次に、本発明の搬送製膜装置の実施の形態について説明する。ここで、図1は、本実施形態における搬送製膜装置全体を示す概略図であり、図2、図5は、製膜処理部の主要構成を示す図である。なお、本実施形態では、太陽電池モジュールの製膜形成に適用した例として説明する。
図1、図2に示すように、搬送製膜装置は、送出リール部10と、巻取リール部20と、製膜処理部30とを有しており、送出リール部10に巻回された基材2が製膜処理部30を通過することにより基材2上に太陽電池セル4を形成する表面処理が行われ(製膜処理が行われ)、巻取リール部20に巻き取られることにより、ロール状の太陽電池セル母材4’が形成される。すなわち、送出リール部10から巻取リール部20に基材2が連続的に搬送される、いわゆるロール トゥ ロールにより、基材2上に太陽電池に必要な薄膜が積層されて太陽電池セル母材4’が形成される。この太陽電池セル母材4’は、後工程である切断工程により、図8(b)に示す短冊状の太陽電池セル4が形成され、さらに接合工程を経ることにより、太陽電池セル4同士が短手方向に配列して接合された太陽電池モジュール1が形成される(図8(a))。
なお、本実施形態では、送出リール部10側を上流側とし、基材2が処理される後工程側、すなわち、巻取リール部20側を下流側として説明を進めることにする。
送出リール部10は、基材2を下流側に供給するためのものである。送出リール部10は、基材2を巻き付ける送出ロール11を有しており、この送出ロール11を駆動制御することにより基材2を送り出すことができるようになっている。すなわち、図示しない制御装置により送出ロール11の回転が制御されることにより、基材2の送出量を増加及び減少させることができる。具体的には、基材2が下流側から引張力を受けた状態で送出ロール11を回転させることにより基材2が下流側に送り出され、適宜、送出ロール11にブレーキをかけることにより基材2が撓むことなく一定速度で送り出されるようになっている。
ここで、基材2は、薄板の長尺体であり、厚み0.01mm〜0.2mm 幅5mm〜50mmの平板形状を有する長尺体が適用される。また、材質として、特に限定しないが、ステンレス、銅等が好適に用いられる。
巻取リール部20は、供給された基材2を巻き取るものである。巻取リール部20は、送出リール部10と同様に、巻取ロール21を有しており、この巻取ロール21を駆動制御することにより基材2を巻き取ることができるようになっている。すなわち、図示しない制御装置により巻取ロール21の回転が制御されることにより、基材2の巻取量を増加及び減少させることができる。具体的には、巻取ロール21の回転が調節されることにより、送り出された基材2が撓むのを抑えつつ、逆に基材2が必要以上の張力がかからないように巻き取られるようになっている。そして、本実施形態では、送出リール部10を出た基材2が一定速度で搬送され、巻取リール部20に巻き取られるように駆動制御されている。なお、これら送出リール部10と巻取リール部20は、真空環境を形成するチャンバー(破線で示す)内に配置されている。
製膜処理部30は、基材2上に太陽電池に必要な薄膜を形成する(製膜する)ためのものであり、本実施形態では、複数の製膜処理部30が設けられている。本実施形態では、複数の製膜処理部30が、送出リール部10と巻取リール部20との間に直線状に配置されており、送出リール部10から送り出された基材2が各製膜処理部30を走行して通過することにより基材2上に順次薄膜が形成される。すなわち、基材2側から下部電極層3a、光電変換層3b、上部電極層3c等の薄膜がこの順に製膜され、太陽電池セル母材4’が形成されるようになっている(図8(b)参照)。
ここで、本実施形態における製膜処理部30には、図2に示す薄膜を形成する製膜処理部30aと、薄膜が形成されない非製膜領域を形成するための図5に示すマスク機構Mを有する製膜処理部30bとが設けられている。すなわち、基材2上に下部電極層3a、光電変換層3b、を製膜処理部30aを通過させることにより形成した後、同様にして上部電極層3cを形成すると、薄膜を形成する原料ガスが基材2の側面に回り込み、基材2の側面に薄膜が形成されることにより、下部導電膜3aと上部導電膜3cとが短絡することになる。これを防止するため、上部電極層3cの形成は、マスク機構Mを有する製膜処理部30bを通過させて行われる。すなわち、マスク機構Mにより、基材2の幅方向両端部にマスクが行われ、この状態で上部電極層3cが形成される。ここで、図7は、マスク機構Mにより上部導電膜3cの一部が形成されない非製膜領域Sを形成した成膜処理後の基材2を示す説明図である。なお、以下の説明では、製膜処理部30において、マスク機構Mのない製膜処理部30aとマスク機構Mを有する製膜処理部30bとを区別なく指す場合は、単に製膜処理部30と呼ぶこととする。
製膜処理部30は、CVD、スパッタ、又は蒸着装置等で構成されており、図2、図5に示すように、チャンバー31と、このチャンバー31に収容されるネルソンロール5と材料供給部6とを有している。チャンバー31は、その内部を真空環境に保つものである。そして、真空環境に保たれたチャンバー31内に材料供給部6から特定の原料ガス(薄膜を形成する材料)が供給されることにより基材2上に所定の薄膜が形成される。チャンバー31には、入口部31aと出口部31bが形成されており、上流側から搬送される基材2が入口部31aからチャンバー31内に供給され、チャンバー31内で製膜処理された後、出口部31bを通じて下流側に搬送される。これら入口部31aと出口部31bとは、基材2が通過可能にシールされており、基材2が搬送により走行した場合でも、各チャンバー31は各薄膜を形成するのに適切な真空度に保たれているようになっている。
材料供給部6は、基材2上に薄膜を形成するための材料を供給するためのものである。材料供給部6は、薄膜の原材料である原料ガスを噴出する噴出部(不図示)を有している。そして、噴出部から噴出した原料ガスがプラズマ雰囲気で分解され基材2上に堆積することにより所定の薄膜が形成される。この材料供給部6は、噴出部が基材並走部2aと対向した状態で設けられている。図2の例では、主ロール部51の外周面51aに形成された基材並走部2aと対向した状態で設けられている。具体的には、基材並走部2aの複数の基材2に対して1つの材料供給部6が共通に設けられており、これら基材並走部2aの複数の基材2に対向する位置に配置されている。これにより、これら複数の基材2に所定の薄膜が形成される。
ネルソンロール5は、材料供給部6に対向して配置され、基材2を複数列並んだ状態の基材並走部2aを形成するものである。ここで、図3は、ネルソンロールの概略図であり、図3(a)は、図2におけるA方向から見た図であり、図3(b)は、図2におけるB方向から見た図である。ネルソンロール5は、円筒状に形成された主ロール部51と副ロール部52とを有しており、これらが所定の距離をおいて配置されている。そして、この主ロール部51及び副ロール部52に基材2が交互に架け渡され、1本の基材2が軸方向に所定間隔をおいて複数列並んだ状態の基材並走部2aを形成して走行している。
主ロール部51は、基材2の搬送方向に対して直交する状態で配置されるロールである。主ロール部51は、一方向に延びる主ロール軸53(回転軸)を有しており、この主ロール軸53が上流側から搬送される基材2の搬送方向と直交する状態で配置されている。この主ロール軸53には図示しないサーボモータが連結されており、サーボモータを駆動制御することにより主ロール軸53を軸回りに回転及び停止できるようになっている。
また、主ロール部51は、略円筒形状を有しており、その外周面51aに沿って基材2が搬送される。具体的には、搬送された基材2が主ロール部51の外周面51aに沿って走行した後、副ロール部52を経て、再度主ロール部51の外周面51aに沿って走行するというように、主ロール部51と副ロール部52とに基材2が交互に架け渡されることにより、主ロール部51の外周面51aには基材2が軸方向に所定間隔で並んだ基材並走部2aが形成される。すなわち、サーボモータにより主ロール部51が回転駆動されると、主ロール部51の外周面51aには、1本の基材2が軸方向に複数列並んだ状態で主ロール部51の回転に合わせて走行するようになっている。
副ロール部52は、主ロール部51に対向して配置されるロールである。副ロール部52は、副ロール軸54(回転軸)を有しており、主ロール軸53に対して所定角度傾斜させて設けられている。具体的には、主ロール部51と副ロール部52との位置関係は、この主ロール軸53と副ロール軸54とがねじれの位置関係になるように配置されている。このねじれの位置関係とは、それぞれの回転軸が、互いに平行でなく、かつ、交わっていない場合をいい、回転軸同士が同一平面上にない状態をいう。すなわち、副ロール軸54は、上流側から製膜処理部30bに搬送される基材2の搬送方向と直交する平面内で主ロール軸53に対して傾斜する姿勢で設けられ、主ロール部51及び副ロール部52の互いの外周面51a、52aが対向するように配置されている(図3(a)参照)。
そして、これら主ロール部51及び副ロール部52には、供給された基材2がこれらの外周面51a、52aに複数回巻き付けられており、基材並走部2aが形成される。具体的には、チャンバー31内に供給された基材2が主ロール部51の外周面51aに沿って巻き付けられ、次に、副ロール部52の外周面51に沿って巻き付けられる。そして、再度、主ロール部51の外周面51aに沿って巻き付けられるが、すでに巻き付けられた基材2とは軸方向に所定間隔を置いた位置に巻き付けられ、次に副ロール部52の外周面52aにもすでに巻き付けられた基材2とは軸方向に所定間隔を置いた位置に巻き付けられるというように、主ロール部51の外周面51aと副ロール部52の外周面52aとに軸方向に所定間隔を置いた状態で交互に巻き付けられる。これにより、主ロール部51の外周面51a、及び、副ロール部52の外周面52a、さらには、主ロール部51と副ロール部52に架け渡される部分には、基材2がその走行方向と直交する方向に所定間隔置いた状態で複数列並んだ状態の基材並走部2aが形成される。したがって、この基材並走部2aに対向して材料供給部6を配置すれば、基材2を走行させることにより、1本の基材2であっても材料供給部6を複数回通過させることができる。
そして、主ロール部51と副ロール部52の位置関係と副ロール部52の傾斜角度を調節することにより、主ロール部51及び副ロール部52が軸回りに回転し、基材2を下流側に走行させることができる。すなわち、主ロール部51の回転軸と副ロール部52の回転軸とがねじれの位置関係になるように、主ロール部51と副ロール部52とを配置することによって、外周面51a、52a上の基材2を軸方向にずれるのを抑えて安定して走行させることができる。具体的には、主ロール部51及び副ロール部52が軸回りに回転すると、主ロール部51及び副ロール部52の外周面51a、52a上の基材2は、安定して走行できる位置まで外周面51a、52a上を軸方向に僅かに移動する。そして、基材2の走行が安定する位置まで移動すると、軸方向にずれることなく、ほぼその位置で走行する。なお、安定走行状態では、基材2は、主ロール部51及び副ロール部52の外周面上において、軸方向一方側に偏った位置で走行する。すなわち、基材並走部2aにおける基材2のピッチが、軸方向一方側に向かって小さくなる(又は大きくなる)状態で基材2が走行する。
ここで、図4は、主ロール部51の外周面51aの基材並走部2aに対向して材料供給部6が配置された状態を示す図であり、図4(a)は、5列の基材2に製膜する場合の例であり、図4(b)は、2列の基材に製膜する場合の例である。なお、この図では、便宜上、基材2同士が等間隔で走行している状態を示している。また、図4において基材2に付された番号は、基材2の列数を表しており、例えば4番は、基材2が供給される側から数えて4番目に位置しており、外周面に沿って巻き付けられる回数が4周目であることを示している。このように、材料供給部6と対向する基材並走部2aの基材2の列数を調節することにより、形成される薄膜の膜厚を調節することができる。
図4(a)を例として説明すると、基材並走部2aの4列の基材2に共通して材料供給部6が設けられている。このように基材並走部2aと材料供給部6が配置された状態で、材料供給部6から原料ガスを供給しつつ基材2を走行させると、プラズマ雰囲気で分解された製膜材料が4列の基材2に対して積層される。すなわち、供給される基材2が外周面51aに巻き付けられて材料供給部6と対向して走行する(2番の位置で材料供給部6を通過する)ことにより、1層目の薄膜が形成される。そして、主ロール部51及び副ロール部52を回転させて基材2が走行すると、再度、材料供給部6を通過することにより(3番の位置で材料供給部6を通過することにより)、2層目の薄膜が形成され、2番の位置で形成された1層目の薄膜上に2層目の薄膜が形成される。同様にして主ロール部51及び副ロール部52を回転させて基材2を走行させることにより、複数回、材料供給部6を通過し、最終的に5番の位置を通過するまでに製膜が4回行われる。これにより、基材2は、2列目から5列目の位置で製膜される薄膜が順次基材2の表面から順に積層される。仮に、図4(b)の例のように、基材並走部2aの2列の基材2に共通して材料供給部6を設けた場合には、基材2上に2列目と3列目の位置で製膜される薄膜が順次基材2に積層される。すなわち、材料供給部6と対向させる基材並走部2aの基材2の列数によって製膜される膜厚を調節することができる。
