JP6237623B2 - Glass film laminate - Google Patents

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Description

本発明は、厚みが200μm以下の可撓性を有するガラスフィルムと、当該ガラスフィルムを支持する支持ガラスとを重ね合わせたガラスフィルム積層体に関する。   The present invention relates to a glass film laminate in which a flexible glass film having a thickness of 200 μm or less and a supporting glass that supports the glass film are superimposed.

周知のように、液晶パネルは、薄膜トランジスタや透明電極がパターン形成されたTFT基板と、BM、RGB、フォトスペーサがパターン形成されたカラーフィルター基板との二枚のガラス基板を備えている。両基板は、これらの周縁部に沿って塗布されたシール材を挟んで貼り合わされており、基板間においてシール材で囲まれる領域には、液晶材料が封入されている。   As is well known, the liquid crystal panel includes two glass substrates: a TFT substrate on which a thin film transistor and a transparent electrode are patterned, and a color filter substrate on which BM, RGB, and photo spacers are patterned. Both substrates are bonded to each other with a sealing material applied along these peripheral portions, and a liquid crystal material is sealed in a region surrounded by the sealing material between the substrates.

ここで、基板間の間隔であるセルギャップは、所定の寸法で均一に保持されることが要求される。しかしながら、基板中に泡や異物が混入している場合には、基板の表面に凸状に膨らんだ突起が形成され、セルギャップが局所的に不均一な状態となる。この突起の突出寸法は、その許容値が概ね0.3μm未満とされており、これを超えると、液晶パネルを点灯した際に、画像にシミや黒点等の表示ムラが発生してしまう。また、ガラスの表面に、ガラス粉等の異物が付着して突起が形成された場合には、ガラス基板の表面に回路を形成すること事態が困難となり、不良となる。そのため、許容値を超える突起が形成された不良な基板は、製品用のガラス基板として採用することができない。   Here, the cell gap, which is the distance between the substrates, is required to be maintained uniformly with a predetermined dimension. However, when bubbles or foreign substances are mixed in the substrate, protrusions bulging in a convex shape are formed on the surface of the substrate, and the cell gap is locally uneven. An allowable value of the protrusion dimension of the protrusion is generally less than 0.3 μm, and if it exceeds this, display unevenness such as a spot or a black spot occurs in the image when the liquid crystal panel is turned on. In addition, when a foreign substance such as glass powder adheres to the surface of the glass to form a protrusion, it becomes difficult to form a circuit on the surface of the glass substrate, resulting in a failure. Therefore, a defective substrate on which a protrusion exceeding the allowable value is formed cannot be used as a glass substrate for a product.

そこで、この不良な基板を、製品用のガラス基板としてではなく、ガラスフィルム積層体の支持ガラスとして利用することが検討されている。ガラスフィルム積層体は、薄肉化(例えば、板厚が200μm)された可撓性を有するガラスフィルムと、これを支持する支持ガラスとの各々について、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さRaを2.0nm以下とし、両合わせ面を面接触させることで、ガラスフィルムと支持ガラスとを重ね合わせたものである(特許文献1を参照)。   Then, utilization of this defective substrate not as a glass substrate for products but as a supporting glass for a glass film laminate has been studied. The glass film laminate is formed of a mating surface, which is a surface on the side in contact with each other, of each of the flexible glass film having a reduced thickness (for example, a plate thickness of 200 μm) and the supporting glass that supports the glass film. The surface roughness Ra is set to 2.0 nm or less, and both the mating surfaces are brought into surface contact with each other so that the glass film and the supporting glass are superposed (see Patent Document 1).

このガラスフィルム積層体によれば、支持ガラスと重ね合わせたことで、ガラスフィルムの撓みやすい性質が一時的に排除されると共に、両ガラスが適度に密着し、一体なものとして振舞うようになる。このため、板ガラス製品の製造工程におけるガラスフィルムの取り扱いが極めて簡便となる。さらに、両ガラスを密着させるために接着剤等の結合剤を使用する必要がなく、所望のタイミングでガラスフィルムと支持ガラスとを容易に剥離させることが可能である。   According to this glass film laminate, by overlapping with the supporting glass, the pliable property of the glass film is temporarily eliminated, and both the glasses are appropriately adhered and behave as an integral one. For this reason, the handling of the glass film in the manufacturing process of a plate glass product becomes very simple. Furthermore, it is not necessary to use a binder such as an adhesive to bring the two glasses into close contact with each other, and the glass film and the supporting glass can be easily peeled at a desired timing.

特開2011−183792号公報JP 2011-183792 A

ここで、不良な基板を支持ガラスとしたガラスフィルム積層体を用いて、板ガラス製品を製造する態様の一つとしては、以下のようなものが挙げられる。すなわち、液晶パネルの製造において、突起を有する不良なガラス基板を支持ガラスとしたガラスフィルム積層体を二体準備し、一方をTFT工程、他方をカラーフィルター工程に流動して、両積層体におけるガラスフィルム上に回路を形成し、それぞれTFT基板、カラーフィルター基板とする。そして、セル工程にて、シール材を塗布し、液晶材料を滴下した後、TFT基板とカラーフィルター基板とが対向するように、両積層体を貼り合せる。その後、両積層体の各々において、不良な基板を剥離させ、TFT基板とカラーフィルター基板との二枚のガラス基板のみが貼り合わされた状態とする。   Here, the following is mentioned as one of the aspects which manufacture a plate glass product using the glass film laminated body which used the bad board | substrate as support glass. That is, in the production of a liquid crystal panel, two glass film laminates using a defective glass substrate having protrusions as a supporting glass were prepared, one of which was flown into the TFT process and the other into the color filter process. Circuits are formed on the film, which are used as a TFT substrate and a color filter substrate, respectively. Then, in the cell process, after applying the sealing material and dropping the liquid crystal material, the laminates are bonded so that the TFT substrate and the color filter substrate face each other. Thereafter, in each of the laminates, the defective substrate is peeled off, and only two glass substrates of the TFT substrate and the color filter substrate are bonded.

このようにすれば、製品用としては採用できない不良な基板を、支持ガラスとして有効に活用できるものと想定された。しかしながら、このような態様によって製造された液晶パネルの一部は、不良な基板に形成された許容値を超える突起に起因して、当該基板から剥離させた後のTFT基板、或いは、カラーフィルター基板において、突起と重なっていた部位に凸部が残存してしまう場合がある。その結果、セルギャップが局所的に不均一な状態となり、完成した液晶パネルの品質の低下を招いたり、製品として使用できなくなったりする問題があった。   In this way, it was assumed that a defective substrate that could not be used as a product could be effectively used as a supporting glass. However, a part of the liquid crystal panel manufactured according to such an embodiment is a TFT substrate or a color filter substrate after being peeled from the substrate due to a protrusion exceeding an allowable value formed on a defective substrate. In this case, the convex portion may remain at the portion overlapping the protrusion. As a result, there is a problem that the cell gap is locally non-uniform, resulting in deterioration of the quality of the completed liquid crystal panel or being unusable as a product.

なお、このような問題は、液晶パネル用として不良なガラス基板を、ガラスフィルム積層体の支持ガラスとして利用する場合のみならず、許容値を超える突起が形成されていることで、各種ディスプレイ用、センサー用、カバー用等として採用できないガラス基板を、支持ガラスとして利用した場合にも、同様に発生している問題である。   In addition, such a problem is not only when using a defective glass substrate for a liquid crystal panel as a support glass of a glass film laminate, but also by forming projections exceeding an allowable value, for various displays, The same problem occurs when a glass substrate that cannot be used for sensors, covers, etc. is used as support glass.

上記事情に鑑みなされた本発明は、不良なガラス基板を支持ガラスとしたガラスフィルム積層体を用いて、液晶パネルを製造する場合に、当該液晶パネルの製造に適したガラスフィルム積層体を提供することを技術的課題とする。   This invention made | formed in view of the said situation provides the glass film laminated body suitable for manufacture of the said liquid crystal panel, when manufacturing a liquid crystal panel using the glass film laminated body which used the defective glass substrate as support glass. This is a technical issue.

上記課題を解決するために創案された本発明は、厚みが200μm以下の可撓性を有するガラスフィルムと、該ガラスフィルムを支持する支持ガラスとの各々について、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さRaを2.0nm以下とし、その両合わせ面を面接触させることで、前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとを重ね合わせたガラスフィルム積層体において、前記支持ガラスの合わせ面に突起が形成され、且つ該突起の合わせ面からの突出寸法が、0.3〜5μmであることに特徴付けられる。ここで、支持ガラスについて、「合わせ面の表面粗さRa」とは、合わせ面において、突起が形成された部位を除外して表面粗さを測定した場合におけるRaの値をいう。また、「突出寸法」とは、合わせ面に複数の突起が形成されている場合には、各突起の突出寸法のうち、最大のものをいう。   The present invention devised to solve the above problems is a surface on the side in contact with each other of a flexible glass film having a thickness of 200 μm or less and a supporting glass that supports the glass film. In a glass film laminate in which the glass film and the supporting glass are superposed by bringing the surface roughness Ra of the mating surface to 2.0 nm or less and bringing the both mating surfaces into surface contact, the mating surface of the supporting glass A protrusion is formed, and the protrusion dimension from the mating surface of the protrusion is characterized by 0.3 to 5 μm. Here, regarding the supporting glass, “surface roughness Ra of the mating surface” refers to the value of Ra when the surface roughness is measured by excluding the portion where the protrusion is formed on the mating surface. In addition, the “projection dimension” refers to the largest of the projection dimensions of each projection when a plurality of projections are formed on the mating surface.

このような構成によれば、ガラスフィルムと支持ガラスとを剥離させた際に、ガラスフィルムにおいて突起と重なっていた部位に、凸部が残存することを回避でき、当該ガラスフィルムを備えた液晶パネルについて、その品質の低下を防止することが可能であった。このような効果が得られるのは、以下のような理由によるものと想定されている。すなわち、突起が形成された支持ガラス上に、ガラスフィルムを重ね合わせた場合、突起と重なった部位には、突起自体や、突起の近傍においてガラスフィルムと支持ガラスとの間に入り込んだ気泡によって凸部が形成される。しかしながら、ガラスフィルムと支持ガラスとを剥離させた後においては、可撓性を有するガラスフィルムの表面に大気圧が均一に負荷されることにより、凸部が平坦、或いは、略平坦な状態へと復元されているものと想定される。そして、凸部をこのような状態へと復元できる条件として、突起の合わせ面からの突出寸法が、5μm以下であることが条件となっているものと考えられる。以上のことから、このガラスフィルム積層体によれば、好適に液晶パネルの製造を実施することが可能となる。   According to such a configuration, when the glass film and the supporting glass are peeled off, it is possible to avoid a convex portion remaining in a portion that overlaps the protrusion in the glass film, and a liquid crystal panel provided with the glass film It was possible to prevent the deterioration of quality. It is assumed that such an effect is obtained for the following reason. That is, when a glass film is overlaid on the supporting glass on which the protrusions are formed, the portion overlapping the protrusions is protruded by the protrusions themselves or bubbles that have entered between the glass film and the supporting glass in the vicinity of the protrusions. Part is formed. However, after the glass film and the supporting glass are peeled off, atmospheric pressure is uniformly applied to the surface of the flexible glass film, so that the convex portion becomes flat or substantially flat. It is assumed that it has been restored. As a condition for restoring the convex portion to such a state, it is considered that the projecting dimension from the mating surface of the projection is 5 μm or less. As mentioned above, according to this glass film laminated body, it becomes possible to implement suitably a liquid crystal panel.

上記の構成において、前記支持ガラスは、リサイクル使用品であることが好ましい。   In the above configuration, the support glass is preferably a recycled product.

このようにすれば、この支持ガラスをリサイクル使用する限り、液晶パネルの製造に好適なガラスフィルム積層体を、繰り返し作製することが可能となる。また、リサイクル使用することにより、製造コストの高騰を回避することができる。   If it does in this way, as long as this support glass is recycled, it becomes possible to produce repeatedly the glass film laminated body suitable for manufacture of a liquid crystal panel. Further, by using it for recycling, it is possible to avoid an increase in manufacturing cost.

以上のように、本発明に係るガラスフィルム積層体によれば、好適に液晶パネルの製造を実施することが可能となる。   As mentioned above, according to the glass film laminated body which concerns on this invention, it becomes possible to implement suitably a liquid crystal panel.

本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体を示す縦断側面図である。It is a vertical side view which shows the glass film laminated body which concerns on embodiment of this invention. 図1aにおけるA部を拡大した拡大図であって、支持ガラスに形成された突起の近傍を示す図である。It is the enlarged view which expanded the A section in FIG. 1a, Comprising: It is a figure which shows the vicinity of the processus | protrusion formed in support glass. 図1bにおけるZ1−Z1断面を示す図である。It is a figure which shows the Z1-Z1 cross section in FIG. 支持ガラスに形成された突起の近傍を示す図である。It is a figure which shows the vicinity of the processus | protrusion formed in support glass. 図2aにおけるZ2−Z2断面を示す図である。It is a figure which shows the Z2-Z2 cross section in FIG. 2a. 本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体を用いた液晶パネルの製造工程を示す縦断側面図である。It is a vertical side view which shows the manufacturing process of the liquid crystal panel using the glass film laminated body which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体を用いた液晶パネルの製造工程を示す縦断側面図である。It is a vertical side view which shows the manufacturing process of the liquid crystal panel using the glass film laminated body which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態においては、ガラスフィルム積層体の支持ガラスとして、液晶パネル用のガラス基板としては採用できない不良なガラス基板を用いている。しかしながら、後述するように、本発明に係るガラスフィルム積層体は、このような構成に限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, in embodiment described below, the defective glass substrate which cannot be employ | adopted as a glass substrate for liquid crystal panels is used as support glass of a glass film laminated body. However, as will be described later, the glass film laminate according to the present invention is not limited to such a configuration.

図1aは、本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体を示す縦断側面図である。同図に示すように、ガラスフィルム積層体1は、ガラスフィルム3と、当該ガラスフィルム3を支持する支持ガラス2との各々について、相互に接触する側の面となる合わせ面3a,2aの表面粗さRaを2.0nm以下とし、両合わせ面3a,2aを面接触させることで、支持ガラス2とガラスフィルム3とを重ね合わせたものである。なお、支持ガラス2、及びガラスフィルム3の材質としては、ソーダライムガラス、無アルカリガラス等の様々な材質のものを使用可能であるが、強度や耐久性の観点から無アルカリガラスを使用することが好ましい。   FIG. 1 a is a longitudinal side view showing a glass film laminate according to an embodiment of the present invention. As shown in the figure, the glass film laminate 1 includes the surfaces of the mating surfaces 3a and 2a that are the surfaces of the glass film 3 and the supporting glass 2 that supports the glass film 3 that are in contact with each other. The supporting glass 2 and the glass film 3 are superposed by setting the roughness Ra to 2.0 nm or less and bringing the mating surfaces 3a and 2a into surface contact. The support glass 2 and the glass film 3 can be made of various materials such as soda lime glass and alkali-free glass, but alkali-free glass is used from the viewpoint of strength and durability. Is preferred.

支持ガラス2は、図1b(図1aのA部を拡大した拡大図)、及び図1c(図1bにおけるZ1−Z1断面)に示すように、ガラスフィルム3と接触する側の面となる合わせ面2aに、当該合わせ面2aからの突出寸法Hが、0.3〜5μmである、許容値を超えた突起2bが形成されており、液晶パネル用のガラス基板としては採用できない不良なガラス基板(TFT基板、或いは、カラーフィルター基板)である。この突起2bは、支持ガラス2中に混入した気泡Bにより、合わせ面2aが凸状に膨らむことで形成されている。ここで、合わせ面2aにおける表面粗さRaは、突起2bが形成された部位を除外して、表面粗さ(算術平均粗さ)を測定した場合におけるRaの値である。また、この支持ガラス2は、リサイクル使用品となっており、ガラスフィルム積層体1の作製に繰り返し使用される。さらに、本実施形態においては、支持ガラス2として、その厚みが0.3〜0.7mmのものを使用している。   As shown in FIG. 1b (enlarged view of portion A of FIG. 1a) and FIG. 1c (Z1-Z1 cross section in FIG. 1b), the supporting glass 2 is a mating surface that becomes a surface in contact with the glass film 3 The protrusion 2b exceeding the allowable value whose protrusion dimension H from the said matching surface 2a is 0.3-5 micrometers is formed in 2a, and is a bad glass substrate (it cannot employ | adopt as a glass substrate for liquid crystal panels) TFT substrate or color filter substrate). The protrusion 2b is formed by the bulging of the mating surface 2a by the bubbles B mixed in the support glass 2. Here, the surface roughness Ra in the mating surface 2a is a value of Ra when the surface roughness (arithmetic average roughness) is measured excluding the portion where the protrusion 2b is formed. Moreover, this support glass 2 is a product for recycling, and is repeatedly used for the production of the glass film laminate 1. Further, in the present embodiment, the support glass 2 having a thickness of 0.3 to 0.7 mm is used.

また、本実施形態においては、支持ガラス2中に混入した気泡Bに起因して、突起2bが形成されているが、この他、支持ガラス2中に混入した異物や、図2a、及び図2b(図2aにおけるZ2−Z2断面)に示すように、合わせ面2aに付着した付着物8(例えば、ガラス粉等)に起因して、突起2bが形成される場合もある。さらに、図1aにおいては、説明の簡便のため、突起2bを一つのみ図示しているが、実際には、合わせ面2aに多数の突起2bが形成されるのが通常である。   Further, in the present embodiment, the protrusion 2b is formed due to the bubbles B mixed in the support glass 2, but in addition to this, foreign matters mixed in the support glass 2 and FIGS. 2a and 2b. As shown in (Z2-Z2 cross section in FIG. 2a), the protrusion 2b may be formed due to the deposit 8 (for example, glass powder or the like) attached to the mating surface 2a. Further, in FIG. 1a, only one protrusion 2b is shown for convenience of explanation, but in practice, a large number of protrusions 2b are usually formed on the mating surface 2a.

ここで、支持ガラス2の合わせ面2aについて、10cm2あたりに形成される突起2bの個数としては、二個以下であることが好ましく、一個であることが最も好ましい。また、突起2bの最大幅としては、10μm〜100μmの範囲内であることが好ましい。さらに、支持ガラス2と重ね合わせるガラスフィルム3の厚みが100μmを超える場合には、突起2bの合わせ面2aからの突出寸法Hが、0.3μm〜2.5μmの範囲内であることが好ましい。Here, regarding the mating surface 2a of the support glass 2, the number of protrusions 2b formed per 10 cm 2 is preferably 2 or less, and most preferably one. The maximum width of the protrusion 2b is preferably in the range of 10 μm to 100 μm. Furthermore, when the thickness of the glass film 3 to be overlapped with the support glass 2 exceeds 100 μm, the protrusion dimension H from the mating surface 2a of the protrusion 2b is preferably in the range of 0.3 μm to 2.5 μm.

ガラスフィルム3は、その板厚が200μm以下とされており、可撓性を有している。そして、支持ガラス2上に重ね合わされたガラスフィルム3には、(1)支持ガラス2の合わせ面2aに形成された突起2bと、(2)図1b、及び図1cに示す、突起2bの近傍において、両合わせ面2a,3aの間に入り込んだ気泡(図示省略)との、(1)、(2)双方により、凸部3bが形成されている。   The glass film 3 has a thickness of 200 μm or less and has flexibility. The glass film 3 superimposed on the supporting glass 2 includes (1) a protrusion 2b formed on the mating surface 2a of the supporting glass 2, and (2) the vicinity of the protrusion 2b shown in FIGS. 1b and 1c. , The convex portion 3b is formed by both (1) and (2) with the bubble (not shown) that has entered between the mating surfaces 2a and 3a.

ここで、ガラスフィルム積層体1において、ガラスフィルム3と支持ガラス2との各々について、相互に接触する側の面となる合わせ面3a,2aの表面粗さRaが2.0nm以下とされていることにより、両ガラス2,3の間には、適度な密着力が発生する。この密着力は、水素結合に起因して発生しているものと想定されている。また、両ガラス2,3を密着させるために接着剤等の結合剤を使用する必要がなく、所望のタイミングでガラスフィルム3と支持ガラス2とを容易に剥離させることが可能である。   Here, in the glass film laminate 1, for each of the glass film 3 and the support glass 2, the surface roughness Ra of the mating surfaces 3a and 2a that are the surfaces in contact with each other is 2.0 nm or less. Thus, an appropriate adhesion force is generated between the two glasses 2 and 3. This adhesion force is assumed to be generated due to hydrogen bonding. Further, it is not necessary to use a binder such as an adhesive in order to bring the two glasses 2 and 3 into close contact with each other, and the glass film 3 and the supporting glass 2 can be easily peeled at a desired timing.

以下、上記のガラスフィルム積層体1を用いて、液晶パネルを製造する場合の製造工程、及び作用について、添付の図面を参照して説明する。なお、以下に説明する液晶パネルの製造工程において、上記のガラスフィルム積層体1に備えられたガラスフィルム3は、TFT基板である。   Hereinafter, the manufacturing process and operation in the case of manufacturing a liquid crystal panel using the glass film laminate 1 will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, in the manufacturing process of the liquid crystal panel demonstrated below, the glass film 3 with which the said glass film laminated body 1 was equipped is a TFT substrate.

まず、上記のガラスフィルム積層体1に加えて、新たに、図3aに示すような、支持ガラス6と、ガラスフィルムとしてのカラーフィルター基板7とを重ね合わせたガラスフィルム積層体5が作製される。支持ガラス6とカラーフィルター基板7との各々は、ガラスフィルム積層体1における支持ガラス2とTFT基板3と同様に、相互に接触する側の面となる合わせ面6a,7aの表面粗さRaが、2.0nm以下とされており、支持ガラス6とカラーフィルター基板7とが適度に密着している。なお、本実施形態においては、支持ガラス6は、支持ガラス1と同様に、液晶パネルの製品用としては採用できない不良なガラス基板であり、支持ガラス6の合わせ面6aに形成された突起6bの突出寸法は、0.3〜5μmとなっている。また、この支持ガラス6は、リサイクル使用品である。   First, in addition to the glass film laminate 1 described above, a glass film laminate 5 in which a supporting glass 6 and a color filter substrate 7 as a glass film are newly laminated as shown in FIG. . Each of the support glass 6 and the color filter substrate 7 has a surface roughness Ra of the mating surfaces 6a and 7a that are the surfaces in contact with each other, like the support glass 2 and the TFT substrate 3 in the glass film laminate 1. 2.0 nm or less, and the support glass 6 and the color filter substrate 7 are in close contact with each other. In the present embodiment, the support glass 6 is a defective glass substrate that cannot be used as a product for a liquid crystal panel, like the support glass 1, and the projection 6 b formed on the mating surface 6 a of the support glass 6. The protruding dimension is 0.3 to 5 μm. The support glass 6 is a recycled product.

そして、二体のガラスフィルム積層体1,5を、TFT基板3とカラーフィルター基板7とが対向するように、シール材4(例えば、紫外線硬化樹脂)を挟んで貼り合わせる。このシール材4は、両基板3,7の周縁部に沿って塗布されており、TFT基板3とカラーフィルター基板7との間において、シール材4で囲まれる領域には、液晶材料Lが封入される。   Then, the two glass film laminates 1 and 5 are bonded together with a sealing material 4 (for example, an ultraviolet curable resin) interposed therebetween so that the TFT substrate 3 and the color filter substrate 7 face each other. The sealing material 4 is applied along the peripheral edges of both the substrates 3 and 7, and a liquid crystal material L is enclosed between the TFT substrate 3 and the color filter substrate 7 in a region surrounded by the sealing material 4. Is done.

このとき、ガラスフィルム積層体1におけるTFT基板3には、支持ガラス2(不良なガラス基板)の合わせ面2aに形成された突起2bに起因して、凸部3bが形成されている。同様に、ガラスフィルム積層体5におけるカラーフィルター基板7にも、支持ガラス6(不良な基板)の合わせ面6aに形成された突起6bに起因して、凸部7bが形成されている。これらのことから、TFT基板3とカラーフィルター基板7との間隔であるセルギャップSは、局所的に不均一な状態となっている。   At this time, the TFT substrate 3 in the glass film laminate 1 is formed with a protrusion 3b due to the protrusion 2b formed on the mating surface 2a of the support glass 2 (defective glass substrate). Similarly, the color filter substrate 7 in the glass film laminate 5 is also formed with a convex portion 7b due to the protrusion 6b formed on the mating surface 6a of the support glass 6 (defective substrate). For these reasons, the cell gap S, which is the distance between the TFT substrate 3 and the color filter substrate 7, is locally uneven.

しかしながら、図3bに示すように、二体のガラスフィルム積層体1,5の各々において、支持ガラス2,6を剥離させ、TFT基板3とカラーフィルター基板7との二枚の基板のみが貼り合わされた状態とすると、同図に二点鎖線で示すように、凸部3b、及び凸部7bが平坦、或いは、略平坦な状態へと復元され、両基板3,7に凸部3b,7bが残存することを回避できる。   However, as shown in FIG. 3b, in each of the two glass film laminates 1 and 5, the supporting glasses 2 and 6 are peeled off, and only the two substrates of the TFT substrate 3 and the color filter substrate 7 are bonded together. In this state, as shown by a two-dot chain line in the figure, the convex portions 3b and the convex portions 7b are restored to a flat or substantially flat state, and the convex portions 3b and 7b are formed on both substrates 3 and 7. It can avoid remaining.

このような効果が得られるのは、以下のような理由によるものと想定されている。すなわち、両基板3,7と支持ガラス2,6とを剥離させた後においては、可撓性を有するガラスフィルムである両基板3,7の表面に、大気圧Pが均一に負荷され、凸部3b,7bが変形するためと想定される。そして、凸部3b,7bをこのような状態へと復元できる条件として、突起2b,6bの合わせ面2a,6aからの突出寸法Hが、5μm以下であることが条件となっているものと考えられる。   It is assumed that such an effect is obtained for the following reason. That is, after the substrates 3 and 7 and the supporting glasses 2 and 6 are peeled off, the atmospheric pressure P is uniformly applied to the surfaces of both the substrates 3 and 7 which are flexible glass films, and the projections are convex. It is assumed that the parts 3b and 7b are deformed. As a condition for restoring the protrusions 3b and 7b to such a state, it is considered that the protrusion dimension H from the mating surfaces 2a and 6a of the protrusions 2b and 6b is 5 μm or less. It is done.

以上のことから、ガラスフィルム積層体1,5を用いて、液晶パネルを製造した場合には、完成した液晶パネルを点灯した際に、画像にシミや黒点等の表示ムラが発生することが回避され、当該液晶パネルの品質の低下を防止することができるため、好適に液晶パネルの製造を実施することが可能となる。   From the above, when a liquid crystal panel is manufactured using the glass film laminates 1 and 5, it is avoided that display unevenness such as a spot or a black spot occurs in an image when the completed liquid crystal panel is turned on. In addition, since the deterioration of the quality of the liquid crystal panel can be prevented, the liquid crystal panel can be preferably manufactured.

なお、突起2bがガラス粉の付着によって形成されている場合には、突起2bの先端(頂部)が尖った形状となりやすいことから、突起2bとTFT基板3とが点接触した状態になりやすい。また、合わせ面2aについて、10cm2あたりに形成された突起2bの個数が、二個以下である場合には、TFT基板3に形成される凸部3bの数が少なく抑制される。さらに、突起2bの最大幅が10μm〜100μmの範囲内である場合には、突起2bとTFT基板3との接触面積が十分に小さくなる。そのため、これらの場合には、支持ガラス2から剥離させた後のTFT基板3において、凸部3bの残存をさらに好適に防止することが可能である。When the protrusion 2b is formed by adhesion of glass powder, the tip (top) of the protrusion 2b tends to have a sharp shape, and the protrusion 2b and the TFT substrate 3 are likely to be in point contact. On the other hand, when the number of protrusions 2b formed per 10 cm 2 on the mating surface 2a is two or less, the number of protrusions 3b formed on the TFT substrate 3 is reduced. Furthermore, when the maximum width of the protrusion 2b is in the range of 10 μm to 100 μm, the contact area between the protrusion 2b and the TFT substrate 3 is sufficiently small. Therefore, in these cases, it is possible to more suitably prevent the protrusions 3b from remaining in the TFT substrate 3 after being peeled from the support glass 2.

また、ガラスフィルム3の厚みと、突起2bの合わせ面2aからの突出寸法Hとの関係について、上述のように、ガラスフィルム3の厚みが100μmを超える場合に、突出寸法Hが0.3μm〜2.5μmの範囲内であれば、凸部3bの残存をより効果的に回避することができる。ガラスフィルム3の厚みが100μmを超える場合、支持ガラス2から剥離させた後のTFT基板3において凸部3bが残存するおそれがある。そのため、ガラスフィルム3の厚みが100μm以下である場合と比較して、突出寸法Hが小さいものを支持ガラス2として採用し、突起2bと重なった凸部3bの突出を小さく抑制しておくことが好ましい。   In addition, regarding the relationship between the thickness of the glass film 3 and the protruding dimension H from the mating surface 2a of the protrusion 2b, as described above, when the thickness of the glass film 3 exceeds 100 μm, the protruding dimension H is 0.3 μm to If it is in the range of 2.5 μm, it is possible to more effectively avoid the remaining protrusions 3b. When the thickness of the glass film 3 exceeds 100 micrometers, there exists a possibility that the convex part 3b may remain in the TFT substrate 3 after making it peel from the support glass 2. FIG. Therefore, compared with the case where the thickness of the glass film 3 is 100 μm or less, a glass having a small protrusion dimension H is adopted as the support glass 2 and the protrusion of the protrusion 3b overlapping the protrusion 2b is suppressed to be small. preferable.

また、支持ガラス2,6(不良なガラス基板)が、リサイクル使用品であるため、これらの支持ガラス2,6をリサイクル使用する限り、液晶パネルの製造に好適なガラスフィルム積層体1,5を、繰り返し作製することが可能となる。また、リサイクル使用することにより、製造コストの高騰を回避することもできる。   Further, since the supporting glasses 2 and 6 (defective glass substrates) are recycled products, as long as these supporting glasses 2 and 6 are recycled, the glass film laminates 1 and 5 suitable for manufacturing a liquid crystal panel are provided. It becomes possible to produce it repeatedly. In addition, by using it for recycling, an increase in manufacturing cost can be avoided.

ここで、本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記の実施形態で説明した構成に限定されるものではない。例えば、上記の実施形態においては、シール材を挟んで貼り合わされる二体のガラスフィルム積層体の双方に、許容値を超える突起(突出寸法が0.3〜5μm)が形成された支持ガラスを使用している。しかしながら、この限りではなく、TFT基板側のガラスフィルム積層体と、カラーフィルター基板側のガラスフィルム積層体とのいずれか一方のみに、支持ガラスとして、許容値を超える突起(ただし、合わせ面からの突出寸法が、0.3〜5μmのものに限る)が形成されたものを使用してもよい。   Here, the glass film laminated body which concerns on this invention is not limited to the structure demonstrated by said embodiment. For example, in the above embodiment, the supporting glass in which protrusions (protrusion dimensions of 0.3 to 5 μm) exceeding the allowable value are formed on both of the two glass film laminates bonded together with the sealing material interposed therebetween. I am using it. However, the present invention is not limited to this. Only one of the glass film laminate on the TFT substrate side and the glass film laminate on the color filter substrate side has a protrusion exceeding the allowable value as the supporting glass (however, from the mating surface). It is also possible to use a projection having a projection dimension of 0.3 to 5 μm.

また、上記の実施形態においては、液晶パネル用として採用できない不良なガラス基板を、支持ガラスとして用いているが、この限りではなく、突起が形成されていることで、各種ディスプレイ用、センサー用、カバー用等として採用できないガラス基板を、支持ガラスとして用いてもよい。   Further, in the above embodiment, a defective glass substrate that cannot be used for a liquid crystal panel is used as a supporting glass, but this is not a limitation, and by forming protrusions, various displays, sensors, A glass substrate that cannot be used for a cover or the like may be used as the supporting glass.

本発明の実施例として、不良なガラス基板を支持ガラスとして利用したガラスフィルム積層体を用いて、4つの条件下(実施例3つ、及び比較例1つ)で、上記の実施形態で説明した製造工程と同様にして液晶パネルを作製すると共に、作製された液晶パネルについて、品質の良否を検証した。以下に検証の実施条件を示す。   As an example of the present invention, a glass film laminate using a defective glass substrate as a supporting glass was used and described in the above embodiment under four conditions (three examples and one comparative example). A liquid crystal panel was produced in the same manner as in the manufacturing process, and the quality of the produced liquid crystal panel was verified. The implementation conditions for verification are shown below.

各条件下で使用したガラスフィルム(本検証においては、TFT基板)、及び支持ガラス(不良なガラス基板)は、日本電気硝子株式会社製の無アルカリガラス(製品名:OA−10G)であり、そのサイズ(横寸法、縦寸法、厚み寸法)、及び支持ガラスの合わせ面に形成された突起の合わせ面からの突出寸法は、下記の表1のとおりである。   The glass film (TFT substrate in this verification) and the supporting glass (defective glass substrate) used under each condition are non-alkali glass (product name: OA-10G) manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. The size (horizontal dimension, vertical dimension, thickness dimension) and the projecting dimension of the projection formed on the mating surface of the supporting glass from the mating surface are as shown in Table 1 below.

ガラスフィルム、及び支持ガラスの合わせ面における表面粗さRaは、オーバーフローダウンドロー法によって成形したガラスを未研磨で使用するか、若しくは、研磨、及びケミカルエッチングを実施するにあたって、エッチング液の濃度、液温度、処理時間を調整することで制御した。   The surface roughness Ra on the mating surface of the glass film and the supporting glass is determined by using the concentration of the etching solution when the glass formed by the overflow down draw method is used unpolished or when polishing and chemical etching are performed. It was controlled by adjusting the temperature and processing time.

表面粗さRaの測定には、SII社製、走査型プローブ顕微鏡(NanoNaviII/S−image)を使用し、走査エリア:2000nm、走査周波数:0.95Hz、走査データ数X(横方向):256、Y(縦方向):256の条件で測定を行った。そして、支持ガラスとガラスフィルムとの各々において、中央部一点と角部一点との計二点で表面粗さRaを測定し、その平均値を表面粗さRaとした。   For the measurement of the surface roughness Ra, a scanning probe microscope (NanoNaviII / S-image) manufactured by SII was used, scanning area: 2000 nm, scanning frequency: 0.95 Hz, scanning data number X (lateral direction): 256 , Y (longitudinal direction): Measurement was performed under the condition of 256. In each of the supporting glass and the glass film, the surface roughness Ra was measured at a total of two points, that is, one point at the center and one point at the corner, and the average value was defined as the surface roughness Ra.

そして、ガラスフィルムと支持ガラスとを洗浄、乾燥させた後、上記の実施形態で説明した製造工程と同様にして、液晶パネルを4つの条件毎に100枚作製した。その後、作製された100枚の液晶パネルのうち、点灯時に表示ムラが発生した液晶パネルの枚数をカウントし、表示ムラの発生率を割り出すことにより、品質の良否を判定した。下記の表1に検証の結果を示す。   And after washing | cleaning and drying a glass film and support glass, it carried out similarly to the manufacturing process demonstrated in said embodiment, and produced 100 liquid crystal panels for every four conditions. Thereafter, out of the 100 liquid crystal panels produced, the number of liquid crystal panels in which display unevenness occurred during lighting was counted, and the quality of the display was determined by determining the occurrence rate of display unevenness. Table 1 below shows the results of the verification.

Figure 0006237623
Figure 0006237623

表1から明らかなように、比較例1では、100%の発生率で液晶パネルに表示ムラが発生した。一方、実施例1〜3では、表示ムラの発生率が20%、若しくは、0%となっており、比較例に対して、高品質な液晶パネルを作製することができた。これは、実施例1〜3では、上記の実施形態で説明したように、ガラスフィルム(TFT基板)を支持ガラス(不良なガラス基板)から剥離させた後において、突起と重なっていた部位に形成された凸部が、大気圧によって平坦、或いは、略平坦な状態へと復元しているためと想定される。また、比較例1と実施例1〜3とにおける突起の突出寸法の比較から、凸部がこのような状態へと復元する条件として、支持ガラスにおいて、突起の合わせ面からの突出寸法が、5μm以下であることが条件となっているものと考えられる。   As is apparent from Table 1, in Comparative Example 1, display unevenness occurred in the liquid crystal panel at an occurrence rate of 100%. On the other hand, in Examples 1 to 3, the rate of occurrence of display unevenness was 20% or 0%, and a high-quality liquid crystal panel could be produced compared to the comparative example. In Examples 1 to 3, as described in the above embodiment, after the glass film (TFT substrate) is peeled from the supporting glass (defective glass substrate), it is formed in a portion overlapping the protrusion. It is assumed that the raised convex portion is restored to a flat or substantially flat state by atmospheric pressure. Further, from the comparison of the protrusion dimensions of the protrusions in Comparative Example 1 and Examples 1 to 3, as a condition for the protrusions to be restored to such a state, the protrusion dimension from the mating surface of the protrusions in the support glass is 5 μm It is considered that the conditions are as follows.

以上のことから、本発明に係るガラスフィルム積層体によれば、好適に液晶パネルの製造を実施することが可能となるものと推認される。   From the above, it is presumed that according to the glass film laminate of the present invention, it is possible to suitably manufacture a liquid crystal panel.

1 ガラスフィルム積層体
2 支持ガラス(不良なガラス基板)
2a 合わせ面
2b 突起
3 ガラスフィルム(TFT基板)
3a 合わせ面
3b 凸部
4 シール材
5 ガラスフィルム積層体
6 支持ガラス
6a 合わせ面
6b 突起
7 ガラスフィルム(カラーフィルター基板)
7a 合わせ面
7b 凸部
8 付着物
S セルギャップ
H 突起の合わせ面からの突出寸法
L 液晶材料
B 気泡
P 大気圧
1 Glass film laminate 2 Support glass (defective glass substrate)
2a Matching surface 2b Protrusion 3 Glass film (TFT substrate)
3a Matching surface 3b Convex 4 Sealing material 5 Glass film laminate 6 Support glass 6a Matching surface 6b Protrusion 7 Glass film (color filter substrate)
7a Matching surface 7b Protruding part 8 Deposit S Cell gap H Projection size of projection from mating surface L Liquid crystal material B Bubble P Atmospheric pressure

Claims (1)

厚みが200μm以下の可撓性を有するガラスフィルムと、該ガラスフィルムを支持する支持ガラスとの各々について、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さRaを2.0nm以下とし、その両合わせ面を面接触させることで、前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとを重ね合わせたガラスフィルム積層体において、
前記支持ガラスの合わせ面に突起が形成され、且つ該突起の合わせ面からの突出寸法が、0.3〜5μmであり、且つ合わせ面10cm あたりに形成される該突起の個数が二個以下であることを特徴とするガラスフィルム積層体。
For each of the flexible glass film having a thickness of 200 μm or less and the supporting glass that supports the glass film, the surface roughness Ra of the mating surface that is the surface in contact with each other is 2.0 nm or less, In the glass film laminate in which the glass film and the support glass are overlapped by bringing the two mating surfaces into surface contact,
Wherein the projection on the mating surface of the supporting glass formed and projecting the projecting distance from the mating surface of the electromotive force, 0.3 to 5 m der is, projecting the number of force is two to be formed per mating surface 10 cm 2 and The glass film laminated body characterized by the following .
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