JP6074649B2 - 被処理流体の安定吐出機構を備えた流体処理装置及び流体処理方法 - Google Patents
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Description
この鏡面研磨の面粗度は、特に限定されないが、好ましくはRa0.01〜1.0μm、より好ましくはRa0.03〜0.3μmとする。
このように、3次元的に変位可能に保持するフローティング機構によって、第2処理用部20を保持することが望ましい。
P=P1×(K−k)+Ps
ここでP1は、被処理流動体の圧力即ち流体圧を示し、Kは上記のバランス比を示し、kはオープニングフォース係数を示し、Psはスプリング及び背圧力を示す。
なお、図示は省略するが、近接用調整面24を離反用調整面23よりも広い面積を持ったものとして実施することも可能である。
この凹部13の先端と第1処理用面1の外周面との間には、凹部13のない平坦面16が設けられている。
前述の第2導入部d2の開口部d20を第2処理用面2に設ける場合は、対向する上記第1処理用面1の平坦面16と対向する位置に設けることが好ましい。
以上、第1、第2の実施の形態においては、回転機構71の回転部72が回転することによって、周囲の流体を吸引する吸引機構として機能する。
それぞれ誘導部82は、板状をなしており、その基部が、ベッセル61の内壁に固定され、中央の第1、第2処理用部10、20に向かって伸びている。誘導部82の先端は、第1、第2処理用部10、20と間隔を隔てて配置され、処理用面1、2間の吐出部70を取り巻くように配置されている。
例えば、本願出願人によって出願された、国際公開WO2009/008393号パンフレットに記載された対象物の流体処理に使用することができる。
2 第2処理用面
10 第1処理用部
20 第2処理用部
61 容器
69 流出部
70 吐出部
71 回転機構
72 回転部
73 フィン
74 凹部
75 凸部
76 板状フィン
81 静止機構
82 誘導部
Claims (7)
- 接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して相対的な回転をなす処理用部における処理用面間で被処理流体を処理し、前記被処理流体を前記処理用面間の吐出部より吐出液として排出させる流体処理装置と、
前記吐出部を含む前記流体処理装置の一部又は全部を収納する容器と、
前記吐出液を含む前記容器の内部空間に存在する流体を、前記容器外に流出させる流出部を備えた流体処理機構において、
前記吐出部は、前記処理用部の回転の軸に対して半径方向の外側に開口しており、
前記容器内の流体を前記流出部へ導くための補助機構を備え、
前記補助機構は、前記処理用部の前記回転によって、前記吐出部から前記半径方向の外側への径方向成分をもって吐出する前記吐出液の流れを強制的に変更するものであり、この変更によって前記流出部への前記吐出液の移動を促すものであり、
前記補助機構は、回転機構を備え、
前記回転機構は、前記回転をなす前記処理用部と同軸に回転する回転部を有するものであり、前記回転部は、回転することによって、前記吐出部から前記処理用部の半径方向の外側方向に吐出された前記吐出液を含む前記容器内の流体を、半径方向の内側方向に吸引するフィンを備えたものであり、
前記吸引により生ずる前記容器内の流体の流れによって、前記吐出液の移動を促すものであり、前記吐出液が、前記回転の軸方向の成分を含む方向に進み、前記流出部へと導かれることを特徴とする流体処理機構。 - 接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して相対的な回転をなす処理用部における処理用面間で被処理流体を処理し、前記被処理流体を前記処理用面間の吐出部より吐出液として排出させる流体処理装置と、
前記吐出部を含む前記流体処理装置の一部又は全部を収納する容器とを備えた流体処理機構において、
前記吐出部は、前記処理用部の回転の軸に対して半径方向の外側に開口しており、
前記処理用部の前記回転によって、前記吐出部から前記容器の内部空間へ前記半径方向の外側への径方向成分をもって吐出する前記吐出液の流れを、強制的に変更する補助機構を備えたものであり、この変更によって、前記回転の軸方向の成分を含む方向への前記吐出液の移動を促すものであり、
前記補助機構は、回転機構を備え、
前記回転機構は、前記回転をなす前記処理用部と同軸に回転する回転部を有するものであり、前記回転部は、回転することによって、前記吐出部から前記処理用部の半径方向の外側方向に吐出された前記吐出液を含む前記容器内の流体を、半径方向の内側方向に吸引するフィンを備えたものであり、
前記吸引により生ずる前記容器内の流体の流れによって、前記吐出液の移動を促すものであり、前記吐出液が、前記回転の軸方向の成分を含む方向に進み、前記処理用部の下方へ導かれることを特徴とする流体処理機構。 - 前記流体処理装置は、回転軸と、前記回転軸によって少なくとも一方が他方に対して相対的に回転するホルダとを備え、
前記処理用部は、第1処理用部と、第2処理用部とを備え、
前記ホルダは、前記第1処理用部を保持する第1ホルダと、前記第2処理用部を保持する第2ホルダとを備え、
前記回転部は、前記第1ホルダの少なくとも外側に延設されたフィンであることを特徴とする請求項1又は2に記載の流体処理機構。 - 接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して相対的な回転をなす処理用部における処理用面間で被処理流体を処理し、前記被処理流体を前記処理用面間の吐出部より吐出液として排出させる流体処理装置と、
前記吐出部を含む前記流体処理装置の一部又は全部を収納する容器と、
前記吐出液を含む前記容器の内部空間に存在する流体を、前記容器外に流出させる流出部を備えた流体処理機構において、
前記吐出部は、前記処理用部の回転の軸に対して半径方向の外側に開口しており、
前記容器内の流体を前記流出部へ導くため、前記吐出液の流れを、前記流出部に近づく方向に強制的に変更する静止機構を備え、
前記静止機構は、前記吐出部の半径方向の外側に設けられた誘導部を含み、
前記誘導部は、前記容器の内壁に固定され、
前記処理用部の前記回転によって、前記吐出部から周方向成分と半径方向の外側への径方向成分とをもって吐出する前記吐出液に対して、前記誘導部が衝突して前記回転の軸方向において前記処理用部よりも下方に流れを変更させるよう形成されたものであることを特徴とする流体処理機構。 - 前記流出部が前記処理用部の下方に配置されたことを特徴とする請求項4に記載の流体処理機構。
- 前記誘導部は、板状であって、その基部が前記容器の内壁に固定され、前記処理用部に向かって伸び、前記吐出部を取り巻くように配置されており、
前記処理用部の前記回転によって、前記吐出部から周方向成分と半径方向の外側への径方向成分とをもって吐出する前記吐出液に対して、前記誘導部が衝突して前記回転の軸方向において前記処理用部よりも下方であって、前記流出部に近づく方向に強制的に流れを変更させるよう形成されたものであることを特徴とする請求項5に記載の流体処理機構。 - 請求項1〜6の何れかに記載の流体処理機構によって、少なくとも2種類の前記被処理流体を前記処理用面間で混合・攪拌して反応を行わせ、前記吐出部より吐出液として排出させることを特徴とする流体処理方法。
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