2 / Sd was 1 in FIG. 10 (D) and 0.8 in FIG. 10 (E). These ratios Sn2 / Sd were within the above preferred range.

図10(D)〜図10(E)に示すように、いずれのサンプルも、200kPa以下の良好な圧力誤差Epを実現した。また、図10(D)〜図10(E)に示すように、最小距離dが小さいほど、圧力誤差Epが小さかった。この理由は、以下の通りである。最小距離dが小さいほど、高温の燃焼ガスが隙間95、95aに流入し難い。従って、最小距離dが小さいほど、ダイアフラム42aの熱膨張が抑制される、ひいては、圧力誤差Epを小さくできる。   As shown in FIG. 10D to FIG. 10E, all of the samples achieved a good pressure error Ep of 200 kPa or less. Further, as shown in FIGS. 10D to 10E, the smaller the minimum distance d, the smaller the pressure error Ep. The reason for this is as follows. As the minimum distance d is smaller, the higher-temperature combustion gas is less likely to flow into the gaps 95 and 95a. Therefore, the smaller the minimum distance d is, the more the thermal expansion of the diaphragm 42a is suppressed, and thus the pressure error Ep can be reduced.

また、図10(D)、図10(E)では、d≧0.7mmの範囲とd≦0.5mmの範囲との間で、圧力誤差Epが大きく変化している。このように、最小距離dが0.5mm以下である場合に、圧力誤差Epを大幅に改善できた。ただし、最小距離dが0.5mmを超えていてもよい。   Further, in FIGS. 10D and 10E, the pressure error Ep changes greatly between the range of d ≧ 0.7 mm and the range of d ≦ 0.5 mm. Thus, when the minimum distance d is 0.5 mm or less, the pressure error Ep can be greatly improved. However, the minimum distance d may exceed 0.5 mm.

以上、比率Sn2/Sdと、比率Sn/Sdと、最小距離dとの、それぞれの好ましい範囲について、説明した。これら3種類のパラメータの好ましい範囲は、互いに共存可能である。従って、圧力センサの構成としては、3種類のパラメータから任意に選択された1種類以上のパラメータが、各パラメータの好ましい範囲内であるような構成を採用することが好ましい。例えば、図10(A)、図10(B)の一部の複数のサンプルのように、(Sn2/Sd)≧0.8、かつ、(Sn/Sd)≦0.25である構成を採用してもよい。さらに、以下の3つの条件から選択された1以上の任意の条件が満たされてもよい。
条件1)(Sn2/Sd)≧1.0
条件2)d≦0.5mm
条件3)(Sn/Sd)≦0.1
The preferred ranges of the ratio Sn2 / Sd, the ratio Sn / Sd, and the minimum distance d have been described above. The preferred ranges of these three parameters can coexist with each other. Therefore, it is preferable to adopt a configuration in which one or more parameters arbitrarily selected from the three types of parameters are within a preferable range of each parameter as the configuration of the pressure sensor. For example, a configuration in which (Sn2 / Sd) ≧ 0.8 and (Sn / Sd) ≦ 0.25 is adopted as in some samples in FIGS. 10 (A) and 10 (B). May be. Furthermore, one or more arbitrary conditions selected from the following three conditions may be satisfied.
Condition 1) (Sn2 / Sd) ≧ 1.0
Condition 2) d ≦ 0.5 mm
Condition 3) (Sn / Sd) ≦ 0.1

また、良好な圧力誤差Ep(例えば、200kPa以下の圧力誤差Ep)を実現したダイアフラム42、42aの有効面積Sdは、12mm、16mm、20mmであった。有効面積Sdの好ましい範囲(下限以上、上限以下の範囲)を、上記の3個の値を用いて定めてもよい。具体的には、上記の3個の値のうちの任意の値を、有効面積Sdの好ましい範囲の下限として採用してもよい。例えば、有効面積Sdは、12mm以上であってよい。また、これらの値のうちの下限以上の任意の値を、上限として採用してもよい。例えば、有効面積Sdは、20mm以下であってよい。なお、図10(A)〜図10(E)に示すように、有効面積Sdが異なり他の条件が同じである複数のサンプルの間で、圧力誤差Epの差は小さい。すなわち、圧力誤差Epの有効面積Sd依存性は小さい。従って、有効面積Sdは、12mmよりも小さくてもよく、また、20mmよりも大きくてもよい。 In addition, the effective areas Sd of the diaphragms 42 and 42a that achieved a good pressure error Ep (for example, a pressure error Ep of 200 kPa or less) were 12 mm 2 , 16 mm 2 , and 20 mm 2 . A preferable range (a range from the lower limit to the upper limit) of the effective area Sd may be determined using the above three values. Specifically, any value of the above three values may be employed as the lower limit of the preferable range of the effective area Sd. For example, the effective area Sd may be 12 mm 2 or more. Moreover, you may employ | adopt the arbitrary values more than the minimum among these values as an upper limit. For example, the effective area Sd may be 20 mm 2 or less. As shown in FIGS. 10A to 10E, the difference in pressure error Ep is small among a plurality of samples having different effective areas Sd and other conditions being the same. That is, the dependency of the pressure error Ep on the effective area Sd is small. Accordingly, the effective area Sd may be smaller than 12 mm 2, or may be greater than 20 mm 2.

