JP6075873B2 - Sample holder for X-ray analyzer, attachment for X-ray analyzer, and X-ray analyzer - Google Patents

Sample holder for X-ray analyzer, attachment for X-ray analyzer, and X-ray analyzer Download PDF

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Description

本発明は、試料をX線分析装置の所定位置に置くための試料ホルダ、その試料ホルダを用いて成るX線分析装置用アタッチメント、及びそのX線分析装置用アタッチメントを用いて成るX線分析装置に関する。   The present invention relates to a sample holder for placing a sample at a predetermined position of an X-ray analyzer, an X-ray analyzer attachment using the sample holder, and an X-ray analyzer using the X-ray analyzer attachment About.

X線分析装置は、試料にX線を照射し、試料から出るX線をX線検出器によって検出する装置である。一般的なX線分析装置では、試料を試料ホルダで支持し、その試料ホルダをX線分析装置の所定位置に装着することにより、試料をX線分析装置内の所定位置にセットする。   An X-ray analyzer is an apparatus that irradiates a sample with X-rays and detects X-rays emitted from the sample with an X-ray detector. In a general X-ray analyzer, a sample is supported by a sample holder, and the sample holder is attached to a predetermined position of the X-ray analyzer, thereby setting the sample at a predetermined position in the X-ray analyzer.

従来、バネによって付勢される複数の爪状の支持片によって試料を側面部分から支持するようにした試料ホルダが知られている(例えば、特許文献1参照)。また、試料の外周面をリング状の保持具によって支持するようにした試料ホルダが知られている(例えば、特許文献2参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, a sample holder is known in which a sample is supported from a side surface portion by a plurality of claw-shaped support pieces biased by a spring (see, for example, Patent Document 1). A sample holder is also known in which the outer peripheral surface of the sample is supported by a ring-shaped holder (see, for example, Patent Document 2).

また、周辺部分に切欠部を備え中央部分にX線通過孔を備えた固定板によって試料を押えて支持することにした試料ホルダが知られている(例えば、特許文献3参照)。さらに、磁力によって試料板に固着できると共に可撓性を有していない押え板によって試料を押えて支持するようにした試料ホルダが知られている(例えば、特許文献4参照)。   There is also known a sample holder in which a sample is pressed and supported by a fixing plate having a notch in the peripheral portion and an X-ray passage hole in the central portion (see, for example, Patent Document 3). Furthermore, there is known a sample holder that can be fixed to a sample plate by a magnetic force and supported by pressing a sample with a holding plate that is not flexible (for example, see Patent Document 4).

実開平5−028954号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-028954 特開2000−009665号公報JP 2000-009665 A 実開平6−030754号公報Japanese Utility Model Publication No. 6-030754 特開2008―014958号公報JP 2008-014958 A

特許文献1に開示された試料ホルダにおいては、爪状の支持片の先端に段部が形成されており、その段部に試料を載せた状態で試料を支持するようになっている。このため、特許文献1の試料ホルダでは、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまうという問題があった。   In the sample holder disclosed in Patent Document 1, a step is formed at the tip of a claw-shaped support piece, and the sample is supported in a state where the sample is placed on the step. For this reason, in the sample holder of patent document 1, there existed a problem that the external shape of the sample which can be supported will be limited to a specific thing.

また、特許文献2に開示された試料ホルダにおいては、試料を台座の上に載せた状態で試料の外周を保持具によって受ける構成としたので、やはり、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまうという問題があった。   Moreover, in the sample holder disclosed in Patent Document 2, the outer periphery of the sample is received by the holder while the sample is placed on the pedestal. There was a problem of being limited.

また、特許文献3に開示された試料ホルダにおいては、固定板が剛性の高い材料によって形成されていて撓むことができない構造となっていた。このため、試料台と固体板との間に形成される試料支持用の空間が一定の高さ又は厚さに限定されてしまい、やはり、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまうという問題があった。   In addition, the sample holder disclosed in Patent Document 3 has a structure in which the fixing plate is formed of a highly rigid material and cannot be bent. For this reason, the space for supporting the sample formed between the sample stage and the solid plate is limited to a certain height or thickness, and the outer shape of the sample that can be supported is also limited to a specific one. There was a problem that.

さらに、特許文献4に開示された試料ホルダにおいては、試料を押えて支持するための押え板が可撓性を有しない剛性の高い材料によって形成されていたため、やはり、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまうという問題があった。以上のように、従来の試料ホルダにおいては、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまい、種々の形状の試料に対応できないという問題があった。   Furthermore, in the sample holder disclosed in Patent Document 4, since the holding plate for holding and supporting the sample is formed of a highly rigid material having no flexibility, the outer shape of the sample that can be supported is still the same. There was a problem that it was limited to a specific one. As described above, in the conventional sample holder, the outer shape of the sample that can be supported is limited to a specific one, and there is a problem that it cannot be used for samples of various shapes.

ところで、近年では、医薬品の開発の段階でX線分析装置を用いて医薬品を評価したいという要望が多くなっている。例えば、X線分析装置を用いて医薬品の定性分析、定量分析、結晶化度の解析、結晶子サイズの解析、構造解析、等を行うことが多くなっている。医薬品は錠剤の形となることが多く、この錠剤は周知の通り種々の外形形状を有している。また、医薬品に限らずX線分析装置の試料と成り得る物質には種々の外形形状をとるものが従来からたくさんあった。上記した従来の試料ホルダは、このような種々の外形形状の試料に対応することができず、従って、従来から種々の外形形状に対応できる試料ホルダが切望されていた。   By the way, in recent years, there is an increasing demand for evaluation of pharmaceuticals using an X-ray analyzer at the stage of pharmaceutical development. For example, pharmaceutical qualitative analysis, quantitative analysis, crystallinity analysis, crystallite size analysis, structural analysis, and the like are frequently performed using an X-ray analyzer. Pharmaceutical products are often in the form of tablets, and these tablets have various outer shapes as is well known. In addition, not only drugs but also substances that can be samples of X-ray analyzers have conventionally taken many different shapes. The above-described conventional sample holder cannot cope with samples having such various outer shapes, and therefore, a sample holder that can cope with various outer shapes has long been desired.

本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、種々の外形形状の試料を簡単な作業だけでX線分析装置内の所定位置に正確に設置することが出きる試料ホルダを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is a sample holder that can accurately place samples of various outer shapes at predetermined positions in an X-ray analyzer with a simple operation. The purpose is to provide.

本発明に係るX線分析装置用試料ホルダは、試料を支持しX線分析装置に着脱される試料ホルダにおいて、前記試料を両側から挟んで支持する一対の試料挟持部材を有しており、当該試料挟持部材は、平面形状が試料よりも広く、厚さが試料よりも薄く、可撓性を有している、板状の部材であり、前記一対の試料挟持部材の少なくとも一方にはX線を透過させるための孔が設けられており、前記孔から放射状に延びる複数の溝を前記試料挟持部材に形成することにより、前記試料挟持部材の可撓性が実現されていることを特徴とする。 The sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention has a pair of sample clamping members that support the sample and support the sample by sandwiching the sample from both sides in the sample holder attached to and detached from the X-ray analyzer, The sample holding member is a plate-like member having a planar shape wider than the sample, thinner than the sample, and having flexibility, and at least one of the pair of sample holding members has X-rays. The sample holding member is made flexible by forming a plurality of grooves extending radially from the hole in the sample holding member. .

本発明の試料ホルダによれば、試料を一対の試料挟持部材で挟み付けるだけという極めて簡単な作業だけで、試料を試料ホルダによってしっかりと支持できる。また、試料は一対の試料挟持部材によって挟持される構造なので、試料の外形形状が種々の形状となっても、撓み移動した試料挟持部材によって試料をしっかりと支持できる。このため、試料が錠剤の医薬品のように種々の形状となる場合であっても、それらの試料に難無く対応できる。   According to the sample holder of the present invention, the sample can be firmly supported by the sample holder only by an extremely simple operation of simply pinching the sample between the pair of sample holding members. In addition, since the sample is sandwiched between the pair of sample clamping members, the sample can be firmly supported by the sample clamping member that is flexibly moved even if the outer shape of the sample has various shapes. For this reason, even if the sample has various shapes such as a pharmaceutical product of a tablet, the sample can be handled without difficulty.

本発明に係るX線分析装置用試料ホルダにおいては、前記孔から放射状に延びる複数の溝を前記試料挟持部材に形成することにより、前記試料挟持部材に可撓性を持たせている。試料挟持部材に可撓性を持たせる構成は種々に考えられるが、上記のように複数の溝によって試料挟持部材に可撓性を持たせるようにすれば、試料挟持部材の外周辺部は撓み難く(すなわち剛性が高く)、中心部分は撓み易く(すなわち剛性を小さく)できる。この結果、試料挟持部材によって試料の位置決め機能を達成できる。
In sample holder for X-ray analysis apparatus according to the present invention, by forming a plurality of grooves extending radially from the hole in the sample clamping member, and with flexibility in the sample clamping member. Various configurations for giving flexibility to the sample clamping member are conceivable. However, if the sample clamping member is made flexible by a plurality of grooves as described above, the outer peripheral portion of the sample clamping member is bent. It is difficult (that is, the rigidity is high), and the central portion can be easily bent (that is, the rigidity is small). As a result, the sample positioning function can be achieved by the sample clamping member.

本発明に係るX線分析装置用試料ホルダは、前記一対の試料挟持部材の一方を撓み移動可能に支持する第1の支持部材と、前記一対の試料挟持部材の他方を撓み移動可能に支持する第2の支持部材とを有することができ、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材は前記一対の試料挟持部材が互いに対向した状態で結合される。   A sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention supports a first support member that supports one of the pair of sample holding members so as to bend and move, and the other of the pair of sample holding members that can be bent and moved. A second support member, and the first support member and the second support member are coupled together with the pair of sample clamping members facing each other.

