JP2023049395A - Pressure sensing device - Google Patents

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JP2023049395A
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housing
rear end
pressure
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pressure detection
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JP2021159102A
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和生 高橋
Kazuo Takahashi
貴司 岩下
Takashi Iwashita
康暁 藤並
Yasuaki Fujinami
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Citizen Watch Co Ltd
Citizen Fine Device Co Ltd
Original Assignee
Citizen Watch Co Ltd
Citizen Fine Device Co Ltd
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Abstract

To suppress accuracy deterioration in detection of a detection target signal by reducing vibration of a pressure sensing device at a frequency close to a frequency of the signal based on changes in pressure to be sensed.SOLUTION: A pressure sensing device is provided, comprising a piezoelectric element 41 for sensing changes in pressure, a conducting member 47 for transmitting an electrical signal from the piezoelectric element 41, a cylindrical tip outer housing 31 for accommodating the conducting member 47 therein, and a swaged portion P formed by applying pressure from a side of the tip outer housing 31 to the conducting member 47 to serve as vibration suppression means for suppressing vibration of the conducting member 47 at a specific frequency.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、圧力検出装置に関する。 The present invention relates to a pressure sensing device.

内燃機関等の燃焼室内の圧力を検出する圧力検出装置として、圧電素子等の検出素子を使用したものが提案されている。 2. Description of the Related Art As a pressure detection device for detecting the pressure in a combustion chamber of an internal combustion engine or the like, one using a detection element such as a piezoelectric element has been proposed.

特許文献1には、圧電素子と、圧電素子からの電気信号を伝導する導電部材と、導電部材を内部に収容する筒状の第1収容部材と、導電部材および第1収容部材を覆う導電性かつ筒状の第2収容部材と、を備えた圧力検出装置が記載されている。 Patent Document 1 discloses a piezoelectric element, a conductive member that conducts an electric signal from the piezoelectric element, a cylindrical first housing member that houses the conductive member therein, and a conductive member that covers the conductive member and the first housing member. and a cylindrical second housing member.

特開2020-85864号公報JP 2020-85864 A

圧力検出装置に外部から衝撃が加わると、導電部材や収容部材に、例えば軸方向の長さに応じた固有振動数などの振動が生じる場合がある。これらの振動が圧電素子に伝わると、圧電素子の出力に、振動に応じたノイズが生じる。そして、圧力検出装置により検出しようとする圧力変化に基づく信号の振動数がこの固有振動数に近い場合、検出対象の圧力変化に基づく信号の検出精度の低下を招く可能性がある。 When an impact is applied to the pressure detection device from the outside, the conductive member and the housing member may vibrate, for example, at a natural frequency depending on the length in the axial direction. When these vibrations are transmitted to the piezoelectric element, noise corresponding to the vibration is generated in the output of the piezoelectric element. If the frequency of the signal based on the pressure change to be detected by the pressure detection device is close to this natural frequency, there is a possibility that the detection accuracy of the signal based on the pressure change to be detected will be lowered.

本発明は、検出しようとする圧力変化に基づく信号の振動数に近い振動数による圧力検出装置の振動を低減させることにより、検出対象の信号の検出精度の低下を抑制することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to suppress deterioration in detection accuracy of a signal to be detected by reducing vibration of a pressure detection device at a frequency close to that of a signal based on a pressure change to be detected.

上記の目的を達成する本発明の圧力検出装置は、圧力の変化を検出する検出素子と、前記検出素子からの電気信号を伝導する伝導部材と、前記伝導部材を内部に収容する筒状の筐体と、前記伝導部材に前記筐体側から圧力を印加して形成され、前記伝導部材における特定の振動数による振動を抑制する振動抑制手段と、を備える。
ここで、前記振動抑制手段は、前記伝導部材の固有振動数を予め定められた振動数の範囲から外れる値に調整する手段としても良い。
また、前記筐体は、前記伝導部材を内部に収容する筒状の第1筐体と、前記伝導部材および前記第1筐体を内部に収容する筒状の第2筐体と、を備える構成としても良い。
また、前記筐体は、前記伝導部材、前記第1筐体および前記第2筐体を内部に収容する筒状の第3筐体をさらに備える構成としても良い。
また、前記伝導部材と前記筐体との間の少なくとも一部に、充填剤が充填されている構成としても良い。
また、前記振動抑制手段は、前記伝導部材および前記筐体を、軸方向の特定の位置で固定する手段としても良い。
また、前記振動抑制手段は、前記筐体の外側からかしめて形成されたかしめ部としても良い。
また、他の観点から捉えると、本発明の圧力検出装置は、圧力の変化を検出する検出素子と、前記検出素子からの電気信号を伝導する伝導部材と、前記伝導部材を内部に収容する筒状の筐体と、を備え、前記筐体と前記伝導部材とをかしめたかしめ部を有する。
ここで、前記かしめ部における前記筐体と前記伝導部材との間に絶縁性を有する部材を介在させ、前記筐体と前記伝導部材とが絶縁された構成としても良い。
また、前記かしめ部は、前記筐体および前記伝導部材の軸方向の特定の位置に、当該軸に略直交する断面の中心方向へ向かう力により形成され、前記断面の複数方向から前記筐体および前記伝導部材がかしめられた構成としても良い。
A pressure detection device according to the present invention for achieving the above object comprises a detection element for detecting a change in pressure, a conductive member for conducting an electrical signal from the detection element, and a cylindrical housing for accommodating the conductive member. and a vibration suppression means formed by applying pressure to the transmission member from the housing side and suppressing vibration of the transmission member at a specific frequency.
Here, the vibration suppression means may be means for adjusting the natural frequency of the transmission member to a value outside a predetermined frequency range.
Further, the housing includes a tubular first housing that houses the conductive member therein, and a tubular second housing that houses the conductive member and the first housing therein. It is good as
Further, the housing may further include a cylindrical third housing that accommodates the conductive member, the first housing, and the second housing therein.
Further, at least a portion between the conductive member and the housing may be filled with a filler.
Further, the vibration suppression means may be means for fixing the transmission member and the housing at a specific position in the axial direction.
Further, the vibration suppressing means may be a crimped portion formed by crimping the housing from the outside.
Viewed from another point of view, the pressure detection device of the present invention comprises a detection element for detecting a change in pressure, a conducting member for conducting an electric signal from the detecting element, and a cylinder housing the conducting member inside. and a crimped portion for crimping the casing and the conductive member.
Here, an insulating member may be interposed between the housing and the conductive member in the crimped portion, so that the housing and the conductive member are insulated.
Further, the crimped portion is formed at a specific position in the axial direction of the housing and the transmission member by a force directed toward the center of a cross section substantially orthogonal to the axis, and is applied from a plurality of directions of the cross section to the housing and the transmission member. The conductive member may be crimped.

本発明によれば、検出しようとする圧力変化に基づく信号の振動数に近い振動数による圧力検出装置の振動を低減させ、検出対象の信号の検出精度の低下を抑制することができる。 According to the present invention, it is possible to reduce the vibration of the pressure detection device due to the frequency close to the frequency of the signal based on the pressure change to be detected, and suppress the deterioration of the detection accuracy of the signal to be detected.

実施の形態に係る圧力検出システムの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a pressure detection system according to an embodiment; FIG. 内部絶縁構造の圧力検出装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of a pressure sensing device with an internal insulation structure; 図2に示す圧力検出装置のIII-III断面図である。3 is a cross-sectional view of the pressure detection device shown in FIG. 2 taken along line III-III. FIG. 図3に示す圧力検出装置のIV領域の拡大図である。4 is an enlarged view of the IV region of the pressure detection device shown in FIG. 3; FIG. 非内部絶縁構造の圧力検出装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of a non-internally insulated pressure sensing device; FIG. 図5に示す圧力検出装置のV領域部の拡大図である。FIG. 6 is an enlarged view of a V region portion of the pressure detection device shown in FIG. 5;

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
[圧力検出システムの構成]
図1は、実施の形態に係る圧力検出システム1の概略構成図である。
この圧力検出システム1は、内燃機関10における燃焼室C内の圧力(燃焼圧)を検出する圧力検出装置20と、圧力検出装置20に対する給電を行うとともに圧力検出装置20が検出した圧力に基づいて内燃機関10の動作を制御する制御装置100と、圧力検出装置20と制御装置100とを電気的に接続する接続ケーブル90とを備えている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[Configuration of pressure detection system]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a pressure detection system 1 according to an embodiment.
The pressure detection system 1 includes a pressure detection device 20 that detects the pressure (combustion pressure) in the combustion chamber C in the internal combustion engine 10, and supplies power to the pressure detection device 20, and based on the pressure detected by the pressure detection device 20, A control device 100 that controls the operation of the internal combustion engine 10 and a connection cable 90 that electrically connects the pressure detection device 20 and the control device 100 are provided.

ここで、圧力の検出対象となる内燃機関10は、内部にシリンダが形成されたシリンダブロック11と、シリンダ内を往復運動するピストン12と、シリンダブロック11に締結されてピストン12等とともに燃焼室Cを構成するシリンダヘッド13とを有している。また、シリンダヘッド13には、燃焼室Cと外部とを連通する連通孔13aが設けられている。そして、この連通孔13aに圧力検出装置20の先端側を挿入するとともに、圧力検出装置20をシリンダヘッド13に固定することで、内燃機関10に対して圧力検出装置20を取り付けている。ここで、内燃機関10を構成するシリンダブロック11、ピストン12およびシリンダヘッド13は、鋳鉄やアルミニウム等、導電性を有する金属材料で構成されている。 Here, an internal combustion engine 10 whose pressure is to be detected includes a cylinder block 11 in which cylinders are formed, pistons 12 that reciprocate within the cylinders, pistons 12 fastened to the cylinder block 11, and a combustion chamber C It has a cylinder head 13 that configures. Further, the cylinder head 13 is provided with a communication hole 13a that communicates the combustion chamber C with the outside. The pressure detection device 20 is attached to the internal combustion engine 10 by inserting the tip side of the pressure detection device 20 into the communication hole 13 a and fixing the pressure detection device 20 to the cylinder head 13 . Here, the cylinder block 11, the piston 12, and the cylinder head 13 that constitute the internal combustion engine 10 are made of a conductive metal material such as cast iron or aluminum.

[圧力検出装置の構成]
図2は、圧力検出装置20の側面図である。また、図3は、図2に示す圧力検出装置20のIII-III断面図である。さらに、図4は、図3に示す圧力検出装置20のIV領域の拡大断面図である。なお、図4には、圧力検出装置20の取付対象となるシリンダヘッド13の要部を、併せて示している。
[Configuration of Pressure Detector]
FIG. 2 is a side view of the pressure detection device 20. FIG. 3 is a cross-sectional view of the pressure detection device 20 shown in FIG. 2 taken along line III-III. Furthermore, FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the IV region of the pressure detection device 20 shown in FIG. 4 also shows a main part of the cylinder head 13 to which the pressure detection device 20 is attached.

圧力検出装置20は、全体として筒状を呈するとともに外部に露出するように設けられる筐体部30と、圧力を検出するための各種機構を含み、ほぼ全体が筐体部30の内部に収容されるとともに一部が外部に露出するように設けられる検出機構部40と、筐体部30の外周面に取り付けられるシール部70と、筐体部30の一端側(図2においては筐体部30の左側)に取り付けられる緩衝部材80とを有している。そして、圧力検出装置20は、図1に示す内燃機関10に対し、図2における左側(緩衝部材80側)が燃焼室C(図1では下側)を向くとともに、図2における右側(接続ケーブル90側)が外部(図1では上側)を向くように取り付けられる。なお、以下の説明では、図2において、図中左に向かう側を圧力検出装置20の「先端側」と称し、図中右に向かう側を圧力検出装置20の「後端側」と称する。また、以下の説明では、図2等に一点鎖線で示す圧力検出装置20の中心線方向を、単に「中心線方向」と称する。ここで、本実施の形態では、「先端側」が「一端側」に、「後端側」が「他端側」に、それぞれ対応している。 The pressure detection device 20 includes a housing portion 30 which has a cylindrical shape as a whole and is provided so as to be exposed to the outside, and various mechanisms for detecting pressure. A detection mechanism portion 40 provided so as to be partially exposed to the outside, a seal portion 70 attached to the outer peripheral surface of the housing portion 30, and one end side of the housing portion 30 (in FIG. 2, the housing portion 30 ) and a cushioning member 80 attached to the left side of the 2 faces the combustion chamber C (lower side in FIG. 1), and the right side in FIG. 90 side) faces the outside (upward in FIG. 1). In the following description, in FIG. 2 , the left side of the pressure detection device 20 is referred to as the “front end side”, and the right side of the pressure detection device 20 is referred to as the “rear end side” of the pressure detection device 20 . In addition, in the following description, the direction of the center line of the pressure detection device 20 indicated by the one-dot chain line in FIG. Here, in the present embodiment, the "front end side" corresponds to the "one end side", and the "rear end side" corresponds to the "other end side".

(筐体部の構成)
胴体部の一例としての筐体部30は、先端外部筐体31と、先端外部筐体31の先端側に取り付けられたダイアフラムヘッド32と、先端外部筐体31の後端側に取り付けられた中間外部筐体33と、中間外部筐体33の後端側に取り付けられた後端外部筐体34とを備えている。また、筐体部30は、先端外部筐体31の内側であってダイアフラムヘッド32の後端側に取り付けられた第1内部筐体35と、先端外部筐体31の内側であって第1内部筐体35の後端側に取り付けられた第2内部筐体36とをさらに備えている。
(Structure of housing)
The housing part 30 as an example of the body part includes a distal end external housing 31, a diaphragm head 32 attached to the distal end side of the distal external housing 31, and an intermediate part attached to the rear end side of the distal external housing 31. An outer housing 33 and a rear end outer housing 34 attached to the rear end side of the intermediate outer housing 33 are provided. The housing part 30 includes a first inner housing 35 attached to the rear end side of the diaphragm head 32 inside the tip outer housing 31, and a first inner housing 35 inside the tip outer housing 31 and attached to the rear end side of the diaphragm head 32. A second internal housing 36 attached to the rear end side of the housing 35 is further provided.

〔先端外部筐体〕
先端外部筐体31は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。先端外部筐体31は、筐体の一例であり、第3筐体の一例である。先端外部筐体31は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス鋼等の金属材料によって構成されている。このような金属材料としては、例えば析出硬化系のステンレス鋼として知られるSUS630や、例えばオーステナイト系の耐熱鋼(耐熱合金)として知られるSUH660を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金)等を採用することができる。また、先端外部筐体31には、図2に示すように、中心線方向途中の適当な位置に、かしめ部Pが形成される。
[Tip external housing]
The distal end outer housing 31 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. The tip external housing 31 is an example of a housing, and is an example of a third housing. The distal end outer housing 31 is made of a metal material such as stainless steel having electrical conductivity and high heat resistance and acid resistance. Examples of such a metal material include SUS630 known as precipitation hardening stainless steel and SUH660 known as austenitic heat resistant steel (heat resistant alloy). However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, or various heat-resistant alloys) can be used as long as they satisfy the required properties. In addition, as shown in FIG. 2, the distal end outer housing 31 is formed with a crimped portion P at an appropriate position in the middle of the center line direction.

〔ダイアフラムヘッド〕
受圧部の一例としてのダイアフラムヘッド32は、全体として円板状を呈する部材である。ダイアフラムヘッド32は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。このような金属材料としては、例えば析出硬化系のステンレス鋼として知られるSUS630や、例えばオーステナイト系の耐熱鋼(耐熱合金)として知られるSUH660を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金等)を採用することができる。なお、この例では、ダイアフラムヘッド32を、先端外部筐体31と同じ材料(例えばSUS630)で構成している。
[Diaphragm head]
The diaphragm head 32, which is an example of a pressure receiving portion, is a member having a disk shape as a whole. The diaphragm head 32 is made of a metal material, such as stainless steel, which is electrically conductive and has high heat resistance and acid resistance. Examples of such a metal material include SUS630 known as precipitation hardening stainless steel and SUH660 known as austenitic heat resistant steel (heat resistant alloy). However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, various heat-resistant alloys, etc.) can be employed as long as they satisfy the required properties. In this example, the diaphragm head 32 is made of the same material as the distal end outer housing 31 (for example, SUS630).

ダイアフラムヘッド32は、特に図4に示すように、先端側における中央部に表面中央凹部32bが形成されるとともに、外部(燃焼室C側)に露出することで圧力を受ける圧力受面(表面)32aを有している。また、ダイアフラムヘッド32は、圧力受面32aの裏側となる裏面を環状に切り欠くことによって形成された裏面環状凹部32cと、裏面環状凹部32cの存在により、結果として圧力受面32aの中央部(表面中央凹部32bの形成部位)から後端側に突出する裏面中央凸部32dとを有している。さらに、ダイアフラムヘッド32は、圧力受面32aの裏面における周縁部を環状に切り欠くことによって形成された裏面環状平坦部32eと、裏面環状凹部32cおよび裏面環状平坦部32eの存在により、結果として裏面中央凸部32dの周囲から後端側に突出する裏面環状凸部32fとを有している。さらにまた、ダイアフラムヘッド32は、凹状の圧力受面32aを設けた結果として、圧力受面32aの全周縁から先端側に突出する表面環状凸部32gを有している。この表面環状凸部32gは、裏面環状平坦部32eの反対側(表側)に位置している。なお、別の観点からみれば、ダイアフラムヘッド32の先端側は、その中央部を円形状に切り欠くことによって形成された表面環状凸部32gおよび圧力受面32aと、圧力受面32aの中央部をさらに切り欠くことによって形成された表面中央凹部32bとを有しているもの、とみなすこともできる。 As shown particularly in FIG. 4, the diaphragm head 32 has a surface central concave portion 32b formed in the central portion on the tip end side, and a pressure receiving surface (surface) that receives pressure by being exposed to the outside (combustion chamber C side). 32a. In addition, the diaphragm head 32 has a back surface annular recess 32c formed by annularly notching the back surface of the pressure receiving surface 32a, and the presence of the back surface annular recess 32c. It has a rear central convex portion 32d that protrudes toward the rear end side from the formation portion of the central concave portion 32b on the front surface. Furthermore, the diaphragm head 32 has a back surface annular flat portion 32e formed by annularly notching the peripheral portion of the back surface of the pressure receiving surface 32a, and the back surface annular recess 32c and the back surface annular flat portion 32e. It has an annular rear convex portion 32f that protrudes from the periphery of the central convex portion 32d to the rear end side. Furthermore, the diaphragm head 32 has a surface annular convex portion 32g that protrudes from the entire peripheral edge of the pressure receiving surface 32a to the tip side as a result of providing the concave pressure receiving surface 32a. The front annular convex portion 32g is located on the opposite side (front side) of the back annular flat portion 32e. From another point of view, the front end side of the diaphragm head 32 includes a surface annular convex portion 32g and a pressure receiving surface 32a formed by circularly notching the central portion of the diaphragm head 32, and a central portion of the pressure receiving surface 32a. can also be regarded as having a surface central recess 32b formed by further notching the .

ダイアフラムヘッド32は、先端外部筐体31における先端側の開口部を塞ぐように設けられている。より具体的に説明すると、ダイアフラムヘッド32の裏面環状平坦部32eに、先端外部筐体31の先端側が突き当たっている。そして、ダイアフラムヘッド32と先端外部筐体31との境界部には、外周面の一周にわたってレーザ溶接が施されている。 The diaphragm head 32 is provided so as to block the opening of the distal end outer housing 31 on the distal end side. More specifically, the distal end side of the distal end external housing 31 abuts against the rear annular flat portion 32 e of the diaphragm head 32 . A boundary between the diaphragm head 32 and the distal end outer housing 31 is laser-welded along the outer peripheral surface thereof.

ここで、本実施の形態のダイアフラムヘッド32は、最も薄手となる裏面環状凹部32cの周辺が外力に応じて伸縮することにより、ばねとして機能するようになっている。そして、ダイアフラムヘッド32は、燃焼室C等から受けた圧力(外圧)に伴って振動するようになっている。 Here, the diaphragm head 32 of the present embodiment functions as a spring by expanding and contracting the periphery of the thinnest annular concave portion 32c in response to an external force. The diaphragm head 32 vibrates according to the pressure (external pressure) received from the combustion chamber C or the like.

〔中間外部筐体〕
中間外部筐体33は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。中間外部筐体33は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス等の金属材料で構成されている。このような金属材料としては、例えばフェライト系のステンレス鋼として知られるSUS430LXを例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金)等を採用することができる。なお、この例では、中間外部筐体33を、先端外部筐体31とは異なる材料(例えばSUS430LX)で構成している。
[Intermediate external housing]
The intermediate outer housing 33 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. The intermediate outer housing 33 is made of a metal material such as stainless steel that has electrical conductivity and high heat resistance and acid resistance. As such a metal material, for example, SUS430LX known as ferritic stainless steel can be exemplified. However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, or various heat-resistant alloys) can be used as long as they satisfy the required properties. In this example, the intermediate outer housing 33 is made of a material different from that of the tip outer housing 31 (for example, SUS430LX).

中間外部筐体33の先端側は、先端外部筐体31の後端側にはめ込まれるようになっている。そして、中間外部筐体33と先端外部筐体31との境界部には、外周面の一周にわたってレーザ溶接が施されている。 The distal end side of the intermediate external housing 33 is fitted into the rear end side of the distal external housing 31 . The boundary between the intermediate outer housing 33 and the distal end outer housing 31 is laser-welded along the outer peripheral surface thereof.

〔後端外部筐体〕
後端外部筐体34は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。後端外部筐体34は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス等の金属材料で構成されている。このような金属材料としては、例えばフェライト系のステンレス鋼として知られるSUS430LXを例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金等)を採用することができる。なお、この例では、後端外部筐体34を、中間外部筐体33と同じ材料(例えばSUS430LX)で構成している。
[Rear end external housing]
The rear end outer housing 34 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. The rear end outer housing 34 is made of a metal material such as stainless steel that has electrical conductivity and high heat resistance and acid resistance. As such a metal material, for example, SUS430LX known as ferritic stainless steel can be exemplified. However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, various heat-resistant alloys, etc.) can be employed as long as they satisfy the required properties. In this example, the rear end outer housing 34 is made of the same material as the intermediate outer housing 33 (for example, SUS430LX).

後端外部筐体34の先端側は、中間外部筐体33の後端側にはめ込まれるようになっている。そして、後端外部筐体34と中間外部筐体33との境界部には、外周面の一周にわたってレーザ溶接が施されている。 The front end side of the rear end outer housing 34 is fitted into the rear end side of the intermediate outer housing 33 . A boundary portion between the rear end outer housing 34 and the intermediate outer housing 33 is laser-welded along the outer peripheral surface thereof.

〔第1内部筐体〕
第1内部筐体35は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。第1内部筐体35は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス等の金属材料で構成されている。このような金属材料としては、例えば析出硬化系のステンレス鋼として知られるSUS630や、例えばオーステナイト系の耐熱鋼(耐熱合金)として知られるSUH660を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金等)を採用することができる。なお、この例では、第1内部筐体35を、ダイアフラムヘッド32と同じ材料(例えばSUS630)で構成している。また、第1内部筐体35とダイアフラムヘッド32とを、異なる材料により構成してもよい。
[First internal housing]
The first internal housing 35 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. The first internal housing 35 is made of a metal material such as stainless steel, which has electrical conductivity and high heat resistance and acid resistance. Examples of such a metal material include SUS630 known as precipitation hardening stainless steel and SUH660 known as austenitic heat resistant steel (heat resistant alloy). However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, various heat-resistant alloys, etc.) can be employed as long as they satisfy the required properties. In this example, the first internal housing 35 is made of the same material as the diaphragm head 32 (eg SUS630). Also, the first internal housing 35 and the diaphragm head 32 may be made of different materials.

第1内部筐体35の先端側は、ダイアフラムヘッド32の後端側に突き当たるようになっている。より具体的に説明すると、第1内部筐体35の先端側に位置する面が、ダイアフラムヘッド32における裏面環状凸部32fの後端側の面に突き当たるようになっている。このとき、第1内部筐体35における先端側の一部の領域は、ダイアフラムヘッド32における裏面環状凹部32cの内部に位置している。そして、第1内部筐体35とダイアフラムヘッド32との境界部には、外周面の一周にわたってレーザ溶接が施されている。 The front end side of the first internal housing 35 abuts the rear end side of the diaphragm head 32 . More specifically, the front end surface of the first internal housing 35 abuts against the rear end surface of the rear annular convex portion 32 f of the diaphragm head 32 . At this time, a portion of the front end side of the first inner housing 35 is positioned inside the rear annular concave portion 32 c of the diaphragm head 32 . The boundary between the first inner housing 35 and the diaphragm head 32 is laser-welded along the outer peripheral surface.

〔第2内部筐体〕
第2内部筐体36は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。第2内部筐体36は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス等の金属材料で構成されている。このような金属材料としては、例えば析出硬化系のステンレス鋼として知られるSUS630や、例えばオーステナイト系の耐熱鋼(耐熱合金)として知られるSUH660を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金等)を採用することができる。なお、この例では、第2内部筐体36を、第1内部筐体35と同じ材料(例えばSUS630)で構成している。
[Second inner housing]
The second internal housing 36 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. The second internal housing 36 is made of a metal material such as stainless steel, which has electrical conductivity and high heat resistance and acid resistance. Examples of such a metal material include SUS630 known as precipitation hardening stainless steel and SUH660 known as austenitic heat resistant steel (heat resistant alloy). However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, various heat-resistant alloys, etc.) can be employed as long as they satisfy the required properties. In this example, the second internal housing 36 is made of the same material as the first internal housing 35 (for example, SUS630).

第2内部筐体36の先端側は、第1内部筐体35における後端側の内部に収容されるようになっている。また、第2内部筐体36の先端側の面が、第2絶縁部材52(詳細は後述する)の後端側の面に突き当たるようになっている。このとき、第2内部筐体36の後端側は、第1内部筐体35の後端側に露出するようになっている。そして、第2内部筐体36と第1内部筐体35との境界部には、外周面の一周にわたってレーザ溶接が施されている。 The front end side of the second internal housing 36 is accommodated inside the rear end side of the first internal housing 35 . In addition, the front end side surface of the second internal housing 36 abuts the rear end side surface of the second insulating member 52 (details will be described later). At this time, the rear end side of the second internal housing 36 is exposed to the rear end side of the first internal housing 35 . A boundary portion between the second internal housing 36 and the first internal housing 35 is laser-welded along the outer peripheral surface thereof.

(検出機構部の構成)
検出機構部40は、圧電素子41と、先端電極部材42と、先端絶縁部材43と、後端電極部材44と、後端絶縁部材45とを備えている。また、検出機構部40は、第1コイルバネ46と、伝導部材47と、保持部材48と、加圧部材49と、絶縁チューブ50とを備えている。さらに、検出機構部40は、第1絶縁部材51と、第2絶縁部材52と、支持部材53と、第2コイルバネ54とを備えている。さらにまた、検出機構部40は、第1収容部材55と、押さえ部材551と、第2収容部材56と、回路内蔵部材57と、接続部材58と、閉塞部材59と、第3絶縁部材60とを備えている。
(Structure of detection mechanism)
The detection mechanism section 40 includes a piezoelectric element 41 , a tip electrode member 42 , a tip insulating member 43 , a rear end electrode member 44 and a rear end insulating member 45 . The detection mechanism section 40 also includes a first coil spring 46 , a conducting member 47 , a holding member 48 , a pressure member 49 and an insulating tube 50 . Further, the detection mechanism section 40 includes a first insulating member 51 , a second insulating member 52 , a support member 53 and a second coil spring 54 . Furthermore, the detection mechanism section 40 includes a first housing member 55, a pressing member 551, a second housing member 56, a circuit built-in member 57, a connecting member 58, a closing member 59, and a third insulating member 60. It has

〔圧電素子〕
圧電素子41は、全体として円柱状を呈する部材である。圧電素子41は、圧電縦効果の圧電作用を示す圧電体を備えている。圧電素子41は、先端外部筐体31(および第1内部筐体35)の内側に配置されている。圧電素子41は、検出素子の一例である。
〔Piezoelectric element〕
The piezoelectric element 41 is a member having a cylindrical shape as a whole. The piezoelectric element 41 comprises a piezoelectric body exhibiting piezoelectric action of piezoelectric longitudinal effect. The piezoelectric element 41 is arranged inside the tip outer housing 31 (and the first inner housing 35). The piezoelectric element 41 is an example of a detection element.

ここで、圧電縦効果とは、圧電体の電荷発生軸と同一方向の応力印加軸に外力を加えると、電荷発生軸方向の圧電体の表面に電荷が発生することをいう。したがって、この例では、中心線方向に沿う圧力の変化に応じて、圧電素子41の先端側の面と後端側の面とに、発生した電荷による信号(電荷信号)が出力されることになる。 Here, the piezoelectric longitudinal effect means that when an external force is applied to the stress application axis in the same direction as the charge generation axis of the piezoelectric body, charges are generated on the surface of the piezoelectric body in the charge generation axis direction. Therefore, in this example, a signal (charge signal) due to the generated charge is output to the front end side surface and the rear end side surface of the piezoelectric element 41 according to the change in pressure along the center line direction. Become.

次に、圧電素子41に圧電横効果を利用した場合を例示する。圧電横効果とは、圧電体の電荷発生軸に対して直交する位置にある応力印加軸に外力を加えると、電荷発生軸方向の圧電体の表面に電荷が発生することをいう。薄板状に薄く形成した圧電体を複数枚積層して構成しても良く、このように積層することで、圧電体に発生する電荷を効率的に集めてセンサの感度を上げることができる。圧電素子41で使用可能な圧電体としては、圧電縦効果及び圧電横効果を有するランガサイト系結晶(ランガサイト、ランガテイト、ランガナイト、LTGA)や水晶、ガリウムリン酸塩などを使用することを例示することができる。また、圧電素子41で用いる圧電体としては、上述した無機材料で構成された単結晶(無機単結晶)を用いるとよく、特にランガサイト系単結晶を用いることが望ましい。 Next, the case where the piezoelectric element 41 utilizes the piezoelectric lateral effect will be exemplified. The piezoelectric transverse effect means that when an external force is applied to a stress application axis positioned perpendicular to the charge generation axis of the piezoelectric body, charges are generated on the surface of the piezoelectric body in the direction of the charge generation axis. A plurality of thin plate-shaped piezoelectric bodies may be laminated. By laminating in this way, electric charges generated in the piezoelectric bodies can be efficiently collected and the sensitivity of the sensor can be increased. Examples of piezoelectric materials that can be used in the piezoelectric element 41 include langasite crystals (langasite, langatite, langanite, LTGA) having piezoelectric longitudinal and piezoelectric effects, crystal, gallium phosphate, and the like. can do. As the piezoelectric material used in the piezoelectric element 41, a single crystal (inorganic single crystal) made of the inorganic material described above is preferably used, and it is particularly desirable to use a langasite-based single crystal.

〔先端電極部材〕
先端電極部材42は、全体として円柱状を呈する部材である。先端電極部材42は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。このような金属材料としては、例えば析出硬化系のステンレス鋼として知られるSUS630や、例えばオーステナイト系の耐熱鋼(耐熱合金)として知られるSUH660を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金等)を採用することができる。なお、この例では、先端電極部材42を、ダイアフラムヘッド32と同じ材料(例えばSUS630)で構成している。先端電極部材42は、先端外部筐体31の内側且つ圧電素子41の先端側に配置されており、先端電極部材42の後端側の面が、圧電素子41の先端側の面と接触するようになっている。この例において、先端電極部材42の先端側の面、後端側の面および外周面には、特に金めっき等は施されておらず、先端電極材料を構成する金属材料の地肌がそのまま露出している。
[Tip electrode member]
The tip electrode member 42 is a member having a cylindrical shape as a whole. The tip electrode member 42 is made of a metal material such as stainless steel, which has electrical conductivity and high heat resistance. Examples of such a metal material include SUS630 known as precipitation hardening stainless steel and SUH660 known as austenitic heat resistant steel (heat resistant alloy). However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, various heat-resistant alloys, etc.) can be employed as long as they satisfy the required properties. In this example, the tip electrode member 42 is made of the same material as the diaphragm head 32 (for example, SUS630). The tip electrode member 42 is arranged inside the tip external housing 31 and on the tip side of the piezoelectric element 41 so that the rear end side surface of the tip electrode member 42 contacts the tip side surface of the piezoelectric element 41 . It has become. In this example, the front end side surface, the rear end side surface, and the outer peripheral surface of the tip electrode member 42 are not particularly plated with gold or the like, and the background of the metal material constituting the tip electrode material is exposed as it is. ing.

〔先端絶縁部材〕
先端絶縁部材43は、全体として円柱状を呈する部材である。先端絶縁部材43は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。先端絶縁部材43は、先端外部筐体31の内側且つ先端電極部材42の先端側に配置されており、先端絶縁部材43の後端側の面が、先端電極部材42の先端側の面と接触するようになっている。一方、先端絶縁部材43の先端側の面は、ダイアフラムヘッド32に設けられた裏面中央凸部32dの後端側の面と接触するようになっている。
[Insulating material at the tip]
The tip insulating member 43 is a member having a cylindrical shape as a whole. The tip insulating member 43 is made of a ceramic material such as alumina having insulating properties and high heat resistance. The tip insulating member 43 is arranged inside the tip external housing 31 and on the tip side of the tip electrode member 42 , and the rear end side surface of the tip insulating member 43 contacts the tip side surface of the tip electrode member 42 . It is designed to On the other hand, the tip-side surface of the tip insulating member 43 contacts the rear-end-side surface of the rear surface central protrusion 32 d provided on the diaphragm head 32 .

〔後端電極部材〕
後端電極部材44は、全体として円柱状を呈する部材である。後端電極部材44は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。このような金属材料としては、例えば析出硬化系のステンレス鋼として知られるSUS630や、例えばオーステナイト系の耐熱鋼(耐熱合金)として知られるSUH660を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金等)を採用することができる。なお、この例では、後端電極部材44を、先端電極部材42と同じ材料(例えばSUS630)で構成している。後端電極部材44は、先端外部筐体31の内側且つ圧電素子41の後端側に配置されており、後端電極部材44の先端側の面が、圧電素子41の後端側の面と接触するようになっている。この例において、後端電極部材44の後端側の面および外周面には、金めっきが施されている。これに対し、後端電極部材44の先端側の面すなわち圧電素子41の後端側と接する面には、特に金めっき等は施されておらず、後端電極部材44を構成する金属材料の地肌がそのまま露出している。
[Rear end electrode member]
The rear end electrode member 44 is a member having a cylindrical shape as a whole. The rear end electrode member 44 is made of a metal material such as stainless steel having electrical conductivity and high heat resistance. Examples of such a metal material include SUS630 known as precipitation hardening stainless steel and SUH660 known as austenitic heat resistant steel (heat resistant alloy). However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, various heat-resistant alloys, etc.) can be employed as long as they satisfy the required properties. In this example, the rear end electrode member 44 is made of the same material as the tip electrode member 42 (for example, SUS630). The rear end electrode member 44 is arranged inside the front end external housing 31 and on the rear end side of the piezoelectric element 41 , and the front end side surface of the rear end electrode member 44 is aligned with the rear end side surface of the piezoelectric element 41 . come into contact. In this example, the rear end side surface and the outer peripheral surface of the rear end electrode member 44 are plated with gold. On the other hand, the surface of the rear end electrode member 44 on the front end side, that is, the surface in contact with the rear end side of the piezoelectric element 41 is not particularly plated with gold or the like. The skin is exposed as it is.

〔後端絶縁部材〕
後端絶縁部材45は、中空構造を有し且つ全体として環状(円筒状)を呈する部材である。後端絶縁部材45は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。後端絶縁部材45は、先端外部筐体31の内側且つ後端電極部材44の後端側に配置されており、後端絶縁部材45の先端側の面が、後端電極部材44の後端側の面と接触するようになっている。なお、この例では、後端絶縁部材45を、先端絶縁部材43と同じ材料(例えばアルミナセラミックス)で構成している。
[Rear end insulating member]
The rear end insulating member 45 is a member having a hollow structure and presenting an annular (cylindrical) shape as a whole. The rear end insulating member 45 is made of a ceramic material such as alumina having insulating properties and high heat resistance. The rear end insulating member 45 is arranged inside the distal end external housing 31 and on the rear end side of the rear end electrode member 44 , and the surface of the rear end insulating member 45 on the front end side faces the rear end of the rear end electrode member 44 . It is designed to come into contact with the side surface. In this example, the rear end insulating member 45 is made of the same material as the front end insulating member 43 (for example, alumina ceramics).

〔第1コイルバネ〕
第1コイルバネ46は、全体として螺旋状を呈する部材であって、中心線方向に伸縮するようになっている。第1コイルバネ46は、導電性を有するとともに耐熱性が高いリン青銅等の金属材料によって構成されており、その表面には金めっきが施されている。第1コイルバネ46は、先端外部筐体31の内側に配置されている。より具体的に説明すると、第1コイルバネ46の先端側は、後端絶縁部材45に設けられた貫通孔の内部に配置されており、その先端が、後端電極部材44の後端側の面と接触するようになっている。一方、第1コイルバネ46の後端側は、後端絶縁部材45の後端側に飛び出している。第1コイルバネ46には、ある程度大きなバネ定数を有するコイルバネが用いられる。より詳細には、第1コイルバネ46は、後述のように後端側に挿入される伝導部材47の振動が先端側に位置する後端電極部材44に伝わる程度の固さを有している。
[First coil spring]
The first coil spring 46 is a member having a spiral shape as a whole, and is adapted to expand and contract in the centerline direction. The first coil spring 46 is made of a metal material, such as phosphor bronze, which has electrical conductivity and high heat resistance, and the surface thereof is plated with gold. The first coil spring 46 is arranged inside the tip outer housing 31 . More specifically, the tip side of the first coil spring 46 is arranged inside the through hole provided in the rear end insulating member 45 , and the tip thereof is located on the rear end side surface of the rear end electrode member 44 . is made to come into contact with On the other hand, the rear end side of the first coil spring 46 protrudes toward the rear end side of the rear end insulating member 45 . A coil spring having a somewhat large spring constant is used for the first coil spring 46 . More specifically, the first coil spring 46 has hardness to the extent that the vibration of the conductive member 47 inserted on the rear end side is transmitted to the rear end electrode member 44 located on the front end side, as will be described later.

〔伝導部材〕
伝導部材47は、全体として棒状を呈する部材である。伝導部材47は、導電性を有する真ちゅう等の金属材料によって構成されており、その表面には金めっきが施されている。伝導部材47は、最も先端側に位置する先端棒状部471と、先端棒状部471の後端側に位置する中間棒状部472と、中間棒状部472の後端側に位置する後端棒状部473とを有している。また、伝導部材47では、先端棒状部471、中間棒状部472および後端棒状部473の順で、外径が大きくなっている。伝導部材47は、先端外部筐体31の内側に配置されている。より具体的に説明すると、伝導部材47の先端側すなわち先端棒状部471の先端側は、第1コイルバネ46の後端側に挿入されており、後端絶縁部材45の内部に配置されている。ただし、先端棒状部471の先端は、第1コイルバネ46とは異なり、後端電極部材44の後端側の面と接触していない。このとき、第1コイルバネ46の後端は、伝導部材47における先端棒状部471と中間棒状部472との境界部(段差部)に突き当たっている。なお、この例では、第1コイルバネ46と伝導部材47とが、レーザ溶接によって接合され、一体化している。以上の手順により、第1コイルバネ46は、後端電極部材44と伝導部材47とに挟まれることで、中心線方向に圧縮された状態となっている。一方、伝導部材47のうちの中間棒状部472および後端棒状部473は、後端絶縁部材45の後端側に飛び出している。
[Transmission member]
The conducting member 47 is a member having a bar shape as a whole. The conductive member 47 is made of a conductive metal material such as brass, and its surface is plated with gold. The transmission member 47 includes a distal rod-shaped portion 471 located on the most distal side, an intermediate rod-shaped portion 472 located on the rear end side of the distal rod-shaped portion 471, and a rear rod-shaped portion 473 located on the rear end side of the intermediate rod-shaped portion 472. and Moreover, in the transmission member 47, the outer diameters of the front end rod-shaped portion 471, the intermediate rod-shaped portion 472, and the rear end rod-shaped portion 473 are increased in this order. The conducting member 47 is located inside the distal outer housing 31 . More specifically, the distal end side of the conductive member 47 , that is, the distal end side of the distal rod-shaped portion 471 is inserted into the rear end side of the first coil spring 46 and arranged inside the rear end insulating member 45 . However, unlike the first coil spring 46 , the tip of the tip rod-shaped portion 471 does not contact the rear-end-side surface of the rear-end electrode member 44 . At this time, the rear end of the first coil spring 46 abuts the boundary (step) between the tip rod-shaped portion 471 and the intermediate rod-shaped portion 472 of the transmission member 47 . In this example, the first coil spring 46 and the conductive member 47 are joined by laser welding and integrated. Through the above procedure, the first coil spring 46 is sandwiched between the rear end electrode member 44 and the conductive member 47 and is compressed in the centerline direction. On the other hand, the intermediate rod-shaped portion 472 and the rear rod-shaped portion 473 of the transmission member 47 protrude toward the rear end of the rear insulation member 45 .

〔保持部材〕
保持部材48は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。保持部材48は、筐体の一例であり、第1筐体の一例である。保持部材48は、絶縁性を有するPPS(Polyphenylenesulfide:ポリフェニレンサルファイド)あるいはPPT(Polypropylene Terephthalate:ポリプロピレンテレフタレート)等の合成樹脂材料によって構成されている。保持部材48は、最も先端側に位置する先端部と、先端部の後端側に位置する中間部と、中間部の後端側に位置する後端部とを有している。保持部材48では、先端部、中間部および後端部の順で、外径が大きくなっている。保持部材48は、先端外部筐体31の内側と中間外部筐体33の内側とに跨がって配置されている。そして、保持部材48の内部には、上記伝導部材47が収容され、保持されている。より具体的に説明すると、保持部材48は、伝導部材47の後端側すなわち後端棒状部473の後端側を内部に収容している。以上の手順により、伝導部材47のうち、先端棒状部471および中間棒状部472と、後端棒状部473の先端側とが、保持部材48の先端側に飛び出している。一方、保持部材48の後端には、後端側から先端側に向かう凹部が形成されている。また、伝導部材47と保持部材48とは、圧入(すきまばめ)により一体化している。
[Holding member]
The holding member 48 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. The holding member 48 is an example of a housing and an example of a first housing. The holding member 48 is made of an insulating synthetic resin material such as PPS (Polyphenylenesulfide) or PPT (Polypropylene Terephthalate). The holding member 48 has a distal end portion located on the most distal side, an intermediate portion located on the rear end side of the distal end portion, and a rear end portion located on the rear end side of the intermediate portion. The outer diameter of the holding member 48 increases in the order of the distal end, the intermediate portion, and the rear end. The holding member 48 is arranged across the inner side of the distal outer housing 31 and the inner side of the intermediate outer housing 33 . The conducting member 47 is accommodated and held inside the holding member 48 . More specifically, the holding member 48 accommodates the rear end side of the transmission member 47 , that is, the rear end side of the rear end rod-shaped portion 473 . By the above procedure, of the transmission member 47 , the tip rod-shaped portion 471 , the intermediate rod-shaped portion 472 , and the tip side of the rear-end rod-shaped portion 473 protrude toward the tip side of the holding member 48 . On the other hand, the rear end of the holding member 48 is formed with a recess extending from the rear end side to the front end side. Further, the transmission member 47 and the holding member 48 are integrated by press fitting (clearance fit).

〔加圧部材〕
加圧部材49は、中空構造(貫通孔)を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。加圧部材49は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス等の金属材料で構成されている。このような金属材料としては、例えば析出硬化系のステンレス鋼として知られるSUS630や、例えばオーステナイト系の耐熱鋼(耐熱合金)として知られるSUH660を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金等)を採用することができる。なお、この例では、加圧部材49を、ダイアフラムヘッド32と同じ材料(例えばSUS630)で構成している。加圧部材49は、先端外部筐体31の内側であって、第1内部筐体35の内側と第2内部筐体36の内側とに跨がって配置されている。
[Pressure member]
The pressure member 49 is a member having a hollow structure (through hole) and having a tubular shape as a whole. The pressure member 49 is made of a metal material such as stainless steel, which has electrical conductivity and high heat resistance. Examples of such a metal material include SUS630 known as precipitation hardening stainless steel and SUH660 known as austenitic heat resistant steel (heat resistant alloy). However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, various heat-resistant alloys, etc.) can be employed as long as they satisfy the required properties. In this example, the pressure member 49 is made of the same material as the diaphragm head 32 (for example, SUS630). The pressurizing member 49 is arranged inside the tip outer housing 31 and straddling the inside of the first inner housing 35 and the inside of the second inner housing 36 .

加圧部材49に設けられた貫通孔の内部には、圧電素子41、先端電極部材42、後端電極部材44、後端絶縁部材45、第1コイルバネ46等が収容されている。そして、加圧部材49に設けられた貫通孔の先端側の内側且つ後端側の面が、先端電極部材42の先端側の面と接触するようになっている。また、加圧部材49に設けられた貫通孔の先端側の開口部には、先端絶縁部材43が配置されている。 The piezoelectric element 41, the tip electrode member 42, the rear end electrode member 44, the rear end insulating member 45, the first coil spring 46, and the like are accommodated inside the through hole provided in the pressure member 49. FIG. The inner and rear end surfaces of the through hole provided in the pressure member 49 are in contact with the front end surface of the tip electrode member 42 . In addition, the tip insulating member 43 is arranged in the opening on the tip side of the through hole provided in the pressure member 49 .

ここで、本実施の形態の加圧部材49は、最も薄手となる先端側の側部が外力に応じて伸縮することにより、ばねとして機能するようになっている。そして、加圧部材49は、支持部材53等とともに圧電素子41に予荷重を付与するようになっている。 Here, the pressure member 49 of the present embodiment functions as a spring by expanding and contracting the thinnest tip side portion according to an external force. The pressure member 49 applies a preload to the piezoelectric element 41 together with the support member 53 and the like.

〔絶縁チューブ〕
絶縁チューブ50は、中心線方向に沿って2つの開口部が設けられることによる中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。また、本実施の形態の絶縁チューブ50は、絶縁性を有する材料によって構成されている。そして、本実施の形態の絶縁チューブ50は、先端側から順に、先端電極部材42、圧電素子41、後端電極部材44および後端絶縁部材45を、自身の内側に収容し且つ接触しながら固定することで、自身とともにこれらを一体化(モジュール化)する機能を有している。
[Insulation tube]
The insulating tube 50 is a member having a hollow structure with two openings provided along the centerline direction and having a tubular shape as a whole. Moreover, the insulating tube 50 of the present embodiment is made of an insulating material. The insulating tube 50 of the present embodiment accommodates the tip electrode member 42, the piezoelectric element 41, the rear end electrode member 44, and the rear end insulating member 45 in order from the tip side, and fixes them in contact with each other. By doing so, it has the function of integrating (modularizing) these together with itself.

ここで、絶縁チューブ50を構成する材料としては、絶縁性を有するものであれば有機、無機を問わず各種材料から選定して差し支えないが、モジュール化を容易にするという観点からすれば、熱収縮性を有する有機材料(例えば合成樹脂材料)すなわち熱収縮チューブを用いることが望ましい。 Here, the material constituting the insulating tube 50 may be selected from various organic or inorganic materials as long as they have insulating properties. It is desirable to use a shrinkable organic material (for example, a synthetic resin material), that is, a heat-shrinkable tube.

絶縁チューブ50は、先端外部筐体31の内側であって、加圧部材49の内側に配置されている。そして、絶縁チューブ50の先端側の面が、加圧部材49に設けられた貫通孔の先端側の内側且つ後端側の面と、空隙を介して対峙するようになっている。絶縁チューブ50の内部には、先端電極部材42の後端側と、圧電素子41および後端電極部材44と、後端絶縁部材45の先端側とが収容されている。換言すれば、先端電極部材42の先端側は、絶縁チューブ50の先端よりも先端側に突出しており、後端絶縁部材45の後端側は、絶縁チューブ50の後端よりも後端側に突出している。 The insulating tube 50 is arranged inside the distal end outer housing 31 and inside the pressure member 49 . The front end side surface of the insulating tube 50 faces the inner and rear end side surfaces on the front end side of the through hole provided in the pressure member 49 with a gap therebetween. Inside the insulating tube 50, the rear end side of the front end electrode member 42, the piezoelectric element 41 and the rear end electrode member 44, and the front end side of the rear end insulating member 45 are accommodated. In other words, the distal end side of the distal electrode member 42 protrudes further to the distal side than the distal end of the insulating tube 50 , and the rear end side of the rear end insulating member 45 protrudes further to the rear end side than the rear end of the insulating tube 50 . Protruding.

〔第1絶縁部材〕
第1絶縁部材51は、全体として環状を呈する部材である。第1絶縁部材51は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。第1絶縁部材51は、先端外部筐体31の内側であって、第1内部筐体35の内側且つ加圧部材49の外側に配置されている。そして、第1絶縁部材51における先端側の面が、第1内部筐体35の内側に設けられた段差部の後端側の面と接触し、第1絶縁部材51における後端側の面が、加圧部材49の外周面に全周にわたって設けられた突起(リブ)の先端側の面と接触するようになっている。なお、この例では、第1絶縁部材51を、後端絶縁部材45と同じ材料(例えばアルミナセラミックス)で構成している。
[First insulating member]
The first insulating member 51 is a member having an annular shape as a whole. The first insulating member 51 is made of a ceramic material such as alumina having insulating properties and high heat resistance. The first insulating member 51 is arranged inside the tip outer housing 31 , inside the first inner housing 35 and outside the pressure member 49 . The front end side surface of the first insulating member 51 is in contact with the rear end side surface of the stepped portion provided inside the first internal housing 35, and the rear end side surface of the first insulating member 51 is in contact with the rear end side surface. , and contact with the front end side surface of a projection (rib) provided on the entire outer peripheral surface of the pressure member 49 . In this example, the first insulating member 51 is made of the same material as the rear end insulating member 45 (for example, alumina ceramics).

〔第2絶縁部材〕
第2絶縁部材52は、全体として環状を呈する部材である。第2絶縁部材52は、上記第1絶縁部材51と同様に、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。第2絶縁部材52は、先端外部筐体31の内側であって、第1内部筐体35の内側且つ加圧部材49の外側に配置されている。また、第2絶縁部材52は、第1絶縁部材51の後端側に配置される。そして、第2絶縁部材52における先端側の面が、加圧部材49の外周面に全周にわたって設けられた突起(リブ)の後端側の面と接触し、第2絶縁部材52における後端側の面が、第2内部筐体36の先端側の面と接触するようになっている。なお、本実施の形態では、第2絶縁部材52として、上記第1絶縁部材51と同一寸法のものを用いている。また、この例では、第2絶縁部材52を、第1絶縁部材51と同じ材料(例えばアルミナセラミックス)で構成している。
[Second insulating member]
The second insulating member 52 is a member having an annular shape as a whole. Like the first insulating member 51, the second insulating member 52 is made of a ceramic material such as alumina that has insulating properties and high heat resistance. The second insulating member 52 is arranged inside the tip outer housing 31 , inside the first inner housing 35 and outside the pressure member 49 . Also, the second insulating member 52 is arranged on the rear end side of the first insulating member 51 . Then, the front end side surface of the second insulating member 52 comes into contact with the rear end side surface of the projection (rib) provided on the entire outer peripheral surface of the pressure member 49 , and the rear end of the second insulating member 52 The side surface is adapted to contact the tip side surface of the second internal housing 36 . In this embodiment, as the second insulating member 52, one having the same dimensions as the first insulating member 51 is used. Also, in this example, the second insulating member 52 is made of the same material as the first insulating member 51 (for example, alumina ceramics).

〔支持部材〕
支持部材53は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。支持部材53は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。このような金属材料としては、例えば析出硬化系のステンレス鋼として知られるSUS630や、例えばオーステナイト系の耐熱鋼(耐熱合金)として知られるSUH660を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種金属または各種合金(各種ステンレス鋼、各種耐熱鋼あるいは各種耐熱合金等)を採用することができる。なお、この例では、支持部材53を、加圧部材49と同じ材料(例えばSUS630)で構成している。支持部材53は、先端外部筐体31の内側であって、その先端側が加圧部材49の内側に配置されている。ただし、支持部材53の後端側は、加圧部材49の後端から飛び出した状態となっている。そして、支持部材53の先端側の面が、後端絶縁部材45の後端側の面と接触するようになっている。また、支持部材53と加圧部材49との境界部には、外周面の一周にわたってレーザ溶接が施されている。支持部材53の内部には、第1コイルバネ46の後端側と、伝導部材47および保持部材48の各先端側とが収容されている。支持部材53の内径は、保持部材48の外径よりも大きい。このため、支持部材53の内周面と保持部材48の外周面とは、空隙を介して対峙しており、直接接触していない。
[Support member]
The support member 53 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. The support member 53 is made of a metal material such as stainless steel, which has electrical conductivity and high heat resistance. Examples of such a metal material include SUS630 known as precipitation hardening stainless steel and SUH660 known as austenitic heat resistant steel (heat resistant alloy). However, other various metals or alloys (various stainless steels, various heat-resistant steels, various heat-resistant alloys, etc.) can be employed as long as they satisfy the required properties. In this example, the support member 53 is made of the same material as the pressure member 49 (for example, SUS630). The support member 53 is arranged inside the distal end outer housing 31 and the distal end side thereof is disposed inside the pressure member 49 . However, the rear end side of the support member 53 protrudes from the rear end of the pressure member 49 . The front end side surface of the support member 53 is in contact with the rear end side surface of the rear end insulating member 45 . In addition, the boundary between the support member 53 and the pressure member 49 is laser-welded along the outer peripheral surface. The support member 53 accommodates the rear end side of the first coil spring 46 and the tip sides of the transmission member 47 and the holding member 48 . The inner diameter of the support member 53 is larger than the outer diameter of the holding member 48 . Therefore, the inner peripheral surface of the support member 53 and the outer peripheral surface of the holding member 48 face each other with a gap therebetween and are not in direct contact with each other.

〔第2コイルバネ〕
第2コイルバネ54は、全体として螺旋状を呈する部材であって、中心線方向に伸縮するようになっている。第2コイルバネ54は、導電性を有するとともに耐熱性が高いリン青銅等の金属材料によって構成されており、その表面には金めっきが施されている。なお、この例では、第2コイルバネ54を、第1コイルバネ46と同じ材料(例えばリン青銅)で構成している。第2コイルバネ54は、先端外部筐体31の内側に配置されている。より具体的に説明すると、第2コイルバネ54の先端側は、支持部材53の後端側且つ外周面の外側に配置されており、その先端が、加圧部材49の後端側の面と接触するようになっている。第2コイルバネ54の内側には、伝導部材47、保持部材48および支持部材53と、第1収容部材55の先端側とが配置されている。第2コイルバネ54には、第1コイルバネ46と比較して小さいバネ定数を有するコイルバネが用いられる。
[Second coil spring]
The second coil spring 54 is a member having a helical shape as a whole and expands and contracts in the direction of the center line. The second coil spring 54 is made of a metallic material, such as phosphor bronze, which has electrical conductivity and high heat resistance, and its surface is plated with gold. In this example, the second coil spring 54 is made of the same material as the first coil spring 46 (for example, phosphor bronze). The second coil spring 54 is arranged inside the distal end outer housing 31 . More specifically, the tip side of the second coil spring 54 is arranged on the rear end side and outside the outer peripheral surface of the support member 53 , and the tip comes into contact with the rear end side surface of the pressure member 49 . It is designed to Inside the second coil spring 54, the conducting member 47, the holding member 48, the supporting member 53, and the distal end side of the first accommodating member 55 are arranged. A coil spring having a spring constant smaller than that of the first coil spring 46 is used for the second coil spring 54 .

〔第1収容部材〕
第1収容部材55は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。第1収容部材55は、筐体の一例であり、第2筐体の一例である。第1収容部材55は、導電性を有する真ちゅうやステンレス等の金属材料によって構成されており、その表面には金めっきが施されている。
[First housing member]
The first housing member 55 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. The first housing member 55 is an example of a housing and an example of a second housing. The first housing member 55 is made of a conductive metal material such as brass or stainless steel, and its surface is plated with gold.

第1収容部材55は、先端外部筐体31の内側に配置されている。より具体的に説明すると、第1収容部材55の先端側は、支持部材53の後端側と対峙しており、その外周面の外側には、第2コイルバネ54が対峙している。そして、第1収容部材55における先端側の段差部の先端側の面には、第2コイルバネ54の後端が突き当たっている。以上の手順により、第2コイルバネ54は、加圧部材49と第1収容部材55とに挟まれることで、中心線方向に圧縮された状態となっている。第1収容部材55に設けられた貫通孔の内部には、伝導部材47および保持部材48の先端部が収容されている。 The first housing member 55 is arranged inside the distal end outer housing 31 . More specifically, the distal end side of the first housing member 55 faces the rear end side of the support member 53, and the second coil spring 54 faces the outer peripheral surface thereof. The rear end of the second coil spring 54 abuts against the front end side surface of the front end side stepped portion of the first housing member 55 . Through the above procedure, the second coil spring 54 is sandwiched between the pressing member 49 and the first housing member 55, and is compressed in the centerline direction. The distal end portions of the conducting member 47 and the holding member 48 are accommodated inside the through hole provided in the first accommodating member 55 .

第1収容部材55の外径は、先端外部筐体31の内径よりも小さい。このため、第1収容部材55の外周面と先端外部筐体31の内周面とは、空隙を介して対峙しており、直接接触していない。また、第1収容部材55の内径は、支持部材53の外径および保持部材48の外径よりも大きい。このため、第1収容部材55の内周面と支持部材53の外周面、第1収容部材55の内周面と保持部材48の外周面は、それぞれ空隙を介して対峙しており、直接接触していない。 The outer diameter of the first housing member 55 is smaller than the inner diameter of the tip outer housing 31 . Therefore, the outer peripheral surface of the first housing member 55 and the inner peripheral surface of the distal end external housing 31 face each other with a gap therebetween and are not in direct contact with each other. Also, the inner diameter of the first housing member 55 is larger than the outer diameter of the support member 53 and the outer diameter of the holding member 48 . For this reason, the inner peripheral surface of the first housing member 55 and the outer peripheral surface of the support member 53, and the inner peripheral surface of the first housing member 55 and the outer peripheral surface of the holding member 48 face each other with a gap therebetween, and are in direct contact. not.

押さえ部材551は、全体として筒状を呈する部材である。押さえ部材551は、第1収容部材55の外周面であって、少なくとも、先端外部筐体31のかしめ部Pに対応する位置に、第1収容部材55の全周にわたって設けられる。押さえ部材551は、中心線方向に沿って、少なくとも、先端外部筐体31にかしめ部Pを形成するための圧力が印加される範囲に対応する長さを有する。押さえ部材551が設けられる位置において、押さえ部材551の内径は、第1収容部材55の外径とほぼ等しく、外径は、先端外部筐体31の内径とほぼ等しい。したがって、押さえ部材551の内周面は第1収容部材55の外周面に接触し、外周面は先端外部筐体31の内周面に接触する。押さえ部材551は、例えば、筒状に成形された押さえ部材551に第1収容部材55を先端側から挿通させたり、第1収容部材55と先端外部筐体31との間の空間に樹脂を充填したりすることにより取り付けられる。押さえ部材551は、充填剤の一例である。 The pressing member 551 is a member having a tubular shape as a whole. The pressing member 551 is provided on the outer peripheral surface of the first housing member 55 and at least at a position corresponding to the crimped portion P of the distal end outer housing 31 over the entire circumference of the first housing member 55 . The pressing member 551 has a length corresponding to at least a range in which pressure is applied to form the crimped portion P on the tip outer housing 31 along the centerline direction. At the position where the pressing member 551 is provided, the inner diameter of the pressing member 551 is substantially equal to the outer diameter of the first housing member 55 , and the outer diameter is substantially equal to the inner diameter of the distal end outer housing 31 . Therefore, the inner peripheral surface of the pressing member 551 contacts the outer peripheral surface of the first housing member 55 , and the outer peripheral surface contacts the inner peripheral surface of the tip outer housing 31 . The pressing member 551 is formed by, for example, inserting the first housing member 55 from the distal end side into the pressing member 551 formed in a cylindrical shape, or by filling the space between the first housing member 55 and the distal end external housing 31 with resin. It can be attached by The pressing member 551 is an example of a filler.

押さえ部材551は、かしめ部Pにおいて先端外部筐体31に対して印加された圧力を受けて、第1収容部材55を周方向に沿ってばらつき無く押さえるための部材である。また、第1収容部材55と先端外部筐体31との間に押さえ部材551を介在させることにより、後述する電気的な接続構造における第1収容部材55と先端外部筐体31との間の絶縁性が保持される。押さえ部材551は、絶縁性を有すると共に耐熱性を有する樹脂やゴム等の材料によって形成されている。一例として、押さえ部材551は、テフロン(登録商標)(ポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene,PTFE))を用いて形成しても良い。 The pressing member 551 is a member for receiving pressure applied to the distal end outer housing 31 at the crimped portion P and pressing the first housing member 55 uniformly along the circumferential direction. In addition, by interposing the pressing member 551 between the first housing member 55 and the distal end outer housing 31, insulation between the first housing member 55 and the distal end outer housing 31 in the electrical connection structure described later can be achieved. Retains gender. The pressing member 551 is made of a material such as resin, rubber, or the like, which has insulation and heat resistance. As an example, the pressing member 551 may be formed using Teflon (registered trademark) (polytetrafluoroethylene (PTFE)).

上記の樹脂やゴムによる押さえ部材551とは別の例として、充填剤は、絶縁性および耐熱性に優れる酸化アルミニウム粉末(以下、「アルミナ粉末」と呼ぶ)や酸化ジルコニウム粉末(以下、「ジルコニア粉末」と呼ぶ)でも良い。この場合、アルミナ粉末あるいはジルコニア粉末は、一例として粒径が1μm程度の微粉末であり、第1収容部材55の外周面と先端外部筐体31の内周面との間の空間に充填され、かしめ部Pにおいて先端外部筐体31に対して印加された圧力を受けてアルミナ粉末あるいはジルコニア粉末が充填された空間内で流動し、後述する電気的な接続構造における第1収容部材55と先端外部筐体31との間の絶縁性が保持される。 As another example of the holding member 551 made of resin or rubber, the filler may be aluminum oxide powder (hereinafter referred to as “alumina powder”) or zirconium oxide powder (hereinafter referred to as “zirconia powder”), which has excellent insulation and heat resistance. ”) is fine. In this case, the alumina powder or zirconia powder is, for example, a fine powder with a particle size of about 1 μm, and is filled in the space between the outer peripheral surface of the first housing member 55 and the inner peripheral surface of the tip outer housing 31, At the crimped portion P, pressure is applied to the tip outer housing 31, and the alumina powder or the zirconia powder flows in the space filled with the first housing member 55 and the tip exterior in the electrical connection structure described later. Insulation with the housing 31 is maintained.

〔第2収容部材〕
第2収容部材56は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。第2収容部材56は、上記第1収容部材55と同様に、導電性を有する真ちゅうやステンレス等の金属材料によって構成されており、その表面には金めっきが施されている。
[Second storage member]
The second housing member 56 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. Like the first housing member 55, the second housing member 56 is made of a conductive metal material such as brass or stainless steel, and its surface is plated with gold.

第2収容部材56は、先端外部筐体31の内側と中間外部筐体33の内側とに跨がって配置されている。より具体的に説明すると、第2収容部材56の先端側は、第1収容部材55内に収容されている。また、第2収容部材56に設けられた貫通孔の内部には、保持部材48の中間部および後端部が収容されている。そして、第1収容部材55と第2収容部材56とは、圧入(しまりばめ)およびレーザ溶接により一体化している。 The second housing member 56 is arranged across the inner side of the tip outer housing 31 and the inner side of the intermediate outer housing 33 . More specifically, the distal end side of the second housing member 56 is housed inside the first housing member 55 . In addition, the intermediate portion and the rear end portion of the holding member 48 are accommodated inside the through hole provided in the second accommodating member 56 . The first housing member 55 and the second housing member 56 are integrated by press fitting (tight fit) and laser welding.

〔回路内蔵部材〕
回路内蔵部材57は、特に図3に示すように、圧電素子41が出力する微弱な電荷による電気信号に、電子回路を用いた各種処理を施す回路基板571と、回路基板571を内部に収容することで回路基板571を封止する封止部572とを備えている。回路内蔵部材57は、中間外部筐体33の内側であって、後端側の一部を除くほぼ全域が、第2収容部材56の内側に配置されている。特に、回路基板571は、その全域が第2収容部材56の内側に配置されている。また、回路内蔵部材57の先端側は、保持部材48の後端側に設けられた凹部にはめ込まれるようになっている。そして、回路内蔵部材57の先端側に設けられた金属板(電極端子)が、伝導部材47の後端側と接触するようになっている。また、回路内蔵部材57の外周面に設けられた金属板(電極端子)が、第2収容部材56の内周面と接触するようになっている。
[Component with built-in circuit]
As shown particularly in FIG. 3, the circuit-incorporating member 57 accommodates therein a circuit board 571 that performs various processing using an electronic circuit on an electrical signal of weak electric charge output from the piezoelectric element 41, and the circuit board 571. A sealing portion 572 for sealing the circuit board 571 is provided. The circuit-incorporating member 57 is arranged inside the intermediate external housing 33 and almost entirely inside the second accommodating member 56 except for a part on the rear end side. In particular, the circuit board 571 is entirely arranged inside the second housing member 56 . Further, the tip side of the circuit-incorporating member 57 is fitted into a concave portion provided on the rear end side of the holding member 48 . A metal plate (electrode terminal) provided on the front end side of the circuit-incorporating member 57 contacts the rear end side of the conductive member 47 . A metal plate (electrode terminal) provided on the outer peripheral surface of the circuit-incorporating member 57 is in contact with the inner peripheral surface of the second housing member 56 .

〔接続部材〕
接続部材58は、全体として柱状を呈する部材である。接続部材58は、絶縁性を有するPPSあるいはPPT等の合成樹脂材料によって構成された基材と、導電性を有する銅等の金属材料で構成された配線および端子等を含んでいる。接続部材58は、中間外部筐体33の内側と後端外部筐体34の内側とに跨がって配置されている。なお、接続部材58のうち、中間外部筐体33あるいは後端外部筐体34と対峙する部位(外周面)は、合成樹脂材料で構成されており、この部位に金属材料を露出させないようにしている。接続部材58の先端側には、回路内蔵部材57の後端側が対峙しており、回路内蔵部材57に設けられた金属板(電極端子)が、接続部材58に設けられた端子にはめ込まれるようになっている。また、接続部材58の後端側には、接続ケーブル90を構成する電源線91、信号線92および接地線93の先端側に露出するそれぞれの導体部が挿入されている。そして、中間外部筐体33と接続部材58とは、圧入(しまりばめ)により一体化している。
[Connection member]
The connection member 58 is a member having a columnar shape as a whole. The connection member 58 includes a base material made of an insulating synthetic resin material such as PPS or PPT, and wires and terminals made of a conductive metal material such as copper. The connection member 58 is arranged across the inner side of the intermediate outer housing 33 and the inner side of the rear end outer housing 34 . A portion (peripheral surface) of the connection member 58 facing the intermediate outer housing 33 or the rear end outer housing 34 is made of a synthetic resin material, and the metal material is not exposed to this portion. there is The rear end side of the circuit-incorporating member 57 faces the front end side of the connecting member 58 , and the metal plate (electrode terminal) provided on the circuit-incorporating member 57 is fitted into the terminal provided on the connecting member 58 . It has become. In addition, the conductor portions exposed at the distal end sides of the power line 91, the signal line 92, and the ground line 93, which constitute the connection cable 90, are inserted into the rear end side of the connection member 58, respectively. The intermediate external housing 33 and the connection member 58 are integrated by press fitting (tight fit).

〔閉塞部材〕
閉塞部材59は、全体として柱状を呈する部材である。ただし、閉塞部材59には、中心線方向に沿って3つの貫通孔が形成されている。閉塞部材59は、絶縁性を有するゴム材料で構成されている。閉塞部材59は、その先端側が後端外部筐体34の内側に配置され、その後端側が後端外部筐体34の後端よりも外側に飛び出している。閉塞部材59の先端側は、接続部材58の後端側と対峙している。また、閉塞部材59に設けられた3つの貫通孔には、上述した電源線91、信号線92および接地線93が挿入されている。そして、後端外部筐体34と閉塞部材59とは、圧入(しまりばめ)により一体化している。
[Clogging member]
The closing member 59 is a member having a columnar shape as a whole. However, the closing member 59 is formed with three through holes along the centerline direction. The closing member 59 is made of an insulating rubber material. The blocking member 59 has its front end side disposed inside the rear end outer housing 34 and its rear end side protruding outside the rear end of the rear end outer housing 34 . The front end side of the blocking member 59 faces the rear end side of the connecting member 58 . Also, the power line 91 , the signal line 92 and the ground line 93 described above are inserted into the three through holes provided in the closing member 59 . The rear end outer housing 34 and the closing member 59 are integrated by press fitting (tight fit).

〔第3絶縁部材〕
第3絶縁部材60は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。ただし、第3絶縁部材60は、先端側に設けられた円筒状の部位と、後端側に設けられた円環状部の部位とを一体化した構造を有している。第3絶縁部材60は、絶縁性を有するPPS等の合成樹脂材料によって構成されている。第3絶縁部材60は、先端外部筐体31の内側と中間外部筐体33の内側とに跨がって配置されている。より具体的に説明すると、第3絶縁部材60の先端側は、先端外部筐体31の内側に配置されており、第3絶縁部材60の後端側は、中間外部筐体33の内側に配置されている。そして、第3絶縁部材60における円筒状の部位の外周面は、先端外部筐体31における後端側の内周面と対峙している。また、第3絶縁部材60における円環状の部位の先端側の面は、先端外部筐体31の後端側の面と接触するようになっている。一方、第3絶縁部材60における円筒状部の部位の内周面は、第1収容部材55の外周面と、第2収容部材56の外周面とに対峙している。また、第3絶縁部材60における円環状の部位の後端側の面は、第2収容部材56と接触するようになっている。
[Third insulating member]
The third insulating member 60 is a member having a hollow structure and having a tubular shape as a whole. However, the third insulating member 60 has a structure in which a cylindrical portion provided on the front end side and an annular portion provided on the rear end side are integrated. The third insulating member 60 is made of an insulating synthetic resin material such as PPS. The third insulating member 60 is arranged across the inner side of the tip outer housing 31 and the inner side of the intermediate outer housing 33 . More specifically, the distal end side of the third insulating member 60 is arranged inside the distal end outer housing 31, and the rear end side of the third insulating member 60 is arranged inside the intermediate outer housing 33. It is The outer peripheral surface of the cylindrical portion of the third insulating member 60 faces the inner peripheral surface of the distal end outer housing 31 on the rear end side. Further, the front end side surface of the annular portion of the third insulating member 60 contacts the rear end side surface of the front end external housing 31 . On the other hand, the inner peripheral surface of the cylindrical portion of the third insulating member 60 faces the outer peripheral surface of the first housing member 55 and the outer peripheral surface of the second housing member 56 . The rear end surface of the annular portion of the third insulating member 60 contacts the second housing member 56 .

(シール部の構成)
シール部70は、特に図2および図3に示すように、相対的に先端側に位置する第1シール部材71と、相対的に後端側に位置する第2シール部材72とを備えている。
(Structure of seal portion)
As shown particularly in FIGS. 2 and 3, the seal portion 70 includes a first seal member 71 relatively located on the front end side and a second seal member 72 relatively located on the rear end side. .

〔第1シール部材〕
第1シール部材71は、全体として環状を呈する部材であり、この例では、断面が四角形状を呈する角リングで構成されている。第1シール部材71は、耐熱性および耐酸性が高い、表面に錫めっきを施した銅材によって構成されている。そして、第1シール部材71は、筐体部30を構成する先端外部筐体31の外周面に取り付けられている。第1シール部材71が取りつけられた状態で圧力検出装置20がシリンダヘッド13に装着されると、第1シール部材71が取りつけられた位置の先端外部筐体31の外周面は第1シール部材71を挟んでシリンダヘッド13の外側面に対向する。
[First seal member]
The first seal member 71 is a member having an annular shape as a whole, and in this example, is configured by an angular ring having a square cross section. The first sealing member 71 is made of a tin-plated copper material having high heat resistance and acid resistance. The first sealing member 71 is attached to the outer peripheral surface of the tip outer housing 31 that constitutes the housing section 30 . When the pressure detection device 20 is attached to the cylinder head 13 with the first seal member 71 attached, the outer peripheral surface of the distal end outer housing 31 at the position where the first seal member 71 is attached is the first seal member 71. is opposed to the outer surface of the cylinder head 13 with the .

〔第2シール部材〕
第2シール部材72は、全体として環状を呈する部材であり、この例では、断面が円形状を呈するOリングで構成されている。第2シール部材72は、機械的な復元性が高いフッ素ゴム等の合成ゴム材料によって構成されている。そして、第2シール部材72は、筐体部30を構成する後端外部筐体34の外周面に取り付けられている。この第2シール部材72は、内燃機関10の外部から水等が侵入することを防止するシール部材の役割を持つとともに、内燃機関10の動作時や取付環境の振動等に伴って圧力検出装置20が振動し、シリンダヘッド13における連通孔13aの内面に衝突するのを防止する防振部材としての役割も持つ。そのため、第2シール部材72には、機械的な復元性が高い材料の中でも特に、復元性の耐熱特性が高く、振動抑制の機能が長寿命であるフッ素ゴム材料が適している。
[Second sealing member]
The second seal member 72 is a member having an annular shape as a whole, and in this example, is configured by an O-ring having a circular cross section. The second seal member 72 is made of a synthetic rubber material such as fluororubber, which has high mechanical resilience. The second seal member 72 is attached to the outer peripheral surface of the rear end outer housing 34 that constitutes the housing section 30 . The second seal member 72 serves as a seal member that prevents water or the like from entering from the outside of the internal combustion engine 10, and also prevents the pressure detection device 20 from being damaged during operation of the internal combustion engine 10 or with vibrations in the installation environment. vibrates and collides with the inner surface of the communication hole 13 a in the cylinder head 13 . Therefore, for the second seal member 72, among materials with high mechanical resilience, a fluororubber material that has high resilience and heat resistance and a long-life vibration suppression function is particularly suitable.

(緩衝部材の構成)
温度低減部の一例としての緩衝部材80は、図2、図3等に示すように、圧力検出装置20の先端に配置されている。
(Structure of cushioning member)
A buffer member 80, which is an example of a temperature reducing section, is arranged at the tip of the pressure detection device 20 as shown in FIGS.

緩衝部材80は、全体として円盤状を呈する部材である。この緩衝部材80は、円柱状を呈する。緩衝部材80には、先端側の面から後端側の面まで貫通する貫通孔が形成されている。 The cushioning member 80 is a member having a disc shape as a whole. The cushioning member 80 has a cylindrical shape. The cushioning member 80 is formed with a through hole penetrating from the surface on the front end side to the surface on the rear end side.

緩衝部材80は、導電性を有するとともに耐熱性がダイアフラムヘッド32よりも高い金属材料(超耐熱合金)によって構成されている。このような金属材料としては、例えば鉄基合金系であって、ガンマプライム析出強化型超耐熱合金の一種を例示することができる。ただし、要求される特性を満たすものであれば、これ以外の各種超耐熱合金を採用することができる。そして、使用可能な超耐熱合金としては、マトリックス強化型超耐熱合金、炭化物析出強化型超耐熱合金、ガンマプライム析出強化型超耐熱合金を挙げることができる。なお、使用可能な超耐熱合金については、鉄基合金系、ニッケル基合金系、コバルト合金系のいずれであってもよい。 The cushioning member 80 is made of a metal material (super heat-resistant alloy) having electrical conductivity and higher heat resistance than the diaphragm head 32 . As such a metal material, for example, it is an iron-based alloy system, and one type of gamma prime precipitation-strengthened super heat-resistant alloy can be exemplified. However, various super heat-resistant alloys other than these can be employed as long as they satisfy the required properties. Examples of usable superalloys include matrix-strengthened superalloys, carbide precipitation-strengthened superalloys, and gamma-prime precipitation-strengthened superalloys. Any of iron-based alloys, nickel-based alloys, and cobalt alloys may be used as the super heat-resistant alloys that can be used.

〔緩衝機構部とダイアフラムヘッドとの関係〕
また、本実施の形態では、緩衝部材80の後端側と、ダイアフラムヘッド32における表面環状凸部32gとを突き当てた状態で、外周面の一周にわたってレーザ溶接を施すことで、これらを一体化している。したがって、この例では、ダイアフラムヘッド32と緩衝部材80とが接触した状態で固定(溶接)されている。ただし、緩衝部材80の後端側に設けられた平坦部と、ダイアフラムヘッド32の先端側に設けられた圧力受面32aおよび表面中央凹部32bとは、空間を隔てて対峙している(図4も参照)。
[Relationship between buffer mechanism and diaphragm head]
Further, in the present embodiment, the rear end side of the cushioning member 80 and the annular surface convex portion 32g of the diaphragm head 32 are abutted against each other, and laser welding is applied to the entire circumference of the outer peripheral surface to integrate them. ing. Therefore, in this example, the diaphragm head 32 and the buffer member 80 are fixed (welded) in contact with each other. However, the flat portion provided on the rear end side of the cushioning member 80 and the pressure receiving surface 32a and the surface central recessed portion 32b provided on the front end side of the diaphragm head 32 face each other with a space therebetween (see FIG. 4). see also).

そして、圧力検出装置20をシリンダヘッド13に装着した状態で、緩衝部材80の先端側は、連通孔13aに設けられた段差部13b(図4参照)に突き当てられるようになっている。また、圧力検出装置20をシリンダヘッド13に装着した状態で、緩衝部材80の側壁部は、連通孔13aの内壁に接触している。 When the pressure detection device 20 is attached to the cylinder head 13, the tip side of the cushioning member 80 abuts against the stepped portion 13b (see FIG. 4) provided in the communication hole 13a. Further, when the pressure detection device 20 is attached to the cylinder head 13, the side wall portion of the cushioning member 80 is in contact with the inner wall of the communication hole 13a.

[振動に基づくノイズの制御]
ここで、圧力検出装置20に生じる振動について考える。圧力検出装置20が外部からの衝撃を受けると、長尺な部材である先端外部筐体31とその内部の部材に振動が生じる場合がある。なお、ここでは、振動が生じる場合の問題に関して考察するため、先端外部筐体31と第1収容部材55との間に押さえ部材551が設けられていない構成を想定する。
[Control of noise based on vibration]
Now, consider the vibration that occurs in the pressure detection device 20 . When the pressure detection device 20 receives an external impact, vibration may occur in the distal end outer housing 31, which is an elongated member, and the members inside thereof. Here, in order to consider problems when vibration occurs, a configuration in which the pressing member 551 is not provided between the distal end outer housing 31 and the first housing member 55 is assumed.

先端外部筐体31に収容される第1収容部材55、伝導部材47および保持部材48のうち、伝導部材47と保持部材48とは圧入(すきまばめ)により一体化しているが、保持部材48と第1収容部材55との間には空隙がある。言い換えれば、伝導部材47および保持部材48は、両端における他の部材と接触する部位以外では支持されていない。また、押さえ部材551を設けない場合、第1収容部材55と先端外部筐体31との間には空隙がある。このため、第1収容部材55も、両端における他の部材と接触する部位以外では支持されていない。 Of the first housing member 55 , the transmission member 47 and the holding member 48 housed in the distal end outer housing 31 , the transmission member 47 and the holding member 48 are integrated by press fitting (clearance fit). and the first housing member 55 has a space therebetween. In other words, the conducting member 47 and the holding member 48 are not supported except at their ends where they come into contact with other members. Moreover, when the pressing member 551 is not provided, there is a gap between the first housing member 55 and the distal end outer housing 31 . For this reason, the first housing member 55 is also not supported except for the portions at both ends that come into contact with other members.

第1収容部材55と、伝導部材47および保持部材48とは、長尺であるため、固有振動数が低く、振動によって共振が生じる場合がある。この振動が圧力検出装置20の各部材を伝わって圧電素子41に伝達されると、振動による圧力変化を圧電素子41が検知して電荷信号(ノイズ)を出力してしまう。ここで、上記の固有振動数が、圧力検出装置20により検出しようとする信号の振動数に近い場合、信号の検出精度を低下させる原因となり得る。 Since the first housing member 55, the transmission member 47, and the holding member 48 are long, their natural frequencies are low, and resonance may occur due to vibration. When this vibration is transmitted through each member of the pressure detection device 20 to the piezoelectric element 41, the piezoelectric element 41 detects the pressure change due to the vibration and outputs a charge signal (noise). Here, if the above natural frequency is close to the frequency of the signal to be detected by the pressure detection device 20, it may cause deterioration in signal detection accuracy.

(振動の伝達経路)
具体的な振動の伝達経路としては、例えば次のような経路が想定される。
・まず、伝導部材47および保持部材48の振動が、伝導部材47の先端棒状部471から第1コイルバネ46を介して後端電極部材44に伝わり、圧電素子41を加圧する経路(以下、「第1伝達経路」と呼ぶ)が考えられる。
・また、第1収容部材55の振動が、第2コイルバネ54、支持部材53、後端絶縁部材45を介して後端電極部材44に伝わり、圧電素子41を加圧する経路(以下、「第2伝達経路」と呼ぶ)が考えられる。
・保持部材48を支持するため、保持部材48の外周に、第1収容部材55の内壁に接触する突起が設けられている場合、伝導部材47および保持部材48の振動も突起を介して第1収容部材55に伝わり、第2伝達経路を伝播する振動に加わる。
・また、伝導部材47および保持部材48の振動が、保持部材48が支持部材53の内壁に衝突することで支持部材53に伝播し、さらに後端絶縁部材45を介して後端電極部材44に伝わって、圧電素子41を加圧する経路(以下、「第3伝達経路」と呼ぶ)が考えられる。
・その他、圧力検出装置20の全体に対し、内燃機関10に由来する様々な振動が印加され、これらの経路の途中から混入することが考えられる。
(Transmission path of vibration)
As a specific vibration transmission path, for example, the following path is assumed.
・First, the vibration of the conductive member 47 and the holding member 48 is transmitted from the distal end rod-shaped portion 471 of the conductive member 47 to the rear end electrode member 44 via the first coil spring 46, and pressurizes the piezoelectric element 41 (hereinafter referred to as the “second 1 transfer pathway”) is conceivable.
・Furthermore, the vibration of the first housing member 55 is transmitted to the rear end electrode member 44 via the second coil spring 54, the support member 53, and the rear end insulating member 45, and pressurizes the piezoelectric element 41 (hereinafter referred to as the "second transfer pathway”).
If a projection that contacts the inner wall of the first housing member 55 is provided on the outer periphery of the holding member 48 to support the holding member 48, the vibration of the transmission member 47 and the holding member 48 will also be transmitted through the projection. It is transmitted to the housing member 55 and joins the vibration propagating through the second transmission path.
・The vibration of the conductive member 47 and the holding member 48 is propagated to the supporting member 53 by the holding member 48 colliding with the inner wall of the supporting member 53, and further to the rear end electrode member 44 via the rear end insulating member 45. A path (hereinafter referred to as a “third transmission path”) that transmits pressure to the piezoelectric element 41 is conceivable.
- In addition, various vibrations originating from the internal combustion engine 10 are applied to the entire pressure detection device 20, and it is conceivable that the vibrations enter from the middle of these paths.

これらの経路のうち、第1伝達経路により伝達される振動が、圧電素子41の出力に対する影響が最も大きいことが想定される。本実施の形態の圧力検出装置20は、伝導部材47および保持部材48の振動に関して、検出しようとする信号の振動数に近い固有振動数の振動を抑制するための振動抑制手段を有する。 Among these paths, the vibration transmitted through the first transmission path is assumed to have the greatest influence on the output of the piezoelectric element 41 . The pressure detection device 20 of the present embodiment has vibration suppressing means for suppressing vibrations of the transmission member 47 and the holding member 48 at a natural frequency close to the frequency of the signal to be detected.

(振動抑制手段)
本実施の形態において、振動抑制手段は、伝導部材47および保持部材48の振動自体を軽減させることよりも、伝導部材47および保持部材48の固有振動数が検出しようとする信号の振動数に近い振動数となることを回避することを目的とする。この目的は、例えば、圧力検出装置20が検出できる固有振動数範囲から伝導部材47および保持部材48の固有振動数を外すことで実現される。また、圧力検出装置20が検出できる固有振動数範囲内の予め定められた振動数範囲、例えば内燃機関の代表的な異常燃焼振動数である1~2kHzから伝導部材47および保持部材48の固有振動数を外すことによって実現しても良い。そこで、本実施の形態では、振動抑制手段として、伝導部材47および保持部材48の中心線方向における適当な位置に振動を妨げる手段が設けられる。これにより、伝導部材47および保持部材48の固有振動数が制御される。
(Vibration suppression means)
In this embodiment, the vibration suppressing means does not reduce the vibration itself of the conductive member 47 and the holding member 48, but the natural frequency of the conductive member 47 and the holding member 48 is close to the frequency of the signal to be detected. The purpose is to avoid becoming a vibration frequency. This purpose is achieved, for example, by removing the natural frequencies of the conducting member 47 and the holding member 48 from the range of natural frequencies that the pressure detection device 20 can detect. Further, the natural vibration of the transmission member 47 and the holding member 48 is detected from a predetermined frequency range within the natural frequency range that can be detected by the pressure detection device 20, for example, 1 to 2 kHz, which is a typical abnormal combustion frequency of an internal combustion engine. It may be realized by removing the number. Therefore, in the present embodiment, means for preventing vibration is provided at an appropriate position in the direction of the center line of the transmission member 47 and the holding member 48 as the vibration suppressing means. Thereby, the natural frequencies of the transmission member 47 and the holding member 48 are controlled.

具体的な振動抑制手段として、先端外部筐体31にかしめ部Pが形成されている。先端外部筐体31をかしめることで先端外部筐体31が変形し、内部の第1収容部材55を押さえて変形させる。そして、変形した第1収容部材55が伝導部材47および保持部材48を押さえて固定する。これにより、かしめ部Pが形成された位置において、第1収容部材55、伝導部材47および保持部材48の振動が抑えられる。また、第1収容部材55、伝導部材47および保持部材48には、中心線方向の途中(かしめられた位置)に支点ができることになるため、これらの部材のかしめ部Pの先端側および後端側の固有振動数が高くなる。 As a specific vibration suppressing means, a caulking portion P is formed on the tip outer housing 31 . By crimping the distal end outer housing 31, the distal outer housing 31 is deformed, and the first housing member 55 inside is pressed and deformed. Then, the deformed first housing member 55 presses and fixes the conductive member 47 and the holding member 48 . As a result, vibrations of the first housing member 55, the conducting member 47 and the holding member 48 are suppressed at the positions where the crimped portions P are formed. In addition, the first housing member 55, the transmission member 47, and the holding member 48 have fulcrums in the middle of the center line direction (crimped positions). The natural frequency of the side becomes higher.

