JP6072478B2 - 磁気抵抗素子の製造方法 - Google Patents
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Description
ダメージ層の除去と回復を実施した後、前記第一の積層膜を成膜する。引き続き、前記第一の積層膜の成膜後にアニール等の表面処理を施して、表面処理を施された第一の積層膜にプラズマによりパターンを形成する。
02 配線
1 第一の金属膜
2 第二の金属膜
3 第三の金属膜
4 第一の磁性体膜
11 障壁層
12 第二の磁性体膜
13 第四の金属膜
14 第一の積層された磁性体膜
15 第五の金属膜
16 第二の積層された磁性体膜
17 第六の金属膜
18 第七の金属膜
19、21 ハードマスク材
22、25 マスク
23、26 ハードマスク
24、27 層間絶縁膜
Claims (2)
- 磁気抵抗素子の製造方法において、
第一の磁性体膜を成膜し、
予めパターンニングされたマスクを用いて前記第一の磁性体膜をプラズマエッチングした後、前記プラズマエッチングされた第一の磁性体膜の上方に障壁層を成膜し、
前記成膜された障壁層の上方に第二の磁性体膜を成膜し、
前記プラズマエッチングされた第一の磁性体膜と対向するプラズマエッチングされた第二の磁性体膜の面における寸法が前記プラズマエッチングされた第二の磁性体膜と対向する前記プラズマエッチングされた第一の磁性体膜の面における寸法より大きくなるように前記成膜された第二の磁性体膜をプラズマエッチングすることを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。 - 請求項1に記載の磁気抵抗素子の製造方法において、
前記第二の磁性体膜のプラズマエッチング後、前記障壁層をプラズマエッチングすることを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。
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