JP6113646B2 - 還元処理装置及び還元処理方法 - Google Patents

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Description

本発明は、還元処理装置及び還元処理方法に関する。
固体酸化物形燃料電池(Solid Oxide Fuel Cell:以下「SOFC」という。)は、電解質としてジルコニアセラミックスなどのセラミックスが用いられ、都市ガス、天然ガス、石油、メタノール、石炭ガス化ガスなどを燃料として運転される燃料電池である。このSOFCは、イオン伝導率を高めるために作動温度が約700〜1000℃程度と高く、用途の広い高効率な高温型燃料電池として知られている。その一つとして、円筒型の固体酸化物形燃料電池が知られている。円筒型の固体酸化物形燃料電池は、発電室の内部に複数のセルスタックを収容する。セルスタックは、中央部が発電部となり、発電部を挟んで両端は非発電部となっている。セルスタックの発電部において、基体管の径方向に、燃料極、固体電解質、空気極を積層させたセルが複数形成される。セルは、基体管の軸方向に複数配列され、隣り合うセル同士がインターコネクタで電気的に直列に接続される。
SOFCに用いられる燃料電池電極は、基材上に電極材料を塗布した後に空気等の酸化性ガス雰囲気で焼成しているため、酸化した状態となっている。例えば、燃料極としてニッケル(Ni)を用いる場合、焼成した後は酸化ニッケル(NiO)となる。したがって、燃料電池として使用するには、燃料極を還元処理する必要がある。例えば、燃料極の酸化ニッケル(NiO)をニッケル(Ni)に還元する還元処理を行う必要がある(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1には、円筒形状のセルチューブの燃料極を還元処理する還元処理装置が開示されている。セルチューブの上部には、シールリングが固定されている。セルチューブは、固定板に形成された穴に挿入された後、シールリングの下面が固定板の上面に対して溶接等により固定される。セルスタックの下端には、シールキャップが気密に固定されている。特許文献1に開示された還元処理装置は、セルチューブの内部と外部とをシールリング及びシールキャップによって気密に保持することで、還元領域と空気領域とをシールした構造となっている。
特開2002−329505号公報(図5及び図6)
特許文献1にはセルチューブの製造時に燃料極の還元処理を終了させるための製造工程が開示されている。特許文献1に、開示された製造工程は、単一のセルチューブを製造する工程であり、複数のセルチューブを一括して製造することについての開示がない。
複数のセルチューブを一括して製造するには、複数のセルチューブを集合化したカートリッジに組み立てて、その後に還元処理を行う方法が考えられる。しかしながら、カートリッジに集合化されたセルチューブの場合、最外列にあるセルチューブしか実質的に検査できないため、還元処理の健全性を、全セルチューブについて確認できないという問題があった。
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、複数のセルスタックの還元処理に要する期間を短縮するとともに、複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理の状態を確認することが可能な還元処理装置および還元処理方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を採用する。
本発明に係る還元処理装置は、固体酸化物形燃料電池を構成する複数のセルスタックを該複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理する還元処理装置であって、前記セルスタックは、基体管の外周面上に燃料極と固体電解質と空気極とが積層されており、設置面に固定された円筒形状の内筒部と、前記内筒部の外周面との間に断面視が円環形状の設置空間を形成する外筒部と、前記設置空間の鉛直方向の所定領域を加熱するように配置されたヒータと、複数の前セルスタックを前記設置空間の鉛直方向の前記所定領域に保持する保持部と、前記保持部により保持された前記セルスタックの内部に還元性ガスを流通させる還元性ガス流路と、複数の前記セルスタックが保持される前記設置空間に酸化性ガスを流通させる酸化性ガス流路とを備える。
本発明に係る還元処理装置によれば、複数のセルスタックが内筒部の外周面と外筒部の内周面との間に形成される設置空間に保持される。設置空間に保持されたセルスタックの内部には還元性ガスが流通し、設置空間には酸化性ガスが流通している。複数のセルスタックは、設置空間を加熱するように配置されたヒータにより加熱されることにより、還元処理される。燃料極が還元処理されている際に、設置空間に面する空気極は、酸化性ガス雰囲気となっているため、還元性ガスにより還元されることが防止される。
このようにすることで、複数のセルスタックを一括して還元処理することができる。また、複数のセルスタックを1つのカートリッジに組み立てる前に、保持部により設置空間により保持された状態で還元処理をすることができる。還元処理の結果、適切に還元処理が行われていないセルスタックが存在する場合には、そのセルスタックを廃棄し、適切に還元処理が行われたことが確認されたセルスタックのみを用いてカートリッジを組み立てることができる。
したがって、複数のセルスタックの還元処理に要する期間を短縮するとともに、複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理の健全性を検査し、カートリッジの健全性を向上させることが可能な還元処理装置を提供することができる。
本発明の第1態様の還元処理装置は、前記外筒部が、前記設置面上で前記内筒部に対して近接または離間する一対の移動体を有し、該一対の移動体が前記内筒部に近接した状態で前記設置空間が形成される。
このようにすることで、一対の移動体を離間させた状態で複数のセルスタックを保持部により保持した状態に組立て、その後に一対の移動体を近接させることにより設置空間が形成される。したがって、複数のセルスタックの交換が容易となり、複数のセルスタックを還元処理するのに要する期間が短縮される。
本発明の第2態様の還元処理装置は、前記酸化性ガス流路が、前記外筒部の内周面から前記設置空間に前記酸化性ガスを流入させる酸化性ガス流入流路と、前記内筒部の外周面から前記内筒部の内側に前記酸化性ガスを流出させる酸化性ガス流出流路とを備える。
このようにすることで、外筒部の外周面から内筒部の内周面に酸化性ガスが流通する状態となる。この流通方向はセルスタックが延在する軸方向に略直交する方向であり、セルスタックの軸方向の異なる位置での酸素分圧が略均一の状態となる。従って、セルスタックの軸方向の異なる位置での発電性能が均一化された高性能のセルスタックを製造することができる。
本発明の第3態様の還元処理装置は、前記設置空間を、前記セルスタックの前記燃料極と前記固体電解質と前記空気極とが積層された第1空間と、他の第2空間とに分離する一対の断熱部材を備え、前記ヒータは、前記第2空間よりも前記第1空間を高温に加熱する。
このようにすることで、セルスタックの部位のうち、前記第1空間である燃料極と固体電解質と空気極とが積層された部位を還元処理が適切に行われるように高温状態に加熱し、前記第2空間であるセルスタックの端部を損傷等が生じない低温度状態とすることができる。
本発明の第4態様の還元処理装置は、前記保持部が、複数の前記セルスタックの各々の温度が、前記ヒータによる加熱により略均一となるように、複数の前記セルスタックを前記設置空間に保持する。
このようにすることで、複数のセルスタックの温度が均一な状態で還元処理されるようにすることができる。
上記態様においては、前記保持部は、複数の前記セルスタックのうち第1群の前記セルスタックを前記内筒部と同軸の第1の円周上に配置し、複数の前記セルスタックのうち第2群の前記セルスタックを前記内筒部と同軸であって前記第1の円周よりも径の大きい第2の円周上に配置し、前記第1の円周の中心と前記第1群のセルスタックが配置される各位置とを通過する複数の直線上とは異なる位置に、前記第2群のセルスタック配置されてもよい。
このようにすることで、各セルスタックの全周をヒータで均一に加熱することができる。
本発明に係る還元処理方法は、固体酸化物形燃料電池を構成する複数のセルスタックを該複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理する還元処理方法であって、前記セルスタックは、基体管の外周面上に燃料極と固体電解質と空気極とが積層されており、設置面に固定された円筒形状の内筒部と、該内筒部と同軸に配置された外筒部との間に形成された断面視が円環形状の設置空間に、複数のセルスタックを設置する設置工程と、前記設置工程により設置された前記セルスタックの内部に還元性ガスを流通させる還元性ガス流通工程と、複数の前記セルスタックが保持される前記設置空間に酸化性ガスを流通させる酸化性ガス流通工程と、前記設置空間を加熱するように配置されたヒータにより、前記設置空間の鉛直方向の所定領域を加熱する加熱工程とを備える。
本発明に係る還元処理方法によれば、複数のセルスタックが内筒部の外周面と外筒部の内周面との間に形成される設置空間に設置される。設置空間に保持されたセルスタックの内部には還元性ガスが流通し、設置空間には酸化性ガスが流通している。複数のセルスタックの燃料極は、設置空間を加熱するように配置されたヒータにより加熱されることにより、還元処理される。燃料極が還元処理されている際に、設置空間に面する空気極は、酸化性ガス雰囲気となっているため、還元性ガスにより還元されることが防止される。
このようにすることで、複数のセルスタックを集合化して還元処理することができる。また、複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組み立てる前に、保持部により設置空間に保持された状態で還元処理をすることができる。還元処理後に検査した結果、適切に還元処理が行われていないセルスタックが存在する場合には、そのセルスタックを廃棄し、適切に還元処理が行われたことが確認されたセルスタックのみを用いてカートリッジを組み立てることができる。
したがって、複数のセルスタックの還元処理に要する期間を短縮するとともに、複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理の健全性を検査し、カートリッジの信頼性を向上させることが可能な還元処理方法を提供することができる。
本発明の他の態様の還元処理方法は、前記外筒部が、前記設置面上で前記内筒部に対して近接または離間する一対の移動体を有しており、前記一対の移動を前記内筒部に近接させて、前記設置空間を形成する設置空間形成工程を備える。
このようにすることで、一対の移動体を離間させた状態で複数のセルスタックを保持部により保持した状態に組立て、その後に一対の移動体を近接させることにより設置空間が形成される。したがって、複数のセルスタックの交換が容易となり、複数のセルスタックを還元処理するのに要する期間が短縮される。
本発明によれば、複数のセルスタックの還元処理に要する期間を短縮するとともに、複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理の健全性を検査し、カートリッジの信頼性を向上させることが可能な還元処理装置および還元処理方法を提供することができる。
円筒型の燃料電池のセルスタックの一態様を示す概略図であり、(a)はセルスタックの一端部を示す断面図であり、(b)はセルスタックの他端部を示す断面図である。 SOFCカートリッジの一態様を示す断面図である。 本発明の一実施形態の還元処理装置を側面からみた鉛直方向断面図である。 図3に示す還元処理装置のA−A矢視断面図である。 図3に示す還元処理装置の部分拡大図であり、移動体が離間した状態を示す図である。 図4に示す還元処理装置の部分拡大図であり、移動体が離間した状態を示す図である。 本発明の一実施形態の還元性ガス入口および還元性ガス流路を示す平面図である。 還元性ガス入口および還元性ガス流路の変形例を示す平面図である。 本発明の一実施形態の還元処理方法を示すフローチャートである。
以下、本発明の一実施形態の還元処理装置について図面を参照して説明する。
図3に示すように、本実施形態の還元処理装置100は、内筒部10と、外筒部20と、内側ヒータ30と、外側ヒータ40と、保持部50(50a.50b,50c,50d)と、還元性ガス流路60と、酸化性ガス流入流路70と、酸化性ガス流出流路71とを備える。
内筒部10と外筒部20との間には、断面視が円環形状の設置空間Sが形成されている。設置空間Sに保持されたセルスタック101の内部には還元性ガスが流通し、設置空間Sには酸化性ガスが流通している。複数のセルスタック101は、内筒部10の外周面に設けられた内側ヒータ30と外筒部20の内周面に設けられた外側ヒータ40とにより加熱されることにより、還元処理される。燃料極が還元処理されている際に、設置空間Sに面する空気極は、酸化性ガス雰囲気となっているため、還元性ガスにより還元されることが防止される。
まず、図1を参照して本実施形態の還元処理装置により還元処理されることによって製造される円筒形セルスタックについて説明する。ここで、図1は、一実施形態のセルスタックの一態様を示すものである。図1において、(a)はセルスタック101の一端部を示す断面図であり、(b)はセルスタック101の他端部を示す断面図である。セルスタック101の一端部と他端部を除く部分は図示が省略されているが、セルスタックは1本の円筒形状の部材である。