E.第3実施形態:
図11は、第3実施形態の圧力センサ10bの説明図である。図11(A)は、圧力センサ10bの先端側の一部分の軸線CLを含む平断面を示し、図11(B)、図11(C)は、受熱部90を軸線CLに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示している。図4に示す第1実施形態との差異は、軸線CLに平行な方向を向いて見る場合に、受熱部90とダイアフラム42とを接合する接合部99bが、環状である点だけである。接合部99bは、受熱部90とダイアフラム42(ひいては、受圧部40)とが溶接時に溶融した部分である(以下、接合部99bを「溶融部99b」または「溶接痕99b」とも呼ぶ)。このような接合部99bは、受熱部90とダイアフラム42とが一体化した部分である。また、接合部99bは、受熱部90の成分とダイアフラム42の成分とを含んでいる。圧力センサ10bの他の部分の構成は、第1実施形態の圧力センサ10の対応する部分の構成と、同じである。
E. Third embodiment:
FIG. 11 is an explanatory diagram of the pressure sensor 10b according to the third embodiment. FIG. 11A shows a flat cross section including a part of the axis CL on the tip side of the pressure sensor 10b. FIGS. 11B and 11C show the heat receiving portion 90 on a projection plane perpendicular to the axis CL. The projection figure obtained by projecting is shown. The only difference from the first embodiment shown in FIG. 4 is that the joint portion 99b that joins the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42 is annular when viewed in a direction parallel to the axis CL. The joint portion 99b is a portion where the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42 (and thus the pressure receiving portion 40) are melted during welding (hereinafter, the joint portion 99b is also referred to as “melting portion 99b” or “welding mark 99b”). Such a joint portion 99b is a portion where the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42 are integrated. Further, the joint 99b includes the component of the heat receiving unit 90 and the component of the diaphragm 42. The configuration of the other part of the pressure sensor 10b is the same as the configuration of the corresponding part of the pressure sensor 10 of the first embodiment.

図11(B)には、接続部分93bと、接続部分93bを含む最小包含領域94bの輪郭とが示されている。接続部分93bは、受熱部90の後端側の表面のうちダイアフラム42に接合された部分である。図中では接続部分93bにハッチングが付されている。第3実施形態では、接続部分93bは、受熱部90の後端側の表面上における接合部99bの断面に、対応している。このように、受熱部90のうちダイアフラム42に接続された部分(ここでは、接合部99b)が、孔を有する環状の部分であってもよい。   FIG. 11B shows the connection portion 93b and the outline of the minimum inclusion region 94b including the connection portion 93b. The connection part 93 b is a part joined to the diaphragm 42 on the surface on the rear end side of the heat receiving part 90. In the drawing, the connecting portion 93b is hatched. In the third embodiment, the connection portion 93 b corresponds to a cross section of the joint portion 99 b on the surface on the rear end side of the heat receiving portion 90. Thus, the part (here junction part 99b) connected to the diaphragm 42 among the heat receiving parts 90 may be an annular part having a hole.

ここで、受熱部90が熱膨張する場合、受熱部90のうちの環状の接合部99bに囲まれた部分の変形は、接合部99bを通じてダイアフラム42に伝わりやすい。接続面積Snは、このように受熱部の変形が伝わりやすい部分の最小面積を示している。第3実施形態では、接続面積Snとしては、接続部分93bを含む最小包含領域94bの面積を採用することが好ましい。第3実施形態では、接続部分93bの外周側の輪郭の形状が略円形状であるので、最小包含領域94bの輪郭の形状は、接続部分93bの外周側の輪郭の形状とおおよそ同じである。図11(C)では、接続面積Snに対応する領域に、ハッチングが付されている。そして、このような接続面積Snを用いて算出される比率Sn/Sdが、上記の好ましい範囲内にあることが好ましい。これにより、良好な圧力誤差Epを実現できると、推定される。   Here, when the heat receiving part 90 is thermally expanded, the deformation of the part surrounded by the annular joint 99b in the heat receiving part 90 is easily transmitted to the diaphragm 42 through the joint 99b. The connection area Sn indicates the minimum area of the portion where the deformation of the heat receiving portion is easily transmitted. In the third embodiment, it is preferable to employ the area of the minimum inclusion region 94b including the connection portion 93b as the connection area Sn. In the third embodiment, the shape of the contour on the outer peripheral side of the connection portion 93b is substantially circular, so the shape of the contour of the minimum inclusion region 94b is approximately the same as the shape of the contour on the outer peripheral side of the connection portion 93b. In FIG. 11C, a region corresponding to the connection area Sn is hatched. And it is preferable that ratio Sn / Sd calculated using such connection area Sn exists in said preferable range. Thus, it is estimated that a good pressure error Ep can be realized.

なお、第3実施形態においても、比率Sn2/Sdと、比率Sn/Sdと、最小距離dとの3種類のパラメータから任意に選択された1種類以上のパラメータが、各パラメータの上記の好ましい範囲内であるような構成を採用することによって、良好な圧力誤差Epを実現できると推定される。なお、図11の実施形態では、受熱部90は、接合部99bによって直接的にダイアフラム42に接続されている。従って、最小距離dは、ゼロである。   Also in the third embodiment, one or more parameters arbitrarily selected from the three parameters of the ratio Sn2 / Sd, the ratio Sn / Sd, and the minimum distance d are the above preferable ranges of the parameters. It is estimated that a favorable pressure error Ep can be realized by adopting such a configuration. In the embodiment of FIG. 11, the heat receiving portion 90 is directly connected to the diaphragm 42 by the joint portion 99b. Therefore, the minimum distance d is zero.

F.第4実施形態:
図12は、第4実施形態の圧力センサ10cの説明図である。図中には、圧力センサ10cの先端側の一部分の軸線CLを含む平断面が、示されている。図6に示す第2実施形態との差異は、受熱部90とロッド44cとが1つの部材120によって形成されている点である(「受熱ロッド120」と呼ぶ)。圧力センサ10cの他の部分の構成は、第2実施形態の圧力センサ10aの対応する部分の構成と、同じである。
F. Fourth embodiment:
FIG. 12 is an explanatory diagram of a pressure sensor 10c according to the fourth embodiment. In the drawing, a flat cross section including a part of the axis CL on the tip side of the pressure sensor 10c is shown. The difference from the second embodiment shown in FIG. 6 is that the heat receiving portion 90 and the rod 44c are formed by one member 120 (referred to as “heat receiving rod 120”). The structure of the other part of the pressure sensor 10c is the same as the structure of the corresponding part of the pressure sensor 10a of the second embodiment.

受熱ロッド120は、受熱部90と、受熱部90の後端側に接続されたロッド44cと、を備えている。受熱部90の形状は、図6の受熱部90の形状と同じである。ロッド44cの形状は、軸線CLを中心とする円柱に局所的に外径が小さい小径部48を形成した形状である。ロッド44cは、図6のロッド44aと同様に、固定部41aとダイアフラム42aとの内周側の貫通孔に挿入され、そして、固定部41aに溶接されている。小径部48は、受熱部90と固定部41aとの間に位置している。受熱ロッド120は、1つの部材として一体的に形成されている(例えば、鍛造や削り出し)。また、受熱ロッド120は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。   The heat receiving rod 120 includes a heat receiving portion 90 and a rod 44 c connected to the rear end side of the heat receiving portion 90. The shape of the heat receiving unit 90 is the same as the shape of the heat receiving unit 90 of FIG. The shape of the rod 44c is a shape in which a small diameter portion 48 having a small outer diameter is locally formed on a cylinder centering on the axis CL. Similarly to the rod 44a of FIG. 6, the rod 44c is inserted into a through hole on the inner peripheral side of the fixed portion 41a and the diaphragm 42a, and is welded to the fixed portion 41a. The small diameter part 48 is located between the heat receiving part 90 and the fixed part 41a. The heat receiving rod 120 is integrally formed as one member (for example, forging or shaving). Moreover, although the heat receiving rod 120 is formed using stainless steel in the present embodiment, it may be formed using other metals.

圧電素子51は、先端側の電極52と押さえ板54とを介して、ロッド44cに接続されている。固定部41aと、ロッド44cと、先端側の押さえ板54と電極52と、の全体は、ダイアフラム42aと圧電素子51とを接続する接続部100cを形成している。   The piezoelectric element 51 is connected to the rod 44 c via the tip-side electrode 52 and the pressing plate 54. The whole of the fixing portion 41a, the rod 44c, the holding plate 54 on the distal end side, and the electrode 52 forms a connection portion 100c that connects the diaphragm 42a and the piezoelectric element 51.

第4実施形態では、受熱部90は、ロッド44cと固定部41aとを介して、間接的にダイアフラム42aに接続されている。受熱部90からダイアフラム42aまでの部分は、受熱部90と、ダイアフラム42aと、受熱部90とダイアフラム42aとを接続する部分とを含んでいる。受熱部90とダイアフラム42aとを接続する部分は、ロッド44cのうち固定部41aに接続された部分から受熱部90に接続された部分までの部分と、固定部41aと、を含んでいる。第4実施形態では、受熱部90からダイアフラム42aまでの部分を含む軸線CLに垂直な断面のうちの最小包含領域の面積が最小となる断面は、小径部48の最も外径が小さい部分を通る断面である。接続面積Snは、すなわち、最小包含領域の最小面積は、ロッド44cの小径部48の最小外径部分の断面を含む最小包含領域の面積である(図示省略)。このように接続面積Snが小さい場合には、受熱部90の変形がダイアフラム42aに伝わりにくいので、素子部50からの信号の誤差が小さくなる。   In the fourth embodiment, the heat receiving part 90 is indirectly connected to the diaphragm 42a via the rod 44c and the fixing part 41a. The part from the heat receiving part 90 to the diaphragm 42a includes the heat receiving part 90, the diaphragm 42a, and a part connecting the heat receiving part 90 and the diaphragm 42a. A portion connecting the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42a includes a portion from a portion connected to the fixed portion 41a to a portion connected to the heat receiving portion 90 in the rod 44c, and the fixed portion 41a. In the fourth embodiment, the cross section in which the area of the minimum inclusion region in the cross section perpendicular to the axis CL including the portion from the heat receiving portion 90 to the diaphragm 42a passes through the portion having the smallest outer diameter of the small diameter portion 48. It is a cross section. The connection area Sn, that is, the minimum area of the minimum inclusion region is the area of the minimum inclusion region including the cross section of the minimum outer diameter portion of the small diameter portion 48 of the rod 44c (not shown). As described above, when the connection area Sn is small, the deformation of the heat receiving portion 90 is not easily transmitted to the diaphragm 42a, so that the error of the signal from the element portion 50 is reduced.

受熱面積Sn2と有効面積Sdと最小距離dとは、図6の第2実施形態と同様に算出される。そして、第4実施形態においても、比率Sn2/Sdと、比率Sn/Sdと、最小距離dとの3種類のパラメータから任意に選択された1種類以上のパラメータが、各パラメータの上記の好ましい範囲内であるような構成を採用することによって、良好な圧力誤差Epを実現できると推定される。なお、小径部48が省略されてもよい。この場合、接続面積Snは、ロッド44cのうち受熱部90の後端側の面と固定部41aの先端側の端との間の部分の断面を含む最小包含領域の面積である。   The heat receiving area Sn2, the effective area Sd, and the minimum distance d are calculated in the same manner as in the second embodiment of FIG. Also in the fourth embodiment, one or more parameters arbitrarily selected from the three parameters of the ratio Sn2 / Sd, the ratio Sn / Sd, and the minimum distance d are the above preferable ranges of the parameters. It is estimated that a favorable pressure error Ep can be realized by adopting such a configuration. The small diameter portion 48 may be omitted. In this case, the connection area Sn is an area of a minimum inclusion region including a cross section of a portion between the surface on the rear end side of the heat receiving portion 90 and the end on the front end side of the fixing portion 41a in the rod 44c.

G.変形例:
(1)受熱部とダイアフラムとを接続するための構成としては、種々の構成を採用可能である。例えば、図2や図11の実施形態のように、受熱部90とダイアフラム42とが直接的に接続されていてもよい。また、図6や図12の実施形態のように、受熱部90とダイアフラム42aとは、他の要素(図6、図12の例では、ロッド44a、44cと固定部41a)を介して間接的に接続されていてもよい。
G. Variations:
(1) Various configurations can be adopted as a configuration for connecting the heat receiving portion and the diaphragm. For example, the heat receiving unit 90 and the diaphragm 42 may be directly connected as in the embodiment of FIGS. Further, as in the embodiment of FIGS. 6 and 12, the heat receiving section 90 and the diaphragm 42a are indirectly connected via other elements (in the example of FIGS. 6 and 12, the rods 44a and 44c and the fixing section 41a). It may be connected to.

また、図2の実施形態において、受熱部90とダイアフラム42との間に、スペーサが配置されてもよい。スペーサとしては、例えば、軸線CLを中心とする円柱状の部材を採用してもよい。ここで、ダイアフラム42(ひいては、受圧部40)とスペーサとの全体が、1つの部材として一体的に形成されてもよい(例えば、鍛造や削り出し)。代わりに、受熱部90とスペーサとの全体が、1つの部材として一体的に形成されてもよい(例えば、鍛造や削り出し)。このようなスペーサも、ダイアフラム42よりも先端側に配置されダイアフラム42の代わりに熱を受けることができるので、受熱部の一部ということができる。また、受熱部90とダイアフラム42とを接合する接合部(例えば、溶接時に溶融した溶融部(溶接痕))は、受熱部90から、スペーサを通って、ダイアフラム42に至るように、形成されてもよい。このような接合部は、軸線CLに平行な方向を向いて見る場合に、スペーサの全体に亘って形成されてもよく、この代わりに、スペーサの一部分に形成されてもよい。接合部がスペーサの一部分に形成される場合、図2の隙間95のように、接合部によって互いに接続されるスペーサとダイアフラムとの間に小さい隙間が形成され得る。この場合、最小距離dは、ゼロである。   In the embodiment of FIG. 2, a spacer may be disposed between the heat receiving unit 90 and the diaphragm 42. As the spacer, for example, a cylindrical member having the axis CL as the center may be employed. Here, the entire diaphragm 42 (and hence the pressure receiving portion 40) and the spacer may be integrally formed as one member (for example, forging or shaving). Instead, the entire heat receiving portion 90 and the spacer may be integrally formed as one member (for example, forging or shaving). Since such a spacer is also arranged on the tip side of the diaphragm 42 and can receive heat instead of the diaphragm 42, it can be said to be a part of the heat receiving portion. In addition, a joined portion (for example, a melted portion (weld trace) melted during welding) that joins the heat receiving portion 90 and the diaphragm 42 is formed so as to reach the diaphragm 42 from the heat receiving portion 90 through the spacer. Also good. Such a joint may be formed over the entire spacer when viewed in a direction parallel to the axis CL, or alternatively, formed in a portion of the spacer. When the joint portion is formed in a part of the spacer, a small gap may be formed between the spacer and the diaphragm connected to each other by the joint portion, like the gap 95 in FIG. In this case, the minimum distance d is zero.

いずれの場合も、受熱部(または、受熱部を備える部材)は、ダイアフラム、または、ダイアフラムに接続された他の要素に、溶接で接続されてよい。溶接の種類としては、レーザ溶接を採用してもよく、これに代えて、他の種類の溶接(例えば、抵抗溶接)を採用してもよい。溶接で接合される場合、受熱部(または、受熱部を備える部材)と、ダイアフラム(または、ダイアフラムに接続された他の要素)と、を接合する接合部は、溶接時に、溶接で接合される2つの部材が溶融した部分である。このような接合部は、溶接で接合される2つの部材が一体化した部分である。また、接合部は、溶接で接合される2つの部材のそれぞれの成分を含んでいる。また、このような接合部の構成としては、図2、図6、図11の接合部99、99a、99bの構成に代えて、他の種々の構成を採用可能である。例えば、軸線CLに平行な方向を向いて見る場合に、互いに離れた複数の接合部が形成されてもよい。例えば、軸線CLを囲むように配置された3個、または、4個の接合部が形成されてもよい。互いに離れた複数の接合部が形成される場合、受熱部のうちの複数の接合部に囲まれる領域内での変形は、複数の接合部に囲まれる領域外での変形と比べて、複数の接合部を介して、ダイアフラムに伝わり易い。従って、接続面積Snとしては、複数の接合部を含む最小包含領域の面積が採用され得る。例えば、3個の接合部が形成される場合、接続面積Snとしては、3個の接合部の3個の断面を含む略三角形状の最小包含領域の面積を採用可能である。4個の接合部が形成される場合、接続面積Snとしては、4個の接合部の4個の断面を含む略四角形状の最小包含領域の面積を採用可能である。   In any case, the heat receiving portion (or a member including the heat receiving portion) may be connected to the diaphragm or another element connected to the diaphragm by welding. Laser welding may be employed as the type of welding, and instead of this, other types of welding (for example, resistance welding) may be employed. When joining by welding, the joining part which joins a heat receiving part (or member provided with a heat receiving part) and a diaphragm (or other element connected to the diaphragm) is joined by welding at the time of welding. It is a part where two members are melted. Such a joint is a part where two members joined by welding are integrated. Moreover, the junction part contains each component of two members joined by welding. Moreover, as a structure of such a junction part, it can replace with the structure of the junction parts 99, 99a, and 99b of FIG.2, FIG.6, FIG.11 and can employ | adopt various other structures. For example, when viewed in a direction parallel to the axis CL, a plurality of joints separated from each other may be formed. For example, three or four joint portions arranged so as to surround the axis line CL may be formed. When a plurality of joints that are separated from each other are formed, the deformation in the region surrounded by the plurality of joints of the heat receiving portion is more than the deformation outside the region surrounded by the plurality of joints. It is easy to be transmitted to the diaphragm through the joint. Therefore, as the connection area Sn, the area of the minimum inclusion region including a plurality of junctions can be adopted. For example, when three junctions are formed, the area of a substantially triangular minimum inclusion region including three cross sections of the three junctions can be adopted as the connection area Sn. When four junctions are formed, as the connection area Sn, an area of a substantially quadrangular minimum inclusion region including four cross sections of the four junctions can be employed.

いずれの場合も、受熱部とダイアフラムとの間の隙間の軸線に平行な方向の最小距離dとしては、ダイアフラムの燃焼室側の表面と、受熱部と、の間の距離を採用することが好ましい。   In any case, as the minimum distance d in the direction parallel to the axis of the gap between the heat receiving portion and the diaphragm, it is preferable to adopt the distance between the surface of the diaphragm on the combustion chamber side and the heat receiving portion. .

(2)ダイアフラム42、42aと圧電素子51とを接続する接続部の構成としては、図2の接続部100の構成と、図6の接続部100aの構成と、図12の接続部100cの構成とに代えて、他の種々の構成を採用可能である。例えば、先端側の押さえ板54が省略され、ロッド44、44a、44cが、素子部50の要素のうちの先端側の電極52のみに接触していてもよい。また、先端側の押さえ板54と電極52が省略されて、ロッド44、44a、44cに直接的に圧電素子51が接続されてもよい。この場合、ロッド44、44a、44cが、電極として機能する。また、図6、図12の実施形態において、固定部41aが省略されて、ダイアフラム42aが直接的にロッド44a、44cに接合されてもよい。また、図6、図12の実施形態において、ダイアフラム42aとロッド44a、44cとが、1つの部材として一体的に形成されてもよい(例えば、鍛造や削り出し)。この場合も、ロッド44a、44cにダイアフラム42aが接続されている、ということができる。 (2) As the configuration of the connecting portion for connecting the diaphragms 42 and 42a and the piezoelectric element 51, the configuration of the connecting portion 100 in FIG. 2, the configuration of the connecting portion 100a in FIG. 6, and the configuration of the connecting portion 100c in FIG. Instead of, various other configurations can be adopted. For example, the holding plate 54 on the distal end side may be omitted, and the rods 44, 44 a, 44 c may be in contact with only the electrode 52 on the distal end side among the elements of the element unit 50. Further, the pressing plate 54 and the electrode 52 on the distal end side may be omitted, and the piezoelectric element 51 may be directly connected to the rods 44, 44a, 44c. In this case, the rods 44, 44a and 44c function as electrodes. 6 and 12, the fixing portion 41a may be omitted, and the diaphragm 42a may be directly joined to the rods 44a and 44c. In the embodiment of FIGS. 6 and 12, the diaphragm 42a and the rods 44a and 44c may be integrally formed as one member (for example, forging or shaving). Also in this case, it can be said that the diaphragm 42a is connected to the rods 44a and 44c.

いずれの場合も、接続部は、ロッドを含み、ロッドのうち第1部分にダイアフラムが直接的または間接的に接続され、ロッドのうち第1部分よりも後端側の第2部分に圧電素子51が直接的または間接的に接続されていることが好ましい。第2部分が第1部分よりも後端側に位置する理由は、一般的に、素子部50は、燃焼室内の圧力を受けるダイアフラムよりも後端側に配置されるからである。ここで、ロッドのうち素子部50(すなわち、圧電素子51)に接続される第2部分としては、ロッドの後端部(例えば、図2の後端部49、図6の後端部49a)に代えて、ロッドの任意の部分を採用可能である。例えば、ロッドの外周面に、素子部50(例えば、電極52)が接続されてもよい。この場合、電極52と圧電素子51とが円環状に形成され、電極52と圧電素子51との貫通孔内にロッドが挿入されてもよい。   In any case, the connecting portion includes a rod, and the diaphragm is directly or indirectly connected to the first portion of the rod, and the piezoelectric element 51 is connected to the second portion of the rod on the rear end side of the first portion. Are preferably connected directly or indirectly. The reason why the second portion is located on the rear end side with respect to the first portion is that the element unit 50 is generally arranged on the rear end side with respect to the diaphragm receiving the pressure in the combustion chamber. Here, as a second portion of the rod connected to the element portion 50 (that is, the piezoelectric element 51), the rear end portion of the rod (for example, the rear end portion 49 in FIG. 2, the rear end portion 49a in FIG. 6). Instead, any part of the rod can be employed. For example, the element part 50 (for example, electrode 52) may be connected to the outer peripheral surface of the rod. In this case, the electrode 52 and the piezoelectric element 51 may be formed in an annular shape, and a rod may be inserted into the through hole between the electrode 52 and the piezoelectric element 51.

(3)素子部50の構成としては、図2、図3の構成に代えて、他の種々の構成を採用可能である。例えば、先端側の押さえ板54と後端側の押さえ板54との少なくとも一方が省略されてもよい。また、端子部56が、電極52に直接的に接続されていてもよい。また、電極52と圧電素子51とは、軸線CL上に配置された円盤状の板状部材ではなく、軸線CLを囲む円環状の板状部材であってもよく、特定の周方向の軸線CLから離れた位置に配置された部材であってもよい。一般的には、素子部50は、圧電素子を含み、圧電素子からの信号を圧力センサの外部に出力できるように構成されていることが好ましい。また、ダイアフラムが受けた圧力によって変化する電気的特性を有する装置としては、圧電素子に代えて、ダイアフラムと接続部とを通じて受ける荷重に応じて変化する電気的特性(例えば、電圧、抵抗値など)を有する種々の装置を採用可能である。例えば、ひずみゲージを採用してもよい。 (3) As the configuration of the element unit 50, various other configurations can be adopted instead of the configurations of FIGS. For example, at least one of the front end side pressing plate 54 and the rear end side pressing plate 54 may be omitted. Further, the terminal portion 56 may be directly connected to the electrode 52. In addition, the electrode 52 and the piezoelectric element 51 may be an annular plate member surrounding the axis CL, instead of a disk-shaped plate member disposed on the axis CL, and a specific circumferential axis CL. The member arrange | positioned in the position away from may be sufficient. In general, the element unit 50 preferably includes a piezoelectric element and is configured to output a signal from the piezoelectric element to the outside of the pressure sensor. In addition, as an apparatus having an electrical characteristic that changes depending on the pressure received by the diaphragm, an electrical characteristic that changes according to the load received through the diaphragm and the connecting portion instead of the piezoelectric element (for example, voltage, resistance value, etc.) Various devices having the above can be employed. For example, a strain gauge may be employed.

(4)受熱部の構成としては、図2、図6、図11、図12の受熱部90のような構成に代えて、ダイアフラムの代わりに燃焼室からの熱を受けることが可能な種々の構成を採用可能である。例えば、軸線CLに平行な方向を向いて見た受熱部の形状が、円ではなく矩形であってもよい。一般的には、受熱部は、ダイアフラムの先端側に配置され、ダイアフラムに直接的または間接的に接続されていることが好ましい。 (4) As a configuration of the heat receiving section, various configurations capable of receiving heat from the combustion chamber instead of the diaphragm instead of the configuration of the heat receiving section 90 of FIGS. 2, 6, 11, and 12. A configuration can be adopted. For example, the shape of the heat receiving portion viewed in a direction parallel to the axis line CL may be a rectangle instead of a circle. Generally, it is preferable that the heat receiving portion is disposed on the distal end side of the diaphragm and is directly or indirectly connected to the diaphragm.

