JP6234802B2 - Laminate - Google Patents

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孝之 間山
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雄二 石川
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本発明は、積層体に関する。   The present invention relates to a laminate.

フレキシブル配線板(FPC基板)等に用いられる金属張積層体として、例えば、ポリイミドやポリエチレンテレフタレート等の絶縁性を有する樹脂製のベースフィルム上に、導電性を有する金属箔を積層したものが用いられている。このようなベースフィルム上に金属箔を積層させる手法としては、エポキシ系接着剤やアクリル系接着剤によってベースフィルムと金属箔を接着する手法が挙げられる。また、ベースフィルムと金属箔との接着強度を向上させる方法の一つとして、エポキシ系接着剤やアクリル系接着剤にシランカップリング剤を添加する手法、金属箔の表面を粗化処理する手法等が挙げられる。   As a metal-clad laminate used for a flexible wiring board (FPC board) or the like, for example, a laminate of a conductive metal foil on an insulating resin base film such as polyimide or polyethylene terephthalate is used. ing. As a method of laminating a metal foil on such a base film, a method of adhering the base film and the metal foil with an epoxy adhesive or an acrylic adhesive can be mentioned. In addition, as one of the methods for improving the adhesive strength between the base film and the metal foil, a method of adding a silane coupling agent to an epoxy adhesive or an acrylic adhesive, a method of roughening the surface of the metal foil, etc. Is mentioned.

また、湿式めっきによってベースフィルム上に金属を積層させる手法により金属張積層体を作製する方法がある。例えば、特許文献1には、ポリマー製基板上に金属めっき膜を形成する方法として、アジド基やトリアジン環を有する化合物を用いる技術が開示されている。   There is also a method for producing a metal-clad laminate by a technique of laminating a metal on a base film by wet plating. For example, Patent Document 1 discloses a technique using a compound having an azide group or a triazine ring as a method for forming a metal plating film on a polymer substrate.

特許4936344号公報Japanese Patent No. 4936344

しかしながら、エポキシ系接着剤やアクリル系接着剤等によってベースフィルムと金属箔を接着する手法では、シランカップリング剤を接着剤に添加することで接着力を向上させることはできるが、より十分な接着力を確保するために接着剤の層(接着層)を厚くする必要がある。そうすると、接着剤とベースフィルムや金属箔との熱膨張率の差が大きいため、金属箔をエッチングした際に積層体がカールし、寸法安定性が悪いという問題がある。また、接着層が厚いため、はんだ接続や異方性導電フィルム等を用いたACF接続をするための熱圧着時に、回路が沈み込む等といった変形が生じ易いといった問題もある。   However, in the technique of bonding the base film and the metal foil with an epoxy adhesive or an acrylic adhesive, the adhesive strength can be improved by adding a silane coupling agent to the adhesive, but more sufficient adhesion can be achieved. In order to secure the force, it is necessary to increase the thickness of the adhesive layer (adhesive layer). Then, since the difference in coefficient of thermal expansion between the adhesive and the base film or the metal foil is large, there is a problem that the laminate is curled when the metal foil is etched and the dimensional stability is poor. In addition, since the adhesive layer is thick, there is a problem that deformation such as a circuit is likely to occur during thermocompression bonding for solder connection or ACF connection using an anisotropic conductive film or the like.

より接着力を増すために金属箔の表面に粗化処理を施す場合、このような金属箔を用いた積層体をFPC基板等の精密電子部品等に用いると、電気的特性に悪影響を与えるという問題がある。このような場合、高い接着力を得るために粗化処理を施した金属箔を用いなければならないといった点で、材料選択の制限を受けるという問題もある。かかる問題は、特に金属箔として銅箔を用いた場合やベースフィルムとしてポリイミドフィルムを用いた場合等に顕著になる。   When roughening the surface of the metal foil in order to increase the adhesive strength, if a laminate using such a metal foil is used for precision electronic parts such as an FPC board, the electrical characteristics are adversely affected. There's a problem. In such a case, there is also a problem that material selection is restricted in that a roughened metal foil must be used to obtain a high adhesive strength. Such a problem becomes prominent particularly when a copper foil is used as the metal foil or when a polyimide film is used as the base film.

また、湿式めっきによってベースフィルム上に金属を積層させる手法は、その性質上電解金属箔と同じ組成になるといった制限を受ける。電解金属箔を用いた積層体は、圧延金属箔を用いた積層体よりも耐屈曲性に劣る。そのため、電子機器のヒンジ部等に実装されて折り曲げられた際に、部品の破断や変形が生じやすく、電子機器の電気的特性に悪影響を与えたりするという問題もある。そして、積層体上の電解金属の厚みを厚くするにはめっき時間を長くしなければならないため、生産時の歩留まりが悪く、経済性に劣るという問題もある。   Moreover, the method of laminating a metal on a base film by wet plating is limited in that it has the same composition as the electrolytic metal foil. A laminate using an electrolytic metal foil is inferior in bending resistance to a laminate using a rolled metal foil. For this reason, there is a problem that when mounted on a hinge portion or the like of an electronic device and bent, parts are easily broken or deformed, and the electrical characteristics of the electronic device are adversely affected. And, in order to increase the thickness of the electrolytic metal on the laminate, it is necessary to lengthen the plating time. Therefore, there is a problem that the yield during production is poor and the economy is inferior.

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであって、十分な接着強度を有し、接着後の表面外観にも優れ、かつ、部材の材料選択の制限が緩和できる積層体を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a laminate that has sufficient adhesive strength, is excellent in surface appearance after adhesion, and that can alleviate restrictions on member material selection. Objective.

本発明者らは、鋭意研究した結果、樹脂層と、樹脂層の表面上に形成された、特定の構造を有するシランカップリング剤を含有する接着層と、を含む積層体とすることで、少なくとも上記課題を解決できることを見出し、本発明を成すに至った。   As a result of diligent research, the inventors have made a laminate including a resin layer and an adhesive layer containing a silane coupling agent having a specific structure formed on the surface of the resin layer. It has been found that at least the above problems can be solved, and the present invention has been accomplished.

すなわち、本発明は以下のとおりである。
〔1〕
樹脂層と、
前記樹脂層の表面上に形成された、下記式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する接着層と、を含む、積層体。

(R4O)3Si−R3−N−R21 (1)

(式中、R1及びR2は、各々独立して、水素原子、炭素数1〜24の1価の炭化水素基、フェニル基、又はアミノアルキル基を表す。R3は、炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表す。R4は、各々独立して、炭素数1〜24の1価の炭化水素基を表す。)
〔2〕
前記樹脂層が積層された表面と反対の前記接着層の表面上に形成された、金属箔層又は樹脂層を、更に含む、〔1〕に記載の積層体。
〔3〕
金属箔層と、
前記金属箔層の表面上に形成された、下記式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する接着層と、を含む、積層体。

(R4O)3Si−R3−N−R21 (1)

(式中、R1及びR2は、各々独立して、水素原子、炭素数1〜24の1価の炭化水素基、フェニル基、又はアミノアルキル基を表す。R3は、炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表す。R4は、各々独立して、炭素数1〜24の1価の炭化水素基を表す。)
〔4〕
前記金属箔層が積層された表面と反対の前記接着層の表面上に形成された樹脂層を、更に含む、〔3〕に記載の積層体。
〔5〕
第1の金属箔層と、
前記第1の金属箔層の表面上に形成された第1の樹脂層と、
前記第1の樹脂層の表面上に形成された接着層と、
前記接着層の表面上に形成された第2の樹脂層と、
前記第2の樹脂層の表面上に形成された第2の金属箔層と、をこの順で含み、
前記接着層は、下記式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する、積層体。

(R4O)3Si−R3−N−R21 (1)

(式中、R1及びR2は、各々独立して、水素原子、炭素数1〜24の1価の炭化水素基、フェニル基、又はアミノアルキル基を表す。R3は、炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表す。R4は、各々独立して、炭素数1〜24の1価の炭化水素基を表す。)
〔6〕
前記式(1)のR3は、炭素数1〜3の直鎖の炭化水素基である、〔1〕〜〔5〕のいずれか一項に記載の積層体。
〔7〕
前記式(1)は、下記式(2)、式(3)、及び式(4)からなる群より選ばれるいずれか一種である、〔1〕〜〔6〕のいずれか一項に記載の積層体。

(C26O)3SiC36NH2 (2)

(CH3O)3SiC36NH2 (3)

(CH3O)SiC36NHC24NH2 (4)
〔8〕
前記樹脂層が、ポリイミド層である、〔1〕、〔2〕、及び〔4〕〜〔7〕のいずれか一項に記載の積層体。
〔9〕
前記金属箔層が、銅箔層である、〔2〕〜〔8〕のいずれか一項に記載の積層体。
That is, the present invention is as follows.
[1]
A resin layer;
A laminate comprising: an adhesive layer containing a silane coupling agent represented by the following formula (1), formed on the surface of the resin layer.

(R 4 O) 3 Si—R 3 —N—R 2 R 1 (1)

(In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, a phenyl group, or an aminoalkyl group. R 3 represents 1 to 1 carbon atoms. 6 represents a divalent hydrocarbon group of 6. Each R 4 independently represents a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms.)
[2]
The laminate according to [1], further including a metal foil layer or a resin layer formed on the surface of the adhesive layer opposite to the surface on which the resin layer is laminated.
[3]
A metal foil layer;
And an adhesive layer containing a silane coupling agent represented by the following formula (1), formed on the surface of the metal foil layer.

(R 4 O) 3 Si—R 3 —N—R 2 R 1 (1)

(In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, a phenyl group, or an aminoalkyl group. R 3 represents 1 to 1 carbon atoms. 6 represents a divalent hydrocarbon group of 6. Each R 4 independently represents a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms.)
[4]
The laminate according to [3], further including a resin layer formed on the surface of the adhesive layer opposite to the surface on which the metal foil layer is laminated.
[5]
A first metal foil layer;
A first resin layer formed on the surface of the first metal foil layer;
An adhesive layer formed on the surface of the first resin layer;
A second resin layer formed on the surface of the adhesive layer;
A second metal foil layer formed on the surface of the second resin layer in this order,
The said adhesive layer is a laminated body containing the silane coupling agent represented by following formula (1).

(R 4 O) 3 Si—R 3 —N—R 2 R 1 (1)

(In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, a phenyl group, or an aminoalkyl group. R 3 represents 1 to 1 carbon atoms. 6 represents a divalent hydrocarbon group of 6. Each R 4 independently represents a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms.)
[6]
R 3 is a hydrocarbon group having a straight chain of 1 to 3 carbon atoms, laminate according to any one of [1] to [5] of the formula (1).
[7]
The formula (1) is any one selected from the group consisting of the following formula (2), formula (3), and formula (4), according to any one of [1] to [6]. Laminated body.

(C 2 H 6 O) 3 SiC 3 H 6 NH 2 (2)

(CH 3 O) 3 SiC 3 H 6 NH 2 (3)

(CH 3 O) SiC 3 H 6 NHC 2 H 4 NH 2 (4)
[8]
The laminated body according to any one of [1], [2], and [4] to [7], wherein the resin layer is a polyimide layer.
[9]
The laminate according to any one of [2] to [8], wherein the metal foil layer is a copper foil layer.

本発明によれば、十分な接着強度を有し、接着後の表面外観にも優れ、かつ、部材の材料選択の制限を緩和できる積層体を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can provide the laminated body which has sufficient adhesive strength, is excellent also in the surface external appearance after adhesion | attachment, and can ease the restriction | limiting of the material selection of a member.

本実施形態の積層体の第1の態様の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the 1st aspect of the laminated body of this embodiment. 本実施形態の積層体の第2の態様の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the 2nd aspect of the laminated body of this embodiment. 本実施形態の積層体の第2の態様の応用例の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the application example of the 2nd aspect of the laminated body of this embodiment. 本実施形態の積層体の第3の態様の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the 3rd aspect of the laminated body of this embodiment. 本実施形態の積層体の第4の態様の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the 4th aspect of the laminated body of this embodiment. 本実施形態の積層体の第5の態様の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the 5th aspect of the laminated body of this embodiment. 本実施形態の積層体の第6の態様の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the 6th aspect of the laminated body of this embodiment. 本実施形態の積層体の第7の態様の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the 7th aspect of the laminated body of this embodiment. 実施例の引き剥がし強さの評価で用いたサンプルの上面概略図である。It is the upper surface schematic of the sample used by evaluation of the peeling strength of an Example.

以下、本発明を実施するための形態(以下、単に「本実施形態」という。)について詳細に説明する。以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨の範囲内で適宜に変形して実施できる。なお、図面中、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。また、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。更に、図面中、共通する要素については重複する説明は省略する。   Hereinafter, a mode for carrying out the present invention (hereinafter simply referred to as “the present embodiment”) will be described in detail. The following embodiments are examples for explaining the present invention, and are not intended to limit the present invention to the following contents. The present invention can be implemented with appropriate modifications within the scope of the gist thereof. In the drawings, positional relationships such as up, down, left and right are based on the positional relationships shown in the drawings unless otherwise specified. Further, the dimensional ratios in the drawings are not limited to the illustrated ratios. Furthermore, in the drawings, overlapping description of common elements is omitted.

(積層体)
図1は、本実施形態の積層体の第1の態様の概略断面図を表す。本実施形態の積層体の第1の態様は、樹脂層11と、樹脂層11の表面上に形成された、下記式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する接着層12と、を含む積層体1である。接着層12は、上述した式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する。積層体1は、接着層12を介して、他の部材と接着することができる。他の部材としては、例えば、他の金属箔や樹脂等が挙げられる。さらに、本実施形態の積層体は、フィルム(シートと呼ばれることもある。)状の樹脂層11の上に接着層12が形成された、いわゆるポリマーフィルム等の態様をとることもできる。

(R4O)3Si−R3−N−R21 (1)

(式中、R1及びR2は、各々独立して、水素原子、炭素数1〜24の1価の炭化水素基、フェニル基、又はアミノアルキル基を表す。R3は、炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表す。R4は、各々独立して、炭素数1〜24の1価の炭化水素基を表す。)
(Laminate)
FIG. 1 represents a schematic cross-sectional view of a first aspect of the laminate of the present embodiment. The first aspect of the laminate of the present embodiment includes a resin layer 11 and an adhesive layer 12 formed on the surface of the resin layer 11 and containing a silane coupling agent represented by the following formula (1); It is the laminated body 1 containing. The adhesive layer 12 contains a silane coupling agent represented by the above-described formula (1). The laminate 1 can be bonded to other members via the adhesive layer 12. Examples of other members include other metal foils and resins. Furthermore, the laminated body of this embodiment can also take the form of what is called a polymer film etc. in which the contact bonding layer 12 was formed on the resin layer 11 of a film (it may be called a sheet | seat) form.

(R 4 O) 3 Si—R 3 —N—R 2 R 1 (1)

(In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, a phenyl group, or an aminoalkyl group. R 3 represents 1 to 1 carbon atoms. 6 represents a divalent hydrocarbon group of 6. Each R 4 independently represents a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms.)

反応性の観点から、R1及びR2は、各々独立して、炭素数2又は3の直鎖の炭化水素基であることが好ましい。 From the viewpoint of reactivity, R 1 and R 2 are preferably each independently a linear hydrocarbon group having 2 or 3 carbon atoms.

1及びR2の具体例としては、例えば、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、n−ヘキシル基、i−ヘキシル基、アミノ基、アミノメチル基、アミノエチル基、フェニル基等が挙げられる。これらの中でも、反応性の観点から、水素原子、アミノ基、アミノメチル基が好ましい。また、接着力等の観点から、R1及びR2の少なくともいずれかが、水素原子であることが好ましい。 Specific examples of R 1 and R 2 include, for example, hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, n-hexyl group, i-hexyl. Group, amino group, aminomethyl group, aminoethyl group, phenyl group and the like. Among these, a hydrogen atom, an amino group, and an aminomethyl group are preferable from the viewpoint of reactivity. From the viewpoint of adhesive strength and the like, it is preferable that at least one of R 1 and R 2 is a hydrogen atom.

溶解性及び反応性の観点から、R3は、炭素数1〜3の直鎖の炭化水素基であることが好ましい。 From the viewpoints of solubility and reactivity, R 3 is preferably a linear hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms.

3の具体例としては、例えば、メチレン基、エチレン基、n−プロピレン基、i−プロピレン基、n−ブチレン基、i−ブチレン基、n−ヘキシレン基、i−ヘキシレン基、フェニル基等が挙げられる。これらの中でも、溶解性及び反応性の観点から、メチレン基、エチレン基、n−プロピレン基、i−プロピレン基、n−ブチレン基、i−ブチレン基が好ましく、メチレン基、エチレン基、n−プロピレン基、n−ブチレン基がより好ましく、エチレン基が更に好ましい。 Specific examples of R 3 include, for example, methylene group, ethylene group, n-propylene group, i-propylene group, n-butylene group, i-butylene group, n-hexylene group, i-hexylene group, phenyl group and the like. Can be mentioned. Among these, methylene group, ethylene group, n-propylene group, i-propylene group, n-butylene group, i-butylene group are preferable from the viewpoint of solubility and reactivity, and methylene group, ethylene group, n-propylene. Group and n-butylene group are more preferable, and ethylene group is still more preferable.

溶解性及び反応性の観点から、R4は、炭素数1〜4の直鎖の炭化水素基であることが好ましい。 From the viewpoint of solubility and reactivity, R 4 is preferably a linear hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.

4の具体例としては、例えば、エチル基、メチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基等が挙げられる。これらの中でも、反応性の観点から、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基が好ましい。さらに、溶解性及び反応性の観点から、エチル基、メチル基、n−プロピル基がより好ましく、n−プロピル基が更に好ましい。 Specific examples of R 4 include, for example, ethyl group, methyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group and the like. Among these, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, and an i-propyl group are preferable from the viewpoint of reactivity. Furthermore, from the viewpoint of solubility and reactivity, an ethyl group, a methyl group, and an n-propyl group are more preferable, and an n-propyl group is still more preferable.

式(1)で表されるシランカップリング剤の具体例としては、反応性の観点からアミノ基を有する、下記式(2)、式(3)、及び式(4)からなる群より選ばれるいずれか一種で表される化合物が好ましい。

(C26O)3SiC36NH2 (2)

(CH3O)3SiC36NH2 (3)

(CH3O)SiC36NHC24NH2 (4)

なお、式(2)、式(3)及び式(4)のSi原子に結合している−C36−基は、n−プロピレン基でもよいし、i−プロピレン基でもよいが、反応性の観点から、n−プロピレン基であることがより好ましい。
Specific examples of the silane coupling agent represented by the formula (1) are selected from the group consisting of the following formula (2), formula (3), and formula (4) having an amino group from the viewpoint of reactivity. The compound represented by any one is preferable.

(C 2 H 6 O) 3 SiC 3 H 6 NH 2 (2)

(CH 3 O) 3 SiC 3 H 6 NH 2 (3)

(CH 3 O) SiC 3 H 6 NHC 2 H 4 NH 2 (4)

In addition, the —C 3 H 6 — group bonded to the Si atom in the formulas (2), (3), and (4) may be an n-propylene group or an i-propylene group. From the viewpoint of properties, it is more preferably an n-propylene group.

接着層12の厚みは、特に限定されないが、1nm〜500nmであることが好ましく、1nm〜400nmであることがより好ましく、5nm〜300nmであることが更に好ましい。   The thickness of the adhesive layer 12 is not particularly limited, but is preferably 1 nm to 500 nm, more preferably 1 nm to 400 nm, and still more preferably 5 nm to 300 nm.

本実施形態では、式(1)で表されるシランカップリング剤を含むことで接着層の接着性等を発現させることができるが、当該シランカップリング剤を用いることで単分子層(若しくはそれに近い薄層)の接着層12を形成することができる。これにより、式(1)で表されるシランカップリング剤と、樹脂層表面の分子や金属箔層表面の分子との間の分子間力が効率的に相互作用を及ぼし、より強固に接着できる(但し、本実施形態の作用はこれらに限定されない。)。   In the present embodiment, the adhesiveness of the adhesive layer can be expressed by including the silane coupling agent represented by the formula (1), but by using the silane coupling agent, a monomolecular layer (or to it) A close thin layer adhesive layer 12 can be formed. Thereby, the intermolecular force between the silane coupling agent represented by the formula (1) and the molecule on the surface of the resin layer and the molecule on the surface of the metal foil layer efficiently interacts and can be bonded more firmly. (However, the operation of the present embodiment is not limited to these).

接着層12は、式(1)で表されるシランカップリング剤の他に、各種溶剤、添加剤等を更に含んでいてもよい。なお、樹脂層11の表面上に接着層12を形成する方法としては、特に限定されず、種々の方法を採用することができる。例えば、溶剤を用いて式(1)で表されるシランカップリング剤の溶液とし、これを公知の手法によって樹脂層11に塗布すること等が挙げられる。塗布手段としては、例えば、スプレー、ローラーコーター等が挙げられる。   The adhesive layer 12 may further contain various solvents, additives and the like in addition to the silane coupling agent represented by the formula (1). In addition, it does not specifically limit as a method of forming the contact bonding layer 12 on the surface of the resin layer 11, A various method is employable. For example, a solution of the silane coupling agent represented by the formula (1) using a solvent is used, and this is applied to the resin layer 11 by a known method. Examples of the application means include a spray and a roller coater.

溶剤を用いてシランカップリング剤の溶液とする場合、溶液中における式(1)で表されるシランカップリング剤の含有量は、0.01〜10質量%であることが好ましく、0.01〜5質量%であることがより好ましく、0.1〜2質量%であることが更に好ましい。シランカップリング剤の含有量を上記範囲とすることで、一層極薄な塗膜を形成することができる。   When using a solvent as the solution of the silane coupling agent, the content of the silane coupling agent represented by the formula (1) in the solution is preferably 0.01 to 10% by mass, More preferably, it is -5 mass%, and it is still more preferable that it is 0.1-2 mass%. By setting the content of the silane coupling agent in the above range, a much thinner coating film can be formed.

溶剤としては、例えば、水、アルコール(例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、セルソルブ、カルビトール等)、ケトン(例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等)、芳香族炭化水素(例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン等)、脂肪族炭化水素(例えば、ヘキサン、オクタン、デカン、ドデンカン、オクタデカン等)、エステル(例えば、酢酸エチル、プロピオン酸メチル、フタル酸メチル等)、エーテル(例えば、テトラヒドロフラン、エチルブチルエーテル、アニソール等)等が挙げられる。これらの中でも、保存安定性の観点から、水、アルコール等が好ましい。これらは1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the solvent include water, alcohol (eg, methanol, ethanol, isopropanol, ethylene glycol, propylene glycol, cellosolve, carbitol, etc.), ketone (eg, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, etc.), aromatic hydrocarbon (eg, Benzene, toluene, xylene, etc.), aliphatic hydrocarbons (eg, hexane, octane, decane, dodencan, octadecane, etc.), esters (eg, ethyl acetate, methyl propionate, methyl phthalate, etc.), ethers (eg, tetrahydrofuran, Ethyl butyl ether, anisole, etc.). Among these, water, alcohol and the like are preferable from the viewpoint of storage stability. These may be used alone or in combination of two or more.

本実施形態の積層体1は、接着層12を介して他の部材を更に積層させることもでき、種々の構成の積層体とすることができる。以下、本実施形態がとり得る種々の態様について、更に例示する。   The laminated body 1 of this embodiment can further laminate | stack another member through the contact bonding layer 12, and can be set as the laminated body of a various structure. Hereinafter, various aspects that this embodiment can take will be further illustrated.

図2は、本実施形態の積層体の第2の態様の概略断面図を表す。本実施形態の積層体の第2の態様は、積層体1の樹脂層11が積層された表面と反対側の接着層12の表面上に形成された金属箔層23を、更に含む積層体2である。すなわち、積層体2は、金属箔層23、接着層12、及び樹脂層11をこの順に含む積層体2であり、1層の金属箔層23が形成されている片面積層体である。積層体2は、積層体1に更に金属箔層23を積層させることで得ることができる。あるいは、積層体2は、樹脂層11と金属箔層23を、接着層12を介して接着することでも得ることができる。   FIG. 2 represents a schematic cross-sectional view of the second aspect of the laminate of the present embodiment. The 2nd aspect of the laminated body of this embodiment is the laminated body 2 which further contains the metal foil layer 23 formed on the surface of the contact bonding layer 12 on the opposite side to the surface where the resin layer 11 of the laminated body 1 was laminated | stacked. It is. That is, the laminated body 2 is the laminated body 2 including the metal foil layer 23, the adhesive layer 12, and the resin layer 11 in this order, and is a single area layer body in which one metal foil layer 23 is formed. The laminate 2 can be obtained by further laminating the metal foil layer 23 on the laminate 1. Alternatively, the laminate 2 can also be obtained by bonding the resin layer 11 and the metal foil layer 23 via the adhesive layer 12.

積層体2の作製方法としては、例えば、積層体1の接着層12の表面と、金属箔層23の表面とを重ね合わせて熱圧着することで、一体化する方法等が挙げられる。熱圧着の条件は、特に限定されず、適宜好適な条件を採用することができる。加熱温度は、30〜400℃であることが好ましく、100〜400℃であることがより好ましく、150〜300℃であることが更に好ましい。また、熱圧着の際には、減圧してもよい。これにより熱圧着の際に層間に侵入した気体等の除去が容易になる。   As a manufacturing method of the laminated body 2, the method of integrating by the thermocompression bonding which the surface of the contact bonding layer 12 of the laminated body 1 and the surface of the metal foil layer 23 are piled up, etc. are mentioned, for example. The conditions for thermocompression bonding are not particularly limited, and suitable conditions can be adopted as appropriate. The heating temperature is preferably 30 to 400 ° C, more preferably 100 to 400 ° C, and still more preferably 150 to 300 ° C. Further, the pressure may be reduced during the thermocompression bonding. This facilitates the removal of gas or the like that has entered between the layers during thermocompression bonding.

なお、図2では金属箔層23/接着層12/樹脂層11の層構成を有する態様を例示したが、図示はしないが樹脂層/接着層12/樹脂層11といった層構成を有する態様も本実施形態では採用することができる。これは、金属箔層23の替わりに樹脂層とした態様である。すなわち、積層体1の樹脂層11が積層された表面と反対側の接着層12の表面に、別の樹脂層が形成された積層体とすることもできる。このような積層体は、例えば、樹脂層の厚さが薄いフィルムを、接着層12によって貼り合わせ、補強フィルム(あるいは補強板)等として使用することができる。   In addition, although the aspect which has the layer structure of metal foil layer 23 / adhesion layer 12 / resin layer 11 was illustrated in FIG. 2, although not shown in figure, the aspect which has a layer structure of resin layer / adhesion layer 12 / resin layer 11 is also this. In the embodiment, it can be adopted. This is an embodiment in which a resin layer is used instead of the metal foil layer 23. That is, a laminate in which another resin layer is formed on the surface of the adhesive layer 12 opposite to the surface on which the resin layer 11 of the laminate 1 is laminated can also be used. Such a laminate can be used as a reinforcing film (or reinforcing plate) or the like by bonding a film having a thin resin layer with the adhesive layer 12, for example.

図3は、本実施形態の第2の態様の応用例の概略断面図である。すなわち、積層体2aは、積層体2に更に金属箔層24が形成された積層体である。積層体2aは、2層の金属箔層23、24が形成されている両面積層体である。なお、積層体2aは、必ずしも積層体1や積層体2の構造を前提とする必要はなく、例えば、接着層12、樹脂層11、及び金属箔層24をこの順で含む積層体25に、金属箔層23が更に形成された態様であってもよい。この積層体25は、1層の金属箔層24が形成されている片面積層体である。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of an application example of the second aspect of the present embodiment. That is, the laminated body 2 a is a laminated body in which the metal foil layer 24 is further formed on the laminated body 2. The laminate 2a is a double-sided laminate in which two metal foil layers 23 and 24 are formed. In addition, the laminated body 2a does not necessarily have to be based on the structure of the laminated body 1 or the laminated body 2. For example, in the laminated body 25 including the adhesive layer 12, the resin layer 11, and the metal foil layer 24 in this order, The aspect in which the metal foil layer 23 was further formed may be sufficient. This laminated body 25 is a one-area layered body in which one metal foil layer 24 is formed.

積層体25の作製方法としては、例えば、金属箔層24と樹脂層11を有する銅箔積層体の樹脂層11の表面に、式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する溶液を塗布し、乾燥させることによって、樹脂層11の表面上に接着層12を形成させる方法等が挙げられる。かかる積層体25は、接着層12を接着面として、金属箔層や樹脂層を含む他の部材等と強固に接着することができる。よって、積層体2aも、多層の金属張積層体の部材としても好適に用いることができる。   As a manufacturing method of the laminated body 25, the solution containing the silane coupling agent represented by Formula (1) on the surface of the resin layer 11 of the copper foil laminated body which has the metal foil layer 24 and the resin layer 11, for example. Examples of the method include forming the adhesive layer 12 on the surface of the resin layer 11 by applying and drying. Such a laminate 25 can be firmly bonded to other members including a metal foil layer and a resin layer with the adhesive layer 12 as an adhesive surface. Therefore, the laminate 2a can also be suitably used as a member of a multilayer metal-clad laminate.

なお、図示はしないが、積層体1の樹脂層11が積層された表面と反対側の接着層12の表面に、金属箔層23の替わりに別の樹脂層を形成することもできる。この場合の樹脂層の表面に別の金属箔層を更に積層させることもできる。   Although not shown, another resin layer may be formed instead of the metal foil layer 23 on the surface of the adhesive layer 12 opposite to the surface on which the resin layer 11 of the laminate 1 is laminated. In this case, another metal foil layer can be further laminated on the surface of the resin layer.

図4は、本実施形態の積層体の第3の態様の概略断面図を表す。本実施形態の積層体の第3の態様は、金属箔層31と、金属箔層31の表面上に形成された、下記式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する接着層32と、を含む積層体3である。接着層32は上述した式(1)で表されるシランカップリング剤を含有するため、接着層32を介して、積層体3と他の部材を接着することができる。他の部材としては、例えば、樹脂等が挙げられる。   FIG. 4 shows a schematic cross-sectional view of the third aspect of the laminate of the present embodiment. The 3rd aspect of the laminated body of this embodiment is the adhesive layer 32 containing the silane coupling agent represented by following formula (1) formed on the surface of the metal foil layer 31 and the metal foil layer 31. FIG. And a laminated body 3 including: Since the adhesive layer 32 contains the silane coupling agent represented by the above formula (1), the laminate 3 and other members can be bonded via the adhesive layer 32. Examples of other members include resin.

図5は、本実施形態の積層体の第4の態様の概略断面図を表す。本実施形態の積層体の第4の態様は、例えば、積層体3の金属箔層31が積層された表面と反対側の接着層32の表面上に形成された樹脂層43を、更に含む積層体4である。積層体4は、樹脂層43と金属箔層31が、接着層32を介して接着された、積層体として用いることができる。なお、積層体4は、必ずしも、積層体1の構造を前提する必要はなく、例えば、樹脂層43、接着層32、及び金属箔層31をこの順で含み、接着層32は、式(1)で表されるシランカップリング剤を含む構成であってもよい。この場合、積層体3は、樹脂層43/接着層32/金属箔層31の構成を有する積層体である。このような積層体3は、1層の金属箔層31が形成されている片面積層体である。   FIG. 5 represents a schematic cross-sectional view of the fourth aspect of the laminate of the present embodiment. The fourth aspect of the laminate of the present embodiment includes, for example, a laminate further including a resin layer 43 formed on the surface of the adhesive layer 32 opposite to the surface on which the metal foil layer 31 of the laminate 3 is laminated. Body 4. The laminate 4 can be used as a laminate in which the resin layer 43 and the metal foil layer 31 are bonded via the adhesive layer 32. In addition, the laminated body 4 does not necessarily need to assume the structure of the laminated body 1 and includes, for example, a resin layer 43, an adhesive layer 32, and a metal foil layer 31 in this order. The structure containing the silane coupling agent represented by this may be sufficient. In this case, the laminate 3 is a laminate having a configuration of resin layer 43 / adhesive layer 32 / metal foil layer 31. Such a laminated body 3 is a single area layer body in which one metal foil layer 31 is formed.

図6は、本実施形態の積層体の第5の態様の概略断面図を表す。積層体5は、金属箔層531/接着層521/樹脂層51/接着層522/金属箔層532の順に積層された積層体であり、2層の金属箔層531、532が形成されている両面積層体である。   FIG. 6 represents a schematic cross-sectional view of the fifth aspect of the laminate of the present embodiment. The laminate 5 is a laminate in which the metal foil layer 531 / adhesive layer 521 / resin layer 51 / adhesive layer 522 / metal foil layer 532 are laminated in this order, and two metal foil layers 531 and 532 are formed. It is a double-sided laminate.

積層体5は、例えば、以下の方法によって製造できる。まず、樹脂層51の両面に式(1)で表されるシランカップリング剤を含む溶液を塗布し、乾燥させることによって、樹脂層51の両面に接着層521、522を形成させる。そして、接着層521と金属箔層531を重ね合わせ、かつ、接着層522と金属箔層532を重ね合わせるようにして、熱圧着することで一体化する方法等が挙げられる。あるいは、積層体2(図2参照)の樹脂層11の表面に式(1)を含む接着層を形成させ、それと他の金属箔層を熱圧着する方法等も挙げられる(図示せず)。   The laminate 5 can be manufactured, for example, by the following method. First, the adhesive layers 521 and 522 are formed on both surfaces of the resin layer 51 by applying a solution containing the silane coupling agent represented by the formula (1) on both surfaces of the resin layer 51 and drying the solution. In addition, a method in which the adhesive layer 521 and the metal foil layer 531 are overlaid, and the adhesive layer 522 and the metal foil layer 532 are overlaid so that they are integrated by thermocompression bonding. Or the method of forming the contact bonding layer containing Formula (1) on the surface of the resin layer 11 of the laminated body 2 (refer FIG. 2), and thermocompression-bonding it and the other metal foil layer etc. are mentioned (not shown).

図7は、本実施形態の積層体の第6の態様の概略断面図を表す。積層体6は、第1の金属箔層631と、第1の金属箔層631の表面上に形成された第1の樹脂層611と、第1の樹脂層611の表面上に形成された接着層62と、接着層62の表面上に形成された第2の樹脂層612と、第2の樹脂層612の表面上に形成された第2の金属箔層632と、をこの順で含み、接着層62は、式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する、積層体である。すなわち、積層体6は、金属箔層631/樹脂層611/接着層62/樹脂層612/金属箔層632の順に積層された積層体であり、2層の金属箔層631、632が形成されている両面積層体である。   FIG. 7 shows a schematic cross-sectional view of the sixth aspect of the laminate of the present embodiment. The laminated body 6 includes a first metal foil layer 631, a first resin layer 611 formed on the surface of the first metal foil layer 631, and an adhesive formed on the surface of the first resin layer 611. A layer 62, a second resin layer 612 formed on the surface of the adhesive layer 62, and a second metal foil layer 632 formed on the surface of the second resin layer 612 in this order, The adhesive layer 62 is a laminate containing a silane coupling agent represented by the formula (1). That is, the laminate 6 is a laminate in which the metal foil layer 631 / resin layer 611 / adhesive layer 62 / resin layer 612 / metal foil layer 632 are laminated in this order, and two metal foil layers 631 and 632 are formed. It is a double-sided laminate.

積層体6の作製方法としては、例えば、以下の方法等が挙げられる。まず、金属箔層631と樹脂層611を有する銅箔積層体と、金属箔層632と樹脂層612を有する銅箔積層体とを用意する。これらの銅箔積層体は銅箔積層樹脂フィルムや片面銅張積層体等の市販品を用いることもできる。銅箔積層体の樹脂層611の表面に式(1)で表されるシランカップリング剤を含む溶液を塗布し、乾燥させることによって、樹脂層611の表面に接着層62を形成させる。そして、接着層62と樹脂層612を重ね合わせるようにして、2枚の銅箔積層体を熱圧着させる方法等が挙げられる。   Examples of a method for producing the stacked body 6 include the following methods. First, a copper foil laminate having a metal foil layer 631 and a resin layer 611 and a copper foil laminate having a metal foil layer 632 and a resin layer 612 are prepared. As these copper foil laminates, commercially available products such as copper foil laminate resin films and single-sided copper clad laminates can also be used. An adhesive layer 62 is formed on the surface of the resin layer 611 by applying a solution containing the silane coupling agent represented by the formula (1) to the surface of the resin layer 611 of the copper foil laminate and drying it. And the method of carrying out the thermocompression bonding of the two copper foil laminated bodies so that the contact bonding layer 62 and the resin layer 612 may be piled up is mentioned.

あるいは、接着層12/樹脂層11/金属箔層24の層構成である積層体25(図3参照)を用意し、上述した金属箔層631と樹脂層611を有する銅箔積層体と熱圧着する方法等も挙げられる。この場合、接着層12と樹脂層611を重ね合わせるように熱圧着する(図示せず)。   Or the laminated body 25 (refer FIG. 3) which is the layer structure of the adhesive layer 12 / resin layer 11 / metal foil layer 24 is prepared, and the copper foil laminated body which has the metal foil layer 631 and the resin layer 611 mentioned above, and thermocompression bonding The method of doing is also mentioned. In this case, thermocompression bonding is performed so that the adhesive layer 12 and the resin layer 611 are overlapped (not shown).

図8は、本実施形態の積層体の第7の態様の概略断面図を表す。積層体7は、金属箔層73/接着層12/樹脂層11/金属箔層24の順に積層された積層体であり、2層の金属箔層73、24が形成されている両面積層体である。   FIG. 8 shows a schematic cross-sectional view of the seventh aspect of the laminate of this embodiment. Laminate 7 is a laminate in which metal foil layer 73 / adhesive layer 12 / resin layer 11 / metal foil layer 24 are laminated in this order, and is a double-sided laminate in which two metal foil layers 73 and 24 are formed. is there.

積層体7の作製方法としては、例えば、接着層12/樹脂層11/金属箔層24の層構成である積層体25(図3参照)を用意し、その接着層12と金属箔層73を重ね合わせるようにして、熱圧着することで一体化する方法等が挙げられる。   As a manufacturing method of the laminated body 7, for example, a laminated body 25 (see FIG. 3) having a layer configuration of adhesive layer 12 / resin layer 11 / metal foil layer 24 is prepared, and the adhesive layer 12 and the metal foil layer 73 are prepared. For example, a method of superimposing them by thermocompression bonding.

上述した、本実施形態の各積層体は、その接着層に式(1)で表されるシランカップリング剤を含有することで、ポリイミド等をはじめとする種々の樹脂や、銅等をはじめとする種々の金属に対して接着力を発揮できる。銅等の金属に対して接着力を発揮できる理由としては、定かではないが、以下のように推測される。まず、銅等の金属表面に存在するヒドロキシ基(OH)と、式(1)の−Si(OR43基が加水分解することによって生じるシラノール基(−Si(OH)3)とが、縮合反応により結合すると推測される。 Each laminated body of this embodiment mentioned above contains various resin including polyimide etc., copper etc. by including the silane coupling agent represented by Formula (1) in the adhesive layer. Adhesive strength can be exerted on various metals. Although it is not certain as a reason which can exhibit adhesive force with respect to metals, such as copper, it estimates as follows. First, a hydroxy group (OH) present on the surface of a metal such as copper, and a silanol group (—Si (OH) 3 ) generated by hydrolysis of the —Si (OR 4 ) 3 group of the formula (1), It is presumed to be bound by a condensation reaction.

さらに、窒素原子に結合するR1及びR2のうちの少なくともいずれかが水素原子である場合には、以下のような理由により、ポリイミド等の樹脂に対する接着力が向上するものと推測される。銅等の金属表面と同様に樹脂表面に存在するヒドロキシ基とシラノール基との縮合反応による結合や、式(1)のアミノ基の水素とポリイミド等の樹脂に存在するカルボニル基(例えば、−CO−N−結合等)の水素との間で生じる水素結合によるものが考えられる。 Furthermore, when at least one of R 1 and R 2 bonded to the nitrogen atom is a hydrogen atom, it is presumed that the adhesive force to a resin such as polyimide is improved for the following reason. Bonding by a condensation reaction between a hydroxy group and a silanol group present on the resin surface as well as a metal surface such as copper or a carbonyl group (for example, -CO It may be due to a hydrogen bond generated between the hydrogen of (-N-bond etc.).

上述したように、式(1)で表されるシランカップリング剤は、その1分子中で、樹脂と金属の両方と新たな結合が形成可能であるため、接着層は十分な接着力を有するとともに、単分子膜であっても十分な接着力を発現させることができる。すなわち、単分子接着層は、厚みが薄い接着層でありながら、樹脂や金属を接着することができる。   As described above, since the silane coupling agent represented by the formula (1) can form a new bond with both the resin and the metal in one molecule, the adhesive layer has a sufficient adhesive force. At the same time, even a monomolecular film can exhibit a sufficient adhesive force. That is, the monomolecular adhesive layer can adhere a resin or metal while being a thin adhesive layer.

なお、単分子膜の厚さよりも厚い場合(複数の分子が存在する場合)であっても、十分な接着力を発現する。具体的には、式(1)で表されるシランカップリング剤が被着体間複数存在する場合、基材表面に存在する官能基と直接結合に寄与しないアミノ基同士の水素結合やシラノール基同士の縮合反応による結合によって、単分子膜以上の厚みの接着層であっても接着力を発揮できると考えられる(但し、本実施形態の作用はこれらに限定されない。)。   Even when the thickness is larger than the thickness of the monomolecular film (when there are a plurality of molecules), sufficient adhesive force is expressed. Specifically, when a plurality of silane coupling agents represented by the formula (1) are present between the adherends, a hydrogen bond or a silanol group between amino groups that do not contribute directly to a bond with a functional group present on the substrate surface. It is considered that the adhesive force can be exerted even by an adhesive layer having a thickness of a monomolecular film or more due to the coupling by a condensation reaction between them (however, the action of this embodiment is not limited to these).

(樹脂層)
本実施形態の樹脂層に用いられる材料としては、特に限定されず、種々の樹脂を用いることができる。例えば、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド等が挙げられる。これらの中でも、接着力や積層体としての機能性向上といった観点から、ポリイミドであることが好ましい。イミド骨格は、式(1)で表されるシランカップリング剤と強固に結合することができるため、より強く接着することが可能となる。
(Resin layer)
It does not specifically limit as a material used for the resin layer of this embodiment, Various resin can be used. Examples thereof include polyamide imide and polyether imide. Among these, polyimide is preferable from the viewpoint of improving adhesive strength and functionality as a laminate. Since the imide skeleton can be firmly bonded to the silane coupling agent represented by the formula (1), it is possible to bond more strongly.

ポリイミドとしては、イミド骨格を有するものであればよく、その種類は特に限定されない。例えば、芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸との縮合重合体、芳香族ジアミンとビスマレイミドとの付加重合体であるビスマレイミド樹脂、アミノ安息香酸ヒドラジドとビスマレイミドとの付加重合体であるポリアミノビスマレイミド樹脂、ジシアネート化合物とビスマレイミド樹脂とにより構成されるビスマレイイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性ポリイミド等が挙げられる。   The polyimide is not particularly limited as long as it has an imide skeleton. For example, a condensation polymer of an aromatic diamine and an aromatic tetracarboxylic acid, a bismaleimide resin that is an addition polymer of an aromatic diamine and bismaleimide, or a polyaminobis that is an addition polymer of an aminobenzoic acid hydrazide and a bismaleimide. Examples thereof include thermosetting polyimides such as a maleimide resin and a bismaleimide triazine resin composed of a dicyanate compound and a bismaleimide resin.

なお、従来のポリイミドベースの銅張積層体では、例えば、金属箔層とポリイミド層を接着させるためには、ガラス転移点(Tg)が低い熱可塑性ポリイミド(TPI;Thermoplastic polyimide)を接着面に介在させる必要があった。しかし、熱可塑性ポリイミドは、Tgが低く、熱膨張率(CTE)が高いため、熱硬化性ポリイミドと比べて耐熱性や寸法安定性に劣るという問題があり、熱圧着する際等で不具合が生じやすい。この点、本実施形態のポリイミドフィルムは、式(1)で表されるシランカップリング剤を接着層に配合することで、種々のポリイミドであっても優れた接着力を発揮でき、かつ、接着後の表面外観にも優れる。そのため、ポリイミドの種類についても制限を受けることがない。   In the conventional polyimide-based copper-clad laminate, for example, a thermoplastic polyimide (TPI) having a low glass transition point (Tg) is interposed on the bonding surface in order to bond the metal foil layer and the polyimide layer. It was necessary to let them. However, since thermoplastic polyimide has a low Tg and a high coefficient of thermal expansion (CTE), there is a problem that it is inferior in heat resistance and dimensional stability as compared with thermosetting polyimide, which causes problems when thermocompression bonding. Cheap. In this regard, the polyimide film of the present embodiment can exhibit excellent adhesive force even if it is various polyimides by blending the silane coupling agent represented by the formula (1) into the adhesive layer, and adhesion. Excellent surface appearance afterwards. Therefore, the type of polyimide is not restricted.

上記観点から、本実施形態で用いられるポリイミドは、非熱可塑性ポリイミド又は熱硬化性ポリイミドであることが好ましい。ここでいう、非熱可塑性ポリイミドとは、一定の温度(例えば、200℃)以上において温度の上昇と共に弾性率が徐々に低下するが流動性を伴わないものをいい、熱硬化性ポリイミドとは、一定の温度以上において温度の上昇があってもほとんど弾性率の低下が起こらないものをいう。   From the above viewpoint, the polyimide used in this embodiment is preferably a non-thermoplastic polyimide or a thermosetting polyimide. As used herein, the non-thermoplastic polyimide refers to a material whose elastic modulus gradually decreases with increasing temperature at a certain temperature (for example, 200 ° C.) or higher, but does not have fluidity. This means that the elastic modulus hardly decreases even when the temperature rises above a certain temperature.

式(1)で表されるシランカップリング剤を接着層に配合することで、非熱可塑性ポリイミドや熱硬化性ポリイミドであっても金属箔層と接着させることができる。非熱可塑性ポリイミドや熱硬化性ポリイミドはTgが300℃以上と高く、かつCTEが低いことから、耐熱性と寸法安定性に一層優れる。そのため、電子部品とした場合には、パターン精度が高く、優れた電気的特性を安定的に発揮することができる。よって、ファインパターン回路の形成等といった要望にも応えることができる。   By blending the silane coupling agent represented by the formula (1) into the adhesive layer, even a non-thermoplastic polyimide or a thermosetting polyimide can be adhered to the metal foil layer. Non-thermoplastic polyimide and thermosetting polyimide have a high Tg of 300 ° C. or higher and a low CTE, so that they are further excellent in heat resistance and dimensional stability. Therefore, in the case of an electronic component, the pattern accuracy is high and excellent electrical characteristics can be stably exhibited. Therefore, it is possible to meet demands such as formation of a fine pattern circuit.

樹脂層表面には、プラズマ処理やコロナ処理等が施されていてもよい。   The surface of the resin layer may be subjected to plasma treatment or corona treatment.

樹脂層の厚さは、特に限定されず、適宜好適な厚さを選択することができる。樹脂層の厚さとしては、5〜125μmであることが好ましく、5〜75μmであることがより好ましく、5〜50μmであることが更に好ましい。本実施形態では、式(1)で表されるシランカップリング剤を接着層に配合することで強固な接着力を発揮できるため、樹脂層の厚さの制限を受けない。   The thickness of the resin layer is not particularly limited, and a suitable thickness can be selected as appropriate. The thickness of the resin layer is preferably 5 to 125 μm, more preferably 5 to 75 μm, and still more preferably 5 to 50 μm. In this embodiment, since the strong adhesive force can be exhibited by mix | blending the silane coupling agent represented by Formula (1) with an adhesive layer, there is no restriction | limiting of the thickness of a resin layer.

(金属箔層)
金属箔層としては、特に限定されず、種々の材料を用いることができる。本実施形態では、金属箔層に関する材料上の制限を緩和することができる。例えば、従来、樹脂層との接着力を向上させる観点等から、金属箔層には表面粗化等の表面処理が行われていた。しかしながら、このような表面粗化を行うと、電子部品としての電気的特性が安定しなくなる場合がある。また、表面粗化等の表面処理を施さない方が、金属箔層の電気的活性等が高いため、かかる観点からも極力表面粗化をしないことが望まれている。この点、式(1)で表されるシランカップリング剤を接着層に配合することで、表面粗度が低い金属箔層(フラットな金属箔層)であっても、種々の樹脂層等と接着できる。
(Metal foil layer)
The metal foil layer is not particularly limited, and various materials can be used. In this embodiment, the restriction | limiting on the material regarding a metal foil layer can be eased. For example, conventionally, surface treatment such as surface roughening has been performed on the metal foil layer from the viewpoint of improving the adhesive force with the resin layer. However, when such surface roughening is performed, the electrical characteristics of the electronic component may not be stable. Moreover, since the electrical activity of the metal foil layer is higher when the surface treatment such as surface roughening is not performed, it is desired not to roughen the surface as much as possible. In this respect, by blending the silane coupling agent represented by the formula (1) into the adhesive layer, even if it is a metal foil layer (flat metal foil layer) having a low surface roughness, Can be glued.

本実施形態では、表面粗化が施された金属箔層を用いることもできるが、表面粗化が施されていない金属箔層であることが好ましい。さらには、金属箔層は、酸洗処理が施されていることが好ましい。本実施形態において表面粗化が施された金属箔層を用いる場合は、予め、酸やエッチング液等を用いて、余分な銅成分を除去し、表面粗度を低くしておくことが好ましい。酸やエッチング液としては、特に限定されず、例えば、公知のものを使用することができる。   In the present embodiment, a metal foil layer subjected to surface roughening can be used, but a metal foil layer not subjected to surface roughening is preferable. Furthermore, the metal foil layer is preferably subjected to pickling treatment. When using a metal foil layer that has been subjected to surface roughening in the present embodiment, it is preferable to remove the excess copper component in advance using an acid, an etching solution, or the like to reduce the surface roughness. It does not specifically limit as an acid or an etching liquid, For example, a well-known thing can be used.

上述した観点から、金属箔層は、十点平均粗度(Rz)が、2.0μm以下であることが好ましく、1.5μm以下であることがより好ましく、1.0μm以下であることが更に好ましい。十点平均粗度は、後述する実施例に記載の方法によって測定できる。   From the viewpoint described above, the metal foil layer preferably has a ten-point average roughness (Rz) of 2.0 μm or less, more preferably 1.5 μm or less, and further 1.0 μm or less. preferable. The ten-point average roughness can be measured by the method described in Examples described later.

また、金属箔層の材料としては、特に限定されず、種々の金属を用いることができる。例えば、アルミニウムやステンレス等が挙げられる。これらの中でも、積層体としての機能性向上といった観点から、銅箔層であることが好ましい。銅箔層であることで、上述したように、式(1)で表されるシランカップリング剤と結合を形成することができ、接着することが可能となる。銅箔層である積層体は、FPC基板等に用いられる銅張積層体(CCL)等として、好適に用いることができる。   Moreover, it does not specifically limit as a material of a metal foil layer, A various metal can be used. For example, aluminum, stainless steel, etc. are mentioned. Among these, it is preferable that it is a copper foil layer from a viewpoint of the functional improvement as a laminated body. By being a copper foil layer, as described above, a bond can be formed with the silane coupling agent represented by the formula (1), and bonding can be performed. A laminate that is a copper foil layer can be suitably used as a copper clad laminate (CCL) or the like used for an FPC board or the like.

金属箔層の厚さは、特に限定されず、適宜好適な厚さを選択することができる。本実施形態では、式(1)で表されるシランカップリング剤を接着層に配合することで強固な接着力を発揮できるため、金属箔層の厚さの制限を受けない。金属箔層の厚さとしては、2〜400μmであることが好ましく、2〜70μmであることがより好ましく、2〜35μmであることが更に好ましい。   The thickness of the metal foil layer is not particularly limited, and a suitable thickness can be selected as appropriate. In this embodiment, since the strong adhesive force can be exhibited by mix | blending the silane coupling agent represented by Formula (1) with an adhesive layer, there is no restriction | limiting of the thickness of a metal foil layer. The thickness of the metal foil layer is preferably 2 to 400 μm, more preferably 2 to 70 μm, and still more preferably 2 to 35 μm.

以下の実施例及び比較例により本発明を更に詳しく説明するが、本発明は以下の実施例により何ら限定されるものではない。   The present invention will be described in more detail with reference to the following examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

<銅箔層/(接着層)/ポリイミド層の片面積層体の作製(実施例1〜9、比較例1)、図2参照> <Preparation of copper foil layer / (adhesive layer) / polyimide layer single-area layered body (Examples 1 to 9, Comparative Example 1), see FIG. 2>

(実施例1)
コロナ処理が施されたポリイミドフィルム(非熱可塑性ポリイミド、カネカ社製、「アピカル50NPI」、厚さ50μm)を、アセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させた。このポリイミドフィルムに3−アミノプロピルトリメトキシシラン、「KBM−903」(信越化学工業社製;式(2)で表されるシランカップリング剤)の2%水溶液を1mL垂らし、ガラス棒を用いてフィルム全体に均一に伸ばした。そして、これを60℃に設定した乾燥機に10分間保存して、ポリイミドフィルム1を得た。
また、10cm×12cmの電解銅箔(福田金属箔粉工業社製、「CF−T9DA−SV」、厚さ18μm)に防錆処理を施したものをアセトン洗浄し、60℃に設定した乾燥機に10分保存して銅箔表面を乾燥させて、電解銅箔1を得た。
そして、プレス機を用いて、180℃×9MPa×10分(Hot−Hot)、真空度0.1MPaの条件で、ポリイミドフィルム1と電解銅箔1とを熱圧着した。熱圧着した後、室温で放冷して、片面銅張積層体1(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た。
Example 1
A corona-treated polyimide film (non-thermoplastic polyimide, manufactured by Kaneka Corporation, “Apical 50NPI”, thickness 50 μm) was immersed in an acetone solvent, and then dried with a dryer set at 80 ° C. 1 mL of a 2% aqueous solution of 3-aminopropyltrimethoxysilane, “KBM-903” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; a silane coupling agent represented by formula (2)) is dropped on this polyimide film, and a glass rod is used. Uniformly stretched throughout the film. And this was preserve | saved for 10 minutes in the dryer set to 60 degreeC, and the polyimide film 1 was obtained.
Also, a 10 cm x 12 cm electrolytic copper foil (Fukuda Metal Foil Powder Co., Ltd., “CF-T9DA-SV”, thickness 18 μm) subjected to rust prevention treatment with acetone and a dryer set at 60 ° C. And the copper foil surface was dried to obtain an electrolytic copper foil 1.
And the polyimide film 1 and the electrolytic copper foil 1 were thermocompression-bonded on the conditions of 180 degreeC * 9MPa * 10min (Hot-Hot) and the vacuum degree 0.1MPa using the press. After thermocompression bonding, it was allowed to cool at room temperature to obtain a single-sided copper-clad laminate 1 (copper foil layer / (adhesive layer) / polyimide layer).

(実施例2)
「KBM−903」の2%水溶液から「KBM−903」の0.5%水溶液に変更した点以外は、実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム2を得た。
また、電解銅箔として、実施例1で作製した電解銅箔1を用いた。
そして、実施例1と同様の手法によって、ポリイミドフィルム2と電解銅箔1とから片面銅張積層体2(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た。
(Example 2)
A polyimide film 2 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the 2% aqueous solution of “KBM-903” was changed to the 0.5% aqueous solution of “KBM-903”.
Moreover, the electrolytic copper foil 1 produced in Example 1 was used as the electrolytic copper foil.
And by the method similar to Example 1, the single-sided copper clad laminated body 2 (copper foil layer / (adhesion layer) / polyimide layer) was obtained from the polyimide film 2 and the electrolytic copper foil 1.

(実施例3)
ポリイミドフィルム(カネカ社製、「アピカル50NPI」、厚さ50μm)を、アセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させ、ポリイミドフィルム3を得た。
また、電解銅箔(福田金属箔粉工業社製、「CF−T9DA−SV」、厚さ18μm)に防錆処理を施したものをアセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させた。この電解銅箔に「KBM−903」の0.5%水溶液を1mL垂らし、ガラス棒を用いて銅箔全体に均一に伸ばした。そして、これを60℃に設定した乾燥機に10分保存して、電解銅箔3を得た。
そして、実施例1と同様の手法によって、ポリイミドフィルム3と電解銅箔3から片面銅張積層体3(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た。
(Example 3)
A polyimide film (manufactured by Kaneka Corporation, “Apical 50NPI”, thickness 50 μm) was immersed in an acetone solvent, and then dried in a dryer set at 80 ° C. to obtain polyimide film 3.
In addition, after immersing an electrolytic copper foil (Fukuda Metal Foil Industry Co., Ltd., “CF-T9DA-SV”, thickness 18 μm) subjected to rust prevention treatment in an acetone solvent, a dryer set at 80 ° C. And dried. 1 mL of a 0.5% aqueous solution of “KBM-903” was dropped on this electrolytic copper foil, and uniformly spread over the entire copper foil using a glass rod. And this was preserve | saved for 10 minutes in the dryer set to 60 degreeC, and the electrolytic copper foil 3 was obtained.
And the single-sided copper clad laminated body 3 (copper foil layer / (adhesion layer) / polyimide layer) was obtained from the polyimide film 3 and the electrolytic copper foil 3 by the method similar to Example 1. FIG.

(実施例4)
未処理のポリイミドフィルム(東レデュポン社製、「カプトン200EN」、厚さ50μm)を、アセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させ、ポリイミドフィルム4を得た。
また、電解銅箔として、実施例3で作製した電解銅箔3を用いた。
そして、実施例3と同様の手法によって、ポリイミドフィルム4と電解銅箔3から片面銅張積層体4(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た
Example 4
An untreated polyimide film (manufactured by Toray DuPont, “Kapton 200EN”, thickness 50 μm) was immersed in an acetone solvent, and then dried with a dryer set at 80 ° C. to obtain polyimide film 4.
Moreover, the electrolytic copper foil 3 produced in Example 3 was used as the electrolytic copper foil.
And by the method similar to Example 3, the single-sided copper clad laminated body 4 (copper foil layer / (adhesion layer) / polyimide layer) was obtained from the polyimide film 4 and the electrolytic copper foil 3.

(実施例5)
プラズマ処理が施されたポリイミドフィルム(東レデュポン社製、「カプトン200EN」、厚さ50μm)を、アセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させ、ポリイミドフィルム5を得た。
また、電解銅箔として、実施例3で作製した電解銅箔3を用いた。
そして、実施例3と同様の手法によって、ポリイミドフィルム5と電解銅箔3から片面銅張積層体5(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た。
(Example 5)
A polyimide film 5 (made by Toray DuPont, “Kapton 200EN”, thickness 50 μm) subjected to plasma treatment was immersed in an acetone solvent and then dried with a dryer set at 80 ° C. to obtain polyimide film 5. .
Moreover, the electrolytic copper foil 3 produced in Example 3 was used as the electrolytic copper foil.
And the single-sided copper clad laminated body 5 (copper foil layer / (adhesion layer) / polyimide layer) was obtained from the polyimide film 5 and the electrolytic copper foil 3 by the same method as in Example 3.

(実施例6)
ポリイミドフィルムとして、実施例3で作製したポリイミドフィルム3を用いた。
圧延銅箔(JX日鉱社製、「GHSN」、厚さ12μm)にコロナ処理を施したものをアセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させた。この圧延銅箔に「KBM−903」の0.5%水溶液を1mL垂らし、ガラス棒を用いて銅箔全体に均一に伸ばした。そして、これを60℃に設定した乾燥機に10分保存して、圧延銅箔6を得た。
そして、実施例3と同様の手法によって、ポリイミドフィルム3と圧延銅箔6から片面銅張積層体6(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た。
(Example 6)
The polyimide film 3 produced in Example 3 was used as the polyimide film.
A rolled copper foil (JX Nikko Co., Ltd., “GHSN”, thickness 12 μm) subjected to corona treatment was immersed in an acetone solvent and then dried with a dryer set at 80 ° C. 1 mL of a 0.5% aqueous solution of “KBM-903” was dropped on this rolled copper foil, and uniformly spread over the entire copper foil using a glass rod. And this was preserve | saved for 10 minutes in the dryer set to 60 degreeC, and the rolled copper foil 6 was obtained.
And the single-sided copper clad laminated body 6 (copper foil layer / (adhesion layer) / polyimide layer) was obtained from the polyimide film 3 and the rolled copper foil 6 by the same method as in Example 3.

(実施例7)
ポリイミドフィルムとして、実施例3で作製したポリイミドフィルム3を用いた。
粗化処理が施された圧延銅箔(JX日鉱社製、「BHY」、厚さ12μm)をアセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させた。この圧延銅箔に「KBM−903」の0.5%水溶液を1mL垂らし、ガラス棒を用いて銅箔全体に均一に伸ばした。そして、これを60℃に設定した乾燥機に10分保存して、圧延銅箔7を得た。
そして、実施例3と同様の手法によって、ポリイミドフィルム3と圧延銅箔7から片面銅張積層体7(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た。
(Example 7)
The polyimide film 3 produced in Example 3 was used as the polyimide film.
A rolled copper foil (JB Nikko Co., Ltd., “BHY”, thickness 12 μm) subjected to the roughening treatment was immersed in an acetone solvent, and then dried with a drier set at 80 ° C. 1 mL of a 0.5% aqueous solution of “KBM-903” was dropped on this rolled copper foil, and uniformly spread over the entire copper foil using a glass rod. And this was preserve | saved for 10 minutes in the dryer set to 60 degreeC, and the rolled copper foil 7 was obtained.
And the single-sided copper clad laminated body 7 (copper foil layer / (adhesion layer) / polyimide layer) was obtained from the polyimide film 3 and the rolled copper foil 7 by the same method as in Example 3.

(実施例8)
ポリイミドフィルムとして、実施例3で作製したポリイミドフィルム3を用いた。
「KBM−903」の0.5%水溶液から3−アミノプロピルトリエトキシシラン、「KBE−903」(信越化学工業社製;式(3)で表されるシランカップリング剤)の2%水溶液に変更した点以外は、実施例3と同様にして、電解銅箔8を得た。
そして、実施例3と同様の手法によって、ポリイミドフィルム3と電解銅箔8から片面銅張積層体8(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た。
(Example 8)
The polyimide film 3 produced in Example 3 was used as the polyimide film.
From a 0.5% aqueous solution of “KBM-903” to a 2% aqueous solution of 3-aminopropyltriethoxysilane, “KBE-903” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; a silane coupling agent represented by formula (3)) Except for the changed points, an electrolytic copper foil 8 was obtained in the same manner as in Example 3.
And the single-sided copper clad laminated body 8 (copper foil layer / (adhesion layer) / polyimide layer) was obtained from the polyimide film 3 and the electrolytic copper foil 8 by the same method as in Example 3.

(実施例9)
ポリイミドフィルムとして、実施例3で作製したポリイミドフィルム3を用いた。
「KBM−903」の0.5%水溶液から「KBM−603」(信越化学工業社製;式(4)で表されるシランカップリング剤)の2%水溶液に変更した以外は、実施例3と同様にして、電解銅箔9を得た。
そして、実施例3と同様の手法によって、ポリイミドフィルム3と電解銅箔9から片面銅張積層体9(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層)を得た。
Example 9
The polyimide film 3 produced in Example 3 was used as the polyimide film.
Example 3 except that a 0.5% aqueous solution of “KBM-903” was changed to a 2% aqueous solution of “KBM-603” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .; a silane coupling agent represented by formula (4)). In the same manner as above, an electrolytic copper foil 9 was obtained.
A single-sided copper-clad laminate 9 (copper foil layer / (adhesive layer) / polyimide layer) was obtained from the polyimide film 3 and the electrolytic copper foil 9 by the same method as in Example 3.

(比較例1)
ポリイミドフィルムとして、実施例3で作製したポリイミドフィルム3を用いた。
電解銅箔に3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、「KBM−403」(信越化学工業社製)の2%水溶液を1mL垂らした点以外は、実施例3と同様にして、電解銅箔aを得た。
そして、実施例3と同様の手法によって、ポリイミドフィルム3と電解銅箔aから片面銅張積層体aを得た。
(Comparative Example 1)
The polyimide film 3 produced in Example 3 was used as the polyimide film.
In the same manner as in Example 3, except that 1 mL of a 2% aqueous solution of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, “KBM-403” (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was hung on the electrolytic copper foil, the electrolytic copper foil a Got.
And by the method similar to Example 3, the single-sided copper clad laminated body a was obtained from the polyimide film 3 and the electrolytic copper foil a.

<銅箔層/(接着層)/ポリイミド層/(接着層)/銅箔層の両面積層体の作製(実施例10〜12)、図6参照>
(実施例10)
コロナ処理が施されたポリイミドフィルム(非熱可塑性ポリイミド、カネカ社製、「アピカル50NPI」、厚さ50μm)を、アセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させた。このポリイミドフィルムの片面に「KBM−903」の0.5%水溶液を1mL垂らし、ガラス棒を用いてフィルム全体に均一に伸ばした。そして、これを60℃に設定した乾燥機に10分保存した。乾燥機から取り出した後、ポリイミドフィルムのもう一方の表面にも「KBM−903」の0.5%水溶液を1mL垂らし、ガラス棒を用いてフィルム全体に均一に伸ばした。そして、これを60℃に設定した乾燥機に10分保存して、ポリイミドフィルム10を得た。
また、電解銅箔として、実施例1で作製した電解銅箔1を用いた。
そして、プレス機を用いて、180℃×3MPa×10分(Hot−Hot)、真空度0.1MPaの条件で、ポリイミドフィルム10の両面に電解銅箔1をそれぞれ熱圧着した。熱圧着した後、室温で放冷して、両面銅張積層体10(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層/(接着層)/銅箔層)を得た。
<Copper foil layer / (adhesive layer) / polyimide layer / (adhesive layer) / preparation of double-sided laminate of copper foil layers (Examples 10 to 12), see FIG. 6>
(Example 10)
A corona-treated polyimide film (non-thermoplastic polyimide, manufactured by Kaneka Corporation, “Apical 50NPI”, thickness 50 μm) was immersed in an acetone solvent, and then dried with a dryer set at 80 ° C. 1 mL of a 0.5% aqueous solution of “KBM-903” was dropped on one side of this polyimide film, and the film was uniformly spread over the entire film using a glass rod. And this was preserve | saved for 10 minutes in the dryer set to 60 degreeC. After taking out from the dryer, 1 mL of a 0.5% aqueous solution of “KBM-903” was dropped on the other surface of the polyimide film, and uniformly spread over the entire film using a glass rod. And this was preserve | saved for 10 minutes in the dryer set to 60 degreeC, and the polyimide film 10 was obtained.
Moreover, the electrolytic copper foil 1 produced in Example 1 was used as the electrolytic copper foil.
And using the press machine, the electrolytic copper foil 1 was each thermocompression-bonded on both surfaces of the polyimide film 10 on the conditions of 180 degreeC * 3MPa * 10min (Hot-Hot) and the vacuum degree 0.1MPa. After thermocompression bonding, it was allowed to cool at room temperature to obtain a double-sided copper-clad laminate 10 (copper foil layer / (adhesive layer) / polyimide layer / (adhesive layer) / copper foil layer).

(実施例11)
ポリイミドフィルムとして、ポリイミドフィルム3を用いた。
電解銅箔として、実施例3で作製した電解銅箔3を2枚用いた。
そして、プレス機を用いて、180℃×9MPa×10分(Hot−Hot)、真空度0.1MPaの条件で、ポリイミドフィルム3の両面に電解銅箔11をそれぞれ熱圧着した。熱圧着した後、室温で放冷して、両面銅張積層体11(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層/(接着層)/銅箔層)を得た。
(Example 11)
A polyimide film 3 was used as the polyimide film.
Two electrolytic copper foils 3 produced in Example 3 were used as the electrolytic copper foil.
And the electrolytic copper foil 11 was each thermocompression-bonded on both surfaces of the polyimide film 3 on the conditions of 180 degreeC * 9MPa * 10min (Hot-Hot) and the vacuum degree 0.1MPa using the press machine. After thermocompression bonding, it was allowed to cool at room temperature to obtain a double-sided copper-clad laminate 11 (copper foil layer / (adhesive layer) / polyimide layer / (adhesive layer) / copper foil layer).

(実施例12)
「KBM−903」の0.5%水溶液1mLから「KBM−603」の0.5%水溶液1mLに変更した点以外は、実施例11と同様にして、両面銅張積層体12(銅箔層/(接着層)/ポリイミド層/(接着層)/銅箔層)を得た。
(Example 12)
Double-sided copper clad laminate 12 (copper foil layer) in the same manner as in Example 11, except that 1 mL of 0.5% aqueous solution of “KBM-903” was changed to 1 mL of 0.5% aqueous solution of “KBM-603”. / (Adhesive layer) / polyimide layer / (adhesive layer) / copper foil layer).

<銅箔ポリイミド積層体/(接着層)/銅箔ポリイミド積層体の両面積層体の作製(実施例13〜14)、図7参照>
(実施例13)
10cm×12cmのポリイミド層/銅箔層の片面積層体(有沢製作所社製、「PNS H1035RA」)を2枚用意し、これらをアセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させた。そのうちの1枚の片面積層体に「KBM−903」の2%水溶液を1mL垂らし、ガラス棒を用いてフィルム全体に均一に伸ばした。これらを60℃に設定した乾燥機に10分保存した。
プレス機を用いて、180℃×9MPa×10分(Hot−Hot)、真空度−0.1MPaの条件で、2枚の片面積層体のポリイミド層同士を貼り合わせて熱圧着した。そして、室温で放冷して、両面銅張積層体13(銅箔ポリイミド積層体/(接着層)/銅箔ポリイミド積層体)を得た。
<Copper foil polyimide laminate / (adhesive layer) / preparation of double-sided laminate of copper foil polyimide laminate (Examples 13 to 14), see FIG. 7>
(Example 13)
Two pieces of a 10 cm × 12 cm polyimide layer / copper foil layer single-area layered body (manufactured by Arisawa Manufacturing Co., Ltd., “PNS H1035RA”) were prepared, dipped in an acetone solvent, and then dried in a dryer set at 80 ° C. I let you. 1 mL of a 2% aqueous solution of “KBM-903” was hung on one of the single-area layers, and the whole film was uniformly spread using a glass rod. These were stored in a dryer set at 60 ° C. for 10 minutes.
Using a press machine, the polyimide layers of the two single-area layers were bonded and thermocompression bonded under the conditions of 180 ° C. × 9 MPa × 10 minutes (Hot-Hot) and a degree of vacuum of −0.1 MPa. And it stood to cool at room temperature, and obtained the double-sided copper clad laminated body 13 (copper foil polyimide laminated body / (adhesion layer) / copper foil polyimide laminated body).

(実施例14)
「KBM−903」の2%水溶液から「KBM−903」の0.5%水溶液に変更した点以外は、実施例13と同様にして、両面銅張積層体14(銅箔ポリイミド積層体/(接着層)/銅箔ポリイミド積層体)を得た。
(Example 14)
Double-sided copper clad laminate 14 (copper foil polyimide laminate / (), except that 2% aqueous solution of “KBM-903” was changed to 0.5% aqueous solution of “KBM-903”. Adhesive layer) / copper foil polyimide laminate) was obtained.

<銅箔/(接着層)/銅箔ポリイミド積層体の両面積層体の作製(実施例15)、図8参照>
(実施例15)
電解銅箔として、実施例3で作製した電解銅箔3を用いた。
10cm×12cmのポリイミド層/銅箔層の片面積層体(有沢製作所社製、「PNS H1035RA」)を1枚用意し、これらをアセトン溶剤に浸漬した後、80℃に設定した乾燥機にて乾燥させた片面積層体15を得た。
そして、プレス機を用いて、180℃×9MPa×10分(Hot−Hot)、真空度−0.1MPaの条件で、電解銅箔3と片面積層体15のポリイミド層とが重なるように貼り合わせ、熱圧着した。そして、室温で放冷して、両面銅張積層体15(銅箔/(接着層)/銅箔ポリイミド積層体)を得た。
<Copper foil / (adhesive layer) / preparation of double-sided laminate of copper foil polyimide laminate (Example 15), see FIG. 8>
(Example 15)
The electrolytic copper foil 3 produced in Example 3 was used as the electrolytic copper foil.
One piece of a 10 cm × 12 cm polyimide layer / copper foil layer (Arisawa Seisakusho Co., Ltd., “PNS H1035RA”) was prepared, dipped in an acetone solvent, and then dried in a dryer set at 80 ° C. The obtained single area layered body 15 was obtained.
And using a press machine, it bonded so that the electrolytic copper foil 3 and the polyimide layer of the one area layer body 15 may overlap on the conditions of 180 degreeC * 9MPa * 10 minutes (Hot-Hot), and a vacuum degree -0.1MPa. And thermocompression bonded. And it stood to cool at room temperature, and obtained the double-sided copper clad laminated body 15 (copper foil / (adhesion layer) / copper foil polyimide laminated body).

(引き剥がし強さの評価)
各実施例及び各比較例で作製した積層体の引き剥がし強さの評価は、JIS C6471に準拠して行った。作製した積層体の銅箔表面に10mm幅のエッチングレジストRをパターニングした後、エッチングにより残余の銅箔を除去したものを、サンプルとした。図7は、実施例の引き剥がし強さの評価で用いたサンプルの上面概略図を表す。このサンプルを、両面テープで補強板に固定し、サンプルを補強板から180°方向に引き剥がし、その際の接着強度を測定した。そして、以下の基準に基づき評価した。
5N以上であった場合:◎
5N未満〜3N以上であった場合:○
3N未満であった場合:△
接着せず測定不可であった場合:×
(Evaluation of peel strength)
Evaluation of the peeling strength of the laminated body produced in each Example and each comparative example was performed based on JISC6471. After patterning an etching resist R having a width of 10 mm on the copper foil surface of the produced laminate, a sample obtained by removing the remaining copper foil by etching was used as a sample. FIG. 7 shows a schematic top view of the sample used in the evaluation of the peel strength in the example. This sample was fixed to the reinforcing plate with double-sided tape, the sample was peeled off from the reinforcing plate in the direction of 180 °, and the adhesive strength at that time was measured. And it evaluated based on the following references | standards.
If it is 5N or more: ◎
When less than 5N to 3N or more: ○
If less than 3N: △
When it cannot be measured without bonding: ×

(積層体の表面粗さ;Rz)
JIS B0601−1976に準拠して積層体の表面の十点平均粗さ(Rz)を測定し、その値を表面粗さとした。
(Surface roughness of laminated body; Rz)
The ten-point average roughness (Rz) of the surface of the laminate was measured in accordance with JIS B0601-1976, and the value was defined as the surface roughness.

各実施例及び各比較例の構造及び評価結果を、下記表1〜4に示す。   The structures and evaluation results of the examples and comparative examples are shown in Tables 1 to 4 below.

※1:「◎」5N以上、「○」5N未満〜3N以上、「△」3N未満、「×」接着せず測定不可 * 1: “◎” 5N or more, “O” less than 5N to 3N or more, “△” less than 3N, “x” not adhered and measurement not possible

※1:引き剥がし強さは、(表面)/(裏面)の結果を表す。
「◎」5N以上、「○」5N未満〜3N以上、「△」3N未満、「×」接着せず測定不可
* 1: The peel strength indicates the result of (front side) / (back side).
“◎” 5N or more, “O” less than 5N to 3N or more, “△” less than 3N, “x” not adhered and measurement not possible

※1:「◎」5N以上、「○」5N未満〜3N以上、「△」3N未満、「×」接着せず測定不可 * 1: “◎” 5N or more, “O” less than 5N to 3N or more, “△” less than 3N, “x” not adhered and measurement not possible

※1:「◎」5N以上、「○」5N未満〜3N以上、「△」3N未満、「×」接着せず測定不可 * 1: “◎” 5N or more, “O” less than 5N to 3N or more, “△” less than 3N, “x” not adhered and measurement not possible

以上より、各実施例の積層体は、いずれも十分な接着強度を有し、かつ、接着対象の材料選択の制限が緩和できたことが少なくとも確認された。さらには、積層体とした際も構造上の制限を受けないことも確認された。   From the above, it was at least confirmed that each of the laminates of each example had sufficient adhesive strength, and the restriction on the selection of materials to be bonded could be relaxed. Furthermore, it was also confirmed that there was no structural limitation when the laminate was formed.

本発明に係る積層体は、フレキシブルプリント積層体等の各種電子部品の材料等として、幅広い分野において利用することができる。   The laminate according to the present invention can be used in a wide range of fields as a material for various electronic components such as a flexible printed laminate.

1、2、2a、25、3、4、5、6、7…積層体、11、43、51、611、612…樹脂層、12、32、521、522、62…接着層、23、24、31、531、532、631、632、73…金属箔層、R…エッチングレジスト 1, 2, 2a, 25, 3, 4, 5, 6, 7 ... laminate, 11, 43, 51, 611, 612 ... resin layer, 12, 32, 521, 522, 62 ... adhesive layer, 23, 24 , 31, 531, 532, 631, 632, 73 ... metal foil layer, R ... etching resist

Claims (5)

第1の金属箔層と、
前記第1の金属箔層の表面上に形成された第1の樹脂層と、
前記第1の樹脂層の表面上に形成された接着層(但し、前記接着層は樹脂を含まない)と、
前記接着層の表面上に形成された第2の樹脂層と、
前記第2の樹脂層の表面上に形成された第2の金属箔層と、をこの順で含み、
前記接着層は、下記式(1)で表されるシランカップリング剤を含有する、積層体であって、
前記第1及び第2の金属箔層の十点平均粗度(Rz)が1.0μm以下であり、
前記第1の樹脂層と前記第1の金属箔層との間の引きはがし強さと、前記第2の樹脂層と前記第2の金属箔層との間の引きはがし強さが、それぞれ3.8N/cm以上である、積層体(但し、前記第1及び第2の樹脂層はアルカリで処理されていない)。

(R4O)3Si−R3−N−R21 (1)

(式中、R1及びR2は、各々独立して、水素原子、炭素数1〜24の1価の炭化水素基、フェニル基、又はアミノアルキル基を表す。R3は、炭素数1〜6の2価の炭化水素基を表す。R4は、各々独立して、炭素数1〜24の1価の炭化水素基を表す。)
A first metal foil layer;
A first resin layer formed on the surface of the first metal foil layer;
An adhesive layer formed on the surface of the first resin layer (provided that the adhesive layer does not include a resin);
A second resin layer formed on the surface of the adhesive layer;
A second metal foil layer formed on the surface of the second resin layer in this order,
The adhesive layer is a laminate containing a silane coupling agent represented by the following formula (1),
The ten-point average roughness (Rz) of the first and second metal foil layers is 1.0 μm or less,
2. The peel strength between the first resin layer and the first metal foil layer and the peel strength between the second resin layer and the second metal foil layer are respectively 3. A laminated body of 8 N / cm or more (however, the first and second resin layers are not treated with alkali).

(R 4 O) 3 Si—R 3 —N—R 2 R 1 (1)

(In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, a phenyl group, or an aminoalkyl group. R 3 represents 1 to 1 carbon atoms. 6 represents a divalent hydrocarbon group of 6. Each R 4 independently represents a monovalent hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms.)
前記式(1)のR3は、炭素数1〜3の直鎖の炭化水素基である、請求項1に記載の積層体。 The laminate according to claim 1, wherein R 3 in the formula (1) is a linear hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms. 前記式(1)は、下記式(2)、式(3)、及び式(4)からなる群より選ばれるいずれか一種である、請求項1又は2に記載の積層体。

(C26O)3SiC36NH2 (2)

(CH3O)3SiC36NH2 (3)

(CH3O)SiC36NHC24NH2 (4)
The laminate according to claim 1 or 2 , wherein the formula (1) is any one selected from the group consisting of the following formula (2), formula (3), and formula (4).

(C 2 H 6 O) 3 SiC 3 H 6 NH 2 (2)

(CH 3 O) 3 SiC 3 H 6 NH 2 (3)

(CH 3 O) SiC 3 H 6 NHC 2 H 4 NH 2 (4)
前記樹脂層が、ポリイミド層である、請求項1〜のいずれか一項に記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 3 , wherein the resin layer is a polyimide layer. 前記金属箔層が、銅箔層である、請求項1〜のいずれか一項に記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 4 , wherein the metal foil layer is a copper foil layer.
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