JP6204831B2

JP6204831B2 - Fine wiring short-circuit location identification device, fine wiring short-circuit location repair device, fine wiring short-circuit location identification method, and fine wiring short-circuit location repair method

Info

Publication number: JP6204831B2
Application number: JP2014002201A
Authority: JP
Inventors: 健二肆矢
Original assignee: Nissha Printing Co Ltd
Current assignee: Nissha Printing Co Ltd
Priority date: 2014-01-09
Filing date: 2014-01-09
Publication date: 2017-09-27
Anticipated expiration: 2034-01-09
Also published as: JP2015129725A

Description

本発明は、微細配線短絡箇所の特定装置、微細配線短絡箇所の修理装置、微細配線短絡箇所の特定方法、及び微細配線短絡箇所の修理方法に関する。 The present invention relates to a device for identifying a short-circuited portion of a fine wiring, a repair device for a short-circuited portion of a fine wiring, a method for identifying a short-circuited portion of a fine wiring, and a method of repairing a short-circuited portion of a fine wiring.

例えば、基体上に形成された回路パターンのリード部同士のショート不良の有無を検査するために、リード部にプローブを接触させて抵抗値を測定することが行われている。
また、特許文献１に示す回路パターン検査装置では、複数のリード部に電圧を印加しつつ、リード部の赤外線像（サーモグラフィ）を撮像して、その温度分布情報に基づいてリード部のオープン不良及びショート不良を検出している。 For example, in order to inspect the presence or absence of short-circuit defects between the lead portions of the circuit pattern formed on the substrate, a resistance value is measured by bringing a probe into contact with the lead portions.
Moreover, in the circuit pattern inspection apparatus shown in Patent Document 1, an infrared image (thermography) of a lead part is imaged while applying a voltage to a plurality of lead parts, and an open defect of the lead part and A short circuit is detected.

特開平６−２５２２２９号公報JP-A-6-252229

一方、タッチセンサは、タッチセンサ用フィルムと、その両面に形成された微細配線（電極と、引き回し配線）とを有している。タッチセンサ用フィルムの微細配線の短絡箇所を特定し切断することは、複数のロール間でタッチセンサ用フィルムを送りながら実行される。
しかし、タッチセンサ用フィルムの両面を特許文献１のように温度分布情報に基づいて検査するためには２台のカメラが必要になり、又は１台のカメラの前にフィルムを反転させて通過させることが必要になり、いずれにしてもコストが高くなってしまい実用的ではない。 On the other hand, the touch sensor has a film for a touch sensor and fine wiring (electrodes and routing wiring) formed on both surfaces thereof. Identifying and cutting the short-circuit portion of the fine wiring of the touch sensor film is performed while feeding the touch sensor film between a plurality of rolls.
However, in order to inspect both surfaces of the film for the touch sensor based on the temperature distribution information as in Patent Document 1, two cameras are required, or the film is reversed and passed in front of one camera. In any case, the cost increases and is not practical.

本発明の課題は、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査可能とすることにある。 An object of the present invention is to enable inspection of a short-circuited portion of a fine wiring formed on both surfaces of a film for a touch sensor at a relatively low cost.

以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
本発明の一見地に係る微細配線短絡箇所の特定装置は、複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの微細配線が両面に形成されたタッチセンサ用フィルムにおいて、微細配線の短絡箇所を特定するための装置である。この装置は、電流供給部と、１台のカメラと、特定部とを備えている。電流供給部は、タッチセンサ用フィルムの表面に形成された微細配線と、タッチセンサ用フィルムの裏面に形成された微細配線に対して、異なるパターンで電流を供給する。１台のカメラは、タッチセンサ用フィルムの片面側に配置され、微細配線の温度分布を撮影する。特定部は、カメラからの温度分布情報に基づいて短絡箇所を特定する。
この装置では、電流供給部がタッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給するので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、特定部は、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のカメラによって得られる温度分布情報に基づいて、特定部は、タッチセンサ用フィルムの両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。また、カメラの台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。
なお、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線とは、中央の電極配線と、周辺の引き回し配線とを含む。 Hereinafter, a plurality of modes will be described as means for solving the problems. These aspects can be arbitrarily combined as necessary.
An apparatus for identifying a short-circuited portion of a fine wiring according to an aspect of the present invention identifies a short-circuited portion of a fine wiring in a touch sensor film in which fine wiring of a plurality of touch sensors sent between a plurality of rolls is formed on both surfaces. It is a device for. This apparatus includes a current supply unit, one camera, and a specifying unit. The current supply unit supplies current in different patterns to the fine wiring formed on the surface of the touch sensor film and the fine wiring formed on the back surface of the touch sensor film. One camera is arranged on one side of the touch sensor film and photographs the temperature distribution of the fine wiring. The specifying unit specifies a short-circuit location based on temperature distribution information from the camera.
In this device, the current supply unit supplies different energization patterns on the front and back sides to the fine wiring formed on both sides of the touch sensor film, so that the heat generation point of the front side wiring overlaps the heat generation point of the back side wiring. Even so, the identifying unit can distinguish between the short-circuited portion on the front side and the short-circuited portion on the back side. As a result, based on the temperature distribution information obtained by one camera, the specifying unit can specify a short-circuit portion of the fine wiring on both surfaces of the touch sensor film in a short time. Moreover, since the number of cameras is one, the short circuit location of the fine wiring formed on both surfaces of the touch sensor film can be inspected relatively inexpensively.
The fine wiring formed on both surfaces of the touch sensor film includes a central electrode wiring and a peripheral lead wiring.

電流供給部は、温度ノイズと電流供給による微細配線の発熱とを区別するための温度補償制御ステップを有していてもよい。
この装置では、温度補償制御によって、微細配線に短絡箇所がある場合のショート電流による微細配線の発熱と、短絡箇所周辺の温度ノイズとを区別できる。したがって、特定部は、短時間で正確に短絡箇所を特定できる。 The current supply unit may include a temperature compensation control step for distinguishing between temperature noise and heat generation of the fine wiring due to current supply.
In this apparatus, the temperature compensation control can distinguish between heat generation of the fine wiring due to a short current when the fine wiring has a short-circuited portion and temperature noise around the short-circuited portion. Therefore, the specific part can pinpoint a short circuit location correctly in a short time.

この装置は、特定部によって特定された短絡箇所に関する情報が記憶される記憶部をさらに備えていてもよい。
この装置では、記憶部が短絡箇所に関する情報を記憶しているので、後工程においてこの情報を利用可能になる。
なお、記憶部とは、コンピュータのメモリ、その他何らかの手段で短絡箇所を記憶できるものであればよい。 The apparatus may further include a storage unit that stores information on the short-circuited location specified by the specifying unit.
In this apparatus, since the storage unit stores information related to the short-circuited portion, this information can be used in a subsequent process.
Note that the storage unit may be anything that can store the short-circuited portion by computer memory or any other means.

本発明の他の見地に係る微細配線短絡箇所の修理装置は、上記の微細配線短絡箇所の特定装置と、画像処理装置と、修復装置とを備えている。画像処理装置は、特定部によって特定された短絡箇所を含むタッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理することで、短絡箇所をより正確に特定する。修復装置は、画像処理装置によって特定された短絡箇所を切断することで、短絡箇所を修復する。
この装置では、画像処理装置は、特定装置によって特定された短絡箇所を含むタッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理するだけでよいので、正確な短絡箇所の特定が短時間で終了する。それに対して、タッチセンサ用フィルムの全ての範囲を画像処理して短絡箇所を探索することになれば、短絡箇所の特定に膨大な時間が必要になり、それは実用的ではない。 According to another aspect of the present invention, a repair apparatus for a short-circuited portion of a fine wiring includes the above-described identification device for a short-circuited portion of a fine wiring, an image processing device, and a repair device. An image processing device specifies a short circuit location more correctly by carrying out image processing of the partial range of the film for touch sensors including the short circuit location specified by the specific part. The repair device repairs the short-circuited part by cutting the short-circuited part specified by the image processing apparatus.
In this device, the image processing device only needs to perform image processing on a partial range of the film for a touch sensor including the short-circuited portion specified by the specifying device, so that the accurate specification of the short-circuited portion is completed in a short time. On the other hand, if the entire range of the touch sensor film is image-processed to search for a short-circuited location, it takes a long time to identify the short-circuited location, which is not practical.

本発明のさらに他の見地に係る微細配線短絡箇所の特定方法は、複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの微細配線が両面に形成されたタッチセンサ用フィルムにおいて、微細配線の短絡箇所を特定するための方法であって、下記のステップを備えている。
◎タッチセンサ用フィルムの表面に形成された微細配線と、タッチセンサ用フィルムの裏面に形成された微細配線とに対して、異なるパターンで電流を供給する電流供給ステップ
◎両面の微細配線の温度分布をタッチセンサ用フィルムの片面側から撮影するステップ
◎温度分布情報に基づいて短絡箇所を特定する特定ステップ
この方法では、電流供給部がタッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給するので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、特定ステップは、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のカメラによって得られる温度分布情報に基づいて、タッチセンサ用フィルムの両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。また、カメラの台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。 According to still another aspect of the present invention, a method for identifying a fine wiring short-circuited location is a touch sensor film in which fine wiring of a plurality of touch sensors sent between a plurality of rolls is formed on both surfaces. A method for specifying comprises the following steps.
◎ Current supply step for supplying current in different patterns to the fine wiring formed on the front surface of the touch sensor film and the fine wiring formed on the back surface of the touch sensor film ◎ Temperature distribution of the fine wiring on both sides Step of shooting from one side of film for touch sensor ◎ Specific step of identifying short-circuit location based on temperature distribution information In this method, the current supply part is on the front and back of the fine wiring formed on both sides of the film for touch sensor Since different energization patterns are supplied in step S1, even if the heat generation location of the front-side wiring and the heat generation location of the back-side wiring overlap, the specific step can discriminate between the front-side short-circuit location and the back-side short-circuit location. As a result, based on the temperature distribution information obtained by one camera, it is possible to identify the short-circuited portion of the fine wiring on both surfaces of the touch sensor film in a short time. Moreover, since the number of cameras is one, the short circuit location of the fine wiring formed on both surfaces of the touch sensor film can be inspected relatively inexpensively.