なお、上記の説明において、かしめられて変形した先端外部筐体31が第1収容部材55を押さえることを述べた。一方、本実施の形態の圧力検出装置20は、後述する電気的な接続構造を保つため、先端外部筐体31と第1収容部材55とが接触しない状態を維持する必要がある。そこで、本実施の形態では、先端外部筐体31のかしめ部Pが形成される位置における先端外部筐体31と第1収容部材55との間に押さえ部材551を介在させ、先端外部筐体31と第1収容部材55とが直接接触しないようにしている。また、先端外部筐体31と第1収容部材55との間に押さえ部材551を設けたことにより、かしめることで変形した先端外部筐体31が保持部材48を押さえる力のばらつきが抑制される。 In addition, in the above description, it has been described that the tip outer housing 31 deformed by crimping presses the first housing member 55 . On the other hand, in the pressure detection device 20 of the present embodiment, it is necessary to maintain a state in which the distal end outer housing 31 and the first housing member 55 are not in contact with each other in order to maintain an electrical connection structure, which will be described later. Therefore, in the present embodiment, a pressing member 551 is interposed between the distal end outer housing 31 and the first housing member 55 at the position where the crimped portion P of the distal end outer housing 31 is formed, so that the distal end outer housing 31 and the first housing member 55 are prevented from coming into direct contact with each other. In addition, by providing the pressing member 551 between the distal end outer housing 31 and the first housing member 55, variations in the force with which the distal outer housing 31 deformed by crimping presses the holding member 48 are suppressed. .

かしめ部Pは、必ずしも先端外部筐体31の全周にわたって設けなくても良い。具体的には、例えば、いわゆる三点かしめや四点かしめにより、先端外部筐体31の周方向の三点や四点に圧力を印加することによりかしめ部Pを形成しても良い。ただし、中心線方向と交差する特定の方向からの圧力に偏り、先端外部筐体31が中心線方向に対して曲がるように変形してしまうことを避ける必要がある。また、図2および図3に示した例では、先端外部筐体31の中心線方向に沿って中ほどの一か所のみにかしめ部Pを設けているが、中心線方向の複数個所にかしめ部を設けても良い。 The crimped portion P does not necessarily have to be provided over the entire circumference of the tip outer housing 31 . Specifically, for example, the crimped portion P may be formed by applying pressure to three or four points in the circumferential direction of the distal end outer housing 31 by so-called three-point crimping or four-point crimping. However, it is necessary to avoid deforming the distal end outer housing 31 so as to bend with respect to the centerline direction due to biased pressure from a specific direction intersecting the centerline direction. In addition, in the examples shown in FIGS. 2 and 3, the crimped portion P is provided only at one midpoint along the centerline direction of the distal end outer housing 31, but the crimped portion P is provided at a plurality of locations along the centerline direction. You can set up a department.

また、かしめ部Pの位置は、先端外部筐体31にかしめ部Pを形成した後における第1収容部材55、伝導部材47および保持部材48の固有振動数等に応じて定め得る。例えば、先端外部筐体31のかしめ部Pに対する先端側の長さと、後端側の長さとの比が1:1や1:2となるようにしても良い。また、かしめ部Pは、先端外部筐体31の形状に応じて、内燃機関10のシリンダヘッド13の連通孔13aへの装着が困難とならない位置に形成される。 Also, the position of the crimped portion P can be determined according to the natural frequencies of the first housing member 55 , the transmission member 47 and the holding member 48 after the crimped portion P is formed on the distal end outer housing 31 . For example, the ratio of the length of the distal end side to the crimped portion P of the distal end external housing 31 to the length of the rear end side may be 1:1 or 1:2. Moreover, the crimped portion P is formed at a position where it is not difficult to mount it to the communication hole 13a of the cylinder head 13 of the internal combustion engine 10 according to the shape of the distal end outer housing 31 .

[接続ケーブルの構成]
接続ケーブル90は、特に図2および図3に示すように、撚り合わせられた電源線91、信号線92および接地線93と、これら電源線91、信号線92および接地線93の外周を覆う被覆部材(図示せず)とを備えている。ここで、電源線91、信号線92および接地線93は、それぞれ、錫メッキ軟銅撚り線で構成された導体部と、電子線等を用いて架橋構造を強化してなるポリエチレン(架橋ポリエチレン)等で構成されるとともに導体部の外周を被覆して絶縁する絶縁部とを有している。また、被覆部材は、絶縁性を有するゴム材料または樹脂材料で構成されている。なお、接続ケーブル90には、必要に応じて、電源線91、信号線92および接地線93を遮へいする遮へい体を設けてもかまわない。
[Configuration of connection cable]
2 and 3, the connection cable 90 includes a twisted power line 91, a signal line 92 and a ground line 93, and a sheath covering the power line 91, the signal line 92 and the ground line 93. a member (not shown). Here, the power supply line 91, the signal line 92, and the ground line 93 are each composed of a conductive portion composed of a tin-plated annealed copper twisted wire, and polyethylene (crosslinked polyethylene) or the like obtained by strengthening the crosslinked structure using an electron wire or the like. and an insulating portion that covers and insulates the outer periphery of the conductor portion. In addition, the covering member is made of an insulating rubber material or resin material. The connection cable 90 may be provided with a shield for shielding the power line 91, the signal line 92 and the ground line 93, if necessary.

[圧力検出装置における電気的な接続構造]
ここで、圧力検出装置20における電気的な接続構造について説明を行う。
(正の経路)
圧力検出装置20において、圧電素子41の後端側の端面(正極)は、後端電極部材44、第1コイルバネ46および伝導部材47と電気的に接続される。また、伝導部材47は、回路内蔵部材57に設けられた入力信号端子と電気的に接続される。以下では、圧電素子41の後端側の面から、後端電極部材44、第1コイルバネ46および伝導部材47を介して、回路基板571の入力信号端子に至る電気的な経路を、『正の経路』と称する。
[Electrical Connection Structure in Pressure Detector]
Here, the electrical connection structure in the pressure detection device 20 will be described.
(positive path)
In the pressure detection device 20 , the end face (positive electrode) on the rear end side of the piezoelectric element 41 is electrically connected to the rear end electrode member 44 , the first coil spring 46 and the conducting member 47 . Also, the conductive member 47 is electrically connected to an input signal terminal provided in the circuit-incorporating member 57 . Hereinafter, an electrical path from the rear end side surface of the piezoelectric element 41 to the input signal terminal of the circuit board 571 via the rear end electrode member 44, the first coil spring 46 and the conductive member 47 will be referred to as a "positive route”.

(負の経路)
一方、圧力検出装置20において、圧電素子41の先端側の端面(負極)は、先端電極部材42、加圧部材49および支持部材53と電気的に接続される。また、加圧部材49は、第2コイルバネ54、第1収容部材55、第2収容部材56および回路内蔵部材57に設けられた入力接地端子と電気的に接続される。以下では、圧電素子41の先端側の面から、先端電極部材42、加圧部材49、支持部材53、第2コイルバネ54、第1収容部材55および第2収容部材56を介して、回路基板571の入力接地端子に至る電気的な経路を、『負の経路』と称する。
(negative path)
On the other hand, in the pressure detection device 20 , the end face (negative electrode) of the piezoelectric element 41 on the tip side is electrically connected to the tip electrode member 42 , the pressure member 49 and the support member 53 . Also, the pressure member 49 is electrically connected to input ground terminals provided on the second coil spring 54 , the first housing member 55 , the second housing member 56 and the circuit-incorporating member 57 . In the following, the circuit board 571 will be described from the tip side surface of the piezoelectric element 41 via the tip electrode member 42 , the pressure member 49 , the support member 53 , the second coil spring 54 , the first accommodation member 55 and the second accommodation member 56 . is called the "negative path".

(筐体経路)
他方、圧力検出装置20において、ダイアフラムヘッド32は、先端外部筐体31、中間外部筐体33および後端外部筐体34と電気的に接続される。また、ダイアフラムヘッド32は、第1内部筐体35および第2内部筐体36と電気的に接続される。さらに、ダイアフラムヘッド32は、緩衝部材80と電気的に接続される。以下では、第2内部筐体36から第1内部筐体35、ダイアフラムヘッド32、先端外部筐体31、中間外部筐体33および後端外部筐体34に至り、また、ダイアフラムヘッド32から緩衝部材80に至る電気的な経路を、『筐体経路』と称する。なお、圧力検出装置20を、図1に示す内燃機関10のシリンダヘッド13に取り付けた場合、例えば先端外部筐体31、ダイアフラムヘッド32および緩衝部材80に設けられた雄ねじ(図示せず)が、連通孔13aの内周面に設けられた雌ねじ(図示せず)に接触し、また、例えば緩衝部材80の表面壁部814が、連通孔13aに設けられた段差部13bに接触する。このとき、シリンダヘッド13(およびシリンダブロック11)と筐体経路とは、略同電位となる。
(Chassis path)
On the other hand, in the pressure detection device 20 , the diaphragm head 32 is electrically connected to the distal end outer housing 31 , the intermediate outer housing 33 and the rear end outer housing 34 . Also, the diaphragm head 32 is electrically connected to the first internal housing 35 and the second internal housing 36 . Furthermore, the diaphragm head 32 is electrically connected with the buffer member 80 . In the following, from the second inner housing 36 to the first inner housing 35, the diaphragm head 32, the front end outer housing 31, the intermediate outer housing 33 and the rear end outer housing 34, and from the diaphragm head 32 to the buffer member The electrical path leading to 80 is referred to as the "enclosure path". When the pressure detection device 20 is attached to the cylinder head 13 of the internal combustion engine 10 shown in FIG. A female thread (not shown) provided on the inner peripheral surface of the communication hole 13a is contacted, and the surface wall portion 814 of the cushioning member 80, for example, contacts the stepped portion 13b provided in the communication hole 13a. At this time, the cylinder head 13 (and the cylinder block 11) and the housing path have substantially the same potential.

(正の経路と負の経路との関係)
ここで、本実施の形態の圧力検出装置20では、正の経路の外側に負の経路が存在している。換言すれば、負の経路の内部に正の経路が収容されている。そして、正の経路と負の経路とは、後端絶縁部材45、保持部材48、絶縁チューブ50および両経路の間に形成されるエアギャップによって、電気的に絶縁されている。
(Relationship between positive route and negative route)
Here, in the pressure detection device 20 of the present embodiment, the negative path exists outside the positive path. In other words, the positive path is contained within the negative path. The positive path and the negative path are electrically insulated by the rear end insulating member 45, the holding member 48, the insulating tube 50, and an air gap formed between both paths.

(負の経路と筐体経路との関係)
また、圧力検出装置20では、負の経路の外側に筐体経路が存在している。換言すれば、筐体経路の内部に負の経路が収容されている。そして、負の経路と筐体経路とは、先端絶縁部材43、第1絶縁部材51、第2絶縁部材52、第3絶縁部材60および両経路の間に形成されるエアギャップによって、電気的に絶縁されている。
(Relationship between negative path and housing path)
Further, in the pressure detection device 20, the housing path exists outside the negative path. In other words, the negative path is housed inside the housing path. The negative path and the housing path are electrically insulated.

(筐体経路と正の経路との関係)
さらに、圧力検出装置20では、結果として、正の経路の外側に筐体経路が存在している。換言すれば、筐体経路の内部に正の経路が収容されている。そして、上述したように、正の経路と負の経路とが電気的に絶縁され、且つ、負の経路と筐体経路とが電気的に絶縁されることにより、筐体経路と正の経路とが、電気的に絶縁されていることになる。
(Relationship between housing path and positive path)
Furthermore, in the pressure sensing device 20, there is a housing path outside the positive path as a result. In other words, the positive path is housed inside the housing path. As described above, the positive path and the negative path are electrically insulated, and the negative path and the housing path are electrically insulated. is electrically insulated.

[内燃機関に対する圧力検出装置の取付手順]
ではここで、内燃機関10に対する圧力検出装置20の取付手順について説明を行う。
まず、内燃機関10のシリンダヘッド13に設けられた連通孔13aに、内燃機関10の外部から、その先端側すなわち緩衝部材80側を対峙させるように、圧力検出装置20を配置する。これに続いて、連通孔13aの内部に、圧力検出装置20の先端側を挿入していく。
[Procedure for installing the pressure detection device to the internal combustion engine]
Now, a procedure for attaching the pressure detection device 20 to the internal combustion engine 10 will be described.
First, the pressure detection device 20 is arranged in the communication hole 13a provided in the cylinder head 13 of the internal combustion engine 10 so that the front end side, that is, the buffer member 80 side thereof faces the internal combustion engine 10 from the outside. Subsequently, the tip side of the pressure detection device 20 is inserted into the communication hole 13a.

それから、内燃機関10のシリンダヘッド13に対し、圧力検出装置20を、軸方向に対し右回りに回転させる。なお、この操作は、トルクレンチを介して行うことが望ましい。これに伴って、シリンダヘッド13における連通孔13aの内周面に設けられた雌ねじと、圧力検出装置20における先端外部筐体31、ダイアフラムヘッド32および緩衝部材80の外周面に設けられた雄ねじとが噛み合うようになり、シリンダヘッド13に対して圧力検出装置20がねじ込まれていく。その結果、圧力検出装置20の先端側に設けられた緩衝部材80は、内燃機関10に設けられた燃焼室Cに向かって移動していく。 Then, the pressure detection device 20 is rotated clockwise with respect to the cylinder head 13 of the internal combustion engine 10 with respect to the axial direction. In addition, it is desirable to perform this operation via a torque wrench. Along with this, a female thread provided on the inner peripheral surface of the communication hole 13a in the cylinder head 13 and a male thread provided on the outer peripheral surfaces of the tip outer housing 31, the diaphragm head 32 and the buffer member 80 in the pressure detection device 20. are engaged with each other, and the pressure detection device 20 is screwed into the cylinder head 13 . As a result, the buffer member 80 provided on the tip side of the pressure detection device 20 moves toward the combustion chamber C provided in the internal combustion engine 10 .

また、このようなねじ込みに伴い、圧力検出装置20に設けられた緩衝部材80のうち、緩衝部材80に設けられた表面壁部814の先端側の面が、内燃機関10におけるシリンダヘッド13の連通孔13a内に設けられた段差部13bの後端側の面に突き当たる。これに伴い、圧力検出装置20は、基本的にこれ以上ねじ込めない状態となるが、トルクレンチを用いてさらに増し締めを行うことにより、圧力検出装置20およびシリンダヘッド13には、軸方向に沿って予め定められた軸力(締結軸力)が加えられた状態となる。以上により、内燃機関10に対する圧力検出装置20の取り付け、換言すれば、シリンダヘッド13に対する圧力検出装置20の締結が完了する。 As a result of such screwing, of the cushioning member 80 provided in the pressure detection device 20 , the surface on the front end side of the surface wall portion 814 provided in the cushioning member 80 is not communicated with the cylinder head 13 of the internal combustion engine 10 . It abuts against the surface on the rear end side of the stepped portion 13b provided in the hole 13a. As a result, the pressure detection device 20 is basically in a state where it cannot be screwed any further. A predetermined axial force (fastening axial force) is applied along the line. By the above, attachment of the pressure detection device 20 to the internal combustion engine 10, in other words, fastening of the pressure detection device 20 to the cylinder head 13 is completed.

[圧力検出装置による圧力検出動作]
続いて、圧力検出装置20による圧力検出動作について説明を行う。
内燃機関10が動作しているとき、ダイアフラムヘッド32の圧力受面32aに、燃焼室C内で発生した圧力(燃焼圧)が付与される。ここで、本実施の形態の圧力検出装置20では、ダイアフラムヘッド32の先端側に緩衝部材80が設けられており、燃焼室C内で発生した燃焼ガス(流体の一例)は、緩衝部材80に設けられた9つの貫通孔816を通ってから、ダイアフラムヘッド32の圧力受面32aに到達することになる。言い換えれば、緩衝部材80は、燃焼ガスを受け、この燃焼ガスが貫通孔816を流通することで温度を低下させ、温度の低下した燃焼ガスをダイアフラムヘッド32に供給する。
[Pressure detection operation by pressure detection device]
Next, the pressure detection operation by the pressure detection device 20 will be described.
When the internal combustion engine 10 is operating, the pressure (combustion pressure) generated within the combustion chamber C is applied to the pressure receiving surface 32a of the diaphragm head 32 . Here, in the pressure detection device 20 of the present embodiment, the cushioning member 80 is provided on the tip side of the diaphragm head 32, and the combustion gas (an example of the fluid) generated in the combustion chamber C is transferred to the cushioning member 80. It reaches the pressure receiving surface 32 a of the diaphragm head 32 after passing through the provided nine through holes 816 . In other words, the cushioning member 80 receives the combustion gas, the combustion gas flows through the through-holes 816 to lower the temperature, and the temperature-lowered combustion gas is supplied to the diaphragm head 32 .

