JP6155370B2 - Inkjet head - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッドに関する。   Embodiments described herein relate generally to an inkjet head.

いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドは、ベースプレートと、当該ベースプレートに取り付けられた駆動素子を有する。当該駆動素子はノズルプレートによって塞がれたインク室の中に位置する。前記駆動素子は、当該インク室に供給されたインクを、前記ノズルプレートに設けられたノズルから吐出させる。   A so-called side shooter type inkjet head has a base plate and a drive element attached to the base plate. The drive element is located in the ink chamber closed by the nozzle plate. The drive element causes ink supplied to the ink chamber to be ejected from nozzles provided in the nozzle plate.

前記ベースプレートは、高純度アルミナのような硬質な材料によって形成される。当該ベースプレートに、前記インク室にインクを供給し、または前記インク室からインクを排出するための複数の孔が設けられる。   The base plate is made of a hard material such as high purity alumina. The base plate is provided with a plurality of holes for supplying ink to the ink chamber or discharging the ink from the ink chamber.

前記ベースプレートに、前記駆動素子に接続される配線が設けられる。当該配線に駆動回路が接続され、当該駆動回路は前記配線を介して前記駆動素子に電圧を印加する。電圧を印加された前記駆動素子は変形し、前記ノズルからインクを吐出する。   A wiring connected to the driving element is provided on the base plate. A driving circuit is connected to the wiring, and the driving circuit applies a voltage to the driving element through the wiring. The drive element to which the voltage is applied is deformed and ejects ink from the nozzle.

特開2006−82396号公報JP 2006-82396 A

上述のベースプレートを軟質な材料で形成すると、当該ベースプレートに設けられる孔によって、前記ベースプレートが損傷するおそれがある。このため、前記ベースプレートの材料は、一定以上の硬さのものに制約され得る。   If the above-described base plate is formed of a soft material, the base plate may be damaged by holes provided in the base plate. For this reason, the material of the base plate can be restricted to a material having a certain hardness or higher.

さらに、前記配線は前記孔を避けるため、複雑な経路を形成することがある。このような複雑な経路を有する配線は、製造が難しく、製造費が増加するおそれがある。
以上のように、インクジェットヘッドには製造性の観点から改善の余地がある。
Furthermore, the wiring may form a complicated path to avoid the hole. Wiring having such a complicated path is difficult to manufacture and may increase manufacturing costs.
As described above, the inkjet head has room for improvement from the viewpoint of manufacturability.

本発明の目的は、製造性が良いインクジェットヘッドを提供することにある。   An object of the present invention is to provide an ink jet head with good manufacturability.

一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基部と、駆動素子と、ノズルプレートと、複数の電極と、複数の配線と、供給部と、排出部と、を備える。前記基部は、取付面と前記取付面と交差する側面とを有する。前記駆動素子は、前記取付面に取り付けられ、複数の圧力室を有する。前記ノズルプレートは、前記複数の圧力室にそれぞれ開口する複数のノズルを有する。前記複数の電極は、前記複数の圧力室にそれぞれ設けられる。前記複数の配線は、前記複数の電極にそれぞれ接続される。前記供給部は、前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室にインクを供給する。前記排出部は、前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室から前記インクを排出させる。前記複数の圧力室は、第1の列と、前記第1の列と平行な第2の列とを形成する。前記第1の列に含まれる前記圧力室と前記第2の列に含まれる前記圧力室とは、前記駆動素子に設けられた分割溝によって隔てられ、前記分割溝の幅は、前記圧力室の幅よりも狭い。   An inkjet head according to one embodiment includes a base, a drive element, a nozzle plate, a plurality of electrodes, a plurality of wirings, a supply unit, and a discharge unit. The base has a mounting surface and a side surface intersecting the mounting surface. The drive element is attached to the attachment surface and has a plurality of pressure chambers. The nozzle plate has a plurality of nozzles that open to the plurality of pressure chambers, respectively. The plurality of electrodes are respectively provided in the plurality of pressure chambers. The plurality of wirings are connected to the plurality of electrodes, respectively. The supply unit is connected to the plurality of pressure chambers and supplies ink to the pressure chambers. The discharge unit is connected to the plurality of pressure chambers and discharges the ink from the pressure chambers. The plurality of pressure chambers form a first row and a second row parallel to the first row. The pressure chambers included in the first row and the pressure chambers included in the second row are separated by a dividing groove provided in the driving element, and the width of the dividing groove is equal to the width of the pressure chamber. Narrower than width.

第1の実施の形態に係るインクジェットヘッドを分解して示す斜視図。1 is an exploded perspective view illustrating an inkjet head according to a first embodiment. FIG. 第1の実施形態のインクジェットヘッドを図1のF2−F2線に沿って示す断面図。Sectional drawing which shows the inkjet head of 1st Embodiment along the F2-F2 line | wire of FIG. 第1の実施形態のインクジェットヘッドを図2のF3−F3線に沿って示す断面図。Sectional drawing which shows the inkjet head of 1st Embodiment along the F3-F3 line | wire of FIG. 第1の実施形態のインクジェットヘッドを示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing the ink jet head of the first embodiment. 第1の実施形態の製造工程におけるベース部材およびアクチュエータを示す斜視図。The perspective view which shows the base member and actuator in the manufacturing process of 1st Embodiment. 第2の実施の形態に係るインクジェットヘッドを示す平面図。The top view which shows the inkjet head which concerns on 2nd Embodiment.

以下に、第1の実施の形態について、図1から図5を参照して説明する。なお、複数の表現が可能な各要素について一つ以上の他の表現の例を付すことがあるが、これは他の表現が付されていない要素について異なる表現がされることを否定するものではないし、例示されていない他の表現がされることを制限するものでもない。   A first embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 to 5. In addition, one or more examples of other expressions may be given for each element that can be expressed in multiple ways, but this does not deny that different elements are expressed differently. Nor is it intended to limit other expressions not illustrated.

図1は、第1の実施の形態に係るインクジェットヘッド10を分解して示す斜視図である。図2は、インクジェットヘッド10を図1のF2−F2線に沿って示す断面図である。図3は、インクジェットヘッド10を図2のF3−F3線に沿って示す断面図である。
図1に示すように、インクジェットヘッド10は、いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドである。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing the ink jet head 10 according to the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the inkjet head 10 along the line F2-F2 of FIG. 3 is a cross-sectional view of the inkjet head 10 taken along line F3-F3 in FIG.
As shown in FIG. 1, the ink jet head 10 is a so-called side shooter type ink jet head.

インクジェットヘッド10は、ベース部材12と、アクチュエータ13と、第1のマニホールド14と、第2のマニホールド15と、ノズルプレート16と、第1の壁部17と、第2の壁部18と、一対の回路基板19とを備えている。ベース部材12は、基部の一例である。アクチュエータ13は、駆動素子の一例である。第1のマニホールド14は、供給部の一例である。第2のマニホールド15は、排出部の一例である。回路基板19は、駆動回路の一例である。   The inkjet head 10 includes a base member 12, an actuator 13, a first manifold 14, a second manifold 15, a nozzle plate 16, a first wall portion 17, a second wall portion 18, and a pair. Circuit board 19. The base member 12 is an example of a base. The actuator 13 is an example of a drive element. The first manifold 14 is an example of a supply unit. The second manifold 15 is an example of a discharge unit. The circuit board 19 is an example of a drive circuit.

ベース部材12は、矩形の棒状に形成されている。ベース部材12は、例えば低純度のアルミナのような種々の材料によって形成される。ベース部材12は、熱伝導に優れている。   The base member 12 is formed in a rectangular bar shape. The base member 12 is formed of various materials such as low-purity alumina. The base member 12 is excellent in heat conduction.

図2に示すように、ベース部材12は、取付面22と、第1の側面23と、第2の側面24とを有している。第1および第2の側面23,24は、側面の一例である。取付面22と、第1および第2の側面23,24とは、平坦に形成されている。   As shown in FIG. 2, the base member 12 has a mounting surface 22, a first side surface 23, and a second side surface 24. The first and second side surfaces 23 and 24 are examples of side surfaces. The mounting surface 22 and the first and second side surfaces 23 and 24 are formed flat.

第1の側面23は、取付面22と直交している。第2の側面24は、取付面22と直交するとともに、第1の側面23の反対側に位置している。なお、第1および第2の側面23,24は、他の角度(例えば60°)で取付面22と交差しても良い。   The first side surface 23 is orthogonal to the mounting surface 22. The second side surface 24 is orthogonal to the mounting surface 22 and is located on the opposite side of the first side surface 23. The first and second side surfaces 23 and 24 may intersect the mounting surface 22 at other angles (for example, 60 °).

言い換えると、取付面22の端は、当該取付面22に対して傾斜する第1の側面23の端と一体である。取付面22の他端は、当該取付面22に対して傾斜する第2の側面24の端と一体である。さらに言い換えると、第1および第2の側面23,24は、取付面22に対して曲げられている。なお、取付面22と第1および第2の側面23,24との間に、溝、突出部、部品などが配置されても良い。   In other words, the end of the mounting surface 22 is integral with the end of the first side surface 23 that is inclined with respect to the mounting surface 22. The other end of the mounting surface 22 is integral with the end of the second side surface 24 that is inclined with respect to the mounting surface 22. In other words, the first and second side surfaces 23 and 24 are bent with respect to the mounting surface 22. In addition, a groove | channel, a protrusion part, components, etc. may be arrange | positioned between the attachment surface 22 and the 1st and 2nd side surfaces 23 and 24. FIG.

アクチュエータ13は、取付面22に、例えば接着剤によって取り付けられている。アクチュエータ13は、取付面22のほぼ全域を覆う。なお、取付面22の一部が露出されても良い。アクチュエータ13は、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)のような圧電性材料によって形成されている。   The actuator 13 is attached to the attachment surface 22 by, for example, an adhesive. The actuator 13 covers almost the entire area of the mounting surface 22. A part of the mounting surface 22 may be exposed. The actuator 13 is made of a piezoelectric material such as lead zirconate titanate (PZT).

アクチュエータ13は、第1の部分27と、第2の部分28とを有している。第1および第2の部分27,28は、それぞれ矩形の板状に形成されている。第1および第2の部分27,28は、ベース部材12の長手方向に沿って、平行に並んで配置されている。   The actuator 13 has a first portion 27 and a second portion 28. The first and second portions 27 and 28 are each formed in a rectangular plate shape. The first and second portions 27 and 28 are arranged in parallel along the longitudinal direction of the base member 12.

第1の部分27と第2の部分28との間には、分割溝31が設けられている。分割溝31は、アクチュエータ13からベース部材12に亘って設けられ、第1の部分27と第2の部分28とを分割している。言い換えると、分割溝31の深さは、アクチュエータ13の厚みよりも深い。なお、分割溝31がアクチュエータ13の一部にのみ設けられ、第1の部分27と第2の部分28とが一体であっても良い。   A dividing groove 31 is provided between the first portion 27 and the second portion 28. The dividing groove 31 is provided from the actuator 13 to the base member 12 and divides the first portion 27 and the second portion 28. In other words, the depth of the dividing groove 31 is deeper than the thickness of the actuator 13. The dividing groove 31 may be provided only in a part of the actuator 13 and the first portion 27 and the second portion 28 may be integrated.

分割溝31の両端部は、例えば、板または樹脂によって閉塞されている。このため、インクジェットヘッド10に供給されたインクが、分割溝31から外部に漏れることが防がれる。   Both end portions of the dividing groove 31 are closed by, for example, a plate or resin. For this reason, it is possible to prevent the ink supplied to the inkjet head 10 from leaking from the dividing groove 31 to the outside.

図4は、ノズルプレート16を除いたインクジェットヘッド10を示す平面図である。
図4に示すように、アクチュエータ13の第1および第2の部分27,28に、複数の圧力室33と、複数の空気室34とがそれぞれ設けられている。圧力室33および空気室34は、それぞれ、アクチュエータ13の長手方向と交差する方向に延びる溝状に形成されている。圧力室33および空気室34は、アクチュエータ13の頂面13aと、左右の側面13b,13cとに開放されている。圧力室33と空気室34とは、交互に配置され、互いに平行に並んでいる。
FIG. 4 is a plan view showing the inkjet head 10 excluding the nozzle plate 16.
As shown in FIG. 4, the first and second portions 27 and 28 of the actuator 13 are provided with a plurality of pressure chambers 33 and a plurality of air chambers 34, respectively. The pressure chamber 33 and the air chamber 34 are each formed in a groove shape extending in a direction crossing the longitudinal direction of the actuator 13. The pressure chamber 33 and the air chamber 34 are open to the top surface 13a of the actuator 13 and the left and right side surfaces 13b and 13c. The pressure chambers 33 and the air chambers 34 are alternately arranged and are arranged in parallel to each other.

