JP6078771B2

JP6078771B2 - Transportation equipment for manufacturing equipment

Info

Publication number: JP6078771B2
Application number: JP2012264853A
Authority: JP
Inventors: 史朗原; 仁前川; 禅中野; ソマワンクンプアン; 穣飯田
Original assignee: DESIGN NETWORK CO., LTD.; National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Current assignee: DESIGN NETWORK CO., LTD.; National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date: 2012-12-04
Filing date: 2012-12-04
Publication date: 2017-02-15
Anticipated expiration: 2032-12-04
Also published as: JP2014108744A

Description

本発明は、生産ラインの変更時等に製造装置を運搬するための運搬装置に関する。 The present invention relates to a conveyor for transporting the manufacturing apparatus or the like changes production line.

ミニマルファブは、半導体デバイスの多品種少量生産および変種変量生産するための低コストかつ省エネルギーの生産方式として注目されている（特許文献１）。ミニマル装置は、ミニマルファブにおいて半導体デバイスの露光、エッチング、洗浄といった、生産ラインの一工程分の処理をするユニットである。必要な工程を担う各ミニマル装置を、製造プロセスの順番に配列してミニマルファブ生産ラインを構築する。 Minimal fabs are attracting attention as a low-cost and energy-saving production method for producing a variety of semiconductor devices in a variety of small quantities and variable quantities (Patent Document 1). The minimal apparatus is a unit that processes one process of a production line such as exposure, etching, and cleaning of a semiconductor device in a minimal fab. The minimal fab production line is constructed by arranging the minimal devices that carry the necessary steps in the order of the manufacturing process.

特開２０１２−５４４１４号公報JP 2012-54414 A

ある製品の製造のために配列したミニマル装置の配列を変更すれば、別の製品の生産ラインが実現する。生産ラインの変更時には、ミニマル装置を持ち上げて、移動させ、別の場所に降ろして固定するという作業が必要になる。しかしながら、底面積に比べて背の高いミニマル装置は不安定である。また、工程間の部品や製品の搬送を容易にするためには、隣接するミニマル装置の間隔を短くし、かつ、正確に配置する必要がある。低い状態から、一般のジャッキ構造よりも軽い操作でジャッキアップでき、ミニマル装置の特殊性を生かした運搬装置を提供することを目的とする。 Changing the arrangement of minimal devices arranged for the production of one product will create a production line for another product. When changing the production line, it is necessary to lift the minimal device, move it, lower it to another place, and fix it. However, a minimal device that is tall compared to the bottom area is unstable. Moreover, in order to facilitate the conveyance of parts and products between processes, it is necessary to shorten the interval between adjacent minimal devices and arrange them accurately. An object of the present invention is to provide a transporting device that can be jacked up from a low state by a lighter operation than a general jack structure and that takes advantage of the special features of a minimal device.

以下の構成はそれぞれ上記の課題を解決するための手段である。
＜構成１＞
以下の構成要素を備えたことを特徴とする製造装置の運搬装置。
（ａ）床面上に車輪により支持されたフレーム４８を有する。
（ｂ）フレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第１支持腕８０を昇降させる棒状の一対の第１アーム７２と、同じくフレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第２支持腕８２を昇降させる棒状の一対の第２アーム７４とを備える。
（ｃ）第１アーム７２と第２アーム７４は、運搬装置１０のフレーム上で、運搬装置１０の左右の側面から見たとき、互いにＸ字状に交差するように配置されている。
（ｄ）第１アーム７２が第１支持腕８０を上昇させたときに、第２アーム７４の第２支持腕８２を上昇させる連動機構が設けられている。
（ｅ）一対の第１アーム７２の第１支持腕８０と、一対の第２アーム７４の第２支持腕８０とで、製造装置を支持するための昇降板４２を支持している。
（ａ）第１アーム７２のフレーム４８上の支点は、フレーム４８上の位置が固定されている。
（ａ）第２アームの昇降板４２の支持点は、昇降板４２上の位置が固定されている。
（ａ）第２アーム７４のフレーム４８上の支点は、フレーム４８に対して前後方向にスライドする構造を有する。
（ａ）第１アーム７２の昇降板４２の支持点は、昇降板４２に対して前後方向にスライドする構造を有する。
（ｆ）フレーム４８には、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面にくさび状の斜面を接するようにして、フレーム４８に対して前後方向に移動するくさびガイド７８が支持されている。
（ｇ）くさびガイド７８は、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接した状態で一方に移動すると第１支持腕８０を上昇させ、他方に移動すると第１支持腕８０を下降させる。
（ｈ）運搬装置には、くさびガイド７８を移動させるための駆動機構が設けられている。 The following configurations are means for solving the above-described problems.
<Configuration 1>
A transport device for a manufacturing apparatus comprising the following components:
(A) It has the flame | frame 48 supported by the wheel on the floor surface.
(B) A pair of rod-shaped first arms 72 that raise and lower the first support arm 80 with respect to the floor surface using one point on the frame 48 as a fulcrum, and a point on the frame 48 on the floor surface. A pair of rod-shaped second arms 74 that raise and lower the second support arm 82 are provided.
(C) The first arm 72 and the second arm 74 are arranged on the frame of the transport device 10 so as to cross each other in an X shape when viewed from the left and right side surfaces of the transport device 10.
(D) An interlocking mechanism is provided that raises the second support arm 82 of the second arm 74 when the first arm 72 raises the first support arm 80.
(E) The lift plate 42 for supporting the manufacturing apparatus is supported by the first support arms 80 of the pair of first arms 72 and the second support arms 80 of the pair of second arms 74.
(A) The position on the frame 48 of the fulcrum on the frame 48 of the first arm 72 is fixed.
(A) The position of the support point of the lift plate 42 of the second arm on the lift plate 42 is fixed.
(A) The fulcrum on the frame 48 of the second arm 74 has a structure that slides in the front-rear direction with respect to the frame 48.
(A) The support point of the lifting plate 42 of the first arm 72 has a structure that slides in the front-rear direction with respect to the lifting plate 42.
(F) The frame 48 supports a wedge guide 78 that moves in the front-rear direction with respect to the frame 48 such that a wedge-shaped slope is in contact with the lower surface of the first support arm 80 of the first arm 72.
(G) When the wedge guide 78 moves to one side in contact with the lower surface of the first support arm 80 of the first arm 72, the wedge support 78 raises the first support arm 80, and moves to the other side to lower the first support arm 80. .
(H) The transport device is provided with a drive mechanism for moving the wedge guide 78.

