JP6076698B2 - 電極溶食防止層を有する部品 - Google Patents
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Description
本発明に係る部品10の製造方法は、図1〜図7等に示すように、はんだ付けされる電極2を有する部品10’を準備する工程と、電極2に第1の有機脂肪酸含有溶液3aを接触させる工程と、電極2に第1の溶融はんだ5aを接触させて電極2上に第1の溶融はんだ5aを付着させる工程と、付着した第1の溶融はんだ5aに向けて、流体6a又は気流14を噴射して電極2上に付着した第1の溶融はんだ5aのうち余剰の第1の溶融はんだ5aを除去する工程と、余剰の第1の溶融はんだ5aが除去された電極2を第1の溶融はんだ5aの融点未満に下げる工程と、を備えている。そして、第1の溶融はんだ5aの付着工程において、第1の溶融はんだ5aが、電極2に含まれる成分に化合して電極2の表面に金属間化合物層からなる電極溶食防止層4を形成するための成分を含むこと、及び、電極2への第1の溶融はんだ5aの接触を、部品10’を移動させながら電極2に第1の溶融はんだ5aの液流を衝突させ又は回り込ませて行うことに特徴がある。
準備工程は、図1、図2、図3(A)、図4(A)、図9(A)(B)及び図24に示すように、はんだ付けされる電極2を有する部品10’を準備する工程である。
部品10’は、基材1上に電極2が任意の形態で設けられているものであれば特に限定されない。部品10’としては、例えば、プリント基板、ウエハー、フレキシブル基板等の基板(「実装基板」ともいう。)や、コネクタ、QFP(Quad Flat Package)、SOP(Small Out line Package)、BGA(Ball Grid Array)、LGA(Land Grid Array)、半導体チップ、チップ抵抗、チップコンデンサ、ジャンパー配線材等の電子部品を挙げることができる。また、ここに例示したもの以外の公知の基板や電子部品、さらには今後開発される新しい基板や電子部品を含む。
電極2は、部品10’に各種の形態で設けられている。電極2の種類も特に限定されないが、第1の溶融はんだ5aに含まれる錫と化合して溶食される金属成分を含む導電性電極2が対象になる。錫と化合して溶食される金属成分としては、Cu、Ag、Au、Pd、Rh、Zn、Sn、Ni、Co、Bi等を挙げることができる。電極2は、こうした金属成分から選ばれる1種又は2種以上で構成されている。なお、はんだ濡れ性と溶食は表裏一体であり、「はんだ濡れ性」は、そうした金属成分の1種又は2種以上が第1の溶融はんだ5aに含まれる錫と容易に化合して錫化合物として濡れ広がる現象であり、「溶食」は、金属成分の1種又は2種以上が第1の溶融はんだ5aに含まれる錫と化合して錫化合物になって電極2が痩せてしまう現象のことである。後述する電極溶食防止層4は、そうした溶食を防いで、電極2の信頼性が低下するのを防止する層である。
接触工程は、上記の準備工程と下記の付着工程との間に設けられる工程であり、図1、図3(B)及び図4(B)に示すように、電極2と第1の溶融はんだ5aとの接触前に、第1の有機脂肪酸含有溶液3aの気体又は液体を電極2に接触させる工程である。
電極2に対する第1の有機脂肪酸含有溶液3aの接触は、気体(蒸気ともいう。)として接触させてもよいし、液体として接触させてもよい。気体として接触させる場合は、有機脂肪酸含有溶液の蒸気雰囲気下に曝して接触させてもよいし、図3(B)及び図4(B)に示すように、ノズル11から第1の有機脂肪酸含有溶液3aの気体を噴射して接触させてもよい。また、第1の有機脂肪酸含有溶液3aを液体として接触させる場合は、第1の有機脂肪酸含有溶液3aの水槽中にディッピング(浸漬)して接触させてもよいし、図3(B)及び図4(B)に示すように、ノズル11から第1の有機脂肪酸含有溶液3aの液体を噴射して接触させてもよい。
第1の有機脂肪酸含有溶液3aは、炭素数が12以上、20以下の有機脂肪酸を含む溶液であることが好ましい。炭素数11以下の有機脂肪酸でも使用可能ではあるが、そうした有機脂肪酸は、吸水性があり、あまり好ましくない。また、炭素数21以上の有機脂肪酸は、融点が高いこと、浸透性が悪いこと、取扱いし難いこと等の難点がある。代表的なものとしては、炭素数16のパルミチン酸が好ましい。有機脂肪酸としては、炭素数16のパルミチン酸のみを用いることが特に好ましく、必要に応じて炭素数12以上、20以下の有機脂肪酸、例えば炭素数18のステアリン酸を含有させることもできる。
付着工程は、図1、図2、図3(C)、図4(C)、図5〜図7に示すように、電極2に第1の溶融はんだ5aを接触させて電極2上に第1の溶融はんだ5aを付着させる工程である。この付着工程は、電極2上に第1の溶融はんだ5aを付着させて、電極2の表面に電極溶食防止層4を形成する電極溶食防止層4の形成工程と言い換えることができる。電極2への第1の溶融はんだ5aの接触手段は限定されず、各種の接触手段を挙げることができる。そうした接触手段として、下記の第1〜第3の形態のいずれかを好ましく挙げることができる。
第1形態は、図5及び図6に示すように、第1の溶融はんだ液流5aを部品10’に衝突させる接触手段である。
第2形態は、図3(C)及び図4(C)に示すように、部品10’を横方向に移動させながら、第1の溶融はんだ液流5aを、部品10’の上方から所定の角度で電極2に衝突させて付着させる。こうした付着手段により、電極2上に滞留した溶融はんだ5a自身で減速されることなく、溶融はんだ液流5aが上方向から電極2に強く衝突する。その結果、図3(D)及び図4(D)に示すように、溶融はんだ液流5aが電極2の全面に余すところ無く接触し、電極2上に電極溶食防止層4を満遍なく形成できる。
第3形態は、図7に示すように、部品10’を上下方向に移動させて第1の溶融はんだ5aで満たしたはんだ槽52中に浸漬した後に引き上げる途中で、部品10’を第1の溶融はんだ5aの液面53に配置されたスリット51を通過させて付着させる。こうした方法により、部品10’は、第1の溶融はんだ5aの液面53(表面ともいう。)に配置されたスリット51を通過させて行うので、そのスリット51を通過する際の表面張力の作用により、溶融はんだ5aが電極2の全域に回り込む。その結果、電極2上には満遍なく第1の溶融はんだ5aを付着させることができる。
上記した第1〜第3形態で用いる第1の溶融はんだ5aは、加熱して溶融した液流であって、落下又は噴射させて、部品10’に衝突又は回り込ませることができる程度に流動化したものを用いる。その加熱温度は、電極組成やはんだ組成によって任意に選択されるが、通常、150℃以上、300℃以下の程度の範囲内から良好な温度が設定される。
上記した第1〜第3形態の付着手段において、溶融はんだ液流5aと電極2との接触時の雰囲気は特に限定されないが、その後に余剰の第1の溶融はんだ5aを各種の手段で除去することから、「第1の溶融はんだの付着工程」と「余剰はんだの除去工程」の両方の工程で処理する間、雰囲気温度は第1の溶融はんだ5aとしての溶融状態をそのまま維持できる温度(融点が217℃前後のはんだを用いた上記の例では、240℃以上、260℃以下の温度)に保持されている必要がある。そうした雰囲気温度としては、具体的には、はんだ付けする第1の溶融はんだ5aの種類に対応した温度と同じ又はそれに近い温度であることが好ましい。
