JP6056927B2 - Discharge unit - Google Patents

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Description

本発明は、放電ユニットに関する。   The present invention relates to a discharge unit.

従来より、放電電極と対向電極との間で放電を行う放電ユニットが知られている。例えば特許文献1に開示の放電ユニットは、空気調和装置に搭載されている。放電ユニットは、放電針を有する放電電極と、放電針の先端に対向する対向電極と、両者の電極に電位差を付与する電圧供給部とを備えている。放電電極、対向電極、及び電圧供給部は、1つのケーシングに収容されている。電圧供給部から放電電極に電圧が供給されると、放電針の先端から対向電極に向かってストリーマ放電が生起する。この放電に伴い空気中で活性種(電子、イオン、ラジカル、オゾン等)が発生する。この活性種により、空気中の有害成分や臭気成分が分解される。     Conventionally, a discharge unit that discharges between a discharge electrode and a counter electrode is known. For example, the discharge unit disclosed in Patent Document 1 is mounted on an air conditioner. The discharge unit includes a discharge electrode having a discharge needle, a counter electrode facing the tip of the discharge needle, and a voltage supply unit that applies a potential difference to both electrodes. The discharge electrode, the counter electrode, and the voltage supply unit are accommodated in one casing. When voltage is supplied from the voltage supply unit to the discharge electrode, streamer discharge occurs from the tip of the discharge needle toward the counter electrode. Along with this discharge, active species (electrons, ions, radicals, ozone, etc.) are generated in the air. By this active species, harmful components and odor components in the air are decomposed.

特開2014−119186号公報JP 2014-119186 A

ところで、放電ユニットにおいて放電を生起させるには、放電電極と対向電極に比較的高い電圧(例えば、5kV以上の電圧)を印加する必要がある。一方、放電電極と対向電極の間の電気的な絶縁を確保するためには、放電電極と対向電極の間の沿面距離を確保する必要がある。そして、放電電極と対向電極に印加される電圧が高くなるほど、放電電極と対向電極の間の電気的な絶縁を確保するのに必要な沿面距離が長くなる。このため、ケーシングの内部に放電電極と対向電極が収容される放電ユニットでは、放電電極と対向電極の間の沿面距離を確保するための工夫が必要であった。   By the way, in order to cause discharge in the discharge unit, it is necessary to apply a relatively high voltage (for example, a voltage of 5 kV or more) to the discharge electrode and the counter electrode. On the other hand, in order to ensure electrical insulation between the discharge electrode and the counter electrode, it is necessary to ensure a creepage distance between the discharge electrode and the counter electrode. And the creepage distance required in order to ensure the electrical insulation between a discharge electrode and a counter electrode becomes long, so that the voltage applied to a discharge electrode and a counter electrode becomes high. For this reason, in the discharge unit in which the discharge electrode and the counter electrode are accommodated in the casing, a device for ensuring the creepage distance between the discharge electrode and the counter electrode is required.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ケーシングの内部に放電電極と対向電極が収容された放電ユニットにおいて、放電電極と対向電極の間の沿面距離を確保し、放電電極と対向電極の間の電気的な絶縁を確保することにある。   The present invention has been made in view of such a point, and its purpose is to secure a creepage distance between the discharge electrode and the counter electrode in the discharge unit in which the discharge electrode and the counter electrode are accommodated inside the casing. The purpose is to ensure electrical insulation between the discharge electrode and the counter electrode.

第1〜第3発明は、ケーシング(21)と、上記ケーシング(21)に収容される放電電極(70)及び対向電極(60)と、上記ケーシング(21)に収容されて上記放電電極(70)と上記対向電極(60)の間に電位差を付与する電圧供給部(30)とを備えた放電ユニットを対象とする。そして、上記放電電極(70)は、上記対向電極(60)と対向する放電電極本体(70a)と、該放電電極本体(70a)を上記電圧供給部(30)の給電端子部(35)に接続する放電側接続部(75)とが一体となった平板状に形成され、上記対向電極(60)は、上記放電電極本体(70a)と対向する対向電極本体(60a)と、該対向電極本体(60a)を上記電圧供給部(30)のアース端子部(34)に接続する対向側接続部(68)とが一体となった平板状に形成される一方、上記給電端子部(35)と上記アース端子部(34)は、上記放電電極本体(70a)及び上記対向電極本体(60a)に対して同じ側に配置され、上記放電側接続部(75)と上記対向側接続部(68)は、上記放電電極本体(70a)と上記対向電極本体(60a)の対向方向と交わる方向に互いに離れて配置されるものである。 Each of the first to third inventions includes a casing (21), a discharge electrode (70) and a counter electrode (60) accommodated in the casing (21), and the discharge electrode accommodated in the casing (21). A discharge unit including a voltage supply unit (30) for applying a potential difference between (70) and the counter electrode (60) is a target. The discharge electrode (70) includes a discharge electrode body (70a) facing the counter electrode (60), and the discharge electrode body (70a) as a power supply terminal section (35) of the voltage supply section (30). A discharge-side connection part (75) to be connected is formed in a flat plate shape, and the counter electrode (60) includes a counter electrode body (60a) facing the discharge electrode body (70a) and the counter electrode. While the main body (60a) is formed in a flat plate shape integrated with the opposing connection portion (68) for connecting the ground terminal portion (34) of the voltage supply portion (30), the power supply terminal portion (35) And the ground terminal part (34) are arranged on the same side with respect to the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a), and the discharge side connection part (75) and the counter side connection part (68). ) Are arranged away from each other in the direction intersecting the opposing direction of the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a). It is.

第1〜第3発明では、ケーシング(21)内において、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)が向かい合うように配置される。放電電極本体(70a)は、放電側接続部(75)を介して電圧供給部(30)の給電端子部(35)に接続される。対向電極本体(60a)は、対向側接続部(68)を介して電圧供給部(30)のアース端子部(34)に接続される。電圧供給部(30)が放電電極(70)と対向電極(60)の間に電位差を付与すると、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の間において放電が生起する。その際には、給電端子部(35)と放電電極(70)が同電位となり、アース端子部(34)と対向電極(60)が同電位(基準電位)となる。 In each of the first to third inventions, the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a) are arranged to face each other in the casing (21). The discharge electrode body (70a) is connected to the power supply terminal part (35) of the voltage supply part (30) via the discharge side connection part (75). The counter electrode body (60a) is connected to the ground terminal part (34) of the voltage supply part (30) via the counter-side connection part (68). When the voltage supply unit (30) applies a potential difference between the discharge electrode (70) and the counter electrode (60), a discharge occurs between the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a). At that time, the power supply terminal portion (35) and the discharge electrode (70) have the same potential, and the ground terminal portion (34) and the counter electrode (60) have the same potential (reference potential).

第1〜第3発明において、給電端子部(35)及びアース端子部(34)は、互いに向かい合う放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)に対して同じ側に配置される。このため、放電電極本体(70a)を給電端子部(35)に接続するための放電側接続部(75)と、対向電極本体(60a)をアース端子部(34)に接続するための対向側接続部(68)とは、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)に対して同じ側に配置される。 In each of the first to third inventions, the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are disposed on the same side with respect to the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a) facing each other. For this reason, the discharge side connection part (75) for connecting the discharge electrode body (70a) to the power supply terminal part (35) and the opposite side for connecting the counter electrode body (60a) to the ground terminal part (34) The connecting portion (68) is disposed on the same side with respect to the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a).

第1〜第3発明において、放電電極(70)は、放電電極本体(70a)と放電側接続部(75)とが一体となった平板状に形成され、対向電極(60)は、対向電極本体(60a)と対向側接続部(68)とが一体となった平板状に形成される。ケーシング(21)内では、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)が向かい合うように配置される。このため、放電電極本体(70a)と一体の放電側接続部(75)と、対向電極本体(60a)と一体の対向側接続部(68)とは、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向に離れている。また、放電側接続部(75)と対向側接続部(68)とは、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向と交わる方向に互いに離れている。従って、放電側接続部(75)と対向側接続部(68)とは、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向と、その対向方向と交わる方向の両方において互いに離れている。 In each of the first to third inventions, the discharge electrode (70) is formed in a flat plate shape in which the discharge electrode main body (70a) and the discharge side connection portion (75) are integrated, and the counter electrode (60) The counter electrode main body (60a) and the counter-side connecting portion (68) are formed in a flat plate shape. In the casing (21), the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a) are arranged so as to face each other. Therefore, the discharge-side connection part (75) integral with the discharge electrode main body (70a) and the counter-side connection part (68) integral with the counter electrode main body (60a) are the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body. (60a) in the opposite direction. Moreover, the discharge side connection part (75) and the opposing side connection part (68) are mutually separated in the direction which crosses the opposing direction of a discharge electrode main body (70a) and a counter electrode main body (60a). Therefore, the discharge side connection part (75) and the opposite side connection part (68) are separated from each other in both the opposing direction of the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a) and the direction crossing the opposing direction. Yes.

第1の発明は、上記の構成に加えて、上記放電電極本体(70a)は、矩形状に形成された電極支持部(71)と、該電極支持部(71)の周縁から外方へ突出して上記対向電極本体(60a)との間で放電を生起させる放電針(73)とを備え、上記放電側接続部(75)は、上記放電電極本体(70a)に対して上記放電針(73)の突出方向へオフセットして配置されるオフセット板部(77)を備え、上記オフセット板部(77)の少なくとも一部は、上記放電針(73)の先端よりも外方に配置されるものである。 In the first invention, in addition to the above configuration, the discharge electrode main body (70a) protrudes outward from the electrode support portion (71) formed in a rectangular shape and the periphery of the electrode support portion (71). And a discharge needle (73) for generating discharge between the counter electrode body (60a) and the discharge-side connecting portion (75) with respect to the discharge electrode body (70a). ) Offset plate portion (77) arranged offset in the protruding direction, and at least a part of the offset plate portion (77) is arranged outside the tip of the discharge needle (73). It is.

第1の発明の放電電極本体(70a)では、矩形状に形成された電極支持部(71)の周縁から外方へ向かって放電針(73)が突出する。電圧供給部(30)が放電電極(70)と対向電極(60)の間に電位差を付与すると、放電針(73)の先端と対向電極本体(60a)との間で放電が生起する。放電側接続部(75)のオフセット板部(77)は、その少なくとも一部が放電針(73)の先端よりも、電極支持部(71)に対する放電針(73)の突出方向における外方に配置される。 In the discharge electrode body (70a) of the first invention, the discharge needle (73) protrudes outward from the peripheral edge of the rectangular electrode support portion (71). When the voltage supply unit (30) applies a potential difference between the discharge electrode (70) and the counter electrode (60), discharge occurs between the tip of the discharge needle (73) and the counter electrode body (60a). At least a part of the offset plate part (77) of the discharge side connection part (75) is more outward than the tip of the discharge needle (73) in the protruding direction of the discharge needle (73) with respect to the electrode support part (71). Be placed.

第2の発明は、上記の構成に加えて、上記ケーシング(21)には、該ケーシング(21)の内部空間を上記放電電極本体(70a)及び上記対向電極本体(60a)が配置される処理室(27)と上記電圧供給部(30)が配置される収容室(26)に仕切る仕切部(24)と、上記処理室(27)を上記ケーシング(21)の外部と連通させる通気口(28,29)とが形成され、上記放電側接続部(75)及び上記対向側接続部(68)は、上記仕切部(24)を貫通するように設けられるものである。 According to a second aspect of the invention, in addition to the above-described configuration, the casing (21) includes a process in which the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a) are disposed in the internal space of the casing (21). A partition part (24) for partitioning the chamber (27) and a storage chamber (26) in which the voltage supply part (30) is disposed, and a ventilation port for communicating the processing chamber (27) with the outside of the casing (21) ( 28, 29), and the discharge-side connection portion (75) and the opposing-side connection portion (68) are provided so as to penetrate the partition portion (24).

第2の発明において、ケーシング(21)の内部空間は、仕切部(24)によって処理室(27)と収容室(26)に区画される。処理室(27)に配置された放電電極本体(70a)を収容室(26)に配置された電圧供給部(30)の給電端子部(35)に接続する放電側接続部(75)は、仕切部(24)を貫通している。また、処理室(27)に配置された対向電極本体(60a)を収容室(26)に配置された電圧供給部(30)のアース端子部(34)に接続する対向側接続部(68)は、仕切部(24)を貫通している。 In the second invention, the internal space of the casing (21) is partitioned into a processing chamber (27) and a storage chamber (26) by the partition portion (24). The discharge-side connection part (75) for connecting the discharge electrode main body (70a) arranged in the processing chamber (27) to the power supply terminal part (35) of the voltage supply part (30) arranged in the storage chamber (26), It penetrates the partition (24). Further, the counter-side connection part (68) for connecting the counter electrode body (60a) arranged in the processing chamber (27) to the ground terminal part (34) of the voltage supply part (30) arranged in the storage chamber (26). Penetrates the partition (24).

第3の発明は、上記の構成に加えて、上記ケーシング(21)は、細長い直方体状に形成され、上記放電電極(70)と上記対向電極(60)は、上記ケーシング(21)の長手方向と直交する該ケーシング(21)の厚さ方向に所定の間隔をおいて配置され、上記給電端子部(35)と上記アース端子部(34)は、上記ケーシング(21)の厚さ方向及び長手方向と直交する該ケーシング(21)の幅方向に互いに離れて配置され、上記放電側接続部(75)と上記対向側接続部(68)は、上記ケーシング(21)の厚さ方向と幅方向の両方に互いに離れて配置されるものである。 According to a third aspect of the invention, in addition to the above configuration, the casing (21) is formed in an elongated rectangular parallelepiped shape, and the discharge electrode (70) and the counter electrode (60) are arranged in the longitudinal direction of the casing (21). The feeding terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are arranged at a predetermined interval in the thickness direction of the casing (21) orthogonal to the casing (21). The discharge-side connecting portion (75) and the opposing-side connecting portion (68) are arranged apart from each other in the width direction of the casing (21) orthogonal to the direction, and the thickness direction and width direction of the casing (21) Both are arranged apart from each other.

第3の発明では、細長い直方体状のケーシング(21)に、放電電極(70)及び対向電極(60)と電圧供給部(30)とが収容される。給電端子部(35)とアース端子部(34)は、ケーシング(21)の厚さ方向と幅方向の両方において互いに離れている。また、放電側接続部(75)と対向側接続部(68)は、ケーシング(21)の厚さ方向と幅方向の両方において互いに離れている。つまり、給電端子部(35)及び放電側接続部(75)とアース端子部(34)及び対向側接続部(68)とは、ケーシング(21)の長手方向に直交する断面において互いに最も離れるように配置される。 In the third invention, the discharge electrode (70), the counter electrode (60), and the voltage supply section (30) are accommodated in the elongated rectangular parallelepiped casing (21). The power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are separated from each other in both the thickness direction and the width direction of the casing (21). Moreover, the discharge side connection part (75) and the opposing side connection part (68) are separated from each other in both the thickness direction and the width direction of the casing (21). That is, the power supply terminal portion (35) and the discharge side connection portion (75), and the ground terminal portion (34) and the opposite side connection portion (68) are separated from each other in the cross section orthogonal to the longitudinal direction of the casing (21). Placed in.

第4の発明は、上記第3の発明において、上記ケーシング(21)は、該ケーシング(21)の厚さ方向において本体ケース部(22)と蓋部(23)に分割され、上記放電電極(70)、上記対向電極(60)、及び上記電圧供給部(30)は、上記本体ケース部(22)に固定されるものである。 In a fourth aspect based on the third aspect , the casing (21) is divided into a body case portion (22) and a lid portion (23) in the thickness direction of the casing (21), and the discharge electrode ( 70), the counter electrode (60), and the voltage supply part (30) are fixed to the body case part (22).

第4の発明では、放電電極(70)と対向電極(60)と電圧供給部(30)とが固定された本体ケース部(22)に、蓋部(23)が取り付けられる。 In 4th invention, a cover part (23) is attached to the main body case part (22) to which the discharge electrode (70), the counter electrode (60), and the voltage supply part (30) were fixed.

本発明では、放電側接続部(75)と対向側接続部(68)とが、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向と、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向と交わる方向の両方において互いに離れている。このため、比較的狭いケーシング(21)の内部空間において、放電側接続部(75)と対向側接続部(68)とを、可能な限り離して配置することが可能となる。従って、本発明によれば、放電側接続部(75)を有する放電電極(70)と対向側接続部(68)を有する対向電極(60)の間の沿面距離を確保することができ、放電電極(70)と対向電極(60)の間の電気的な絶縁を確保することが可能となる。   In the present invention, the discharge-side connecting portion (75) and the counter-side connecting portion (68) include the opposing direction of the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a), and the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body. (60a) are separated from each other in both the opposing direction and the crossing direction. For this reason, it becomes possible to arrange | position the discharge side connection part (75) and the opposing side connection part (68) as far apart as possible in the comparatively narrow internal space of the casing (21). Therefore, according to the present invention, it is possible to secure a creepage distance between the discharge electrode (70) having the discharge side connection portion (75) and the counter electrode (60) having the opposite side connection portion (68). It is possible to ensure electrical insulation between the electrode (70) and the counter electrode (60).

上記第1の発明の放電電極(70)では、放電側接続部(75)のオフセット板部(77)の少なくとも一部が、放電電極本体(70a)の放電針(73)の先端よりも外方に配置される。このため、例えば放電ユニット(20)の組立中に放電電極(70)をケーシング(21)等にぶつけた場合には、放電針(73)の先端よりも先にオフセット板部(77)がケーシング(21)等に当たる可能性が高くなり、放電針(73)が変形する可能性を低減することができる。 In the discharge electrode (70) according to the first aspect of the present invention, at least a part of the offset plate (77) of the discharge-side connecting portion (75) is outside the tip of the discharge needle (73) of the discharge electrode body (70a). Placed in the direction. For this reason, for example, when the discharge electrode (70) hits the casing (21) or the like during the assembly of the discharge unit (20), the offset plate (77) is placed in the casing before the tip of the discharge needle (73). The possibility of hitting (21) or the like is increased, and the possibility that the discharge needle (73) is deformed can be reduced.

上記第2の発明では、放電電極(70)の放電側接続部(75)と、対向電極(60)の対向側接続部(68)との両方が、仕切部(24)を貫通する。一方、放電側接続部(75)と対向側接続部(68)とは、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向と、その対向方向と交わる方向の両方において互いに離れている。このため、放電側接続部(75)と対向側接続部(68)の両方が仕切部(24)を貫通して仕切部(24)と接触するこの発明の構造において、放電側接続部(75)と対向側接続部(68)の間の沿面距離を確保しやすくなる。 In the said 2nd invention, both the discharge side connection part (75) of a discharge electrode (70) and the opposing side connection part (68) of a counter electrode (60) penetrate a partition part (24). On the other hand, the discharge side connection part (75) and the counter side connection part (68) are separated from each other in both the opposing direction of the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a) and the direction intersecting with the opposing direction. Yes. For this reason, in the structure of the present invention in which both the discharge side connection portion (75) and the opposite side connection portion (68) pass through the partition portion (24) and contact the partition portion (24), the discharge side connection portion (75 ) And the facing side connection part (68).

図1は、実施形態に係る空気調和装置の概略の構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an air conditioner according to an embodiment. 図2は、放電ユニットのケーシングを前側から視た斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the casing of the discharge unit as viewed from the front side. 図3は、放電ユニットのケーシングを後側から視た斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the casing of the discharge unit as viewed from the rear side. 図4は、放電ユニットの内部構造を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the internal structure of the discharge unit. 図5は、図4のV-V線断面を示す拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a cross section taken along the line VV of FIG. 図6は、放電処理部、及びその周辺機器の組み立て図である。FIG. 6 is an assembly diagram of the discharge processing unit and its peripheral devices. 図7は、放電処理部、及びその周辺機器の平面図であり、放電処理部から放電電極及びスタビライザを取り外した状態を示すものである。FIG. 7 is a plan view of the discharge processing unit and its peripheral devices, and shows a state in which the discharge electrode and the stabilizer are removed from the discharge processing unit. 図8は、放電処理部、及びその周辺機器の平面図であり、放電処理部からスタビライザを取り外した状態を示すものである。FIG. 8 is a plan view of the discharge processing unit and its peripheral devices, and shows a state in which the stabilizer is removed from the discharge processing unit. 図9は、放電処理部、及びその周辺機器の平面図である。FIG. 9 is a plan view of the discharge processing unit and its peripheral devices. 図10は、図9のIX-IX線断面図である。10 is a cross-sectional view taken along line IX-IX in FIG. 図11は、スタビライザの斜視図である。FIG. 11 is a perspective view of a stabilizer. 図12は、図9のXI矢視図である。FIG. 12 is a view on arrow XI in FIG. 図13は、その他の実施形態の図8に相当する平面図である。FIG. 13 is a plan view corresponding to FIG. 8 of another embodiment. 図14は、その他の実施形態の図8に相当する平面図である。FIG. 14 is a plan view corresponding to FIG. 8 of another embodiment.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。     Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments are essentially preferable examples, and are not intended to limit the scope of the present invention, its application, or its use.

本発明に係る放電ユニット(20)は、空気調和装置(10)に搭載されている。空気調和装置(10)は、室内空間(S)の空気の温度を調節する。     The discharge unit (20) according to the present invention is mounted on the air conditioner (10). The air conditioner (10) adjusts the temperature of the air in the indoor space (S).

〈空気調和装置の構成〉
図1に示すように、空気調和装置(10)は、天井(C)の裏面に設置されている。空気調和装置(10)は、横長の箱形の空調用ケーシング(11)を備えている。空調用ケーシング(11)の長手方向の一方の側面には、内気ダクト(12)が接続されている。空調用ケーシング(11)の長手方向の他方の側面には、給気ダクト(13)が接続されている。空調用ケーシング(11)の内部には、空気通路(11a)が形成されている。内気ダクト(12)は、流入端が室内空間(S)に連通し、流出端が空気通路(11a)に連通している。給気ダクト(13)は、流入端が空気通路(11a)に連通し、流出端が室内空間(S)に連通している。
<Configuration of air conditioner>
As shown in FIG. 1, the air conditioner (10) is installed on the back surface of the ceiling (C). The air conditioner (10) includes a horizontally long box-shaped air conditioning casing (11). An inside air duct (12) is connected to one side surface in the longitudinal direction of the air conditioning casing (11). An air supply duct (13) is connected to the other side surface in the longitudinal direction of the air conditioning casing (11). An air passage (11a) is formed in the air conditioning casing (11). The inside air duct (12) has an inflow end communicating with the indoor space (S) and an outflow end communicating with the air passage (11a). The air supply duct (13) has an inflow end communicating with the air passage (11a) and an outflow end communicating with the indoor space (S).

空気通路(11a)には、空気流れの上流側(内気ダクト(12)側)から下流側(給気ダクト(13)側)に向かって順に、プレフィルタ(14)、放電ユニット(20)、触媒フィルタ(15)、熱交換器(16)、及びファン(17)が配置されている。プレフィルタ(14)は、空気中の比較的大きな塵埃を捕集する。放電ユニット(20)は、放電に伴い活性種を生成し、この活性種で空気中の有害成分や臭気成分を分解する。     In the air passage (11a), the prefilter (14), the discharge unit (20), in order from the upstream side (inside air duct (12) side) to the downstream side (air supply duct (13) side) of the air flow, A catalyst filter (15), a heat exchanger (16), and a fan (17) are arranged. The prefilter (14) collects relatively large dust in the air. The discharge unit (20) generates active species along with the discharge, and decomposes harmful components and odor components in the air with the active species.

触媒フィルタ(15)は、例えばハニカム構造の基材の表面に触媒を担持させたものである。この触媒には、マンガン系の触媒や貴金属系の触媒が用いられる。触媒フィルタ(15)は、放電によって生成する活性種を更に活性化し、空気中の有害成分や臭気成分の分解を促進する。触媒フィルタ(15)には、空気中の有害成分や臭気成分を吸着する吸着剤(例えば活性炭)が担持されている。     The catalyst filter (15) is, for example, a catalyst supported on the surface of a substrate having a honeycomb structure. As this catalyst, a manganese-based catalyst or a noble metal-based catalyst is used. The catalytic filter (15) further activates active species generated by discharge, and promotes decomposition of harmful components and odor components in the air. The catalyst filter (15) carries an adsorbent (for example, activated carbon) that adsorbs harmful components and odor components in the air.

熱交換器(16)は、空気通路(11a)を流れる空気の加熱と冷却とを行う。具体的に、熱交換器(16)は、図示を省略した冷媒回路に接続されている。冷媒回路では、充填された冷媒が循環して冷凍サイクルが行われる。熱交換器(16)は、その内部を流れる低圧冷媒によって空気を冷却する蒸発器として機能する。また、熱交換器は、その内部を流れる高圧冷媒によって空気を加熱する凝縮器として機能する。ファン(17)は、空気通路(11a)の空気を搬送する。     The heat exchanger (16) heats and cools the air flowing through the air passage (11a). Specifically, the heat exchanger (16) is connected to a refrigerant circuit (not shown). In the refrigerant circuit, the filled refrigerant circulates to perform a refrigeration cycle. A heat exchanger (16) functions as an evaporator which cools air with the low-pressure refrigerant | coolant which flows through the inside. Further, the heat exchanger functions as a condenser that heats air with a high-pressure refrigerant flowing through the heat exchanger. The fan (17) conveys the air in the air passage (11a).

〈放電ユニットの構成〉
放電ユニット(20)は、ストリーマ放電式に構成されている。つまり、放電ユニット(20)は、ストリーマ放電を行うことで低温プラズマを生成し、これに伴い空気中で反応性の高い活性種(高速電子、イオン、ラジカル、オゾン等)を生成する。放電ユニット(20)は、ケーシング(21)と、該ケーシング(21)に収容される電圧供給部(30)と、該ケーシング(21)に収容される放電処理部(40)とを備えている。
<Discharge unit configuration>
The discharge unit (20) is configured as a streamer discharge type. That is, the discharge unit (20) generates a low-temperature plasma by performing a streamer discharge, and generates active species (fast electrons, ions, radicals, ozone, etc.) that are highly reactive in the air. The discharge unit (20) includes a casing (21), a voltage supply unit (30) accommodated in the casing (21), and a discharge processing unit (40) accommodated in the casing (21). .