セルスタック101は、円筒形状の基体管103と、基体管103の外周面に複数形成された燃料電池セル105と、隣り合う燃料電池セル105の間に形成されたインターコネクタ107とを有する。燃料電池セル105は、燃料極109と固体電解質111と空気極113とが積層して形成されている。また、セルスタック101は、基体管103の外周面に形成された複数の燃料電池セル105の内、基体管103の軸方向において最も端に形成された燃料電池セル105の空気極113に、インターコネクタ107を介して電気的に接続されたリード膜115を有する。
基体管103は、多孔質材料からなり、例えば、CaO安定化ZrO(CSZ)、又はY安定化ZrO2(YSZ)、又はMgAlとされる。この基体管103は、燃料電池セル105とインターコネクタ107とリード膜115とを支持すると共に、基体管103の内周面に供給される還元性ガスや燃料ガスを基体管103の細孔を介して基体管103の外周面に形成される燃料極109に拡散させるものである。
燃料極109は、Niとジルコニア系電解質材料との複合材の酸化物で構成され、例えば、Ni/YSZが用いられる。この場合、燃料極109は、燃料極109の成分であるNiが還元性ガスや燃料ガスに対して触媒作用を有する。この触媒作用は、基体管103を介して供給された還元性ガスや燃料ガス、例えば、メタン(CH)と水蒸気との混合ガスを反応させ、水素(H)と一酸化炭素(CO)に改質するものである。また、燃料極109は、改質により得られる水素(H)及び一酸化炭素(CO)と、固体電解質111を介して供給される酸素イオン(O )とを固体電解質111との界面付近において電気化学的に反応させて水(HO)及び二酸化炭素(CO)を生成するものである。なお、燃料電池セル105は、この時、酸素イオンから放出される電子によって発電する。
固体電解質111は、ガスを通しにくい気密性と、高温で高い酸素イオン導電性とを有するYSZが主として用いられる。この固体電解質111は、空気極で生成される酸素イオン(O )を燃料極に移動させるものである。
空気極113は、例えば、LaSrMnO系酸化物、又はLaCoO系酸化物で構成される。この空気極113は、固体電解質111との界面付近において、供給される空気等の酸化性ガス中の酸素を解離させて酸素イオン(O )を生成するものである。
インターコネクタ107は、SrTiO系などのM1−xTiO(Mはアルカリ土類金属元素、Lはランタノイド元素)で表される導電性ペロブスカイト型酸化物から構成され、燃料ガスと酸化性ガスとが混合しないように緻密な膜となっている。また、インターコネクタ107は、酸化雰囲気と還元雰囲気との両雰囲気下で安定した電気導電性を有する。
このインターコネクタ107は、隣り合う燃料電池セル105において、一方の燃料電池セル105の空気極113と他方の燃料電池セル105の燃料極109とを電気的に接続し、隣り合う燃料電池セル105同士を直列に接続するものである。
リード膜115は、電子伝導性を有すること、及びセルスタック101を構成する他の材料との熱膨張係数が近いことが必要であることから、Ni/YSZ等のNiとジルコニア系電解質材料との複合材で構成されている。このリード膜115は、インターコネクタにより直列に接続される複数の燃料電池セル105で発電された直流電力をセルスタック101の端部付近まで導出すものである。
次に、図1に示す円筒形セルスタックを複数有するSOFCカートリッジについて図2を用いて説明する。
なお、複数のSOFCカートリッジは、燃料ガス供給管(図示しない)、燃料ガス排出管(図示しない)、酸化性ガス供給管(図示しない)、酸化性ガス排出管(図示しない)にそれぞれ接続された状態で、圧力容器内(図示しない)に格納される。
圧力容器の外部から燃料ガス及び酸化性ガスを供給することにより、SOFCカートリッジの円筒形セルスタック内の燃料電池セルが発電する。圧力容器の内部は、0.1MPa〜1MPa程度の圧力、大気温度〜550℃程度の温度にて運用される。
SOFCカートリッジ203は、図2に示す通り、複数のセルスタック101と、発電室215と、燃料ガス供給室217と、燃料ガス排出室219と、酸化性ガス供給室221と、酸化性ガス排出室223とを有する。また、SOFCカートリッジ203は、上部管板225aと、下部管板225bと、上部断熱体227aと、下部断熱体227bとを有する。なお、本実施形態においては、SOFCカートリッジ203は、燃料ガス供給室217と燃料ガス排出室219と酸化性ガス供給室221と酸化性ガス排出室223とが図2のように配置されることで、還元性ガスや燃料ガスと酸化性ガスとがセルスタック101の内側と外側とを対向して流れる構造となっているが、これに限定するものでなく、例えば、セルスタック101の内側と外側とを平行して流れる、または酸化性ガスがセルスタック101の長手方向と直交する方向へ流れるようにしても良い。
発電室215は、上部断熱体227aと下部断熱体227bとの間に形成された領域である。この発電室215は、セルスタック101の燃料電池セル105が配置され、燃料ガスと酸化性ガスとを電気化学的に反応させて発電を行う領域である。また、この発電室215のセルスタック101長手方向の中央部付近での温度は、SOFCモジュール201の定常運転時に、およそ700℃〜1100℃の高温雰囲気となる。
燃料ガス供給室217は、SOFCカートリッジ203の上部ケーシング229aと上部管板225aとに囲まれた領域である。また、燃料ガス供給室217は、上部ケーシング229aに備えられた燃料ガス供給孔231aによって、図示しない燃料ガス供給枝管207aと連通されている。また、セルスタック101の一方の端部は燃料ガス供給室217に、他方の端部は燃料ガス排出室219に開放して配置され、燃料ガス供給室217から燃料ガス排出室219までセルスタック101を介して連通した空間を形成する。この燃料ガス供給室217は、図示しない燃料ガス供給枝管207aから燃料ガス供給孔231aを介して供給される燃料ガスを、複数のセルスタック101の基体管103の内部に略均一流量で導き、複数のセルスタック101の発電性能を略均一化させるものである。
燃料ガス排出室219は、SOFCカートリッジ203の下部ケーシング229bと下部管板225bとに囲まれた領域である。また、燃料ガス排出室219は、下部ケーシング229bに備えられた燃料ガス排出孔231bによって、燃料ガス排出枝管(図示しない)と連通されている。また、燃料ガス排出室219には、セルスタック101の他方の端部が、セルスタック101の基体管103の内部が燃料ガス排出室219に対して開放して配置されている。この燃料ガス排出室219は、複数のセルスタック101の基体管103の内部を通過して燃料ガス排出室219に供給される排燃料ガスを集約して、燃料ガス排出孔231bを介して燃料ガス排出枝管(図示しない)に導くものである。
SOFCモジュール201の発電量に対応して所定ガス組成と所定流量の酸化性ガスを酸化性ガス供給枝管へと分岐して、複数のSOFCカートリッジ203へ供給する。酸化性ガス供給室221は、SOFCカートリッジ203の下部ケーシング229bと下部管板225bと下部断熱体227bとに囲まれた領域である。また、酸化性ガス供給室221は、下部ケーシング229bに備えられた酸化性ガス供給孔233aによって、図示しない酸化性ガス供給枝管と連通されている。この酸化性ガス供給室221は、図示しない酸化性ガス供給枝管から酸化性ガス供給孔233aを介して供給される所定流量の酸化性ガスを、後述する酸化性ガス供給隙間235aを介して発電室215に導くものである。
酸化性ガス排出室223は、SOFCカートリッジ203の上部ケーシング229aと上部管板225aと上部断熱体227aとに囲まれた領域である。また、酸化性ガス排出室223は、上部ケーシング229aに備えられた酸化性ガス排出孔233bによって、酸化性ガス排出枝管(図示しない)と連通されている。この酸化性ガス排出室223は、発電室215から、後述する酸化性ガス排出隙間235bを介して酸化性ガス排出室223に供給される排酸化性ガスを、酸化性ガス排出孔233bを介して酸化性ガス排出枝管に導くものである。
上部管板225aは、上部ケーシング229aの天板と上部断熱体227aとの間に、上部管板225aと上部ケーシング229aの天板と上部断熱体227aとが略平行になるように、上部ケーシング229aの側板に固定されている。また上部管板225aは、SOFCカートリッジ203に備えられるセルスタック101の本数に対応した複数の孔を有し、該孔にはセルスタック101がシール部材237を介してそれぞれ挿入されている。この上部管板225aは、複数のセルスタック101の一方の端部をシール部材237及び接着部材のいずれか一方又は両方を介して気密に支持すると共に、燃料ガス供給室217と酸化性ガス排出室223とを隔離するものである。
下部管板225bは、下部ケーシング229bの底板と下部断熱体227bとの間に、下部管板225bと下部ケーシング229bの底板と下部断熱体227bとが略平行になるように下部ケーシング229bの側板に固定されている。また下部管板225bは、SOFCカートリッジ203に備えられるセルスタック101の本数に対応した複数の孔を有し、該孔にはセルスタック101がそれぞれ挿入されている。この下部管板225bは、複数のセルスタック101の他方の端部をシール部材及び接着部材のいずれか一方又は両方を介して気密に支持すると共に、燃料ガス排出室219と酸化性ガス供給室221とを隔離するものである。
上部断熱体227aは、上部ケーシング229aの下端部に、上部断熱体227aと上部ケーシング229aの天板と上部管板225aとが略平行になるように配置され、上部ケーシング229aの側板に固定されている。また、上部断熱体227aには、SOFCカートリッジ203に備えられるセルスタック101の本数に対応して、複数の孔が設けられている。この孔の直径はセルスタック101の外径よりも大きく設定されている。上部断熱体227aは、この孔の内面と、上部断熱体227aに挿通されたセルスタック101の外面との間に形成された酸化性ガス排出隙間235bを有する。
この上部断熱体227aは、発電室215と酸化性ガス排出室223とを仕切るものであり、上部管板225aの周囲の雰囲気が高温化し強度低下や酸化性ガス中に含まれる酸化剤による腐食が増加することを抑制する。上部管板225a等はインコネルなどの高温耐久性のある金属材料から成るが、上部管板225a等が発電室215内の高温に晒されて上部管板225a等内の温度差が大きくなることで熱変形することを防ぐものである。また、上部断熱体227aは、発電室215を通過して高温に晒された排酸化性ガスを、酸化性ガス排出隙間235bを通過させて酸化性ガス排出室223に導くものである。
本実施形態によれば、上述したSOFCカートリッジ203の構造により、燃料ガスと酸化性ガスとがセルスタック101の内側と外側とを対向して流れるものとなっている。このことにより、排酸化性ガスは、基体管103の内部を通って発電室215に供給される燃料ガスとの間で熱交換がなされ、金属材料から成る上部管板225a等が座屈などの変形をしない温度に冷却されて酸化性ガス排出室223に供給される。また、燃料ガスは、発電室215から排出される排酸化性ガスとの熱交換により昇温され、発電室215に供給される。その結果、ヒータ等を用いることなく発電に適した温度に予熱昇温された燃料ガスを発電室215に供給することができる。
下部断熱体227bは、下部ケーシング229bの上端部に、下部断熱体227bと下部ケーシング229bの底板と下部管板225bとが略平行になるように配置され、上部ケーシング229aの側板に固定されている。また、下部断熱体227bには、SOFCカートリッジ203に備えられるセルスタック101の本数に対応して、複数の孔が設けられている。この孔の直径はセルスタック101の外径よりも大きく設定されている。下部断熱体227bは、この孔の内面と、下部断熱体227bに挿通されたセルスタック101の外面との間に形成された酸化性ガス供給隙間235aを有する。
この下部断熱体227bは、発電室215と酸化性ガス供給室221とを仕切るものであり、下部管板225bの周囲の雰囲気が高温化し強度低下や酸化性ガス中に含まれる酸化剤による腐食が増加することを抑制する。下部管板225b等はインコネルなどの高温耐久性のある金属材料から成るが、下部管板225b等が高温に晒されて下部管板225b等内の温度差が大きくなることで熱変形することを防ぐものである。また、下部断熱体227bは、酸化性ガス供給室233に供給される酸化性ガスを、酸化性ガス供給隙間235aを通過させて発電室215に導くものである。
本実施形態によれば、上述したSOFCカートリッジ203の構造により、燃料ガスと酸化性ガスとがセルスタック101の内側と外側とを対向して流れるものとなっている。このことにより、基体管103の内部を通って発電室215を通過した排燃料ガスは、発電室215に供給される酸化性ガスとの間で熱交換がなされ、金属材料から成る下部管板225b等が座屈などの変形をしない温度に冷却されて燃料ガス排出室219に供給される。また、酸化性ガスは排燃料ガスとの熱交換により昇温され、発電室215に供給される。その結果、ヒータ等を用いることなく発電に必要な温度に昇温された酸化性ガスを発電室215に供給することができる。
発電室215で発電された直流電力は、複数の燃料電池セル105に設けたNi/YSZ等からなるリード膜115によりセルスタック101の端部付近まで導出した後に、SOFCカートリッジ203の集電棒(図示しない)に集電板(図示しない)を介して集電して、各SOFCカートリッジ203の外部へと取り出される。前記集電棒によってSOFCカートリッジ203の外部に導出された電力は、各SOFCカートリッジ203の発電電力を所定の直列数および並列数へ相互に接続され、SOFCモジュール201の外部へ導出されて、図示しないインバータなどにより所定の交流電力に変換されて、電力負荷に供給される。
次に、図3を用いて本実施形態の還元処理装置について説明する。図3は、一実施形態の還元処理装置100を側面からみた鉛直方向断面図である。還元処理装置100は、燃料電池を構成する円筒形状のセルスタック101を還元処理する装置である。ここで、セルスタック101は、還元処理装置100が還元処理を行う対象物であるため、還元処理装置100を構成するものではない。
以下、還元処理装置100を構成する各部について説明する。
図3に示す内筒部10は、設置面Gに固定された円筒形状の部材であり、断熱材によって形成されている。外筒部20は、設置面G上で内筒部10に対して近接または離間する第1移動体21と第2移動体22を有する。第1移動体21と第2移動体22からなる一対の移動体が内筒部10に近接する図3に示す状態では、内筒部10の外周面と外筒部20の内周面との間に設置空間Sが形成される。この設置空間Sは、図4に示す様に、第1移動体21と第2移動体22が内筒部10に近接した状態で円環状となる空間である。
外筒部20を構成する第1移動体21は、レールRに沿って第1移動体21を移動させるための車輪80(80a,80b)を備えている。また、外筒部20を構成する第2移動体22は、レールRに沿って第2移動体22を移動させるための車輪81(81a,81b)を備えている。第1移動体21は、車輪80によってレールRに沿って移動することにより、内筒部10に対して近接または離間することが可能となっている。同様に、第2移動体22は、車輪81によってレールRに沿って移動することにより、内筒部10に対して近接または離間することが可能となっている。
図3および図4に示す還元処理装置100は、内筒部10に対して一対の移動体(第1移動体21および第2移動体22)が近接して配置され、内筒部10の外周面と外筒部20の内周面との間に設置空間Sが形成された状態を示している。還元処理装置100は、内筒部10と外筒部20が近接した状態を固定するためのロック機構(図示しない)が設けられている。このロック機構によってロックされることにより、図3および図4に示す状態が維持される。
一方、図5および図6に示す還元処理装置100は、内筒部10に対して一対の移動体(第1移動体21および第2移動体22)が離間して配置され、内筒部10の外周面と外筒部20の内周面との間に設置空間Sが形成されていない状態を示している。還元処理装置100の操作者は、ロック機構が解除された状態で、第1移動体21および第2移動体22を内筒部10から離間させる方向に押すことによって、各移動体がレールRに沿って内筒部10から離間する方向に移動する。
なお、図5および図6においては、第1移動体21の図示が省略されているが、第2移動体22と同様に内筒部10から離間しているものとする。
内筒部10の外周面には、内側ヒータ30が設けられている。内側ヒータ30は、鉛直方向上方から順に、上段内側ヒータ31と、中段内側ヒータ32と、下段内側ヒータ33とにより構成されている。内側ヒータ30は、設置空間Sの鉛直方向の図3に示す領域(所定領域)に配置される。上段内側ヒータ31と、中段内側ヒータ32と、下段内側ヒータ33とに供給される電力は、制御部(図示しない)からそれぞれ独立に制御される。
外筒部20の内周面には、外側ヒータ40が設けられている。外側ヒータ40は、鉛直方向上方から順に、上段外側ヒータ41と、中段外側ヒータ42と、下段外側ヒータ43とにより構成されている。外側ヒータ40は、設置空間Sの鉛直方向の図3に示す領域(所定領域)に配置される。図3に示すように、内側ヒータ30が配置される領域と、外側ヒータ40が配置される領域とは、鉛直方向における同一の領域となっている。上段外側ヒータ41と、中段外側ヒータ42と、下段外側ヒータ43とに供給される電力は、制御部(図示しない)からそれぞれ独立に制御される。
図3に示すように、還元処理装置100は、セルスタック101aを設置空間Sに保持する一対の保持部50a,50bと、セルスタック101bを設置空間Sに保持する一対の保持部50c,50dと、セルスタック101cを設置空間Sに保持する一対の保持部50e,50fと、セルスタック101dを設置空間Sに保持する一対の保持部50g,50hとを備えている。図3には示されていないが、図4に示す他のセルスタック101についても、それらを上方および下方から設置空間Sに保持する一対の保持部が設けられているものとする。
一対の保持部50は、図3に示すように、セルスタック101の上端および下端にそれぞれ挿入される一対の管状部を備えている。この管状部にセルスタック101の上端および下端を挿入することにより、セルスタック101の外部が空気等の酸化性ガス雰囲気となり、セルスタック101の内部が水素および窒素の混合ガス等の還元性ガス雰囲気となるように、それぞれの空間が隔離される。なお、セルスタック101の内部と外部の空間が適切に隔離されるように、セルスタック101の外周面と管状部との間にセラミック製等のシート状の部材を挟むようにしてもよい。
一対の保持部50は、図3に示すように、その中央部に蛇腹形状のフレキシブル部材が設けられている。このフレキシブル部材は、セルスタック101の軸方向に沿って伸縮する構造となっている。したがって、セルスタック101を還元処理装置100に着脱する際は、フレキシブル部材を伸縮させるようにすればよい。このようにすることで、一対の保持部50に対するセルスタック101の着脱を容易に行うことができる。また、還元処理時に生じるセルスタック101の熱膨張代は、フレキシブル部材の変形で吸収することができる。
保持部50a,50c,50e,50gは、それぞれ、セルスタック101a,101b,101c,101dの内部に還元性ガスを流通させる還元性ガス流路60と連結されている。還元性ガス入口61と還元性ガス流路60から流入する還元性ガスは、保持部50a,50c,50e,50gを介して、それぞれセルスタック101a,101b,101c,101dの内部に導かれる。
セルスタック101a,101b,101c,101dの内部を通過した還元性ガスの一部は、セルスタック101a,101b,101c,101dの還元処理に用いられる。還元処理に用いられなかった余分の還元性ガスは、保持部50b,50d,50f,50hを通過して、還元性ガス出口62から還元処理装置100の外部に導かれる。
本実施形態の還元性ガス入口61および還元性ガス流路60の平面図は、図7に示すものとなる。図7に示すように、還元性ガス入口61から流入した還元性ガスは、各セルスタック101を保持する保持部50のそれぞれに、還元性ガス流路60を介して送られる。図7に示すように、本実施形態の還元性ガス流路60は、設置空間Sに保持されるセルスタック101の数に応じた複数の分岐流路の集合体である。このように複数の分岐流路の集合体とすることで、還元性ガス入口61から流入する還元性ガスを、各セルスタック101に略均等に分配することができる。
図8には、本実施形態の変形例の還元性ガス入口61および還元性ガス流路60の平面図が示されている。図7に示す例で、還元性ガス流路60は、複数の分岐流路の集合体であった。それに対して、図8に示す例で、還元性ガス流路60は、平面視が円形状の略円筒型の流路となっている。図8に示す例では、還元性ガス入口61から流入した還元性ガスが、略円筒型の還元性ガス流路60に流入する。図8に点線で示すように、各セルスタック101を保持する保持部50は略円筒型の還元性ガス流路60と連通した状態となっている。このようにすることで、還元性ガス流路60を分岐流路の集合体とする場合に比べ、より製造が簡易な構造とすることができる。
図3に示すように、還元処理装置100は、外部から空気等の酸化性ガスを設置空間S内に導入する酸化性ガス流入流路70(酸化性ガス流路)を備えている。酸化性ガス流入流路70にはブロワ(図示しない)が設けられており、ブロワによって外部の酸化性ガスが設置空間S内に導かれる。酸化性ガス流入流路70は、図3に2箇所示す他に、図4に示すように外筒部20の周方向に複数設けられている。酸化性ガス流入流路70は周方向に一定間隔で配置することが、外筒部20の外周面から均一な量の酸化性ガスが設置空間S内に導くために望ましい。
酸化性ガス流入流路70を介して設置空間Sに流入した酸化性ガスは、図3に示すように、外筒部20の内周面から内筒部10の外周面に向かってセルスタック101の軸方向に直交する方向に流通する。内筒部10には、鉛直方向の複数箇所に酸化性ガスの流出口が設けられている。流出口から流出した酸化性ガスは、内筒10の内側に設けられた酸化性ガス流出流路71(酸化性ガス流路)を介して鉛直方向下方から上方に向かって流通し、還元処理装置100の外部に排出される。
図5に示すように、鉛直方向上側に配置された保持部50a,50c,50e,50gの下部には、断熱部材91が配置されている。また、鉛直方向下側に配置された保持部50b,50d,50f,50hの上部には、断熱部材92が配置されている。断熱部材91および断熱部材92からなる一対の断熱部材90は、セルスタック101の燃料極109と固体電解質111と空気極113とが積層された部分が配置される第1空間S1と、他の部分が配置される第2空間S2とを形成する。図5は、第1移動体21および第2移動体22が内筒部10から離間した状態を示しているが、第1移動体21および第2移動体22が内筒部10に近接した状態となった場合に、図5に示す空間S1(第1空間)と空間S2(第2空間)および空間S3(第2空間)から構成される空間が前述した設置空間Sとなる。
一対の断熱部材90により、中段内側ヒータ32および中段外側ヒータ42により加熱される空間S1と、上段内側ヒータ31および上段外側ヒータ41により加熱される空間S2と、下段内側ヒータ33および下段外側ヒータ43により加熱される空間S3とが、熱的に分離した空間となっている。各空間は、一対の断熱部材90によって分離されているため、それぞれ独立して温度制御と運転が可能である。
本実施形態においては、セルスタック101の還元処理を適切に行うため、空間S1は、中段内側ヒータ32および中段外側ヒータ42によって約800〜1000℃に加熱される。一方、空間S2は、保持部50a,50c,50e,50gの耐熱温度を考慮して、上段内側ヒータ31および上段外側ヒータ41により約400〜700℃に加熱される。同様に、空間S2は、保持部50b,50d,50f,50hの耐熱温度を考慮して、下段内側ヒータ33および下段外側ヒータ43により約400〜700℃に加熱される。空間S2および空間S3を加熱しているのは、セルスタック101内部の空隙度を調整し、かつ空間S1を均一かつ適切な温度に維持するためである。
図4では、複数のセルスタック101のうち第1群のセルスタック101を内筒10と同軸の半径R2の円周上(第1の円周上)に30°ずつの均等間隔で配置する例を示す。また、同図で、複数のセルスタック101のうち第2群のセルスタック101を内筒10と同軸の半径R3の円周上(第2の円周上)に30°ずつの均等間隔で配置する。半径R3は、半径R2よりも径が大きくなっている。
第1群のセルスタック101と、第2群のセルスタック101との周方向の角度が重ならないように、各セルスタック101を配置する。図4に示す例では、15°ずつ第1群のセルスタックと第2群のセルスタック101の周方向の角度が異なるように配置している。このように配置しているのは、各セルスタック101の全周を均一に内側ヒータ30と外側ヒータ40から加熱するためであり、が他のセルスタック101から遮蔽されることを防止している。
複数のセルスタック101は、内側ヒータ30および外側ヒータ40によってセルスタック101の温度が略均一になるように保持部50によって設置空間S内に保持されている。具体的には、前述のように第1群のセルスタック101と第2群のセルスタック101を配置し、更に第1群のセルスタック101の内側の半径R1の円周上に内側ヒータ30を配置し、第2群のセルスタック101の外側の半径R4の円周上に外側ヒータ40を配置する。
図示しないがセルスタック101温度計測しており、これら温度が均一になるように、内側ヒータ30に与える電力と、外側ヒータ40に与える電力とを適切に制御することにより、各セルスタック101温度を略均一にすることができる。
次に、本実施形態の還元処理装置100を用いて実行するセルスタック101の還元処理方法について、図9を参照して説明する。
ステップS901(設置工程)で、還元処理装置100の操作者は、内筒部10とともに設置面Gに固定された保持部50に、複数のセルスタック101を設置する。具体的には、保持部50aのフレキシブル部材を鉛直方向上方に縮小させ、保持部50aの管状部にセルスタック101aの上端部を挿入し、その後にフレキシブル部材を鉛直方向下方に伸長させる。同様に、保持部50bのフレキシブル部材を鉛直方向下方に縮小させ、保持部50bの管状部にセルスタック101aの下端部を挿入し、その後にフレキシブル部材を鉛直方向に上方に伸長させる。このようにすることで、セルスタック101aが保持された状態となる。ここでは、セルスタック101aの設置について説明したが、他のセルスタック101についても同様の方法により保持部50により保持された状態となる。