第1の溶融はんだ5aは、精製処理されていることが好ましい。具体的には、炭素数12〜20の有機脂肪酸を5質量%以上、25質量%以下含有する溶液を180℃以上、280℃以下に加熱し、その加熱された溶液と第1の溶融はんだ5aとを接触させて激しく撹拌混合する。こうすることにより、酸化物とフラックス成分等で汚染された精製処理前の第1の溶融はんだ5aを清浄化することができ、酸化物やフラックス成分等を除去した第1の溶融はんだ5aを得ることができる。その後、酸化物やフラックス成分等が除去された第1の溶融はんだ5aを含む混合液を、有機脂肪酸含有溶液貯槽に導入し、その有機脂肪酸含有溶液貯槽中において比重差で分離した清浄化後の第1の溶融はんだ5aをその有機脂肪酸含有溶液貯槽の底部からポンプで鉛フリーはんだ液貯槽に戻す。こうした精製処理を行うことで、液流として使用する第1の溶融はんだ5a中の銅濃度及び不純物濃度の経時的な上昇を抑制し、かつ酸化物やフラックス残渣等の不純物を鉛フリーはんだ液貯槽に持ち込ませないようにすることができる。その結果、鉛フリーはんだ液貯槽内の第1の溶融はんだ5aの経時的な組成変化を抑制することができるので、安定した接合信頼性の高い第1の溶融はんだ5aを用いることができる。
除去工程は、上記した第1〜第3形態のいずれでも行われる工程であり、第1の溶融はんだ液流5aを衝突又は回り込ませて付着した余剰のはんだを除去する工程である。具体的には、図1、図2、図3(E)及び図4(E)に示すように、付着した第1の溶融はんだ5aに向けて、気流14又は流体6aを噴射して除去する工程である。気流14又は流体6aとしては、第2の有機脂肪酸含有溶液の気体(蒸気ともいう。以下同じ。)若しくは液体を含有する雰囲気下での不活性ガス又は空気、第2の有機脂肪酸含有溶液の気体若しくは液体を含む流体、又は、不活性ガス又は空気、を挙げることができる。なお、以下では、図3及び図4の第2形態の例で説明する。
噴射処理は、余剰の溶融はんだを除去することができればよく、その除去で行う噴射流体は、気体でも液体でもよい。噴射は、例えば第2形態の例で説明すれば、例えば図3(E)に示すように、有機脂肪酸含有溶液の気体又は液体を含む流体6aの噴射により行ってもよし、図4(E)に示すように、有機脂肪酸含有溶液の気体又は液体を含有する雰囲気6bの下での不活性ガス又は空気等の気体14の噴射により行ってもよいし、図示しないが、有機脂肪酸含有溶液で精製処理された第1の溶融はんだ5aで付着処理した場合や、有機脂肪酸含有溶液で精製処理しない第1の溶融はんだ5aであっても、その第1の溶融はんだ5aを付着処理した後に、その第1の溶融はんだ5aに有機脂肪酸含有溶液の気体又は液体を付着させた場合には、不活性ガス又は空気等の気流のみの噴射により行ってもよい。
有機脂肪酸含有溶液の気体又は液体を含有した流体6aを用いて、図3(E)に示すように余剰の第1の溶融はんだ5aを除去する場合、その流体6a中の有機脂肪酸含有溶液の気体又は液体の含有量は、その流体6aの全量に対して3容量%以上、20容量%以下であることが好ましい。この範囲内にすることにより、電極溶食防止層4上に、又は電極溶食防止層4に付着したまま残っている第1の溶融はんだ5a上に、有機脂肪酸のコーティング膜6を形成することができる。このコーティング膜6は、いわゆる油成分がコーティングされているものであり、極めて薄く、その厚さは容易には評価できない。このコーティング膜6が設けられることにより、その後に次工程に搬送する間や、そのまま流通させる場合であっても、電極溶食防止層4上に、又は電極溶食防止層4に付着したまま残っている第1の溶融はんだ5a上に、酸化物等を極力形成させないという利点がある。また、その後の第2の溶融はんだ16との接触時にも、その接触時の熱等によって、電極溶食防止層4上に、又は電極溶食防止層4に付着したまま残っている第1の溶融はんだ5a上に、酸化物等を極力形成させないという利点がある。
冷却工程は、余剰の第1の溶融はんだ5aが除去された電極2を第1の溶融はんだ5aの融点未満に下げる工程である。この冷却工程により、電極2の表面に形成された電極溶食防止層4を、亀裂のない所定の厚さ範囲にして、各部の電極溶食防止能を安定化させることができる。こうして形成された電極溶食防止層4は、電子部品を実装基板にはんだ付けする際に、従来のはんだ付け時に起こる電極成分の溶食を防止でき、実装基板の銅ランド等の電極2の信頼性を著しく高めることができる。
冷却工程での冷却温度は、用いた第1の溶融はんだ5aの融点を基準にして設定される。例えば用いた第1の溶融はんだ5aが後述する実施例で用いた5元系はんだ、4元系はんだ又は3元系はんだである場合は、その融点が217℃前後であるので、冷却温度はその融点未満の温度にすることが好ましい。冷却温度の下限は特に限定されず、20℃以上、50℃以下の程度の常温域であってもよい。こうした範囲内で冷却することにより、電極溶食防止層4をより安定化させることができる。
電極溶食防止層4は、上記した条件での冷却処理によって形成された層であり、電極2上に設けられた厚さ0.5μm以上、3μm以下のニッケル含有金属間化合物からなる層であることが好ましい。電極溶食防止層の溶出防止能を安定化させるためには、電極溶食防止層4が欠陥等を抑えた均一な厚さで形成されていることが好ましい。この均一化に冷却工程が必要であり、冷却工程によって電極溶食防止層4の厚さを上記範囲にすることにより、電極2上に設けられた電極溶食防止層4に含まれる成分(例えばSn等)が、電極成分(例えばCu等)に化合して溶食してしまうのを抑制することができる。上記した冷却工程を省略すると、少なくとも0.5μm以上の欠陥等を抑えた電極溶食防止層4を形成できないことが多い。
この付着工程は、電極2を第1の溶融はんだ5aの融点未満に下げた工程の後に、電極溶食防止層4が電極2上に形成された部品10と、前記した第1の溶融はんだ5aと同じ溶融はんだ又は異なる溶融はんだ(これらを「第2の溶融はんだ16」という。)とを接触させて、電極2上に第2の溶融はんだ16を付着させて第2のはんだ層8を設ける工程である。
第2の溶融はんだ16は特に限定されず、各種のはんだ組成のものを用いることができる。例えば、上記した第1の溶融はんだ5aと同じはんだを再度用いてもよいし、それ以外の一般的なはんだを用いてもよい。例えば、後述する実施例で用いたニッケルを含有する5元系、4元系、3元系のはんだ、ニッケルを含有しない4元系、3元系、2元系のはんだ、後述する比較例で用いた3元系のはんだ、又は、ビスマス系の低温はんだであってもよい。
付着処理は、種々の方法で行うことができる。例えば、図11及び図12に示すように、電極2上に電極溶食防止層4を設けた部品10を第2の溶融はんだ16を満たしたはんだ槽にディッピングし、第2の溶融はんだ16をその電極溶食防止層4の上に付着させる付着処理を採用することができる。また、図示しないが、第2の溶融はんだ16としてはんだペーストを用い、そのはんだペーストを電極溶食防止層4上に印刷し、その後に加熱溶融して第2の溶融はんだ16を電極溶食防止層4上に付着させる付着処理を採用することもできる。また、それ以外の付着処理であってもよい。これらの付着処理により、第2のはんだ層8を設けた部品20とすることができる(図13を参照)。
第2のはんだ層8は、上記した第2の溶融はんだ16の付着工程によって形成された層である。この第2のはんだ層8は、図13〜図18に示すように、電極溶食防止層4が形成された電極2上に、滑らかな曲線で、盛り上がった形態で形成されている。
