JP6212865B2 - 面形状測定装置 - Google Patents
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第一に、異なる鏡面形状を有する複数種類の被験光学系を計測する用途の場合、鏡面形状に応じて異なる形状のヌルレンズを使用する必要があった。一般的にヌルレンズの製作には、通常のレンズよりも高精度で複雑な加工が要求されるので、高コストであり、また調達に時間を要するという課題があった。
第二に、波面測定装置を直線的に移動して測定する必要があった。この駆動機構の直進性誤差が測定精度に影響するため、高い精度を実現する必要があり高コストであるという課題があった。
面形状の評価対象である凹面鏡に照射するための球面波である光波を発生させる光源装置と、
前記凹面鏡の近似球面の曲率中心位置と前記凹面鏡との間に配置され、両面研磨されたガラス板であり、前記光源装置が発生した球面波である光波の波面の一部を反射して第一の光波とし、他の一部を透過して第二の光波として前記凹面鏡に照射し、この凹面鏡から反射した前記第二の光波を再び透過する球面原器と、
この球面原器から反射された前記第一の光波と、前記球面原器を再び透過した前記第二の光波と、を受光し、これら光波の波面形状に応じた多数の集光点パターンを結像するレンズレットアレイと、
このレンズレットアレイが結像する多数の集光点パターンを撮像して画像信号に変換し、この画像信号から光波の波面形状を演算する二次元検出器と、
前記凹面鏡に照射される前記球面波である光波の、前記凹面鏡における照射位置を可変するための回転駆動機構と、
を備えたことを特徴とするものである。
図1はこの発明の実施の形態1による面形状測定装置の構成を説明するためのブロック図である。図1において、1は光源装置の一部である光源、2は波面測定装置、3は回転駆動機構である第1の回転ステージ、4は測定対象である凹面鏡、5は第2の回転ステージ、6は球面原器である透過球面原器である。波面測定装置2は、シャックハルトマン型波面センサである。
図1において、第2の回転ステージ5は紙面の上下方向を回転軸として電動で任意に回転することができる。図1において、透過球面原器6、及び凹面鏡4は断面を示しており、これらはそれぞれ架台を介して第2の回転ステージ5に据え付けられており、相対的な位置を保持したまま曲率中心を通る軸周りに回転することができる。
一方、透過球面原器6で反射したレーザ光は、ビームスプリッタ22を透過し、レンズ23で略平行光に変換され、レンズレットアレイ24に入射する。
図3(a)において、集光スポット像26の個々の集光スポットの間に黒い領域が存在する。図3(b)における集光スポット像27はこの黒い領域だった部分に結像するように構成されている。これを実現する方式としては、例えば、凹面鏡4のみをまず設置して、集光スポット像26の画像位置を記憶しておき、次に透過球面原器6を設置し、画像を見ながら透過球面原器6のレーザ光に対する設置位置や角度を調整して、図3(b)のように、透過球面原器6で反射された集光スポット像27が、凹面鏡4からの集光スポット像26の間に位置するように、透過球面原器6を固定すればよい。
Wout = W1 − W2 (1)
第一に、凹面鏡4の一部分により反射されたレーザ光を測定するように構成したことで、凹面鏡4が開口全体で近似した球面から大きく変位した非球面であっても、波面測定装置2の測定ダイナミックレンジ内に収めることができる。従って従来の面形状測定装置で必要であったヌルレンズや直進性の駆動機構を不要とすることができるので、低コスト化が可能となる。
第二に常に透過球面原器6を基準とした相対計測することにより、第1の回転ステージ3、第2の回転ステージ5の回転駆動に伴い生じる測定誤差の影響を除去することができ、高精度な計測が可能となる。
図4はこの発明の実施の形態2による面形状測定装置の構成を示す構成図である。図4において、図1と同一の符号は同一の部位を示し、説明を省略する。
第一に、本発明の実施の形態1による面形状測定装置と同一の効果を奏する。
第二に、測定波面W1と基準波面W2を個別の画像から演算することが可能となる。従って、測定波面W1と基準波面W2を1つの画像から演算する場合と比較し、両者の数値差が大きく、従って一部の集光スポットが重なって測定されてしまうような場合でも、測定することが可能であり、測定信頼性が向上する。
第三に、スポット像の間隔を密接にすることが可能となり、空間分解能を向上することが容易となる。
Claims (3)
- 面形状の評価対象である凹面鏡に照射するための球面波である光波を発生させる光源装置と、
前記凹面鏡の近似球面の曲率中心位置と前記凹面鏡との間に配置され、両面研磨されたガラス板であり、前記光源装置が発生した球面波である光波の波面の一部を反射して第一の光波とし、他の一部を透過して第二の光波として前記凹面鏡に照射し、この凹面鏡から反射した前記第二の光波を再び透過する球面原器と、
この球面原器から反射された前記第一の光波と、前記球面原器を再び透過した前記第二の光波と、を受光し、これら光波の波面形状に応じた多数の集光点パターンを結像するレンズレットアレイと、
このレンズレットアレイが結像する多数の集光点パターンを撮像して画像信号に変換し、この画像信号から光波の波面形状を演算する二次元検出器と、
前記凹面鏡に照射される前記球面波である光波の、前記凹面鏡における照射位置を可変するための回転駆動機構と、
を備えたことを特徴とする面形状測定装置。 - 前記光源装置が発生した球面波である光波の曲率中心位置と前記球面原器の反射球面の曲率中心位置とは略一致しており、
前記回転駆動機構は、前記球面波である光波の照射位置を、前記球面波である光波の曲率中心位置を中心に可変することを特徴とする請求項1に記載の面形状測定装置。 - 前記光源装置は、2つの波長帯の光波を異なるタイミングで強弱を繰り返すように同一方向に発生し、
前記球面原器は、前記2つの波長帯の光波をそれぞれ前記第一の光波と前記第二の光波とに選択分離する波長選択性コーティングを有していることを特徴とする請求項1もしくは請求項2に記載の面形状測定装置。
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