JP6252052B2 - 研磨方法、半導体装置の製造方法、及び研磨終点検出プログラム - Google Patents
研磨方法、半導体装置の製造方法、及び研磨終点検出プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6252052B2 JP6252052B2 JP2013186332A JP2013186332A JP6252052B2 JP 6252052 B2 JP6252052 B2 JP 6252052B2 JP 2013186332 A JP2013186332 A JP 2013186332A JP 2013186332 A JP2013186332 A JP 2013186332A JP 6252052 B2 JP6252052 B2 JP 6252052B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- maximum value
- end point
- electrical signals
- smoothing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
研磨テーブルの上の研磨対象物の膜厚をモニタして前記膜厚に応じた前記研磨テーブルの回転する周期ごとに得られる複数の電気信号を取得し、
第1の一定時間ごとに前記複数の電気信号の最大値を抽出し、
前記第1の一定時間よりも長い第2の一定時間ごとに前記最大値を平滑化し、
前記最大値を平滑化した後の波形で前記電気信号の変化の割合が一定値以下になる時点を研磨終点として検出する
ことを特徴とする。
<第1実施形態>
図3は、第1実施形態の研磨終点検出のフローチャート、図4は、第1実施形態の研磨制御を説明する図である。第1実施形態では、研磨終点検出をレーザ光による膜厚検出に適用する。
<第2実施形態>
図10は、第2実施形態の研磨終点検出のフローチャート、図11は、第2実施形態の研磨制御を説明する図である。第2実施形態では、研磨終点検出法を渦電流による膜厚検出に適用する。
(付記1)
研磨対象物の膜厚をモニタして前記膜厚に応じた電気信号を取得し、
第1の一定時間ごとに前記電気信号の最大値を抽出し、
第2の一定時間ごとに前記最大値を平滑化し、
前記平滑化後の波形で前記電気信号の変化の割合が一定値以下になる時点を研磨終点として検出する、
ことを特徴とする研磨方法。
(付記2)
前記研磨対象物に光を照射して前記研磨対象物からの反射光をモニタし、
前記反射光を電圧信号に変換して前記電気信号を取得する、
ことを特徴とする付記1に記載の研磨方法。
(付記3)
前記研磨対象物に磁力線を照射し、
前記研磨対象物に発生する渦電流を検出して前記電気信号を取得する、
ことを特徴とする付記1に記載の研磨方法。
(付記4)
前記第1の一定時間は1〜3秒であることを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
(付記5)
前記第2の一定時間は3〜10秒であることを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載の研磨方法。
(付記6)
半導体ウェーハ上の金属膜を研磨し、
前記金属膜の膜厚をモニタして前記膜厚に応じた電気信号を取得し、
第1の一定時間ごとに前記電気信号の最大値を抽出し、
第2の一定時間ごとに前記最大値を平滑化し、
前記平滑化後の前記電気信号の変化の割合が一定値以下になる時点で、前記研磨を終了する、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記7)
前記金属膜に光を照射して前記金属膜からの反射光をモニタし、
前記反射光を電圧信号に変換して前記電気信号を取得する、
ことを特徴とする付記6に記載の半導体装置の製造方法。
(付記8)
前記金属膜に磁力線を照射し、
前記金属膜に発生する渦電流を検出して前記電気信号を取得する、
ことを特徴とする付記6に記載の半導体装置の製造方法。
(付記9)
研磨装置のモニタ部から研磨対象物の膜厚を表わす電気信号を取得し、
第1の一定時間ごとに前記電気信号の最大値を抽出し、
第2の一定時間ごとに前記最大値を平滑化処理し、
前記平滑化後の前記電気信号の変化の割合が一定値以下になる時点を研磨終点として検出する、
ことを特徴とする研磨終点検出プログラム。
13、23 研磨テーブル
14 レーザ窓
20A、20B 研磨制御部
21 モニタ(電圧信号生成部)
22 演算処理部
24 渦電流モニタ
Claims (5)
- 研磨テーブルの上の研磨対象物の膜厚をモニタして前記膜厚に応じた前記研磨テーブルの回転する周期ごとに得られる複数の電気信号を取得し、
第1の一定時間ごとに前記複数の電気信号の最大値を抽出し、
前記第1の一定時間よりも長い第2の一定時間ごとに前記最大値を平滑化し、
前記最大値を平滑化した後の波形で前記電気信号の変化の割合が一定値以下になる時点を研磨終点として検出する
ことを特徴とする研磨方法。 - 前記研磨対象物に光を照射して前記研磨対象物からの反射光をモニタし、
前記反射光を電圧信号に変換して前記複数の電気信号の1つを取得する、
ことを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。 - 前記研磨対象物に磁力線を照射し、
前記研磨対象物に発生する渦電流を検出して前記複数の電気信号の1つを取得する、
ことを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。 - 研磨テーブルの上の半導体ウェーハ上の金属膜を研磨し、
前記金属膜の膜厚をモニタして前記膜厚に応じた前記研磨テーブルの回転する周期ごとに得られる複数の電気信号を取得し、
第1の一定時間ごとに前記複数の電気信号の最大値を抽出し、
前記第1の一定時間よりも長い第2の一定時間ごとに前記最大値を平滑化し、
前記最大値を平滑化した後の波形で前記電気信号の変化の割合が一定値以下になる時点で、前記研磨を終了する、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 研磨装置のモニタ部から研磨テーブルの上の研磨対象物の膜厚を表わす前記研磨テーブルの回転する周期ごとに得られる複数の電気信号を取得し、
第1の一定時間ごとに前記複数の電気信号の最大値を抽出し、
前記第1の一定時間よりも長い第2の一定時間ごとに前記最大値を平滑化し、
前記最大値を平滑化した後の前記電気信号の変化の割合が一定値以下になる時点を研磨終点として検出する、
ことを特徴とする研磨終点検出プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013186332A JP6252052B2 (ja) | 2013-09-09 | 2013-09-09 | 研磨方法、半導体装置の製造方法、及び研磨終点検出プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013186332A JP6252052B2 (ja) | 2013-09-09 | 2013-09-09 | 研磨方法、半導体装置の製造方法、及び研磨終点検出プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015053438A JP2015053438A (ja) | 2015-03-19 |
JP6252052B2 true JP6252052B2 (ja) | 2017-12-27 |
Family
ID=52702229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013186332A Expired - Fee Related JP6252052B2 (ja) | 2013-09-09 | 2013-09-09 | 研磨方法、半導体装置の製造方法、及び研磨終点検出プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6252052B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101870701B1 (ko) | 2016-08-01 | 2018-06-25 | 에스케이실트론 주식회사 | 폴리싱 측정 장치 및 그의 연마 시간 제어 방법, 및 그를 포함한 폴리싱 제어 시스템 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6309276B1 (en) * | 2000-02-01 | 2001-10-30 | Applied Materials, Inc. | Endpoint monitoring with polishing rate change |
JP2001225262A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-21 | Nikon Corp | 研磨状態測定装置及び測定方法 |
JP3865637B2 (ja) * | 2002-01-15 | 2007-01-10 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体デバイスの製造方法 |
US6991514B1 (en) * | 2003-02-21 | 2006-01-31 | Verity Instruments, Inc. | Optical closed-loop control system for a CMP apparatus and method of manufacture thereof |
JP2007331108A (ja) * | 2007-08-20 | 2007-12-27 | Ebara Corp | 基板研磨装置および基板研磨方法 |
-
2013
- 2013-09-09 JP JP2013186332A patent/JP6252052B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015053438A (ja) | 2015-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4790475B2 (ja) | 研磨装置、研磨方法、および基板の膜厚測定プログラム | |
US6774030B2 (en) | Method and system for improving the manufacturing of metal damascene structures | |
KR102346061B1 (ko) | 전도성 트렌치 깊이의 유도성 모니터링을 위한 기판 피처들 | |
US10741459B2 (en) | Inductive monitoring of conductive loops | |
TW491753B (en) | In-situ method and apparatus for end point detection in chemical mechanical polishing | |
KR101619374B1 (ko) | 다중 스펙트럼들을 이용한 화학 기계적 연마에서의 종료점 검출 | |
KR20110099651A (ko) | 연마 감시 방법, 연마 방법, 연마 감시 장치, 및 연마 장치 | |
JP2017108171A (ja) | 研磨方法 | |
KR102368644B1 (ko) | 엔드포인트 검출을 위한 연속적인 피처 트래킹 | |
JP2013222856A (ja) | 研磨装置および研磨方法 | |
JP2013529860A (ja) | 選択性変化により異なった層間のインターフェースを検出することによる化学機械研磨中の終点制御 | |
JP6252052B2 (ja) | 研磨方法、半導体装置の製造方法、及び研磨終点検出プログラム | |
KR101909777B1 (ko) | 인-시튜 프로세스 제어를 위한 피드포워드 및 피드백 기법 | |
JP2009028856A (ja) | トルク変化を利用した研磨終端時点検知方法及びその装置 | |
US8152595B2 (en) | System and method for optical endpoint detection during CMP by using an across-substrate signal | |
JP2017521866A5 (ja) | ||
JP6443520B1 (ja) | 半導体ウェーハの評価方法および該方法を用いた半導体ウェーハの製造方法 | |
JP2009283868A (ja) | 研磨終点検出方法 | |
US7690966B1 (en) | Method and apparatus for detecting planarization of metal films prior to clearing | |
CN109791881B (zh) | 具有补偿滤波的端点检测 | |
US6896588B2 (en) | Chemical mechanical polishing optical endpoint detection | |
KR100638975B1 (ko) | 화학적 기계적 평탄화에서의 엔드포인트 검출 방법 | |
TWI270135B (en) | Chemical mechanical polishing process and method for improving accuracy of detecting polishing end-point for chemical mechanical polishing process | |
Specht et al. | Correlation of non-visual defects at post copper CMP to yield critical physical defects at next metallization layer | |
JP2014103344A (ja) | 研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160530 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170321 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171031 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171113 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6252052 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |