JP6136074B2 - 窒素分離装置及び方法 - Google Patents
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Description
、圧力スイング吸着技術は省エネで効率的なプロセスになるという利点があるものの、その一方で、吸着しなければならない窒素の量が多いほど、あるいは原料ガス中の窒素濃度が高いほど、必要な吸着剤は多くなるため、その分だけコスト高となるという問題がある。
<第一発明>
メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する装置において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により第一室と第二室に区分形成されていて、第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた膜分離排ガスが第二室に収容され、原料ガスよりもメタン濃度が高められた残留窒素を含む膜分離処理ガスが第一室に収容される膜分離装置と、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を吸着槽内に備えていて、上記膜分離装置の第一室から膜分離処理ガスを受けて、吸着槽内での圧力スイングのもとで吸着剤が膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着することで、膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスと、吸着された後に脱着された窒素を含んで窒素濃度が高められメタンを含む排ガスとを生ずる圧力スイング吸着装置と、
を有することを特徴とする窒素分離装置。
メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する装置において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により第一室と第二室に区分形成されていて、第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた膜分離排ガスが第二室に収容され、原料ガスよりもメタン濃度が高められた残留窒素を含む膜分離処理ガスが第一室に収容される膜分離装置と、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を吸着槽内に備えていて、上記膜分離装置の第一室から膜分離処理ガスを受けて、吸着槽内での圧力スイングのもとで吸着剤が膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着することで、膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスと、吸着された後に脱着された窒素を含んで窒素濃度が高められメタンを含む排ガスとを生ずる圧力スイング吸着装置と、
を有し、
排ガスの一部を圧力スイング吸着装置へ帰還供給し、残部を排出することを特徴とする窒素分離装置。
メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する装置において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により第一室と第二室に区分形成されていて、第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた膜分離排ガスが第二室に収容され、原料ガスよりもメタン濃度が高められた残留窒素を含む膜分離処理ガスが第一室に収容される膜分離装置と、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を吸着槽内に備えていて、上記膜分離装置の第一室から膜分離処理ガスを受けて、吸着槽内での圧力スイングのもとで吸着剤が膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着することで、膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスと、吸着された後に脱着された窒素を含んで窒素濃度が高められメタンを含む排ガスとを生ずる圧力スイング吸着装置と、
を有し、
排ガスの一部を膜分離装置の第一室へ帰還供給し、残部を排出することを特徴とする窒素分離装置。
メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する装置において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により第一室と第二室に区分形成されていて、第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた膜分離排ガスが第二室に収容され、原料ガスよりもメタン濃度が高められた残留窒素を含む膜分離処理ガスが第一室に収容される膜分離装置と、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を吸着槽内に備えていて、上記膜分離装置の第一室から膜分離処理ガスを受けて、吸着槽内での圧力スイングのもとで吸着剤が膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着することで、膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスと、吸着された後に脱着された窒素を含んで窒素濃度が高められメタンを含む排ガスとを生ずる圧力スイング吸着装置とを有し、
膜分離装置は第一膜分離装置と第二膜分離装置とから成り、いずれも分離膜により区分された第一室と第二室を有し、
原料ガスは第一膜分離装置の第一室に供給され、
圧力スイング吸着装置は、窒素濃度が高められメタンを含む中圧排ガスが第一膜分離装置の第一室へ帰還供給されるように該第一膜分離装置に接続されていると共に、窒素が減圧吸引され窒素濃度が高められメタンを含む低圧排ガスが第二膜分離装置の第一室へ供給されるように該第二膜分離装置に接続されており、
第一膜分離装置の第二室は第二膜分離装置の第一室に接続されていて、該第一膜分離装置の第二室からの一次膜分離排ガスを圧力スイング吸着装置からの上記低圧排ガスと合流して第二膜分離装置の第一室へ供給するように第二膜分離装置に接続されており、
第二膜分離装置の第一室からの二次膜分離処理ガスを第一膜分離装置の第一室からの一次膜分離処理ガスに合流して圧力スイング吸着装置へ供給し、
第二膜分離装置の第二室から二次膜分離排ガスを排出する、
ことを特徴とする窒素分離装置。
<第五発明>
メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する方法において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を有する膜分離装置に原料ガスを供給して該分離膜を透過させることで窒素濃度が高められた膜分離排ガスと、該原料ガスよりメタン濃度が高められた残留窒素を含む膜分離処理ガスとを上記膜分離装置で生じさせ、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を有する圧力スイング吸着装置に上記膜分離処理ガスを供給して圧力スイングのもとで吸着剤に膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着させることで、上記膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを上記圧力スイング吸着装置に生じさせ、
圧力スイング吸着装置から上記製品ガスを取り出すと共に、吸着された後に脱着された窒素を含んで窒素濃度が高められメタンを含む排ガスを排出することを特徴とする窒素分離方法。
メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する方法において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を有する膜分離装置に原料ガスを供給して該分離膜を透過させることで窒素濃度が高められた膜分離排ガスと、該原料ガスよりメタン濃度が高められた残留窒素を含む膜分離処理ガスとを上記膜分離装置で生じさせ、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を有する圧力スイング吸着装置に上記膜分離処理ガスを供給して圧力スイングのもとで吸着剤に膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着させることで、上記膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを上記圧力スイング吸着装置に生じさせ、
圧力スイング吸着装置から上記製品ガスを取り出すと共に、吸着された後に脱着された窒素を含んで窒素濃度が高められメタンを含む排ガスの一部を圧力スイング吸着装置へ帰還供給し、残部を排出することを特徴とする窒素分離方法。
メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する方法において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を有する膜分離装置に原料ガスを供給して該分離膜を透過させることで窒素濃度が高められた膜分離排ガスと、該原料ガスよりメタン濃度が高められた残留窒素を含む膜分離処理ガスとを上記膜分離装置で生じさせ、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を有する圧力スイング吸着装置に上記膜分離処理ガスを供給して圧力スイングのもとで吸着剤に膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着させることで、上記膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを上記圧力スイング吸着装置に生じさせ、
圧力スイング吸着装置から上記製品ガスを取り出すと共に、吸着された後に脱着された窒素を含んで窒素濃度が高められメタンを含む排ガスの一部を膜分離装置へ帰還供給し、残部を排出することを特徴とする窒素分離方法。
メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する方法において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を有する第一膜分離装置に原料ガスを供給して該分離膜を透過させることで窒素濃度が高められた一次膜分離排ガスと、該原料ガスよりメタン濃度が高められた残留窒素を含む一次膜分離処理ガスとを上記第一膜分離装置で生じさせ、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を有する圧力スイング吸着装置に上記一次膜分離処理ガスを供給して圧力スイングのもとで吸着剤に膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着させることで、上記一次膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスそして窒素濃度が高められメタンを含む中圧排ガス及び低圧排ガスを生じさせ、
圧力スイング吸着装置から上記製品ガスを取り出すと共に、上記中圧排ガスを第一膜分離装置へ原料ガスに合流させ帰還供給し、上記低圧排ガスを第一膜分離装置からの一次膜分離排ガスと合流させて第二膜分離装置へ供給し処理して二次膜分離処理ガスと二次膜分離排ガスとを生じさせ、二次膜分離処理ガスを一次膜分離処理ガスに合流させて圧力スイング吸着装置へ供給し、二次膜分離排ガスを排出することを特徴とする窒素分離方法。
、より典型的には5mol%以上の窒素を含み、70mol%以上、より典型的には80mol%
以上のメタンを含むガスを指し、また、メタンより窒素が選択的に吸着しやすい吸着剤とは、特に限定されるものではないが、例えばチタノシリケート系モレキュラーシーブや、金属有機構造体を指し、さらには、メタンより窒素が選択的に透過しやすい分離膜とは、特に限定されるものではないが、例えば混合マトリックスナノポーラスカーボン膜、DDR型ゼオライト膜、CHA型ゼオライト膜を指す。
図1は第一実施形態装置の概要構成図であり、本実施形態装置は、膜分離装置1とこれに接続された圧力スイング吸着装置2とを有している。
15の窒素濃度は1mol%にまで低減した。また、原料ガス11に含まれるメタンの量に
対する製品ガス15に含まれるメタンの量の割合、すなわちメタン回収率は82%であった。このように、本実施形態は、高いメタン回収率と、製品ガスの低い残留窒素濃度を実現していることを確認できる。
次に、図2にもとづき、本発明の第二実施形態について説明する。
15mol%であり、膜分離装置1はメタンより窒素が28倍透過しやすい分離膜1Cを備
え、圧力スイング吸着装置2はメタンより窒素が5倍選択的に吸着しやすい吸着剤を備えた場合の例である。
15の窒素濃度は3mol%にまで低減した。また、原料ガス11に含まれるメタンの量に
対する製品ガス15に含まれるメタンの量の割合、すなわちメタン回収率は90%であり、第一実施形態装置における実験の場合よりメタン回収率が高い値となった。
を排出せずに圧力スイング吸着装置に帰還供給して再度窒素を分離することによって、メタン回収率が向上した。このように、本実施形態は、製品ガスの低い残留窒素濃度を実現し、第一実施形態よりさらに高いメタン回収率を実現していることを確認できる。
次に、図3にもとづき、本発明の第三実施形態について説明する。
15mol%であり、膜分離装置1はメタンより窒素が28倍透過しやすい分離膜1Cを備
え、圧力スイング吸着装置2はメタンより窒素が5倍選択的に吸着しやすい吸着剤を備えた場合の例である。
15の窒素濃度は1mol%にまで低減した。また、原料ガス11に含まれるメタンの量に
対する製品ガス15に含まれるメタンの量の割合、すなわちメタン回収率は90%であり、第一実施形態装置における実験の場合よりメタン回収率が高い値となった。
を排出せずに膜分離装置に帰還供給して再度窒素を分離することによって、メタン回収率が向上した。このように、本実施形態は、製品ガスの低い残留窒素濃度を実現し、第一実施形態よりさらに高いメタン回収率を実現していることを確認できる。
次に、図4にもとづき、本発明の第四実施形態について説明する。
1A 第一室
1B 第二室
1C 分離膜
2 圧力スイング吸着装置
11 原料ガス
13 (第一)膜分離処理ガス
16 中圧排ガス
17 低圧排ガス
51 第二膜分離装置
51A 第一室
51B 第二室
51C 分離膜
55 第二膜分離処理ガス
Claims (6)
- メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する装置において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により上流側の第一室と下流側の第二室に区分形成されていて、加圧され第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた膜分離排ガスが第二室に収容され、原料ガス中の窒素が分離膜を透過し分離されて窒素濃度が低下することにより原料ガスよりもメタン濃度が高められ残留窒素を含み加圧されている膜分離処理ガスが第一室に収容される膜分離装置と、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を備えた少なくとも三本の吸着塔を備えていて、それぞれの吸着塔が吸着工程、脱着工程そして再生工程を順次互いに位相をずらして交替で行い、吸着工程にて膜分離装置の第一室から加圧されている膜分離処理ガスを受けて、吸着圧力に加圧されている状態で吸着剤が膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着し、窒素濃度が低下することにより膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを生成し、脱着工程にて吸着圧力から脱圧された脱着圧力下で吸着剤に吸着された窒素を脱着し脱着された窒素を含んで膜分離処理ガスより窒素濃度が高められメタンを含む中圧排ガスを生成し、再生工程にて減圧下で吸着剤に残留している窒素を減圧吸引し低圧排ガスを生成する圧力スイング吸着装置と、
中圧排ガスを加圧し圧力スイング吸着装置の入口側へ帰還供給し膜分離装置の第一室からの膜分離処理ガスと合流させて圧力スイング吸着装置へ供給する中圧排ガス帰還供給ラインと、を有することを特徴とする窒素分離装置。 - メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する装置において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により上流側の第一室と下流側の第二室に区分形成されていて、加圧され第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた膜分離排ガスが第二室に収容され、原料ガス中の窒素が分離膜を透過し分離されて窒素濃度が低下することにより原料ガスよりもメタン濃度が高められ残留窒素を含み加圧されている膜分離処理ガスが第一室に収容される膜分離装置と、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を備えた少なくとも三本の吸着塔を備えていて、それぞれの吸着塔が吸着工程、脱着工程そして再生工程を順次互いに位相をずらして交替で行い、吸着工程にて膜分離装置の第一室から加圧されている膜分離処理ガスを受けて、吸着圧力に加圧されている状態で吸着剤が膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着し、窒素濃度が低下することにより膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを生成し、脱着工程にて吸着圧力から脱圧された脱着圧力下で吸着剤に吸着された窒素を脱着し脱着された窒素を含んで膜分離処理ガスより窒素濃度が高められメタンを含む中圧排ガスを生成し、再生工程にて減圧下で吸着剤に残留している窒素を減圧吸引し低圧排ガスを生成する圧力スイング吸着装置と、
中圧排ガスを加圧し膜分離装置の入口側へ帰還供給し原料ガスと合流させて膜分離装置へ供給する中圧排ガス帰還供給ラインと、を有することを特徴とする窒素分離装置。 - メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する装置において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により上流側の第一室と下流側の第二室に区分形成されている第一膜分離装置と第二膜分離装置と、圧力スイング吸着装置とを有し、
第一膜分離装置は、加圧され第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた一次膜分離排ガスを第二室に収容し、原料ガス中の窒素が分離膜を透過し分離されて窒素濃度が低下することにより原料ガスよりもメタン濃度が高められ残留窒素を含み加圧されている一次膜分離処理ガスを第一室に収容し、
第二膜分離装置は、その第一室と第一膜分離装置の第二室とが接続され、第一膜分離装置第二室から供給され加圧された一次膜分離排ガスを第一室に受け入れ、一次膜分離排ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた二次膜分離排ガスを第二室に収容し、一次膜分離排ガス中の窒素が分離膜を透過し分離されて窒素濃度が低下することにより一次膜分離排ガスよりもメタン濃度が高められ残留窒素を含み加圧されている二次膜分離処理ガスを第一室に収容し、
圧力スイング吸着装置は、メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を備えた少なくとも三本の吸着塔を備えていて、それぞれの吸着塔が吸着工程、脱着工程そして再生工程を順次互いに位相をずらして交替で行い、吸着工程にて第一膜分離装置の第一室から加圧されている一次膜分離処理ガスを受けて、吸着圧力に加圧されている状態で吸着剤が一次膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着し、窒素濃度が低下することにより一次膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを生成し、脱着工程にて吸着圧力から脱圧された脱着圧力下で吸着剤に吸着された窒素を脱着し脱着された窒素を含んで一次膜分離処理ガスより窒素濃度が高められメタンを含む中圧排ガスを生成し、再生工程にて減圧下で吸着剤に残留している窒素を減圧吸引し低圧排ガスを生成し、
さらに、圧力スイング吸着装置からの中圧排ガスを加圧し第一膜分離装置の入口側へ帰還供給し原料ガスと合流させて第一膜分離装置へ供給する中圧排ガス帰還供給ラインと、
圧力スイング吸着装置からの低圧排ガスを加圧し第二膜分離装置の入口側へ供給し第一膜分離装置第二室からの一次膜分離排ガスと合流させて第二膜分離装置へ供給する低圧排ガス供給ラインと、
第二膜分離装置の第一室からの二次膜分離処理ガスを圧力スイング吸着装置の入口側へ供給し第一膜分離装置の第一室からの一次膜分離処理ガスと合流させて圧力スイング吸着装置へ供給する二次膜分離処理ガス供給ラインと、を有することを特徴とする窒素分離装置。 - メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する方法において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により上流側の第一室と下流側の第二室に区分形成されている膜分離装置を用いて、加圧され第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた膜分離排ガスを第二室に収容し、原料ガス中の窒素が分離膜を透過し分離されて窒素濃度が低下することにより原料ガスよりもメタン濃度が高められ残留窒素を含み加圧されている膜分離処理ガスを第一室に収容し、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を備えた少なくとも三本の吸着塔を備えている圧力スイング吸着装置を用いて、それぞれの吸着塔において吸着工程、脱着工程そして再生工程を順次互いに位相をずらして交替で行い、吸着工程にて膜分離装置の第一室から加圧されている膜分離処理ガスを受けて、吸着圧力に加圧されている状態で吸着剤が膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着し、窒素濃度が低下することにより膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを生成し、脱着工程にて吸着圧力から脱圧された脱着圧力下で吸着剤に吸着された窒素を脱着し脱着された窒素を含んで膜分離処理ガスより窒素濃度が高められメタンを含む中圧排ガスを生成し、再生工程にて減圧下で吸着剤に残留している窒素を減圧吸引し低圧排ガスを生成し、
中圧排ガス帰還供給ラインを経て、中圧排ガスを加圧し圧力スイング吸着装置の入口側へ帰還供給し膜分離装置の第一室からの膜分離処理ガスと合流させて圧力スイング吸着装置へ供給することを特徴とする窒素分離方法。 - メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する方法において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により上流側の第一室と下流側の第二室に区分形成されている膜分離装置を用いて、加圧され第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた膜分離排ガスを第二室に収容し、原料ガス中の窒素が分離膜を透過し分離されて窒素濃度が低下することにより原料ガスよりもメタン濃度が高められ残留窒素を含み加圧されている膜分離処理ガスを第一室に収容し、
メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を備えた少なくとも三本の吸着塔を備えている圧力スイング吸着装置を用いて、それぞれの吸着塔において吸着工程、脱着工程そして再生工程を順次互いに位相をずらして交替で行い、吸着工程にて膜分離装置の第一室から加圧されている膜分離処理ガスを受けて、吸着圧力に加圧されている状態で吸着剤が膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着し、窒素濃度が低下することにより膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを生成し、脱着工程にて吸着圧力から脱圧された脱着圧力下で吸着剤に吸着された窒素を脱着し脱着された窒素を含んで膜分離処理ガスより窒素濃度が高められメタンを含む中圧排ガスを生成し、再生工程にて減圧下で吸着剤に残留している窒素を減圧吸引し低圧排ガスを生成し、
中圧排ガス帰還供給ラインを経て、中圧排ガスを加圧し膜分離装置の入口側へ帰還供給し原料ガスと合流させて膜分離装置へ供給することを特徴とする窒素分離方法。 - メタンを主成分とし窒素を含む原料ガスから窒素を分離する方法において、
メタンより窒素が選択的に透過される分離膜を分離槽内に有し該分離槽内が分離膜により上流側の第一室と下流側の第二室に区分形成されている第一膜分離装置と第二膜分離装置と、圧力スイング吸着装置とを用いて、
第一膜分離装置では、加圧され第一室に送入された原料ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた一次膜分離排ガスを第二室に収容し、原料ガス中の窒素が分離膜を透過し分離されて窒素濃度が低下することにより原料ガスよりもメタン濃度が高められ残留窒素を含み加圧されている一次膜分離処理ガスを第一室に収容し、
第二膜分離装置では、その第一室と第一膜分離装置の第二室とが接続されていて、第一膜分離装置第二室から供給され加圧された一次膜分離排ガスを第一室に受け入れ、一次膜分離排ガス中の窒素が分離膜を透過することで窒素濃度が高められた二次膜分離排ガスを第二室に収容し、一次膜分離排ガス中の窒素が分離膜を透過し分離されて窒素濃度が低下することにより一次膜分離排ガスよりもメタン濃度が高められ残留窒素を含み加圧されている二次膜分離処理ガスを第一室に収容し、
圧力スイング吸着装置では、メタンより窒素が選択的に吸着される吸着剤を備えた少なくとも三本の吸着塔を用いて、それぞれの吸着塔が吸着工程、脱着工程そして再生工程を順次互いに位相をずらして交替で行い、吸着工程にて第一膜分離装置の第一室から加圧されている一次膜分離処理ガスを受けて、吸着圧力に加圧されている状態で吸着剤が一次膜分離処理ガス中の残留窒素を吸着し、窒素濃度が低下することにより一次膜分離処理ガスよりメタン濃度が高められた製品ガスを生成し、脱着工程にて吸着圧力から脱圧された脱着圧力下で吸着剤に吸着された窒素を脱着し脱着された窒素を含んで一次膜分離処理ガスより窒素濃度が高められメタンを含む中圧排ガスを生成し、再生工程にて減圧下で吸着剤に残留している窒素を減圧吸引し低圧排ガスを生成し、
さらに、中圧排ガス帰還供給ラインを経て、圧力スイング吸着装置からの中圧排ガスを加圧し第一膜分離装置の入口側へ帰還供給し原料ガスと合流させて第一膜分離装置へ供給し、
低圧排ガス供給ラインを経て、圧力スイング吸着装置からの低圧排ガスを加圧し第二膜分離装置の入口側へ供給し第一膜分離装置第二室からの一次膜分離排ガスと合流させて第二膜分離装置へ供給し、
二次膜分離処理ガス供給ラインを経て、第二膜分離装置の第一室からの二次膜分離処理ガスを圧力スイング吸着装置の入口側へ供給し第一膜分離装置の第一室からの一次膜分離処理ガスと合流させて圧力スイング吸着装置へ供給することを特徴とする窒素分離方法。
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