JP6076695B2 - Inspection unit, probe card, inspection device, and control system for inspection device - Google Patents
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Description
本発明は、半導体集積回路の通電試験等に用いる接触検査装置に関するものである。 The present invention relates to a contact inspection apparatus used for an energization test of a semiconductor integrated circuit.
従来、半導体集積回路のような被検査体では、該被検査体が仕様書通りに製造されているか否かの通電試験が行われる。この種の通電試験は、被検査体の電極に個々に押圧される複数のプローブを有するプローブカードを備える検査ユニットが取り付けられた検査装置を用いて行われる。この種の検査ユニットは、被検査体の電極と、テスターとを電気的に接続し、検査を行うために用いられる。 Conventionally, in a test object such as a semiconductor integrated circuit, an energization test is performed to determine whether or not the test object is manufactured in accordance with a specification. This type of energization test is performed using an inspection apparatus to which an inspection unit including a probe card having a plurality of probes individually pressed against the electrodes of the object to be inspected is attached. This type of inspection unit is used for performing an inspection by electrically connecting an electrode of a device to be inspected and a tester.
この通電試験に用いられる検査ユニットとして、一方の面に被検査体と接触する複数のプローブを有するプローブカードと、該プローブカードの他方の面の側に位置するポゴピンブロックと、該ポゴピンブロックに対して前記プローブカードと反対側に位置し当該ポゴピンブロックに貫通状態で配置されるポゴピンを介して前記プローブカードのプローブと電気的に接続される配線基板と、該配線基板に対して前記接続体と反対側に位置し前記プローブカードの撓みや歪みを抑制する基準体とを備えるものがある。そして、該検査ユニットは、前記プローブカード、ポゴピンブロック、配線基板及び基準体が締結手段によって一体化されて組み立てられている。 As an inspection unit used for this energization test, a probe card having a plurality of probes in contact with an object to be inspected on one surface, a pogo pin block located on the other surface side of the probe card, and the pogo pin block A wiring board electrically connected to the probe of the probe card via a pogo pin located on the opposite side of the probe card and arranged in a penetrating manner in the pogo pin block; and the connection body with respect to the wiring board; Some are provided with a reference body which is located on the opposite side and suppresses bending and distortion of the probe card. The inspection unit is assembled by integrating the probe card, pogo pin block, wiring board, and reference body by fastening means.
前記プローブカードに組み付けられたプローブの数は、少ないもので数百個、多いものでは数万個にもなる。
前記プローブは被検査体への検査を繰り返すと、磨耗等により前記プローブカードからの突出量すなわちプローブの高さが減少する。これにより、磨耗したプローブは、被検査体の電極と接触することができなくなる。
The number of probes assembled on the probe card is several hundreds when the number is small, and tens of thousands when the number is large.
When the probe repeatedly inspects the object to be inspected, the amount of protrusion from the probe card, that is, the height of the probe decreases due to wear or the like. As a result, the worn probe cannot contact the electrode of the device under test.
この検査ユニットは、前記磨耗等によりプローブが一つでも被検査体の電極と接触できなくなると、検査ユニットとしての役割を果たしにくくなる。そのため、新たな検査ユニットに交換する必要がある。しかし、プローブ一つの磨耗等が原因で検査ユニット全体、即ち前記ポゴピンブロック、配線基板さらに基準体も一緒に交換することは、各構成部品の有効利用の観点で無駄が多く、またユーザーにとって経済的負担が大きい。 This inspection unit becomes difficult to serve as an inspection unit if even one probe cannot contact the electrode of the object to be inspected due to the wear or the like. Therefore, it is necessary to replace with a new inspection unit. However, replacing the entire inspection unit, that is, the pogo pin block, the wiring board, and the reference body together due to wear of one probe is wasteful in terms of effective use of each component and is economical for the user. The burden is heavy.
このため、被検査体の検査装置において、プローブカードを当該検査ユニットを成す他の構成部材に対して着脱可能に構成し、この着脱操作によって検査ユニット全体ではなく、プローブカードだけを交換することを可能にしたものがある(特許文献1参照)。 For this reason, in the inspection apparatus for the object to be inspected, the probe card is configured to be detachable with respect to other components constituting the inspection unit, and only the probe card, not the entire inspection unit, can be replaced by this attachment / detachment operation. There is what made it possible (see Patent Document 1).
特許文献1の図1には、周囲をカード台に支持された前記プローブカードと、前記ポゴピンブロックと、前記配線基板と、前記「基準体」としてのパフォーマンスボードとを備える検査ユニットが記載されている。そして、前記プローブカードは、前記ポゴピンブロック、配線基板及びパフォーマンスボード(基準体)に対して、分離可能に構成されている。この分離可能な構造は以下の通りである。
前記プローブカードとパフォーマンスボード(基準体)は、両者の間に形成される真空室の負圧に基づく吸着力によって一体化される。負圧で一体化状態となり、大気圧に戻すことで分離可能となる。
FIG. 1 of Patent Document 1 describes an inspection unit including the probe card, the periphery of which is supported by a card base, the pogo pin block, the wiring board, and a performance board as the “reference body”. Yes. The probe card is configured to be separable from the pogo pin block, the wiring board, and the performance board (reference body). This separable structure is as follows.
The probe card and the performance board (reference body) are integrated by an adsorbing force based on the negative pressure of the vacuum chamber formed between them. It becomes an integrated state at negative pressure, and can be separated by returning to atmospheric pressure.
前記真空室は、前記プローブカードとパフォーマンスボード(基準体)の間に配置されるリング状のシール部材によって作られる。このシール部材は、該プローブカードとパフォーマンスボード(基準体)が互いに離間している状態から接近して接触することによってシール部材として機能する。そして、このシール部材と前記プローブカードとパフォーマンスボード(基準体)によって囲われた空間を真空ポンプ等によって減圧して所望の真空状態(減圧状態)にすることで負圧の真空室が形成される。
前記プローブカードとパフォーマンスボード(基準体)が前記負圧によって一体化された状態において、前記プローブカードとパフォーマンスボード(基準体)との相対位置は、該プローブカードとパフォーマンスボードとの間に位置するアンカー(中間体)によって規定される。
The vacuum chamber is formed by a ring-shaped sealing member disposed between the probe card and a performance board (reference body). The seal member functions as a seal member when the probe card and the performance board (reference body) come in close contact with each other from a state where they are separated from each other. A space surrounded by the seal member, the probe card, and the performance board (reference body) is decompressed by a vacuum pump or the like to obtain a desired vacuum state (depressurized state), thereby forming a negative pressure vacuum chamber. .
In a state where the probe card and the performance board (reference body) are integrated by the negative pressure, the relative position between the probe card and the performance board (reference body) is located between the probe card and the performance board. Defined by anchor (intermediate).
前記プローブカードを交換する際は、前記真空室を真空状態から大気圧に戻すことにより、負圧による吸引力が無くなり、前記プローブカードを前記パフォーマンスボード(基準体)から分離することが可能となる。これにより、容易に前記検査ユニットにおける前記プローブカードを交換することができる。 When the probe card is replaced, the vacuum chamber is returned from the vacuum state to the atmospheric pressure, so that the suction force due to the negative pressure is eliminated and the probe card can be separated from the performance board (reference body). . Thereby, the probe card in the inspection unit can be easily replaced.
ところで、この検査ユニットにおいて、例えば図10(A)に示すように、前記中間体すなわちアンカーを複数設ける場合がある。この検査ユニットでは、アンカー90a、90b、90c、90dにおいてプローブカード92から突出する長さが加工精度等によりばらつくことがある。
By the way, in this inspection unit, for example, as shown in FIG. In this inspection unit, the length of the
例えば、図10(A)を参照して説明すると、プローブカード92から基準体94に向けて突出するアンカー90a、90b、90c、90dにおいて、アンカー90aのZ軸方向における突出長さをZ1とした際、アンカー90b、90c、90dのZ軸方向における突出長さはZ1よりも長いZ2になることがある。この場合、プローブカード92と基準体94とを前記アンカーを介して接触させる際、アンカー90b、90c、90d部分は基準体94と接触するが、アンカー90aは基準体94と接触しないこととなる。
For example, with reference to FIG. 10A, in the
Z軸方向においてアンカー90a、90b、90c、90dの突出長さが異なる場合、プローブカード92を基準体94に一体化するために必要な真空度(負圧に基づく吸着力)は、アンカー90a、90b、90c、90dの突出長さに応じて異なる。
即ち、アンカー90aを基準体94と接触させるために必要な真空度は、アンカー90b、90c、90d部分を基準体94と接触するために必要な真空度よりも高い(大きい)。
When the protruding lengths of the
That is, the degree of vacuum necessary for bringing the
図10(B)を参照するに、プローブカード92と基準体94とを一体化するためにプローブカード92、基準体94及びシール部材96により形成された空間(真空室)98の空気を排気し、負圧状態とする。その際、先ずアンカー90b、90c、90d部分が基準体94と接触するが、その真空度の大きさではアンカー90aは基準体94と接触できない。更に真空度を高めることによってアンカー90aを基準体94に接触させることができる。
Referring to FIG. 10B, in order to integrate the
しかし、真空室は単一であるので以下の問題が生じる。アンカー90b、90c、90dにおいては、その突出長さがZ2からZ1に変化しない。そのため、プローブカード92においてアンカー90bとアンカー90cとの間の部分及びアンカー90cとアンカー90dとの間の部分には過剰な真空度(突出長さZ1に対応する真空度(負圧))が作用することになる。その結果、当該「間の部分」は基準体94に向けて引っ張られて撓むこととなる。
However, since the vacuum chamber is single, the following problems occur. In the
したがって、プローブカード92は部分的にZ軸方向に撓むので、該プローブカード92全体における平面度が低下する。その結果、プローブカード92から被検査媒体に向けて突出する複数のプローブの先端の高さ位置にもずれが生じる。これにより、プローブ先端が形成するXY平面の平面度が低下することとなり、所定の平面度(例えば30μm以下)を満たせなくなり、被検査媒体の検査を行えなくなる虞がある。
Accordingly, since the
本発明の目的は、プローブカードが真空室を介して接続体と一体化される構造の検査ユニットにおいて、前記真空室の真空度(負圧)に基づく前記一体化よって当該プローブカードが備える複数のプローブの先端の平面度が低下することを抑制することにある。 An object of the present invention is to provide an inspection unit having a structure in which a probe card is integrated with a connector via a vacuum chamber, and the probe card includes a plurality of probe cards provided by the integration based on the vacuum degree (negative pressure) of the vacuum chamber. The object is to suppress a decrease in the flatness of the probe tip.
上記課題を達成するため、本発明の第1の態様の検査ユニットは、一方の面にプローブを有するプローブカードと、前記プローブカードの他方の面に第1の真空室を介して一体化された接続体とを備え、前記第1の真空室は複数室で構成されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the inspection unit according to the first aspect of the present invention is integrated with a probe card having a probe on one surface and the other surface of the probe card via a first vacuum chamber. And the first vacuum chamber is composed of a plurality of chambers.
本態様によれば、前記プローブカードと前記接続体との間の第1の真空室は、複数の真空室で構成されているので、各真空室毎に真空度を設定することができる。このため、第1の真空室を1つの真空室として構成した場合にくらべて、複数の各真空室毎に前記プローブカードを変形させない真空度とすることができる。したがって、前記プローブカードに備えられた複数のプローブ先端の平面度が低下することを抑制することができる。 According to this aspect, since the first vacuum chamber between the probe card and the connection body is composed of a plurality of vacuum chambers, the degree of vacuum can be set for each vacuum chamber. For this reason, compared with the case where the first vacuum chamber is configured as one vacuum chamber, it is possible to achieve a degree of vacuum that does not deform the probe card for each of the plurality of vacuum chambers. Therefore, it can suppress that the flatness of the some probe front end with which the said probe card was equipped falls.
尚、本明細書における「プローブカード」は、前記ポゴピンブロック、前記配線基板及び前記基準体を含まず、一方の面に複数のプローブが設けられた配線基板を主たる構成部材とするものである。
また、「接続体」とは、典型的には前記ポゴピンブロックであるが、前記基準体である場合も含む意味で使われている。
In addition, the “probe card” in this specification mainly includes a wiring board in which a plurality of probes are provided on one surface without including the pogo pin block, the wiring board, and the reference body.
The “connecting body” is typically the pogo pin block, but is used to include the case of the reference body.
本発明の第2の態様の検査ユニットは、第1の態様において、前記第1の真空室は、各真空室毎に真空度を制御可能に構成されていることを特徴とする。 The inspection unit according to a second aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect, the first vacuum chamber is configured such that the degree of vacuum can be controlled for each vacuum chamber.
本態様によれば、前記検査ユニットにおいて各真空室毎に真空度を制御可能に構成されているので、各真空室毎に前記接続体への吸着に必要な真空度を設定することができる。そのため、前記プローブカードにおいて各真空室の位置に対応する部分に対して余分な圧力が加わらないことから、前記プローブカードにおいて各真空室の位置に対応する部分の変形を抑制することができる。したがって、前記プローブカードに備えられた複数のプローブ先端の平面度が低下することを抑制することができる。 According to this aspect, since the vacuum degree can be controlled for each vacuum chamber in the inspection unit, it is possible to set the vacuum necessary for the suction to the connection body for each vacuum chamber. Therefore, excessive pressure is not applied to the portion corresponding to the position of each vacuum chamber in the probe card, so that deformation of the portion corresponding to the position of each vacuum chamber in the probe card can be suppressed. Therefore, it can suppress that the flatness of the some probe front end with which the said probe card was equipped falls.
本発明の第3の態様の検査ユニットは、第1の態様または第2の態様において、前記第1の真空室の各真空室に設けられた圧力センサーと、前記圧力センサーにより検出された検出値を用いて、各真空室の真空度を各真空室に設定された真空度になるように調整する手段とを備えることを特徴とする。 An inspection unit according to a third aspect of the present invention is the inspection unit according to the first aspect or the second aspect, wherein a pressure sensor provided in each vacuum chamber of the first vacuum chamber, and a detection value detected by the pressure sensor. And a means for adjusting the degree of vacuum of each vacuum chamber so as to be the degree of vacuum set in each vacuum chamber.
本態様によれば、前記第1の真空室の各真空室毎に圧力センサーと調整手段とが設けられているので、各真空室において検出した値が設定値より下回っている場合あるいは上回っている場合、調整手段を用いて各真空室の真空度になるように調整することができる。すなわち、各真空室における真空度を設定値に維持することができることから、前記プローブカードを変形させることがなく、プローブ先端の平面度を維持することができる。
尚、「各真空室の真空度を各真空室に設定された真空度になるように調整する」における「設定された真空度」とは、プローブ先端の平面度を維持することができる範囲内における所定の範囲の値である。
According to this aspect, since the pressure sensor and the adjusting means are provided for each vacuum chamber of the first vacuum chamber, the value detected in each vacuum chamber is lower or higher than the set value. In this case, it is possible to adjust the vacuum degree of each vacuum chamber using the adjusting means. That is, since the degree of vacuum in each vacuum chamber can be maintained at a set value, the flatness of the probe tip can be maintained without deforming the probe card.
The “set vacuum degree” in “adjust the vacuum degree of each vacuum chamber to the vacuum degree set in each vacuum chamber” is within the range in which the flatness of the probe tip can be maintained. Is a value in a predetermined range.
本発明の第3の態様の検査ユニットにおいて、前記第1の真空室の各真空室は均等に配置されていてもよい。さらに、前記プローブカードは円形であり、前記第1の真空室の各真空室は周方向に均等に配置されていてもよい。 In the inspection unit according to the third aspect of the present invention, the vacuum chambers of the first vacuum chamber may be equally arranged. Further, the probe card may be circular, and the vacuum chambers of the first vacuum chamber may be equally arranged in the circumferential direction.