本発明に係るX線分析装置用試料ホルダにおいては、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材との一方に磁石を設けることができ、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材との他方は磁石に吸着する性質を有することができる。   In the sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention, a magnet may be provided on one of the first support member and the second support member, and the first support member and the second support member may be provided. The other of the members can have a property of being attracted to the magnet.

本発明に係るX線分析装置用試料ホルダにおいては、前記試料を位置決めするための位置決め部材を前記一対の試料挟持部材の間に設けることができる。   In the sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention, a positioning member for positioning the sample can be provided between the pair of sample clamping members.

本発明に係るX線分析装置用試料ホルダにおいて、前記位置決め部材は、前記試料よりも薄い板状の部材であり、前記試料よりもわずかに大きい径の試料収納用の孔を有することができる。   In the sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention, the positioning member is a plate-like member that is thinner than the sample, and may have a sample storage hole having a slightly larger diameter than the sample.

次に、本発明に係るアタッチメントは、以上に記載した構成を有する試料ホルダを有することを特徴とする。このアタッチメントは、例えばX線分析装置で用いられるサンプルチェンジャである。   Next, the attachment according to the present invention is characterized by including a sample holder having the above-described configuration. This attachment is a sample changer used in, for example, an X-ray analyzer.

次に、本発明に係るX線分析装置は、以上に記載した構成を有する試料ホルダを有することを特徴とする。このX線分析装置は、例えば、X線回折装置、蛍光X線装置、等である。   Next, an X-ray analysis apparatus according to the present invention includes a sample holder having the above-described configuration. This X-ray analyzer is, for example, an X-ray diffractometer or a fluorescent X-ray apparatus.

本発明の試料ホルダ、アタッチメント及びX線分析装置によれば、試料を一対の試料挟持部材で挟み付けるだけという極めて簡単な作業だけで、試料を試料ホルダによってしっかりと支持できる。また、試料は一対の試料挟持部材によって挟持される構造なので、試料の外形形状が種々の形状となっても、撓み移動した試料挟持部材によって試料をしっかりと支持できる。このため、試料が錠剤の医薬品のように種々の形状となる場合であっても、それらの試料に難無く対応できる。   According to the sample holder, the attachment, and the X-ray analyzer of the present invention, the sample can be firmly supported by the sample holder by an extremely simple operation of simply sandwiching the sample with the pair of sample clamping members. In addition, since the sample is sandwiched between the pair of sample clamping members, the sample can be firmly supported by the sample clamping member that is flexibly moved even if the outer shape of the sample has various shapes. For this reason, even if the sample has various shapes such as a pharmaceutical product of a tablet, the sample can be handled without difficulty.

本発明に係るX線分析装置用試料ホルダの一実施形態の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of one Embodiment of the sample holder for X-ray analyzers which concerns on this invention. 図1のX線分析装置用試料ホルダの分解断面図である。FIG. 2 is an exploded cross-sectional view of the sample holder for the X-ray analyzer in FIG. 1. 図1のX線分析装置用試料ホルダを組み立てた状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which assembled the sample holder for X-ray analyzers of FIG. 本発明に係るアタッチメントの一実施形態であるサンプルチェンジャを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the sample changer which is one Embodiment of the attachment which concerns on this invention. 図4のサンプルチェンジャの裏側の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the back side of the sample changer of FIG. 本発明に係るX線分析装置用試料ホルダの他の実施形態の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of other embodiment of the sample holder for X-ray analyzers which concerns on this invention. 図6のX線分析装置用試料ホルダを組み立てた状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which assembled the sample holder for X-ray analyzers of FIG. 図7のX線分析装置用試料ホルダを180°回転させて上面と下面とを反転させた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which rotated the sample holder for X-ray analyzers of FIG. 7 180 degrees, and reversed the upper surface and the lower surface. 本発明に係るアタッチメントの一実施形態であるサンプルチェンジャの他の実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows other embodiment of the sample changer which is one Embodiment of the attachment which concerns on this invention. 図9に示すサンプルチェンジャのターンテーブルを反転させた状態を示す図えある。It is a figure which shows the state which reversed the turntable of the sample changer shown in FIG. 図9のサンプルチェンジャを拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the sample changer of FIG.

以下、本発明に係るX線分析装置用試料ホルダ、X線分析装置用アタッチメント、及びX線分析装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、本明細書に添付した図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で構成要素を示す場合がある。   Hereinafter, a sample holder for an X-ray analyzer, an attachment for an X-ray analyzer, and an X-ray analyzer according to the present invention will be described based on embodiments. Of course, the present invention is not limited to this embodiment. In addition, in the drawings attached to the present specification, components may be shown in different ratios from actual ones in order to show characteristic parts in an easy-to-understand manner.

(X線分析装置用試料ホルダの実施形態)
図1は、本発明に係るX線分析装置用試料ホルダの一実施形態を分解斜視図によって示している。図2は、その試料ホルダの断面構造を分解図によって示している。図3は、組み立てた状態のその試料ホルダの断面構造を示している。
(Embodiment of sample holder for X-ray analyzer)
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention. FIG. 2 shows an exploded view of the cross-sectional structure of the sample holder. FIG. 3 shows a cross-sectional structure of the sample holder in an assembled state.

本実施形態の試料ホルダ1は、試料Sを支持するための器具である。試料Sは、例えば医薬品の錠剤である。この試料Sは、中央部分の厚さが厚く、周辺部分の厚さが薄い、偏平な円盤形状に形成されている。なお、本実施形態の試料ホルダ1に適用可能な試料は、上記のような形状の試料Sに限定されるものではなく、その他の種々の形状の試料にも適用可能である。例えば、周辺部も中央部も同一の厚さである試料を支持することもできるし、小判型、四角形状、その他の様々な形状の試料を支持することもできる。   The sample holder 1 of this embodiment is an instrument for supporting the sample S. The sample S is, for example, a pharmaceutical tablet. This sample S is formed in a flat disk shape with a thick central portion and a thin peripheral portion. In addition, the sample applicable to the sample holder 1 of this embodiment is not limited to the sample S of the above shape, It can apply also to the sample of other various shapes. For example, it is possible to support a sample having the same thickness in the peripheral portion and the central portion, and it is also possible to support samples of various shapes such as an oval shape, a square shape, and the like.

試料ホルダ1は、第1の支持部材2と第2の支持部材3とを有している。第1の支持部材2は概ね円形状のリング状に形成されており、その内部に段差部4を有している。この段差部4により凹部2aが形成されている。第2の支持部材3も、概ね円形状のリング状に形成されており、その内部に段差部5を有している。この段差部5により凹部3aが形成されている。   The sample holder 1 has a first support member 2 and a second support member 3. The first support member 2 is formed in a substantially circular ring shape, and has a stepped portion 4 therein. A recess 2 a is formed by the stepped portion 4. The 2nd support member 3 is also formed in the substantially circular ring shape, and has the level | step-difference part 5 in the inside. The step portion 5 forms a recess 3a.

第1の支持部材2のリング状の周辺部分の内部に複数(本実施形態では4個)の磁石6が設けられている。これらの磁石6は円周方向で互いに適宜の間隔を隔てて設けられている。これらの磁石6は、接着、嵌合、等により、第1の支持部材2から容易には取り外せないように設けられている。第2の支持部材3は磁石に吸着する性質の材料によって形成されている。   A plurality of (four in this embodiment) magnets 6 are provided inside the ring-shaped peripheral portion of the first support member 2. These magnets 6 are provided at appropriate intervals in the circumferential direction. These magnets 6 are provided so that they cannot be easily removed from the first support member 2 by adhesion, fitting, or the like. The second support member 3 is made of a material that is attracted to the magnet.

試料ホルダ1は、一対の試料挟持部材8a及び8bを有している。試料挟持部材8a,8bは、矢印A方向から見た場合の平面形状が概ね円形状であり、厚さが一様な板形状である。また、試料挟持部材8a,8bは、矢印A方向から見た場合の平面形状が試料Sよりも広く、厚さが試料Sよりも薄くなっている。試料挟持部材8a及び8bの中央部分にはX線を透過させるための孔9a及び9bが設けられている。これらの孔9a及び9bの径は試料Sの径よりも小さい。第2の支持部材3は、図3に示すように、磁石6の磁力により第1の支持部材2に結合させることができる。   The sample holder 1 has a pair of sample clamping members 8a and 8b. The sample sandwiching members 8a and 8b have a substantially circular planar shape when viewed from the direction of the arrow A, and are plate shapes having a uniform thickness. Further, the sample clamping members 8 a and 8 b have a planar shape wider than that of the sample S when viewed from the direction of the arrow A, and a thickness smaller than that of the sample S. Holes 9a and 9b for transmitting X-rays are provided in the central portions of the sample clamping members 8a and 8b. The diameters of these holes 9a and 9b are smaller than the diameter of the sample S. As shown in FIG. 3, the second support member 3 can be coupled to the first support member 2 by the magnetic force of the magnet 6.

試料挟持部材8a,8bの孔9a,9bの周囲には、孔9a,9bから半径方向に延びる複数(本実施形態では8個)の溝10が放射状に設けられている。このように中心部から放射状に延びる複数の溝10を試料挟持部材8a,8bに設けたことにより、試料挟持部材8a,8bは可撓性を有している。具体的には、試料挟持部材8a,8bの周辺部分を固定した状態で、試料挟持部材8a,8bの中央部分(すなわち、孔9a,9bが設けられている部分)は、図1〜図3における上下方向(矢印B−B’方向)へ撓むことができる。   A plurality (eight in this embodiment) of grooves 10 extending radially from the holes 9a and 9b are provided radially around the holes 9a and 9b of the sample clamping members 8a and 8b. Thus, by providing the plurality of grooves 10 extending radially from the central portion in the sample holding members 8a and 8b, the sample holding members 8a and 8b have flexibility. Specifically, with the peripheral portions of the sample clamping members 8a and 8b fixed, the central portions of the sample clamping members 8a and 8b (that is, the portions where the holes 9a and 9b are provided) are shown in FIGS. Can be bent in the vertical direction (arrow BB ′ direction).

一方の試料挟持部材8aは、第1の支持部材2の凹部2aの中に挿入されて、段差部4によって受けられた状態で、第1の支持部材2によって支持される。試料挟持部材8aの外形寸法は凹部2aの直径に対して次のように、すなわち第1の支持部材2の上下を反転させたときに第1の支持部材2から自重によって落下するような外形寸法に設定することもできるし、自重では落下しないが少しの力を加えることにより第1の支持部材2の凹部2aから取り外すことができるような外形寸法に設定することもできる。   One sample clamping member 8 a is inserted into the recess 2 a of the first support member 2 and supported by the first support member 2 while being received by the stepped portion 4. The outer dimensions of the sample clamping member 8a are as follows with respect to the diameter of the recess 2a, that is, the outer dimensions such that when the first supporting member 2 is turned upside down, it falls from the first supporting member 2 by its own weight. It is also possible to set the outer dimensions such that the weight can be removed from the concave portion 2a of the first support member 2 by applying a slight force although it does not fall by its own weight.

他方の試料挟持部材8bは、第2の支持部材3の凹部3aの中に挿入されて、段差部5によって受けられた状態で、第2の支持部材3によって支持される。試料挟持部材8bの外形寸法は凹部3aの直径に対して次のように、すなわち第2の支持部材2から自重によって落下するような外形寸法に設定することもできるし、自重では落下しないが少しの力を加えることにより第2の支持部材3の凹部3aから取り外すことができるような外形寸法に設定することもできる。   The other sample clamping member 8 b is inserted into the recess 3 a of the second support member 3 and supported by the second support member 3 while being received by the stepped portion 5. The external dimensions of the sample clamping member 8b can be set as follows with respect to the diameter of the concave portion 3a, that is, the external dimensions of dropping from the second support member 2 by its own weight. It is also possible to set the outer dimensions so that the second support member 3 can be removed from the concave portion 3a by applying the above force.

一対の試料挟持部材8a及び8bの間に位置決め部材11が設けられている。位置決め部材11は、厚さが一様で、中央部分に孔12を有したリング状部材として形成されている。位置決め部材11は概ね円形状に形成されている。位置決め部材11の直径は、第1の支持部材2の凹部2aの直径及び第2の支持部材3の凹部3aの直径よりも小さくなっている。このため、位置決め部材11は、互いに結合された第1の支持部材2と第2の支持部材3との内部空間内に収納されている。   A positioning member 11 is provided between the pair of sample clamping members 8a and 8b. The positioning member 11 is formed as a ring-shaped member having a uniform thickness and having a hole 12 in the central portion. The positioning member 11 is formed in a substantially circular shape. The diameter of the positioning member 11 is smaller than the diameter of the recess 2 a of the first support member 2 and the diameter of the recess 3 a of the second support member 3. For this reason, the positioning member 11 is accommodated in the internal space of the first support member 2 and the second support member 3 that are coupled to each other.

位置決め部材11の中央部分の孔12の径は試料Sの外径よりもわずかに大きくなっている。このため、試料Sは位置決め部材11の孔12の中に収容されることができ、その状態で試料Sの位置が決められた状態になる。   The diameter of the hole 12 in the central portion of the positioning member 11 is slightly larger than the outer diameter of the sample S. For this reason, the sample S can be accommodated in the hole 12 of the positioning member 11, and the position of the sample S is determined in this state.

第1の支持部材2、試料挟持部材8a,8b、位置決め部材11、及び第2の支持部材3は任意の材料、例えば、金属、樹脂、等によって形成できる。なお、本実施形態で用いる第2の支持部材3は、磁力によって第1の支持部材2に結合される関係上、磁石に吸着できる材料によって形成される。   The first support member 2, the sample clamping members 8a and 8b, the positioning member 11, and the second support member 3 can be formed of any material, for example, metal, resin, or the like. Note that the second support member 3 used in the present embodiment is formed of a material that can be attracted to the magnet because of being coupled to the first support member 2 by magnetic force.

本実施形態の試料ホルダ1は以上のように構成されているので、図3に示すように試料ホルダ1によって試料Sを支持する際には、次のような作業が行われる。すなわち、図1及び図2において、一方の試料挟持部材8aを第1の支持部材2の凹部2a内に取り付け、その試料挟持部材8aの上に試料Sを載せる。次に、位置決め部材11の孔12の中に試料Sを収容するようにして、試料Sの周囲の試料挟持部材8a上に位置決め部材11を配置する。   Since the sample holder 1 of the present embodiment is configured as described above, the following operation is performed when the sample S is supported by the sample holder 1 as shown in FIG. That is, in FIG. 1 and FIG. 2, one sample clamping member 8a is mounted in the recess 2a of the first support member 2, and the sample S is placed on the sample clamping member 8a. Next, the positioning member 11 is arranged on the sample clamping member 8 a around the sample S so that the sample S is accommodated in the hole 12 of the positioning member 11.

次に、他方の試料挟持部材8bを第2の支持部材3の凹部3a内に取り付け、試料挟持部材8bがそのようにして取り付けられた第2の支持部材3を第1の支持部材2の面上に磁石6の磁力によって固着、すなわち結合する。以上により、図3に示すように、試料ホルダ1によって試料Sを支持することができる。この状態で、図の下側の試料挟持部材8aは試料Sによって押されて図3の下方(B方向)へ撓み、上側の試料挟持部材8bは試料Sによって押されて図3の上方(B’方向)へ撓む。こうして撓み移動した試料挟持部材8a及び8bにより、試料Sは適宜の押圧力の下でしっかりと支持される。また、位置決め部材11により試料Sは決められた位置に位置決めされる。   Next, the other sample holding member 8b is mounted in the recess 3a of the second support member 3, and the second support member 3 thus mounted with the sample holding member 8b is attached to the surface of the first support member 2. The magnet 6 is fixed, that is, coupled by the magnetic force of the magnet 6. As described above, the sample S can be supported by the sample holder 1 as shown in FIG. In this state, the lower sample clamping member 8a is pushed by the sample S and bent downward (B direction) in FIG. 3, and the upper sample clamping member 8b is pushed by the sample S and moved upward (B Deflection in the 'direction). The sample S is firmly supported under an appropriate pressing force by the sample clamping members 8a and 8b which are bent and moved in this manner. Further, the sample S is positioned at a predetermined position by the positioning member 11.

以上のように、本実施形態の試料ホルダ1によれば、試料Sを一対の試料挟持部材8a及び8bで挟み付けるだけという極めて簡単な作業だけで、試料Sを試料ホルダ1によってしっかりと支持できる。また、試料Sは一対の試料挟持部材8a及び8bによって挟持される構造なので、試料Sの外形形状が種々の形状となっても、撓み移動した試料挟持部材8a,8bによって試料Sをしっかりと支持できる。このため、試料Sが錠剤の医薬品のように種々の形状となる場合であっても、それらの試料Sに難無く対応できる。   As described above, according to the sample holder 1 of the present embodiment, the sample S can be firmly supported by the sample holder 1 by an extremely simple operation of simply sandwiching the sample S between the pair of sample clamping members 8a and 8b. . Further, since the sample S is sandwiched between the pair of sample clamping members 8a and 8b, the sample S is firmly supported by the sample clamping members 8a and 8b which are flexibly moved even if the outer shape of the sample S is various. it can. For this reason, even if the sample S has various shapes like a tablet medicine, the sample S can be handled without difficulty.

本実施形態では、図1において放射状に配列された複数の溝10によって試料挟持部材8a,8bに可撓性を持たせた。この場合、試料挟持部材8a,8bの外周辺部は撓み難く(すなわち剛性が高く)、中心部分は撓み易い(すなわち剛性が小さい)。このため、試料Sは試料挟持部材8a,8bの撓み力の違いに応じて試料挟持部材8a,8bの中央部分へ押し遣られる傾向にある。つまり、試料挟持部材8a,8bは試料Sを中央部分へ押し遣る機能を果たしている。この機能はとりもなおさず試料Sを一定の位置に置くという位置決め機能である。この試料挟持部材8a,8bによる位置決め機能で十分である場合は、図1の位置決め部材11を取り除くことができる。   In the present embodiment, the sample holding members 8a and 8b are made flexible by the plurality of grooves 10 arranged radially in FIG. In this case, the outer peripheral portions of the sample clamping members 8a and 8b are not easily bent (that is, the rigidity is high), and the central portion is easily bent (that is, the rigidity is small). For this reason, the sample S tends to be pushed to the central part of the sample clamping members 8a and 8b according to the difference in the bending force of the sample clamping members 8a and 8b. That is, the sample clamping members 8a and 8b have a function of pushing the sample S to the central portion. This function is a positioning function for placing the sample S at a fixed position. If the positioning function by the sample clamping members 8a and 8b is sufficient, the positioning member 11 in FIG. 1 can be removed.

(変形例)
図1において、試料挟持部材8a,8bに設ける孔9a,9bの径の大きさを変化させることにより、大きさの異なる試料Sに対応することができる。従って、径の異なる孔9a,9bを備えた複数の試料挟持部材8a,8bを予め用意しておき、それらを適宜に交換して第1の支持部材2及び第2の支持部材3のそれぞれに装着して用いることにより、大きさが異なる種々の試料Sに対応できる。
(Modification)
In FIG. 1, by changing the diameters of the holes 9a and 9b provided in the sample clamping members 8a and 8b, it is possible to deal with samples S having different sizes. Therefore, a plurality of sample clamping members 8a and 8b having holes 9a and 9b having different diameters are prepared in advance, and they are exchanged as appropriate to each of the first support member 2 and the second support member 3. By mounting and using, it can respond to various samples S having different sizes.

また、試料挟持部材8a,8bに設ける溝10の形状や数を変化させることにより、試料挟持部材8a,8bの中心部分の撓み力(撓ませることに要する力)を変化させることができ、大きさや形状が異なる試料Sに対応することができる。従って、溝10の形状や数が異なっている複数の試料挟持部材8a,8bを予め用意しておき、それらを適宜に交換して第1の支持部材2及び第2の支持部材3のそれぞれに装着して用いることにより、形状が異なる種々の試料Sに対応できる。   Further, by changing the shape and number of the grooves 10 provided in the sample holding members 8a and 8b, the bending force (force required for bending) of the center portion of the sample holding members 8a and 8b can be changed. Samples S having different sheath shapes can be handled. Accordingly, a plurality of sample holding members 8a and 8b having different shapes and numbers of the grooves 10 are prepared in advance, and are exchanged as appropriate to each of the first support member 2 and the second support member 3. By mounting and using, various samples S having different shapes can be handled.

上記の実施形態では第1の支持部材2と第2の支持部材3とを磁石6によって結合させる構成とした。しかしながら、第1の支持部材2と第2の支持部材3とを結合させるための構成は、他の任意の構成とすることができる。   In the above embodiment, the first support member 2 and the second support member 3 are coupled by the magnet 6. However, the configuration for coupling the first support member 2 and the second support member 3 may be any other configuration.

(X線分析装置の実施形態)
図3において、本発明に係るX線分析装置の一実施形態は、X線源15と、X線検出器16と、X線源15とX線検出器16とを個別に回転移動させるゴニオメータ(すなわち測角器/図示せず)とを有している。ゴニオメータは、試料Sに対するX線入射位置P1を通って図3の紙面直角方向(紙面を貫通する方向)に延びる軸線X1を中心としてX線源15及びX線検出器16を個別に回転移動させることができる。
(Embodiment of X-ray analyzer)
In FIG. 3, an embodiment of the X-ray analysis apparatus according to the present invention includes an X-ray source 15, an X-ray detector 16, and a goniometer that individually rotates and moves the X-ray source 15 and the X-ray detector 16. That is, it has a goniometer / not shown. The goniometer individually rotates and moves the X-ray source 15 and the X-ray detector 16 about the axis line X1 extending in the direction perpendicular to the plane of the drawing in FIG. be able to.

X線源15は、例えば、通電によって熱電子を発生するフィラメント(陰極)と、フィラメントから放出された熱電子が衝突するターゲット(対陰極)とによって構成される。X線検出器16は、例えば、位置分解能を持たない0(ゼロ)次元X線検出器や、直線的な位置分解能を持った1次元X線検出器や、平面的な位置分解能を持った2次元X線検出器、等が用いられる。   The X-ray source 15 includes, for example, a filament (cathode) that generates thermoelectrons when energized and a target (countercathode) that collides with thermoelectrons emitted from the filament. The X-ray detector 16 is, for example, a 0 (zero) -dimensional X-ray detector having no position resolution, a one-dimensional X-ray detector having a linear position resolution, or 2 having a planar position resolution. A dimensional X-ray detector or the like is used.

一般に、X線源15は入射光学系を構成する1つの要素である。入射光学系はX線源以外に他の光学要素、例えばスリット、ソーラスリット、モノクロメータ、コリメータ等を含んでいる。上記のゴニオメータは、入射光学系の全体を、試料Sに対するX線の入射位置P1を中心として矢印C−C’で示すように回転移動させることができる。   In general, the X-ray source 15 is one element constituting the incident optical system. In addition to the X-ray source, the incident optical system includes other optical elements such as a slit, a solar slit, a monochromator, and a collimator. The goniometer described above can rotate the entire incident optical system as indicated by the arrow C-C ′ around the incident position P1 of the X-ray with respect to the sample S.

X線検出器16は受光光学系を構成する1つの要素である。受光光学系はX線検出器以外に他の光学要素、例えばスリット、ソーラスリット、モノクロメータ、アッテネータ等を含んでいる。受光光学系は、試料Sに対するX線の入射位置P1を中心として矢印D−D’で示すように、回転移動することができる。   The X-ray detector 16 is one element constituting the light receiving optical system. In addition to the X-ray detector, the light receiving optical system includes other optical elements such as a slit, a solar slit, a monochromator, an attenuator, and the like. The light receiving optical system can rotate and move as indicated by an arrow D-D ′ with the X-ray incident position P <b> 1 with respect to the sample S as the center.

試料ホルダ1に支持された試料Sに対してX線を用いた測定を行う場合には、例えば図3に符号Eで示すように、試料ホルダ1の一方の側にX線源15を配置し、試料ホルダ1の他方の側にX線検出器16を配置し、X線源15から放出されたX線R0を試料Sへ入射させ、試料Sで回折して入射側の反対側へ出る回折X線R1をX線検出器16によって検出できる。この方式に従ったX線測定は透過方式のX線測定と呼ばれている。   When performing measurement using X-rays on the sample S supported by the sample holder 1, an X-ray source 15 is arranged on one side of the sample holder 1, for example, as indicated by E in FIG. The X-ray detector 16 is arranged on the other side of the sample holder 1, the X-ray R0 emitted from the X-ray source 15 is incident on the sample S, and is diffracted by the sample S and emitted to the opposite side of the incident side. X-ray R1 can be detected by the X-ray detector 16. X-ray measurement according to this method is called transmission-type X-ray measurement.

本実施形態では、上記のゴニオメータを作動させることにより、X線源15及びX線検出器16の両方を符号Fで示すように試料ホルダ1の一方の同じ側に配置させることができる。この状態で、X線源15から放出されたX線R00を試料Sへ入射させ、試料Sで回折して入射側と同じ側へ出る回折X線R11をX線検出器16によって検出できる。この方式に従ったX線測定は反射方式のX線測定と呼ばれている。   In the present embodiment, by operating the goniometer, both the X-ray source 15 and the X-ray detector 16 can be arranged on one same side of the sample holder 1 as indicated by the symbol F. In this state, the X-ray R00 emitted from the X-ray source 15 is incident on the sample S, and the diffracted X-ray R11 diffracted by the sample S and exiting to the same side as the incident side can be detected by the X-ray detector 16. X-ray measurement according to this method is called reflection-type X-ray measurement.

本実施形態のX線分析装置では、試料挟持部材8a及び8bの両方にX線通過用の孔9a及び9bを設けたので、透過方式のX線測定と反射方式のX線測定とを自由に選択して実行することができる。   In the X-ray analyzer according to the present embodiment, since the X-ray passing holes 9a and 9b are provided in both the sample clamping members 8a and 8b, the transmission X-ray measurement and the reflection X-ray measurement can be freely performed. Can be selected and executed.

(X線分析装置用アタッチメントの実施形態)
一般に、X線分析装置は種々のアタッチメント、すなわち交換用付属装置を備えている。図4はアタッチメントの1つであるサンプルチェンジャを示している。このサンプルチェンジャ20は、基台21と、基台21から突出している本体22と、基台21をX線分析装置の所定位置に装着させるためのガイド部材23と、基台21に内蔵されたロック装置から延びるロック用ハンドル24と、本体22に回転可能に取り付けられたターンテーブル25とを有している。
(Embodiment of attachment for X-ray analyzer)
In general, the X-ray analysis apparatus includes various attachments, that is, replacement accessories. FIG. 4 shows a sample changer which is one of the attachments. The sample changer 20 is built in the base 21, a main body 22 protruding from the base 21, a guide member 23 for mounting the base 21 at a predetermined position of the X-ray analyzer, and the base 21. A locking handle 24 extending from the locking device and a turntable 25 rotatably attached to the main body 22 are provided.

本体22の内部には、ターンテーブル25を回転させるための回転駆動装置が内蔵されている。この回転駆動装置は、例えば、サーボモータ、パルスモータ等といった回転角度を制御可能なモータを含んで構成されている。ターンテーブル25は、上記の回転駆動装置によって駆動されて中心線X0を中心として所望の角度で回転する。   A rotation drive device for rotating the turntable 25 is incorporated in the main body 22. This rotary drive device is configured to include a motor capable of controlling the rotation angle, such as a servo motor or a pulse motor. The turntable 25 is driven by the rotation driving device and rotates at a desired angle around the center line X0.

ターンテーブル25の周辺部分には複数(本実施形態では10個)のホルダ装着部28が設けられている。本実施形態では、ターンテーブル25に開けられた円形状の開口29と、磁石に吸着する材料によってリング状に形成されたホルダ支持部30とによってホルダ装着部28が構成されている。図3に示した試料ホルダ1を図4の開口29に差し入れることにより、図3の磁石6の働きにより試料ホルダ1をホルダ支持部30に固定することができる。   A plurality (ten in this embodiment) of holder mounting portions 28 are provided in the peripheral portion of the turntable 25. In the present embodiment, the holder mounting portion 28 is configured by a circular opening 29 opened in the turntable 25 and a holder support portion 30 formed in a ring shape by a material adsorbed on the magnet. By inserting the sample holder 1 shown in FIG. 3 into the opening 29 in FIG. 4, the sample holder 1 can be fixed to the holder support portion 30 by the action of the magnet 6 in FIG. 3.

図4において、ターンテーブル25に設けられている複数のホルダ装着部28の回転移動軌跡のうち矢印Mで示す位置、すなわち基台21に最も近づいている位置が試料を測定するための位置である。以下、この位置を測定位置Mということにする。図5は、図4のサンプルチェンジャ20を裏側から見た場合の構成を示している。図4及び図5に示すように、測定位置Mに対応する部分の本体22には、本体22を前後に貫通する貫通孔30が設けられている。   In FIG. 4, the position indicated by the arrow M, that is, the position closest to the base 21 among the rotational movement trajectories of the plurality of holder mounting portions 28 provided on the turntable 25 is the position for measuring the sample. . Hereinafter, this position is referred to as a measurement position M. FIG. 5 shows a configuration when the sample changer 20 of FIG. 4 is viewed from the back side. As shown in FIGS. 4 and 5, a through hole 30 penetrating the main body 22 back and forth is provided in the main body 22 corresponding to the measurement position M.