〔ケーシング〕
図2及び図3に示すように、ケーシング(21)は、横長の箱形の略直方体形状に形成されている。なお、図2及び図3において、左右方向はケーシング(21)の長手方向であり、上下方向はケーシング(21)の厚さ方向であり、前後方向はケーシング(21)の幅方向である。ケーシング(21)の長手方向、厚さ方向、及び幅方向は、互いに直交する。また、以下の説明における「右」「左」「前」「後」「上」「下」は、特にことわらない限り、放電ユニット(20)を前側から見た場合の方向を意味する。
〔casing〕
As shown in FIG.2 and FIG.3, the casing (21) is formed in the horizontally long box-shaped substantially rectangular parallelepiped shape. 2 and 3, the horizontal direction is the longitudinal direction of the casing (21), the vertical direction is the thickness direction of the casing (21), and the front-back direction is the width direction of the casing (21). The longitudinal direction, thickness direction, and width direction of the casing (21) are orthogonal to each other. In the following description, “right”, “left”, “front”, “rear”, “upper”, and “lower” refer to directions when the discharge unit (20) is viewed from the front side unless otherwise specified.

ケーシング(21)は、絶縁性の樹脂材料で構成される。ケーシング(21)は、本体ケース部である下側ケース部(22)と、蓋部である上側ケース部(23)とで構成されている。上側ケース部(23)は、下側ケース部(22)の上部に取り付けられる。ケーシング(21)の内部には、該ケーシング(21)の長手方向(左右方向)の中間部に仕切部(24)が設けられる。仕切部(24)は、ケーシング(21)の内部を左右の2つの空間に仕切っている。これらの空間のうち右側の空間が、収容室(26)を構成し、左側の空間が処理室(27)(通風路)を構成する。   The casing (21) is made of an insulating resin material. The casing (21) includes a lower case portion (22) that is a main body case portion and an upper case portion (23) that is a lid portion. The upper case part (23) is attached to the upper part of the lower case part (22). Inside the casing (21), a partition portion (24) is provided at an intermediate portion in the longitudinal direction (left-right direction) of the casing (21). The partition part (24) partitions the inside of the casing (21) into two left and right spaces. Of these spaces, the right space constitutes the storage chamber (26), and the left space constitutes the processing chamber (27) (ventilation path).

仕切部(24)は、上部仕切壁(23a)と下部仕切壁(51)とによって構成されている。上部仕切壁(23a)は、上側ケース部(23)の内部に一体に形成されている。下部仕切壁(51)は、詳細は後述する絶縁部材(41)に一体に形成されている。仕切部(24)では、上部仕切壁(23a)の下面と下部仕切壁(51)の上面とが互いに接するように両者の仕切壁が上下に隣接して配置される。     The partition part (24) is constituted by an upper partition wall (23a) and a lower partition wall (51). The upper partition wall (23a) is integrally formed inside the upper case portion (23). The lower partition wall (51) is integrally formed with an insulating member (41) described later in detail. In the partition part (24), the partition walls are arranged adjacent to each other so that the lower surface of the upper partition wall (23a) and the upper surface of the lower partition wall (51) are in contact with each other.

図2に示すように、ケーシング(21)の前面には、第1通気口(28)が形成される。第1通気口(28)は、処理室(27)と連通するようにケーシング(21)の左側寄りの部位に配置される。第1通気口(28)の奥側には、第1遮蔽板(28a)が設けられている。第1遮蔽板(28a)は、第1通気口(28)の開口面よりも全体的に大きな矩形板状に形成される。第1遮蔽板(28a)は、放電処理部(40)(具体的には、放電電極(70)の放電針(73,74)等)がケーシング(21)の外部へ露出するのを防止する遮蔽部材を構成している。第1通気口(28)の開口縁部と第1遮蔽板(28a)の間には隙間(空気流入路)が形成される。第1通気口(28)に流入した空気は、この隙間を通じて処理室(27)の内部へ流れていく。     As shown in FIG. 2, a first vent (28) is formed in the front surface of the casing (21). The first vent (28) is disposed at a portion on the left side of the casing (21) so as to communicate with the processing chamber (27). A first shielding plate (28a) is provided on the back side of the first vent (28). The first shielding plate (28a) is formed in a rectangular plate shape that is generally larger than the opening surface of the first ventilation port (28). The first shielding plate (28a) prevents the discharge processing section (40) (specifically, the discharge needles (73, 74) of the discharge electrode (70), etc.) from being exposed to the outside of the casing (21). A shielding member is configured. A gap (air inflow path) is formed between the opening edge of the first vent (28) and the first shielding plate (28a). The air flowing into the first vent (28) flows into the processing chamber (27) through this gap.

図3に示すように、ケーシング(21)の後面には、第2通気口(29)が形成される。第2通気口(29)は、処理室(27)と連通するようにケーシング(21)の左側寄りの部位に配置される。第2通気口(29)の奥側には、第2遮蔽板(29a)が設けられている。第2遮蔽板(29a)は、第2通気口(29)の開口面よりも全体的に大きな矩形板状に形成される。第2遮蔽板(29a)は、放電処理部(40)(具体的には、放電電極(70)の放電針(73,74)等)がケーシング(21)の外部へ露出するのを防止する遮蔽部材を構成している。第2通気口(29)の開口縁部と第2遮蔽板(29a)の間には隙間(空気流出路)が形成される。処理室(27)の内部の空気は、この隙間を通じてケーシング(21)の外部へ流れていく。     As shown in FIG. 3, a second vent (29) is formed on the rear surface of the casing (21). The second vent hole (29) is disposed at a portion on the left side of the casing (21) so as to communicate with the processing chamber (27). A second shielding plate (29a) is provided on the back side of the second vent (29). The second shielding plate (29a) is formed in a rectangular plate shape that is generally larger than the opening surface of the second ventilation port (29). The second shielding plate (29a) prevents the discharge processing part (40) (specifically, the discharge needles (73, 74) of the discharge electrode (70), etc.) from being exposed to the outside of the casing (21). A shielding member is configured. A gap (air outflow path) is formed between the opening edge of the second vent (29) and the second shielding plate (29a). Air inside the processing chamber (27) flows to the outside of the casing (21) through this gap.

第1遮蔽板(28a)及び第2遮蔽板(29a)は、ケーシング(21)と一体に形成されている。第1遮蔽板(28a)及び第2遮蔽板(29a)は、ケーシング(21)よりも難燃性の高い樹脂材料で構成される。     The first shielding plate (28a) and the second shielding plate (29a) are formed integrally with the casing (21). The first shielding plate (28a) and the second shielding plate (29a) are made of a resin material having higher flame retardancy than the casing (21).

図2及び図3に示すように、上側ケース部(23)の右端の前後方向の中間には、スライドカバー(25)が設けられている。スライドカバー(25)は、ケーシング(21)の本体に着脱可能に構成される。スライドカバー(25)を外すと、電圧供給部(30)のコネクタ(32)(図4を参照)がケーシング(21)の外部に露出される。     As shown in FIGS. 2 and 3, a slide cover (25) is provided in the middle of the right end of the upper case portion (23) in the front-rear direction. The slide cover (25) is configured to be detachable from the main body of the casing (21). When the slide cover (25) is removed, the connector (32) (see FIG. 4) of the voltage supply unit (30) is exposed to the outside of the casing (21).

〔電圧供給部〕
図4に示すように、電圧供給部(30)は、収容室(26)に配置されている。電圧供給部(30)は、外部の電源から供給された電源電圧を放電処理部(40)へ供給するように構成される。電圧供給部(30)は、基板(31)と、コネクタ(32)と、電源トランス(33)と、アース端子部(34)とを備えている。基板(31)は、収容室(26)の底部近傍に設置されている。基板(31)は、左右に横長の板状に形成され、収容室(26)の全域に亘るように配置されている。
[Voltage supply section]
As shown in FIG. 4, the voltage supply part (30) is arrange | positioned at the storage chamber (26). The voltage supply unit (30) is configured to supply a power supply voltage supplied from an external power supply to the discharge processing unit (40). The voltage supply section (30) includes a substrate (31), a connector (32), a power transformer (33), and a ground terminal section (34). The substrate (31) is installed near the bottom of the accommodation chamber (26). The substrate (31) is formed in a horizontally long plate shape on the left and right, and is arranged so as to cover the entire area of the accommodation chamber (26).

コネクタ(32)は、基板(31)の右端部の上面に設置されている。コネクタ(32)は、上述したスライドカバー(25)を取り外すことで、ケーシング(21)の外部に露出される。コネクタ(32)には、外部電源と電気的に繋がる配線が接続される。     The connector (32) is installed on the upper surface of the right end portion of the substrate (31). The connector (32) is exposed to the outside of the casing (21) by removing the above-described slide cover (25). The connector (32) is connected to a wiring that is electrically connected to an external power source.

電源トランス(33)は、基板(31)の左側寄りの上面に設置されている。電源トランス(33)は、コネクタ(32)を経由して供給された電圧を昇圧するように構成される。電源トランス(33)の左端部には、給電端子部(35)が設けられる。給電端子部(35)には、放電電極(70)の給電板(75)が締結部材(ビス(36))を介して固定される。     The power transformer (33) is installed on the upper surface near the left side of the substrate (31). The power transformer (33) is configured to boost the voltage supplied via the connector (32). The power supply terminal (35) is provided at the left end of the power transformer (33). A power supply plate (75) of the discharge electrode (70) is fixed to the power supply terminal portion (35) via a fastening member (screw (36)).

アース端子部(34)は、基板(31)の左端寄り且つ後端寄りの上面に設置される。アース端子部(34)には、対向電極(60)のアース板(68)が締結部材(ビス(37))を介して固定される。     The ground terminal portion (34) is installed on the upper surface near the left end and the rear end of the substrate (31). A ground plate (68) of the counter electrode (60) is fixed to the ground terminal portion (34) via a fastening member (screw (37)).

上述したように、給電端子部(35)及びアース端子部(34)を備えた電圧供給部(30)は、その全体がケーシング(21)の右寄りに位置する収容室(26)に配置されている。また、後述するように、放電電極(70)の放電電極本体(70a)と対向電極(60)の対向電極本体(60a)とは、ケーシング(21)の左寄りに位置する処理室(27)に配置されている。つまり、給電端子部(35)及びアース端子部(34)は、放電電極本体(70a)及び対向電極本体(60a)に対して同じ側(本実施形態では、右側)に配置されている。     As described above, the voltage supply unit (30) including the power supply terminal unit (35) and the ground terminal unit (34) is disposed in the accommodation chamber (26) located on the right side of the casing (21). Yes. As will be described later, the discharge electrode main body (70a) of the discharge electrode (70) and the counter electrode main body (60a) of the counter electrode (60) are disposed in the processing chamber (27) located on the left side of the casing (21). Is arranged. That is, the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are arranged on the same side (right side in the present embodiment) with respect to the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a).

図5にも示すように、給電端子部(35)は、アース端子部(34)よりも相対的に高い位置にある。つまり、給電端子部(35)とアース端子部(34)とは上下方向(即ち、ケーシング(21)の厚さ方向)において互いにずれている。また、給電端子部(35)は、アース端子部(34)よりも前側寄りに位置している。つまり、給電端子部(35)とアース端子部(34)とは、前後方向(即ち、ケーシング(21)の幅方向)にずれている。     As shown in FIG. 5, the power supply terminal portion (35) is located at a relatively higher position than the ground terminal portion (34). That is, the power feeding terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are displaced from each other in the vertical direction (that is, the thickness direction of the casing (21)). Further, the power supply terminal portion (35) is located closer to the front side than the ground terminal portion (34). That is, the power feeding terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are displaced in the front-rear direction (that is, the width direction of the casing (21)).

このように、給電端子部(35)とアース端子部(34)は、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向(本実施形態では上下方向)と、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向と交わる方向(本実施形態では前後方向)の両方において互いに離れて配置されている。これにより、給電端子部(35)とアース端子部(34)との間の距離が長くなり、ひいては給電端子部(35)とアース端子部(34)との間の沿面距離が長くなる。   In this way, the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are formed in the opposing direction (vertical direction in the present embodiment) of the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a), and the discharge electrode body (70a). ) And the direction crossing the opposing direction of the counter electrode body (60a) (the front-rear direction in this embodiment). As a result, the distance between the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) becomes longer, and consequently the creepage distance between the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) becomes longer.

更に、給電端子部(35)は、アース端子部(34)よりも処理室(27)寄りに位置している。つまり、給電端子部(35)とアース端子部(34)とは、左右方向(放電電極(70)や対向電極(60)の長手方向)において互いにずれている。これにより、給電端子部(35)とアース端子部(34)との間の距離が一層長くなり、ひいては給電端子部(35)とアース端子部(34)との間の沿面距離が一層長くなる。   Further, the power supply terminal portion (35) is located closer to the processing chamber (27) than the ground terminal portion (34). That is, the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are displaced from each other in the left-right direction (the longitudinal direction of the discharge electrode (70) and the counter electrode (60)). This further increases the distance between the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34), and further increases the creepage distance between the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34). .

電源トランス(33)には、給電端子部(35)の周囲に内周壁部(38)が形成される。内周壁部(38)は、上方及び左方が開放された絶縁性の樹脂材料で構成される。内周壁部(38)の横断面は、左側が開放したコ字状(逆C字状)に形成される。     In the power transformer (33), an inner peripheral wall portion (38) is formed around the power supply terminal portion (35). The inner peripheral wall portion (38) is made of an insulating resin material whose upper and left sides are open. The cross section of the inner peripheral wall portion (38) is formed in a U shape (inverted C shape) with the left side open.

内周壁部(38)の周囲には、外周壁部(39)が形成される。外周壁部(39)は、上方及び右方が開放された絶縁性の樹脂材料で構成される。外周壁部(39)の横断面は、右側が開放された逆コ字状(C字状)に形成される。内周壁部(38)と外周壁部(39)との間には、全域に亘って隙間(39a)が形成される。     An outer peripheral wall (39) is formed around the inner peripheral wall (38). An outer peripheral wall part (39) is comprised with the insulating resin material by which upper direction and the right side were open | released. The cross section of the outer peripheral wall portion (39) is formed in an inverted U shape (C shape) with the right side open. A gap (39a) is formed across the entire area between the inner peripheral wall portion (38) and the outer peripheral wall portion (39).

このように、給電端子部(35)の周囲に内周壁部(38)及び外周壁部(39)を設けることで、給電端子部(35)とアース端子部(34)との間の沿面距離が更に長くなる。     In this way, by providing the inner peripheral wall portion (38) and the outer peripheral wall portion (39) around the power supply terminal portion (35), the creepage distance between the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34). Is even longer.

〔放電処理部〕
図4及び図6に示すように、放電処理部(40)は、その大部分が処理室(27)に配置されている。放電処理部(40)は、ストリーマ放電を生起し、空気を浄化するように構成される。放電処理部(40)は、絶縁部材(41)、対向電極(60)、放電電極(70)、及びスタビライザ(80)を備えている。
[Discharge treatment section]
As shown in FIGS. 4 and 6, most of the discharge processing section (40) is arranged in the processing chamber (27). The discharge processing unit (40) is configured to generate streamer discharge and purify air. The discharge processing section (40) includes an insulating member (41), a counter electrode (60), a discharge electrode (70), and a stabilizer (80).

絶縁部材(41)は、絶縁性の樹脂材料から成り、放電電極(70)と対向電極(60)とを絶縁しながら支持する支持部材を構成している。対向電極(60)及び放電電極(70)は、導電性の金属材料で構成される。対向電極(60)は、アース接続部(69)と電気的に接続され、接地状態となっている。つまり、対向電極(60)及びアース接続部(69)は、それぞれの電位が共に基準電位となっている。放電電極(70)は、給電端子部(35)と電気的に接続され、高電圧(例えば7.0kV)が供給される。つまり、放電電極(70)及び給電端子部(35)は、それぞれの電位が同じ値(例えば7.0kV)となっている。電圧供給部(30)から放電電極(70)に電圧が供給されると、両者の電極(60,70)の間でストリーマ放電が行われる。スタビライザ(80)は、導電性の樹脂材料から成り、放電電極(70)と同電位になっている。スタビライザ(80)は、放電電極(70)の近傍で安定した電界を形成するための導電性部材(固定部材)を構成している。     The insulating member (41) is made of an insulating resin material, and constitutes a support member that supports the discharge electrode (70) and the counter electrode (60) while insulating them. The counter electrode (60) and the discharge electrode (70) are made of a conductive metal material. The counter electrode (60) is electrically connected to the ground connection (69) and is in a grounded state. That is, the counter electrode (60) and the ground connection part (69) are both at the reference potential. The discharge electrode (70) is electrically connected to the power supply terminal portion (35) and supplied with a high voltage (for example, 7.0 kV). That is, the discharge electrode (70) and the power supply terminal portion (35) have the same potential (for example, 7.0 kV). When voltage is supplied from the voltage supply unit (30) to the discharge electrode (70), streamer discharge is performed between the electrodes (60, 70). The stabilizer (80) is made of a conductive resin material and has the same potential as the discharge electrode (70). The stabilizer (80) constitutes a conductive member (fixing member) for forming a stable electric field in the vicinity of the discharge electrode (70).

[絶縁部材]
図4に示すように、絶縁部材(41)は、下側ケース部(22)の底部に設置される。図6、図7、及び図10にも示すように、絶縁部材(41)は、埋設部(42)と、基台部(44)と、支持部(47)と、下部仕切壁(51)と、沿面距離拡大部(55)とを備えている。
[Insulating material]
As shown in FIG. 4, the insulating member (41) is installed at the bottom of the lower case portion (22). As shown in FIGS. 6, 7, and 10, the insulating member (41) includes an embedded part (42), a base part (44), a support part (47), and a lower partition wall (51). And a creeping distance expanding portion (55).

埋設部(42)は、処理室(27)において下部仕切壁(51)の左側に設置されている。埋設部(42)は、本体部(43)と連接部(45)とを有している。本体部(43)は、下側ケース部(22)の前縁から後縁に亘って延びる直方体状に形成される。連接部(45)は、本体部(43)の右側面の後端部と下部仕切壁(51)との間に連続して形成される。     The buried portion (42) is installed on the left side of the lower partition wall (51) in the processing chamber (27). The embedded part (42) has a main body part (43) and a connecting part (45). The main body (43) is formed in a rectangular parallelepiped shape extending from the front edge to the rear edge of the lower case part (22). The connecting portion (45) is formed continuously between the rear end portion of the right side surface of the main body portion (43) and the lower partition wall (51).

基台部(44)は、本体部(43)の左側面の前後方向の中間部から左方に向かって延出している。基台部(44)の先端には、横断面が円弧状の円弧部(44a)が形成される。絶縁部材(41)では、基台部(44)から本体部(43)の中間部に亘って長円溝(46)(凹部)が形成される。長円溝(46)は、左右に横長の長円柱状の溝であり、その下側が閉塞され、その上側が開放されている。     The base part (44) extends leftward from an intermediate part in the front-rear direction of the left side surface of the main body part (43). An arc portion (44a) having a circular cross section is formed at the tip of the base portion (44). In the insulating member (41), an oval groove (46) (concave portion) is formed from the base portion (44) to the intermediate portion of the main body portion (43). The oval groove (46) is a horizontally long oblong cylindrical groove on the left and right, with its lower side closed and its upper side opened.

支持部(47)は、長円溝(46)の左右方向及び前後方向の中間部に配置されている。支持部(47)は、支持部本体(48)と、支持部本体(48)から上方に突出する突起部(49)(嵌合部)とを有している。支持部本体(48)は、左右に横長の長円形状の横断面を有する柱状に形成される。支持部本体(48)の内部には、支持部本体(48)の下端から上方に向かって延びる中空穴(48a)が形成される(図10を参照)。支持部本体(48)では、中空穴(48a)の周囲に左右に横長の長円形状の内周面(48b)が形成される。     The support portion (47) is disposed at the middle portion in the left-right direction and the front-rear direction of the oval groove (46). The support portion (47) includes a support portion main body (48) and a protrusion (49) (fitting portion) protruding upward from the support portion main body (48). The support portion main body (48) is formed in a columnar shape having a horizontally long oval cross section on the left and right. A hollow hole (48a) extending upward from the lower end of the support part body (48) is formed in the support part body (48) (see FIG. 10). In the support body (48), a horizontally long oval inner peripheral surface (48b) is formed on the left and right around the hollow hole (48a).

突起部(49)は、支持部本体(48)の左右方向及び前後方向の中間部に配置されている。突起部(49)は、支持部本体(48)と同様、左右に横長の長円形状の横断面を有する柱状に形成される。突起部(49)の高さ、左右の幅、前後の厚みは、いずれも支持部本体(48)のそれらより短い。これにより、支持部本体(48)の上端面には、突起部(49)の周囲に横長の長円形環状の設置面(50)が形成される。この設置面(50)は、略水平な平面状に形成される。支持部(47)には、後述する放電電極(70)及びスタビライザ(80)が支持される。     The protrusion (49) is disposed at the intermediate portion in the left-right direction and the front-rear direction of the support body (48). Similar to the support body (48), the protrusion (49) is formed in a columnar shape having a horizontally long oval cross section on the left and right. The height of the protrusion (49), the left and right widths, and the front and rear thicknesses are all shorter than those of the support body (48). Thus, a horizontally long oval annular installation surface (50) is formed around the protrusion (49) on the upper end surface of the support body (48). The installation surface (50) is formed in a substantially horizontal plane shape. The support portion (47) supports a discharge electrode (70) and a stabilizer (80), which will be described later.

下部仕切壁(51)は、下側ケース部(22)の前縁から後縁に亘って延びている。下部仕切壁(51)は、下側ケース部(22)の前側寄りに配置される第1横壁部(52)と、下側ケース部(22)の後側寄りに配置される第2横壁部(53)と、これらの横壁部(52,53)の間から右方向に突出する突出壁部(54)とを有している。第1横壁部(52)及び第2横壁部(53)は、前後に延びる板状に形成される。突出壁部(54)は、左側が開放される横断面がコ字状(逆C字状)に形成され、第1横壁部(52)の後部と第2横壁部(53)の前部とに連続して形成される。第1横壁部(52)と第2横壁部(53)との間には、縦長の隙間が形成され、この隙間が突出壁部(54)の内部に連通している。     The lower partition wall (51) extends from the front edge to the rear edge of the lower case part (22). The lower partition wall (51) includes a first lateral wall portion (52) disposed near the front side of the lower case portion (22) and a second lateral wall portion disposed near the rear side of the lower case portion (22). (53) and a protruding wall portion (54) protruding rightward from between these lateral wall portions (52, 53). The first horizontal wall portion (52) and the second horizontal wall portion (53) are formed in a plate shape extending in the front-rear direction. The projecting wall (54) is formed in a U-shaped (reverse C-shaped) cross section with the left side open, and includes a rear portion of the first horizontal wall portion (52) and a front portion of the second horizontal wall portion (53). It is formed continuously. A vertically long gap is formed between the first horizontal wall portion (52) and the second horizontal wall portion (53), and this gap communicates with the inside of the protruding wall portion (54).

沿面距離拡大部(55)は、複数の水平板(56)と複数の鉛直板(57)とが互いに交差するように組み合わされて構成され、これらの一部が下部仕切壁(51)と連続している。このように、下部仕切壁(51)及び沿面距離拡大部(55)は、鉛直ないし水平な面を有する複数の絶縁板が複雑に組み合わされることで、いわゆるラビリンス構造を構成している。この結果、放電電極(70)と対向電極(60)との沿面距離が長くなる。     The creeping distance expanding portion (55) is configured by combining a plurality of horizontal plates (56) and a plurality of vertical plates (57) so as to cross each other, and a part of them is continuous with the lower partition wall (51). doing. As described above, the lower partition wall (51) and the creeping distance enlarged portion (55) form a so-called labyrinth structure by combining a plurality of insulating plates having vertical or horizontal surfaces in a complicated manner. As a result, the creepage distance between the discharge electrode (70) and the counter electrode (60) is increased.

[対向電極]
図4、図6〜図8、図10に示すように、対向電極(60)は、絶縁部材(41)と一体に成形される。具体的には、対向電極(60)と絶縁部材(41)とは、インサート成型により一体的なユニットとして構成される。対向電極(60)は、全体が同一面上(水平面上)に位置するような平板状に形成される。対向電極(60)は、矩形枠状の対向電極本体(60a)と、対向電極本体(60a)の右辺後部から右方向に延びるアース板(68)とを備えている。この対向電極(60)は、対向電極本体(60a)とアース板(68)を一体化した平板状の金属製の部材である。
[Counter electrode]
As shown in FIGS. 4, 6 to 8, and 10, the counter electrode (60) is formed integrally with the insulating member (41). Specifically, the counter electrode (60) and the insulating member (41) are configured as an integral unit by insert molding. The counter electrode (60) is formed in a flat plate shape so that the whole is located on the same plane (on a horizontal plane). The counter electrode (60) includes a rectangular frame-shaped counter electrode main body (60a) and a ground plate (68) extending rightward from the rear side of the right side of the counter electrode main body (60a). The counter electrode (60) is a flat metal member in which the counter electrode body (60a) and the ground plate (68) are integrated.

対向電極本体(60a)は、第1対向板(61)、第2対向板(62)、第1連結板(63)、及び第2連結板(64)が組み合わされて構成される。第1対向板(61)は、対向電極本体(60a)の前側に位置し、左右方向に延びている。第1対向板(61)と基台部(44)の前面の間には、横長の矩形状の第1空隙部(65)が形成される。第2対向板(62)は、対向電極本体(60a)の後側に位置し、左右方向に延びている。第2対向板(62)と基台部(44)の後面の間には、横長の矩形状の第2空隙部(66)が形成される。     The counter electrode body (60a) is configured by combining a first counter plate (61), a second counter plate (62), a first connecting plate (63), and a second connecting plate (64). The first counter plate (61) is located on the front side of the counter electrode body (60a) and extends in the left-right direction. A horizontally-long rectangular first gap portion (65) is formed between the first counter plate (61) and the front surface of the base portion (44). The second counter plate (62) is located on the rear side of the counter electrode body (60a) and extends in the left-right direction. A horizontally-long rectangular second gap portion (66) is formed between the second opposing plate (62) and the rear surface of the base portion (44).

第1連結板(63)は、対向電極本体(60a)の左側に位置し、前後方向に延びている。第1連結板(63)は、第1対向板(61)の左端と第2対向板(62)の左端とを連結している。第1連結板(63)の内縁(右辺)には、基台部(44)の円弧部(44a)が嵌合する円弧溝(63a)が形成される。第2連結板(64)は、対向電極本体(60a)の右側に位置し、前後方向に延びている。第2連結板(64)は、第1対向板(61)の右端と第2対向板(62)の右端とを連結している。第2連結板(64)は、本体部(43)の上部に埋設されている。     The first connecting plate (63) is located on the left side of the counter electrode body (60a) and extends in the front-rear direction. The first connecting plate (63) connects the left end of the first counter plate (61) and the left end of the second counter plate (62). An arc groove (63a) into which the arc portion (44a) of the base portion (44) is fitted is formed on the inner edge (right side) of the first connecting plate (63). The second connecting plate (64) is located on the right side of the counter electrode body (60a) and extends in the front-rear direction. The second connecting plate (64) connects the right end of the first counter plate (61) and the right end of the second counter plate (62). The second connecting plate (64) is embedded in the upper part of the main body (43).

アース板(68)のほとんどの部位は、絶縁部材(41)の埋設部(42)及び水平板(56)の内部に埋設している。アース板(68)の先端部は、水平板(56)から更に右方に延出し、絶縁部材(41)の外部に露出している。このアース板(68)の先端部は、アース接続部(69)を構成している。アース接続部(69)は、略正方形の板状に形成され、その中央にビス(37)が挿通される挿通穴(69a)が形成される。アース接続部(69)は、アース端子部(34)の上面に重なるように配置され、ビス(37)を介してアース端子部(34)に接続される。     Most parts of the ground plate (68) are embedded in the embedded portion (42) and the horizontal plate (56) of the insulating member (41). The tip of the ground plate (68) extends further to the right from the horizontal plate (56) and is exposed to the outside of the insulating member (41). The tip of the ground plate (68) constitutes a ground connection (69). The ground connection portion (69) is formed in a substantially square plate shape, and an insertion hole (69a) through which the screw (37) is inserted is formed at the center thereof. The ground connection part (69) is disposed so as to overlap the upper surface of the ground terminal part (34), and is connected to the ground terminal part (34) via a screw (37).

このように、アース板(68)は、対向電極本体(60a)をアース端子部(34)と電気的に接続するための対向側接続部を構成している。このアース板(68)は、処理室(27)から収容室(26)に亘って設けられている。また、アース板(68)は、仕切部(24)を貫通しており、仕切部(24)と接触する。     As described above, the ground plate (68) constitutes a facing-side connecting portion for electrically connecting the counter electrode body (60a) to the ground terminal portion (34). The ground plate (68) is provided from the processing chamber (27) to the storage chamber (26). The ground plate (68) passes through the partition portion (24) and contacts the partition portion (24).

[放電電極]
図4、図6、図8〜図10、図12に示すように、放電電極(70)は、絶縁部材(41)の上方に配置される。放電電極(70)は、全体が同一面上(水平面上)に位置するような薄板状に形成される。放電電極(70)の厚みは、対向電極(60)の厚みと比較して極めて小さい。
[Discharge electrode]
As shown in FIGS. 4, 6, 8 to 10, and 12, the discharge electrode (70) is disposed above the insulating member (41). The discharge electrode (70) is formed in a thin plate shape so that the whole is located on the same plane (on a horizontal plane). The thickness of the discharge electrode (70) is extremely small compared to the thickness of the counter electrode (60).

放電電極(70)は、放電電極本体(70a)と、給電板(75)とを備えている。この放電電極(70)は、放電電極本体(70a)と給電板(75)を一体化した平板状の金属製の部材である。放電電極本体(70a)は、電極支持板(71)と、該電極支持板(71)の側縁部に支持される複数の放電針(73,74)とを備えている。電極支持板(71)と複数の放電針(73,74)は、一体に形成されている。電極支持板(71)は、電極支持部を構成している。また、給電板(75)は、電極支持板(71)の右側辺の前端部から右方向に延出している。     The discharge electrode (70) includes a discharge electrode body (70a) and a power feeding plate (75). The discharge electrode (70) is a flat metal member in which the discharge electrode main body (70a) and the power feeding plate (75) are integrated. The discharge electrode main body (70a) includes an electrode support plate (71) and a plurality of discharge needles (73, 74) supported on the side edges of the electrode support plate (71). The electrode support plate (71) and the plurality of discharge needles (73, 74) are integrally formed. The electrode support plate (71) constitutes an electrode support portion. The power feeding plate (75) extends rightward from the front end portion of the right side of the electrode support plate (71).

電極支持板(71)は、基台部(44)の上方に配置される。電極支持板(71)は、長方形の板状に形成され、基台部(44)に沿うように左右方向に延びている。電極支持板(71)の中央(電極支持板(71)の長手方向及び幅方向の中間部)には、支持部(47)の突起部(49)が嵌まり込む位置決孔(72)(開口穴)が形成される。位置決孔(72)は、突起部(49)の外形に対応するように、左右に横長の長円形状に形成される。位置決孔(72)に突起部(49)が嵌まり込むと、電極支持板(71)が設置面(50)に設置される。これにより、電極支持板(71)の平面度が保たれる。即ち、電極支持板(71)は、設置面(50)によって水平な状態に支持される。また、放電電極(70)と絶縁部材(41)の相対的な位置関係が決定され、ひいては放電電極(70)と対向電極(60)の相対的な位置関係が決定される。     The electrode support plate (71) is disposed above the base portion (44). The electrode support plate (71) is formed in a rectangular plate shape, and extends in the left-right direction along the base portion (44). A positioning hole (72) (in which the protrusion (49) of the support portion (47) fits in the center of the electrode support plate (71) (intermediate portion in the longitudinal direction and width direction of the electrode support plate (71)). Opening hole) is formed. The positioning hole (72) is formed in an oblong shape that is horizontally long so as to correspond to the outer shape of the protrusion (49). When the protrusion (49) is fitted into the positioning hole (72), the electrode support plate (71) is installed on the installation surface (50). Thereby, the flatness of the electrode support plate (71) is maintained. That is, the electrode support plate (71) is supported in a horizontal state by the installation surface (50). Further, the relative positional relationship between the discharge electrode (70) and the insulating member (41) is determined, and as a result, the relative positional relationship between the discharge electrode (70) and the counter electrode (60) is determined.

位置決孔(72)に突起部(49)が嵌まり込んだ状態では、突起部(49)の長手方向の 端部(左右端部)と位置決孔(72)の内縁との間に僅かな隙間(図示省略)が形成される。つまり、位置決孔(72)の長手方向の最大長さは、突起部(49)の長手方向の最大長さより大きい。これにより、位置決孔(72)の内部では、突起部(49)における長手方向の熱膨張(熱による伸張)が、この僅かな隙間により許容されている。従って、突起部(49)の熱膨張時において、位置決孔(72)の長手方向の両側内縁部に応力が集中することを防止できる。     In a state where the protrusion (49) is fitted in the positioning hole (72), there is a slight gap between the longitudinal end (left and right end) of the protrusion (49) and the inner edge of the positioning hole (72). Gaps (not shown) are formed. That is, the maximum length in the longitudinal direction of the positioning hole (72) is larger than the maximum length in the longitudinal direction of the protrusion (49). As a result, in the positioning hole (72), thermal expansion (extension due to heat) in the longitudinal direction of the protrusion (49) is allowed by this slight gap. Therefore, it is possible to prevent stress from being concentrated on the inner edge portions on both sides in the longitudinal direction of the positioning hole (72) during the thermal expansion of the protruding portion (49).

電極支持板(71)の前縁(即ち、前側の長辺)には、細長い針状ないし棒状の複数の第1放電針(73)が支持されている。複数の第1放電針(73)は、電極支持板(71)の前縁に沿って等間隔を置きながら配列され、電極支持板(71)から前方に向かって真っ直ぐ水平に突出している。各第1放電針(73)は、互いに平行に配置される。電極支持板(71)の後縁(即ち、後側の長辺)には、細長い針状ないし棒状の複数の第2放電針(74)が支持されている。複数の第2放電針(74)は、電極支持板(71)の後縁に沿って等間隔を置きながら配列され、後方に向かって真っ直ぐ水平に突出している。各第2放電針(74)は、互いに平行に配置される。電極支持板(71)は、複数の放電針(73,74)の配列方向に延びている。これにより、電極支持板(71)の前後の側縁部に多数の放電針(73,74)を設けることができる。     A plurality of elongated needle-shaped or rod-shaped first discharge needles (73) are supported on the front edge (that is, the long side on the front side) of the electrode support plate (71). The plurality of first discharge needles (73) are arranged at equal intervals along the front edge of the electrode support plate (71), and project straight and horizontally from the electrode support plate (71) toward the front. The first discharge needles (73) are arranged in parallel to each other. A plurality of elongated needle-shaped or rod-shaped second discharge needles (74) are supported on the rear edge (that is, the rear long side) of the electrode support plate (71). The plurality of second discharge needles (74) are arranged at equal intervals along the rear edge of the electrode support plate (71), and project straight and horizontally toward the rear. The second discharge needles (74) are arranged in parallel to each other. The electrode support plate (71) extends in the arrangement direction of the plurality of discharge needles (73, 74). As a result, a large number of discharge needles (73, 74) can be provided on the front and rear side edges of the electrode support plate (71).

本実施形態の放電電極(70)には、10本の第1放電針(73)と、10本の第2放電針(74)とが設けられている。これらの放電針(73,74)の本数は、単なる例示である。各第1放電針(73)と各第2放電針(74)とは、前後方向において概ね同軸となっている。なお、各第1放電針(73)と各第2放電針(74)とを左右にずらして配置してもよい。     The discharge electrode (70) of the present embodiment is provided with ten first discharge needles (73) and ten second discharge needles (74). The number of these discharge needles (73, 74) is merely an example. Each first discharge needle (73) and each second discharge needle (74) are substantially coaxial in the front-rear direction. Note that the first discharge needles (73) and the second discharge needles (74) may be shifted to the left and right.

放電電極本体(70a)は、対向電極本体(60a)と対向している。具体的に、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)は、上下方向に所定の間隔をおいて向かい合うように配置されている。つまり、本実施形態の放電ユニット(20)では、上下方向が放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向となっている。また、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)は、互いに平行となるように配置されている。このため、第1放電針(73)は、第1対向板(61)と平行となり、第2放電針(74)は、第2対向板(62)と平行になっている。第1放電針(73)の先端下部は、第1対向板(61)に対向し、第2放電針(74)の先端下部は、第2対向板(62)に対向している。     The discharge electrode body (70a) faces the counter electrode body (60a). Specifically, the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a) are arranged to face each other at a predetermined interval in the vertical direction. That is, in the discharge unit (20) of the present embodiment, the vertical direction is the facing direction of the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a). Further, the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a) are arranged in parallel to each other. Therefore, the first discharge needle (73) is parallel to the first counter plate (61), and the second discharge needle (74) is parallel to the second counter plate (62). The lower end portion of the first discharge needle (73) faces the first counter plate (61), and the lower end portion of the second discharge needle (74) faces the second counter plate (62).

給電板(75)は、左側から右側に向かって順に、第1給電部(76)と、第2給電部(77)と、給電接続部(78)とを備えている。第1給電部(76)は、電極支持板(71)の右側辺の前端部から右方に延びている。第2給電部(77)は、第1給電部(76)の先端前縁部に連結し、右方に延びている。第2給電部(77)の一部は、第1横壁部(52)の凹溝(52a)の底部に支持される。第2給電部(77)の先端部は、給電接続部(78)を構成している。給電接続部(78)は、略正方形の板状に形成され、その中央にビス(36)が挿通される挿通穴(78a)が形成される。給電接続部(78)は、給電端子部(35)の上面に重なるように配置され、ビス(36)を介して給電端子部(35)に接続される。     The power feeding plate (75) includes a first power feeding section (76), a second power feeding section (77), and a power feeding connection section (78) in order from the left side to the right side. The first power feeding portion (76) extends rightward from the front end portion of the right side of the electrode support plate (71). The 2nd electric supply part (77) is connected with the tip front edge part of the 1st electric supply part (76), and is extended to the right. A part of the second power feeding part (77) is supported by the bottom of the concave groove (52a) of the first lateral wall part (52). The tip of the second power feeding part (77) constitutes a power feeding connection part (78). The power feeding connection portion (78) is formed in a substantially square plate shape, and an insertion hole (78a) through which the screw (36) is inserted is formed at the center thereof. The power feeding connecting portion (78) is disposed so as to overlap the upper surface of the power feeding terminal portion (35), and is connected to the power feeding terminal portion (35) via a screw (36).

このように、給電板(75)は、放電電極本体(70a)を給電端子部(35)と電気的に接続するための放電側接続部を構成している。この給電板(75)は、処理室(27)から収容室(26)に亘って設けられている。また、給電板(75)は、仕切部(24)を貫通しており、仕切部(24)と接触する。     As described above, the power feeding plate (75) constitutes a discharge side connecting portion for electrically connecting the discharge electrode main body (70a) to the power feeding terminal portion (35). The power supply plate (75) is provided from the processing chamber (27) to the storage chamber (26). The power supply plate (75) passes through the partition (24) and comes into contact with the partition (24).

図8に示すように、第2給電部(77)は、電極支持板(71)及び第1給電部(76)に対して前側にオフセットして配置されている。この第2給電部(77)は、オフセット板部を構成している。第2給電部(77)の前側の縁部は、第1放電針(73)の先端(突端)よりも前側(即ち、第1放電針(73)の突出方向における外方)に位置している。つまり、第1放電針(73)の先端は、第2給電部(77)の前側の縁部を延長した図8の仮想線Pよりも、電極支持板(71)寄りに位置している。     As shown in FIG. 8, the second power feeding section (77) is disposed offset to the front side with respect to the electrode support plate (71) and the first power feeding section (76). This 2nd electric power feeding part (77) comprises the offset board part. The front edge portion of the second power feeding portion (77) is located on the front side (that is, outward in the protruding direction of the first discharge needle (73)) from the tip (projection end) of the first discharge needle (73). Yes. That is, the tip of the first discharge needle (73) is located closer to the electrode support plate (71) than the phantom line P in FIG. 8 obtained by extending the front edge of the second power feeding portion (77).

[スタビライザ]
スタビライザ(80)は、支持部(47)及び放電電極(70)の上方に配置されている。図6、図9〜図12に示すように、スタビライザ(80)は、筒状の筒壁部(81)と、該筒壁部(81)の上端部から左右前後に張り出した庇部(86)とを備えている。
[Stabilizer]
The stabilizer (80) is disposed above the support portion (47) and the discharge electrode (70). As shown in FIGS. 6 and 9 to 12, the stabilizer (80) includes a cylindrical tubular wall portion (81) and a flange portion (86) that projects from the upper end portion of the tubular wall portion (81) to the left and right and back and forth. ).

筒壁部(81)には、左右に横長の長円筒状に形成されている。筒壁部(81)の内周下端部には、長円形の環状凸部(82)が形成されている(図6及び図9を参照)。環状凸部(82)は、筒壁部(81)の下端内周面から中心側に向かって突出している。筒壁部(81)の下面と環状凸部(82)の下面とは面一となって水平な平面を構成している。     The cylindrical wall portion (81) is formed in a horizontally long long cylindrical shape on the left and right. An oval annular convex portion (82) is formed at the inner peripheral lower end portion of the cylindrical wall portion (81) (see FIGS. 6 and 9). The annular convex part (82) protrudes from the inner peripheral surface of the lower end of the cylindrical wall part (81) toward the center side. The lower surface of the cylindrical wall portion (81) and the lower surface of the annular convex portion (82) are flush with each other to form a horizontal plane.

環状凸部(82)の内部には、左右に横長の長円開口(84)が形成されている。長円開口(84)には、絶縁部材(41)の突起部(49)が嵌まり込む。これにより、スタビライザ(80)は、電極支持板(71)の上側に設置され、スタビライザ(80)、電極支持板(71)、及び対向電極(60)の相対的な位置関係が決定される。長円開口(84)に突起部(49)が嵌まり込んだ状態では、突起部(49)と筒壁部(81)の内周面との間に長円筒状の隙間が形成される。     A laterally long oval opening (84) is formed on the left and right inside the annular convex portion (82). The protrusion (49) of the insulating member (41) is fitted into the oval opening (84). Thereby, a stabilizer (80) is installed above an electrode support plate (71), and the relative positional relationship of a stabilizer (80), an electrode support plate (71), and a counter electrode (60) is determined. In a state where the protrusion (49) is fitted in the oval opening (84), a long cylindrical gap is formed between the protrusion (49) and the inner peripheral surface of the cylindrical wall portion (81).

庇部(86)は、外形が左右に横長の矩形板状に形成されている。筒壁部(81)に突起部(49)が嵌まり込んだ状態では、庇部(86)が略水平な状態となる。庇部(86)の前縁は、第1放電針(73)の先端よりも前方まで張り出している。庇部(86)の後縁は、第2放電針(74)の先端よりも後方まで張り出している。つまり、庇部(86)は、第1放電針(73)及び第2放電針(74)の全域を上側から覆っている。庇部(86)の下面は、水平な平面を構成しており、各放電針(73,74)に沿うようにして該各放電針(73,74)と平行になっている。     The collar part (86) is formed in a rectangular plate shape whose outer shape is horizontally long on the left and right. In the state where the protrusion (49) is fitted in the cylindrical wall portion (81), the flange portion (86) is in a substantially horizontal state. The front edge of the collar portion (86) protrudes further forward than the tip of the first discharge needle (73). The rear edge of the collar portion (86) extends beyond the tip of the second discharge needle (74) to the rear. That is, the collar portion (86) covers the entire area of the first discharge needle (73) and the second discharge needle (74) from above. The lower surface of the flange portion (86) forms a horizontal plane, and is parallel to the discharge needles (73, 74) along the discharge needles (73, 74).

[給電板(放電側接続部)とアース板(対向側接続部)の配置]
上述したように、対向電極(60)は、対向電極本体(60a)とアース板(68)が一体となった平板状に形成され(図7を参照)、放電電極(70)は、放電電極本体(70a)と給電板(75)が一体となった平板状に形成される(図8を参照)。また、対向電極本体(60a)と放電電極本体(70a)は、上下方向(即ち、ケーシング(21)の厚さ方向)に所定の間隔をおいて向かい合って互いに平行となるように配置されている。このため、対向電極本体(60a)と一体のアース板(68)と、放電電極本体(70a)と一体の給電板(75)とは、上下方向に離れている(図5を参照)。
[Arrangement of power supply plate (discharge side connection) and ground plate (opposite side connection)]
As described above, the counter electrode (60) is formed in a flat plate shape in which the counter electrode body (60a) and the ground plate (68) are integrated (see FIG. 7), and the discharge electrode (70) is a discharge electrode. The main body (70a) and the power supply plate (75) are formed in a flat plate shape (see FIG. 8). The counter electrode main body (60a) and the discharge electrode main body (70a) are arranged to face each other at a predetermined interval in the vertical direction (that is, the thickness direction of the casing (21)) and to be parallel to each other. . For this reason, the ground plate (68) integral with the counter electrode body (60a) and the power supply plate (75) integral with the discharge electrode body (70a) are separated in the vertical direction (see FIG. 5).

更に、対向電極(60)では、アース板(68)が後方寄りに配置され(図7を参照)、放電電極(70)では、給電板(75)が前方寄りに配置されている(図8を参照)。従って、図5にも示すように、対向電極(60)のアース板(68)と放電電極(70)の給電板(75)は、上下方向(即ち、ケーシング(21)の厚さ方向)と前後方向(即ち、ケーシング(21)の幅方向)の両方に離れている。このため、対向電極(60)のアース板(68)と放電電極(70)の給電板(75)との間の距離が長くなり、ひいてはアース板(68)と給電板(75)との間の沿面距離が長くなる。     Further, in the counter electrode (60), the ground plate (68) is disposed closer to the rear (see FIG. 7), and in the discharge electrode (70), the power feeding plate (75) is disposed closer to the front (FIG. 8). See). Accordingly, as shown in FIG. 5, the ground plate (68) of the counter electrode (60) and the power supply plate (75) of the discharge electrode (70) are arranged in the vertical direction (that is, the thickness direction of the casing (21)). They are separated in both the front-rear direction (that is, the width direction of the casing (21)). For this reason, the distance between the ground plate (68) of the counter electrode (60) and the power supply plate (75) of the discharge electrode (70) becomes longer, and consequently, between the ground plate (68) and the power supply plate (75). The creepage distance increases.

また、上述したように、電圧供給部(30)のアース端子部(34)と給電端子部(35)は、上下方向(即ち、ケーシング(21)の厚さ方向)と前後方向(即ち、ケーシング(21)の幅方向)の両方に離れるように配置されている。つまり、アース端子部(34)は、対向電極(60)のアース板(68)が接続可能な位置に設けられ、給電端子部(35)は、放電電極(70)の給電板(75)が接続可能な位置に設けられている。このため、対向電極(60)を上下方向に屈曲させることなくアース端子部(34)に接続でき、放電電極(70)を上下方向に屈曲させることなく給電端子部(35)に接続できる。     Further, as described above, the ground terminal portion (34) and the power supply terminal portion (35) of the voltage supply portion (30) are arranged in the vertical direction (that is, the thickness direction of the casing (21)) and in the front-rear direction (that is, the casing). (21) in the width direction). That is, the ground terminal portion (34) is provided at a position where the ground plate (68) of the counter electrode (60) can be connected, and the power feed terminal portion (35) is provided by the power feed plate (75) of the discharge electrode (70). It is provided at a connectable position. For this reason, the counter electrode (60) can be connected to the ground terminal part (34) without being bent in the vertical direction, and the discharge electrode (70) can be connected to the power supply terminal part (35) without being bent in the vertical direction.

−運転動作−
空気調和装置(10)の運転動作について説明する。図1に示す空気調和装置(10)は、冷房運転と暖房運転とを切り換えて行う。空気調和装置(10)のファン(17)が運転されると、室内空間(S)の空気が、内気ダクト(12)を介して空気通路(11a)へ吸引される。この空気は、プレフィルタ(14)を通過する。プレフィルタ(14)では、空気中の比較的大きな塵埃が捕集される。
-Driving action-
The operation of the air conditioner (10) will be described. The air conditioner (10) shown in FIG. 1 switches between cooling operation and heating operation. When the fan (17) of the air conditioner (10) is operated, the air in the indoor space (S) is sucked into the air passage (11a) through the internal air duct (12). This air passes through the prefilter (14). In the prefilter (14), relatively large dust in the air is collected.

プレフィルタ(14)を通過した空気は、放電ユニット(20)を通過する(図2を参照)。具体的に、この空気は、ケーシング(21)の第1通気口(28)より処理室(27)へ流入する。放電ユニット(20)では、電圧供給部(30)の電源トランス(33)から放電電極(70)へ高電圧が供給される。この結果、放電電極(70)の各放電針(73,74)の先端から対向板(61,62)に向かってストリーマ放電が進展する(図12を参照)。また、高電圧は、放電電極(70)と接続するスタビライザ(80)にも供給される。これにより、放電針(73,74)から対向板(61,62)へ向かうストリーマ放電が安定する。     The air that has passed through the prefilter (14) passes through the discharge unit (20) (see FIG. 2). Specifically, this air flows into the processing chamber (27) from the first vent (28) of the casing (21). In the discharge unit (20), a high voltage is supplied from the power transformer (33) of the voltage supply unit (30) to the discharge electrode (70). As a result, streamer discharge progresses from the tip of each discharge needle (73, 74) of the discharge electrode (70) toward the opposing plate (61, 62) (see FIG. 12). The high voltage is also supplied to a stabilizer (80) connected to the discharge electrode (70). This stabilizes the streamer discharge from the discharge needle (73, 74) toward the opposing plate (61, 62).

放電処理部(40)でストリーマ放電が行われると、これに伴い空気中で活性種が生成される。この結果、空気中の有害成分や臭気成分が活性種により酸化・分解され、空気が浄化される。処理室(27)の空気は、活性種とともに第2通気口(29)からケーシング(21)の外部へ流出し(図3を参照)、触媒フィルタ(15)を通過する。触媒フィルタ(15)では、空気中の臭気成分等が吸着される。吸着された臭気成分は、活性種によって分解されることで、吸着剤が再生される。     When streamer discharge is performed in the discharge processing unit (40), active species are generated in the air. As a result, harmful components and odor components in the air are oxidized and decomposed by the active species, and the air is purified. The air in the processing chamber (27) flows out of the casing (21) from the second vent (29) together with the active species (see FIG. 3), and passes through the catalyst filter (15). The catalytic filter (15) adsorbs odor components in the air. The adsorbent is regenerated by decomposing the adsorbed odor component by the active species.

このようにして浄化された空気は、熱交換器(16)で加熱又は冷却された後、給気ダクト(13)を介して室内空間(S)へ供給される。これにより、室内空間(S)の暖房や冷房が行われるとともに、室内空気の清浄化が行われる。     The air purified in this way is heated or cooled by the heat exchanger (16) and then supplied to the indoor space (S) via the air supply duct (13). As a result, the indoor space (S) is heated and cooled, and the indoor air is purified.

−放電ユニットの製造工程−
次いで、放電ユニット(20)の製造工程について説明する。この製造工程では、放電処理部(40)を製造する工程と、放電処理部(40)及び電圧供給部(30)をケーシング(21)内にセットする設置工程とが行われる。
-Manufacturing process of discharge unit-
Next, the manufacturing process of the discharge unit (20) will be described. In this manufacturing process, a process of manufacturing the discharge processing unit (40) and an installation process of setting the discharge processing unit (40) and the voltage supply unit (30) in the casing (21) are performed.

〈放電処理部の製造工程〉
放電処理部(40)の製造工程について、図6を参照しながら説明する。放電処理部(40)の製造工程では、絶縁部材(41)、放電電極(70)、及びスタビライザ(80)が下から順に組み立てられる。
<Manufacturing process of the discharge treatment section>
A manufacturing process of the discharge processing section (40) will be described with reference to FIG. In the manufacturing process of the discharge processing section (40), the insulating member (41), the discharge electrode (70), and the stabilizer (80) are assembled in order from the bottom.

第1工程では、絶縁部材(41)と対向電極(60)とがインサート成型によって一体的なユニットとして構成される。     In the first step, the insulating member (41) and the counter electrode (60) are configured as an integral unit by insert molding.

第2工程では、放電電極(70)の位置決孔(72)に絶縁部材(41)の突起部(49)を嵌め込む。これにより、電極支持板(71)が設置面(50)に設置され、放電電極(70)の位置決め、及び仮固定がなされる。     In the second step, the protrusion (49) of the insulating member (41) is fitted into the positioning hole (72) of the discharge electrode (70). As a result, the electrode support plate (71) is installed on the installation surface (50), and the discharge electrode (70) is positioned and temporarily fixed.

第3工程では、スタビライザ(80)の筒壁部(81)に絶縁部材(41)の突起部(49)を嵌め込む。これにより、スタビライザ(80)の筒壁部(81)が電極支持板(71)の上側に設置される。この状態では、設置面(50)と筒壁部(81)の間に電極支持板(71)が挟まれる。     In the third step, the protruding portion (49) of the insulating member (41) is fitted into the cylindrical wall portion (81) of the stabilizer (80). Thereby, the cylindrical wall part (81) of a stabilizer (80) is installed above an electrode support plate (71). In this state, the electrode support plate (71) is sandwiched between the installation surface (50) and the cylindrical wall portion (81).

第4工程では、突起部(49)がスタビライザ(80)及び電極支持板(71)に固定される。具体的に、この固定は、超音波溶着によって行われる。つまり、超音波によって突起部(49)の先端が溶融され、溶融した樹脂が環状凸部(82)の上側や長円開口(84)の隙間に流れ込む。溶融した樹脂が固化すると、スタビライザ(80)と突起部(49)や、突起部(49)と電極支持板(71)が互いに固定される。この結果、スタビライザ(80)と絶縁部材(41)との間に放電電極(70)が固定ないし支持される。     In the fourth step, the protrusion (49) is fixed to the stabilizer (80) and the electrode support plate (71). Specifically, this fixing is performed by ultrasonic welding. That is, the tip of the projection (49) is melted by the ultrasonic wave, and the melted resin flows into the upper side of the annular projection (82) and the gap in the oval opening (84). When the molten resin is solidified, the stabilizer (80) and the protrusion (49), and the protrusion (49) and the electrode support plate (71) are fixed to each other. As a result, the discharge electrode (70) is fixed or supported between the stabilizer (80) and the insulating member (41).

なお、この第4工程において、スタビライザ(80)と突起部(49)の固定方法は、必ずしも超音波溶着でなくてもよく、例えば熱溶着・振動溶着・接着等の他の固定方法であってもよい。     In this fourth step, the stabilizer (80) and the protrusion (49) are not necessarily fixed by ultrasonic welding, and may be other fixing methods such as thermal welding, vibration welding, and adhesion. Also good.

〈設置工程〉
次いで、ケーシング(21)内に放電処理部(40)及び電圧供給部(30)を組み立てる工程について説明する。この設置工程では、全ての部品が全て下側ケース部(22)の上方から組み付けられる。
<Installation process>
Next, a process of assembling the discharge processing unit (40) and the voltage supply unit (30) in the casing (21) will be described. In this installation process, all parts are assembled from above the lower case part (22).

まず、上側が開放された状態の下側ケース部(22)の右側寄りの底部(即ち、収容室(26)の底部)に電圧供給部(30)を組み付ける。     First, a voltage supply part (30) is assembled | attached to the bottom part (namely, bottom part of a storage chamber (26)) near the right side of the lower case part (22) in the state where the upper side was opened.

次いで、上述のように組み立てられた放電処理部(40)を下側ケース部(22)の左側寄りの底部(即ち、処理室(27)の底部)に組み付ける。この際、図4に示すように、アース接続部(69)はビス(37)を介してアース端子部(34)に接続され、給電接続部(78)はビス(36)を介して給電端子部(35)に接続される。これにより、電圧供給部(30)から放電電極(70)へ電圧の供給が可能となる。     Next, the discharge processing part (40) assembled as described above is assembled to the bottom part on the left side of the lower case part (22) (that is, the bottom part of the processing chamber (27)). At this time, as shown in FIG. 4, the ground connection portion (69) is connected to the ground terminal portion (34) via the screw (37), and the power supply connection portion (78) is connected to the power supply terminal via the screw (36). Connected to the section (35). Thereby, a voltage can be supplied from the voltage supply unit (30) to the discharge electrode (70).

次いで、下側ケース部(22)の上側に上側ケース部(23)を組み付ける。これにより、図2及び図3に示す放電ユニット(20)が得られる。     Next, the upper case part (23) is assembled on the upper side of the lower case part (22). Thereby, the discharge unit (20) shown in FIG.2 and FIG.3 is obtained.

−実施形態の効果−
本実施形態の放電ユニット(20)では、互いに同電位の給電端子部(35)及び給電板(75)と、互いに同電位(基準電位)のアース端子部(34)及びアース板(68)とが、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向(本実施形態では上下方向)と、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向と交わる方向(本実施形態では前後方向)の両方において互いに離れている。このため、比較的狭いケーシング(21)の内部空間において、給電端子部(35)及び給電板(75)とアース端子部(34)及びアース板(68)とを、可能な限り離して配置することが可能となる。従って、本実施形態によれば、電圧供給部(30)の給電端子部(35)とアース端子部(34)の間の沿面距離を確保することができると共に、給電板(75)を有する放電電極(70)とアース板(68)を有する対向電極(60)の間の沿面距離を確保することができ、放電電極(70)と対向電極(60)の間の電気的な絶縁を確保することが可能となる。
-Effect of the embodiment-
In the discharge unit (20) of the present embodiment, the power supply terminal portion (35) and the power supply plate (75) having the same potential, the ground terminal portion (34) and the ground plate (68) having the same potential (reference potential), and However, the direction (the vertical direction in this embodiment) of the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a) intersects the direction of the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a) (this embodiment). They are separated from each other both in the front-rear direction. For this reason, in the relatively narrow internal space of the casing (21), the power supply terminal portion (35) and the power supply plate (75) are arranged as far as possible from the ground terminal portion (34) and the ground plate (68). It becomes possible. Therefore, according to this embodiment, the creeping distance between the power supply terminal part (35) and the ground terminal part (34) of the voltage supply part (30) can be secured, and the discharge having the power supply plate (75). The creeping distance between the electrode (70) and the counter electrode (60) having the ground plate (68) can be ensured, and the electrical insulation between the discharge electrode (70) and the counter electrode (60) is ensured. It becomes possible.

また、本実施形態の放電電極(70)では、給電板(75)の第2給電部(77)の一部が、放電電極本体(70a)の第1放電針(73)の先端よりも外方に配置される。つまり、第1放電針(73)の先端(突端)は、図8における仮想線Pよりも電極支持板(71)寄りに位置している。このため、放電電極(70)の取扱中に第1放電針(73)が何かに接触する可能性が低くなり、接触に起因して第1放電針(73)が変形する可能性を低減できる。つまり、例えば放電ユニット(20)の組立中に放電電極(70)をケーシング(21)等にぶつけた場合には、第1放電針(73)の先端よりも先に第2給電部(77)がケーシング(21)等に当たる可能性が高くなり、第1放電針(73)が変形する可能性を低減できる。     In the discharge electrode (70) of the present embodiment, a part of the second power feeding part (77) of the power feeding plate (75) is outside the tip of the first discharge needle (73) of the discharge electrode main body (70a). Placed in the direction. That is, the tip (protruding end) of the first discharge needle (73) is located closer to the electrode support plate (71) than the virtual line P in FIG. For this reason, the possibility that the first discharge needle (73) contacts something while handling the discharge electrode (70) is reduced, and the possibility that the first discharge needle (73) is deformed due to the contact is reduced. it can. That is, for example, when the discharge electrode (70) hits the casing (21) or the like during the assembly of the discharge unit (20), the second power feeding section (77) is ahead of the tip of the first discharge needle (73). Is likely to hit the casing (21) or the like, and the possibility that the first discharge needle (73) is deformed can be reduced.

また、本実施形態の放電ユニット(20)では、放電電極(70)の給電板(75)と、対向電極(60)のアース板(68)との両方が、仕切部(24)を貫通する。一方、給電板(75)とアース板(68)とは、放電電極本体(70a)と対向電極本体(60a)の対向方向と、その対向方向と交わる方向の両方において互いに離れている。このため、給電板(75)とアース板(68)の両方が仕切部(24)を貫通して仕切部(24)と接触する本実施形態の放電ユニット(20)において、給電板(75)とアース板(68)の間の沿面距離を確保しやすくなる。     In the discharge unit (20) of the present embodiment, both the power supply plate (75) of the discharge electrode (70) and the ground plate (68) of the counter electrode (60) penetrate the partition portion (24). . On the other hand, the power feeding plate (75) and the ground plate (68) are separated from each other in both the facing direction of the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a) and the direction crossing the facing direction. Therefore, in the discharge unit (20) of the present embodiment in which both the power supply plate (75) and the ground plate (68) pass through the partition portion (24) and contact the partition portion (24), the power supply plate (75) It becomes easy to secure the creeping distance between the ground plate (68).

また、本実施形態の放電ユニット(20)では、電圧供給部(30)に、絶縁性の樹脂材料で構成されて給電端子部(35)を囲む内周壁部(38)が形成される。このため、内周壁部(38)を設けない場合に比べて、給電端子部(35)とアース端子部(34)の間の沿面距離が長くなる。   In the discharge unit (20) of the present embodiment, the voltage supply part (30) is formed with an inner peripheral wall part (38) made of an insulating resin material and surrounding the power supply terminal part (35). For this reason, compared with the case where an inner peripheral wall part (38) is not provided, the creeping distance between a power feeding terminal part (35) and a ground terminal part (34) becomes long.

また、本実施形態の放電ユニット(20)では、電圧供給部(30)は、絶縁性の樹脂材料で構成されて内周壁部(38)を囲む外周壁部(39)が形成される。つまり、放電ユニット(20)では、給電端子部(35)が、内周壁部(38)と外周壁部(39)の両方に囲まれる。このため、外周壁部(39)を設けない場合に比べて、給電端子部(35)とアース端子部(34)の間の沿面距離が長くなる。   Moreover, in the discharge unit (20) of this embodiment, the voltage supply part (30) is formed of an insulating resin material, and an outer peripheral wall part (39) surrounding the inner peripheral wall part (38) is formed. That is, in the discharge unit (20), the power feeding terminal portion (35) is surrounded by both the inner peripheral wall portion (38) and the outer peripheral wall portion (39). For this reason, compared with the case where an outer peripheral wall part (39) is not provided, the creeping distance between a feeding terminal part (35) and a ground terminal part (34) becomes long.

また、本実施形態の放電ユニット(20)では、内周壁部(38)と外周壁部(39)の間に隙間(39a)が形成される。このため、内周壁部(38)と外周壁部(39)の間に隙間(39a)を設けない場合に比べて、給電端子部(35)とアース端子部(34)の間の沿面距離が長くなる。   In the discharge unit (20) of the present embodiment, a gap (39a) is formed between the inner peripheral wall portion (38) and the outer peripheral wall portion (39). For this reason, the creepage distance between the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) is smaller than when no gap (39a) is provided between the inner peripheral wall portion (38) and the outer peripheral wall portion (39). become longer.

従って、本実施形態によれば、給電端子部(35)とアース端子部(34)の間の沿面距離を稼ぐことができ、給電端子部(35)とアース端子部(34)の間の電気的な絶縁を確保することが可能となる。     Therefore, according to the present embodiment, the creepage distance between the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) can be increased, and the electricity between the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) can be obtained. It is possible to ensure a good insulation.

また、本実施形態の放電ユニット(20)において、放電電極本体(70a)は、矩形状に形成された電極支持板(71)と、電極支持板(71)の周縁から外方へ突出して対向電極本体(60a)との間で放電を生起させる放電針(73)とを備えると共に、平板状の電極支持板(71)には、電極支持板(71)を厚さ方向に貫通する貫通孔(72)が形成される。更に、本実施形態の放電ユニット(20)には、先端が電極支持板(71)の貫通孔(72)に嵌まり込むことによって放電電極(70)を支持する支持部(47)が設けられる。従って、本実施形態によれば、電極支持板(71)の周縁に放電針(73)が設けられた放電電極(70)を、支持部(47)によって確実に支持することが可能となる。   Further, in the discharge unit (20) of the present embodiment, the discharge electrode body (70a) is opposed to the electrode support plate (71) formed in a rectangular shape and protruding outward from the periphery of the electrode support plate (71). A discharge needle (73) for generating discharge with the electrode body (60a), and a flat electrode support plate (71) having a through-hole penetrating the electrode support plate (71) in the thickness direction (72) is formed. Furthermore, the discharge unit (20) of the present embodiment is provided with a support portion (47) that supports the discharge electrode (70) by fitting the tip into the through hole (72) of the electrode support plate (71). . Therefore, according to this embodiment, the discharge electrode (70) provided with the discharge needle (73) on the periphery of the electrode support plate (71) can be reliably supported by the support portion (47).