この接触工程は、第2の溶融はんだ16の付着工程の後に、第3の有機脂肪酸含有溶液の気体又は液体を、第2の溶融はんだ16に接触させる工程である。この接触工程は、例えば図11に示すように、第2の溶融はんだ16にディッピングした後にそのまま引き上げた場合には、引き上げた後の部品に向けて第3の有機脂肪酸含有溶液の気体又は液体を噴射させて施される(図示しない)。一方、この接触工程は、例えば図12に示すように、第2の溶融はんだ16にディッピングした後に、有機脂肪酸含有溶液18に接触させる場合には、その接触工程がここで言う接触工程である。
第3の有機脂肪酸含有溶液に接触させた後の部品20は、ノズルから噴射した空気や不活性ガス等で、その第3の有機脂肪酸含有溶液を液切りしてもよい。こうした液切りにより、部品2に付着した余剰の第3の有機脂肪酸含有溶液を除去できる。
本発明に係る部品20,30,40は、図13〜図19に示すように、上記本発明に係る部品の製造方法で製造された部品である。そして、はんだ層8が設けられた電極2を複数備え、そのはんだ層8と電極2との間に電極溶食防止層4が形成されている。さらに、そのはんだ層8は、電極溶食防止層4が形成された電極2上に、滑らかな曲線で、盛り上がった形態で形成されている。なお、はんだ層8の上に、有機脂肪酸のコーティング膜9が設けられていることが好ましい。
一例として、縦100mm×横100mmのプリント基板1に幅Wが50μmで厚さが20μmの銅配線パターンが形成された基板10’を準備した(例えば図3(A)参照)。この基板10’は、銅配線パターンのうち、電子部品の実装部分となる幅Wが50μmの銅電極2のみが多数露出し、他の銅配線パターンは絶縁層で覆われている。
実施例1で得られた部品10Aを、250℃の第2の溶融はんだ16が満たされたはんだ槽にディッピング(浸漬)した。第2の溶融はんだ16として、Ag:3質量%、Cu:0.5質量%、残部がSnからなる3元系鉛フリーはんだを用いた。基板がはんだ槽に浸漬している時間は合計10秒であった。これらの製造条件と結果を表1に示し、評価結果を表2に示した。
実施例1において、第1の有機脂肪酸含有溶液3aが含むパルミチン酸の含有量を15質量%とし、250℃に加温して電極に向けて噴射させた。銅電極上に盛られた余剰の第1の溶融はんだ5aの除去工程で、基板10を255℃の第2の有機脂肪酸含有溶液6bの蒸気雰囲気下に置き、その雰囲気下で、噴射ノズル13から255℃に加熱した窒素ガスを噴射させた(図4(E)参照)。この第2の有機脂肪酸含有溶液6bは、第1の有機脂肪酸含有溶液3aと同じ組成の有機脂肪酸含有溶液を255℃の蒸気にして用いた。その結果、図4(F)に示す形態の基板10Bを得た。なお、この基板10Bは、銅電極2上に、電極溶食防止層4、はんだ層(除去後に残っているはんだ層。図示しない。)、コーティング膜6の順で設けられている。これらの製造条件と結果を表1に示し、評価結果を表2に示した。
実施例3で得られた基板10Bを、250℃の第2の溶融はんだ16が満たされたはんだ槽にディッピング(浸漬)した。第2の溶融はんだ16として、Ag:3質量%、Cu:0.5質量%、残部がSnからなる3元系鉛フリーはんだを用いた。基板がはんだ槽に浸漬している時間は合計10秒であった。これらの製造条件と結果を表1に示し、評価結果を表2に示した。
実施例5〜10は、上記した実施例1〜4と同様にして部品を製造した。その製造条件と結果を表1に示し、評価結果を表2に示した。いずれの場合も、電極溶食の抑制が確認された。
実施例1において、第1の溶融はんだ5aのはんだ材料として、Ag:3質量%、Cu:0.5質量%、残部がSnからなる3元系鉛フリーはんだを用いた他は、実施例1と同様にして、比較例1の基板を得た。実施例1と同様に、断面の走査型電子顕微鏡写真から、CuNiSn金属間化合物層は存在せず(図21(A)を参照。)、銅電極2上に、CuSn金属間化合物層が形成されて大きな電極溶食が確認された。また、図21(B)は、150℃で240時間エージングした後のはんだ層8の断面の走査型電子顕微鏡写真形態である。ボイド等の不具合が発生していた。
この実施例11では、第2の溶融はんだ16が、電極溶食防止層4を構成する成分のうち電極溶食防止能を生じさせる成分を含まないことが好ましいことを検討した。なお、はんだ処理とは、電極への溶融はんだの付着処理のことである。はんだの付着処理は、下記で用いたはんだの種類(融点はいずれも約217℃前後)にかかわらず、図3に示すように、250℃に加熱溶融させた溶融はんだ5aの液流をノズル12から吹き付け、電極2上に盛り上げるようにして行った。付着処理後の余剰はんだの除去処理は、この実施例では電極溶食防止層4の生成形態を観察することを目的としていることから、第1の溶融はんだ5aの付着処理後と第2の溶融はんだ16の付着処理後のいずれの場合も行った。その除去処理は、電極2上に盛り上がった溶融はんだ5a,16に空気を吹き付けて行った。下記のはんだ処理時間は、電極2が溶融はんだ5a,16に接触した時点から、電極2上に盛り上がった余剰はんだ5a,16を除去する時点までの時間であり、その間は溶融はんだ5a,16の温度を保持した。
図5に示す第1形態に係る付着工程で、第1の溶融はんだ液流5aを図9に示す形態の部品10’(実装基板)に衝突させた。第1の溶融はんだとしては、密度が約7.3g/cm3で、0.05質量%Niを含むSnCuNi系はんだを用いた。この第1の溶融はんだ液流5aは、上方に配置された貯蔵槽58に貯蔵させた。その貯蔵槽58内の溶融はんだ液流5aを配管57で垂直降下させ、方向変換部56で部品側に曲げて、溶融はんだ液流5aを勢いよく電極2に衝突させた。なお、貯蔵槽58は、垂直に降下させた溶融はんだ液流5aの圧力が約2Paになる高さに設置した。衝突時のノズル角度θを15°程度とし、電極までの距離を30mmとし、電極2に対して横方向から衝突させた。この付着工程以外は、実施例1と同様にして、実施例12の部品を得た。
実施例12において、溶融はんだの種類を、密度が約7.3g/cm3で、0.05質量%Niを含むSnCuGeNi系はんだを用いた他は、実施例12と同様にして、実施例13の部品を得た。こうした実施例により、溶融はんだ液流5aの速度を過度に減速させずに電極2に衝突させることができた。その結果、溶融はんだ液流5aを電極2の全面に余すところ無く接触させることができ、結果として電極2上に電極溶食防止層4を満遍なく形成できた。
図6に示す第1形態に係る付着工程で、第1の溶融はんだ液流5aを図9に示す形態の部品10’(実装基板)に衝突させた。第1の溶融はんだとしては、密度が約7.3g/cm3で、0.05質量%Niを含むSnCuNi系はんだを用いた。この第1の溶融はんだ液流5aは、下方に配置された貯蔵槽58からポンプで溶融はんだ液流5aを引き上げ、溶融はんだ液流5aを勢いよく電極2に衝突させた。なお、溶融はんだ液流5aの圧力が約2Paになるように調整した。衝突時のノズル角度θを15°程度とし、電極までの距離を30mmとし、電極2に対して横方向から衝突させた。この付着工程以外は、実施例1と同様にして、実施例14の部品を得た。
図7に示す第3形態に係る付着工程で、第1の溶融はんだ5aを図9に示す形態の部品10’(実装基板)に表面張力現象を利用して回り込ませた。第1の溶融はんだとしては、密度が約7.3g/cm3で、0.05質量%Niを含むSnCuNi系はんだを用いた。この第1の溶融はんだ5aをはんだ槽52中に満たし、そのはんだ槽52の上面に設けられたスリット51の間から部品を浸漬し、その後に引き上げる途中で、部品10’を第1の溶融はんだ5aの液面53に配置されたスリット51を通過させた。なお、部品10’の表面からスリット51の端部までのギャップg1,g2を、約1mmとした。この付着工程以外は、実施例1と同様にして、実施例15の部品を得た。
2 電極
3 コーティング膜
3a 第1の有機脂肪酸含有溶液(気体又は液体)
4 電極溶食防止層(CuNiSn化合物層)
5 はんだ層(第1のはんだ層)
5a 第1の溶融はんだ
6 コーティング膜
6a 第2の有機脂肪酸含有溶液の気体又は液体
6b 第2の有機脂肪酸含有溶液の気体雰囲気
7 CuSn化合物層
8 はんだ層(第2のはんだ層)
9 コーティング膜
10,10A,10B 電極溶食防止層を設けた部品(はんだ層を設ける前の部品)
10’ 電極溶食防止層を設ける前の部品
11,12,13 噴射ノズル
14 不活性ガス又は空気
16 第2の溶融はんだ
18 第3の有機脂肪酸含有溶液
20 はんだ層を設けた後の実装基板
21 電極パッド
30,40,40A,40B はんだ層を設けた後の実装部品
51 スリット部材
52 第1の溶融はんだ槽
53 溶融はんだの表面
55 ノズル先端
56 配管の方向変換部
57 はんだ液流の配管
58 はんだ液流の貯蔵槽
59 はんだ液流の配管
61,62 エッジ
63 中心位置
80 絶縁膜(レジスト膜)
W 電極幅
T はんだ層の高さ
g1,g2 部品とスリット部材とのギャップ
T スリット部材の厚さ
Claims (4)
- 銅又は銅合金からなる電極と、該電極上に厚さ0.5μm以上、3μm以下の範囲内で設けられた電極溶食防止層と、前記電極溶食防止層上に付着した有機脂肪酸のコーティング膜とを有し、
前記電極溶食防止層は、前記電極上に、SnNi系はんだ、SnCuNi系はんだ、SnGeNi系はんだ、SnPNi系はんだ、SnCuGeNi系はんだ、SnCuGePNi系はんだ、SnAgCuNi系はんだ、SnZnAlNi系はんだ、SnAgCuGeNi系はんだ、SnSbNi系はんだ、SnBiNi系はんだ、SnBiZnNi系はんだ、及びSnBiAgInNi系はんだから選ばれるいずれかのはんだ材料であって、かつ前記はんだ材料に含まれるニッケル含有量が、0.01質量%以上0.1質量%以下の範囲内であるものを溶融した溶融はんだを接触させて形成されてなり、
前記電極溶食防止層上に設けるはんだ層を介して他の部品と接合することを特徴とする部品。 - 銅又は銅合金からなる電極と、該電極上に厚さ0.5μm以上3μm以下の範囲内で設けられた電極溶食防止層と、該電極溶食防止層上に、[はんだ層の厚さ]/[電極の幅]=0.3以上0.7以下、の関係式で表される厚さで設けられたはんだ層とを有し、
前記電極溶食防止層は、前記電極上に、SnNi系はんだ、SnCuNi系はんだ、SnGeNi系はんだ、SnPNi系はんだ、SnCuGeNi系はんだ、SnCuGePNi系はんだ、SnAgCuNi系はんだ、SnZnAlNi系はんだ、SnAgCuGeNi系はんだ、SnSbNi系はんだ、SnBiNi系はんだ、SnBiZnNi系はんだ、及びSnBiAgInNi系はんだから選ばれるいずれかのはんだ材料であって、かつ前記はんだ材料に含まれるニッケル含有量が、0.01質量%以上0.1質量%以下の範囲内であるものを溶融した溶融はんだを接触させて形成されてなり、
前記はんだ層を介して他の部品と接合することを特徴とする部品。 - 前記はんだ層のはんだ付け形態が、前記電極の中心位置で対称の半球形状又は曲面形状である、請求項2に記載の部品。
- 微細な配線パターンを有するプリント基板、ウエハー及びフレキシブル基板から選ばれるいずれか、又は、チップ、抵抗、コンデンサ及びフィルターから選ばれるいずれかである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の部品。
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