電流供給ステップは、温度ノイズと電流供給による微細配線の発熱とを区別するための温度補償制御を行ってもよい。
この方法では、温度補償制御によって、微細配線に短絡箇所がある場合のショート電流による微細配線の発熱と、短絡箇所周辺の温度ノイズとを区別できる。したがって、短時間で正確に短絡箇所を特定できる。 In the current supply step, temperature compensation control for distinguishing between temperature noise and heat generation of the fine wiring due to current supply may be performed.
In this method, the temperature compensation control makes it possible to distinguish between heat generation of the fine wiring due to a short current when there is a short-circuited part in the fine wiring and temperature noise around the short-circuited part. Therefore, it is possible to accurately identify the short circuit location in a short time.

この方法は、特定方法によって特定された短絡箇所に関する情報を記憶部に記憶するステップをさらに備えていてもよい。
この方法では、記憶部が短絡箇所に関する情報を記憶しているので、後工程においてこの情報を利用可能になる。 This method may further include a step of storing information on the short-circuited location specified by the specifying method in the storage unit.
In this method, since the storage unit stores information related to the short-circuited part, this information can be used in a subsequent process.

本発明のさらに他の見地に係る微細配線短絡箇所の修理方法は、下記のステップを備えている。
◎上記の微細配線短絡箇所の特定方法
◎特定ステップによって特定された短絡箇所を含むタッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理することで、短絡箇所をより正確に特定する画像処理ステップ
◎画像処理ステップによって特定された短絡箇所を切断することで、短絡箇所を修復する修復ステップ
この方法では、画像処理ステップは、特定ステップによって特定された短絡箇所を含むタッチセンサ用フィルムの部分的な範囲を画像処理するだけでよいので、正確な短絡箇所の特定が短時間で終了する。それに対して、タッチセンサ用フィルムの全ての範囲を画像処理することになれば、短絡箇所の特定に膨大な時間が必要になり、それは実用的ではない。 The repair method of the fine wiring short-circuit location according to still another aspect of the present invention includes the following steps.
◎ How to identify the above-mentioned micro wiring short-circuit location ◎ Image processing step to more accurately identify the short-circuit location by image processing a partial range of the film for touch sensor including the short-circuit location identified in the specific step ◎ Image In this method, the image processing step includes a partial area of the film for the touch sensor including the short-circuited portion specified by the specific step. Since only image processing is required, accurate short-circuit location identification is completed in a short time. On the other hand, if the entire range of the touch sensor film is to be image-processed, enormous time is required to identify the short-circuited portion, which is not practical.

本発明によれば、タッチセンサ用フィルムの両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the short circuit location of the fine wiring formed in both surfaces of the film for touch sensors can be test | inspected comparatively cheaply.

本発明の一実施形態が採用された微細配線短絡箇所の修理装置の概要を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the outline | summary of the repair apparatus of the fine wiring short circuit location where one Embodiment of this invention was employ | adopted. タッチセンサ用フィルムの部分平面図。The partial top view of the film for touch sensors. タッチセンサ用フィルムにおいてタッチセンサ用配線が形成された部分の断面図。Sectional drawing of the part in which the wiring for touch sensors was formed in the film for touch sensors. タッチセンサ用フィルムにおいてタッチセンサ用配線が形成された部分の平面図。The top view of the part in which the wiring for touch sensors was formed in the film for touch sensors. 修理装置の制御構成を示すブロック構成図。The block block diagram which shows the control structure of a repair apparatus. レーザリペアユニットの概略構成図。The schematic block diagram of a laser repair unit. タッチセンサ用フィルムにプローブを接続した状態を示す平面図。The top view which shows the state which connected the probe to the film for touch sensors. 短絡箇所を特定するための制御を示すフローチャート。The flowchart which shows the control for pinpointing a short circuit location. 加熱と撮影のタイミングチャート。Timing chart of heating and shooting. 図７の円Ａの拡大図。The enlarged view of the circle A of FIG. 図７の円Ｂの拡大図。The enlarged view of the circle B of FIG. サーモグラフによって観察を行った場合のタッチセンサ用フィルムの平面図。The top view of the film for touch sensors at the time of observing with a thermograph. 表面における微細配線と裏面における微細配線の位置関係を示す模式図。The schematic diagram which shows the positional relationship of the fine wiring in the surface, and the fine wiring in a back surface. 表面の微細配線にだけ電流が供給された状態の温度分布を示す平面図。The top view which shows temperature distribution in the state where the electric current was supplied only to the fine wiring of the surface. 裏面の微細配線にだけ電流が供給された状態の温度分布を示す平面図。The top view which shows temperature distribution in the state where the electric current was supplied only to the fine wiring of the back surface. 短絡箇所を修理するための制御を示すフローチャート。The flowchart which shows the control for repairing a short circuit location.

（１）修理装置の概要説明
図１を用いて、本発明の一実施形態が採用された微細配線短絡箇所の修理装置１の概要を説明する。図１は、本発明の一実施形態が採用された微細配線短絡箇所の修理装置の概要を説明するための模式図である。 (1) Outline Description of Repair Device With reference to FIG. 1, an outline of a repair device 1 for a fine wiring short-circuited portion in which an embodiment of the present invention is adopted will be described. FIG. 1 is a schematic diagram for explaining the outline of a repair apparatus for a fine wiring short-circuited portion in which an embodiment of the present invention is adopted.

図に示すように修理装置１は、ロール巻きフィルム上でリペア工程を行う装置である。具体的には、修理装置１は、ロール間に長尺状のフィルムを送り出しながら、微細配線の短絡箇所を検出し、さらに短絡箇所を切断することで微細配線を修理するための装置である。 As shown in the figure, the repair device 1 is a device that performs a repair process on a roll-wrapped film. Specifically, the repair device 1 is a device for repairing the fine wiring by detecting a short-circuited portion of the fine wiring while feeding a long film between the rolls and further cutting the short-circuited portion.

修理装置１は、主に、サーモカメラ部３と、レーザリペア部５とを有している。サーモカメラ部３は、温度分布情報に基づいて微細配線の短絡箇所を特定するための装置である。レーザリペア部５は、サーモカメラ部３によって特定された短絡箇所を含む部分的な領域を画像処理することによって短絡箇所を正確に特定し、さらに短絡箇所を切断することで修理を行うための装置である。 The repair device 1 mainly includes a thermo camera unit 3 and a laser repair unit 5. The thermo camera unit 3 is a device for specifying a short-circuit portion of the fine wiring based on the temperature distribution information. The laser repair unit 5 is an apparatus for accurately identifying a short-circuited part by performing image processing on a partial area including the short-circuited part specified by the thermo camera unit 3 and further repairing by cutting the short-circuited part. It is.

修理装置１は、タッチセンサ用フィルム５１を移動するための移動装置を有する。移動装置は、巻出しロール７と、巻取りロール９と、駆動ロール１１と、２個のダンサーロール１３と、複数のフリーロールとを有している。タッチセンサ用フィルム５１は、巻出しロール７から巻き出され、フリーロール及びダンサーロール１３によって向きを変更されながら移動し、最後に巻取りロール９に巻き取られる。サーモカメラ部３とレーザリペア部５は、タッチセンサ用フィルム５１の移動経路に沿って配置されている。駆動ロール１１は、サーモカメラ部３とレーザリペア部５の境界に配置されている。 The repair device 1 includes a moving device for moving the touch sensor film 51. The moving device includes an unwinding roll 7, a winding roll 9, a driving roll 11, two dancer rolls 13, and a plurality of free rolls. The touch sensor film 51 is unwound from the unwinding roll 7, moves while the direction is changed by the free roll and the dancer roll 13, and is finally wound on the winding roll 9. The thermo camera unit 3 and the laser repair unit 5 are disposed along the movement path of the touch sensor film 51. The drive roll 11 is disposed at the boundary between the thermo camera unit 3 and the laser repair unit 5.

ダンサーロール１３は、サーモカメラ部３の上流位置とレーザリペア部５の上流位置とにそれぞれ設けられている。ダンサーロール１３は、固定されておらず、重力だけでタッチセンサ用フィルム５１を下に押しつけてテンションをかけるロールである。ダンサーロールによって、サーモカメラ部３とレーザリペア部５それぞれでのタッチセンサ用フィルム５１の送りを自由に行っても、タッチセンサ用フィルム５１にテンションを加え続けることができる。また、サーモカメラ部３とレーザリペア部５それぞれにおけるタッチセンサ用フィルム５１の送りを、他のユニットでの動きを考慮せず行える。 The dancer rolls 13 are respectively provided at the upstream position of the thermo camera unit 3 and the upstream position of the laser repair unit 5. The dancer roll 13 is not fixed and is a roll that applies tension by pressing the touch sensor film 51 downward only by gravity. Even if the touch sensor film 51 is freely fed by the thermo camera unit 3 and the laser repair unit 5 by the dancer roll, tension can be continuously applied to the touch sensor film 51. Further, the touch sensor film 51 can be fed in each of the thermo camera unit 3 and the laser repair unit 5 without considering the movement in other units.

（２）タッチセンサ用フィルムの説明
図２を用いて、タッチセンサ用フィルム５１上のワーク個片の配置を説明する。図２は、タッチセンサ用フィルムの部分平面図である。図に示すように、タッチセンサ用フィルム５１には複数のタッチセンサ用配線５３が形成されている。タッチセンサ用配線５３とは、１台のタッチセンサとなる配線の集合体である。タッチセンサ用配線５３は、フォトリソグラフィによってタッチセンサ用フィルム５１上に形成されている。
この実施形態では、タッチセンサ用配線５３は、タッチセンサ用フィルム５１の幅方向に３個が配置されており、タッチセンサ用フィルム５１の長手方向に多数個が配置されている。タッチセンサ用配線５３は、タッチセンサ用フィルム５１の両側の面に形成されている。タッチセンサ用フィルム５１の表面の幅方向両側には、タッチセンサ用フィルム５１の長手方向に並んだ３個のタッチセンサ用配線５３ごとに、ページの位置基準としてのアライメントマーク５７が形成されている。このアライメントマーク５７によって、３列３行合計９個のタッチセンサ用配線５３の領域を１ページ５５として管理可能になっている。なお、この実施形態では、１ページ５５の領域は、５００ｍｍ×５００ｍｍになっている。 (2) Description of Touch Sensor Film The arrangement of work pieces on the touch sensor film 51 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a partial plan view of the touch sensor film. As shown in the figure, the touch sensor film 51 is formed with a plurality of touch sensor wires 53. The touch sensor wiring 53 is an assembly of wirings to be a single touch sensor. The touch sensor wiring 53 is formed on the touch sensor film 51 by photolithography.
In this embodiment, three touch sensor wires 53 are arranged in the width direction of the touch sensor film 51, and a plurality of wires are arranged in the longitudinal direction of the touch sensor film 51. The touch sensor wiring 53 is formed on both sides of the touch sensor film 51. On both sides of the surface of the touch sensor film 51 in the width direction, an alignment mark 57 as a page position reference is formed for each of the three touch sensor wires 53 arranged in the longitudinal direction of the touch sensor film 51. . With this alignment mark 57, a total of nine touch sensor wirings 53 in three columns and three rows can be managed as one page 55. In this embodiment, the area of one page 55 is 500 mm × 500 mm.

図３及び図４を用いて、各タッチセンサ用配線５３の構成を説明する。図３は、タッチセンサ用フィルムにおいてタッチセンサ用配線が形成された部分の断面図である。図４は、タッチセンサ用フィルムにおいてタッチセンサ用配線が形成された部分の平面図である。図に示すように、タッチセンサ用フィルム５１の表面には第１電極配線７３と第１引き回し配線７５とが形成されている。第１電極配線７３は、図４の中央部分において図４の左右方向に延びる複数の電極である。第１引き回し配線７５は、図の周辺部分において第１電極配線７３の両端から伸びており、複数の端子８１まで延びている配線である。タッチセンサ用フィルム５１の裏面には、第２電極配線７７と第２引き回し配線７９とが形成されている。第２電極配線７７は、図４の中央部分において図４の上下方向に延びる複数の電極である。第２引き回し配線７９は、図４の周辺部分において第２電極配線７７の両端から伸びており、複数の端子（図示せず）まで延びている配線である。以上に述べたように、平面視では、第１電極配線７３と第２電極配線７７が互いに重なった位置に配置され、第１引き回し配線７５と第２引き回し配線７９が互いに重なった位置に配置されている。
なお、第１引き回し配線７５及び第２引き回し配線７９は、例えば、線の幅が１０μｍであり、線間が１０μｍである。したがって、第１引き回し配線７５及び第２引き回し配線７９においては、第１電極配線７３及び第２電極配線７７に比べて、短絡がより生じやすくなっている。 The configuration of each touch sensor wiring 53 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a cross-sectional view of a portion where touch sensor wiring is formed in the touch sensor film. FIG. 4 is a plan view of a portion where the touch sensor wiring is formed in the touch sensor film. As shown in the figure, a first electrode wiring 73 and a first routing wiring 75 are formed on the surface of the touch sensor film 51. The first electrode wiring 73 is a plurality of electrodes extending in the left-right direction in FIG. 4 in the central portion of FIG. The first routing wiring 75 is a wiring that extends from both ends of the first electrode wiring 73 in the peripheral portion of the drawing and extends to the plurality of terminals 81. On the back surface of the touch sensor film 51, a second electrode wiring 77 and a second routing wiring 79 are formed. The second electrode wiring 77 is a plurality of electrodes extending in the vertical direction of FIG. 4 in the central portion of FIG. The second routing wiring 79 extends from both ends of the second electrode wiring 77 in the peripheral portion of FIG. 4 and extends to a plurality of terminals (not shown). As described above, in plan view, the first electrode wiring 73 and the second electrode wiring 77 are disposed at positions where they overlap each other, and the first routing wiring 75 and the second routing wiring 79 are disposed at positions where they overlap each other. ing.
The first routing wiring 75 and the second routing wiring 79 have, for example, a line width of 10 μm and a line spacing of 10 μm. Therefore, in the first routing wiring 75 and the second routing wiring 79, a short circuit is more likely to occur compared to the first electrode wiring 73 and the second electrode wiring 77.

（３）修理装置の詳細説明
図１及び図５を用いて、修理装置１の詳細を説明する。図５は、修理装置の制御構成を示すブロック構成図である。 (3) Detailed Description of Repair Device Details of the repair device 1 will be described with reference to FIGS. 1 and 5. FIG. 5 is a block diagram illustrating a control configuration of the repair device.

（３−１）サーモカメラ部
サーモカメラ部３は、２台のアライメントカメラ１５と、プローブ１７（電流供給部の一例）と、１台のサーモカメラ１９（カメラの一例）と有している。２台のアライメントカメラ１５は、タッチセンサ用フィルム５１の表面側の幅方向両側に配置されており、アライメントマーク５７を検出するための装置である。なお、２台のアライメントカメラ１５は、基準側カメラと従属側カメラとから構成されている。プローブ１７は、２台のアライメントカメラ１５より下流側に配置され、タッチセンサ用配線５３の両側の配線に電流を供給するための装置である。 (3-1) Thermo Camera Unit The thermo camera unit 3 includes two alignment cameras 15, a probe 17 (an example of a current supply unit), and one thermo camera 19 (an example of a camera). The two alignment cameras 15 are arranged on both sides in the width direction on the surface side of the touch sensor film 51, and are devices for detecting the alignment mark 57. The two alignment cameras 15 are composed of a reference camera and a slave camera. The probe 17 is a device that is arranged on the downstream side of the two alignment cameras 15 and supplies current to the wirings on both sides of the touch sensor wiring 53.

プローブ１７は、タッチセンサ用配線５３の両側の配線に電流を供給するための装置である。プローブ１７は、タッチセンサ用フィルム５１の両側にそれぞれ配置された２台のプローブからなる。図７を用いてプローブ１７を説明する。図７は、タッチセンサ用フィルムにプローブを接続した状態を示す平面図である。表側のプローブ１７は、電源８３と、複数の抵抗器８５と、複数のプローブ端子８７とを有している。電源８３は、タッチセンサ用配線５３に電流を流すための装置である。複数の抵抗器８５は、安全な電流値を保つための部材である。表側のプローブ１７の複数のプローブ端子８７は、第１電極配線７３の片側から延びる第１引き回し配線７５に接続された端子８１にそれぞれ接続可能である。なお、短絡箇所の位置によって電流値が大きく変動しないように、電圧を高くしておき、抵抗値も配線抵抗より十分大きくしておくことが望ましい。
裏側のプローブ１７は表側のプローブ１７と構造及び動作が同じであるので、説明を省略する。なお、裏側のプローブ１７を裏面側の端子（図示せず）に当てて、裏面の配線にも同様に加熱電流を流すと、裏面から熱が表に伝わり、裏側にカメラを配置しなくても表面側からサーモカメラ１９によって観察できる。 The probe 17 is a device for supplying a current to the wirings on both sides of the touch sensor wiring 53. The probe 17 includes two probes arranged on both sides of the touch sensor film 51. The probe 17 will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a plan view showing a state in which a probe is connected to the touch sensor film. The front side probe 17 has a power source 83, a plurality of resistors 85, and a plurality of probe terminals 87. The power supply 83 is a device for causing a current to flow through the touch sensor wiring 53. The plurality of resistors 85 are members for maintaining a safe current value. A plurality of probe terminals 87 of the probe 17 on the front side can be connected to a terminal 81 connected to a first routing wiring 75 extending from one side of the first electrode wiring 73, respectively. Note that it is desirable that the voltage be high and the resistance value be sufficiently larger than the wiring resistance so that the current value does not fluctuate greatly depending on the position of the short circuit location.
The back-side probe 17 has the same structure and operation as the front-side probe 17 and will not be described. In addition, if the probe 17 on the back side is applied to a terminal (not shown) on the back side and a heating current is applied to the wiring on the back side as well, heat is transferred from the back side to the front, and no camera is arranged on the back side. It can be observed from the surface side by the thermo camera 19.

