JP6203479B2 - OPTICAL SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, SUBSTRATE USED FOR MANUFACTURING - Google Patents

OPTICAL SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, SUBSTRATE USED FOR MANUFACTURING Download PDF

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Description

本発明は、基板の表面に形成された銀めっき層上に、発光ダイオードがボンディングされた光半導体装置、その製造方法、その製造に用いる基体およびリフレクタ成型体に関する。   The present invention relates to an optical semiconductor device in which a light emitting diode is bonded onto a silver plating layer formed on a surface of a substrate, a manufacturing method thereof, a base body used for the manufacturing, and a reflector molded body.

LED(発光ダイオード:Light Emitting Diode)が搭載された光半導体装置として、特許文献1に開示されたものが知られている。特許文献1に記載の光半導体装置は、成型体に青色LEDをボンディングし、青色LEDを取り囲むように成型体を立ち上げて青色LEDから発せられた光を反射する反射板とし、その中に蛍光体を含有する透明封止部を充填して青色LEDを封止したものである。   As an optical semiconductor device on which an LED (Light Emitting Diode) is mounted, the one disclosed in Patent Document 1 is known. The optical semiconductor device described in Patent Document 1 is formed by bonding a blue LED to a molded body, raising the molded body so as to surround the blue LED, and reflecting the light emitted from the blue LED. The blue LED is sealed by filling a transparent sealing portion containing a body.

国際公開第2007/015426号パンフレットInternational Publication No. 2007/015426 Pamphlet

近年、このような光半導体装置が、照明や街灯等のLED照明として採用されるようになってきた。しかしながら、実際に使用してみると、LEDの保証時間よりも短時間でLED照明の照度が低下してしまう。これは、光半導体装置の電極に銀めっき層を形成しており、この銀めっき層が変色することに起因するものである。すなわち、透明封止部には、一般的にガスや水分の透過性が高い樹脂が使用されているため、透明封止部を透過したガスや水分により銀めっき層が腐食して変色する。特に、硫化水素ガスにより銀めっき層が硫化すると、電極が黒色に変色するため、照度の低下が顕著に表れる。   In recent years, such optical semiconductor devices have come to be employed as LED lighting such as lighting and street lamps. However, when actually used, the illuminance of the LED illumination decreases in a shorter time than the guaranteed time of the LED. This is because a silver plating layer is formed on the electrode of the optical semiconductor device and the silver plating layer is discolored. That is, since the resin having high gas and moisture permeability is generally used for the transparent sealing portion, the silver plating layer is corroded and discolored by the gas and moisture that have passed through the transparent sealing portion. In particular, when the silver plating layer is sulfided by hydrogen sulfide gas, the electrode is changed to black, so that the illuminance is significantly reduced.

また、従来は、反射板として熱可塑性樹脂が採用されており、銀めっき層の硫化速度よりも反射板の黄変速度の方が速かったため、銀めっき層の硫化による照度低下は目立たなかった。しかしながら、最近は、反射板として熱硬化性樹脂が採用されるようになり、銀めっき層の硫化速度よりも反射板の黄変速度の方が遅くなったため、銀めっき層の硫化による照度低下が目立つようになってきた。しかも、LED照明がハイパワー化されると、青色LEDの発熱温度が高くなって銀めっき層の温度が上昇するため、銀めっき層の硫化が促進されてしまう。   Conventionally, a thermoplastic resin has been employed as the reflecting plate, and since the yellowing rate of the reflecting plate was faster than the sulfiding rate of the silver plating layer, the decrease in illuminance due to the sulfidation of the silver plating layer was not noticeable. However, recently, a thermosetting resin has been adopted as a reflection plate, and the yellowing rate of the reflection plate has become slower than the sulfidation rate of the silver plating layer. It has come to stand out. In addition, when the LED illumination is made high-powered, the heat generation temperature of the blue LED is increased and the temperature of the silver plating layer is increased, so that the sulfidation of the silver plating layer is promoted.

更には、このような銀めっき層の硫化に伴う問題に鑑み、LED照明に採用する光半導体装置の耐硫化水素ガスの評価を規格化する動きもある。   Furthermore, in view of such problems associated with the sulfidation of the silver plating layer, there is a movement to standardize the evaluation of the hydrogen sulfide resistant gas of the optical semiconductor device adopted for the LED illumination.

そこで、本発明者らは、鋭意検討を行ったところ、透明封止部のガス透過性を改良するのではなく、銀めっき層を粘土膜で被覆することで、銀めっき層の硫化を効果的に抑制することができるとの知見を得た。   Therefore, the present inventors have conducted intensive studies and found that the silver plating layer was effectively sulfidized by covering the silver plating layer with a clay film, rather than improving the gas permeability of the transparent sealing portion. It was found that it can be suppressed.

ただし、銀めっき層を覆う粘土膜の厚さに応じて、銀めっき層の硫化を抑制する度合いが変わるため、本発明者らは、銀めっき層の硫化を実用上十分に抑制できる粘土膜の厚さ範囲について研究を重ねた。   However, since the degree of suppression of sulfidation of the silver plating layer varies depending on the thickness of the clay film covering the silver plating layer, the present inventors have made a clay film that can sufficiently suppress sulfidation of the silver plating layer practically. Research on thickness range was repeated.

すなわち、本発明は、実用上十分な程度に銀めっき層の硫化を抑制することができる光半導体装置、その製造方法、その製造に用いる基体およびリフレクタ成型体を提供することを目的とする。   That is, an object of the present invention is to provide an optical semiconductor device capable of suppressing the sulfidation of the silver plating layer to a practically sufficient level, a manufacturing method thereof, a substrate used for the manufacturing, and a reflector molded body.

本発明に係る光半導体装置は、表面に銀めっき層が形成された基板と、銀めっき層上にボンディングされた発光ダイオードと、基板上であって、発光ダイオードを取り囲む位置に配置されるリフレクタと、リフレクタ内に充填されて発光ダイオードを封止する透明封止部と、銀めっき層を被覆する粘土膜とを備え、粘土膜の厚さが0.01μm以上500μm以下である。   An optical semiconductor device according to the present invention includes a substrate having a silver plating layer formed on a surface thereof, a light emitting diode bonded on the silver plating layer, and a reflector disposed on the substrate so as to surround the light emitting diode. And a transparent sealing portion that fills the reflector and seals the light emitting diode, and a clay film that covers the silver plating layer, and the thickness of the clay film is 0.01 μm or more and 500 μm or less.

この光半導体装置においては、銀めっき層が粘土膜で被覆されており、かつ、その粘土膜の膜厚が0.01μm以上500μm以下の範囲であるため、実用上十分な程度に銀めっき層の硫化を抑制することができる。その結果、銀めっき層が黒色化することによる光半導体装置の照度低下が抑制される。   In this optical semiconductor device, the silver plating layer is covered with a clay film, and the thickness of the clay film is in the range of 0.01 μm to 500 μm. Sulfurization can be suppressed. As a result, a decrease in illuminance of the optical semiconductor device due to blackening of the silver plating layer is suppressed.

本発明に係る基体は、表面に銀めっき層が形成された基板と、銀めっき層上にボンディングされた発光ダイオードと、基板上であって、発光ダイオードを取り囲む位置に配置されるリフレクタと、リフレクタ内に充填されて発光ダイオードを封止する透明封止部と、銀めっき層を被覆する粘土膜とを備える光半導体装置の製造に用いられる、表面に形成された銀めっき層が粘土膜で被覆された基体であって、粘土膜の厚さが0.01μm以上500μm以下である。   A substrate according to the present invention includes a substrate having a silver plating layer formed on a surface thereof, a light emitting diode bonded on the silver plating layer, a reflector disposed on the substrate and surrounding the light emitting diode, and a reflector A silver plating layer formed on the surface is covered with a clay film, which is used for manufacturing an optical semiconductor device including a transparent sealing portion that is filled in and seals the light emitting diode, and a clay film that covers the silver plating layer. The thickness of the clay film is 0.01 μm or more and 500 μm or less.

この基体においては、銀めっき層が粘土膜で被覆されており、かつ、その粘土膜の膜厚が0.01μm以上500μm以下の範囲であるため、光半導体装置の製造に用いることで、実用上十分な程度に銀めっき層の硫化を抑制することができ、銀めっき層が黒色化することによる光半導体装置の照度低下が抑制される。   In this substrate, the silver plating layer is covered with a clay film, and the thickness of the clay film is in the range of 0.01 μm to 500 μm. Sulfidation of the silver plating layer can be suppressed to a sufficient extent, and a decrease in illuminance of the optical semiconductor device due to blackening of the silver plating layer is suppressed.

本発明に係るリフレクタ成型体は、表面に銀めっき層が形成された基板と、銀めっき層上にボンディングされた発光ダイオードと、基板上であって、発光ダイオードを取り囲む位置に配置されるリフレクタと、リフレクタ内に充填されて発光ダイオードを封止する透明封止部と、銀めっき層を被覆する粘土膜とを備える光半導体装置の製造に用いられ、表面に形成された銀めっき層が粘土膜で被覆された基板上に、リフレクタが配置されたリフレクタ成型体であって、粘土膜の厚さが0.01μm以上500μm以下である。   A reflector molded body according to the present invention includes a substrate having a silver plating layer formed on a surface thereof, a light emitting diode bonded on the silver plating layer, and a reflector disposed on the substrate so as to surround the light emitting diode. The silver plating layer formed on the surface is used for the manufacture of an optical semiconductor device including a transparent sealing portion that fills the reflector and seals the light emitting diode, and a clay film that covers the silver plating layer. A reflector molded body in which a reflector is disposed on a substrate coated with the above, and the thickness of the clay film is 0.01 μm or more and 500 μm or less.

このリフレクタ成型体においては、銀めっき層が粘土膜で被覆されており、かつ、その粘土膜の膜厚が0.01μm以上500μm以下の範囲であるため、光半導体装置の製造に用いることで、実用上十分な程度に銀めっき層の硫化を抑制することができ、銀めっき層が黒色化することによる光半導体装置の照度低下が抑制される。   In this reflector molded body, the silver plating layer is covered with a clay film, and the thickness of the clay film is in the range of 0.01 μm or more and 500 μm or less. Sulfurization of the silver plating layer can be suppressed to a practically sufficient level, and a decrease in illuminance of the optical semiconductor device due to blackening of the silver plating layer is suppressed.

本発明に係る光半導体装置の製造方法は、表面に銀めっき層が形成された基板と、銀めっき層上にボンディングされた発光ダイオードと、基板上であって、発光ダイオードを取り囲む位置に配置されるリフレクタと、リフレクタ内に充填されて発光ダイオードを封止する透明封止部と、銀めっき層を被覆する粘土膜とを備える光半導体装置の製造方法であって、表面に銀めっき層が形成された基板を準備する基板準備工程と、基板準備工程の後に、基板上にリフレクタを配置するリフレクタ配置工程と、リフレクタ配置工程の後に、リフレクタ内の銀めっき層上に、発光ダイオードをボンディングにより配置する発光ダイオード搭載工程と、発光ダイオード搭載工程の後に、発光ダイオードと銀めっき層とをワイヤボンディングして電気的に接続する発光ダイオード接続工程と、発光ダイオード接続工程の後に、リフレクタ内に透明封止部を充填して発光ダイオードを封止する発光ダイオード封止工程と、銀めっき層を粘土膜で被覆する銀めっき層被覆工程とを含み、粘土膜の厚さが0.01μm以上500μm以下である。   An optical semiconductor device manufacturing method according to the present invention includes a substrate having a silver plating layer formed on a surface thereof, a light emitting diode bonded on the silver plating layer, and a substrate on a position surrounding the light emitting diode. A method of manufacturing an optical semiconductor device comprising a reflector, a transparent sealing portion that fills the reflector and seals the light emitting diode, and a clay film that covers the silver plating layer. A light emitting diode is disposed by bonding on a silver plating layer in the reflector after the substrate preparing step for preparing the prepared substrate, the reflector arranging step for arranging the reflector on the substrate after the substrate preparing step, and the reflector arranging step. After the light emitting diode mounting step and the light emitting diode mounting step, the light emitting diode and the silver plating layer are electrically bonded by wire bonding. A light emitting diode connecting step, a light emitting diode sealing step for sealing the light emitting diode by filling a transparent sealing portion in the reflector after the light emitting diode connecting step, and silver plating for covering the silver plating layer with a clay film Including a layer coating step, and the clay film has a thickness of 0.01 μm or more and 500 μm or less.

この光半導体装置の製造方法においては、銀めっき層被覆工程において、銀めっき層が粘土膜で被覆され、かつ、その粘土膜の膜厚が0.01μm以上500μm以下の範囲であるため、実用上十分な程度に銀めっき層の硫化を抑制することができ、銀めっき層が黒色化することによる光半導体装置の照度低下を大幅に抑制することができる。   In this method of manufacturing an optical semiconductor device, in the silver plating layer coating step, the silver plating layer is coated with a clay film, and the thickness of the clay film is in the range of 0.01 μm to 500 μm. Sulfidation of the silver plating layer can be suppressed to a sufficient extent, and a decrease in illuminance of the optical semiconductor device due to blackening of the silver plating layer can be significantly suppressed.

なお、銀めっき層被覆工程は、リフレクタ配置工程より前におこなわれる態様や、リフレクタ配置工程の後、かつ、発光ダイオード搭載工程の前におこなわれる態様、発光ダイオード接続工程の後、かつ、発光ダイオード封止工程の前におこなわれる態様であってもよい。   The silver plating layer covering step is performed before the reflector placing step, after the reflector placing step, and before the light emitting diode mounting step, after the light emitting diode connecting step, and the light emitting diode. The aspect performed before a sealing process may be sufficient.

本発明によれば、実用上十分な程度に銀めっき層の硫化を抑制することができる光半導体装置、その製造方法、その製造に用いる基体およびリフレクタ成型体が提供される。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the optical semiconductor device which can suppress the sulfidation of a silver plating layer to a practically sufficient level, its manufacturing method, the base | substrate used for the manufacture, and a reflector molded object are provided.

第1の実施形態に係る光半導体装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of an optical semiconductor device according to a first embodiment. 図1に示す光半導体装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the optical semiconductor device shown in FIG. 1. 図1に示す光半導体装置の部分拡大断面図である。FIG. 2 is a partial enlarged cross-sectional view of the optical semiconductor device shown in FIG. 1. モンモリロナイトを用いた粘土膜の構成を説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the structure of the clay film using a montmorillonite. モンモリロナイトを用いた粘土膜の断面を示す顕微鏡写真である。It is a microscope picture which shows the cross section of the clay film using a montmorillonite. 第1の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を示したフローチャートである。3 is a flowchart showing a method for manufacturing the optical semiconductor device according to the first embodiment. 第1の実施形態に係るリフレクタ成型体の断面図である。It is sectional drawing of the reflector molded object which concerns on 1st Embodiment. ワイヤ端部が粘度膜を突き破っている様子を示した顕微鏡写真である。It is the microscope picture which showed a mode that the wire edge part pierced the viscosity film | membrane. 第2の実施形態に係る光半導体装置の断面図である。It is sectional drawing of the optical semiconductor device which concerns on 2nd Embodiment. 第2の実施形態における光半導体装置の製造方法を示したフローチャートである。6 is a flowchart illustrating a method for manufacturing an optical semiconductor device according to a second embodiment. 第2の実施形態に係る基体の断面図である。It is sectional drawing of the base | substrate which concerns on 2nd Embodiment. 第3の実施形態に係る光半導体装置の断面図である。It is sectional drawing of the optical semiconductor device which concerns on 3rd Embodiment. 図12に示す光半導体装置の平面図である。It is a top view of the optical semiconductor device shown in FIG. 第3の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を示したフローチャートである。6 is a flowchart showing a method for manufacturing an optical semiconductor device according to a third embodiment. 第3の実施形態の銀めっき層被覆工程後の様子を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the mode after the silver plating layer coating process of 3rd Embodiment. 実施例で用いた試験器の概略図である。It is the schematic of the test device used in the Example. 実施例において粘土膜に生じた亀裂を示した写真である。It is the photograph which showed the crack which arose in the clay film in the Example.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。
[第1の実施形態]
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals.
[First Embodiment]

図1および図2は、第1の実施形態に係る光半導体装置1Aを示しており、図1は光半導体装置1Aの断面図、図2は光半導体装置1Aの平面図である。   1 and 2 show an optical semiconductor device 1A according to the first embodiment. FIG. 1 is a cross-sectional view of the optical semiconductor device 1A, and FIG. 2 is a plan view of the optical semiconductor device 1A.

図1および図2に示すように、光半導体装置1Aは、一般に「表面実装型」に分類されるものである。この光半導体装置1Aは、基板10と、基板10の表面にボンディングされた青色LED30と、青色LED30を取り囲むように基板10の表面に設けられたリフレクタ20と、リフレクタ20に充填されて青色LED30を封止する透明封止樹脂(透明封止部)40とを備えている。なお、図2では、透明封止樹脂40の図示を省略している。   As shown in FIGS. 1 and 2, the optical semiconductor device 1 </ b> A is generally classified as a “surface mount type”. This optical semiconductor device 1 </ b> A includes a substrate 10, a blue LED 30 bonded to the surface of the substrate 10, a reflector 20 provided on the surface of the substrate 10 so as to surround the blue LED 30, and the reflector 20 filled with the blue LED 30. And a transparent sealing resin (transparent sealing portion) 40 for sealing. In addition, illustration of the transparent sealing resin 40 is abbreviate | omitted in FIG.

基板10は、公知の絶縁材料によって構成された絶縁性基板である。基板10の表面10a上には、銅めっき板12を介して、銀めっき層14が形成されている。銀めっき層14は、基板10の表面に配置されて青色LED30と導通される電極となっている。なお、銀めっき層14は、銀を含むめっき層であれば如何なる組成であってもよい。例えば、銀のみをめっきすることにより銀めっき層14を形成してもよく、ニッケル及び銀をこの順でめっきすることにより銀めっき層14を形成してもよい。   The substrate 10 is an insulating substrate made of a known insulating material. A silver plating layer 14 is formed on the surface 10 a of the substrate 10 via a copper plating plate 12. The silver plating layer 14 is an electrode that is disposed on the surface of the substrate 10 and is electrically connected to the blue LED 30. The silver plating layer 14 may have any composition as long as it is a plating layer containing silver. For example, the silver plating layer 14 may be formed by plating only silver, or the silver plating layer 14 may be formed by plating nickel and silver in this order.

ここで、銅めっき板12および銀めっき層14は、絶縁部16において、アノードE1側とカソードE2側とが離間し、電気的に互いに絶縁されている。絶縁部16は、図1に示すように、銅めっき板12および銀めっき層14のいずれも形成されてない部分である。なお、必要に応じて、絶縁部16に公知の絶縁材料を配置することもできる。   Here, the copper plating plate 12 and the silver plating layer 14 are electrically insulated from each other in the insulating portion 16 with the anode E1 side and the cathode E2 side spaced apart. As shown in FIG. 1, the insulating portion 16 is a portion where neither the copper plating plate 12 nor the silver plating layer 14 is formed. Note that a known insulating material may be disposed on the insulating portion 16 as necessary.

青色LED30は、カソードE2側の銀めっき層14にダイボンドされており、ダイボンド材32を介して当該銀めっき層14と導通されている。また、青色LED30は、アノードE1側の銀めっき層14にワイヤボンドされており、ボンディングワイヤ34を介して当該銀めっき層14と導通されている。なお、アノードE1およびカソードE2は、必要に応じて交換することができる。   The blue LED 30 is die-bonded to the silver plating layer 14 on the cathode E2 side, and is electrically connected to the silver plating layer 14 via the die-bonding material 32. The blue LED 30 is wire-bonded to the silver plating layer 14 on the anode E1 side, and is electrically connected to the silver plating layer 14 through the bonding wire 34. The anode E1 and the cathode E2 can be exchanged as necessary.

リフレクタ20は、青色LED30を封止するための透明封止樹脂40を充填させるとともに、青色LED30から発せられた光を光半導体装置1Aの表面側に反射させるものである。   The reflector 20 is filled with a transparent sealing resin 40 for sealing the blue LED 30 and reflects light emitted from the blue LED 30 to the surface side of the optical semiconductor device 1A.

リフレクタ20は、青色LED30を取り囲むように基板10の表面から立設されている。すなわち、リフレクタ20には、青色LED30を取り囲むように、基板10の厚さ方向に立ち上がって内側に青色LED30を収容する内側空間を形成し、平面視(図2参照)において円形に形成された内周面20aを備えている。内周面20aの形状は特に限定されるものではないが、光半導体装置1Aの照度向上の観点から、基板10から離れるに従い拡径する円錐台形状(漏斗状)に形成することが好ましい。なお、図面では、内周面20aの形成例として、基板10側に位置する下部分が基板10に対して垂直となっており、基板10の反対側に位置する上部分が基板10から離れるに従い拡径しているものを図示している。   The reflector 20 is erected from the surface of the substrate 10 so as to surround the blue LED 30. That is, the reflector 20 has an inner space that rises in the thickness direction of the substrate 10 so as to surround the blue LED 30 and accommodates the blue LED 30 inside, and is formed in a circular shape in plan view (see FIG. 2). A peripheral surface 20a is provided. Although the shape of the inner peripheral surface 20a is not particularly limited, it is preferably formed in a truncated cone shape (funnel shape) whose diameter increases as the distance from the substrate 10 increases, from the viewpoint of improving the illuminance of the optical semiconductor device 1A. In the drawing, as an example of forming the inner peripheral surface 20a, the lower part located on the substrate 10 side is perpendicular to the substrate 10, and the upper part located on the opposite side of the substrate 10 is separated from the substrate 10. An enlarged diameter is shown.

リフレクタ20は、白色顔料が含有された熱硬化性樹脂組成物の硬化物からなっている。熱硬化性樹脂組成物は、リフレクタ20の形成容易性の観点から、熱硬化前においては室温(25℃)で加圧成型可能なものが好ましい。   The reflector 20 is made of a cured product of a thermosetting resin composition containing a white pigment. From the viewpoint of ease of forming the reflector 20, the thermosetting resin composition is preferably one that can be pressure-molded at room temperature (25 ° C.) before thermosetting.

熱硬化性樹脂組成物に含まれる熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、シアネート樹脂等種々のものを用いることができる。特に、エポキシ樹脂は、種々の材料に対する接着性が優れるため好ましい。   As the thermosetting resin contained in the thermosetting resin composition, various resins such as an epoxy resin, a silicone resin, a urethane resin, and a cyanate resin can be used. In particular, an epoxy resin is preferable because of its excellent adhesion to various materials.

白色顔料としては、アルミナ、酸化マグネシウム、酸化アンチモン、酸化チタン又は酸化ジルコニウムを使用することができる。これらの中でも光反射性の点から酸化チタンが好ましい。白色顔料として無機中空粒子を使用してもよい。無機中空粒子の具体例として、珪酸ソーダガラス、アルミ珪酸ガラス、硼珪酸ソーダガラス、シラス等が挙げられる。   As the white pigment, alumina, magnesium oxide, antimony oxide, titanium oxide, or zirconium oxide can be used. Among these, titanium oxide is preferable from the viewpoint of light reflectivity. Inorganic hollow particles may be used as the white pigment. Specific examples of the inorganic hollow particles include sodium silicate glass, aluminum silicate glass, borosilicate soda glass, and shirasu.

透明封止樹脂40は、リフレクタ20の内周面20aにより形成される内側空間に充填されて、青色LED30を封止するものである。この透明封止樹脂40は、透光性を有する透明封止樹脂からなる。透明封止樹脂には、完全に透明な樹脂の他、半透明な樹脂も含まれる。透明封止樹脂としては、弾性率が室温(25℃)において1MPa以下のものが好ましい。特に、透明性の点からシリコーン樹脂又はアクリル樹脂を採用することが好ましい。透明封止樹脂は、光を拡散する無機充填材や青色LED30から発せられる青色光を励起源として白色光とする蛍光体42を含有している。   The transparent sealing resin 40 fills the inner space formed by the inner peripheral surface 20 a of the reflector 20 and seals the blue LED 30. The transparent sealing resin 40 is made of a transparent sealing resin having translucency. The transparent sealing resin includes a translucent resin as well as a completely transparent resin. The transparent sealing resin preferably has an elastic modulus of 1 MPa or less at room temperature (25 ° C.). In particular, it is preferable to employ a silicone resin or an acrylic resin from the viewpoint of transparency. The transparent sealing resin contains an inorganic filler that diffuses light and a phosphor 42 that emits white light using blue light emitted from the blue LED 30 as an excitation source.

