JP6171419B2 - Method for producing gas barrier film - Google Patents

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Description

本発明は、ガスバリア性および透明性に優れたフィルムに関する   The present invention relates to a film excellent in gas barrier properties and transparency.

ガスバリア性フィルムは、ハードディスクや半導体モジュールなどの精密電子部品類、太陽電池のバックシート、食品や医薬品等の包装分野、あるいは非包装分野で酸素および水蒸気を遮断する必要がある部材の分野等に広く用いられている。   Gas barrier films are widely used in precision electronic parts such as hard disks and semiconductor modules, back sheets for solar cells, packaging fields for foods and pharmaceuticals, etc., and parts that need to block oxygen and water vapor in non-packaging fields. It is used.

すなわち、精密電子部品類においては、金属部分の腐食や、絶縁不良などを防止するために、包装材料を透過する酸素や水蒸気、その他内容物を変質させる気体を遮断するガスバリア性を備える包装体が求められている。   That is, in precision electronic parts, in order to prevent corrosion of metal parts, insulation failure, etc., there is a packaging body having a gas barrier property that blocks oxygen and water vapor that permeate the packaging material and other gases that alter the contents. It has been demanded.

特に、食品包装においては、蛋白質や油脂などの酸化や変質を抑制し、味や鮮度を保持することが必要である。また無菌状態での取り扱いが必要とされる医薬品類においては、有効成分の変質を抑制し、効能を維持することが必要である。   In particular, in food packaging, it is necessary to maintain the taste and freshness by suppressing the oxidation and alteration of proteins and fats and oils. In addition, in pharmaceuticals that require handling under aseptic conditions, it is necessary to suppress the alteration of the active ingredient and maintain its efficacy.

そのため、従来から温度、湿度などに影響されないアルミニウムなどの金属箔や、アルミニウム蒸着フィルムあるいは、ポリビニルアルコール(PVA)、エチレン―ビニルアルコール共重合体(EVOH)、ポリ塩化ビニリデン(PVDC)、ポリアクリロニトリル(PAN)などの樹脂フィルムや、これらの樹脂をラミネートまたはコーティングしたプラスチックフィルムなどが好んで用いられてきた。   Therefore, metal foils such as aluminum that have not been affected by temperature and humidity, aluminum deposited films, polyvinyl alcohol (PVA), ethylene-vinyl alcohol copolymer (EVOH), polyvinylidene chloride (PVDC), polyacrylonitrile ( PAN) and the like, and plastic films laminated or coated with these resins have been used favorably.

しかし、ガスバリア性樹脂フィルムやガスバリア性樹脂をコーティングしたフィルムは、温度依存性が大きく、高いガスバリア性を維持できない。さらに、PVDCやPANなどは使用後に廃棄し、焼却する際に有害物質が発生する原因となる可能性を有している。   However, a gas barrier resin film or a film coated with a gas barrier resin is highly temperature dependent and cannot maintain high gas barrier properties. Furthermore, PVDC, PAN, and the like are discarded after use and may cause harmful substances when incinerated.

アルミニウムなどの金属箔やアルミニウム蒸着フィルムを用いた包装材料は、ガスバリア性には優れるが、レトルト耐性がなく、不透明であるため、包装材料を透過して内容物を識別することが難しい。そればかりではなく、使用後の廃棄の際に不燃物として処理しなければならない点や、金属探知機による異物検査や、電子レンジでの加熱処理ができないなどの欠点を有していた。   A packaging material using a metal foil such as aluminum or an aluminum vapor-deposited film is excellent in gas barrier properties, but has no retort resistance and is opaque, so that it is difficult to identify the contents through the packaging material. Not only that, it has the disadvantages that it must be treated as an incombustible material upon disposal after use, and that it cannot perform foreign matter inspection with a metal detector or heat treatment in a microwave oven.

また、これらの欠点を克服した包装用材料として、最近では酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウムなどの無機酸化物を、透明な基材フィルム上に蒸着したガスバリア性フィルムが上梓されている。これらのガスバリア性蒸着フィルムは透明性および金属蒸着フィルムほどではないが、酸素、水蒸気などのガス遮断性を有していることが知られている。   Further, as a packaging material that overcomes these drawbacks, a gas barrier film in which an inorganic oxide such as silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, or calcium oxide is deposited on a transparent base film has recently been promoted. . These gas barrier vapor-deposited films are known to have transparency and gas barrier properties such as oxygen and water vapor, although not as much as metal vapor-deposited films.

特開2009−23114号公報JP 2009-23114 A

本発明は、以上の従来技術の問題を解決しようとするものであり、高いガスバリア性と透明性を得られるガスバリア性フィルムを提供することを目的とする。   The present invention is intended to solve the above-described problems of the prior art, and an object thereof is to provide a gas barrier film capable of obtaining high gas barrier properties and transparency.

本発明のガスバリア性フィルムの製造方法は、係る課題に鑑みなされたものであり、基材の少なくとも一方の面に、有機物膜と、無機酸化物膜と、金属薄膜と、無機酸化物膜と、この順序で積層とともに、
前記有機物膜が、ポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビニルアルコール樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂から一つ、もしくは複数から選択され、
前記金属薄膜はアルミニウム(Al)を指し、
前記無機酸化物膜は、酸化珪素(SiO )を指し、X=1.5以上1.8以下であり、
前記無機酸化物膜は、蒸着材料として50μm以下の径を有する粉末が95%以上の金属珪素と、結晶構造を95%含み50μm以下の径を有する粉末が95%以上の二酸化珪素とをO/Si比が1.5になるように混合したものを用いて、電子ビーム加熱方式の真空蒸着装置により、電子銃から放出する電子ビームを前記蒸着材料に照射し蒸発させる加熱蒸着法により成膜したことを特徴とする。
本発明は、前記有機物膜の厚みは、0.01〜3μmであることができる。
本発明の前記無機酸化物膜は、総膜厚が10nm以上150nm以下であることができる。
本発明の前記金属薄膜は、前記金属薄膜はアルミニウム(Al)を指し、膜厚1nm以上4nm以下であることができる。
本発明は、波長350nmにおける透過率が40%以上とされることができる。
本発明は、基材の少なくとも一方の面に、無機酸化物膜と、金属薄膜と、無機酸化物膜とが、この順序で積層されていることができる
Method for producing a gas barrier film of the present invention has been made in view of the problems relating to at least one side of the substrate, and an organic film, an inorganic oxide film, a metal thin film, and an inorganic oxide film , together with you laminated in this order,
The organic film is selected from one or a plurality of polyester resins, isocyanate resins, urethane resins, acrylic resins, vinyl alcohol resins, ethylene vinyl alcohol resins, vinyl modified resins, and epoxy resins,
The metal thin film refers to aluminum (Al),
The inorganic oxide film refers to silicon oxide (SiO X ), where X = 1.5 to 1.8.
The inorganic oxide film comprises, as an evaporation material, a metal silicon having a diameter of 50 μm or less of 95% or more of metal silicon and a powder having a crystal structure of 95% and a diameter of 50 μm or less of 95% or more of silicon dioxide. Using a mixture having an Si ratio of 1.5, an electron beam heating type vacuum evaporation apparatus was used to form a film by a heating evaporation method in which an electron beam emitted from an electron gun was irradiated to the evaporation material and evaporated. It is characterized by that.
The present invention, the thickness of the pre-Symbol organic layer may be a 0.01 to 3 [mu] m.
The inorganic oxide film of the present invention may have a total film thickness of 10 nm to 150 nm.
In the metal thin film of the present invention, the metal thin film refers to aluminum (Al), and may have a thickness of 1 nm to 4 nm.
The present invention, transmittance that put the wavelength 350nm can Rukoto is 40% or more.
In the present invention , an inorganic oxide film, a metal thin film, and an inorganic oxide film can be laminated in this order on at least one surface of a substrate.

発明は、前記基材と無機酸化物膜との間にさらに有機物膜を設け、前記有機物膜が、ポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビニルアルコール樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂から一つ、もしくは複数から選択されることができる The present invention, before further provided organic film between the Kimotozai and an inorganic oxide film, the organic material film, polyester resins, isocyanate resins, urethane resins, acrylic resins, polyvinyl alcohol resins, ethylene vinyl alcohol resins, vinyl One or a plurality of modified resins and epoxy resins can be selected.

発明は、前記無機酸化物膜は、酸化珪素(SiO )を指し、x=1.5以上1.8以下であることができる The present invention, before Symbol inorganic oxide film refers to a silicon oxide (SiO X), can be at x = 1.5 to 1.8.