１台のサーモカメラ１９は、２台のアライメントカメラ１５より下流側に配置されており、タッチセンサ用フィルム５１の表面に対向して配置されている。サーモカメラ１９は、赤外光サーモグラフィ（熱画像）を得るための装置であり、具体的には、タッチセンサ用配線５３の両側の配線の温度分布を撮像するための装置である。この実施形態では、サーモカメラ１９は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５を一度に撮影可能である。ただし、サーモカメラ１９は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５の領域を分割して撮影してもよい。 One thermo camera 19 is arranged on the downstream side of the two alignment cameras 15, and is arranged to face the surface of the touch sensor film 51. The thermo camera 19 is a device for obtaining an infrared thermography (thermal image), and specifically, a device for imaging the temperature distribution of wirings on both sides of the touch sensor wiring 53. In this embodiment, the thermo camera 19 can photograph one page 55 of the touch sensor film 51 at a time. However, the thermo camera 19 may divide and shoot the area of one page 55 of the touch sensor film 51.

また、サーモカメラ部３は、サーモカメラ制御部３９（特定部の一例）を有している。サーモカメラ制御部３９は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭを有するコンピュータとしての制御機能を有している。サーモカメラ制御部３９は、内部に記憶部４０を有している。
以上の構成によって、サーモカメラ制御部３９は、アライメントカメラ１５の画像を取り込みさらに画像処理することができ、プローブ１７に駆動指令及び通電指令を送信することができ、さらにサーモカメラ１９の画像を取り込んで画像処理することができる。より具体的には、サーモカメラ制御部３９は、サーモカメラ１９からの温度分布情報に基づいて、微細配線の短絡箇所を特定できる。なお、サーモカメラ１９が熱感知可能な電流の最小値は、タッチセンサ用配線５３の電流の最大許容値より十分に小さいことが必要である。
サーモカメラ制御部３９の他の機能については後述する。 In addition, the thermo camera unit 3 includes a thermo camera control unit 39 (an example of a specifying unit). The thermo camera control unit 39 has a control function as a computer having a CPU, a RAM, and a ROM. The thermo camera control unit 39 has a storage unit 40 inside.
With the above configuration, the thermo camera control unit 39 can capture an image of the alignment camera 15 and further process the image, can transmit a drive command and an energization command to the probe 17, and further capture an image of the thermo camera 19. Image processing. More specifically, the thermo camera control unit 39 can identify the short-circuited portion of the fine wiring based on the temperature distribution information from the thermo camera 19. Note that the minimum value of the current that can be sensed by the thermocamera 19 needs to be sufficiently smaller than the maximum allowable value of the current of the touch sensor wiring 53.
Other functions of the thermo camera control unit 39 will be described later.

（３−２）レーザリペア部
レーザリペア部５は、サーモカメラ部３の下流側に配置されている。レーザリペア部５は、２台のアライメントカメラ２１と、２台のレーザリペアユニット２３、２５とを有している。２台のアライメントカメラ２１は、タッチセンサ用フィルム５１の表面側の幅方向両側に配置されており、アライメントマーク５７を検出するための装置である。２台のレーザリペアユニット２３、２５は、２台のアライメントカメラ２１の下流側に配置され、タッチセンサ用フィルム５１に対して異なる主面の側に配置されている。 (3-2) Laser Repair Unit The laser repair unit 5 is disposed on the downstream side of the thermo camera unit 3. The laser repair unit 5 includes two alignment cameras 21 and two laser repair units 23 and 25. The two alignment cameras 21 are arranged on both sides in the width direction on the surface side of the touch sensor film 51, and are devices for detecting the alignment mark 57. The two laser repair units 23, 25 are arranged on the downstream side of the two alignment cameras 21, and are arranged on different main surfaces with respect to the touch sensor film 51.

図６を用いて、レーザリペアユニット２３、２５について詳細に説明する。図６は、レーザリペアユニットの概略構成図である。
レーザリペアユニット２３、２５は、短絡箇所の周辺を撮影するとともに、短絡箇所を切断するための装置である。レーザリペアユニット２３、２５は、Ｙ軸スライドガイド６１と、Ｘ軸スライドガイド６３と、スライダユニット６５と、レーザノズル６７（修復部の一例）と、位置探査カメラ６９と、スライダ駆動部９５（図５）とを有している。Ｙ軸スライドガイド６１は上下方向に延びる２本のガイドであり、Ｘ軸スライドガイド６３はＹ軸スライドガイド６１に対して上下方向に移動可能になっている。Ｘ軸スライドガイド６３は左右方向に延びており、スライダユニット６５はＸ軸スライドガイド６３に対して左右方向に移動可能になっている。レーザノズル６７と、位置探査カメラ６９は、スライダユニット６５に搭載され、タッチセンサ用フィルム５１側を向いている。スライダ駆動部９５は、Ｘ軸スライドガイド６３及びスライダユニット６５を駆動する。これにより、レーザノズル６７と位置探査カメラ６９は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５の中のさらに部分的な箇所の正面側に移動して、その位置でそれぞれ画像撮影とレーザ切断を実行できる。 The laser repair units 23 and 25 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 6 is a schematic configuration diagram of the laser repair unit.
The laser repair units 23 and 25 are devices for photographing the periphery of the short circuit location and cutting the short circuit location. The laser repair units 23 and 25 include a Y-axis slide guide 61, an X-axis slide guide 63, a slider unit 65, a laser nozzle 67 (an example of a repair unit), a position search camera 69, and a slider drive unit 95 (see FIG. 5). The Y-axis slide guide 61 is two guides extending in the vertical direction, and the X-axis slide guide 63 is movable in the vertical direction with respect to the Y-axis slide guide 61. The X-axis slide guide 63 extends in the left-right direction, and the slider unit 65 is movable in the left-right direction with respect to the X-axis slide guide 63. The laser nozzle 67 and the position search camera 69 are mounted on the slider unit 65 and face the touch sensor film 51 side. The slider drive unit 95 drives the X-axis slide guide 63 and the slider unit 65. As a result, the laser nozzle 67 and the position search camera 69 can move to the front side of a further partial location in one page 55 of the touch sensor film 51, and can perform image capturing and laser cutting at the positions, respectively. .

また、レーザリペア部５は、図５に示すように、レーザリペア制御部４１（画像処理装置の一例）を有している。レーザリペア制御部４１は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭを有するコンピュータとしての制御機能を有している。サーモカメラ制御部３９は、内部に記憶部４０を有している。
以上の構成により、レーザリペア制御部４１は、アライメントカメラ２１の画像を取り込んで画像処理することができ、スライダ駆動部９５に駆動指令を送信することができ、位置探査カメラ６９からの画像を取り込んで画像処理することができ、さらにレーザノズル６７にレーザ駆動指令を送信できる。レーザリペア制御部４１の他の機能については後述する。 Further, as shown in FIG. 5, the laser repair unit 5 includes a laser repair control unit 41 (an example of an image processing apparatus). The laser repair control unit 41 has a control function as a computer having a CPU, a RAM, and a ROM. The thermo camera control unit 39 has a storage unit 40 inside.
With the above configuration, the laser repair control unit 41 can capture and process the image of the alignment camera 21, transmit a drive command to the slider drive unit 95, and capture the image from the position search camera 69. Thus, image processing can be performed, and a laser drive command can be transmitted to the laser nozzle 67. Other functions of the laser repair control unit 41 will be described later.

（３−３）その他の構成
修理装置１は、図５に示すように、ロール制御部３５と、ロール駆動部３７とを有している。ロール制御部３５は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭを有するコンピュータとしての制御機能を有している。ロール駆動部３７は、モータ及び動力伝達装置からなり、駆動ロール１１を駆動可能である。 (3-3) Other Configurations The repair device 1 includes a roll control unit 35 and a roll drive unit 37 as shown in FIG. The roll control unit 35 has a control function as a computer having a CPU, a RAM, and a ROM. The roll drive unit 37 includes a motor and a power transmission device, and can drive the drive roll 11.

修理装置１は、さらに、図５に示すように、制御部３１を有している。制御部３１は、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、及びレーザリペア制御部４１の上位のコントローラである。制御部３１は、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭを有するコンピュータとしての制御機能を有している。制御部３１は、内部に記憶部３３を有している。制御部３１は、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、及びレーザリペア制御部４１と交信可能である。また、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、及びレーザリペア制御部４１は互いに交信可能でもよい。
また、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、レーザリペア制御部４１及び制御部３１は、１つのＣＰＵ及びそこで実行されるプログラムであってもよい。 The repair device 1 further includes a control unit 31 as shown in FIG. The control unit 31 is a higher-order controller of the roll control unit 35, the thermo camera control unit 39, and the laser repair control unit 41. The control unit 31 has a control function as a computer having a CPU, a RAM, and a ROM. The control unit 31 has a storage unit 33 inside. The control unit 31 can communicate with the roll control unit 35, the thermo camera control unit 39, and the laser repair control unit 41. Further, the roll control unit 35, the thermo camera control unit 39, and the laser repair control unit 41 may be able to communicate with each other.
Further, the roll control unit 35, the thermo camera control unit 39, the laser repair control unit 41, and the control unit 31 may be one CPU and a program executed there.

（４）動作手順
以下、微細配線短絡箇所の修理装置１の動作手順を説明する。
（４−１）準備作業
最初に、使用者は、手作業でタッチセンサ用フィルム５１を巻出しロール７から巻取りロール９に引き回す。なお、最初に引き出されるフィルムは、通常はリードフィルムと呼ばれ、製品加工されていない部分が使用される。
次に、使用者は、手動操作によって、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ目のアライメントマーク５７がアライメントカメラ１５より少し上流側に位置するところまで送り出す。
次に、使用者は、自動起動スイッチを押す。これにより、以後は、制御部３１、ロール制御部３５、サーモカメラ制御部３９、及びレーザリペア制御部４１による修理装置１の自動制御が行われる。 (4) Operation procedure Hereinafter, the operation procedure of the repair device 1 for the fine wiring short-circuited portion will be described.
(4-1) Preparatory Work First, the user manually draws the touch sensor film 51 from the unwinding roll 7 to the winding roll 9. In addition, the film drawn out first is usually called a lead film, and a part that has not been processed is used.
Next, the user sends out by manual operation until the alignment mark 57 on the first page of the touch sensor film 51 is located slightly upstream from the alignment camera 15.
Next, the user presses the automatic start switch. Thereby, automatic control of the repair apparatus 1 is performed by the control unit 31, the roll control unit 35, the thermo camera control unit 39, and the laser repair control unit 41 thereafter.

（４−２）サーモカメラ動作
ロール制御部３５が、ロール駆動部３７を介して駆動ロール１１を回転させる。そして、基準側のアライメントカメラ１５がタッチセンサ用フィルム５１のアライメントマーク５７を視野中心に捉えた位置で、ロール制御部３５がロール駆動部３７を介して駆動ロール１１を停止する。その結果、上記の位置で、タッチセンサ用フィルム５１が停止させられる。また、従属側のアライメントカメラ１５が、タッチセンサ用フィルム５１が停止した位置でのアライメントマーク５７の位置を読み取る。そして、基準のアライメントマーク５７の位置と従属のアライメントマーク５７の位置とに基づいて、制御部において、タッチセンサ用フィルム５１のθ方向のずれが補正される。 (4-2) Thermo Camera Operation The roll control unit 35 rotates the drive roll 11 via the roll drive unit 37. Then, the roll control unit 35 stops the driving roll 11 via the roll driving unit 37 at a position where the alignment camera 15 on the reference side catches the alignment mark 57 of the touch sensor film 51 in the center of the visual field. As a result, the touch sensor film 51 is stopped at the above position. Further, the subordinate alignment camera 15 reads the position of the alignment mark 57 at the position where the touch sensor film 51 is stopped. Then, based on the position of the reference alignment mark 57 and the position of the subordinate alignment mark 57, the control unit corrects the shift in the θ direction of the touch sensor film 51.

以下、図８を用いて、サーモカメラ制御部３９による制御動作を説明する。図８は、短絡箇所を特定するための制御を示すフローチャートである。なお、このフローチャートにおける各ステップは同時に又は一部重なって実行されてもよい。
サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１が所定位置に停止するのを待つ（図８のステップＳ１）。
タッチセンサ用フィルム５１が所定位置に停止すれば、サーモカメラ制御部３９が、両側のプローブ１７をタッチセンサ用フィルム５１側に接近させ、プローブ１７をタッチセンサ用配線５３の両側の端子（例えば、表側の端子８１）に接触させて電流供給を行い（図８のステップＳ２）、次にサーモカメラ１９によってタッチセンサ用フィルム５１の表面と裏面の撮影を行う（図８のステップＳ３）。
また、このとき、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５内において検査されるタッチセンサ用配線５３の数は、単数であっても複数であってもよい。 Hereinafter, the control operation by the thermo camera control unit 39 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a flowchart showing the control for identifying the short-circuit location. Each step in this flowchart may be executed simultaneously or partially overlapping.
The thermo camera control unit 39 waits for the touch sensor film 51 to stop at a predetermined position (step S1 in FIG. 8).
When the touch sensor film 51 stops at a predetermined position, the thermo camera control unit 39 brings the probes 17 on both sides closer to the touch sensor film 51 side, and the probes 17 are connected to terminals on both sides of the touch sensor wiring 53 (for example, Current is supplied by making contact with the front-side terminal 81) (step S2 in FIG. 8), and then the front and back surfaces of the touch sensor film 51 are photographed by the thermo camera 19 (step S3 in FIG. 8).
At this time, the number of touch sensor wirings 53 to be inspected in one page 55 of the touch sensor film 51 may be singular or plural.

以下、図９を用いて、ステップＳ２の電流供給動作とステップＳ３の撮影動作を詳細に説明する。この制御動作は、以下の２種類の制御を含んでいる。
・表側の配線と裏側の配線と電流供給のパターンを異ならせることで表側の熱画像と裏側の熱画像とを判別可能とする制御。
・微細配線に短絡箇所がある場合のショート電流による微細配線の発熱と、短絡箇所周辺の温度ノイズとを区別するための温度補償制御。この制御が必要な理由は、実際のサーモグラフ画像では、温度の高いもの、例えばカメラ自体がワークに写り込んだりしてノイズとなるからである。
なお、図９は、加熱と撮影のタイミングチャートである。
最初に、サーモカメラ制御部３９が、サーモカメラ１９によって加熱前のリファレンス撮影を行い、その撮影画像を取り込む。この画像を、画像Ｎｏ．０とする。 Hereinafter, the current supply operation in step S2 and the photographing operation in step S3 will be described in detail with reference to FIG. This control operation includes the following two types of control.
Control that makes it possible to distinguish between the front side thermal image and the back side thermal image by making the front side wiring and the back side wiring different in current supply pattern.
・ Temperature compensation control to distinguish heat generation due to short-circuit current when there is a short circuit in the fine wiring and temperature noise around the short circuit. The reason why this control is necessary is that an actual thermograph image has a high temperature, for example, the camera itself is reflected in the work and becomes noise.
FIG. 9 is a timing chart of heating and photographing.
First, the thermo camera control unit 39 performs reference shooting before heating with the thermo camera 19 and captures the shot image. This image is designated as image No. 0.

撮影直後に、サーモカメラ制御部３９は、通電指令を送信することで表面側のプローブ１７によって第１電極配線７３と第１引き回し配線７５に加熱電流を送るとともに、同期させてサーモカメラ１９による表面撮影を行い、その画像を取り込む。この画像を画像Ｎｏ．１とする。 Immediately after photographing, the thermo camera control unit 39 sends a heating current to the first electrode wiring 73 and the first routing wiring 75 by the surface side probe 17 by transmitting an energization command, and synchronizes the surface by the thermo camera 19. Take a picture and capture the image. This image is image No. Set to 1.

表面の加熱された部分の温度が降下するまで待機し、次は、サーモカメラ制御部３９は、通電指令を送信することで裏面側のプローブ１７によって第２電極配線７７と第２引き回し配線７９に加熱電流を送るとともに、同期させてサーモカメラ１９による裏面撮影を行い、その画像を取り込む。この画像を画像Ｎｏ．２とする。
なお、上記の待機時間は、熱的な環境の変わらない短時間である必要があり、例えば０．１秒〜１秒程度である。 The system waits until the temperature of the heated portion of the front surface decreases. Next, the thermo camera control unit 39 transmits an energization command to the second electrode wiring 77 and the second routing wiring 79 by the probe 17 on the back surface side. While sending a heating current, the back surface photography by the thermo camera 19 is performed in synchronization, and the image is captured. This image is image No. 2.
Note that the waiting time needs to be a short time in which the thermal environment does not change, and is, for example, about 0.1 second to 1 second.

サーモカメラ制御部３９は、画像Ｎｏ．１、画像Ｎｏ２それぞれから画像Ｎｏ．０を減算する画像処理を行う。このことにより、画像Ｎｏ．１と画像Ｎｏ．２から、加熱パルス電流以外の影響で発生した環境の熱ノイズが除去される。
サーモカメラ制御部３９は、ノイズ除去された画像Ｎｏ．１、画像Ｎｏ．２から、表面、裏面それぞれの短絡箇所の位置を読み取る（図８のステップＳ４）。 The thermo camera control unit 39 reads the image no. 1 and image No. 2 respectively. Image processing for subtracting 0 is performed. As a result, image No. 1 and image no. 2, the thermal noise of the environment generated by the influence other than the heating pulse current is removed.
The thermo camera control unit 39 has the image No. 1 with noise removed. 1, image no. 2, the positions of the short-circuited portions on the front surface and the back surface are read (step S4 in FIG. 8).

サーモカメラ制御部３９は、短絡箇所の位置情報を記憶部４０に記憶する（図８のステップ５）。また、サーモカメラ制御部３９は、短絡箇所の位置情報を制御部３１に送信して、制御部３１が短絡箇所の位置情報を記憶部３３に記憶してもよい。また、短絡箇所の位置情報は、レーザリペア制御部４１の記憶部４２に記憶されてもよい。
サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５内における全ての配線を探索したか否かを判断し（図８のステップＳ６）、「Ｙｅｓ」であれば処理を終了し、「Ｎｏ」であればステップＳ２に戻る。 The thermo camera control part 39 memorize | stores the positional information on a short circuit location in the memory | storage part 40 (step 5 of FIG. 8). Further, the thermo camera control unit 39 may transmit the position information of the short-circuited location to the control unit 31, and the control unit 31 may store the position information of the short-circuited location in the storage unit 33. Further, the position information of the short-circuit location may be stored in the storage unit 42 of the laser repair control unit 41.
The thermo camera control unit 39 determines whether or not all wirings within one page 55 of the touch sensor film 51 have been searched (step S6 in FIG. 8). If “Yes”, the process is terminated. If “No”, the process returns to step S2.

この装置では、上記のように、プローブ１７がタッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給する（具体的には、加熱電流をパルス電流とし、電流を流す信号に同期させてサーモカメラ１９による撮影を行い、かつ、表面の撮影時刻と裏面の撮影時刻に時間差を設ける）ので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、サーモカメラ制御部３９は、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のサーモカメラ１９によって得られる温度分布情報に基づいて、サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１の両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。また、サーモカメラ１９の台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。 In this apparatus, as described above, the probe 17 supplies different energization patterns on the front and back to the fine wiring formed on both surfaces of the touch sensor film 51 (specifically, the heating current is a pulse current, The time taken by the thermo camera 19 is synchronized with the signal flowing through the camera, and there is a time difference between the time of photographing on the front surface and the time of photographing on the back surface. Therefore, the heat generation point of the front side wiring and the heat generation point of the back side wiring overlap. Even so, the thermo-camera control unit 39 can discriminate between the short-circuited portion on the front side and the short-circuited portion on the back side. As a result, based on the temperature distribution information obtained by one thermocamera 19, the thermocamera control unit 39 can identify the short-circuited portions of the fine wirings on both surfaces of the touch sensor film 51 in a short time. Moreover, since the number of thermocameras 19 is one, the short circuit location of the fine wiring formed in both surfaces of the film 51 for touch sensors can be test | inspected comparatively cheaply.

この装置では、上記のように温度補償制御を行うことよって、微細配線に短絡箇所がある場合のショート電流による微細配線の発熱と、短絡箇所周辺の温度ノイズとを区別できる。したがって、サーモカメラ制御部３９は、短時間で正確に短絡箇所を特定できる。なお、温度補償制御は必ずしも行わなくてもよい。 In this apparatus, by performing the temperature compensation control as described above, it is possible to distinguish between heat generation of the fine wiring due to a short current when the fine wiring has a short-circuited portion and temperature noise around the short-circuited portion. Therefore, the thermo camera control part 39 can pinpoint a short circuit location correctly in a short time. Note that temperature compensation control is not necessarily performed.

以下、図７、図１０〜図１２を用いて、図８のステップＳ４におけるサーモグラフィによる短絡箇所の探索を具体的に説明する。図１０は、図７の円Ａの拡大図である。図１１は、図７の円Ｂの拡大図である。図１２は、サーモグラフによって観察を行った場合のタッチセンサ用フィルムの平面図である。
図７において、回路に短絡箇所がなければ、プローブ１７を当てられた各回路は独立しているので電流は流れない。しかし、短絡箇所があればそこを通じて電流が流れる。 Hereinafter, the search for the short-circuited portion by the thermography in step S4 of FIG. 8 will be specifically described with reference to FIGS. 7 and 10 to 12. FIG. 10 is an enlarged view of a circle A in FIG. FIG. 11 is an enlarged view of a circle B in FIG. FIG. 12 is a plan view of the film for a touch sensor when observed with a thermograph.
In FIG. 7, if there is no short-circuited portion in the circuit, each circuit to which the probe 17 is applied is independent and no current flows. However, if there is a short-circuit location, current flows through it.

例えば、図７の円Ａ及び円Ｂに短絡箇所が発生していたとする。図１０に示すように，円Ａの箇所では、第１引き回し配線７５間に短絡箇所１０１が形成されている。また、図１１に示すように、円Ｂの箇所では、第１電極配線７３間に短絡箇所１０３が形成されている。
サーモカメラ制御部３９が読み取った画像は、図１２のようになる。したがって、高い温度部分の終点部分に短絡箇所があることが分かる。 For example, it is assumed that a short-circuit portion has occurred in circle A and circle B in FIG. As shown in FIG. 10, a short-circuit portion 101 is formed between the first routing wirings 75 at the location of the circle A. In addition, as shown in FIG. 11, a short-circuited portion 103 is formed between the first electrode wirings 73 at a portion of a circle B.
The image read by the thermo camera control unit 39 is as shown in FIG. Therefore, it can be seen that there is a short-circuit portion at the end point portion of the high temperature portion.

図１３〜図１５を用いて、図９のタイミングチャートで示したように表側と裏側とで通電パターンを変更した場合のメリットを説明する。図１３は、表面における微細配線と裏面における微細配線の位置関係を示す模式図である。図１４は、表面の微細配線にだけ電流が供給された状態の温度分布を示す平面図である。図１５は、裏面の微細配線にだけ電流が供給された状態の温度分布を示す平面図である。 The merit when the energization pattern is changed between the front side and the back side as shown in the timing chart of FIG. 9 will be described with reference to FIGS. FIG. 13 is a schematic diagram showing the positional relationship between the fine wiring on the front surface and the fine wiring on the back surface. FIG. 14 is a plan view showing a temperature distribution in a state where current is supplied only to the fine wiring on the surface. FIG. 15 is a plan view showing a temperature distribution in a state where a current is supplied only to the fine wiring on the back surface.

図１３に示すように、表側の微細配線１０５と裏側の微細配線１０７とが平面視で重なった位置に配置されている場合は、両側の配線に短絡箇所があれば、表側の発熱部分と裏側の発熱部分が重なってしまう。そして、その場合は、いずれの側の配線が短絡しているのかを判別することが困難である。しかし、例えば上述のように、表面加熱・撮影時刻と裏面加熱・撮影時刻とをずらせば、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、サーモカメラ制御部３９は、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のサーモカメラ１９によって得られる温度分布情報に基づいて、サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１の両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。例えば、図１４では、表面の微細配線にだけ電流が供給された状態であり、したがって表側の微細配線１０５における短絡箇所１０９に関連する配線が発熱している。また、図１５では、裏面の微細配線にだけ電流が供給された状態であり、裏側の微細配線１０７の短絡箇所１１１に関連する配線が発熱している。
以上の結果、表側の熱画像と裏側の熱画像が平面視で重なる位置にあったとしても、サーモカメラ制御部３９は、表側の熱画像と裏側の熱画像とを区別でき、その結果、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所を正確に判断できる。 As shown in FIG. 13, when the fine wiring 105 on the front side and the fine wiring 107 on the back side are arranged at a position where they overlap in a plan view, if there are short-circuited portions on the wirings on both sides, The heat generation part of will overlap. In that case, it is difficult to determine which side of the wiring is short-circuited. However, for example, as described above, if the front surface heating / photographing time and the back surface heating / photographing time are shifted, even if the heat generation location of the front-side wiring and the heat generation location of the back-side wiring overlap, the thermo camera control unit 39 Can distinguish between a short-circuited portion on the front side and a short-circuited portion on the back side. As a result, based on the temperature distribution information obtained by one thermocamera 19, the thermocamera control unit 39 can identify the short-circuited portions of the fine wirings on both surfaces of the touch sensor film 51 in a short time. For example, in FIG. 14, the current is supplied only to the fine wiring on the surface, and thus the wiring related to the short-circuited portion 109 in the fine wiring 105 on the front side is generating heat. Further, in FIG. 15, a current is supplied only to the fine wiring on the back surface, and the wiring related to the short-circuited portion 111 of the fine wiring 107 on the back side generates heat.
As a result, even if the thermal image on the front side and the thermal image on the back side overlap each other in plan view, the thermo camera control unit 39 can distinguish between the thermal image on the front side and the thermal image on the back side. It is possible to accurately determine the short-circuited portion and the short-circuited portion on the back side.

（４−３）レーザリペア部
タッチセンサ用フィルム５１がレーザリペア部５に送り込まれてきたら、アライメントカメラ２１を用いてサーモカメラ部３で行ったのと同じ手順でフィルムの位置を固定し、θ方向のずれ量が読み取られる。 (4-3) Laser Repair Unit When the touch sensor film 51 has been sent to the laser repair unit 5, the alignment camera 21 is used to fix the position of the film in the same procedure as the thermo camera unit 3, and θ The amount of direction deviation is read.

図１６を用いて、レーザリペア制御部４１によるレーザリペアユニット２３とレーザリペアユニット２５の制御動作を説明する。図１６は、短絡箇所を修理するための制御を示すフローチャートである。なお、このフローチャートにおける各ステップは同時に又は一部重なって実行されてもよい。
レーザリペア制御部４１は、タッチセンサ用フィルム５１が所定位置に停止するのを待つ（図１６のステップＳ１１）。
レーザリペア制御部４１は、例えばサーモカメラ制御部３９の記憶部４０から、短絡箇所の位置データを読み出す（図１６のステップＳ１２）。 The control operation of the laser repair unit 23 and the laser repair unit 25 by the laser repair control unit 41 will be described with reference to FIG. FIG. 16 is a flowchart showing the control for repairing the short-circuited portion. Each step in this flowchart may be executed simultaneously or partially overlapping.
The laser repair control unit 41 waits for the touch sensor film 51 to stop at a predetermined position (step S11 in FIG. 16).
The laser repair control unit 41 reads the position data of the short-circuited location from, for example, the storage unit 40 of the thermo camera control unit 39 (Step S12 in FIG. 16).

レーザリペア制御部４１は、サーモカメラ部３によって得られた短絡箇所の位置データと、レーザリペア部５でのθ方向のずれ量を基に、スライダ駆動部９５を介してＹ軸スライドガイド６１とＸ軸スライドガイド６３によって、スライダユニット６５とともにレーザノズル６７及び位置探査カメラ６９を短絡箇所位置の正面付近に移動させる（図１６のステップＳ１３）。
なお、短絡箇所の位置データは、サーモカメラ制御部３９の記憶部４０から読み出されてもよいし、制御部３１の記憶部３３から読み出されてもよいし、レーザリペア制御部４１の記憶部４２から読み出されてもよい。 The laser repair control unit 41 is connected to the Y-axis slide guide 61 via the slider drive unit 95 based on the position data of the short circuit location obtained by the thermo camera unit 3 and the shift amount in the θ direction at the laser repair unit 5. The X-axis slide guide 63 moves the laser nozzle 67 and the position search camera 69 together with the slider unit 65 to the vicinity of the front face of the short-circuit location (step S13 in FIG. 16).
The position data of the short-circuited location may be read from the storage unit 40 of the thermo camera control unit 39, may be read from the storage unit 33 of the control unit 31, or stored in the laser repair control unit 41. It may be read from the unit 42.

また、サーモカメラ１９からの短絡箇所の位置データにはＸＹ方向それぞれに１〜２ｍｍ程度の誤差がある。そこで、位置探査カメラ６９によって誤差範囲内（例えば、３ｍｍ×３ｍｍの領域）を撮影しさらにレーザリペア制御部４１が画像処理することで（可視光画像処理）、レーザリペア制御部４１は、短絡箇所の正確な位置と形状を得る（図１６のステップＳ１４）。このように、位置探査カメラ６９はタッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５全体（例えば５００ｍｍ×５００ｍｍの領域）全てを探索するのではなく、スポット１点に移動して撮影を行えばよいので、移動時間及びその後の画像処理の時間が極端に短くなる。
レーザリペア制御部４１は、レーザノズル６７を駆動することで、レーザによって短絡箇所を切断する（図１６のステップＳ１５）。 Further, the position data of the short circuit location from the thermo camera 19 has an error of about 1 to 2 mm in each of the XY directions. Therefore, the position search camera 69 captures an image within an error range (for example, an area of 3 mm × 3 mm), and the laser repair control unit 41 performs image processing (visible light image processing). Is obtained (step S14 in FIG. 16). As described above, the position search camera 69 does not search for the entire page 55 of the touch sensor film 51 (for example, an area of 500 mm × 500 mm), but may move to one spot to perform shooting. Time and subsequent image processing time become extremely short.
The laser repair control unit 41 drives the laser nozzle 67 to cut the short-circuited portion with the laser (step S15 in FIG. 16).

レーザリペア制御部４１は、タッチセンサ用フィルム５１の１ページ５５内における全ての短絡を切断したか否かを判断し（図１６のステップＳ１６）、「Ｙｅｓ」であれば処理を終了し、「Ｎｏ」であればステップＳ１２に戻る。すなわち、短絡箇所が複数ある場合は、以上の動作が繰り返される。
以上の動作は、レーザリペアユニット２３とレーザリペアユニット２５によってタッチセンサ用フィルム５１の両面で個別同時に行うことができる。 The laser repair control unit 41 determines whether or not all short circuits within one page 55 of the touch sensor film 51 have been cut (step S16 in FIG. 16). If “Yes”, the process ends. If “No”, the process returns to step S12. That is, when there are a plurality of short-circuited portions, the above operation is repeated.
The above operation can be performed individually and simultaneously on both surfaces of the touch sensor film 51 by the laser repair unit 23 and the laser repair unit 25.

短絡箇所の位置データ及び形状データを基に、レーザリペア制御部４１が、レーザ駆動指令を送信することで、レーザノズル６７にレーザを照射させる。その結果、レーザが短絡箇所を焼切り、それにより短絡状態が解消される。 Based on the position data and the shape data of the short circuit location, the laser repair control unit 41 transmits a laser drive command to cause the laser nozzle 67 to irradiate the laser. As a result, the laser burns out the short-circuit portion, thereby eliminating the short-circuit state.

（５）実施形態の特徴
（Ａ）サーモカメラ部３（微細配線短絡箇所の特定装置の一例）は、複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９（微細配線の一例）が両面に形成されたタッチセンサ用フィルム５１（タッチセンサ用フィルムの一例）において第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の短絡箇所を特定するための装置である。この装置は、プローブ１７（電流供給部の一例）と、１台のサーモカメラ１９（カメラの一例）と、サーモカメラ制御部３９（特定部の一例）とを備えている。プローブ１７は、タッチセンサ用フィルム５１の表面に形成された第１電極配線７３及び第１引き回し配線７５と、タッチセンサ用フィルム５１の裏面に形成された第２電極配線７７及び第２引き回し配線７９に対して、異なるパターンで電流を供給する。１台のサーモカメラ１９は、タッチセンサ用フィルム５１の表面側に配置され、第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の温度分布を撮影する。サーモカメラ制御部３９は、サーモカメラ１９からのサーモグラフィ（温度分布情報の一例）に基づいて短絡箇所を特定する。
この装置では、プローブ１７がタッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９に対して表裏で異なる通電パターンを供給するので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、サーモカメラ制御部３９は、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のサーモカメラ１９によって得られるサーモグラフィに基づいて、サーモカメラ制御部３９は、タッチセンサ用フィルム５１の両面の第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の短絡箇所を短時間で特定できる。また、サーモカメラ１９の台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の短絡箇所を比較的安価に検査できる。 (5) Features of Embodiment (A) The thermo camera unit 3 (an example of a device for identifying a fine wiring short-circuited portion) includes a first electrode wiring 73 and a first routing wiring 75 of a plurality of touch sensors sent between a plurality of rolls. In the touch sensor film 51 (an example of the touch sensor film) in which the second electrode wiring 77 and the second routing wiring 79 (an example of the fine wiring) are formed on both surfaces, the first electrode wiring 73, the first routing wiring 75, This is a device for specifying a short-circuit portion of the second electrode wiring 77 and the second routing wiring 79. This apparatus includes a probe 17 (an example of a current supply unit), one thermo camera 19 (an example of a camera), and a thermo camera control unit 39 (an example of a specifying unit). The probe 17 includes a first electrode wiring 73 and a first routing wiring 75 formed on the surface of the touch sensor film 51, and a second electrode wiring 77 and a second routing wiring 79 formed on the back surface of the touch sensor film 51. In contrast, current is supplied in different patterns. One thermo camera 19 is disposed on the surface side of the touch sensor film 51 and photographs the temperature distribution of the first electrode wiring 73, the first routing wiring 75, the second electrode wiring 77, and the second routing wiring 79. The thermo camera control unit 39 specifies a short-circuit location based on thermography (an example of temperature distribution information) from the thermo camera 19.
In this apparatus, the probe 17 has different energization patterns on the front and back sides of the first electrode wiring 73, the first routing wiring 75, the second electrode wiring 77, and the second routing wiring 79 formed on both surfaces of the touch sensor film 51. Therefore, even if the heat generation location of the front-side wiring and the heat generation location of the back-side wiring overlap, the thermo camera control unit 39 can determine the front-side short-circuit location and the back-side short-circuit location. As a result of the above, based on the thermography obtained by one thermo camera 19, the thermo camera control unit 39 has the first electrode wiring 73, the first routing wiring 75, and the second electrode wiring 77 on both surfaces of the touch sensor film 51. The short-circuit portion of the second lead wiring 79 can be specified in a short time. Further, since the number of the thermo cameras 19 is one, the first electrode wiring 73, the first routing wiring 75, the second electrode wiring 77, and the second routing wiring 79 formed on both surfaces of the touch sensor film 51 are short-circuited. The location can be inspected relatively inexpensively.

