JP6177334B2 - Method for operating an air mass flow meter - Google Patents

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Description

本発明は、空気質量流量計を動作させるための方法に関する。   The present invention relates to a method for operating an air mass flow meter.

空気質量流量計ないしはエアフローメータは、例えば自動車において内燃機関により吸入される空気質量を測定するために用いられる。吸入空気質量に関してできる限り信頼性のある情報に基づくことで、内燃機関の電子制御装置により、その空気質量に厳密に整合された燃料量が個々の燃焼室へ供給されるようにして、燃焼を最適化することができる。このような最適化の結果、有害物質の排出を低減させながらエネルギーの利用効率を高めることができる。   An air mass flow meter or an air flow meter is used, for example, in an automobile to measure the mass of air taken in by an internal combustion engine. Based on as reliable information as possible about the intake air mass, the electronic control unit of the internal combustion engine ensures that the quantity of fuel closely matched to that air mass is supplied to the individual combustion chambers and combustion is performed. Can be optimized. As a result of such optimization, energy use efficiency can be increased while reducing the discharge of harmful substances.

DE 44 07 209 A1によれば、空気質量を測定するために吸気管中に挿入された空気質量流量計が公知であり、この場合、流れ全体のうち規定の割合がエアフローセンサを貫流する。この目的で上述の空気質量流量計は、プラグイン・ダクト型空気質量流量計として構成されている。この空気質量流量計は、測定ダクト内に配置されたセンサ素子と、ケーシング内に配置されセンサ素子の測定値を評価及び/又は検出する電子装置と、センサ素子の他方の側に配置された排気ダクトを備えている。スペースを節約するために、上述のダクト即ち空気案内経路は、U字型、S字型又はC字型に形成されており、そのようにしてプラグイン部材として構成された全体としてコンパクトな装置が形成される。   According to DE 44 07 209 A1, an air mass flow meter is known which is inserted into an intake pipe for measuring air mass, in which case a defined proportion of the total flow flows through the air flow sensor. For this purpose, the air mass flow meter described above is configured as a plug-in duct type air mass flow meter. The air mass flow meter includes a sensor element disposed in a measurement duct, an electronic device disposed in a casing for evaluating and / or detecting a measured value of the sensor element, and an exhaust disposed on the other side of the sensor element. It has a duct. In order to save space, the duct or air guide path described above is formed in a U-shape, S-shape or C-shape, thus providing an overall compact device configured as a plug-in member. It is formed.

WO 03/089884 A1の開示内容に従って構成された空気質量流量計は、ホットフィルム型のアネモメータとして形成されており、基本的にこの空気質量流量計の有効性は実証されている。   An air mass flow meter constructed in accordance with the disclosure of WO 03/089884 A1 is formed as a hot film anemometer, and basically the effectiveness of this air mass flow meter has been demonstrated.

微小電気機械システム(MEMS)として構成された複数のセンサ素子をベースに動作する最近の空気質量流量計の開発において明らかにされたのは、それらのセンサ素子の測定結果に対し、特に汚れによって悪影響が及ぼされることである。例えば空気質量流中の油滴などによって生じる可能性のある汚れにより、時間の経過とともにセンサ素子において信号ドリフトが発生し、このドリフトによって空気質量流の測定値に誤りが引き起こされる可能性がある。   The recent development of air mass flowmeters that operate on the basis of multiple sensor elements configured as microelectromechanical systems (MEMS) has revealed that the measurement results of these sensor elements are particularly adversely affected by contamination. Is to be exerted. For example, contamination that can be caused by oil droplets in the air mass flow can cause signal drift in the sensor element over time, which can cause errors in the measured air mass flow.

しかしながら、微小電気機械システムとして構成されたセンサ素子は数多くの利点を有しており、それらの利点を手放すべきではない。したがって本発明の課題は、センサ素子の汚れに起因する測定結果の誤りを排除することにあり、或いはそのような誤りを少なくとも狭い範囲に抑えることにある。   However, sensor elements configured as microelectromechanical systems have a number of advantages, and these advantages should not be let go. Accordingly, an object of the present invention is to eliminate errors in measurement results due to contamination of sensor elements, or to suppress such errors to at least a narrow range.

この課題は、独立請求項に記載された特徴によって解決される。従属請求項には有利な実施形態が記載されている。   This problem is solved by the features described in the independent claims. Advantageous embodiments are described in the dependent claims.

本発明によれば上記の課題を解決するため、以下のステップが実施される:
A:空気質量流量計の第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値を求めるステップ。
B:空気質量流量計の第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値を、電子的な記憶装置に格納するステップ。
C:内燃機関を作動させて、この内燃機関に供給される空気質量流を、空気質量流量計により測定するステップ。
D:内燃機関作動後の、空気質量流量計の第2の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値を求めるステップ。
E:第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値を、第2の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値と比較するステップ。
F:第1の測定値と第2の測定値との間で偏差が検出されたならば、センサ素子の特性曲線のオフセットを補正するステップ。
According to the present invention, the following steps are implemented to solve the above problems:
A: obtaining a first measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element of the air mass flow meter.
B: storing a first measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element of the air mass flow meter in an electronic storage device.
C: A step of operating an internal combustion engine and measuring an air mass flow supplied to the internal combustion engine with an air mass flow meter.
D: A step of obtaining a second measured value related to the absolute temperature of the second thermoelectric element of the air mass flow meter after the operation of the internal combustion engine.
E: comparing the first measured value for the absolute temperature of the second thermoelectric element with the second measured value for the absolute temperature of the second thermoelectric element.
F: A step of correcting the offset of the characteristic curve of the sensor element if a deviation is detected between the first measurement value and the second measurement value.

内燃機関作動後、空気質量流量計における第2の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値を求め、第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値を、第2の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値と比較することにより、内燃機関動作中に発生する信号ドリフトを検出し、補正することができる。このようにすることで、長期にわたり高精度に動作するセンサ素子が実現され、ひいては空気質量流に関して信頼性のある測定結果が得られるようになる。   After the operation of the internal combustion engine, a second measured value related to the absolute temperature of the second thermoelectric element in the air mass flow meter is obtained, and the first measured value related to the absolute temperature of the second thermoelectric element is calculated as the absolute value of the second thermoelectric element. By comparing with the second measured value for temperature, signal drift occurring during operation of the internal combustion engine can be detected and corrected. In this way, a sensor element that operates with high accuracy over a long period of time is realized, and as a result, a reliable measurement result can be obtained with respect to the air mass flow.

本発明による方法の1つの実施形態によれば、ステップAにおいて、第1の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値が付加的に求められる。これにより、第1のセンサ素子の汚れに起因して引き起こされる信号ドリフトを識別するためのベースが得られるようになる。   According to one embodiment of the method according to the invention, in step A, a first measured value for the absolute temperature of the first thermoelectric element is additionally determined. This provides a base for identifying signal drift caused by contamination of the first sensor element.

本発明の1つの実施形態によれば、ステップAの後、ステップBの前に、ステップA1として、第2の熱電素子の絶対温度の第1の測定値と、第1の熱電素子の絶対温度の第1の測定値との差が形成される。これらの絶対温度の差からも、信号ドリフトに関する情報を得ることができる。   According to one embodiment of the present invention, after step A, before step B, as step A1, the first measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element and the absolute temperature of the first thermoelectric element A difference from the first measured value is formed. Information regarding signal drift can also be obtained from the difference between these absolute temperatures.

ステップBにおいて付加的に、第1の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値を、及び/又は、第2の熱電素子の絶対温度の第1の測定値と第1の熱電素子の絶対温度の第1の測定値との差を、電子的な記憶装置に記憶させれば、内燃機関作動後、信号ドリフトを検出するために、さらには汚れによって引き起こされた信号ドリフトの原因となった場所を突き止めるために、考えられるすべての比較値を利用することができる。   In step B, additionally, the first measured value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element and / or the first measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element and the absolute temperature of the first thermoelectric element If the difference from the first measured value is stored in an electronic storage device, after the operation of the internal combustion engine, to detect the signal drift, and also the location that caused the signal drift caused by dirt All possible comparison values can be used to find out.

この目的で有利であるのは、ステップDにおいて、第1の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値を付加的に求めることである。絶対温度に関する第2の測定値は、内燃機関が所定時間動作してから求められ、そのときセンサ素子の上に、場合によっては汚れが堆積した状態になる。   It is advantageous for this purpose to additionally obtain a second measured value for the absolute temperature of the first thermoelectric element in step D. The second measured value related to the absolute temperature is obtained after the internal combustion engine has been operating for a predetermined time, and at that time, the sensor element is in a state where dirt is occasionally accumulated.

さらに有利であるのは、ステップDの後、ステップEの前に、ステップD1として、第2の熱電素子の絶対温度の第2の測定値と、第1の熱電素子の絶対温度の第2の測定値との差を形成することである。これらの測定値によって信号ドリフトを識別することができ、信号ドリフトの原因となった場所に関する情報も付加的に得ることができる。例えば、第1の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値は大きく変化したが、第2の熱電素子の測定値はほぼ同じままであったならば、高い確率で第1の熱電素子は汚れた状態になっている。   More advantageously, after step D and before step E, as step D1, a second measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element and a second value of the absolute temperature of the first thermoelectric element. Forming a difference with the measured value. These measurements can identify signal drift and can additionally provide information about the location that caused the signal drift. For example, if the second measured value related to the absolute temperature of the first thermoelectric element has changed greatly, but the measured value of the second thermoelectric element remains substantially the same, the first thermoelectric element is contaminated with high probability. It is in the state.

このことはステップEにおいて、以下のような付加的な比較を行うことによって識別される。即ち、第1の熱電素子の絶対温度に関する第1の値を、及び/又は、第2の熱電素子の絶対温度の第1の測定値と第1の熱電素子の絶対温度の第1の測定値との差を、第1の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値と付加的に比較することによって、及び/又は、第2の熱電素子の絶対温度の第2の測定値と第1の熱電素子の絶対温度の第2の測定値との差と付加的に比較することによって、識別される。   This is identified in step E by making an additional comparison as follows: That is, the first value related to the absolute temperature of the first thermoelectric element and / or the first measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element and the first measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element. And / or the second measurement of the absolute temperature of the first thermoelectric element and / or the second measurement of the absolute temperature of the second thermoelectric element and the first Identification is made by additionally comparing the difference between the thermoelectric element's absolute temperature and the second measured value.

その際に有利にな手法として、ステップFにおいて、第1の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値が、及び/又は、第2の熱電素子の絶対温度の第1の測定値と第1の熱電素子の絶対温度の第1の測定値との差が、第1の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値から、及び/又は、第2の熱電素子の絶対温度の第2の測定値と第1の熱電素子の絶対温度の第2の測定値との差から、隔たっていることが検出されたならば、センサ素子の特性曲線のオフセットが補正される。   In this case, as an advantageous technique, in step F, the first measured value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element and / or the first measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element and the first The difference from the first measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element is from the second measured value related to the absolute temperature of the first thermoelectric element and / or the second measured absolute temperature of the second thermoelectric element. If a separation is detected from the difference between the value and the second measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element, the offset of the characteristic curve of the sensor element is corrected.

本発明のその他の特徴及び利点については、次に図面を参照しながら実施例を説明することで示すことにする。以下では、それぞれ図面が異なろうが、同じ構成部材については同じ用語及び同じ参照符号を用いることにする。   Other features and advantages of the present invention will be illustrated by the following description of embodiments with reference to the drawings. In the following, although the drawings will be different, the same terms and the same reference numerals will be used for the same components.

空気質量流量計を示す図Diagram showing air mass flow meter 微小電気機械システム(MEMS)として形成されたセンサ素子を示す図The figure which shows the sensor element formed as a micro electro mechanical system (MEMS) 微小電気機械システム(MEMS)として形成され、空気質量流量計の補助管内に配置されたセンサ素子を示す図The figure which shows the sensor element formed as a micro electro mechanical system (MEMS) and arrange | positioned in the auxiliary pipe | tube of an air mass flowmeter 空気質量流が吸気開口部を通り空気質量流量計の補助管に流れ込んでいる状況を示す図The figure which shows the situation where the air mass flow is flowing into the auxiliary pipe of the air mass flow meter through the intake opening 空気質量流量計内に微小電気機械システム(MEMS)として形成され、プラグインフィンガとして吸気管内に組み込まれたセンサ素子を示す図The figure which shows the sensor element formed in the air mass flowmeter as a micro electro mechanical system (MEMS), and was integrated in the intake pipe as a plug-in finger. 第1の温度センサ素子及び第2の温度センサ素子を備えたセンサ素子を示す図The figure which shows the sensor element provided with the 1st temperature sensor element and the 2nd temperature sensor element 空気質量流量計のセンサ素子を示す図The figure which shows the sensor element of the air mass flow meter 空気質量流量計を動作させるための本発明による方法を詳述するフローチャートFlowchart detailing the method according to the invention for operating an air mass flow meter 図8に開示した方法の1つの実施形態を示す図FIG. 8 illustrates one embodiment of the method disclosed in FIG.

図1には質量流センサが示されており、ここではこれは空気質量流量計2として構成されている。空気質量流量計2は、この実施例ではプラグインフィンガとして示されており、これは吸気管1内に差し込まれ、吸気管と固定的に接続されている。吸気管1は、質量流ここでは空気質量流10を、内燃機関のシリンダに向けて案内する。内燃機関のシリンダ内で動力用燃料を効率的に燃焼させるために必要とされるのは、供給された空気質量に関する正確な情報を得ることである。供給された空気質量に基づき、シリンダ中に噴射される燃料の燃焼に不可欠である酸素の利用可能量を推定することができる。さらに図1に示されている空気質量流量計2は、第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8を有している。第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8は、それぞれ異なる場所に配置されている。これらの温度センサ素子7,8は、一般に抵抗又は熱電素子とも称するサーモパイルによって形成されており、これらの温度センサ素子のところに生じている温度に応じて、それぞれ異なる抵抗値をとる。第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8との間に、加熱素子12が形成されている。吸気開口部4を通って空気質量流量計2のケーシング3に流入する空気質量流10は、最初に第1の温度センサ素子7の上を通過し、次いで加熱素子12の上を通過し、その後、空気質量流10は第2の温度センサ素子8のところに到達し、さらに補助管5に沿って空気質量流量計2の排気開口部6へ向かって案内される。空気質量流10は、第1の温度センサ素子7のところに所定の温度で到達する。この温度は、第1の温度センサ素子7により絶対温度として測定される。その後、空気質量流10は加熱素子12の上を通り、空気質量流10は、加熱素子12を通過して流れる質量に応じて多少の差こそあれ加熱される。加熱された空気質量流10が第2の温度センサ素子8に到達すると、空気質量流10のそのときの温度が第2の温度センサ素子8により絶対温度として求められる。第1の温度センサ素子7によって測定された絶対温度と、第2の温度センサ素子8によって測定された絶対温度との差から、通過して流れた空気質量を求めることができる。この目的で、空気質量流量計2自体に、第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8の測定信号を評価する評価電子装置13を設けることができる。このようにして得られた空気質量流10に関する情報は、ここでは図示されていないエンジン制御装置へ転送される。   FIG. 1 shows a mass flow sensor, which here is configured as an air mass flow meter 2. The air mass flow meter 2 is shown as a plug-in finger in this embodiment, which is inserted into the intake pipe 1 and fixedly connected to the intake pipe. The intake pipe 1 guides the mass flow, here the air mass flow 10, towards the cylinders of the internal combustion engine. What is needed to efficiently burn power fuel in a cylinder of an internal combustion engine is to obtain accurate information about the mass of air supplied. Based on the supplied air mass, it is possible to estimate the available amount of oxygen that is essential for the combustion of the fuel injected into the cylinder. Further, the air mass flow meter 2 shown in FIG. 1 has a first temperature sensor element 7 and a second temperature sensor element 8. The first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 are arranged at different locations. These temperature sensor elements 7 and 8 are formed by a thermopile generally called a resistance or a thermoelectric element, and have different resistance values depending on the temperature generated at these temperature sensor elements. A heating element 12 is formed between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8. The air mass flow 10 flowing into the casing 3 of the air mass flow meter 2 through the intake opening 4 first passes over the first temperature sensor element 7 and then over the heating element 12 and then The air mass flow 10 reaches the second temperature sensor element 8 and is guided along the auxiliary pipe 5 toward the exhaust opening 6 of the air mass flow meter 2. The air mass flow 10 reaches the first temperature sensor element 7 at a predetermined temperature. This temperature is measured as an absolute temperature by the first temperature sensor element 7. Thereafter, the air mass flow 10 passes over the heating element 12 and the air mass flow 10 is heated to some extent depending on the mass flowing through the heating element 12. When the heated air mass flow 10 reaches the second temperature sensor element 8, the current temperature of the air mass flow 10 is determined as an absolute temperature by the second temperature sensor element 8. From the difference between the absolute temperature measured by the first temperature sensor element 7 and the absolute temperature measured by the second temperature sensor element 8, the mass of air that has passed through can be obtained. For this purpose, the air mass flow meter 2 itself can be provided with an evaluation electronic device 13 for evaluating the measurement signals of the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8. The information relating to the air mass flow 10 obtained in this way is transferred to an engine control device not shown here.

なお、ここでは空気質量流量計に基づいて本発明を説明するけれども、空気質量流量計を動作させるための本発明による方法が空気質量流の測定に限られることを意味するものではない、という点に留意されたい。本発明による方法を利用して、他の質量流も有利に捕捉及び測定することができる。   Although the present invention will be described here based on an air mass flow meter, it does not mean that the method according to the present invention for operating the air mass flow meter is limited to the measurement of air mass flow. Please note that. Using the method according to the invention, other mass flows can also be advantageously captured and measured.

図2には、空気質量流量計2のためのセンサ素子15が示されている。センサ素子15は、微小電気機械システム(MEMS)として、単一のシリコンチップ上に形成されている。センサ素子15は差分温度法に従い動作し、それによって通過して流れる空気流10の質量が求められる。この目的で、薄いダイアフラム17の上に、第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8が形成されている。第1の温度センサ素子7及び第2の温度センサ素子8は、ダイアフラム17の表面16上のそれぞれ異なる場所に設けられている。第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8との間に、加熱素子12が配置されている。微小電気機械システムとして形成されたセンサ素子15には、評価電子装置13も組み込まれており、この評価電子装置13は、温度センサ素子7,8の測定信号をただちに評価して、空気質量流10に比例する信号に変換することができる。ただし評価電子装置13を、後段の電子機器に統合してもよい。空気質量流10に関する情報を、接続パッド19及び接続ワイヤ18を介して、ここには図示されていない後段のエンジン電子制御装置へ転送することができる。   FIG. 2 shows a sensor element 15 for the air mass flow meter 2. The sensor element 15 is formed on a single silicon chip as a micro electro mechanical system (MEMS). The sensor element 15 operates according to the differential temperature method, whereby the mass of the air stream 10 flowing through it is determined. For this purpose, the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 are formed on the thin diaphragm 17. The first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 are provided at different locations on the surface 16 of the diaphragm 17. A heating element 12 is disposed between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8. An evaluation electronic device 13 is also incorporated in the sensor element 15 formed as a microelectromechanical system. The evaluation electronic device 13 immediately evaluates the measurement signals of the temperature sensor elements 7, 8 to obtain an air mass flow 10. Can be converted to a signal proportional to. However, the evaluation electronic device 13 may be integrated into a subsequent electronic device. Information about the air mass flow 10 can be transferred via a connection pad 19 and a connection wire 18 to a subsequent engine electronic control unit not shown here.

図3には、微小電気機械システム(MEMS)として形成された、空気質量流量計2のためのセンサ素子15が示されており、このセンサ素子5は、空気質量流量計2の補助管5内に配置された単一の基板の上に形成されている。図3の場合、吸気開口部4を介して空気質量流10は流れておらず、これは例えば内燃機関が停止されている場合に該当する。この状態を質量流ゼロとも称する。センサ素子15に設けられた加熱素子12に電気エネルギーが供給されると、加熱素子12を中心として、図示されているような対称的な温度分布20が発生する。したがってこの場合、第1の温度センサ素子7及び第2の温度センサ素子8は、同じ絶対温度を測定し、これらの温度センサ素子7,8の温度測定信号の差分形成後に評価電子装置13は、空気質量流量計2の補助管5内には空気質量流10が存在しない、と識別する。ただし、質量流ゼロのときの温度信号のこのような理想的な均衡状態は、例えばセンサ素子15上の汚れによって乱される場合がある。   FIG. 3 shows a sensor element 15 for the air mass flow meter 2 formed as a microelectromechanical system (MEMS), which sensor element 5 is located in the auxiliary pipe 5 of the air mass flow meter 2. Formed on a single substrate. In the case of FIG. 3, the air mass flow 10 does not flow through the intake opening 4, which corresponds to a case where the internal combustion engine is stopped, for example. This state is also called zero mass flow. When electric energy is supplied to the heating element 12 provided in the sensor element 15, a symmetrical temperature distribution 20 as shown in the figure is generated with the heating element 12 as the center. Therefore, in this case, the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 measure the same absolute temperature, and after forming the difference between the temperature measurement signals of these temperature sensor elements 7 and 8, the evaluation electronic device 13 It is identified that there is no air mass flow 10 in the auxiliary pipe 5 of the air mass flow meter 2. However, such an ideal equilibrium state of the temperature signal when the mass flow is zero may be disturbed by, for example, dirt on the sensor element 15.

図4には、空気質量流10が吸気開口部4を通り空気質量流量計2の補助管5に流れ込んでいる状況が示されている。このような状況では、加熱素子12を中心とした温度分布20が、第2の温度センサ素子8の方向にずらされていることがよくわかる。したがってこの場合、第2の温度センサ素子8は、第1の温度センサ素子7よりも著しく高い温度を測定する。次いで、これら両方の温度センサ素子7,8の差分温度を評価電子装置13において求めることによって、空気質量流10を求めることができる。ただし、センサ素子上の汚れの影響が依然として作用を及ぼしているかもしれず、そうであるとするならば、そのような作用が測定結果に重畳されてしまうことになる。空気質量流10に応じて、温度の和も反応する。ただし、温度の和は、空気質量の熱特性にも反応し、例えば通過して流れる空気質量流10の熱容量及び/又は熱伝導性にも反応する。例えば、空気質量流10が同じままで空気質量の熱伝導性が高まると、システムが冷え、温度の和が著しく減少する。ただし、第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8の差分温度は、1次近似では変化しないまま維持される。このため、第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8の和信号によって、空気質量の熱特性の変化例えば熱容量又は熱伝導性の変化を測定することができる。和温度信号を差分温度で補って計算すれば、通過して流れる空気質量の熱伝導性の変化及び/又は熱容量の変化を推定することができる。   FIG. 4 shows a situation in which the air mass flow 10 flows into the auxiliary pipe 5 of the air mass flow meter 2 through the intake opening 4. In such a situation, it can be seen that the temperature distribution 20 around the heating element 12 is shifted in the direction of the second temperature sensor element 8. Therefore, in this case, the second temperature sensor element 8 measures a temperature significantly higher than that of the first temperature sensor element 7. The air mass flow 10 can then be determined by determining the differential temperature of both these temperature sensor elements 7, 8 in the evaluation electronics 13. However, the influence of dirt on the sensor element may still have an effect, and if so, such an effect will be superimposed on the measurement result. Depending on the air mass flow 10, the sum of the temperatures also reacts. However, the sum of the temperatures also reacts with the thermal properties of the air mass, for example with the heat capacity and / or thermal conductivity of the air mass flow 10 flowing through. For example, if the air mass flow 10 remains the same and the thermal conductivity of the air mass increases, the system cools and the temperature sum is significantly reduced. However, the differential temperature between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 is maintained unchanged in the first order approximation. For this reason, a change in the thermal characteristics of the air mass, such as a change in heat capacity or thermal conductivity, can be measured by the sum signal of the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8. If the sum temperature signal is supplemented with the difference temperature, the change in the thermal conductivity and / or the change in the heat capacity of the air mass flowing through it can be estimated.

図5には、プラグインフィンガとして吸気管1に組み込まれた空気質量流量計2内に、微小電気機械システム(MEMS)として形成された空気質量流量計のセンサ素子15が設けられている様子が示されている。この場合も、空気質量流10は吸気開口部4に到達し、補助管5の中に流入する。ダイアフラム17の表面16には、第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8が設けられているのがわかる。第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8との間には、加熱素子12が配置されている。空気質量流10は、最初に第1の温度センサ素子7に到達し、次に加熱素子12の上を通過し、その後、第2の温度センサ素子8に到達する。   FIG. 5 shows a state in which an air mass flow meter sensor element 15 formed as a micro electromechanical system (MEMS) is provided in an air mass flow meter 2 incorporated in the intake pipe 1 as a plug-in finger. It is shown. In this case as well, the air mass flow 10 reaches the intake opening 4 and flows into the auxiliary pipe 5. It can be seen that the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 are provided on the surface 16 of the diaphragm 17. A heating element 12 is disposed between the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8. The air mass flow 10 first reaches the first temperature sensor element 7, then passes over the heating element 12 and then reaches the second temperature sensor element 8.

図5には、空気質量流10に汚染物9も含まれていることが示されている。空気質量流10によって、例えば水滴6、油滴11及び/又はダスト粒子14が、空気質量流量計2に向かって搬送される。これらの汚染物9は、空気質量流量計2の吸気開口部4を通ってセンサ素子15に達する。汚染物9が第1の温度センサ素子7及び第2の温度センサ素子8の領域に堆積すると、時間が経過するにつれて空気質量流10の測定値が大幅に誤ったものとなるおそれがある。このような誤りは、長期にわたりセンサ素子15の上に汚染物が蓄積していくことでいっそう増加していくことから、これに関しては空気質量流量計2の信号ドリフトという用語も使用する。このような信号ドリフトは望ましくないものであり、抑圧及び/又は補償しなければならない。   FIG. 5 shows that the air mass flow 10 also contains contaminants 9. By means of the air mass flow 10, for example, water droplets 6, oil droplets 11 and / or dust particles 14 are conveyed towards the air mass flow meter 2. These contaminants 9 reach the sensor element 15 through the intake opening 4 of the air mass flow meter 2. If the contaminant 9 accumulates in the region of the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8, the measured value of the air mass flow 10 may become significantly incorrect over time. Since such errors are further increased by the accumulation of contaminants on the sensor element 15 over time, the term air mass flow meter 2 signal drift is also used in this context. Such signal drift is undesirable and must be suppressed and / or compensated.

図6には、第1の温度センサ素子7及び第2の温度センサ素子8と、これらの温度センサ素子7,8の間に配置された加熱素子12を備えたセンサ素子15が示されている。矢印で、空気質量流10の方向が表されている。したがって空気質量流10の流動方向で見ると、加熱素子12の前方に第1の温度センサ素子7が、加熱素子12の後方に第2の温度センサ素子8が配置されている。この実施例によれば、第1の温度センサ素子7も第2の温度センサ素子8も、1つの測定抵抗22と少なくとも2つの比較抵抗21とから成る、電気的な直列回路として構成されている。この図からわかるように、測定抵抗22は薄いダイアフラムの内部領域に配置されており、比較抵抗21はダイアフラム17の周縁領域に配置されている。   FIG. 6 shows a sensor element 15 including a first temperature sensor element 7 and a second temperature sensor element 8, and a heating element 12 arranged between these temperature sensor elements 7 and 8. . The direction of the air mass flow 10 is represented by arrows. Accordingly, when viewed in the flow direction of the air mass flow 10, the first temperature sensor element 7 is disposed in front of the heating element 12, and the second temperature sensor element 8 is disposed behind the heating element 12. According to this embodiment, both the first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 are configured as an electrical series circuit including one measuring resistor 22 and at least two comparison resistors 21. . As can be seen from this figure, the measurement resistor 22 is disposed in the inner region of the thin diaphragm, and the comparison resistor 21 is disposed in the peripheral region of the diaphragm 17.

さらに図6には、汚染物9ここでは特に油滴11が、空気質量流10とともにセンサ素子15に搬送されることが示されている。センサ素子15の上には、特に油滴11が堆積している。この図からはっきりとわかるように、油滴11はセンサ素子15の上において、空気質量流10の流動方向で見て、加熱素子12の後方に位置する第2のセンサ素子の領域に、特に著しく堆積している。センサ素子15の上に油滴11がこのように非対称に堆積していることで、信号ドリフトが引き起こされ、それによって最終的に、センサ素子15により測定される絶対温度に誤りが引き起こされ、ひいては空気質量流10の測定値に誤りが引き起こされる。しかも汚染物は、大部分がダイアフラム17の周縁領域に堆積している。油滴11が非対称に堆積するのには物理的な理由があり、これは特に、第2のセンサ素子8の領域の温度がいっそう高いことに由来し、膜17の周縁領域の温度勾配に起因している。   Furthermore, FIG. 6 shows that contaminants 9, in particular oil droplets 11, are transported to the sensor element 15 together with the air mass flow 10. In particular, oil droplets 11 are deposited on the sensor element 15. As can be clearly seen from this figure, the oil droplets 11 are particularly marked on the sensor element 15 in the region of the second sensor element located behind the heating element 12 when viewed in the flow direction of the air mass flow 10. It is accumulating. This asymmetric deposition of the oil droplets 11 on the sensor element 15 causes a signal drift, which ultimately causes an error in the absolute temperature measured by the sensor element 15 and thus An error is caused in the measured value of the air mass flow 10. Moreover, most of the contaminants are deposited in the peripheral region of the diaphragm 17. There is a physical reason for the oil droplets 11 to be deposited asymmetrically, particularly because the temperature of the region of the second sensor element 8 is higher and due to the temperature gradient of the peripheral region of the film 17. doing.

図7には、空気質量流量計2のセンサ素子15が示されている。このセンサ素子15の第1の温度センサ素子7と第2の温度センサ素子8は、サーモパイル23として形成されている。熱電素子23とも称するサーモパイル23は、熱を電気エネルギーに変換する。熱電素子23は、一方の端部で互いに接合された2つの異なる金属から成る。金属中の熱流に起因して、温度差により電圧が発生する。   FIG. 7 shows the sensor element 15 of the air mass flow meter 2. The first temperature sensor element 7 and the second temperature sensor element 8 of the sensor element 15 are formed as a thermopile 23. Thermopile 23, also referred to as thermoelectric element 23, converts heat into electrical energy. The thermoelectric element 23 is made of two different metals joined together at one end. Due to the heat flow in the metal, a voltage is generated due to the temperature difference.

1つの導体において温度の異なる2つの個所の間で電位差が発生することを、ゼーベック効果と称する。この電位差は温度差にほぼ比例し、導体材料に依存する。単独の測定用導体の両端が同じ温度にあるとき、電位差は常に相殺される。しかし、2つの異なる導体材料を互いに接続すると、熱電素子23が形成される。ゼーベック効果をベースとする測定システムの場合には通常、著しく多くの個々の熱電素子23が直列に接続される。   The occurrence of a potential difference between two locations at different temperatures in one conductor is called the Seebeck effect. This potential difference is substantially proportional to the temperature difference and depends on the conductor material. When both ends of a single measuring conductor are at the same temperature, the potential difference is always canceled out. However, when two different conductor materials are connected together, a thermoelectric element 23 is formed. In the case of a measurement system based on the Seebeck effect, a significant number of individual thermoelectric elements 23 are usually connected in series.

測定のために材料のペアを選択する際には、温度変化と電圧変化との間で高度の線形性を伴いながら、できるかぎり高い熱電圧を発生させるようにしたい。図7に示したサーモパイル23は、それぞれ第1の金属24が接続点26のところで第2の金属25と接続された1つの列によって構成されている。図7にわかりやすく示したように、複数の熱電素子23によって構築された第2の温度センサ素子8の領域に、主として油滴11として存在する汚れ9が堆積している。これらの汚れ9によって、温度センサ素子7,8が測定する絶対温度に誤りが生じてしまう。その結果として発生する信号ドリフトについては、これまでに挙げた図面の説明の際に既に言及した。本発明による方法によれば、この信号ドリフトを補償することができ、ひいては空気質量流量計2の測定結果を長期にわたり極めて安定した状態で利用できるようになる。   When selecting a material pair for measurement, we want to generate the highest possible thermal voltage with a high degree of linearity between temperature and voltage changes. The thermopile 23 shown in FIG. 7 is constituted by one row in which the first metal 24 is connected to the second metal 25 at the connection point 26. As clearly shown in FIG. 7, dirt 9 mainly present as oil droplets 11 is deposited in the region of the second temperature sensor element 8 constructed by the plurality of thermoelectric elements 23. These stains 9 cause errors in the absolute temperature measured by the temperature sensor elements 7 and 8. The resulting signal drift has already been mentioned in the description of the drawings given so far. According to the method of the present invention, this signal drift can be compensated, and the measurement result of the air mass flow meter 2 can be used in a very stable state over a long period of time.

図8には、空気質量流量計を動作させるための本発明による方法を詳述するフローチャートが描かれている。本発明によるこの方法は、微小電気機械システムとして製造されたセンサ素子を有する空気質量流量計において、極めて効果的に使用することができる。微小電気機械システムが汚れの影響を受けやすいこと、その結果としてそれらのセンサ素子に信号ドリフトが生じることについては、これまでの説明で既に述べてきた通りである。   FIG. 8 depicts a flow chart detailing the method according to the invention for operating an air mass flow meter. This method according to the invention can be used very effectively in an air mass flow meter with sensor elements manufactured as a microelectromechanical system. The fact that microelectromechanical systems are susceptible to contamination and the resulting signal drift in their sensor elements has been described above.

信号ドリフトを回避するために、もしくはこのような信号ドリフトを補償するために、ステップAにおいて、空気質量流量計の第2の熱電素子の絶対温度に関して第1の測定値が求められる。第2の熱電素子は、空気質量流の流動方向で見て、加熱素子の後方に配置されており、空気質量流に含まれる油滴による汚れの影響を特に受ける。空気質量流量計の第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値は、ステップBにおいて電子的な記憶装置に格納される。次にステップCにおいて内燃機関が作動され、内燃機関に供給される空気質量流が空気質量流量計によって測定される。内燃機関が作動されることで、空気質量流とともに汚れがセンサ素子に向かって運ばれ、その際に特に第2の熱電素子の周縁領域に油滴が堆積する。熱電素子がこのように汚れてしまうと、望ましくない信号ドリフトが引き起こされ、それによって空気質量流量計の測定結果に誤りが生じてしまう。このとき、内燃機関が停止してしまう可能性がある。汚れに起因して空気質量流量計の測定値に生じる誤りが補償されるようにする目的で、ステップDにおいて、内燃機関作動後の空気質量流量計の第2の熱電素子の絶対温度に関して、第2の測定値が求められる。次いでステップEにおいて、第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値と、第2の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値との比較が行われる。ステップFにおいて、第1の測定値と第2の測定値との間に偏差が生じているか否かが判定される。これらの測定値間で偏差が生じているならば、ステップF1において、センサ素子特性曲線のオフセットの補正が行われる。いかなる偏差も生じていないのであれば、この方法はステップAから新たに始められる。偏差が検出された場合にも、特性曲線のオフセットが補正された後、この方法はステップAから新たに始められる。このようにして、センサ素子特性曲線のオフセット補正が連続的に行われ、このことによって空気質量流量計の高精度の測定結果が長期にわたり維持されるようになる。   In order to avoid signal drift or to compensate for such signal drift, a first measurement is determined in step A regarding the absolute temperature of the second thermoelectric element of the air mass flow meter. The second thermoelectric element is disposed behind the heating element when viewed in the flow direction of the air mass flow, and is particularly affected by dirt due to oil droplets contained in the air mass flow. The first measured value for the absolute temperature of the second thermoelectric element of the air mass flow meter is stored in an electronic storage device in step B. Next, in step C, the internal combustion engine is operated, and the air mass flow supplied to the internal combustion engine is measured by an air mass flow meter. By operating the internal combustion engine, the dirt is carried along with the air mass flow toward the sensor element, and oil droplets accumulate particularly in the peripheral region of the second thermoelectric element. Such contamination of the thermoelectric element can cause undesirable signal drift, which can lead to errors in the measurement results of the air mass flow meter. At this time, the internal combustion engine may stop. In order to compensate for errors occurring in the air mass flow meter reading due to contamination, in step D, the second thermoelectric element absolute temperature of the air mass flow meter after operation of the internal combustion engine is Two measurements are obtained. Next, in step E, a comparison is made between the first measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element and the second measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element. In step F, it is determined whether or not there is a deviation between the first measurement value and the second measurement value. If there is a deviation between these measured values, the offset of the sensor element characteristic curve is corrected in step F1. If no deviation has occurred, the method starts anew from step A. Even if a deviation is detected, the method is started anew from step A after the offset of the characteristic curve is corrected. In this way, the offset correction of the sensor element characteristic curve is continuously performed, and thereby, a highly accurate measurement result of the air mass flowmeter is maintained for a long period of time.

図9には、図8に開示した方法の1つの実施形態が示されている。ステップAにおいて、空気質量流量計の第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値が求められることに加え、第1の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値も求められる。次にステップA1において、第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値と、第1の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値との差が形成される。その後、ステップBにおいて、第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値に加え、第1の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値が、及び/又は、空気質量流量計における第2の熱電素子の絶対温度の第1の測定値と第1の熱電素子の絶対温度の第1の測定値との差が、電子的な記憶装置に格納される。   FIG. 9 illustrates one embodiment of the method disclosed in FIG. In step A, in addition to determining a first measurement value for the absolute temperature of the second thermoelectric element of the air mass flow meter, a first measurement value for the absolute temperature of the first thermoelectric element is also determined. Next, in step A1, a difference is formed between the first measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element and the first measurement value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element. Thereafter, in step B, in addition to the first measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element, the first measurement value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element and / or the second measurement value in the air mass flowmeter The difference between the first measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element and the first measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element is stored in an electronic storage device.

これに続くステップCにおいて、内燃機関が作動され、内燃機関に供給される空気質量流が空気質量流量計によって測定される。内燃機関を作動すると、センサ素子が特に第2の熱電素子の周縁領域で汚れる可能性がある。たいていは油滴により引き起こされるこのような汚れによって、熱電素子の測定信号に誤りが生じてしまい、その結果、いわゆる信号ドリフトが発生する。その場合、内燃機関が停止してしまう可能性がある。   In subsequent step C, the internal combustion engine is operated and the air mass flow supplied to the internal combustion engine is measured by an air mass flow meter. When the internal combustion engine is operated, the sensor element can become dirty, particularly in the peripheral region of the second thermoelectric element. Such contamination, usually caused by oil droplets, causes errors in the measurement signal of the thermoelectric element, resulting in so-called signal drift. In that case, the internal combustion engine may stop.

次いでステップDにおいて、内燃機関作動後の空気質量流量計の、第2の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値と、第1の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値の付加的な検出とが行われる。その後、ステップD1において、第2の熱電素子の絶対温度の第2の測定値と、第1の熱電素子の絶対温度の第2の測定値との差が形成される。   Then, in step D, the air mass flow meter after the operation of the internal combustion engine is additionally provided with the second measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element and the second measurement value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element. Detection is performed. Thereafter, in step D1, a difference between the second measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element and the second measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element is formed.

ステップEにおいて、第2の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値が、第2の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値と比較される。さらにこれに加えて、第1の熱電素子の絶対温度に関する第1の測定値が、及び/又は、第2の熱電素子の絶対温度の第1の測定値と第1の熱電素子の絶対温度の第1の測定値との差が、第1の熱電素子の絶対温度に関する第2の測定値と比較され、及び/又は、第2の熱電素子の絶対温度の第2の測定値と第1の熱電素子の絶対温度の第2の測定値との差と比較される。   In step E, the first measured value for the absolute temperature of the second thermoelectric element is compared with the second measured value for the absolute temperature of the second thermoelectric element. In addition to this, the first measured value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element and / or the first measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element and the absolute temperature of the first thermoelectric element. The difference from the first measured value is compared with a second measured value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element and / or the second measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element and the first measured value. The absolute temperature of the thermoelectric device is compared with the difference from the second measured value.

ステップFにおいて、第1の測定値と第2の測定値との間で偏差が検出されたならば、ステップF1において、センサ素子特性曲線のオフセットの補正が行われる。次いでこの方法を、ステップAからスタートさせて新たに実行することができる。第1の測定値と第2の測定値との間で偏差が検出されなければ、この方法を即座にステップAからスタートさせて新たに実行することができる。   If a deviation is detected between the first measurement value and the second measurement value in step F, the offset of the sensor element characteristic curve is corrected in step F1. The method can then be executed anew starting from step A. If no deviation is detected between the first measurement value and the second measurement value, the method can be started immediately from step A and executed anew.

Claims (8)

内燃機関に供給される空気質量流(10)を測定する空気質量流量計を動作させるための方法であって、
前記空気質量流量計(2)は、微小電気機械構造で形成されたセンサ素子(15)を備えており、該センサ素子(15)は加熱素子(12)を有しており、
前記センサ素子(15)には、前記加熱素子(12)から見て上流側に第1の熱電素子(7)が配置されており、前記加熱素子(12)から見て下流側に第2の熱電素子(8)が配置されている、
空気質量流量計を動作させるための方法において、
A:前記空気質量流量計(2)の前記第2の熱電素子(8)の絶対温度に関する第1の測定値を求めるステップと、
B:前記空気質量流量計(2)の前記第2の熱電素子(8)の絶対温度に関する前記第1の測定値を、電子的な記憶装置に格納するステップと、
C:内燃機関を作動して、該内燃機関に供給される空気質量流(10)を、前記空気質量流量計(2)により測定するステップと、
D:内燃機関の作動後、再び内燃機関が停止された後に、前記空気質量流量計(2)の前記第2の熱電素子(8)の絶対温度に関する第2の測定値を求めるステップと、
E:前記第2の熱電素子(8)の絶対温度に関する前記第1の測定値を、前記第2の熱電素子(8)の絶対温度に関する第2の測定値と比較するステップと、
F:前記第1の測定値と前記第2の測定値との間で偏差が検出されたならば、前記センサ素子(15)の特性曲線のオフセットを補正するステップと
を有することを特徴とする、
内燃機関に供給される空気質量流(10)を測定する空気質量流量計を動作させるための方法。
A method for operating an air mass flow meter for measuring an air mass flow (10) supplied to an internal combustion engine comprising:
The air mass flow meter (2) includes a sensor element (15) formed of a microelectromechanical structure, and the sensor element (15) includes a heating element (12),
The sensor element (15) has a first thermoelectric element (7) arranged upstream from the heating element (12), and a second thermoelectric element (7) downstream from the heating element (12). A thermoelectric element (8) is arranged,
In a method for operating an air mass flow meter,
A: obtaining a first measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element (8) of the air mass flow meter (2);
B: storing the first measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element (8) of the air mass flow meter (2) in an electronic storage device;
C: operating the internal combustion engine to measure the air mass flow (10) supplied to the internal combustion engine with the air mass flow meter (2);
D: after the operation of the internal combustion engine, after the internal combustion engine is stopped again , obtaining a second measurement value relating to the absolute temperature of the second thermoelectric element (8) of the air mass flow meter (2);
E: comparing the first measured value for the absolute temperature of the second thermoelectric element (8) with the second measured value for the absolute temperature of the second thermoelectric element (8);
F: Correcting an offset of a characteristic curve of the sensor element (15) if a deviation is detected between the first measurement value and the second measurement value. ,
A method for operating an air mass flow meter for measuring an air mass flow (10) supplied to an internal combustion engine.
前記ステップAにおいて、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度に関する第1の測定値を付加的に求める、
請求項1に記載の空気質量流量計(2)を動作させるための方法。
In step A, a first measurement value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) is additionally obtained.
A method for operating an air mass flow meter (2) according to claim 1.
前記ステップAの後、前記ステップBの前に、ステップA1として、前記第2の熱電素子(8)の絶対温度の前記第1の測定値と、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度の前記第1の測定値との差を形成する、
請求項2に記載の空気質量流量計(2)を動作させるための方法。
After Step A, before Step B, as Step A1, the first measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element (8) and the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) Forming a difference from the first measurement value of
A method for operating an air mass flow meter (2) according to claim 2.
前記ステップBにおいて付加的に、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度に関する第1の測定値を、及び/又は、前記第2の熱電素子(8)の絶対温度の前記第1の測定値と前記第1の熱電素子(7)の絶対温度の前記第1の測定値との差を、前記電子的な記憶装置に格納する、
請求項2又は3に記載の空気質量流量計(2)を動作させるための方法。
In the step B, in addition, a first measured value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) and / or the first measurement of the absolute temperature of the second thermoelectric element (8). Storing the difference between the value and the first measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) in the electronic storage device;
A method for operating an air mass flow meter (2) according to claim 2 or 3.
前記ステップDにおいて、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度に関する第2の測定値を付加的に求める、
請求項3又は4に記載の空気質量流量計(2)を動作させるための方法。
In step D, a second measurement value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) is additionally obtained.
Method for operating an air mass flow meter (2) according to claim 3 or 4.
前記ステップDの後、前記ステップEの前に、ステップD1として、前記第2の熱電素子(8)の絶対温度の前記第2の測定値と、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度の前記第2の測定値との差を形成する、
請求項4に記載の空気質量流量計(2)を動作させるための方法。
After Step D and before Step E, as Step D1, the second measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element (8) and the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) Forming a difference from the second measured value of
Method for operating an air mass flow meter (2) according to claim 4.
前記ステップEにおいて付加的に、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度に関する前記第1の測定値を、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度に関する前記第2の測定値と比較する、
及び/又は、
前記第2の熱電素子(8)の絶対温度の前記第1の測定値と前記第1の熱電素子(7)の絶対温度の前記第1の測定値との差を、前記第2の熱電素子(8)の絶対温度の前記第2の測定値と前記第1の熱電素子(7)の絶対温度の前記第2の測定値との差と比較する、
請求項5又は6に記載の空気質量流量計(2)を動作させるための方法。
In the step E, additionally, the first measured value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) is compared with the second measured value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element (7). To
And / or
The difference between the first measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element (8) and the first measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) is expressed as the second thermoelectric element. Comparing the difference between the second measured value of the absolute temperature of (8) and the second measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element (7);
A method for operating an air mass flow meter (2) according to claim 5 or 6.
前記ステップFにおいて、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度に関する前記第1の測定値が、前記第1の熱電素子(7)の絶対温度に関する前記第2の測定値から、隔たっていることが検出されたならば、前記センサ素子(15)の特性曲線のオフセットを補正する、
及び/又は、
前記第2の熱電素子(8)の絶対温度の前記第1の測定値と前記第1の熱電素子(7)の絶対温度の前記第1の測定値との差が、前記第2の熱電素子(8)の絶対温度の前記第2の測定値と前記第1の熱電素子(7)の絶対温度の前記第2の測定値との差から、隔たっていることが検出されたならば、前記センサ素子(15)の特性曲線のオフセットを補正する
請求項7に記載の空気質量流量計(2)を動作させるための方法。
In step F, the first measurement value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) is separated from the second measurement value relating to the absolute temperature of the first thermoelectric element (7). If detected, the offset of the characteristic curve of the sensor element (15) is corrected.
And / or
The difference between the first measured value of the absolute temperature of the second thermoelectric element (8) and the first measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element (7) is the second thermoelectric element. If it is detected from the difference between the second measured value of the absolute temperature of (8) and the second measured value of the absolute temperature of the first thermoelectric element (7), A method for operating an air mass flow meter (2) according to claim 7, wherein the offset of the characteristic curve of the sensor element (15) is corrected.
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