JP6047405B2 - バルブ - Google Patents
バルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6047405B2 JP6047405B2 JP2013001415A JP2013001415A JP6047405B2 JP 6047405 B2 JP6047405 B2 JP 6047405B2 JP 2013001415 A JP2013001415 A JP 2013001415A JP 2013001415 A JP2013001415 A JP 2013001415A JP 6047405 B2 JP6047405 B2 JP 6047405B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- valve
- layer
- convex portion
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Description
本実施形態のバルブは、マイクロTASチップに配置されている。
まず、本実施形態のバルブが配置されているマイクロTASチップの構成について説明する。なお、以下の図において、上下方向は、本発明の「積層方向」に対応している。図1に、本実施形態となるバルブが配置されたマイクロTASチップの透過上面図を示す。図1に示すように、マイクロTASチップ9は、三つのバルブ1と、基板90と、一対の試料導入部91と、反応部92と、流路93と、を備えている。
図2に、図1のII−II方向断面図を示す。すなわち、本実施形態のバルブの上下方向断面図を示す。図3に、同バルブの分解斜視図を示す。図4に、図2の枠IV内の拡大図を示す。図5に、図4の円V内の拡大図を示す。図6に、図4の円VI内の拡大図を示す。図7に、図4の円VII内の拡大図を示す。
ベース2は、図1に示す基板90の一部を構成している。ベース2は、第一層20と、第二層21と、第三層22と、第四層23と、流路Fと、を備えている。流路Fは、図1に示す流路93の一部を構成している。
ダイヤフラム3は、シリコーンゴム製であって、下方に開口する有底円筒状(カップ状)を呈している。ダイヤフラム3は、凸部収容部220に収容されている。ダイヤフラム3は、弾性変形可能である。ダイヤフラム3は、凸部30と、平坦部31と、支持部32と、を備えている。支持部32は、短軸円筒状を呈している。支持部32は、第四層23と第二層21とにより、上下方向から、挟持、固定されている。平坦部31は、円環状を呈している。平坦部31は、支持部32の上端から、径方向内側に張り出している。ダイヤフラム3に荷重が加わっていない状態(無荷重状態)において、凸部30は、下側に突出する部分球壁状を呈している。すなわち、図4に示すように、凸部30の上下方向断面形状は、上側に開口するC字状を呈している。凸部30は、平坦部31の開口に配置されている。上側から見て、凸部30の径方向中心部分(下端部、頂部)は、上流側孔210aの上端開口、下流側孔210bの上端開口と重複している。
アクチュエータ5は、ダイヤフラム3と共に、凸部収容部220に収容されている。アクチュエータ5は、ダイヤフラム3の上面に積層されている。アクチュエータ5のうち、平坦部31の上面に積層されている部分は、第四層23の下面に当接している。アクチュエータ5のうち、凸部30の上面に積層されている部分は、凸部30の上面の形状(具体的には、部分裏球面状)に倣って、下側に突出している。アクチュエータ5は、誘電層50と、一対の電極51a、51bと、一対の保護層52a、52bと、を備えている。
一対の配線6a、6bは、各々、Cu(銅)テープ製であって、直線帯状を呈している。配線6aは、第三層22の配線収容溝221aの溝底面に貼着されている。配線6aは、配線収容溝221aに収容されている。図6に示すように、配線6aの右端と、第四層23の下面と、の間には、電極51aの延在部511aの左端が挟み込まれている。当該挟み込みにより、配線6aと電極51aとの間の導通が確保されている。
図2に示すように、駆動回路7は、電源70とスイッチ71とを備えている。電源70の正極側は、配線6aに電気的に接続されている。電源70の負極側は、スイッチ71を介して、配線6bに電気的に接続されている。電源70は、図4に示す上下一対の電極51a、51b間(具体的には、図3に示す上下一対の電極本体510a、510b間)に、電圧を印加することができる。
次に、本実施形態のバルブの動きについて説明する。図8に、本実施形態のバルブのダイヤフラム付近の上下方向断面図を示す。なお、図8は、図4に対応している。また、図4は開弁状態を、図8は閉弁状態を、各々示している。
次に、本実施形態のバルブの作用効果について説明する。本実施形態のバルブ1は、エラストマー製のダイヤフラム3を備えている。圧電素子と比較して、ダイヤフラム3は柔軟である。このため、図8に示すように、流路Fを閉じる閉弁状態において、ダイヤフラム3は、第二層21の上面の面形状に沿って、着座することができる。したがって、シール性が高い。また、隣接する部材(例えば第二層21の上面)に不具合が生じにくい。
本実施形態のバルブと第一実施形態のバルブとの相違点は、液体ではなく、気体の流量を制御している点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図9に、本実施形態のバルブの左右方向断面図を示す。なお、図2、図4と対応する部位については、同じ符号で示す。
以上、本発明のバルブの実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
2:ベース、20:第一層、211a:上流側溝、211b:下流側溝、21:第二層、210a:上流側孔、210b:下流側孔、22:第三層、220:凸部収容部、221a:配線収容溝、221b:配線収容溝、23:第四層、230:連通孔。
3:ダイヤフラム、30:凸部、31:平坦部、32:支持部。
40:ケース、400:ケース本体、400a:上流側流路、400b:下流側流路、400c:凸部収容部、401:蓋、401a:連通孔。
5:アクチュエータ、50:誘電層、500:誘電層本体、51a:電極、510a:電極本体、511a:延在部、51b:電極、510b:電極本体、511b:延在部、52a:保護層、520a:保護層本体、52b:保護層、520b:保護層本体。
6a:配線、6b:配線。
7:駆動回路、70:電源、71:スイッチ。
9:マイクロTASチップ、90:基板、91:試料導入部、92:反応部、93:流路。
F:流路、Fa:上流側流路、Fb:下流側流路、Fc:容積調整室、G:気体(流体)、L:液体(流体)。
Claims (5)
- 流体が流れる流路の方向に突出する凸部を有するエラストマー製のダイヤフラムと、
該ダイヤフラムに直接または間接的に積層され、電圧が印加される一対の電極と、
を備え、該電圧に応じて該凸部が弾性変形することにより該流路を開閉するバルブ。 - エラストマー製の誘電層と、該誘電層の表裏両面に積層される一対の前記電極と、を有し、前記ダイヤフラムの前記凸部に積層されるアクチュエータを備える請求項1に記載のバルブ。
- 前記電極と、前記誘電層と、が積層される方向を積層方向として、