そして、本実施形態に係る光半導体装置1Aにおいては、リフレクタ20内の銀めっき層14が、粘土膜50によって被覆されている。すなわち、リフレクタ20内では、図3に示すように、基板厚さ方向の下から順に、銅めっき板12、銀めっき層14、粘土膜50が順次積層された積層構造となっている。   In the optical semiconductor device 1 </ b> A according to the present embodiment, the silver plating layer 14 in the reflector 20 is covered with the clay film 50. That is, as shown in FIG. 3, the reflector 20 has a laminated structure in which the copper plating plate 12, the silver plating layer 14, and the clay film 50 are sequentially laminated from the bottom in the substrate thickness direction.

粘土膜50は、下層の銀めっき層14を被覆することにより銀めっき層14の硫化を抑制するものである。粘土膜50を構成する粘土としては、天然粘土及び合成粘土のいずれも使用することができ、スチーブンサイト、ヘクトサイト、サポナイト、モンモリロナイト及びバイデライトのうち何れか1種以上を使用することができる。   The clay film 50 suppresses the sulfidation of the silver plating layer 14 by covering the lower silver plating layer 14. As the clay constituting the clay film 50, any of natural clay and synthetic clay can be used, and any one or more of stevensite, hectorite, saponite, montmorillonite and beidellite can be used.

図4および図5は、天然粘土のモンモリロナイトで構成された粘土膜50を示しており、これらの図からわかるとおり、鱗片状の粘土素片(ナノフィラー)が、不規則に数十層ほど重なり合い、粘土膜50には迷路のようなガスのパスルートが形成されている。   4 and 5 show a clay film 50 composed of natural clay montmorillonite. As can be seen from these figures, scaly clay pieces (nanofillers) are randomly overlapped by several tens of layers. A gas path route like a maze is formed in the clay film 50.

つまり、銀めっき層14を覆う粘土膜50が、銀めっき層14までのパスルートを延長することで、硫化水素ガス等のガスが銀めっき層14に到達するのを効果的に阻んでおり、そのために銀めっき層14の硫化が有意に抑制されている。特に、モンモリロナイトは、その粘土素片の厚さHが1nm以下、長さLが10nm以上400nm以下とアスペクト比が高く、ガスのパスルートが長くなるため、粘土膜50に用いることで高いガスバリア性を実現することができる。   That is, the clay film 50 covering the silver plating layer 14 extends the path route to the silver plating layer 14, thereby effectively preventing gas such as hydrogen sulfide gas from reaching the silver plating layer 14. Further, sulfidation of the silver plating layer 14 is significantly suppressed. In particular, montmorillonite has a high gas barrier property when used for the clay film 50 because the thickness H of the clay piece is 1 nm or less, the length L is 10 nm to 400 nm and the aspect ratio is high and the gas path route is long. Can be realized.

粘土膜50の膜厚dは、0.01μm以上500μm以下の厚さ範囲をなっている。ここで、膜厚dが0.01μm以上である場合には、銀めっき層の硫化を抑制でき、銀めっき層の黒色化が抑制される。膜厚dが500μm以下である場合にも、粘土膜を形成する工程(より詳しくは、後述の粘土希釈液を乾燥させる工程)において、粘土膜に亀裂が生じる事態が回避され、銀めっき層の硫化が抑制される。なお、亀裂が生じた場合には、ガスが上記のパスルートを通らずに、亀裂から直接的に銀めっき層に到達してしまうため、粘土膜の亀裂が生じた部分では硫化抑制の効果が著しく低下してしまう。   The thickness d of the clay film 50 is in the range of 0.01 μm to 500 μm. Here, when the film thickness d is 0.01 μm or more, sulfidation of the silver plating layer can be suppressed, and blackening of the silver plating layer is suppressed. Even when the film thickness d is 500 μm or less, in the step of forming the clay film (more specifically, the step of drying a clay diluted solution described later), a situation in which a crack occurs in the clay film is avoided. Sulfurization is suppressed. When cracks occur, the gas reaches the silver plating layer directly from the cracks without passing through the above-mentioned path route, so that the effect of suppressing sulfidation is remarkable at the cracked part of the clay film. It will decline.

したがって、粘土膜50の膜厚dは、0.01μm以上500μm以下の厚さ範囲に設計することで、銀めっき層14に対し、実用上十分に高いガスバリア性を実現することができる。また、銀めっき層14に対するガスバリア性と粘土膜50の透明性とを両立させることができる。   Therefore, by designing the film thickness d of the clay film 50 in a thickness range of 0.01 μm or more and 500 μm or less, it is possible to achieve a practically sufficiently high gas barrier property for the silver plating layer 14. Moreover, the gas barrier property with respect to the silver plating layer 14 and the transparency of the clay film 50 can be made compatible.

以上で説明したように、光半導体装置1Aにおいては、銀めっき層14が粘土膜50で被覆されており、かつ、その粘土膜50の厚さが、0.01μm以上500μm以下の範囲であるため、銀めっき層14が黒色化することによる光半導体装置1Aの照度低下が抑制される。   As described above, in the optical semiconductor device 1A, the silver plating layer 14 is covered with the clay film 50, and the thickness of the clay film 50 is in the range of 0.01 μm to 500 μm. The illuminance reduction of the optical semiconductor device 1A due to the blackening of the silver plating layer 14 is suppressed.

次に、第1の実施形態に係る光半導体装置1Aの製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the optical semiconductor device 1A according to the first embodiment will be described.

図6は、第1の実施形態に係る光半導体装置1Aの製造方法を示したフローチャートである。図6に示すように、光半導体装置1Aの製造方法では、まず、基板準備工程として、表面に銅めっき板12が配線された絶縁性の基板10を準備するとともに(ステップS101)、銅めっき板12の表面に銀めっき層14を形成し、銅めっき板12を介して銀めっき層14が形成された基板10を形成する(ステップS102)。   FIG. 6 is a flowchart showing a method for manufacturing the optical semiconductor device 1A according to the first embodiment. As shown in FIG. 6, in the manufacturing method of the optical semiconductor device 1A, first, as a substrate preparation step, an insulating substrate 10 having a copper plated plate 12 wired on the surface is prepared (step S101), and a copper plated plate is prepared. The silver plating layer 14 is formed on the surface of 12, and the board | substrate 10 with which the silver plating layer 14 was formed through the copper plating board 12 is formed (step S102).

次に、リフレクタ配置工程として、青色LED30が搭載されるべき領域を取り囲むように、基板10上にリフレクタ20を形成する(ステップS103)。そして、銀めっき層被覆工程として、リフレクタ20内の銀めっき層14を粘土膜50で被覆する(ステップS104)。   Next, as a reflector arranging step, the reflector 20 is formed on the substrate 10 so as to surround the region where the blue LED 30 is to be mounted (step S103). And as a silver plating layer coating process, the silver plating layer 14 in the reflector 20 is coat | covered with the clay film 50 (step S104).

銀めっき層被覆工程は、より詳しくは、粘土希釈液を塗布する工程と、その粘土希釈液を乾燥させる工程とで構成されている。   More specifically, the silver plating layer coating step is composed of a step of applying a clay diluent and a step of drying the clay diluent.

粘土希釈液を塗布する工程では、リフレクタ20内の銀めっき層14に粘土希釈液を塗布して、銀めっき層14を粘土希釈液で覆う。粘土希釈液は、粘土を溶媒で希釈した液体である。水系溶媒としては、特に制限されるものではないが、例えば水、エタノール、メタノール、イソプロピルアルコール(以下「IPA」と記載する。)、ジオキサン等の液体を単独または複数を混合して採用することができる。   In the step of applying the clay diluent, the clay diluent is applied to the silver plating layer 14 in the reflector 20, and the silver plating layer 14 is covered with the clay diluent. The clay diluent is a liquid obtained by diluting clay with a solvent. Although it does not restrict | limit especially as an aqueous solvent, For example, liquids, such as water, ethanol, methanol, isopropyl alcohol (henceforth "IPA"), a dioxane, can be employ | adopted individually or in mixture of multiple. it can.

粘土希釈液の塗布は、例えば、基板10の表面側から、粘土希釈液をリフレクタ20の内側空間に滴下又は散布することによりおこなってもよい。このとき、少なくとも銀めっき層14の全てが粘土希釈液で覆われるように、粘土希釈液の滴下量又は散布量を調節する。   The clay dilution liquid may be applied by, for example, dropping or spraying the clay dilution liquid onto the inner space of the reflector 20 from the surface side of the substrate 10. At this time, the dripping amount or the spraying amount of the clay diluent is adjusted so that at least the entire silver plating layer 14 is covered with the clay diluent.

粘土希釈液を乾燥させる工程では、銀めっき層14に塗布した粘土希釈液を乾燥させて粘土膜50を形成する。このとき、粘土膜50の膜厚dを調整し、0.01μm以上500μm以下の厚さ範囲とする。粘土膜50の厚さ調整は、たとえば、粘土希釈液の濃度を変えたり、粘土希釈液の塗布量を増減したりすることで、おこなうことができる。   In the step of drying the clay diluted solution, the clay diluted solution applied to the silver plating layer 14 is dried to form the clay film 50. At this time, the film thickness d of the clay film 50 is adjusted to a thickness range of 0.01 μm to 500 μm. The thickness of the clay film 50 can be adjusted, for example, by changing the concentration of the clay diluent or increasing / decreasing the amount of the clay diluent applied.

粘土膜50の膜厚dは、0.01μm以上500μm以下であることが好ましく、0.03μm以上500μm以下であることが好ましく、0.05μm以上100μm以下であることが更に好ましく、0.05μm以上10μm以下、0.05μm以上1μm以下であることが更に好ましい。   The film thickness d of the clay film 50 is preferably 0.01 μm or more and 500 μm or less, preferably 0.03 μm or more and 500 μm or less, more preferably 0.05 μm or more and 100 μm or less, and 0.05 μm or more. More preferably, it is 10 μm or less, 0.05 μm or more and 1 μm or less.

粘土膜50の膜厚dを0.01μm以上500μm以下とすることで、銀めっき層14に対するガスバリア性と粘土膜50の透明性とを両立させることができる。この場合、粘土膜50の膜厚dを0.03μm以上500μm以下、0.05μm以上100μm以下、0.05μm以上10μm以下、0.05μm以上1μm以下にすることで、この効果を更に向上させることができる。   By setting the film thickness d of the clay film 50 to 0.01 μm or more and 500 μm or less, the gas barrier property with respect to the silver plating layer 14 and the transparency of the clay film 50 can both be achieved. In this case, this effect can be further improved by setting the film thickness d of the clay film 50 to 0.03 to 500 μm, 0.05 to 100 μm, 0.05 to 10 μm, 0.05 to 1 μm. Can do.

その結果、図7に示すようなリフレクタ成型体60が形成される。このリフレクタ成型体60は、銀めっき層14が形成された基板10上にリフレクタ20が配置されたものであり、リフレクタ20から露出する基板10上の全面に、粘土膜50が形成されている。すなわち、リフレクタ20内における、銀めっき層14の全表面領域および絶縁部16の全域が、粘土膜50で覆われている。   As a result, a reflector molded body 60 as shown in FIG. 7 is formed. In this reflector molded body 60, the reflector 20 is disposed on the substrate 10 on which the silver plating layer 14 is formed, and the clay film 50 is formed on the entire surface of the substrate 10 exposed from the reflector 20. That is, the entire surface region of the silver plating layer 14 and the entire region of the insulating portion 16 in the reflector 20 are covered with the clay film 50.

図6に戻って、銀めっき層被覆工程(ステップS104)の後、発光ダイオード搭載工程として、リフレクタ20内の銀めっき層14上に、青色LED30をボンディングにより配置する(ステップS105)。   Returning to FIG. 6, after the silver plating layer covering step (step S104), as a light emitting diode mounting step, the blue LED 30 is disposed on the silver plating layer 14 in the reflector 20 by bonding (step S105).

発光ダイオード搭載工程では、リフレクタ20で囲まれた内側空間において、カソードE2側の銀めっき層14に、青色LED30をダイボンディングすることによりおこなう。これにより、青色LED30がダイボンド材32を介してカソードE2側の銀めっき層14と導通されるとともに、青色LED30がリフレクタ20に取り囲まれて内側空間に収容された状態となる。   In the light emitting diode mounting step, the blue LED 30 is die-bonded to the silver plating layer 14 on the cathode E2 side in the inner space surrounded by the reflector 20. Accordingly, the blue LED 30 is electrically connected to the silver plating layer 14 on the cathode E2 side through the die bonding material 32, and the blue LED 30 is surrounded by the reflector 20 and accommodated in the inner space.

次に、発光ダイオード接続工程として、青色LED30と銀めっき層14とをワイヤボンディングして電気的に接続する(ステップS106)。   Next, as a light emitting diode connection step, the blue LED 30 and the silver plating layer 14 are electrically connected by wire bonding (step S106).

発光ダイオード接続工程では、青色LED30とアノードE1側の銀めっき層14とをワイヤボンディングする。このとき、銀めっき層14を覆う粘土膜50を突き破るようにワイヤ34の端部34aを銀めっき層14にボンディングすることで、青色LED30と銀めっき層14との導通が図られる。発明者らがおこなった実験によれば、図8に示す顕微鏡写真のとおり、ワイヤ端部34aが粘土膜50を突き破って銀めっき層14まで到達することが観察されており、かつ、青色LED30と銀めっき層14との導通が確認されている。   In the light emitting diode connection step, the blue LED 30 and the silver plating layer 14 on the anode E1 side are wire-bonded. At this time, electrical connection between the blue LED 30 and the silver plating layer 14 is achieved by bonding the end 34 a of the wire 34 to the silver plating layer 14 so as to break through the clay film 50 covering the silver plating layer 14. According to experiments conducted by the inventors, it has been observed that the wire end 34a penetrates the clay film 50 and reaches the silver plating layer 14 as shown in the micrograph shown in FIG. Conductivity with the silver plating layer 14 is confirmed.

なお、ワイヤ34による粘土膜50の突き破りは、例えば、粘土膜50の層厚を調節することや、ワイヤボンディングをおこなうボンディングヘッドの荷重を調節すること、このボンディングヘッドを振動させること等によりおこなわれる。   Note that the breakage of the clay film 50 by the wire 34 is performed, for example, by adjusting the layer thickness of the clay film 50, adjusting the load of the bonding head that performs wire bonding, or vibrating the bonding head. .

再度図6に戻って、発光ダイオード接続工程(ステップS106)の後、発光ダイオード封止工程として、リフレクタ20の内周面20aにより形成される内側空間に、透明封止樹脂40を充填して、青色LED30が透明封止樹脂40によって封止される(ステップS107)。   Returning to FIG. 6 again, after the light emitting diode connection step (step S106), as the light emitting diode sealing step, the inner space formed by the inner peripheral surface 20a of the reflector 20 is filled with the transparent sealing resin 40, The blue LED 30 is sealed with the transparent sealing resin 40 (step S107).

以上で説明した製造方法により、図1および図2に示した光半導体装置1Aが作製される。   The optical semiconductor device 1A shown in FIGS. 1 and 2 is manufactured by the manufacturing method described above.

上述した第1の実施形態においては、粘土膜50となるべき粘土希釈液をリフレクタ20内に滴下等して、銀めっき層14の全面を覆う粘土膜50を容易に形成することができ、製造工程の簡便化が図られている。その上、基板10とリフレクタ20との間に粘土膜50が介在していないため、基板10とリフレクタ20との間の高い接着性が実現されている。
[第2の実施形態]
In the first embodiment described above, the clay film 50 that covers the entire surface of the silver plating layer 14 can be easily formed by, for example, dropping a clay diluted solution to be the clay film 50 into the reflector 20. Simplification of the process is achieved. In addition, since the clay film 50 is not interposed between the substrate 10 and the reflector 20, high adhesion between the substrate 10 and the reflector 20 is realized.
[Second Embodiment]

次に、第2の実施形態に係る光半導体装置1Bについて、図9、10を参照しつつ説明する。第2の実施形態に係る光半導体装置1Bは、上述した第1の実施形態に係る光半導体装置1Aと、粘土膜の形態のみが異なり、その他の構成は同様である。   Next, an optical semiconductor device 1B according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. The optical semiconductor device 1B according to the second embodiment is different from the above-described optical semiconductor device 1A according to the first embodiment only in the form of the clay film, and the other configurations are the same.

すなわち、図9に示すように、第2の実施形態に係る光半導体装置1Bにおいては、粘土膜50は、リフレクタ20内の銀めっき層14上だけでなく、基板10上の銀めっき層14の全面に亘って形成されている。   That is, as shown in FIG. 9, in the optical semiconductor device 1 </ b> B according to the second embodiment, the clay film 50 is formed not only on the silver plating layer 14 in the reflector 20 but also on the silver plating layer 14 on the substrate 10. It is formed over the entire surface.

以下、第2の実施形態に係る光半導体装置1Bの製造方法について説明する。なお、第2の実施形態に係る光半導体装置1Bの製造方法と相違する部分のみを説明し、同一又は同様の部分の説明を省略する。   A method for manufacturing the optical semiconductor device 1B according to the second embodiment will be described below. Only parts different from the method of manufacturing the optical semiconductor device 1B according to the second embodiment will be described, and description of the same or similar parts will be omitted.

図10は、第2の実施形態における光半導体装置1Bの製造方法を示したフローチャートである。   FIG. 10 is a flowchart showing a method for manufacturing the optical semiconductor device 1B according to the second embodiment.

図10に示すように、光半導体装置1Bの製造方法では、まず、第1の実施形態の基板準備工程と同様に、基板準備工程(ステップS201、S202)をおこなう。   As shown in FIG. 10, in the method of manufacturing the optical semiconductor device 1B, first, the substrate preparation process (steps S201 and S202) is performed in the same manner as the substrate preparation process of the first embodiment.

次に、銀めっき層被覆工程として、基板10上に形成された銀めっき層14の全面を粘土膜50で被覆する(ステップS203)   Next, as a silver plating layer coating step, the entire surface of the silver plating layer 14 formed on the substrate 10 is covered with the clay film 50 (step S203).

その結果、図11に示すような基体70が形成される。この基体70では、基板10の上面が全体的に粘土膜50で被覆されている。すなわち、銀めっき層14の全表面領域および絶縁部16の全域が、粘土膜50で覆われている。   As a result, a base body 70 as shown in FIG. 11 is formed. In the substrate 70, the upper surface of the substrate 10 is entirely covered with the clay film 50. That is, the entire surface region of the silver plating layer 14 and the entire region of the insulating portion 16 are covered with the clay film 50.

続いて、リフレクタ形成工程(ステップS204)、発光ダイオード搭載工程(ステップS205)、発光ダイオード接続工程(ステップS206)、発光ダイオード封止工程(ステップS207)をこの順序で行う。なお、第2の実施形態におけるリフレクタ形成工程(ステップS204)、発光ダイオード搭載工程(ステップS205)、発光ダイオード接続工程(ステップS206)および発光ダイオード封止工程(ステップS207)は、第1の実施形態におけるリフレクタ形成工程(ステップS103)、発光ダイオード搭載工程(ステップS105)、発光ダイオード接続工程(ステップS106)および発光ダイオード封止工程(ステップS107)と同様である。   Subsequently, the reflector forming step (step S204), the light emitting diode mounting step (step S205), the light emitting diode connecting step (step S206), and the light emitting diode sealing step (step S207) are performed in this order. The reflector forming process (step S204), the light emitting diode mounting process (step S205), the light emitting diode connecting process (step S206), and the light emitting diode sealing process (step S207) in the second embodiment are the same as those in the first embodiment. This is the same as the reflector forming step (step S103), the light emitting diode mounting step (step S105), the light emitting diode connecting step (step S106), and the light emitting diode sealing step (step S107).

以上で説明した第2の実施形態の光半導体装置1Bにおいても、第1の実施形態の光半導体装置1A同様、銀めっき層14が粘土膜50で被覆されており、かつ、その粘土膜50の厚さが、0.01μm以上500μm以下の範囲であるため、銀めっき層14が黒色化することによる光半導体装置1Bの照度低下が抑制される。   Also in the optical semiconductor device 1B of the second embodiment described above, the silver plating layer 14 is covered with the clay film 50 as in the optical semiconductor device 1A of the first embodiment. Since the thickness is in the range of 0.01 μm or more and 500 μm or less, a decrease in illuminance of the optical semiconductor device 1B due to blackening of the silver plating layer 14 is suppressed.

上述した第2の実施形態においては、粘土膜50となるべき粘土希釈液を基板10の全面に塗布するため、塗布の際にリフレクタに対する位置合わせをする必要がなく、製造工程の簡便化が図られている。また、リフレクタ成型用樹脂の溶融過程での金型からのはみ出しのため、リフレクタ20のリフレクタ−銀界面部分にはバリが生じるが、本実施形態ではそのバリの低減が図れる。
[第3の実施形態]
In the second embodiment described above, since the clay dilution liquid to be the clay film 50 is applied to the entire surface of the substrate 10, it is not necessary to align the reflector with respect to the application, thereby simplifying the manufacturing process. It has been. Further, burrs are generated at the reflector-silver interface portion of the reflector 20 due to the protrusion from the mold during the melting process of the reflector molding resin, but in this embodiment, the burrs can be reduced.
[Third Embodiment]

次に、第3の実施形態に係る光半導体装置1Cについて、図12−14を参照しつつ説明する。第3の実施形態に係る光半導体装置1Cは、上述した第1の実施形態に係る光半導体装置1Aと、基板および粘土膜の形態のみが異なり、その他の構成は同様である。   Next, an optical semiconductor device 1C according to the third embodiment will be described with reference to FIGS. The optical semiconductor device 1C according to the third embodiment is different from the above-described optical semiconductor device 1A according to the first embodiment only in the form of the substrate and the clay film, and the other configurations are the same.

すなわち、図12に示すように、第3の実施形態に係る光半導体装置1Cにおいては、銅めっき板が配線された基板10の代わりに、リードフレーム等の導電性を有する基板13が用いられる。アノードE1側の銀めっき層14と、カソードE2側の銀めっき層14との絶縁を図るために、基板13を厚さ方向に貫く絶縁部17が設けられている。なお、第1の実施形態および第2の実施形態においても、適宜、銅めっき板が配線された基板10を基板13に変更してもよい。   That is, as shown in FIG. 12, in the optical semiconductor device 1C according to the third embodiment, a conductive substrate 13 such as a lead frame is used instead of the substrate 10 on which the copper plating plate is wired. In order to insulate the silver plating layer 14 on the anode E1 side and the silver plating layer 14 on the cathode E2 side, an insulating portion 17 penetrating the substrate 13 in the thickness direction is provided. In the first embodiment and the second embodiment, the substrate 10 on which the copper plating plate is wired may be changed to the substrate 13 as appropriate.

また、第3の実施形態に係る光半導体装置1Cの粘土膜50は、リフレクタ20内の銀めっき層14と、銀めっき層14上に搭載された青色LED30とを一体的に覆うように形成されている。   In addition, the clay film 50 of the optical semiconductor device 1C according to the third embodiment is formed so as to integrally cover the silver plating layer 14 in the reflector 20 and the blue LED 30 mounted on the silver plating layer 14. ing.

以下、第3の実施形態に係る光半導体装置1Cの製造方法について説明する。なお、第3の実施形態に係る光半導体装置1Cの製造方法と相違する部分のみを説明し、同一又は同様の部分の説明を省略する。   A method for manufacturing the optical semiconductor device 1C according to the third embodiment will be described below. Only parts different from the method of manufacturing the optical semiconductor device 1C according to the third embodiment will be described, and description of the same or similar parts will be omitted.

図14は、第3の実施形態における光半導体装置1Cの製造方法を示したフローチャートである。   FIG. 14 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the optical semiconductor device 1C according to the third embodiment.

図14に示すように、光半導体装置1Cの製造方法では、まず、基板準備工程として、導電性の基板13を準備するとともに(ステップS301)、基板13の表面に銀めっき層14を形成し、銀めっき層14が形成された基板13を形成する(ステップS302)。   As shown in FIG. 14, in the manufacturing method of the optical semiconductor device 1C, first, as a substrate preparation step, the conductive substrate 13 is prepared (step S301), and the silver plating layer 14 is formed on the surface of the substrate 13, The substrate 13 on which the silver plating layer 14 is formed is formed (step S302).

続いて、リフレクタ形成工程(ステップS303)および発光ダイオード搭載工程(ステップS304)をこの順序で行う。なお、第3の実施形態におけるリフレクタ形成工程(ステップS303)および発光ダイオード搭載工程(ステップS304)は、第1の実施形態におけるリフレクタ形成工程(ステップS103)、発光ダイオード搭載工程(ステップS105)と同様である。   Subsequently, the reflector forming step (step S303) and the light emitting diode mounting step (step S304) are performed in this order. The reflector forming process (step S303) and the light emitting diode mounting process (step S304) in the third embodiment are the same as the reflector forming process (step S103) and the light emitting diode mounting process (step S105) in the first embodiment. It is.

次に、銀めっき層被覆工程として、図15に示すように、リフレクタ20内の銀めっき層14と、銀めっき層14上に搭載された青色LED30とを一体的に粘土膜50で被覆する(ステップS305)。   Next, as a silver plating layer coating process, as shown in FIG. 15, the silver plating layer 14 in the reflector 20 and the blue LED 30 mounted on the silver plating layer 14 are integrally covered with a clay film 50 ( Step S305).

さらに、発光ダイオード接続工程(ステップS306)および発光ダイオード封止工程(ステップS307)をこの順序で行う。なお、第3の実施形態における発光ダイオード接続工程(ステップS306)および発光ダイオード封止工程(ステップS307)は、第1の実施形態における発光ダイオード接続工程(ステップS106)および発光ダイオード封止工程(ステップS107)と同様である。   Further, the light emitting diode connecting step (step S306) and the light emitting diode sealing step (step S307) are performed in this order. The light emitting diode connecting step (step S306) and the light emitting diode sealing step (step S307) in the third embodiment are the light emitting diode connecting step (step S106) and the light emitting diode sealing step (step in step S307) in the first embodiment. This is the same as S107).

なお、第3の実施形態の発光ダイオード接続工程では、青色LED30とアノードE1側の銀メッキ層14とをワイヤボンディングする際、青色LED30及び銀メッキ層14に被覆されている粘土膜50を突き破るように、ワイヤ34の両端34a、34bを青色LED30と銀メッキ層14とにボンディングする。それにより、青色LED30と銀メッキ層14との導通が図られる。   In the light emitting diode connection process of the third embodiment, when the blue LED 30 and the silver plating layer 14 on the anode E1 side are wire-bonded, the clay film 50 covered with the blue LED 30 and the silver plating layer 14 is broken through. Further, both ends 34 a and 34 b of the wire 34 are bonded to the blue LED 30 and the silver plating layer 14. Thereby, conduction between the blue LED 30 and the silver plating layer 14 is achieved.

以上で説明した第3の実施形態の光半導体装置1Cにおいても、第1の実施形態の光半導体装置1Aや第2の実施形態の光半導体装置1B同様、銀めっき層14が粘土膜50で被覆されており、かつ、その粘土膜50の厚さが、0.01μm以上500μm以下の範囲であるため、銀めっき層14が黒色化することによる光半導体装置1Cの照度低下が抑制される。   Also in the optical semiconductor device 1C of the third embodiment described above, the silver plating layer 14 is covered with the clay film 50 as in the optical semiconductor device 1A of the first embodiment and the optical semiconductor device 1B of the second embodiment. Moreover, since the thickness of the clay film 50 is in the range of 0.01 μm or more and 500 μm or less, a decrease in illuminance of the optical semiconductor device 1C due to the blackening of the silver plating layer 14 is suppressed.

上述した第3の実施形態においては、粘土膜50により、リフレクタ20内の要素全てを一体的に覆うため、粘土膜50が、効果的に銀めっき層14の硫化を抑制する。また、本実施形態においては、リフレクタ、銀、LED表面に粘土膜が接する構成が可能であるため、蛍光体42との一体化が可能であり、従来は、透明封止樹脂に混合していた蛍光体の量を減らせる、無くせる、または、蛍光体を局在化させ、濃度を濃くすることができるという利点がある。   In the third embodiment described above, since all the elements in the reflector 20 are integrally covered with the clay film 50, the clay film 50 effectively suppresses the sulfidation of the silver plating layer 14. Moreover, in this embodiment, since the structure which a clay film touches a reflector, silver, and LED surface is possible, integration with the fluorescent substance 42 is possible, and it was mixing with transparent sealing resin conventionally. There is an advantage that the amount of the phosphor can be reduced or eliminated, or the phosphor can be localized and the concentration can be increased.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment.

たとえば、光半導体装置1A、1B、1Cにボンディングする発光ダイオードとして、青色の光を発生する青色LED30を採用するものとして説明したが、青色以外の光を発生する発光ダイオードを採用するものとしてもよい。   For example, the blue LED 30 that generates blue light has been described as the light emitting diode that is bonded to the optical semiconductor devices 1A, 1B, and 1C. However, a light emitting diode that generates light other than blue may be used. .

以下、銀めっき層を覆う粘土膜の膜厚と銀めっきの硫化防止との関係を明らかにするために、発明者らがおこなった実施例について説明する。   Hereinafter, in order to clarify the relationship between the film thickness of the clay film covering the silver plating layer and the prevention of sulfidation of the silver plating, examples performed by the inventors will be described.

まず、基板としてLEDリードフレーム(株式会社エノモト製 OP4)を準備し、粘土膜の厚さが異なる4つの試料A〜Dを作製した。具体的には、上記LEDリードフレームに形成された銀めっき層上に、マイクロピペッターで粘土希釈液を3μl滴下し、恒温槽またはホットプレートで70°で5分以上乾燥させ、さらに150°で30分間乾燥させて、粘土膜の厚さが異なる4つの試料A(膜厚0.005μm)、試料B(膜厚0.01μm)、試料C(膜厚500μm)、試料D(膜厚2000μm)を得た。なお、粘土膜の厚さ調整は、各試料を作製する際の粘土希釈液の濃度を変えることによりおこなった。   First, an LED lead frame (OP4 manufactured by Enomoto Co., Ltd.) was prepared as a substrate, and four samples A to D having different clay film thicknesses were prepared. Specifically, 3 μl of clay diluted solution is dropped on a silver plating layer formed on the LED lead frame with a micropipette, dried at 70 ° for 5 minutes or more in a thermostatic bath or a hot plate, and further at 30 ° at 30 °. 4 samples A (film thickness 0.005 μm), sample B (film thickness 0.01 μm), sample C (film thickness 500 μm), and sample D (film thickness 2000 μm) with different clay film thicknesses after drying for a minute. Obtained. The thickness of the clay film was adjusted by changing the concentration of the clay dilution when each sample was prepared.

そして、各試料A〜Dを、図16に示した試験器80により硫化ガス雰囲気に晒した。具体的には、試料81を、密封可能なガラス瓶82内のステンレス製金網83上に上向きにして載置するとともに、その下方に、硫黄粉末84(約0.5g)が入れられたアルミカップ85を配置して、80°で4時間だけ硫化ガス雰囲気に晒した。   Then, each of the samples A to D was exposed to a sulfide gas atmosphere by the tester 80 shown in FIG. Specifically, the sample 81 is placed on a stainless steel wire mesh 83 in a sealable glass bottle 82 so as to face upward, and an aluminum cup 85 in which sulfur powder 84 (about 0.5 g) is placed below the sample 81. And exposed to sulfur gas atmosphere at 80 ° for 4 hours.

そして、銀めっき層の硫化(すなわち、黒色化)の有無を、目視により確認した。   And the presence or absence of sulfidation (namely, blackening) of a silver plating layer was confirmed visually.

その結果は、以下の表1に示すとおりであった。
The results were as shown in Table 1 below.

すなわち、試料B、Cでは、銀めっき層の硫化が確認されなかったのに対し、試料A、Dではいずれも銀めっき層が硫化されて黒色化していた。さらに、試料Dでは、図17に示すように、粘土膜に大きな亀裂(図の黒く見える部分)が確認された。   That is, in Samples B and C, no sulfidation of the silver plating layer was confirmed, whereas in Samples A and D, the silver plating layer was sulfided and blackened. Furthermore, in Sample D, as shown in FIG. 17, a large crack (a portion that looks black in the figure) was confirmed in the clay film.

粘土膜の膜厚0.005μmであった試料Aでは、粘土膜が薄すぎるために、ガスのパスルートの延長効果が十分に得られず、銀めっき層が硫化したものと考えられる。   In the sample A having a film thickness of 0.005 μm, the clay film is too thin, so that the effect of extending the gas path route is not sufficiently obtained, and the silver plating layer is considered to be sulfided.

また、粘土膜の膜厚2000μmであった試料Dでは、粘土膜は十分厚かったものの、厚すぎたために亀裂が生じ、その亀裂の部分からガスが浸入し、銀めっき層が硫化されたと考えられる。   In Sample D where the clay film thickness was 2000 μm, although the clay film was sufficiently thick, it was considered to have cracked because it was too thick, and gas invaded from the cracked part, and the silver plating layer was sulphurized. .

一方、粘土膜の膜厚が0.01μm以上500μm以下の範囲であった試料B、Cでは、その膜厚が適切な範囲であったために、銀めっき層の硫化が効果的に抑制されたものと考えられる。   On the other hand, in the samples B and C where the film thickness of the clay film was in the range of 0.01 μm or more and 500 μm or less, the film thickness was in an appropriate range, so that the sulfidation of the silver plating layer was effectively suppressed it is conceivable that.

すなわち、以上の結果から、銀めっき層を覆う粘土膜の厚さを0.01μm以上500μm以下の範囲にすることで、銀めっき層の硫化が実用上十分に抑えられることは明らかである。   That is, from the above results, it is clear that the sulfidation of the silver plating layer can be practically sufficiently suppressed by setting the thickness of the clay film covering the silver plating layer to a range of 0.01 μm to 500 μm.

1A、1B、1C…光半導体装置、10、13…基板、12…銅めっき板、14…銀めっき層、20…リフレクタ、30…青色LED(青色発光ダイオード)、32…ダイボンド材、34…ボンディングワイヤ、40…透明封止樹脂、42…蛍光体、50…粘土膜、60…リフレクタ成型体、70…基体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A, 1B, 1C ... Optical semiconductor device 10, 13 ... Board | substrate, 12 ... Copper plating board, 14 ... Silver plating layer, 20 ... Reflector, 30 ... Blue LED (blue light emitting diode), 32 ... Die-bonding material, 34 ... Bonding Wire: 40 ... Transparent sealing resin, 42 ... Phosphor, 50 ... Clay film, 60 ... Reflector molding, 70 ... Base.

Claims (7)

表面に銀めっき層が形成された基板と、
前記銀めっき層上にボンディングされた発光ダイオードと、
前記基板上であって、前記発光ダイオードを取り囲む位置に配置されるリフレクタと、
前記リフレクタ内に充填されて前記発光ダイオードを封止する透明封止部と、
前記銀めっき層を被覆する粘土膜と
を備え、
前記粘土膜の厚さが0.01μm以上500μm以下である、光半導体装置。
A substrate having a silver plating layer formed on the surface;
A light emitting diode bonded on the silver plating layer;
A reflector disposed on the substrate and surrounding the light emitting diode;
A transparent sealing portion that fills the reflector and seals the light emitting diode;
A clay film covering the silver plating layer,
An optical semiconductor device, wherein the clay film has a thickness of 0.01 μm or more and 500 μm or less.
表面に銀めっき層が形成された基板と、
前記銀めっき層上にボンディングされた発光ダイオードと、
前記基板上であって、前記発光ダイオードを取り囲む位置に配置されるリフレクタと、
前記リフレクタ内に充填されて前記発光ダイオードを封止する透明封止部と、
前記銀めっき層を被覆する粘土膜と
を備える光半導体装置の製造に用いられる、
表面に形成された前記銀めっき層が前記粘土膜で被覆された基体であって、
前記粘土膜の厚さが0.01μm以上500μm以下である、基体。
A substrate having a silver plating layer formed on the surface;
A light emitting diode bonded on the silver plating layer;
A reflector disposed on the substrate and surrounding the light emitting diode;
A transparent sealing portion that fills the reflector and seals the light emitting diode;
Used for the production of an optical semiconductor device comprising a clay film covering the silver plating layer,
The silver plating layer formed on the surface is a substrate coated with the clay film,
The base | substrate whose thickness of the said clay film is 0.01 micrometer or more and 500 micrometers or less.
表面に銀めっき層が形成された基板と、
前記銀めっき層上にボンディングされた発光ダイオードと、
前記基板上であって、前記発光ダイオードを取り囲む位置に配置されるリフレクタと、
前記リフレクタ内に充填されて前記発光ダイオードを封止する透明封止部と、
前記銀めっき層を被覆する粘土膜と
を備える光半導体装置の製造に用いられ、
表面に形成された前記銀めっき層が前記粘土膜で被覆された基板上に、前記リフレクタが配置されたリフレクタ成型体であって、
前記粘土膜の厚さが0.01μm以上500μm以下である、リフレクタ成型体。
A substrate having a silver plating layer formed on the surface;
A light emitting diode bonded on the silver plating layer;
A reflector disposed on the substrate and surrounding the light emitting diode;
A transparent sealing portion that fills the reflector and seals the light emitting diode;
Used for the production of an optical semiconductor device comprising a clay film covering the silver plating layer,
A reflector molded body in which the reflector is disposed on a substrate on which the silver plating layer formed on the surface is coated with the clay film,
A reflector molded body, wherein the clay film has a thickness of 0.01 μm or more and 500 μm or less.
表面に銀めっき層が形成された基板と、
前記銀めっき層上にボンディングされた発光ダイオードと、
前記基板上であって、前記発光ダイオードを取り囲む位置に配置されるリフレクタと、
前記リフレクタ内に充填されて前記発光ダイオードを封止する透明封止部と、
前記銀めっき層を被覆する粘土膜と
を備える光半導体装置の製造方法であって、
表面に銀めっき層が形成された基板を準備する基板準備工程と、
前記基板準備工程の後に、前記基板上に前記リフレクタを配置するリフレクタ配置工程と、
前記リフレクタ配置工程の後に、前記リフレクタ内の前記銀めっき層上に、前記発光ダイオードをボンディングにより配置する発光ダイオード搭載工程と、
前記発光ダイオード搭載工程の後に、前記発光ダイオードと前記銀めっき層とをワイヤボンディングして電気的に接続する発光ダイオード接続工程と、
前記発光ダイオード接続工程の後に、前記リフレクタ内に透明封止部を充填して前記発光ダイオードを封止する発光ダイオード封止工程と、
前記銀めっき層を粘土膜で被覆する銀めっき層被覆工程とを含み、
前記粘土膜の厚さが0.01μm以上500μm以下である、光半導体装置の製造方法。
A substrate having a silver plating layer formed on the surface;
A light emitting diode bonded on the silver plating layer;
A reflector disposed on the substrate and surrounding the light emitting diode;
A transparent sealing portion that fills the reflector and seals the light emitting diode;
A method for manufacturing an optical semiconductor device comprising a clay film covering the silver plating layer,
A substrate preparation step of preparing a substrate having a silver plating layer formed on the surface;
A reflector placement step of placing the reflector on the substrate after the substrate preparation step;
After the reflector placement step, a light emitting diode mounting step for placing the light emitting diode on the silver plating layer in the reflector by bonding;
After the light emitting diode mounting step, a light emitting diode connection step of electrically connecting the light emitting diode and the silver plating layer by wire bonding;
After the light emitting diode connection step, a light emitting diode sealing step of sealing the light emitting diode by filling the reflector with a transparent sealing portion;
A silver plating layer coating step of coating the silver plating layer with a clay film,
The manufacturing method of an optical semiconductor device whose thickness of the said clay film is 0.01 micrometer or more and 500 micrometers or less.
前記銀めっき層被覆工程が、前記リフレクタ配置工程より前におこなわれる、請求項4に記載の光半導体装置の製造方法。   The method for manufacturing an optical semiconductor device according to claim 4, wherein the silver plating layer covering step is performed before the reflector arranging step. 前記銀めっき層被覆工程が、前記リフレクタ配置工程の後、かつ、前記発光ダイオード搭載工程の前におこなわれる、請求項4に記載の光半導体装置の製造方法。   The method for manufacturing an optical semiconductor device according to claim 4, wherein the silver plating layer covering step is performed after the reflector arranging step and before the light emitting diode mounting step. 前記銀めっき層被覆工程が、前記発光ダイオード接続工程の後、かつ、前記発光ダイオード封止工程の前におこなわれる、請求項4に記載の光半導体装置の製造方法。   The method for manufacturing an optical semiconductor device according to claim 4, wherein the silver plating layer covering step is performed after the light emitting diode connecting step and before the light emitting diode sealing step.
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JP2010239043A (en) * 2009-03-31 2010-10-21 Citizen Holdings Co Ltd Led light source and method of manufacturing led light source
JP5590439B2 (en) * 2010-02-03 2014-09-17 独立行政法人産業技術総合研究所 Coating liquid for transparent high gas barrier film, coating film obtained using the same, and laminated film
JP2011228589A (en) * 2010-04-22 2011-11-10 Panasonic Corp Component for optical semiconductor device and method of manufacturing the same
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