なお、ステップS901のセルスタックの設置工程は、図5および図6に示すように、内筒部10に対して第1移動体21および第2移動体22が離間した状態で行われる。
ステップS902(設置工程)で、還元処理装置100の操作者は、保持部50によりセルスタック101が保持された状態で、断熱部材91,92を設置する。断熱部材91,92は、内筒部10の径方向および周方向に複数に分割可能となっており、それら分割された各部材を配置することにより、断熱部材91,92が図5および図6に示す状態に設置される。
ステップS903(設置工程)で、還元処理装置100の操作者は、第1移動体21および第2移動体22をレールRに沿って内筒部10に近接する方向に移動させ、図3および図4に示す近接状態にする。操作者は、近接状態となった後にロック機構(図示しない)によりロックして、近接状態が維持されるようにする。この状態で、内筒部10に対して外筒部20が近接した状態となり、内筒部10の外周面と外筒部20の内周面により設置空間Sが形成される。
ステップS904(還元性ガス流通工程,酸化性ガス流通工程)で、還元処理装置100の操作者は、還元性ガスの供給源(図示しない)を操作し、還元性ガス入口61を介して還元性ガス流路60に還元性ガスが流入するようにする。また、還元処理装置100の操作者は、酸化性ガスの供給源(図示しない)を操作し、酸化性ガス流入流路70から酸化性ガスが流入するようにする。これらの操作をすることにより、セルスタック101の内部に還元性ガスが流通し、セルスタック101の外部の設置空間Sに酸化性ガスが流通する状態となる。
ステップS905(加熱工程)で、還元処理装置100の操作者は、内側ヒータ30および外側ヒータ40による加熱を行うよう制御部(図示しない)を操作する。操作者からの操作を受け付けた制御部は、設置空間Sのうち空間S1が800〜1000℃に維持されるように、中段内側ヒータ32および中段外側ヒータ42を制御する。また、制御部は、設置空間Sのうち空間S2が400〜700℃に維持されるように、上段内側ヒータ31および上段外側ヒータ41を制御する。また、制御部は、設置空間Sのうち空間S3が400〜700℃に維持されるように、下段内側ヒータ33および下段外側ヒータ43を制御する。
ステップS905による加熱工程は、2日から4日間に渡って行われる。この際、設置空間Sの温度を急速に上昇させるのは望ましくないため、制御部は、設置空間S内の昇温速度1時間あたり50〜150℃で内側ヒータ30および外側ヒータ40を制御する。ステップS905による加熱工程が終了すると、セルスタック101が還元処理完了状態となる。
ステップS906で、還元処理装置100の操作者は、還元処理が終了したセルスタック101を還元処理装置100から除去する。具体的に、操作者は、内側ヒータ30および外側ヒータ40による加熱が終了して設置空間S内の温度が十分に低くなったことを確認する。また、操作者は、還元性ガスおよび酸化性ガスの流通が停止していることを確認する。これらの確認をした後に、ロック機構(図示しない)によるロックを解除し、第1移動体21および第2移動体22をレールRに沿って内筒部10から離間する方向に移動させる。その後、操作者は、断熱部材91,92を除去し、保持部50からセルスタック101を取り外す。以上によって、還元処理装置100から、還元処理されたセルスタック101が除去される。
次に、以上説明した本実施形態の還元処理装置100が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の還元処理装置100によれば、複数のセルスタック101が内筒部10の外周面と外筒部20の内周面との間に形成される設置空間Sに保持される。設置空間Sに保持されたセルスタック101の内部には還元性ガスが流通し、設置空間Sには酸化性ガスが流通している。複数のセルスタック101は、内筒部10の外周面に設けられた内側ヒータ30と外筒部20の内周面に設けられた外側ヒータ40とにより加熱されることにより、還元処理される。セルスタック101が還元処理されている際に、設置空間Sに面する空気極113は、酸化性ガス雰囲気となっているため、還元性ガスにより還元されることが防止される。
このようにすることで、複数のセルスタック101を一括して還元処理することができる。また、複数のセルスタック101を集合化されたカートリッジに組み立てる前に、保持部50により設置空間Sにより保持された状態で還元処理をすることができる。還元処理後にセルスタック101の健全性を検査し、その結果、適切に還元処理が行われていないセルスタック101が存在する場合には、そのセルスタック101を廃棄し、適切に還元処理が行われたことが確認されたセルスタック101のみを用いてカートリッジを組み立てることができる。
したがって、複数のセルスタック101の還元処理に要する期間を短縮するとともに、複数のセルスタック101を集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理の健全性を検査することが可能な還元処理装置100を提供し、カートリッジの信頼性を向上することができる。
本実施形態の還元処理装置100は、外筒部20が、設置面G上で内筒部10に対して近接または離間する一対の移動体(第1移動体21,第2移動体22)を有し、該一対の移動体が内筒部10に近接した状態で円環状の設置空間Sが形成される。
このようにすることで、一対の移動体を離間させた状態で複数のセルスタック101を保持部50により保持した状態に組立て、その後に一対の移動体を近接させることにより設置空間Sが形成される。したがって、複数のセルスタック101の交換が容易となり、複数のセルスタック101を還元処理するのに要する期間が短縮される。
本実施形態の還元処理装置100は、外筒部20の内周面から設置空間Sに酸化性ガスを流入させる酸化性ガス流入流路70と、内筒部10の外周面から内筒部10の内側に酸化性ガスを流出させる酸化性ガス流出流路71とを備える。
このようにすることで、外筒部20の外周面から内筒部10の内周面に酸化性ガスが流通する状態となる。この流通方向はセルスタック101が延在する軸方向に略直交する方向であり、セルスタック101の軸方向の異なる位置での酸素分圧が略均一の状態となる。従って、セルスタック101の軸方向の異なる位置での発電性能が均一化された高性能のセルスタック101を製造することができる。なお、本実施形態では還元性ガスと酸化性ガスの流れ方向が直交するが、これに限定されるものでなく、対向流もしくは平行流としても良い。
本実施形態の還元処理装置100は、設置空間Sを、セルスタック101の燃料極109と固体電解質111と空気極113とが積層された空間S1(第1空間)と、空間S2および空間S3(他の第2空間)とに分離する一対の断熱部材90を備え、内側ヒータ30および外側ヒータ40は、空間S2および空間S3よりも空間S1を高温に加熱する。
このようにすることで、セルスタック101の部位のうち、燃料極109と固体電解質111と空気極113とが積層された部位を還元処理が適切に行われるように800〜1000℃の高温状態に加熱し、セルスタック101のその他の部位を保持部50の耐熱温度400〜700℃とすることができる。また、その他の部位の温度を400〜700℃に保つことにより、燃料極109と固体電解質111と空気極113とが積層された空間S1(第1空間)の温度をを均一化し、その結果、セルスタック101の出力特性を均一化できる。なお、以上の説明では内側ヒータ30および外側ヒータ40を用いて、セルスタック101の両側から加熱したが、本実施形態は以上のヒータ構成に限定されるものでなく、ヒータは片側だけでも良い。
本実施形態の還元処理装置100は、保持部50が、複数のセルスタック101のうち第1群のセルスタック101を内筒部10と同軸の半径R2の円周上(第1の円周上)に配置し、複数のセルスタック101のうち第2群のセルスタック101を内筒部10と同軸であって半径R2よりも径の大きい半径R3の円周上(第2の円周上)に配置し、第1群のセルスタック101の周方向における角度と、第2群のセルスタック101の周方向における角度とが、重ならないように配置される。
このようにすることで、各セルスタック101の全周を均一に内側ヒータ30と外側ヒータ40から加熱することが可能となり、他のセルスタック101から遮蔽されることを抑制できる。
以上の説明においては、設置空間Sに24本のセルスタック101を設置する例であったが、本実施形態はセルスタック101数を限定するものではなく、より多数あるいは少数のセルスタック101を設置空間Sに設置するようにしてもよい。また、以上の説明では、第1群のセルスタックを内筒部10の中心から半径R2の位置に配置し、第2群のセルスタックを内筒部10の中心から半径R3の位置に配置するものであったが、より多数の群を配置するようにしてもよい。例えば、第1群,第2群,第3群のセルスタックを、それぞれ内筒部10の中心からの半径が異なる3つの円周上に均等の間隔で配置するようにしてもよい。
10 内筒部
20 外筒部
21 第1移動体(移動体)
22 第2移動体(移動体)
30 内側ヒータ(ヒータ)
40 外側ヒータ(ヒータ)
50 保持部
60 還元性ガス流路
70 酸化性ガス流入流路(酸化性ガス流路)
71 酸化性ガス流出流路(酸化性ガス流路)
90 断熱部材
100 還元処理装置
101 セルスタック
103 基体管
105 燃料電池セル
109 燃料極
111 固体電解質
113 空気極
115 リード膜
G 設置面
S 設置空間

Claims (7)

  1. 固体酸化物形燃料電池を構成する複数のセルスタックを該複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理する還元処理装置であって、
    前記セルスタックは、基体管の外周面上に燃料極と固体電解質と空気極とが順に積層されており、
    設置面に固定された円筒形状の内筒部と、
    前記内筒部の外周面との間に断面視が円環形状の設置空間を形成する外筒部と、
    設置空間の鉛直方向の所定領域を加熱するように配置されたヒータと、
    複数の前セルスタックを前記設置空間の鉛直方向の前記所定領域に保持する保持部と、
    前記保持部により保持された前記セルスタックの内部に還元性ガスを流通させる還元性ガス流路と、
    複数の前記セルスタックが保持される前記設置空間に酸化性ガスを流通させる酸化性ガス流路とを備える還元処理装置。
  2. 前記外筒部が、前記設置面上で前記内筒部に対して近接または離間する一対の移動体を有し、該一対の移動体が前記内筒部に近接した状態で前記設置空間が形成される請求項1に記載の還元処理装置。
  3. 前記酸化性ガス流路が、
    前記外筒部の内周面から前設置空間に前記酸化性ガスを流入させる酸化性ガス流入流路と、
    前記内筒部の外周面から前記内筒部の内側に前記酸化性ガスを流出させる酸化性ガス流出流路とを備える請求項1または請求項2に記載の還元処理装置。
  4. 前記設置空間を、前記セルスタックの前記燃料極と前記固体電解質と前記空気極とが積層された部分が配置される第1空間と、前記セルスタックの端部が配置される第2空間とに分離する一対の断熱部材を備え、
    前記ヒータは、前記第2空間よりも前記第1空間を高温に加熱する請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の還元処理装置。
  5. 前記保持部は、複数の前記セルスタックのうち第1群の前記セルスタックを前記内筒部と同軸の第1の円周上に配置し、複数の前記セルスタックのうち第2群の前記セルスタックを前記内筒部と同軸であって前記第1の円周よりも径の大きい第2の円周上に配置し、
    前記第1の円周の中心と前記第1群のセルスタックが配置される各位置とを通過する複数の直線上とは異なる位置に、前記第2群のセルスタック配置される請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の還元処理装置。
  6. 固体酸化物形燃料電池を構成する複数のセルスタックを該複数のセルスタックを集合化したカートリッジに組立てる前に還元処理する還元処理方法であって、
    前記セルスタックは、基体管の外周面上に燃料極と固体電解質と空気極とが積層されており、
    設置面に固定された円筒形状の内筒部と、該内筒部と同軸に配置された外筒部との間に形成された断面視が円環形状の設置空間の鉛直方向の所定領域に、複数のセルスタックを設置する設置工程と、
    前記設置工程により配置された前記セルスタックの内部に還元性ガスを流通させる還元性ガス流通工程と、
    複数の前記セルスタックが保持される前記設置空間に酸化性ガスを流通させる酸化性ガス流通工程と、
    前記設置空間の鉛直方向の前記所定領域を加熱するように配置されたヒータにより、前記設置空間の鉛直方向の前記所定領域を加熱する加熱工程とを備える還元処理方法。
  7. 前記外筒部は、前記設置面上で前記内筒部に対して近接または離間する一対の移動体を有しており、
    前記一対の移動体を前記内筒部に近接させて、前記設置空間を形成する設置空間形成工程を備える請求項に記載の還元処理方法。
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