JP6112503B2 - デジタルtdi方式検出器 - Google Patents
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Description
(1)
デジタル的に時間遅延積分(TDI)機能を実現したデジタルTDI方式検出器であって、
ひとつのセンサ部の横にTDI動作を行う読み出し回路部を配置した検出部を複数縦方向に隣合わせたブロックと、
前記ブロックと同じ構成で前記ブロックの縦方向に前記センサ部の幅分横にずらして配置した別のブロックと、
からなることを特徴とするデジタルTDI方式検出器の構成とした。
(2)
デジタル的に時間遅延積分(TDI)機能を実現したデジタルTDI方式検出器であって、
複数のセンサ部の組である複数センサ部の横方向の一方向又は両方向にTDI動作を行う読み出し回路部を配置した複センサブロックと、
前記複センサブロックと同じ構成で前記複センサブロックの縦方向に前記複数センサ部の幅分横にずらして配置した別の複センサブロックと、
からなり、
前記読み出し回路と、前記センサ部及び前記読み出し回路を接続する配線の一部を共有することでセンサ部の面積を小さくしたことを特徴とするデジタルTDI方式検出器の構成とした。
(3)
前記ブロックの横方向に前記ブロックと同じ構成の別のブロックを並べて、
任意の縦横比率の形状とし、縦方向のみに伸ばした際に生じる前記センサ部からの出力信号の遅延増加を抑えたことを特徴とする(1)に記載のデジタルTDI方式検出器の構成とした。
(4)
前記複センサブロックの横方向に前記複センサブロックを並べて、
任意の縦横比率の形状とし、縦方向のみに伸ばした際に生じる前記センサ部からの出力信号の遅延増加を抑えたことを特徴とする(2)に記載のデジタルTDI方式検出器の構成とした。
(5)
(1)〜(4)の何れかに記載のデジタルTDI方式検出器において、
前記センサ部からの信号を、前記読み出し回路部の増幅・整形回路及び波高弁別回路に通し、デジタルパルスに変換し、前記読み出し回路部の計数回路に於いて前段から来た計数値に加えて前記デジタルパルスを計数し、次段の計数回路に送ることを特徴とするデジタルTDI用駆動回路の構成とした。
図4に示した読み出し回路の動作タイミングを図7に示す。信号名に添字として付けたiはTDI列中のi段目の回路である事を示す。
以上のように、本発明によれば移動する検査物に同期してピクセル内の計数値を転送し足し合わせて行く事により、光・X線照射に対する積分時間をn段倍多く確保する事が出来る。しかも転送する値はアナログ値ではなくデジタル計数値なので、転送段数を増やしてもノイズが増加する事はなく、S/Nが向上して行く。さらに、CCDの場合の電荷転送(<10MHz)と違って、デジタル値の転送なので非常に高速(>100MHz)に転送が行える事から、高速に移動する検査物の検出にも用いる事が出来る。
各デジタルTDI用駆動回路、TDIの動作は実施例1と同様である。ただし、複センサブロック内のセンサ部の出力は同時に出力される。
本発明の第2の実施例によれば、第1の実施例で得られる効果に加えて、複数のセンサ部を組にする事により、制御線や制御回路を共通して使用する事が可能となり、1ピクセル当たりの回路部面積を縮小出来る可能性がある。また、複センサブロック毎にセンサ部の出力は同タイミングで得る事が出来る。
各ブロック、複ブロックの動作は実施例1及び第2と同様である。出力はStaggered Cell TDIブロックの数だけ平行して得られる。
本発明の第3の実施例によれば、第1及び第2の実施例で得られる効果に加えて、検出器の製造に最適な縦横比を選択出来るという点が挙げられる。
Claims (5)
- デジタル的に時間遅延積分(TDI)機能を実現したデジタルTDI方式検出器であって、
ひとつのセンサ部の横にTDI動作を行う読み出し回路部を配置した検出部を複数縦方向に隣合わせたブロックと、
前記ブロックと同じ構成で前記ブロックの縦方向に前記センサ部の幅分横にずらして配置した別のブロックと、
からなることを特徴とするデジタルTDI方式検出器。 - デジタル的に時間遅延積分(TDI)機能を実現したデジタルTDI方式検出器であって、
複数のセンサ部の組である複数センサ部の横方向の一方向又は両方向にTDI動作を行う読み出し回路部を配置した複センサブロックと、
前記複センサブロックと同じ構成で前記複センサブロックの縦方向に前記複数センサ部の幅分横にずらして配置した別の複センサブロックと、
からなり、
前記読み出し回路と、前記センサ部及び前記読み出し回路を接続する配線の一部を共有することでセンサ部の面積を小さくしたことを特徴とするデジタルTDI方式検出器。 - 前記ブロックの横方向に前記ブロックと同じ構成の別のブロックを並べて、
任意の縦横比率の形状とし、縦方向のみに伸ばした際に生じる前記センサ部からの出力信号の遅延増加を抑えたことを特徴とする請求項1に記載のデジタルTDI方式検出器。 - 前記複センサブロックの横方向に前記複センサブロックを並べて、
任意の縦横比率の形状とし、縦方向のみに伸ばした際に生じる前記センサ部からの出力信号の遅延増加を抑えたことを特徴とする請求項2に記載のデジタルTDI方式検出器。 - 請求項1〜請求項4の何れか1項に記載のデジタルTDI方式検出器において、
前記センサ部からの信号を、前記読み出し回路部の増幅・整形回路及び波高弁別回路に通し、デジタルパルスに変換し、前記読み出し回路部の計数回路に於いて前段から来た計数値に加えて前記デジタルパルスを計数し、次段の計数回路に送ることを特徴とするデジタルTDI用駆動回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012242275A JP6112503B2 (ja) | 2012-11-02 | 2012-11-02 | デジタルtdi方式検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012242275A JP6112503B2 (ja) | 2012-11-02 | 2012-11-02 | デジタルtdi方式検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014093616A JP2014093616A (ja) | 2014-05-19 |
JP6112503B2 true JP6112503B2 (ja) | 2017-04-12 |
Family
ID=50937425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012242275A Active JP6112503B2 (ja) | 2012-11-02 | 2012-11-02 | デジタルtdi方式検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6112503B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (3)
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JPH0313080A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-22 | Mitsubishi Electric Corp | Tdi方式固体撮像装置 |
FI119173B (fi) * | 2001-11-23 | 2008-08-29 | Planmed Oy | Anturijärjestely ja menetelmä digitaalisessa pyyhkäisykuvantamisessa |
FI119864B (fi) * | 2006-06-05 | 2009-04-15 | Planmeca Oy | Röntgenkuvantamissensori ja röntgenkuvantamismenetelmä |
-
2012
- 2012-11-02 JP JP2012242275A patent/JP6112503B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014093616A (ja) | 2014-05-19 |
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