JP6216601B2 - Flow control device - Google Patents
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Description
本発明は、流量制御装置に関する。 The present invention relates to a flow control device.
半導体製造分野、化学工場、食品分野、バイオ分野などの各種産業における流体輸送においては、予め設定された流量値に流体の実流量を近づける動作を制御する流量制御装置が広く用いられている。流量制御装置は、流路を流れる流体の流量を計測する流量計センサー部と、流路を流れる流体の流量を設定された流量に調整する調整弁と、を有している。流量計センサー部において用いられるセンサー類が環境温度の変化や経年変化などの影響を受け、流路内を流体が流れていないにも拘わらず、測定した流量値がゼロを示さないことが生じ得る。流量を正確に測定するため、流量制御装置ではゼロ値補正を行っている（特許文献１参照。）。まず、調整弁によって流路が閉じられているときに流量計センサー部が測定した値を基本値（流量ゼロの場合の値、すなわちゼロ値）として記憶しておく。そして、調整弁によって流路を開いて流量計が測定した値に対して、記憶された基本値を増減することによって補正し、流量値を得ている。 In fluid transportation in various industries such as a semiconductor manufacturing field, a chemical factory, a food field, and a bio field, a flow control device that controls an operation of bringing the actual flow rate of a fluid closer to a preset flow rate value is widely used. The flow rate control device includes a flow meter sensor unit that measures the flow rate of the fluid that flows through the flow path, and an adjustment valve that adjusts the flow rate of the fluid that flows through the flow path to a set flow rate. Sensors used in the flowmeter sensor unit may be affected by changes in environmental temperature or aging, and the measured flow rate value may not show zero even though no fluid is flowing in the flow path. . In order to accurately measure the flow rate, the flow rate control device performs zero value correction (see Patent Document 1). First, the value measured by the flow meter sensor when the flow path is closed by the regulating valve is stored as a basic value (a value when the flow rate is zero, that is, a zero value). Then, the flow rate is obtained by correcting the stored basic value by increasing or decreasing the value measured by the flowmeter by opening the flow path with the adjusting valve.
特許文献１に記載された技術にあっては、ゼロ値補正を行った直後に、流量制御装置を再稼働する場合すなわち調整弁によって流量の制御を行う場合には、ゼロ値がずれる問題は生じない。 In the technique described in Patent Document 1, when the flow rate control device is restarted immediately after the zero value correction, that is, when the flow rate is controlled by the adjusting valve, a problem that the zero value is shifted occurs. Absent.
しかしながら、ゼロ値補正を行ってから流量制御装置を再稼働するまでの間はゼロ値の監視を行っていない。このため、流量制御装置を再稼働するまでに、ゼロ値がずれる虞がある。ゼロ値がずれる原因としては、環境や流体の温度変化、各種センサーや回路の劣化などがある。 However, the zero value is not monitored after the zero value correction is performed until the flow control device is restarted. For this reason, there exists a possibility that a zero value may shift | deviate before restarting a flow control apparatus. Causes of the zero value shift include environmental and fluid temperature changes, deterioration of various sensors and circuits, and the like.
流量制御装置の再稼働の前にゼロ値がずれてしまうと、流量制御装置を再稼働させても、もはや、正確な流量を得ることはできない。流量制御装置には、外部から流量制御命令が発動されたら即座に稼動（流量を制御）できることが要求される。製造タクトが厳しい製造装置、例えば、半導体製造装置にあっては、流量制御命令が発動された後にゼロ値補正を行う時間的な余裕はない。 If the zero value deviates before the flow control device is restarted, an accurate flow rate can no longer be obtained even if the flow control device is restarted. The flow control device is required to be able to operate immediately (control the flow rate) when a flow control command is issued from the outside. In a manufacturing apparatus having a severe manufacturing tact, for example, a semiconductor manufacturing apparatus, there is no time for performing zero value correction after the flow control command is issued.
ゼロ値補正から流量制御装置の再稼働までの間に生じたゼロ値のずれを、製品の不具合状況などから確認することも考えられるが、ゼロ値のずれに対する対処が極めて遅くなってしまう。このため、ゼロ値補正から流量制御装置の再稼働までの間に生じるゼロ値のずれに関して、迅速に気付く必要がある。 Although it is conceivable to check the deviation of the zero value that has occurred between the zero value correction and the re-operation of the flow control device from the malfunction status of the product, the countermeasure against the deviation of the zero value becomes extremely slow. For this reason, it is necessary to quickly notice the deviation of the zero value that occurs between the zero value correction and the restart of the flow control device.
そこで、本発明は、ゼロ値補正を行ってから流量制御装置を再稼働するまでの間にゼロ値がずれた場合であっても、流体の流量を正確に得ることが可能な流量制御装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention provides a flow rate control device that can accurately obtain the flow rate of a fluid even when the zero value is deviated between when the zero value correction is performed and when the flow rate control device is restarted. The purpose is to provide.
上記目的を達成する本発明の流量制御装置は、流体が流れる流路と、前記流路を流れる流体の流量を計測する流量計センサー部と、前記流路を流れる流体の流量を設定された流量に調整する調整弁と、前記流量計センサー部から出力された信号に基づいて流体の流量を演算する制御部と、を有している。前記制御部は、開かれた前記流路が前記調整弁によって閉じられた後、前記調整弁が閉じられた状態で、演算した流量値が流量「ゼロ」の誤差範囲として予め設定された閾値の範囲内であることを監視するゼロ値監視を行い、前記ゼロ値監視中に、演算した流量値が前記閾値の範囲を超えたときには、演算され前記閾値の範囲を超えた流量値を流量「ゼロ」の場合の新たなゼロ値とするゼロ値補正を行う。前記制御部は、前記ゼロ値監視は前記調整弁によって前記流路が開かれるまで継続し、前記ゼロ値監視をしている場合に、演算した流量値が前記閾値の範囲を超えたときには、その都度、前記ゼロ値補正を行う。 The flow rate control device of the present invention that achieves the above object includes a flow path in which a fluid flows, a flowmeter sensor unit that measures the flow rate of the fluid flowing in the flow path, and a flow rate in which the flow rate of the fluid flowing in the flow path is set. And a control unit that calculates the flow rate of the fluid based on the signal output from the flowmeter sensor unit. Wherein, after the passage opened was close by the control valve, in a state where the control valve is closed, the calculated flow rate value is set in advance as the error range of the flow rate "zero" The zero value is monitored to be within the range of the threshold value, and when the calculated flow rate value exceeds the threshold range during the zero value monitoring, the calculated flow rate exceeds the threshold range. Zero value correction is performed to make the value a new zero value when the flow rate is “zero” . The control unit continues the zero value monitoring until the flow path is opened by the adjustment valve, and when the zero value monitoring is performed, when the calculated flow rate value exceeds the threshold range, The zero value correction is performed each time.
制御部は、ゼロ値監視中に、演算した流量値が予め設定した閾値の範囲を超えたときにゼロ値補正を行うため、流量制御装置を再稼働する前にゼロ値がずれる虞がない。したがって、流量制御装置によって流量制御を再度行うときには、流体の流量を迅速かつ正確に得ることができ、その結果、流量制御を迅速かつ正確に行うことが可能となる。 Since the controller corrects the zero value when the calculated flow rate value exceeds the preset threshold range during the zero value monitoring, there is no possibility that the zero value is shifted before the flow control device is restarted. Therefore, when the flow control is performed again by the flow control device, the flow rate of the fluid can be obtained quickly and accurately, and as a result, the flow control can be performed quickly and accurately.
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. The dimensional ratios in the drawings are exaggerated for convenience of explanation, and are different from the actual ratios.
図１は、実施形態に係る流量制御装置１０を示す概略構成図である。 Drawing 1 is a schematic structure figure showing flow control device 10 concerning an embodiment.
図１を参照して、流量制御装置１０は、概説すれば、流体が流れる流路２０と、流路２０を流れる流体の流量を計測する流量計センサー部３０と、流路２０を流れる流体の流量を設定された流量に調整する調整弁４０と、流量計センサー部３０から出力された信号に基づいて流体の流量を演算する制御部５０と、を有している。流路２０、流量計センサー部３０、調整弁４０、および制御部５０は、ケーシング６０内に収納され、流量制御装置１０をユニット化している。流量制御装置１０は、装置の作動状態を報知する報知部７０をさらに有している。制御部５０は、流量計センサー部３０、調整弁４０、および報知部７０と接続されている。さらに、制御部５０は、例えば半導体製造装置などの外部の製造装置における装置側制御部８０と接続されている。制御部５０は、装置側制御部８０との間で、流体の流量に関する信号などを送受信する。そして、制御部５０は、流体の流量を演算し、調整弁４０の作動を制御し、流路２０を流れる流体の流量を設定された流量に調整する。以下、本実施形態の流量制御装置１０について詳述する。 With reference to FIG. 1, the flow rate control device 10 is generally described as follows. The flow path 20 through which the fluid flows, the flowmeter sensor unit 30 that measures the flow rate of the fluid flowing through the flow path 20, It has the adjustment valve 40 which adjusts a flow rate to the set flow rate, and the control part 50 which calculates the flow volume of the fluid based on the signal output from the flowmeter sensor part 30. The flow path 20, the flow meter sensor unit 30, the adjustment valve 40, and the control unit 50 are housed in the casing 60 and unitize the flow control device 10. The flow control device 10 further includes a notification unit 70 that notifies the operation state of the device. The control unit 50 is connected to the flow meter sensor unit 30, the adjustment valve 40, and the notification unit 70. Further, the control unit 50 is connected to a device-side control unit 80 in an external manufacturing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus. The control unit 50 transmits / receives a signal related to the flow rate of the fluid to and from the apparatus side control unit 80. And the control part 50 calculates the flow volume of the fluid, controls the action | operation of the adjustment valve 40, and adjusts the flow volume of the fluid which flows through the flow path 20 to the set flow volume. Hereinafter, the flow control device 10 of this embodiment will be described in detail.
ケーシング６０は、流路２０に連通する流体流入管２１と、流体流出管２２とを備えている。ケーシング６０内に、流量計センサー部３０、調整弁４０がボルト、ナットなどによって固定されている。流体流入管２１、流量計センサー部３０、調整弁４０、および流体流出管２２は、この順で流体の流れ方向に連続して接続されている。ケーシング６０は、ＰＶＤＦなどの樹脂材料から形成されている。流量制御装置１０をユニット化することによって、流量制御装置１０の小型化を図ることができ、修理や交換作業を容易に行うことができる。 The casing 60 includes a fluid inflow pipe 21 that communicates with the flow path 20 and a fluid outflow pipe 22. In the casing 60, the flow meter sensor unit 30 and the adjustment valve 40 are fixed by bolts, nuts, and the like. The fluid inflow pipe 21, the flowmeter sensor unit 30, the adjustment valve 40, and the fluid outflow pipe 22 are continuously connected in this order in the fluid flow direction. The casing 60 is formed from a resin material such as PVDF. By unitizing the flow control device 10, the flow control device 10 can be reduced in size, and repair and replacement work can be easily performed.
流量計センサー部３０は、流量を計測できる限りにおいて計測方式は特に限定されるものではない。本実施形態においては、例えば、超音波流量計用のセンサー部を適用している。超音波流量計は、流体中に超音波振動を伝搬させ、流れの上流側からの超音波伝搬時間と下流側からの超音波伝搬時間との差から流体の流速及び流量を計測する。流量計センサー部３０は、流体流入管２１に連通する直管形状の測定管３１と、測定管３１の外周面に軸線方向に離間して取り付けられる２つの超音波送受信器３２ｕ、３２ｄとを備えている。それぞれの超音波送受信器３２ｕ、３２ｄは、測定管３１を取り囲むように測定管３１の外周面に固定された筒状の伝送体３３と、伝送体３３の軸線方向端面に固着された円板状の超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄとを有している。伝送体３３は、超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄが固着された軸線方向端面から他方の軸線方向端面に向かって外径が小さくなる略円錐形状を有している。超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄは、軸線方向端面間に電圧が印加され、軸線方向に伸縮することによって超音波振動を発生する。超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄは、測定管３１の外周面との間に隙間を隔てて配置されている。超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄによって発生した超音波振動は、伝送体３３にのみ伝搬する。 As long as the flow meter sensor unit 30 can measure the flow rate, the measurement method is not particularly limited. In the present embodiment, for example, a sensor unit for an ultrasonic flowmeter is applied. The ultrasonic flowmeter propagates ultrasonic vibrations in the fluid, and measures the flow velocity and flow rate of the fluid from the difference between the ultrasonic propagation time from the upstream side of the flow and the ultrasonic propagation time from the downstream side. The flowmeter sensor unit 30 includes a straight tube-shaped measurement tube 31 communicating with the fluid inflow tube 21 and two ultrasonic transmitters / receivers 32u and 32d attached to the outer peripheral surface of the measurement tube 31 so as to be separated from each other in the axial direction. ing. Each of the ultrasonic transmitters / receivers 32u and 32d includes a cylindrical transmission body 33 fixed to the outer peripheral surface of the measurement tube 31 so as to surround the measurement tube 31, and a disk shape fixed to the end surface in the axial direction of the transmission body 33. Ultrasonic transducers 34u and 34d. The transmission body 33 has a substantially conical shape in which the outer diameter decreases from the axial end face to which the ultrasonic transducers 34u and 34d are fixed toward the other axial end face. The ultrasonic transducers 34u and 34d are applied with a voltage between axial end faces, and generate ultrasonic vibrations by expanding and contracting in the axial direction. The ultrasonic transducers 34 u and 34 d are arranged with a gap between them and the outer peripheral surface of the measurement tube 31. The ultrasonic vibration generated by the ultrasonic transducers 34 u and 34 d propagates only to the transmission body 33.
流量計センサー部３０においては、一方の超音波送受信器３２ｕから発信した超音波振動を測定管３１内の流体を経て他方の超音波送受信器３２ｄによって受信し、２つの超音波送受信器３２ｕ、３２ｄ間の超音波伝搬時間を測定する。次に、発信側と受信側の超音波送受信器３２ｕ、３２ｄを切り換え、他方の超音波送受信器３２ｄから発信した超音波振動を測定管３１内の流体を経て一方の超音波送受信器３２ｕによって受信し、２つの超音波送受信器３２ｕ、３２ｄ間の超音波伝搬時間を測定する。これらの超音波伝搬時間の差から流体の流速及び流量を計測する。 In the flow meter sensor unit 30, the ultrasonic vibration transmitted from one ultrasonic transmitter / receiver 32u is received by the other ultrasonic transmitter / receiver 32d via the fluid in the measurement tube 31, and the two ultrasonic transmitter / receivers 32u and 32d are received. Measure the ultrasonic propagation time between. Next, the ultrasonic transmitters / receivers 32u and 32d on the transmitting side and the receiving side are switched, and the ultrasonic vibration transmitted from the other ultrasonic transmitter / receiver 32d is received by one ultrasonic transmitter / receiver 32u through the fluid in the measurement tube 31. Then, the ultrasonic propagation time between the two ultrasonic transceivers 32u and 32d is measured. The flow velocity and flow rate of the fluid are measured from the difference between these ultrasonic propagation times.
超音波流量計用の流量計センサー部３０は、図示した直管形状の測定管３１を用いるタイプに限定されない。Ｕ字形状の測定管を用いるタイプ、超音波送受信器から発生する超音波振動を測定管中の流体の流れ方向に対して斜めに伝搬するタイプ、超音波振動を測定管の内面において反射させて伝搬するタイプなどがあり、いずれのタイプの流量計センサー部をも適用することができる。 The flowmeter sensor unit 30 for the ultrasonic flowmeter is not limited to the type using the illustrated straight pipe-shaped measurement tube 31. A type that uses a U-shaped measurement tube, a type that propagates ultrasonic vibration generated from an ultrasonic transceiver obliquely to the fluid flow direction in the measurement tube, and reflects ultrasonic vibration on the inner surface of the measurement tube There are types that propagate, and any type of flow meter sensor unit can be applied.
調整弁４０は、流量を調整できる限りにおいて調整方式は特に限定されるものではない。本実施形態においては、例えば、供給される操作圧に応じて弁本体の開度を調整して流体の流量を調節するダイヤフラム弁を適用している。制御部５０は、装置側制御部８０から受信した流体の流量に関する信号に基づいて、調整弁４０に供給する操作圧を調整する。操作圧の調整は、電気的に駆動する電磁弁（図示せず）を用いる。 The adjustment method of the adjustment valve 40 is not particularly limited as long as the flow rate can be adjusted. In the present embodiment, for example, a diaphragm valve that adjusts the flow rate of the fluid by adjusting the opening of the valve body in accordance with the supplied operation pressure is applied. The control unit 50 adjusts the operation pressure supplied to the adjustment valve 40 based on the signal related to the flow rate of the fluid received from the device side control unit 80. The operation pressure is adjusted using an electrically driven solenoid valve (not shown).
制御部５０は、ＣＰＵを主体に構成され、ＲＡＭやＲＯＭなどの記憶部を有している。流量制御装置１０全体の制御を司る制御プログラムは、ＲＯＭに格納され、ＣＰＵによって読み出されて実行される。制御部５０は、流量計アンプ部５１を含んでいる。流量計アンプ部５１は、流量計センサー部３０から出力された信号から流量を演算する。流量計アンプ部５１は、送信側の超音波送受信器３２ｕ（または３２ｄ）に一定周期の超音波振動を出力する発信回路と、受信側の超音波送受信器３２ｄ（または３２ｕ）からの超音波振動を受信する受信回路と、各超音波振動の伝搬時間を比較する比較回路と、比較回路から出力された伝搬時間差から流量を演算する演算回路とを備えている。制御部５０は流量計アンプ部５１から出力された流量に対して、設定された流量になるようにフィードバック制御して、調整弁４０に供給する操作圧を増減制御する制御回路を有している。 The control unit 50 is mainly composed of a CPU and has a storage unit such as a RAM or a ROM. A control program for controlling the entire flow control device 10 is stored in the ROM, and is read and executed by the CPU. The control unit 50 includes a flow meter amplifier unit 51. The flow meter amplifier unit 51 calculates the flow rate from the signal output from the flow meter sensor unit 30. The flow meter amplifier unit 51 includes a transmission circuit that outputs ultrasonic vibration of a fixed period to the ultrasonic transmitter / receiver 32u (or 32d) on the transmission side, and an ultrasonic vibration from the ultrasonic transmitter / receiver 32d (or 32u) on the reception side. , A comparison circuit that compares the propagation times of the ultrasonic vibrations, and an arithmetic circuit that calculates the flow rate from the propagation time difference output from the comparison circuit. The control unit 50 has a control circuit that feedback-controls the flow rate output from the flow meter amplifier unit 51 so as to be a set flow rate, and controls increase / decrease of the operation pressure supplied to the regulating valve 40. .
報知部７０は、警報を発するランプやスピーカーなどから構成される。制御部５０は、流量制御装置１０に異常が生じたと判断したときには、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する。 The notification unit 70 includes a lamp, a speaker, and the like that issue an alarm. When it is determined that an abnormality has occurred in the flow control device 10, the control unit 50 operates the notification unit 70 to notify the operator of the abnormal state of the device.
次に、本実施形態の作用を説明する。 Next, the operation of this embodiment will be described.
図２は、ゼロ値監視の手順を示すフローチャートである。本実施形態にあっては、制御部５０は、ゼロ値補正から流量制御を再開するまでの間、図３〜図５に示すように、他の監視項目についても監視している。図３は、ゼロ値監視中に、ピーク電圧差に基づいて異常が生じたことをさらに検出する手順を示すフローチャート、図４は、ゼロ値監視中に、増幅倍率に基づいて異常が生じたことをさらに検出する手順を示すフローチャート、図５は、ゼロ値監視中に、流量計センサー部３０の出力値の初期値に対するずれ量に基づいて異常が生じたことをさらに検出する手順を示すフローチャートである。 FIG. 2 is a flowchart showing the procedure of zero value monitoring. In the present embodiment, the control unit 50 also monitors other monitoring items as shown in FIGS. 3 to 5 until the flow rate control is restarted after the zero value correction. FIG. 3 is a flowchart showing a procedure for further detecting that an abnormality has occurred based on the peak voltage difference during zero value monitoring. FIG. 4 shows that an abnormality has occurred based on the amplification factor during zero value monitoring. FIG. 5 is a flowchart showing a procedure for further detecting that an abnormality has occurred based on the amount of deviation of the output value of the flow meter sensor unit 30 from the initial value during zero value monitoring. is there.
まず、半導体製造装置などの配管系に流量制御装置１０を組み込んだ後、流量制御装置１０の初期設定を行う。初期設定は、計測準備、および流量ゼロ設定の各段階を経て行う。調整弁４０によって流路２０を開き、流路２０に流体を流し、流体中の気泡を抜き、流路２０内を流体によって満たされた状態とする（計測準備）。調整弁４０によって流路２０を閉じ、流量計センサー部３０によって、流れの上流側からの超音波伝搬時間と下流側からの超音波伝搬時間との差から流体の流速および流量を計測する（流量測定）。そして、測定した流量を初期の流量ゼロと設定する（流量ゼロ設定）。これにより、流量制御を開始するための準備が完了する。 First, after incorporating the flow control device 10 into a piping system such as a semiconductor manufacturing device, the flow control device 10 is initialized. Initial setting is performed through each step of measurement preparation and flow rate zero setting. The flow path 20 is opened by the regulating valve 40, a fluid is caused to flow through the flow path 20, bubbles in the fluid are extracted, and the flow path 20 is filled with the fluid (measurement preparation). The flow path 20 is closed by the regulating valve 40, and the flow rate and flow rate of the fluid are measured from the difference between the ultrasonic propagation time from the upstream side of the flow and the ultrasonic propagation time from the downstream side by the flow meter sensor unit 30 (flow rate) Measurement). Then, the measured flow rate is set to the initial flow rate zero (flow rate zero setting). Thereby, the preparation for starting the flow control is completed.
本実施形態においては、流量制御を開始した後、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が閉じられているときに演算した流量値をゼロとするゼロ値補正を行う。その後、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、演算した流量値がゼロ値であることを監視するゼロ値監視を行う。そして、制御部５０は、ゼロ値監視中に、演算した流量値が予め設定した閾値から外れたときにゼロ値補正を行っている。以下、図２を参照しつつ、ゼロ値監視の手順を説明する。 In the present embodiment, after starting the flow rate control, the control unit 50 performs zero value correction so that the flow rate value calculated when the flow path 20 is closed by the regulating valve 40 is zero. Thereafter, until the flow path 20 is opened by the regulating valve 40, zero value monitoring is performed to monitor that the calculated flow rate value is zero. And the control part 50 is performing zero value correction | amendment, when the calculated flow rate value remove | deviates from the preset threshold value during zero value monitoring. Hereinafter, the procedure of zero value monitoring will be described with reference to FIG.
装置側制御部８０は、流量制御装置１０の制御部５０に対して流量制御命令を発動する。制御部５０は、流量制御命令を受けて、調整弁４０の開度をフィードバック制御して、設定された流量になるように流量のフィードバック制御を開始する（ステップＳ１）。 The device-side control unit 80 issues a flow control command to the control unit 50 of the flow control device 10. In response to the flow control command, the control unit 50 feedback-controls the opening degree of the regulating valve 40, and starts flow-rate feedback control so that the set flow rate is obtained (step S1).
装置側制御部８０は、流量制御装置１０の制御部５０に対して流量制御中止命令を発動する（ステップＳ２）。 The device-side control unit 80 issues a flow control stop command to the control unit 50 of the flow control device 10 (step S2).
制御部５０は、流量制御中止命令を受けて、調整弁４０を全閉状態にし、流路２０を閉じる。調整弁４０によって流路２０を閉じた状態で、制御部５０の流量計アンプ部５１は、流量計センサー部３０から出力された信号から流量を演算する（ステップＳ３）。 In response to the flow control stop command, the control unit 50 fully closes the adjustment valve 40 and closes the flow path 20. With the flow path 20 closed by the regulating valve 40, the flow meter amplifier unit 51 of the control unit 50 calculates the flow rate from the signal output from the flow meter sensor unit 30 (step S3).
調整弁４０を全閉状態にすると、演算した流量値は、理論上は流量「ゼロ」になるはずであるが、現実的には流量「ゼロ」にならないことが多い。その原因としては、例えば、超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄの特性の差異や、伝送体３３との接合状態の経年劣化などが挙げられる。そこで、演算した流量値が異常な流量値であるか否かを確認する。制御部５０は、ステップＳ３において演算した流量値が、予め設定される閾値（１）の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ４）。閾値（１）には、全閉状態では考えられない流量値が設定されている。閾値（１）の範囲は、適宜設定することができるが、一例を挙げれば、設計上の最大流量の±２％の範囲に設定する。 When the regulating valve 40 is fully closed, the calculated flow rate value should theoretically become a flow rate “zero”, but in reality, it often does not become a flow rate “zero”. The causes include, for example, a difference in the characteristics of the ultrasonic transducers 34u and 34d, aged deterioration of the joined state with the transmission body 33, and the like. Therefore, it is confirmed whether or not the calculated flow rate value is an abnormal flow rate value. The controller 50 determines whether or not the flow rate value calculated in step S3 is within a preset threshold value (1) (step S4). The threshold value (1) is set to a flow rate value that cannot be considered in the fully closed state. The range of the threshold (1) can be set as appropriate. For example, the threshold (1) is set within a range of ± 2% of the designed maximum flow rate.
演算した流量値が閾値（１）の範囲を超えた場合は、流量制御装置１０において漏水や機器の損傷などが生じていることが疑われる。制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲を超えた場合には（ステップＳ４：「ＮＯ」）、流量制御装置１０に異常が生じたと判断し、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する（ステップＳ５）。その後、制御部５０は、処理を終了する。 If the calculated flow rate value exceeds the range of the threshold value (1), it is suspected that the flow rate control device 10 has water leakage or equipment damage. When the calculated flow rate value exceeds the range of the threshold value (1) (step S4: “NO”), the control unit 50 determines that an abnormality has occurred in the flow control device 10 and activates the notification unit 70. The operator is notified of the abnormal state of the device (step S5). Thereafter, the control unit 50 ends the process.
演算した流量値が閾値（１）の範囲内の場合には（ステップＳ４：「ＹＥＳ」）、ゼロ値補正を行うことが必要な流量であるか否かを確認する。制御部５０は、ステップＳ３において演算した流量値が、予め設定される閾値（２）の範囲外にあるか否かを判断する（ステップＳ６）。閾値（２）には、流量「ゼロ」の誤差範囲とされる流量値が設定されている。閾値（２）の範囲は、適宜設定することができるが、一例を挙げれば、設計上の最大流量の±１％の範囲に設定する。 When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) (step S4: “YES”), it is confirmed whether or not the flow rate requires zero value correction. The controller 50 determines whether or not the flow rate value calculated in step S3 is outside the preset threshold value (2) (step S6). In the threshold value (2), a flow rate value within an error range of the flow rate “zero” is set. The range of the threshold value (2) can be set as appropriate. For example, the threshold value (2) is set to a range of ± 1% of the designed maximum flow rate.
演算した流量値が閾値（２）の範囲内の場合には（ステップＳ６：「ＮＯ」）、ゼロ値補正を行う必要がなく、処理はステップＳ８のゼロ値監視に進む。 When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (2) (step S6: “NO”), it is not necessary to perform zero value correction, and the process proceeds to zero value monitoring in step S8.
演算した流量値が閾値（１）の範囲内ではあるが、閾値（２）の範囲を超えた場合には（ステップＳ６：「ＹＥＳ」）、制御部５０は、ゼロ値補正を行うことを決定する。制御部５０は、演算した流量値を、新しく流量ゼロとするゼロ値補正を行う（ステップＳ７）。 When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) but exceeds the range of the threshold value (2) (step S6: “YES”), the control unit 50 determines to perform zero value correction. To do. The control unit 50 performs zero value correction that newly sets the calculated flow rate value to zero (step S7).
制御部５０は、装置側制御部８０から次の流量制御命令を受けるまで、つまり、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、ゼロ値が安定しているか否かの監視を開始する（ステップＳ８）。 The control unit 50 starts monitoring whether or not the zero value is stable until the next flow rate control command is received from the apparatus-side control unit 80, that is, until the flow path 20 is opened by the regulating valve 40 (step). S8).
ゼロ値監視は、演算した流量値がゼロ値であることを監視するものであり、ステップＳ４〜Ｓ７と同様の処理が行われる（ステップＳ９〜Ｓ１２）。ゼロ値監視は、予め設定された時間の間に演算した複数の流量値の平均の流量値、あるいは予め設定された時間ごとに演算した流量値に基づいて行う。 Zero value monitoring is to monitor that the calculated flow rate value is a zero value, and the same processing as steps S4 to S7 is performed (steps S9 to S12). The zero value monitoring is performed based on an average flow value of a plurality of flow values calculated during a preset time, or a flow value calculated every preset time.
制御部５０は、演算した流量値が、閾値（１）の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ９）。 The controller 50 determines whether or not the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) (step S9).
制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲を超えた場合には（ステップＳ９：「ＮＯ」）、流量制御装置１０に異常が生じたと判断し、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する（ステップＳ１０）。その後、制御部５０は、処理を終了する。 When the calculated flow rate value exceeds the range of the threshold value (1) (step S9: “NO”), the control unit 50 determines that an abnormality has occurred in the flow rate control device 10 and activates the notification unit 70. The operator is notified of the abnormal state of the device (step S10). Thereafter, the control unit 50 ends the process.
制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲内にある場合には（ステップＳ９：「ＹＥＳ」）、演算した流量値が閾値（２）の範囲外にあるか否かを判断する（ステップＳ１１）。演算した流量値が閾値（２）の範囲内の場合には（ステップＳ１１：「ＮＯ」）、ゼロ値補正を行う必要がない。処理は、ステップＳ９に戻り、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、ゼロ値監視を継続する。 When the calculated flow value is within the range of the threshold value (1) (step S9: “YES”), the control unit 50 determines whether or not the calculated flow value is outside the range of the threshold value (2). (Step S11). When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (2) (step S11: “NO”), it is not necessary to perform zero value correction. The process returns to step S9, and the control unit 50 continues to monitor the zero value until the flow path 20 is opened by the regulating valve 40.
演算した流量値が閾値（１）の範囲内ではあるが、閾値（２）の範囲を超えた場合には（ステップＳ１１：「ＹＥＳ」）、制御部５０は、ゼロ値補正を行うことを決定する。制御部５０は、演算した流量値を、新しく流量ゼロとするゼロ値補正を行う（ステップＳ１２）。処理は、ステップＳ９に戻り、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、ゼロ値監視を継続する。 When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) but exceeds the range of the threshold value (2) (step S11: “YES”), the control unit 50 determines to perform zero value correction. To do. The control unit 50 performs zero value correction that newly sets the calculated flow value to zero (step S12). The process returns to step S9, and the control unit 50 continues to monitor the zero value until the flow path 20 is opened by the regulating valve 40.
制御部５０は、ゼロ値監視中に装置側制御部８０から次の流量制御命令を受けると、ゼロ値監視を直ちに終了し、調整弁４０の開度をフィードバック制御して、設定された流量になるように流量のフィードバック制御に移行する。 When the control unit 50 receives the next flow control command from the device-side control unit 80 during the zero value monitoring, the control unit 50 immediately terminates the zero value monitoring, feedback-controls the opening degree of the regulating valve 40, and sets the set flow rate. The flow shifts to feedback control of the flow rate.
ゼロ値補正を行ってから流量制御装置１０を再稼働するまで、ゼロ値の監視を行い、ゼロ値がずれたときには、このずれに迅速に気付くことができ、必要に応じてゼロ値補正を行っている。このため、流量制御装置１０を再稼働する前にゼロ値がずれる虞がない。したがって、流量制御装置１０によって流量制御を再度行うときには、流体の流量を迅速かつ正確に得ることができ、その結果、流量制御を迅速かつ正確に行うことが可能となる。 The zero value is monitored after the zero value correction is performed until the flow control device 10 is restarted. When the zero value is shifted, the shift can be quickly noticed, and the zero value is corrected as necessary. ing. For this reason, there is no possibility that the zero value is shifted before the flow control device 10 is restarted. Therefore, when the flow control is performed again by the flow control device 10, the flow rate of the fluid can be obtained quickly and accurately, and as a result, the flow control can be performed quickly and accurately.
次に、図３を参照して、ゼロ値監視中に、ピーク電圧差に基づいて異常が生じたことをさらに検出する手順について説明する。 Next, a procedure for further detecting that an abnormality has occurred based on the peak voltage difference during the zero value monitoring will be described with reference to FIG.
本実施形態の流量計センサー部３０は、異なる２点において流体の物理量を電圧値の信号として検出する第１と第２のセンサーとして、２つの超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄを備えている。２つの超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄによって、物理量として、流体中における超音波伝搬時間を測定している。 The flowmeter sensor unit 30 of the present embodiment includes two ultrasonic transducers 34u and 34d as first and second sensors that detect a physical quantity of fluid as a voltage value signal at two different points. The ultrasonic propagation time in the fluid is measured as a physical quantity by the two ultrasonic transducers 34u and 34d.
制御部５０は、ゼロ値監視を開始すると、第１のセンサーとしての上流側の超音波トランスデューサ３４ｕから、第２のセンサーとしての下流側の超音波トランスデューサ３４ｄに超音波が送信される。同様に、下流側の超音波トランスデューサ３４ｄから、上流側の超音波トランスデューサ３４ｕに超音波が送信される（ステップＳ１１）。 When the zero value monitoring is started, the control unit 50 transmits ultrasonic waves from the upstream ultrasonic transducer 34u serving as the first sensor to the downstream ultrasonic transducer 34d serving as the second sensor. Similarly, ultrasonic waves are transmitted from the downstream ultrasonic transducer 34d to the upstream ultrasonic transducer 34u (step S11).
制御部５０は、上流側の超音波トランスデューサ３４ｕによって検出した受信波の最大振幅の電圧値（ピーク電圧）Ｙ（Ｒ）と、下流側の超音波トランスデューサ３４ｄによって検出した受信波の最大振幅の電圧値（ピーク電圧）Ｘ（Ｒ）とのピーク電圧差Ｚ（Ｒ）を測定する（ステップＳ１２）。 The control unit 50 determines the maximum amplitude voltage value (peak voltage) Y (R) of the received wave detected by the upstream ultrasonic transducer 34u and the maximum amplitude voltage of the received wave detected by the downstream ultrasonic transducer 34d. The peak voltage difference Z (R) from the value (peak voltage) X (R) is measured (step S12).
制御部５０は、流量制御装置１０の稼働時に測定したピーク電圧差の初期値Ｚ（０）を記憶している。制御部５０は、ピーク電圧差の測定値Ｚ（Ｒ）とピーク電圧差の初期値Ｚ（０）を比較する（ステップＳ１３）。 The control unit 50 stores an initial value Z (0) of a peak voltage difference measured when the flow control device 10 is in operation. The controller 50 compares the measured value Z (R) of the peak voltage difference with the initial value Z (0) of the peak voltage difference (step S13).
制御部５０は、ピーク電圧差の測定値Ｚ（Ｒ）からピーク電圧差の初期値Ｚ（０）を差し引いた演算値（Ｚ（Ｒ）−Ｚ（０））が、予め設定される閾値（３）の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ１４）。 The control unit 50 calculates a threshold value (Z (R) −Z (0)) obtained by subtracting the initial value Z (0) of the peak voltage difference from the measured value Z (R) of the peak voltage difference. It is determined whether it is within the range of 3) (step S14).
Ｚ（０）：初期値における最大振幅の電圧差（ピーク電圧差）
＝Ｘ（０）−Ｙ（０）
Ｚ（Ｒ）：現在の実測値における最大振幅の電圧差（ピーク電圧差）
＝Ｘ（Ｒ）−Ｙ（Ｒ）
ここで、
Ｘ（０）：初期値における最大振幅の電圧値（ピーク電圧）（上流側の超音波トランスデューサ３４ｕから下流側の超音波トランスデューサ３４ｄに超音波を送信）
Ｙ（０）：初期値における最大振幅の電圧値（ピーク電圧）（下流側の超音波トランスデューサ３４ｄから上流側の超音波トランスデューサ３４ｕに超音波を送信）
Ｘ（Ｒ）：現在の実測値における最大振幅の電圧値（ピーク電圧）（上流側の超音波トランスデューサ３４ｕから下流側の超音波トランスデューサ３４ｄに超音波を送信）
Ｙ（Ｒ）：現在の実測値における最大振幅の電圧値（ピーク電圧）（下流側の超音波トランスデューサ３４ｄから上流側の超音波トランスデューサ３４ｕに超音波を送信）
である。
Z (0): Voltage difference of maximum amplitude at initial value (peak voltage difference)
= X (0) -Y (0)
Z (R): Maximum amplitude voltage difference (peak voltage difference) in the current measured value
= X (R) -Y (R)
here,
X (0): Voltage value (peak voltage) of the maximum amplitude at the initial value (transmitting ultrasonic waves from the ultrasonic transducer 34u on the upstream side to the ultrasonic transducer 34d on the downstream side)
Y (0): Maximum amplitude voltage value (peak voltage) at the initial value (ultrasonic waves are transmitted from the ultrasonic transducer 34d on the downstream side to the ultrasonic transducer 34u on the upstream side)
X (R): Voltage value (peak voltage) of the maximum amplitude in the current measured value (transmitting ultrasonic waves from the ultrasonic transducer 34u on the upstream side to the ultrasonic transducer 34d on the downstream side)
Y (R): Voltage value (peak voltage) of the maximum amplitude in the current actual measurement value (ultrasonic waves are transmitted from the ultrasonic transducer 34d on the downstream side to the ultrasonic transducer 34u on the upstream side)
It is.
閾値（３）の範囲は、適宜設定することができるが、一例を挙げれば、流量計アンプ部５１で計測できる最大電圧値の５％の範囲である。 The range of the threshold value (3) can be set as appropriate. For example, the threshold value (3) is a range of 5% of the maximum voltage value that can be measured by the flowmeter amplifier unit 51.
超音波流量計は、「ピーク電圧差は一定である」という特性を有する。したがって、「ピーク電圧差が一定でない」場合は、ゼロ値がずれたわけではないが、何らかの外乱、例えば、超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄの個体差の拡大（片方の超音波トランスデューサが劣化した等）が生じたことを示唆している。「ピーク電圧差が一定でない」という現象が現れると、流量の演算値が実流量からずれてくることが経験則からわかっている。制御部５０は、演算値（Ｚ（Ｒ）−Ｚ（０））が閾値（３）の範囲を超えた場合には（ステップＳ１４：「ＮＯ」）、流量制御装置１０に異常が生じたと判断し、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する（ステップＳ１５）。その後、制御部５０は、処理を終了する。 The ultrasonic flowmeter has a characteristic that “the peak voltage difference is constant”. Therefore, when the “peak voltage difference is not constant”, the zero value is not shifted, but some disturbance, for example, an increase in individual difference between the ultrasonic transducers 34u and 34d (deterioration of one ultrasonic transducer, etc.) occurs. Suggests that it occurred. From the rule of thumb, it is known that when the phenomenon “the peak voltage difference is not constant” appears, the calculated value of the flow rate deviates from the actual flow rate. When the calculated value (Z (R) −Z (0)) exceeds the threshold value (3) (step S14: “NO”), the control unit 50 determines that an abnormality has occurred in the flow control device 10. Then, the notification unit 70 is operated to notify the operator of the abnormal state of the apparatus (step S15). Thereafter, the control unit 50 ends the process.
演算値が閾値（３）の範囲内の場合には（ステップＳ１４：「ＹＥＳ」）、ステップＳ９〜Ｓ１２と同様のゼロ値監視処理が行われる（ステップＳ１６〜Ｓ１９）。 When the calculated value is within the range of the threshold value (3) (step S14: “YES”), the zero value monitoring process similar to steps S9 to S12 is performed (steps S16 to S19).
制御部５０は、演算した流量値が、閾値（１）の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ１６）。 The controller 50 determines whether or not the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) (step S16).
制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲を超えた場合には（ステップＳ１６：「ＮＯ」）、流量制御装置１０に異常が生じたと判断し、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する（ステップＳ１７）。その後、制御部５０は、処理を終了する。 When the calculated flow rate value exceeds the range of the threshold value (1) (step S16: “NO”), the control unit 50 determines that an abnormality has occurred in the flow control device 10 and activates the notification unit 70. The operator is notified of the abnormal state of the device (step S17). Thereafter, the control unit 50 ends the process.
制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲内にある場合には（ステップＳ１６：「ＹＥＳ」）、演算した流量値が閾値（２）の範囲外にあるか否かを判断する（ステップＳ１８）。演算した流量値が閾値（２）の範囲内の場合には（ステップＳ１８：「ＮＯ」）、ゼロ値補正を行う必要がない。処理は、ステップＳ１２に戻り、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、ゼロ値監視を継続し、ピーク電圧差を測定する。 When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) (step S16: “YES”), the control unit 50 determines whether or not the calculated flow rate value is outside the range of the threshold value (2). (Step S18). When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (2) (step S18: “NO”), it is not necessary to perform zero value correction. The process returns to step S12, and the control unit 50 continues to monitor the zero value until the flow path 20 is opened by the regulating valve 40, and measures the peak voltage difference.
演算した流量値が閾値（１）の範囲内ではあるが、閾値（２）の範囲を超えた場合には（ステップＳ１８：「ＹＥＳ」）、制御部５０は、ゼロ値補正を行うことを決定する。制御部５０は、演算した流量値を、新しく流量ゼロとするゼロ値補正を行う（ステップＳ１９）。処理は、ステップＳ１２に戻り、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、ゼロ値監視を継続し、ピーク電圧差を測定する。 When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) but exceeds the range of the threshold value (2) (step S18: “YES”), the control unit 50 determines to perform zero value correction. To do. The control unit 50 performs zero value correction with the calculated flow rate value as a new flow rate zero (step S19). The process returns to step S12, and the control unit 50 continues to monitor the zero value until the flow path 20 is opened by the regulating valve 40, and measures the peak voltage difference.
制御部５０は、ゼロ値監視中に装置側制御部８０から次の流量制御命令を受けると、ゼロ値監視を直ちに終了し、調整弁４０の開度をフィードバック制御して、設定された流量になるように流量のフィードバック制御に移行する。 When the control unit 50 receives the next flow control command from the device-side control unit 80 during the zero value monitoring, the control unit 50 immediately terminates the zero value monitoring, feedback-controls the opening degree of the regulating valve 40, and sets the set flow rate. The flow shifts to feedback control of the flow rate.
制御部５０は、ゼロ値監視中に、ピーク電圧差の測定値とピーク電圧差の初期値との差が予め設定した閾値（３）から外れたときには異常が生じたと判断している。このため、流量制御装置１０を再稼働する前に、早期に装置の異常つまりシステム異常を感知することができ、迅速な修理や交換が可能となる。超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄの個体差の拡大が生じたことが異常発生の原因となるので、超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄの個体差の調整をしなくても、個体差に起因した不具合を検知して、必要な対処をすることが可能となる。 The controller 50 determines that an abnormality has occurred when the difference between the measured value of the peak voltage difference and the initial value of the peak voltage difference deviates from the preset threshold (3) during the zero value monitoring. For this reason, before the flow control device 10 is restarted, an abnormality of the apparatus, that is, an abnormality of the system can be sensed at an early stage, and quick repair or replacement is possible. Since an increase in individual differences between the ultrasonic transducers 34u and 34d causes an abnormality, it is possible to detect defects caused by individual differences without adjusting individual differences between the ultrasonic transducers 34u and 34d. It is possible to take necessary measures.
次に、図４を参照して、ゼロ値監視中に、増幅倍率に基づいて異常が生じたことをさらに検出する手順について説明する。 Next, a procedure for further detecting that an abnormality has occurred based on the amplification magnification during zero value monitoring will be described with reference to FIG.
本実施形態の制御部５０は、流量計センサー部３０から出力する信号または流量計センサー部３０に入力する信号の少なくとも一方の増幅倍率（ゲイン値）を変更自在に構成されている。 The control unit 50 of the present embodiment is configured to be able to change at least one amplification magnification (gain value) of a signal output from the flow meter sensor unit 30 or a signal input to the flow meter sensor unit 30.
制御部５０は、ゼロ値監視を開始すると、一方、例えば、上流側の超音波トランスデューサ３４ｕから、他方、例えば、下流側の超音波トランスデューサ３４ｄに超音波が送信される。一方の超音波トランスデューサ３４ｕから送信された超音波は、他方の超音波トランスデューサ３４ｄによって受信する前に、一定電圧値になるように適切な倍率で増幅される（ステップＳ２１）。 When starting the zero value monitoring, the control unit 50 transmits ultrasonic waves from one side, for example, the upstream ultrasonic transducer 34u to the other side, for example, the downstream ultrasonic transducer 34d. The ultrasonic waves transmitted from one ultrasonic transducer 34u are amplified at an appropriate magnification so as to have a constant voltage value before being received by the other ultrasonic transducer 34d (step S21).
制御部５０は、超音波を増幅させるときの増幅倍率を測定する（ステップＳ２２）。 The controller 50 measures the amplification magnification when the ultrasonic wave is amplified (step S22).
制御部５０は、超音波を増幅させるときの増幅倍率が、予め設定される閾値（４）の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ２３）。閾値（４）の範囲は、適宜設定することができるが、一例を挙げれば、気泡混入を検知できる、流量計アンプ部５１で増幅できる倍率の最大値の９０％以上の範囲である。 The control unit 50 determines whether or not the amplification magnification for amplifying the ultrasonic wave is within a preset threshold value (4) (step S23). The range of the threshold value (4) can be set as appropriate. For example, the threshold value (4) is a range that is 90% or more of the maximum value of the magnification that can be detected by the flowmeter amplifier unit 51 and that bubbles can be detected.
増幅倍率が閾値（４）の範囲を超えた場合は、何らかの外乱、例えば、流路２０に液体を流しているときに気泡が混入したことを示唆している。なお、ガスを流しているときに液滴が混入した場合にも増幅倍率は増加する。制御部５０は、増幅倍率が閾値（４）の範囲を超えた場合には（ステップＳ２３：「ＮＯ」）、流量制御装置１０に異常が生じたと判断し、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する（ステップＳ２４）。その後、制御部５０は、処理を終了する。 When the amplification magnification exceeds the range of the threshold value (4), it is suggested that some disturbance, for example, bubbles are mixed when a liquid is flowing through the flow path 20. Note that the amplification factor also increases when a droplet is mixed while the gas is flowing. When the amplification factor exceeds the threshold (4) range (step S23: “NO”), the control unit 50 determines that an abnormality has occurred in the flow control device 10, operates the notification unit 70, and operates the device. Is notified to the worker (step S24). Thereafter, the control unit 50 ends the process.
増幅倍率が閾値（４）の範囲内の場合には（ステップＳ２３：「ＹＥＳ」）、ステップＳ９〜Ｓ１２と同様のゼロ値監視処理が行われる（ステップＳ２５〜Ｓ２８）。 When the amplification factor is within the range of the threshold value (4) (step S23: “YES”), the zero value monitoring process similar to steps S9 to S12 is performed (steps S25 to S28).
制御部５０は、演算した流量値が、閾値（１）の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ２５）。 The controller 50 determines whether or not the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) (step S25).
制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲を超えた場合には（ステップＳ２５：「ＮＯ」）、流量制御装置１０に異常が生じたと判断し、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する（ステップＳ２６）。その後、制御部５０は、処理を終了する。 When the calculated flow rate value exceeds the range of the threshold value (1) (step S25: “NO”), the control unit 50 determines that an abnormality has occurred in the flow control device 10 and activates the notification unit 70. The operator is notified of the abnormal state of the device (step S26). Thereafter, the control unit 50 ends the process.
制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲内にある場合には（ステップＳ２５：「ＹＥＳ」）、演算した流量値が閾値（２）の範囲外にあるか否かを判断する（ステップＳ２７）。演算した流量値が閾値（２）の範囲内の場合には（ステップＳ２７：「ＮＯ」）、ゼロ値補正を行う必要がない。処理は、ステップＳ２２に戻り、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、ゼロ値監視を継続し、増幅倍率を測定する。 When the calculated flow value is within the range of the threshold value (1) (step S25: “YES”), the control unit 50 determines whether or not the calculated flow value is outside the range of the threshold value (2). (Step S27). When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (2) (step S27: “NO”), it is not necessary to perform zero value correction. The process returns to step S22, and the control unit 50 continues to monitor the zero value until the flow path 20 is opened by the regulating valve 40, and measures the amplification factor.
演算した流量値が閾値（１）の範囲内ではあるが、閾値（２）の範囲を超えた場合には（ステップＳ２７：「ＹＥＳ」）、制御部５０は、ゼロ値補正を行うことを決定する。制御部５０は、演算した流量値を、新しく流量ゼロとするゼロ値補正を行う（ステップＳ２８）。処理は、ステップＳ２２に戻り、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、ゼロ値監視を継続し、増幅倍率を測定する。 When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) but exceeds the range of the threshold value (2) (step S27: “YES”), the control unit 50 determines to perform zero value correction. To do. The control unit 50 performs zero value correction that newly sets the calculated flow rate value to zero (step S28). The process returns to step S22, and the control unit 50 continues to monitor the zero value until the flow path 20 is opened by the regulating valve 40, and measures the amplification factor.
制御部５０は、ゼロ値監視中に装置側制御部８０から次の流量制御命令を受けると、ゼロ値監視を直ちに終了し、調整弁４０の開度をフィードバック制御して、設定された流量になるように流量のフィードバック制御に移行する。 When the control unit 50 receives the next flow control command from the device-side control unit 80 during the zero value monitoring, the control unit 50 immediately terminates the zero value monitoring, feedback-controls the opening degree of the regulating valve 40, and sets the set flow rate. The flow shifts to feedback control of the flow rate.
制御部５０は、ゼロ値監視中に、増幅倍率が予め設定した閾値（４）から外れたときには異常が生じたと判断している。このため、流量制御装置１０を再稼働する前に、早期にシステム異常を感知することができ、迅速な修理や交換が可能となる。流路２０に気泡が混入したことが異常発生の原因となるので、その不具合を検知して、脱気する等の必要な対処をすることが可能となる。 The controller 50 determines that an abnormality has occurred when the amplification factor deviates from the preset threshold value (4) during the zero value monitoring. For this reason, before the flow control device 10 is restarted, a system abnormality can be detected at an early stage, and quick repair and replacement are possible. Since bubbles are mixed in the flow path 20 and cause an abnormality, it is possible to detect the malfunction and take necessary measures such as deaeration.
次に、図５を参照して、ゼロ値監視中に、流量計センサー部３０の出力値の初期値からのずれ量に基づいて異常が生じたことをさらに検出する手順について説明する。 Next, a procedure for further detecting that an abnormality has occurred based on the amount of deviation from the initial value of the output value of the flow meter sensor unit 30 during zero value monitoring will be described with reference to FIG.
制御部５０は、ゼロ値監視を開始すると（ステップＳ３１）、ステップＳ９〜Ｓ１２と同様の処理を行う（ステップＳ３２〜Ｓ３５）。 When starting the zero value monitoring (step S31), the controller 50 performs the same processing as steps S9 to S12 (steps S32 to S35).
制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲を超えた場合には（ステップＳ３２：「ＮＯ」）、流量制御装置１０に異常が生じたと判断し、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する（ステップＳ３３）。その後、制御部５０は、処理を終了する。 When the calculated flow rate value exceeds the range of the threshold value (1) (step S32: “NO”), the control unit 50 determines that an abnormality has occurred in the flow control device 10, and activates the notification unit 70. The operator is notified of the abnormal state of the device (step S33). Thereafter, the control unit 50 ends the process.
制御部５０は、演算した流量値が閾値（１）の範囲内にある場合には（ステップＳ３２：「ＹＥＳ」）、演算した流量値が閾値（２）の範囲外にあるか否かを判断する（ステップＳ３４）。演算した流量値が閾値（２）の範囲内の場合には（ステップＳ３４：「ＮＯ」）、ゼロ値補正を行う必要がない。処理は、ステップＳ３７に進む。 When the calculated flow value is within the range of the threshold value (1) (step S32: “YES”), the control unit 50 determines whether or not the calculated flow value is outside the range of the threshold value (2). (Step S34). When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (2) (step S34: “NO”), it is not necessary to perform zero value correction. The process proceeds to step S37.
演算した流量値が閾値（１）の範囲内ではあるが、閾値（２）の範囲を超えた場合には（ステップＳ３４：「ＹＥＳ」）、制御部５０は、ゼロ値補正を行うことを決定する。制御部５０は、演算した流量値を、新しく流量ゼロとするゼロ値補正を行う（ステップＳ３５）。 When the calculated flow rate value is within the range of the threshold value (1) but exceeds the range of the threshold value (2) (step S34: “YES”), the control unit 50 determines to perform zero value correction. To do. The control unit 50 performs zero value correction for setting the calculated flow rate value to a new flow rate zero (step S35).
制御部５０は、装置稼働時に最初のゼロ値補正を行ったときに流量計センサー部３０から出力された値を初期値として記憶している。制御部５０は、ステップＳ３５においてゼロ値補正を行ったときに流量計センサー部３０から出力されている現在値と、装置稼働時に記憶した初期値とを比較する（ステップＳ３６）。 The controller 50 stores, as an initial value, a value output from the flow meter sensor unit 30 when the first zero value correction is performed during operation of the apparatus. The control unit 50 compares the current value output from the flowmeter sensor unit 30 when the zero value correction is performed in step S35 with the initial value stored during operation of the apparatus (step S36).
制御部５０は、流量計センサー部３０の出力値の現在値から初期値を差し引いた演算値が、予め設定される閾値（５）の範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ３７）。閾値（５）の範囲は、適宜設定することができるが、一例を挙げれば、最大流量の±３％の範囲である。 The control unit 50 determines whether or not the calculated value obtained by subtracting the initial value from the current value of the output value of the flowmeter sensor unit 30 is within a preset threshold value (5) (step S37). The range of the threshold value (5) can be set as appropriate. For example, it is a range of ± 3% of the maximum flow rate.
ゼロ値補正したときの流量計センサー部３０の現在値が初期値から大きくずれていると、正確な流量を演算できないだけでなく、流量計センサー部３０に何らかの異常、例えば、故障が発生した、あるいは寿命がきたと認識した方が妥当な場合がある。制御部５０は、演算値が閾値（５）の範囲を超えた場合には（ステップＳ３７：「ＮＯ」）、流量制御装置１０に異常が生じたと判断し、報知部７０を作動させて、装置の異常状態を作業者に報知する（ステップＳ３８）。その後、制御部５０は、処理を終了する。 If the current value of the flow meter sensor unit 30 when the zero value is corrected is greatly deviated from the initial value, not only the accurate flow rate cannot be calculated, but also some abnormality, for example, a failure has occurred in the flow meter sensor unit 30. Or it may be more appropriate to recognize that the lifetime has come to an end. When the calculated value exceeds the range of the threshold value (5) (step S37: “NO”), the control unit 50 determines that an abnormality has occurred in the flow control device 10, operates the notification unit 70, and operates the device. Is notified to the operator (step S38). Thereafter, the control unit 50 ends the process.
演算値が閾値（５）の範囲内の場合には（ステップＳ３７：「ＹＥＳ」）、流量計センサー部３０は正常であり、処理を終了する必要がない。処理は、ステップＳ３２に戻り、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、ゼロ値監視を継続する。 When the calculated value is within the range of the threshold value (5) (step S37: “YES”), the flowmeter sensor unit 30 is normal, and there is no need to end the process. The process returns to step S <b> 32, and the control unit 50 continues to monitor the zero value until the flow path 20 is opened by the adjustment valve 40.
制御部５０は、ゼロ値監視中に装置側制御部８０から次の流量制御命令を受けると、ゼロ値監視を直ちに終了し、調整弁４０の開度をフィードバック制御して、設定された流量になるように流量のフィードバック制御に移行する。 When the control unit 50 receives the next flow control command from the device-side control unit 80 during the zero value monitoring, the control unit 50 immediately terminates the zero value monitoring, feedback-controls the opening degree of the regulating valve 40, and sets the set flow rate. The flow shifts to feedback control of the flow rate.
制御部５０は、ゼロ値監視中に、流量計センサー部３０の出力値の現在値から初期値を差し引いた演算値が予め設定した閾値（５）から外れたときには異常が生じたと判断している。このため、流量制御装置１０を再稼働する前に、早期にシステム異常を感知することができ、迅速な修理や交換が可能となる。ゼロ値補正を繰り返し行っている間に流量計センサー部３０に故障が発生した等が異常発生の原因となるので、その不具合を検知して、流量計センサー部３０の交換等の必要な対処をすることが可能となる。 The control unit 50 determines that an abnormality has occurred when the calculated value obtained by subtracting the initial value from the current value of the output value of the flow meter sensor unit 30 deviates from the preset threshold value (5) during the zero value monitoring. . For this reason, before the flow control device 10 is restarted, a system abnormality can be detected at an early stage, and quick repair and replacement are possible. Since a failure has occurred in the flow meter sensor unit 30 while the zero value correction is being performed repeatedly, an abnormality may occur, so that the malfunction is detected and necessary measures such as replacement of the flow meter sensor unit 30 are taken. It becomes possible to do.
図６は、ゼロ値監視中に、ゼロ値補正を繰り返し行っている間に、流量計センサー部３０の出力値が初期値に対してずれ量が大きくなっていく様子を模式的に示す図である。図６において、実線は流量計センサー部３０の出力値Ｖ（Ｒ）の変化を示し、符号Δａは、流量「ゼロ」の誤差範囲である閾値（２）の範囲を示している。Ｖ（０）は、装置稼働時にゼロ値補正を行ったときに流量計センサー部３０から出力された初期値を示している。符号Δｂは、上述した閾値（５）の範囲を示している。 FIG. 6 is a diagram schematically illustrating how the output value of the flow meter sensor unit 30 increases with respect to the initial value while the zero value correction is repeatedly performed during the zero value monitoring. is there. In FIG. 6, the solid line indicates the change in the output value V (R) of the flow meter sensor unit 30, and the symbol Δa indicates the threshold (2) range that is the error range of the flow rate “zero”. V (0) indicates an initial value output from the flow meter sensor unit 30 when zero value correction is performed during operation of the apparatus. Symbol Δb indicates the range of the threshold value (5) described above.
ゼロ値監視中に、流量計センサー部３０の出力値が初期値に対してずれていき、演算した流量値がずれていくことがある。演算した流量値が閾値（２）の範囲を超えた場合には（時間ｔ１、ｔ２、図５のステップＳ３４：「ＹＥＳ」）、ゼロ値補正が行われる（図５のステップＳ３５）。 During the zero value monitoring, the output value of the flow meter sensor unit 30 may deviate from the initial value, and the calculated flow value may deviate. When the calculated flow rate value exceeds the range of the threshold value (2) (time t1, t2, step S34 in FIG. 5: “YES”), zero value correction is performed (step S35 in FIG. 5).
ゼロ値補正を複数回繰り返した後、時間ｔ３において、流量計センサー部３０の出力値が再びずれていき、演算した流量値がずれていく。演算した流量値が閾値（２）の範囲を超える前に、流量計センサー部３０の出力値の現在値から初期値を差し引いた演算値が閾値（５）の範囲を超える（時間ｔ４）。この時間ｔ４において、装置の異常状態が報知される（図５のステップＳ３７：「ＮＯ」、ステップＳ３８）。 After the zero value correction is repeated a plurality of times, the output value of the flow meter sensor unit 30 shifts again at time t3, and the calculated flow rate value shifts. Before the calculated flow rate value exceeds the range of the threshold value (2), the calculated value obtained by subtracting the initial value from the current value of the output value of the flow meter sensor unit 30 exceeds the range of the threshold value (5) (time t4). At this time t4, the abnormal state of the apparatus is notified (step S37 in FIG. 5: “NO”, step S38).
以上説明したように、本実施形態にあっては、制御部５０は、調整弁４０によって流路２０が閉じられているときに演算した流量値をゼロとするゼロ値補正を行った後、調整弁４０によって流路２０が開かれるまで、演算した流量値がゼロ値であることを監視するゼロ値監視を行う。そして、制御部５０は、ゼロ値監視中に、演算した流量値が予め設定した閾値の範囲を超えたときにゼロ値補正を行っている。このため、流量制御装置１０を再稼働する前にゼロ値がずれる虞がない。したがって、流量制御装置１０によって流量制御を再度行うときには、流体の流量を迅速かつ正確に得ることができ、その結果、流量制御を迅速かつ正確に行うことが可能となる。 As described above, in the present embodiment, the control unit 50 performs the adjustment after performing zero value correction in which the flow rate value calculated when the flow path 20 is closed by the adjustment valve 40 is zero. Until the flow path 20 is opened by the valve 40, zero value monitoring is performed to monitor that the calculated flow rate value is zero. And the control part 50 is performing zero value correction | amendment, when the calculated flow value exceeds the range of the preset threshold value during zero value monitoring. For this reason, there is no possibility that the zero value is shifted before the flow control device 10 is restarted. Therefore, when the flow control is performed again by the flow control device 10, the flow rate of the fluid can be obtained quickly and accurately, and as a result, the flow control can be performed quickly and accurately.
制御部５０は、ゼロ値監視中に、第１と第２のセンサーとしての２つの超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄのピーク電圧差を測定し、ピーク電圧差の測定値と装置稼働時に測定したピーク電圧差の初期値との差が予め設定した閾値（３）の範囲を超えたときには異常が生じたと判断している。このため、流量制御装置１０を再稼働する前に、早期にシステム異常を感知することができ、迅速な修理や交換が可能となる。２つのセンサー（超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄ）の個体差の拡大が生じたことが異常発生の原因となるので、センサー（超音波トランスデューサ３４ｕ、３４ｄ）の個体差の調整をしなくても、個体差に起因した不具合を検知して、必要な対処をすることが可能となる。 During the zero value monitoring, the control unit 50 measures the peak voltage difference between the two ultrasonic transducers 34u and 34d as the first and second sensors, and the measured value of the peak voltage difference and the peak voltage measured when the apparatus is in operation. When the difference between the difference and the initial value exceeds a preset threshold (3), it is determined that an abnormality has occurred. For this reason, before the flow control device 10 is restarted, a system abnormality can be detected at an early stage, and quick repair and replacement are possible. Since an increase in individual difference between the two sensors (ultrasonic transducers 34u and 34d) causes an abnormality, the individual difference between the sensors (ultrasonic transducers 34u and 34d) does not need to be adjusted. It is possible to detect a malfunction caused by the difference and take necessary measures.
制御部５０は、ゼロ値監視中に、増幅倍率が予め設定した閾値（４）の範囲を超えたときには異常が生じたと判断している。このため、流量制御装置１０を再稼働する前に、早期にシステム異常を感知することができ、迅速な修理や交換が可能となる。流路２０に気泡が混入したことが異常発生の原因となるので、その不具合を検知して、脱気する等の必要な対処をすることが可能となる。 The control unit 50 determines that an abnormality has occurred when the amplification factor exceeds the preset threshold (4) during the zero value monitoring. For this reason, before the flow control device 10 is restarted, a system abnormality can be detected at an early stage, and quick repair and replacement are possible. Since bubbles are mixed in the flow path 20 and cause an abnormality, it is possible to detect the malfunction and take necessary measures such as deaeration.
制御部５０は、ゼロ値監視中に、ゼロ値補正を行ったときに流量計センサー部３０から出力されている値と、装置稼働時にゼロ値補正を行ったときに流量計センサー部３０から出力された初期値との差が予め設定した閾値（５）の範囲を超えたときには異常が生じたと判断している。このため、流量制御装置１０を再稼働する前に、早期にシステム異常を感知することができ、迅速な修理や交換が可能となる。ゼロ値補正を繰り返し行っている間に流量計センサー部３０に故障が発生した等が異常発生の原因となるので、その不具合を検知して、流量計センサー部３０の交換等の必要な対処をすることが可能となる。 During the zero value monitoring, the control unit 50 outputs the value output from the flow meter sensor unit 30 when the zero value correction is performed and the output from the flow meter sensor unit 30 when the zero value correction is performed during operation of the apparatus. It is determined that an abnormality has occurred when the difference from the initial value exceeds a preset threshold (5) range. For this reason, before the flow control device 10 is restarted, a system abnormality can be detected at an early stage, and quick repair and replacement are possible. Since a failure has occurred in the flow meter sensor unit 30 while the zero value correction is being performed repeatedly, an abnormality may occur, so that the malfunction is detected and necessary measures such as replacement of the flow meter sensor unit 30 are taken. It becomes possible to do.
流量制御装置１０は、装置の作動状態を報知する報知部７０をさらに有し、制御部５０は、異常が生じたと判断したときに報知部７０を作動させて、装置の異常状態を報知する。このようにシステム異常を報知部７０によって報知することによって、迅速な修理や交換を実現できる。 The flow control device 10 further includes a notification unit 70 that notifies the operating state of the device, and the control unit 50 operates the notification unit 70 to notify the abnormal state of the device when it is determined that an abnormality has occurred. By notifying the system abnormality by the notification unit 70 in this way, it is possible to realize quick repair or replacement.
流路２０に連通する流体流入管２１と流体流出管２２とを備えるケーシング６０内に、流路２０、流量計センサー部３０、調整弁４０、および制御部５０を収納してユニット化している。このようにユニット化することによって、流量制御装置１０の小型化を図ることができ、修理や交換作業を容易に行うことができる。 The flow path 20, the flowmeter sensor unit 30, the adjustment valve 40, and the control unit 50 are housed in a casing 60 having a fluid inflow pipe 21 and a fluid outflow pipe 22 communicating with the flow path 20. By unitizing in this way, the flow control device 10 can be reduced in size, and repair and replacement work can be easily performed.
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜変更可能である。例えば、流量計センサー部３０および調整弁４０をこの順で流体の流れ方向に沿って配置した例を図示したが、順序を逆にして配置することもできる。 In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, It can change suitably. For example, although the example in which the flowmeter sensor unit 30 and the regulating valve 40 are arranged in this order along the flow direction of the fluid is illustrated, the order may be reversed.
流量計センサー部３０は超音波流量計用に限定されない。例えば、異なる２点において流体の物理量である圧力を電圧値の信号として検出し、２点間の差圧に基づいて流量を計測する差圧式流量計用の流量計センサー部を適用することができる。また、例えば、流体の流れる流路に渦発生体と渦検出手段を設けて流路を通過する流量を計測する渦流量計用の流量計センサー部を適用することができる。 The flow meter sensor unit 30 is not limited to an ultrasonic flow meter. For example, it is possible to apply a flow meter sensor unit for a differential pressure type flow meter that detects a pressure that is a physical quantity of a fluid at two different points as a voltage value signal and measures a flow rate based on a differential pressure between the two points. . In addition, for example, a vortex flowmeter sensor unit for a vortex flowmeter that measures the flow rate passing through the flow path by providing a vortex generator and a vortex detection means in the flow path through which the fluid flows can be applied.
１０ 流量制御装置、
２０ 流路、
２１ 流体流入管、
２２ 流体流出管、
３０ 流量計センサー部、
３１ 測定管、
３２ｕ 上流側の超音波送受信器、
３２ｄ 下流側の超音波送受信器、
３３ 伝送体、
３４ｕ 上流側の超音波トランスデューサ（第１のセンサー）、
３４ｄ 下流側の超音波トランスデューサ（第２のセンサー）、
４０ 調整弁、
５０ 制御部、
５１ 流量計アンプ部、
６０ ケーシング、
７０ 報知部、
８０ 装置側制御部。
10 Flow control device,
20 channels,
21 fluid inflow pipe,
22 Fluid outflow pipe,
30 Flow meter sensor section,
31 measuring tube,
32u upstream ultrasonic transceiver,
32d downstream ultrasonic transceiver,
33 Transmitter,
34u upstream ultrasonic transducer (first sensor),
34d downstream ultrasonic transducer (second sensor),
40 Regulating valve,
50 control unit,
51 Flow meter amplifier section,
60 casing,
70 Notification section,
80 Device-side control unit.
Claims (6)
前記流路を流れる流体の流量を計測する流量計センサー部と、
前記流路を流れる流体の流量を設定された流量に調整する調整弁と、
前記流量計センサー部から出力された信号に基づいて流体の流量を演算する制御部と、を有し、
前記制御部は、
開かれた前記流路が前記調整弁によって閉じられた後、前記調整弁が閉じられた状態で、演算した流量値が流量「ゼロ」の誤差範囲として予め設定された閾値の範囲内であることを監視するゼロ値監視を行い、前記ゼロ値監視中に、演算した流量値が前記閾値の範囲を超えたときには、演算され前記閾値の範囲を超えた流量値を流量「ゼロ」の場合の新たなゼロ値とするゼロ値補正を行い、
前記ゼロ値監視は前記調整弁によって前記流路が開かれるまで継続され、
前記ゼロ値監視をしている場合に、演算した流量値が前記閾値の範囲を超えたときには、その都度、前記ゼロ値補正を行う流量制御装置。 A flow path through which fluid flows;
A flowmeter sensor unit for measuring the flow rate of the fluid flowing through the flow path;
An adjustment valve for adjusting the flow rate of the fluid flowing through the flow path to a set flow rate;
A controller that calculates the flow rate of the fluid based on the signal output from the flowmeter sensor unit,
Wherein,
After the passage open was close by the control valve, wherein in a state where the control valve is closed, the calculated flow rate value is within a preset threshold value as the error range of the flow rate "zero" When the calculated flow rate value exceeds the threshold range during the zero value monitoring, the calculated flow rate value exceeding the threshold range is set to the flow rate “zero”. There row zero value correction as a new zero value when "
The zero value monitoring is continued until the flow path is opened by the regulating valve,
When the zero value is monitored, when the calculated flow value exceeds the threshold range, the zero value correction is performed each time .
前記制御部は、前記ゼロ値監視中に、前記第１のセンサーによって検出したピーク電圧と、前記第２のセンサーによって検出したピーク電圧とのピーク電圧差を測定し、ピーク電圧差の測定値と装置稼働時に測定したピーク電圧差の初期値との差が予め設定した閾値の範囲を超えたときに異常が生じたと判断する、請求項１に記載の流量制御装置。 The flow meter sensor unit includes first and second sensors that detect a physical quantity of a fluid as a voltage value signal at two different points,
The control unit measures a peak voltage difference between the peak voltage detected by the first sensor and the peak voltage detected by the second sensor during the zero value monitoring, and a measured value of the peak voltage difference The flow control device according to claim 1, wherein it is determined that an abnormality has occurred when a difference from an initial value of a peak voltage difference measured during operation of the device exceeds a preset threshold range.
前記制御部は、一方の超音波トランスデューサから送信された超音波を他方の超音波トランスデューサによって受信する前に一定電圧値になるように増幅倍率を変更自在であり、
前記制御部は、前記ゼロ値監視中に、前記増幅倍率が外乱を生じていない範囲として予め設定した閾値の範囲を超えたときに異常が生じたと判断する、請求項１に記載の流量制御装置。 The flow meter sensor unit is a sensor unit for an ultrasonic flow meter, and includes an upstream ultrasonic transducer that transmits and receives ultrasonic waves, and a downstream ultrasonic transducer that transmits and receives ultrasonic waves,
The control unit is capable of changing the amplification magnification so that the ultrasonic wave transmitted from one ultrasonic transducer becomes a constant voltage value before being received by the other ultrasonic transducer ,
2. The flow rate control device according to claim 1, wherein the control unit determines that an abnormality has occurred when the amplification factor exceeds a predetermined threshold range as a range in which no disturbance occurs during the zero value monitoring. .
前記制御部は、異常が生じたと判断したときに報知部を作動させて、装置の異常状態を報知する、請求項２〜４のいずれか１項に記載の流量制御装置。 It further has a notification unit that notifies the operating state of the device,
The flow control device according to any one of claims 2 to 4, wherein when the control unit determines that an abnormality has occurred, the notification unit is operated to notify an abnormal state of the device.
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