図1に示すように、第1の部分27に設けられた複数の圧力室33および複数の空気室34は、第1の列36を形成している。第2の部分28に設けられた複数の圧力室33および複数の空気室34は、第2の列37を形成している。第2の列37は、第1の列36と平行に配置されている。第1の列36に含まれる圧力室33および空気室34と、第2の列37に含まれる圧力室33および空気室34とは、分割溝31によって隔てられている。分割溝31の幅は、圧力室33の幅よりも広く、空気室34の幅よりも広い。   As shown in FIG. 1, the plurality of pressure chambers 33 and the plurality of air chambers 34 provided in the first portion 27 form a first row 36. The plurality of pressure chambers 33 and the plurality of air chambers 34 provided in the second portion 28 form a second row 37. The second row 37 is arranged in parallel with the first row 36. The pressure chamber 33 and the air chamber 34 included in the first row 36 are separated from the pressure chamber 33 and the air chamber 34 included in the second row 37 by the dividing groove 31. The width of the dividing groove 31 is wider than the pressure chamber 33 and wider than the air chamber 34.

図4に示すように、第1の列36に含まれる圧力室33および空気室34は、第2の列37に含まれる圧力室33および空気室34に対してずらされている。すなわち、第1の列36に含まれる圧力室33は、第2の列37に含まれる空気室34と隣接している。第1の列36に含まれる空気室34は、第2の列37に含まれる圧力室33と隣接している。   As shown in FIG. 4, the pressure chamber 33 and the air chamber 34 included in the first row 36 are shifted with respect to the pressure chamber 33 and the air chamber 34 included in the second row 37. That is, the pressure chambers 33 included in the first row 36 are adjacent to the air chambers 34 included in the second row 37. The air chambers 34 included in the first row 36 are adjacent to the pressure chambers 33 included in the second row 37.

図3に示すように、圧力室33と空気室34との間に、柱部41がそれぞれ形成されている。複数の柱部41は、圧力室33と空気室34との間を仕切るとともに、各圧力室33の側面を形成する。   As shown in FIG. 3, a column part 41 is formed between the pressure chamber 33 and the air chamber 34. The plurality of column portions 41 partition between the pressure chambers 33 and the air chambers 34 and form side surfaces of the pressure chambers 33.

圧力室33および空気室34に電極43がそれぞれ設けられている。電極43は、圧力室33および空気室34の側面および底面を覆っている。電極43は、例えばニッケル薄膜によって形成されているが、これに限らず、例えば金や銅で形成されていても良い。   Electrodes 43 are provided in the pressure chamber 33 and the air chamber 34, respectively. The electrode 43 covers the side surfaces and the bottom surface of the pressure chamber 33 and the air chamber 34. The electrode 43 is formed of, for example, a nickel thin film, but is not limited thereto, and may be formed of, for example, gold or copper.

図1に示すように、ベース部材12の第1および第2の側面23,24に、複数の配線パターン45が設けられている。配線パターン45は、配線の一例である。複数の配線パターン45は、例えばレーザーパターニングされたニッケル薄膜によって形成されている。配線パターン45は、例えば金や銅で形成されていても良い。   As shown in FIG. 1, a plurality of wiring patterns 45 are provided on the first and second side surfaces 23 and 24 of the base member 12. The wiring pattern 45 is an example of wiring. The plurality of wiring patterns 45 are formed of, for example, a nickel thin film subjected to laser patterning. The wiring pattern 45 may be formed of, for example, gold or copper.

図2に示すように、複数の配線パターン45は、第1および第2の側面23,24の端部からアクチュエータ13に向かって延びている。複数の配線パターン45は、複数の電極43にそれぞれ接続されている。   As shown in FIG. 2, the plurality of wiring patterns 45 extend from the ends of the first and second side surfaces 23 and 24 toward the actuator 13. The plurality of wiring patterns 45 are connected to the plurality of electrodes 43, respectively.

第1の壁部17は、ベース部材12の第1の側面23と、アクチュエータ13の側面13bとに取り付けられている。第1の壁部17は、例えば耐インク性に優れた樹脂製のフィルムによって形成されている。なお、耐インク性とは、材料をインクに一定時間浸漬した場合の当該材料の損傷の度合いを指す。   The first wall portion 17 is attached to the first side surface 23 of the base member 12 and the side surface 13 b of the actuator 13. The first wall portion 17 is formed of a resin film having excellent ink resistance, for example. Ink resistance refers to the degree of damage of a material when the material is immersed in ink for a certain period of time.

第1の壁部17は、複数の第1の孔47を有している。複数の第1の孔47は、第1の部分27に設けられた(第1の列36に含まれた)複数の圧力室33にそれぞれ開口している。一方で第1の壁部17は、空気室34の、アクチュエータ13の側面13bに開放された部分を閉塞している。   The first wall portion 17 has a plurality of first holes 47. The plurality of first holes 47 open to a plurality of pressure chambers 33 (included in the first row 36) provided in the first portion 27, respectively. On the other hand, the first wall 17 closes a portion of the air chamber 34 that is open to the side surface 13 b of the actuator 13.

第2の壁部18は、ベース部材12の第2の側面24と、アクチュエータ13の側面13cとに取り付けられている。第2の壁部18は、例えば耐インク性に優れた樹脂製のフィルムによって形成されている。   The second wall portion 18 is attached to the second side surface 24 of the base member 12 and the side surface 13 c of the actuator 13. The second wall portion 18 is formed of a resin film having excellent ink resistance, for example.

第2の壁部18は、複数の第2の孔48を有している。複数の第2の孔48は、第2の部分28に設けられた(第2の列37に含まれた)複数の圧力室33にそれぞれ開口している。一方で第2の壁部18は、空気室34の、アクチュエータ13の側面13cに開放された部分を閉塞している。   The second wall portion 18 has a plurality of second holes 48. The plurality of second holes 48 open to a plurality of pressure chambers 33 (contained in the second row 37) provided in the second portion 28, respectively. On the other hand, the second wall portion 18 closes a portion of the air chamber 34 that is open to the side surface 13 c of the actuator 13.

第1のマニホールド14は、圧力室33にインクを供給するための部品である。第1のマニホールド14は、ベース部材12の第1の側面23と、アクチュエータ13の側面13bとに取り付けられる。第1のマニホールド14は、例えば、第1の側面23に設けられた配線パターン45の上から、第1の側面23に接着される。このため、第1の壁部17は、アクチュエータ13と第1のマニホールド14との間に介在する。   The first manifold 14 is a component for supplying ink to the pressure chamber 33. The first manifold 14 is attached to the first side surface 23 of the base member 12 and the side surface 13 b of the actuator 13. For example, the first manifold 14 is bonded to the first side surface 23 from above the wiring pattern 45 provided on the first side surface 23. For this reason, the first wall portion 17 is interposed between the actuator 13 and the first manifold 14.

第1のマニホールド14は、第1の流路51と、供給管52とを有している。第1の流路51は、アクチュエータ13の第1の部分27に向かって開放されている。第1の流路51は、第1の壁部17の複数の第1の孔47を介して、第1の部分27の複数の圧力室33に接続されている。供給管52は、第1の流路51に連結されている。供給管52は、チューブのような配管を介して、例えばインクタンクに接続されている。   The first manifold 14 has a first flow path 51 and a supply pipe 52. The first flow path 51 is open toward the first portion 27 of the actuator 13. The first flow path 51 is connected to the plurality of pressure chambers 33 of the first portion 27 through the plurality of first holes 47 of the first wall portion 17. The supply pipe 52 is connected to the first flow path 51. The supply pipe 52 is connected to, for example, an ink tank through a pipe such as a tube.

第1のマニホールド14は、アクチュエータ13の頂面13aと面一な頂面14aを有している。第1の流路51は、第1のマニホールド14の頂面14aで開放されている。
なお、当該頂面14aは閉塞されていても良い。
The first manifold 14 has a top surface 14 a that is flush with the top surface 13 a of the actuator 13. The first flow path 51 is opened at the top surface 14 a of the first manifold 14.
The top surface 14a may be closed.

第2のマニホールド15は、圧力室33からインクを排出させるための部品である。第2のマニホールド15は、ベース部材12の第2の側面24と、アクチュエータ13の側面13cとに取り付けられる。第2のマニホールド15は、例えば、第2の側面24に設けられた配線パターン45の上から、第2の側面24に接着される。このため、第2の壁部18は、アクチュエータ13と第2のマニホールド15との間に介在する。   The second manifold 15 is a component for discharging ink from the pressure chamber 33. The second manifold 15 is attached to the second side surface 24 of the base member 12 and the side surface 13 c of the actuator 13. For example, the second manifold 15 is bonded to the second side surface 24 from above the wiring pattern 45 provided on the second side surface 24. For this reason, the second wall portion 18 is interposed between the actuator 13 and the second manifold 15.

第2のマニホールド15は、第2の流路54と、排出管55とを有している。第2の流路54は、アクチュエータ13の第2の部分28に向かって開放されている。第2の流路54は、第2の壁部18の複数の第2の孔48を介して、第2の部分28の複数の圧力室33に接続されている。排出管55は、第2の流路54に連結されている。排出管55は、チューブのような配管を介して、前記インクタンクに接続されている。   The second manifold 15 has a second flow path 54 and a discharge pipe 55. The second flow path 54 is open toward the second portion 28 of the actuator 13. The second flow path 54 is connected to the plurality of pressure chambers 33 of the second portion 28 via the plurality of second holes 48 of the second wall portion 18. The discharge pipe 55 is connected to the second flow path 54. The discharge pipe 55 is connected to the ink tank through a pipe such as a tube.

第2のマニホールド15は、アクチュエータ13の頂面13aと面一な頂面15aを有している。第2の流路54は、第2のマニホールド15の頂面15aで開放されている。
なお、当該頂面15aは閉塞されていても良い。
The second manifold 15 has a top surface 15 a that is flush with the top surface 13 a of the actuator 13. The second flow path 54 is opened at the top surface 15 a of the second manifold 15.
The top surface 15a may be closed.

ノズルプレート16は、例えばポリイミド製の矩形のフィルムによって形成されている。なお、ノズルプレート16はポリイミドに限らず、レーザによる微細加工が可能な他の材料によって形成されても良い。ノズルプレート16は、オリフィスプレートとも称する。   The nozzle plate 16 is formed of a rectangular film made of polyimide, for example. The nozzle plate 16 is not limited to polyimide, and may be formed of other materials that can be finely processed by laser. The nozzle plate 16 is also referred to as an orifice plate.

ノズルプレート16は、アクチュエータ13の頂面13aと、第1のマニホールド14の頂面14aと、第2のマニホールド15の頂面15aとに、例えば接着剤によって取り付けられている。これにより、インク室57が形成される。インク室57は、アクチュエータ13、第1のマニホールド14、第2のマニホールド15、およびノズルプレート16によって形成された部屋であり、第1および第2の流路51,54を含んでいる。ノズルプレート16は、アクチュエータ13の頂面13aに開放された圧力室33および空気室34の一部を塞いでいる。   The nozzle plate 16 is attached to the top surface 13a of the actuator 13, the top surface 14a of the first manifold 14, and the top surface 15a of the second manifold 15, for example, with an adhesive. Thereby, the ink chamber 57 is formed. The ink chamber 57 is a chamber formed by the actuator 13, the first manifold 14, the second manifold 15, and the nozzle plate 16, and includes first and second flow paths 51 and 54. The nozzle plate 16 closes a part of the pressure chamber 33 and the air chamber 34 opened on the top surface 13 a of the actuator 13.

ノズルプレート16は、複数のノズル59を有している。複数のノズル59は、複数の圧力室33に対応して設けられ、複数の圧力室33にそれぞれ開口している。図4において、ノズル59が二点鎖線で示される。図4に示すように、複数のノズル59は二列に並んで配置されている。   The nozzle plate 16 has a plurality of nozzles 59. The plurality of nozzles 59 are provided corresponding to the plurality of pressure chambers 33 and open to the plurality of pressure chambers 33, respectively. In FIG. 4, the nozzle 59 is indicated by a two-dot chain line. As shown in FIG. 4, the plurality of nozzles 59 are arranged in two rows.

図1に示すように、一対の回路基板19は、フレキシブルプリント回路板(FPC)61と、IC62とをそれぞれ有している。IC62は、FPC61に実装されている。FPC61は配線と、コンデンサのような種々の部品とを有している。FPC61は、例えば異方性導電性フィルム(ACF)によって、配線パターン45に熱圧着接続される。なお、回路基板19はこれに限らず、テープキャリアパッケージ(TCP)であっても良い。   As shown in FIG. 1, the pair of circuit boards 19 each have a flexible printed circuit board (FPC) 61 and an IC 62. The IC 62 is mounted on the FPC 61. The FPC 61 has wiring and various parts such as a capacitor. The FPC 61 is thermocompression-bonded to the wiring pattern 45 by, for example, an anisotropic conductive film (ACF). The circuit board 19 is not limited to this, and may be a tape carrier package (TCP).

インクジェットヘッド10は、例えば以下のようにインクを吐出する。図2の矢印に示すように、まず、前記インクタンクのインクが、例えばポンプによって、供給管52を通って第1の流路51に供給される。   The inkjet head 10 discharges ink as follows, for example. As shown by the arrow in FIG. 2, first, the ink in the ink tank is supplied to the first flow path 51 through the supply pipe 52 by, for example, a pump.

図4の矢印に示すように、インクは第1の壁部17の第1の孔47を通って、第1の部分27の複数の圧力室33にそれぞれ供給される。なお、当該インクは、第1の壁部17によって妨げられ、第1の流路51からは空気室34に流入しない。   As shown by the arrows in FIG. 4, the ink is supplied to the plurality of pressure chambers 33 of the first portion 27 through the first holes 47 of the first wall portion 17. The ink is blocked by the first wall portion 17 and does not flow into the air chamber 34 from the first flow path 51.

第1の部分27の圧力室33に供給されたインクは、分割溝31を通り、第2の部分28の圧力室33に供給される。当該インクは、第2の壁部18の第2の孔48を通り、第2の流路54に流れ込む。   The ink supplied to the pressure chamber 33 of the first portion 27 passes through the dividing groove 31 and is supplied to the pressure chamber 33 of the second portion 28. The ink flows through the second hole 48 of the second wall portion 18 and flows into the second flow path 54.

なお、図4の小さな矢印で示すように、前記インクの一部が、第1および第2の部分27,28の空気室34に流入することもある。しかし、空気室34は、第1または第2の壁部17,18によって閉塞されているため、インクが入りにくい。このため、空気室34には、空気Bが存在する。なお、空気室34に、空気B以外のガスが存在しても良い。   As shown by small arrows in FIG. 4, some of the ink may flow into the air chambers 34 of the first and second portions 27 and 28. However, since the air chamber 34 is blocked by the first or second wall portions 17 and 18, it is difficult for ink to enter. For this reason, the air B exists in the air chamber 34. A gas other than the air B may exist in the air chamber 34.

図2の矢印に示すように、第2の流路54に流入したインクは、排出管55を通って、前記インクタンクに排出される。前記インクタンクに戻ったインクは、再び、供給管52を通ってインクジェットヘッド10に供給される。このように、インクは、インクジェットヘッド10と前記インクタンクとの間で循環している。   As shown by the arrow in FIG. 2, the ink flowing into the second flow path 54 passes through the discharge pipe 55 and is discharged to the ink tank. The ink returned to the ink tank is supplied again to the inkjet head 10 through the supply pipe 52. Thus, the ink circulates between the inkjet head 10 and the ink tank.

IC62は、FPC61および配線パターン45を介して、圧力室33の電極43に駆動信号(電圧)を印加する。電極43に電圧が印加されると、当該圧力室33を規定する柱部41はシェアモード変形する。柱部41が変形することにより当該圧力室33の容積が変化し、圧力室33に供給されたインクが加圧される。加圧されたインクは、ノズル59から吐出される。   The IC 62 applies a drive signal (voltage) to the electrode 43 of the pressure chamber 33 via the FPC 61 and the wiring pattern 45. When a voltage is applied to the electrode 43, the column part 41 that defines the pressure chamber 33 is deformed in the shear mode. When the column part 41 is deformed, the volume of the pressure chamber 33 changes, and the ink supplied to the pressure chamber 33 is pressurized. The pressurized ink is ejected from the nozzle 59.

次に、インクジェットヘッド10の製造方法の一例について説明する。図5は、製造工程におけるベース部材12およびアクチュエータ13を示す斜視図である。まず、アクチュエータ13を形成する一対の圧電部材64を、互いの分極方向を反対向きとするように貼り合わせる。圧電部材64は、上述したPZTのような圧電材料によって板状に形成される。   Next, an example of a method for manufacturing the inkjet head 10 will be described. FIG. 5 is a perspective view showing the base member 12 and the actuator 13 in the manufacturing process. First, a pair of piezoelectric members 64 forming the actuator 13 are bonded so that their polarization directions are opposite to each other. The piezoelectric member 64 is formed in a plate shape by the above-described piezoelectric material such as PZT.

次に、貼り合わされた圧電部材64を、ベース部材12を形成するベース材料65に接着する。ベース材料65は、上述した低純度のアルミナによって板状に形成される。圧電部材64は、ベース部材12の取付面22を形成するベース材料65の上面65aに取り付けられる。   Next, the bonded piezoelectric member 64 is bonded to the base material 65 that forms the base member 12. The base material 65 is formed in a plate shape from the low-purity alumina described above. The piezoelectric member 64 is attached to the upper surface 65 a of the base material 65 that forms the attachment surface 22 of the base member 12.

次に、圧電部材64およびベース材料65を、圧力室33の流路長(圧力室33の2列分)の幅となるように分割する。言い換えると、圧電部材64およびベース材料65から、ベース部材12およびアクチュエータ13を切り出す。図5のベース部材12およびアクチュエータ13において、分割溝31が設けられる場所が二点鎖線で示される。   Next, the piezoelectric member 64 and the base material 65 are divided so as to have the width of the flow path length of the pressure chamber 33 (for two rows of the pressure chambers 33). In other words, the base member 12 and the actuator 13 are cut out from the piezoelectric member 64 and the base material 65. In the base member 12 and the actuator 13 shown in FIG.

次に、圧電部材64(アクチュエータ13)に、複数の圧力室33および複数の空気室34を形成する。圧力室33および空気室34は、例えば、ICウェハーの切断に用いられているダイシングソーのダイヤモンドホイールによって、圧電部材64を切削することで形成される。   Next, a plurality of pressure chambers 33 and a plurality of air chambers 34 are formed in the piezoelectric member 64 (actuator 13). The pressure chamber 33 and the air chamber 34 are formed, for example, by cutting the piezoelectric member 64 with a diamond wheel of a dicing saw used for cutting an IC wafer.

次に、ベース部材12およびアクチュエータ13に、分割溝31を形成する。分割溝31は、前記ダイシングソーのダイヤモンドホイールによって、ベース部材12およびアクチュエータ13を切削することで形成される。なお、分割溝31は、圧力室33および空気室34よりも先に形成されても良い。   Next, the dividing groove 31 is formed in the base member 12 and the actuator 13. The dividing groove 31 is formed by cutting the base member 12 and the actuator 13 with the diamond wheel of the dicing saw. The dividing groove 31 may be formed before the pressure chamber 33 and the air chamber 34.

次に、圧力室33および空気室34に電極43を形成すると同時に、ベース部材12の第1および第2の側面23,24に配線パターン45を形成する。電極43および配線パターン45は、例えば無電解メッキ法を用いて形成される。例えばレーザ照射によりパターニングすることで、電極43および配線パターン45以外の部位からニッケル薄膜を除去する。   Next, the electrode 43 is formed in the pressure chamber 33 and the air chamber 34, and at the same time, the wiring pattern 45 is formed on the first and second side surfaces 23 and 24 of the base member 12. The electrode 43 and the wiring pattern 45 are formed using, for example, an electroless plating method. For example, the nickel thin film is removed from portions other than the electrode 43 and the wiring pattern 45 by patterning by laser irradiation.