アタッチメントであるサンプルチェンジャ20が装着されるX線分析装置は、X線源15と、X線検出器16と、X線源15とX線検出器16とを個別に回転移動させるゴニオメータ(すなわち測角器/図示せず)とを有している。ゴニオメータは、ホルダ装着部28内にセットされる試料S(図3参照)に対するX線入射位置P1を通って図4の上下方向(図3のX1方向に相当)に延びる軸線X1を中心としてX線源15及びX線検出器16を個別に回転移動させることができる。   The X-ray analyzer to which the sample changer 20 as an attachment is attached includes an X-ray source 15, an X-ray detector 16, and a goniometer (that is, a measurement) that individually rotates and moves the X-ray source 15 and the X-ray detector 16. Square tool / not shown). The goniometer is centered on an axis X1 extending in the vertical direction in FIG. 4 (corresponding to the X1 direction in FIG. 3) through the X-ray incident position P1 with respect to the sample S (see FIG. 3) set in the holder mounting portion 28. The radiation source 15 and the X-ray detector 16 can be individually rotated.

測定位置Mにあるホルダ装着部28に装着された試料ホルダ1(図3参照)に支持された試料Sに対してX線を用いた測定を行う場合には、例えば図4に符号Eで示すように、サンプルチェンジャ20の一方の側(図4では裏側)にX線源15を配置し、サンプルチェンジャ20の他方の側(図4では表側)にX線検出器16を配置し、X線源15から放出されたX線R0を貫通孔30を通して試料S(図3参照)へ入射させ、試料Sで回折して入射側の反対側へ出る回折X線R1をX線検出器16によって検出できる。このX線測定方式は透過方式のX線測定である。   When the measurement using the X-ray is performed on the sample S supported by the sample holder 1 (see FIG. 3) mounted on the holder mounting portion 28 at the measurement position M, for example, it is indicated by a symbol E in FIG. As described above, the X-ray source 15 is disposed on one side (the back side in FIG. 4) of the sample changer 20, and the X-ray detector 16 is disposed on the other side (the front side in FIG. 4) of the sample changer 20. The X-ray R0 emitted from the source 15 is incident on the sample S (see FIG. 3) through the through-hole 30, and the diffracted X-ray R1 diffracted by the sample S and exiting to the opposite side of the incident side is detected by the X-ray detector 16. it can. This X-ray measurement method is a transmission-type X-ray measurement.

上記のゴニオメータを作動させて、X線源15及びX線検出器16を軸線X1を中心として回転移動させることにより、X線源15及びX線検出器16の両方を符号Fで示すようにサンプルチェンジャ20の一方の同じ側(図4ではサンプルチェンジャ20の表側)に配置させることができる。この状態で、X線源15から放出されたX線R00を試料S(図3参照)へ入射させ、試料Sで回折して入射側と同じ側へ出る回折X線R11をX線検出器16によって検出できる。このX線測定は反射方式のX線測定である。   By operating the goniometer and rotating the X-ray source 15 and the X-ray detector 16 about the axis X1, both the X-ray source 15 and the X-ray detector 16 are sampled as indicated by the symbol F. It can be arranged on one same side of the changer 20 (the front side of the sample changer 20 in FIG. 4). In this state, the X-ray R00 emitted from the X-ray source 15 is incident on the sample S (see FIG. 3), and the diffracted X-ray R11 diffracted by the sample S and emitted to the same side as the incident side is detected by the X-ray detector 16. Can be detected. This X-ray measurement is a reflection type X-ray measurement.

(X線分析装置用試料ホルダの第2の実施形態)
図6は本発明に係るX線分析装置用試料ホルダの他の実施形態を分解斜視図によって示している。図7はその試料ホルダを組み立てた状態のその試料ホルダの断面構造を示している。図6の実施形態において図1に示した先の実施形態と同じ部材は同じ符号を用いて示すことにして、その部材の説明は省略することにする。
(Second embodiment of sample holder for X-ray analyzer)
FIG. 6 is an exploded perspective view showing another embodiment of the sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention. FIG. 7 shows a cross-sectional structure of the sample holder in a state where the sample holder is assembled. In the embodiment of FIG. 6, the same members as those of the previous embodiment shown in FIG.

本実施形態が図1に示した実施形態と異なる点は、第1の支持部材2の外周表面上に突出部としての突出縁33を設けたことである。図7に示すように第2の支持部材3を磁石6によって第1の支持部材2に吸着させたとき、第2の支持部材3の外周側面が第1の支持部材2の外周部の突出縁33の内周面によって囲まれる。これにより、第2の支持部材3が第1の支持部材2の面上で位置ズレすることを、突出縁33によって防止できる。第2の支持部材3の第1の支持部材2に対する位置ズレを防止することにより、試料Sを一定の位置に安定して置くことができる。なお、突出縁33を第1の支持部材2に設けることに代えて、第2の支持部材3に設けることもできる。   This embodiment is different from the embodiment shown in FIG. 1 in that a protruding edge 33 as a protruding portion is provided on the outer peripheral surface of the first support member 2. As shown in FIG. 7, when the second support member 3 is attracted to the first support member 2 by the magnet 6, the outer peripheral side surface of the second support member 3 is a protruding edge of the outer peripheral portion of the first support member 2. It is surrounded by 33 inner peripheral surfaces. Accordingly, the protruding edge 33 can prevent the second support member 3 from being displaced on the surface of the first support member 2. By preventing the displacement of the second support member 3 relative to the first support member 2, the sample S can be stably placed at a certain position. Note that the protruding edge 33 can be provided on the second support member 3 instead of being provided on the first support member 2.

本実施形態のように第2の支持部材3を第1の支持部材2の突出縁33の内部に収容するようにした場合は、第2の支持部材3を第1の支持部材2から取外すことが難しいことがある。このことを解消するため、本実施形態では、第2の支持部材3を第1の支持部材2から取外すための治具である取外し治具34を用意している。   When the second support member 3 is accommodated in the protruding edge 33 of the first support member 2 as in the present embodiment, the second support member 3 is removed from the first support member 2. May be difficult. In order to solve this problem, in the present embodiment, a removal jig 34 that is a jig for removing the second support member 3 from the first support member 2 is prepared.

この取外し治具34は、オペレータが指で摘む部材である摘み部35と、摘み部35の先端に固定された磁石36とを有している。摘み部35はオペレータが摘み易い形状、例えば角柱形状や円柱形状に形成できる。磁石36は第2の支持部材3の表面に吸着し易い形状、例えば角柱形状や円柱形状に形成できる。   The removal jig 34 includes a knob 35 that is a member that an operator picks with a finger, and a magnet 36 that is fixed to the tip of the knob 35. The knob portion 35 can be formed in a shape that is easy for an operator to pick, such as a prismatic shape or a cylindrical shape. The magnet 36 can be formed in a shape that is easily attracted to the surface of the second support member 3, for example, a prismatic shape or a cylindrical shape.

オペレータは、摘み部35を指で摘み、磁石36を第2の支持部材3の適所に吸着させ、次に摘み部35を第1の支持部材2から離れる方向へ移動させる。これにより、オペレータは磁石36の磁力によって第2の支持部材3を第1の支持部材2から容易に取外すことができる。この動作を実現するため、磁石36の磁力は、第1の支持部材2内の磁石6の磁力よりも大きいことが望ましい。   The operator picks the knob 35 with his / her finger, attracts the magnet 36 to an appropriate position of the second support member 3, and then moves the knob 35 in a direction away from the first support member 2. Accordingly, the operator can easily remove the second support member 3 from the first support member 2 by the magnetic force of the magnet 36. In order to realize this operation, the magnetic force of the magnet 36 is desirably larger than the magnetic force of the magnet 6 in the first support member 2.

(X線分析装置及びX線分析装置用アタッチメントの第2の実施形態)
図9は本発明に係るX線分析装置及びX線分析装置用アタッチメントのそれぞれの第2の実施形態を示している。ここに示したX線分析装置40は、ゴニオメータ50と、アタッチメントとしてのサンプルチェンジャ100とを有している。
(Second embodiment of X-ray analyzer and attachment for X-ray analyzer)
FIG. 9 shows a second embodiment of the X-ray analyzer and the X-ray analyzer attachment according to the present invention. The X-ray analyzer 40 shown here has a goniometer 50 and a sample changer 100 as an attachment.

ゴニオメータ50は、入射側アーム51と受光側アーム52とを有している。これらのアームは実際は剛性の高い機構部品によって形成されるが、図9では便宜的に1本の線で示している。入射側アーム51はX線管53を支持している。X線管53の内部にX線源54が設けられている。受光側アーム52はX線検出器55を支持している。ゴニオメータ50は、後述する測定位置Mに置かれた試料Sを通る軸線X1を中心としてX線源54及びX線検出器55を個別に回転移動させることができる。   The goniometer 50 has an incident side arm 51 and a light receiving side arm 52. These arms are actually formed by mechanical parts having high rigidity, but are shown by one line for convenience in FIG. The incident side arm 51 supports the X-ray tube 53. An X-ray source 54 is provided inside the X-ray tube 53. The light receiving side arm 52 supports the X-ray detector 55. The goniometer 50 can individually rotate and move the X-ray source 54 and the X-ray detector 55 around an axis X1 passing through a sample S placed at a measurement position M described later.

