JP6204675B2 - 非接触厚さ測定方法 - Google Patents
非接触厚さ測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6204675B2 JP6204675B2 JP2013070168A JP2013070168A JP6204675B2 JP 6204675 B2 JP6204675 B2 JP 6204675B2 JP 2013070168 A JP2013070168 A JP 2013070168A JP 2013070168 A JP2013070168 A JP 2013070168A JP 6204675 B2 JP6204675 B2 JP 6204675B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wave
- probe
- thickness
- film
- transmitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Description
すなわち本発明は、以下の構成を有するものである。
膜の厚さ測定にかかる実施形態例である測定装置について、図1を用いて説明する。
測定対象のサンプル膜1をはさんで、片側に発信プローブ3を配置、反対側に受信プローブ4を配置する。超音波発信・受信装置2で生成されたバースト波超音波信号を発信プローブ3から超音波としてサンプル膜1に発信し、サンプル膜1を透過した超音波を受信プローブ4で受信し、プリアンプ5で増幅し超音波発信・受信装置2に入力し信号処理を施し、受信波形すなわちエコーを表示装置6に表示する。このエコー高さを読み取る。
実施例1と同じ測定装置を用い、従来技術であるパルス波超音波とバースト波超音波を比較した。両者の出力はいずれも20Vである。またバースト波は5波である。
サンプル膜と発信プローブ、受信プローブとの距離は、同一とし、下表のとおりそれぞれその距離を200mm、50mm,20mmの3水準について透過波の強度を測定した。サンプル膜は厚さ75μmの合成樹脂製膜である。
2. 超音波発信・受信装置
3. 発信プローブ
4. 受信プローブ
5. プリアンプ
6. 表示装置
Claims (4)
- 対象物の一方の面にバースト波超音波もしくはチャープ波超音波の発信プローブを配置し、他方の面にバースト波超音波もしくはチャープ波超音波の受信プローブを配置し、発信プローブから発せられ、対象物を透過し受信プローブで受信されるバースト波超音波もしくはチャープ波超音波の受信波の強度または強度の逆数から対象物の厚さを測定する非接触厚さ測定方法にあって、
対象物と発信プローブ及び受信プローブとの距離が50mm以上である非接触厚さ測定方法。 - 発信プローブ及び受信プローブと対象物との間に空気を介する請求項1に記載の非接触厚さ測定方法。
- 発信する超音波の周波数が20kHzから60kHzである請求項1または2に記載の非接触厚さ測定方法。
- 対象物が厚さ1μmから130μmの膜状物である請求項1〜3のいずれかに記載の非接触厚さ測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013070168A JP6204675B2 (ja) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | 非接触厚さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013070168A JP6204675B2 (ja) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | 非接触厚さ測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014194358A JP2014194358A (ja) | 2014-10-09 |
JP6204675B2 true JP6204675B2 (ja) | 2017-09-27 |
Family
ID=51839702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013070168A Active JP6204675B2 (ja) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | 非接触厚さ測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6204675B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112325814A (zh) * | 2020-11-03 | 2021-02-05 | 成都锐科软控科技有限公司 | 超声波对射测厚仪及其测厚方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6470749B1 (en) * | 2001-05-08 | 2002-10-29 | Halliburton Energy Services, Inc. | Method and apparatus for pulsed ultrasonic doppler measurement of wall deposition |
JP2005106560A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Fujitsu Ltd | 超音波距離測定装置又は超音波型座標入力装置 |
JP5008203B2 (ja) * | 2008-08-04 | 2012-08-22 | 株式会社ニレコ | 超音波式厚み検出装置、及び、超音波式エッジ位置検出装置 |
JP5705770B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-04-22 | トヨタ自動車株式会社 | 超音波計測方法、及び超音波計測装置 |
-
2013
- 2013-03-28 JP JP2013070168A patent/JP6204675B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014194358A (ja) | 2014-10-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107024542B (zh) | 用于测试对象的机载超声测试系统 | |
CN202018279U (zh) | 一种弯折件的弯折角度测量设备 | |
WO2014077870A8 (en) | Multimodal imaging systems, probes and methods | |
JP6395325B2 (ja) | 電磁鋼板の物性評価装置 | |
CN105783746A (zh) | 一种木质产品厚度的检测系统及其检测方法 | |
JP5996415B2 (ja) | 超音波探傷装置及び方法 | |
JP2017198459A (ja) | 積層体の剥離検査方法及び剥離検査装置 | |
Osumi et al. | Imaging slit in metal plate using aerial ultrasound source scanning and nonlinear harmonic method | |
ATE515678T1 (de) | Optisches messgerät und messverfahren | |
KR101251204B1 (ko) | 초음파 비파괴 검사 장치 및 초음파 비파괴 검사 방법 | |
JP6204675B2 (ja) | 非接触厚さ測定方法 | |
KR101934069B1 (ko) | 액체수위측정장치 | |
RU108627U1 (ru) | Система ультразвуковой дефектоскопии трубопровода | |
CN110440896B (zh) | 一种超声波测量系统及测量方法 | |
JP3188847U (ja) | 探触子及び測長装置 | |
JP2009236620A (ja) | 超音波探傷方法 | |
CN114112132B (zh) | 一种激光超声测量梯度残余应力的系统和方法 | |
Xiao et al. | Thin-plate imaging inspection using scattered waves cross-correlation algorithm and non-contact air-coupled transducer | |
JP5733029B2 (ja) | 水中送波器の検査装置及び検査方法 | |
US20150323505A1 (en) | Apparatus and method for measuring nonlinear parameters | |
CN202066785U (zh) | 一种光纤耦合光声检测探头 | |
JP5268686B2 (ja) | 電磁超音波法による測定装置及び測定方法 | |
CN109459754A (zh) | 直线度的检测装置及检测方法 | |
CN115389046B (zh) | 测温方法及装置 | |
RU2587536C1 (ru) | Способ измерения коэффициента затухания ультразвука |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170731 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170815 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6204675 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |