JP6075873B2 - Sample holder for X-ray analyzer, attachment for X-ray analyzer, and X-ray analyzer - Google Patents
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Description
本発明は、試料をX線分析装置の所定位置に置くための試料ホルダ、その試料ホルダを用いて成るX線分析装置用アタッチメント、及びそのX線分析装置用アタッチメントを用いて成るX線分析装置に関する。 The present invention relates to a sample holder for placing a sample at a predetermined position of an X-ray analyzer, an X-ray analyzer attachment using the sample holder, and an X-ray analyzer using the X-ray analyzer attachment About.
X線分析装置は、試料にX線を照射し、試料から出るX線をX線検出器によって検出する装置である。一般的なX線分析装置では、試料を試料ホルダで支持し、その試料ホルダをX線分析装置の所定位置に装着することにより、試料をX線分析装置内の所定位置にセットする。 An X-ray analyzer is an apparatus that irradiates a sample with X-rays and detects X-rays emitted from the sample with an X-ray detector. In a general X-ray analyzer, a sample is supported by a sample holder, and the sample holder is attached to a predetermined position of the X-ray analyzer, thereby setting the sample at a predetermined position in the X-ray analyzer.
従来、バネによって付勢される複数の爪状の支持片によって試料を側面部分から支持するようにした試料ホルダが知られている(例えば、特許文献1参照)。また、試料の外周面をリング状の保持具によって支持するようにした試料ホルダが知られている(例えば、特許文献2参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, a sample holder is known in which a sample is supported from a side surface portion by a plurality of claw-shaped support pieces biased by a spring (see, for example, Patent Document 1). A sample holder is also known in which the outer peripheral surface of the sample is supported by a ring-shaped holder (see, for example, Patent Document 2).
また、周辺部分に切欠部を備え中央部分にX線通過孔を備えた固定板によって試料を押えて支持することにした試料ホルダが知られている(例えば、特許文献3参照)。さらに、磁力によって試料板に固着できると共に可撓性を有していない押え板によって試料を押えて支持するようにした試料ホルダが知られている(例えば、特許文献4参照)。 There is also known a sample holder in which a sample is pressed and supported by a fixing plate having a notch in the peripheral portion and an X-ray passage hole in the central portion (see, for example, Patent Document 3). Furthermore, there is known a sample holder that can be fixed to a sample plate by a magnetic force and supported by pressing a sample with a holding plate that is not flexible (for example, see Patent Document 4).
特許文献1に開示された試料ホルダにおいては、爪状の支持片の先端に段部が形成されており、その段部に試料を載せた状態で試料を支持するようになっている。このため、特許文献1の試料ホルダでは、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまうという問題があった。
In the sample holder disclosed in
また、特許文献2に開示された試料ホルダにおいては、試料を台座の上に載せた状態で試料の外周を保持具によって受ける構成としたので、やはり、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまうという問題があった。
Moreover, in the sample holder disclosed in
また、特許文献3に開示された試料ホルダにおいては、固定板が剛性の高い材料によって形成されていて撓むことができない構造となっていた。このため、試料台と固体板との間に形成される試料支持用の空間が一定の高さ又は厚さに限定されてしまい、やはり、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまうという問題があった。
In addition, the sample holder disclosed in
さらに、特許文献4に開示された試料ホルダにおいては、試料を押えて支持するための押え板が可撓性を有しない剛性の高い材料によって形成されていたため、やはり、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまうという問題があった。以上のように、従来の試料ホルダにおいては、支持できる試料の外形形状が特定のものに限定されてしまい、種々の形状の試料に対応できないという問題があった。
Furthermore, in the sample holder disclosed in
ところで、近年では、医薬品の開発の段階でX線分析装置を用いて医薬品を評価したいという要望が多くなっている。例えば、X線分析装置を用いて医薬品の定性分析、定量分析、結晶化度の解析、結晶子サイズの解析、構造解析、等を行うことが多くなっている。医薬品は錠剤の形となることが多く、この錠剤は周知の通り種々の外形形状を有している。また、医薬品に限らずX線分析装置の試料と成り得る物質には種々の外形形状をとるものが従来からたくさんあった。上記した従来の試料ホルダは、このような種々の外形形状の試料に対応することができず、従って、従来から種々の外形形状に対応できる試料ホルダが切望されていた。 By the way, in recent years, there is an increasing demand for evaluation of pharmaceuticals using an X-ray analyzer at the stage of pharmaceutical development. For example, pharmaceutical qualitative analysis, quantitative analysis, crystallinity analysis, crystallite size analysis, structural analysis, and the like are frequently performed using an X-ray analyzer. Pharmaceutical products are often in the form of tablets, and these tablets have various outer shapes as is well known. In addition, not only drugs but also substances that can be samples of X-ray analyzers have conventionally taken many different shapes. The above-described conventional sample holder cannot cope with samples having such various outer shapes, and therefore, a sample holder that can cope with various outer shapes has long been desired.
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、種々の外形形状の試料を簡単な作業だけでX線分析装置内の所定位置に正確に設置することが出きる試料ホルダを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is a sample holder that can accurately place samples of various outer shapes at predetermined positions in an X-ray analyzer with a simple operation. The purpose is to provide.
本発明に係るX線分析装置用試料ホルダは、試料を支持しX線分析装置に着脱される試料ホルダにおいて、前記試料を両側から挟んで支持する一対の試料挟持部材を有しており、当該試料挟持部材は、平面形状が試料よりも広く、厚さが試料よりも薄く、可撓性を有している、板状の部材であり、前記一対の試料挟持部材の少なくとも一方にはX線を透過させるための孔が設けられており、前記孔から放射状に延びる複数の溝を前記試料挟持部材に形成することにより、前記試料挟持部材の可撓性が実現されていることを特徴とする。 The sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention has a pair of sample clamping members that support the sample and support the sample by sandwiching the sample from both sides in the sample holder attached to and detached from the X-ray analyzer, The sample holding member is a plate-like member having a planar shape wider than the sample, thinner than the sample, and having flexibility, and at least one of the pair of sample holding members has X-rays. The sample holding member is made flexible by forming a plurality of grooves extending radially from the hole in the sample holding member. .
本発明の試料ホルダによれば、試料を一対の試料挟持部材で挟み付けるだけという極めて簡単な作業だけで、試料を試料ホルダによってしっかりと支持できる。また、試料は一対の試料挟持部材によって挟持される構造なので、試料の外形形状が種々の形状となっても、撓み移動した試料挟持部材によって試料をしっかりと支持できる。このため、試料が錠剤の医薬品のように種々の形状となる場合であっても、それらの試料に難無く対応できる。 According to the sample holder of the present invention, the sample can be firmly supported by the sample holder only by an extremely simple operation of simply pinching the sample between the pair of sample holding members. In addition, since the sample is sandwiched between the pair of sample clamping members, the sample can be firmly supported by the sample clamping member that is flexibly moved even if the outer shape of the sample has various shapes. For this reason, even if the sample has various shapes such as a pharmaceutical product of a tablet, the sample can be handled without difficulty.
本発明に係るX線分析装置用試料ホルダにおいては、前記孔から放射状に延びる複数の溝を前記試料挟持部材に形成することにより、前記試料挟持部材に可撓性を持たせている。試料挟持部材に可撓性を持たせる構成は種々に考えられるが、上記のように複数の溝によって試料挟持部材に可撓性を持たせるようにすれば、試料挟持部材の外周辺部は撓み難く(すなわち剛性が高く)、中心部分は撓み易く(すなわち剛性を小さく)できる。この結果、試料挟持部材によって試料の位置決め機能を達成できる。
In sample holder for X-ray analysis apparatus according to the present invention, by forming a plurality of grooves extending radially from the hole in the sample clamping member, and with flexibility in the sample clamping member. Various configurations for giving flexibility to the sample clamping member are conceivable. However, if the sample clamping member is made flexible by a plurality of grooves as described above, the outer peripheral portion of the sample clamping member is bent. It is difficult (that is, the rigidity is high), and the central portion can be easily bent (that is, the rigidity is small). As a result, the sample positioning function can be achieved by the sample clamping member.
本発明に係るX線分析装置用試料ホルダは、前記一対の試料挟持部材の一方を撓み移動可能に支持する第1の支持部材と、前記一対の試料挟持部材の他方を撓み移動可能に支持する第2の支持部材とを有することができ、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材は前記一対の試料挟持部材が互いに対向した状態で結合される。 A sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention supports a first support member that supports one of the pair of sample holding members so as to bend and move, and the other of the pair of sample holding members that can be bent and moved. A second support member, and the first support member and the second support member are coupled together with the pair of sample clamping members facing each other.
本発明に係るX線分析装置用試料ホルダにおいては、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材との一方に磁石を設けることができ、前記第1の支持部材と前記第2の支持部材との他方は磁石に吸着する性質を有することができる。 In the sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention, a magnet may be provided on one of the first support member and the second support member, and the first support member and the second support member may be provided. The other of the members can have a property of being attracted to the magnet.
本発明に係るX線分析装置用試料ホルダにおいては、前記試料を位置決めするための位置決め部材を前記一対の試料挟持部材の間に設けることができる。 In the sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention, a positioning member for positioning the sample can be provided between the pair of sample clamping members.
本発明に係るX線分析装置用試料ホルダにおいて、前記位置決め部材は、前記試料よりも薄い板状の部材であり、前記試料よりもわずかに大きい径の試料収納用の孔を有することができる。 In the sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention, the positioning member is a plate-like member that is thinner than the sample, and may have a sample storage hole having a slightly larger diameter than the sample.
次に、本発明に係るアタッチメントは、以上に記載した構成を有する試料ホルダを有することを特徴とする。このアタッチメントは、例えばX線分析装置で用いられるサンプルチェンジャである。 Next, the attachment according to the present invention is characterized by including a sample holder having the above-described configuration. This attachment is a sample changer used in, for example, an X-ray analyzer.
次に、本発明に係るX線分析装置は、以上に記載した構成を有する試料ホルダを有することを特徴とする。このX線分析装置は、例えば、X線回折装置、蛍光X線装置、等である。 Next, an X-ray analysis apparatus according to the present invention includes a sample holder having the above-described configuration. This X-ray analyzer is, for example, an X-ray diffractometer or a fluorescent X-ray apparatus.
本発明の試料ホルダ、アタッチメント及びX線分析装置によれば、試料を一対の試料挟持部材で挟み付けるだけという極めて簡単な作業だけで、試料を試料ホルダによってしっかりと支持できる。また、試料は一対の試料挟持部材によって挟持される構造なので、試料の外形形状が種々の形状となっても、撓み移動した試料挟持部材によって試料をしっかりと支持できる。このため、試料が錠剤の医薬品のように種々の形状となる場合であっても、それらの試料に難無く対応できる。 According to the sample holder, the attachment, and the X-ray analyzer of the present invention, the sample can be firmly supported by the sample holder by an extremely simple operation of simply sandwiching the sample with the pair of sample clamping members. In addition, since the sample is sandwiched between the pair of sample clamping members, the sample can be firmly supported by the sample clamping member that is flexibly moved even if the outer shape of the sample has various shapes. For this reason, even if the sample has various shapes such as a pharmaceutical product of a tablet, the sample can be handled without difficulty.
以下、本発明に係るX線分析装置用試料ホルダ、X線分析装置用アタッチメント、及びX線分析装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、本明細書に添付した図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で構成要素を示す場合がある。 Hereinafter, a sample holder for an X-ray analyzer, an attachment for an X-ray analyzer, and an X-ray analyzer according to the present invention will be described based on embodiments. Of course, the present invention is not limited to this embodiment. In addition, in the drawings attached to the present specification, components may be shown in different ratios from actual ones in order to show characteristic parts in an easy-to-understand manner.
(X線分析装置用試料ホルダの実施形態)
図1は、本発明に係るX線分析装置用試料ホルダの一実施形態を分解斜視図によって示している。図2は、その試料ホルダの断面構造を分解図によって示している。図3は、組み立てた状態のその試料ホルダの断面構造を示している。
(Embodiment of sample holder for X-ray analyzer)
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention. FIG. 2 shows an exploded view of the cross-sectional structure of the sample holder. FIG. 3 shows a cross-sectional structure of the sample holder in an assembled state.
