JP6232713B2 - Vacuum pump - Google Patents

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Description

本発明は、真空ポンプに関する。   The present invention relates to a vacuum pump.

従来、ターボ分子ポンプにおいては、軸受（磁気軸受またはメカニカルベアリング）により支持されるロータ軸に回転翼が形成されたロータをボルト締結して、一体とする回転体構造が一般的である。その締結構造には、ロータ側に設けられた係合用穴にロータ軸側の係合軸を挿入するか、逆に、ロータ軸側に設けられた係合用穴にロータ側に設けられた係合軸を挿入する嵌め合い構造が採用される。ロータおよびロータ軸が高速回転し、厳しいバランスが要求されるターボ分子ポンプの嵌め合い構造として、一般的には、「焼きばめ」が用いられている（特許文献１、第４０段落参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, in a turbo molecular pump, a rotating body structure in which a rotor having rotor blades formed on a rotor shaft supported by a bearing (magnetic bearing or mechanical bearing) is bolted and integrated is generally used. In the fastening structure, the rotor shaft side engagement shaft is inserted into the engagement hole provided on the rotor side, or conversely, the engagement hole provided on the rotor shaft side is engaged on the rotor side. A fitting structure for inserting the shaft is adopted. As a fitting structure of a turbo molecular pump in which the rotor and the rotor shaft rotate at a high speed and a strict balance is required, “shrink fit” is generally used (see Patent Document 1, paragraph 40).

特開２００７−２３９４６４号公報JP 2007-239464 A

「焼きばめ」は、運転中の嵌め合い部の緩みは少ないものの、締結する際に係合用穴側を加熱するとともに係合軸側を冷却する必要がある。このため、組み付けに時間が掛る。
また、ターボ分子ポンプでは、回転翼やロータ本体のめっき剥離や劣化が生じるため、所定の頻度でロータの修復または交換をする必要がある。しかし、「焼きばめ」では、いったん締結したものを分解するには、嵌め合い部をプレスにより打ち抜かないと係合用穴から係合軸を抜くことが困難であり、修復・交換時の作業に多大な時間を要していた。 In “shrink fitting”, although the looseness of the fitting portion during operation is small, it is necessary to heat the engagement hole side and cool the engagement shaft side when fastening. For this reason, assembly takes time.
Further, in the turbo molecular pump, the rotor blades and the rotor main body are peeled off and deteriorated, and therefore it is necessary to repair or replace the rotor at a predetermined frequency. However, in “shrink fitting”, once disassembled, it is difficult to remove the engagement shaft from the engagement hole unless the fitting part is punched out by pressing. It took a lot of time.

（１） 請求項１の発明による真空ポンプは、シャフト側軸状嵌合部と、シャフト側孔状嵌合部とを有するシャフトと、シャフト側軸状嵌合部と嵌合するロータ側孔状嵌合部、および、シャフト側孔状嵌合部と嵌合するロータ側軸状嵌合部を有し、シャフトとは線膨張係数が異なり、シャフトに固定されたロータとを備え、シャフト側軸状嵌合部がシャフトの中心にシャフトの軸線方向に沿って形成され、かつ、ロータ側孔状嵌合部がロータの中心にシャフトの軸線方向に沿って形成され、あるいは、ロータ側軸状嵌合部がロータの中心にシャフトの軸線方向に沿って形成され、かつ、シャフト側孔状嵌合部がシャフトの中心にシャフトの軸線方向に沿って形成され、シャフト側軸状嵌合部とロータ側孔状嵌合部との間の第１の寸法差と、シャフト側孔状嵌合部とロータ側軸状嵌合部との間の第２の寸法差とを設定するにあたり、常温時には、シャフト側軸状嵌合部とロータ側孔状嵌合部との間、および、シャフト側孔状嵌合部とロータ側軸状嵌合部との間にそれぞれ隙間が形成されており、第１および第２の寸法差のうち、線膨張係数が小さい方の軸状嵌合部と線膨張係数が大きい方の孔状嵌合部との寸法差である一方の寸法差は、線膨張係数が小さい方の孔状嵌合部と線膨張係数が大きい方の軸状嵌合部との寸法差である他方の寸法差よりも小さくなり、運転時に所定の温度を超えると、シャフト側軸状嵌合部とロータ側孔状嵌合部との間、および、シャフト側孔状嵌合部とロータ側軸状嵌合部との間にそれぞれ隙間が形成されており、他方の寸法差が一方の寸法差よりも小さくなる、あるいは、他方の寸法差がゼロ以下となることにより他方の隙間がゼロとなるように構成した真空ポンプ。
（２） 請求項６の発明による真空ポンプは、シャフト側軸状嵌合部を有するシャフトと、ロータ側軸状嵌合部、および、シャフト側軸状嵌合部と嵌合するロータ側孔状嵌合部を有し、シャフトとは線膨張係数が異なり、シャフトに固定されたロータと、ロータ側軸状嵌合部と嵌合する固定部材側孔状嵌合部を有し、シャフトと線膨張係数が同じであり、ロータをシャフトに固定する固定部材とを備え、シャフト側軸状嵌合部がシャフトの中心にシャフトの軸線方向に沿って形成され、かつ、ロータ側孔状嵌合部がロータの中心にシャフトの軸線方向に沿って形成され、あるいは、ロータ側軸状嵌合部がロータの中心にシャフトの軸線方向に沿って形成され、かつ、固定部材側孔状嵌合部がシャフトの中心にシャフトの軸線方向に沿って形成され、シャフト側軸状嵌合部とロータ側孔状嵌合部との間の第１の寸法差と、ロータ側軸状嵌合部と固定部材側孔状嵌合部との間の第２の寸法差とを設定するにあたり、常温時には、シャフト側軸状嵌合部とロータ側孔状嵌合部との間、および、ロータ側軸状嵌合部と固定部材側孔状嵌合部との間にそれぞれ隙間が形成されており、第１および第２の寸法差のうち、線膨張係数が小さい方の軸状嵌合部と線膨張係数が大きい方の孔状嵌合部との寸法差である一方の寸法差は、線膨張係数が小さい方の孔状嵌合部と線膨張係数が大きい方の軸状嵌合部との寸法差である他方の寸法差よりも小さくなり、運転時に所定の温度を超えると、シャフト側軸状嵌合部とロータ側孔状嵌合部との間、および、ロータ側軸状嵌合部と固定部材側孔状嵌合部との間にそれぞれ隙間が形成されており、他方の寸法差が一方の寸法差よりも小さくなる、あるいは、他方の寸法差がゼロ以下となることにより他方の隙間がゼロとなるように構成した真空ポンプ。
(1) A vacuum pump according to a first aspect of the present invention includes a shaft having a shaft-side shaft-like fitting portion and a shaft-side hole-like fitting portion, and a rotor-side hole-like shape fitting with the shaft-side shaft-like fitting portion. A rotor-side shaft-like fitting portion that fits with the fitting portion and the shaft-side hole-like fitting portion, and has a linear expansion coefficient different from that of the shaft, and a rotor fixed to the shaft. The fitting part is formed at the center of the shaft along the axial direction of the shaft, and the rotor side hole fitting part is formed at the center of the rotor along the axial direction of the shaft, or the rotor side axial fitting is formed. The joint portion is formed at the center of the rotor along the axial direction of the shaft, and the shaft-side hole-like fitting portion is formed at the center of the shaft along the axial direction of the shaft. A first dimensional difference between the side hole-shaped fitting portion and the shaft; In setting the second dimensional difference between the shaft-side hole-like fitting portion and the rotor-side shaft-like fitting portion, at the normal temperature, the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion A shaft having a smaller linear expansion coefficient among the first and second dimensional differences is formed between the shaft-side hole-like fitting portion and the rotor-side shaft-like fitting portion. The dimensional difference between the fitting portion and the hole fitting portion with the larger linear expansion coefficient is the difference in dimension between the hole fitting portion with the smaller linear expansion coefficient and the shaft with the larger linear expansion coefficient. If it becomes smaller than the other dimensional difference which is the dimensional difference with the ring-shaped fitting part and exceeds a predetermined temperature during operation, the shaft side shaft-like fitting part and the rotor side hole-like fitting part, and the shaft A gap is formed between the side hole-shaped fitting portion and the rotor-side shaft-shaped fitting portion, and the other dimensional difference is smaller than the one dimensional difference. That, alternatively, the vacuum pump size difference of the other and the other gaps by the following zero is configured to be zero.
(2) A vacuum pump according to a sixth aspect of the present invention is a shaft having a shaft-side axial fitting portion, a rotor-side axial fitting portion, and a rotor-side hole shape fitted to the shaft-side axial fitting portion. It has a fitting part, has a linear expansion coefficient different from that of the shaft, has a rotor fixed to the shaft, and a fixing member side hole fitting part that fits the rotor side shaft-like fitting part. And a fixing member that fixes the rotor to the shaft. The shaft-side axial fitting portion is formed at the center of the shaft along the axial direction of the shaft, and the rotor-side hole-like fitting portion Is formed at the center of the rotor along the axial direction of the shaft, or the rotor side axial fitting portion is formed at the center of the rotor along the axial direction of the shaft, and the fixing member side hole fitting portion is Formed along the axial direction of the shaft at the center of the shaft Is, the second between the first and the dimensional difference, the rotor side shaft-shaped fitting portion fixing member side hole shape engaging portion between the shaft-side shaft-shaped fitting portion and the rotor-side hole shape engaging portion When setting the dimensional difference between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, and the rotor-side shaft-like fitting portion and the fixing member-side hole-like fitting portion at room temperature. A gap is formed between the first and second dimensional differences between the shaft-shaped fitting portion having the smaller linear expansion coefficient and the hole-shaped fitting portion having the larger linear expansion coefficient. One dimensional difference, which is the difference, is smaller than the other dimensional difference, which is the dimensional difference between the hole-shaped fitting portion with the smaller linear expansion coefficient and the shaft-shaped fitting portion with the larger linear expansion coefficient. sometimes it exceeds a predetermined temperature, between the shaft-side shaft-shaped fitting portion and the rotor-side hole shape engaging portion, and, between the stationary member side hole shape engaging portion rotor side shaft-shaped fitting portion Each gap is formed, the other becomes smaller than the dimension difference dimensional difference one, or a vacuum pump size difference other is the other gaps by becoming 0 or less is constructed as a zero.

本発明によれば、ロータとシャフトとの締結作業および分解作業を容易化でき、高温時ロータとシャフトの径方向の位置ズレを小さくできる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the fastening operation | work and disassembly operation | work with a rotor and a shaft can be facilitated, and the position shift of the radial direction of a rotor and a shaft can be made small at the time of high temperature.

第１の実施の形態の真空ポンプを説明する図である。It is a figure explaining the vacuum pump of 1st Embodiment. 図１の部分ＩＩの拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the part II of FIG. ロータ側嵌合孔とシャフト側嵌合軸との隙間、および、ロータ側嵌合突部とシャフト側嵌合溝との隙間と、温度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the clearance gap between a rotor side fitting hole and a shaft side fitting axis | shaft, the clearance gap between a rotor side fitting protrusion, and a shaft side fitting groove, and temperature. 第２の実施の形態におけるロータとシャフトの嵌め合い構造を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the fitting structure of the rotor and shaft in 2nd Embodiment. 変形例を説明する図である。It is a figure explaining a modification. 変形例を説明する図である。It is a figure explaining a modification.

−−−第１の実施の形態−−−
図１〜３を参照して、本発明による真空ポンプの第１の実施の形態を説明する。図１は、第１の実施の形態の真空ポンプを説明する図であり、ターボ分子ポンプを構成するポンプ本体１の断面図である。ターボ分子ポンプは、図１に示すポンプ本体１と不図示のコントロールユニットとで構成される。 --- First embodiment ---
A first embodiment of a vacuum pump according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram illustrating the vacuum pump according to the first embodiment, and is a cross-sectional view of a pump body 1 constituting a turbo molecular pump. The turbo molecular pump is composed of a pump body 1 shown in FIG. 1 and a control unit (not shown).

図１に示したターボ分子ポンプは磁気浮上式のターボ分子ポンプであって、ロータ３０が締結されたロータ軸（シャフト）３３は、ラジアル方向の磁気軸受３７およびスラスト方向の磁気軸受３８によって非接触支持される。シャフト３３の浮上位置は、ラジアル変位センサ２７およびアキシャル変位センサ２８によって検出される。磁気軸受によって回転自在に磁気浮上されたシャフト３３は、モータ３６により高速回転駆動される。   The turbo molecular pump shown in FIG. 1 is a magnetic levitation turbo molecular pump, and a rotor shaft (shaft) 33 to which a rotor 30 is fastened is not contacted by a radial magnetic bearing 37 and a thrust magnetic bearing 38. Supported. The flying position of the shaft 33 is detected by a radial displacement sensor 27 and an axial displacement sensor 28. The shaft 33 magnetically levitated by the magnetic bearing is rotated at a high speed by a motor 36.

シャフト３３の下面には、メカニカルベアリング２９を介してロータディスク３５が取り付けられている。また、シャフト３３の上部側にはメカニカルベアリング２６が設けられている。メカニカルベアリング２６、２９は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受が作動していない時にはメカニカルベアリング２６、２９によりシャフト３３が支持される。   A rotor disk 35 is attached to the lower surface of the shaft 33 via a mechanical bearing 29. A mechanical bearing 26 is provided on the upper side of the shaft 33. The mechanical bearings 26 and 29 are emergency mechanical bearings, and the shaft 33 is supported by the mechanical bearings 26 and 29 when the magnetic bearing is not operating.

ロータ３０とシャフト３３とはボルト３４により締結されている。符号ＩＩで示す部分はロータ３０とシャフト３３との嵌め合い部分であり、このような嵌め合い構造とすることにより、高速回転時の遠心力によりロータ３０がシャフト３３に対して径方向にずれるのを防止している。   The rotor 30 and the shaft 33 are fastened by bolts 34. A portion indicated by reference numeral II is a fitting portion between the rotor 30 and the shaft 33. By adopting such a fitting structure, the rotor 30 is displaced in the radial direction with respect to the shaft 33 due to centrifugal force during high-speed rotation. Is preventing.

ロータ３０には、複数段の回転翼３２と円筒状のネジロータ３１とが形成されている。一方、固定側には、軸方向に対して回転翼３２と交互に配置された複数段の固定翼２２と、ネジロータ３１の外周側に設けられたネジステータ２４とが設けられている。各固定翼２２は、スペーサリング２３を介してベース２０上に載置される。ポンプケーシング２１をベース２０に固定すると、積層されたスペーサリング２３がベース２０とポンプケーシング２１との間に挟持され、固定翼２２が位置決めされる。本実施の形態の真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）においては、回転翼３２およびネジロータ３１が回転側の真空排気機能部を構成し、固定翼２２およびネジステータ２４が固定側の真空排気機能部を構成している。   The rotor 30 is formed with a plurality of stages of rotating blades 32 and a cylindrical screw rotor 31. On the other hand, on the fixed side, there are provided a plurality of stages of fixed blades 22 arranged alternately with the rotary blades 32 in the axial direction, and a screw stator 24 provided on the outer peripheral side of the screw rotor 31. Each fixed wing 22 is placed on the base 20 via the spacer ring 23. When the pump casing 21 is fixed to the base 20, the stacked spacer ring 23 is sandwiched between the base 20 and the pump casing 21, and the fixed blade 22 is positioned. In the vacuum pump (turbo molecular pump) of the present embodiment, the rotor blades 32 and the screw rotor 31 constitute a rotary-side vacuum exhaust function unit, and the fixed blades 22 and the screw stator 24 constitute a fixed-side vacuum exhaust function unit. ing.

ベース２０には排気ポート２５が設けられ、この排気ポート２５にバックポンプが接続される。ロータ３０を磁気浮上させつつモータ３６により高速回転駆動することにより、吸気口２１ａ側の気体分子は排気ポート２５側へと排気される。   The base 20 is provided with an exhaust port 25, and a back pump is connected to the exhaust port 25. When the rotor 30 is magnetically levitated and driven at high speed by the motor 36, the gas molecules on the intake port 21a side are exhausted to the exhaust port 25 side.

図２は、図１の部分ＩＩの拡大断面図であり、以下、ロータ３０とシャフト３３の嵌め合い構造の詳細を説明する。上述したように、ロータ３０は、ボルト３４によってシャフト３３の上端に締結されている。ロータ３０の中心には、シャフト３３の軸線方向に沿って延在する円形断面のロータ側嵌合孔３０１が設けられている。また、シャフト３３の上面に接するロータ３０の下面には、図示下方に突出する厚肉短円筒状のロータ側嵌合突部３０２が設けられている。   FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the portion II of FIG. 1, and the details of the fitting structure of the rotor 30 and the shaft 33 will be described below. As described above, the rotor 30 is fastened to the upper end of the shaft 33 by the bolt 34. A rotor-side fitting hole 301 having a circular cross section that extends along the axial direction of the shaft 33 is provided at the center of the rotor 30. Further, on the lower surface of the rotor 30 in contact with the upper surface of the shaft 33, a rotor-side fitting protrusion 302 having a thick short cylindrical shape protruding downward in the figure is provided.

シャフト３３の上部には、図示上方に突出する円柱状のシャフト側嵌合軸３３１が設けられている。嵌合軸３３１の基端部の周囲には、環状のシャフト側嵌合溝３３２が設けられている。ロータ３０がシャフト３３の上端に取り付けられると、ロータ側嵌合孔３０１にシャフト側嵌合軸３３１が挿入されて嵌合する。また、ロータ３０がシャフト３３の上端に取り付けられると、ロータ側嵌合突部３０２がシャフト側嵌合溝３３２に挿入されて嵌合する。   A cylindrical shaft-side fitting shaft 331 that protrudes upward in the figure is provided on the upper portion of the shaft 33. An annular shaft-side fitting groove 332 is provided around the base end portion of the fitting shaft 331. When the rotor 30 is attached to the upper end of the shaft 33, the shaft-side fitting shaft 331 is inserted into the rotor-side fitting hole 301 and fitted. Further, when the rotor 30 is attached to the upper end of the shaft 33, the rotor side fitting protrusion 302 is inserted into the shaft side fitting groove 332 to be fitted.

ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との径方向の嵌め合い、および、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との径方向の嵌め合いは、それぞれ、隙間ができるような嵌め合い（すきまばめ）に設定されている。ここで、シャフト側嵌合軸３３１の直径をＡとし、ロータ側嵌合孔３０１の直径をＢとし、ロータ側嵌合突部３０２の直径をＣとし、シャフト側嵌合溝３３２の直径をＤとする。ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との径方向の隙間は、Ｂ−Ａで表され、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との径方向の隙間は、Ｄ−Ｃで表される。以下の説明では、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との間に形成した径方向の隙間を隙間Ｃｒとも呼び、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との間に形成した径方向の隙間を隙間Ｃｓとも呼ぶこととする。   The radial fitting between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 and the fitting between the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 in the radial direction have gaps, respectively. It is set to fit (clear fit) as possible. Here, the diameter of the shaft-side fitting shaft 331 is A, the diameter of the rotor-side fitting hole 301 is B, the diameter of the rotor-side fitting protrusion 302 is C, and the diameter of the shaft-side fitting groove 332 is D. And The radial gap between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 is represented by B-A, and the radial gap between the rotor side fitting projection 302 and the shaft side fitting groove 332 is It is represented by DC. In the following description, the radial gap formed between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 is also called a gap Cr, and the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 The gap in the radial direction formed between them is also called a gap Cs.

本実施の形態では、ロータ３０の材質は、アルミニウム合金であり、シャフト３３の材質は、ステンレスや鋼である。ロータ３０の材質であるアルミニウム合金の線膨張係数は、シャフト３３の材質であるステンレスや鋼の線膨張係数よりも大きい。この線膨張係数の差異により、ロータ３０およびシャフト３３の温度が上昇すると、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒは大きくなり、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓは小さくなる。また、ロータ３０およびシャフト３３の温度が下降すると、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒは小さくなり、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓは大きくなる。   In the present embodiment, the material of the rotor 30 is an aluminum alloy, and the material of the shaft 33 is stainless steel or steel. The linear expansion coefficient of the aluminum alloy that is the material of the rotor 30 is larger than the linear expansion coefficient of stainless steel or steel that is the material of the shaft 33. When the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 rises due to the difference in the linear expansion coefficient, the clearance Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 increases, and the rotor side fitting protrusion 302 and the shaft side are increased. The gap Cs with the fitting groove 332 is reduced. Further, when the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 are lowered, the clearance Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 is reduced, and the rotor side fitting protrusion 302 and the shaft side fitting groove 332 are formed. The gap Cs increases.

そこで、本実施の形態では、後述するように、下記条件（ａ）および（ｂ）をともに満たすように各部の直径Ａ〜Ｄを設定している。
（ａ） 常温時（冷間時）、すなわち、ロータ３０およびシャフト３３の温度が常温である場合には、次の（１）式を満たす。
隙間Ｃｒ ＜ 隙間Ｃｓ
Ｂ−Ａ ＜ Ｄ−Ｃ ・・・（１）
（ｂ） 高温時、すなわち、ターボ分子ポンプの運転によってロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓを超えた場合には、次の（２）式を満たす。
隙間Ｃｓ ≦ 隙間Ｃｒ
Ｄ−Ｃ ≦ Ｂ−Ａ ・・・（２） Therefore, in the present embodiment, as will be described later, the diameters A to D of the respective parts are set so as to satisfy both the following conditions (a) and (b).
(A) At normal temperature (when cold), that is, when the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 is normal temperature, the following equation (1) is satisfied.
Clearance Cr <Clearance Cs
B−A <D−C (1)
(B) When the temperature is high, that is, when the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 exceeds the predetermined temperature Ts due to the operation of the turbo molecular pump, the following equation (2) is satisfied.
Clearance Cs ≦ Clearance Cr
DC ≦ B−A (2)

すなわち、常温時には、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒの方が、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓよりも小さくなるように各部の直径Ａ〜Ｄを設定している。そのため、常温時には、隙間がより小さい、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との嵌合部分によってロータ３０とシャフト３３との径方向の位置がずれることを防止する。   That is, at room temperature, the clearance Cr between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 is smaller than the clearance Cs between the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332. The diameter AD of each part is set. Therefore, at the normal temperature, the radial position between the rotor 30 and the shaft 33 is prevented from being shifted by the fitting portion between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 having a smaller gap.

しかし上述したように、ターボ分子ポンプの運転によってロータ３０およびシャフト３３の温度が高くなるにつれて、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒが大きくなる。そのため、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との嵌合部分だけでロータ３０とシャフト３３との径方向の位置ずれ防止する構成であった場合に、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置のずれが大きくなるおそれがある。   However, as described above, the clearance Cr between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 increases as the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 increases due to the operation of the turbo molecular pump. Therefore, when the configuration is such that only the fitting portion between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 prevents radial displacement between the rotor 30 and the shaft 33, the rotor 30 and the shaft 33 There is a possibility that the deviation of the radial position becomes large.

一方、上述したように、ターボ分子ポンプの運転によってロータ３０およびシャフト３３の温度が高くなるにつれて、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓは小さくなる。そして、ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓを超えると、上記条件（ｂ）に記載したように、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒと、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓとの大小関係が逆転する。   On the other hand, as described above, the gap Cs between the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 becomes smaller as the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 becomes higher due to the operation of the turbo molecular pump. When the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 exceeds the predetermined temperature Ts, as described in the condition (b), the clearance Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331, and the rotor side The magnitude relationship between the gap Cs between the fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 is reversed.

すなわち、本実施の形態では、ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓを超えると、隙間がより小さい、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との嵌合部分によってロータ３０とシャフト３３との径方向の位置がずれることを防止するように構成した。   That is, in this embodiment, when the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 exceeds the predetermined temperature Ts, the gap is smaller, and the rotor is fitted by the fitting portion between the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332. 30 and the shaft 33 are configured to prevent the radial positions from being shifted.

図３は、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒ、および、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓと、温度との関係を示すグラフである。図３に示すように、温度が上昇するにつれて、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒは大きくなり、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓは小さくなる。また、上述した所定の温度Ｔｓでは、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒの大きさと、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓの大きさとが一致する。   FIG. 3 shows the relationship between the temperature and the clearance Cr between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 and the clearance Cs between the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332. It is a graph. As shown in FIG. 3, as the temperature rises, the clearance Cr between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 increases, and the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 become larger. The gap Cs is reduced. Further, at the above-described predetermined temperature Ts, the size of the gap Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 and the gap Cs between the rotor side fitting projection 302 and the shaft side fitting groove 332 are set. The size matches.

すなわち、本実施の形態では、ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓ以下の場合には、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置ずれは、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒによって規制される。また、ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓ以上の場合には、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置ずれは、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓによって規制される。   That is, in the present embodiment, when the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 are equal to or lower than the predetermined temperature Ts, the radial displacement between the rotor 30 and the shaft 33 causes the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting. It is regulated by the gap Cr with the shaft 331. Further, when the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 are equal to or higher than the predetermined temperature Ts, the radial displacement between the rotor 30 and the shaft 33 is caused between the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332. It is regulated by the gap Cs.

換言すると、ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓ以下の場合には、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置ずれの最大値は、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒの値（Ｂ−Ａ）である。ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓ以上の場合には、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置ずれの最大値は、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓの値（Ｄ−Ｃ）である。   In other words, when the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 are equal to or lower than the predetermined temperature Ts, the maximum value of the radial positional deviation between the rotor 30 and the shaft 33 is the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft. This is the value (B−A) of the gap Cr with 331. When the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 are equal to or higher than the predetermined temperature Ts, the maximum value of the radial positional deviation between the rotor 30 and the shaft 33 is the rotor-side fitting protrusion 302, the shaft-side fitting groove 332, and the like. This is the value of the gap Cs (DC).

なお、本実施の形態では、設計上許容されるロータ３０およびシャフト３３の最高温度Ｔｍａｘにおいて、上述した２つの嵌合部分がいずれもすきまばめとなるように各部の直径Ａ〜Ｄを設定している。すなわち、最高温度Ｔｍａｘにおける隙間Ｃｒおよび隙間Ｃｓの値は、いずれも正の値である。   In this embodiment, at the maximum temperature Tmax of the rotor 30 and the shaft 33 that are allowed in design, the diameters A to D of the respective parts are set so that both of the two fitting parts described above are clearance fits. ing. That is, the values of the clearance Cr and the clearance Cs at the maximum temperature Tmax are both positive values.

任意の温度ｔにおける隙間Ｃｒの値Ｃｒ（ｔ）、および、隙間Ｃｓの値Ｃｓ（ｔ）は、次の（３）式および（４）式で与えられる。
Ｃｒ（ｔ）＝｛Ｂ０＋（ｔ−ｔ１）・α１・Ｂ０｝
−｛Ａ０＋（ｔ−ｔ１）・α２・Ａ０｝ ・・・（３）
Ｃｓ（ｔ）＝｛Ｄ０＋（ｔ−ｔ１）・α２・Ｄ０｝
−｛Ｃ０＋（ｔ−ｔ１）・α１・Ｃ０｝ ・・・（４）
ここで、ｔ１は、常温時の温度（たとえば２０℃）である。Ａ０，Ｂ０，Ｃ０，Ｄ０は、それぞれ常温時のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの値である。α１は、ロータ３０を構成する材質（たとえばアルミニウム合金）についての線膨張係数であり、α２は、シャフト３３を構成する材質（たとえばステンレスや鋼材やロータとは線膨張係数が異なるアルミニウム合金）についての線膨張係数である。 The value Cr (t) of the gap Cr at an arbitrary temperature t and the value Cs (t) of the gap Cs are given by the following equations (3) and (4).
Cr (t) = {B0 + (t−t1) · α1 · B0}
-{A0 + (t-t1) · α2 · A0} (3)
Cs (t) = {D0 + (t−t1) · α2 · D0}
− {C0 + (t−t1) · α1 · C0} (4)
Here, t1 is a temperature at room temperature (for example, 20 ° C.). A0, B0, C0, and D0 are values of A, B, C, and D, respectively, at room temperature. α1 is a linear expansion coefficient for a material (for example, an aluminum alloy) constituting the rotor 30, and α2 is a material for a material for the shaft 33 (for example, an aluminum alloy having a linear expansion coefficient different from that of stainless steel, steel, or the rotor). Linear expansion coefficient.

なお、上述したように、ロータ３０を構成する材質（たとえばアルミニウム合金）についての線膨張係数α１は、シャフト３３を構成する材質（たとえばステンレスや鋼材やロータとは線膨張係数が異なるアルミニウム合金）についての線膨張係数α２よりも大きい。   As described above, the linear expansion coefficient α1 for the material constituting the rotor 30 (for example, an aluminum alloy) is the same as the material constituting the shaft 33 (for example, an aluminum alloy having a linear expansion coefficient different from that of stainless steel, steel, or the rotor). Is larger than the linear expansion coefficient α2.

上述した第１の実施の形態では、次の作用効果を奏する。
（１） ロータ３０とシャフト３３との嵌合部分として、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との嵌合部分と、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との嵌合部分を設けるように構成した。そして、常温時には、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒの方が、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓよりも小さくなるように各部の直径Ａ〜Ｄを設定した。また、ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓを超えると、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓの方が、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒよりも小さくなるように各部の直径Ａ〜Ｄを設定した。 The first embodiment described above has the following operational effects.
(1) As a fitting portion between the rotor 30 and the shaft 33, a fitting portion between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331, a rotor-side fitting protrusion 302, and a shaft-side fitting groove 332 The fitting part is provided. At a normal temperature, the gap Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 is smaller than the gap Cs between the rotor side fitting projection 302 and the shaft side fitting groove 332. The diameter AD of each part was set. When the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 exceeds a predetermined temperature Ts, the gap Cs between the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 is fitted to the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting. The diameters A to D of the respective portions were set so as to be smaller than the gap Cr with the shaft 331.

これにより、ロータ３０およびシャフト３３の温度に応じて大きさが変化する２つの嵌合部分のうち、隙間の大きさがより小さくなる方の嵌合部分によってロータ３０とシャフト３３との径方向の位置がずれることを防止できる。そのため、ロータ３０およびシャフト３３とを焼きばめによって締結しなくても、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置ずれを抑制できるので、ロータ３０とシャフト３３との締結作業および分解作業を容易化できる。また、締結作業および分解作業に要する作業時間を短縮化できる。したがって、真空ポンプの製造コストや、ロータ３０やシャフト３３のメンテナンスコストを低減できる。   As a result, of the two fitting portions whose sizes change according to the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33, the fitting portion with the smaller gap size in the radial direction between the rotor 30 and the shaft 33. The position can be prevented from shifting. Therefore, even if the rotor 30 and the shaft 33 are not fastened by shrink fitting, the radial displacement between the rotor 30 and the shaft 33 can be suppressed, so that the fastening work and the disassembling work between the rotor 30 and the shaft 33 are easy. Can be Further, the work time required for the fastening work and the disassembling work can be shortened. Therefore, the manufacturing cost of the vacuum pump and the maintenance cost of the rotor 30 and the shaft 33 can be reduced.

（２） ロータ３０とシャフト３３との材質の違い、すなわち線膨張係数の差異によって、ロータ３０およびシャフト３３の温度が上昇すると、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒが大きくなり、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓが小さくなるように構成した。これにより、ロータ３０およびシャフト３３の温度が変化しても、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置ずれの最大値が大きく変動することを防止できる。したがって、ロータ３０およびシャフト３３の温度が上昇しても、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置のずれを抑制でき、バランスの狂いによる異常振動等の発生を防止できる。また、このことによって、真空ポンプの各部の耐久性を向上できる。 (2) When the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 rises due to the difference in material between the rotor 30 and the shaft 33, that is, the difference in linear expansion coefficient, the clearance Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 The gap Cs between the rotor-side fitting projection 302 and the shaft-side fitting groove 332 is reduced. Thereby, even if the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 changes, it is possible to prevent the maximum value of the radial displacement between the rotor 30 and the shaft 33 from fluctuating greatly. Therefore, even if the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 rises, deviation in the radial position between the rotor 30 and the shaft 33 can be suppressed, and occurrence of abnormal vibration or the like due to an imbalance of balance can be prevented. This also improves the durability of each part of the vacuum pump.

（３） 設計上許容されるロータ３０およびシャフト３３の最高温度Ｔｍａｘにおいて、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との嵌合部分、および、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との嵌合部分のいずれもが、すきまばめとなるように各部の直径Ａ〜Ｄを設定した。これにより、これらの嵌合部分における、熱応力が繰り返し作用することを抑制でき、ロータ３０およびシャフト３３の耐久性を向上できる。 (3) At the maximum temperature Tmax of the rotor 30 and the shaft 33 allowed by design, the fitting portion between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331, and the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft side The diameters A to D of each part were set so that any of the fitting parts with the fitting groove 332 was a clearance fit. Thereby, it can suppress that the thermal stress acts in these fitting parts repeatedly, and the durability of the rotor 30 and the shaft 33 can be improved.

−−−第２の実施の形態−−−
図４を参照して、本発明による真空ポンプの第２の実施の形態を説明する。以下の説明では、第１の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第１の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、ロータ３０およびシャフト３３とは異なる部材と、ロータ３０との嵌合部分を有する点で、第１の実施の形態と異なる。 --- Second Embodiment ---
A second embodiment of the vacuum pump according to the present invention will be described with reference to FIG. In the following description, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and different points will be mainly described. Points that are not particularly described are the same as those in the first embodiment. The present embodiment is different from the first embodiment mainly in that a member different from the rotor 30 and the shaft 33 and a fitting portion with the rotor 30 are provided.

図４は、第２の実施の形態におけるロータ３０とシャフト３３の嵌め合い構造を説明する断面図である。本実施の形態では、ロータ３０およびシャフト３３の回転バランスをとるためのバランス取りプレート４０がさらに設けられている。バランス取りプレート４０には、後述するロータ側嵌合突部３０３と嵌合するプレート側嵌合溝４１と、ボルト３４が貫通するボルト貫通孔４２とが設けられている。バランス取りプレート４０は、ボルト３４によってシャフト３３に固定されると、シャフト３３の上面とバランス取りプレート４０の下面との間でロータ３０を挟持する。   FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining a fitting structure of the rotor 30 and the shaft 33 in the second embodiment. In the present embodiment, a balancing plate 40 for balancing the rotation of the rotor 30 and the shaft 33 is further provided. The balancing plate 40 is provided with a plate-side fitting groove 41 that fits into a rotor-side fitting projection 303 described later, and a bolt through hole 42 through which the bolt 34 passes. When the balancing plate 40 is fixed to the shaft 33 by the bolts 34, the rotor 30 is sandwiched between the upper surface of the shaft 33 and the lower surface of the balancing plate 40.

ロータ３０の上面には、上方に突出してプレート側嵌合溝４１と嵌合するロータ側嵌合突部３０３が設けられている。なお、本実施の形態では、第１の実施の形態で設けられていたロータ側嵌合突部３０２およびシャフト側嵌合溝３３２は設けられていない。   On the upper surface of the rotor 30, there is provided a rotor-side fitting protrusion 303 that protrudes upward and engages with the plate-side fitting groove 41. In the present embodiment, the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 provided in the first embodiment are not provided.

ここで、ロータ側嵌合突部３０３の直径をＣとし、プレート側嵌合溝４１の直径をＤとすると、ロータ側嵌合突部３０３とプレート側嵌合溝４１との隙間は、Ｄ−Ｃで表される。以下の説明では、ロータ側嵌合突部３０３とプレート側嵌合溝４１との隙間を隙間Ｃｐとも呼ぶこととする。   Here, when the diameter of the rotor-side fitting protrusion 303 is C and the diameter of the plate-side fitting groove 41 is D, the gap between the rotor-side fitting protrusion 303 and the plate-side fitting groove 41 is D−. Represented by C. In the following description, the gap between the rotor-side fitting protrusion 303 and the plate-side fitting groove 41 is also referred to as a gap Cp.

ロータ３０およびシャフト３３の温度が上昇すると、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒは大きくなり、ロータ側嵌合突部３０３とプレート側嵌合溝４１との隙間Ｃｐは小さくなる。また、ロータ３０およびシャフト３３の温度が下降すると、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒは小さくなり、ロータ側嵌合突部３０３とプレート側嵌合溝４１との隙間Ｃｐは大きくなる。   When the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 rise, the gap Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 increases, and the gap Cp between the rotor side fitting protrusion 303 and the plate side fitting groove 41. Becomes smaller. Further, when the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 are lowered, the clearance Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 is reduced, and the rotor side fitting protrusion 303 and the plate side fitting groove 41 are not formed. The gap Cp increases.

そこで、本実施の形態では、上述した第１の実施の形態における条件（ａ）および（ｂ）をともに満たすように、本実施の形態における各部の直径Ａ〜Ｄを設定している。このように各部の直径Ａ〜Ｄを設定することによって、上述した第１の実施の形態の作用効果と同様の作用効果を奏する。   Therefore, in the present embodiment, the diameters A to D of each part in the present embodiment are set so as to satisfy both the conditions (a) and (b) in the first embodiment described above. By setting the diameters A to D of the respective parts in this way, the same operational effects as the operational effects of the first embodiment described above can be obtained.

また、本実施の形態では、バランス取りプレート４０がロータ３０およびシャフト３３の回転バランスをとる機能と、ロータ３０を固定する機能と、ロータ３０のずれを防止する機能とを兼ね備えているので、部品点数を削減でき、コストダウンを図れる。   In the present embodiment, the balancing plate 40 has both the function of balancing the rotation of the rotor 30 and the shaft 33, the function of fixing the rotor 30, and the function of preventing the rotor 30 from shifting. Points can be reduced and costs can be reduced.

−−−変形例−−−
（１） 上述した第１の実施の形態では、ロータ３０とシャフト３３との間に２箇所の嵌合部分を設ける例として、図２に示すように、図示上方に突出する円柱状のシャフト側嵌合軸３３１と、環状のシャフト側嵌合溝３３２とが設けられるように構成したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、上述した各実施の形態において図示により説明した内容は、一例であり、本発明はこれに限定されない。 ---- Modified example ---
(1) In the first embodiment described above, as an example in which two fitting portions are provided between the rotor 30 and the shaft 33, as shown in FIG. Although the fitting shaft 331 and the annular shaft side fitting groove 332 are provided, the present invention is not limited to this. That is, the contents described by way of illustration in the respective embodiments described above are examples, and the present invention is not limited to this.

図５（ａ）は、第１の実施の形態におけるロータ３０とシャフト３３との嵌合部分を模式的に示した図である。図５（ａ）に示すように、第１の実施の形態では、シャフト３３の中心側に軸状の嵌合部（すなわちシャフト側嵌合軸３３１）を設け、その周囲に溝状（孔状）の嵌合部（すなわちシャフト側嵌合溝３３２）を設けた。そして、ロータ３０の中心側に孔状の嵌合部（すなわちロータ側嵌合孔３０１）を設け、その周囲に軸状の嵌合部（すなわちロータ側嵌合突部３０２）を設けた。   FIG. 5A is a diagram schematically showing a fitting portion between the rotor 30 and the shaft 33 in the first embodiment. As shown in FIG. 5A, in the first embodiment, a shaft-like fitting portion (that is, a shaft-side fitting shaft 331) is provided on the center side of the shaft 33, and a groove shape (hole shape) is provided around the shaft-like fitting portion. ) Fitting portion (that is, the shaft side fitting groove 332). And the hole-shaped fitting part (namely, rotor side fitting hole 301) was provided in the center side of the rotor 30, and the shaft-shaped fitting part (namely, rotor side fitting protrusion 302) was provided in the circumference | surroundings.

これに対して、たとえば図５（ｂ）に示すように、第１の実施の形態とは、各嵌合部における凹凸関係を逆転させてもよい。すなわち、シャフト３３の中心側に孔状の嵌合部（すなわちシャフト側嵌合孔３３４）を設け、その周囲に軸状の嵌合部（すなわちシャフト側嵌合軸３３５）を設ける。そして、ロータ３０の中心側に軸状の嵌合部（すなわちロータ側嵌合突部３０４）を設け、その周囲に溝状（孔状）の嵌合部（すなわちロータ側嵌合溝３０５）を設ける。   On the other hand, for example, as shown in FIG. 5B, the concave-convex relationship in each fitting portion may be reversed from the first embodiment. That is, a hole-shaped fitting portion (that is, the shaft-side fitting hole 334) is provided on the center side of the shaft 33, and a shaft-shaped fitting portion (that is, the shaft-side fitting shaft 335) is provided around the hole. Then, a shaft-like fitting portion (that is, the rotor-side fitting protrusion 304) is provided on the center side of the rotor 30, and a groove-like (hole-like) fitting portion (that is, the rotor-side fitting groove 305) is provided around the shaft-like fitting portion. Provide.

ロータ側嵌合突部３０４とシャフト側嵌合孔３３４との間に形成した径方向の隙間を隙間Ｃｒ’とも呼び、ロータ側嵌合溝３０５とシャフト側嵌合軸３３５との間に形成した径方向の隙間を隙間Ｃｓ’とも呼ぶ。上述したようにシャフト３３の線膨張係数は、ロータ３０の線膨張係数よりも小さい。そのため、ロータ３０およびシャフト３３の温度が上昇すると、ロータ側嵌合溝３０５とシャフト側嵌合軸３３５との隙間Ｃｓ’は大きくなり、ロータ側嵌合突部３０４とシャフト側嵌合孔３３４との隙間Ｃｒ’は小さくなる。また、ロータ３０およびシャフト３３の温度が下降すると、ロータ側嵌合溝３０５とシャフト側嵌合軸３３５との隙間Ｃｓ’は小さくなり、ロータ側嵌合突部３０４とシャフト側嵌合孔３３４との隙間Ｃｒ’は大きくなる。   A radial gap formed between the rotor side fitting protrusion 304 and the shaft side fitting hole 334 is also called a gap Cr ′, and is formed between the rotor side fitting groove 305 and the shaft side fitting shaft 335. The radial gap is also referred to as a gap Cs ′. As described above, the linear expansion coefficient of the shaft 33 is smaller than the linear expansion coefficient of the rotor 30. Therefore, when the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 rise, the gap Cs ′ between the rotor-side fitting groove 305 and the shaft-side fitting shaft 335 increases, and the rotor-side fitting protrusion 304 and the shaft-side fitting hole 334 The gap Cr ′ becomes smaller. Further, when the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 are lowered, the gap Cs ′ between the rotor side fitting groove 305 and the shaft side fitting shaft 335 is reduced, and the rotor side fitting protrusion 304 and the shaft side fitting hole 334 are The gap Cr ′ increases.

そこで、第１の実施の形態の条件（ａ）と同様に、温度が上がるにつれて隙間の大きさが大きくなる方の隙間Ｃｓ’の大きさが、常温時に、隙間Ｃｒ’の大きさよりも小さくなるように各部の寸法を設定する。すなわち、常温時には、隙間Ｃｓ’および隙間Ｃｒ’のうち、線膨張係数が小さい方の軸状嵌合部（すなわちシャフト側嵌合軸３３５）と、線膨張係数が大きい方の孔状嵌合部（すなわちロータ側嵌合溝３０５）との隙間である一方の隙間（すなわち隙間Ｃｓ’）の大きさが、他方の隙間（すなわち隙間Ｃｒ’）の大きさよりも小さくなるように各部の寸法を設定する。   Therefore, as in the condition (a) of the first embodiment, the size of the gap Cs ′ whose size increases as the temperature rises is smaller than the size of the gap Cr ′ at room temperature. Set the dimensions of each part as follows. That is, at room temperature, out of the gap Cs ′ and the gap Cr ′, the shaft-like fitting portion having the smaller linear expansion coefficient (that is, the shaft-side fitting shaft 335) and the hole-like fitting portion having the larger linear expansion coefficient. The dimension of each part is set so that the size of one gap (that is, the gap Cs ′) that is the gap with the rotor-side fitting groove 305 is smaller than the size of the other gap (that is, the gap Cr ′). To do.

また、さらに、第１の実施の形態の条件（ｂ）と同様に、ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓを超えた場合には、温度が上がるにつれて隙間の大きさが小さくなる方の隙間Ｃｒ’の大きさが隙間Ｃｓ’の大きさよりも小さくなるように各部の寸法を設定する。すなわち、所定の温度Ｔｓを超えた場合には、線膨張係数が大きい方の軸状嵌合部（すなわちロータ側嵌合突部３０４）と線膨張係数が小さい方の孔状嵌合部（すなわちシャフト側嵌合孔３３４）との隙間（すなわち隙間Ｃｒ’）の大きさが、上記一方の隙間（すなわち隙間Ｃｓ’）の大きさよりも小さくなるように各部の寸法を設定する。   Further, as in the condition (b) of the first embodiment, when the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 exceeds a predetermined temperature Ts, the size of the gap decreases as the temperature increases. The size of each part is set so that the size of the gap Cr ′ is smaller than the size of the gap Cs ′. That is, when the predetermined temperature Ts is exceeded, the shaft-shaped fitting portion having a larger linear expansion coefficient (that is, the rotor-side fitting protrusion 304) and the hole-shaped fitting portion having a smaller linear expansion coefficient (that is, the linear fitting coefficient) The dimension of each part is set so that the size of the gap (that is, the gap Cr ′) with the shaft side fitting hole 334) is smaller than the size of the one gap (that is, the gap Cs ′).

（２） 上述した第１の実施の形態では、ロータ３０を構成する材質についての線膨張係数α１が、シャフト３３を構成する材質についての線膨張係数α２よりも大きいものとして説明したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、ロータ３０を構成する材質についての線膨張係数α１が、シャフト３３を構成する材質についての線膨張係数α２よりも小さくてもよい。この場合には、上述した第１の実施の形態とは異なって、ロータ３０およびシャフト３３の温度が上昇すると、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒは小さくなり、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓは大きくなる。また、ロータ３０およびシャフト３３の温度が下降すると、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との隙間Ｃｒは大きくなり、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との隙間Ｃｓは小さくなる。 (2) In the above-described first embodiment, the linear expansion coefficient α1 for the material constituting the rotor 30 has been described as being greater than the linear expansion coefficient α2 for the material constituting the shaft 33. Is not limited to this. That is, the linear expansion coefficient α1 for the material constituting the rotor 30 may be smaller than the linear expansion coefficient α2 for the material constituting the shaft 33. In this case, unlike the first embodiment described above, when the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 rises, the gap Cr between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331 becomes small, A gap Cs between the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 increases. Further, when the temperatures of the rotor 30 and the shaft 33 are lowered, the clearance Cr between the rotor side fitting hole 301 and the shaft side fitting shaft 331 increases, and the rotor side fitting protrusion 302 and the shaft side fitting groove 332 are separated from each other. The gap Cs is reduced.

そこで、ロータ３０を構成する材質についての線膨張係数α１が、シャフト３３を構成する材質についての線膨張係数α２よりも小さい場合には、次の条件を満たすように各部の直径Ａ〜Ｄを設定すればよい。すなわち、ロータ３０およびシャフト３３の温度が常温である場合に、隙間Ｃｓ＜ 隙間Ｃｒとなるように、かつ、ロータ３０およびシャフト３３の温度が所定の温度Ｔｓを超えた場合に、隙間Ｃｒ≦ 隙間Ｃｓとなるように、各部の直径Ａ〜Ｄを設定すればよい。   Therefore, when the linear expansion coefficient α1 for the material constituting the rotor 30 is smaller than the linear expansion coefficient α2 for the material constituting the shaft 33, the diameters A to D of the respective parts are set so as to satisfy the following conditions. do it. That is, when the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 is normal temperature, the clearance Cs <the clearance Cr, and when the temperature of the rotor 30 and the shaft 33 exceeds the predetermined temperature Ts, the clearance Cr ≦ the clearance What is necessary is just to set the diameter AD of each part so that it may become Cs.

換言すると、常温時には、隙間Ｃｓおよび隙間Ｃｒのうち、線膨張係数が小さい方の軸状嵌合部と、線膨張係数が大きい方の孔状嵌合部との隙間である一方の隙間の大きさが、他方の隙間の大きさよりも小さくなるように各部の寸法を設定する。そして、さらに、所定の温度Ｔｓを超えた場合には、線膨張係数が大きい方の軸状嵌合部と線膨張係数が小さい方の孔状嵌合部との隙間（すなわち他方の隙間）の大きさが、一方の隙間の大きさよりも小さくなるように各部の寸法を設定すればよい。   In other words, at the normal temperature, the size of one gap that is a gap between the shaft-shaped fitting portion having the smaller linear expansion coefficient and the hole-shaped fitting portion having the larger linear expansion coefficient among the gap Cs and the gap Cr. However, the dimension of each part is set so that it may become smaller than the magnitude | size of the other clearance gap. Further, when the predetermined temperature Ts is exceeded, a gap (that is, the other gap) between the shaft-like fitting portion having the larger linear expansion coefficient and the hole-like fitting portion having the smaller linear expansion coefficient. What is necessary is just to set the dimension of each part so that a magnitude | size may become smaller than the magnitude | size of one clearance gap.

（３） 上述の説明では、最高温度Ｔｍａｘにおいて、ロータ側嵌合孔３０１とシャフト側嵌合軸３３１との嵌合部分、および、ロータ側嵌合突部３０２とシャフト側嵌合溝３３２との嵌合部分のいずれもが、すきまばめとなるように各部の直径Ａ〜Ｄを設定した。すなわち、上述の説明では、最高温度Ｔｍａｘにおいて、隙間Ｃｓおよび隙間Ｃｒの値がいずれもゼロを超えるように設定したが、本発明においてこのことは必須ではない。たとえば、図６に示すように、最高温度Ｔｍａｘにおいて隙間Ｃｓの大きさがゼロ以下となるように、各部の直径Ａ〜Ｄを設定してもよい。この場合には、ロータ３０とシャフト３３との径方向の位置ずれの許容範囲が狭まるので、バランスの狂いによる異常振動等の発生を効果的に防止できる。また、このことによって、真空ポンプの各部の耐久性をさらに向上できる。 (3) In the above description, at the maximum temperature Tmax, the fitting portion between the rotor-side fitting hole 301 and the shaft-side fitting shaft 331, and the rotor-side fitting protrusion 302 and the shaft-side fitting groove 332 The diameters A to D of each part were set so that any of the fitting parts had a clearance fit. That is, in the above description, the values of the gap Cs and the gap Cr are both set to exceed zero at the maximum temperature Tmax, but this is not essential in the present invention. For example, as shown in FIG. 6, the diameters A to D of the respective parts may be set so that the size of the gap Cs becomes zero or less at the maximum temperature Tmax. In this case, since the allowable range of the positional deviation in the radial direction between the rotor 30 and the shaft 33 is narrowed, it is possible to effectively prevent the occurrence of abnormal vibration or the like due to an imbalance. In addition, this can further improve the durability of each part of the vacuum pump.

（４） 上述の説明では、真空ポンプの一例としてターボ分子ポンプを例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、たとえばドラッグポンプなどの他の真空ポンプに適用してもよい。
（５） 上述した各実施の形態および変形例は、それぞれ組み合わせてもよい。 (4) In the above description, a turbo molecular pump has been described as an example of a vacuum pump. However, the present invention is not limited to this and may be applied to other vacuum pumps such as a drag pump.
(5) You may combine each embodiment and modification which were mentioned above, respectively.

なお、本発明は、上述した実施の形態のものに何ら限定されず、シャフト側軸状嵌合部と、シャフト側孔状嵌合部とを有するシャフトと、シャフト側軸状嵌合部と嵌合するロータ側孔状嵌合部、および、シャフト側孔状嵌合部と嵌合するロータ側軸状嵌合部を有し、シャフトとは線膨張係数が異なり、シャフトに固定されたロータとを備え、シャフト側軸状嵌合部とロータ側孔状嵌合部との間に形成した第１の隙間と、シャフト側孔状嵌合部とロータ側軸状嵌合部との間に形成した第２の隙間とを設定するにあたり、常温時には、第１および第２の隙間のうち、線膨張係数が小さい方の軸状嵌合部と線膨張係数が大きい方の孔状嵌合部との隙間である一方の隙間の大きさは、他方の隙間の大きさよりも小さくなり、運転時に所定の温度を超えると、他方の隙間の大きさは、一方の隙間の大きさよりも小さくなるように構成した各種構造の真空ポンプを含むものである。
また、本発明は、上述した実施の形態のものに何ら限定されず、シャフト側軸状嵌合部を有するシャフトと、ロータ側軸状嵌合部、および、シャフト側軸状嵌合部と嵌合するロータ側孔状嵌合部を有し、シャフトとは線膨張係数が異なり、シャフトに固定されたロータと、ロータ側軸状嵌合部と嵌合する固定部材側孔状嵌合部を有し、シャフトと線膨張係数が同じであり、ロータをシャフトに固定する固定部材とを備え、シャフト側軸状嵌合部とロータ側孔状嵌合部との間に形成した第１の隙間と、ロータ側軸状嵌合部と固定部材側孔状嵌合部との間に形成した第２の隙間とを設定するにあたり、常温時には、第１および第２の隙間のうち、線膨張係数が小さい方の軸状嵌合部と線膨張係数が大きい方の孔状嵌合部との隙間である一方の隙間の大きさは、他方の隙間の大きさよりも小さくなり、運転時に所定の温度を超えると、他方の隙間の大きさは、一方の隙間の大きさよりも小さくなるように構成した各種構造の真空ポンプを含むものである。 The present invention is not limited to the embodiment described above, and includes a shaft having a shaft-side shaft-like fitting portion and a shaft-side hole-like fitting portion, and a shaft-side shaft-like fitting portion. A rotor-side hole-like fitting portion to be mated, and a rotor-side shaft-like fitting portion to be fitted to the shaft-side hole-like fitting portion, the linear expansion coefficient being different from the shaft, and a rotor fixed to the shaft A first gap formed between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, and formed between the shaft-side hole-like fitting portion and the rotor-side shaft-like fitting portion. In setting the second gap, at room temperature, of the first and second gaps, the shaft-like fitting part having the smaller linear expansion coefficient and the hole-like fitting part having the larger linear expansion coefficient The size of one of the gaps is smaller than the size of the other gap and exceeds a predetermined temperature during operation. When the size of the other gaps are those comprising a vacuum pump arrangement the various structures to be smaller than the size of one of the gaps.
Further, the present invention is not limited to the embodiment described above, and the shaft having the shaft-side shaft-like fitting portion, the rotor-side shaft-like fitting portion, and the shaft-side shaft-like fitting portion and the fitting. A rotor-side hole-like fitting part that has a linear expansion coefficient different from that of the shaft, and a rotor fixed to the shaft, and a fixing member-side hole-like fitting part that fits the rotor-side shaft-like fitting part. A first clearance formed between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, the shaft having the same linear expansion coefficient as the shaft, and a fixing member that fixes the rotor to the shaft. And the second gap formed between the rotor-side shaft-like fitting portion and the fixing member-side hole-like fitting portion, the linear expansion coefficient of the first and second gaps is set at normal temperature. One gap that is the gap between the shaft-shaped fitting portion with the smaller linearity and the hole-shaped fitting portion with the larger linear expansion coefficient The size of the other gap is smaller than the size of the other gap, and when the temperature exceeds a predetermined temperature during operation, the size of the other gap becomes smaller than the size of the one gap. Is included.

１ ポンプ本体、３０ ロータ、３３ ロータ軸（シャフト）、４０ バランス取りプレート、４１ プレート側嵌合溝、３０１ ロータ側嵌合孔、３０２ ロータ側嵌合突部、３３１ シャフト側嵌合軸、３３２ シャフト側嵌合溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pump main body, 30 Rotor, 33 Rotor shaft (shaft), 40 Balancing plate, 41 Plate side fitting groove, 301 Rotor side fitting hole, 302 Rotor side fitting protrusion, 331 Shaft side fitting shaft, 332 shaft Side mating groove

Claims (6)

シャフト側軸状嵌合部と、シャフト側孔状嵌合部とを有するシャフトと、
前記シャフト側軸状嵌合部と嵌合するロータ側孔状嵌合部、および、前記シャフト側孔状嵌合部と嵌合するロータ側軸状嵌合部を有し、前記シャフトとは線膨張係数が異なり、前記シャフトに固定されたロータとを備え、
前記シャフト側軸状嵌合部が前記シャフトの中心に前記シャフトの軸線方向に沿って形成され、かつ、前記ロータ側孔状嵌合部が前記ロータの中心に前記シャフトの軸線方向に沿って形成され、あるいは、前記ロータ側軸状嵌合部が前記ロータの中心に前記シャフトの軸線方向に沿って形成され、かつ、前記シャフト側孔状嵌合部が前記シャフトの中心に前記シャフトの軸線方向に沿って形成され、
前記シャフト側軸状嵌合部と前記ロータ側孔状嵌合部との間の第１の寸法差と、前記シャフト側孔状嵌合部と前記ロータ側軸状嵌合部との間の第２の寸法差とを設定するにあたり、
常温時には、前記シャフト側軸状嵌合部と前記ロータ側孔状嵌合部との間、および、前記シャフト側孔状嵌合部と前記ロータ側軸状嵌合部との間にそれぞれ隙間が形成されており、前記第１および第２の寸法差のうち、線膨張係数が小さい方の軸状嵌合部と線膨張係数が大きい方の孔状嵌合部との寸法差である一方の寸法差は、線膨張係数が小さい方の孔状嵌合部と線膨張係数が大きい方の軸状嵌合部との寸法差である他方の寸法差よりも小さくなり、
運転時に所定の温度を超えると、前記シャフト側軸状嵌合部と前記ロータ側孔状嵌合部との間、および、前記シャフト側孔状嵌合部と前記ロータ側軸状嵌合部との間にそれぞれ隙間が形成されており、前記他方の寸法差が前記一方の寸法差よりも小さくなる、あるいは、前記他方の寸法差がゼロ以下となることにより前記他方の隙間がゼロとなるように構成した真空ポンプ。 A shaft having a shaft-side shaft-like fitting portion and a shaft-side hole-like fitting portion;
A rotor-side hole-like fitting portion that fits with the shaft-side shaft-like fitting portion; and a rotor-side shaft-like fitting portion that fits with the shaft-side hole-like fitting portion. The expansion coefficient is different, and includes a rotor fixed to the shaft,
The shaft-side axial fitting portion is formed at the center of the shaft along the axial direction of the shaft, and the rotor-side hole-like fitting portion is formed at the center of the rotor along the axial direction of the shaft. Alternatively, the rotor-side axial fitting portion is formed at the center of the rotor along the axial direction of the shaft, and the shaft-side hole-like fitting portion is at the center of the shaft in the axial direction of the shaft. Formed along
A first dimensional difference between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, and a first dimension difference between the shaft-side hole-like fitting portion and the rotor-side shaft-like fitting portion. In setting the dimensional difference of 2,
At normal temperature, there are gaps between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, and between the shaft-side hole-like fitting portion and the rotor-side shaft-like fitting portion, respectively. is formed, of the first and second dimensional difference, the linear expansion coefficient of one of the dimension difference between the smaller axial fitting portion and the linear expansion coefficient larger hole shape engaging portion of the The dimensional difference is smaller than the other dimensional difference, which is the dimensional difference between the hole-shaped fitting portion with the smaller linear expansion coefficient and the shaft-shaped fitting portion with the larger linear expansion coefficient ,
When a predetermined temperature is exceeded during operation, between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, and between the shaft-side hole-like fitting portion and the rotor-side shaft-like fitting portion, A gap is formed between each other, and the other dimensional difference is smaller than the one dimensional difference, or the other dimensional difference becomes zero or less so that the other gap becomes zero. A vacuum pump configured as above. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記シャフトの線膨張係数が前記ロータの線膨張係数よりも小さいときは、
常温時には、前記第１の寸法差が、前記第２の寸法差よりも小さくなり、かつ、運転時に所定の温度を超えると、前記第２の寸法差が、前記第１の寸法差よりも小さくなる、あるいは、前記第２の寸法差がゼロ以下となることにより前記隙間がゼロとなる真空ポンプ。 The vacuum pump according to claim 1, wherein
When the linear expansion coefficient of the shaft is smaller than the linear expansion coefficient of the rotor,
The normal temperature, the first dimensional difference, the smaller than the second size difference, and exceeds a predetermined temperature during operation, the second dimensional difference before SL than the first dimension difference A vacuum pump in which the gap becomes zero when the second dimensional difference becomes zero or less . 請求項２に記載の真空ポンプにおいて、
前記第１の寸法差は、温度が上がるにつれて大きくなり、
前記第２の寸法差は、温度が上がるにつれて小さくなる真空ポンプ。 The vacuum pump according to claim 2,
The first dimensional difference increases as the temperature increases,
The second dimensional difference is a vacuum pump that decreases with increasing temperature. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記シャフトの線膨張係数が前記ロータの線膨張係数よりも大きいときは、
常温時には、前記第２の寸法差が、前記第１の寸法差よりも小さくなり、かつ、運転時に所定の温度を超えると、前記第１の寸法差が、前記第２の寸法差よりも小さくなる、あるいは、前記第１の寸法差がゼロ以下となることにより前記隙間がゼロとなる真空ポンプ。 The vacuum pump according to claim 1, wherein
When the linear expansion coefficient of the shaft is larger than the linear expansion coefficient of the rotor,
At the normal temperature, the second dimensional difference is smaller than the first dimensional difference, and when the predetermined temperature is exceeded during operation, the first dimensional difference is smaller than the second dimensional difference. Or a vacuum pump in which the gap is zero when the first dimensional difference is zero or less . 請求項４に記載の真空ポンプにおいて、
前記第２の寸法差は、温度が上がるにつれて大きくなり、
前記第１の寸法差は、温度が上がるにつれて小さくなる真空ポンプ。 The vacuum pump according to claim 4,
The second dimensional difference increases as the temperature increases,
The first dimensional difference is a vacuum pump that decreases with increasing temperature. シャフト側軸状嵌合部を有するシャフトと、
ロータ側軸状嵌合部、および、前記シャフト側軸状嵌合部と嵌合するロータ側孔状嵌合部を有し、前記シャフトとは線膨張係数が異なり、前記シャフトに固定されたロータと、
前記ロータ側軸状嵌合部と嵌合する固定部材側孔状嵌合部を有し、前記シャフトと線膨張係数が同じであり、前記ロータを前記シャフトに固定する固定部材とを備え、
前記シャフト側軸状嵌合部が前記シャフトの中心に前記シャフトの軸線方向に沿って形成され、かつ、前記ロータ側孔状嵌合部が前記ロータの中心に前記シャフトの軸線方向に沿って形成され、あるいは、前記ロータ側軸状嵌合部が前記ロータの中心に前記シャフトの軸線方向に沿って形成され、かつ、前記固定部材側孔状嵌合部が前記シャフトの中心に前記シャフトの軸線方向に沿って形成され、
前記シャフト側軸状嵌合部と前記ロータ側孔状嵌合部との間の第１の寸法差と、前記ロータ側軸状嵌合部と前記固定部材側孔状嵌合部との間の第２の寸法差とを設定するにあたり、
常温時には、前記シャフト側軸状嵌合部と前記ロータ側孔状嵌合部との間、および、前記ロータ側軸状嵌合部と前記固定部材側孔状嵌合部との間にそれぞれ隙間が形成されており、前記第１および第２の寸法差のうち、線膨張係数が小さい方の軸状嵌合部と線膨張係数が大きい方の孔状嵌合部との寸法差である一方の寸法差は、線膨張係数が小さい方の孔状嵌合部と線膨張係数が大きい方の軸状嵌合部との寸法差である他方の寸法差よりも小さくなり、
運転時に所定の温度を超えると、前記シャフト側軸状嵌合部と前記ロータ側孔状嵌合部との間、および、前記ロータ側軸状嵌合部と前記固定部材側孔状嵌合部との間にそれぞれ隙間が形成されており、前記他方の寸法差が前記一方の寸法差よりも小さくなる、あるいは、前記他方の寸法差がゼロ以下となることにより前記他方の隙間がゼロとなるように構成した真空ポンプ。
A shaft having a shaft-side axial fitting portion;
A rotor having a rotor-side shaft-like fitting portion and a rotor-side hole-like fitting portion that fits with the shaft-side shaft-like fitting portion, having a linear expansion coefficient different from that of the shaft, and being fixed to the shaft When,
A fixing member side hole-like fitting portion that fits with the rotor-side axial fitting portion, the shaft has the same linear expansion coefficient, and a fixing member that fixes the rotor to the shaft;
The shaft-side axial fitting portion is formed at the center of the shaft along the axial direction of the shaft, and the rotor-side hole-like fitting portion is formed at the center of the rotor along the axial direction of the shaft. Alternatively, the rotor side axial fitting portion is formed at the center of the rotor along the axial direction of the shaft, and the fixing member side hole fitting portion is at the center of the shaft. Formed along the direction,
A first dimensional difference between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, and between the rotor-side shaft-like fitting portion and the fixing member-side hole-like fitting portion. In setting the second dimension difference,
At normal temperature, there are gaps between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, and between the rotor-side shaft-like fitting portion and the fixing member-side hole-like fitting portion, respectively. There are formed, of the first and second size difference, one shaft-like fitting portion and the linear expansion coefficient towards a small linear expansion coefficient is dimensional difference between the hole-shaped engaging portion of the larger The dimensional difference is smaller than the other dimensional difference, which is the dimensional difference between the hole-shaped fitting portion having the smaller linear expansion coefficient and the shaft-shaped fitting portion having the larger linear expansion coefficient ,
When a predetermined temperature is exceeded during operation, between the shaft-side shaft-like fitting portion and the rotor-side hole-like fitting portion, and between the rotor-side shaft-like fitting portion and the fixing member-side hole-like fitting portion A gap is formed between each other and the other dimensional difference is smaller than the one dimensional difference, or the other dimensional difference becomes zero or less, so that the other gap becomes zero. A vacuum pump configured as follows.
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