JP6148177B2 - ラマンまたは他の分光法システムのためのライン光源 - Google Patents
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Description
本発明はさらに、例えば、以下を提供する。
(項目1)
顕微鏡視野に焦点を合わせられた顕微鏡対物レンズと、
非点収差ビームを生成するレーザと光学とを含む光源であって、前記光学は、前記非点収差ビームを前記顕微鏡対物レンズ中に結合することにより、前記顕微鏡視野において、高アスペクト比照明を産生するように構成されている、光源と、
前記高アスペクト比照明に応答して前記顕微鏡視野から発生する光に関するデータを生成するように構成されているデータ取得システムと
を含む、装置。
(項目2)
前記レーザは、端放射レーザを含む、項目1に記載の装置。
(項目3)
前記レーザは、半導体系端放射ダイオードレーザを含む、項目1に記載の装置。
(項目4)
前記半導体系端放射ダイオードレーザは、エピタキシャルIII−V族化合物半導体層の積層を含む、項目3に記載の装置。
(項目5)
前記エピタキシャルIII−V族化合物半導体層の積層は、二元、三元、または四元III−V族化合物半導体活性層を含み、前記活性層は、Ga、Al、およびInから成る群から選択される少なくとも1つのIII族種を含み、かつ、As、P、N、およびSbから成る群から選択される少なくとも1つのV族種を含む、項目4に記載の装置。
(項目6)
前記データ取得システムは、前記データを生成するように構成されている分光計を含む、項目1−5のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目7)
前記分光計は、光学スペクトルを含む前記データを生成するように構成されている、項目6に記載の装置。
(項目8)前記分光計は、ラマンスペクトルを含む前記データを生成するように構成されている、項目6に記載の装置。
(項目9)
前記分光計は、(1)光分散要素と光検出器のアレイとの組み合わせ、(2)光分散要素と光検出器との組み合わせであって、前記光分散要素および前記光検出器のうちの一方が、他方に対して移動する、組み合わせ、(3)チェルニー−ターナモノクロメータ、および(4)フーリエ変換赤外線分光計(FTIR)から成る群から選択される、項目6−8のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目10)
サンプルステージをさらに含み、前記サンプルステージは、前記顕微鏡視野における前記高アスペクト比照明の長辺を横断する方向に、前記顕微鏡視野を横切って、表面を移動させるように構成されている、項目1−9のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目11)
前記サンプルステージは、ロールツーロール装置を含む、項目10に記載の装置。
(項目12)
前記データ取得システムは、(i)反射光、(ii)透過光、(iii)前記高アスペクト比照明によって励起される蛍光発光、および(iv)前記顕微鏡視野において、ラマン散乱によって散乱された高アスペクト比照明のうちの少なくとも1つに関するデータを生成するように構成されている、項目1−11のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目13)
前記レーザは、端放射レーザであり、前記端放射レーザによって生成される前記非点収差ビームは、tan(β)/tan(α)が少なくとも40の非点収差を有し、式中、βは、前記端放射レーザの放出平面を横断する、ビーム広がり角であって、αは、前記端放射レーザの放出平面内のビーム広がり角である、項目1−12のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目14)
前記レーザによって生成される前記非点収差ビームは、tan(β)/tan(α)が少なくとも40の非点収差を有し、式中、βは、前記非点収差ビームの最大ビーム広がり角であり、αは、前記非点収差ビームの最小ビーム広がり角である、項目1−12のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目15)
前記顕微鏡視野における前記高アスペクト比照明は、少なくとも40:1のアスペクト比を有する、項目1−14のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目16)
前記顕微鏡視野における前記高アスペクト比照明は、5ミクロン未満の短寸法と、少なくとも30ミクロンの長寸法とを有する、項目1−15のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目17)
前記高アスペクト比照明は、1〜3ミクロン(1ミクロンおよび3ミクロンを含む)の短寸法を有する、項目16に記載の装置。
(項目18)
前記高アスペクト比照明は、約1ミクロンの短寸法を有する、項目16に記載の装置。
(項目19)
前記光源の光学は、前記非点収差ビームの非点収差を補償するために配置されている非球面レンズを含む、項目1−18のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目20)
前記非球面レンズは、前記非点収差ビームを平行ビームに変換し、前記顕微鏡対物レンズは、前記平行ビームを前記顕微鏡視野において結像することにより、前記顕微鏡視野において、前記高アスペクト比照明を産生する、項目19に記載の装置。
(項目21)
前記非点収差ビームは、tan(β)/tan(α)の非点収差を有し、式中、βは、前記非点収差ビームの最大広がり角であり、αは、前記非点収差ビームの最小広がり角であり、前記顕微鏡視野における前記高アスペクト比照明は、tan(β):tan(α)のアスペクト比を有する、項目1−20のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目22)
tan(β)/tan(α)は、30以上である、項目21に記載の装置。
(項目23)
前記光源の光学は、前記レーザに対して、前記非点収差ビームのスペクトル半値全幅(FWHM)を減少させるフィードバックを提供するために配置されている回折格子を含む、項目1−22のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目24)
前記レーザは、前記回折格子を伴わずに、少なくとも1ナノメートルのスペクトルFWHMを有するビームを産生するように動作可能である端放射レーザであり、前記非点収差ビームの前記スペクトルFWHMは、0.1ナノメートル未満である、項目23に記載の装置。
(項目25)
前記回折格子は、少なくとも10倍、前記非点収差ビームのスペクトルFWHMを減少させる、項目23−24のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目26)
前記回折格子は、体積位相格子を含む、項目23−25のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目27)
前記回折格子は、体積位相ホログラフィ回折格子を含む、項目23−25のうちのいずれか一項に記載の装置。
(項目28)
非点収差ビームを生成するレーザと、
前記非点収差ビームを非点収差補正ビームに変換するように配置されている非球面レンズと、
顕微鏡視野に焦点を合わせられた顕微鏡対物レンズであって、前記顕微鏡対物レンズは、前記非点収差補正ビームを受光して、前記顕微鏡視野において、高アスペクト比照明を産生する、顕微鏡対物レンズと
を含む、装置。
(項目29)
前記レーザは、端放射レーザである、項目28に記載の装置。
(項目30)
回折格子をさらに含み、前記回折格子は、前記端放射レーザに対して、前記非点収差ビームのスペクトル半値全幅(FWHM)を減少させるフィードバックを提供するために配置されている、項目29に記載の装置。
(項目31)
前記回折格子は、少なくとも10倍、前記非点収差ビームのスペクトルFWHMを減少させる体積位相格子を含む、項目30に記載の装置。
(項目32)
項目28−31のいずれか一項に記載の装置を採用しているラマン分光法システム。
(項目33)
非点収差ビームを生成することと、
前記非点収差ビームの非点収差を補正し、非点収差補正ビームを産生することと、
顕微鏡対物レンズを使用して、前記非点収差補正ビームから、顕微鏡視野において、高アスペクト比照明を産生することと、
前記高アスペクト比照明に応答して前記顕微鏡視野から発生する光に関するデータを生成することと
を含む、方法。
(項目34)
前記生成することは、前記高アスペクト比照明のラマン散乱に関するデータを生成することを含む、項目33に記載の方法。
(項目35)
前記生成することは、ラマンスペクトルを生成することを含む、項目33−34のいずれか一項に記載の方法。
(項目36)
端放射レーザを使用して、前記非点収差ビームを生成することをさらに含む、項目33−35のいずれか一項に記載の方法。
(項目37)
回折格子を使用して、フィードバックを提供することにより、前記非点収差ビームのスペクトル半値全幅(FWHM)を減少させることをさらに含む、項目36に記載の方法。
Claims (12)
- 顕微鏡視野に焦点を合わせられた顕微鏡対物レンズと、
非点収差ビームを生成するレーザと光学とを含む光源であって、前記非点収差ビームは、非点収差を有し、βは、前記非点収差ビームの最大ビーム広がり角であり、αは、前記非点収差ビームの最小ビーム広がり角であり、前記光学は、前記非点収差ビームを前記顕微鏡対物レンズ中に結合することにより、前記顕微鏡視野において、高アスペクト比照明を生成するように構成されており、前記光源の前記光学は、非球面レンズを含み、前記非球面レンズは、前記非点収差ビームを非点収差補正平行化ビームに変換するために、前記最大ビーム広がり角βを有する光を平行化するために有効である前記最大ビーム広がり角βの方向において有限の焦点距離を有し、かつ、前記最小ビーム広がり角αを有する光を平行化するために有効である前記最小ビーム広がり角αの方向において有限の焦点距離を有するように配置されており、前記顕微鏡対物レンズは、前記非点収差補正平行化ビームを前記顕微鏡視野において結像することにより、前記顕微鏡視野において、tan(β):tan(α)のアスペクト比を有する高アスペクト比照明を生成する、光源と、
前記高アスペクト比照明に応答して前記顕微鏡視野から発生する光に関するデータを生成するように構成されているデータ取得システムと
を含む、装置。 - 前記レーザは、半導体系端放射ダイオードレーザを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記半導体系端放射ダイオードレーザによって生成される前記非点収差ビームは、tan(β)/tan(α)が少なくとも40の非点収差を有し、βは、前記半導体系端放射ダイオードレーザの放出平面を横断するビーム広がり角であり、αは、前記半導体系端放射ダイオードレーザの放出平面内のビーム広がり角である、請求項2に記載の装置。
- 前記データ取得システムは、ラマンスペクトルを含む前記データを生成するように構成されている分光計を含む、請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載の装置。
- ロールツーロール装置を含むサンプルステージをさらに含み、前記ロールツーロール装置は、前記顕微鏡視野における前記高アスペクト比照明の長辺を横断する方向に、前記顕微鏡視野を横切って、表面を移動させるように構成されている、請求項1〜4のうちのいずれか一項に記載の装置。
- 前記顕微鏡視野における前記高アスペクト比照明は、少なくとも40:1のアスペクト比を有する、請求項1〜5のうちのいずれか一項に記載の装置。
- 前記光源の前記光学は、回折格子を含み、前記回折格子は、前記レーザに対して、前記非点収差ビームのスペクトル半値全幅(FWHM)を減少させるフィードバックを提供するように配置されている、請求項1〜6のうちのいずれか一項に記載の装置。
- 前記回折格子は、少なくとも10倍、前記非点収差ビームのスペクトルFWHMを減少させる、請求項7に記載の装置。
- 前記回折格子は、体積位相格子を含む、請求項7〜8のうちのいずれか一項に記載の装置。
- 非点収差ビームを生成することであって、前記非点収差ビームは、非点収差を有し、βは、前記非点収差ビームの最大ビーム広がり角であり、αは、前記非点収差ビームの最小ビーム広がり角である、ことと、
非球面レンズを使用して、前記非点収差ビームを平行化非点収差補正ビームに変換することにより、tan(β):tan(α)のアスペクト比を有する非点収差補正平行化ビームを生成することであって、前記非球面レンズは、前記最大ビーム広がり角βを有する光を平行化するために有効である最大ビーム広がりの方向における有限の焦点距離と、前記最小ビーム広がり角αを有する光を平行化するために有効である最小ビーム広がりの方向における有限の焦点距離とを有する、ことと、
顕微鏡対物レンズを使用して、前記平行化非点収差補正ビームを顕微鏡視野において結像することにより、前記平行化非点収差補正ビームから、前記顕微鏡視野において、tan(β):tan(α)のアスペクト比を有する高アスペクト比照明を生成することと、
前記高アスペクト比照明に応答して前記顕微鏡視野から発生する光に関するデータを生成することと
を含む、方法。 - 前記生成することは、前記高アスペクト比照明のラマン散乱に関するデータを生成することを含む、請求項10に記載の方法。
- 端放射レーザを使用して、前記非点収差ビームを生成することと、
回折格子を使用して、フィードバックを提供することにより、前記非点収差ビームのスペクトル半値全幅(FWHM)を減少させることと
をさらに含む、請求項10〜11のうちのいずれか一項に記載の方法。
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