また、基材2に製膜される薄膜は、基材2の幅方向に亘ってほぼ均一厚さで形成される。すなわち、図4に示すように、基材並走部2aの複数の基材と材料供給部6とが、材料供給部6の中心線を対称軸tとして線対称に配置されていることにより、基材2の幅方向に亘ってほぼ均一厚さの薄膜を形成することができる。
そして、本実施形態では、材料供給部6に対向する基材並走部2aの複数の基材2が4列に設定されているが、この列数(巻き付け回数)を調節することで薄膜の厚さを調節することができる。具体的には、列数を2列に設定した場合には、基材2が材料供給部6を2回通過するため、2回分の薄膜が積層される。一方、列数を10列に設定した場合には、基材2が材料供給部6を10回通過するため、10回分の薄膜が積層される。すなわち、列数を少なく設定することにより、基材2に形成される膜厚を薄く形成することができ、列数を多く設定することにより、基材2に形成される膜厚を厚く形成することができる。
また、製膜処理部30bには、マスク機構Mが設けられている。このマスク機構Mにより、基材2に形成される薄膜の幅方向両端部に薄膜が形成されない非製膜領域S(図7参照)が形成される。ここで、図5は、製膜処理部30bの主要部を示す図であり、図6は、製膜処理部30bのネルソンロールの概略図であり、図6(a)は、図5におけるA方向から見た図であり、図6(b)は、図5におけるB方向から見た図である。本実施形態の製膜処理部30bでは、上流側の製膜処理部30aを経ることにより下部電極層3a、光電変換層3bが形成された基材2の幅方向両端部にマスクテープ7が当接することにより、幅方向中央部分のみに上部電極層3cが形成され、幅方向両端部に上部電極層3cが形成されない非製膜領域Sが形成される。すなわち、非製膜領域Sでは光電変換層3bが最上位面として形成される。
マスク機構Mは、マスクテープ7をロール トゥ ロールで基材並走部2aに供給されるように構成されており、マスク送出リール部71とマスク巻取リール部72とマスク副ロール部73とを有している。そして、マスク送出リール部71から供給されるマスクテープ7が主ロール部51とマスク副ロール部73とに複数回架け渡されることにより、基材2の幅方向両端部をマスクし、最終的にマスクテープ7がマスク巻取リール部72に巻き取られるようになっている。具体的には、マスク送出リール部71からマスクテープ7が2本供給されるようになっており、供給された2本のマスクテープ7が基材並走部2aを走行する基材2の幅方向両端部に当接し、基材2の走行に同調してマスクテープ7が走行する。すなわち、材料供給部6に対向する基材並走部2aの基材2の幅方向両端部それぞれにマスクテープ7が当接し、基材2の走行と共にマスクテープ7が当接しつつ走行することにより、基材2の幅方向両端部分がマスクされ、基材2の幅方向中央部分に上部電極層3cが形成され、幅方向両端部に非製膜領域Sが形成されるようになっている。
マスク送出リール部71は、マスクテープ7を供給するためのものである。マスク送出リール部71は、マスクテープ7を巻付けるマスク送出ロール71aを有しており、このマスク送出ロール71aを駆動制御することによりマスクテープ7を送り出せるようになっている。このマスク送出ロール71aは、図6に示すようにチャンバ31上に2つ設けられており、これらのマスク送出ロール71aからそれぞれ独立してマスクテープ7が送り出せるようになっている。すなわち、2条のマスクテープ7が基板並走部2aに送り出せるようになっており、図示しない制御装置によりマスク送出ロール71aの回転がそれぞれ独立して制御されることにより、基材2の走行に合わせて2条のマスクテープ7が送出されるようになっている。
マスク巻取リール部72は、マスクテープ7を巻き取るものである。マスク巻取リール部72は、マスク巻取ロール72aを有しており、このマスク巻取ロール72aを駆動制御することによりマスクテープ7を巻き取ることができるようになっている。すなわち、図示しない制御装置によりマスク巻取ロール72aの回転が制御されることにより、マスクテープ7の巻取量を増加及び減少させることができる。このマスク巻取ロール72aは、マスク送出ロール71aに応じてチャンバ31上に2つ設けられており、2条のマスクテープ7がそれぞれ独立して巻取られるようになっている。なお、これらマスク送出リール部71及びマスク巻取リール部72は、主ロール部51が配置されるチャンバーとは別のチャンバー(破線で示す)内に配置されており、真空環境下でマスクテープ7を送出し、巻き取ることができるようになっている。
マスク副ロール部73は、副ロール部52と同様に、円筒状のロールであり、主ロール部51に対向して傾斜させて配置されている。マスク副ロール部73は、回転軸74を有しており、主ロール軸53に対して所定角度傾斜させて設けられている。すなわち、主ロール部51とマスク副ロール部73との位置関係は、主ロール軸53とマスク副ロール軸とが上述のねじれの位置関係になるように配置されており、上流側から製膜処理部30bに搬送される基材2の搬送方向と直交する平面内で主ロール軸53に対して傾斜する姿勢で設けられている。これにより、主ロール部51とマスク副ロール部73とはネルソンロールの機能が発揮できるようになっている。
そして、このマスク副ロール部73及び主ロール部51には、マスクテープ7がこれらの外周面73a、51aに複数回巻付けられている。具体的には、マスク送出リール部71から供給されたマスクテープ7は、基材2の幅方向端部に当接する。すなわち、図6に示すように、2条のマスクテープ7は、それぞれが主ロール部51の外周面51aに形成される基材並走部2aの最端部に位置する基材2の幅方向端部に当接し、基材2の幅方向両端部を覆うように走行する。そして、そのまま主ロール部51の外周面51aに沿って基材2と共に巻付けられ、次に、マスク副ロール部73の外周面73aに沿って巻き付けられる。このとき、基材2は主ロール部51から副ロール部52に巻付けられるため、マスク副ロール部73では、2条のマスクテープ7が巻付けられる。そして、再度、マスクテープ7は、すでに副ロール部52を経由して先の基材2とは軸方向に所定間隔を置いて巻付けられた基材2の幅方向両端部に当接して主ロール部に巻付けられる。すなわち、2条のマスクテープ7は、それぞれが主ロール部51の外周面51aに形成される基材並走部2aの最端部から2番目に走行する基材2の幅方向端部に当接し、基材2の幅方向両端部を覆うように走行する。そして、この主ロール部51及びマスク副ロール部73は、それぞれがネルソンロールの関係を構成しているため、2条のマスクテープ7それぞれの走行位置は、一度、主ロール部51とマスク副ロール部73とに架け渡されることによって設定された走行位置から、時間とともに軸方向にずれていく現象が抑えられ、2条のマスクテープ7は、それぞれ安定して走行することができる。
ここで、基材2は、軸方向一方側に偏った状態で基材並走部2aを形成する。すなわち、主ロール部51の外周面51a上を走行する基材2は、安定走行する位置に僅かにずれるため、マスクテープ7は、基材2が安定走行する位置で基材2の幅方向両端部を覆う必要がある。したがって、マスクテープ7は、基材2が安定走行位置に落ち着いた状態まで条件出しを行って停止させ、停止した基材2の幅方向両端部にマスクテープ7を配置して設定することにより、軸方向一方側に偏った状態で走行する基材2の幅方向両端部を覆うことができる。また、主ロール部51とマスク副ロール部73の距離、傾斜角度等の関係から、基材2が安定走行する位置を算出し、その算出した位置に基材2を配置し、次いでマスクテープ7を基材2の幅方向両端部に配置した後に、基材2及びマスクテープ7を走行させてもよい。
このようにして、主ロール部51、ひいては、基材2の基材並走部2aを形成する基材2の幅方向両端部を2条のマスクテープ7が覆うようにして基材2及びマスクテープ7が同調して走行することにより、材料供給部6に対向する基材並走部2aでは、基材2の幅方向中央部分に上部電極層3cが形成され、基材2の幅方向両端部に非製膜領域Sが形成される。
このように、上記実施形態における搬送製膜装置によれば、基材2の幅方向両端部をそれぞれ独立したマスクテープ7で覆うため、基材並走部2aのピッチが不均一であっても軸方向にずれることなく安定して非製膜領域Sを形成することができる。すなわち、マスクテープ7がそれぞれ独立しており、基材並走部2aを走行する基材の幅方向両端部の位置に合わせてマスクテープ7を設けることができるため、基材2のピッチに合わせてマスクテープ7を当接させて基材2の幅方向両端部に非製膜領域Sを形成することができる。すなわち、従来のように、1本のマスクテープ7を隣り合う基材2同士の間に配置して隣同士の基材2の幅方向端部を覆う構成に比べて、基材2の幅方向両端部にマスクテープ7を精度よく配置することができるため、基材並走部2aのピッチが不均一であっても、マスクテープ7を基材2の幅方向両端部に当接させて基材2の幅方向両端部に長手方向に亘って安定して非製膜領域Sを形成することができる。
また、上記実施形態では、材料供給部6に対向する主ロール部51の外周面51aが1本の円筒状の均一な外周面51aで形成されている例について説明したが、主ロール部51の外周面51aに基材2が走行する基材走行溝51bと、マスク走行溝51cとが形成されているものであってもよい。すなわち、図9に示すように、主ロール部51の外周面には、基材2が安定走行する位置を算出して形成された基材走行溝51bと、マスク走行溝51cとが形成されている。基材走行溝51bは、主ロール部51の外周面51aに形成される凹溝であり、ほぼ基材2の幅方向寸法に形成されている。この基材走行溝51b内に基材2が走行するようになっている。また、マスク走行溝51cは、基材走行溝51bを走行する基材2に対し、マスクテープ7の幅寸法から非製膜領域Sを形成するのに必要な位置にマスクテープ7が走行するようにマスク走行溝51cの縁51dが形成されている。すなわち、製膜処理時に基材2とマスクテープ7とが走行すると、安定して走行する基材2に対し、マスクテープ7の移動が縁51dに規制されるため、基材2の幅方向両端部に安定して非製膜領域Sを形成することができる。これにより、上記実施形態のように、材料供給部6に対向する主ロール部51の外周面51aが1本の円筒状の外周面51aで形成されており、その外周面51a上を走行する基材2が安定走行する位置を条件出しを行った後に配置する、もしくは、計算上の基材2の安定走行位置を算出してマスクテープ7を配置する場合に比べて、基材2とマスクテープ7との配置を行う段取りの時間を短縮させることができる。
また、上記実施形態では、マスクテープ7を主ロール部51とマスク副ロール部73とに架け渡すことにより、マスクテープ7についてもネルソンロールの機能を使用する例について説明したが、マスクテープ7はネルソンロールの構成を有しないものであってもよい。すなわち、図10に示すように、基材2が走行する主ロール部51と材料供給部6との間に、複数のマスクテープ7を配置し製膜処理を行うものであってもよい。具体的には、主ロール部51における基材並走部2aの非製膜領域Sを形成する位置に、供給源が独立したマスクテープ7を複数配置する。すなわち、複数組のマスク送出リール部71とマスク巻取リール部72とを基材2の走行方向に配置し、マスク送出リール部71から供給されるマスクテープ7が基材2の幅方向両端部に当接するように調節する。そして、複数組のマスク送出リール部71とマスク巻取リール部72を駆動制御することにより、基材2の走行に合わせてマスクテープ7を走行させる。これにより、基材2の幅方向両端部がマスクテープ7で覆われることにより、基材2の中央部分に薄膜が形成され、幅方向両端部に非製膜領域Sを形成することができる。なお、図10の構成とほぼ同様であるが、図11に示すように、マスク送出リール部71から供給されるマスクテープ7を主ロール部51の一部に巻回して形成するものであってもよい。すなわち、主ロール部51上で基材並走部2aを形成する基材2の幅方向両端部にマスクテープ7を当接させて形成するものであってもよい。この構成であれば、図10の構成に比べて、マスクテープ7を主ロール部51の外周面51aに当接させることにより、外周面51a上の基材2に圧接させることができるため、マスクテープ7と基材2との間に隙間が形成されにくくなり、原料ガスの回り込みによる不要な位置への薄膜の形成を抑えることができる。
また、上記実施形態では、マスクテープ7が基材2に合わせて走行する例について説明したが、パーティクルの問題や、形成された薄膜とマスクテープ7との接触が問題ない場合には、マスクテープ7を停止させて製膜処理を行ってもよい。