すると、ダイアフラムヘッド32では、圧力受面32aで受けた圧力が裏側の裏面中央凸部32dに伝達され、さらに裏面中央凸部32dから先端絶縁部材43を介して先端電極部材42へと伝達される。そして、先端電極部材42に伝達された圧力は、先端電極部材42と後端電極部材44とに挟まれた圧電素子41に作用し、圧電素子41では、受けた圧力に応じた電荷が生じる。圧電素子41に生じた電荷は、正の経路および負の経路を介して、回路基板571に電荷信号として供給される。回路基板571に供給された電荷信号は、回路基板571に実装された処理回路(図示せず)にて各種処理が施されることで出力信号とされる。そして、回路基板571から出力された出力信号は、接続部材58および接続ケーブル90を介して、制御装置100に送信される。 Then, in the diaphragm head 32, the pressure received by the pressure receiving surface 32a is transmitted to the back surface center convex portion 32d on the back side, and further transmitted from the back surface center convex portion 32d to the tip electrode member 42 via the tip insulating member 43. . The pressure transmitted to the tip electrode member 42 acts on the piezoelectric element 41 sandwiched between the tip electrode member 42 and the rear electrode member 44, and the piezoelectric element 41 generates an electric charge according to the received pressure. The charge generated in the piezoelectric element 41 is supplied as a charge signal to the circuit board 571 through the positive path and the negative path. The charge signal supplied to the circuit board 571 is subjected to various processes in a processing circuit (not shown) mounted on the circuit board 571 to be an output signal. An output signal output from the circuit board 571 is transmitted to the control device 100 via the connection member 58 and the connection cable 90 .

本実施の形態の場合、燃焼室C内で発生した燃焼ガスは、緩衝部材80に設けられた9つの貫通孔816を通過する間に、緩衝部材80によって熱が奪われることになる。このため、緩衝部材80を通過した後の燃焼ガスは、通過する前の燃焼ガスよりも、温度が低下している。その結果、本実施の形態では、圧力検出装置20に緩衝部材80を設けることにより、緩衝部材80を設けない場合と比較して、ダイアフラムヘッド32の圧力受面32aに到達する燃焼ガスの温度を、例えば100℃以上低下させることができる。 In the case of this embodiment, the combustion gas generated in the combustion chamber C is deprived of heat by the cushioning member 80 while passing through the nine through holes 816 provided in the cushioning member 80 . Therefore, the temperature of the combustion gas after passing through the buffer member 80 is lower than that of the combustion gas before passing. As a result, in the present embodiment, by providing the buffer member 80 in the pressure detection device 20, the temperature of the combustion gas reaching the pressure receiving surface 32a of the diaphragm head 32 can be reduced as compared with the case where the buffer member 80 is not provided. , for example, by 100° C. or more.

例えば燃焼室C内で発生する燃焼ガスの温度が非常に高い場合、この高温の燃焼ガスを直接ダイアフラムヘッド32の圧力受面32aに当てると、高温の燃焼ガスによってダイアフラムヘッド32が過熱され、結果としてダイアフラムヘッド32に熱による劣化が生じる懸念がある。なお、本実施の形態でダイアフラムヘッド32の原材料として使用されるSUS630やSUH660の場合、ダイアフラムヘッド32に当たる燃焼ガスの温度が例えば700℃を超えるような環境下で長時間使用されるようなことがあると、ダイアフラムヘッド32自身の強度が次第に低下してしまうことになる。 For example, when the temperature of the combustion gas generated in the combustion chamber C is extremely high, if this high-temperature combustion gas directly hits the pressure receiving surface 32a of the diaphragm head 32, the diaphragm head 32 is overheated by the high-temperature combustion gas, resulting in As a result, there is a concern that the diaphragm head 32 may deteriorate due to heat. In the case of SUS630 or SUH660, which is used as the raw material of the diaphragm head 32 in this embodiment, it may be used for a long time in an environment where the temperature of the combustion gas hitting the diaphragm head 32 exceeds, for example, 700°C. If there is, the strength of the diaphragm head 32 itself will gradually decrease.

これに対し、本実施の形態では、上述したようにダイアフラムヘッド32の先端側に設けた緩衝部材80により温度を低下させた状態で、燃焼ガスがダイアフラムヘッド32に当たるようにした。これにより、長期的な観点からみたダイアフラムヘッド32の強度の低下を抑制することができる。 In contrast, in the present embodiment, the combustion gas hits the diaphragm head 32 while the temperature is lowered by the cushioning member 80 provided on the tip side of the diaphragm head 32 as described above. As a result, deterioration in the strength of the diaphragm head 32 can be suppressed from a long-term perspective.

[圧力検出装置の他の構成]
本実施の形態は、圧力検出装置20における長尺な部材の振動によるノイズが検出対象の信号に与える影響を抑制するため、かかる部材の固有振動数を制御するための振動抑制手段を設けた。また、上記の実施の形態では、電気的な経路として装置内部に正の経路および負の経路を有すると共に、筐体部30を通る筐体経路を有する構造(以下、「内部絶縁構造」と呼ぶ)を備えた圧力検出装置20を例として説明した。ここで、上記の課題は、内部絶縁構造を有しない(以下、そのような構造を「非内部絶縁構造」と呼ぶ)圧力検出装置においても生じ、本実施の形態の振動抑制手段を適用し得る。以下、非内部絶縁構造の圧力検出装置について説明し、かかる圧力検出装置に対する振動抑制手段の適用について説明する。
[Another configuration of the pressure detection device]
In this embodiment, in order to suppress the influence of noise due to vibration of long members in the pressure detection device 20 on signals to be detected, a vibration suppressing means for controlling the natural frequency of such members is provided. Further, in the above-described embodiment, a structure having a positive path and a negative path inside the device as electrical paths and a housing path passing through the housing section 30 (hereinafter referred to as "internal insulation structure") ) has been described as an example. Here, the above problem also occurs in a pressure detection device that does not have an internal insulating structure (such a structure is hereinafter referred to as a "non-internal insulating structure"), and the vibration suppressing means of the present embodiment can be applied. . Hereinafter, a pressure detection device having a non-internal insulation structure will be described, and application of vibration suppressing means to such a pressure detection device will be described.

図5は、非内部絶縁構造の圧力検出装置の断面図である。図6は、図5に示す圧力検出装置のV領域の拡大図である。 FIG. 5 is a cross-sectional view of a non-internally insulated pressure sensing device. 6 is an enlarged view of the V region of the pressure detection device shown in FIG. 5. FIG.

[圧力検出装置の構成]
圧力検出装置A5は、燃焼室C内の圧力を電気信号に変換する圧電素子A10を有するセンサ部A100と、センサ部A100からの電気信号を処理する信号処理部A200と、信号処理部A200を保持する保持部材A300と、を備えている。この圧力検出装置A5をシリンダヘッド13に装着する際には、センサ部A100の後述するダイアフラムヘッドA40の方から先に、シリンダヘッド13に形成された連通孔13aに挿入していく。以下の説明において、図5の左側を圧力検出装置A5の先端側、右側を圧力検出装置A5の後端側とする。
[Configuration of Pressure Detector]
The pressure detection device A5 has a sensor portion A100 having a piezoelectric element A10 that converts the pressure in the combustion chamber C into an electric signal, a signal processing portion A200 that processes the electric signal from the sensor portion A100, and a signal processing portion A200. and a holding member A300. When mounting the pressure detection device A5 to the cylinder head 13, the later-described diaphragm head A40 of the sensor portion A100 is first inserted into the communication hole 13a formed in the cylinder head 13. As shown in FIG. In the following description, the left side of FIG. 5 is the front end side of the pressure detection device A5, and the right side is the rear end side of the pressure detection device A5.

(センサ部の構成)
センサ部A100は、受けた圧力を電気信号に変換する圧電素子A10と、筒状であってその内部に圧電素子A10などを収納する円柱状の孔が形成された筐体部A30と、を備えている。以下では、筐体部A30に形成された円柱状の孔の中心線方向を、単に中心線方向と称す。
(Configuration of sensor section)
The sensor unit A100 includes a piezoelectric element A10 that converts a received pressure into an electric signal, and a cylindrical casing A30 having a cylindrical hole for accommodating the piezoelectric element A10 and the like. ing. Hereinafter, the centerline direction of the cylindrical hole formed in the housing portion A30 is simply referred to as the centerline direction.

また、センサ部A100は、筐体部A30における先端側の開口部を塞ぐように設けられて、燃焼室C内の圧力が作用するダイアフラムヘッドA40と、ダイアフラムヘッドA40と圧電素子A10との間に設けられた先端電極部材A50と、圧電素子A10に対して先端電極部材A50とは反対側に配置された後端電極部材A55と、を備えている。また、センサ部A100は、後端電極部材A55を電気的に絶縁するアルミナセラミック製の絶縁リングA60と、絶縁リングA60よりも後端側に設けられて、信号処理部A200の後述する覆い部材A23の端部を支持する支持部材A65と、後端電極部材A55と後述する伝導部材A22との間に介在するコイルバネA70と、を備えている。 Further, the sensor part A100 is provided so as to close the opening on the tip end side of the housing part A30, and is between the diaphragm head A40 on which the pressure in the combustion chamber C acts, and the diaphragm head A40 and the piezoelectric element A10. and a rear electrode member A55 arranged on the opposite side of the piezoelectric element A10 from the tip electrode member A50. In addition, the sensor section A100 is provided with an insulating ring A60 made of alumina ceramic that electrically insulates the rear end electrode member A55, and a cover member A23, which will be described later, of the signal processing section A200. and a coil spring A70 interposed between the rear end electrode member A55 and a later-described conducting member A22.

〔筐体部〕
筐体部A30は、図6に示すように、先端側に設けられた第1筐体部A31と、後端側に設けられた第2筐体部A32と、を有する。第1筐体部A31は、円筒状の部材である。第2筐体部A32は、図5に示すように、筒状の部材である。第2筐体部A32の先端部は、第1筐体部A31の後端部にしまりばめで嵌合(圧入)されている。筐体部A30は、図2乃至図4を参照して説明した圧力検出装置20の先端外部筐体31に相当し、中心線方向途中の適当な位置に、かしめ部Pが形成される。より具体的には、かしめ部Pは、筐体部A30において、後述する伝導部材被覆部A231の第1凸部A251に対応する位置に設けられる。第2筐体部A32は、筐体の一例であり、第2筐体の一例である。
[Case part]
As shown in FIG. 6, the housing part A30 has a first housing part A31 provided on the front end side and a second housing part A32 provided on the rear end side. The first housing part A31 is a cylindrical member. The second housing part A32 is a cylindrical member, as shown in FIG. The tip portion of the second housing portion A32 is fitted (press-fitted) to the rear end portion of the first housing portion A31 by interference fit. The housing part A30 corresponds to the distal end external housing 31 of the pressure detection device 20 described with reference to FIGS. More specifically, the crimped portion P is provided in the housing portion A30 at a position corresponding to a first convex portion A251 of a conductive member covering portion A231, which will be described later. The second housing part A32 is an example of a housing and an example of a second housing.

〔先端電極部材〕
先端電極部材A50は、円柱状の部材である。先端電極部材A50の外周面が第1筐体部A31の内周面と接触し、先端側の端面がダイアフラムヘッドA40と接触することによって、圧電素子A10における先端部は、筐体部A30と電気的に接続される。
[Tip electrode member]
The tip electrode member A50 is a cylindrical member. The outer peripheral surface of the tip electrode member A50 is in contact with the inner peripheral surface of the first housing A31, and the end surface on the tip side is in contact with the diaphragm head A40. connected

〔後端電極部材〕
後端電極部材A55は、円柱状の部材である。後端電極部材A55の後端側の端面には、この端面から後端側に突出する円柱状の突出部A55aが設けられている。突出部A55aの外径は、絶縁リングA60の内径よりも小さい。突出部A55aの長さは絶縁リングA60の幅(中心線方向の長さ)よりも長く、突出部A55aの先端が絶縁リングA60から露出している。後端電極部材A55の外周面と第1筐体部A31の内周面との間には隙間がある。
[Rear end electrode member]
The rear end electrode member A55 is a cylindrical member. A columnar projecting portion A55a is provided on the end surface of the rear end electrode member A55 on the rear end side so as to project from the end surface toward the rear end side. The outer diameter of the projecting portion A55a is smaller than the inner diameter of the insulating ring A60. The length of the projecting portion A55a is longer than the width (the length in the direction of the center line) of the insulating ring A60, and the tip of the projecting portion A55a is exposed from the insulating ring A60. There is a gap between the outer peripheral surface of the rear end electrode member A55 and the inner peripheral surface of the first housing part A31.

〔絶縁リング〕
絶縁リングA60は、アルミナセラミックス等により形成された円筒状の部材であり、内径(中央部の孔径)は、後端電極部材A55の突出部A55aの基端部の外径よりもやや大きく、外径は、第1筐体部A31の内径とほぼ等しい。
[Insulation ring]
The insulating ring A60 is a cylindrical member made of alumina ceramics or the like. The diameter is substantially equal to the inner diameter of the first casing part A31.

〔支持部材〕
支持部材A65は、筒状の部材である。後端電極部材A55の突出部A55aは、絶縁リングA60を経て支持部材A65の内部まで露出する。支持部材A65の内径は、後述する信号処理部A200の伝導部材A22における先端部の外径よりも大きい。また、支持部材A65の内径は、後述する信号処理部A200の覆い部材A23における先端側の端部の外径よりも小さく、この覆い部材A23が支持部材A65の内壁にしまりばめで嵌合される。これにより、支持部材A65は、覆い部材A23の端部を支持する部材として機能する。
[Support member]
The support member A65 is a cylindrical member. A protruding portion A55a of the rear end electrode member A55 is exposed to the inside of the support member A65 through the insulating ring A60. The inner diameter of the support member A65 is larger than the outer diameter of the tip portion of the transmission member A22 of the signal processing unit A200, which will be described later. The inner diameter of the support member A65 is smaller than the outer diameter of the tip end of the cover member A23 of the signal processing unit A200, which will be described later. . Thereby, the support member A65 functions as a member that supports the end portion of the cover member A23.

〔コイルバネ〕
コイルバネA70は、中心線方向に伸縮する螺旋状のばね部材である。コイルバネA70には、先端側から後端電極部材A55の突出部A55aの先端部が挿入される。また、コイルバネA70は、後述する伝導部材A22の挿入孔A22aに挿入される。コイルバネA70の長さは、後端電極部材A55と伝導部材A22との間に圧縮した状態で介在することができる長さに設定されている。コイルバネA70の材質としては、弾性が高く、かつ耐久性、耐熱性、耐触性等に優れた合金を用いるとよい。また、コイルバネA70の表面に金メッキを施すことで、電気伝導を高めるとよい。コイルバネA70は、図2乃至図4を参照して説明した圧力検出装置20の第1コイルバネ46に相当し、伝導部材A22の振動が突出部A55aを介して後端電極部材A55に伝わる程度の固さを有している。
[Coil spring]
The coil spring A70 is a spiral spring member that expands and contracts in the centerline direction. The distal end portion of the projecting portion A55a of the rear electrode member A55 is inserted into the coil spring A70 from the distal end side. Also, the coil spring A70 is inserted into an insertion hole A22a of a conduction member A22, which will be described later. The length of the coil spring A70 is set to such a length that it can be interposed between the rear end electrode member A55 and the conductive member A22 in a compressed state. As the material of the coil spring A70, it is preferable to use an alloy having high elasticity and excellent durability, heat resistance, contact resistance, and the like. Also, the surface of the coil spring A70 may be plated with gold to enhance electrical conductivity. The coil spring A70 corresponds to the first coil spring 46 of the pressure detection device 20 described with reference to FIGS. It has a

(信号処理部の構成)
信号処理部A200は、図5に示すように、センサ部A100の圧電素子A10から得られる微弱な電荷である電気信号を少なくとも増幅処理する回路基板部A21と、圧電素子A10に生じた電荷を回路基板部A21まで導く棒状の伝導部材A22と、これら回路基板部A21、伝導部材A22などを覆う覆い部材A23と、回路基板部A21などを密封するOリングA26と、を備えている。
(Configuration of signal processing section)
As shown in FIG. 5, the signal processing unit A200 includes a circuit board unit A21 that at least amplifies an electric signal, which is a weak electric charge obtained from the piezoelectric element A10 of the sensor unit A100, and a circuit board unit A21 that amplifies the electric signal generated in the piezoelectric element A10. A rod-shaped conductive member A22 leading to the substrate portion A21, a cover member A23 covering the circuit board portion A21, the conductive member A22, and the like, and an O-ring A26 sealing the circuit board portion A21 and the like are provided.

〔回路基板部〕
回路基板部A21は、センサ部A100の圧電素子A10から得られる微弱な電荷を増幅するための回路を構成する電子部品などが実装された実装基板A210を有する。実装基板A210には、伝導部材A22と電気的に接続するための入力ピン、接地用の入力ピン制御装置と電気的に接続するための出力ピンが、接続されている。
[Circuit board part]
The circuit board section A21 has a mounting board A210 on which electronic components and the like constituting a circuit for amplifying weak charges obtained from the piezoelectric element A10 of the sensor section A100 are mounted. The mounting board A210 is connected to an input pin for electrical connection with the conductive member A22 and an output pin for electrical connection with a grounding input pin control device.

〔伝導部材〕
伝導部材A22は、棒状の部材であり、先端部には、後端電極部材A55の突出部A55aの先端部が挿入される挿入孔A22aが形成されている。伝導部材A22の後端部は、回路基板部A21の実装基板A210に、電気的に接続される。
[Transmission member]
The conductive member A22 is a rod-shaped member, and an insertion hole A22a is formed in the tip portion thereof into which the tip portion of the projecting portion A55a of the rear end electrode member A55 is inserted. A rear end portion of the conductive member A22 is electrically connected to the mounting substrate A210 of the circuit board portion A21.

〔覆い部材〕
覆い部材A23は、伝導部材A22の外周を覆う伝導部材被覆部A231と、回路基板部A21の実装基板A210の側面および下面を覆う基板被覆部A232とを有している。覆い部材A23は、樹脂などの絶縁性を有する材料にて成形されている。
[Cover member]
The cover member A23 has a conductive member covering portion A231 that covers the outer periphery of the conductive member A22, and a substrate covering portion A232 that covers the side and bottom surfaces of the mounting board A210 of the circuit board portion A21. The cover member A23 is molded from an insulating material such as resin.

〔伝導部材被覆部〕
伝導部材被覆部A231は、長尺な円筒形状の部材であり、伝導部材被覆部A231の先端部は、支持部材A65の内壁にしまりばめで嵌合(圧入)される。伝導部材被覆部A231は、図2乃至図4を参照して説明した圧力検出装置20の保持部材48に相当し、内部に収容する伝導部材A22と一体化している。伝導部材被覆部A231は、筐体の一例であり、第1筐体の一例である。
[Conductive member covering part]
The conducting member covering portion A231 is an elongated cylindrical member, and the tip of the conducting member covering portion A231 is fitted (press-fitted) to the inner wall of the support member A65 by interference fit. The conductive member covering portion A231 corresponds to the holding member 48 of the pressure detection device 20 described with reference to FIGS. 2 to 4, and is integrated with the conductive member A22 housed inside. The conductive member covering portion A231 is an example of a housing and an example of a first housing.

伝導部材被覆部A231は、先端部付近に設けられる第1凸部A251と、後端部付近に設けられる第2凸部A252とを有する。この例では、第1凸部A251および第2凸部A252はそれぞれ、伝導部材被覆部A231の外周面において、周方向に沿って一定間隔で複数個(例えば、4個)設けられている。 The conductive member covering portion A231 has a first convex portion A251 provided in the vicinity of the tip portion and a second convex portion A252 provided in the vicinity of the rear end portion. In this example, a plurality of (for example, four) first protrusions A251 and second protrusions A252 are provided at regular intervals along the circumferential direction on the outer peripheral surface of the conductive member covering portion A231.

〔第1凸部および第2凸部〕
第1凸部A251および第2凸部A252は、第2筐体部A32の内周面に当接する。これにより、伝導部材被覆部A231が第2筐体部A32に支持されることになる。なお、ここでは、伝導部材被覆部A231の先端部付近に第1凸部A251を設け、後端部付近に第2凸部A252を設けることとしたが、伝導部材A22および伝導部材被覆部A231の固有振動数を所望の振動数に制御するため、伝導部材被覆部A231の中心線方向における中間の位置に設けても良い。
[First Projection and Second Projection]
The first convex portion A251 and the second convex portion A252 abut against the inner peripheral surface of the second housing portion A32. As a result, the conductive member covering portion A231 is supported by the second housing portion A32. Here, the first convex portion A251 is provided near the tip of the conductive member covering portion A231, and the second convex portion A252 is provided near the rear end portion of the conductive member covering portion A231. In order to control the natural frequency to a desired frequency, it may be provided at an intermediate position in the direction of the center line of the conductive member covering portion A231.

(保持部材の構成)
保持部材A300は、薄肉円筒状の部材である。保持部材A300は、信号処理部A200を保持した状態で第2筐体部A32に装着される。これにより、保持部材A300は、信号処理部A200が筐体部A30に対して移動することを抑制する。
(Configuration of holding member)
The holding member A300 is a thin cylindrical member. The holding member A300 is attached to the second housing part A32 while holding the signal processing part A200. Thereby, the holding member A300 suppresses the movement of the signal processing section A200 with respect to the housing section A30.

(振動制御手段)
非内部絶縁構造の圧力検出装置A5において、伝導部材A22および伝導部材被覆部A231は、長尺な部材であり、図2乃至図4を参照して説明した内部絶縁構造の圧力検出装置20と同様に、固有振動数の低い振動が生じる場合がある。そして、伝導部材A22および伝導部材被覆部A231に生じた振動は、コイルバネA70を介して後端電極部材A55の突出部A55aから後端電極部材A55に伝わり、圧電素子A10を加圧する。また、伝導部材A22および伝導部材被覆部A231に生じた振動は、支持部材A65、絶縁リングA60を介して後端電極部材A55に伝わり、圧電素子A10を加圧する。このため、内部絶縁構造の圧力検出装置20について説明したのと同様の課題が生じ得る。
(Vibration control means)
In the pressure detection device A5 with a non-internal insulation structure, the conductive member A22 and the conductive member cover A231 are long members, and are similar to the pressure detection device 20 with an internal insulation structure described with reference to FIGS. , vibration with a low natural frequency may occur. The vibration generated in the conductive member A22 and the conductive member covering portion A231 is transmitted from the projecting portion A55a of the rear end electrode member A55 to the rear end electrode member A55 via the coil spring A70, and pressurizes the piezoelectric element A10. Vibrations generated in the conductive member A22 and the conductive member covering portion A231 are transmitted to the rear end electrode member A55 via the support member A65 and the insulating ring A60, and pressurize the piezoelectric element A10. Therefore, problems similar to those described for the pressure detection device 20 having an internal insulation structure may arise.

そこで、第2筐体部A32に対してかしめ部Pを設け、伝導部材A22および伝導部材被覆部A231の固有振動数を制御した。図5および図6に示したように、かしめ部Pは、伝導部材被覆部A231の第1凸部A251に対応する位置に設けられる。そして、かしめ部Pの形成により変形した第2筐体部A32が、第2筐体部A32の内周面に接する第1凸部A251を介して伝導部材被覆部A231および伝導部材A22を押さえて固定する。これにより、かしめ部Pが形成された位置において伝導部材被覆部A231および伝導部材A22の振動が抑えられると共に、かしめ部Pの先端側および後端側の振動数が高くなる。なお、伝導部材A22および伝導部材被覆部A231の固有振動数は、第1凸部A251および第2凸部A252が第2筐体部A32の内周面に当接することで所望の振動数に制御できるが、伝導部材被覆部A231が樹脂で成形されている場合は、圧力検出装置20の利用環境温度が高温のときに伝導部材被覆部A231が軟化し、振動の抑制効果が低減する懸念がある。しかし、伝導部材A22に第2筐体部A32の外側から圧力を印加したかしめ部Pを設けることで、伝導部材A22および伝導部材被覆部A231の固有振動数を所望の振動数に制御すると共に確実に振動を抑制することができる。 Therefore, a crimped portion P is provided on the second housing portion A32 to control the natural frequencies of the conductive member A22 and the conductive member covering portion A231. As shown in FIGS. 5 and 6, the crimped portion P is provided at a position corresponding to the first convex portion A251 of the conductive member covering portion A231. Then, the second housing portion A32 deformed by the formation of the crimped portion P presses the conductive member covering portion A231 and the conductive member A22 via the first convex portion A251 that contacts the inner peripheral surface of the second housing portion A32. fixed. As a result, the vibration of the conductive member covering portion A231 and the conductive member A22 is suppressed at the position where the crimped portion P is formed, and the vibration frequencies of the front end side and the rear end side of the crimped portion P are increased. The natural frequency of the conductive member A22 and the conductive member covering portion A231 is controlled to a desired frequency by abutting the first convex portion A251 and the second convex portion A252 against the inner peripheral surface of the second casing portion A32. However, if the conductive member covering portion A231 is made of resin, the conductive member covering portion A231 may soften when the operating environment temperature of the pressure detection device 20 is high, and the vibration suppressing effect may be reduced. . However, by providing the conductive member A22 with the crimped portion P to which pressure is applied from the outside of the second housing portion A32, the natural frequency of the conductive member A22 and the conductive member covering portion A231 can be controlled to a desired frequency and reliably. vibration can be suppressed.

なお、ここでは、かしめ部Pを、第2筐体部A32において、伝導部材被覆部A231の第1凸部A251に対応する位置に設けることとした。これに対し、第2筐体部A32と伝導部材被覆部A231との間に、伝導部材被覆部A231を押さえる充填部材の一例としての部材を介在させ、この部材に対応する位置にかしめ部Pを設けても良い。充填部材としては、先の実施形態における押さえ部材551と同様に全体が円筒を呈する部材やアルミナ粉末、ジルコニア粉末を適用することもできる。また、かしめ部Pは、第2筐体部A32の中心線方向に沿って複数個所に設けても良い。 Here, the crimped portion P is provided in the second housing portion A32 at a position corresponding to the first convex portion A251 of the conductive member covering portion A231. On the other hand, a member as an example of a filling member that presses the conductive member covering portion A231 is interposed between the second housing portion A32 and the conductive member covering portion A231, and the caulking portion P is provided at a position corresponding to this member. You can set it. As the filling member, a member having a cylindrical shape as a whole, alumina powder, or zirconia powder can be applied as in the case of the pressing member 551 in the previous embodiment. Also, the crimped portion P may be provided at a plurality of locations along the center line direction of the second housing portion A32.

かしめ部Pは、必ずしも第2筐体部A32の全周にわたって設けなくても良く、いわゆる三点かしめや四点かしめによって形成しても良い。ただし、中心線方向と交差する特定の方向からの圧力に偏り、第2筐体部A32が中心線方向に対して曲がるように変形することを避ける必要がある。 The crimped portion P does not necessarily have to be provided over the entire circumference of the second housing portion A32, and may be formed by so-called three-point crimping or four-point crimping. However, it is necessary to avoid deforming the second housing part A32 so as to bend with respect to the centerline direction due to biased pressure from a specific direction that intersects the centerline direction.

[その他]
以上、本実施の形態について説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態には限定されない。例えば、本実施の形態では、内部絶縁構造の圧力検出装置20において、先端外部筐体31と第1収容部材55との間に押さえ部材551を設けたが、第1収容部材55と保持部材48との間にも押さえ部材を介在させても良い。
[others]
Although the present embodiment has been described above, the technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the present embodiment, the pressing member 551 is provided between the distal end outer housing 31 and the first housing member 55 in the pressure detection device 20 having an internal insulation structure. You may interpose a holding member also between.

また、本実施の形態では、振動抑制手段として内部絶縁構造の圧力検出装置20の先端外部筐体31および非内部絶縁構造の圧力検出装置A5の第2筐体部A32にかしめ部Pを設ける構成について説明したが、これに限られるものではない。振動抑制手段は、圧力検出装置20、A5における固有振動数が検出対象の特定の振動数に近くならないように制御できれば良い。例えば、圧力検出装置20における先端外部筐体31と第1収容部材55との間の空間や、圧力検出装置A5における第2筐体部A32と伝導部材被覆部A231との間の空間に、樹脂やゴム等の部品を詰めたり、部分的に接着剤を充填して部材を固定したりしても良い。このような部品の配置や接着剤により、第1収容部材55や伝導部材被覆部A231の動きを妨げることにより、これらの部材の振動を変化させ、固有振動数が検出対象の特定の振動数に近くなることを回避し得る。その他、本発明の技術思想の範囲から逸脱しない様々な変更や構成の代替は、本発明に含まれる。 In addition, in the present embodiment, as vibration suppressing means, a crimped portion P is provided in the distal end external housing 31 of the pressure detection device 20 having an internal insulation structure and the second housing portion A32 of the pressure detection device A5 having a non-internal insulation structure. has been described, but it is not limited to this. The vibration suppressing means only needs to be able to control the natural frequency of the pressure detection device 20 and A5 so as not to approach the specific frequency to be detected. For example, resin The member may be fixed by filling it with parts such as , rubber, etc., or partially filling it with an adhesive. By preventing the movement of the first housing member 55 and the conductive member covering portion A231 by such arrangement of parts and the adhesive, the vibration of these members is changed, and the natural frequency becomes the specific frequency to be detected. You can avoid getting too close. In addition, the present invention includes various modifications and alternative configurations that do not depart from the scope of the technical idea of the present invention.

1…圧力検出システム、10…内燃機関、11…シリンダブロック、12…ピストン、13…シリンダヘッド、13a…連通孔、20…圧力検出装置、30…筐体部、31…先端外部筐体、41…圧電素子、44…後端電極部材、45…後端絶縁部材、46…第1コイルバネ、47…伝導部材、48…保持部材、53…支持部材、54…第2コイルバネ、55…第1収容部材、551…押さえ部材、A5…圧力検出装置、A10…圧電素子、A22…伝導部材、A30…筐体部、A31…第1筐体部、A32…第2筐体部、A50…先端電極部材、A55…後端電極部材、A60…絶縁リング、A65…支持部材、A70…コイルバネ、A231…伝導部材被覆部、A251…第1凸部、P…かしめ部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Pressure detection system 10... Internal combustion engine 11... Cylinder block 12... Piston 13... Cylinder head 13a... Communication hole 20... Pressure detection device 30... Housing part 31... Tip external housing, 41 Piezoelectric element 44 Rear end electrode member 45 Rear end insulating member 46 First coil spring 47 Conductive member 48 Holding member 53 Support member 54 Second coil spring 55 First housing Members 551... Pressing member A5... Pressure detecting device A10... Piezoelectric element A22... Conductive member A30... Housing part A31... First housing part A32... Second housing part A50... Tip electrode member , A55... Rear end electrode member, A60... Insulating ring, A65... Supporting member, A70... Coil spring, A231... Conducting member covering part, A251... First convex part, P... Crimping part

Claims (12)

圧力の変化を検出する検出素子と、
前記検出素子からの電気信号を伝導する伝導部材と、
前記伝導部材を内部に収容する筒状の筐体と、
前記伝導部材に前記筐体側から圧力を印加して形成され、前記伝導部材における特定の振動数による振動を抑制する振動抑制手段と、
を備えることを特徴とする、圧力検出装置。
a sensing element that senses changes in pressure;
a conducting member that conducts an electrical signal from the sensing element;
a tubular housing that accommodates the conductive member therein;
vibration suppression means formed by applying pressure to the transmission member from the housing side and suppressing vibration of the transmission member at a specific frequency;
A pressure detection device comprising:
前記振動抑制手段は、前記伝導部材の固有振動数を予め定められた振動数の範囲から外れる値に調整する手段であることを特徴とする、請求項1に記載の圧力検出装置。 2. The pressure detection device according to claim 1, wherein said vibration suppression means is means for adjusting the natural frequency of said transmission member to a value outside a predetermined frequency range. 前記筐体は、
前記伝導部材を内部に収容する筒状の第1筐体と、
前記伝導部材および前記第1筐体を内部に収容する筒状の第2筐体と、
を備えることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の圧力検出装置。
The housing is
a cylindrical first housing that accommodates the conductive member therein;
a cylindrical second housing that accommodates the conductive member and the first housing therein;
The pressure detection device according to claim 1 or 2, characterized by comprising:
前記筐体は、前記伝導部材、前記第1筐体および前記第2筐体を内部に収容する筒状の第3筐体をさらに備えることを特徴とする、請求項3に記載の圧力検出装置。 4. The pressure detection device according to claim 3, wherein the housing further includes a cylindrical third housing that accommodates the conductive member, the first housing, and the second housing therein. . 前記伝導部材と前記筐体との間の少なくとも一部に、充填剤が充填されていることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の圧力検出装置。 3. The pressure detection device according to claim 1, wherein at least a portion between said conductive member and said housing is filled with a filler. 前記振動抑制手段は、前記伝導部材および前記筐体を、軸方向の特定の位置で固定する手段であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の圧力検出装置。 3. The pressure detection device according to claim 1, wherein said vibration suppression means is means for fixing said transmission member and said housing at a specific position in the axial direction. 前記振動抑制手段は、前記筐体の外側からかしめて形成されたかしめ部であることを特徴とする、請求項6に記載の圧力検出装置。 7. The pressure detecting device according to claim 6, wherein said vibration suppressing means is a crimped portion formed by crimping said housing from outside. 圧力の変化を検出する検出素子と、
前記検出素子からの電気信号を伝導する伝導部材と、
前記伝導部材を内部に収容する筒状の筐体と、を備え、
前記筐体と前記伝導部材とをかしめたかしめ部を有することを特徴とする、圧力検出装置。
a sensing element that senses changes in pressure;
a conducting member that conducts an electrical signal from the sensing element;
a cylindrical housing that accommodates the conductive member inside,
A pressure detection device, comprising a crimped portion for crimping the housing and the conductive member.
前記かしめ部における前記筐体と前記伝導部材との間に絶縁性を有する部材を介在させ、前記筐体と前記伝導部材とが絶縁されたことを特徴とする、請求項8に記載の圧力検出装置。 9. The pressure detection according to claim 8, wherein an insulating member is interposed between the casing and the conducting member in the crimped portion to insulate the casing and the conducting member. Device. 前記かしめ部は、前記筐体および前記伝導部材の軸方向の特定の位置に、当該軸に略直交する断面の中心方向へ向かう力により形成され、前記断面の複数方向から前記筐体および前記伝導部材がかしめられたことを特徴とする、請求項8に記載の圧力検出装置。 The crimped portion is formed at a specific position in the axial direction of the housing and the transmission member by a force directed toward the center of a cross section substantially orthogonal to the axis, and the housing and the conduction member are formed from a plurality of directions of the cross section. 9. The pressure sensing device according to claim 8, wherein the members are crimped. 前記筐体は、
前記伝導部材を内部に収容する筒状の第1筐体と、
前記伝導部材および前記第1筐体を内部に収容する筒状の第2筐体と、
を備えることを特徴とする、請求項8に記載の圧力検出装置。
The housing is
a cylindrical first housing that accommodates the conductive member therein;
a cylindrical second housing that accommodates the conductive member and the first housing therein;
9. The pressure detection device according to claim 8, comprising:
前記筐体は、前記伝導部材、前記第1筐体および前記第2筐体を内部に収容する筒状の第3筐体をさらに備えることを特徴とする、請求項11に記載の圧力検出装置。 12. The pressure detection device according to claim 11, wherein the housing further comprises a cylindrical third housing that accommodates the conductive member, the first housing and the second housing therein. .
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