発明は、前記無機酸化物膜は、総膜厚が10nm以上150nm以下であることができる The present invention, before Symbol inorganic oxide film can be total thickness is 10nm or more 150nm or less.

発明は、前記金属薄膜は、膜厚1nm以上4nm以下であることができる The present invention, before Symbol metal thin film can be a film thickness of 1nm or more 4nm or less.

発明は、透過率が40%以上であることができる The present invention transparently ratio can be 40% or more.

本発明における一実施形態に係る、ガスバリア性フィルムの断面図。Sectional drawing of the gas barrier film based on one Embodiment in this invention.

以下、本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明のガスバリア性フィルムを説明する断面図である。
ガスバリア性フィルムは、高分子フィルム基材1の上に有機物膜2と、無機酸化物膜3と、金属薄膜4さらに、無機酸化物膜5が積層されてなる。
Embodiments of the present invention will be described below.
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a gas barrier film of the present invention.
The gas barrier film is formed by laminating an organic film 2, an inorganic oxide film 3, a metal thin film 4 and an inorganic oxide film 5 on a polymer film substrate 1.

高分子フィルム基材1は、特に制限を受けるものではなく公知のものを使用することができる。たとえば、ポリオレフィン系(ポリエチレン、ポリプロピレン等)、ポリエステル系(ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート等)、ポリアミド系(ナイロン―6、ナイロン―66等)、ポリスチレン、エチレンビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリエーテルスルホン、アクリル、セルロース系(トリアセチルセルロース、ジアセチルセルロース等)などの高分子のフィルム基材が挙げられるが、特に限定されない。   The polymer film substrate 1 is not particularly limited, and a known one can be used. For example, polyolefin (polyethylene, polypropylene, etc.), polyester (polyethylene naphthalate, polyethylene terephthalate, etc.), polyamide (nylon-6, nylon-66, etc.), polystyrene, ethylene vinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyimide, polyvinyl alcohol , Polymer film bases such as polycarbonate, polyethersulfone, acrylic, and cellulose (triacetylcellulose, diacetylcellulose, etc.), but not particularly limited.

高分子フィルム基材1として、透明フィルムを用いることは、大量生産に適するため好ましい。また、厚みに関しては、特に制限を受けるものではなく、ガスバリア性フィルムを形成する蒸着加工などの加工性を考慮すると、実用的には12μm以上188μm以下の範囲が好ましい。   It is preferable to use a transparent film as the polymer film substrate 1 because it is suitable for mass production. In addition, the thickness is not particularly limited, and practically in the range of 12 μm or more and 188 μm or less is preferable in consideration of workability such as vapor deposition for forming a gas barrier film.

高分子フィルム基材1上に無機酸化物膜3を形成するが、無機酸化物膜3と高分子フィルム基材1との密着性向上のため、高分子フィルム基材1上に有機物膜2としてアンカーコート層を設けることが好ましい。
アンカーコート剤は、溶剤性または水溶性のポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビニルアルコール樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂から一つ、もしくは複数から選択される。
An inorganic oxide film 3 is formed on the polymer film substrate 1, and an organic film 2 is formed on the polymer film substrate 1 in order to improve the adhesion between the inorganic oxide film 3 and the polymer film substrate 1. It is preferable to provide an anchor coat layer.
The anchor coating agent is selected from one or a plurality of solvent-soluble or water-soluble polyester resins, isocyanate resins, urethane resins, acrylic resins, vinyl alcohol resins, ethylene vinyl alcohol resins, vinyl modified resins, and epoxy resins.

上記有機物膜2の厚みは、通常0.01〜3μm、好ましくは0.05〜1μmである。膜厚が3μmを超える場合は、膜の内部応力により基材フィルムまたはシートから剥離し易くなる。0.05μm未満になると、膜厚が均一にならない可能性がある。
また、フィルムへの塗膜の接着性を向上させるため、塗布前に基材フィルムの表面に化学処理、放電処理などを施してもよい。塗工方法は、バーコーター、ナイフコート、ダイコート、グラビアコートなどが挙げられるが特に限定されない。
The thickness of the organic film 2 is usually 0.01 to 3 μm, preferably 0.05 to 1 μm. When the film thickness exceeds 3 μm, it becomes easy to peel from the base film or sheet due to the internal stress of the film. If it is less than 0.05 μm, the film thickness may not be uniform.
Moreover, in order to improve the adhesiveness of the coating film to a film, you may perform a chemical process, an electrical discharge process, etc. on the surface of a base film before application | coating. Examples of the coating method include, but are not limited to, bar coater, knife coat, die coat, and gravure coat.