（Ｂ）微細配線短絡箇所の特定方法は、複数のロール間で送られる複数のタッチセンサの第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９（微細配線の一例）が両面に形成されたタッチセンサ用フィルム５１（タッチセンサ用フィルムの一例）において、第１電極配線７３、第１引き回し配線７５、第２電極配線７７、第２引き回し配線７９の短絡箇所を特定するための方法であって、下記のステップを備えている。
◎図９のタイミングチャートに示すように、プローブ１７が、タッチセンサ用フィルム５１の表面に形成された第１電極配線７３及び第１引き回し配線７５と、タッチセンサ用フィルム５１の裏面に形成された第２電極配線７７及び第２引き回し配線７９に対して、異なるパターンで電流を供給する電流供給ステップ（図８のステップＳ２）
◎図１のサーモカメラ１９によって、両面の微細配線の温度分布をタッチセンサ用フィルム５１の主面側から撮影するステップ（図８のステップＳ３）
◎図５のサーモカメラ制御部３９によって、図１１に示す熱画像に基づいて短絡箇所Ａ、Ｂを特定する特定ステップ（図８のステップＳ４）
この方法では、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給されるので、表側の配線の発熱箇所と裏側の配線の発熱箇所とが重なっていたとしても、特定ステップは、表側の短絡箇所と裏側の短絡箇所とを判別できる。以上の結果、１台のサーモカメラ１９によって得られる熱画像に基づいて、タッチセンサ用フィルム５１の両面の微細配線の短絡箇所を短時間で特定できる。また、サーモカメラ１９の台数が１台であるので、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線の短絡箇所を比較的安価に検査できる。 (B) The method for identifying the fine wiring short-circuit location is as follows. The first electrode wiring 73, the first routing wiring 75, the second electrode wiring 77, the second routing wiring 79 (fine wiring) of a plurality of touch sensors sent between a plurality of rolls. In the touch sensor film 51 (an example of a touch sensor film) formed on both sides of the first electrode wiring 73, the first routing wiring 75, the second electrode wiring 77, and the second routing wiring 79. The method includes the following steps.
As shown in the timing chart of FIG. 9, the probe 17 is formed on the first electrode wiring 73 and the first routing wiring 75 formed on the surface of the touch sensor film 51, and on the back surface of the touch sensor film 51. A current supply step for supplying current in different patterns to the second electrode wiring 77 and the second routing wiring 79 (step S2 in FIG. 8).
Step of photographing the temperature distribution of the fine wiring on both sides from the main surface side of the touch sensor film 51 with the thermo camera 19 of FIG. 1 (step S3 of FIG. 8)
Specific step for identifying short-circuited points A and B based on the thermal image shown in FIG. 11 by the thermo camera control unit 39 in FIG. 5 (step S4 in FIG. 8)
In this method, since different energization patterns are supplied to the fine wiring formed on both surfaces of the touch sensor film 51 on the front and back sides, the heat generation location of the front wiring and the heat generation location of the back wiring overlap. However, the specific step can discriminate between the short-circuited part on the front side and the short-circuited part on the back side. As a result, based on the thermal image obtained by one thermocamera 19, the short-circuited portion of the fine wiring on both surfaces of the touch sensor film 51 can be specified in a short time. Moreover, since the number of thermocameras 19 is one, the short circuit location of the fine wiring formed in both surfaces of the film 51 for touch sensors can be test | inspected comparatively cheaply.

（６）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。 (6) Other Embodiments Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. In particular, a plurality of embodiments and modifications described in this specification can be arbitrarily combined as necessary.

（ａ）前記実施形態では、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給する方法として、加熱電流をパルス電流として、さらに表面加熱・撮影時刻と裏面加熱・撮影時刻とをずらしていた。しかし、タッチセンサ用フィルム５１の両面に形成された微細配線に対して表裏で異なる通電パターンを供給する方法は、前記実施形態に限定されない。
例えば、表側のプローブ１７から配線に供給する電流の周波数と、裏側のプローブ１７から配線に供給する電流の周波数を変更してもよい。その場合は、例えば表側の配線の発熱が第１の周期で行われ、裏側の配線の発熱が第２の周期で行われるので、サーモカメラ制御部３９は、画像処理によって各発熱を区別して異なる熱画像として認識できる。
別の方法として、表側のプローブ１７から加熱電流パルスを出すパターンと、裏側のプローブ１７から加熱電流パルスを出すパターンとを異ならせてもよい。その場合は、各プローブ１７から、例えばモールス信号のように異なる長さの信号が出力される。 (A) In the above embodiment, as a method of supplying different energization patterns on the front and back sides to the fine wiring formed on both surfaces of the touch sensor film 51, the heating current is a pulse current, and the surface heating / photographing time and the back surface The heating and shooting times were shifted. However, the method for supplying different energization patterns on the front and back sides to the fine wiring formed on both surfaces of the touch sensor film 51 is not limited to the above embodiment.
For example, the frequency of the current supplied from the front side probe 17 to the wiring and the frequency of the current supplied from the back side probe 17 to the wiring may be changed. In that case, for example, the heat generation of the front-side wiring is performed in the first cycle and the heat generation of the back-side wiring is performed in the second cycle. Therefore, the thermo camera control unit 39 distinguishes each heat generation by image processing and differs. It can be recognized as a thermal image.
As another method, the pattern in which the heating current pulse is output from the front-side probe 17 and the pattern in which the heating current pulse is output from the back-side probe 17 may be different. In that case, signals of different lengths such as Morse signals are output from each probe 17.

（ｂ）環境の熱ノイズを防止するための他の手段としては、プローブが微細配線に与える電流を、直流ではなく、０．１Ｈｚ〜１０Ｈｚ程度の交流とし、所望の熱画像（赤外光サーモグラフィ）をフリッカさせてもよい。また、プローブが配線に与える電流を、単なる交流ではなく直流以外の何らかの変調を加えた信号電流としてもよい。その場合、制御部による画像処理によって、フリッカする信号だけを残すことで、ノイズが除去された画像が得られる。 (B) As another means for preventing environmental thermal noise, the current applied to the fine wiring by the probe is not direct current but alternating current of about 0.1 Hz to 10 Hz, and a desired thermal image (infrared thermography) ) May be flickered. Further, the current applied to the wiring by the probe may be a signal current obtained by applying some modulation other than direct current instead of simple alternating current. In that case, an image from which noise is removed can be obtained by leaving only a signal that flickers by image processing by the control unit.

（ｃ）前記実施形態ではサーモカメラ部とレーザリペア部が連続して動作するように１台の装置に組み込まれていたが、サーモカメラ部は単独で用いられてもよい。その場合、短絡箇所の情報は、例えば制御部の記憶部に記憶されて後に利用可能な状態で保持されている必要がある。 (C) In the above embodiment, the thermo camera unit and the laser repair unit are incorporated in one apparatus so as to operate continuously, but the thermo camera unit may be used alone. In that case, the information on the short-circuited location needs to be stored in a storage unit of the control unit, for example, and can be used later.

（ｄ）タッチセンサ用配線の形状、位置、個数は前記実施形態に限定されない。 (D) The shape, position, and number of wiring for the touch sensor are not limited to the above embodiment.

本発明は、微細配線短絡箇所の特定装置、微細配線短絡箇所の修理装置、微細配線短絡箇所の特定方法、及び微細配線短絡箇所の修理方法に広く適用できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely applied to a device for identifying a fine wiring short-circuited location, a repair device for a fine wiring short-circuited location, a method for identifying a fine wiring short-circuited location, and a method for repairing a fine wiring short-circuited location.

１微細配線短絡箇所の修理装置
３サーモカメラ部
５レーザリペア部
１７プローブ
１９サーモカメラ
３３記憶部
３９サーモカメラ制御部
４０記憶部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Repair apparatus of the fine wiring short circuit location 3 Thermo camera part 5 Laser repair part 17 Probe 19 Thermo camera 33 Storage part 39 Thermo camera control part 40 Storage part

Claims

In the film for a touch sensor in which fine wirings of a plurality of touch sensors sent between a plurality of rolls are formed on both sides, a device for specifying a short-circuited portion of the fine wirings,
A current supply unit that supplies current in a different pattern to the fine wiring formed on the surface of the touch sensor film and the fine wiring formed on the back surface of the touch sensor film,
One camera arranged on one side of the touch sensor film for photographing the temperature distribution of the fine wiring;
A specifying unit for specifying the short-circuited location based on temperature distribution information from the camera;
A device for identifying a location where a fine wiring is short-circuited.

2. The apparatus for identifying a shorted portion of a fine wiring according to claim 1, wherein the current supply unit performs temperature compensation control for distinguishing between temperature noise and heat generation of the fine wiring due to current supply.

The apparatus for identifying a fine wiring short-circuited location according to claim 1 or 2, further comprising a storage unit for storing information on the short-circuited location identified by the identifying unit.

The specific device of the fine wiring short circuit location according to any one of claims 1 to 3,
By image processing a partial range of the film for a touch sensor including the short-circuit portion specified by the specific device, an image processing device that specifies the short-circuit portion more accurately, and
By repairing the short-circuited part by cutting the short-circuited part specified by the image processing apparatus,
A fine wiring short-circuit repair device equipped with

In the film for a touch sensor in which fine wiring of a plurality of touch sensors sent between a plurality of rolls is formed on both sides, a method for specifying a short-circuited portion of the fine wiring,
A current supply step for supplying current in a different pattern to the fine wiring formed on the surface of the touch sensor film and the fine wiring formed on the back surface of the touch sensor film;
Photographing the temperature distribution of the fine wiring on the both surfaces from one side of the touch sensor film;
A specific step of identifying the short-circuit location based on temperature distribution information;
A method for identifying a short-circuited portion of a fine wiring comprising:

6. The method for identifying a fine wiring short-circuited location according to claim 5, wherein the current supplying step includes a step of performing temperature compensation control for distinguishing between temperature noise and heat generation of the fine wiring due to the current supply.

The method for identifying a fine wiring short-circuited location according to claim 5 or 6, further comprising a step of storing information on the short-circuited location identified in the identifying step in a storage unit.

The method for identifying the fine wiring short-circuit portion according to any one of claims 5 to 7,
An image processing step of specifying the short-circuited location more accurately by image processing a partial range of the film for a touch sensor including the short-circuited location specified by the specifying method;
Repairing the short-circuited part by cutting the short-circuited part identified by the image processing step;
Repair method for short-circuited locations of fine wiring.