次に、ベース部材12の第1および第2の側面23,24とアクチュエータ13の側面13b、13cとに、第1および第2の壁部17,18を取り付ける。さらに、ベース部材12の第1および第2の側面23,24とアクチュエータ13の側面13b、13cとに、第1および第2のマニホールド14,15を取り付ける。   Next, the first and second wall portions 17 and 18 are attached to the first and second side surfaces 23 and 24 of the base member 12 and the side surfaces 13 b and 13 c of the actuator 13. Further, the first and second manifolds 14 and 15 are attached to the first and second side surfaces 23 and 24 of the base member 12 and the side surfaces 13 b and 13 c of the actuator 13.

次に、アクチュエータ13の頂面13aと、第1のマニホールド14の頂面14aと、第2のマニホールド15の頂面15aとを、例えば研磨によって面一に加工する。なお、当該研磨はされなくても良い。アクチュエータ13と第1および第2のマニホールド14,15とに、ノズルプレート16を取り付ける。   Next, the top surface 13a of the actuator 13, the top surface 14a of the first manifold 14, and the top surface 15a of the second manifold 15 are processed to be flush with each other, for example, by polishing. Note that the polishing may not be performed. A nozzle plate 16 is attached to the actuator 13 and the first and second manifolds 14 and 15.

次に、第1および第2の側面23,24に設けられた配線パターン45に、回路基板19をそれぞれ接続する。これにより、図1に示すインクジェットヘッド10が形成される。   Next, the circuit board 19 is connected to the wiring patterns 45 provided on the first and second side surfaces 23 and 24, respectively. Thereby, the inkjet head 10 shown in FIG. 1 is formed.

前記構成のインクジェットヘッド10によれば、配線パターン45がベース部材12の第1および第2の側面23,24に設けられている。これにより、インクジェットヘッド10の幅方向に回路基板19を取り付けるためのスペースが不要となり、インクジェットヘッド10を小型化することができる。言い換えると、インクジェットヘッド10の幅を狭くできる。さらに、配線パターン45の厚み分、インクジェットヘッド10の厚みを低減できる。   According to the inkjet head 10 configured as described above, the wiring pattern 45 is provided on the first and second side surfaces 23 and 24 of the base member 12. Thereby, the space for attaching the circuit board 19 in the width direction of the inkjet head 10 becomes unnecessary, and the inkjet head 10 can be reduced in size. In other words, the width of the inkjet head 10 can be reduced. Furthermore, the thickness of the inkjet head 10 can be reduced by the thickness of the wiring pattern 45.

圧力室33にインクを供給および排出する第1および第2のマニホールド14,15が、ベース部材12とは別に設けられている。これにより、ベース部材12にインクが通る孔などを設ける必要がない。したがって、ベース部材12は硬質な材料によって形成される必要がなく、ベース部材12に使われる材料の選択肢を広げることができる。   The first and second manifolds 14 and 15 for supplying and discharging ink to and from the pressure chamber 33 are provided separately from the base member 12. Thereby, it is not necessary to provide a hole or the like through which ink passes in the base member 12. Therefore, the base member 12 does not need to be formed of a hard material, and the choice of the material used for the base member 12 can be expanded.

ベース部材12が軟質な材料で形成されても良いため、例えば分割溝31を形成する工具が、加工時に損傷または劣化することを抑制できる。したがって、ベース部材12の加工コストを低減できる。   Since the base member 12 may be formed of a soft material, for example, the tool that forms the dividing groove 31 can be prevented from being damaged or deteriorated during processing. Therefore, the processing cost of the base member 12 can be reduced.

さらに、第1および第2の側面23,24に孔などを設ける必要がないため、配線パターン45を直線状に形成できる。これにより、配線パターン45を容易に形成できる。以上のように、インクジェットヘッド10は、良好な製造性を有している。   Furthermore, since it is not necessary to provide holes or the like in the first and second side surfaces 23 and 24, the wiring pattern 45 can be formed in a straight line. Thereby, the wiring pattern 45 can be formed easily. As described above, the inkjet head 10 has good manufacturability.

圧力室33の第1および第2の列36,37は、分割溝31によって隔てられる。第1の列36の圧力室33と、第2の列37の圧力室33との距離は近い。これにより、インクジェットヘッド10を小型化できる。さらに、第1および第2の部分27,28を別々にベース部材12に取り付ける必要がなく、圧電部材64をカッター等で分割することで、圧力室33の列を隔てることができる。したがって、インクジェットヘッド10を容易に製造できる。   The first and second rows 36 and 37 of the pressure chamber 33 are separated by the dividing groove 31. The distance between the pressure chamber 33 in the first row 36 and the pressure chamber 33 in the second row 37 is short. Thereby, the inkjet head 10 can be reduced in size. Furthermore, it is not necessary to separately attach the first and second portions 27 and 28 to the base member 12, and the rows of the pressure chambers 33 can be separated by dividing the piezoelectric member 64 with a cutter or the like. Therefore, the inkjet head 10 can be manufactured easily.

第1および第2の壁部17,18によって、圧力室33と空気室34とが交互に設けられる。これにより、圧力室33からインクが吐出される際に、隣接する部屋(空気室34)が抵抗を生じさせることを抑制できる。これにより、インクジェットヘッド10の駆動周波数を高くすることができる。   The pressure chambers 33 and the air chambers 34 are alternately provided by the first and second wall portions 17 and 18. Thereby, when ink is ejected from the pressure chamber 33, it is possible to suppress the adjacent chamber (air chamber 34) from causing resistance. Thereby, the drive frequency of the inkjet head 10 can be made high.

第1の列36に含まれる圧力室33および空気室34は、第2の列37に含まれる圧力室33および空気室34に対してずらされている。これにより、第1の列36に含まれる圧力室33と、第2の列37に含まれる圧力室33との間で、残留振動が伝播することを抑制できる。   The pressure chamber 33 and the air chamber 34 included in the first row 36 are shifted with respect to the pressure chamber 33 and the air chamber 34 included in the second row 37. Thereby, it is possible to suppress the residual vibration from propagating between the pressure chambers 33 included in the first row 36 and the pressure chambers 33 included in the second row 37.

分割溝31の幅は、圧力室33の幅よりも広い。これにより、インクが容易に分割溝31を通り、第1の列36の圧力室33から、第2の列37の圧力室33に移動することができる。   The width of the dividing groove 31 is wider than the width of the pressure chamber 33. As a result, the ink can easily move through the dividing groove 31 from the pressure chamber 33 in the first row 36 to the pressure chamber 33 in the second row 37.

次に、図6を参照して、第2の実施の形態について説明する。なお、以下に開示する実施形態において、第1の実施形態のインクジェットヘッド10と同一の機能を有する構成部分には同一の参照符号を付す。さらに、当該構成部分については、その説明を一部または全て省略することがある。   Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. Note that, in the embodiments disclosed below, the same reference numerals are assigned to components having the same functions as those of the inkjet head 10 of the first embodiment. Further, the description of the components may be partially or entirely omitted.

図6は、第2の実施の形態に係るインクジェットヘッド10を、ノズルプレート16を除いて示す平面図である。図6に示すように、第2の実施形態において、分割溝31の幅は、圧力室33の幅よりも狭く、空気室34の幅よりも狭い。   FIG. 6 is a plan view showing the inkjet head 10 according to the second embodiment, excluding the nozzle plate 16. As shown in FIG. 6, in the second embodiment, the width of the dividing groove 31 is narrower than the pressure chamber 33 and narrower than the air chamber 34.

第1の列36に含まれる圧力室33および空気室34は、第2の列37に含まれる圧力室33および空気室34と揃っている。すなわち、第1の列36に含まれる圧力室33は、第2の列37に含まれる圧力室33と隣接している。第1の列36に含まれる空気室34は、第2の列37に含まれる空気室34と隣接している。   The pressure chamber 33 and the air chamber 34 included in the first row 36 are aligned with the pressure chamber 33 and the air chamber 34 included in the second row 37. That is, the pressure chambers 33 included in the first row 36 are adjacent to the pressure chambers 33 included in the second row 37. The air chambers 34 included in the first row 36 are adjacent to the air chambers 34 included in the second row 37.

第2の実施形態において、インクは以下のようにインク室57に供給される。まず、インクが第1の流路51に供給されると、当該インクは第1の壁部17の第1の孔47を通って、第1の部分27の複数の圧力室33にそれぞれ供給される。なお、当該インクは、第1の壁部17によって妨げられ、第1の流路51からは空気室34に流入しない。   In the second embodiment, ink is supplied to the ink chamber 57 as follows. First, when ink is supplied to the first flow path 51, the ink is supplied to the plurality of pressure chambers 33 of the first portion 27 through the first holes 47 of the first wall portion 17. The The ink is blocked by the first wall portion 17 and does not flow into the air chamber 34 from the first flow path 51.

第1の部分27の圧力室33に供給されたインクは、隣接する第2の部分28の圧力室33に供給される。当該インクは、第2の壁部18の第2の孔48を通り、第2の流路54に流れ込む。   The ink supplied to the pressure chamber 33 of the first portion 27 is supplied to the pressure chamber 33 of the adjacent second portion 28. The ink flows through the second hole 48 of the second wall portion 18 and flows into the second flow path 54.

なお、図6の小さな矢印で示すように、前記インクの一部が、分割溝31を通り、第1および第2の部分27,28の空気室34に流入することもある。しかし、空気室34は、第1または第2の壁部17,18によって閉塞されているため、インクが入りにくい。
さらに、分割溝31の幅が圧力室33の幅よりも狭いため、インクは分割溝31を通りにくい。このため、空気室34には、空気Bが存在する。
Note that, as indicated by a small arrow in FIG. 6, a part of the ink may flow into the air chamber 34 of the first and second portions 27 and 28 through the dividing groove 31. However, since the air chamber 34 is blocked by the first or second wall portions 17 and 18, it is difficult for ink to enter.
Further, since the width of the dividing groove 31 is narrower than the width of the pressure chamber 33, it is difficult for ink to pass through the dividing groove 31. For this reason, the air B exists in the air chamber 34.

第2の実施形態のインクジェットヘッド10によれば、分割溝31の幅が、圧力室33の幅よりも狭い。これにより、圧力室33のインクが、分割溝31を通って空気室34に流入しにくく、空気室34に空気Bが残りやすくなる。したがって、圧力室33からインクが吐出される際に、隣接する部屋(空気室34)が抵抗を生じさせることをさらに抑制できる。   According to the inkjet head 10 of the second embodiment, the width of the dividing groove 31 is narrower than the width of the pressure chamber 33. As a result, the ink in the pressure chamber 33 hardly flows into the air chamber 34 through the dividing groove 31, and the air B easily remains in the air chamber 34. Therefore, when ink is ejected from the pressure chamber 33, it is possible to further suppress the adjacent chamber (air chamber 34) from causing resistance.

以上述べた少なくとも一つのインクジェットヘッドによれば、配線が、基部の側面に設けられる。当該側面は、駆動素子が取り付けられる基部の取付面と交差する。これにより、良好な製造性を有するインクジェットヘッドを提供することができる。   According to at least one ink jet head described above, the wiring is provided on the side surface of the base. The side surface intersects the attachment surface of the base to which the drive element is attached. Thereby, the inkjet head which has favorable manufacturability can be provided.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

例えば、インクジェットヘッド10は、第1および第2の壁部17,18を有していなくとも良い。第1および第2の壁部17,18が無い場合、インクジェットヘッド10は、例えばインクの吐出方法を制御することにより高密度で高精細な印字性能を得る。
以下に、本願出願の親出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]取付面と、前記取付面と交差する側面と、を有する基部と、前記取付面に取り付けられ、複数の圧力室を有する駆動素子と、前記駆動素子に取り付けられ、前記複数の圧力室にそれぞれ開口する複数のノズルを有するノズルプレートと、前記複数の圧力室にそれぞれ設けられた複数の電極と、前記側面に設けられ前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の配線と、前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室にインクを供給する供給部と、前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室から前記インクを排出させる排出部と、を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
[2]前記複数の圧力室は、第1の列と、前記第1の列と平行な第2の列とを形成し、前記第1の列に含まれる前記圧力室と前記第2の列に含まれる前記圧力室とは、前記駆動素子に設けられた分割溝によって隔てられたことを特徴とする[1]に記載のインクジェットヘッド。
[3]前記駆動素子と前記供給部との間に介在し、前記複数の圧力室に開口する複数の第1の孔を有する第1の壁部と、前記駆動素子と前記排出部との間に介在し、前記複数の圧力室に開口する複数の第2の孔を有する第2の壁部と、をさらに具備し、前記駆動素子は、前記第1の壁部および前記第2の壁部の少なくとも一方によって閉塞され、前記複数の圧力室と交互に配置された複数の空気室をさらに有することを特徴とする[1]または[2]に記載のインクジェットヘッド。
[4]前記供給部および前記排出部の少なくとも一方は、前記複数の配線の上から前記基部の前記側面に取り付けられることを特徴とする[1]ないし[3]のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
[5]取付面と、前記取付面と交差する側面と、を有する基部の前記取付面に、圧電部材を取り付け、前記圧電部材に複数の圧力室を形成し、前記複数の圧力室に複数の電極を形成し、前記側面に、前記複数の電極に接続される複数の配線を形成し、前記基部に、前記複数の圧力室にインクを供給する供給部を取り付け、前記基部に、前記複数の圧力室から前記インクを排出させる排出部を取り付け、前記駆動素子に、前記複数の圧力室に開口する複数のノズルが設けられたノズルプレートを取り付ける、ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
For example, the inkjet head 10 may not have the first and second wall portions 17 and 18. When the first and second wall portions 17 and 18 are not provided, the inkjet head 10 obtains high-density and high-definition printing performance by controlling, for example, the ink ejection method.
The invention described in the scope of claims of the original application of the parent application of the present application will be added below.
[1] A base having a mounting surface and a side surface intersecting with the mounting surface; a driving element mounted on the mounting surface and having a plurality of pressure chambers; and a plurality of pressure chambers mounted on the driving element. A plurality of nozzles each having a plurality of nozzles, a plurality of electrodes respectively provided in the plurality of pressure chambers, a plurality of wirings provided on the side surface and respectively connected to the plurality of electrodes, An ink jet head comprising: a supply unit connected to a pressure chamber for supplying ink to the pressure chamber; and a discharge unit connected to the plurality of pressure chambers for discharging the ink from the pressure chamber. .
[2] The plurality of pressure chambers form a first row and a second row parallel to the first row, and the pressure chambers and the second row included in the first row The ink jet head according to [1], wherein the pressure chamber included in is separated by a dividing groove provided in the driving element.
[3] A first wall having a plurality of first holes that are interposed between the drive element and the supply unit and open to the plurality of pressure chambers, and between the drive element and the discharge unit. And a second wall portion having a plurality of second holes that open to the plurality of pressure chambers, wherein the drive element includes the first wall portion and the second wall portion. The inkjet head according to [1] or [2], further comprising a plurality of air chambers closed by at least one of the plurality of air chambers and alternately arranged with the plurality of pressure chambers.
[4] At least one of the supply unit and the discharge unit is attached to the side surface of the base portion from above the plurality of wirings, [1] to [3] Inkjet head.
[5] A piezoelectric member is attached to the attachment surface of the base having an attachment surface and a side surface intersecting the attachment surface, a plurality of pressure chambers are formed in the piezoelectric member, and a plurality of pressure chambers are formed in the plurality of pressure chambers. An electrode is formed, a plurality of wirings connected to the plurality of electrodes are formed on the side surface, a supply unit that supplies ink to the plurality of pressure chambers is attached to the base, and the plurality of the plurality of wirings are connected to the base. A method for manufacturing an ink jet head, comprising: attaching a discharge unit that discharges the ink from a pressure chamber; and attaching a nozzle plate provided with a plurality of nozzles that open to the plurality of pressure chambers to the drive element.

10…インクジェットヘッド、12…ベース部材、13…アクチュエータ、14…第1のマニホールド、15…第2のマニホールド、16…ノズルプレート、17…第1の壁部、18…第2の壁部、19…回路基板、22…取付面、23…第1の側面、24…第2の側面、31…分割溝、33…圧力室、34…空気室、36…第1の列、37…第2の列、43…電極、45…配線パターン、47…第1の孔、48…第2の孔、59…ノズル、64…圧電部材。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Inkjet head, 12 ... Base member, 13 ... Actuator, 14 ... 1st manifold, 15 ... 2nd manifold, 16 ... Nozzle plate, 17 ... 1st wall part, 18 ... 2nd wall part, 19 ... Circuit board, 22 ... Mounting surface, 23 ... First side, 24 ... Second side, 31 ... Dividing groove, 33 ... Pressure chamber, 34 ... Air chamber, 36 ... First row, 37 ... Second Rows, 43 ... electrodes, 45 ... wiring patterns, 47 ... first holes, 48 ... second holes, 59 ... nozzles, 64 ... piezoelectric members.

Claims (4)

取付面と、前記取付面と交差する側面と、を有する基部と、
前記取付面に取り付けられ、複数の圧力室を有する駆動素子と、
前記駆動素子に取り付けられ、前記複数の圧力室にそれぞれ開口する複数のノズルを有するノズルプレートと、
前記複数の圧力室にそれぞれ設けられた複数の電極と、
前記側面に設けられ前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の配線と、
前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室にインクを供給する供給部と、
前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室から前記インクを排出させる排出部と、を具備し、
前記複数の圧力室は、第1の列と、前記第1の列と平行な第2の列とを形成し、
前記第1の列に含まれる前記圧力室と前記第2の列に含まれる前記圧力室とは、前記駆動素子に設けられた分割溝によって隔てられ、前記分割溝の幅は、前記圧力室の幅よりも狭いことを特徴とするインクジェットヘッド。
A base having a mounting surface and a side surface intersecting the mounting surface;
A drive element attached to the attachment surface and having a plurality of pressure chambers;
A nozzle plate attached to the drive element and having a plurality of nozzles each opening into the plurality of pressure chambers;
A plurality of electrodes respectively provided in the plurality of pressure chambers;
A plurality of wirings provided on the side surface and respectively connected to the plurality of electrodes;
A supply unit connected to the plurality of pressure chambers for supplying ink to the pressure chambers;
A discharge unit connected to the plurality of pressure chambers and discharging the ink from the pressure chambers,
The plurality of pressure chambers form a first row and a second row parallel to the first row;
The pressure chambers included in the first row and the pressure chambers included in the second row are separated by a dividing groove provided in the driving element, and the width of the dividing groove is equal to the width of the pressure chamber. An inkjet head characterized by being narrower than the width.
前記駆動素子と前記供給部との間に介在し、前記複数の圧力室に開口する複数の第1の孔を有する第1の壁部と、
前記駆動素子と前記排出部との間に介在し、前記複数の圧力室に開口する複数の第2の孔を有する第2の壁部と、
をさらに具備し、
前記駆動素子は、前記第1の壁部および前記第2の壁部の少なくとも一方によって閉塞され、前記複数の圧力室と交互に配置された複数の空気室をさらに有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
A first wall having a plurality of first holes that are interposed between the drive element and the supply unit and open to the plurality of pressure chambers;
A second wall portion interposed between the drive element and the discharge portion and having a plurality of second holes that open to the plurality of pressure chambers;
Further comprising
The said drive element is further obstruct | occluded by at least one of the said 1st wall part and the said 2nd wall part, and further has several air chambers arrange | positioned alternately with these pressure chambers. 2. An ink jet head according to 1.
前記第1の列に含まれる前記圧力室は、前記第2の列に含まれる前記圧力室と隣接することを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットヘッド。   The inkjet head according to claim 1, wherein the pressure chambers included in the first row are adjacent to the pressure chambers included in the second row. 前記供給部および前記排出部の少なくとも一方は、前記複数の配線の上から前記基部の前記側面に取り付けられることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。   4. The inkjet head according to claim 1, wherein at least one of the supply unit and the discharge unit is attached to the side surface of the base portion from above the plurality of wirings.
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