＜構成２＞
前記駆動機構は、一対のくさびガイド７８を一対の第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接するように、フレーム４８に対して前後方向に移動するスライダ７０に固定されていることを特徴とする構成１に記載の製造装置の運搬装置。 <Configuration 2>
The drive mechanism is fixed to a slider 70 that moves in the front-rear direction with respect to the frame 48 so that the pair of wedge guides 78 are in contact with the lower surfaces of the first support arms 80 of the pair of first arms 72. The transport apparatus of the manufacturing apparatus according to Configuration 1.

＜構成３＞
前記連動機構は、第１アーム７２と第２アーム７４のＸ字状に交差する部分に設けた貫通孔を貫通する連動軸７６であることを特徴とする構成１または２に記載の製造装置の運搬装置。 <Configuration 3>
The manufacturing apparatus according to Configuration 1 or 2, wherein the interlocking mechanism is an interlocking shaft 76 that penetrates a through hole provided in a portion where the first arm 72 and the second arm 74 intersect in an X shape. Conveying device.

＜構成４＞
前記第１アーム７２の前記フレーム４８上の支点には支点軸８１が設けられ、この支点軸８１を越えて前記第１アームを延長した場所に前輪５４を配置したことを特徴とする構成１乃至３のいずれかに記載の製造装置の運搬装置。
<Configuration 4>
A fulcrum shaft 81 is provided at a fulcrum on the frame 48 of the first arm 72, and a front wheel 54 is disposed at a place where the first arm is extended beyond the fulcrum shaft 81. 4. A transport device for a manufacturing apparatus according to any one of 3 above.

＜構成５＞
前記第２アーム７４の前記昇降板４２と接する部分には、昇降板４２と連結する板支持軸８８が設けられ、前記第２アーム７４の前記フレーム４８上の支点には、運搬装置の前後方向に長い軸孔８６にはまり合う支点軸８３が設けられ、第１支持腕８０が上昇してくさびガイド７８のくさび状の斜面を離れたとき、第２アーム７４の支点軸８３またはその近傍に前記スライダ７０が接して運搬装置の前方に向かって押し、前記第２アーム７４の前記フレーム４８上の支点が前記軸孔８６に沿って前方に移動することを特徴とする構成１乃至４のいずれかに記載の製造装置の運搬装置。 <Configuration 5>
A plate support shaft 88 connected to the lifting plate 42 is provided at a portion of the second arm 74 that contacts the lifting plate 42, and a fulcrum on the frame 48 of the second arm 74 is provided in the front-rear direction of the transport device. A fulcrum shaft 83 that fits in the long shaft hole 86 is provided, and when the first support arm 80 moves up and leaves the wedge-shaped slope of the wedge guide 78, the fulcrum shaft 83 of the second arm 74 or the vicinity thereof Any one of the constitutions 1 to 4, wherein the slider 70 contacts and pushes toward the front of the transport device, and the fulcrum on the frame 48 of the second arm 74 moves forward along the shaft hole 86. A transport device for the manufacturing apparatus according to 1.

＜構成６＞
フレーム４８の左右側面には、固定構造１１６の側面に接してフレーム４８の固定構造１１６に対する向きを規制する幅決めガイド８４が取り付けられていることを特徴とする構成１乃至５のいずれかに記載の製造装置の運搬装置。 <Configuration 6>
6. The width determining guide 84 is attached to the left and right side surfaces of the frame 48 so as to contact the side surface of the fixing structure 116 and regulate the orientation of the frame 48 with respect to the fixing structure 116. Transportation equipment for manufacturing equipment.

＜構成７＞
フレーム４８の前端には、固定構造１１６の前輪ストッパに乗り上げる位置に前輪５４が設けられていることを特徴とする構成１乃至６のいずれかに記載の製造装置の運搬装置。 <Configuration 7>
The transport device for a manufacturing apparatus according to any one of the configurations 1 to 6, wherein a front wheel 54 is provided at a position where the front end of the frame 48 rides on a front wheel stopper of the fixing structure 116.

＜構成１の効果＞
最も低い状態からくさびガイド７８を用いて第１アーム７２の第１支持腕８０を持ち上げるようにするので、一般のジャッキ構造よりも軽い操作でジャッキアップできる。
＜構成２の効果＞
スライダ７０によって、一対のくさびガイド７８を、それぞれ第１アーム７２の第１支持腕８０の下面に接しさせた状態で移動させて、一対の第１支持腕８０を一体に昇降させることができる。
＜構成３の効果＞
第１アーム７２と第２アーム７４とを連動軸７６で連結しておけば、一対の第１支持腕８０と一対の第２支持腕８２とを同時に昇降させ、昇降板４２を床面に平行に昇降できる。
＜構成４の効果＞
第１アーム７２の第１支持腕８０が上昇したときに前輪５４が下降して、運搬装置の前の部分を持ち上げる。これにより、運搬装置を移動中に床面の突起等への衝突が避けられる。
＜構成５の効果＞
くさびガイド７８は低い状態のときのジャッキアップを分担し、その後はスライダ７０が第２アーム７４のフレーム４８上の支点を押して、より高く昇降板４２を押し上げることができる。
＜構成６の効果＞
固定装置に対して、運搬装置を最適な方向に向けて挿入できる。
＜構成７の効果＞
固定装置の所定位置に正確に位置決めして運搬装置を停止できる。 <Effect of Configuration 1>
Since the first support arm 80 of the first arm 72 is lifted using the wedge guide 78 from the lowest state, it can be jacked up with a lighter operation than a general jack structure.
<Effect of Configuration 2>
The pair of wedge guides 78 can be moved by the slider 70 while being in contact with the lower surface of the first support arm 80 of the first arm 72 so that the pair of first support arms 80 can be moved up and down integrally.
<Effect of Configuration 3>
If the 1st arm 72 and the 2nd arm 74 are connected with the interlocking shaft 76, a pair of 1st support arm 80 and a pair of 2nd support arm 82 will be raised / lowered simultaneously, and the raising / lowering board 42 will be parallel to a floor surface. Can be moved up and down.
<Effect of Configuration 4>
When the first support arm 80 of the first arm 72 is raised, the front wheel 54 is lowered to lift the front part of the transport device. Thereby, the collision with the protrusion of the floor surface or the like can be avoided while moving the transporting device.
<Effect of Configuration 5>
The wedge guide 78 shares the jack-up in the low state, and thereafter, the slider 70 can push the fulcrum 42 on the frame 48 of the second arm 74 and push the lift plate 42 higher.
<Effect of Configuration 6>
The conveying device can be inserted in an optimum direction with respect to the fixing device.
<Effect of Configuration 7>
The conveying device can be stopped by accurately positioning it at a predetermined position of the fixing device.

運搬装置１０とその周辺装置の主要部斜視図である。It is a principal part perspective view of the conveying apparatus 10 and its peripheral device. 昇降板４２を下側からみた状態の斜視図である。It is a perspective view of the state which looked at the raising / lowering plate 42 from the lower side. 昇降板４２を取り除いた昇降操作のための駆動機構の斜視図である。It is a perspective view of the drive mechanism for the raising / lowering operation which removed the raising / lowering board 42. FIG. 昇降板４２が最も下降した状態の運搬装置１０主要部の側面図である。It is a side view of the principal part of the conveying apparatus 10 in the state where the elevating plate 42 is lowered most. 昇降板４２を最も高く持ち上げた状態の運搬装置主要部の側面図である。It is a side view of the main part of the conveying apparatus of the state which raised the raising / lowering plate 42 most. アームとその駆動機構の関係を説明する主要部側面図である。It is a principal part side view explaining the relationship between an arm and its drive mechanism. アームとその駆動機構の関係を説明する主要部側面図である。It is a principal part side view explaining the relationship between an arm and its drive mechanism. ミニマル装置１２を配列した生産ラインの概略を示す斜視図で、（ｂ）が運搬装置の斜視図である。It is a perspective view which shows the outline of the production line which arranged the minimal apparatus 12, (b) is a perspective view of a conveying apparatus.

以下、本発明の実施の形態を実施例毎に詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail for each example.

図１は、運搬装置１０とその周辺装置の主要部斜視図である。
ミニマル装置１２は、床面上の所定の位置に正確に位置決めして設置される。設置後の状態は、後で図９を用いて説明する。ミニマル装置１２を床面に固定するために、ミニマル装置１２の底面には底板１３６が固定され、床面には、固定構造１１６が設置される。底板１３６と固定構造１１６とは、後で説明するように、一定の機構により連結固定される。ミニマル装置１２は、ラインの組み替え等により自由に移動させることができる。その移動のために、運搬装置１０が使用される。 FIG. 1 is a perspective view of main parts of the transport device 10 and its peripheral devices.
The minimal apparatus 12 is accurately positioned and installed at a predetermined position on the floor surface. The state after installation will be described later with reference to FIG. In order to fix the minimal device 12 to the floor surface, a bottom plate 136 is fixed to the bottom surface of the minimal device 12, and a fixing structure 116 is installed on the floor surface. The bottom plate 136 and the fixing structure 116 are connected and fixed by a certain mechanism, as will be described later. The minimal apparatus 12 can be moved freely by changing the line. The transport device 10 is used for the movement.

運搬装置１０は、把手２０を掴んで移動させる。運搬装置１０には、昇降板４２が設けられておりハンドル２２を回転させると、昇降板４２が底板１３６を持ち上げたり降ろしたりする。ハンドル２２は垂直盤６０に支持されており、ハンドル２２を回転させると、伝達ギヤ６６を通じて昇降板４２の駆動部分を回転駆動する。昇降板４２の駆動部分の構造は、図２で説明する。 The transporting device 10 grips and moves the handle 20. The transport device 10 is provided with a lifting plate 42, and when the handle 22 is rotated, the lifting plate 42 lifts or lowers the bottom plate 136. The handle 22 is supported by the vertical board 60, and when the handle 22 is rotated, the drive portion of the elevating plate 42 is rotationally driven through the transmission gear 66. The structure of the drive part of the raising / lowering plate 42 is demonstrated in FIG.

把手２０と垂直盤６０とは、水平盤５２の上面に固定されている。水平盤５２の下面には、中輪５６と後輪５８とが取り付けられている。後輪５８は運搬装置１０の後端に１個設けられている。中輪５６は把手２０の直下に左右一対設けられている。中輪５６と後輪５８はいずれも既知のキャスタと同様に、自由に方向転換できる。水平盤５２の前方に昇降板４２が支持され、昇降板４２の前端下部に前輪５４が取り付けられている。前輪５４の軸受けは方向が固定されている。 The handle 20 and the vertical board 60 are fixed to the upper surface of the horizontal board 52. A middle wheel 56 and a rear wheel 58 are attached to the lower surface of the horizontal plate 52. One rear wheel 58 is provided at the rear end of the transport device 10. A pair of left and right middle wheels 56 are provided directly below the handle 20. Both the middle wheel 56 and the rear wheel 58 can be freely turned in the same manner as known casters. A lifting plate 42 is supported in front of the horizontal plate 52, and a front wheel 54 is attached to a lower portion of the front end of the lifting plate 42. The direction of the bearing of the front wheel 54 is fixed.

この実施例で説明する運搬装置において、前方というのは、把手２０を掴んで底板１３６に向かって運搬装置１０を押し進めるときの、作業者の向く方向、即ち、進行方向のことをいうものとする。車輪にも、その関係を明確にするために、前輪５４、中輪５６、後輪５８という呼び名を付けた。運搬装置１０の最も前に取り付けた車輪が前輪５４である。また、左右側面というのは、運搬装置１０を押し進める作業者から見た運搬装置の面のことをいうものとする。 In the transporting device described in this embodiment, the front means the direction in which the operator faces when the grip 20 is held and the transporting device 10 is pushed toward the bottom plate 136, that is, the traveling direction. . In order to clarify the relationship, the wheels are also referred to as front wheel 54, middle wheel 56, and rear wheel 58. The front wheel 54 is the front wheel attached to the transport device 10. Further, the left and right side surfaces refer to the surface of the transport device viewed from the operator pushing the transport device 10.

図２は昇降板４２を下側からみた状態の斜視図である。図３は、昇降板４２を取り除いた昇降操作のための駆動機構の斜視図である。
まず、図３の機構から説明する。図１に示した運搬装置１０の水平盤５２の前方に取り付けられたフレーム４８には、その前端に前輪５４が一対固定されている。この実施例では、フレーム４８は、床面と平行に配置された２本の柱により構成した。２本の柱は互いに平行に配置されて、中間部の任意の場所で連結一体化されている。 FIG. 2 is a perspective view of the lift plate 42 as viewed from below. FIG. 3 is a perspective view of a drive mechanism for lifting operation with the lifting plate 42 removed.
First, the mechanism of FIG. 3 will be described. A pair of front wheels 54 are fixed to the front end of the frame 48 attached to the front of the horizontal plate 52 of the transport device 10 shown in FIG. In this embodiment, the frame 48 is composed of two pillars arranged in parallel with the floor surface. The two pillars are arranged in parallel to each other and are connected and integrated at an arbitrary position in the intermediate portion.

フレーム４８はこうして、複数の車輪により床面上方の所定の高さに支持されている。また、フレーム４８の両側面には、幅決めガイド８４が２個ずつ、合計４個取り付けられている。一方、固定構造１１６は、全体としてＥ字状をしており、運搬装置１０は図の左側から進入する。運搬装置１０の前輪５４が衝突する部分に、前輪ストッパ１３８が設けられている。固定構造１１６には、この他に、ミニマル装置１２の底板１３６を位置決めして固定するために、Ｖ溝台１６６やフック受け１７４を設けているが、この説明は後でする。 The frame 48 is thus supported at a predetermined height above the floor surface by a plurality of wheels. A total of four width determining guides 84 are attached to each side surface of the frame 48, two each. On the other hand, the fixing structure 116 has an E shape as a whole, and the transport device 10 enters from the left side of the figure. A front wheel stopper 138 is provided at a portion where the front wheel 54 of the transport device 10 collides. In addition to this, the fixing structure 116 is provided with a V-groove base 166 and a hook receiver 174 in order to position and fix the bottom plate 136 of the minimal device 12, which will be described later.

フレーム４８は、このＥ字状の固定構造１１６にその前端を進入させるとき、幅決めガイド８４が固定構造１１６に衝突し、進入方向が規制される。前輪５４が前輪ストッパ１３８に乗り上げた状態では、幅決めガイド８４が固定構造１１６との位置関係を決めるので、フレーム４８の向きが正確に決まる。これにより、底板１３６を固定構造１１６の所定位置に正確に下降させることができる。 When the front end of the frame 48 enters the E-shaped fixing structure 116, the width determining guide 84 collides with the fixing structure 116, and the entering direction is restricted. In a state where the front wheel 54 rides on the front wheel stopper 138, the width determining guide 84 determines the positional relationship with the fixed structure 116, so that the direction of the frame 48 is accurately determined. Thereby, the bottom plate 136 can be accurately lowered to a predetermined position of the fixing structure 116.

フレーム４８上には、一対の第１アーム７２と一対の第２アーム７４とが支持されている。第１アーム７２と第２アーム７４は、運搬装置１０のフレーム上で、運搬装置の左右の側面から見たとき、互いにＸ字状に交差するように配置されている。 On the frame 48, a pair of first arms 72 and a pair of second arms 74 are supported. The 1st arm 72 and the 2nd arm 74 are arrange | positioned so that it may mutually cross | intersect X shape when it sees from the left and right side surfaces of the conveying apparatus on the frame of the conveying apparatus 10.

第１アーム７２はフレーム４８に支持された部分を支点にして、第１支持腕８０を上下動させる。第２アーム７４はフレーム４８に支持された部分を支点にして、第２支持腕８２を上下動させる。第１アーム７２と第２アーム７４とが交差する位置には貫通孔が設けられ、これら全ての貫通孔に連動軸７６が挿入されている。この連動軸７６は、第１アーム７２が第１支持腕８０を上下動させるとき、第２アーム７４を連動させて、第２アーム７４の第２支持腕８２を上下動させる機能を有する。 The first arm 72 moves the first support arm 80 up and down using a portion supported by the frame 48 as a fulcrum. The second arm 74 moves the second support arm 82 up and down using a portion supported by the frame 48 as a fulcrum. A through hole is provided at a position where the first arm 72 and the second arm 74 intersect, and an interlocking shaft 76 is inserted into all of the through holes. The interlocking shaft 76 has a function of interlocking the second arm 74 and vertically moving the second support arm 82 of the second arm 74 when the first arm 72 moves the first support arm 80 up and down.

図１で説明したハンドル２２を回転させると、チェン６４と伝達ギヤ６６（図１）を通じて図３の駆動ねじ６８が回転駆動される。駆動ねじ６８は雄ねじで、スライダ７０に設けられた雌ねじと噛み合っている。駆動ねじ６８を回転すると、スライダ７０が駆動ねじ６８の軸方向に沿って、運搬装置の前方または後方に移動する。スライダ７０の左右の側面には、フレーム４８の左右の側面に沿って前後方向に移動するように、くさびガイド７８が取り付けられている。 When the handle 22 described in FIG. 1 is rotated, the drive screw 68 of FIG. 3 is rotationally driven through the chain 64 and the transmission gear 66 (FIG. 1). The drive screw 68 is a male screw and meshes with a female screw provided on the slider 70. When the drive screw 68 is rotated, the slider 70 moves forward or backward along the axial direction of the drive screw 68. Wedge guides 78 are attached to the left and right side surfaces of the slider 70 so as to move in the front-rear direction along the left and right side surfaces of the frame 48.

第１アーム７２の第１支持腕８０の下面は、くさびガイド７８のくさび状の斜面に接している。このくさびガイド７８の前方への移動により、第１支持腕８０が、くさび状の斜面に押し上げられて上昇する。また、くさびガイド７８が後方に移動すると、第１支持腕８０が自重によりくさび状の斜面に沿って滑り降りて下降する。 The lower surface of the first support arm 80 of the first arm 72 is in contact with the wedge-shaped slope of the wedge guide 78. Due to the forward movement of the wedge guide 78, the first support arm 80 is pushed up and raised by the wedge-shaped slope. When the wedge guide 78 moves rearward, the first support arm 80 slides down along the wedge-shaped slope due to its own weight.

第１アーム７２の第１支持腕８０は昇降板４２の第１支持点４４の部分を押し上げる。また、第２アーム７４の第２支持腕８２の部分は、図２に示した昇降板４２の第２支持点４６の部分を押し上げる。従って、昇降板４２は一対の第１支持腕８０と一対の第２支持腕８２とに支持されて床面に対してほぼ平行な状態を保ったまま昇降する。 The first support arm 80 of the first arm 72 pushes up the portion of the first support point 44 of the lifting plate 42. Further, the portion of the second support arm 82 of the second arm 74 pushes up the portion of the second support point 46 of the elevating plate 42 shown in FIG. Accordingly, the lift plate 42 is supported by the pair of first support arms 80 and the pair of second support arms 82 and moves up and down while maintaining a state substantially parallel to the floor surface.

図４は昇降板４２が最も下降した状態の運搬装置１０主要部の側面図である。
図の上載板５０は、昇降板４２の上面に固定されるが、図１に示したミニマル装置１２の底板１３６直下の空間がもっと低いものを要求するならば、上載板５０を取り外す。即ち、昇降板４２の上面には、全高を調整するための上載板５０が着脱自在に取り付けられている。 FIG. 4 is a side view of the main part of the transport device 10 in a state where the elevating plate 42 is lowered most.
The upper plate 50 is fixed to the upper surface of the elevating plate 42. However, if the space directly below the bottom plate 136 of the minimal apparatus 12 shown in FIG. 1 is required to be lower, the upper plate 50 is removed. That is, the upper plate 50 for adjusting the overall height is detachably attached to the upper surface of the elevating plate 42.

図５は、昇降板４２を最も高く持ち上げた状態の運搬装置主要部の側面図である。
この図では、昇降板４２を除外した。図に示したくさびガイド７８は、駆動ねじ６８を回転するとフレーム４８に沿って運搬装置の前後方向に移動する。くさびガイド７８が運搬装置の前方向に移動したとき、第１アーム７２の第１支持腕８０の部分か押し上げられる。同時に、連動軸７６が第２アーム７４を押し上げる。こうして、第１支持腕８０と第２支持腕８２の位置が上昇して、昇降板４２を押し上げる。 FIG. 5 is a side view of the main part of the transport device in a state in which the lifting plate 42 is lifted highest.
In this figure, the lifting plate 42 is omitted. The wedge guide 78 shown in the figure moves along the frame 48 in the front-rear direction of the transport device when the drive screw 68 is rotated. When the wedge guide 78 moves in the forward direction of the transport device, the portion of the first support arm 80 of the first arm 72 is pushed up. At the same time, the interlocking shaft 76 pushes up the second arm 74. Thus, the positions of the first support arm 80 and the second support arm 82 are raised, and the lifting plate 42 is pushed up.

図６と図７とは、アームとその駆動機構の関係を説明する主要部側面図である。
図６は最も低い状態を示す。図７はくさびガイド７８で第１支持腕８０をくさびガイド７８で押し上げた状態を示す。これらの図に示すように、第１アーム７２は、フレーム４８に設けた支点軸８１を支点にして、第１支持腕８０を昇降する。第２アーム７４の昇降板４２と接する部分には、板支持軸８８が設けられている。板支持軸８８は第２アーム７４と昇降板４２とを連結する。この昇降板４２上の位置は固定されている。 6 and 7 are side views of the main part for explaining the relationship between the arm and its drive mechanism.
FIG. 6 shows the lowest state. FIG. 7 shows a state in which the first support arm 80 is pushed up by the wedge guide 78 by the wedge guide 78. As shown in these drawings, the first arm 72 moves up and down the first support arm 80 with a fulcrum shaft 81 provided on the frame 48 as a fulcrum. A plate support shaft 88 is provided at a portion of the second arm 74 that contacts the lift plate 42. The plate support shaft 88 connects the second arm 74 and the lifting plate 42. The position on the lift plate 42 is fixed.

また、前記第２アーム７４のフレーム４８上の支点には、運搬装置の前後方向に長い軸孔８６にはまり合う支点軸８３が設けられている。第２アーム７４はこの支点軸８３を支点にして、第２支持腕８２を昇降する。第１アーム７２の第１支持腕８０の部分には、昇降板４２と接する場所にローラ９０が取り付けられている。ローラ９０は、昇降板４２の裏面に接しながら、運搬装置の前後方向にスライドする。 Further, a fulcrum shaft 83 that fits into a shaft hole 86 that is long in the front-rear direction of the transporting device is provided at the fulcrum on the frame 48 of the second arm 74. The second arm 74 moves the second support arm 82 up and down using the fulcrum shaft 83 as a fulcrum. A roller 90 is attached to a portion of the first arm 72 where the first support arm 80 is in contact with the lift plate 42. The roller 90 slides in the front-rear direction of the transport device while contacting the back surface of the elevating plate 42.

即ち、第２アーム７４のフレーム４８上の支点は、フレーム４８に対して前後方向にスライドする構造を有する。同時に、第１アーム７４の昇降板４２の支持点は、昇降板４２に対して前後方向にスライドする構造を有する。昇降板４２を昇降させるとき、板支持軸８８と連動軸７６と支点軸８１とで形成される二等辺三角形の連動軸７６を挟む頂角が変化する。しかし、板支持軸８８と支点軸８１との上下の位置関係は変わらない。従って、昇降板４２を床面に対して垂直方向に昇降させることができる。このとき、板支持軸８８とローラ９０の間の距離が変化するから、ローラ９０の部分をスライドさせている。同時に支点軸８１と支点軸８３の間の距離が変化するから、支点軸８３の部分をスライドさせている。 That is, the fulcrum on the frame 48 of the second arm 74 has a structure that slides in the front-rear direction with respect to the frame 48. At the same time, the support point of the lifting plate 42 of the first arm 74 has a structure that slides in the front-rear direction with respect to the lifting plate 42. When the elevating plate 42 is raised and lowered, the apex angle across the isosceles triangular interlocking shaft 76 formed by the plate support shaft 88, the interlocking shaft 76, and the fulcrum shaft 81 changes. However, the vertical positional relationship between the plate support shaft 88 and the fulcrum shaft 81 does not change. Therefore, the elevating plate 42 can be raised and lowered in the direction perpendicular to the floor surface. At this time, since the distance between the plate support shaft 88 and the roller 90 changes, the portion of the roller 90 is slid. At the same time, since the distance between the fulcrum shaft 81 and the fulcrum shaft 83 changes, the fulcrum shaft 83 is slid.

また、図６と図７に示すように、第１アーム７２のフレーム４８上の支点に支点軸８１が設けられ、この支点軸８１を越えて第１アーム７２を延長した場所に前輪５４を配置した。この構造によれば、第１アーム７２の第１支持軸８０が上昇したときに、第１支持支点８１の反対側に位置する前輪５４が下降して、フレーム４８を持ち上げる。これにより、運搬装置１０の底面が上昇し、移動時に床面上の突起等に衝突し辛くなる。また、第１アーム７２の第１支持軸８０が下降したときに、逆にフレーム４８を下降させて、前輪５４が前輪ストッパ１３８に乗り上げ易くする効果がある。 Further, as shown in FIGS. 6 and 7, a fulcrum shaft 81 is provided at a fulcrum on the frame 48 of the first arm 72, and the front wheel 54 is disposed at a place where the first arm 72 is extended beyond the fulcrum shaft 81. did. According to this structure, when the first support shaft 80 of the first arm 72 is raised, the front wheel 54 located on the opposite side of the first support fulcrum 81 is lowered to lift the frame 48. Thereby, the bottom face of the conveyance apparatus 10 rises, and it becomes difficult to collide with protrusions on the floor surface when moving. In addition, when the first support shaft 80 of the first arm 72 is lowered, the frame 48 is lowered to make it easier for the front wheel 54 to ride on the front wheel stopper 138.

第１アーム７２と第２アーム７４とは、連動軸７６により連結されているため、互いに連動して昇降する。ここで、図７に示すように、第１支持腕８０が上昇して、くさびガイド７８のくさび状の斜面を離れたときには、くさびガイド７８による機能が停止する。ここで、さらに、駆動ねじ６８を同方向に回転し続けると、スライダ７０が第２アーム７４の支点軸８３またはその近傍に突き当たって、これを運搬装置の前方に向かって押す。このとき、第２アーム７４の支点軸８３が軸孔８６に沿って前方に移動する。スライダ７０が第２アーム７４に接している限り、第１支持腕８０と第２支持腕８２とを上昇させることができる。支点軸８３が軸孔８６の長さ一杯のところに移動するまで、昇降板４２を上昇させることができる。 Since the first arm 72 and the second arm 74 are connected by the interlocking shaft 76, they move up and down in conjunction with each other. Here, as shown in FIG. 7, when the first support arm 80 moves up and leaves the wedge-shaped slope of the wedge guide 78, the function of the wedge guide 78 stops. Here, when the drive screw 68 continues to rotate in the same direction, the slider 70 hits the fulcrum shaft 83 of the second arm 74 or the vicinity thereof and pushes it toward the front of the transport device. At this time, the fulcrum shaft 83 of the second arm 74 moves forward along the shaft hole 86. As long as the slider 70 is in contact with the second arm 74, the first support arm 80 and the second support arm 82 can be raised. The lift plate 42 can be raised until the fulcrum shaft 83 moves to the full length of the shaft hole 86.

図７の一点鎖線の円内に、スライダ７０と第１アーム７２や第２アーム７４の一部を上方から見た図を示した。スライダ７０の両端にくさびガイド７８が固定されている。図のように、一対の第１アーム７２は一対のくさびガイド７８により押し上げられ、その後、スライダ７０が一対の第２アーム７４の一端に接触してこれらを押し続ける。一般によく知られているジャッキは、第１アーム７２と第２アーム７４の下端部分を、駆動ねじを用いて、近づけたり離したりして高さを調節する。しかしながら、第１アーム７２と第２アームとが共に床面に平行な状態からわずかに端部が持ち上がる状態までは、駆動ねじに力がかかりすぎる欠点がある。上記の実施例のように、くさびガイド７８をスライダ７０で移動させることにより、人力によっても、適切な速度で適切な力で昇降動作をさせることができる。 The figure which looked at a part of slider 70, the 1st arm 72, and the 2nd arm 74 from upper direction in the circle of the dashed-dotted line of FIG. 7 was shown. A wedge guide 78 is fixed to both ends of the slider 70. As shown in the figure, the pair of first arms 72 is pushed up by the pair of wedge guides 78, and then the slider 70 contacts one end of the pair of second arms 74 and continues to push them. A generally well-known jack adjusts the height by moving the lower end portions of the first arm 72 and the second arm 74 closer to or away from each other using a drive screw. However, there is a drawback that the driving screw is excessively applied from the state where both the first arm 72 and the second arm are parallel to the floor surface to the state where the end portion is slightly lifted. By moving the wedge guide 78 with the slider 70 as in the above-described embodiment, the lifting and lowering operation can be performed with an appropriate force at an appropriate speed even by human power.

一方、図７に示した異常に第１支持腕８０が上昇したときには、通常のジャッキどおり、スライダ７０が第２アーム７４の支点軸８３部分を押して、支点軸８３と支点軸８１とを近づけるようにする。これで、通常どおりのジャッキアップができる。図６と図７で説明した例では、スライダ７０がくさびガイド７８を運搬装置の前後に移動させるので、上記の切り替わりが円滑に進むという効果がある。 On the other hand, when the first support arm 80 rises abnormally as shown in FIG. 7, the slider 70 pushes the fulcrum shaft 83 portion of the second arm 74 so that the fulcrum shaft 83 and the fulcrum shaft 81 are brought closer to each other as in a normal jack. To. Now you can jack up as usual. In the example described with reference to FIGS. 6 and 7, the slider 70 moves the wedge guide 78 forward and backward of the transport device, so that the above-described switching is smoothly performed.

以上説明した運搬装置１０は、主に、下記のような構成上の特徴を備える。床面上に中輪５６や前輪５４等の車輪により支持されたフレーム４８を有する。フレーム４８は、棒を組み合わせた枠状のものでもよいし、板状のものでもよい。車輪の位置や数も任意である。なお、フレーム４８の前端には、固定構造１１６の前輪ストッパに乗り上げる位置に前輪５４が設けられているとよい。フレーム４８の左右の側面には、固定構造１１６の側面に接してフレーム４８の固定構造１１６に対する向きを規制する幅決めガイド８４を取り付けることが好ましい。 The transport device 10 described above mainly includes the following structural features. A frame 48 supported by wheels such as an intermediate wheel 56 and a front wheel 54 is provided on the floor surface. The frame 48 may be a frame having a combination of bars or a plate. The position and number of wheels are also arbitrary. A front wheel 54 may be provided at the front end of the frame 48 at a position that rides on the front wheel stopper of the fixed structure 116. Preferably, width determination guides 84 are attached to the left and right side surfaces of the frame 48 to contact the side surfaces of the fixing structure 116 and restrict the orientation of the frame 48 relative to the fixing structure 116.

フレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第１支持腕８０を昇降させる棒状の一対の第１アーム７２と、同じくフレーム４８上の一点を支点にして、床面に対して第２支持腕８２を昇降させる棒状の一対の第２アーム７４とを備える。フレーム４８上の支点の構造や位置は任意である。第１アーム７２と第２アーム７４は、運搬装置１０のフレーム上で、運搬装置１０の左右側面から見たとき、互いにＸ字状に交差するように配置する。 A pair of rod-shaped first arms 72 that raise and lower the first support arm 80 with respect to the floor surface with one point on the frame 48 as a fulcrum, and a second point with respect to the floor surface with one point on the frame 48 as a fulcrum. 2 A pair of rod-like second arms 74 that raise and lower the support arm 82 are provided. The structure and position of the fulcrum on the frame 48 are arbitrary. The first arm 72 and the second arm 74 are arranged on the frame of the transport device 10 so as to cross each other in an X shape when viewed from the left and right side surfaces of the transport device 10.

さらに、第１アーム７２と第２アーム７４のＸ字状に交差する部分に設けた貫通孔を貫通するように、連動軸７６を設ければ、第１アーム７２が第１支持腕８０を上昇させたときに、第２アーム７４の第２支持腕８２が上昇する。連動軸７６に限ることなく、第１アーム７２と第２アーム７４を連結して連動させるような連動機構が設けられていればよい。例えば、第２アーム７４を下側から押し上げる板や第１アーム７２と第２アーム７４とを連結したワイヤー等でも構わない。 Furthermore, if the interlocking shaft 76 is provided so as to pass through the through hole provided in the X-shaped portion of the first arm 72 and the second arm 74, the first arm 72 raises the first support arm 80. When this is done, the second support arm 82 of the second arm 74 rises. Without being limited to the interlocking shaft 76, an interlocking mechanism that connects and interlocks the first arm 72 and the second arm 74 may be provided. For example, a plate that pushes up the second arm 74 from the lower side, a wire that connects the first arm 72 and the second arm 74, or the like may be used.

フレーム４８には、第１アーム７２の第１支持腕８０の下面にくさび状の斜面を接するようにして、フレーム４８に対して前後方向に移動するくさびガイド７８が支持されている。くさびガイド７８が一方に移動すると第１支持腕８０を上昇させ、他方に移動すると第１支持腕８０を下降させる。運搬装置１０には、このくさびガイド７８を移動させるための駆動機構が設けられている。駆動機構は、上記のような駆動ねじ６８でもよいし、チェンやラックアンドピニオン機構でも構わない。
図８は、ミニマル装置１２を配列した生産ラインの概略を示す斜視図で、（ｂ）が運搬装置の斜視図である。
ミニマル装置１２を上記の運搬装置１０で運搬し、所定の固定構造１１６を有する床面１８に配列する。必要数の工程のミニマル装置１２を組み合わせて、生産ラインを実現する。ミニマル装置１２間の材料や製品の搬送には、例えば、図示しないロボットアーム等の自動搬送機構を使用する。 A wedge guide 78 that moves in the front-rear direction with respect to the frame 48 is supported on the frame 48 such that a wedge-shaped slope is in contact with the lower surface of the first support arm 80 of the first arm 72. When the wedge guide 78 moves to one side, the first support arm 80 is raised, and when the wedge guide 78 moves to the other side, the first support arm 80 is lowered. The transport device 10 is provided with a drive mechanism for moving the wedge guide 78. The drive mechanism may be the drive screw 68 as described above, or a chain or rack and pinion mechanism.
FIG. 8 is a perspective view showing an outline of a production line in which the minimal devices 12 are arranged, and (b) is a perspective view of the transport device.
The minimal device 12 is transported by the transport device 10 and arranged on the floor surface 18 having a predetermined fixing structure 116. A production line is realized by combining the minimal devices 12 of the required number of processes. For conveying materials and products between the minimal devices 12, for example, an automatic conveyance mechanism such as a robot arm (not shown) is used.

ミニマル装置１２は、図のように底面積に比べて背の高い形状をしている。従って、そのままでは振動/衝撃に対して不安定である。しかも、例えば、ミニマル装置１２間の材料の自動搬送のために、正確な位置決めが必要である。そこで、図の運搬装置１０は、ミニマル装置１２を固定構造１４上に正確に降下させる機能が要求される。そのために、上記のような前輪５４と前輪ストッパ１３８や、幅決めガイド１３８が有効に機能する。 The minimal device 12 has a shape that is taller than the bottom area as shown in the figure. Therefore, it is unstable to vibration / impact as it is. Moreover, for example, accurate positioning is necessary for automatic conveyance of material between the minimal devices 12. Therefore, the carrying device 10 shown in the drawing is required to have a function of accurately lowering the minimal device 12 onto the fixed structure 14. Therefore, the front wheel 54 and the front wheel stopper 138 as described above and the width determining guide 138 function effectively.

また、固定構造１１６は、ミニマル装置１２を床面１８に正確に確実に固定する機能を持つ。運搬装置１０も固定構造１１６も、多数のミニマル装置１２の配列変更を短時間で行うために、操作性の良い構造を有する。さらに、ミニマル装置１２の底板に、図示しないフックを設けておき、図３に示したフック受け１７４と連結させる。 Further, the fixing structure 116 has a function of accurately and reliably fixing the minimal apparatus 12 to the floor surface 18. Both the transport device 10 and the fixing structure 116 have a structure with good operability in order to change the arrangement of a large number of minimal devices 12 in a short time. Further, a hook (not shown) is provided on the bottom plate of the minimal apparatus 12 and is connected to the hook receiver 174 shown in FIG.

隣接するミニマル装置１２は、最小限の間隔で配列する。例えば、約３０ｃｍの幅のスペースに、１台のミニマル装置１２を、隣接する装置と５ｍｍ〜１５０ｍｍ程度の間隔を開けて配列する。間隔を開けることにより、各ミニマル装置１２を他の装置に影響を与えずに自由に置き換えられる。また、装置を狭い間隔で高密度に配置すれば、工場のスペースを有効に活用できる。さらに、前の工程から次の工程への部品や製品の搬送が容易になり、搬送装置も小型化できる。 Adjacent minimal devices 12 are arranged with minimal spacing. For example, one minimal device 12 is arranged in a space having a width of about 30 cm with an interval of about 5 mm to 150 mm between adjacent devices. By providing an interval, each minimal device 12 can be freely replaced without affecting other devices. In addition, if the devices are arranged at a high density with a narrow interval, the factory space can be used effectively. Furthermore, parts and products can be easily transported from the previous process to the next process, and the transport apparatus can be downsized.

ミニマル装置１２を使用した生産ラインは、自由に簡単に組み替えができるという特徴がある。生産ラインの組み替え時には、運搬装置１０がミニマル装置１２を床面１８から持ち上げて、目的の場所に運搬し、正確に位置決めしてから床面１８に固定する。本発明の運搬装置は、この操作を簡便に行う機能を備えている。また、床面１８への位置決め時や着脱操作時に、隣接するミニマル装置１２への衝突を防止することができる。 A production line using the minimal apparatus 12 has a feature that it can be easily and easily rearranged. At the time of rearranging the production line, the transport device 10 lifts the minimal device 12 from the floor surface 18, transports it to the target location, positions it accurately, and fixes it to the floor surface 18. The transporting device of the present invention has a function of performing this operation easily. Moreover, the collision with the adjacent minimal apparatus 12 can be prevented at the time of positioning to the floor surface 18 or at the time of attaching / detaching operation.

以上の構成により、ミニマル装置１２の底板１３６の直下の狭い空間に昇降板４２を出し入れして、ミニマル装置１２を持ち上げて運搬し、底板１３６の上に正確に位置決めしてから降ろすことが可能になる。また、そのときの昇降機構を比較的小さな駆動力で駆動することができる。 With the above configuration, the elevating plate 42 can be taken in and out of the narrow space directly below the bottom plate 136 of the minimal device 12, and the minimal device 12 can be lifted and transported, accurately positioned on the bottom plate 136, and then lowered. Become. Further, the lifting mechanism at that time can be driven with a relatively small driving force.

１０運搬装置
１２ミニマル装置
２０把手
２２ハンドル
４２昇降板
４４第１支持点
４６第２支持点
４８フレーム
５０上載板
５２水平盤
５４前輪
５６中輪
５８後輪
６０垂直盤
６４チェン
６６伝達ギヤ
６８駆動ねじ
７０スライダ
７２第１アーム
７４第２アーム
７６連動軸
７８くさびガイド
８０第１支持腕
８１支点軸
８２第２支持腕
８３支点軸
８４幅決めガイド
８６軸孔
８８板支持軸
９０ローラ
９２押し金具
１１６固定構造
１３６底板
１３８前輪ストッパ
１６６Ｖ溝台 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Conveyance apparatus 12 Minimal apparatus 20 Handle 22 Handle 42 Elevating plate 44 1st support point 46 2nd support point 48 Frame 50 Upper plate 52 Horizontal plate 54 Front wheel 56 Middle wheel 58 Rear wheel 60 Vertical plate 64 Chain 66 Transmission gear 68 Drive screw 70 slider 72 first arm 74 second arm 76 interlocking shaft 78 wedge guide 80 first support arm 81 fulcrum shaft 82 second support arm 83 fulcrum shaft 84 width determining guide 86 shaft hole 88 plate support shaft 90 roller 92 pressing bracket 116 fixing Structure 136 Bottom plate 138 Front wheel stopper 166 V groove base

Claims

A transport device for a manufacturing apparatus comprising the following components:
(A) It has the flame | frame 48 supported by the wheel on the floor surface.
(B) A pair of rod-shaped first arms 72 that raise and lower the first support arm 80 with respect to the floor surface using one point on the frame 48 as a fulcrum, and a point on the frame 48 on the floor surface. A pair of rod-shaped second arms 74 that raise and lower the second support arm 82 are provided.
(C) The first arm 72 and the second arm 74 are arranged on the frame of the transport device 10 so as to cross each other in an X shape when viewed from the left and right side surfaces of the transport device 10.
(D) An interlocking mechanism is provided that raises the second support arm 82 of the second arm 74 when the first arm 72 raises the first support arm 80.
(E) The lift plate 42 for supporting the manufacturing apparatus is supported by the first support arms 80 of the pair of first arms 72 and the second support arms 80 of the pair of second arms 74.
(A) The position on the frame 48 of the fulcrum on the frame 48 of the first arm 72 is fixed.
(A) The position of the support point of the lift plate 42 of the second arm on the lift plate 42 is fixed.
(A) The fulcrum on the frame 48 of the second arm 74 has a structure that slides in the front-rear direction with respect to the frame 48.
(A) The support point of the lifting plate 42 of the first arm 72 has a structure that slides in the front-rear direction with respect to the lifting plate 42.
(F) The frame 48 supports a wedge guide 78 that moves in the front-rear direction with respect to the frame 48 such that a wedge-shaped slope is in contact with the lower surface of the first support arm 80 of the first arm 72.
(G) When the wedge guide 78 moves to one side in contact with the lower surface of the first support arm 80 of the first arm 72, the wedge support 78 raises the first support arm 80, and moves to the other side to lower the first support arm 80. .
(H) The transport device is provided with a drive mechanism for moving the wedge guide 78.

The drive mechanism is fixed to a slider 70 that moves in the front-rear direction with respect to the frame 48 so that the pair of wedge guides 78 are in contact with the lower surfaces of the first support arms 80 of the pair of first arms 72. The transport apparatus for a manufacturing apparatus according to claim 1.

3. The manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the interlocking mechanism is an interlocking shaft 76 that passes through a through-hole provided in a portion where the first arm 72 and the second arm 74 intersect in an X shape. Transportation equipment.

2. A fulcrum shaft 81 is provided at a fulcrum on the frame 48 of the first arm 72, and a front wheel 54 is disposed at a place where the first arm is extended beyond the fulcrum shaft 81. A transport device for a manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 3.

A plate support shaft 88 connected to the lifting plate 42 is provided at a portion of the second arm 74 that contacts the lifting plate 42, and a fulcrum on the frame 48 of the second arm 74 is provided in the front-rear direction of the transport device. A fulcrum shaft 83 that fits in the long shaft hole 86 is provided, and when the first support arm 80 moves up and leaves the wedge-shaped slope of the wedge guide 78, the fulcrum shaft 83 of the second arm 74 or the vicinity thereof 5. The slider according to claim 1, wherein the slider 70 contacts and pushes forward toward the transport device, and the fulcrum of the second arm 74 on the frame 48 moves forward along the shaft hole 86. A transport device for the manufacturing apparatus according to claim 1.

6. A width determining guide 84 is attached to the left and right side surfaces of the frame 48 so as to be in contact with the side surface of the fixing structure 116 and restrict the orientation of the frame 48 with respect to the fixing structure 116. The transport device of the manufacturing apparatus as described.

The transport device for a manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein a front wheel (54) is provided at a front end of the frame (48) so as to ride on a front wheel stopper of the fixing structure (116).