JP6220655B2 - 雰囲気制御機構及び小型製造装置 - Google Patents
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Description
[発明の実施の形態1]
以下、本発明の実施の形態1について、本発明を小型半導体ウェハ用のレジスト塗布装置に適用した場合を例に採り、図1乃至図4を用いて説明する。
110 処理室
120 装置前室
121 容器載置台
122 押さえレバー
124 操作パネル
210 搬送ユニット
220 HMDS処理ユニット
230 スピンコーターユニット
240 レジストノズル
250 EBRノズル
260 ベーク処理ユニット
310 回転部
311 回転軸
320 外筒部材
330 コーターカップ部
331,332 通気路
343 給気口
340 カップ筐体
341a〜341e 環状路
342a〜342d 接続路
350 カップカバー
332a 通気口
332b ガス噴出口
360 バルブ
Claims (7)
- 処理基板を内部に収容して処理を施す薬液処理カップの内部雰囲気を制御する雰囲気制御機構であって、
ガスを貫流させることによって前記薬液処理カップの壁部の温度を調整するために該壁部に設けられた通気路と、
該通気路に該ガスを供給する給気口と、
前記薬液処理カップの上面開口部の外縁近傍に設けられ、前記通気路を貫流した前記ガスを該上面開口部の中心方向に噴出することによって、前記薬液処理カップ内を該ガスで充満させると共に、該薬液処理カップ内への外気の浸入を抑える、複数のガス噴出口と、
を備えることを特徴とする雰囲気制御機構。 - 前記ガスは、温度及び湿度の両方が調整されたガスであることを特徴とする請求項1に記載の雰囲気制御機構。
- 前記ガスは、クリーンエアー又はクリーン化された窒素ガスであることを特徴とする請求項1又は2に記載の雰囲気制御機構。
- 前記通気路は、
前記薬液処理カップの高さ方向に配列された複数の環状路と、
隣接する二本の前記環状路間にそれぞれ設けられた接続路と、
を備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の雰囲気制御機構。 - 前記環状路に前記ガスを流入させる側の前記接続路と、該環状路から該ガスを流出させる側の前記接続路とが、該環状路が形成する円の中心点に対して180度ずれた位置に配置されたことを特徴とする請求項4に記載の雰囲気制御機構。
- 前記処理基板の径が20mm以下であることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の雰囲気制御機構。
- 請求項1乃至6の何れかに記載の雰囲気制御機構を備えることを特徴とする小型製造装置。
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