(5)上記の実施形態(例えば、図2、図6)では、第2金具80と第3金具35とで形成される筒状の筐体に、ダイアフラム42、42aが接合され、そして、筐体の中に、素子部50が収容されている。このような筐体の構成としては、第2金具80と第3金具35とを用いる構成に代えて、筒状の種々の構成を採用可能である。例えば、第2金具80と第3金具35との全体が、1つの部材で形成されていてもよい。また、第2金具80と押さえねじ32との全体が、1つの部材で形成されていてもよい。また、第2金具80と第3金具35と押さえねじ32とが、1つの部材で形成されていてもよい。 (5) In the above-described embodiment (for example, FIG. 2 and FIG. 6), the diaphragms 42 and 42a are joined to the cylindrical housing formed by the second metal fitting 80 and the third metal fitting 35, and the housing The element part 50 is accommodated in the body. As a configuration of such a housing, various cylindrical configurations can be employed instead of the configuration using the second metal fitting 80 and the third metal fitting 35. For example, the whole of the second metal fitting 80 and the third metal fitting 35 may be formed of one member. Moreover, the whole 2nd metal fitting 80 and the holding screw 32 may be formed with one member. Moreover, the 2nd metal fitting 80, the 3rd metal fitting 35, and the holding screw 32 may be formed with one member.

いずれの場合も、ダイアフラムは、筐体に、溶接で接続されてよい。溶接の種類としては、レーザ溶接を採用してもよく、これに代えて、他の種類の溶接(例えば、抵抗溶接)を採用してもよい。いずれの場合も、溶接時にダイアフラムと筐体とが溶融した部分が、ダイアフラムと筐体とを接合する接合部を形成する。このような接合部は、ダイアフラムと筐体とが一体化した部分である。そして、接合部は、ダイアフラムの成分と筐体の成分とを含んでいる。有効面積Sdに対応する領域の輪郭としては、ダイアフラムの表面のうち、筐体に接続された表面上において、筐体とダイアフラムとを接合する接合部の内周側の輪郭を採用可能である(例えば、図7(F)、図8(F)の接合部45の輪郭45i)。   In either case, the diaphragm may be connected to the housing by welding. Laser welding may be employed as the type of welding, and instead of this, other types of welding (for example, resistance welding) may be employed. In any case, a portion where the diaphragm and the housing are melted during welding forms a joint for joining the diaphragm and the housing. Such a joining portion is a portion where the diaphragm and the housing are integrated. And the junction part contains the component of the diaphragm and the component of the housing | casing. As the contour of the region corresponding to the effective area Sd, it is possible to adopt the contour on the inner peripheral side of the joint portion that joins the housing and the diaphragm on the surface of the diaphragm connected to the housing ( For example, the outline 45i of the joint 45 in FIGS. 7 (F) and 8 (F).

(6)素子部50からの信号を圧力センサの外部に導くための構成としては、ケーブル60を用いる構成に代えて、他の種々の構成を採用可能である。例えば、圧力センサ10の後端側に端子金具が配置され、端子金具と素子部50の端子部56とが中軸によって接続されてもよい。この場合、端子金具と第1金具20とを通じて、素子部50からの信号を取得可能である。 (6) As a configuration for guiding the signal from the element unit 50 to the outside of the pressure sensor, various other configurations can be adopted instead of the configuration using the cable 60. For example, a terminal metal fitting may be disposed on the rear end side of the pressure sensor 10, and the terminal metal fitting and the terminal portion 56 of the element unit 50 may be connected by a middle shaft. In this case, a signal from the element unit 50 can be acquired through the terminal fitting and the first fitting 20.

以上、実施形態、変形例に基づき本発明について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれる。   As mentioned above, although this invention was demonstrated based on embodiment and a modification, embodiment mentioned above is for making an understanding of this invention easy, and does not limit this invention. The present invention can be changed and improved without departing from the spirit and scope of the claims, and equivalents thereof are included in the present invention.

10、10a、10c、10x...圧力センサ、20...第1金具、21...軸孔、22...ねじ部、24...工具係合部、26...接合部、30...第2金具、34...拡径部、35...第3金具、36...軸孔、39...軸孔、40、40a...受圧部、41a...固定部、42、42a...ダイアフラム、42f、42af...受圧面、42o、42ai、42ao...縁、43、43a...接続部分、44、44a...ロッド、45...接合部、45i...輪郭、46...、46a...領域、49、49a...後端部、50...素子部、51...圧電素子、52...電極、53...リード部、54...押さえ板、54h...貫通孔、55...絶縁板、55h...貫通孔、56...端子部、57...円盤部、60...ケーブル、61...ジャケット、62...外部導体、63...導電コーティング、64...絶縁体、65...内部導体、72...熱収縮チューブ、74...細径導線、75...平板導線、76...接地導線、80...第2金具、81...軸孔、89...接合部、90...受熱部、93、93a、93b...接続部分、94、94a、94b...最小包含領域、95、95a...隙間、97...板部、98...脚部、99、99a、99b...接合部、100、100a、100c...接続部、X...領域、d...最小距離、G1...基準グラフ(圧力)、G2...サンプルグラフ(圧力)、CA...クランク角度、CL...中心軸(軸線)、Pc...圧力、Sd...ダイアフラム有効面積(有効面積)、Df...先端方向、Dr...後端方向、Em...最大差分、Sn...接続面積、Ep...圧力誤差、Sn2...受熱面積 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 10a, 10c, 10x ... Pressure sensor, 20 ... 1st metal fitting, 21 ... Shaft hole, 22 ... Screw part, 24 ... Tool engaging part, 26 ... Joint part , 30 ... second metal fitting, 34 ... diameter enlarged portion, 35 ... third metal fitting, 36 ... shaft hole, 39 ... shaft hole, 40, 40a ... pressure receiving portion, 41a. .. Fixing part, 42, 42a ... Diaphragm, 42f, 42af ... Pressure receiving surface, 42o, 42ai, 42ao ... Edge, 43, 43a ... Connection part, 44, 44a ... Rod, 45 ... Junction, 45i ... contour, 46 ..., 46a ... region, 49, 49a ... rear end, 50 ... element part, 51 ... piezoelectric element, 52 .. Electrode 53 ... Lead part 54 ... Presser plate 54h ... Through hole 55 ... Insulating plate 55h ... Through hole 56 ... Terminal part 57 ... Disc 60 ... cable 61 ... jacket 62 ... outer conductor 63 ... conductive coating 64 ... insulator 6 ... Inner conductor, 72 ... Heat-shrinkable tube, 74 ... Small diameter conductor, 75 ... Plate conductor, 76 ... Ground conductor, 80 ... Second metal fitting, 81 ... Shaft hole 89 ... Joint portion, 90 ... Heat receiving portion, 93, 93a, 93b ... Connection portion, 94, 94a, 94b ... Minimum inclusion area, 95, 95a ... Gap, 97 ... Plate part, 98 ... Leg part, 99, 99a, 99b ... Joint part, 100, 100a, 100c ... Connection part, X ... Area, d ... Minimum distance, G1 ... Standard Graph (pressure), G2 ... sample graph (pressure), CA ... crank angle, CL ... center axis (axis), Pc ... pressure, Sd ... diaphragm effective area (effective area), Df ... front end direction, Dr ... rear end direction, Em ... maximum difference, Sn ... connection area, Ep ... pressure error, Sn2 ... heat receiving area

Claims (4)

筒状の筐体と、前記筐体の先端側に接合部を介して接合され前記筐体の軸線に交差する方向に拡がり受圧した圧力に応じて撓むダイアフラムと、前記筐体内に配置され前記圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、前記ダイアフラムと前記センサ部とを接続する接続部と、前記ダイアフラムの先端側に配置され前記ダイアフラムに直接的または間接的に接続された、熱を受ける受熱部と、を備える圧力センサであって、
前記軸線に垂直な断面上で、前記受熱部から前記ダイアフラムまでの部分の断面を包含し、かつ、輪郭の全長が最小となる仮想的な領域である最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Snとし、
前記ダイアフラムと前記受熱部とを、前記軸線に垂直な投影面上に投影する場合に、前記投影面上において、
前記接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Sdとし、
前記受熱部の面積を、受熱面積Sn2とする場合に、
(Sn2/Sd)≧0.8、かつ、(Sn/Sd)≦0.25、を満たす、
圧力センサ。
A cylindrical housing, a diaphragm joined to the front end side of the housing via a joint portion and extending in a direction intersecting the axis of the housing and bending in response to pressure received, and disposed in the housing A sensor unit having an electrical characteristic that varies depending on pressure, a connection unit that connects the diaphragm and the sensor unit, and a heat that is disposed on the distal end side of the diaphragm and connected directly or indirectly to the diaphragm. A pressure sensor comprising:
On the cross section perpendicular to the axis, connect the minimum value of the area of the minimum inclusion area that is a virtual area that includes the cross section of the portion from the heat receiving portion to the diaphragm and has the minimum overall length of the contour. Let the area Sn be
When projecting the diaphragm and the heat receiving unit on a projection plane perpendicular to the axis, on the projection plane,
The area of the region surrounded by the joint is defined as a diaphragm effective area Sd,
When the area of the heat receiving portion is the heat receiving area Sn2,
(Sn2 / Sd) ≧ 0.8 and (Sn / Sd) ≦ 0.25 are satisfied.
Pressure sensor.
請求項1に記載の圧力センサであって、
(Sn2/Sd)≧1.0、を満たす
圧力センサ。
The pressure sensor according to claim 1,
A pressure sensor satisfying (Sn2 / Sd) ≧ 1.0.
請求項1または2に記載の圧力センサであって、
前記受熱部と前記ダイアフラムとの間の隙間の前記軸線に平行な方向の最小距離を、最小距離dとする場合に、
d≦0.5mm、を満たす、
圧力センサ。
The pressure sensor according to claim 1 or 2,
When the minimum distance in the direction parallel to the axis of the gap between the heat receiving portion and the diaphragm is the minimum distance d,
d ≦ 0.5 mm is satisfied,
Pressure sensor.
請求項1からのいずれか1項に記載の圧力センサであって、
(Sn/Sd)≦0.1、を満たす、
圧力センサ。
The pressure sensor according to any one of claims 1 to 3 ,
(Sn / Sd) ≦ 0.1 is satisfied,
Pressure sensor.
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