《その他の実施形態》
上述した実施形態の放電ユニット(20)では、アース端子部(34)が給電端子部(35)よりも下部仕切壁(51)寄りに配置されているが、図13に示すように、給電端子部(35)がアース端子部(34)よりも下部仕切壁(51)寄りに配置されていてもよい。
<< Other Embodiments >>
In the discharge unit (20) of the above-described embodiment, the ground terminal part (34) is disposed closer to the lower partition wall (51) than the power supply terminal part (35), but as shown in FIG. The part (35) may be disposed closer to the lower partition wall (51) than the ground terminal part (34).

また、上述した実施形態の放電ユニット(20)では、図14に示すように、アース端子部(34)と給電端子部(35)が、下部仕切壁(51)からの距離が等しい位置に設けられていてもよい。この場合、給電端子部(35)とアース端子部(34)は、それぞれの位置が、上下方向と前後方向だけにずれており、左右方向には一致している。   In the discharge unit (20) of the above-described embodiment, as shown in FIG. 14, the ground terminal part (34) and the power supply terminal part (35) are provided at the same distance from the lower partition wall (51). It may be done. In this case, the positions of the power supply terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are shifted only in the vertical direction and the front-rear direction, and are aligned in the left-right direction.

上述した実施形態の空気調和装置(10)は、天井(C)裏に設置されるものである。しかし、例えば壁掛式、天井埋込式、天井吊式等の他の方式の空気調和装置に本発明に係る放電ユニット(20)を適用してもよい。また、本実施形態に係る放電ユニット(20)を空気清浄機に適用してもよい。     The air conditioner (10) of the embodiment described above is installed behind the ceiling (C). However, the discharge unit (20) according to the present invention may be applied to other types of air conditioners such as a wall hanging type, a ceiling embedded type, and a ceiling hanging type. Moreover, you may apply the discharge unit (20) which concerns on this embodiment to an air cleaner.

以上説明したように、本発明は、放電ユニットについて有用である。     As described above, the present invention is useful for the discharge unit.

20 放電ユニット
21 ケーシング
22 下側ケース部(本体ケース部)
23 上側ケース部(蓋部)
24 仕切部
26 収容室
27 処理室
28 第1通気口
29 第2通気口
30 電圧供給部
34 アース端子部
35 給電端子部
60 対向電極
60a 対向電極本体
68 アース板(対向側接続部)
70 放電電極
70a 放電電極本体
71 電極支持板(電極支持部)
73 第1放電針(放電針)
75 給電板(放電側接続部)
77 第2給電部(オフセット板部)
20 Discharge unit
21 Casing
22 Lower case (main case)
23 Upper case (lid)
24 Partition
26 containment room
27 treatment room
28 1st vent
29 Second vent
30 Voltage supply
34 Earth terminal
35 Feeding terminal
60 Counter electrode
60a Counter electrode body
68 Earth plate (opposite side connection)
70 Discharge electrode
70a Discharge electrode body
71 Electrode support plate (electrode support)
73 First discharge needle (discharge needle)
75 Power feeding plate (discharge side connection)
77 Second feeder (offset plate)

Claims (4)

ケーシング(21)と、
上記ケーシング(21)に収容される放電電極(70)及び対向電極(60)と、
上記ケーシング(21)に収容されて上記放電電極(70)と上記対向電極(60)の間に電位差を付与する電圧供給部(30)とを備えた放電ユニットであって、
上記放電電極(70)は、上記対向電極(60)と対向する放電電極本体(70a)と、該放電電極本体(70a)を上記電圧供給部(30)の給電端子部(35)に接続する放電側接続部(75)とが一体となった平板状に形成され、
上記対向電極(60)は、上記放電電極本体(70a)と対向する対向電極本体(60a)と、該対向電極本体(60a)を上記電圧供給部(30)のアース端子部(34)に接続する対向側接続部(68)とが一体となった平板状に形成される一方、
上記給電端子部(35)と上記アース端子部(34)は、上記放電電極本体(70a)及び上記対向電極本体(60a)に対して同じ側に配置され、
上記放電側接続部(75)と上記対向側接続部(68)は、上記放電電極本体(70a)と上記対向電極本体(60a)の対向方向と交わる方向に互いに離れて配置され、
上記放電電極本体(70a)は、矩形状に形成された電極支持部(71)と、該電極支持部(71)の周縁から外方へ突出して上記対向電極本体(60a)との間で放電を生起させる放電針(73)とを備え、
上記放電側接続部(75)は、上記放電電極本体(70a)に対して上記放電針(73)の突出方向へオフセットして配置されるオフセット板部(77)を備え、
上記オフセット板部(77)の少なくとも一部は、上記放電針(73)の先端よりも外方に配置されている
ことを特徴とする放電ユニット。
A casing (21);
A discharge electrode (70) and a counter electrode (60) housed in the casing (21);
A discharge unit comprising a voltage supply unit (30) that is accommodated in the casing (21) and applies a potential difference between the discharge electrode (70) and the counter electrode (60),
The discharge electrode (70) connects the discharge electrode body (70a) facing the counter electrode (60) and the power supply terminal section (35) of the voltage supply section (30). It is formed in a flat plate shape with the discharge side connection part (75) integrated,
The counter electrode (60) is connected to the counter electrode body (60a) facing the discharge electrode body (70a), and the counter electrode body (60a) is connected to the ground terminal portion (34) of the voltage supply section (30). On the other hand, the opposing side connection part (68) is formed in a flat plate shape integrated with the other,
The feeding terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are disposed on the same side with respect to the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a),
The discharge-side connection portion (75) and the opposite-side connection portion (68) are arranged away from each other in a direction intersecting with the opposite direction of the discharge electrode body (70a) and the opposite electrode body (60a),
The discharge electrode body (70a) is discharged between the electrode support part (71) formed in a rectangular shape and the counter electrode body (60a) protruding outward from the periphery of the electrode support part (71). A discharge needle (73)
The discharge-side connection portion (75) includes an offset plate portion (77) arranged to be offset in the protruding direction of the discharge needle (73) with respect to the discharge electrode body (70a),
At least a part of the offset plate portion (77) is disposed outward from the tip of the discharge needle (73).
ケーシング(21)と、
上記ケーシング(21)に収容される放電電極(70)及び対向電極(60)と、
上記ケーシング(21)に収容されて上記放電電極(70)と上記対向電極(60)の間に電位差を付与する電圧供給部(30)とを備えた放電ユニットであって、
上記放電電極(70)は、上記対向電極(60)と対向する放電電極本体(70a)と、該放電電極本体(70a)を上記電圧供給部(30)の給電端子部(35)に接続する放電側接続部(75)とが一体となった平板状に形成され、
上記対向電極(60)は、上記放電電極本体(70a)と対向する対向電極本体(60a)と、該対向電極本体(60a)を上記電圧供給部(30)のアース端子部(34)に接続する対向側接続部(68)とが一体となった平板状に形成される一方、
上記給電端子部(35)と上記アース端子部(34)は、上記放電電極本体(70a)及び上記対向電極本体(60a)に対して同じ側に配置され、
上記放電側接続部(75)と上記対向側接続部(68)は、上記放電電極本体(70a)と上記対向電極本体(60a)の対向方向と交わる方向に互いに離れて配置され、
上記ケーシング(21)には、該ケーシング(21)の内部空間を上記放電電極本体(70a)及び上記対向電極本体(60a)が配置される処理室(27)と上記電圧供給部(30)が配置される収容室(26)に仕切る仕切部(24)と、上記処理室(27)を上記ケーシング(21)の外部と連通させる通気口(28,29)とが形成され、
上記放電側接続部(75)及び上記対向側接続部(68)は、上記仕切部(24)を貫通するように設けられている
ことを特徴とする放電ユニット。
A casing (21);
A discharge electrode (70) and a counter electrode (60) housed in the casing (21);
A discharge unit comprising a voltage supply unit (30) that is accommodated in the casing (21) and applies a potential difference between the discharge electrode (70) and the counter electrode (60),
The discharge electrode (70) connects the discharge electrode body (70a) facing the counter electrode (60) and the power supply terminal section (35) of the voltage supply section (30). It is formed in a flat plate shape with the discharge side connection part (75) integrated,
The counter electrode (60) is connected to the counter electrode body (60a) facing the discharge electrode body (70a), and the counter electrode body (60a) is connected to the ground terminal portion (34) of the voltage supply section (30). On the other hand, the opposing side connection part (68) is formed in a flat plate shape integrated with the other,
The feeding terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are disposed on the same side with respect to the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a),
The discharge-side connection portion (75) and the opposite-side connection portion (68) are arranged away from each other in a direction intersecting with the opposite direction of the discharge electrode body (70a) and the opposite electrode body (60a),
The casing (21) includes a processing chamber (27) in which the discharge electrode main body (70a) and the counter electrode main body (60a) are disposed, and the voltage supply section (30) in the internal space of the casing (21). A partition (24) for partitioning the accommodation chamber (26) to be disposed, and a vent (28, 29) for communicating the processing chamber (27) with the outside of the casing (21),
The discharge unit, wherein the discharge side connection part (75) and the opposing side connection part (68) are provided so as to penetrate the partition part (24).
ケーシング(21)と、
上記ケーシング(21)に収容される放電電極(70)及び対向電極(60)と、
上記ケーシング(21)に収容されて上記放電電極(70)と上記対向電極(60)の間に電位差を付与する電圧供給部(30)とを備えた放電ユニットであって、
上記放電電極(70)は、上記対向電極(60)と対向する放電電極本体(70a)と、該放電電極本体(70a)を上記電圧供給部(30)の給電端子部(35)に接続する放電側接続部(75)とが一体となった平板状に形成され、
上記対向電極(60)は、上記放電電極本体(70a)と対向する対向電極本体(60a)と、該対向電極本体(60a)を上記電圧供給部(30)のアース端子部(34)に接続する対向側接続部(68)とが一体となった平板状に形成される一方、
上記給電端子部(35)と上記アース端子部(34)は、上記放電電極本体(70a)及び上記対向電極本体(60a)に対して同じ側に配置され、
上記放電側接続部(75)と上記対向側接続部(68)は、上記放電電極本体(70a)と上記対向電極本体(60a)の対向方向と交わる方向に互いに離れて配置され、
上記ケーシング(21)は、細長い直方体状に形成され、
上記放電電極(70)と上記対向電極(60)は、上記ケーシング(21)の長手方向と直交する該ケーシング(21)の厚さ方向に所定の間隔をおいて配置され、
上記給電端子部(35)と上記アース端子部(34)は、上記ケーシング(21)の厚さ方向及び長手方向と直交する該ケーシング(21)の幅方向に互いに離れて配置され、
上記放電側接続部(75)と上記対向側接続部(68)は、上記ケーシング(21)の厚さ方向と幅方向の両方に互いに離れて配置されている
ことを特徴とする放電ユニット。
A casing (21);
A discharge electrode (70) and a counter electrode (60) housed in the casing (21);
A discharge unit comprising a voltage supply unit (30) that is accommodated in the casing (21) and applies a potential difference between the discharge electrode (70) and the counter electrode (60),
The discharge electrode (70) connects the discharge electrode body (70a) facing the counter electrode (60) and the power supply terminal section (35) of the voltage supply section (30). It is formed in a flat plate shape with the discharge side connection part (75) integrated,
The counter electrode (60) is connected to the counter electrode body (60a) facing the discharge electrode body (70a), and the counter electrode body (60a) is connected to the ground terminal portion (34) of the voltage supply section (30). On the other hand, the opposing side connection part (68) is formed in a flat plate shape integrated with the other,
The feeding terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are disposed on the same side with respect to the discharge electrode body (70a) and the counter electrode body (60a),
The discharge-side connection portion (75) and the opposite-side connection portion (68) are arranged away from each other in a direction intersecting with the opposite direction of the discharge electrode body (70a) and the opposite electrode body (60a),
The casing (21) is formed in an elongated rectangular parallelepiped shape,
The discharge electrode (70) and the counter electrode (60) are arranged at a predetermined interval in the thickness direction of the casing (21) perpendicular to the longitudinal direction of the casing (21),
The power feeding terminal portion (35) and the ground terminal portion (34) are arranged apart from each other in the width direction of the casing (21) perpendicular to the thickness direction and the longitudinal direction of the casing (21),
The discharge unit, wherein the discharge-side connection portion (75) and the opposing-side connection portion (68) are disposed apart from each other in both the thickness direction and the width direction of the casing (21).
請求項3において、
上記ケーシング(21)は、該ケーシング(21)の厚さ方向において本体ケース部(22)と蓋部(23)に分割され、
上記放電電極(70)、上記対向電極(60)、及び上記電圧供給部(30)は、上記本体ケース部(22)に固定されている
ことを特徴とする放電ユニット。
In claim 3 ,
The casing (21) is divided into a body case part (22) and a lid part (23) in the thickness direction of the casing (21),
The discharge unit, wherein the discharge electrode (70), the counter electrode (60), and the voltage supply section (30) are fixed to the main body case section (22).
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