前記アクチュエータは、該積層方向両端に、エラストマー製の保護層を有する請求項2に記載のバルブ。 - 前記ダイヤフラムは、前記凸部を囲み、電圧印加時に表側から支持されている環状の平坦部を有する請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のバルブ。
- 前記ダイヤフラムは、前記凸部を囲む環状の平坦部を有し、
該平坦部は、前記アクチュエータに貼り付けられている請求項2または請求項3に記載のバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013001415A JP6047405B2 (ja) | 2013-01-08 | 2013-01-08 | バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013001415A JP6047405B2 (ja) | 2013-01-08 | 2013-01-08 | バルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014134227A JP2014134227A (ja) | 2014-07-24 |
JP6047405B2 true JP6047405B2 (ja) | 2016-12-21 |
Family
ID=51412665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013001415A Expired - Fee Related JP6047405B2 (ja) | 2013-01-08 | 2013-01-08 | バルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6047405B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07158757A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-06-20 | Nippondenso Co Ltd | マイクロバルブ |
EP1212800B1 (en) * | 1999-07-20 | 2007-12-12 | Sri International | Electroactive polymer generators |
FR2817604B1 (fr) * | 2000-12-01 | 2004-04-23 | Biomerieux Sa | Vannes activees par des polymeres electro-actifs ou par des materiaux a memoire de forme, dispositif contenant de telles vannes et procede de mise en oeuvre |
US7832429B2 (en) * | 2004-10-13 | 2010-11-16 | Rheonix, Inc. | Microfluidic pump and valve structures and fabrication methods |
JP2006187517A (ja) * | 2005-01-07 | 2006-07-20 | Omron Healthcare Co Ltd | エアーバルブ、電子血圧計及びエアーマッサージ機 |
JP2011214627A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Murata Mfg Co Ltd | 弁構造、および弁構造の製造方法 |
-
2013
- 2013-01-08 JP JP2013001415A patent/JP6047405B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014134227A (ja) | 2014-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8222799B2 (en) | Surface deformation electroactive polymer transducers | |
US6515404B1 (en) | Bending piezoelectrically actuated liquid metal switch | |
US20160208944A1 (en) | Dielectric elastomer valve assembly | |
CN101573548A (zh) | 压电阀 | |
US6881063B2 (en) | Electroactive polymer actuator braille cell and braille display | |
US10240688B2 (en) | Device having a plurality of latching micro-actuators and method of operating the same | |
CN1279302C (zh) | 压电式流体控制阀 | |
US9695951B2 (en) | Slide valve | |
US8480057B2 (en) | Microvalve and valve seat member | |
KR20100031114A (ko) | 유연한 전기활성 물질을 이용한 광학 시스템 | |
US20110168929A1 (en) | Temperature-compensated piezoelectric flexural transducer | |
CN1983658A (zh) | 振子的布线构造及压电泵 | |
CN111032238A (zh) | 振动组件 | |
US6761028B2 (en) | Drive device | |
US20060245951A1 (en) | Multilayer valve structures, methods of making, and pumps using same | |
JP6047405B2 (ja) | バルブ | |
CN109964325B (zh) | 用于潮湿环境的压电弯曲致动器驱动器 | |
US20140263726A1 (en) | Low resonance synthetic jet structure | |
JP5993946B2 (ja) | スピーカー | |
JP2014134226A (ja) | 化学チップ用バルブおよび化学チップ | |
JPS608384B2 (ja) | バイモルフ圧電素子を用いた弁 | |
JP2009108715A (ja) | 圧電ポンプ | |
US20040076531A1 (en) | Circuit changeover switch | |
WO2022124177A1 (ja) | 流体制御装置、流体制御システム及び流体制御装置の製造方法 | |
JP2019112970A (ja) | ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151005 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6047405 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |