JP6225719B2 - Straightness measuring device, straightness measuring method, and program - Google Patents
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Description
本発明は、測定対象物の真直度を測定する真直度測定装置等に関するものである。 The present invention relates to a straightness measuring device that measures the straightness of a measurement object.
従来から測定対象物の真直性を測定する手段が様々提供されている。例えば、
特許文献1では、2次元変位検出機にレーザ光を用い、生成されたスペックル画像を解析することで、簡単でコンパクトな構成で真直度の測定を行う発明が開示されている。
Conventionally, various means for measuring the straightness of a measurement object have been provided. For example,
一方、特許文献2では、ワイヤのワイヤ曲がりを簡単且つ正確に測定評価する発明が開示されており、ワイヤを垂下してワイヤの垂下方向に対して垂直な方向から撮影し、その画像から仮想の中心線を求めて2次元連続蛇行曲線に変換し、ワイヤ長さの2〜25倍の複数区間で区切り、その区切られた2次元曲線の区間毎に該曲線の真直性を評価することを特徴としている。
On the other hand,
一方、測定対象物が、直線パターンを多数有するような場合には、その直線パターンの数に応じて測定量も膨大となる。このようなケースでは、測定精度を担保しつつも測定の高速を図ることが肝要である。 On the other hand, when the measurement object has many linear patterns, the amount of measurement becomes enormous according to the number of the linear patterns. In such a case, it is important to increase the measurement speed while ensuring the measurement accuracy.
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高速且つ高精度に真直度の測定を行う真直度測定装置などを提供することである。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a straightness measurement device that performs straightness measurement at high speed and with high accuracy.
前述した目的を達成するための第1の発明は、測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定装置であって、真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと前記測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させる撮像器搬送手段と、前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出手段と、を備えることを特徴とする真直度測定装置。
である。
第1の発明によって、撮像器を停止することなく搬送させながら測定を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。また、測定対象パターンの真直度は同一の画像内の基準パターンとの相対値(パターン間距離)から算出されるため、撮像器の搬送が蛇行するような場合でも、その影響を相殺でき高精度な真直度の測定が行える。
1st invention for achieving the objective mentioned above is a straightness measuring apparatus which measures the straightness of a measuring object pattern, Comprising: The reference pattern by which straightness was confirmed, the said reference pattern, and the said measuring object pattern An imager that simultaneously captures the imager, an imager transport unit that transports the imager along the reference pattern, and the reference pattern and the measurement target pattern based on image data acquired by capturing the image while transporting And a straightness calculation means for calculating the straightness of the pattern to be measured from the distance between the patterns.
It is.
According to the first invention, since the measurement is performed while the image pickup device is conveyed without stopping, the straightness of the measurement target pattern can be measured at high speed. In addition, since the straightness of the measurement target pattern is calculated from the relative value (distance between patterns) to the reference pattern in the same image, even if the image pickup device is meandering, the effect can be offset with high accuracy. Measurement of straightness.
前記パターン間距離を前記測定対象パターンの傾きに応じて補正する補正手段を、更に備え、前記真直度算出手段は、前記補正されたパターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出することが望ましい。
これによって、測定対象パターンが基準パターンの軸方向に対して斜めに傾いている場合であっても、その傾きを補正し測定対象パターンの真直度を算出するため、測定対象物の配置の影響による測定誤差を軽減でき、より高精度な真直度の測定が行える。
It is desirable that correction means for correcting the inter-pattern distance according to the inclination of the measurement target pattern is further provided, and that the straightness calculation means calculates straightness of the measurement target pattern from the corrected inter-pattern distance. .
As a result, even when the measurement target pattern is inclined obliquely with respect to the axial direction of the reference pattern, the inclination is corrected and the straightness of the measurement target pattern is calculated. Measurement errors can be reduced, and more accurate straightness can be measured.
第2の発明は、真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、を備える真直度測定装置を用いて、前記測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定方法であって、前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させながら撮像する搬送撮像ステップと、前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出ステップと、を含むことを特徴とする真直度測定方法である。
第2の発明によって、撮像器を停止することなく搬送させながら測定を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。また、測定対象パターンの真直度は同一の画像内の基準パターンとの相対値(パターン間距離)から算出されるため、撮像器の搬送が蛇行するような場合でも、その影響を相殺でき高精度な真直度の測定が行える。
According to a second aspect of the present invention, the straightness of the measurement target pattern is determined using a straightness measurement apparatus including a reference pattern whose straightness is confirmed and an imager that images the reference pattern and the measurement target pattern at the same time. A straightness measurement method for measuring, wherein a conveyance imaging step of imaging the imager while conveying the imager along the reference pattern, and the reference pattern and the image based on image data acquired by imaging while conveying A straightness measurement method comprising: calculating a distance between patterns with a measurement target pattern, and calculating a straightness of the measurement target pattern from the distance between the patterns.
According to the second invention, since the measurement is performed while the imaging device is conveyed without stopping, the straightness of the measurement target pattern can be measured at high speed. In addition, since the straightness of the measurement target pattern is calculated from the relative value (distance between patterns) to the reference pattern in the same image, even if the image pickup device is meandering, the effect can be offset with high accuracy. Measurement of straightness.
第3の発明は、コンピュータを、測定対象パターンの真直度を測定する真直度測定装置として機能させるためのプログラムであって、前記真直度測定装置は、真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと前記測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、を備え、前記コンピュータを、前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させながら撮像する搬送撮像手段、前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出手段、として機能させるためのプログラムである。
第3の発明によって、撮像器を停止することなく搬送させながら測定を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。また、測定対象パターンの真直度は同一の画像内の基準パターンとの相対値(パターン間距離)から算出されるため、撮像器の搬送が蛇行するような場合でも、その影響を相殺でき高精度な真直度の測定が行える。
A third invention is a program for causing a computer to function as a straightness measuring device for measuring the straightness of a measurement target pattern, wherein the straightness measuring device includes a reference pattern whose straightness is confirmed, An image pickup device that simultaneously picks up the reference pattern and the measurement target pattern, and a transfer image pickup means for picking up an image while carrying the image pickup device along the reference pattern. A program for functioning as a straightness calculation unit that calculates an inter-pattern distance between the reference pattern and the measurement target pattern based on the image data, and calculates a straightness of the measurement target pattern from the inter-pattern distance. is there.
According to the third invention, since the measurement is performed while the image pickup device is conveyed without being stopped, the straightness of the measurement target pattern can be measured at high speed. In addition, since the straightness of the measurement target pattern is calculated from the relative value (distance between patterns) to the reference pattern in the same image, even if the image pickup device is meandering, the effect can be offset with high accuracy. Measurement of straightness.
本発明によれば、撮像器を停止することなく搬送させながら測定を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。また、測定対象パターンの真直度は同一の画像内の基準パターンとの相対値(パターン間距離)から算出されるため、撮像器の搬送が蛇行するような場合でも、その影響を相殺でき高精度な真直度の測定が行える。 According to the present invention, since the measurement is performed while transporting the image pickup device without stopping, the straightness of the measurement target pattern can be measured at high speed. In addition, since the straightness of the measurement target pattern is calculated from the relative value (distance between patterns) to the reference pattern in the same image, even if the image pickup device is meandering, the effect can be offset with high accuracy. Measurement of straightness.
以下、図面に基づいて、本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[本発明の実施の形態]
図1は、本発明の実施の形態の真直度測定装置1の構成例を示す模式図である。
図1に示すように、真直度測定装置1は、測定機構1aと制御機構1bから構成される。
[Embodiments of the present invention]
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a
As shown in FIG. 1, the
真直度測定装置1の測定機構1aは、測定テーブル2と、測定テーブル2に設置される基準パターン3と、測定テーブル2に配置される測定対象物4と、測定テーブル2の上方に基準パターン3と測定対象物4とを同時に撮像するためのカメラ5と、カメラ5を搬送するカメラ搬送ステージ6と、測定テーブル2の下方に基準パターン3と測定対象物4とを背面から照射するための照明7と、照明7を搬送する照明搬送ステージ8と、を備える。
The measuring mechanism 1 a of the
測定テーブル2は、平板状に形成され、その中央部には図示しない長矩形状の凹部を有し、当該凹部に後述する基準パターン3を形成するガラス板が固定される。
なお、測定テーブル2は、測定対象物4を基準パターン3の長手方向と直交する軸方向に搬送する機構を有していてもよい。
The measurement table 2 is formed in a flat plate shape, and has a long rectangular recess (not shown) at the center, and a glass plate for forming a
The measurement table 2 may have a mechanism for transporting the
基準パターン3は、真直度を測定するための基準となる直線状のパターンであり、真直性が保証されているものである。
The
図2は、基準パターン3の一例を示す図である。本実施形態では、基準パターン3は、長さ2000mm、厚さ5mmのガラス板にクロム膜をコーティングすることで形成される。基準パターン3が形成されたガラス板は、測定テーブル2の図示しない凹部に固定される。
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the
図3(a)は図2の基準パターン3の一部分を拡大した図である。図3(a)に示すように、クロム膜を一定の幅で長手方向に一様にコーティングすることで基準パターン3は形成される。クロム膜の幅は任意であるが、本実施形態では100ミクロンとしている。
図3(b)は、図3(a)と異なる基準パターン例を示した拡大図であり、クロム膜を長手方向に所定間隔おきに縞状にコーティングしている。
FIG. 3A is an enlarged view of a part of the
FIG. 3B is an enlarged view showing an example of a reference pattern different from that in FIG. 3A, and a chromium film is coated in stripes at predetermined intervals in the longitudinal direction.
図4は測定対象物4を示す図である。本実施形態では、測定対象物4は、真直性が確認されていない直線状パターンを等間隔にコーティングしたフィルムを用いた。また、図5は、図4の測定対象物4の一部分を拡大した図である。
FIG. 4 is a diagram showing the
カメラ5は、図示しない撮像レンズと、撮像レンズを透過した被写体像を2次元の画像信号に変換するCCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal−oxide Semiconductor)等の電子撮像部等を備えており、カメラ搬送ステージ6に搬送可能に設置される(図1参照)。
なお、本実施形態において撮像レンズは、テレセントリックレンズを用いている。テレセントリックレンズは、主光線がレンズ光軸に対して平行に進むように設計されているため、歪曲収差が生じにくく、被写体の位置を高精度に測定することが可能である。
カメラ5で撮像した被写体像は後述する送受信部22を介して制御機構1bの記憶部24に画像データとして記憶される。
The
In the present embodiment, a telecentric lens is used as the imaging lens. The telecentric lens is designed so that the chief ray travels in parallel with the lens optical axis, so that distortion aberration hardly occurs and the position of the subject can be measured with high accuracy.
The subject image captured by the
カメラ搬送ステージ6は、基準パターン3の上方に設置される(図1参照)。また、カメラ搬送ステージ6は、カメラ5を保持し、且つ、カメラ5を基準パターン3と一定の距離を保ちながら基準パターン3の長手方向に沿って搬送する。当該搬送は、後述する制御部20の制御命令に従って実行される。なお、カメラ搬送ステージ6の両端に停止リミッタを設置し、カメラ5が停止リミッタを超えて搬送されたら自動的にカメラ5を停止するように構成してもよい。
The
照明7は、照明搬送ステージ8に搬送可能に設置され、基準パターン3及び測定対象物4の背面(下方)から光を照射する(図1参照)。照明7には、透過照明を用いるのが望ましい。透過照明を用いることにより、後述する画像処理部24の真直度算出処理において、基準パターン3及び測定対象物4の直線状パターンのエッジ(輪郭)が鮮明に画像化され、エッジ抽出精度が向上する。
The
照明搬送ステージ8は、照明7を保持し(図1参照)、且つ、照明7を基準パターン3と一定の間隔を保ちながら基準パターン3の長手方向に沿って搬送する。当該搬送は、後述する制御部20の制御命令に従って実行される。なお、照明搬送ステージ8の両端に停止リミッタを設置し、照明7が停止リミッタを超えて搬送されたら自動的に照明7を停止するように構成してもよい。
The
図6は、カメラ5と照明7の搬送の様子を示す図であり、真直度測定装置1を側面から見たものである。カメラ5と照明7は、測定テーブル2を挟んで真向いに配置されており、カメラ5と照明7は同じ水平位置を保ちながら協働して搬送される。これにより、カメラが移動しても常に一定の照明条件を確保しながら測定を行うことができる。
FIG. 6 is a diagram showing how the
図7は、真直度測定装置1の制御機構1bの機能を示す図である。制御機構1bは、制御部20、設定部21、送受信部22、入力部23、記憶部24、画像処理部25、及び、表示部26を備える。制御機構1bは、通常、ROM、RAM等を備えたコンピュータで実現される。
FIG. 7 is a diagram illustrating the function of the
制御部20は、真直度測定装置1全体の制御を行う。具体的には、制御部20は、カメラ搬送ステージ6のカメラ5の搬送制御、照明搬送ステージ8の照明7の搬送制御、カメラ5の撮像制御、を行う。この際、制御部20は、設定部21に設定されている制御条件(搬送条件、撮像条件)に従って制御を行う。
The
設定部21は、制御部20の制御条件を保持する。具体的には、カメラ5及び照明7の搬送速度、搬送距離などの「搬送条件」、カメラ5の撮像間隔などの「撮像条件」を保持する。カメラ5及び照明7の搬送速度は、要求される測定スピードなどに応じて適宜決定すればよい。また、カメラ5及び照明7の搬送距離は、測定対象物4のサイズなどに応じて適宜決定すればよい。
カメラ5の撮像間隔とは、例えば、「5秒ごとに撮像を実行する」、「10秒ごとに撮像を実行する」といった撮像する時間間隔のことを言う。撮像間隔は、カメラ5の搬送速度とカメラレンズの画角などに応じて適宜決定されるものであり、少なくとも、基準パターン3が撮像されない部分(死角)が出来ないようにその値を設定するのが望ましい。
本実施形態の場合、カメラ5と照明7の搬送速度を共に15(mm/秒)、搬送距離を共に基準パターンの寸法と同じ1500mmに設定する。撮像間隔は、10秒とした。
The setting
The imaging interval of the
In the case of the present embodiment, both the conveyance speed of the
送受信部22は、所定の形式に従った情報の送受信を行うインターフェースとしての機能を有し、本実施形態の場合、カメラ5、カメラ搬送ステージ6、照明7、照明搬送ステージ8と接続されている。
The transmission /
入力部23は、キーボード、マウス等により構成され、制御部20の制御条件(搬送条件、撮像条件など)の入力、測定開始及び測定停止の操作を受け付ける。
The
記憶部24は、情報を磁気的に記憶するハードディスク、制御機構1aの制御を実行する制御プログラムなどをハードディスクからロードして電気的に記憶するメモリ、により構成される。
また、記憶部24は、カメラ5で撮像した被写体像を、送受信部22を介して画像データとして記憶する。
The
The
画像処理部25は、記憶部24に記憶された画像データに対して、後述する真直度算出処理を実行し、測定対象物4の真直度を算出する。
The
表示部26は、ディスプレイ等により構成され、カメラ5で撮像した画像、後述する真直度算出処理の結果、などを表示する。
The
<基本動作処理>
次に、図8のフローチャートを参照して、真直度測定装置1の基本動作について説明する。
測定準備として、カメラ5を測定開始位置に移動しておく。そして、測定者などが、測定対象物4を測定テーブル1の所定位置に配置する。測定対象物4を配置する際、カメラ5の撮像視野内に、基準パターン3と測定対象物4の真直度を測定したい直線状パターンの両方が同時に写るようにする。以降、測定対象物4の真直度を測定したい直線状パターンを「測定対象パターン」と呼ぶ。
<Basic motion processing>
Next, the basic operation of the
As a measurement preparation, the
ステップ1において、制御部20は、測定者の測定開始の操作を受け付けることによって、設定部21に設定された搬送条件に従って、カメラ5及び照明7の搬送を開始し、同時に、設定部21に設定された撮像条件に従って、カメラ5の撮像を開始する。カメラ5で撮像した被写体像は、送受信部22を介して画像データとして記憶部24に蓄積されていく。図9は撮像された画像データの一例である。図9の左が基準パターン3、右が測定対象パターンである。
In
ステップ2において、制御部20は、カメラ5及び照明7を、設定部21に設定された搬送距離だけ搬送したら、カメラ5及び照明7の搬送を終了し、同時に、カメラ5の撮像を終了する。
In
ステップ3において、画像処理部25(制御部20)は、記憶部24に記憶された画像データに基づいて測定対象パターンの真直度を算出する(真直度算出処理)。真直度算出処理の詳細については後述する。
In
ステップ4において、制御部20は、ステップ3で算出した測定対象パターンの真直度の結果を表示部26に表示し、測定を終了する。
In
測定対象物4の次の直線状パターンを測定したい場合は、測定者などが、再度測定対象物4を配置し直し、ステップ1に戻り測定を開始する。
When it is desired to measure the next linear pattern of the
なお、前述したように測定テーブル2が測定対象物4を基準パターン3の長手方向と直交する軸方向に搬送する機構を有している場合には、ステップ4の終了後、制御部20が、測定対象物4を所定の間隔だけ搬送し、当該搬送後、制御部20が、カメラ5の搬送及び撮像を開始し、測定対象物4の次の直線状パターンの測定を実行するようにしてもよい。つまり、本実施形態に加えて、測定対象物4を基準パターン3の長手方向と直交する軸方向に搬送する機構と、制御部20がカメラ5の搬送、撮像制御と測定対象物4の搬送制御を切り替える手段と、を更に備えることで、測定者の作業を介することなく、測定対象物4のすべての直線状パターンの測定を自動化することができる。この場合、測定対象物4を搬送する所定の間隔には、測定対象物4の直線状パターンの間隔を採用するのが望ましい。
If the measurement table 2 has a mechanism for transporting the
次に、真直度算出処理の具体的内容を説明する。
<真直度算出処理>
図10は、測定対象パターンの真直度を算出する処理を説明するフローチャートである。以降、記憶部24に記憶された図9の画像データを例として真直度算出処理の説明をする。
Next, specific contents of the straightness calculation process will be described.
<Straightness calculation processing>
FIG. 10 is a flowchart illustrating a process for calculating the straightness of the measurement target pattern. Hereinafter, the straightness calculation process will be described using the image data of FIG. 9 stored in the
ステップ11において、画像処理部25(制御部20)は、記憶部24に記憶された画像データ(図9参照)に基づいて、基準パターン3と測定対象パターンの重心位置を算出する(重心位置算出処理)。
In step 11, the image processing unit 25 (control unit 20) calculates the centroid position of the
重心位置算出処理は、まず、画像データに対してエッジ抽出処理を施し、基準パターン3と測定対象パターンの両端のエッジ(輪郭)を長手方向に一定間隔ごと抽出する(図11(a)参照)。そして、抽出した基準パターン3と測定パターンの両端のエッジ座標の中心位置を算出することで各パターンの重心位置を算出する(図11(b)参照)。
In the center-of-gravity position calculation processing, first, edge extraction processing is performed on image data, and edges (contours) of both ends of the
以降、重心位置を画像データの長手方向にN点算出したものとして説明する。
ここで、ステップ1の重心位置算出処理により得られた基準パターン3の重心位置をA1、A2、・・・、ANと定義し、測定対象パターンの重心位置をB1、B2、・・・、BNと定義する。
In the following description, it is assumed that the center of gravity is calculated as N points in the longitudinal direction of the image data.
Here, the centroid position of the
ステップ12において、画像処理部25(制御部20)は、ステップ11の処理により得られた基準パターン3と測定対象パターンの重心位置の距離(重心間距離、図11(c)参照)を算出する(重心間距離算出処理)。具体的には、N点の重心間距離D1、D2、・・・、DNを次のように算出する。
In step 12, the image processing unit 25 (control unit 20) calculates the distance between the centroid positions of the
ステップ13において、画像処理部25(制御部20)は、ステップ12において算出した重心間距離を補正する(補正処理)。補正処理は、まず、ステップ12の重心間距離算出処理により得られたN点の重心間距離のデータを2次元グラフ上にプロットし(図12(a)参照)、プロットしたデータにフィットする一次関数を算出する(図12(b)参照)。一次関数は、例えば、N点の重心間距離のデータを回帰分析することにより得られる。ここで、得られた一次関数の傾きをαとして、重心位置の間隔を1(単位長)とすると、補正後の重心間距離は次のように算出できる。 In step 13, the image processing unit 25 (control unit 20) corrects the distance between the centers of gravity calculated in step 12 (correction processing). In the correction process, first, the data of the distance between the centroids of the N points obtained by the distance calculation process between the centroids in step 12 is plotted on the two-dimensional graph (see FIG. 12A), and the first order fitting to the plotted data is performed. A function is calculated (see FIG. 12B). The linear function is obtained, for example, by performing regression analysis on the data of the distance between the centers of gravity of N points. Here, assuming that the slope of the obtained linear function is α and the center-of-gravity position interval is 1 (unit length), the corrected center-to-center distance can be calculated as follows.
図12(c)は補正後の重心間距離のデータをプロットした図である。 FIG. 12C is a diagram in which data of the distance between the centers of gravity after correction is plotted.
ステップ14において、画像処理部25(制御部20)は、ステップ13で得られたN点の補正後の重心間距離のデータを平均0に正規化し、最終的に測定対象パターンの真直度を次のように算出する。 In step 14, the image processing unit 25 (control unit 20) normalizes the data of the distance between the centers of gravity after correction of the N points obtained in step 13 to an average of 0, and finally determines the straightness of the measurement target pattern. Calculate as follows.
以上の処理により、測定対象パターンの真直度の分布が得られる(図13参照)。測定対象パターンの真直度は、得られた分布の標準偏差としても良いし、例えば、|max{σi}−min{σj}|、max{σi}、min{σi}(1≦i,j≦N)など分布を特徴付ける指標を真直度としても良い。なお、最終的な真直度はピクセル値で出力してもよいし、実寸値で出力してもかまわない。 The straightness distribution of the measurement target pattern is obtained by the above processing (see FIG. 13). The straightness of the measurement target pattern may be a standard deviation of the obtained distribution. For example, | max {σ i } −min {σ j } |, max {σ i }, min {σ i } (1 ≦ An index characterizing the distribution such as i, j ≦ N) may be straightness. The final straightness may be output as a pixel value or may be output as an actual size value.
本実施形態によれば、カメラ5を搬送させながら撮像し、測定対象パターンの真直度の算出を行うため、高速に測定対象パターンの真直度を測定できる。
According to the present embodiment, imaging is performed while the
また、基準パターン3と測定対象パターンの重心間距離は、基準パターン3の重心位置を基準とした相対値として算出されるため、たとえカメラ搬送ステージ6が蛇行するような場合であっても、測定対象パターンの真直度の算出精度への影響を極めて小さく抑えることができる。
In addition, since the distance between the center of gravity of the
さらに、測定対象物4の配置の仕方により、測定対象パターンが基準パターン3の軸方向に対して傾きを持つ場合でも、ステップ13の補正処理によりその傾きの影響を相殺できるため、測定対象物の配置の影響による測定誤差を軽減でき、より高精度な真直度の測定が行える。
Furthermore, even if the measurement target pattern has an inclination with respect to the axial direction of the
本実施形態では、測定対象物4として、直線状パターンを等間隔にコーティングした2次元状のフィルムを用いたが、カメラ5で撮像できる直線状パターンであれば、3次元の測定対象物に対しても真直度の測定を行うことができる。
In this embodiment, a two-dimensional film in which a linear pattern is coated at equal intervals is used as the
以上、添付図面を参照しながら、本発明に係る真直度測定装置1等の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
The preferred embodiments of the
1 ・・・・・・真直度測定装置
1a・・・・・・測定機構
1b・・・・・・制御機構
2 ・・・・・・測定テーブル
3 ・・・・・・基準パターン
4 ・・・・・・測定対象物
5 ・・・・・・カメラ
6 ・・・・・・カメラ搬送ステージ
7 ・・・・・・照明
8 ・・・・・・照明搬送ステージ
20・・・・・・制御部
21・・・・・・設定部
22・・・・・・送受信部
23・・・・・・入力部
24・・・・・・記憶部
25・・・・・・画像処理部
26・・・・・・表示部
1 ··· Straightness measuring device 1a ···
Claims (4)
真直性が確認されている基準パターンと、
前記基準パターンと前記測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、
前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させる撮像器搬送手段と、
前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出手段と、
を備えることを特徴とする真直度測定装置。 A straightness measuring device that measures the straightness of a measurement target pattern,
A reference pattern whose straightness has been confirmed, and
An imager that simultaneously images the reference pattern and the measurement target pattern;
Image pickup device transporting means for transporting the image pickup device along the reference pattern;
Straightness calculation means for calculating an inter-pattern distance between the reference pattern and the measurement target pattern based on image data acquired by imaging while being conveyed, and calculating a straightness of the measurement target pattern from the inter-pattern distance. When,
A straightness measuring apparatus comprising:
前記真直度算出手段は、前記補正されたパターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出することを特徴とする請求項1に記載の真直度測定装置。 Correction means for correcting the distance between the patterns according to the inclination of the measurement target pattern, further comprising:
The straightness measurement apparatus according to claim 1, wherein the straightness calculation means calculates straightness of the measurement target pattern from the corrected inter-pattern distance.
前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させながら撮像する搬送撮像ステップと、
前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出ステップと、
を含むことを特徴とする真直度測定方法。 Straightness measurement method for measuring the straightness of the measurement target pattern using a straightness measurement device including a reference pattern whose straightness has been confirmed and an imager that simultaneously images the reference pattern and the measurement target pattern Because
A transport imaging step of capturing an image while transporting the imager along the reference pattern;
A straightness calculation step of calculating an inter-pattern distance between the reference pattern and the measurement target pattern based on image data acquired by imaging while being conveyed, and calculating a straightness of the measurement target pattern from the inter-pattern distance. When,
A straightness measurement method comprising:
前記真直度測定装置は、真直性が確認されている基準パターンと、前記基準パターンと前記測定対象パターンを同時に撮像する撮像器と、を備え、
前記コンピュータを、
前記撮像器を前記基準パターンに沿って搬送させながら撮像する搬送撮像手段、
前記搬送させながら撮像して取得した画像データに基づいて、前記基準パターンと前記測定対象パターンとのパターン間距離を算出し、前記パターン間距離から測定対象パターンの真直度を算出する真直度算出手段、
として機能させるためのプログラム。 A program for causing a computer to function as a straightness measuring device that measures the straightness of a measurement target pattern,
The straightness measuring device includes a reference pattern whose straightness is confirmed, and an imager that images the reference pattern and the measurement target pattern simultaneously,
The computer,
Transport imaging means for capturing images while transporting the imager along the reference pattern;
Straightness calculation means for calculating an inter-pattern distance between the reference pattern and the measurement target pattern based on image data acquired by imaging while being conveyed, and calculating a straightness of the measurement target pattern from the inter-pattern distance. ,
Program to function as.
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