本発明の第4の態様の検査ユニットは、第1の態様から第3の態様のいずれか一の態様において、前記接続体に対して前記プローブカードと反対側に位置し、前記接続体と対向する面は平面である平面基準体を備え、前記プローブカードは、前記他方の面に前記平面基準体に向けて突出する複数の第1の基準体を備え、前記平面基準体は前記平面から前記プローブカードに向けて突出する複数の第2の基準体を備え、前記第1の基準体と前記第2の基準体とが接触して前記プローブカードと前記平面基準体との相対位置が規定されることを特徴とする。 The inspection unit according to a fourth aspect of the present invention is the inspection unit according to any one of the first to third aspects, located on the opposite side of the probe card with respect to the connection body and facing the connection body. A plane reference body that is a plane, and the probe card includes a plurality of first reference bodies that protrude toward the plane reference body on the other surface, and the plane reference body extends from the plane to the plane. A plurality of second reference bodies projecting toward the probe card are provided, and the first reference body and the second reference body come into contact with each other to define a relative position between the probe card and the planar reference body. It is characterized by that.
本態様によれば、前記プローブカードは、第1の基準体と第2の基準体とを介して前記平面基準体との相対位置が規定される。その結果、各真空室の位置に対応する前記プローブカードの部分は、各真空室の位置に対応する平面基準体との相対位置が規定される。
当該プローブカードは、前記複数の各真空室の各負圧を介して前記一体化された状態において、前記真空度の調整がなされる。これにより当該プローブカードが部分的に撓むことなく平面度が維持されている。従って、当該プローブカードは、前記第1の基準体と第2の基準体とを介して前記相対位置が規定されることによって、前記平面基準体の前記平面に倣うこととなる。即ち、前記プローブカードの平面度は、前記平面基準体の前記平面の平面度に倣うこととなる。
According to this aspect, the relative position of the probe card with respect to the planar reference body is defined via the first reference body and the second reference body. As a result, the position of the probe card corresponding to the position of each vacuum chamber is defined relative to the plane reference body corresponding to the position of each vacuum chamber.
The vacuum degree of the probe card is adjusted in the integrated state via the negative pressures of the plurality of vacuum chambers. Thereby, the flatness is maintained without the probe card partially bending. Therefore, the probe card follows the plane of the plane reference body by defining the relative position via the first reference body and the second reference body. That is, the flatness of the probe card follows the flatness of the flat surface of the flat reference body.
本発明の第5の態様の検査ユニットは、第4の態様において、前記接続体と前記平面基準体とは第2の真空室を介して一体化されていることを特徴とする。
本態様によれば、前記接続体は前記第2の真空室を介して前記平面基準体に吸着していることから、前記接続体の前記平面基準体への着脱を容易にすることができる。
The inspection unit according to a fifth aspect of the present invention is characterized in that, in the fourth aspect, the connection body and the plane reference body are integrated via a second vacuum chamber.
According to this aspect, since the connection body is adsorbed to the plane reference body via the second vacuum chamber, the connection body can be easily attached to and detached from the plane reference body.
本発明の第6の態様の検査ユニットは、第5の態様において、前記第2の真空室は複数室で構成されていることを特徴とする。
本態様によれば、前記第2の真空室が複数室で構成されているので、前記平面基準体から前記接続体を取り外す際、該接続体の前記平面基準体への吸着力を調整しながら取り外すことができる。このため、前記平面基準体から前記接続体を取り外す際、前記接続体が前記平面基準体から急に脱落することを防止することができる。その結果、前記接続体及び第2の基準体が損傷する虞を低減することができる。
The inspection unit according to a sixth aspect of the present invention is characterized in that, in the fifth aspect, the second vacuum chamber is composed of a plurality of chambers.
According to this aspect, since the second vacuum chamber is composed of a plurality of chambers, when removing the connection body from the planar reference body, while adjusting the suction force of the connection body to the planar reference body Can be removed. For this reason, when removing the said connection body from the said plane reference body, it can prevent that the said connection body falls out of the said plane reference body suddenly. As a result, it is possible to reduce the possibility of damage to the connection body and the second reference body.
本発明の第7の態様の検査ユニットは、第6の態様において、前記第1の真空室と前記第2の真空室とは連通していることを特徴とする。 The inspection unit according to a seventh aspect of the present invention is characterized in that, in the sixth aspect, the first vacuum chamber and the second vacuum chamber communicate with each other.
本態様によれば、前記第1の真空室の各真空室と該各真空室に対応する前記第2の真空室の各真空室を連通させることから、前記圧力センサーや調整手段を設ける場合に、それらの数を減らすことができ、構成を簡易化することができる。 According to this aspect, since each vacuum chamber of the first vacuum chamber communicates with each vacuum chamber of the second vacuum chamber corresponding to each vacuum chamber, the pressure sensor and the adjusting means are provided. The number of them can be reduced, and the configuration can be simplified.
本発明の第7の態様において、前記第1の真空室の前記各真空室と前記第2の真空室の前記各真空室とは面対称に配置されていてもよい。或いは、前記接続体において非対称に配置されていてもよい。さらに、前記第1の真空室の前記各真空室と前記第2の真空室の前記各真空室とが面対称に配置されている場合、前記接続体は、前記第1の真空室の前記各真空室と該各真空室に対して面対称に配置された前記第2の真空室の前記各真空室とを連通する連通孔を備えていてもよい。 In the seventh aspect of the present invention, the vacuum chambers of the first vacuum chamber and the vacuum chambers of the second vacuum chamber may be arranged symmetrically with respect to a plane. Or you may arrange | position asymmetrically in the said connection body. Further, when the respective vacuum chambers of the first vacuum chamber and the respective vacuum chambers of the second vacuum chamber are arranged in plane symmetry, the connection body is configured so that each of the first vacuum chambers You may provide the communicating hole which connects the vacuum chamber and each said vacuum chamber of the said 2nd vacuum chamber arrange | positioned by plane symmetry with respect to each said vacuum chamber.
本発明の第8の態様の検査ユニットは、第1の態様乃至第7の態様のいずれか一の態様において、前記プローブカードと前記接続体とは分離可能に構成されていることを特徴とする。 The inspection unit according to an eighth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to seventh aspects, the probe card and the connection body are configured to be separable. .
本態様によれば、前記プローブカードは前記接続体に対して分離可能に構成されていることから、前記プローブが磨耗した際、前記プローブカードのみを検査装置に対して交換すればよく、前記検査装置の経済性を向上させることができる。 According to this aspect, since the probe card is configured to be separable from the connection body, when the probe is worn, only the probe card needs to be replaced with the inspection device. The economical efficiency of the apparatus can be improved.
本発明の第9の態様のプローブカードは、一方の面はプローブを有し、他方の面は個々の真空度に設定された複数の真空室を介して接続体と一体化されるプローブカードであって、前記プローブカードは、当該プローブカードの製造工程において決定された前記各真空室に対応する真空度の設定値を有することを特徴とする。 The probe card according to the ninth aspect of the present invention is a probe card that has a probe on one surface and is integrated with a connecting body through a plurality of vacuum chambers set to individual vacuum degrees. The probe card has a set value of the degree of vacuum corresponding to each vacuum chamber determined in the manufacturing process of the probe card.
尚、ここで「各真空室に対応する真空度の設定値」とは、プローブカードの製造工程において決定される値である。具体的には、プローブカードの製造工程において、検査装置の測定環境と同様の環境を実現することのできる治具を用いて、第1の基準体と第2の基準体とが接触した際に圧力センサーにより検出した各真空室の真空度を各真空室の真空度の設定値とする。また、設定値は、プローブカードの平面度が適切な状態を維持できる範囲を設定値として決定されている。
「各真空室に対応する真空度の設定値を有する」とは、前記真空度の設定値は、プローブカードとともに前記プローブカードを使用するユーザーに紙媒体や電子媒体、あるいは電気通信手段等を用いて提供されることを意味する。
Here, the “set value of the degree of vacuum corresponding to each vacuum chamber” is a value determined in the probe card manufacturing process. Specifically, in the probe card manufacturing process, when the first reference body and the second reference body are in contact with each other using a jig that can realize an environment similar to the measurement environment of the inspection apparatus. The degree of vacuum in each vacuum chamber detected by the pressure sensor is set as the set value of the degree of vacuum in each vacuum chamber. Further, the set value is determined as a set value in a range in which the flatness of the probe card can be maintained in an appropriate state.
