JP6048604B1 - Line pattern, light control member, and optical imaging member manufacturing method - Google Patents

Line pattern, light control member, and optical imaging member manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP6048604B1
JP6048604B1 JP2016048437A JP2016048437A JP6048604B1 JP 6048604 B1 JP6048604 B1 JP 6048604B1 JP 2016048437 A JP2016048437 A JP 2016048437A JP 2016048437 A JP2016048437 A JP 2016048437A JP 6048604 B1 JP6048604 B1 JP 6048604B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light control
line pattern
control member
resin film
linear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016048437A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2017161843A (en
Inventor
川島 直之
直之 川島
芳徳 木下
芳徳 木下
工藤 和生
和生 工藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JSR Corp filed Critical JSR Corp
Priority to JP2016048437A priority Critical patent/JP6048604B1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6048604B1 publication Critical patent/JP6048604B1/en
Publication of JP2017161843A publication Critical patent/JP2017161843A/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Stereoscopic And Panoramic Photography (AREA)

Abstract

【課題】互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンをインプリント法により製造する方法において、前記パターンが形成される熱可塑性樹脂膜と、前記パターンの形状に対応する凹凸パターンを有する凹凸部材との分離性に優れた方法を提供する。【解決手段】光制御部材におけるラインパターンの製造方法であり、熱可塑性樹脂膜に、前記ラインパターンの形状に対応する凹凸パターンを有し、フッ素原子およびケイ素原子から選ばれる少なくとも1種を含む化合物により前記樹脂膜と接触する凹凸パターン表面が表面処理された凹凸部材を押圧する工程(a)、ここで、前記樹脂膜を加熱しながらまたは前記樹脂膜が加熱された状態で前記押圧を行い、ならびに前記樹脂膜から前記凹凸部材を分離して、前記ラインパターンを得る工程(b)を有するラインパターンの製造方法。【選択図】図1In a method for manufacturing a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other by an imprint method, a thermoplastic resin film on which the pattern is formed, and an uneven pattern corresponding to the shape of the pattern are provided. A method excellent in separability from an uneven member is provided. A method for producing a line pattern in a light control member, comprising a thermoplastic resin film having a concavo-convex pattern corresponding to the shape of the line pattern and comprising at least one selected from fluorine atoms and silicon atoms Pressing the concavo-convex member whose surface is subjected to surface treatment of the concavo-convex pattern surface in contact with the resin film, wherein the pressing is performed while the resin film is heated or while the resin film is heated, And the manufacturing method of the line pattern which has the process (b) which isolate | separates the said uneven | corrugated member from the said resin film, and obtains the said line pattern. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、光制御部材が有するラインパターンの製造方法に関し、より詳しくは、互いに平行配置された複数の平面状の光反射部(光反射面)を有する光制御部材が有するラインパターンの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a line pattern included in a light control member, and more specifically, a method for manufacturing a line pattern included in a light control member having a plurality of planar light reflecting portions (light reflecting surfaces) arranged in parallel to each other. About.

物体表面から放射された光を用いて、前記物体の像を空中に形成する立体像表示装置が知られている(特許文献1参照)。立体像表示装置の一例は、互いに平行配置された複数の平面状の光反射部を一定間隔で内部に有する光制御部材を2つ備える。これらの光制御部材(第1および第2の光制御部材)は、それぞれの平面状の光反射部を直交させた状態で向かい合わせて配置されている。   A stereoscopic image display device that forms an image of the object in the air using light emitted from the object surface is known (see Patent Document 1). An example of the stereoscopic image display device includes two light control members each having a plurality of planar light reflecting portions arranged in parallel with each other at regular intervals. These light control members (first and second light control members) are arranged to face each other in a state where the respective planar light reflection portions are orthogonal to each other.

第1の光制御部材の平面状の光反射部に物体からの光を入射させ、前記光反射部で反射した反射光を第2の光制御部材の平面状の光反射部で再度反射させる。ここで得られた反射光によって、前記物体の像を、この立体像表示装置の反対側に表示する。   Light from the object is incident on the planar light reflecting portion of the first light control member, and the reflected light reflected by the light reflecting portion is reflected again by the planar light reflecting portion of the second light control member. The image of the object is displayed on the opposite side of the stereoscopic image display device by the reflected light obtained here.

上記立体像表示装置において、平面状の光反射部を一定間隔で複数有する光制御部材を用意する必要がある。前記光制御部材は、両面または片面に光反射部を有する透明基板を、接着剤を用いて積層し、得られた積層体を一定幅で切断することにより、得ることができる。しかしながら、前記方法はコストが高い。   In the stereoscopic image display device, it is necessary to prepare a light control member having a plurality of planar light reflecting portions at regular intervals. The said light control member can be obtained by laminating | stacking the transparent substrate which has a light reflection part on both surfaces or one side using an adhesive agent, and cut | disconnecting the obtained laminated body by fixed width. However, the method is expensive.

上記問題に対して、凹凸部材を対象塗膜に押圧してパターンを形成するインプリント法により基板上に複数の凸部を形成し、前記凸部の側面に光反射部を形成する方法が提案されている(特許文献2参照)。特許文献2に記載の方法では、インプリント法により複数の凸部に加工される熱可塑性樹脂板を用意し、前記樹脂板の表面上にSiO2からなる脆性硬質皮膜を形成し、脆性硬質皮膜が形成された前記樹脂板に凹凸パターンを有する部材を押圧する方法が記載されている。しかしながら、前記方法では、凹凸部との分離の際にラインパターンが変形するという点で、さらなる改善が必要である。 To solve the above problem, a method is proposed in which a plurality of convex portions are formed on a substrate by an imprint method in which a concavo-convex member is pressed against a target coating film to form a pattern, and a light reflecting portion is formed on a side surface of the convex portion (See Patent Document 2). In the method described in Patent Document 2, a thermoplastic resin plate that is processed into a plurality of convex portions by an imprint method is prepared, and a brittle hard coating made of SiO 2 is formed on the surface of the resin plate. Describes a method of pressing a member having a concavo-convex pattern on the resin plate on which is formed. However, the above method requires further improvement in that the line pattern is deformed upon separation from the concavo-convex portion.

特許第4865088号公報Japanese Patent No. 4865088 特開2015−014777号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-014777

本発明は、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンをインプリント法により製造する方法において、前記パターンが形成される熱可塑性樹脂膜と、前記ラインパターンの形状に対応する凹凸パターンを有する凹凸部材との分離性(離型性)に優れた方法を提供することを課題とする。   The present invention relates to a method for producing a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other by an imprint method, and a thermoplastic resin film on which the pattern is formed, and an uneven pattern corresponding to the shape of the line pattern It is an object of the present invention to provide a method excellent in releasability (releasability) from a concavo-convex member having a surface.

本発明者らは上記課題を解決するため鋭意検討を行った。その結果、以下に記載の方法により上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち本発明は、例えば以下の[1]〜[12]に関する。   The present inventors have intensively studied to solve the above problems. As a result, the inventors have found that the above problems can be solved by the method described below, and have completed the present invention. That is, the present invention relates to the following [1] to [12], for example.

[1]互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有する光制御部材における前記ラインパターンの製造方法であり、熱可塑性樹脂膜に、前記ラインパターンの形状に対応する凹凸パターンを有し、フッ素原子およびケイ素原子から選ばれる少なくとも1種を含む化合物により前記樹脂膜と接触する凹凸パターン表面が表面処理された凹凸部材を押圧する工程(a)、ここで、前記樹脂膜を加熱しながらまたは前記樹脂膜が加熱された状態で前記押圧を行い;ならびに前記樹脂膜から前記凹凸部材を分離して、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンを得る工程(b)を有することを特徴とするラインパターンの製造方法。   [1] A method for producing the line pattern in a light control member having a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other and a light reflecting surface formed on a side surface of the linear member, and having thermoplasticity A concavo-convex member having a concavo-convex pattern corresponding to the shape of the line pattern on the resin film, the concavo-convex pattern surface contacting the resin film with a compound containing at least one selected from fluorine atoms and silicon atoms. Pressing step (a), wherein the pressing is performed while heating the resin film or while the resin film is heated; and the concavo-convex members are separated from the resin film and arranged parallel to each other. A method for producing a line pattern comprising the step (b) of obtaining a line pattern comprising a plurality of linear members.

[2]前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂が、環状オレフィン樹脂、(メタ)アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂およびポリ塩化ビニル樹脂から選ばれる少なくとも1種である前記[1]のラインパターンの製造方法。   [2] The thermoplastic resin constituting the resin film is at least one selected from cyclic olefin resins, (meth) acrylic resins, polyester resins, polystyrene resins, polycarbonate resins, and polyvinyl chloride resins. Line pattern manufacturing method.

[3]前記化合物が、フッ素原子含有化合物、ケイ素原子含有化合物、ならびにフッ素原子およびケイ素原子含有化合物から選ばれる少なくとも1種である前記[1]または[2]のラインパターンの製造方法。   [3] The method for producing a line pattern according to [1] or [2], wherein the compound is at least one selected from a fluorine atom-containing compound, a silicon atom-containing compound, and a fluorine atom and a silicon atom-containing compound.

[4]表面処理された凹凸パターン表面の、荷重200g、引張速度100mm/minの条件でのJIS K7125による動摩擦係数が、0.30以下である前記[1]〜[3]のいずれか1項のラインパターンの製造方法。   [4] Any one of the above-mentioned [1] to [3], wherein the surface-treated uneven pattern surface has a dynamic friction coefficient according to JIS K7125 under conditions of a load of 200 g and a tensile speed of 100 mm / min of 0.30 or less. Line pattern manufacturing method.

[5]前記凹凸パターンを有する凹凸部材を、0.1〜30.0MPaの範囲で、前記樹脂膜に押圧する前記[1]〜[4]のいずれか1項のラインパターンの製造方法。   [5] The method for producing a line pattern according to any one of [1] to [4], wherein the uneven member having the uneven pattern is pressed against the resin film in a range of 0.1 to 30.0 MPa.

[6]工程(a)において、前記樹脂膜を、前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度以上の温度に加熱し、工程(b)における分離前に、前記樹脂膜を、前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度未満の温度に冷却する前記[1]〜[5]のいずれか1項のラインパターンの製造方法。   [6] In the step (a), the resin film is heated to a temperature equal to or higher than the glass transition temperature of the thermoplastic resin constituting the resin film, and the resin film is separated from the resin before separation in the step (b). The method for producing a line pattern according to any one of [1] to [5], wherein the thermoplastic resin constituting the film is cooled to a temperature lower than the glass transition temperature.

[7]前記線状部材の高さが、50μm以上である前記[1]〜[6]のいずれか1項のラインパターンの製造方法。   [7] The line pattern manufacturing method according to any one of [1] to [6], wherein the linear member has a height of 50 μm or more.

[8]前記線状部材の断面形状が矩形状である前記[1]〜[7]のいずれか1項のラインパターンの製造方法。   [8] The method for producing a line pattern according to any one of [1] to [7], wherein the cross-sectional shape of the linear member is rectangular.

[9]前記[1]〜[8]のいずれか1項の方法によりラインパターンを形成する工程(1)と、前記線状部材の側面に光反射面を形成する工程(2)とを有することを特徴とする光制御部材の製造方法。   [9] The method includes the step (1) of forming a line pattern by the method according to any one of [1] to [8] and the step (2) of forming a light reflecting surface on the side surface of the linear member. A method of manufacturing a light control member.

[10]前記線状部材間に透明部材を形成する工程(3)をさらに有する前記[9]の光制御部材の製造方法。   [10] The method for manufacturing a light control member according to [9], further including a step (3) of forming a transparent member between the linear members.

[11]互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有する光制御部材を備える光学結像部材の製造方法であり、前記光制御部材を、前記[9]または[10]の方法により製造することを特徴とする光学結像部材の製造方法。   [11] A method for producing an optical imaging member comprising a light control member having a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other and a light reflecting surface formed on a side surface of the linear member, A method of manufacturing an optical imaging member, wherein the light control member is manufactured by the method of [9] or [10].

[12]第1の光制御部材および第2の光制御部材を備える光学結像部材の製造方法であり、ここで第1の光制御部材および第2の光制御部材は、それぞれ、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有しており、第1の光制御部材および第2の光制御部材の少なくとも一方を、前記[9]または[10]の方法により製造し、続いて、第1の光制御部材および第2の光制御部材を、各々が有するラインパターンが光制御部材の上方から視た場合に交差した状態で配置することを特徴とする光学結像部材の製造方法。   [12] A method of manufacturing an optical imaging member comprising a first light control member and a second light control member, wherein the first light control member and the second light control member are arranged in parallel with each other. A line pattern composed of a plurality of linear members and a light reflecting surface formed on a side surface of the linear member, and at least one of the first light control member and the second light control member , Manufactured by the method of [9] or [10], and then intersecting the first light control member and the second light control member when the line pattern of each of the first light control member and the second light control member is viewed from above the light control member. A method for producing an optical imaging member, wherein the optical imaging member is arranged in a state where the optical imaging member is disposed.

本発明によれば、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンをインプリント法により製造する方法において、前記パターンが形成される熱可塑性樹脂膜と、前記ラインパターンの形状に対応する凹凸パターンを有する凹凸部材との分離性(離型性)に優れた方法を提供することができ、したがって高いアスペクト比を有する線状部材を形成することができる。前記線状部材の側面に光反射面を形成することで、互いに平行配置された複数の平面状の光反射部(光反射面)を有する光制御部材を提供することができる。   According to the present invention, in a method of manufacturing a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other by an imprint method, the thermoplastic resin film on which the pattern is formed and the shape of the line pattern correspond to A method excellent in separability (releasing properties) from the concavo-convex member having the concavo-convex pattern can be provided, and thus a linear member having a high aspect ratio can be formed. By forming a light reflecting surface on the side surface of the linear member, it is possible to provide a light control member having a plurality of planar light reflecting portions (light reflecting surfaces) arranged in parallel to each other.

図1Aは、透明基板と、前記透明基板上に形成されたラインパターンとを有する部材の斜視図であり、図1Bは、前記部材の上視図であり、図1Cは、前記上視図におけるAA線断面図である。FIG. 1A is a perspective view of a member having a transparent substrate and a line pattern formed on the transparent substrate, FIG. 1B is a top view of the member, and FIG. 1C is the top view. It is AA sectional view. 図2は、光制御部材の一実施形態の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of an embodiment of a light control member. 図3Aは、光学結像部材の斜視図であり、図3Bは、第1の光制御部材の透明部材を切断するYZ平面における前記光学結像部材の断面図であり、図3Cは、第2の光制御部材の透明部材を切断するXZ平面における前記光学結像部材の断面図である。3A is a perspective view of the optical imaging member, FIG. 3B is a cross-sectional view of the optical imaging member in the YZ plane for cutting the transparent member of the first light control member, and FIG. It is sectional drawing of the said optical imaging member in the XZ plane which cut | disconnects the transparent member of the light control member.

以下、本発明を実施するための形態について説明する。
〔ラインパターンの製造方法〕
本発明のラインパターンの製造方法は、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有する光制御部材における前記ラインパターンの製造方法であり、好ましくは前記光制御部材を備える光学結像部材における前記ラインパターンの製造方法であり、
熱可塑性樹脂膜に、凹凸部材を押圧する工程(a)、ここで、前記樹脂膜を加熱しながらまたは前記樹脂膜が加熱された状態で前記押圧を行い;および、前記樹脂膜から前記凹凸部材を分離して、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンを得る工程(b)を有する。前記凹凸部材は、前記ラインパターンの形状に対応する凹凸パターンを有する。前記樹脂膜と接触する凹凸パターン表面は、フッ素原子およびケイ素原子から選ばれる少なくとも1種を含む化合物により、表面処理されている。
Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described.
[Line pattern manufacturing method]
The method for producing a line pattern according to the present invention includes: a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other; and a light pattern formed on a side surface of the linear member. A production method, preferably a production method of the line pattern in an optical imaging member comprising the light control member,
A step (a) of pressing the concavo-convex member against the thermoplastic resin film, wherein the pressing is performed while the resin film is heated or while the resin film is heated; and from the resin film to the concavo-convex member. (B) to obtain a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other. The uneven member has an uneven pattern corresponding to the shape of the line pattern. The concavo-convex pattern surface in contact with the resin film is surface-treated with a compound containing at least one selected from fluorine atoms and silicon atoms.

前記線状部材は、各々の線状部材が互いに平行な側面を少なくとも1つ有する構成であればよく、その断面形状として例えば矩形状、三角形状が挙げられるが、歩留りの観点から、矩形状であることが好ましい。三角形状の場合、例えば、基板面に対して垂直面を有する形状が挙げられる。   The linear member may have any configuration as long as each linear member has at least one side surface parallel to each other, and examples of the cross-sectional shape thereof include a rectangular shape and a triangular shape. From the viewpoint of yield, the linear member has a rectangular shape. Preferably there is. In the case of a triangular shape, for example, a shape having a vertical surface with respect to the substrate surface can be mentioned.

以下、線状部材の構造、その断面および側面、ならびにラインパターンの構造について、図1を参照しながら説明する。図1Aは、透明基板10と、前記透明基板10上に形成された、複数の線状部材21からなるラインパターン20とを有する部材1の斜視図であり、図1Bは、前記部材1の上視図であり、図1Cは、前記上視図におけるAA線断面図である。   Hereinafter, the structure of the linear member, its cross section and side surfaces, and the structure of the line pattern will be described with reference to FIG. FIG. 1A is a perspective view of a member 1 having a transparent substrate 10 and a line pattern 20 made of a plurality of linear members 21 formed on the transparent substrate 10, and FIG. FIG. 1C is a cross-sectional view taken along line AA in the top view.

線状部材21の断面とは、線状部材21の延びる方向(図1AにおいてX軸方向)に対して垂直な断面(図1AにおいてYZ平面)である。線状部材21の断面形状は、矩形状であることが好ましい。線状部材21の側面とは、線状部材21が互いに向き合う面であり、図1Aでは長手方向の側面であり、図1AおよびCにおいて符号22で示す面である。複数の線状部材21は、互いに長手方向が平行になるよう配置されている。ラインパターン20は、複数の線状部材21を有する。線状部材21の数は特に限定されない。   The cross section of the linear member 21 is a cross section (YZ plane in FIG. 1A) perpendicular to the extending direction of the linear member 21 (X-axis direction in FIG. 1A). The cross-sectional shape of the linear member 21 is preferably rectangular. The side surface of the linear member 21 is a surface where the linear members 21 face each other, the side surface in the longitudinal direction in FIG. 1A, and the surface indicated by reference numeral 22 in FIGS. The plurality of linear members 21 are arranged so that their longitudinal directions are parallel to each other. The line pattern 20 has a plurality of linear members 21. The number of the linear members 21 is not particularly limited.

本発明では、いわゆる熱インプリント法を用いるため、フォトリソグラフィー法で必要とされる現像工程を行うことなく所望のラインパターンを形成でき、また、フォトリソグラフィー法よりも高いアスペクト比を有する線状部材からなるラインパターンを形成しやすい。   In the present invention, since a so-called thermal imprint method is used, a desired line pattern can be formed without performing a development step required in the photolithography method, and the linear member has an aspect ratio higher than that of the photolithography method. It is easy to form a line pattern consisting of

[工程(a)]
工程(a)では、前記ラインパターンの形状に対応する凹凸パターン、すなわち前記ラインパターンの相補的パターンを有する部材(以下「凹凸部材」ともいう)を熱可塑性樹脂膜に押圧する。工程(a)〜(b)を経ることにより、前記凹凸パターンを前記熱可塑性樹脂膜に転写する。
[Step (a)]
In the step (a), a concavo-convex pattern corresponding to the shape of the line pattern, that is, a member having a complementary pattern of the line pattern (hereinafter also referred to as “concave member”) is pressed against the thermoplastic resin film. The concavo-convex pattern is transferred to the thermoplastic resin film through the steps (a) to (b).

《凹凸部材》
凹凸部材としては、例えば、ラインパターンの形状に対応する、凸部および凹部をそれぞれ複数有する部材(モールド)を用いる。凹凸部材の凸部および凹部は、例えば矩形状、三角形状が挙げられるが、矩形状であることが好ましい。
<Uneven member>
As the concavo-convex member, for example, a member (mold) having a plurality of convex portions and concave portions corresponding to the shape of the line pattern is used. As for the convex part and concave part of an uneven | corrugated member, although rectangular shape and a triangular shape are mentioned, for example, it is preferable that it is a rectangular shape.

前記凹凸部材は、例えば、鉄、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、シリコンまたはこれらの2種以上の合金(例:ステンレス鋼)等の金属材料によって構成することができ、また、樹脂、ガラス、石英、セラミック等の非金属材料によって構成することもできる。シリコン、石英等からなる凹凸部材をマスターモールドとして用いて得られた樹脂製レプリカモールドであってもよい。凹凸部材は、板状であってもロール状であってもよい。   The concavo-convex member can be made of, for example, a metal material such as iron, copper, aluminum, titanium, nickel, silicon, or an alloy of two or more of these (eg, stainless steel), and can be made of resin, glass, quartz It can also be made of a non-metallic material such as ceramic. A resin replica mold obtained by using an uneven member made of silicon, quartz or the like as a master mold may be used. The uneven member may be plate-shaped or roll-shaped.

凹凸部材は、従来公知の方法により製造することができる。
凹凸部材は、熱可塑性樹脂膜と接触する表面、すなわち凹凸パターン表面が、フッ素原子およびケイ素原子から選ばれる少なくとも1種を含む化合物(以下「離型性化合物」ともいう)により表面処理(離型処理)されている。凹凸部材の一実施態様は、熱可塑性樹脂膜と接触する表面が離型膜となっており、離型性化合物由来の離型膜の膜厚は例えば1〜100nmであり、膜厚はX線光電子分光分析(XPS)により測定することができる。凹凸部材表面を前記表面処理することにより、熱可塑性樹脂膜でも凹凸部材から容易に分離することができる。
The uneven member can be produced by a conventionally known method.
The concavo-convex member is a surface treatment (releasing mold) with a compound (hereinafter also referred to as “releasing compound”) in which the surface in contact with the thermoplastic resin film, that is, the concavo-convex pattern surface, contains at least one selected from fluorine atoms and silicon atoms. Processing). In one embodiment of the concavo-convex member, the surface in contact with the thermoplastic resin film is a release film, the thickness of the release film derived from the release compound is, for example, 1 to 100 nm, and the thickness is X-ray. It can be measured by photoelectron spectroscopy (XPS). By subjecting the surface of the concavo-convex member to the surface treatment, even a thermoplastic resin film can be easily separated from the concavo-convex member.

表面処理は、例えば、凹凸パターン表面に離型性化合物を、ディップコート、スピンコート、スプレー、蒸着等の方法により接触させて行う。ここで、離型性化合物が相溶または溶解する、炭化水素溶剤、アルコール溶剤、エステル溶剤、フッ素系溶剤等の有機溶剤で前記化合物が希釈または溶解されたものを用いてもよい。例えば、凹凸パターン表面へ離型性化合物またはその溶液を塗布し、50〜200℃で1〜60分間の熱処理を行う。前記接触処理に続いて、凹凸パターン表面を、さらにリンス処理してもよい。リンス処理には、例えば、パーフルオロヘキサン、ハイドロフルオロエーテル等のフッ素系溶剤、酢酸エチル等のエステル溶剤などの有機溶剤を用いることができる。   The surface treatment is performed, for example, by bringing a release compound into contact with the surface of the concavo-convex pattern by a method such as dip coating, spin coating, spraying or vapor deposition. Here, you may use what the said compound diluted or melt | dissolved with organic solvents, such as a hydrocarbon solvent, alcohol solvent, ester solvent, and a fluorine-type solvent with which a mold release compound is compatible or melt | dissolved. For example, a releasable compound or a solution thereof is applied to the concavo-convex pattern surface, and heat treatment is performed at 50 to 200 ° C. for 1 to 60 minutes. Subsequent to the contact treatment, the concavo-convex pattern surface may be further rinsed. For the rinsing treatment, for example, a fluorine-based solvent such as perfluorohexane or hydrofluoroether, or an organic solvent such as an ester solvent such as ethyl acetate can be used.

凹凸部材の前記表面処理後における、JIS K7125(荷重200g、引張速度100mm/min)による凹凸パターン表面の動摩擦係数は、好ましくは0.30以下、より好ましくは0.25以下、さらに好ましくは0.20以下である。動摩擦係数の下限は、特に限定されないが、例えば0.01である。凹凸パターン表面の動摩擦係数は、例えば、凹凸部材におけるパターンが形成されていない、前記表面処理後の平坦部について測定し、評価することができる。動摩擦係数が前記範囲にあると、樹脂膜と凹凸部材との分離性がより向上する。動摩擦係数は、例えば、離型性化合物の種類、離型処理時間により、前記範囲に調整することができる。   After the surface treatment of the concavo-convex member, the dynamic friction coefficient of the concavo-convex pattern surface according to JIS K7125 (load 200 g, tensile speed 100 mm / min) is preferably 0.30 or less, more preferably 0.25 or less, and still more preferably 0.00. 20 or less. Although the minimum of a dynamic friction coefficient is not specifically limited, For example, it is 0.01. The coefficient of dynamic friction on the surface of the concavo-convex pattern can be measured and evaluated, for example, for a flat portion after the surface treatment in which the pattern on the concavo-convex member is not formed. When the dynamic friction coefficient is within the above range, the separability between the resin film and the concavo-convex member is further improved. The dynamic friction coefficient can be adjusted to the above range by, for example, the type of the releasable compound and the release treatment time.

凹凸部材の前記表面処理後における、熱可塑性樹脂膜との接触面は、表面フッ素濃度が35atomic%以上であることが好ましく、より好ましくは40〜90atomic%、さらに好ましくは50〜90atomic%であり、または、表面シリコン濃度が15atomic%以上であることが好ましく、より好ましくは18〜90atomic%、さらに好ましくは20〜90atomic%である。ここで、前記接触面での表面フッ素濃度および表面シリコン濃度は、少なくともいずれか一方が前記下限値以上にあることが好ましい。前記表面濃度は、X線光電子分光分析装置を用いて測定できる。表面濃度が前記範囲にあると、樹脂膜と凹凸部材との分離性がより向上する。   The contact surface with the thermoplastic resin film after the surface treatment of the concavo-convex member preferably has a surface fluorine concentration of 35 atomic% or more, more preferably 40 to 90 atomic%, still more preferably 50 to 90 atomic%, Alternatively, the surface silicon concentration is preferably 15 atomic% or more, more preferably 18 to 90 atomic%, and still more preferably 20 to 90 atomic%. Here, at least one of the surface fluorine concentration and the surface silicon concentration at the contact surface is preferably equal to or higher than the lower limit value. The surface concentration can be measured using an X-ray photoelectron spectrometer. When the surface concentration is in the above range, the separation between the resin film and the concavo-convex member is further improved.

離型性化合物としては、例えば、フッ素原子含有化合物、ケイ素原子含有化合物、フッ素原子およびケイ素原子含有化合物が挙げられる。これらの化合物は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Examples of the releasable compound include a fluorine atom-containing compound, a silicon atom-containing compound, a fluorine atom and a silicon atom-containing compound. These compounds may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

ケイ素原子を含まないフッ素原子含有化合物としては、例えば、フッ化ビニルエーテル及びその重合体が挙げられる。フッ化ビニルエーテルとしては、具体的には、CF2=CF−O−(R1−O)n−R2で表される化合物が挙げられる。前記式中、R1は水素原子の少なくとも一部がフッ素原子により置換されてもよい炭素数2〜8のアルキレン基であり、R2は水素原子の少なくとも一部がフッ素原子により置換されてもよい炭素数1〜18のアルキル基であり、nは0または1である。例えば、パーフルオロビニルエチルエーテル、パーフルオロビニルプロピルエーテル、パーフルオロ−2−プロポキシ−プロピルビニルエーテルが挙げられる。 As a fluorine atom containing compound which does not contain a silicon atom, fluoride vinyl ether and its polymer are mentioned, for example. Specific examples of the vinyl fluoride ether include compounds represented by CF 2 ═CF—O— (R 1 —O) n —R 2 . In the above formula, R 1 is an alkylene group having 2 to 8 carbon atoms in which at least a part of hydrogen atoms may be substituted with fluorine atoms, and R 2 may be substituted with at least a part of hydrogen atoms by fluorine atoms. It is a good alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, and n is 0 or 1. For example, perfluorovinyl ethyl ether, perfluoro vinyl propyl ether, perfluoro-2-propoxy-propyl vinyl ether may be mentioned.

また、ポリフルオロポリエーテルも挙げられる。ポリフルオロポリエーテルの末端は、例えば、ヒドロキシル基、ヒドロキシアルキル基、ジヒドロキシアルコキシアルキル基、ヒドロキシ(ポリアルキレンオキシ)アルキル基、カルボキシル基およびそのエステル化物を有してもよい。ポリフルオロポリエーテルは、具体的には、炭素数1〜8のフッ化アルキレンオキシ基を繰返し構造として有する。ポリフルオロポリエーテルの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定され、通常は100〜5000である。ポリフルオロポリエーテルの市販品としては、例えば、ソルベイ社製FLUOROLINK(登録商標)シリーズが挙げられる。   Polyfluoropolyether is also mentioned. The terminal of the polyfluoropolyether may have, for example, a hydroxyl group, a hydroxyalkyl group, a dihydroxyalkoxyalkyl group, a hydroxy (polyalkyleneoxy) alkyl group, a carboxyl group, and an esterified product thereof. Specifically, the polyfluoropolyether has a fluorinated alkyleneoxy group having 1 to 8 carbon atoms as a repeating structure. The weight average molecular weight of the polyfluoropolyether is measured by a gel permeation chromatography method and is usually 100 to 5,000. Examples of commercially available products of polyfluoropolyether include the FLUOROLINK (registered trademark) series manufactured by Solvay.

フッ素原子を含まないケイ素原子含有化合物としては、例えば、フッ素原子を有しない非フッ素系シラン化合物が挙げられ、具体的には下記式(1)においてa=0かつb=0〜3の整数に変更した化合物が挙げられる。   Examples of silicon atom-containing compounds that do not contain fluorine atoms include non-fluorinated silane compounds that do not contain fluorine atoms. Specifically, in the following formula (1), a = 0 and b = 0 to 3 are integers. Modified compounds are mentioned.

また、シリコーンも挙げられ、例えば、未変性または変性のシリコーンオイル、シリコーンゴム、シリコーンレジン、前記レジンの低分子量体であるシリコーンオリゴマーが挙げられる。未変性シリコーンオイルとしては、例えば、ジメチルポリシロキサン等のポリシロキサンが挙げられる。変性シリコーンオイルとしては、ジメチルポリシロキサン等のポリシロキサンの側鎖および/または末端を変性した変性シリコーンオイルが好ましく、例えば、アミノ変性、エポキシ変性、カルボキシル変性、カルビノール変性、(メタ)アクリル変性、ビニル変性、メルカプト変性もしくはフェノール変性された、またはこれらの2種以上で変性された反応性シリコーンオイル;ポリエーテル変性されたシリコーンオイル等の非反応性シリコーンオイルが挙げられる。シリコーンオリゴマーとしては、例えば、シリコーンアルコキシオリゴマーが挙げられ、その重量平均分子量の上限は例えば50000であり、一実施態様では上限は20000である。   Moreover, silicone is also exemplified, and examples thereof include unmodified or modified silicone oil, silicone rubber, silicone resin, and silicone oligomer which is a low molecular weight product of the resin. Examples of the unmodified silicone oil include polysiloxanes such as dimethylpolysiloxane. The modified silicone oil is preferably a modified silicone oil in which the side chain and / or terminal of polysiloxane such as dimethylpolysiloxane is modified, such as amino modification, epoxy modification, carboxyl modification, carbinol modification, (meth) acryl modification, Examples include reactive silicone oils modified with vinyl, mercapto or phenol, or modified with two or more of these; non-reactive silicone oils such as polyether-modified silicone oils. As a silicone oligomer, a silicone alkoxy oligomer is mentioned, for example, The upper limit of the weight average molecular weight is 50000, for example, and in one embodiment, an upper limit is 20000.

シリコーンの市販品としては、例えば、サイラプレーンFM−33シリーズ、FM−44シリーズ、FM−77シリーズ、FM−04シリーズ、FM−DAシリーズ、FM−07シリーズ(JNC(株)製)、KR−500、KR−510、KR−513,KR−515、KR−516、KR−517、X−40シリーズ、X−41シリーズ(信越シリコーン(株)製)が挙げられる。   Commercially available silicone products include, for example, Silaplane FM-33 series, FM-44 series, FM-77 series, FM-04 series, FM-DA series, FM-07 series (manufactured by JNC Corporation), KR- 500, KR-510, KR-513, KR-515, KR-516, KR-517, X-40 series, X-41 series (manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.).

フッ素原子およびケイ素原子含有化合物としては、例えば、フッ素系シラン化合物が挙げられ、具体的には下記式(1)で表される化合物が挙げられる。   As a fluorine atom and a silicon atom containing compound, a fluorine-type silane compound is mentioned, for example, Specifically, the compound represented by following formula (1) is mentioned.

Figure 0006048604
式(1)中、R1およびR3は、それぞれ独立に炭素数1〜10のアルキル基または炭素数3〜10のシクロアルキル基であり;R2は、含フッ素アルキル基、含フッ素シクロアルキル基、含フッ素アルコキシアルキル基、含フッ素シクロアルキルオキシアルキル基または含フッ素ポリ(アルキレンオキシ)アルキル基であり;aは1〜3の整数であり、bは0〜2の整数であり、ただし、a+b=1〜3である。R1〜R3がそれぞれ複数存在する場合には、その複数のR1〜R3は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。
Figure 0006048604
In formula (1), R 1 and R 3 are each independently an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms; R 2 is a fluorine-containing alkyl group or fluorine-containing cycloalkyl. A group, a fluorine-containing alkoxyalkyl group, a fluorine-containing cycloalkyloxyalkyl group or a fluorine-containing poly (alkyleneoxy) alkyl group; a is an integer of 1 to 3, and b is an integer of 0 to 2, provided that a + b = 1-3. When a plurality of R 1 to R 3 are present, the plurality of R 1 to R 3 may be the same as or different from each other.

上述の各含フッ素基は、それぞれアルキル基、シクロアルキル基、アルコキシアルキル基、シクロアルキルオキシアルキル基、およびポリ(アルキレンオキシ)アルキル基中の1又は2以上の水素原子をフッ素原子に置換した基を意味する。含フッ素アルキル基の炭素数は1〜20が好ましく、含フッ素シクロアルキル基の炭素数は3〜20が好ましく、含フッ素アルコキシアルキル基の炭素数は2〜20が好ましく、含フッ素シクロアルキルオキシアルキル基の炭素数は4〜20が好ましい。含フッ素ポリ(アルキレンオキシ)アルキル基は、例えば−(AO)n−R(式中、nは2以上の整数、好ましくは5〜50の整数であり、Aは炭素数1以上、好ましくは1〜6のアルキレン基、Rは炭素数1〜18のアルキル基、好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基である)で表される基において1又は2以上の水素原子をフッ素原子に置換した基が好ましい。 Each fluorine-containing group described above is a group in which one or more hydrogen atoms in an alkyl group, a cycloalkyl group, an alkoxyalkyl group, a cycloalkyloxyalkyl group, and a poly (alkyleneoxy) alkyl group are substituted with fluorine atoms. Means. The fluorine-containing alkyl group preferably has 1 to 20 carbon atoms, the fluorine-containing cycloalkyl group preferably has 3 to 20 carbon atoms, the fluorine-containing alkoxyalkyl group preferably has 2 to 20 carbon atoms, and the fluorine-containing cycloalkyloxyalkyl group. As for carbon number of group, 4-20 are preferable. The fluorine-containing poly (alkyleneoxy) alkyl group is, for example,-(AO) n -R (wherein n is an integer of 2 or more, preferably an integer of 5 to 50, and A is 1 or more carbon atoms, preferably 1 A group in which one or two or more hydrogen atoms are substituted with fluorine atoms in a group represented by -6 alkylene group, R is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, preferably a methyl group, an ethyl group, or a propyl group. Is preferred.

フッ素系シラン化合物としては、具体的には、パーフルオロドデシル−1H,1H,2H,2H−トリメトキシシラン、パーフルオロテトラデシル−1H,1H,2H,2H−トリメトキシシラン、(ヘプタデカフルオロ−1,1,2,2−テトラヒドロデシル)−トリメトキシシラン、(トリデカフルオロ−1,1,2,2−テトラヒドロオクチル)−トリメトキシシラン、(ノナフルオロ−1,1,2,2−テトラヒドロヘキシル)−トリメトキシシラン、(ヘプタフルオロ−1,1,2,2−テトラヒドロペンチル)−トリメトキシシラン、(3,3,3−トリフルオロプロピル)ジメチルメトキシシラン、(3,3,3−トリフルオロプロピル)メチルジメトキシシラン、(3,3,3−トリフルオロプロピル)トリメトキシシラン、パーフルオロプロピルトリメトキシシラン、5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10−トリデカフルオロ−2−(パーフルオロヘキシル)デシルトリメトキシシラン、3−(パーフルオロシクロヘキシルオキシ)プロピルトリメトキシシラン、パーフルオロポリエーテル系トリメトキシシランが挙げられ、また上記化合物中の「メトキシ」を「エトキシ」に変更した化合物も挙げることができる。フッ素系シラン化合物の商品名としては、例えば、ダイキン工業(株)製オプツールHD−1100THが挙げられる。   Specific examples of the fluorine-based silane compound include perfluorododecyl-1H, 1H, 2H, 2H-trimethoxysilane, perfluorotetradecyl-1H, 1H, 2H, 2H-trimethoxysilane, (heptadecafluoro- 1,1,2,2-tetrahydrodecyl) -trimethoxysilane, (tridecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrooctyl) -trimethoxysilane, (nonafluoro-1,1,2,2-tetrahydrohexyl) ) -Trimethoxysilane, (heptafluoro-1,1,2,2-tetrahydropentyl) -trimethoxysilane, (3,3,3-trifluoropropyl) dimethylmethoxysilane, (3,3,3-trifluoro) Propyl) methyldimethoxysilane, (3,3,3-trifluoropropyl) trimethoxysilane, perfluoropropyltrimethoxy Silane, 5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-tridecafluoro-2- (perfluorohexyl) decyltrimethoxysilane, 3- (perfluorocyclohexyl) Examples thereof include oxy) propyltrimethoxysilane and perfluoropolyether-based trimethoxysilane, and compounds in which “methoxy” in the above compounds is changed to “ethoxy”. As a brand name of a fluorine-type silane compound, Daikin Industries Co., Ltd. product OPTOOL HD-1100TH is mentioned, for example.

《熱可塑性樹脂膜》
熱可塑性樹脂膜の膜厚は、例えば50μm以上であり、好ましくは75μm以上であり、さらに好ましくは75〜500μmである。
<< Thermoplastic resin film >>
The film thickness of the thermoplastic resin film is, for example, 50 μm or more, preferably 75 μm or more, and more preferably 75 to 500 μm.

熱可塑性樹脂膜は、基板上に形成されていることが好ましい。例えば、熱可塑性樹脂フィルム等の熱可塑性樹脂膜を基板上に形成する。基板としては、特に限定されないが、基板を除去せずに光制御部材の一部として用いる場合は透明基板が用いられる。透明基板としては、例えば、ガラス基板、石英基板、ポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリアクリルフィルム等の透明樹脂製基板が挙げられる。基板を除去する場合には、例えば、透明基板のほか、セラミックス製基板、アルミニウム製やSUS製等の金属製基板を用いることもできる。基板の厚さは、特に限定されず、例えば200〜1500μmである。   The thermoplastic resin film is preferably formed on the substrate. For example, a thermoplastic resin film such as a thermoplastic resin film is formed on the substrate. Although it does not specifically limit as a board | substrate, When using as a part of light control member, without removing a board | substrate, a transparent substrate is used. As a transparent substrate, transparent resin substrates, such as a glass substrate, a quartz substrate, a polyester film, a polycarbonate film, a polyacryl film, are mentioned, for example. In the case of removing the substrate, for example, a ceramic substrate, a metal substrate such as aluminum or SUS can be used in addition to the transparent substrate. The thickness of a board | substrate is not specifically limited, For example, it is 200-1500 micrometers.

前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂は、例えば、環状オレフィン樹脂、(メタ)アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂が挙げられる。環状オレフィン樹脂としては例えばノルボルネン系ポリシクロオレフィン等のポリシクロオレフィンが挙げられ、(メタ)アクリル樹脂としてはポリメタクリル酸メチル等が挙げられ、ポリエステル樹脂としてはポリエチレンテレフタレート等が挙げられる。光制御部材の光学特性の観点から、特に熱可塑性透明樹脂が好ましい。   Examples of the thermoplastic resin constituting the resin film include cyclic olefin resin, (meth) acrylic resin, polyester resin, polystyrene resin, polycarbonate resin, and polyvinyl chloride resin. Examples of the cyclic olefin resin include polycycloolefins such as norbornene-based polycycloolefin, examples of the (meth) acrylic resin include polymethyl methacrylate, and examples of the polyester resin include polyethylene terephthalate. From the viewpoint of the optical characteristics of the light control member, a thermoplastic transparent resin is particularly preferable.

熱可塑性樹脂としては環状オレフィン樹脂が特に好ましく、熱可塑性樹脂膜の透明性と、加熱による熱可塑性樹脂膜の軟化性とを向上させることができる。これにより、熱可塑性樹脂膜に精密な転写パターンを形成することができ、透明性に優れた光制御部材を形成することができる。   As the thermoplastic resin, a cyclic olefin resin is particularly preferable, and the transparency of the thermoplastic resin film and the softening property of the thermoplastic resin film by heating can be improved. Thereby, a precise transfer pattern can be formed on the thermoplastic resin film, and a light control member having excellent transparency can be formed.

熱可塑性樹脂膜は、波長380〜780nmにおける全光線透過率の平均値が、好ましくは70%以上、より好ましくは80%以上である。熱可塑性樹脂膜は、波長589nmにおける屈折率が、好ましくは1.40〜1.75、より好ましくは1.45〜1.70、さらに好ましくは1.50〜1.65である。屈折率が前記範囲にあると、画質の点で好ましい。これらは、実施例記載の条件で測定することができる。   In the thermoplastic resin film, the average value of the total light transmittance at a wavelength of 380 to 780 nm is preferably 70% or more, more preferably 80% or more. The thermoplastic resin film preferably has a refractive index at a wavelength of 589 nm of 1.40 to 1.75, more preferably 1.45 to 1.70, and still more preferably 1.50 to 1.65. A refractive index in the above range is preferable in terms of image quality. These can be measured under the conditions described in the examples.

熱可塑性樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
熱可塑性樹脂のガラス転移温度(Tg)は、通常は40〜300℃、好ましくは60〜200℃である。このような態様とすることで、生産効率の点で好ましい。Tgは、JIS−K7121に準じて、示差走査熱量計(昇温速度20℃/分の条件)で測定することができる。
A thermoplastic resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
The glass transition temperature (Tg) of the thermoplastic resin is usually 40 to 300 ° C, preferably 60 to 200 ° C. By setting it as such an aspect, it is preferable at the point of production efficiency. Tg can be measured with a differential scanning calorimeter (temperature rising rate of 20 ° C./min) according to JIS-K7121.

熱可塑性樹脂の、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、通常は1万〜200万、好ましくは5万〜150万である。このような態様とすることで、線状部材の強度の点で好ましい。   The weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method of the thermoplastic resin is usually 10,000 to 2,000,000, preferably 50,000 to 1,500,000. By setting it as such an aspect, it is preferable at the point of the intensity | strength of a linear member.

GPC法の条件は、例えば以下のとおりである。
・装置 :東ソー(株)製、商品名:HLC−8020
・カラム :東ソー(株)製ガードカラムHXL−H、TSK gel G7000HXL、TSK gel GMHXL 2本、TSK gel G2000HXLを順次連結したもの
・溶媒 :テトラヒドロフラン
・サンプル濃度:0.7質量%
・注入量 :70μL
・流速 :1mL/min
The conditions of the GPC method are as follows, for example.
・ Apparatus: manufactured by Tosoh Corporation, trade name: HLC-8020
Column: Tosoh Co., Ltd. guard column H XL- H, TSK gel G7000H XL , TSK gel GMH XL , TSK gel G2000H XL sequentially connected Solvent: Tetrahydrofuran Sample concentration: 0.7% by mass
・ Injection volume: 70 μL
・ Flow rate: 1mL / min

《工程(a)の条件》
工程(a)では、前記樹脂膜を加熱しながらまたは前記樹脂膜が加熱された状態で前記押圧を行う。このように本発明では、熱インプリント法により熱可塑性樹脂膜の成形を行う。加熱および押圧はどちらが先でもよく、また同時に行ってもよい。
<< Conditions for Step (a) >>
In the step (a), the pressing is performed while heating the resin film or in a state where the resin film is heated. Thus, in the present invention, the thermoplastic resin film is formed by the thermal imprint method. Either heating or pressing may be performed first or may be performed simultaneously.

前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度(Tg)以上の温度に前記樹脂膜を加熱して軟化させ、押圧を行うことが好ましい。前記温度は、前記Tgよりも好ましくは5〜100℃高い温度、より好ましくは10〜50℃高い温度である。具体的には、前記加熱温度は、通常は60℃以上、好ましくは60〜350℃、より好ましくは80〜250℃である。   It is preferable that the resin film is heated and softened to a temperature equal to or higher than the glass transition temperature (Tg) of the thermoplastic resin constituting the resin film and pressed. The temperature is preferably a temperature higher by 5 to 100 ° C., more preferably a temperature higher by 10 to 50 ° C. than the Tg. Specifically, the heating temperature is usually 60 ° C. or higher, preferably 60 to 350 ° C., more preferably 80 to 250 ° C.

前記樹脂膜の加熱方法としては、例えば、前記温度範囲に加熱した凹凸部材を前記樹脂膜に押圧する、および/または前記樹脂膜を直接加熱する等の方法が挙げられる。なお、樹脂膜は、凹凸部材との接触前に予め加熱しておいてもよい。   Examples of the method for heating the resin film include a method of pressing an uneven member heated to the temperature range against the resin film and / or directly heating the resin film. The resin film may be heated in advance before contact with the concavo-convex member.

前記凹凸部材を、好ましくは0.1〜30.0MPaのプレス圧で、より好ましくは2.0〜10.0MPaのプレス圧で、前記樹脂膜に押圧する。押圧時間は、通常は1〜180秒、好ましくは1〜120秒、より好ましくは1〜60秒である。このような態様であると、生産効率の点で好ましい。   The concavo-convex member is preferably pressed against the resin film with a press pressure of 0.1 to 30.0 MPa, more preferably with a press pressure of 2.0 to 10.0 MPa. The pressing time is usually 1 to 180 seconds, preferably 1 to 120 seconds, and more preferably 1 to 60 seconds. Such an embodiment is preferable in terms of production efficiency.

[工程(b)]
工程(b)では、前記樹脂膜から前記凹凸部材を分離して、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンを得る。前記線状部材は、各々の線状部材が互いに平行な側面を少なくとも1つ有する構成であればよく、例えば矩形状、三角形状が挙げられるが、矩形状であることが好ましい。
[Step (b)]
In the step (b), the concavo-convex member is separated from the resin film to obtain a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other. The linear member only needs to have a configuration in which each linear member has at least one side surface parallel to each other. For example, a rectangular shape or a triangular shape can be mentioned, but a rectangular shape is preferable.

前記分離前に、前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度(Tg)未満の温度に前記樹脂膜を冷却する。具体的には、前記温度は、通常は100℃未満、好ましくは0〜60℃、より好ましくは0〜40℃である。   Before the separation, the resin film is cooled to a temperature lower than the glass transition temperature (Tg) of the thermoplastic resin constituting the resin film. Specifically, the temperature is usually less than 100 ° C, preferably 0 to 60 ° C, more preferably 0 to 40 ° C.

本発明では、前記樹脂膜と接触する表面(凹凸表面)が離型性化合物により表面処理された凹凸部材を用いていることから、線状部材の変形が小さく、また剥離不良痕が少ない状態で、凹凸部材とラインパターンとを容易に分離することができる。   In the present invention, since the surface (concave / convex surface) in contact with the resin film is an uneven member whose surface is treated with a releasable compound, the deformation of the linear member is small, and there are few traces of defective peeling. The concavo-convex member and the line pattern can be easily separated.

以上のようにして、複数の線状部材からなるラインパターンを得ることができる。
線状部材の高さは、例えば図1AにおいてZ軸方向の線状部材の最大厚さであり、通常は50μm以上、好ましくは50〜500μmである。線状部材の高さが50μm以上であると、充分な高さの光反射面を確保することができ、したがって光学特性の点で好ましい。
As described above, a line pattern composed of a plurality of linear members can be obtained.
The height of the linear member is, for example, the maximum thickness of the linear member in the Z-axis direction in FIG. 1A, and is usually 50 μm or more, preferably 50 to 500 μm. When the height of the linear member is 50 μm or more, a sufficiently high light reflecting surface can be secured, and therefore it is preferable in terms of optical characteristics.

線状部材の断面形状が矩形状である場合、線状部材の高さに対してその底面から10%の位置における線状部材の幅をBottom幅、線状部材の高さに対してその底面から90%の位置における線状部材の幅をTop幅と定義し、Top幅とBottom幅の差(Top−Bottom)の絶対値を線状部材のΔ幅と定義する。線状部材のΔ幅は、Top幅およびBottom幅の大きい方の値の18%以下であり、好ましくは15%以下であり、より好ましくは10%以下、さらに好ましくは5%以下、特に好ましくは3%以下である。   When the cross-sectional shape of the linear member is rectangular, the width of the linear member at a position of 10% from the bottom surface with respect to the height of the linear member is the Bottom width, and the bottom surface with respect to the height of the linear member. The width of the linear member at the 90% position is defined as the Top width, and the absolute value of the difference between the Top width and the Bottom width (Top-Bottom) is defined as the Δ width of the linear member. The Δ width of the linear member is 18% or less of the larger value of the Top width and Bottom width, preferably 15% or less, more preferably 10% or less, still more preferably 5% or less, and particularly preferably 3% or less.

線状部材の幅は、例えば図1AにおいてY軸方向における線状部材の最大厚さであり、通常は10〜500μm、好ましくは15〜250μmであり;線状部材の間隔(線状部材底面でのスペース幅)は、通常は50〜400μm、好ましくは50〜300μmである。   The width of the linear member is, for example, the maximum thickness of the linear member in the Y-axis direction in FIG. 1A and is usually 10 to 500 μm, preferably 15 to 250 μm; the interval between the linear members (at the bottom of the linear member) Space width) is usually 50 to 400 μm, preferably 50 to 300 μm.

線状部材のアスペクト比(高さ/幅)は、好ましくは0.5以上、より好ましくは0.5〜10、さらに好ましくは1〜5である。本発明では、上述した離型性に優れた熱インプリント法を用いていることから、高いアスペクト比を有する線状部材を形成でき、したがって光学特性に優れた光制御部材を得ることができる。   The aspect ratio (height / width) of the linear member is preferably 0.5 or more, more preferably 0.5 to 10, and further preferably 1 to 5. In the present invention, since the thermal imprint method having excellent releasability described above is used, a linear member having a high aspect ratio can be formed, and thus a light control member having excellent optical characteristics can be obtained.

線状部材の高さ、幅およびスペース幅は、走査型電子顕微鏡(SEM)観察において測定する。このようなラインパターンは、上述した高さ、幅およびスペース幅に対応する凹凸パターンを有する部材を用いて熱インプリントを行うことにより、形成することができる。   The height, width, and space width of the linear member are measured by observation with a scanning electron microscope (SEM). Such a line pattern can be formed by performing thermal imprinting using a member having an uneven pattern corresponding to the height, width, and space width described above.

〔光制御部材の製造方法〕
本発明の光制御部材の製造方法は、
上記〔ラインパターンの製造方法〕によりラインパターンを形成する工程(1)と、
前記ラインパターンを構成する線状部材の側面に光反射面を形成する工程(2)と、
必要に応じて、
前記線状部材間に透明部材を形成する工程(3)と
を有することを特徴とする。
[Method for Manufacturing Light Control Member]
The manufacturing method of the light control member of the present invention includes:
A step (1) of forming a line pattern by the above [line pattern manufacturing method];
Forming a light reflecting surface on a side surface of the linear member constituting the line pattern (2);
If necessary,
And (3) forming a transparent member between the linear members.

[工程(1)]
工程(1)では、上述した方法により、ラインパターンを形成する。
[工程(2)]
工程(2)では、線状部材の側面に例えば金属を蒸着またはスパッタすることにより、線状部材の側面に光反射面を選択的に形成する。前記側面とは、各々の線状部材が有する、互いに平行な面であって、例えば光制御部材の平板面に垂直な面である。光反射面は、線状部材の断面形状が矩形状である場合、各々の線状部材の片側面に形成しても両側面に形成してもよいが、高輝度化の観点から両側面に形成することが好ましい。
[Step (1)]
In step (1), a line pattern is formed by the method described above.
[Step (2)]
In the step (2), a light reflecting surface is selectively formed on the side surface of the linear member by evaporating or sputtering metal, for example, on the side surface of the linear member. The side surface is a surface which each linear member has parallel to each other, for example, a surface perpendicular to the flat plate surface of the light control member. When the cross-sectional shape of the linear member is rectangular, the light reflecting surface may be formed on one side surface or both side surfaces of each linear member. It is preferable to form.

前記金属としては、例えば、アルミニウム、クロム、ニッケル、チタンおよび銀から選択される少なくとも1種が挙げられる。
例えば、線状部材表面に金属を蒸着して金属膜を形成し、前記線状部材の側面に例えばフォトリソグラフィー法によりレジスト層を形成し、前記金属膜のエッチングを行い、前記レジスト層を除去する。これにより、線状部材の側面に光反射面を形成することができる。
Examples of the metal include at least one selected from aluminum, chromium, nickel, titanium, and silver.
For example, a metal film is formed by vapor-depositing metal on the surface of the linear member, a resist layer is formed on the side surface of the linear member, for example, by photolithography, the metal film is etched, and the resist layer is removed. . Thereby, a light reflection surface can be formed on the side surface of the linear member.

あるいは、線状部材の上面およびスペース部の底面を光照射により剥離可能な樹脂で覆い(この場合、線状部材の側面は露出している)、線状部材の上面、側面およびスペース部の底面に金属を蒸着して金属膜を形成し、透明基板側から紫外線を照射して、線状部材の上面およびスペース部の底面に形成された前記樹脂を、その表面に形成された金属膜とともに除去する。これにより、線状部材の側面に光反射部を形成することができる。   Alternatively, the top surface of the linear member and the bottom surface of the space portion are covered with a resin that can be peeled off by light irradiation (in this case, the side surface of the linear member is exposed), and the top surface, side surface, and bottom surface of the space portion of the linear member A metal film is formed by vapor-depositing metal on the transparent substrate, and the resin formed on the top surface of the linear member and the bottom surface of the space portion is removed together with the metal film formed on the surface by irradiating ultraviolet rays from the transparent substrate side. To do. Thereby, a light reflection part can be formed in the side surface of a linear member.

[工程(3)]
工程(3)では、光硬化型および/または熱硬化型の透明樹脂組成物をラインパターンのスペース部に充填し、光照射および/または加熱して前記組成物を硬化させることにより、線状部材間(スペース部)に透明部材を形成する。
[Step (3)]
In step (3), a linear member is obtained by filling a space portion of a line pattern with a photocurable and / or thermosetting transparent resin composition and curing the composition by light irradiation and / or heating. A transparent member is formed in the space (space part).

これにより、ラインパターンにおける線状部材とスペース部との屈折率差を小さくでき、また、線状部材の倒れを抑制でき、したがって光制御部材の光学性能および強度を高めることができる。線状部材および透明部材の表面に凹凸がある場合、前記表面を研削または研磨してもよい。これにより、光制御部材の光学性能を高めることができる。   Thereby, the difference in refractive index between the linear member and the space portion in the line pattern can be reduced, and the linear member can be prevented from falling, and thus the optical performance and strength of the light control member can be increased. When the surface of the linear member and the transparent member is uneven, the surface may be ground or polished. Thereby, the optical performance of the light control member can be enhanced.

透明部材は、波長380〜780nmにおける全光線透過率の平均値が、好ましくは70%以上、より好ましくは80%以上である。
透明部材と線状部材との、波長589nmにおける屈折率差は、絶対値で、好ましくは0.1以下、より好ましくは0.05以下、さらに好ましくは0.02以下である。屈折率差が前記範囲にあると、空中に良好な結像を形成できる点で好ましい。
The transparent member has an average value of total light transmittance at a wavelength of 380 to 780 nm, preferably 70% or more, and more preferably 80% or more.
The refractive index difference between the transparent member and the linear member at a wavelength of 589 nm is an absolute value, preferably 0.1 or less, more preferably 0.05 or less, and further preferably 0.02 or less. When the refractive index difference is in the above range, it is preferable in that a good image can be formed in the air.

スペース部に透明部材を形成した後、基板を除去して、線状部材、光反射面および透明部材からなる光制御部材を得てもよい。続いて、前記光制御部材の基板に接触していた面を、研削または研磨してもよい。これにより、光制御部材の光学性能を高めることができる。   After forming the transparent member in the space portion, the substrate may be removed to obtain a light control member composed of a linear member, a light reflecting surface, and a transparent member. Subsequently, the surface of the light control member that has been in contact with the substrate may be ground or polished. Thereby, the optical performance of the light control member can be enhanced.

以上のようにして、光制御部材を得ることができる。光制御部材は、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有する。このため光制御部材は、互いに平行配置された複数の平面状の光反射部(光反射面)を一定間隔で有する。光制御部材の一実施形態は、例えば平板状であり、その平板面に対して略垂直な複数の前記光反射面を一定間隔で有し、前記光反射面は互いに平行配置されている。   As described above, a light control member can be obtained. The light control member has a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other, and a light reflecting surface formed on a side surface of the linear member. For this reason, the light control member has a plurality of planar light reflecting portions (light reflecting surfaces) arranged in parallel with each other at regular intervals. One embodiment of the light control member has, for example, a flat plate shape, and has a plurality of the light reflection surfaces substantially perpendicular to the flat plate surface at regular intervals, and the light reflection surfaces are arranged in parallel to each other.

光制御部材の平面視における縦横のサイズは、投影する画像の大きさによって適宜決定されるが、例えば5000mm2以上、好ましくは5000〜700000mm2である。
図2に、光制御部材の一実施形態の断面図を示す。この光制御部材100は、透明基板10と、透明基板10上に形成された、複数の矩形状の線状部材21からなるラインパターン20と、線状部材21間に形成された透明部材25とを有する。線状部材21の両側面22,22には、光反射面30,30が形成されている。
The size of the vertical and horizontal in plan view of the light control member is appropriately determined by the size of the image to be projected, for example, 5000 mm 2 or more, preferably 5000~700000mm 2.
FIG. 2 shows a cross-sectional view of one embodiment of the light control member. The light control member 100 includes a transparent substrate 10, a line pattern 20 formed on the transparent substrate 10 and including a plurality of rectangular linear members 21, and a transparent member 25 formed between the linear members 21. Have Light reflecting surfaces 30 and 30 are formed on both side surfaces 22 and 22 of the linear member 21.

〔光学結像部材の製造方法〕
本発明の光学結像部材は、上記〔光制御部材の製造方法〕で製造された光制御部材を備えており、好ましくは、第1の光制御部材および第2の光制御部材を備えており、前記光制御部材の平板面が重なるように配置されている。前記第1および第2の光制御部材は、少なくとも一方が、上記〔光制御部材の製造方法〕で製造された光制御部材である。
[Method of manufacturing optical imaging member]
The optical imaging member of the present invention includes the light control member manufactured by the above-mentioned [Method for manufacturing light control member], and preferably includes a first light control member and a second light control member. The light control members are arranged so that the flat plate surfaces overlap. At least one of the first and second light control members is a light control member manufactured by the above-described [Method for manufacturing light control member].

本発明の光学結像部材の製造方法は、上記光制御部材を、上記〔光制御部材の製造方法〕により製造する工程を有し、好ましくは、上記第1および第2の光制御部材の少なくとも一方を、上記〔光制御部材の製造方法〕により製造する工程と、上記第1および第2の光制御部材を、各々が有するラインパターンが光制御部材の上方から視た場合に交差した状態で配置する工程とを有する。   The method of manufacturing an optical imaging member of the present invention includes a step of manufacturing the light control member by the above-described [Method of manufacturing light control member], preferably at least one of the first and second light control members. One side is manufactured by the above [Method for manufacturing light control member], and the first and second light control members are crossed when the line pattern of each of them is viewed from above the light control member. Arranging.

上記第1および第2の光制御部材の一方は従来公知の方法で製造または準備してもよいが、いずれも上記〔光制御部材の製造方法〕で製造することが、光学特性の観点から好ましい。   One of the first and second light control members may be manufactured or prepared by a conventionally known method, but both are preferably manufactured from the above [Method for manufacturing light control member] from the viewpoint of optical characteristics. .

ここで、第1の光制御部材および第2の光制御部材は、各々の光制御部材が有するラインパターンが光制御部材の上方から視た場合(図3AにおいてXY平面視した場合)に交差した状態で、すなわち各々の光制御部材が有する、線状部材の側面に形成された光反射面が交差した状態で、配置されている。   Here, the first light control member and the second light control member intersect when the line pattern of each light control member is viewed from above the light control member (when viewed in the XY plane in FIG. 3A). In this state, that is, in a state where the light reflecting surfaces formed on the side surfaces of the linear members of each light control member intersect.

第1の光制御部材および第2の光制御部材は、好ましくは、各々が有するラインパターンが向かい合うようにして、積層配置されている。第1の光制御部材および第2の光制御部材は、例えば、透明の接着剤を用いて積層される。   The first light control member and the second light control member are preferably stacked and arranged such that the line patterns that each has are opposed to each other. The first light control member and the second light control member are laminated using, for example, a transparent adhesive.

第1の光制御部材のラインパターンと第2の光制御部材のラインパターンとの交差角度は、立体像表示装置において像を形成する位置により適宜設定されるが、これらのラインパターンが直交していることが好ましい。   The intersection angle between the line pattern of the first light control member and the line pattern of the second light control member is appropriately set depending on the position where the image is formed in the stereoscopic image display device, but these line patterns are orthogonal to each other. Preferably it is.

図3に、光学結像部材の一実施形態を示す。図3Aは、第1の光制御部材101と第2の光制御部材102とが、各々が有するラインパターンが光制御部材の上方から視た場合に直交した状態で積層されている光学結像部材200の斜視図であり、図3Bは第1の光制御部材101の透明部材25を切断するYZ平面における断面図であり、図3Cは第2の光制御部材102の透明部材25を切断するXZ平面における断面図である。
図3には、透明基板10を有する光学結像部材を示したが、透明基板10を有さない光学結像部材であってもよい。
FIG. 3 shows an embodiment of the optical imaging member. FIG. 3A shows an optical imaging member in which a first light control member 101 and a second light control member 102 are stacked in a state where the line patterns of each are orthogonal to each other when viewed from above the light control member. 3B is a cross-sectional view of the first light control member 101 taken along the YZ plane, and FIG. 3C is a cross-sectional view of the second light control member 102 taken along the XZ plane. It is sectional drawing in a plane.
Although FIG. 3 shows the optical imaging member having the transparent substrate 10, the optical imaging member not having the transparent substrate 10 may be used.

〔立体像表示装置〕
立体像表示装置は、上述の光学結像部材を有し、例えば、光放射部と光学結像部材とを有する。立体像表示装置は、液晶ディスプレイ等の光放射部から放射された光を空中に結合させ、静止画および動画等の像を鮮明に表示することができ、すなわち空中ディスプレイとして機能する。
[3D image display device]
The stereoscopic image display device includes the above-described optical imaging member, and includes, for example, a light emitting unit and an optical imaging member. The stereoscopic image display device can combine light radiated from a light emitting unit such as a liquid crystal display in the air, and can clearly display images such as still images and moving images, that is, functions as an aerial display.

立体像表示装置では、光放射部からの光が、第1の光制御部材が有する平行配置された複数の光反射面に斜めに入射し、前記光反射部で反射した反射光が、第2の光制御部材が有する平行配置された複数の光反射面に入射することで、像を空中に表示することができる。   In the three-dimensional image display device, light from the light emitting unit is obliquely incident on a plurality of parallel light reflecting surfaces of the first light control member, and reflected light reflected by the light reflecting unit is second. An image can be displayed in the air by being incident on a plurality of light reflecting surfaces arranged in parallel in the light control member.

立体像表示装置の一実施形態において、第1の光制御部材の光反射面および第2の光制御部材の光反射面は直交させて、それぞれの光制御部材の平板面を向かい合わせた状態で配置されている。したがって、光学結像部材に斜めに入射した光は、第1の光制御部材の光反射面で1回目の反射をし、その反射光が第2の光制御部材の光反射面で2回目の反射をする。2回目の反射光は、光学結像部材への入射光の入射角度と同一の角度で放射される。このため、光放射部から光学結像部材に入射した光のなかで、光反射面で連続して反射した反射光は、光学結像部材を基準として光放射部とは対称位置において収束し、空中に像が形成される。   In one embodiment of the stereoscopic image display device, the light reflection surface of the first light control member and the light reflection surface of the second light control member are orthogonal to each other, and the flat surfaces of the respective light control members face each other. Has been placed. Therefore, the light incident obliquely on the optical imaging member is reflected on the light reflecting surface of the first light control member for the first time, and the reflected light is reflected on the light reflecting surface of the second light control member for the second time. Reflect. The second reflected light is emitted at the same angle as the incident angle of the incident light on the optical imaging member. For this reason, among the light incident on the optical imaging member from the light emitting portion, the reflected light continuously reflected by the light reflecting surface converges at a symmetrical position with respect to the light emitting portion with respect to the optical imaging member, An image is formed in the air.

本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明は実施例に限定されない。
[実施例1]
凹凸部材として、ライン/スペース幅=100/100μm、高さ=100μmの矩形パターンが形成された4インチのシリコン製金型を用いた。ここで、前記矩形パターンには、パーフルオロポリエーテル系シラン化合物(ダイキン工業(株)製オプツールHD−1100TH)を用いて150℃で30分間加熱して離型処理を行い、リンス液(ダイキン工業(株)製オプツールHD−TH)を用いてリンス処理を行った。離型処理は、具体的には、シリコン製金型をパーフルオロポリエーテル系シラン化合物に浸漬し、引き揚げ、150℃で30分間加熱して行った。X線光電子分光分析装置(ULVAC PHI社製Quantum 2000、45°入射、25W、15kV)で測定した、前記処理後のシリコン製金型の表面フッ素濃度は55atomic%であった。また、パターンの無い平坦部の、JIS K7125(荷重200g、引張速度100mm/min)による動摩擦係数は0.10であった。
The present invention will be specifically described based on examples, but the present invention is not limited to the examples.
[Example 1]
As the concavo-convex member, a 4-inch silicon mold in which a rectangular pattern of line / space width = 100/100 μm and height = 100 μm was formed was used. Here, the rectangular pattern was subjected to a mold release treatment by heating at 150 ° C. for 30 minutes using a perfluoropolyether silane compound (Optool HD-1100TH manufactured by Daikin Industries, Ltd.), and a rinse solution (Daikin Industries, Ltd.). The rinse treatment was performed using Optool HD-TH (manufactured by Co., Ltd.). Specifically, the mold release treatment was performed by immersing a silicon mold in a perfluoropolyether silane compound, drawing it up, and heating it at 150 ° C. for 30 minutes. The surface fluorine concentration of the silicon mold after the treatment as measured with an X-ray photoelectron spectrometer (Quantum 2000, ULVAC PHI, Quantum 2000, 45 ° incidence, 25 W, 15 kV) was 55 atomic%. Moreover, the dynamic friction coefficient of the flat part without a pattern by JIS K7125 (load 200g, tensile speed 100mm / min) was 0.10.

膜厚100μmの環状オレフィン系樹脂フィルム(JSR(株)製「ARTON G7810」、Tg=170℃)が表面に形成されたガラス基板をインプリント装置(SCIVAX社製FLAN200)に固定し、また前記シリコン製金型をインプリント装置に設置し、前記フィルムを、予め200℃に加熱した前記シリコン製金型に4MPaの圧力で30秒間押付け、インプリントを実施した。その後、前記樹脂フィルムを30℃に冷やし、前記樹脂フィルムと前記シリコン製金型とを分離した。   A glass substrate on which a 100 μm-thick cyclic olefin resin film (“ARTON G7810” manufactured by JSR Corporation, Tg = 170 ° C.) is formed is fixed to an imprint apparatus (FLAN200 manufactured by SCIVAX), and the silicon The mold was placed in an imprinting apparatus, and the film was pressed against the silicon mold previously heated to 200 ° C. at a pressure of 4 MPa for 30 seconds to perform imprinting. Thereafter, the resin film was cooled to 30 ° C., and the resin film and the silicon mold were separated.

なお、前記樹脂フィルムの、波長380〜780nmにおける全光線透過率の平均値は80%であり、波長589nmにおける屈折率は1.51であった。全光線透過率および屈折率は、以下のようにして測定した。前記樹脂フィルムの全光線透過率(%)を、カラーヘーズメーター(スガ試験機(株)製SC−3H)を用いて、JIS K7105に準拠して測定した。前記樹脂フィルムの屈折率は、アッベ屈折計((株)アタゴ製DR−M2)を用いて、25℃における波長589nmでの屈折率(nD25)を測定した。   In addition, the average value of the total light transmittance in wavelength 380-780 nm of the said resin film was 80%, and the refractive index in wavelength 589nm was 1.51. The total light transmittance and refractive index were measured as follows. The total light transmittance (%) of the resin film was measured according to JIS K7105 using a color haze meter (SC-3H manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd.). For the refractive index of the resin film, the refractive index (nD25) at a wavelength of 589 nm at 25 ° C. was measured using an Abbe refractometer (DR-M2 manufactured by Atago Co., Ltd.).

以上のようにして、複数の線状部材からなるラインパターンを作製した。
線状部材の高さに対してガラス基板面から10%の位置における線状部材の幅をBottom幅、線状部材の高さに対してガラス基板面から90%の位置における線状部材の幅をTop幅と定義し、得られた線状部材のBottom幅およびTop幅を走査型電子顕微鏡((株)日立ハイテクノロジーズ製、形式「S−4200」)で測定した。その結果、Bottom幅=99μm、Top幅=99μm、高さ=100μmの線状部材からなるラインパターンが剥離不良痕およびパターン変形なく得られたことを確認した。
As described above, a line pattern composed of a plurality of linear members was produced.
The width of the linear member at the position of 10% from the glass substrate surface with respect to the height of the linear member is the Bottom width, and the width of the linear member at the position of 90% from the glass substrate surface with respect to the height of the linear member. Was defined as Top width, and the Bottom width and Top width of the obtained linear member were measured with a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, model “S-4200”). As a result, it was confirmed that a line pattern composed of a linear member having a Bottom width = 99 μm, a Top width = 99 μm, and a height = 100 μm was obtained without peeling defects and pattern deformation.

[実施例2]
環状オレフィン系樹脂フィルムをポリカーボネート系樹脂フィルム(三菱ガス化学(株)製「ユーピロンFE2000」、Tg=150℃)に変更したこと以外は実施例1と同様に実施した。なお、前記樹脂フィルムの、波長380〜780nmにおける全光線透過率の平均値は75%であり、波長589nmにおける屈折率は1.58であった。得られた線状部材の断面を上記走査型電子顕微鏡で観察したところ、Bottom幅=99μm、Top幅=99μm、高さ=100μmの線状部材からなるラインパターンが剥離不良痕およびパターン変形なく得られたことを確認した。
[Example 2]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the cyclic olefin resin film was changed to a polycarbonate resin film ("Iupilon FE2000" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc., Tg = 150 ° C). In addition, the average value of the total light transmittance in wavelength 380-780 nm of the said resin film was 75%, and the refractive index in wavelength 589nm was 1.58. When the cross section of the obtained linear member was observed with the scanning electron microscope, a line pattern composed of a linear member with Bottom width = 99 μm, Top width = 99 μm, and height = 100 μm was obtained without peeling defects and pattern deformation. I confirmed.

[実施例3]
凹凸部材として、ライン/スペース幅=100/100μm、高さ=100μmの矩形パターンが形成された4インチの石英製型を用いた。ここで、前記矩形パターンには、FM−0425(JNC(株)製)を酢酸エチルを用いて50wt%に希釈した溶液を用いて離型処理を行い、離型性化合物の定着目的で150℃、30分間の熱処理を行い、酢酸エチルを用いてリンス処理を行った。実施例1と同様に評価を行った結果、前記処理後の石英製型の表面シリコン濃度は25atomic%であり、パターンの無い平坦部の動摩擦係数は0.10であった。
[Example 3]
As the concavo-convex member, a 4-inch quartz mold on which a rectangular pattern of line / space width = 100/100 μm and height = 100 μm was formed was used. Here, the rectangular pattern was subjected to a mold release treatment using a solution obtained by diluting FM-0425 (manufactured by JNC Co., Ltd.) to 50 wt% using ethyl acetate, and 150 ° C. for the purpose of fixing the mold release compound. Then, heat treatment was performed for 30 minutes, and rinse treatment was performed using ethyl acetate. As a result of evaluation in the same manner as in Example 1, the surface silicon concentration of the quartz mold after the treatment was 25 atomic%, and the dynamic friction coefficient of the flat portion without the pattern was 0.10.

実施例1と同様にインプリントを実施し、Bottom幅=99μm、Top幅=99μm、高さ=100μmの線状部材からなるラインパターンが剥離不良痕およびパターン変形なく得られたことを確認した。   Imprinting was carried out in the same manner as in Example 1, and it was confirmed that a line pattern composed of a linear member having a Bottom width = 99 μm, a Top width = 99 μm, and a height = 100 μm was obtained without peeling defect traces and pattern deformation.

[実施例4]
FLUOROLINK D10−H(水酸基含有パーフルオロポリエーテル.ソルベイ社製)をノベック7300(3M社製)を用いて50wt%に希釈した溶液をシリコン製金型の離型処理に用い、ノベック7300をリンス処理に用いたこと以外は実施例1と同様にして評価を行った。シリコン製金型の離型処理後の表面フッ素濃度は35atomic%であり、動摩擦係数は0.30であった。実施例1と同様にインプリントを実施し、Bottom幅=97μm、Top幅=95μm、高さ=100μmの線状部材からなるラインパターンが剥離不良痕およびパターン変形が一部ある状態で得られたことを確認した。
[Example 4]
A solution obtained by diluting FLUOROLINK D10-H (hydroxyl group-containing perfluoropolyether, manufactured by Solvay) to 50 wt% using Novec 7300 (manufactured by 3M) was used for the mold release treatment of the silicon mold, and Novec 7300 was rinsed. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the above was used. The surface fluorine concentration of the silicon mold after the mold release treatment was 35 atomic%, and the dynamic friction coefficient was 0.30. Imprinting was performed in the same manner as in Example 1, and a line pattern made of a linear member having a Bottom width = 97 μm, a Top width = 95 μm, and a height = 100 μm was obtained in a state where there were some peeling defect traces and pattern deformation. It was confirmed.

[実施例5]
凹凸部材として、ライン/スペース幅=100/100μm、高さ=100μmの矩形パターンが形成された4インチのニッケル製金型を用い、KR−500(信越化学工業(株)製シリコーンアルコキシオリゴマー)を酢酸エチルを用いて50wt%に希釈した溶液を離型処理に用い、酢酸エチルをリンス処理に用いたこと以外は実施例1と同様にして評価を行った。ニッケル製金型の離型処理後の表面シリコン濃度は15atomic%であり、動摩擦係数は0.26であった。実施例1と同様にインプリントを実施し、Bottom幅=98μm、Top幅=95μm、高さ=100μmの線状部材からなるラインパターンが剥離不良痕およびパターン変形が一部ある状態で得られたことを確認した。
[Example 5]
As a concavo-convex member, a KR-500 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. silicone alkoxy oligomer) was used, using a 4-inch nickel mold on which a rectangular pattern of line / space width = 100/100 μm and height = 100 μm was formed. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that a solution diluted to 50 wt% with ethyl acetate was used for the mold release treatment and ethyl acetate was used for the rinse treatment. The surface silicon concentration of the nickel mold after the release treatment was 15 atomic%, and the dynamic friction coefficient was 0.26. Imprinting was performed in the same manner as in Example 1, and a line pattern composed of a linear member having a Bottom width = 98 μm, a Top width = 95 μm, and a height = 100 μm was obtained in a state where there were some peeling defect traces and pattern deformation. It was confirmed.

[比較例1]
凹凸部材として、上記離形処理および上記リンス処理を行わなかった4インチの石英製型を用いたこと以外は実施例3と同様に実施した。4インチの石英製型の表面フッ素濃度は0atomic%であり、表面シリコン濃度は0atomic%であり、動摩擦係数は0.50であった。凹凸部材から樹脂フィルムを大きな剥離不良痕およびパターン変形なく分離することはできなかった。
[Comparative Example 1]
The same operation as in Example 3 was performed except that a 4-inch quartz mold that was not subjected to the above-described mold release treatment and the above-described rinse treatment was used as the uneven member. The surface fluorine concentration of the 4-inch quartz mold was 0 atomic%, the surface silicon concentration was 0 atomic%, and the dynamic friction coefficient was 0.50. The resin film could not be separated from the concavo-convex member without large peeling defect traces and pattern deformation.