本実施形態の試料ホルダ1は、試料Sを支持するための器具である。試料Sは、例えば医薬品の錠剤である。この試料Sは、中央部分の厚さが厚く、周辺部分の厚さが薄い、偏平な円盤形状に形成されている。なお、本実施形態の試料ホルダ1に適用可能な試料は、上記のような形状の試料Sに限定されるものではなく、その他の種々の形状の試料にも適用可能である。例えば、周辺部も中央部も同一の厚さである試料を支持することもできるし、小判型、四角形状、その他の様々な形状の試料を支持することもできる。
The
試料ホルダ1は、第1の支持部材2と第2の支持部材3とを有している。第1の支持部材2は概ね円形状のリング状に形成されており、その内部に段差部4を有している。この段差部4により凹部2aが形成されている。第2の支持部材3も、概ね円形状のリング状に形成されており、その内部に段差部5を有している。この段差部5により凹部3aが形成されている。
The
第1の支持部材2のリング状の周辺部分の内部に複数(本実施形態では4個)の磁石6が設けられている。これらの磁石6は円周方向で互いに適宜の間隔を隔てて設けられている。これらの磁石6は、接着、嵌合、等により、第1の支持部材2から容易には取り外せないように設けられている。第2の支持部材3は磁石に吸着する性質の材料によって形成されている。
A plurality of (four in this embodiment)
試料ホルダ1は、一対の試料挟持部材8a及び8bを有している。試料挟持部材8a,8bは、矢印A方向から見た場合の平面形状が概ね円形状であり、厚さが一様な板形状である。また、試料挟持部材8a,8bは、矢印A方向から見た場合の平面形状が試料Sよりも広く、厚さが試料Sよりも薄くなっている。試料挟持部材8a及び8bの中央部分にはX線を透過させるための孔9a及び9bが設けられている。これらの孔9a及び9bの径は試料Sの径よりも小さい。第2の支持部材3は、図3に示すように、磁石6の磁力により第1の支持部材2に結合させることができる。
The
試料挟持部材8a,8bの孔9a,9bの周囲には、孔9a,9bから半径方向に延びる複数(本実施形態では8個)の溝10が放射状に設けられている。このように中心部から放射状に延びる複数の溝10を試料挟持部材8a,8bに設けたことにより、試料挟持部材8a,8bは可撓性を有している。具体的には、試料挟持部材8a,8bの周辺部分を固定した状態で、試料挟持部材8a,8bの中央部分(すなわち、孔9a,9bが設けられている部分)は、図1〜図3における上下方向(矢印B−B’方向)へ撓むことができる。
A plurality (eight in this embodiment) of
一方の試料挟持部材8aは、第1の支持部材2の凹部2aの中に挿入されて、段差部4によって受けられた状態で、第1の支持部材2によって支持される。試料挟持部材8aの外形寸法は凹部2aの直径に対して次のように、すなわち第1の支持部材2の上下を反転させたときに第1の支持部材2から自重によって落下するような外形寸法に設定することもできるし、自重では落下しないが少しの力を加えることにより第1の支持部材2の凹部2aから取り外すことができるような外形寸法に設定することもできる。
One
他方の試料挟持部材8bは、第2の支持部材3の凹部3aの中に挿入されて、段差部5によって受けられた状態で、第2の支持部材3によって支持される。試料挟持部材8bの外形寸法は凹部3aの直径に対して次のように、すなわち第2の支持部材2から自重によって落下するような外形寸法に設定することもできるし、自重では落下しないが少しの力を加えることにより第2の支持部材3の凹部3aから取り外すことができるような外形寸法に設定することもできる。
The other
一対の試料挟持部材8a及び8bの間に位置決め部材11が設けられている。位置決め部材11は、厚さが一様で、中央部分に孔12を有したリング状部材として形成されている。位置決め部材11は概ね円形状に形成されている。位置決め部材11の直径は、第1の支持部材2の凹部2aの直径及び第2の支持部材3の凹部3aの直径よりも小さくなっている。このため、位置決め部材11は、互いに結合された第1の支持部材2と第2の支持部材3との内部空間内に収納されている。
A positioning
位置決め部材11の中央部分の孔12の径は試料Sの外径よりもわずかに大きくなっている。このため、試料Sは位置決め部材11の孔12の中に収容されることができ、その状態で試料Sの位置が決められた状態になる。
The diameter of the
第1の支持部材2、試料挟持部材8a,8b、位置決め部材11、及び第2の支持部材3は任意の材料、例えば、金属、樹脂、等によって形成できる。なお、本実施形態で用いる第2の支持部材3は、磁力によって第1の支持部材2に結合される関係上、磁石に吸着できる材料によって形成される。
The
本実施形態の試料ホルダ1は以上のように構成されているので、図3に示すように試料ホルダ1によって試料Sを支持する際には、次のような作業が行われる。すなわち、図1及び図2において、一方の試料挟持部材8aを第1の支持部材2の凹部2a内に取り付け、その試料挟持部材8aの上に試料Sを載せる。次に、位置決め部材11の孔12の中に試料Sを収容するようにして、試料Sの周囲の試料挟持部材8a上に位置決め部材11を配置する。
Since the
次に、他方の試料挟持部材8bを第2の支持部材3の凹部3a内に取り付け、試料挟持部材8bがそのようにして取り付けられた第2の支持部材3を第1の支持部材2の面上に磁石6の磁力によって固着、すなわち結合する。以上により、図3に示すように、試料ホルダ1によって試料Sを支持することができる。この状態で、図の下側の試料挟持部材8aは試料Sによって押されて図3の下方(B方向)へ撓み、上側の試料挟持部材8bは試料Sによって押されて図3の上方(B’方向)へ撓む。こうして撓み移動した試料挟持部材8a及び8bにより、試料Sは適宜の押圧力の下でしっかりと支持される。また、位置決め部材11により試料Sは決められた位置に位置決めされる。
Next, the other
以上のように、本実施形態の試料ホルダ1によれば、試料Sを一対の試料挟持部材8a及び8bで挟み付けるだけという極めて簡単な作業だけで、試料Sを試料ホルダ1によってしっかりと支持できる。また、試料Sは一対の試料挟持部材8a及び8bによって挟持される構造なので、試料Sの外形形状が種々の形状となっても、撓み移動した試料挟持部材8a,8bによって試料Sをしっかりと支持できる。このため、試料Sが錠剤の医薬品のように種々の形状となる場合であっても、それらの試料Sに難無く対応できる。
As described above, according to the
本実施形態では、図1において放射状に配列された複数の溝10によって試料挟持部材8a,8bに可撓性を持たせた。この場合、試料挟持部材8a,8bの外周辺部は撓み難く(すなわち剛性が高く)、中心部分は撓み易い(すなわち剛性が小さい)。このため、試料Sは試料挟持部材8a,8bの撓み力の違いに応じて試料挟持部材8a,8bの中央部分へ押し遣られる傾向にある。つまり、試料挟持部材8a,8bは試料Sを中央部分へ押し遣る機能を果たしている。この機能はとりもなおさず試料Sを一定の位置に置くという位置決め機能である。この試料挟持部材8a,8bによる位置決め機能で十分である場合は、図1の位置決め部材11を取り除くことができる。