“Having a set value for the degree of vacuum corresponding to each vacuum chamber” means that the set value for the degree of vacuum uses a paper medium, an electronic medium, or an electric communication means for a user who uses the probe card together with the probe card. It is provided.
本態様によれば、前記プローブカードは、前記接続体と一体化される際の各真空室の真空度の設定値を有しているので、ユーザーが検査装置に前記プローブカードを取り付けて各真空室の真空度を該真空度の設定値にするだけで前記プローブカードにおける平面度を適切な状態とすることができる。また、前記プローブカードを複数の検査装置において使用する際、各検査装置毎に各真空室の真空度の設定作業をしなくてもよいことから、前記プローブカードの取り付け作業の作業性を向上させる。 According to this aspect, since the probe card has a set value of the degree of vacuum of each vacuum chamber when it is integrated with the connection body, the user attaches the probe card to the inspection apparatus and sets each vacuum The flatness of the probe card can be set to an appropriate state only by setting the degree of vacuum of the chamber to the set value of the degree of vacuum. In addition, when the probe card is used in a plurality of inspection apparatuses, it is not necessary to set the vacuum degree of each vacuum chamber for each inspection apparatus, thereby improving the workability of the probe card mounting operation. .
本発明の第10の態様の検査装置は、第1乃至第8のいずれか一の態様に記載の検査ユニットと、前記プローブカードの前記プローブと接触する被検査体を載置するステージを備えるプローバーと、前記平面基準体と電気的に接続されるテスターとを備え、前記検査ユニットの前記プローブカードは前記プローバーに取り付けられていることを特徴とする。
本態様によれば、第1乃至第8のいずれか一の態様と同様の効果を当該検査装置において得ることができる。
An inspection apparatus according to a tenth aspect of the present invention is a prober comprising: the inspection unit according to any one of the first to eighth aspects; and a stage on which an object to be inspected that contacts the probe of the probe card is placed. And a tester electrically connected to the planar reference body, wherein the probe card of the inspection unit is attached to the prober.
According to this aspect, the same effect as in any one of the first to eighth aspects can be obtained in the inspection apparatus.
本発明の第10の態様において、前記プローブカードの前記プローバーへの取付け位置は、前記検査ユニットの高さ位置を規定する構造であるとよい。 In a tenth aspect of the present invention, the probe card may be attached to the prober at a position that defines a height position of the inspection unit.
本発明の第11の態様の検査装置の制御システムは、第10の態様に記載の複数の検査装置と、前記複数の検査装置を制御する制御部とを備え、前記制御部は、第1の態様乃至第8の態様のいずれか一の態様に記載の検査ユニットにおける前記第1の真空室の前記各真空室の真空度の設定値を有し、前記各検査装置において前記検査ユニットが取付けられた際、前記設定値に基づいて各真空室の真空度が設定されることを特徴とする。 An inspection apparatus control system according to an eleventh aspect of the present invention includes the plurality of inspection apparatuses according to the tenth aspect, and a control unit that controls the plurality of inspection apparatuses. The inspection unit according to any one of the eighth to eighth aspects has a set value of a vacuum degree of each vacuum chamber of the first vacuum chamber, and the inspection unit is attached to each inspection device. In this case, the degree of vacuum of each vacuum chamber is set based on the set value.
本態様によれば、複数の検査装置において、前記プローブカードの第1の真空室の複数の各真空室の真空度の設定値を共有することができることから、例えば、前記プローブカードを一の検査装置から他の検査装置に付け替えた際の真空度の設定作業の作業性を向上させることができる。 According to this aspect, the plurality of inspection devices can share the set value of the degree of vacuum of each of the plurality of vacuum chambers of the first vacuum chamber of the probe card. The workability of the work of setting the degree of vacuum when the apparatus is replaced with another inspection apparatus can be improved.
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施例において同一の構成については、同一の符号を付し、最初の実施例においてのみ説明し、以後の実施例においてはその構成の説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, about the same structure in each Example, the same code | symbol is attached | subjected and it demonstrates only in the first Example, The description of the structure is abbreviate | omitted in a subsequent Example.
<<<第1の実施例>>>
[検査ユニット及び検査装置]
図1を参照して、検査装置10の構成要素について説明する。検査装置10は、プローバー12と、テスター14と、被検査体搬送機構16とを備えている。プローバー12は、「ステージ」としての検査ステージ18と、チャックトップ20と、検査ユニット22とを備えている。
<<<< first embodiment >>
[Inspection unit and inspection equipment]
With reference to FIG. 1, the component of the test |
検査ステージ18は、Xステージ、Yステージ、Zステージ及びθステージを組み合わせて構成されている。検査ステージ18の上部には、チャックトップ20が設けられている。このため、チャックトップ20は、水平面状でX軸方向及びこれに直角なY軸方向と、前記水平面(XY面)に垂直な垂直方向すなわちZ軸方向に位置調整が可能であり、またZ軸まわりに回転姿勢(θ方向)が調整可能である。
The
さらにチャックトップ20の上部には載置面24が設けられ、被検査体26が載置される。尚、本実施例において被検査体26は、多数の集積回路が組み込まれた半導体ウエハである。
Further, a mounting
また、被検査体搬送機構16は、チャックトップ20の載置面24に被検査体26を搬入及び搬出することができるように構成されている。具体的には、チャックトップ20の載置面24が該載置面の上方に位置する後述する検査ユニット22と離間した状態すなわちZ軸方向に距離をおいた状態で、被検査体搬送機構16は、載置面24に被検査体26を搬入及び搬出する。
Further, the inspection
チャックトップ20の載置面24の上方には、検査ユニット22がカードホルダー28を介してプローバー12に取り付けられた状態で配置されている。さらに、検査ユニット22の上方には、該検査ユニットに電気的に接続されているテスター14が配置されている。テスター14は、Z軸方向に移動可能に構成されている。
Above the mounting
また、テスター14は、後述するポゴピンブロック34及び平面基準体36をプローブカード32に組み付ける際、ポゴピンブロック34及び平面基準体36がプローブカード32のプローバー12に取り付けられた姿勢に倣うようにポゴピンブロック34及び平面基準体36をプローブカード32に対して揺動可能に支持している。
Further, when the
検査装置10は、検査ユニット22に対してチャックトップ20を接近させ、載置面24に載置された被検査体26の電極に対応する検査ユニット22の後述するプローブ30を接触させた状態で被検査体26に通電させて検査を行う。
In the
次いで、図2及び図3を参照して検査ユニット22の構成について詳説する。検査ユニット22は、プローブカード32と、「接続体」としてのポゴピンブロック34と、平面基準体36とを備えている。
Next, the configuration of the
プローブカード32は、本実施例では、円盤状(円形)に形成され、図示しないがセラミックス基板と配線基板とを備える多層基板として構成されている。プローブカード32は、チャックトップ20の載置面24と対向する面(一方の面)に複数のプローブ30を備えている。また、プローブカード32は、ポゴピンブロック34と対向する面(他方の面)においてプローブカード32から+Z方向に突出する、「第1の基準体」としての複数のアンカー部38を備えている。アンカー部38は、円柱形状に形成されている。
In the present embodiment, the
また、図示しないが、プローブカード32内には、複数の配線路を有している。前記配線路の一端は各プローブ30に接続され、他端はポゴピンブロック34と対向する面(他方の面)にXY平面におけるポゴピンブロック34のポゴピン40の配列に対応するように配置された接続ランド42(図4参照)に接続されている。
Although not shown, the
さらに、プローブカード32の外周部には、プローブカードの高さ及び平面度基準部44が設けられている。プローブカードの高さ及び平面度基準部44は、カードホルダー28と係合している。プローブカードの高さ及び平面度基準部44は、プローブカード32がプローバー12に取り付けられた際、プローブカード32のチャックトップ20に対する高さ位置を規定している。
Further, a probe card height and
図5(A)を参照して、ポゴピンブロック34の構成について詳説する。ポゴピンブロック34は、プローブカード32のプローブ30とプリント配線基板58の各電極(図示せず)とを電気的に接続するための部材である。ポゴピンブロック34は、複数のポゴピン40を支持している。ポゴピンブロック34は、肉厚の円盤状に形成されている。ポゴピンブロック34は、複数のポゴピン挿入孔46を備えている。また、ポゴピンブロック34は、その中心部分にポゴピンブロック34の上下方向(図5(B)においてZ軸方向)に貫通する貫通孔47を備えている。
With reference to FIG. 5A, the configuration of the
各ポゴピン挿入孔46は、ポゴピンブロック34の上下方向に貫通して設けられている。ポゴピン40は、ポゴピン挿入孔46に装着されることで、その上下端がポゴピンブロック34の上下に突出するように構成されている。
Each pogo
ポゴピン挿入孔46は、ポゴピンブロック34において、図5(A)に示すようにXY平面において複数の領域34aを形成するように配置されている。ポゴピンブロック34には、各領域34aを取り囲むようにシール部材50が設けられている。尚、複数の領域34aは、ポゴピンブロック34において、周方向に均等になるように配置されている。また、ポゴピンブロック34の上面及び下面において貫通孔47を取り囲むように環状のシール部材51が設けられている。
The pogo
また、本実施例では、複数の領域34aは、Z軸方向におけるポゴピンブロック34の上面及び下面にそれぞれ形成されている。ポゴピンブロック34の上面に形成された複数の領域34aは、前記下面に形成された複数の領域34aとそれぞれ対応している。すなわち、ポゴピンブロック34の上面及び下面には、複数の領域34aが面対称に配置されている。
In the present embodiment, the plurality of
さらに、ポゴピンブロック34の上面に形成された各領域34aと、該上面に形成された各領域34aに対応する前記下面に形成された各領域34aとは、連通孔52により連通されている。
Further, each
さらに、ポゴピンブロック34は、該ポゴピンブロック34の上下方向に貫通して設けられた複数の貫通孔54を備えている。貫通孔54は、ポゴピンブロック34においてプローブカード32のアンカー部38が設けられた位置に対応する位置にそれぞれ配置されている。貫通孔54は、上面側に小径部54aと、下面側に大径部54bとを備えている。小径部54aの直径はアンカー部38の直径より小さく設定され、大径部54bの直径はアンカー部38の直径より大きく設定されている。
Further, the
図2、図3及び図5(B)を参照して平面基準体36の構成について詳説する。平面基準体36は、円盤状に形成され、金属部材から構成されている。平面基準体36は、図2及び図3においてZ軸方向における上面にテスター14のテスタダンパー56が接続され、テスター14に対して揺動可能に支持されている。
The configuration of the
また、平面基準体36の下面は、平面36aとして形成されている。平面基準体36の平面36aは、所定の平面度(例えば30μm)以下となるように形成されている。さらに、平面基準体36の下面にはプリント配線基板58を備えている。プリント配線基板58の下面には、ポゴピンブロック34の各ポゴピン40の位置にそれぞれ対応する図示しない電極が設けられている。
Further, the lower surface of the
また、平面基準体36の上面には、複数の電極(図示せず)が設けられ、テスター14と接続ケーブル60を介して電気的に接続されている。平面基準体36及びプリント配線基板58内には、図示しない配線路が設けられている。前記配線路の一端は、プリント配線基板58下面の前記電極にそれぞれ接続され、他端は平面基準体36の上面の電極にそれぞれ接続されている。
In addition, a plurality of electrodes (not shown) are provided on the upper surface of the
さらに平面基準体36の下面には、該下面からプリント配線基板58を貫通して下方に延びる、「第2の基準体」としての複数のアンカー受け62が設けられている。アンカー受け62は、XY平面においてプローブカード32のアンカー部38が配置されている位置に対応して平面基準体36の下面に配置されている。アンカー受け62は、平面基準体36の下面から延びる柱状部62aと、該柱状部62aの先端に設けられたアンカー当接部62bとを備えている。柱状部62a及びアンカー当接部62bは円柱状に形成されている。
Furthermore, a plurality of
柱状部62a及びアンカー当接部62bは、ポゴピンブロック34の貫通孔54の小径部54a及び大径部54bにそれぞれ嵌合されている。尚、アンカー当接部62bの直径は、貫通孔54の小径部54aの直径より大きく設定されている。このため、ポゴピンブロック34が平面基準体36から離れる方向に変位する際、小径部54aとアンカー当接部62bとが接触し、ポゴピンブロック34の変位を妨げる。
The
すなわち、平面基準体36にポゴピンブロック34が取り付けられた状態(図3参照)において、ポゴピンブロック34は、平面基準体36に対して所定の範囲内で接離方向に変位可能である。さらに柱状部62aが貫通孔54の小径部54aと嵌合することにより、ポゴピンブロック34と平面基準体36とのXY平面における位置が規定される。
That is, in a state where the
また、平面基準体36は、ポゴピンブロック34の上面側に設けられた複数の領域34aにそれぞれ対応する位置に「真空度を調整する手段」としての複数の圧力調整手段64を備えている。圧力調整手段64は、領域34aに形成される後述する真空室66の圧力を検出する圧力センサー65と、該圧力センサーの検出値に基づいて真空室66の真空度を調整する真空レギュレータ67を備えている。
Further, the
次いで、再度図2、図3及び図5(B)を参照して、検査ユニット22において、プローブカード32、ポゴピンブロック34及び平面基準体36を一体化する際の手順について説明する。
Next, referring to FIGS. 2, 3, and 5 (B) again, a procedure for integrating the
図3における状態において、プローブカード32が、カードホルダー28を介してプローバー12に取り付けられている。ポゴピンブロック34及び平面基準体36は、テスター14にテスタダンパー56を介して支持されている。このとき、ポゴピンブロック34は、重力により小径部54aとアンカー当接部62bとが接触した状態となり、平面基準体36から吊り下げられた状態となっている。
In the state shown in FIG. 3, the
尚、この時点でポゴピンブロック34の上面側に形成された複数の領域34aをそれぞれ取り囲むシール部材50はプリント配線基板58ひいては平面基準体36と接触している。このため、ポゴピンブロック34と平面基準体36との間には、複数の領域34aに対応する位置においてシール部材50に取り囲まれた空間68が形成されている。尚、この際ポゴピンブロック34の上面側のシール部材51はプリント配線基板58に接触している。
At this time, the
次いで、テスター14に支持されたポゴピンブロック34及び平面基準体36をプローブカード32に接近させる。このとき、圧力調整手段64を作動させて、空間68内の空気の排気を開始する。そしてポゴピンブロック34及び平面基準体36をテスター14により下方に移動させると、ポゴピンブロック34の下面側に形成された複数の領域34aをそれぞれ取り囲むシール部材50が、プローブカード32と接触する。
Next, the
これにより、プローブカード32とポゴピンブロック34との間には、ポゴピンブロック34の下面側に形成された複数の領域34aに対応する位置においてシール部材50に取り囲まれた空間70が形成される。また、この際ポゴピンブロック34の下面側のシール部材51とプローブカード32とが接触し、貫通孔47においてシール部材51に取り囲まれた空間71が形成される。
Thus, a space 70 surrounded by the
各圧力調整手段64により空間68及び該空間68に連通する空間70の空気を排気しつつ、プローブカード32のアンカー部38と平面基準体36のアンカー受け62のアンカー当接部62bとが接触するまでポゴピンブロック34及び平面基準体36をテスター14により下方に移動させる。また、空間71についても図示しない圧力調整手段により空間71の空気が排気される。
While the air in the space 68 and the space 70 communicating with the space 68 is exhausted by each pressure adjusting means 64, the
アンカー部38のいずれか一つと、当該アンカー部38と対応するアンカー当接部62bとが接触すると、図示しない信号検出手段によりアンカー部38とアンカー当接部62bとが接触したことが検出される。この検出により、圧力センサー65がアンカー当接部62bと接触したアンカー部38に隣接する空間(真空室)68及び空間(真空室)70の真空度(負圧)を測定する。
When any one of the