1…部材
10…透明基板
20…ラインパターン
21…線状部材
22…線状部材の側面
25…透明部材
30…光反射面
100…光制御部材
101…光制御部材
102…光制御部材
200…光学結像部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Member 10 ... Transparent substrate 20 ... Line pattern 21 ... Linear member 22 ... Side surface 25 of a linear member ... Transparent member 30 ... Light reflection surface 100 ... Light control member 101 ... Light control member 102 ... Light control member 200 ... Optical Imaging member

Claims (11)

互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有する光制御部材における前記ラインパターンの製造方法であり、
熱可塑性樹脂膜に、前記ラインパターンの形状に対応する凹凸パターンを有し、フッ素原子およびケイ素原子から選ばれる少なくとも1種を含む化合物により前記樹脂膜と接触する凹凸パターン表面が表面処理された凹凸部材を押圧する工程(a)、ここで、前記樹脂膜が加熱された状態で前記押圧を行い、表面処理された凹凸パターン表面の、荷重200g、引張速度100mm/minの条件でのJIS K7125による動摩擦係数が、0.30以下であり;ならびに
前記樹脂膜から前記凹凸部材を分離して、互いに平行配置された複数の、高さが50〜500μmの線状部材からなるラインパターンを得る工程(b)
を有することを特徴とするラインパターンの製造方法。
A method for producing the line pattern in a light control member having a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other and a light reflecting surface formed on a side surface of the linear member,
The thermoplastic resin film has a concavo-convex pattern corresponding to the shape of the line pattern, and the concavo-convex pattern surface of the concavo-convex pattern contacting the resin film with a compound containing at least one selected from fluorine atoms and silicon atoms is surface-treated. a step of pressing a member (a), where, in a state where front Symbol resin film is heated performs the pressing, the surface-treated uneven pattern surface, load 200 g, JIS under conditions of a tensile speed 100 mm / min K7125 A coefficient of dynamic friction is 0.30 or less ; and a step of separating the concavo-convex member from the resin film to obtain a line pattern composed of a plurality of linear members having a height of 50 to 500 μm arranged in parallel to each other (B)
A method for producing a line pattern, comprising:
前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂が、環状オレフィン樹脂、(メタ)アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂およびポリ塩化ビニル樹脂から選ばれる少なくとも1種である請求項1のラインパターンの製造方法。   The production of the line pattern according to claim 1, wherein the thermoplastic resin constituting the resin film is at least one selected from a cyclic olefin resin, a (meth) acrylic resin, a polyester resin, a polystyrene resin, a polycarbonate resin, and a polyvinyl chloride resin. Method. 前記化合物が、フッ素原子含有化合物、ケイ素原子含有化合物、ならびにフッ素原子およびケイ素原子含有化合物から選ばれる少なくとも1種である請求項1または2のラインパターンの製造方法。   The method for producing a line pattern according to claim 1, wherein the compound is at least one selected from a fluorine atom-containing compound, a silicon atom-containing compound, and a fluorine atom and a silicon atom-containing compound. 凹凸部材の前記表面処理後における、熱可塑性樹脂膜との接触面は、表面フッ素濃度が35atomic%以上であり、および/または、表面シリコン濃度が15atomic%以上である請求項1〜3のいずれか1項のラインパターンの製造方法。 The contact surface with the thermoplastic resin film after the surface treatment of the concavo-convex member has a surface fluorine concentration of 35 atomic% or more and / or a surface silicon concentration of 15 atomic% or more . The manufacturing method of the line pattern of 1 term | claim. 前記凹凸パターンを有する凹凸部材を、0.1〜30.0MPaの範囲で、前記樹脂膜に押圧する請求項1〜4のいずれか1項のラインパターンの製造方法。   The manufacturing method of the line pattern of any one of Claims 1-4 which presses the uneven | corrugated member which has the said uneven | corrugated pattern to the said resin film in the range of 0.1-30.0 MPa. 工程(a)において、前記樹脂膜を、前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度以上の温度に加熱し、工程(b)における分離前に、前記樹脂膜を、前記樹脂膜を構成する熱可塑性樹脂のガラス転移温度未満の温度に冷却する請求項1〜5のいずれか1項のラインパターンの製造方法。   In the step (a), the resin film is heated to a temperature equal to or higher than the glass transition temperature of the thermoplastic resin constituting the resin film, and the resin film is constituted before the separation in the step (b). The method for producing a line pattern according to any one of claims 1 to 5, wherein the thermoplastic resin is cooled to a temperature lower than a glass transition temperature of the thermoplastic resin. 前記線状部材の断面形状が矩形状である請求項1〜のいずれか1項のラインパターンの製造方法。 Method for producing a line pattern of any one of claims 1 to 6 cross-sectional shape of the linear member has a rectangular shape. 請求項1〜のいずれか1項の方法によりラインパターンを形成する工程(1)と、
前記線状部材の側面に光反射面を形成する工程(2)と
を有することを特徴とする光制御部材の製造方法。
A step (1) of forming a line pattern by the method according to any one of claims 1 to 7 ,
And (2) forming a light reflecting surface on a side surface of the linear member.
前記線状部材間に透明部材を形成する工程(3)
をさらに有する請求項の光制御部材の製造方法。
Forming a transparent member between the linear members (3)
The method for producing a light control member according to claim 8 , further comprising:
互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有する光制御部材を備える光学結像部材の製造方法であり、
前記光制御部材を、請求項またはの方法により製造する
ことを特徴とする光学結像部材の製造方法。
A method of manufacturing an optical imaging member comprising a light control member having a line pattern composed of a plurality of linear members arranged in parallel to each other and a light reflecting surface formed on a side surface of the linear member,
A method for manufacturing an optical imaging member, wherein the light control member is manufactured by the method according to claim 8 or 9 .
第1の光制御部材および第2の光制御部材を備える光学結像部材の製造方法であり、ここで第1の光制御部材および第2の光制御部材は、それぞれ、互いに平行配置された複数の線状部材からなるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有しており、
第1の光制御部材および第2の光制御部材の少なくとも一方を、請求項またはの方法により製造し、続いて、
第1の光制御部材および第2の光制御部材を、各々が有するラインパターンが光制御部材の上方から視た場合に交差した状態で配置する
ことを特徴とする光学結像部材の製造方法。
A method for manufacturing an optical imaging member comprising a first light control member and a second light control member, wherein the first light control member and the second light control member are each provided in parallel with each other. A line pattern composed of a linear member, and a light reflecting surface formed on a side surface of the linear member,
Producing at least one of the first light control member and the second light control member by the method of claim 8 or 9 ,
A method of manufacturing an optical imaging member, wherein the first light control member and the second light control member are arranged in a state where the line patterns of the first light control member and the second light control member intersect each other when viewed from above the light control member.
JP2016048437A 2016-03-11 2016-03-11 Line pattern, light control member, and optical imaging member manufacturing method Active JP6048604B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016048437A JP6048604B1 (en) 2016-03-11 2016-03-11 Line pattern, light control member, and optical imaging member manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016048437A JP6048604B1 (en) 2016-03-11 2016-03-11 Line pattern, light control member, and optical imaging member manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6048604B1 true JP6048604B1 (en) 2016-12-21
JP2017161843A JP2017161843A (en) 2017-09-14

Family

ID=57572338

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016048437A Active JP6048604B1 (en) 2016-03-11 2016-03-11 Line pattern, light control member, and optical imaging member manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6048604B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7489297B2 (en) 2020-11-24 2024-05-23 株式会社アスカネット Manufacturing method for optical imaging device and light reflecting element forming body

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000162440A (en) * 1998-11-26 2000-06-16 Nitto Denko Corp Polarizing plate
JP2010044184A (en) * 2008-08-12 2010-02-25 Mitsubishi Rayon Co Ltd Transparent molded body
JP2010249898A (en) * 2009-04-13 2010-11-04 Toray Ind Inc Light diffusion film and surface light source using the same
WO2013005769A1 (en) * 2011-07-05 2013-01-10 三菱レイヨン株式会社 Article having fine concavo-convex structure on surface, and image display device provided therewith
JP2015014777A (en) * 2013-06-07 2015-01-22 株式会社アスカネット Method for manufacturing optical control panel and optical imaging device using optical control panel

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000162440A (en) * 1998-11-26 2000-06-16 Nitto Denko Corp Polarizing plate
JP2010044184A (en) * 2008-08-12 2010-02-25 Mitsubishi Rayon Co Ltd Transparent molded body
JP2010249898A (en) * 2009-04-13 2010-11-04 Toray Ind Inc Light diffusion film and surface light source using the same
WO2013005769A1 (en) * 2011-07-05 2013-01-10 三菱レイヨン株式会社 Article having fine concavo-convex structure on surface, and image display device provided therewith
JP2015014777A (en) * 2013-06-07 2015-01-22 株式会社アスカネット Method for manufacturing optical control panel and optical imaging device using optical control panel

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017161843A (en) 2017-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI755569B (en) Optical film and image display device
KR20140006840A (en) Fine structure form and liquid-crystal display device comprising fine structure form
Cherng et al. Fabrication of polydimethylsiloxane microlens array on spherical surface using multi-replication process
KR20220038493A (en) Manufacturing method of near-eye display diffraction grating waveguide
JPWO2009041646A1 (en) Photocurable composition, method for producing fine pattern formed body, and optical element
US11414527B2 (en) Transparent composite film with hard coating, method for forming the same and flexible display device including the same
KR101556836B1 (en) Convexo-concave microstructure transcription template
CN107405861A (en) Antifog antifouling layered product and its manufacture method, article and its manufacture method and anti-fouling method
JP2015038630A (en) Substrate having low reflection and high contact angle, and production method for the same
JP6166472B2 (en) Fingerprint-resistant film and electrical / electronic device
TWI647104B (en) Lipophilic laminate, method for manufacturing the same, and product
KR20140014157A (en) Transfer film
JP2007008088A (en) Surface protection layer and antireflection film having the same
JP6048604B1 (en) Line pattern, light control member, and optical imaging member manufacturing method
US11994706B2 (en) Method and system for integration of refractive optics with a diffractive eyepiece waveguide display
US12076890B2 (en) Replica master mold, method of manufacturing replica master mold, article, and method of manufacturing formation object
US8601681B2 (en) Method for producing an optical element
JP2016049699A (en) Antifouling structure, and laminate and image display device having the same
JP5810591B2 (en) Laminated body, antireflection article and water repellent article
JP5921154B2 (en) Optical film, image display device, and method of manufacturing image display device
Shin et al. Fabrication of contact lens containing high‐performance wire grid polarizer
JP6324429B2 (en) Line pattern, light control member, and optical imaging member manufacturing method
US20230067589A1 (en) Resin composition having strong adhesion to a dielectric layer
EP3988282B1 (en) Replica master mold
Taniguchi Stacking metal nano-patterns and fabrication of moth-eye structure

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161025

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161107

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6048604

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250