JP6104630B2 - スライディング放電用の電源装置 - Google Patents
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ただし、必要に応じて複数のユニットを並列にして使用することもできる。(非特許文献1参照)
また、前記の通り、スライディング放電には交流と直流の独立した2つの電源7,8が必要であり、電源構成が複雑化するという課題がある。
(2)請求項2記載の発明は、上記1項において、前記整流回路として、コッククロフト・ウォルトン回路が用いられ、前記交流高電圧電源から出力される交流高電圧に直流高電圧を重畳する際、コッククロフト・ウォルトン回路における通常の交流入力端子と接地端子とを逆転して、該コッククロフト・ウォルトン回路の通常の接地端子に交流高電圧を供給することにより、該コッククロフト・ウォルトン回路の出力端子に直流高電圧が重畳された交流高電圧が得られるように構成されていることを特徴としている。
(3)請求項3記載の発明は、上記1項及び2項において、交流高電圧の発生源としてLC共振回路とコッククロフト・ウォルトン回路の出力インピーダンスの特性を利用して、電力を消費する安定抵抗を用いることなく、スライディング放電を適切に安定化する自己制御性を電源に付与することを特徴としている。
(4)請求項4記載の発明は、上記1項〜3項のうち、何れか1項において、広範な温度変化によるスライディング放電装置の放電電流や静電容量変化に適切に追従させるために、LC共振回路へ供給する電圧の周波数を共振周波数付近で調整して行うことを特徴としている。
図1は本発明に係わるスライディング放電用の電極構造とともに、当該電極を駆動する電源装置の概略構成を示す説明図である。
図1に示されるスライディング放電用の電極構造自体は図8の基本形式と同じであり、絶縁誘電体4の同一面上に、励起電極1とスライディング電極2を10〜100mm程度の一様な間隔になるように配置されて構成されている。そして、絶縁誘電体4を挟んでその裏面側に、励起電極1とスライディング電極2の間隙を覆うように、背面電極3を配置した3電極構造が採られている。しかし、基本形式とはスライディング電極2と背面電極3が接地されている点が異なる。
図2に示される放電装置は外径100mm、肉厚5mmの高純度アルミナ管の外表面端部に、厚さ40μmのステンレステープを一周巻き付けてスライディング電極2とした。スライディング電極2から放電ギャップ40mm±0.5mmを隔てて厚さ40μmのステンレステープをアルミナ管外表面に一周巻き付け、励起電極1とした。またアルミナ管の内面には幅70mmにわたりステンレステープを貼って背面電極3とした。
同図に示されるように、雰囲気温度の上昇に伴い放電電力(電流)が増加するが、電源の自己制御性が発揮されて、安定抵抗を用いることなく、放電電力(電流)増加に応じて放電の平均励起電圧が自然に低下し(自己制御性)、火花放電の発生を防止している。この例では励起電圧の低下があってもスライディング放電電力の温度依存性はほぼ平坦であり、広い温度範囲で好ましい放電状態が実現できている。
前述の実施例1では電源と、放電装置の電力吸収能力とがよくマッチしているために、試験温度範囲(100〜300℃)では火花放電が全く起らない。ここでは放電装置の電力吸収能力を故意に小さくした電極を製作し、周波数による電源の自己制御性の調整を可能ならしめた実施例について例示する。
このシステムの共振周波数は、低電圧印加時(無放電時)では15.3kHz、室温雰囲気で火花放電直前まで印加電圧を増加した場合、約14kHzであるが、雰囲気温度が上がると更に低下する。
次に、プラズマリアクタ用の電源として、本発明に係る電源装置を利用する場合の実施例について説明する。
プラズマリアクタは、ディーゼルエンジンの排ガス処理装置、メタンやメタノールのリフォーミングなど、水素発生を目的にしたプラズマリアクタへの広範な応用が企図されており、本実施例はプラズマ反応に際してバリア放電とスライディング放電を併用した例である。
図7はリアクタを構成する筐体内部に設置されている電極の構造を示す概略説明図で、図7(A)は筐体内部に設置される電極(放電ユニット)を横方向から視た説明図、図7(B)は図7(A)のA−A断面の矢視説明図である。
このプラズマリアクタでは、スライディング電極2並びに背面電極3を、リアクタの筐体を介して接地可能としたため、絶縁に必要な碍子などが不要となり、結果的にプラズマリアクタの構造を簡素化かつ小型化することが可能となり、製作費用のコストダウンを図ることができる。
2 スライディング電極
3 背面電極
4 絶縁誘電体
5 励起用バリア放電
6 放電ギャップ(スライディング放電部)
7 交流高電圧電源(共振回路含む)
7a 高電圧トランス
7b インダクタ(漏洩インダクタ)
7c 共振コンデンサ(電極等のシステム容量を含む)
8 直流高圧電源
9 安定器
9a 安定抵抗
9b バイパスコンデンサ
10 ブッシング碍子
11 アンプ(インバータ)
12 発振器
13 コッククロフト・ウォルトン回路(2段)
13a 高電圧整流ダイオード
13b 高電圧コンデンサ
13c 高電圧コンデンサ
13d コッククロフト・ウォルトン回路入力端子(高圧側)
13e コッククロフト・ウォルトン回路入力端子(接地側)
13f コッククロフト・ウォルトン回路出力力端子
14 放電駆動電圧供給用リード線
15 処理対象気流流路
16a 16a 上下壁面
16b 16b 側壁面(放電ユニット取付け側)
Claims (4)
- 励起電極、スライディング電極の少なくとも2つの電極、或いは背面電極を加えた3つの電極系で構成されたスライディング放電装置に対し、交流高電圧に直流高電圧を重畳した高電圧を励起電極のみに加えることにより、スライディング放電を生ぜしめることを目的にした電源装置であって、
交流高電圧電源と、該交流高電圧電源から供給される交流高電圧を整流する整流回路とを具備し、
前記励起電極のみに高電圧を印加し、スライディング電極と背面電極を接地して電気絶縁上の問題を軽減するため、該交流高電圧電源から出力される交流高電圧を、該整流回路によって整流しつつ直流高電圧を該交流高電圧に重畳することを特徴とするスライディング放電用の電源装置。 - 前記整流回路として、コッククロフト・ウォルトン回路が用いられ、前記交流高電圧電源から出力される交流高電圧に直流高電圧を重畳する際、コッククロフト・ウォルトン回路における通常の交流入力端子と接地端子とを逆転して、該コッククロフト・ウォルトン回路の通常の接地端子に交流高電圧を供給することにより、該コッククロフト・ウォルトン回路の出力端子に直流高電圧が重畳された交流高電圧が得られるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載のスライディング放電用の電源装置。
- 交流高電圧の発生源としてLC共振回路とコッククロフト・ウォルトン回路の出力インピーダンスの特性を利用して、電力を消費する安定抵抗を用いることなく、スライディング放電を適切に安定化する自己制御性を電源に付与することを特徴とする請求項1及び2に記載のスライディング放電用の電源装置。
- 広範な温度変化によるスライディング放電装置の放電電流や静電容量変化に適切に追従させるために、LC共振回路へ供給する電圧の周波数を共振周波数付近で調整して行うことを特徴とする請求項1〜3のうち、何れか1項に記載のスライディング放電用の電源装置。
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