無機酸化物膜3、5と、金属薄膜4の成膜手段としては、真空蒸着方式のうち、好ましくは電子ビームやレーザービーム等による加熱蒸着法が用いられる。特に、電子ビーム加熱蒸着法が、成膜速度や無機酸化物蒸着用材料への昇温降温が短時間で行える点で有効である。   As a film forming means for the inorganic oxide films 3 and 5 and the metal thin film 4, a heat evaporation method using an electron beam, a laser beam, or the like is preferably used among vacuum evaporation methods. In particular, the electron beam heating vapor deposition method is effective in that the film formation rate and the temperature rise / fall to the inorganic oxide vapor deposition material can be performed in a short time.

無機酸化物膜や金属薄膜に用いる金属は、珪素、アルミニウム、チタン、スズ、亜鉛、インジウム、マグネシウムの一群よりなる群のいずれか一つ、もしくは複数から選択される。   The metal used for the inorganic oxide film or the metal thin film is selected from one or more of the group consisting of silicon, aluminum, titanium, tin, zinc, indium, and magnesium.

蒸発した蒸着用材料によって有機物膜2の表面上に形成される無機酸化物膜3および無機酸化物膜5の厚さは、一般的には5nm以上300nm以下の範囲内が望ましい。さらに好ましくは、10nm以上150nm以下で、その値は適宜選択される。   In general, the thickness of the inorganic oxide film 3 and the inorganic oxide film 5 formed on the surface of the organic film 2 by the evaporated material for vapor deposition is desirably in the range of 5 nm to 300 nm. More preferably, it is 10 nm or more and 150 nm or less, and the value is appropriately selected.

ただし、無機酸化物膜3および無機酸化物膜5の厚みが5nm未満であると均一な膜が得られないことや、十分なバリア性能を発揮できない場合がある。また、膜厚が300nmを超える場合は、膜にフレキシビリティを保持させることができず、成膜後に折り曲げ、引張りなどの外的要因により、膜に亀裂が生じる恐れがある。   However, if the thickness of the inorganic oxide film 3 and the inorganic oxide film 5 is less than 5 nm, a uniform film may not be obtained or sufficient barrier performance may not be exhibited. In addition, when the film thickness exceeds 300 nm, the film cannot retain flexibility, and there is a possibility that the film may crack due to external factors such as bending and tension after the film formation.

蒸発した金属アルミニウムからなる蒸着用材料によって無機酸化物膜3の表面上に形成される金属薄膜4の厚みは、一般的には1nm以上4nm以下の範囲内が望ましく、その値は適宜選択される。   The thickness of the metal thin film 4 formed on the surface of the inorganic oxide film 3 by the vapor deposition material made of evaporated metal aluminum is generally preferably in the range of 1 nm to 4 nm, and the value is appropriately selected. .

ただし、金属薄膜4の厚みが1nm未満であると均一な膜が得られないことや、十分なバリア性能を発揮できない場合がある。また、膜厚が4nmを超える場合は、ガスバリア性蒸着フィルムの透過率が低くなる恐れがある。   However, if the thickness of the metal thin film 4 is less than 1 nm, a uniform film may not be obtained or sufficient barrier performance may not be exhibited. Moreover, when a film thickness exceeds 4 nm, there exists a possibility that the transmittance | permeability of a gas barrier vapor deposition film may become low.

以下に、本発明の実施例を具体的に説明する。
<実施例1>
16μmのポリエチレンテレフタレート(PET)上に、ウレタン樹脂をバーコーターにて塗工しウレタン樹脂膜を得た。蒸着材料の無機酸化物は金属珪素と二酸化珪素を用い、O/Si比が1.5になるように混合した。
Examples of the present invention will be specifically described below.
<Example 1>
A urethane resin film was obtained by coating a urethane resin on 16 μm polyethylene terephthalate (PET) with a bar coater. Metallic silicon and silicon dioxide were used as the inorganic oxide for the vapor deposition material and mixed so that the O / Si ratio was 1.5.

