JP6098065B2 - 画像検査装置、画像検査方法、及びプログラム - Google Patents
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Description
X=a*x+b*y+e
Y=c*x+d*y+f
ここで、(x、y)は、データ画像上の座標であり、(X、Y)は、対応するマスター画像上の座標を意味する。また、a、b、c、d、e、及びfは、アフィン変換係数である。そして、<数式1>中のアフィン変換係数aからfは、アフィン変換係数バッファ113(図1)へ格納される。
<数式2>
P1=(|tanα|+|tanβ|)/2=(|c/a|+|b/d|)/2
ここで、パラメータP1はアフィン変換による回転作用の度合いを示すものであり、回転がなければ0、回転作用が大きくなるに従って増加する量である。一方、ベクトルVXとVYの大きさは、そのままアフィン変換処理による横変倍率Rxと縦変倍率Ryとをそれぞれ表している。
<数式3>
Rx=|VX|=SQRT{a*a+c*c}
Ry=|VY|=SQRT{b*b+d*d}
なお、SQRT{・・・}は平方根を示す。
<数式4>
P2={MAX(Rx、1/Rx)+MAX(Ry、1/Ry)}/2−1
ここで、パラメータP2はアフィン変換処理による変倍作用の度合いを示すものであり、変倍がなければ0、変倍作用が大きくなるに従って増加する量である。
<数式5>
P3={(e*25.4/Hx)+(f*25.4/Hy)}/2
ここで、パラメータP3はアフィン変換処理による平行移動作用の度合いを示すものであり、平行移動がなければ0、平行移動作用が大きくなるにつれて増加する量である。このようして、図2のS204の処理において、3つの成分からなる整合ずれ度(P1、P2、P3)が得られ、整合ずれ度バッファ114(図1)へ格納される。
<数式6>
P4=|cosθ|=|VX−VY|/|VX||VY|=|a*b+c*d|/(Rx*Ry)
ここで、パラメータP4はアフィン変換処理によるせん断作用の度合いを示すものであり、せん断がなければ0、せん断作用が大きくなるにつれて増加する量である。
<数式7>
P5={MAX(Rx*Rx、Ry*Ry)−MIN(Rx*Rx、Ry*Ry)}/(Rx*Ry)
ここで、MIN(A、B)は、AとBの内の小さい方を表すものとする。パラメータP5はアフィン変換処理による伸縮作用の度合いを示し、伸縮がなければ0、伸縮作用が大きくなるにつれて増加する量である。このようして、図2のS205の処理において、2つの成分からなる整合歪み度(P4、P5)が得られ、整合歪み度バッファ115(図1)へ格納される。
if(P1≦T1)AND(P2≦T2)AND(P3≦T3)AND(P4≦T4)AND(P5≦T5)
then 受け入れ
else リジェクト
なるロジックをもって検査結果が判定される。
<数式8>
T1m=K*M1
T2m=K*M2
T3m=K*M3
T4m=K*M4
T5m=K*M5
ここで、右辺のK倍のファクターは、収集から漏れた未知のデータ画像を考慮したマージンに相当するものであり、一例としてK=1.2を用いることができる。ここまでが事前学習の動作フローである。
if(P1≦T1m)AND(P2≦T2m)AND(P3≦T3m)AND(P4≦T4m)AND(P5≦T5m)
then 受け入れ
else リジェクト
なるロジックをもって検査結果が決定される。
<数式9>
G=α*P1+β*P2+γ*P3
という一次元の評価式にて評価を行い、Gの値を閾値T6において判断を行う。α、β、γには例として、1.0、1.5、0.012等を用いることができる。
if(G<T6)
then 受け入れ
else リジェクト
なるロジックをもって検査結果が判定される。
<数式10>
DI=δ*P4+ε*P5
という一次元の評価式にて評価を行い、DIの値を閾値T7において判断を行う。δ、εには、例として、1.0、0.5を用いることができる。
if(DI<T7)
then 受け入れ
else リジェクト
なるロジックをもって検査結果が判定される。
<数式11>
T=α*P1+β*P2+γ*P3+δ*P4+ε*P5
の評価式と閾値T8によって判断を行うことも可能である。
if(DI<T8)
then 受け入れ
else リジェクト
なるロジックをもって検査結果が判定される。
101 マスター画像入力部
102 データ画像入力部
103 画像整合部
104 整合ずれ度算出部
105 整合歪み度算出部
111 マスター画像バッファ
112 データ画像バッファ
113 アフィン変換計数バッファ
114 整合ずれ度バッファ
115 整合歪み度バッファ
700 コンピュータ
701 ハードディスク
702 CPU
703 ディスプレイ
704 通信装置
705 CD−ROMドライブ
706 メモリ
707 キーボード/マウス
Claims (11)
- 基準画像を入力する基準画像入力手段と、
被検査画像を入力する被検査画像入力手段と、
前記基準画像と前記被検査画像とを整合する画像整合手段と、
前記整合された画像に対して座標変換処理を施すことにより複数のパラメータを算出する算出手段と、
前記複数のパラメータの各値と、前記複数のパラメータのそれぞれに対応して予め定められた複数の基準値とをそれぞれ比較する比較手段と、
前記比較手段の比較結果に基づいて、前記被検査画像の受け入れの可否を判断する判断手段と、を含み、
前記複数のパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合い及び歪度合いを示すパラメータであり、
前記判断手段は、前記複数のパラメータの各値が、対応する前記複数の基準値の条件を満たすとき、前記被検査画像を受け入れ、
前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像の回転量、変倍量、及び平行移動量を含み、
前記基準画像に対する前記被検査画像の歪度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像のせん断量、及び伸縮量を含むことを特徴とする画像検査装置。 - 前記歪度合いを示すパラメータの値が満たさなければならない基準値の条件は、前記ずれ度合いを示すパラメータの値が満たさなければならない基準値の条件と比較して高いことを特徴とする請求項1に記載の画像検査装置。
- 前記座標変換処理は、アフィン変換処理であることを特徴とする請求項1又は2に記載の画像検査装置。
- 基準画像入力手段が、基準画像を入力する工程と、
被検査画像入力手段が、被検査画像を入力する工程と、
画像整合手段が、前記基準画像と前記被検査画像とを整合する工程と、
算出手段が、前記整合する工程により整合された画像に対して座標変換処理を施すことにより複数のパラメータを算出する工程と、
比較手段が、前記複数のパラメータの各値と、前記複数のパラメータのそれぞれに対応して予め定められた複数の基準値とをそれぞれ比較する工程と、
判断手段が、前記比較する工程の比較結果に基づいて、前記被検査画像の受け入れの可否を判断する工程と、
を含み、
前記複数のパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合い及び歪度合いを示すパラメータであり、
前記判断手段は、前記複数のパラメータの各値が、対応する前記複数の基準値の条件を満たすとき、前記被検査画像を受け入れ、
前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像の回転量、変倍量、及び平行移動量を含み、
前記基準画像に対する前記被検査画像の歪度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像のせん断量、及び伸縮量を含むことを特徴とする画像検査方法。 - 画像検査装置のコンピュータに実行させるプログラムであって、
基準画像入力手段が、基準画像を入力する処理と、
被検査画像入力手段が、被検査画像を入力する処理と、
画像整合手段が、前記基準画像と前記被検査画像とを整合する処理と、
算出手段が、前記整合する処理により整合された画像に対して座標変換処理を施すことにより複数のパラメータを算出する処理と、
比較手段が、前記複数のパラメータの各値と、前記複数のパラメータのそれぞれに対応して予め定められた複数の基準値とをそれぞれ比較する処理と、
判断手段が、前記比較する処理の比較結果に基づいて、前記被検査画像の受け入れの可否を判断する処理と、
を含み、
前記複数のパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合い及び歪度合いを示すパラメータであり、
前記判断手段は、前記複数のパラメータの各値が、対応する前記複数の基準値の条件を満たすとき、前記被検査画像を受け入れ、
前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像の回転量、変倍量、及び平行移動量を含み、
前記基準画像に対する前記被検査画像の歪度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像のせん断量、及び伸縮量を含むことを特徴とするプログラム。 - 前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像の回転量、変倍量、及び平行移動量の中の少なくとも1つを含む1次元の式で表され、その式で計算されたずれ度合いによって受け入れの判断をすることを特徴とする請求項1に記載の画像検査装置。
- 前記基準画像に対する前記被検査画像の歪度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像のせん断量及び伸縮量の中の少なくとも1つを含む1次元の式で表され、その式で計算された歪度合いによって受け入れの判断をすることを特徴とする請求項1に記載の画像検査装置。
- 前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合い、歪度合いを示すパラメータから判断処理を行うための1次元の式によって、一致度合いを計算し、その値によって受け入れの判断をすることを特徴とする請求項1に記載の画像検査装置。
- 前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像の回転量、変倍量、及び平行移動量の中の少なくとも1つを含む1次元の式で表され、その式で計算されたずれ度合いによって受け入れの判断をすることを特徴とする請求項4に記載の画像検査方法。
- 前記基準画像に対する前記被検査画像の歪度合いを示すパラメータは、前記基準画像に対する前記被検査画像のせん断量及び伸縮量の中の少なくとも1つを含む1次元の式で表され、その式で計算された歪度合いによって受け入れの判断をすることを特徴とする請求項4に記載の画像検査方法。
- 前記基準画像に対する前記被検査画像のずれ度合い、歪度合いを示すパラメータから判断処理を行うための1次元の式によって、一致度合いを計算し、その値によって受け入れの判断をすることを特徴とする請求項4に記載の画像検査方法。
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