In the present embodiment, the
(変形例)
図1において、試料挟持部材8a,8bに設ける孔9a,9bの径の大きさを変化させることにより、大きさの異なる試料Sに対応することができる。従って、径の異なる孔9a,9bを備えた複数の試料挟持部材8a,8bを予め用意しておき、それらを適宜に交換して第1の支持部材2及び第2の支持部材3のそれぞれに装着して用いることにより、大きさが異なる種々の試料Sに対応できる。
(Modification)
In FIG. 1, by changing the diameters of the
また、試料挟持部材8a,8bに設ける溝10の形状や数を変化させることにより、試料挟持部材8a,8bの中心部分の撓み力(撓ませることに要する力)を変化させることができ、大きさや形状が異なる試料Sに対応することができる。従って、溝10の形状や数が異なっている複数の試料挟持部材8a,8bを予め用意しておき、それらを適宜に交換して第1の支持部材2及び第2の支持部材3のそれぞれに装着して用いることにより、形状が異なる種々の試料Sに対応できる。
Further, by changing the shape and number of the
上記の実施形態では第1の支持部材2と第2の支持部材3とを磁石6によって結合させる構成とした。しかしながら、第1の支持部材2と第2の支持部材3とを結合させるための構成は、他の任意の構成とすることができる。
In the above embodiment, the
(X線分析装置の実施形態)
図3において、本発明に係るX線分析装置の一実施形態は、X線源15と、X線検出器16と、X線源15とX線検出器16とを個別に回転移動させるゴニオメータ(すなわち測角器/図示せず)とを有している。ゴニオメータは、試料Sに対するX線入射位置P1を通って図3の紙面直角方向(紙面を貫通する方向)に延びる軸線X1を中心としてX線源15及びX線検出器16を個別に回転移動させることができる。
(Embodiment of X-ray analyzer)
In FIG. 3, an embodiment of the X-ray analysis apparatus according to the present invention includes an
X線源15は、例えば、通電によって熱電子を発生するフィラメント(陰極)と、フィラメントから放出された熱電子が衝突するターゲット(対陰極)とによって構成される。X線検出器16は、例えば、位置分解能を持たない0(ゼロ)次元X線検出器や、直線的な位置分解能を持った1次元X線検出器や、平面的な位置分解能を持った2次元X線検出器、等が用いられる。
The
一般に、X線源15は入射光学系を構成する1つの要素である。入射光学系はX線源以外に他の光学要素、例えばスリット、ソーラスリット、モノクロメータ、コリメータ等を含んでいる。上記のゴニオメータは、入射光学系の全体を、試料Sに対するX線の入射位置P1を中心として矢印C−C’で示すように回転移動させることができる。
In general, the
X線検出器16は受光光学系を構成する1つの要素である。受光光学系はX線検出器以外に他の光学要素、例えばスリット、ソーラスリット、モノクロメータ、アッテネータ等を含んでいる。受光光学系は、試料Sに対するX線の入射位置P1を中心として矢印D−D’で示すように、回転移動することができる。
The
試料ホルダ1に支持された試料Sに対してX線を用いた測定を行う場合には、例えば図3に符号Eで示すように、試料ホルダ1の一方の側にX線源15を配置し、試料ホルダ1の他方の側にX線検出器16を配置し、X線源15から放出されたX線R0を試料Sへ入射させ、試料Sで回折して入射側の反対側へ出る回折X線R1をX線検出器16によって検出できる。この方式に従ったX線測定は透過方式のX線測定と呼ばれている。
When performing measurement using X-rays on the sample S supported by the
本実施形態では、上記のゴニオメータを作動させることにより、X線源15及びX線検出器16の両方を符号Fで示すように試料ホルダ1の一方の同じ側に配置させることができる。この状態で、X線源15から放出されたX線R00を試料Sへ入射させ、試料Sで回折して入射側と同じ側へ出る回折X線R11をX線検出器16によって検出できる。この方式に従ったX線測定は反射方式のX線測定と呼ばれている。
In the present embodiment, by operating the goniometer, both the
本実施形態のX線分析装置では、試料挟持部材8a及び8bの両方にX線通過用の孔9a及び9bを設けたので、透過方式のX線測定と反射方式のX線測定とを自由に選択して実行することができる。
In the X-ray analyzer according to the present embodiment, since the
(X線分析装置用アタッチメントの実施形態)
一般に、X線分析装置は種々のアタッチメント、すなわち交換用付属装置を備えている。図4はアタッチメントの1つであるサンプルチェンジャを示している。このサンプルチェンジャ20は、基台21と、基台21から突出している本体22と、基台21をX線分析装置の所定位置に装着させるためのガイド部材23と、基台21に内蔵されたロック装置から延びるロック用ハンドル24と、本体22に回転可能に取り付けられたターンテーブル25とを有している。
(Embodiment of attachment for X-ray analyzer)
In general, the X-ray analysis apparatus includes various attachments, that is, replacement accessories. FIG. 4 shows a sample changer which is one of the attachments. The
本体22の内部には、ターンテーブル25を回転させるための回転駆動装置が内蔵されている。この回転駆動装置は、例えば、サーボモータ、パルスモータ等といった回転角度を制御可能なモータを含んで構成されている。ターンテーブル25は、上記の回転駆動装置によって駆動されて中心線X0を中心として所望の角度で回転する。
A rotation drive device for rotating the
ターンテーブル25の周辺部分には複数(本実施形態では10個)のホルダ装着部28が設けられている。本実施形態では、ターンテーブル25に開けられた円形状の開口29と、磁石に吸着する材料によってリング状に形成されたホルダ支持部30とによってホルダ装着部28が構成されている。図3に示した試料ホルダ1を図4の開口29に差し入れることにより、図3の磁石6の働きにより試料ホルダ1をホルダ支持部30に固定することができる。
A plurality (ten in this embodiment) of
図4において、ターンテーブル25に設けられている複数のホルダ装着部28の回転移動軌跡のうち矢印Mで示す位置、すなわち基台21に最も近づいている位置が試料を測定するための位置である。以下、この位置を測定位置Mということにする。図5は、図4のサンプルチェンジャ20を裏側から見た場合の構成を示している。図4及び図5に示すように、測定位置Mに対応する部分の本体22には、本体22を前後に貫通する貫通孔30が設けられている。
In FIG. 4, the position indicated by the arrow M, that is, the position closest to the
アタッチメントであるサンプルチェンジャ20が装着されるX線分析装置は、X線源15と、X線検出器16と、X線源15とX線検出器16とを個別に回転移動させるゴニオメータ(すなわち測角器/図示せず)とを有している。ゴニオメータは、ホルダ装着部28内にセットされる試料S(図3参照)に対するX線入射位置P1を通って図4の上下方向(図3のX1方向に相当)に延びる軸線X1を中心としてX線源15及びX線検出器16を個別に回転移動させることができる。
The X-ray analyzer to which the
測定位置Mにあるホルダ装着部28に装着された試料ホルダ1(図3参照)に支持された試料Sに対してX線を用いた測定を行う場合には、例えば図4に符号Eで示すように、サンプルチェンジャ20の一方の側(図4では裏側)にX線源15を配置し、サンプルチェンジャ20の他方の側(図4では表側)にX線検出器16を配置し、X線源15から放出されたX線R0を貫通孔30を通して試料S(図3参照)へ入射させ、試料Sで回折して入射側の反対側へ出る回折X線R1をX線検出器16によって検出できる。このX線測定方式は透過方式のX線測定である。
When the measurement using the X-ray is performed on the sample S supported by the sample holder 1 (see FIG. 3) mounted on the
上記のゴニオメータを作動させて、X線源15及びX線検出器16を軸線X1を中心として回転移動させることにより、X線源15及びX線検出器16の両方を符号Fで示すようにサンプルチェンジャ20の一方の同じ側(図4ではサンプルチェンジャ20の表側)に配置させることができる。この状態で、X線源15から放出されたX線R00を試料S(図3参照)へ入射させ、試料Sで回折して入射側と同じ側へ出る回折X線R11をX線検出器16によって検出できる。このX線測定は反射方式のX線測定である。
By operating the goniometer and rotating the
(X線分析装置用試料ホルダの第2の実施形態)
図6は本発明に係るX線分析装置用試料ホルダの他の実施形態を分解斜視図によって示している。図7はその試料ホルダを組み立てた状態のその試料ホルダの断面構造を示している。図6の実施形態において図1に示した先の実施形態と同じ部材は同じ符号を用いて示すことにして、その部材の説明は省略することにする。
(Second embodiment of sample holder for X-ray analyzer)
FIG. 6 is an exploded perspective view showing another embodiment of the sample holder for an X-ray analyzer according to the present invention. FIG. 7 shows a cross-sectional structure of the sample holder in a state where the sample holder is assembled. In the embodiment of FIG. 6, the same members as those of the previous embodiment shown in FIG.
本実施形態が図1に示した実施形態と異なる点は、第1の支持部材2の外周表面上に突出部としての突出縁33を設けたことである。図7に示すように第2の支持部材3を磁石6によって第1の支持部材2に吸着させたとき、第2の支持部材3の外周側面が第1の支持部材2の外周部の突出縁33の内周面によって囲まれる。これにより、第2の支持部材3が第1の支持部材2の面上で位置ズレすることを、突出縁33によって防止できる。第2の支持部材3の第1の支持部材2に対する位置ズレを防止することにより、試料Sを一定の位置に安定して置くことができる。なお、突出縁33を第1の支持部材2に設けることに代えて、第2の支持部材3に設けることもできる。
This embodiment is different from the embodiment shown in FIG. 1 in that a protruding
本実施形態のように第2の支持部材3を第1の支持部材2の突出縁33の内部に収容するようにした場合は、第2の支持部材3を第1の支持部材2から取外すことが難しいことがある。このことを解消するため、本実施形態では、第2の支持部材3を第1の支持部材2から取外すための治具である取外し治具34を用意している。
When the
この取外し治具34は、オペレータが指で摘む部材である摘み部35と、摘み部35の先端に固定された磁石36とを有している。摘み部35はオペレータが摘み易い形状、例えば角柱形状や円柱形状に形成できる。磁石36は第2の支持部材3の表面に吸着し易い形状、例えば角柱形状や円柱形状に形成できる。
The
オペレータは、摘み部35を指で摘み、磁石36を第2の支持部材3の適所に吸着させ、次に摘み部35を第1の支持部材2から離れる方向へ移動させる。これにより、オペレータは磁石36の磁力によって第2の支持部材3を第1の支持部材2から容易に取外すことができる。この動作を実現するため、磁石36の磁力は、第1の支持部材2内の磁石6の磁力よりも大きいことが望ましい。
The operator picks the
(X線分析装置及びX線分析装置用アタッチメントの第2の実施形態)
図9は本発明に係るX線分析装置及びX線分析装置用アタッチメントのそれぞれの第2の実施形態を示している。ここに示したX線分析装置40は、ゴニオメータ50と、アタッチメントとしてのサンプルチェンジャ100とを有している。
(Second embodiment of X-ray analyzer and attachment for X-ray analyzer)
FIG. 9 shows a second embodiment of the X-ray analyzer and the X-ray analyzer attachment according to the present invention. The
ゴニオメータ50は、入射側アーム51と受光側アーム52とを有している。これらのアームは実際は剛性の高い機構部品によって形成されるが、図9では便宜的に1本の線で示している。入射側アーム51はX線管53を支持している。X線管53の内部にX線源54が設けられている。受光側アーム52はX線検出器55を支持している。ゴニオメータ50は、後述する測定位置Mに置かれた試料Sを通る軸線X1を中心としてX線源54及びX線検出器55を個別に回転移動させることができる。
The
X線源54は、例えば、通電によって熱電子を発生するフィラメント(陰極)と、フィラメントから放出された熱電子が衝突するターゲット(対陰極)とによって構成される。X線検出器55は、例えば、位置分解能を持たない0(ゼロ)次元X線検出器や、直線的な位置分解能を持った1次元X線検出器や、平面的な位置分解能を持った2次元X線検出器、等が用いられる。
The
一般に、X線源54は入射光学系を構成する1つの要素である。入射光学系はX線源以外に他の光学要素、例えばスリット、ソーラスリット、モノクロメータ、コリメータ等を含んでいる。上記のゴニオメータ50は、入射光学系の全体を軸線X1を中心として矢印C−C’で示すように回転移動させることができる。
In general, the
X線検出器55は受光光学系を構成する1つの要素である。受光光学系はX線検出器以外に他の光学要素、例えばスリット、ソーラスリット、モノクロメータ、アッテネータ等を含んでいる。受光光学系は軸線X1を中心として矢印D−D’で示すように、回転移動することができる。
The
サンプルチェンジャ100は円盤形状の基台101を有している。基台101は、円盤形状の固定用台102と、固定用台102に回転可能に取り付けられた円盤形状の回転台103とを有している。固定用台102と回転台103との間には、回転台103を回転可能に支持するための回転支持機構及び回転台103の回転を禁止させるためのロック機構が設けられている。ロック機構から延びるハンドル104が固定用台102の外部に露出している。ハンドル104を矢印H方向から見て正反時計方向のいずれか一方へ適宜の角度だけ回すことによりロック機構をオン状態(すなわちロック状態)にすることができ、ハンドル104を反対方向へ回すことによりロック機構をオフ状態(すなわちロック解除状態)にすることができる。
The
基台101の回転台103の表面にテーブル支持体105が固定されている。テーブル支持体105は回転台103の前方へ延び出ている。また、基台101の固定用台102の外周側面に被ガイド部材106が固定されている。被ガイド部材106は固定用台102の側方へ延び出ている。サンプルチェンジャ100は、ゴニオメータ50と一体である面板56の表面に設けたガイド部材57に被ガイド部材106を差し込むことによってゴニオメータ50に対する所定位置に配置されている。
A
テーブル支持体105の周面の一部は平面となっており、その平面上に円盤形状のターンテーブル107が設けられている。ターンテーブル107はテーブル支持体105の外方へ延びる中心線X2を中心として回転可能にテーブル支持体105に取り付けられている。テーブル支持体105の内部には、ターンテーブル107を面内回転させるための回転駆動装置が内蔵されている。この回転駆動装置は、例えば、サーボモータ、パルスモータ等といった回転角度を制御可能なモータを含んで構成されている。ターンテーブル107は、上記の回転駆動装置によって駆動されて中心線X2を中心として所望の角度で回転する。また、テーブル支持体105の内部には、試料ホルダ1を面内回転させるための回転駆動装置も設けられている。このように、試料ホルダ1はターンテーブル107の回転によって公転し、面内回転によって自転する。
A part of the peripheral surface of the
図9は、ターンテーブル107が図の上方を向いて水平になっている状態を示している。回転台103はハンドル104によってこの状態に固定、すなわちロックされている。ハンドル104を矢印H方向から見て正時計方向又は反時計方向に回してロック状態を解除することができる。ロック状態を解除した後、オペレータがテーブル支持体105を手で持って矢印J方向又は矢印K方向へ回動させることにより、ターンテーブル107の水平に対する角度を変化させることができる。
FIG. 9 shows a state in which the
そして角度を変化させた後でハンドル104を回して回転台103をロック状態にすることにより、ターンテーブル107をその角度位置に固定することができる。図10はテーブル支持体105をそのように回動させてターンテーブル107を図の下方を向いて水平にした状態を示している。この状態でハンドル104(図9参照)を回して回転台103をロック状態にすることにより、ターンテーブル107を下方を向いて水平な状態に配置することができる。
Then, after changing the angle, the
図11(a)は、ターンテーブル107を正面から見た状態を示している。図11(b)は図11(a)におけるG−G線に従った側面図である。図11(a)において、ターンテーブル107の表面の周辺部分には複数(本実施形態では6個)のホルダ装着部108が設けられている。本実施形態では、ターンテーブル107に開けられた円形状の開口109と、磁石に吸着する材料によってリング状に形成されたホルダ支持部110とによってホルダ装着部108が構成されている。図9において、矢印Lで示すように試料ホルダ1をホルダ装着部108のリング状のホルダ支持部110の上に載せることにより図6及び図7の磁石6の働きにより試料ホルダ1をホルダ支持部110に固定することができる。
FIG. 11A shows the
図11(a)においてホルダ装着部108の周囲には複数(本実施形態では4個)の位置決め用突部111が設けられている。これらの位置決め用突部111は、ターンテーブル107の表面に固着された大径部112と、その大径部112の上に設けられた小径部113とによって形成されている。外側に存在する12個の位置決め用突部111aは1つのホルダ装着部108に対して2つずつ設けられている。他方、内側に存在する6個の位置決め用突部111bは1つのホルダ装着部108に対して2つずつ設けられており、且つ個々の突部111bは互いに隣接する2つのホルダ装着部108によって共用される。
In FIG. 11A, a plurality (four in the present embodiment) of positioning
図9に符号Lで示すように試料ホルダ1をホルダ装着部108へ載せると、図11(b)に示すように試料ホルダ1の第1の支持部2の底面がホルダ装着部108のホルダ支持部110の上面に面接触する。そして、第1の支持部2の外周側面が4つの位置決め用突部111の小径部113によって位置決めされる。すなわち、試料ホルダ1の位置ズレが4つの小径部113によって規制される。これにより、試料ホルダ1をターンテーブル107上における一定位置に常に安定して置くことが可能となる。
When the
試料ホルダ1をホルダ装着部108から取外す際には、オペレータは、互いに隣接する2つの内側の位置決め用突部111bの間に指、例えば親指を入れて試料ホルダ1の外周側面にその指を当てる。さらにオペレータは、対向する2つの外側の位置決め用突部111aの間に他の指、例えば人差し指又は中指を入れて試料ホルダ1の外周側面にその指を当てる。これにより、試料ホルダ1がオペレータの指によって摘まれる。その後、オペレータは親指によって試料ホルダ1をめくり上げるようにして取り上げて、その試料ホルダ1をホルダ装着部108から取外す。このようにオペレータは4つの位置決め用突部111の間に指を入れた状態で試料ホルダ1の取付け及び取外しを行うことができるので、その取付け及び取外しの作業が非常に容易である。
When removing the
図9及び図11(a)において、ターンテーブル107に設けられている複数のホルダ装着部108の回転移動軌跡のうち矢印Mで示す位置、すなわち基台101に最も近づいている位置が試料を測定するための位置である。以下、この位置を測定位置Mということにする。図10に示すように、測定位置Mに対応する部分のテーブル支持体105には、当該テーブル支持体105を図の上下方向に貫通する貫通孔114が設けられている。
9 and 11A, the sample is measured at the position indicated by the arrow M, that is, the position closest to the
図9において測定位置Mにあるホルダ装着部108に装着された試料ホルダ1に支持された試料Sに対してX線を用いた測定、特に反射方式のX線測定を行う場合には、例えば図9に符号54(F)で示すようにサンプルチェンジャ100の一方の側(図9ではサンプルチェンジャ100の上側)にX線源54を配置し、符号55(F)で示すようにサンプルチェンジャ100に対する同じ側(図9ではサンプルチェンジャ100の上側)にX線検出器55を配置する。この状態で、X線源54から放出されたX線R0を試料Sへ入射させ、試料Sで回折してその試料Sで反射する方向へ進行する回折X線R1をX線検出器55によって検出する。
In FIG. 9, when performing measurement using X-rays on the sample S supported by the
他方、透過方式のX線測定を行う場合には、ハンドル104を操作して回転台103のロック状態を解除し、テーブル支持体105を図10に示すようにターンテーブル107が下向きで水平状態になる位置まで180°回動させ、その状態でハンドル104(図9参照)を操作して回転台103をロック状態に設定してターンテーブル107の位置を固定する。
On the other hand, when performing transmission type X-ray measurement, the
そして、ゴニオメータ50を作動して、X線管53を上方向(矢印C’方向)へ回動させて図10に示すようにX線源54を符号(E)で示す直上位置に配置する。さらに、図9においてゴニオメータ50を作動して、X線検出器55を下方向(矢印D’方向)へ回動させて図10に示すようにX線検出器55を符号(E)で示す直下位置に配置する。この状態で、X線源54から放出されたX線R0を試料Sへ入射させ、試料Sで回折してその試料Sを透過する方向へ進行する回折X線R1をX線検出器55によって検出する。この透過方式のX線測定が行われる場合は図8に示すように、試料ホルダ1は図7に示した反射方式の場合に比べて、180°だけ反転した状態となっている。
Then, the
なお、反射方式のX線回折測定を行う場合と透過方式のX線回折測定を行う場合とでターンテーブル107の水平に対する角度を変化させる場合、その変化させる角度は上記のように180°の反転に限られることはなく、必要に応じた任意の傾斜角度とすることができる。
When the angle of the
仮に図9のようにテーブル支持体105をゴニオメータ50に対する下方領域に置いた状態で、X線検出器55を図9に示す角度位置から図10に示すような直下位置へ搬送する場合には、X線検出器55がテーブル支持体105にぶつからないようにするために、ゴニオメータ50によるX線検出器55の回動半径を大きくとる必要がある。これに対し、本実施形態のX線分析装置40では、透過方式のX線測定を行うときにはテーブル支持体105を図10に示すように上方位置へ反転させることにしたので、図9のようにテーブル支持体105を下方位置に置いた場合に比べて、ゴニオメータ50の下方領域の空間が大きく開放される。このため、ゴニオメータ50によるX線検出器55の回動半径を小さく設定した場合でも、X線検出器55を支障なく図10に示す直下位置へ配置することができる。
If the
(その他の実施形態)
以上、試料ホルダ、アタッチメント及びX線分析装置のそれぞれに関して好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
(Other embodiments)
The present invention has been described with reference to preferred embodiments with respect to each of the sample holder, attachment, and X-ray analyzer. However, the present invention is not limited to these embodiments, and the invention described in the claims. Various modifications can be made within the range.
例えば、試料ホルダは図1〜図3に示した構成及び図6に示した構成に限られず、適宜に改変可能である。例えば図1又は図6において試料ホルダ1を構成している各部材は円形状以外の任意の平面形状とすることができる。
For example, the sample holder is not limited to the configuration shown in FIGS. 1 to 3 and the configuration shown in FIG. 6, and can be appropriately modified. For example, each member constituting the
また、本発明のアタッチメントは図4及び図5に示した構成のサンプルチェンジャや、図9及び図10に示した構成のサンプルチェンジャに限られず、他の任意の機能を実現するアタッチメントであっても良い。 Further, the attachment of the present invention is not limited to the sample changer having the configuration shown in FIGS. 4 and 5 and the sample changer having the configuration shown in FIGS. 9 and 10, and may be an attachment that realizes other arbitrary functions. good.
1.試料ホルダ、 2.第1の支持部材、 2a.凹部、 3.第2の支持部材、 3a.凹部、 4.段差部、 5.段差部、 6.磁石、 8a,8b.試料挟持部材、 9a,9b.孔、 10.溝、 11.位置決め部材、 12.孔、 15.X線源、 16.X線検出器、 20.サンプルチェンジャ(アタッチメント)、 21.基台、 22.本体、 23.ガイド部材、 24.ロック用ハンドル、 25.ターンテーブル、 28.ホルダ装着部、 29.開口、 30.貫通孔、 33.突出縁、 34.取外し治具、 35.摘み部、 36.磁石、 40.X線分析装置、50.ゴニオメータ、 51.入射側アーム、 52.受光側アーム、 53.X線管、 54.X線源、 55.X線検出器、 56.面板、 57.ガイド部材、 100.サンプルチェンジャ(アタッチメント)、 101.基台、 102.固定用台、 103.回転台、 104.ハンドル、 105.テーブル支持体、 106.被ガイド部材、 107.ターンテーブル、 108.ホルダ装着部、 109.開口、 110.ホルダ支持部、 111.位置決め用突部、 112.大径部、 113.小径部、 114.貫通孔
1. 1. Sample holder, A first support member, 2a. 2. recess, A second support member, 3a. Recess, 4. Step part, 5. Step part, 6. Magnets, 8a, 8b. Sample clamping member, 9a, 9b. Hole, 10. Groove, 11. Positioning member, 12. Hole, 15. X-ray source, 16. X-ray detector, 20. 20. Sample changer (attachment) Base, 22. Body, 23. Guide member, 24. Lock handle, 25. Turntable, 28. Holder mounting portion, 29. Opening, 30. Through hole, 33. Protruding edge, 34. Removal jig, 35. Knob part, 36. Magnet, 40. X-ray analyzer, 50. Goniometer, 51. Incident side arm, 52. Light receiving
Claims (11)
前記試料を両側から挟んで支持する一対の試料挟持部材を有しており、
当該試料挟持部材は、平面形状が試料よりも広く、厚さが試料よりも薄く、可撓性を有している、板状の部材であり、
前記一対の試料挟持部材の少なくとも一方にはX線を透過させるための孔が設けられており、
前記孔から放射状に延びる複数の溝を前記試料挟持部材に形成することにより、前記試料挟持部材の可撓性が実現されている
ことを特徴とするX線分析装置用試料ホルダ。 In the sample holder that supports the sample and is attached to and detached from the X-ray analyzer,
Having a pair of sample clamping members for supporting the sample from both sides;
The sample clamping member is a plate-like member having a planar shape wider than the sample, a thickness thinner than the sample, and having flexibility,
At least one of the pair of sample clamping members is provided with a hole for transmitting X-rays ,
The sample holder for an X-ray analyzer , wherein the sample holding member is made flexible by forming a plurality of grooves extending radially from the hole in the sample holding member .
前記一対の試料挟持部材の他方を撓み移動可能に支持する第2の支持部材と、を有しており、
前記第1の支持部材と前記第2の支持部材は前記一対の試料挟持部材が互いに対向した状態で結合される
ことを特徴とする請求項1記載のX線分析装置用試料ホルダ。 A first support member that supports one of the pair of sample clamping members so as to bend and move;
A second support member that supports the other of the pair of sample clamping members to bend and move, and
Said first support member and the second support member is X-ray analysis apparatus for sample holder of claim 1 Symbol mounting, characterized in that it is coupled in the pair of sample clamping members are opposed to each other.
前記試料ホルダは磁力によって前記ホルダ装着部に吸着され、吸着された前記試料ホルダは前記位置決め用突部に囲まれることによって位置決めされ、
前記位置決め用突部は前記ホルダ装着部の1つに対して4つ設けられている
ことを特徴とする請求項8記載のX線分析装置用アタッチメント。 A turntable having a plurality of holder mounting portions; and a plurality of positioning protrusions provided around the plurality of holder mounting portions;
The sample holder is attracted to the holder mounting portion by magnetic force, and the adsorbed sample holder is positioned by being surrounded by the positioning projections,
9. The attachment for an X-ray analyzer according to claim 8, wherein four positioning protrusions are provided for one of the holder mounting portions.
前記アタッチメントは複数のホルダ装着部を備えたターンテーブルを有しており、
前記アタッチメントは前記ターンテーブルを面内回転させることにより前記複数のホルダ装着部の1つに含まれる試料を前記X線源で発生したX線によって照射される位置に選択的に置く
ことを特徴とするX線分析装置。 The attachment according to claim 8, an X-ray source that generates X-rays for irradiating the sample, and an X-ray detection unit that detects X-rays emitted from the sample,
The attachment has a turntable with a plurality of holder mounting portions,
The attachment selectively places a sample included in one of the plurality of holder mounting portions at a position irradiated with X-rays generated by the X-ray source by rotating the turntable in-plane. X-ray analyzer.
前記アタッチメントは、
前記ターンテーブルを面内回転可能に支持するテーブル支持体と、
当該テーブル支持体を前記試料を通る線を中心として回動させるテーブル回動手段と、
テーブル回動手段によって回動させられたテーブル支持体の位置を固定するロック手段と、を有しており、
前記X線源と前記X線検出手段とが反射方式に配置されるときと、前記X線源と前記X線検出手段とが透過方式に配置されるときとで、前記テーブル支持体が前記テーブル回動手段によって異なった角度位置に回動させられ、その回動させられた位置で前記ロック手段によって固定される
ことを特徴とする請求項10記載のX線分析装置。
A goniometer that measures the angle of the X-ray source and the angle of the X-ray detection means about the rotation center line passing through the sample placed at the position irradiated by the X-ray;
The attachment is
A table support that supports the turntable in an in-plane rotation;
Table rotating means for rotating the table support around a line passing through the sample;
Locking means for fixing the position of the table support rotated by the table rotating means,
The table support is the table when the X-ray source and the X-ray detection means are arranged in a reflective manner and when the X-ray source and the X-ray detection means are arranged in a transmissive manner. 11. The X-ray analyzer according to claim 10, wherein the X-ray analyzer is rotated to different angular positions by the rotating means and fixed by the locking means at the rotated position.
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