JP6063463B2 - 相互接続のために構成されたフィードスルー - Google Patents

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Description

本明細書で開示する技術は、全般的には、防壁の反対側にある回路の接続部分に対する電気的インターフェースとして機能するフィードスルーの分野に関する。さらに詳細には、本明細書で開示する技術は、長期間にわたって生体適合性および生体安定性の両方を有するよう選択された物質の組み合わせを用いる同時焼成プロセスにより構築された、埋入可能な医療装置とともに用いるための気密フィードスルーに関する。
1つの実施形態は埋入可能な医療装置のための気密フィードスルーに関し、この密閉フィードスルーは、絶縁体と、絶縁体に一体化された導管と、絶縁体の外部表面に連結されたパッドとを備える。絶縁体は第1物質を含み、導管は導電性である第2物質を含む。パッドは、パッドに連結されたリード線を受容するよう構成される。さらに、パッドは導電性であり、導管に連結される。パッドは第1層と、第1層の少なくとも1部分に重なる第2層と、を備える。
他の実施形態はフィードスルーに関し、このフィードスルーは、絶縁体と、絶縁体を通って延長する導管と、絶縁体の外部上で絶縁体に取り付けられたパッドと、を備える。絶縁体は第1物質を含み、導管は導電性である第2物質を含み、絶縁体を通って電気を伝導するよう構成される。パッドは、パッドに連結されたリード線を受容するよう構成される。さらに、パッドは導電性であり、導管に連結される。パッドは第2物質の第1層と、第1層により絶縁体の第1物質から隔てられた第2層と、を備える。絶縁体、導管、およびパッドは、それらの間に同時焼成結合を有する。なお同時焼成結合はパッドおよび導管を絶縁体に気密にシールする。気密シールは、リード線をパッドに取り付けた後に浸漬耐久性が保持されるよう、生体安定性を有する。
さらに他の実施形態はフィードスルーの製造方法に関し、この方法は、絶縁体を提供することと、パッドの第1層を絶縁体上にプリントすることと、パッドの第2層を第1層上にプリントすることと、を含む。絶縁体は第1物質を含み、絶縁体を通って延長する第2物質を含む導管を有する。第1物質は電気絶縁体であり、第2物質は導電性である。パッドの第1層は導管に重なり、導管に電気的に連結される。第1層は第2物質を含む。この方法は、絶縁体、導管、およびパッドの間の結合がパッドおよび導管を絶縁体に締結および気密にシールするよう、絶縁体、導管、およびパッドを同時焼成することをさらに含む。
代表的な実施形態に係る患者内に埋入された医療装置の概略図である。 代表的な実施形態に係る患者内に埋入された他の医療装置の概略図である。 代表的な実施形態に係るフィードスルーを備える医療装置の1部分の斜視図である。 他の代表的な実施形態に係る医療装置の1部分の分解図である。 図4の医療装置の部分の斜視図である。 図5の線6−6に沿った、図4の医療装置の1部分の断面図である。 図6に示すエリア7に沿った、図4の医療装置の1部分の断面図である。 さらに他の代表的な実施形態に係る医療装置の1部分の斜視図である。 図8に示す線9−9に沿った、図8の医療装置の1部分の断面図である。 代表的な実施形態に係るフィードスルーの斜視図である。 図10のフィードスルーの上面図である。 図10のフィードスルーの底面図である。 図4のフィードスルーの側面図および部分断面図(図11の線13−13に沿った)である。 代表的な実施形態に係る伝導性導管と絶縁体との間の境界面の部分的な走査型電子顕微鏡法(SEM)顕微鏡写真である。 他の代表的な実施形態に係る伝導性導管と絶縁体との間の境界面の断面SEM顕微鏡写真である。 代表的な実施形態に係るフィードスルーの導体の斜視図である。 代表的な実施形態に係るフィードスルーの1部分の断面SEM顕微鏡写真である。 代表的な実施形態に係るフィードスルーの他の1部分の断面SEM顕微鏡写真である。 代表的な実施形態に係るフィードスルーのパッドの上面SEM顕微鏡写真である。 代表的な実施形態に係るフィードスルーの部分の一連の断面SEM顕微鏡写真および対応する図である。 代表的な実施形態に係るフィードスルーの製造プロセスの斜視図である。
代表的な実施形態を詳細に示す図面を参照する前に、本願が、本明細書で説明されまたはこれらの図面で示される詳細または方法体系に限定されないことを理解されたい。用語が説明目的のためのものであり限定的であるとみなすべきでないことも理解されたい。
図1を参照すると、埋入可能な医療装置110(例えばペースメーカまたは除細動器)は基部112(例えばパルス生成器、本体)およびリード線114を備える。装置110は、人間患者116または他の患者内に埋入され得る。いくつかの実施形態において、装置110は電気パルス(いくつかの実施形態において約700ボルトのオーダーであり得る)の形態での治療処置を提供するよう構成される。考察される実施形態において、装置110またはその変形物は、広範な状態(例えば痛み、失禁、聴覚障害、癲癇およびパーキンソン病を含む運動障害、睡眠時無呼吸、および他の様々な生理学的、心理学的、ならびに情緒的な状態および疾患等)を治療または監視するために用いられ得る。
基部112の内部において、装置110は、制御回路およびエネルギー貯蔵装置(例えば2次電池、コンデンサ)等の構成品を備え得る。なおこれらの構成品は、生体適合性を有さないもの、また湿潤時には機能不能となるものであり得る。しかし代表的な実施形態によれば、基部112は気密にシールされ、生体適合性および生体安定性である物質(例えばチタン、生体適合性コーティング)で作られた外部が基部112の内部と基部112の外側に存在する患者116の体液とを隔離するよう、形成される。いくつかの実施形態において、基部112は、生体適合性および生体安定性である物質から形成された、または生体適合性および生体安定性である物質から作られた外部を備える、気密フィードスルー118(例えば貫通接続、インターフェース、コネクタ、カップリング)をさらに備える。フィードスルー118は、基部112の内部から基部112の外部への方向の、またはその逆方向の、基部112を通る電気伝達を支援する。
例として、埋入可能な医療装置110の使用中、基部112の内部に存在するコンデンサに蓄えられた電荷が電気パルスの形態で放電され得る。電気パルスはフィードスルー118を介して基部112の壁部を通って伝送される。次に電気パルスは、リード線114の少なくとも1つの近位端120により受容され、伝導性経路を介しリード線114のうちの少なくとも1本を通って電極122へと伝達される。電極122はリード線114の遠位端に配置され得る。電極122は、拍動のパターンを促進するため、拍動を刺激するため、拍動を検出するため、治療を促進するため、またはその他の理由のために、患者116の心臓124または他の部分(単数または複数)に連結され得る。
いくつかの実施形態において、活動は電極122を介して検出され、リード線114によりフィードスルー118を介して基部112内の制御回路に伝達される。検出された活動は装置110の動作を管理するためのフィードバックとして制御回路により用いられ得る。さらに他の実施形態において、フィードスルー118は、基部112内のエネルギー貯蔵装置に電気を伝達(例えば充電または試験)することを支援するためにも用いられ得る。他の実施形態において、バッテリおよびコンデンサの組み合わせをエネルギー貯蔵のために用いるハイブリッドシステム等の他のエネルギー貯蔵装置が用いられ得る。代表的な実施形態によれば、3本以上のリード線がフィードスルー118を介して基部112の内部に連結され得る。他の実施形態において、単一のリード線が用いられる場合もある(図2に示す装置210を参照)。
図2を参照すると、埋入可能な医療装置210(例えば電気的刺激装置、神経刺激装置)は患者212の神経系および/または器官に影響を与えるよう構成される。装置210は例えば患者212の腹部214、胸部領域、臀部上部、または他部位の皮下ポケット内に埋入され得、装置210は特定の療法に関連する刺激信号(例えば電気パルス、周波数、電圧)を提供するようプログラムされ得る。使用中、リード線216に一体化された電気接点は、脊柱218または頭脳の1部分等の所望の刺激部位に配置される。リード線216は基部220の外部表面に一体化されたフィードスルー222により装置210の基部220にも接続される。いくつかの考察される実施形態において、フィードスルーは、埋入可能な医療装置(例えば所謂リードレス装置)に取り付けられた電極に対して直接的に、治療を伝達し、および/または信号を送信する。
代表的な実施形態によれば、フィードスルー222ならびに基部220の外部の他の部分は、埋入可能な医療装置210の有効寿命の間は、体液が基部220の内部に浸入することを防止するために、ならびに基部220内部から体内への漏出を防止するために、気密にシールされ、生体適合性、および生体安定性を有するよう設計される。代表的な実施形態によれば、フィードスルー222は気密にシールされ、体内への埋入中は気密シール状態に保持され、それにより、長期にわたって数年単位(例えば少なくとも1年、5年、10年、20年、またはそれ以上)の生体安定性を示す。
標準的な試験(例えば気密性および染料浸透のためのインビトロ高加速度浸漬試験等)は、長期にわたって埋入されたフィードスルー118および222が気密シールおよび生体安定性を保持する能力に関する信頼性の高い指標を提供するために用いられ得る。長期にわたる気密性および/または生体安定性は、フィードスルー222を通る高い電気伝導性を保持する一方で、制御された温度(例えば摂氏120度、150度、200度、またはそれ以上)および圧力(例えば1.5気圧、3.5気圧)で長期の試験期間(例えば48時間、72時間、96時間、1ヶ月、またはそれ以上)にわたって模擬体液中に浸漬された後に、フィードスルーを通る染料浸透が実質的に生じないことおよびフィードスルーを通る気密シールが実質的に損なわれないことにより示され(すなわち染料透過、ヘリウム漏出、その他が存在しないことにより証明され)得る。他の標準的な試験(例えばヘリウム漏出試験および3点曲げ強さ試験等)も、強度の最小劣化および低ヘリウム漏出率(通常1×10−8atm−cc He/秒未満(例えば、5×10−9atm−cc He/秒未満))の保持により示され得る、長期にわたる生体安定性を証明し得る。
本明細書では特定の埋入可能な医療装置に関して説明されるが、本明細書で開示する概念は、広範な埋入可能な医療装置(例えばペースメーカ、埋入可能な除細動器、センサ、心筋収縮調節器、電気除細動器、薬剤投与装置、診断記録装置、蝸牛インプラント、および他の装置等)と組み合わせて用いられ得ることを理解されたい。さらに他の考察される実施形態によれば、埋入可能な医療装置以外の装置も本明細書で開示する概念から利益を受け得る。
ここで図3を参照すると、埋入可能な医療装置(例えば図1〜図2に示す埋入可能な医療装置110および210を参照)の壁部310または収容構造体はフィードスルー312を備える。フィードスルー312は、フィードスルー312を受容するよう構成された壁部310の凹陥部316において壁部310の部分314(例えばフェルール等)に締結される。壁部310は、埋入可能な医療装置の基部(例えば図1〜図2に示す基部112および220)に対して生体適合性を有し気密シールされた外部を形成するために、他の壁部(単数または複数)に一体化され得る。他の実施形態において、フェルールは凹陥部を含まない。さらに他の実施形態において、フィードスルーはフェルールを用いることなく直接的に壁部に一体化され得る。
代表的な実施形態によれば、フィードスルー312は、全般的に非導電性である物質318、絶縁体、または誘電体から主に形成される。フィードスルーは略導電性の1つまたは複数の導管320(例えば伝導性部材、垂直相互接続部(ビア)、接続経路、経路)をさらに備える。なお導管320は略非導電性のフィードスルー312の物質318を通って延長する。いくつかの考察される実施形態において、導管320は物質318に一体化されるが物質318を通って延長せず、代替的に物質318の表面に沿って、または導管320と物質318の表面との間の中間物質の表面上を、延長する。このようにすると、電気信号は、伝導性導管(例えばビア)または外部パッド同士の間で、または相互に対して横方向に配置された別様に接続する内部および/または外部接点同士の間で、水平方向に伝導され得る。
図4〜図5を参照すると、埋入可能な医療装置1110の構成品はフィードスルー1112(例えば同時焼成セラミック、モノリス)と、ブレージングのための充填材物質のリング1114と、フェルール1116と、を備える。埋入可能な医療装置1110の組み立て中においては、フィードスルー1112がフェルール1116の凹陥部1118(例えば開口部)に挿入され、次いでリング1114がフィードスルー1112とフェルール1116との間で溶融およびブレージングされる。いくつかの実施形態において、リング1114は金のリングであり、フェルール1116はチタンから形成される。金およびチタンはいくつかの実施形態において関連する生体適合性特性および関連する溶融温度のために用いられる。いくつかの実施形態において、セラミック絶縁体の側壁部は、絶縁体とフェルールとの間の接合を支援するために、金属(例えばニオビウム、チタン、モリブデン等)または他の生体適合性物質でコーティング(例えば物理気相成長、スパッタリング、電子ビーム蒸着、メッキ、化学気相蒸着等の様々な可能な方法により)される。金属をコーティングすることは、絶縁体とフェルールとを接合するために、事前形成された金リングの付着およびブレージングを支援し得る。他の考察される実施形態において、リングおよびフェルールは異なる物質または物質の組み合わせから形成される。
図6〜図7を参照すると、フィードスルー1112は、フィードスルー1112の頂部表面と底部表面との間で絶縁体1122を通って延長する伝導性導管1120(例えばビア)を備える。いくつかの実施形態において、伝導性導管1120のうちの少なくとも1つは絶縁体1122を部分的に通って延長し、フィードスルー1112の側部に対して水平方向に延長する水平導管1124(図7)に連結する。他の実施形態において、導管はフィードスルーを完全に(例えば頂部から底部まで)通って延長し、しかも依然として他の本体に水平に連結する。図7において、水平導管1124は、フェルール1116とフィードスルー1112との間でブレージングされたリング1114まで延長する。したがって、水平導管1124はフィードスルー1112のためのグランド面として機能し得る。いくつかの実施形態において、水平導管1124を含む伝導性導管1120は白金を含む。いくつかの係る実施形態において、水平導管1124は未焼成(例えばグリーン)のセラミック物質の層上にプリントされ、他の伝導性導管1120および絶縁体1124と同時焼成される。
図8〜図9を参照すると、同時焼成されたフィードスルー1212は、伝導性導管1216を有する実質的に矩形である絶縁本体1214を備える。フィードスルー1212は、生体適合性物質のリング1220を用いて、埋入可能な医療装置1210のフェルール1218にブレージングされている。矩形絶縁本体1214(図8)の角柱形状は以下でより詳細に論じるようにブレージング接合安定性を改善すると考えられる。代表的な実施形態によれば、フェルール1218は突起を有さず、絶縁本体は、図7に示す突起1126を有するフェルール1116と比較して、フェルール1218の下面上のフランジまたは延長部分により支持されない。フェルール1218の突起を有さない設計は、伝導性導管1216とフェルール1218との間で短絡のための経路長さを増大化することにより、フィードスルー1212の伝導性導管1216の電気的絶縁を改善することを意図するものである。なおこれは、外部相互接続部のアクセス(例えばフィードスルー1212に連結されたリード線)を改善することをさらに意図するものである。
図10〜図13を参照すると、他の代表的な実施形態に係るフィードスルー410が示され、このフィードスルー410は本体412(例えば絶縁体)および少なくとも1本の導管414(例えば伝導性経路、電気的導管、ビア)を備える。図示のように、フィードスルー410は11本の導管414を備えるが、他の実施形態ではフィードスルー410は、10本以下または12本以上の導管を備え得、または異なるレイアウトの導管を備え得る。代表的な実施形態によれば、本体412は電気絶縁体である物質から形成され、いくつかの実施形態において本体412は実質的に平坦な表面416(例えば側面、外部表面)を備える。表面416はコーナー418または縁部により相互から隔てられる。
代表的な実施形態によれば、フィードスルー410は本体412の電気絶縁体物質を通って電気を伝導するよう構成された導管414(単数または複数)をさらに備える。導管414は実質的に直線状または曲線状(例えば、千鳥状、蛇行状、ジグザグ状)であり得る。導管414の曲線状経路は、流体が導管414と本体412との間で浸出(例えば通過、浸入)することをより良好に防止することにより、フィードスルー410の気密シールを改善し得る。しかし曲線状経路は電気抵抗を増大化し得、それにより、フィードスルー410の効率は、実質的な直線状経路(例えば直線と重なる)を有する導管と比較して低下する。いくつかの実施形態において、金属被覆の抵抗は約30mΩより低い(例えば約10mΩより低い)。他の実施形態において、金属被覆の抵抗は約100mΩより低い。金属被覆の抵抗は、導管414の直径、本体412の肉厚、物質、およびその他のパラメータの関数として変動し得る。いくつかの設計において、気密性を増強するために導管が千鳥状化または曲線状化されると抵抗は増加するが、物質の適切な組み合わせ、設計、および同時焼成プロセスに曲線状経路および関連する抵抗損失が不必要に与えられ得ることが見出されている。
いくつかの実施形態において、本体412の表面416およびコーナー418はフィードスルー410に対して実質的な角柱状または直線状の外部形状因子を協働して形成する。なおこの形状因子においては、本体412の少なくともいくつかの表面416(例えば端部422に対する頂部420)は、相互に対して実質的に垂直であるか、または相互に対して実質的に平行である。いくつかの係る実施形態において、本体412の表面416の全部は、相互に対して、実質的に垂直であるかまたは実質的に平行である。他の実施形態においては、表面のいずれもが相互に対して実質的に垂直ではない。さらに他の実施形態において、少なくともいくつかの表面は平坦ではない。
代表的な実施形態によれば、フィードスルー410は、ブロック、レンガ形状体、または立方体等の、矩形の表面416を有するボックス状構造体の形態で提供される。いくつかの係る実施形態において、本体412は、頂部420、底部426、頂部420と底部426との間で延長する側部(例えば端部422および長手方向側部428)を備える。側部422および428はそれぞれが平坦表面を含む。いくつかの実施形態において、端部422の平坦表面は相互に対して実質的に同一の寸法および形状であり、長手方向側部の平坦表面は相互に対して実質的に同一の寸法および形状である。他の考察される実施形態において、フィードスルーは略円筒形、長円形、または別様の形状である。
引き続き図10〜図13を参照すると、本体412の端部422の平坦表面は相互に対して平行である。いくつかの係る実施形態において、本体412の頂部420および底部426は、本体412の端部422の平坦表面に対して垂直である平坦表面を備える。いくつかの係る実施形態において、本体412に沿って長手方向に延長する側部428も本体412の端部422の平坦表面に対して垂直である平坦表面を備える。係る実施形態によれば、相互に対して垂直である本体412の3つの断面は、それぞれ実質的に矩形の周辺部を有する。例えば、1つの矩形断面は長手方向に延長し、他の長手方向断面は本体の幅を横切る方向に延長し、第3の矩形断面は水平面に沿って本体を切断する。
代表的な実施形態によれば、フィードスルー410の本体412は、フィードスルー410の外部の表面416同士の間にコーナー418をさらに備える。コーナー418および縁部は、直角のコーナーであるか、または別の角度であり得る。いくつかの実施形態において、コーナー418は丸められている(例えば、角に丸みがある、滑らかである、鈍化される)。代表的な実施形態によれば、コーナー418は、本体412を直線形状に切断した後、タンブリング、研削、切削、研磨、または他の成形プロセスにより、丸められる。係る実施形態において、コーナー418はシリコンカーバイド粗粒等の研磨剤により徐々に摩耗される。成形プロセスの制御および制限された適用は、コーナー418により提供される応力集中および亀裂発生部位の可能性を低減させる一方で、本体412の比較的正確な幾何学的形状を十分に保持し得る。制御および制限された成形は絶縁本体412の表面の下方で損傷が生じる可能性も低減させ得る。しかし、さらに他の考察される実施形態において、コーナーは面取りされてもよく、または鋭角的であってもよい。
代表的な実施形態によれば、フィードスルー410の本体412はセラミック物質から形成され、導管414は金属ペースト(例えばビアペースト)から形成される。フィードスルー410の製造中、導管414の金属ペーストは、本体412のセラミック物質における穴424(例えば正方形穴、円形穴、長円形穴、その他)に充填される(全般的に以下で説明する図21を参照)。次に、フィードスルー410の本体412および導管414は同時焼成される。すなわち、本体412のセラミック物質および導管414の金属ペーストが同時にキルン内で一緒に焼成(例えば約摂氏1600度の温度で約1時間にわたり)される。
代表的な実施形態によれば、本体412の物質はアルミナ(例えばアルミニウム酸化物、コランダム)を含む(例えば少なくとも70%のアルミナまたは約92%もしくは96%のアルミナ等)。いくつかの実施形態において、導管414の金属ペーストは主に白金(例えば白金粉末)および添加物を含む。なお添加物はアルミナ(例えば1〜10μmのd50のアルミナ粉末等)を含む。金属ペーストは、3〜10μmの範囲のメジアン粒径(例えばd50メジアン粒径)を有する第1白金粉末、5〜20μmの範囲のメジアン粒径を有する第2のより粗い白金粉末、または白金粉末の組み合わせを含み得る。他の考察される実施形態(例えばインプラントにおける使用を意図した実施形態または意図しない実施形態等)において、ペーストは、チタン、ニオビウム、ジルコニウム、タンタル、他の耐熱金属、これらの合金、これらの酸化物、または他の物質を含み得る。
添加物を含む金属ペーストの物質に対して異なる寸法の粒子を用いることは、金属ペーストの熱膨張応答および/または焼結速度ならびに特性(例えば焼結収縮、収縮プロファイル)を変化させると考えられる。これらは、必要に応じて、同時焼成フィードスルーの他の物質(例えば本体412の物質)と適合するよう調節され得る。さらにいくつかの実施形態において、同時焼成プロセス中、本体412のアルミナは焼結され、金属ペーストの添加物であるアルミナは、導管414の金属ペーストと本体412のアルミナとの間の付着を改善し得、それにより導管414の金属ペーストと本体412のアルミナとの間に強力な同時焼成結合が形成される。
ミクロスケールでは、金属ペースト中のアルミナは、穴424内の導管414と本体412との間の輪郭(例えば境界、境界面)に沿って、本体412のアルミナと結合し得る(全般的に図14〜図15に示す走査型電子顕微鏡法を参照)。金属ペースト中の添加物としてのアルミナに対して形成される結合は、金属ペースト中でアルミナを添加物として用いない導管414と本体412との間の結合と比較して、アルミナ添加物と本体412のアルミナとの間の相互作用により気密シールを顕著に改善すると考えられる。金属ペースト中でアルミナを添加物として含むことは、空隙の寸法および量を低減させ得、同時焼成プロセス中の金属ペーストと本体412のセラミックとの間の熱膨張適合性も改善し得る。それにより、普通ならフィードスルー410の異なる物質の不均質な拡張または収縮により生じたはずの応力が低減され、気密性および生体安定性を有する同時焼成結合が形成されることとなる。
少なくとも部分的に本体412および導管414に対して選択された物質の組み合わせにより、同時焼成プロセスの結果として導管414は本体412に対して気密にシールされる。流体(例えば身体内の液体および気体)が、導管414を、またはフィードスルー410の導管414と本体412との間(例えば境界面におけるミクロ孔の連鎖)を、通過することが防止される。さらに、フィードスルー410は、数年のオーダーで長期間にわたって気密シールが破損せずに、生体安定性を保持する。
図14〜図15を参照すると、同時焼成フィードスルー1310および1410は、伝導性導管1314および1414の物質と絶縁本体1316および1416との間に境界面1312および1412を備える。なお、境界面1312および1412は、少なくとも部分的に伝導性導管1314および1414の物質中で用いられる添加物により、互いに異なる。図14〜図15に示す絶縁本体1316および1416の物質は実質的に同一(例えば約92%アルミナ)であるが、図14に示す伝導性導管1314の物質は、Al、SiO、CaO、MgOの添加物を有する白金(例えば同時焼成のためのペーストの形態の白金粉末)を含む一方で、図15に示す伝導性導管1414の物質はAlのみを添加物として有する白金を含む。図14〜図15の同時焼成された境界面1312および1412の両方は、いくつかの初期欠陥1318および1418(例えば空隙、細孔)を含む。しかし、Alのみを添加物として用いることにより初期欠陥1418の量および/または規模が低減され、それにより境界面1412(例えば同時焼成結合)が改善されることが見出されている。
文脈の目的のために、表1で要約されるように、1組のビア金属被覆組成物が、同時焼成およびフィードスルーの性能に関するパラメータ(例えばビア突起、付着、歪み、抵抗、および気密性)について評価された。異なる添加物および添加物の組み合わせ(例えばAlのみと、Al、SiO、MgO、およびCaOと、SiO、MgO、およびCaOと)が、異なるレベルの濃度(ペーストの0〜10%の範囲)で白金ペーストに加えられた。
Figure 0006063463
文脈のために提供された表1に対応する評価において、気密性は熱衝撃試験の前後にヘリウム漏れ試験を用いて評価された。なお、熱衝撃試験は摂氏−50度〜摂氏165度の範囲の5〜500サイクルを含むものであった。表2に示すように、B2に対応する調合はヘリウム漏れ試験において気密シール状態を500サイクル後でさえも保持した。
Figure 0006063463
さらなる文脈の目的のために、一連のフィードスルー部品(名称TS4.6、TS4.8、およびTS5を有する)が表2の調合物を用いて製造された。表3にまとめられるように、伝導性導管(例えばビア)は最初は気密性を有し、ヘリウム漏れ試験に合格したが、伝導性導管のかなりの部分(例えば3%まで)は、ビアにおいて何らかの長さを下った箇所で、染料浸透を示したことが見出されることが注目された。
Figure 0006063463
表3において、「直径」、「長さ」、および「ピッチ」の列は伝導性導管(すなわちビア)の特徴に対応し、「経路」列は伝導性導管の積み重ねが直線状経路または千鳥状経路を形成したかどうかを示し、「ヘリウム漏れ」列は当該構成がヘリウム漏れ試験を合格したかどうかを示し、「個数」列および「ビア」列は、試験されたビアの個数、およびビアが配置された対応する個数を示し、「染料浸透」列は染料浸透を示したビアの個数、および試験された全ビアのパーセンテージを示す。熱衝撃試験における性能が良好であった後に、染料浸透の証拠は予期せぬものであった。表3に示す染料浸透のこの予期せぬ結果を解決するために、潜在的にビア気密性に影響を与え得るいくつかの要因(ビアペースト中の無機成分および有機成分に加えて、設計およびプロセス条件を含む)が評価された。これらのうち、無機添加物は、結果的に生成された同時焼成構造の気密性に強い影響を及ぼすことが見出された。
例示目的で提供された以下の表にまとめられるように、3〜10μmの範囲の粒径分布d50を有する白金粉末のペースト(「Pt−1」)に対するアルミナ添加物のパーセンテージは伝導性導管(例えばビアの金属被覆)の抵抗に影響を及ぼした。
Figure 0006063463
表中、「アルミナ」行はアルミナである金属被覆ペーストのパーセンテージを含み、「その他」行はアルミナである金属被覆ペーストおよび他の添加物SiO、MgO、およびCaOのパーセンテージを含み、「突起」行はビア金属被覆の突起の高さを含み、「歪み」行は基板(例えば絶縁体)の相対歪みの規模を含み、「収縮」行は熱機械分析により判定された金属被覆の収縮を含み、「浸透」行は染料浸透を示した試料の個数を含み、「ヘリウム漏れ」行は試験中にヘリウム漏れを示した試料の個数を含み、「金属被覆抵抗」行は金属被覆のバルク電気抵抗を含み、「ビア抵抗」行は、他の有力要因(例えば導管の肉厚(例えば66ミル)および直径)が実質的に一定に保持された状態での伝導性導管の電気抵抗を含み、「付着障害場所」行は標準的なはんだ付けピンプルテストにおける障害の場所を詳述する。2.5%のアルミナ添加物を有する700の試料のうち染料浸透を示したものは0であった一方で、5%のアルミナ添加物を有する試料はより良好な性能を示した。表4に示すように、全般に、添加物としてアルミナが含まれ「その他」の添加物(例えばSiO、MgO、およびCaO)が含まれない状態では、付着は改善され電気抵抗は減少するが、その代価としてビア突起の高さおよび試料歪みが増大化されることが見出された。
同時焼成伝導性導管(すなわちビア)の突起および歪みを緩和するために、異なる粒径の白金粉末を、伝導性導管を構築するために用いられる金属被覆ペーストのために用いることが審査された。いくつかの代表的な調合では、5〜20μmの範囲の平均粒径分布d50を有する(「Pt−2」)、および/またはPt−1粉末とPt−2粉末とが混合された、より粗い白金粉末が、文脈のために提供された以下の表にまとめられるように用いられた。
Figure 0006063463
表5において、「Pt−1:Pt−2」行は、金属被覆ペースト中で用いられる2つの異なる寸法の白金粉末の比を含み、他の行は表4のものと一致する。2つの白金粉末を9:1および4:1の比率で混合することは、絶縁体からの同時焼成伝導性導管の相対的突起および歪みを減少させたが、さらなる減少がいくつかの実施形態においては好適である。アルミナ添加物と組み合わせてPt−1とPt−2とを混合することが、文脈のために提供された以下の表でまとめられるように、詳述される。
Figure 0006063463
異なる寸法の白金粉末とアルミナ添加物とを混合することにより、ビアペーストのための調合は、より低い突起、一致した収縮(より小さい歪み)、ならびに金属被覆の制御された抵抗を有するものとなった。
文脈の目的のために、5%アルミナ添加物とともにPt−1白金粉末およびPt−2白金粉末を等しい分量で含む白金ペーストの調合が、表7にまとめられるように、フィードスルーの実質的に矩形であるいくつかの頂部および底部のパッド構造体の製造において用いられた。
Figure 0006063463
以下の表8は、5日間にわたる脱イオン化された水における摂氏150度での生体安定性試験、およびその後の熱衝撃試験から得られた結果を示す。
Figure 0006063463
全試料は染料浸透なしに気密性を保持した。
図10〜図13に戻って参照すると、本体412は、焼成されると物質の硬度のために切断または成形が困難となり得る物質(例えばアルミナ等)から形成される。係る実施形態に関しては、本体412の表面416に対する直線形状は丸められた形状よりも形成がより容易であり得る。しかし、最近の発見までは、直線形状は、例えばフィードスルーの鋭角的なコーナーに起因する増大化された応力集中および亀裂に対する弱さにより、フィードスルーおよび接合表面における構造的脆弱性を促進するものであると考えられた。したがって、従来の気密フィードスルーは丸められた端部(例えば角に丸みがある端部、長円形化された端部)を含むものであった。係る端部は研削プロセスまたは焼成後の機械加工により形成するにあたり時間を要するものであった。
一方、平坦表面を有する本体412の端部422を有するフィードスルー410は、埋入可能な医療装置の壁部に一体化または係る壁部内に一体化(例えば埋入可能な医療装置に一体化されたフェルールに金属被覆またはブレージング)される(例えば図3参照)と、直線形状に関する従来は懸念された欠点が顕著には発生することなく、フィードスルー410の気密シールの性能を改善することが発見された。角に丸みがある端部を有する構成品と比較して角柱状部品(例えば平坦端部)に対する耐久性が顕著に増加することをインビトロの加速劣化試験中に発見したことは驚くべきであった。平坦端部422を有する本体412の使用は、本体412がフェルールに一体化される場合、気密シールを改善すると思われる。端部422の平坦性は、従来のフィードスルーの端部を丸めるために用いられた精度がより低い研削プロセスと比較して、少なくとも部分的に、本体412の物質を切断するために用いられるダイヤモンド切断ブレード(または同様の器具)を有する薄片切断ソー(wafering saw)の精度によるものであると考えられる。加えて、平坦且つ精密切断された端部422の形成は、欠陥、細孔、または空隙(これらは流体に対する漏出経路を提供し得る)が本体412の外部表面上に生じる可能性を低減するものと考えられる。
例えば、50個の絶縁体物質の矩形レンガ形状体が、6.426mmの長さおよび1.778mmの幅をターゲット寸法として、薄片切断ソーを用いて切断された。50個のレンガ形状体の平均長さは、標準偏差が0.004mmである状態で、6.437mmであり、平均幅は、標準偏差が0.004mmである状態で、1.794mmであった。対比的に、薄片切断ソーを用いた切削加工後に研削を施すことから形成された他の1組の120個の丸められた端部を有する試料においては、平均長さは6.455mmであった。なお、この平均長さは、0.011mmの標準偏差のばらつき具合を有した。次に試料のうちの100個を研磨した後、これらの試料は6.449mmの平均長さを有した。なお、この平均長さは0.010mmの標準偏差のばらつき具合を有した。幅において、丸められた端部を有する120個の試料は、研削後、標準偏差が0.007mmである状態で、1.808mmの平均幅を有した。次に研磨後、100個の試料は、標準偏差が0.009mmである状態で、1.795mmの平均幅を有した。そのように、平坦な端部を用いることは、研削および研磨の追加的な製造ステップを削除すると同時に絶縁体の寸法上の精度も改善した。
同時焼成された角に丸みがある形状体(丸められた端部を有する平坦な側部。例えば図4〜図5参照)に対する同時焼成されたレンガ形状体(平坦な端部を有する平坦な側部。例えば図8および図10〜図13参照)の相対的な浸漬性能は、金でブレージングされた絶縁体(例えば金でブレージングされたセラミックであって大部分がアルミナ)を摂氏150度のリン酸塩緩衝剤食塩水(PBS)溶液に最高で5日間浸漬することによる試験により評価された。同一のフェルールタイプ/形状、金予備成形物、およびブレージングプロファイルが、絶縁体を金でブレージングするために用いられた。浸漬期間の後、絶縁体は真空ベークされ、各絶縁体に対するヘリウム漏れ速度が測定された。金ブレージング接合部の押出強度も測定された。試験の結果は、角に丸みがある絶縁体形状がPBS溶液中で摂氏150度で1.5日以内に本来の押出強度の最高55%まで失われること、および角に丸みがある絶縁体の約1/3が5.0×10−9atm×ccHe/秒を越える速度で漏出すること、を示した。比較すると、レンガ状絶縁体形状は、PBS溶液中において摂氏150度で5日後に押出強度における低下を全く示さず、全部の部品が1.0×10−10atm×ccHe/秒を越える気密性を示した。このように、レンガ形状の絶縁体が、角に丸みがある絶縁体と比較してより優れた浸漬性能を有することがこの試験により示された。
図21を参照すると、フィードスルー924の製造方法1010は、グリーンのまたは未焼成のセラミック物質のシートを提供すること1012と、セラミックシートに穴を形成すること1014と、金属被覆またはペーストで穴を充填すること1016と、を含む。いくつかの実施形態において、方法1010は、穴および金属被覆の上方にカバーまたはパッドをプリントすることを含む。方法1010はシートを積み重ねること1020および貼り合わせること1022と、次に、セラミックおよび金属被覆を同時焼成すること1024と、をさらに含む。方法1010は、同時焼成された組成物を切断すること1026および切断された要素のコーナーを丸めること1028により、フィードスルーを仕上げること1030をさらに含む。次に、仕上げられたフィードスルーはフェルールにブレージングされ、埋入可能な医療装置の1部分として用いられる。
いくつかの実施形態において、方法1010は、電気絶縁体である物質916と電気絶縁体物質916を通して電気を伝導するよう構成された導管(単数または複数)918とを含む組成物914(例えば約摂氏1000度を越える温度(例えば、約摂氏1600度)で焼成された高温同時焼成セラミック、摂氏1000度より低い温度で焼成された低温同時焼成セラミック)を同時焼成すること1024を含む。方法1010はフィードスルー924の本体922を形成するために組成物914を切断(例えばダイスカット、薄片切断)すること920をさらに含む。次に、絶縁本体922は、平坦端部表面932に隣接する丸められたコーナー934を形成するために処理1028される。
いくつかの実施形態において、本体922は頂部926と底部(頂部926に対向する)と、本体922に沿って長手方向に延長する2つの側部928と、本体922の端部上の2つの側部930とを有する(図10〜図13に示すフィードスルー410の表面416も参照)。いくつかの係る実施形態において、本体922の両端部上の2つの側部930は外部平坦表面932を備える。この方法は本体922に沿って長手方向に延長する2つの側部928と本体922の両端部上の2つの側部930との間のコーナー934を丸めることをさらに含む。コーナー934は丸められるが、本体922の両端部上の2つの側部930は、コーナー934同士の間にある平坦表面932を保持し、それにより仕上げられたフィードスルーが提供される1030。
いくつかの実施形態において、この方法は電気絶縁体物質916のシート938における穴936を充填することをさらに含む。なお穴936は導管918を形成するために用いられる伝導性ペースト940で充填される。ともに、シート938およびペースト940は、一般にシート938の積み重ねおよび貼り合わせが行われた後に、フィードスルー924を形成するために同時焼成される1024。方法1010は、各シート938内の穴936が相互に対して実質的に位置合わせされ、それにより垂直経路(例えば図17に示す伝導性導管614を参照)が形成されるよう、シート938を積み重ねること1020をさらに含む。代表的な実施形態によれば、方法1010は、導管918に重なるパッド946をプリントすること944を含む。いくつかの実施形態において、パッド946は、フィードスルー924のための相互接続部または頂部パッドとして機能し得、パッド946とフィードスルー924の本体922との間の気密シールが保持される一方でリード線またはワイヤをパッド946に溶接すること支援する十分な肉厚となる規模にまでパッド924の肉厚が増大化されるよう相互の上方にプリントされた一連の層から形成され得る(図19も参照)。他の実施形態において、パッド946は、導管918と近接するシート938との間の接続性を改善するためのカバーパッドとして機能し得る(例えば図16に示すカバーパッド522も参照)。いくつかの実施形態において、シート938はアルミナを含むかまたは大部分がアルミナから形成され、伝導性ペースト940は白金および添加物(アルミナを含み得る)を含み、パッド946(例えばカバーパッドおよび/または相互接続部)の層は白金のみで形成される。
図16を参照すると、フィードスルー510は、埋入可能な医療装置(例えば図1〜図2に示す装置110および210参照)とともに用いられるよう構成されたものであり、張り合わされて一緒に焼成されることにより単一の中実本体514が形成(図13に示すフィードスルー410の断面図も参照)された1重ねのシート512(例えば層、プライ、積層、グリーンシート)を備える。シート516のうちの少なくとも1つは第1物質から形成され、シート516を通って延長する少なくとも1つの穴518を有する。代表的な実施形態によれば、シート516の第1物質は電気絶縁体物質である。第2物質(例えば金属被覆)は穴518を実質的に充填(例えば考察される実施形態において、穴518の容積の少なくとも75%を充填)する。第2物質は、伝導性であるかまたは焼成後に伝導性となるよう構成され、シート516を通る電気的導管520を形成する。いくつかの係る実施形態において、第1物質はセラミック(アルミナを含み得る)であり、第2物質は第1物質とは異なる物質であり、白金および添加物を含み得る。
代表的な実施形態によれば、第1物質のシート516および第2物質の導管520は、少なくとも部分的にフィードスルー510を形成するために、互いに同時焼成されたものである。第1物質および第2物質の組み合わせは、互いに対して強力な境界面(例えば同時焼成結合)が形成されるよう、選択される。代表的な実施形態によれば、第1物質と第2物質との間の化学・機械的結合(chem−mechanical bonding)は、焼成後、ブレージング後、および耐久性試験もしくは人体内への埋入後、導管520の第2物質が第1物質のシート516における穴518を気密的にシールするにあたり十分である。いくつかの実施形態において、第2物質の添加物は第1物質(例えばセラミック、アルミナ)を含む。なお、これは、同時焼成中に第1物質と第2物質との間の化学・機械的な同時焼成結合を促進することを意図するものである。いくつかの係る実施形態において、第2物質はアルミナよりも大量に白金を含む。特定の実施形態において、第2物質は白金およびアルミナのみを含む。
少なくともいくつかの実施形態において、第2物質はアルミナを含むが、同時焼成以前はガラス(またはガラスの構成要素(例えばSiO、MgO、CaO、結晶性酸化物、もしくは他の構成要素)またはガラス)を添加物として含まない。一般に、ガラスは、焼成中におけるアルミナの焼結を支援するために、アルミナと混合される。一般に、ガラスは、同時焼成中における金属被覆の焼結を制御するために、アルミナと混合される。一方、アルミナが第2物質に対する添加物として用いられる場合、金属被覆の焼結を制御するにあたってガラスは不必要であることが発見された。同時焼成中にガラス相が周囲の第1物質から第2物質中に吸い込まれ(例えば拡散され)ると考えられる。これにより、境界面に沿って物質が入り交じり、その結果、化学・機械的な同時焼成結合が第1物質と第2物質との間の境界面(例えばビア壁部)において強化されると考えられる。さらに、添加物としてガラスを用いることは、第2物質の焼成中に空隙および他の欠陥がガラスにより生成され、それにより流体が第2物質を通り抜けること、またはフィードスルー510の第1物質と第2物質との間を通り抜けることが支援され得るため、第1物質と第2物質との間の気密シールの有効性を実際に低下させることが発見された。他の考察される実施形態において、第2物質はガラスを含み得る。
引き続き図16を参照すると、フィードスルー510はカバーパッド522(例えば層間パッド、伝導性ディスク、導管延長部分)をさらに含む。なお、カバーパッド522はシート516に連結され、導管520と電気的に接触する。代表的な実施形態によれば、カバーパッド522は穴518に重なり、少なくとも部分的にシート516上方で穴518を越えて延長し得る。他の実施形態において、カバーパッドは含まれない。いくつかの実施形態において、カバーパッド522は、第1物質および第2物質とは異なる第3物質(例えば金属被覆)から形成される。他の実施形態において、カバーパッド522は第2物質から形成される。フィードスルー510は、積み重ねられた構造体から形成された外部パッド536および538も備え得る。これらの外部パッドは第2物質および/または第3物質を含み得る。第3物質は伝導性であり、白金を含み得る。いくつかの実施形態において、第3物質は白金のみを含む。特定の実施形態において、第3物質は第2物質よりも伝導性が大きい。他の考察される実施形態において、第3物質は第2物質と同一である。
代表的な実施形態によれば、フィードスルー510はシート512(一緒に積み重ねられ、貼り合わされ、および焼成された)の組み合わせから形成される。いくつかの実施形態において、シート516は第1シート516であり、フィードスルー510は、第2シート524、第3シート526、および可能ならばさらなるシート512をさらに備える。上述のように、第1シート516は第1物質から作られ、穴518を有し、この穴518は第1穴518である。第2シート524および第3シート526も第1物質から形成される。第2シートは第1シート516に結合され、第3シート526は第2シート524に締結される。
係る実施形態において、第2シート524は第2穴528を有し、第3シート526は第3穴530を有する。上述のように第1穴518は第2物質で充填され、代表的な実施形態によれば、第2穴528および第3穴530も第2物質により充填される。さらに、第1穴518、第2穴528、および第3穴530は相互に対して垂直方向に位置合わせされ、いくつかの実施形態において、第1シート516、第2シート524、および第3シート526を通る実質的に直線状の伝導性経路が形成される。第1穴518、第2穴528、および第3穴530は実質的に垂直方向に相互に対して重なり得る。いくつかの係る実施形態において、フィードスルー510の第1物質および第2物質は、伝導性経路が実質的に直線状であるにも関わらず第1物質と第2物質との間の同時焼成結合が第1穴518、第2穴528、および第3穴530を気密的にシールするよう、同時焼成されている。したがって、伝導性経路は、他のフィードスルー(例えば他の実施形態に係るフィードスルー)の曲線状経路と比較して、伝導性を改善する。
代表的な実施形態によれば、カバーパッド522は第1カバーパッド522であり、フィードスルー510は第2カバーパッド532および第3カバーパッド534をさらに備える。第2カバーパッド523および第3カバーパッド534はそれぞれ第2穴528および第3穴530に重なり、少なくとも部分的に第2シート524および第3シート526上方で第2穴528および第3穴530を越えて延長し得る。いくつかの係る実施形態においては千鳥状の導管構造が考察される。なおこの千鳥状構造においては、第1カバーパッド522は、垂直方向の積み重ねにおいて相互に対して直接的に位置合わせされない第1穴518および第2穴528の少なくとも1部分と重なり(例えば、近接するかまたは完全に重なる)、第2カバーパッド532は第2穴528および第3穴530に重なる。なお、第2穴528および第3穴530も、垂直方向の積み重ねにおいて直接的に位置合わせされない。他の実施形態において、これらの穴は垂直方向の積み重ねにおいて相互に対して直接的に位置合わせされる。代表的な実施形態によれば、第2カバーパッド532および第3カバーパッド534は第3物質から形成される。他の実施形態において、第2カバーパッド532および第3カバーパッド534は第2物質または他の物質から形成される。
ここで図17を参照すると、フィードスルー510に類似する実際のフィードスルー610の走査型電子顕微鏡写真における断面図が示される。フィードスルー610は絶縁体物質から形成された本体612と本体612を通って延長する伝導性導管614とを備える。導管614はシートにおける穴を伝導性物質で充填することにより形成されたものである。これらの穴は相互に対して位置合わせされ、薄いカバーパッド616により覆われる。代表的な実施形態によれば、絶縁体物質はアルミナを含むセラミックであり、伝導性物質は白金およびアルミナの混合物を含み、カバーパッド616の物質も白金およびアルミナの混合物を含む。他の実施形態において、パッド616の物質は主に白金を含む。本体612は1重ねのシートから形成される。なおこれらのシートは、一緒に張り合わされ、キルン内で一緒に焼成され、それにより同時焼成結合がシート間に形成されたものである。これらの物質は、流体がフィードスルー610を通過することを防止する気密シールを形成するために、一緒に同時焼成されたものである。
図21を再び参照すると、フィードスルーを製造する方法1010の他の部分は、第1物質916(例えば電気絶縁体物質)のシート938を提供すること1012を含む。いくつかの実施形態において、シート938はアルミナを含むセラミックである。方法1010は、第1シート938に、例えば機械的な穿孔または圧搾により、少なくとも1つの穴936を形成(例えば穿孔)すること1014をさらに含む。いくつかの実施形態において、穴936のアレイがシート938に穿孔される(例えば第1穴に加えて第2穴および第3穴)。
代表的な実施形態によれば、方法1010は穴936を第2物質940で充填すること1016を含む。なお第2物質940は第1物質916とは異なる。いくつかの実施形態において、第2物質940は伝導性である。2つ以上の穴936を有する実施形態において、穴936はそれぞれが第2物質940で充填され得る。穴936を充填する際、第2物質940はペーストの形態であり得、白金および添加物(例えばアルミナ等)を含み得る。方法1010は、第1物質916と第2物質940との間の結合が穴936を気密にシールするよう、第1物質916および第2物質940を同時焼成すること1024を含む。
いくつかの実施形態において、方法1010は、第1物質916の追加的なシート938(例えば第2シートおよび第3シート)を提供することと、追加的なシート938のそれぞれに穴936を形成することと、シート938を積み重ねること1020と、を含み得る。いくつかの係る実施形態において、シート938は、シート938における対応する穴936が相互に対して垂直方向に位置合わせされ、それにより第1シート、第2シート、および第3シート938を通る実質的に直線状の伝導性経路が形成されるよう、積み重ねられる。次に、シート938は、第1物質916および第2物質940が中実の組成物956を形成するよう、相互に対して張り合わされ1022、次いで同時焼成される1024。次に組成物956は、流体が穴936を通り抜けることを防止するために、または第1物質916と第2物質940との間を通過することを防止するために、気密にシールされた個々の本体922へと切断またはダイスカットされる。
いくつかの実施形態において、方法1010はパッド946(例えばカバーパッド)を穴936の上方にまたはシート938上にプリントすること1018を含む。なおパッド946は少なくとも穴936を部分的に越えて延長する。いくつかの係る実施形態において、パッド946は、第1物質916および第2物質936とは異なる第3物質から形成され得る。いくつかの実施形態において、第3物質は白金を含む。いくつかの他の係る実施形態において、パッド946は第2物質940から形成され得る。複数のシート938が用いられ、シート938同士の間の対応する穴936が垂直方向に位置合わせされる場合、パッド946は、特にパッド946の直径が大きいために穴936が互いに対して必ずしも完璧には位置合わせされない場合に、近接する穴936の電気的導管918同士の間の電気接続性を改善するよう機能し得る。いくつかの係る実施形態において、第1物質、第2物質、および第3物質は、同時焼成ステップ1024の間に一緒に同時焼成される。いくつかの実施形態において、外部パッドまたは頂部パッドは、導管918の上方に、または張り合わされた構造体914の底部パッドの上方にプリントされ得る。外部パッドは、第1物質および第2物質の両方と異なる第3物質(例えば金属被覆)を含み得る。第3物質は伝導性であり、白金を含み得る。
ここで図18〜図19を参照すると、フィードスルー710は、本体712(例えば電気絶縁体)と、本体712を通って延長する導管714(例えばビア)と、本体712の外部(例えば本体712の頂部表面または底部表面上および基層718上)に取り付けられたパッド716(例えば頂部パッド、底部パッド、相互接続部)と、を備える。代表的な実施形態によれば、本体712は電気絶縁体である第1物質から形成され、導管714は伝導性である第2物質から形成される。そのため、導管714は本体712の少なくとも1部分を通って電気を伝達するよう構成される。パッド716は伝導性であり、導管714に電気的に連結される。代表的な実施形態によれば、本体712、導管714、およびパッド716の物質は、それらの間の粘着がパッド716および導管714を本体712に締結および気密にシールし、それにより絶縁本体712とパッド716との間に連続的な境界面が形成されるよう、同時焼成される。なお、係る連続的境界面の形成は気密性に対して重要であると考えられる。連続的境界面は、コーティング、基層718(例えば下層)、または他の中間的要素も含み得る。いくつかの実施形態において、フィードスルー710は導管714に連結された第2パッドを導管の対向側部上に備える(例えば図16に示すパッド536および538参照)。なお第2パッドの寸法はパッド716の寸法と異なり得る。
代表的な実施形態によれば、パッド716は、パッド716と本体712との間の気密シールを顕著には損なうことなくリード線またはワイヤ(例えばNbリード線、コバルト−クロム−ニッケル合金(「Co−Cr−Ni合金」、例えばMP35N、35N LT、ナノ粒子構造を有するCo−Cr−Ni合金、ASTM規格F562))をパッド716の頂部表面に溶接することが支持されるよう、十分に構築(例えば肉厚、物質の種類、表面積、表面平度、層化に関して)される。レーザ溶接技術およびパラレルギャップ溶接技術を含む多くの種類の溶接処理が用いられ得る。いくつかの代表的な外部相互接続技術は、レーザ溶接、パラレルギャップ溶接、ブレージング、超音波接合、サーモソニックボンディング、はんだ付け、拡散接合、および圧力接合または剥離接合(scraping contact)を含む。いくつかの代表的な外部相互接続部またはリード線の物質はニオビウム、白金、チタン、タンタル、パラジウム、金、およびこれらの酸化物ならびに合金(例えばTi15Mo、PtIr、Co−Cr−Ni合金、Grade36 TiNb合金)を含む。図19では略矩形(例えば正方向)として図示されるが、他の考察される実施形態においてはパッドは円形または別様の形状であり得る。この形状は、パッド716の上方層が基層718よりも幅狭化されているが、その一方で設計要件に応じて変動し得る。
ここで図20を参照すると、パッド810は伝導性導管814上方で絶縁体812に連結される。代表的な実施形態によれば、左から右へと図20はパッド810が構築(例えばプリント)される際のパッド810の構成を示し、パッド810の最終形態が右側の構成810Cに示される。左側の構成810Aおよび中央の構成810Bは、他の実施形態に係るパッド810の最終形態であり得る。図20の下方の行は、図20の上方の行に示す3つの構成810A、810B、および810Cを表す3つの異なるパッド810A’、810B’、および810C’の、走査型電子顕微鏡により提供された実際の顕微鏡写真を含む。
代表的な実施形態によれば、パッド810は第1層816と、第1層816の少なくとも1部分と重なる第2層818とを備える。絶縁体812は第1物質から形成され、導管814は第2物質から形成され、パッド810の第1層816は第2物質から形成され、いくつかの実施形態においてパッド810の第2層818は第3物質から形成される。代表的な実施形態によれば、第2物質は、付着を改善するために、第1物質と第3物質との間の中間物として機能する。いくつかの実施形態において、パッド810の第1層816は、パッド810の第2層818が第1物質と直接的に接触することがないよう、パッド810の第2層818と絶縁体812の第1物質とを隔てる。いくつかの係る実施形態において、第1物質はアルミナを含み、第2物質はアルミナを添加物として有する白金を含み、第3物質は主に白金を含む。
いくつかの実施形態において、パッド810は、第1層および第2層に加えて層820および822を備え得、少なくとも50μm(例えば少なくとも約75μm、または約100μmを越える)の肉厚Tを有する。いくつかの実施形態において、パッド810の肉厚は200μmより小さい。係る肉厚Tは、導管814を溶解することまたはパッド810を絶縁体812から分離させることなく、リード線またはワイヤをパッド810に溶接するための物質が溶解ビーズを形成することを可能にする十分に大きい肉厚であると考えられる。パッド810が薄すぎる場合には、熱応力によりパッド810または導管814に亀裂が生じるかまたはパッド810または導管814が絶縁体812から剥離することとなり得、関連するフィードスルーの結合性が損なわれてしまう。
白金から形成され且つ10〜15μmのオーダーの全般的な肉厚を有する、フィードスルーのための相互接続パッドは、標準的な溶接プロセス(例えばレーザ溶接技術およびパラレルギャップ溶接技術)を用いた場合、リード線を受容するには薄すぎると考えられる。なぜなら、係るパッドは、変形するかまたはそれぞれの絶縁体から分離し、それによりフィードスルーの気密シールが損なわれてしまうことが見出されているからである。溶接プロセスに起因する熱が係るパッドを通過すると、下方の導管が溶解し、フィードスルーの気密シールが損なわれ得る。一方、10〜15μmのオーダーのパッド(基部パッド)は、溶接と比較して、はんだ付け、ブレージング、またはワイヤ接合プロセスに対しては十分な肉厚であり得る。しかしはんだ付けまたはブレージングのプロセスおよび関連する物質は生体適合性または生体安定性を有さないこともある。上記を鑑みると、いくつかの考察される実施形態において、50μmより小さい肉厚(例えば10〜15μmのオーダー)または15μmより大きい肉厚を有するパッドは、特定のパッド物質または溶接技術とともに用いられ得る。本明細書で提供する数量および範囲は構成によっては有用となり得るが、例えば他の用途その他で用いられる、他の物質、幾何学的形状が用いられる他の構成においては、これらの数量および範囲は必ずしも適用可能であるとはかぎらないが、本明細書で提供する全般的な教示は依然として適用され得ることに注意されたい。例えば、パッドの寸法閾値は評価される溶接プロセスに関する特定の詳細に基づき得るものであり、溶接プロセス構成が変わり、大型化/小型化、または高出力化/低出力化、またはその他の変化が導入されると、寸法閾値もそれに対応して変わることとなるであろう。
引き続き図20を参照すると、パッド810Cは第2層818上に第3層820と、第3層820上に第4層822と、を備える。いくつかの係る実施形態において、第3層820および第4層822は第3物質で形成され、第2層818上にプリントされる。それによりパッド810の肉厚が増大化され、パッド810はリード線を受容するよう構成される。代表的な実施形態によれば、第4層822はパッド810の頂部層であり、大きさにおいて10×10ミル(すなわち1/100インチ×1/100インチ)より大きい頂部表面積を有する(例えば円形、正方形、矩形、または他の形状を有し得る)。いくつかの実施形態において、頂部表面積は約20×20ミルより大きい(例えば約30×30ミルまたは約40×40ミル)。パッド810の頂部上の係る表面積は、パッド810の側部を溶解することなくまたはパッドを絶縁体812から分離させることなく(これらは気密シールを損ない得る)、リード線またはワイヤをパッドに溶接するための物質が溶解ビーズを形成することを可能にする十分に大きい面積であると考えられる。約30×30ミルより小さい表面積を有する白金から形成されたパッドは、係るパッドが溶解して本体から分離しそれによりフィードスルーの気密シールが損なわれてしまうことが見出されているため、いくつかの標準的な溶接プロセスでリード線を受容するにあたっては小さすぎる場合もあると考えられる。しかし、考察される実施形態において、30×30ミルより小さい表面積を有するパッドは特定のパッド物質または溶接技術とともに用いられ得る。パッドの体積および体積範囲は、様々な実施形態によれば、本明細書で開示する任意のパッド面積と任意のパッド肉厚との積、または本明細書で開示する任意のパッド長さと、幅と、肉厚との積を含むことを注意されたい。
代表的な実施形態によれば、パッド810の頂部表面は、リード線またはワイヤが頂部表面に溶接されることを支援するために、十分に平坦である。いくつかの係る実施形態において、パッドの頂部は、平度について10μmより小さい(例えば平度について約7μmより小さい等の)二乗平均平方根値を有する。なお、平度を測定したエリアはパッドの頂部中央の50%に対応する(例えば円形パッドに対しては中央の円、矩形パッドに対しては中央の矩形)。他の考察される実施形態において、パッドは垂直に突出するよう構成され、それによりリード線または他の相互接続部の接続のための突起体が形成される。パラレルギャップ溶接またはレーザ溶接がリード線を突起体に締結するために用いられ得る。
白金粉末から再調合された様々な伝導性ペーストが、いくつかの実施形態においてフィードスルーの伝導性特徴物(例えば導管、パッド)を形成するために用いられ得る。第1ペーストは第1白金粉末から形成される。なお第1白金粉末は実質的に、3〜10μmの範囲の平均粒径分布d50(対数正規分布における質量メジアン直径)を有する白金(「Pt−1」)からなる。第2ペーストは第2白金粉末から形成される。なお第2白金粉末は実質的に、5〜20μmの範囲のより粗い平均粒径分布d50を有する白金(「Pt−2」)からなる。第3ペーストは略等しい分量の第1白金粉末および第2白金粉末と約2〜10重量%のアルミナ(例えばAl)(例えば約5%のアルミナ)との組み合わせから形成される。第4ペーストはそれぞれ3:1の比率(例えば70〜80%)で混合された第1粉末および第2粉末から形成される。
第1粉末および第2粉末を第3ペーストおよび第4ペースト中に混合することは、結果的に生成される金属被覆の焼結収縮および/または収縮プロファイルを制御することを意図するものである。1つの事例において、第1粉末および第2粉末の7:3混合物と、約5%のアルミナ添加物と、から形成されたペーストは、熱機械分析(TMA)において13%の収縮を生じさせた。第1粉末および第2粉末の同一の混合物と約7%のアルミナとを有する他の事例においては、収縮は12%であった。他の事例において、第1粉末および第2粉末の略等しい分量の混合物と約5%のアルミナ添加物とから形成されたペーストは15%の収縮を生じさせ、その一方で7%のアルミナを有する同一の混合物は13%の収縮を生じさせた。
文脈のために提供される例として、ペーストといくつかの層との様々な組み合わせが、同時焼成後に生成されたパッドの品質(例えば頂部パッドの肉厚および平度等)を試験するために構築された。2つの係る事例において、第2ペーストの頂部層が第3ペーストの基層上にプリントされ(例えば「二重プリント」)、同時焼成された。それにより、頂部パッド肉厚はそれぞれ37μmおよび39μm(例えば1パッドあたり平均で10〜20のサンプル測定)、二乗平均平方根(RMS)平均平度値はそれぞれ4.2μmおよび3.9μmであった(全般的に図20に示すパッド810A参照)。他の事例において、第1ペーストの頂部層が第3ペーストの基層上にプリントされ、それにより、頂部パッド肉厚は130μm、RMS平均平度は12.3μmとなった。他の2つの事例において、第2ペーストの2つの頂部層が第3ペーストの基層上にプリントされ(例えば「三重プリント」)、同時焼成された。それにより、頂部パッド肉厚はそれぞれ55μmおよび59μmとなり、RMS平均平度値はそれぞれ2.5μmおよび3.3μmとなった(全般的に図20に示すパッド810B参照)。さらに他の2つの事例において、第2ペーストの3つの頂部層が第3ペーストの基層上に引き続きプリントされ(例えば「四重プリント」)された。それにより、頂部パッド肉厚は81μmとなり、RMS平均平度値はそれぞれ3.9μmおよび4.2μmとなった(全般的に図20に示すパッド810C参照)。他の事例において、第1ペーストの3つの頂部層が第3ペーストの第1層上に引き続きプリントされた。それにより頂部パッド肉厚は109μm、RMS平均平度は6.0μmとなった。さらに他の事例において、第4ペーストの3つの頂部層が第3ペーストの第1層上に引き続きプリントされた。それによりパッド肉厚は104μm、RMS平均平度は5.1μmとなった。それにより、パッドは、亀裂または剥離なしに、下方の伝導性導管(第3ペーストから形成)および絶縁体に連結された。頂部層および基層の正味肉厚は136μmであった。
様々なパッド構成が、Pt−1白金粉末と、Pt−2白金粉末と、等しい分量のPt−1およびPt−2から形成された白金粉末(Pt−3)と、の組み合わせから形成されたペーストを用いて構築された。図20は係る構成の例を示す。文脈のために提供された以下のテーブルは様々なパッド構造の仕切りをまとめたものである。
Figure 0006063463
表中「構造」行は垂直方向順で白金ペーストの層を示し、「肉厚」行は頂部パッド(Pt−3層の上方)の肉厚を示し、「平度」行は二乗平均平方根平均平度値を示す。3:1の比のPt−1およびPt−2から形成された白金粉末(「Pt−4」)が用いられ、パッド構造は、文脈のために提供された以下の表にまとめるように、さらに洗練された。
Figure 0006063463
表中、行は表9の行と一致する。Pt−4層およびPt−3層の四重プリントから形成された構造はパッド縁部に沿って亀裂の徴候をまったく示さず、比較的平坦であった。少なくとも1つの実施形態において、パッドの頂部は、パッドの基層を有する3つの積み重ねられたPt−4の層と、5%のアルミナ添加物を有するPt−3からなるビア(中間カバーパッドを含む)と、により形成された。
文脈のために提供された例として、1時間、摂氏500度の真空予熱後に、摂氏150度、3.5気圧、30日間の染料浸透に対する高加速浸漬試験が様々な組み合わせのペーストから形成された試料フィードスルーに対して実施された。初期の測定値が、試験前は気密性を示したにもかかわらず、試験中は、アルミナ絶縁体において、全部が第1ペーストから形成されたパッド(例えば頂部パッド、主要パッド)、カバーパッド(例えば層間のパッド)、および導管(例えばビア)を用いて構築されたフィードスルーにおける気密性の損失(例えば染料浸透)の証拠、ならびにこれら全部が第1ペーストおよびより少量のアルミナ添加物(例えば約2.5%)から形成されたフィードスルーにおける気密性損失の証拠を見出したことは驚くべきであった。対比的に、気密性の損失は、第1ペーストおよびより多量のアルミナ添加物(例えば約5%および約7.5%)から形成されたパッド、カバーパッド、および導管を用いて構築されたフィードスルーにはまったく見出されなかった。また、気密性の損失は、第2ペーストのパッドおよびカバーパッドと、第1粉末および5%アルミナ添加物から形成されたペーストから形成されたカバーパッド同士の間の導管(例えばビア)とを、用いて構築されたフィードスルーにもまったく見出されなかった。SiO、MgO、およびCaOをさらに含むことは対比的に、アルミナのみを添加物として用いることにより、導管と絶縁体との間の初期の欠陥は減少すると考えられる。
いくつかの実施形態において、パッドは、伝導性導管の組成物および境界面に関わりなく、気密性および長期的な生体安定性を十分に保持し得る。他の実施形態において、パッドは導管に電気を伝導し得るが、体液の進入を防止するようには設計されないこともある。いくつかの係る実施形態において、伝導性導管は、フィードスルーに対して気密シールおよび長期的生体安定性を提供するよう、調合および構築され得る。改善された信頼性が、重複的に気密にシールされると同時に長期的に生体安定性であるパッドおよび伝導性導管により提供され得ることに注意されたい。
図21を再び参照すると、フィードスルー924を製造する方法1010の一部は、第1物質916のシート938または本体を提供すること1012を含む。いくつかの実施形態において、シート938は、第1物質916における穴936を通って延長する第2物質940の導管918を有する。第1物質916は電気絶縁体であり、第2物質940は伝導性である。方法1010は、パッド946(例えば相互接続部、頂部パッド)の第1層(例えば図20に示す第1層816および図18〜図19に示す基層718参照)をシート938上にプリントすること1018をさらに含む。第1層は導管918に重なり、導管918に電気的に連結される。いくつかの実施形態において、パッド946の第1層は第2物質940から形成される。
代表的な実施形態によれば、この方法はパッド946の第2層(例えば図20に示す第2層818参照)を第1層の頂部上にプリントすること1018をさらに含む。この方法は、シート938、導管918、およびパッド946の凝集によりパッド946および導管918がシート938に締結および気密にシールされるよう、シート938、導管918、およびパッド946を同時焼成することをさらに含む。パッド946に対して複数の層(全般に図20に示すパッド810C参照)をプリントすること1018により、パッド946が厚肉化される。これは、リード線またはワイヤをパッドに溶接することを支援する一方で、パッド946、導管918、およびシート938の間の気密シールを保持する。パッド946の複数の重なる層をプリントすること1018によりパッド946の寸法を制御することは、パッド946が、フィードスルー924の本体に対して気密シールを保持する一方で、溶接のために十分な肉厚を有し、十分な幅を有し、十分な平度を有するよう構成された生体適合性および生体安定性である物質(例えば白金)から形成され得るため、埋入可能な医療装置とともに用いるよう構成されたパッドの形成を可能にする。
本明細書で開示した教示は、全般的に、埋入可能な医療装置(例えば図1〜図2に示す装置110、210参照)に関するが、本開示は係る装置に限定されることを意図するものではない。例えば本開示で開示する教示のうちのいくつかは、同時焼成プロセスから形成されたフィードスルーを提供するための方法および構造体に関する。ミクロスケールでは、長期(例えば数年)にわたり生体安定性を保持する気密シールを可能にする特徴は、フィードスルーの絶縁体と伝導性導管との間の強力かつ信頼性の高い結合も提供する。係る改善された結合は、フィードスルーの構成要素に対して高い信頼性を要求する状況および/または長期にわたる気密性を要求する状況を経験する非医療、非埋入可能な装置(例えば大きな温度変化を経験し化学的に攻撃的な環境で動作するするコンピュータ、比較的大きい振動負荷を経験する電気装置(例えば航空機用電子機器)、堅牢に構築された高価値装置、その他の装置)に対しても有益となり得る。
埋入可能な医療装置の用途においては、非磁性を有し且つ磁場を利用する診断器具(例えば磁気共鳴映像法(MRI)システム)に対応する部品(例えばフィードスルー)を備える埋入可能な医療装置を用いることが望ましい場合もあり得る。いくつかの実施形態において、本明細書で開示する白金およびアルミナの物質、組成物、ペースト、その他(例えばビアペースト、絶縁体物質、パッド物質)は、非磁性であり、MRIおよびその他の磁気診断技術に対応する。
様々な代表的な実施形態で示すフィードスルーの構成および配列は単に例示である。本開示ではわずかな実施形態のみが詳細に説明されたが、本明細書で説明した発明主題の新規の教示および特長から実質的に逸脱することなく、多数の改変例(例えばサイズ、寸法、構造、形状、様々な構成要素の割合、パラメータの値、取付構成、物質の使用、色彩、配向性、その他における変動)が可能である。一体的に形成されたものとして示されるいくつかの構成要素は、複数の部品または構成要素から構築され得、構成要素の配置は逆転または別様に変動され得、個別の構成要素の性質および個数または位置は変化または変動され得る。任意のプロセス、論理的アルゴリズム、または方法ステップの順序または順位は、代替的な実施形態にしたがって変化されるかまたは再配列され得る。様々な代表的な実施形態の設計条件、動作条件、構成におけるその他の代替例、改変例、変更例、および省略も、本発明の範囲から逸脱することなく可能である。
本発明は、次の実施形態が可能である。
(1)埋入可能な医療装置のための気密フィードスルーであって、
第1物質を含む絶縁体と、
前記絶縁体に一体化された、導電性の第2物質を含む導管と、
前記絶縁体の外部表面に連結され且つパッドに連結されたリード線を受容するよう構成されたパッドであって、導電性を有し且つ前記導管に連結されたパッドと、
を含み、
前記パッドは第1層と、前記第1層の少なくとも1部分と重なる第2層と、を備える、
フィードスルー。
(2)前記絶縁体、前記導管、および前記パッドは、前記絶縁体、前記導管、および前記パッドの間に同時焼成結合を有し、前記同時焼成結合は前記導管を前記絶縁体に気密にシールし、前記気密シールは、前記リード線を前記パッドに取り付けた後にも浸漬耐久性が保持されるよう、生体安定性を有する、フィードスルー。
(3)前記導管は前記絶縁体を通って延長し、前記絶縁体を通って電気を伝導するよう構成された、フィードスルー。
(4)前記パッドは少なくとも50μmの肉厚を有する、フィードスルー。
(5)前記パッドは20ミル×20ミルを越える頂部表面積を有する、フィードスルー。
(6)前記パッドの前記頂部表面積の中央の50%は平坦度に対して約10μmより小さい二乗平均平方根値を有する、フィードスルー。
(7)前記パッドの前記第1層は、前記パッドの前記第2層が前記絶縁体の前記第1物質と直接的に接触することがないよう、前記パッドの前記第2層と前記絶縁体の前記第1物質とを隔てる、フィードスルー。
(8)前記パッドは第1パッドであり、前記導管に連結された第2パッドを前記第1パッドの反対側の前記絶縁体の側部上にさらに備え、前記第1パッドは前記第2パッドよりも大きい、フィードスルー。
(9)前記第1物質はアルミナを含む、フィードスルー。
(10)前記第2物質は白金およびアルミナ添加物を含む、フィードスルー。
(11)前記パッドの前記第2層は前記第1物質および前記第2物質とは異なる第3物質を含む、フィードスルー。
(12)前記第3物質は白金を含む、フィードスルー。
(13)前記パッドに連結されたリード線をさらに備え、前記リード線は、生体安定性且つ生体適合性である電気伝導体を含み、前記パッドの外部表面に取り付けられる、フィードスルー。
(14)前記リード線は、ニオビウム、白金、チタン、タンタル、ジルコニウム、パラジウム、金、耐熱金属、これらの物質のうちのいずれかの酸化物、および合金からなる群から選択される少なくとも1つの物質を含む、フィードスルー。
(15)第1物質を含む絶縁体と、
前記絶縁体を通って延長する導管であって、導電性である第2物質を含み且つ前記絶縁体を通って電気を伝導するよう構成された導管と、
前記絶縁体の外部上で前記絶縁体に取り付けられ、且つパッドに接続されたリード線を受容するよう構成されたパッドであって、導電性を有し、前記導管に連結されたパッドと、
を備え、
前記パッドは前記第2物質の第1層と、前記第1層により前記絶縁体の前記第1物質から隔てられた第2層と、を備え
前記絶縁体、前記導管、および前記パッドは、前記絶縁体、前記導管、および前記パッドの間に同時焼成結合を有し、前記同時焼成結合は前記パッドおよび前記導管を前記絶縁体に気密にシールし、前記気密シールは、前記リード線を前記パッドに取り付けた後にも浸漬耐久性が保持されるよう、生体安定性を有する、
フィードスルー。
(16)前記パッドの前記第2層は前記第3物質を含む、フィードスルー。
(17)前記第1物質はアルミナを含み、前記第2物質は白金およびアルミナ添加物を含む、フィードスルー。
(18)前記第3物質は白金を含む、フィードスルー。
(19)前記第2物質は主に白金およびアルミナからなり、前記第3物質は主に白金からなる、フィードスルー。
(20)フィードスルーの製造方法であって、
電気絶縁体である第1物質を含む絶縁体であって、絶縁体を通って延長する導電性である第2物質を含む導管を有する絶縁体を提供することと、
前記導管に重なる、パッドの第1層であって、前記導管に電気的に連結され、前記第2物質を含む第1層を前記絶縁体上にプリントすることと、
前記パッドの第2層を前記第1層上にプリントすることと、
前記絶縁体、前記導管、および前記パッドの間の結合が前記パッドおよび前記導管を前記絶縁体に締結および気密にシールするよう、前記絶縁体、前記導管、および前記パッドを同時焼成することと、
を含む方法。
(21)前記導管は、前記同時焼成の前には、ガラス、SiO、MgO、またはCaOを含まない、方法。
(22)前記導管は、前記同時焼成中、前記第1物質からガラス、SiO、MgO、およびCaOのうちの少なくとも1つの拡散を受ける、方法。
(23)前記パッドは少なくとも50μmの肉厚を有する、方法。
(24)レーザ溶接、パラレルギャップ溶接、ブレージング、超音波接合、サーモソニックボンディング、はんだ付け、および拡散接合のうちの少なくとも1つによりリード線を前記パッドに取り付けることをさらに含む、方法。
(25)前記第1物質はアルミナを含み、前記第2物質は白金およびアルミナ添加物を含み、前記パッドの前記第2層は白金を含む第3物質を含む、方法。
(26)第3層を前記パッドの前記第2層上にプリントすることと、第4層を前記第3層上にプリントすることと、をさらに含み、前記第3層および前記第4層は前記第3物質を含み、前記第4層は20ミル×20ミルより大きい頂部表面積を有する、方法。

Claims (13)

  1. 埋入可能な医療装置のための気密フィードスルーであって、
    第1物質と貫通口とを含む絶縁体であって、該第1物質がアルミナを含む絶縁体と、
    前記絶縁体に一体化される導管であって、導電性であり実質的に前記貫通口を充填する、白金とアルミナ添加物とを含む第2物質を含み、前記絶縁体を通って延長し、前記絶縁体を通って電気を伝導するよう構成される導管と、
    前記絶縁体の外部表面に連結され且つパッドに連結されるリード線を受容するよう構成されるパッドであって、導電性を有し且つ前記導管に連結され、アルミナを含むパッドと、を含み、
    前記パッドは、第1層と、前記第1層の少なくとも一部分と重なる第2層と、を備え、前記パッドは、少なくとも50μmの肉厚を有し、
    前記第1層は、3〜10μmのメジアン粒径を有する第1白金粉末と、5〜20μmのメジアン粒径を有する第2白金粉末と、アルミナとから形成され、
    前記第2層は、前記第2白金粉末から形成され、
    前記絶縁体および前記導管は、前記絶縁体に含まれるアルミナ粒子と前記導管に含まれるアルミナ粒子との第1結合を有し、該第1結合は、前記絶縁体を前記導管に気密にシールし、
    前記パッドの前記第1層および前記絶縁体は、前記パッドの前記第1層に含まれるアルミナ粒子と前記絶縁体に含まれるアルミナ粒子との第2結合を有し、該第2結合は、前記パッドの前記第1層を前記絶縁体に気密にシールし、
    前記パッドの前記第1層および前記導管は、それらの間に第3結合を有し、該第3結合は、前記パッドの前記第1層を前記導管に気密にシールする、フィードスルー。
  2. 前記パッドは、概ね200μmより小さい肉厚を有する、請求項1に記載のフィードスルー。
  3. 前記パッドは、20ミル×20ミルを越える頂部表面積を有する、請求項1または2に記載のフィードスルー。
  4. 前記パッドの前記頂部表面積の中央の50%は、平面度について10μmより小さい二乗平均平方根値を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のフィードスルー。
  5. 前記パッドの前記第1層は、前記パッドの前記第2層が前記絶縁体の前記第1物質と直接的に接触することがないよう、前記パッドの前記第2層と前記絶縁体の前記第1物質とを隔てる、請求項1〜4のいずれか1項に記載のフィードスルー。
  6. 前記パッドの前記第2層は前記第1物質および前記第2物質とは異なる第3物質を含み、第3物質は、白金を含む、請求項1〜のいずれか1項に記載のフィードスルー。
  7. 前記第2物質は、主に白金およびアルミナからなり、前記第3物質は、主に白金からなる、請求項に記載のフィードスルー。
  8. 前記貫通口内の前記第2物質は焼成物質である、請求項1〜のいずれか1項に記載のフィードスルー。
  9. 請求項1〜のいずれか1項に記載のフィードスルーと、
    収容構造体と、を含み、
    前記フィードスルーは、前記収容構造体に連結され、前記リード線が前記パッドに連結され得、前記収容構造体の外部に配列され得る、埋込可能な医療装置。
  10. 前記パッドに連結したリード線をさらに含み、前記リード線は、生体安定性且つ生体適合性である電気伝導体を含み、前記パッドの外部表面に取り付けられる、請求項に記載の埋込可能な医療装置。
  11. 請求項1〜のいずれか1項に記載のフィードスルーの製造方法であって、
    前記第1物質を含み、前記貫通口を有する前記絶縁体を提供することと、
    前記絶縁体を通って延長する前記第2物質で前記貫通口を実質的に充填することであって、前記第1物質は、電気絶縁体であることと、
    前記導管に重なり、前記導管に電気的に連結され、前記第2物質を含む、前記パッドの前記第1層を前記絶縁体上にプリントすることと、
    未焼成状態である、前記パッドの前記第2層を前記第1層上にプリントすることと、
    前記絶縁体、前記導管、および前記パッドの間の結合が前記パッドおよび前記導管を前記絶縁体に締結および気密にシールするよう、前記絶縁体、前記導管、および前記パッドを同時焼成することであって、前記絶縁体、前記導管、および前記パッドは、それぞれ、同時焼成前は、未焼成であることと、
    を含む方法。
  12. 前記導管は、前記同時焼成中、前記第1物質から、SiO、MgOまたはCaOのうちの少なくとも1つの拡散を受ける、請求項11に記載の方法。
  13. レーザ溶接、パラレルギャップ溶接、ブレージング、超音波接合、サーモソニックボンディング、はんだ付け、および拡散接合のうちの少なくとも1つにより、前記同時焼成後、リード線を前記パッドに取り付けることをさらに含む、請求項11または12に記載の方法。
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