JP6106074B2

JP6106074B2 - Pressure gauge for differential pressure measurement

Info

Publication number: JP6106074B2
Application number: JP2013255178A
Authority: JP
Inventors: 和樹山田; 高橋　浩司; 浩司高橋
Original assignee: Valcom Co Ltd
Current assignee: Valcom Co Ltd
Priority date: 2013-12-10
Filing date: 2013-12-10
Publication date: 2017-03-29
Anticipated expiration: 2033-12-10
Also published as: JP2015114156A

Description

本発明は、差圧計測用圧力計に関する。 The present invention relates to a pressure gauge for differential pressure measurement.

従来より、食品、医療品等の製造工程の管理のために、製造装置の２箇所の圧力差と、当該２箇所の圧力中の低い方の圧力とを計測できる差圧計測用圧力計（例えば、特許文献１、２参照）が使用されている。 Conventionally, in order to manage the manufacturing process of food, medical products, etc., a pressure gauge for differential pressure measurement (for example, a pressure gauge for measuring a pressure difference between two pressures of a manufacturing device and a lower pressure of the two pressures) Patent Documents 1 and 2) are used.

以下、図６を用いて、従来の差圧計測用圧力計の基本的な構成及び機能を説明する。
図６に示してあるように、従来の差圧計測用圧力計は、２つの受圧部６１と表示部６２とを２本のキャピラリ（金属管）６３で接続した構成を有している。 Hereinafter, the basic configuration and function of a conventional pressure gauge for measuring differential pressure will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 6, the conventional pressure gauge for differential pressure measurement has a configuration in which two pressure receiving portions 61 and a display portion 62 are connected by two capillaries (metal tubes) 63.

この差圧計測用圧力計が備える受圧部６１は、製造装置の圧力取出口に取り付けられるユニットである。受圧部６１には、受圧面として機能するダイアフラム６４が設けられており、受圧部６１内及びキャピラリ６３内には、ダイアフラム６４にかかっている圧力を表示部６２内に伝達するためのオイル６５が封入されている。 The pressure receiving unit 61 provided in the pressure gauge for measuring the differential pressure is a unit attached to the pressure outlet of the manufacturing apparatus. The pressure receiving portion 61 is provided with a diaphragm 64 that functions as a pressure receiving surface. In the pressure receiving portion 61 and the capillary 63, oil 65 for transmitting the pressure applied to the diaphragm 64 into the display portion 62 is provided. It is enclosed.

表示部６２は、圧力検出・処理部６６を備え、圧力検出・処理部６６は、オイル６５により伝達される２圧力の差を検出するための差圧センサ、当該２圧力中の低圧側の圧力を検出するための静圧センサ、プロセッサ等を含んでいる。この圧力検出・処理部６６は、表示部６２が備える表示器６７に、差圧センサにより検出された差圧や静圧センサにより検出された圧力を表示させる機能や、差圧センサにより検出された差圧を表す直流電流信号に静圧センサにより検出された圧力を表すデジタル信号を重畳した信号を出力する機能を有している。 The display unit 62 includes a pressure detection / processing unit 66. The pressure detection / processing unit 66 is a differential pressure sensor for detecting a difference between two pressures transmitted by the oil 65, and a low-pressure side pressure in the two pressures. Including a static pressure sensor, a processor, and the like. The pressure detection / processing unit 66 has a function of displaying the differential pressure detected by the differential pressure sensor or the pressure detected by the static pressure sensor on the display 67 provided in the display unit 62, or detected by the differential pressure sensor. It has a function of outputting a signal in which a digital signal representing a pressure detected by a static pressure sensor is superimposed on a direct current signal representing a differential pressure.

特開平１０−１９７３１６号公報JP-A-10-197316 特開２０１０−１２７６３３号公報JP 2010-127633 A

上記したように、従来の差圧計測用圧力計が出力する信号は、差圧センサにより検出された差圧を表す直流電流信号に静圧センサにより検出された圧力を表すデジタル信号を重畳したものである。そのため、従来の差圧計測用圧力計の使用時には、デジタル信号を重畳した電流信号をアナログ信号成分とデジタル信号成分とに分離できる専用の受電機器を用意することが必要であった。 As described above, the signal output by the conventional pressure gauge for measuring the differential pressure is obtained by superimposing the digital signal indicating the pressure detected by the static pressure sensor on the DC current signal indicating the differential pressure detected by the differential pressure sensor. It is. Therefore, when a conventional pressure gauge for measuring differential pressure is used, it is necessary to prepare a dedicated power receiving device capable of separating a current signal superimposed with a digital signal into an analog signal component and a digital signal component.

また、従来の差圧計測用圧力計には、オイル６５が使用されている。そして、オイル６５を封止しているダイアフラム６４は、数十μｍ程度の厚さの部材となっている。そのため、従来の差圧計測用圧力計には、製造装置内の流体による外力等でダイアフラム６４が破れ、オイル６５が製造装置内に漏れ出て流体を汚染してしまう危険性がある。 Further, oil 65 is used in a conventional pressure gauge for differential pressure measurement. The diaphragm 64 sealing the oil 65 is a member having a thickness of about several tens of μm. Therefore, the conventional pressure gauge for measuring the differential pressure has a risk that the diaphragm 64 is broken by an external force or the like due to the fluid in the manufacturing apparatus, and the oil 65 leaks into the manufacturing apparatus and contaminates the fluid.

また、従来の差圧計測用圧力計は、ダイアフラム６４が破れてキャピラリ６３内のオイル６５の一部が流体に置換されても、圧力計測が可能な構成を有している。そして、キャピラリ６３内のオイル６５と流体との混合物によって圧力検出・処理部６６に伝達される圧力は、ダイアフラム６４が破れる前に伝達されていた圧力とさほど変わらないものとな
る。そのため、従来の差圧計測用圧力計では、ダイアフラム６４が破れたことを計測結果から判断できない場合があった。 Further, the conventional pressure gauge for measuring differential pressure has a configuration capable of measuring pressure even when the diaphragm 64 is broken and a part of the oil 65 in the capillary 63 is replaced with fluid. The pressure transmitted to the pressure detection / processing unit 66 by the mixture of the oil 65 and the fluid in the capillary 63 is not much different from the pressure transmitted before the diaphragm 64 is broken. Therefore, in the conventional differential pressure measurement pressure gauge, it may not be possible to determine from the measurement result that the diaphragm 64 has been broken.

また、２圧力取出口間の距離が長い製造装置の圧力計測にも使用できるようにするために、従来の差圧計測用圧力計には、各キャピラリ（金属管）６３として、１０ｍ程度の長さのものが使用されている。そのため、従来の差圧計測用圧力計は、全体の重量が比較的に重いものとなっている。しかも、各キャピラリ６３が長いため、従来の差圧計測用圧力計は、製造装置への取り付けや製造装置からの取り外しが簡単には行えないという問題も有している。 In addition, in order to be able to be used for pressure measurement of a manufacturing apparatus having a long distance between the two pressure outlets, a conventional pressure gauge for measuring differential pressure has a length of about 10 m as each capillary (metal tube) 63. The one that is used is used. Therefore, the conventional pressure gauge for differential pressure measurement has a relatively heavy overall weight. Moreover, since each capillary 63 is long, the conventional pressure gauge for differential pressure measurement has a problem that it cannot be easily attached to or removed from the manufacturing apparatus.

さらに、従来の差圧計測用圧力計は、その構造上、２つの受圧部６１の取り付け位置の高低差等に応じたオフセットが計測結果に加算される機器となっている。そのため、従来の差圧計測用圧力計の設置時（製造装置への取付時）には、設置環境に応じた微調整を行わなければならなかった。 Furthermore, the conventional pressure gauge for differential pressure measurement is a device in which an offset corresponding to the height difference between the mounting positions of the two pressure receiving portions 61 is added to the measurement result. Therefore, when a conventional pressure gauge for differential pressure measurement is installed (when attached to a manufacturing apparatus), fine adjustments according to the installation environment must be performed.

そこで、本発明の課題は、従来の差圧計測用圧力計が有する上記した各種欠点を有さない差圧計測用圧力計を提供することにある。 Then, the subject of this invention is providing the pressure gauge for differential pressure measurement which does not have the above-mentioned various faults which the pressure gauge for conventional differential pressure measurement has.

上記課題を解決するために、本発明に係る差圧計測用圧力計は、受圧面を有し、受圧面にかかっている圧力に応じた圧力信号を出力する第１及び第２の圧力検出ユニットと、第１及び第２の圧力検出ユニットが出力する圧力信号に基づき、第１及び第２の圧力検出ユニットの受圧面にかかっている圧力の差を表す差圧電流信号と、第１又は第２の圧力検出ユニットの受圧面にかかっている圧力を表す圧力電流信号とを送信する本体部とを、備える。
また、本発明に係る差圧計測用圧力計の本体部は、
入力された電流値指定信号に応じたレベルの電流信号を送信する第１電流送信回路と、
入力された電流値指定信号に応じたレベルの電流信号を送信する第２電流送信回路と、
第１及び第２の圧力検出ユニットが出力する圧力信号に基づき、差圧電流信号及び圧力電流信号の中の一方を第１電流送信回路に送信させるための第１電流値指定信号と、差圧電流信号及び圧力電流信号の中の他方を第２電流送信回路に送信させるための第２電流値指定信号とを出力する演算処理部と、
演算処理部から出力される第２電流値指定信号を電気的に絶縁して第２電流送信回路に入力する絶縁伝送回路と、
を含み、
第１電流送信回路、演算処理部及び絶縁伝送回路の入力端子側の回路が、第１電源ライン及び第１グランドラインに接続され、
第２電流送信回路及び絶縁伝送回路の出力端子側の回路が、第１電源ラインとは異なる第２電源ラインと第１グランドラインとは異なる第２グランドラインとに接続されている構成を有する。 In order to solve the above problems, a pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention has a pressure receiving surface, and outputs first and second pressure detection units that output a pressure signal corresponding to the pressure applied to the pressure receiving surface. And a differential pressure current signal indicating a difference in pressure applied to the pressure receiving surfaces of the first and second pressure detection units based on the pressure signals output from the first and second pressure detection units, and the first or second And a main body for transmitting a pressure current signal representing the pressure applied to the pressure receiving surface of the pressure detection unit.
Moreover, the main body of the pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention is:
A first current transmission circuit for transmitting a current signal at a level corresponding to the input current value designation signal;
A second current transmission circuit for transmitting a current signal at a level corresponding to the input current value designation signal;
A first current value designating signal for causing the first current transmission circuit to transmit one of the differential pressure current signal and the pressure current signal based on the pressure signal output from the first and second pressure detection units; An arithmetic processing unit that outputs a second current value designation signal for causing the second current transmission circuit to transmit the other of the current signal and the pressure current signal;
An insulated transmission circuit that electrically isolates the second current value designation signal output from the arithmetic processing unit and inputs the second current value designation signal to the second current transmission circuit;
Including
The first current transmission circuit, the arithmetic processing unit, and the circuit on the input terminal side of the insulated transmission circuit are connected to the first power supply line and the first ground line,
A circuit on the output terminal side of the second current transmission circuit and the insulated transmission circuit is connected to a second power supply line different from the first power supply line and a second ground line different from the first ground line.

すなわち、本発明に係る差圧計測用圧力計は、オイルを封入したキャピラリを使用することなく、差圧（２つの圧力検出ユニットの受圧面にかかっている圧力の差）を表す差圧電流信号と、高圧側又は低圧側圧力（一方の圧力検出ユニットの受圧面にかかっている圧力）を表す圧力電流信号とを送信できるように構成した機器となっている。従って、本発明に係る差圧計測用圧力計は、オイルを封入したキャピラリが用いてられていることに起因する従来の差圧計測用圧力計の各種欠点を有さない機器であることになる。 That is, the differential pressure measurement pressure gauge according to the present invention uses a differential pressure current signal representing a differential pressure (a difference in pressure applied to the pressure receiving surfaces of the two pressure detection units) without using a capillary filled with oil. And a pressure current signal representing a high-pressure side pressure or a low-pressure side pressure (pressure applied to the pressure receiving surface of one pressure detection unit). Therefore, the pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention is a device that does not have various drawbacks of the conventional pressure gauge for differential pressure measurement resulting from the use of a capillary filled with oil. .

また、本発明に係る差圧計測用圧力計は、差圧と、高圧側又は低圧側圧力とを、デジタル信号を重畳した電流信号ではなく、２つの電流信号で出力する。従って、本発明に係る
差圧計測用圧力計を用いておけば、差圧等の管理に、デジタル信号が重畳された電流信号をアナログ信号成分とデジタル信号成分とに分ける機能を有さない一般的な機器（上記した“専用の受電機器”ではない機器）を使用できることになる。 The pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention outputs the differential pressure and the high pressure side pressure or the low pressure side pressure as two current signals instead of a current signal on which a digital signal is superimposed. Therefore, if the differential pressure measuring pressure gauge according to the present invention is used, the management of the differential pressure or the like does not have a function of dividing a current signal on which a digital signal is superimposed into an analog signal component and a digital signal component. Device (device that is not the above-mentioned “dedicated power receiving device”) can be used.

また、２つの電流送信回路を演算処理部に直結した場合、グランドループが形成されてしまうため、各電流送信回路から、誤差が大きな電流信号が送信されてしまうことになる。ただし、本発明の差圧計測用圧力計には、第２電流送信回路のグランド等を第１電流送信回路等のグランド等と分離し、演算処理部からの電流値指定信号が、絶縁伝送回路を介して第２電流送信回路に供給される構成が採用されている。従って、本発明の差圧計測用圧力計は、第１電流送信回路、第２電流送信回路から、それぞれ、意図通りの（誤差が少ない）電流信号が送信される機器となっていることにもなる。 In addition, when two current transmission circuits are directly connected to the arithmetic processing unit, a ground loop is formed, so that a current signal with a large error is transmitted from each current transmission circuit. However, the pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention separates the ground of the second current transmission circuit from the ground of the first current transmission circuit and the like, and the current value designation signal from the arithmetic processing unit is transmitted to the insulation transmission circuit. A configuration in which the second current transmission circuit is supplied via the second current transmission circuit is employed. Therefore, the pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention is a device that transmits a current signal as intended (with a small error) from the first current transmission circuit and the second current transmission circuit. Become.

尚、差圧計測用圧力計の本体部を、アナログ回路とデジタル回路とが混在したものとする場合には、アナログ回路用の第１電源ライン及び第１グランドラインと、デジタル回路用の第１電源ライン及び第１グランドラインと、アナログ回路用の第２電源ライン及び第２グランドラインと、デジタル回路用の第２電源ライン及び第２グランドラインとを設けておくことが好ましい。 When the main body of the differential pressure measuring pressure gauge is a mixture of an analog circuit and a digital circuit, the first power supply line and the first ground line for the analog circuit and the first for the digital circuit are used. It is preferable to provide a power supply line and a first ground line, a second power supply line and a second ground line for analog circuits, and a second power supply line and a second ground line for digital circuits.

本発明に係る差圧計測用圧力計を、独自の仕様の電流信号を送信する機器として実現することも出来る。ただし、差圧計測用圧力計は、各種製造工程の管理に使用されている一般的なフィールド機器／カレントループ機器と同様に、４ｍＡ〜２０ｍＡの電流信号を送信する機器として構成しておくことが好ましい。何故ならば、差圧計測用圧力計をそのような機器として構成しておけば、差圧等を管理する側の装置として既存の装置をほぼそのまま使用できることになるからである。 The pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention can also be realized as a device that transmits a current signal having a unique specification. However, the pressure gauge for measuring the differential pressure may be configured as a device that transmits a current signal of 4 mA to 20 mA, like a general field device / current loop device used for management of various manufacturing processes. preferable. This is because if the pressure gauge for measuring the differential pressure is configured as such a device, an existing device can be used almost as it is as a device for managing the differential pressure or the like.

また、本発明に係る差圧計測用圧力計は、電流信号の送信先から電力の供給を受ける機器、電力を別途供給する必要がある機器のいずれとしても実現可能なものである。前者の機器として本発明に係る差圧計測用圧力計を実現する際には、第１電流送信回路として、電流信号の送信先が出力した出力電流信号のレベルを変化させることにより第１電流信号を送信する回路であると共に、第１電源ラインに供給する電流を前記出力電流信号から生成する回路を採用し、第２電流送信回路として、電流信号の送信先が出力した出力電流信号のレベルを変化させることにより電流信号を送信する回路であると共に、前記第２電源ラインに供給する電流を前記出力電流信号から生成する回路を採用しておくことが出来る。 The pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention can be realized as either a device that receives power supply from a current signal transmission destination or a device that needs to supply power separately. When realizing the pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention as the former device, the first current signal is obtained by changing the level of the output current signal output from the transmission destination of the current signal as the first current transmission circuit. And a circuit that generates a current to be supplied to the first power supply line from the output current signal, and the level of the output current signal output by the destination of the current signal is used as the second current transmission circuit. It is possible to employ a circuit that transmits a current signal by changing the current signal and generates a current to be supplied to the second power supply line from the output current signal.

本発明に係る差圧計測用圧力計の絶縁伝送回路としては、静電結合、誘導結合、光結合のいずれによる絶縁伝送回路も使用することが出来る。ただし、フォトカプラー（光結合による絶縁伝送回路）の消費電力が比較的に少ない。そのため、絶縁伝送回路は、フォトカプラーであることが好ましい。 As the insulated transmission circuit of the pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention, an insulated transmission circuit using any one of electrostatic coupling, inductive coupling, and optical coupling can be used. However, the power consumption of the photocoupler (insulated transmission circuit using optical coupling) is relatively small. Therefore, the insulated transmission circuit is preferably a photocoupler.

また、本発明に係る差圧計測用圧力計の各圧力検出ユニットは、受圧面にかかる圧力に応じた圧力信号を出力できるものでありさえすれば良く、例えば、各圧力検出ユニットとして、静電容量変化により受圧面にかかる圧力に検出するユニットを採用することも出来る。ただし、その種のユニットは一般に製造が困難であるため、各圧力検出ユニットとして、一方の面が受圧面として機能するダイアフラムと、当該ダイアフラムの他方の面に設けられた、当該ダイアフラムの撓み量を検出するための１つ以上の歪ゲ−ジとを備えたユニットを採用しておくことが好ましい。 In addition, each pressure detection unit of the pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention only needs to be able to output a pressure signal corresponding to the pressure applied to the pressure receiving surface. It is also possible to employ a unit that detects the pressure applied to the pressure receiving surface by changing the capacity. However, since such a unit is generally difficult to manufacture, as each pressure detection unit, a diaphragm whose one surface functions as a pressure receiving surface and a deflection amount of the diaphragm provided on the other surface of the diaphragm are calculated. It is preferable to employ a unit provided with one or more strain gauges for detection.

また、本発明に係る差圧計測用圧力計を、各圧力検出ユニットが本体部から取り外せない機器として実現しておいても良い。ただし、差圧等の計測対象製造装置の形状は様々で
あるため、本発明に係る差圧計測用圧力計を、第１又は第２の圧力検出ユニットの少なくとも一方が本体部から着脱可能である機器として構成しておくことが好ましく、第１又は第２の圧力検出ユニットのそれぞれと本体部とが、圧力信号を伝送するためのケーブルにて接続される機器として構成しておくことが望ましい。 Moreover, the pressure gauge for differential pressure measurement according to the present invention may be realized as a device in which each pressure detection unit cannot be removed from the main body. However, since the shape of the measurement target manufacturing apparatus such as the differential pressure is various, the pressure gauge for measuring the differential pressure according to the present invention can be attached or detached from at least one of the first and second pressure detection units. It is preferable to configure as a device, and it is preferable to configure as a device in which each of the first or second pressure detection unit and the main body are connected by a cable for transmitting a pressure signal.

本発明によれば、従来の差圧計測用圧力計が有する各種欠点を有さない差圧計測用圧力計を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the pressure gauge for differential pressure measurement which does not have the various faults which the pressure gauge for conventional differential pressure measurement has can be provided.

図１は、本発明の一実施例に係る差圧計測用圧力計の外観図である。FIG. 1 is an external view of a pressure gauge for differential pressure measurement according to one embodiment of the present invention. 図２は、実施例に係る差圧計測用圧力計の使用例の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a usage example of the pressure gauge for differential pressure measurement according to the embodiment. 図３は、実施例に係る差圧計測用圧力計が備える本体部の内部構造の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of the internal structure of the main body included in the pressure gauge for differential pressure measurement according to the embodiment. 図４は、実施例に係る差圧計測用圧力計の変形例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a modification of the pressure gauge for differential pressure measurement according to the embodiment. 図５は、実施例に係る差圧計測用圧力計の他の変形例の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of another modification of the pressure gauge for differential pressure measurement according to the embodiment. 図６は、従来の差圧計測用圧力計の構成の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a configuration of a conventional pressure gauge for differential pressure measurement.

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be exemplarily described in detail with reference to the drawings. However, the dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to those unless otherwise specified. .

まず、図１及び図２を用いて、本発明の一実施例に係る差圧計測用圧力計１の概要を説明する。尚、図１は、本実施例に係る差圧計測用圧力計１の外観図であり、図２は、差圧計測用圧力計１の使用例の説明図である。 First, an outline of a differential pressure measuring pressure gauge 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is an external view of a differential pressure measuring pressure gauge 1 according to the present embodiment, and FIG. 2 is an explanatory diagram of a usage example of the differential pressure measuring pressure gauge 1.

図１に示してあるように、本実施例に係る差圧計測用圧力計１は、本体部１０と、本体部１０のコネクタ１１Ｈ及び１１Ｌにそれぞれケーブル４０を介して接続される２つの圧力検出ユニット３０とを、備える。 As shown in FIG. 1, the pressure gauge for differential pressure measurement 1 according to this embodiment includes two pressure detectors connected to a main body 10 and connectors 11H and 11L of the main body 10 via cables 40, respectively. Unit 30 is provided.

差圧計測用圧力計１が備える各圧力検出ユニット３０は、一方の面（図１における下側の面）が受圧面として機能するダイアフラム３１を備え、当該ダイアフラム３１の他方の面に２つの歪みゲージ３２が取り付けられているユニットである。尚、本実施例に係る圧力検出ユニット３０が備えるダイアフラム３１は、およそ３００μｍ厚のステンレス製部材（薄板）である。 Each pressure detection unit 30 included in the differential pressure measurement pressure gauge 1 includes a diaphragm 31 whose one surface (the lower surface in FIG. 1) functions as a pressure receiving surface, and two distortions are formed on the other surface of the diaphragm 31. The unit to which the gauge 32 is attached. The diaphragm 31 provided in the pressure detection unit 30 according to the present embodiment is a stainless steel member (thin plate) having a thickness of about 300 μm.

各圧力検出ユニット３０内の２つの歪みゲージ３２は、ブリッジ回路をなすように、２つの抵抗（図示略）と接続されている。そして、各圧力検出ユニット３０には、当該ブリッジ回路からの４本のリード線（電圧印加用の２本のリード線と電圧検出用の２本のリード線）と接続されたコネクタ３３が設けられている。 The two strain gauges 32 in each pressure detection unit 30 are connected to two resistors (not shown) so as to form a bridge circuit. Each pressure detection unit 30 is provided with a connector 33 connected to four lead wires (two lead wires for voltage application and two lead wires for voltage detection) from the bridge circuit. ing.

差圧計測用圧力計１の使用時には、図２に例示したように、２つの圧力検出ユニット３０が、差圧等を計測すべき製造装置５０の低圧側の圧力取出口と高圧側の圧力取出口とに取り付けられる。また、本体部１０が、Ｌ字ブラケット等を用いて製造装置５０近傍の配管等に取り付けられる。より具体的には、本体部１０の下端には、複数の貫通穴が形成された取付部１０ａが設けられている。本体部１０の製造装置５０近傍の配管等への取り付け時には、まず、本体部１０の取付部１０ａにＬ字ブラケット等がボルト・ナットで固定される。次いで、本体部１０と一体化されたＬ字ブラケット等が製造装置５０近傍の配管
等への取り付けられる。 When using the pressure gauge 1 for measuring the differential pressure, as illustrated in FIG. 2, the two pressure detection units 30 are connected to the pressure outlet on the low pressure side and the pressure inlet on the high pressure side of the manufacturing apparatus 50 to measure the differential pressure and the like. Attached to the outlet. Moreover, the main-body part 10 is attached to piping etc. of the manufacturing apparatus 50 vicinity using an L-shaped bracket etc. More specifically, the lower end of the main body portion 10 is provided with an attachment portion 10a in which a plurality of through holes are formed. When the main body 10 is attached to a pipe or the like in the vicinity of the manufacturing apparatus 50, first, an L-shaped bracket or the like is fixed to the attachment 10a of the main body 10 with bolts and nuts. Next, an L-shaped bracket or the like integrated with the main body 10 is attached to a pipe or the like in the vicinity of the manufacturing apparatus 50.

その後、製造装置５０の高圧側の圧力取出口に取り付けられた圧力検出ユニット３０が、ケーブル４０により本体部１０のコネクタ１１Ｈに接続される。また、製造装置５０の低圧側の圧力取出口に取り付けられた圧力検出ユニット３０が、ケーブル４０により本体部１０のコネクタ１１Ｌに接続される。尚、コネクタ１１Ｈとは、それを介して入力される圧力信号が高圧側の圧力を示す信号として取り扱われるコネクタのことである。同様に、コネクタ１１Ｌとは、それを介して入力される圧力信号が低圧側の圧力を示す信号として取り扱われるコネクタのことである。 Thereafter, the pressure detection unit 30 attached to the pressure outlet on the high pressure side of the manufacturing apparatus 50 is connected to the connector 11H of the main body 10 by the cable 40. Further, the pressure detection unit 30 attached to the pressure outlet on the low pressure side of the manufacturing apparatus 50 is connected to the connector 11 </ b> L of the main body 10 by the cable 40. The connector 11H is a connector in which a pressure signal input through the connector 11H is handled as a signal indicating a high-pressure side pressure. Similarly, the connector 11L is a connector in which a pressure signal input through the connector 11L is handled as a signal indicating a low-pressure side pressure.

本体部１０（図１）は、所定の電圧を印加することより各圧力検出ユニット３０（内のブリッジ回路）から出力される電圧に応じた差圧電流信号及び静圧電流信号を、コネクタ１５に接続されたケーブル４５を介して監視装置（図示略）に送信するユニットである。 The main body 10 (FIG. 1) applies a differential pressure current signal and a static pressure current signal to the connector 15 according to the voltage output from each pressure detection unit 30 (internal bridge circuit) by applying a predetermined voltage. This is a unit that transmits to a monitoring device (not shown) via a connected cable 45.

ここで、監視装置とは、本体部１０からの差圧電流信号と静圧電流信号とに基づき、製造工程を管理する装置のことである。詳細については後述するが、本実施例に係る差圧計測用圧力計１は、動作するために必要な電力を、監視装置との間の４〜２０ｍＡの２つの電流ループから得る機器として構成されている。従って、本差圧計測用圧力計１の監視装置としては、２種の電流信号を出力する機器（換言すれば、差圧計測用圧力計１の電源として機能する機器）が使用される。 Here, the monitoring device is a device that manages the manufacturing process based on the differential pressure current signal and the static pressure current signal from the main body 10. Although the details will be described later, the pressure gauge for differential pressure measurement 1 according to the present embodiment is configured as a device that obtains power necessary for operation from two current loops of 4 to 20 mA with the monitoring device. ing. Therefore, a device that outputs two types of current signals (in other words, a device that functions as a power source for the differential pressure measuring pressure gauge 1) is used as the monitoring device for the differential pressure measuring pressure gauge 1.

また、差圧電流信号とは、差圧等の計測対象製造装置に取り付けられている２つの圧力検出ユニット３０の受圧面にかかっている圧力の差を、そのレベル（電流値）が表している４〜２０ｍＡの直流電流信号のことである。また、静圧電流信号とは、計測対象製造装置の低圧側の圧力取出口に取り付けられている圧力検出ユニット３０の受圧面にかかっている圧力を、そのレベルが表している４〜２０ｍＡの直流電流信号のことである。 The differential pressure current signal is a level (current value) representing a difference in pressure applied to the pressure receiving surfaces of the two pressure detection units 30 attached to the measurement target manufacturing apparatus such as a differential pressure. It is a DC current signal of 4 to 20 mA. The static pressure current signal is a direct current of 4 to 20 mA, the level of which represents the pressure applied to the pressure receiving surface of the pressure detection unit 30 attached to the pressure outlet on the low pressure side of the measurement target manufacturing apparatus. It is a current signal.

以上のことを前提に、以下、本実施例に係る差圧計測用圧力計１の構成及び機能をさらに具体的に説明する。 Based on the above, the configuration and function of the differential pressure measuring pressure gauge 1 according to the present embodiment will be described more specifically below.

図１に示してあるように、差圧計測用圧力計１の本体部１０の筐体には、表示装置１３と３つの押しボタンスイッチ１２とが設けられている。表示装置１３は、差圧計測用圧力計１による差圧や静圧の計測結果等を表示するための装置である。差圧計測用圧力計１は、この表示装置１３として、１４セグメントのＬＣＤ（Liquid Crystal Display）を採用した機器となっている。 As shown in FIG. 1, a display device 13 and three push button switches 12 are provided in the housing of the main body 10 of the differential pressure measuring pressure gauge 1. The display device 13 is a device for displaying a measurement result of a differential pressure and a static pressure by the differential pressure measurement pressure gauge 1. The pressure gauge 1 for differential pressure measurement is a device that employs a 14-segment LCD (Liquid Crystal Display) as the display device 13.

３つの押しボタンスイッチ１２は、本体部１０への各種指示（表示装置１３に表示する情報の変更指示等）の入力手段として本体部１０に設けられているスイッチである。 The three push button switches 12 are switches provided in the main body 10 as input means for various instructions to the main body 10 (such as an instruction to change information displayed on the display device 13).

図３に、本体部１０の内部構造を示す。
図示してあるように、本体部１０は、主回路２０Ａと、補助回路２０Ｂと、主回路２０Ａ及び補助回路２０Ｂに跨った絶縁伝送回路２４とを、備える。 FIG. 3 shows the internal structure of the main body 10.
As illustrated, the main body 10 includes a main circuit 20A, an auxiliary circuit 20B, and an insulated transmission circuit 24 straddling the main circuit 20A and the auxiliary circuit 20B.

主回路２０Ａは、絶縁伝送回路２４の前半部分（詳細は後述）、表示装置１３、２つのアンプ２１、演算処理回路２２、第１電流送信回路２５及び電圧生成回路２７を主要構成要素とした回路である。図３中に模式的に示してあるように、この主回路２０Ａの構成要素中のデジタル回路は、デジタル回路用第１電源ラインＤＶｃｃ１及びデジタル回路用第１グランドラインＤＧＮＤ１に接続されている。また、主回路２０Ａの構成要素中の各アナログ回路は、アナログ回路用第１電源ラインＡＶｃｃ１及びアナログ回路用第１グランドラインＡＧＮＤ１に接続されている。尚、図示は省略してあるが、各押しボタンスイッ
チ１２（図１）も主回路２０Ａの構成要素である。また、演算処理回路２２や第１電流送信回路２５が、デジタル回路用のラインとアナログ回路用のラインとに接続されているのは、各回路がアナログ回路とデジタル回路とが混在した回路となっているためである。 The main circuit 20A is a circuit having the first half of the insulated transmission circuit 24 (details will be described later), the display device 13, two amplifiers 21, an arithmetic processing circuit 22, a first current transmission circuit 25, and a voltage generation circuit 27 as main components. It is. As schematically shown in FIG. 3, the digital circuit in the constituent elements of the main circuit 20A is connected to the first power line DVcc1 for digital circuit and the first ground line DGND1 for digital circuit. Each analog circuit in the constituent elements of the main circuit 20A is connected to the analog circuit first power supply line AVcc1 and the analog circuit first ground line AGND1. Although not shown, each push button switch 12 (FIG. 1) is also a component of the main circuit 20A. The arithmetic processing circuit 22 and the first current transmission circuit 25 are connected to the digital circuit line and the analog circuit line because each circuit is a circuit in which an analog circuit and a digital circuit are mixed. This is because.

補助回路２０Ｂは、絶縁伝送回路２４の後半部分（詳細は後述）と第２電流送信回路２６とを主要構成要素とした回路である。図３中に模式的に示してあるように、補助回路２０Ｂ内の絶縁伝送回路２４の後半部分は、デジタル回路用第２電源ラインＤＶｃｃ２及びデジタル回路用第２グランドラインＤＧＮＤ２に接続されている。また、第２電流送信回路２６は、デジタル回路用第２電源ラインＤＶｃｃ２及びアナログ回路用第２グランドラインＡＧＮＤ２に接続されている。 The auxiliary circuit 20 </ b> B is a circuit having the second half (details will be described later) of the insulated transmission circuit 24 and the second current transmission circuit 26 as main components. As schematically shown in FIG. 3, the second half of the isolated transmission circuit 24 in the auxiliary circuit 20B is connected to the second power line DVcc2 for digital circuit and the second ground line DGND2 for digital circuit. The second current transmission circuit 26 is connected to the second power line DVcc2 for digital circuit and the second ground line AGND2 for analog circuit.

主回路２０Ａ内の第１電流送信回路２５は、基本的には、入力された電流値指定信号に応じたレベルの電流信号を、コネクタ１５等を介して監視装置に送信する回路である。補助回路２０Ｂ内の第２電流送信回路２６も、基本的には、入力された電流値指定信号に応じたレベルの電流信号を、コネクタ１５等を介して監視装置に送信する回路である。 The first current transmission circuit 25 in the main circuit 20A is basically a circuit that transmits a current signal of a level corresponding to the input current value designation signal to the monitoring device via the connector 15 or the like. The second current transmission circuit 26 in the auxiliary circuit 20B is also basically a circuit that transmits a current signal at a level corresponding to the input current value designation signal to the monitoring device via the connector 15 or the like.

ただし、既に説明したように、差圧計測用圧力計１は、動作するために必要な電力を、監視装置との間の４〜２０ｍＡの２つの電流ループから得る機器である。そのため、第１電流送信回路２５は、監視装置が出力した電流信号のレベルを変化させることにより入力される電流値指定信号に応じたレベルの電流信号を送信する回路となっている。 However, as already described, the pressure gauge 1 for differential pressure measurement is a device that obtains electric power necessary for operation from two current loops of 4 to 20 mA with the monitoring device. Therefore, the first current transmission circuit 25 is a circuit that transmits a current signal having a level corresponding to the current value designation signal input by changing the level of the current signal output by the monitoring device.

また、第１電流送信回路２５は、監視装置からの電流中のおよそ３．５ｍＡ分の電流から、主回路２０Ａ内の各部の動作に必要な電圧（ＤＶｃｃ１やＡＶｃｃ１に供給される電圧）を生成する回路ともなっている。同様に、第２電流送信回路２６は、監視装置が出力した電流信号のレベルを変化させることにより入力される電流値指定信号に応じたレベルの電流信号を送信する回路であると共に、監視装置が出力する電流から補助回路２０Ｂ内の各部の動作に必要な電圧（ＤＶｃｃ２に供給される電圧、第２電流送信回路２６内で使用される電圧）を生成する回路となっている。 The first current transmission circuit 25 generates a voltage (voltage supplied to DVcc1 and AVcc1) necessary for the operation of each part in the main circuit 20A from the current of about 3.5 mA in the current from the monitoring device. It is also a circuit to do. Similarly, the second current transmission circuit 26 is a circuit that transmits a current signal at a level corresponding to a current value designation signal that is input by changing the level of the current signal output by the monitoring device. This is a circuit that generates a voltage (voltage supplied to DVcc2, voltage used in the second current transmission circuit 26) necessary for the operation of each part in the auxiliary circuit 20B from the output current.

尚、差圧計測用圧力計１に採用した電流送信回路２５、２６は、いずれも、アナログ信号である電流値指定信号を入力して使用する電流ループ・トランスミッタと、シリアルデジタル信号である電流値指定信号を、アナログ形式の電流値指定信号に変換するための１チャネルのＤＡＣ（Digital to Analog Converter；デジタル-アナログ変換回路)とを、
主要構成要素とした回路である。 The current transmission circuits 25 and 26 employed in the differential pressure measurement pressure gauge 1 are both current loop transmitters that are used by inputting a current value designation signal that is an analog signal, and current values that are serial digital signals. 1 channel DAC (Digital to Analog Converter) for converting the specified signal into an analog current value specifying signal,
It is a circuit as a main component.

主回路２０Ａ内の電圧生成回路２７は、所定の電圧を生成して各圧力検出ユニット３０内のブリッジ回路に供給する回路である。差圧計測用圧力計１には、主回路２０Ａ及び各圧力検出ユニット３０内のブリッジ回路の総消費電力を、低減する（監視装置からのおよそ３．５ｍＡ分の電力よりも小さくする）ために、この電圧生成回路２７として、各圧力検出ユニット３０内に設けられているブリッジ回路に通常印加すべき電圧のおよそ１／２の電圧を生成する回路が採用されている。 The voltage generation circuit 27 in the main circuit 20 </ b> A is a circuit that generates a predetermined voltage and supplies it to a bridge circuit in each pressure detection unit 30. In the pressure gauge 1 for differential pressure measurement, in order to reduce the total power consumption of the main circuit 20A and the bridge circuit in each pressure detection unit 30 (less than the power of about 3.5 mA from the monitoring device). As the voltage generation circuit 27, a circuit that generates a voltage that is approximately ½ of a voltage that should normally be applied to a bridge circuit provided in each pressure detection unit 30 is employed.

各アンプ２１は、各圧力検出ユニット３０内のブリッジ回路の出力を増幅するためのアナログアンプである。 Each amplifier 21 is an analog amplifier for amplifying the output of the bridge circuit in each pressure detection unit 30.

演算処理回路２２は、複数のＡＤＣ（Analog to Digital Converter；アナログ−デジ
タル変換回路)を内蔵した、１４セグメントのＬＣＤ（つまり、表示装置１３）を直接駆
動することが出来るマイクロコントローラである。 The arithmetic processing circuit 22 is a microcontroller that can directly drive a 14-segment LCD (that is, the display device 13) including a plurality of ADCs (Analog to Digital Converter).

この演算処理回路２２内のフラッシュＲＯＭ（Read Only Memory）には、演算処理回路
２２に、以下の一連の処理を定期的に繰り返させるためのファームウェアが記憶されている。 A flash ROM (Read Only Memory) in the arithmetic processing circuit 22 stores firmware for causing the arithmetic processing circuit 22 to periodically repeat the following series of processes.

（１）アンプ２１を介して入力される各圧力検出ユニット３０からの圧力信号（電圧信号）を取り込んで、２つの圧力検出ユニット３０の受圧面にかかっている圧力を把握。
（２）把握した２圧力の差を算出し、算出した差を表す差圧電流信号を第１電流送信回路２５に送信させるための電流値指定信号を第１電流送信回路２５に対して出力。
（３）把握した、コネクタ１１Ｌに接続されている方の圧力検出ユニット３０の受圧面にかかっている圧力を表す静圧電流信号を第２電流送信回路２６に送信させるための電流値指定信号を絶縁伝送回路２４に対して出力。 (1) The pressure signal (voltage signal) from each pressure detection unit 30 input via the amplifier 21 is taken in and the pressure applied to the pressure receiving surfaces of the two pressure detection units 30 is grasped.
(2) Calculate the difference between the two pressures grasped, and output to the first current transmission circuit 25 a current value designation signal for causing the first current transmission circuit 25 to transmit a differential pressure current signal representing the calculated difference.
(3) A current value designation signal for causing the second current transmission circuit 26 to transmit a static pressure current signal representing the pressure applied to the pressure receiving surface of the pressure detection unit 30 connected to the connector 11L. Output to isolated transmission circuit 24.

尚、差圧計測用圧力計１に採用されている電流送信回路２５、２６中の上記したＤＡＣは、電流値指定信号の入力時に、ＳＹＮＣ（入力データのフレーム同期信号）とＳＣＬＫ（シリアルクロック）とを入力する必要があるものとなっている。そのため、（２）、（３）の処理時には、電流値指定信号の出力と同期的にＳＹＮＣ及びＳＣＬＫも出力される。 The DAC in the current transmission circuits 25 and 26 employed in the differential pressure measurement pressure gauge 1 is SYNC (frame sync signal of input data) and SCLK (serial clock) when a current value designation signal is input. It is necessary to enter and. Therefore, during the processes (2) and (3), SYNC and SCLK are also output in synchronization with the output of the current value designation signal.

演算処理回路２２内のフラッシュＲＯＭ上のファームウェアは、演算処理回路２２に、表示装置１３を制御する処理、押しボタンスイッチ１２の押下により入力された指示を把握して把握した指示に応じた動作を行う処理等も行わせるものとなっている。さらに、当該ファームウェアは、主回路２０Ａの総消費電力を低減するために、演算処理回路２２を低クロック周波数（本実施例では、１ＭＨｚ）で動作させるものともなっている。 The firmware on the flash ROM in the arithmetic processing circuit 22 performs processing according to the instruction obtained by grasping the instruction input to the arithmetic processing circuit 22 by controlling the display device 13 and pressing the push button switch 12. The processing to be performed is also performed. Further, the firmware also operates the arithmetic processing circuit 22 at a low clock frequency (1 MHz in this embodiment) in order to reduce the total power consumption of the main circuit 20A.

絶縁伝送回路２４は、電気的に絶縁された入力端子と出力端子のペアを３つ備えた回路である。本実施例に係る差圧計測用圧力計１には、この絶縁伝送回路２４として、３チャネルのフォトカプラーが採用されている。従って、上記した“絶縁伝送回路２４の前半部分”、“絶縁伝送回路２４の後半部分”とは、それぞれ、絶縁伝送回路２４のＬＥＤ（Light Emitting Diode）側の部分、受光素子側の部分のことである。 The insulated transmission circuit 24 is a circuit including three pairs of input terminals and output terminals that are electrically isolated. In the pressure gauge 1 for differential pressure measurement according to the present embodiment, a three-channel photocoupler is employed as the insulating transmission circuit 24. Therefore, the above-mentioned “first half part of the insulated transmission circuit 24” and “second half part of the insulated transmission circuit 24” are a part on the LED (Light Emitting Diode) side and a part on the light receiving element side of the insulated transmission circuit 24, respectively. It is.

以上、説明したように、本実施例に係る差圧計測用圧力計１は、圧力をオイルにて伝達することなく、差圧及び静圧を計測する構成を有している。従って、この差圧計測用圧力計１を用いておけば、従来の差圧計測用圧力計におけるオイル関連の各種問題（ダイアフラムが破れてオイルが製造装置内に漏れ出す等）が生じない形で、差圧及び静圧を計測することが出来る。 As described above, the differential pressure measuring pressure gauge 1 according to the present embodiment has a configuration for measuring the differential pressure and the static pressure without transmitting the pressure with oil. Therefore, if this pressure gauge for differential pressure measurement 1 is used, various problems related to oil in the conventional pressure gauge for differential pressure measurement (such as the diaphragm breaking and oil leaking into the manufacturing apparatus) do not occur. , Differential pressure and static pressure can be measured.

また、差圧計測用圧力計１の或る圧力検出ユニット３０のダイアフラム３１が破れた場合、ブリッジ回路のショート等により、当該圧力検出ユニット３０からそれまでとは全く異なる圧力信号が出力されるようになる。そして、その結果として、それまでとは全く異なる差圧が出力されることになる。従って、差圧計測用圧力計１を用いておけば、ダイアフラム３１が破れたことを即座に検出できることにもなる。 In addition, when a diaphragm 31 of a certain pressure detection unit 30 of the differential pressure measurement pressure gauge 1 is broken, a pressure signal completely different from the pressure signal is output from the pressure detection unit 30 due to a short circuit of the bridge circuit or the like. become. As a result, a completely different differential pressure is output. Therefore, if the differential pressure measuring pressure gauge 1 is used, it is possible to immediately detect that the diaphragm 31 has been broken.

また、差圧計測用圧力計１が出力（送信）するのは、デジタル信号を重畳した電流信号ではなく、２種類の電流信号である。従って、差圧計測用圧力計１を用いておけば、差圧等の管理に、デジタル信号が重畳された電流信号をアナログ信号成分とデジタル信号成分とに分ける機能を有さない一般的な機器を使用できることになる。 Further, the differential pressure measurement pressure gauge 1 outputs (transmits) two types of current signals, not a current signal on which a digital signal is superimposed. Therefore, if the pressure gauge for differential pressure measurement 1 is used, a general device that does not have a function of dividing a current signal on which a digital signal is superimposed into an analog signal component and a digital signal component in managing differential pressure and the like. Can be used.

また、２つの電流送信回路をプロセッサに直結した場合、グランドループが形成されてしまうため、各電流送信回路から、誤差が大きな電流信号が送信されてしまうことになる。ただし、差圧計測用圧力計１には、第２電流送信回路２６のグランド等を主回路２０Ａのグランド等と分離し、演算処理回路２２からの電流値指定信号が、絶縁伝送回路２４（
フォトカプラー）を介して第２電流送信回路２６に供給される構成（図３）が採用されている。従って、差圧計測用圧力計１は、第１電流送信回路２５、第２電流送信回路２６から、それぞれ、意図通りの（誤差が少ない）電流信号が送信される機器として機能することになる。 In addition, when two current transmission circuits are directly connected to the processor, a ground loop is formed, so that a current signal with a large error is transmitted from each current transmission circuit. However, in the pressure gauge 1 for differential pressure measurement, the ground of the second current transmission circuit 26 and the like are separated from the ground of the main circuit 20A and the current value designation signal from the arithmetic processing circuit 22 is transmitted to the insulated transmission circuit 24
A configuration (FIG. 3) that is supplied to the second current transmission circuit 26 via a photocoupler) is employed. Accordingly, the pressure gauge for differential pressure measurement 1 functions as a device that transmits a current signal as intended (with a small error) from the first current transmission circuit 25 and the second current transmission circuit 26, respectively.

さらに、差圧計測用圧力計１は、各圧力検出ユニット３０と、本体部１０とを、所望の場所に取り付けてから、各圧力検出ユニット３０と本体部１０と間をケーブル４０にて接続するといった形で、設置できる機器となっている。従って、差圧計測用圧力計１は、各部が金属管（キャピラリ）で一体化されている従来の差圧計測用圧力計（図６）よりも、設置作業が容易な機器となっていると言うことが出来る。 Furthermore, the pressure gauge 1 for differential pressure measurement attaches each pressure detection unit 30 and the main body 10 to a desired place, and then connects each pressure detection unit 30 and the main body 10 with a cable 40. It is a device that can be installed. Therefore, the differential pressure measurement pressure gauge 1 is a device that is easier to install than the conventional differential pressure measurement pressure gauge (FIG. 6) in which each part is integrated with a metal tube (capillary). I can say that.

《変形例》
上記した差圧計測用圧力計１は、各種の変形が行えるものである。例えば、差圧計測用圧力計１を、電源に接続して使用する機器に変形することが出来る。また、差圧計測用圧力計１を、図４に示したように、低圧計測用の圧力検出ユニット３０が本体部１０に対して固定されている機器に変形することも出来る。差圧計測用圧力計１を、図５に示したように、高圧計測用の圧力検出ユニット３０が本体部１０に対して固定されている機器に変形することも出来る。 <Modification>
The above-described pressure gauge 1 for measuring differential pressure can be variously modified. For example, the pressure gauge 1 for differential pressure measurement can be transformed into a device that is used by being connected to a power source. In addition, as shown in FIG. 4, the differential pressure measurement pressure gauge 1 can be transformed into a device in which the low pressure measurement pressure detection unit 30 is fixed to the main body 10. As shown in FIG. 5, the differential pressure measurement pressure gauge 1 can be modified into a device in which the high pressure measurement pressure detection unit 30 is fixed to the main body 10.

また、絶縁伝送回路２４として、静電結合や誘導結合による絶縁伝送回路を使用することも出来る。ただし、フォトカプラー（光結合による絶縁伝送回路）の消費電力が比較的に少ないので、絶縁伝送回路２４としては、上記したように、フォトカプラーを用いておくことが好ましい。 Further, as the insulated transmission circuit 24, an insulated transmission circuit by electrostatic coupling or inductive coupling can be used. However, since the power consumption of the photocoupler (insulated transmission circuit by optical coupling) is relatively small, it is preferable to use the photocoupler as the insulated transmission circuit 24 as described above.

また、圧力検出ユニット３０は、受圧面にかかる圧力に応じた圧力信号を出力できるものでありさえすれば良い。従って、圧力検出ユニット３０として、例えば、静電容量変化により受圧面にかかる圧力に検出するユニットを採用しておくことも出来る。ただし、その種のユニットは一般に製造が困難であるので、各圧力検出ユニット３０としては、一方の面が受圧面として機能するダイアフラムと、当該ダイアフラムの他方の面に設けられた、当該ダイアフラムの撓み量を検出するための１つ以上の歪ゲ−ジ３２とを備えたユニットを採用しておくことが好ましい。 The pressure detection unit 30 only needs to output a pressure signal corresponding to the pressure applied to the pressure receiving surface. Therefore, as the pressure detection unit 30, for example, a unit that detects the pressure applied to the pressure receiving surface by a change in capacitance can be adopted. However, since such a unit is generally difficult to manufacture, each pressure detection unit 30 includes a diaphragm whose one surface functions as a pressure receiving surface, and a deflection of the diaphragm provided on the other surface of the diaphragm. It is preferable to employ a unit that includes one or more strain gauges 32 for detecting the amount.

上記した差圧計測用圧力計１は、第１電流送信回路２５が差圧電流信号を送信する機器であったが、差圧計測用圧力計１は、第２電流送信回路２６が差圧電流信号を送信する機器に変形することも出来る。さらに、差圧計測用圧力計１をデジタル回路を用いていない機器に変形することも出来る。また、差圧計測用圧力計１を、表示装置１３や押しボタンスイッチ１２を備えない機器や、差圧と高圧側圧力とを計測する機器に変形しても良いことなどは当然のことである。 The pressure gauge for differential pressure measurement 1 described above is a device in which the first current transmission circuit 25 transmits a differential pressure current signal. However, in the pressure gauge for differential pressure measurement 1, the second current transmission circuit 26 has a differential pressure current. It can also be transformed into a device that transmits signals. Furthermore, the pressure gauge for differential pressure measurement 1 can be modified to a device that does not use a digital circuit. In addition, it is natural that the differential pressure measuring pressure gauge 1 may be transformed into a device that does not include the display device 13 and the push button switch 12 or a device that measures the differential pressure and the high pressure side pressure. .

１差圧計測用圧力計
１０ａ取付部
１０本体部
１１Ｈ、１１Ｌ、１５、３３コネクタ
１２押しボタンスイッチ
１３表示装置
２０Ａ主回路
２０Ｂ補助回路
２１アンプ
２２演算処理回路
２４絶縁伝送回路
２５第１電流送信回路
２６第２電流送信回路
２７電圧生成回路
３０圧力検出ユニット
３１ダイアフラム
３２ゲージ
４０、４５ケーブル
５０製造装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pressure gauge for differential pressure measurement 10a Mounting part 10 Main part 11H, 11L, 15, 33 Connector 12 Pushbutton switch 13 Display apparatus 20A Main circuit 20B Auxiliary circuit 21 Amplifier 22 Arithmetic processing circuit 24 Insulated transmission circuit 25 1st electric current transmission circuit 26 Second current transmission circuit 27 Voltage generation circuit 30 Pressure detection unit 31 Diaphragm 32 Gauge 40, 45 Cable 50 Manufacturing device

Claims

First and second pressure detection units each having a pressure receiving surface and outputting a pressure signal corresponding to the pressure applied to the pressure receiving surface;
Based on the pressure signals output from the first and second pressure detection units, a differential pressure current signal that represents a difference in pressure applied to the pressure receiving surfaces of the first and second pressure detection units; A main body for transmitting a pressure current signal representing the pressure applied to the pressure receiving surface of the second pressure detection unit;
With
The main body is
A first current transmission circuit for transmitting a current signal at a level corresponding to the input current value designation signal;
A second current transmission circuit for transmitting a current signal at a level corresponding to the input current value designation signal;
A first current value designation signal for causing the first current transmission circuit to transmit one of the differential pressure current signal and the pressure current signal based on a pressure signal output from the first and second pressure detection units. An arithmetic processing unit that outputs a second current value designation signal for causing the second current transmission circuit to transmit the other of the differential pressure current signal and the pressure current signal;
An insulated transmission circuit that electrically insulates the second current value designation signal output from the arithmetic processing unit and inputs the second current value designation signal to the second current transmission circuit;
Including
The first current transmission circuit, the arithmetic processing unit, and the circuit on the input terminal side of the isolated transmission circuit are connected to a first power supply line and a first ground line,
Circuits on the output terminal side of the second current transmission circuit and the isolated transmission circuit are connected to a second power supply line different from the first power supply line and a second ground line different from the first ground line. A pressure gauge for measuring differential pressure.

The pressure gauge for differential pressure measurement according to claim 1, wherein each of the first current transmission circuit and the second current transmission circuit is a circuit that transmits a current signal of 4 mA to 20 mA.

The first current transmission circuit comprises:
A circuit for transmitting the current signal by changing a level of an output current signal output by a transmission destination of the current signal, and a circuit for generating a current to be supplied to the first power supply line from the output current signal. ,
The second current transmission circuit comprises:
A circuit for transmitting the current signal by changing a level of an output current signal output by a transmission destination of the current signal, and a circuit for generating a current to be supplied to the second power supply line from the output current signal. The pressure gauge for measuring differential pressure according to claim 1 or 2.

The pressure gauge for differential pressure measurement according to any one of claims 1 to 3, wherein the insulating transmission circuit is a photocoupler.

Each of the first and second pressure detection units includes:
A diaphragm whose one surface functions as the pressure receiving surface;
One or more strain gauges provided on the other surface of the diaphragm for detecting the amount of deflection of the diaphragm;
The pressure gauge for differential pressure measurement according to any one of claims 1 to 4, wherein the pressure gauge is provided.

The pressure gauge for differential pressure measurement according to any one of claims 1 to 5, wherein at least one of the first or second pressure detection unit is detachable from the main body.

Each of the said 1st or 2nd pressure detection unit and the said main-body part are connected by the cable for transmitting the said pressure signal. The pressure gauge for differential pressure measurement of Claim 6 characterized by the above-mentioned. .