X線源54は、例えば、通電によって熱電子を発生するフィラメント(陰極)と、フィラメントから放出された熱電子が衝突するターゲット(対陰極)とによって構成される。X線検出器55は、例えば、位置分解能を持たない0(ゼロ)次元X線検出器や、直線的な位置分解能を持った1次元X線検出器や、平面的な位置分解能を持った2次元X線検出器、等が用いられる。   The X-ray source 54 includes, for example, a filament (cathode) that generates thermoelectrons when energized and a target (countercathode) that collides with thermoelectrons emitted from the filament. The X-ray detector 55 is, for example, a 0 (zero) -dimensional X-ray detector having no position resolution, a one-dimensional X-ray detector having a linear position resolution, or 2 having a planar position resolution. A dimensional X-ray detector or the like is used.

一般に、X線源54は入射光学系を構成する1つの要素である。入射光学系はX線源以外に他の光学要素、例えばスリット、ソーラスリット、モノクロメータ、コリメータ等を含んでいる。上記のゴニオメータ50は、入射光学系の全体を軸線X1を中心として矢印C−C’で示すように回転移動させることができる。   In general, the X-ray source 54 is one element constituting the incident optical system. In addition to the X-ray source, the incident optical system includes other optical elements such as a slit, a solar slit, a monochromator, and a collimator. The goniometer 50 described above can rotate the entire incident optical system as indicated by the arrow C-C 'about the axis X1.

X線検出器55は受光光学系を構成する1つの要素である。受光光学系はX線検出器以外に他の光学要素、例えばスリット、ソーラスリット、モノクロメータ、アッテネータ等を含んでいる。受光光学系は軸線X1を中心として矢印D−D’で示すように、回転移動することができる。   The X-ray detector 55 is one element constituting the light receiving optical system. In addition to the X-ray detector, the light receiving optical system includes other optical elements such as a slit, a solar slit, a monochromator, an attenuator, and the like. The light receiving optical system can be rotated about the axis X1 as indicated by an arrow D-D '.

サンプルチェンジャ100は円盤形状の基台101を有している。基台101は、円盤形状の固定用台102と、固定用台102に回転可能に取り付けられた円盤形状の回転台103とを有している。固定用台102と回転台103との間には、回転台103を回転可能に支持するための回転支持機構及び回転台103の回転を禁止させるためのロック機構が設けられている。ロック機構から延びるハンドル104が固定用台102の外部に露出している。ハンドル104を矢印H方向から見て正反時計方向のいずれか一方へ適宜の角度だけ回すことによりロック機構をオン状態(すなわちロック状態)にすることができ、ハンドル104を反対方向へ回すことによりロック機構をオフ状態(すなわちロック解除状態)にすることができる。   The sample changer 100 has a disk-shaped base 101. The base 101 includes a disk-shaped fixing base 102 and a disk-shaped rotating base 103 that is rotatably attached to the fixing base 102. A rotation support mechanism for rotatably supporting the rotation table 103 and a lock mechanism for prohibiting rotation of the rotation table 103 are provided between the fixing table 102 and the rotation table 103. A handle 104 extending from the locking mechanism is exposed to the outside of the fixing base 102. The lock mechanism can be turned on (ie, locked) by turning the handle 104 in either the forward or counterclockwise direction when viewed from the direction of the arrow H, and the handle 104 can be turned in the opposite direction. The lock mechanism can be turned off (ie, unlocked).

基台101の回転台103の表面にテーブル支持体105が固定されている。テーブル支持体105は回転台103の前方へ延び出ている。また、基台101の固定用台102の外周側面に被ガイド部材106が固定されている。被ガイド部材106は固定用台102の側方へ延び出ている。サンプルチェンジャ100は、ゴニオメータ50と一体である面板56の表面に設けたガイド部材57に被ガイド部材106を差し込むことによってゴニオメータ50に対する所定位置に配置されている。   A table support 105 is fixed to the surface of the turntable 103 of the base 101. The table support 105 extends forward of the turntable 103. A guided member 106 is fixed to the outer peripheral side surface of the fixing base 102 of the base 101. The guided member 106 extends to the side of the fixing base 102. The sample changer 100 is disposed at a predetermined position with respect to the goniometer 50 by inserting the guided member 106 into a guide member 57 provided on the surface of the face plate 56 integral with the goniometer 50.

テーブル支持体105の周面の一部は平面となっており、その平面上に円盤形状のターンテーブル107が設けられている。ターンテーブル107はテーブル支持体105の外方へ延びる中心線X2を中心として回転可能にテーブル支持体105に取り付けられている。テーブル支持体105の内部には、ターンテーブル107を面内回転させるための回転駆動装置が内蔵されている。この回転駆動装置は、例えば、サーボモータ、パルスモータ等といった回転角度を制御可能なモータを含んで構成されている。ターンテーブル107は、上記の回転駆動装置によって駆動されて中心線X2を中心として所望の角度で回転する。また、テーブル支持体105の内部には、試料ホルダ1を面内回転させるための回転駆動装置も設けられている。このように、試料ホルダ1はターンテーブル107の回転によって公転し、面内回転によって自転する。   A part of the peripheral surface of the table support 105 is a flat surface, and a disk-shaped turntable 107 is provided on the flat surface. The turntable 107 is attached to the table support 105 so as to be rotatable about a center line X2 extending outward from the table support 105. Inside the table support 105, a rotation drive device for rotating the turntable 107 in-plane is incorporated. This rotary drive device is configured to include a motor capable of controlling the rotation angle, such as a servo motor or a pulse motor. The turntable 107 is driven by the rotation driving device and rotates at a desired angle around the center line X2. In addition, a rotation driving device for rotating the sample holder 1 in the plane is provided inside the table support 105. Thus, the sample holder 1 revolves by the rotation of the turntable 107 and rotates by the in-plane rotation.

図9は、ターンテーブル107が図の上方を向いて水平になっている状態を示している。回転台103はハンドル104によってこの状態に固定、すなわちロックされている。ハンドル104を矢印H方向から見て正時計方向又は反時計方向に回してロック状態を解除することができる。ロック状態を解除した後、オペレータがテーブル支持体105を手で持って矢印J方向又は矢印K方向へ回動させることにより、ターンテーブル107の水平に対する角度を変化させることができる。   FIG. 9 shows a state in which the turntable 107 is leveled upward. The turntable 103 is fixed in this state by the handle 104, that is, locked. The locked state can be released by turning the handle 104 in the clockwise direction or the counterclockwise direction when viewed from the arrow H direction. After releasing the locked state, the operator can change the angle of the turntable 107 with respect to the horizontal by holding the table support 105 with his hand and rotating it in the direction of arrow J or arrow K.

そして角度を変化させた後でハンドル104を回して回転台103をロック状態にすることにより、ターンテーブル107をその角度位置に固定することができる。図10はテーブル支持体105をそのように回動させてターンテーブル107を図の下方を向いて水平にした状態を示している。この状態でハンドル104(図9参照)を回して回転台103をロック状態にすることにより、ターンテーブル107を下方を向いて水平な状態に配置することができる。   Then, after changing the angle, the turntable 107 can be fixed at the angular position by turning the handle 104 to lock the turntable 103. FIG. 10 shows a state in which the table support 105 is rotated in such a manner and the turntable 107 is leveled downward in the figure. In this state, by turning the handle 104 (see FIG. 9) to place the turntable 103 in a locked state, the turntable 107 can be placed in a horizontal state facing downward.

図11(a)は、ターンテーブル107を正面から見た状態を示している。図11(b)は図11(a)におけるG−G線に従った側面図である。図11(a)において、ターンテーブル107の表面の周辺部分には複数(本実施形態では6個)のホルダ装着部108が設けられている。本実施形態では、ターンテーブル107に開けられた円形状の開口109と、磁石に吸着する材料によってリング状に形成されたホルダ支持部110とによってホルダ装着部108が構成されている。図9において、矢印Lで示すように試料ホルダ1をホルダ装着部108のリング状のホルダ支持部110の上に載せることにより図6及び図7の磁石6の働きにより試料ホルダ1をホルダ支持部110に固定することができる。   FIG. 11A shows the turntable 107 viewed from the front. FIG.11 (b) is a side view according to the GG line in Fig.11 (a). In FIG. 11A, a plurality (six in this embodiment) of holder mounting portions 108 are provided on the peripheral portion of the surface of the turntable 107. In the present embodiment, the holder mounting portion 108 is configured by a circular opening 109 opened in the turntable 107 and a holder support portion 110 formed in a ring shape by a material adsorbed on the magnet. 9, the sample holder 1 is placed on the ring-shaped holder support portion 110 of the holder mounting portion 108 as indicated by an arrow L, so that the sample holder 1 is moved to the holder support portion by the action of the magnet 6 in FIGS. 110 can be fixed.

図11(a)においてホルダ装着部108の周囲には複数(本実施形態では4個)の位置決め用突部111が設けられている。これらの位置決め用突部111は、ターンテーブル107の表面に固着された大径部112と、その大径部112の上に設けられた小径部113とによって形成されている。外側に存在する12個の位置決め用突部111aは1つのホルダ装着部108に対して2つずつ設けられている。他方、内側に存在する6個の位置決め用突部111bは1つのホルダ装着部108に対して2つずつ設けられており、且つ個々の突部111bは互いに隣接する2つのホルダ装着部108によって共用される。   In FIG. 11A, a plurality (four in the present embodiment) of positioning protrusions 111 are provided around the holder mounting portion 108. These positioning protrusions 111 are formed by a large diameter portion 112 fixed to the surface of the turntable 107 and a small diameter portion 113 provided on the large diameter portion 112. The twelve positioning protrusions 111a existing on the outside are provided two for each holder mounting part 108. On the other hand, the six positioning projections 111b existing inside are provided two by one with respect to one holder mounting portion 108, and each projection 111b is shared by two adjacent holder mounting portions 108. Is done.

図9に符号Lで示すように試料ホルダ1をホルダ装着部108へ載せると、図11(b)に示すように試料ホルダ1の第1の支持部2の底面がホルダ装着部108のホルダ支持部110の上面に面接触する。そして、第1の支持部2の外周側面が4つの位置決め用突部111の小径部113によって位置決めされる。すなわち、試料ホルダ1の位置ズレが4つの小径部113によって規制される。これにより、試料ホルダ1をターンテーブル107上における一定位置に常に安定して置くことが可能となる。   When the sample holder 1 is placed on the holder mounting portion 108 as indicated by a symbol L in FIG. 9, the bottom surface of the first support portion 2 of the sample holder 1 is supported by the holder mounting portion 108 as shown in FIG. Surface contact is made with the upper surface of the portion 110. And the outer peripheral side surface of the 1st support part 2 is positioned by the small diameter part 113 of the four protrusions 111 for positioning. That is, the positional deviation of the sample holder 1 is regulated by the four small diameter portions 113. As a result, the sample holder 1 can always be stably placed at a fixed position on the turntable 107.

試料ホルダ1をホルダ装着部108から取外す際には、オペレータは、互いに隣接する2つの内側の位置決め用突部111bの間に指、例えば親指を入れて試料ホルダ1の外周側面にその指を当てる。さらにオペレータは、対向する2つの外側の位置決め用突部111aの間に他の指、例えば人差し指又は中指を入れて試料ホルダ1の外周側面にその指を当てる。これにより、試料ホルダ1がオペレータの指によって摘まれる。その後、オペレータは親指によって試料ホルダ1をめくり上げるようにして取り上げて、その試料ホルダ1をホルダ装着部108から取外す。このようにオペレータは4つの位置決め用突部111の間に指を入れた状態で試料ホルダ1の取付け及び取外しを行うことができるので、その取付け及び取外しの作業が非常に容易である。   When removing the sample holder 1 from the holder mounting portion 108, the operator puts a finger, for example, a thumb between two adjacent positioning projections 111 b adjacent to each other and places the finger on the outer peripheral side surface of the sample holder 1. . Further, the operator puts another finger, for example, the index finger or the middle finger between the two outer positioning projections 111 a facing each other and places the finger on the outer peripheral side surface of the sample holder 1. Thereby, the sample holder 1 is picked by the operator's finger. Thereafter, the operator picks up the sample holder 1 with his / her thumb and removes the sample holder 1 from the holder mounting portion 108. As described above, the operator can attach and remove the sample holder 1 with his / her finger placed between the four positioning projections 111, so that the attaching and removing operations are very easy.

図9及び図11(a)において、ターンテーブル107に設けられている複数のホルダ装着部108の回転移動軌跡のうち矢印Mで示す位置、すなわち基台101に最も近づいている位置が試料を測定するための位置である。以下、この位置を測定位置Mということにする。図10に示すように、測定位置Mに対応する部分のテーブル支持体105には、当該テーブル支持体105を図の上下方向に貫通する貫通孔114が設けられている。   9 and 11A, the sample is measured at the position indicated by the arrow M, that is, the position closest to the base 101 among the rotational movement trajectories of the plurality of holder mounting portions 108 provided on the turntable 107. It is a position to do. Hereinafter, this position is referred to as a measurement position M. As shown in FIG. 10, a portion of the table support 105 corresponding to the measurement position M is provided with a through hole 114 that passes through the table support 105 in the vertical direction in the figure.

図9において測定位置Mにあるホルダ装着部108に装着された試料ホルダ1に支持された試料Sに対してX線を用いた測定、特に反射方式のX線測定を行う場合には、例えば図9に符号54(F)で示すようにサンプルチェンジャ100の一方の側(図9ではサンプルチェンジャ100の上側)にX線源54を配置し、符号55(F)で示すようにサンプルチェンジャ100に対する同じ側(図9ではサンプルチェンジャ100の上側)にX線検出器55を配置する。この状態で、X線源54から放出されたX線R0を試料Sへ入射させ、試料Sで回折してその試料Sで反射する方向へ進行する回折X線R1をX線検出器55によって検出する。   In FIG. 9, when performing measurement using X-rays on the sample S supported by the sample holder 1 mounted on the holder mounting portion 108 at the measurement position M, particularly X-ray measurement of the reflection method, for example, FIG. 9, the X-ray source 54 is arranged on one side of the sample changer 100 (in FIG. 9, the upper side of the sample changer 100) as indicated by reference numeral 54 (F), and the reference to the sample changer 100 as indicated by reference numeral 55 (F). The X-ray detector 55 is arranged on the same side (the upper side of the sample changer 100 in FIG. 9). In this state, the X-ray R0 emitted from the X-ray source 54 is incident on the sample S, and the X-ray detector 55 detects the diffracted X-ray R1 that is diffracted by the sample S and travels in the direction reflected by the sample S. To do.

他方、透過方式のX線測定を行う場合には、ハンドル104を操作して回転台103のロック状態を解除し、テーブル支持体105を図10に示すようにターンテーブル107が下向きで水平状態になる位置まで180°回動させ、その状態でハンドル104(図9参照)を操作して回転台103をロック状態に設定してターンテーブル107の位置を固定する。   On the other hand, when performing transmission type X-ray measurement, the handle 104 is operated to release the locked state of the turntable 103, and the turntable 107 is placed in a horizontal state with the turntable 107 facing downward as shown in FIG. In this state, the handle 104 (see FIG. 9) is operated to set the turntable 103 to the locked state, and the position of the turntable 107 is fixed.

そして、ゴニオメータ50を作動して、X線管53を上方向(矢印C’方向)へ回動させて図10に示すようにX線源54を符号(E)で示す直上位置に配置する。さらに、図9においてゴニオメータ50を作動して、X線検出器55を下方向(矢印D’方向)へ回動させて図10に示すようにX線検出器55を符号(E)で示す直下位置に配置する。この状態で、X線源54から放出されたX線R0を試料Sへ入射させ、試料Sで回折してその試料Sを透過する方向へ進行する回折X線R1をX線検出器55によって検出する。この透過方式のX線測定が行われる場合は図8に示すように、試料ホルダ1は図7に示した反射方式の場合に比べて、180°だけ反転した状態となっている。   Then, the goniometer 50 is operated to rotate the X-ray tube 53 upward (in the direction of the arrow C ′), so that the X-ray source 54 is arranged at a position immediately above indicated by reference numeral (E) as shown in FIG. Further, in FIG. 9, the goniometer 50 is operated to rotate the X-ray detector 55 downward (in the direction of the arrow D ′), and as shown in FIG. 10, the X-ray detector 55 is directly below indicated by the symbol (E). Place in position. In this state, the X-ray R0 emitted from the X-ray source 54 is incident on the sample S, and the X-ray detector 55 detects the diffracted X-ray R1 that is diffracted by the sample S and travels in the direction passing through the sample S. To do. When this transmission type X-ray measurement is performed, as shown in FIG. 8, the sample holder 1 is inverted by 180 ° as compared with the case of the reflection type shown in FIG.

なお、反射方式のX線回折測定を行う場合と透過方式のX線回折測定を行う場合とでターンテーブル107の水平に対する角度を変化させる場合、その変化させる角度は上記のように180°の反転に限られることはなく、必要に応じた任意の傾斜角度とすることができる。   When the angle of the turntable 107 with respect to the horizontal is changed between when the reflection type X-ray diffraction measurement is performed and when the transmission type X-ray diffraction measurement is performed, the angle to be changed is inverted by 180 ° as described above. It is not restricted to, It can be set as the arbitrary inclination angles as needed.

仮に図9のようにテーブル支持体105をゴニオメータ50に対する下方領域に置いた状態で、X線検出器55を図9に示す角度位置から図10に示すような直下位置へ搬送する場合には、X線検出器55がテーブル支持体105にぶつからないようにするために、ゴニオメータ50によるX線検出器55の回動半径を大きくとる必要がある。これに対し、本実施形態のX線分析装置40では、透過方式のX線測定を行うときにはテーブル支持体105を図10に示すように上方位置へ反転させることにしたので、図9のようにテーブル支持体105を下方位置に置いた場合に比べて、ゴニオメータ50の下方領域の空間が大きく開放される。このため、ゴニオメータ50によるX線検出器55の回動半径を小さく設定した場合でも、X線検出器55を支障なく図10に示す直下位置へ配置することができる。   If the X-ray detector 55 is transported from the angular position shown in FIG. 9 to a position directly below as shown in FIG. 10 with the table support 105 placed in a region below the goniometer 50 as shown in FIG. In order to prevent the X-ray detector 55 from colliding with the table support 105, it is necessary to increase the turning radius of the X-ray detector 55 by the goniometer 50. On the other hand, in the X-ray analyzer 40 of the present embodiment, the table support 105 is inverted to the upper position as shown in FIG. 10 when performing transmission X-ray measurement, as shown in FIG. Compared with the case where the table support body 105 is placed at the lower position, the space in the lower area of the goniometer 50 is greatly opened. For this reason, even when the turning radius of the X-ray detector 55 by the goniometer 50 is set to be small, the X-ray detector 55 can be disposed at a position directly below as shown in FIG.

(その他の実施形態)
以上、試料ホルダ、アタッチメント及びX線分析装置のそれぞれに関して好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
(Other embodiments)
The present invention has been described with reference to preferred embodiments with respect to each of the sample holder, attachment, and X-ray analyzer. However, the present invention is not limited to these embodiments, and the invention described in the claims. Various modifications can be made within the range.

例えば、試料ホルダは図1〜図3に示した構成及び図6に示した構成に限られず、適宜に改変可能である。例えば図1又は図6において試料ホルダ1を構成している各部材は円形状以外の任意の平面形状とすることができる。   For example, the sample holder is not limited to the configuration shown in FIGS. 1 to 3 and the configuration shown in FIG. 6, and can be appropriately modified. For example, each member constituting the sample holder 1 in FIG. 1 or FIG. 6 can have an arbitrary planar shape other than a circular shape.

また、本発明のアタッチメントは図4及び図5に示した構成のサンプルチェンジャや、図9及び図10に示した構成のサンプルチェンジャに限られず、他の任意の機能を実現するアタッチメントであっても良い。   Further, the attachment of the present invention is not limited to the sample changer having the configuration shown in FIGS. 4 and 5 and the sample changer having the configuration shown in FIGS. 9 and 10, and may be an attachment that realizes other arbitrary functions. good.

1.試料ホルダ、 2.第1の支持部材、 2a.凹部、 3.第2の支持部材、 3a.凹部、 4.段差部、 5.段差部、 6.磁石、 8a,8b.試料挟持部材、 9a,9b.孔、 10.溝、 11.位置決め部材、 12.孔、 15.X線源、 16.X線検出器、 20.サンプルチェンジャ(アタッチメント)、 21.基台、 22.本体、 23.ガイド部材、 24.ロック用ハンドル、 25.ターンテーブル、 28.ホルダ装着部、 29.開口、 30.貫通孔、 33.突出縁、 34.取外し治具、 35.摘み部、 36.磁石、 40.X線分析装置、50.ゴニオメータ、 51.入射側アーム、 52.受光側アーム、 53.X線管、 54.X線源、 55.X線検出器、 56.面板、 57.ガイド部材、 100.サンプルチェンジャ(アタッチメント)、 101.基台、 102.固定用台、 103.回転台、 104.ハンドル、 105.テーブル支持体、 106.被ガイド部材、 107.ターンテーブル、 108.ホルダ装着部、 109.開口、 110.ホルダ支持部、 111.位置決め用突部、 112.大径部、 113.小径部、 114.貫通孔   1. 1. Sample holder, A first support member, 2a. 2. recess, A second support member, 3a. Recess, 4. Step part, 5. Step part, 6. Magnets, 8a, 8b. Sample clamping member, 9a, 9b. Hole, 10. Groove, 11. Positioning member, 12. Hole, 15. X-ray source, 16. X-ray detector, 20. 20. Sample changer (attachment) Base, 22. Body, 23. Guide member, 24. Lock handle, 25. Turntable, 28. Holder mounting portion, 29. Opening, 30. Through hole, 33. Protruding edge, 34. Removal jig, 35. Knob part, 36. Magnet, 40. X-ray analyzer, 50. Goniometer, 51. Incident side arm, 52. Light receiving side arm 53. X-ray tube, 54. X-ray source, 55. X-ray detector, 56. Face plate, 57. Guide member, 100. Sample changer (attachment), 101. Base, 102. Fixing base, 103. Turntable, 104. Handle, 105. Table support, 106. Guided member, 107. Turntable, 108. 109. holder mounting part; Opening, 110. Holder support, 111. Positioning protrusion, 112. Large diameter part, 113. Small diameter portion, 114. Through hole

Claims (11)

試料を支持しX線分析装置に着脱される試料ホルダにおいて、
前記試料を両側から挟んで支持する一対の試料挟持部材を有しており、
当該試料挟持部材は、平面形状が試料よりも広く、厚さが試料よりも薄く、可撓性を有している、板状の部材であり、
前記一対の試料挟持部材の少なくとも一方にはX線を透過させるための孔が設けられており、
前記孔から放射状に延びる複数の溝を前記試料挟持部材に形成することにより、前記試料挟持部材の可撓性が実現されている
ことを特徴とするX線分析装置用試料ホルダ。
In the sample holder that supports the sample and is attached to and detached from the X-ray analyzer,
Having a pair of sample clamping members for supporting the sample from both sides;
The sample clamping member is a plate-like member having a planar shape wider than the sample, a thickness thinner than the sample, and having flexibility,
At least one of the pair of sample clamping members is provided with a hole for transmitting X-rays ,
The sample holder for an X-ray analyzer , wherein the sample holding member is made flexible by forming a plurality of grooves extending radially from the hole in the sample holding member .
前記一対の試料挟持部材の一方を撓み移動可能に支持する第1の支持部材と、
前記一対の試料挟持部材の他方を撓み移動可能に支持する第2の支持部材と、を有しており、
前記第1の支持部材と前記第2の支持部材は前記一対の試料挟持部材が互いに対向した状態で結合される
ことを特徴とする請求項1記載のX線分析装置用試料ホルダ。
A first support member that supports one of the pair of sample clamping members so as to bend and move;
A second support member that supports the other of the pair of sample clamping members to bend and move, and
Said first support member and the second support member is X-ray analysis apparatus for sample holder of claim 1 Symbol mounting, characterized in that it is coupled in the pair of sample clamping members are opposed to each other.
前記第1の支持部材と前記第2の支持部材との一方に磁石が設けられており、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材との他方は磁石に吸着する性質を有していることを特徴とする請求項記載のX線分析装置用試料ホルダ。 A magnet is provided on one of the first support member and the second support member, and the other of the first support member and the second support member has a property of adsorbing to the magnet. The sample holder for an X-ray analyzer according to claim 2 , wherein the sample holder is an X-ray analyzer. 磁石を備えた取外し治具をさらに有しており、前記磁石を前記第1の支持部材又は前記第2の支持部材に吸着させた状態で前記取外し治具によって前記第1の支持部材と前記第2の支持部材とを離間させることを特徴とする請求項又は請求項記載のX線分析装置用試料ホルダ。 A detaching jig provided with a magnet; and the first supporting member and the first detaching jig by the detaching jig in a state where the magnet is attracted to the first supporting member or the second supporting member. The sample holder for an X-ray analyzer according to claim 2 or 3, wherein the two support members are separated from each other. 前記第1の支持部材又は前記第2の支持部材の外周表面上に相手側支持部材の位置ズレを規制するための突出部を設けたことを特徴とする請求項から請求項のいずれか1つに記載のX線分析装置用試料ホルダ。 The protrusion part for controlling the position shift of the other party support member was provided on the outer peripheral surface of the said 1st support member or the said 2nd support member, The any one of Claim 2 to 4 characterized by the above-mentioned. The sample holder for X-ray analyzers as described in one. 前記試料を位置決めするための位置決め部材が前記一対の試料挟持部材の間に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項のいずれか1つに記載のX線分析装置用試料ホルダ。 The sample holder for an X-ray analyzer according to any one of claims 1 to 5 , wherein a positioning member for positioning the sample is provided between the pair of sample clamping members. . 前記位置決め部材は、前記試料よりも薄い板状の部材であり、前記試料よりもわずかに大きい径の試料収納用の孔を有していることを特徴とする請求項記載のX線分析装置用試料ホルダ。 The X-ray analyzer according to claim 6 , wherein the positioning member is a plate-like member thinner than the sample, and has a hole for storing a sample having a diameter slightly larger than the sample. Sample holder. 請求項1から請求項のいずれか1つに記載の試料ホルダを有することを特徴とするX線分析装置用アタッチメント。 An X-ray analyzer attachment comprising the sample holder according to any one of claims 1 to 7 . 複数のホルダ装着部を備えたターンテーブルと、前記複数のホルダ装着部の周囲に設けられた複数の位置決め用突部とを有しており、
前記試料ホルダは磁力によって前記ホルダ装着部に吸着され、吸着された前記試料ホルダは前記位置決め用突部に囲まれることによって位置決めされ、
前記位置決め用突部は前記ホルダ装着部の1つに対して4つ設けられている
ことを特徴とする請求項記載のX線分析装置用アタッチメント。
A turntable having a plurality of holder mounting portions; and a plurality of positioning protrusions provided around the plurality of holder mounting portions;
The sample holder is attracted to the holder mounting portion by magnetic force, and the adsorbed sample holder is positioned by being surrounded by the positioning projections,
9. The attachment for an X-ray analyzer according to claim 8, wherein four positioning protrusions are provided for one of the holder mounting portions.
請求項記載のアタッチメントと、試料を照射するためのX線を発生するX線源と、前記試料から出たX線を検出するX線検出手段とを有しており、
前記アタッチメントは複数のホルダ装着部を備えたターンテーブルを有しており、
前記アタッチメントは前記ターンテーブルを面内回転させることにより前記複数のホルダ装着部の1つに含まれる試料を前記X線源で発生したX線によって照射される位置に選択的に置く
ことを特徴とするX線分析装置。
The attachment according to claim 8, an X-ray source that generates X-rays for irradiating the sample, and an X-ray detection unit that detects X-rays emitted from the sample,
The attachment has a turntable with a plurality of holder mounting portions,
The attachment selectively places a sample included in one of the plurality of holder mounting portions at a position irradiated with X-rays generated by the X-ray source by rotating the turntable in-plane. X-ray analyzer.
X線によって照射される位置に置かれた試料を通る回転中心線を中心とする前記X線源の角度及び前記X線検出手段の角度を測角するゴニオメータをさらに有しており、
前記アタッチメントは、
前記ターンテーブルを面内回転可能に支持するテーブル支持体と、
当該テーブル支持体を前記試料を通る線を中心として回動させるテーブル回動手段と、
テーブル回動手段によって回動させられたテーブル支持体の位置を固定するロック手段と、を有しており、
前記X線源と前記X線検出手段とが反射方式に配置されるときと、前記X線源と前記X線検出手段とが透過方式に配置されるときとで、前記テーブル支持体が前記テーブル回動手段によって異なった角度位置に回動させられ、その回動させられた位置で前記ロック手段によって固定される
ことを特徴とする請求項10記載のX線分析装置。
A goniometer that measures the angle of the X-ray source and the angle of the X-ray detection means about the rotation center line passing through the sample placed at the position irradiated by the X-ray;
The attachment is
A table support that supports the turntable in an in-plane rotation;
Table rotating means for rotating the table support around a line passing through the sample;
Locking means for fixing the position of the table support rotated by the table rotating means,
The table support is the table when the X-ray source and the X-ray detection means are arranged in a reflective manner and when the X-ray source and the X-ray detection means are arranged in a transmissive manner. 11. The X-ray analyzer according to claim 10, wherein the X-ray analyzer is rotated to different angular positions by the rotating means and fixed by the locking means at the rotated position.
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