金属珪素は50μm以下の径を有する粉末が95%以上のものを使用し、二酸化珪素には結晶構造を95%含み、50μm以下の径を有する粉末が95%以上のものを使用した。金属薄膜を成膜する蒸着材料としてアルミニウム(高純度化学(株)製 ALE03GB)を用いた。   The metal silicon used was 95% or more of powder having a diameter of 50 μm or less, and silicon dioxide containing 95% of crystal structure and 95% or more of powder having a diameter of 50 μm or less was used. Aluminum (ALE03GB manufactured by High Purity Chemical Co., Ltd.) was used as a vapor deposition material for forming a metal thin film.

つぎに、電子ビーム加熱方式の真空蒸着装置により、電子銃から放出する電子ビームを蒸着用材料に照射し蒸発させ、アンカーコート層上に厚み15nmの酸化珪素膜、厚み2nmの金属アルミニウム膜、厚み15nmの酸化珪素膜の順に成膜し、ガスバリア性フィルムを得た。   Next, the electron beam emitted from the electron gun is irradiated onto the deposition material by an electron beam heating type vacuum deposition apparatus to evaporate it, and a 15 nm thick silicon oxide film, a 2 nm thick metal aluminum film, and a thickness are formed on the anchor coat layer. A 15 nm silicon oxide film was formed in this order to obtain a gas barrier film.

<実施例2>
金属アルミニウム膜の厚み3.5nmを形成した以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
<Example 2>
A gas barrier film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the metal aluminum film had a thickness of 3.5 nm.

以下に本発明の比較例について説明する。
<比較例1>
金属アルミニウム膜の厚み5nm形成した以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。
Hereinafter, comparative examples of the present invention will be described.
<Comparative Example 1>
A gas barrier film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the metal aluminum film had a thickness of 5 nm.

<比較例2>
高分子フィルム基材として16μmのPET上に厚み15nmの酸化珪素を2回積層し、厚み2nmの金属アルミニウム膜の順に成膜し、ガスバリア性フィルムを得た。
<Comparative example 2>
As a polymer film substrate, silicon oxide having a thickness of 15 nm was laminated twice on 16 μm PET, and a metal aluminum film having a thickness of 2 nm was formed in this order to obtain a gas barrier film.

<比較例3>
高分子フィルム基材として16μmのPET上に厚み15nmの酸化珪素を2回成膜し、ガスバリア性フィルムを得た。
<Comparative Example 3>
A 15 nm thick silicon oxide film was formed twice on 16 μm PET as a polymer film substrate to obtain a gas barrier film.

上記実施例1,2および比較例1〜3のガスバリア性フィルムについて、以下の方法で、透過率、水蒸気透過率を測定評価した。   The gas barrier films of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 3 were measured and evaluated for transmittance and water vapor permeability by the following methods.

<透過率について>
実施例1,2および比較例1〜3のガスバリア性蒸着フィルムを幅20mm×長さ30mmの面積にカットし、これらのガスバリア性フィルムについて、分光光度計(SHIMADZU UV−2450)にて波長350nmにおける透過率を測定した。透過率40%以上のものを○、それ以下のものを×とした。
<About transmittance>
The gas barrier vapor deposition films of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 3 were cut into an area of 20 mm wide × 30 mm long, and these gas barrier films were measured at a wavelength of 350 nm using a spectrophotometer (SHIMADZU UV-2450). The transmittance was measured. A film having a transmittance of 40% or more was marked with ◯, and a film with a transmittance of less than 40%.

<水蒸気バリア性について>
実施例1,2および比較例1〜3のガスバリア性蒸着フィルムの水蒸気バリア性を、モダンコントロール社製の水蒸気透過度測定装置(MOCON PERMATRAN 3/21)を用いて40℃90%RHの雰囲気で測定した。
<About water vapor barrier properties>
The water vapor barrier properties of the gas barrier vapor-deposited films of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 3 were measured in an atmosphere of 40 ° C. and 90% RH using a water vapor permeability measuring device (MOCON PERMATRAN 3/21) manufactured by Modern Control. It was measured.

つぎの表1は、上記測定結果を示している。

Figure 0006171419
Table 1 below shows the measurement results.
Figure 0006171419

<評価>
表1のように、実施例1,2の透過率、レトルト耐性、水蒸気透過度は、比較例1,2の透過率、レトルト耐性、水蒸気透過度より優れる結果が得られた。比較例3の水蒸気透過度は実施例1,2より優れるが、透過率は比較例3より実施例1,2の結果が優れる結果が得られた。
<Evaluation>
As shown in Table 1, the transmittance, retort resistance, and water vapor permeability of Examples 1 and 2 were superior to the transmittance, retort resistance, and water vapor permeability of Comparative Examples 1 and 2. Although the water vapor permeability of Comparative Example 3 was superior to that of Examples 1 and 2, the transmittance was superior to that of Comparative Example 3 in Examples 1 and 2.

本発明は、酸素、水蒸気などに対する高ガスバリア性を有し、食品、日用品、医療品などの包装分野あるいは包装分野以外での酸素および水蒸気の遮断が必要な部材分野に幅広く適応できる。   The present invention has a high gas barrier property against oxygen, water vapor, and the like, and can be widely applied to the field of materials such as foods, daily necessities, medical products, etc. that need to block oxygen and water vapor outside the packaging field.

1…高分子フィルム基材、2…有機物膜、3…無機酸化物膜、4…金属薄膜、5…無機酸化物膜。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Polymer film base material, 2 ... Organic substance film, 3 ... Inorganic oxide film, 4 ... Metal thin film, 5 ... Inorganic oxide film.

Claims (5)

基材の少なくとも一方の面に、有機物膜と、無機酸化物膜と、金属薄膜と、無機酸化物膜と、この順序で積層とともに、
前記有機物膜が、ポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビニルアルコール樹脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂から一つ、もしくは複数から選択され、
前記金属薄膜はアルミニウム(Al)を指し、
前記無機酸化物膜は、酸化珪素(SiO )を指し、X=1.5以上1.8以下であり、
前記無機酸化物膜は、蒸着材料として50μm以下の径を有する粉末が95%以上の金属珪素と、結晶構造を95%含み50μm以下の径を有する粉末が95%以上の二酸化珪素とをO/Si比が1.5になるように混合したものを用いて、電子ビーム加熱方式の真空蒸着装置により、電子銃から放出する電子ビームを前記蒸着材料に照射し蒸発させる加熱蒸着法により成膜したことを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法
On at least one side of the substrate, and an organic film, an inorganic oxide film, a metal thin film, and an inorganic oxide film, together with you laminated in this order,
The organic film is selected from one or a plurality of polyester resins, isocyanate resins, urethane resins, acrylic resins, vinyl alcohol resins, ethylene vinyl alcohol resins, vinyl modified resins, and epoxy resins,
The metal thin film refers to aluminum (Al),
The inorganic oxide film refers to silicon oxide (SiO X ), where X = 1.5 to 1.8.
The inorganic oxide film comprises, as an evaporation material, a metal silicon having a diameter of 50 μm or less of 95% or more of metal silicon and a powder having a crystal structure of 95% and a diameter of 50 μm or less of 95% or more of silicon dioxide. Using a mixture having an Si ratio of 1.5, an electron beam heating type vacuum evaporation apparatus was used to form a film by a heating evaporation method in which an electron beam emitted from an electron gun was irradiated to the evaporation material and evaporated. A method for producing a gas barrier film , comprising:
前記請求項1のガスバリア性フィルムの製造方法において、前記有機物膜の厚みは、0.01〜3μmであることを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法The manufacturing method of claim 1 of the gas barrier film, the thickness of the pre-Symbol organic film, method for producing a gas barrier film, which is a 0.01 to 3 [mu] m. 前記請求項1のガスバリア性フィルムの製造方法において、前記無機酸化物膜は、総膜厚が10nm以上150nm以下であることを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法The method of manufacturing a gas barrier film of claim 1, wherein the inorganic oxide film, a manufacturing method of the gas barrier film, wherein the total thickness is 10nm or more 150nm or less. 前記請求項1のガスバリア性フィルムの製造方法において、前記金属薄膜は、前記金属薄膜はアルミニウム(Al)を指し、膜厚1nm以上4nm以下であることを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法The method of manufacturing a gas barrier film of claim 1, wherein the metal thin film, the metal thin film refers to aluminum (Al), method for producing gas barrier film, wherein a film thickness of 1nm or more 4nm or less. 前記請求項1のガスバリア性フィルムの製造方法において、波長350nmにおける透過率が40%以上とされることを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法The method of manufacturing a gas barrier film of claim 1, method for producing a gas barrier film transmittance that put the wavelength 350nm is characterized Rukoto is 40% or more.
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