これにより、アンカー当接部62bと接触したアンカー部38に隣接する空間68及び空間70の空気を排気していた圧力調整手段64の真空レギュレータ67は、空間68及び空間70の真空度(負圧)を測定された真空度(負圧)に維持する。また、この検出により空間71に対応する圧力調整手段は、検出時における空間71の真空度(負圧)を維持する。尚、空間71の真空度(負圧)は、プローブカード32の平面度に影響が出ないように、上記検出により真空度(負圧)が維持された空間68及び空間70の真空度(負圧)と同じ真空度(負圧)或いは当該空間68及び空間70の真空度(負圧)より低く設定されている。
As a result, the vacuum regulator 67 of the pressure adjusting means 64 that has exhausted the air in the space 68 and the space 70 adjacent to the
各アンカー部38が対応するアンカー当接部62bと順次接触することにより、圧力センサー65がアンカー当接部62bと接触したアンカー部38に隣接する空間(真空室)68及び空間(真空室)70の真空度(負圧)を順次測定する。真空レギュレータ67は、対応する空間(真空室)68及び空間(真空室)70の真空度(負圧)を測定された真空度(負圧)に維持する。全てのアンカー部38とアンカー当接部62bとが接触することにより、テスター14の下方への変位が停止する。
As each
尚、アンカー部38とアンカー当接部62bとが接触した状態において、貫通孔54の大径部54bはアンカー部38を受け入れ、プローブカード32とポゴピンブロック34とのXY平面における位置を規定する。
In the state where the
また、本実施例において図示しない信号検出手段は、アンカー部38とアンカー当接部62bにそれぞれ配線路を形成し、アンカー部38とアンカー当接部62bとが接触するとこれらの配線路が電気的に接続されて通電することにより信号を検出するように構成されている
Further, in the present embodiment, the signal detection means (not shown) forms wiring paths in the
この状態において、空間68及び空間70の空気は排気された状態となり、真空状態(減圧状態)となっている。尚、圧力調整手段64は、各空間70における排気を停止した際の真空度を圧力センサー65で検出している。また、アンカー部38とアンカー当接部62bとが接触することにより、プローブカード32と平面基準体36との相対位置が規定される。
In this state, the air in the space 68 and the space 70 is exhausted and is in a vacuum state (depressurized state). The pressure adjusting means 64 detects the degree of vacuum when the exhaust in each space 70 is stopped by the pressure sensor 65. Further, the relative position between the
その結果、プローブカード32とポゴピンブロック34との間において、複数の空間70は真空状態となる。これにより、複数の真空状態の空間70は第1の真空室72の各真空室を構成する。同様に、ポゴピンブロック34と平面基準体36との間において、複数の空間68は真空状態となる。これにより、複数の真空状態の空間68は第2の真空室74の各真空室を構成する。また、プローブカード32とポゴピンブロック34とは第1の真空室72を介して一体化され、ポゴピンブロック34と平面基準体36とは第2の真空室74を介して一体化される。
As a result, the plurality of spaces 70 are in a vacuum state between the
また、第1の真空室72は複数の空間70すなわち複数の真空室で構成されている。これにより、第1の真空室72において、圧力調整手段64により各真空室毎に真空度(負圧)を設定することができる。このため、必要以上に真空室の真空度(負圧)を高めることがなくなる。尚、同様に第2の真空室74も複数の空間68すなわち複数の真空室で構成されている。 The first vacuum chamber 72 includes a plurality of spaces 70, that is, a plurality of vacuum chambers. Thereby, in the first vacuum chamber 72, the degree of vacuum (negative pressure) can be set for each vacuum chamber by the pressure adjusting means 64. For this reason, the vacuum degree (negative pressure) of the vacuum chamber is not increased more than necessary. Similarly, the second vacuum chamber 74 includes a plurality of spaces 68, that is, a plurality of vacuum chambers.
その結果、図6に示すように、前記信号検出手段によりアンカー部38とアンカー当接部62bとが接触したことが検出されると、接触したアンカー部38に隣接する第1の真空室72の真空室72a、72b、72cの真空度(負圧)がアンカー部38とアンカー当接部62bとが接触したときの真空度(負圧)に維持される。このため、当該真空室の真空度(負圧)が過剰に高まることがないことから、プローブカード32の当該真空室に対応する部分がポゴピンブロック34側に撓む(変形する)ことを抑制することができる。
As a result, as shown in FIG. 6, when the signal detection means detects that the
これにより、プローブカード32の当該真空室に対応する部分の平面基準体36に対する相対位置が規定される。このため、プローブカード32の当該真空室に対応する部分は、平面基準体36の作る平面に倣うこととなる。
Thereby, the relative position with respect to the
したがって、プローブカード32の平面度は、平面基準体36の平面36aに倣う。その結果、プローブカード32が備えるプローブ30の先端が形成するXY平面における平面度も平面基準体36の平面36aに倣うこととなり、所定の平面度(例えば30μm)以下とすることができる。
Accordingly, the flatness of the
また、プローブカード32は、第1の真空室72の各真空室の真空度(負圧)及び空間71をそれぞれ圧力調整手段64及び図示しない圧力調整手段を用いて大気圧に戻すことによりポゴピンブロック34から容易に取り外すことができる。すなわち、プローブカード32は、ポゴピンブロック34と分離可能に構成されている。
The
[制御システム]
次いで、図7を参照して、複数の検査装置10a、10b、10c、10dを制御する制御システム76について詳説する。制御システム76は、複数の検査装置10a、10b、10c、10dに電気的に接続された制御部78を備えている。
[Control system]
Next, a
制御部78は、検査装置10a、10b、10c、10dにプローブカード32が取り付けられる際、プローブカード32の第1の真空室72の各真空室の真空度(負圧)を制御する。さらに、制御部78は、プローブカード32の製造工程において設定された各真空室毎の真空度の設定値になるように前記各真空室の真空度(負圧)を制御する。
The
尚、各真空室毎の真空度の設定値は、プローブカード32の製造工程において決定される値である。具体的には、プローブカード32の製造工程において、検査装置10の測定環境と同様の環境を実現することのできる治具を用いて、アンカー部38とアンカー当接部62bとが接触した際に圧力調整手段64の圧力センサー65により検出した各真空室の真空度を各真空室の真空度の設定値とする。前記真空度の設定値は、プローブカード32の平面度が所定の平面度(例えば30μm)以下となるような範囲に設定されている。
The set value of the degree of vacuum for each vacuum chamber is a value determined in the manufacturing process of the
さらに、プローブカード32の製造工程で決定された第1の真空室72の各真空室の真空度の設定値は、プローブカード32とともに前記プローブカードを使用するユーザーに紙媒体や電子媒体、あるいは電気通信手段等を用いて提供される。
Further, the set value of the degree of vacuum in each vacuum chamber of the first vacuum chamber 72 determined in the manufacturing process of the
また、制御部78は、図示しない記憶装置(例えば、ハードディスクドライブや内蔵メモリー等)を備え、当該記憶装置にプローブカード32の各真空室の真空度の設定値を記憶させておくことができる。
The
これにより、制御部78は、検査装置10a、10b、10c、10dのいずれか1つに取り付けられているプローブカード32を他の検査装置10a、10b、10c、10dに取り付ける際、前記記憶装置に記憶された新たに取り付けるプローブカード32の第1の真空室72の各真空室の真空度の設定値を新たにプローブカード32を取り付ける検査装置10a、10b、10c、10dに送信し、当該検査装置10a、10b、10c、10dにプローブカード32の第1の真空室72の各真空室の真空度(負圧)を制御させる。
Thereby, when attaching the
このため、いずれの検査装置10a、10b、10c、10dにおいてもプローブカード32の測定環境を容易に再現することが可能となる。
Therefore, the measurement environment of the
<<<第1の実施例の変更例>>>
(1)本実施例における第1の真空室72の各真空室と第2の真空室74の各真空室とを面対称に配置する構成に代えて、非対称とする配置に代えてもよい。
<<< Modification of the first embodiment >>>
(1) Instead of the configuration in which the vacuum chambers of the first vacuum chamber 72 and the vacuum chambers of the second vacuum chamber 74 are arranged in plane symmetry in this embodiment, an asymmetric arrangement may be used.
(2)本実施例において、プローブカード32、ポゴピンブロック34及び平面基準体36の相対位置を規定するアンカー部38及びアンカー受け62に代えて、プローブカード32及びポゴピンブロック34の間に位置するシール部材50と、ポゴピンブロック34及び平面基準体36の間に位置するシール部材50とをそれぞれの相対位置を規定する部材としてもよい。
具体的にはシール部材50がZ軸方向において一定以上変形しないように構成し、第1の真空室72の各真空室及び第2の真空室74の各真空室の真空度が設定値になった際、プローブカード32、ポゴピンブロック34及び平面基準体36の相対位置が規定される構成としてもよい。
(2) In this embodiment, a seal positioned between the
Specifically, the
(3)検査装置10において、プローブカード32の各真空室毎の真空度の設定値を記憶し、プローブカード32の各真空室の真空度(負圧)を制御する構成としてもよい。
(4)本実施例では、プローブカード32にポゴピンブロック34及び平面基準体36を組み付ける構成としているが、テスター14に平面基準体36を取り付けて基準面とし、平面基準体36にプローブカード32及びポゴピンブロック34を組み付ける構成としてもよい。
(3) The
(4) In the present embodiment, the
(5)本実施例では、プローブカード32のアンカー部38は円柱形状に形成されているが、この構成に代えて矩形のブロック形状でもよく、ポゴピンブロック34を円筒状に形成してその内径部及び外径部に周方向に間隔をおいて切欠部を設け、該切欠部に嵌合する部材として構成してもよい。
(6)上記実施例では、接続体がポゴピンブロックである場合を説明したが、平面基準体とすることも可能である。例えば、ポゴピンブロックが特許文献1の図1に記載されているように小型である場合、或いは複数の小ブロックで構成されている場合などに適用できる。
(5) In this embodiment, the
(6) In the above-described embodiment, the case where the connection body is a pogo pin block has been described. However, a planar reference body may be used. For example, the present invention can be applied to a case where the pogo pin block is small as described in FIG. 1 of Patent Document 1 or a plurality of small blocks.
<<<第2の実施例>>>
図8を参照して、第2の実施例に係る検査ユニット22について説明する。第2の実施例に係る検査ユニット22は、第1の真空室72の各真空室と第2の真空室74の各真空室とが連通されていない点で第1の実施例と異なる。
<<< second embodiment >>>
The
ポゴピンブロック80は上面及び下面において、周方向に均等に配置され、周囲をシール部材50により取り囲まれた複数の領域80aを備えている。ポゴピンブロック80の下面に形成された複数の領域80aは、プローブカード32とポゴピンブロック80とが一体化した際、第1の真空室72の複数の各真空室を構成する。また、ポゴピンブロック80の上面に形成された複数の領域80aは、プローブカード32とポゴピンブロック80とが一体化した際、第2の真空室74の複数の各真空室を構成する。
The
また、圧力調整手段64は、図示は省略するが、第1の真空室72の各真空室及び第2の真空室74の各真空室のそれぞれに対応して複数設けられている。また、ポゴピンブロック80は、その中心部分にZ軸方向に沿って延びる貫通孔81を備えている。さらに、ポゴピンブロック80の上面及び下面において貫通孔81を取り囲むように環状のシール部材82が設けられている。これにより、プローブカード32とポゴピンブロック80とが一体化した際、貫通孔81においてシール部材82に取り囲まれた空間83が形成される。空間83は、図示しない圧力調整手段により、真空状態とされる。空間83の真空度(負圧)は、第1の真空室72の複数の各真空室における最も低い真空度(負圧)と同じ、或いは当該真空度(負圧)より低く設定されている。
Although not shown, a plurality of pressure adjusting means 64 are provided corresponding to each vacuum chamber of the first vacuum chamber 72 and each vacuum chamber of the second vacuum chamber 74. Further, the
<<<第3の実施例>>>
図9を参照して、第3の実施例に係る検査ユニット22について説明する。第3の実施例に係る検査ユニット22は、第2の真空室74が1つの真空室で構成され、さらに第1の真空室72の各真空室と第2の真空室74とが連通されていない点で第1の実施例と異なる。
<<< Third embodiment >>>
With reference to FIG. 9, the
ポゴピンブロック84の下面における構成は第1の実施例と同じである。このため、ポゴピンブロック84に配置される複数のポゴピン40は下面側に形成された複数の領域に対応する配置となっている。ポゴピンブロック84の上面には、内周側に配置された環状のシール部材85と、外周側に配置された環状のシール部材86とが設けられている。シール部材85とシール部材86との間の領域84aには、前記複数の領域に対応して配置された複数のポゴピン40が配置されている。
The configuration of the lower surface of the
シール部材85とシール部材86との間の領域84aは、ポゴピンブロック84とプローブカード32とが一体化した際、第2の真空室74を構成する。本実施例では、第2の真空室は1つの真空室として構成されている。また、圧力調整手段64は、図示を省略するが、第1の真空室72の各真空室及び第2の真空室74の1つの真空室のそれぞれに対応して複数設けられている。
A region 84a between the sealing
また、ポゴピンブロック84は、その中心部分にZ軸方向に沿って延びる貫通孔87を備えている。さらに、ポゴピンブロック84の上面及び下面において貫通孔87を取り囲むように環状のシール部材88が設けられている。これにより、プローブカード32とポゴピンブロック84とが一体化した際、貫通孔87においてシール部材88に取り囲まれた空間89が形成される。空間89は、図示しない圧力調整手段により、真空状態とされる。空間89の真空度(負圧)は、第1の真空室72の複数の各真空室における最も低い真空度(負圧)と同じ、或いは当該真空度(負圧)より低く設定されている。
In addition, the
上記説明をまとめると本実施例の検査ユニット22は、一方の面にプローブ30を有するプローブカード32と、該プローブカード32の他方の面に第1の真空室72を介して一体化されたポゴピンブロック34、80、84とを備え、第1の真空室72は複数室で構成されている。
In summary, the
第1の真空室72は、各真空室毎に真空度(負圧)を制御可能に構成されている。検査ユニット22、前記第1の真空室72の各真空室に設けられた圧力センサー65と、前記圧力センサー65により検出された検出値を用いて、各真空室の真空度を各真空室に設定された真空度になるように調整する真空レギュレータ67とを備えている。
The first vacuum chamber 72 is configured to be able to control the degree of vacuum (negative pressure) for each vacuum chamber. Using the pressure sensor 65 provided in each vacuum chamber of the
検査ユニット22は、ポゴピンブロック34、80、84に対してプローブカード32と反対側に位置し、ポゴピンブロック34、80、84と対向する面は平面である平面基準体36を備えている。プローブカード32は、前記他方の面に平面基準体36に向けて突出する複数の第1の基準体としてのアンカー部38を備えている。平面基準体36は、前記平面36aからプローブカード32に向けて突出する複数の第2の基準体としてのアンカー受け62を備えている。アンカー部38とアンカー受け62とが接触してプローブカード32と平面基準体36との相対位置が規定される。
The
ポゴピンブロック34、80、84と平面基準体36とは第2の真空室74を介して一体化されている。第2の真空室74は複数室で構成されている。第1の真空室72と第2の真空室74とは連通している。プローブカード32とポゴピンブロック34、80、84とは分離可能に構成されている。
The pogo pin blocks 34, 80, 84 and the
プローブカード32は、一方の面にはプローブ30を有している。プローブカード32の他方の面は個々の真空度に設定された複数の真空室72を介してポゴピンブロック34、80、84と一体化される。プローブカード32は、当該プローブカードの製造工程において決定された前記各真空室72に対応する真空度の設定値を有する。
The
検査装置10は、検査ユニット22と、プローブカード32のプローブ30と接触する被検査体26を載置するステージ18を備えるプローバー12と、前記平面基準体36と電気的に接続されるテスター14とを備えている。検査ユニット22のプローブカード32はプローバー12に取り付けられている。
The
制御システム76は、複数の検査装置10a、10b、10c、10dと、当該複数の検査装置を制御する制御部78とを備えている。制御部78は、検査ユニット22における第1の真空室72の各真空室の真空度の設定値を有し、各検査装置10a、10b、10c、10dにおいて検査ユニット22が取付けられた際、前記設定値に基づいて各真空室の真空度(負圧)が設定される。
The
尚、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれるものであることは言うまでもない。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the invention described in the claims, and these are also included in the scope of the present invention. Needless to say.
10,10a,10b,10c,10d 検査装置、12 プローバー、14 テスター、
16 被検査体搬送機構、18 検査ステージ、20 チャックトップ、
22 検査ユニット、24 載置面、26 被検査体、28 カードホルダー、
30 プローブ、32,92 プローブカード、34,80,84 ポゴピンブロック、34a,80a,84a 領域、36 平面基準体、36a 平面、38 アンカー部、40 ポゴピン、42 接続ランド、44 プローブカードの高さ及び平面度基準部、
46 ポゴピン挿入孔、50,51,82,85,86,88,96 シール部材、
52 連通孔、47,54,81,87 貫通孔、54a 小径部、54b 大径部、
56 テスタダンパー、58 プリント配線基板、60 接続ケーブル、
62 アンカー受け、62a 柱状部、62b アンカー当接部、64 圧力調整手段、65 圧力センサー、66 真空室、67 真空レギュレータ、
68,70,71,83,89,98 空間、72 第1の真空室、
72a,72b,72c 第1の真空室の各真空室、74 第2の真空室、
76 制御システム、78 制御部、90,90a,90b,90c,90d アンカー、94 基準体、Z1,Z2 アンカーの突出長さ
10, 10a, 10b, 10c, 10d Inspection device, 12 prober, 14 tester,
16 inspection object transport mechanism, 18 inspection stage, 20 chuck top,
22 inspection units, 24 mounting surfaces, 26 inspected objects, 28 card holders,
30 probe, 32, 92 probe card, 34, 80, 84 pogo pin block, 34a, 80a, 84a region, 36 plane reference body, 36a plane, 38 anchor portion, 40 pogo pin, 42 connection land, 44 probe card height and Flatness reference part,
46 Pogo pin insertion hole, 50, 51, 82, 85, 86, 88, 96 seal member,
52 communication hole, 47, 54, 81, 87 through hole, 54a small diameter part, 54b large diameter part,
56 tester damper, 58 printed wiring board, 60 connection cable,
62 Anchor receiver, 62a Columnar part, 62b Anchor contact part, 64 Pressure adjusting means, 65 Pressure sensor, 66 Vacuum chamber, 67 Vacuum regulator,
68, 70, 71, 83, 89, 98 space, 72 first vacuum chamber,
72a, 72b, 72c Each vacuum chamber of the first vacuum chamber, 74 Second vacuum chamber,
76 Control system, 78 Control unit, 90, 90a, 90b, 90c, 90d Anchor, 94 Reference body, Projection length of Z1, Z2 anchor
Claims (10)
前記プローブカードの他方の面に第1の真空室を介して一体化された接続体と、
を備え、
前記第1の真空室は複数室で構成され、
前記第1の真空室の複数の各真空室は、当該真空室内を外部と区画するシール部材をそれぞれ独立して備えており、
前記第1の真空室は、各真空室毎に真空度を制御可能に構成されている、
ことを特徴とする検査ユニット。 A probe card having a probe on one side;
A connection body integrated with the other surface of the probe card via a first vacuum chamber;
With
The first vacuum chamber is composed of a plurality of chambers ,
Each of the plurality of vacuum chambers of the first vacuum chamber is independently provided with a seal member that divides the vacuum chamber from the outside,
The first vacuum chamber is configured to be able to control the degree of vacuum for each vacuum chamber.
Inspection unit characterized by that.
前記圧力センサーにより検出された検出値を用いて、各真空室の真空度を各真空室に設定された真空度になるように調整する手段と、
を備える、
ことを特徴とする検査ユニット。 The inspection unit according to claim 1 , wherein a pressure sensor provided in each vacuum chamber of the first vacuum chamber;
Means for adjusting the vacuum degree of each vacuum chamber to a vacuum degree set in each vacuum chamber, using the detection value detected by the pressure sensor;
Comprising
Inspection unit characterized by that.
前記プローブカードの他方の面に第1の真空室を介して一体化された接続体と、
を備え、
前記第1の真空室は複数室で構成され、
前記接続体に対して前記プローブカードと反対側に位置し、前記接続体と対向する面は平面である平面基準体を備え、
前記プローブカードは、前記他方の面に前記平面基準体に向けて突出する複数の第1の基準体を備え、
前記平面基準体は前記平面から前記プローブカードに向けて突出する複数の第2の基準体を備え、
前記第1の基準体と前記第2の基準体とが接触して前記プローブカードと前記平面基準体との相対位置が規定される、
ことを特徴とする検査ユニット。 A probe card having a probe on one side;
A connection body integrated with the other surface of the probe card via a first vacuum chamber;
With
The first vacuum chamber is composed of a plurality of chambers,
A plane reference body that is located on the opposite side of the probe card with respect to the connection body and that faces the connection body is a plane,
The probe card includes a plurality of first reference bodies projecting toward the planar reference body on the other surface,
The plane reference body includes a plurality of second reference bodies protruding from the plane toward the probe card,
The first reference body and the second reference body are in contact with each other to define a relative position between the probe card and the planar reference body;
Inspection unit characterized by that.
ことを特徴とする検査ユニット。 The inspection unit according to claim 3 , wherein the connection body and the planar reference body are integrated via a second vacuum chamber.
Inspection unit characterized by that.
ことを特徴とする検査ユニット。 The inspection unit according to claim 4 , wherein the second vacuum chamber is composed of a plurality of chambers.
Inspection unit characterized by that.
ことを特徴とする検査ユニット。 The inspection unit according to claim 5 , wherein the first vacuum chamber and the second vacuum chamber communicate with each other.
Inspection unit characterized by that.
ことを特徴とする検査ユニット。 The inspection unit according to any one of claims 1 to 6 , wherein the probe card and the connection body are configured to be separable.
Inspection unit characterized by that.
前記複数の各真空室は、当該真空室内を外部と区画するシール部材をそれぞれ独立して備えており、
前記各真空室は、各真空室毎に真空度を制御可能に構成されており、
前記プローブカードは、当該プローブカードの製造工程において決定された前記各真空室に対応する真空度の設定値を有する、
ことを特徴とするプローブカード。 One surface has a probe, and the other surface is a probe card that is integrated with a connecting body through a plurality of vacuum chambers set to individual vacuum degrees,
Each of the plurality of vacuum chambers independently includes a seal member that divides the vacuum chamber from the outside,
Each vacuum chamber is configured to be able to control the degree of vacuum for each vacuum chamber,
The probe card has a set value of the degree of vacuum corresponding to each vacuum chamber determined in the probe card manufacturing process,
A probe card characterized by that.
前記プローブカードの前記プローブと接触する被検査体を載置するステージを備えるプローバーと、
前記接続体に対して前記プローブカードと反対側に位置し、前記接続体と対向する面は平面である平面基準体と電気的に接続されるテスターと、
を備え、
前記検査ユニットの前記プローブカードは前記プローバーに取り付けられている、
ことを特徴とする検査装置。 The inspection unit according to any one of claims 1 to 7 ,
A prober provided with a stage for placing an object to be inspected in contact with the probe of the probe card;
A tester that is located on the opposite side of the probe card with respect to the connection body, and that is electrically connected to a plane reference body having a flat surface facing the connection body ,
With
The probe card of the inspection unit is attached to the prober;
Inspection apparatus characterized by that.
前記複数の検査装置を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の検査ユニットにおける前記第1の真空室の前記各真空室の真空度の設定値を有し、前記各検査装置において前記検査ユニットが取付けられた際、前記設定値に基づいて各真空室の真空度が設定される、
ことを特徴とする検査装置の制御システム。」 A plurality of inspection devices according to claim 9 ;
A control unit for controlling the plurality of inspection devices;
With
The said control part has a set value of the vacuum degree of each said vacuum chamber of the said 1st vacuum chamber in the test | inspection unit of any one of Claim 1 thru | or 7 , The said test | inspection unit in each said test | inspection apparatus Is set, the vacuum degree of each vacuum chamber is set based on the set value,
A control system for an inspection apparatus. "
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