JP6045939B2 - 眼科用レンズの機能化層へのウェーハ上にリングセグメントを配列する方法 - Google Patents
眼科用レンズの機能化層へのウェーハ上にリングセグメントを配列する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6045939B2 JP6045939B2 JP2013036961A JP2013036961A JP6045939B2 JP 6045939 B2 JP6045939 B2 JP 6045939B2 JP 2013036961 A JP2013036961 A JP 2013036961A JP 2013036961 A JP2013036961 A JP 2013036961A JP 6045939 B2 JP6045939 B2 JP 6045939B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- arch
- wafer
- segments
- ring segments
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
- B29D11/00038—Production of contact lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/0074—Production of other optical elements not provided for in B29D11/00009- B29D11/0073
- B29D11/00807—Producing lenses combined with electronics, e.g. chips
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02C—SPECTACLES; SUNGLASSES OR GOGGLES INSOFAR AS THEY HAVE THE SAME FEATURES AS SPECTACLES; CONTACT LENSES
- G02C7/00—Optical parts
- G02C7/02—Lenses; Lens systems ; Methods of designing lenses
- G02C7/04—Contact lenses for the eyes
Description
本発明を対象とする本説明文及び特許請求の範囲においては様々な用語が使用され得るが、これらには以下の定義が適用される。
ここで図1を参照すると、物品100として示されているのは、機能化層インサート110として形成された積層基板インサートを使用した、完全に成形された眼科用レンズの3次元的表現である。この表現は、装置の内部に存在する異なる層が理解できるように眼科用レンズからの部分切欠き図を示している。基板インサートの封入層の断面に本体材料120が示されている。本体材料120は、眼科用レンズの内部全体に含まれ、また全外周の周囲に広がっている。当業者には、実際の機能化層インサート110は、一般的な眼科用レンズのサイズの制約内に依然として収まり得る完全な環状リング又は他の形状を有し得る点は明らかであろう。
図に示される例においては、機能化層インサートの各層は、複数のリングセグメントによって形成されたリングの形状となっている。リングセグメントはウェーハ上に作製された後、ウェーハから切り出される。リングセグメントによれば完全なリングよりも大幅に効率的なウェーハ材料の利用が可能となるが、図5〜8に示されるように、いくつかのリングセグメントの設計は他のものよりも効率的である。したがって、欠損のないリングか、複数のリングセグメントからなるリングか、どちらを製造するかという決定は、ダイ基板及び製造プロセスのコストに一部基づいてなされる。欠損のないリングか複数のリングセグメントかという決定における他の因子としては、機能化層インサート内の特定の層において行われる機能、及び、機能化層インサートに1つ又は2つ以上の欠損のないリングが含まれている場合に得られる構造的安定性の効果がある。完全なリングが必要となり得る機能の1つの例として、ダイの全周に配置される高周波アンテナがある。別の例としては、それよりも下のリングセグメントとそれよりも上のリングセグメントとの間でシグナルを伝送するために使用される相互接続層が挙げられ、その場合、接続は機能化層インサートの外周の異なる位置にまたがる必要がある。
次に図9を参照すると、1/2リングセグメント902が同心状のバンド905に配列された20.3cm(8インチ)のウェーハ901の平面図が示されている。この配置の設計は、それぞれが1/2リングセグメント902の2つの列からなる、1〜13までの番号が付された13本の同心状のバンド905を有している。ウェーハの中心は、同心状のバンド905には含まれない2つの更なる1/2リングセグメント902のための空間を与える。各バンド905の外側のリングセグメント902の列のリングセグメント902は、外側アーチがウェーハ901の外側エッジの方向を向き、リングセグメント902の端部がウェーハ901の中心の方向を向くようにして配置されている。1/2リングセグメント903は、ウェーハ901の最も外側のバンドであるバンド番号13内の外側の列のリングセグメントの一例である。各バンド905の内側のリングセグメント902の列のリングセグメント902は、外側アーチがウェーハ901の中心の方向を向き、リングセグメント902の端部がウェーハ901の外側エッジの方向を向くようにして配置され、リングセグメント902の各端部は、同じバンド905の外側の列に含まれる隣の2つのリングセグメント902の内側アーチの近くに配置されている。1/2リングセグメント904は、その一方の端部が1/2リングセグメント903の内側アーチの近くに配置された、ウェーハ901の最も外側のバンドであるバンド番号13内の内側の列のリングセグメントの一例である。バンド905内のリングセグメント902間及び各バンド905間の間隔は、ダイシングストリート幅に保たれている。20.3cm(8インチ)のウェーハ901上のこのような配置では、812個の1/2リングセグメント902から406個の完全なリングが得られ、ウェーハ材料の40.7%が利用される。
上記に述べ、また、下記の「特許請求の範囲」に更に規定するように、眼科用レンズに組み込むための機能性層インサート内の機能化層を構成するリングセグメントの異なる設計が提供される。ウェーハの利用性を最適化するためのウェーハ上のリングセグメントの配列についても述べる。
(1) 眼科用レンズのダイ要素への半導体材料のウェーハの使用を最適化するための配置を生成する方法であって、
ダイ要素の欠損のないリングの設計を、それぞれの少なくとも一部が内側のアーチ状エッジ及び外側のアーチ状エッジを有する、2つ又は3つ以上のアーチセグメントに分割することと、
前記アーチセグメントを互いに近接して配列することによって、前記半導体材料のウェーハの前記配置を生成することと、
前記アーチセグメント間にダイシングストリート幅を設けることと、を含む、方法。
(2) それぞれのアーチセグメントの前記内側のアーチ状エッジと前記外側のアーチ状エッジとが、アーチマッチングされる(arc matched)、実施態様1に記載の方法。
(3) 前記内側のアーチ状エッジの半径が、前記外側のアーチ状エッジの半径と異なる、実施態様1に記載の方法。
(4) 前記2つ又は3つ以上のアーチセグメントが、ほぼ同じ形状のものである、実施態様1〜3のいずれかに記載の方法。
(5) 前記リングの設計の前記2つ又は3つ以上のアーチセグメントが、複数、同心状の列に概ね配置される、実施態様1〜4のいずれかに記載の方法。
(6) 前記リングの設計の前記アーチセグメントが、互いに噛み合った縦列に概ね配置される、実施態様1〜4のいずれかに記載の方法。
(7) アーチセグメントの少なくとも一部が、別のアーチセグメントの内側のアーチ状エッジの近くに配置される、実施態様1〜4のいずれかに記載の方法。
(8) 前記欠損のないリングが、2つのリングセグメントの設計に分割される、実施態様1〜7のいずれかに記載の方法。
(9) 前記ウェーハの中心の近くに配置される2つのリングセグメントの外側の凸状エッジの頂点が、前記ウェーハの外側の方向を向いている、実施態様8に記載の方法。
(10) 前記欠損のないリングが、3つのリングセグメントに分割される、実施態様1に記載の方法。
(12) 前記欠損のないリングが、4つのリングセグメントの設計に分割される、実施態様1に記載の方法。
(13) 前記リングの設計の前記アーチセグメントが、概ね縦列に配置される、実施態様12に記載の方法。
(14) 前記縦列が、各アーチセグメントのエッジの1つと互いに噛み合う、実施態様13に記載の方法。
(15) 前記リングセグメントの1つ又は2つ以上が、アーチマッチングされた端部を有する完全にアーチマッチングされたリングセグメントの外側アーチと一致するように設計された曲率を有する、実施態様1〜14のいずれかに記載の方法。
(16) 前記1つ又は2つ以上のセグメントの一端又は両端が、ウェーハ上のアーチセグメントの縦列が互いに噛み合うように設計された端部を有する、実施態様1〜15のいずれかに記載の方法。
(17) 眼科用レンズのダイ要素の製造方法であって、
アーチセグメント間にダイシングストリート幅が設けられるようにして、前記アーチセグメントを半導体材料のウェーハ上に互いに近接して画定することを含み、
2つ又は3つ以上のアーチセグメントがダイ要素を形成し、各アーチセグメントの少なくとも一部が、内側のアーチ状エッジ及び外側のアーチ状エッジを有する、方法。
(18) 半導体ウェーハであって、
前記半導体ウェーハ上に互いに近接して配置されたアーチセグメントの配置であって、各アーチセグメントの少なくとも一部が、内側のアーチ状エッジ及び外側のアーチ状エッジを有し、2つ又は3つ以上のアーチセグメントが、リングダイ要素を形成する、配置を有し、
前記配置が、前記アーチセグメント間にダイシングストリート幅を有する、半導体ウェーハ。
Claims (17)
- 眼科用レンズのダイ要素への半導体材料のウェーハの使用を最適化するための配置を生成する方法であって、
ダイ要素の欠損のないリングの設計を、それぞれの少なくとも一部が内側のアーチ状エッジ及び外側のアーチ状エッジを有する、2つ又は3つ以上のリングセグメントに分割することと、
前記リングセグメントを互いに近接して配列することによって、前記半導体材料のウェーハの前記配置を生成することと、
前記リングセグメント間にダイシングストリート幅を設けることと、を含み、
それぞれのリングセグメントの前記内側のアーチ状エッジと前記外側のアーチ状エッジとが、少なくとも部分的にアーチマッチングされる、方法。 - 前記内側のアーチ状エッジの一部の半径が、前記外側のアーチ状エッジの半径と異なる、請求項1に記載の方法。
- 前記2つ又は3つ以上のリングセグメントが、ほぼ同じ形状のものである、請求項1または2に記載の方法。
- 前記リングの設計の前記2つ又は3つ以上のリングセグメントが、同心状の列に概ね配置される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記リングの設計の前記リングセグメントが、互いに噛み合った縦列に概ね配置される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- リングセグメントの少なくとも一部が、別のリングセグメントの前記内側のアーチ状エッジの近くに配置される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記欠損のないリングが、2つのリングセグメントに分割される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ウェーハの中心の近くに配置される2つのリングセグメントの外側の凸状エッジの頂点が、前記ウェーハの外側の方向を向いている、請求項7に記載の方法。
- 前記欠損のないリングが、3つのリングセグメントに分割される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数に分割された欠損のないリングの3つのセグメントが、前記ウェーハの中心の近くに、前記複数に分割された欠損のないリングの3つのセグメントがリングセグメントの同心円に囲まれるようにして配置される、請求項9に記載の方法。
- 前記欠損のないリングが、4つのリングセグメントに分割される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記リングセグメントが、概ね縦列に配置される、請求項11に記載の方法。
- 前記縦列が、各リングセグメントのエッジの1つと互いに噛み合う、請求項12に記載の方法。
- 前記リングセグメントの1つ又は2つ以上が、アーチマッチングされた端部を有する完全にアーチマッチングされたリングセグメントの前記外側アーチと一致するように設計された曲率を有する、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記リングセグメントの一端又は両端が、ウェーハ上のリングセグメントの縦列の噛み合いを許容するように設計された端部を有する、請求項5に記載の方法。
- 眼科用レンズのダイ要素の製造方法であって、
リングセグメント間にダイシングストリート幅が設けられるようにして、前記リングセグメントを半導体材料のウェーハ上に互いに近接して画定することを含み、
2つ又は3つ以上のリングセグメントがダイ要素を形成し、各リングセグメントの少なくとも一部が、内側のアーチ状エッジ及び外側のアーチ状エッジを有し、
それぞれのリングセグメントの前記内側のアーチ状エッジと前記外側のアーチ状エッジとが、少なくとも部分的にアーチマッチングされる、方法。 - 半導体ウェーハであって、
前記半導体ウェーハ上に互いに近接して配置されたリングセグメントの配置であって、各リングセグメントの少なくとも一部が、内側のアーチ状エッジ及び外側のアーチ状エッジを有し、2つ又は3つ以上のリングセグメントが、リングダイ要素を形成する、配置を有し、
前記配置が、前記リングセグメント間にダイシングストリート幅を有し、
それぞれのリングセグメントの前記内側のアーチ状エッジと前記外側のアーチ状エッジとが、少なくとも部分的にアーチマッチングされる、半導体ウェーハ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201213406627A | 2012-02-28 | 2012-02-28 | |
US13/406,627 | 2012-02-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013178518A JP2013178518A (ja) | 2013-09-09 |
JP6045939B2 true JP6045939B2 (ja) | 2016-12-14 |
Family
ID=47844092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013036961A Expired - Fee Related JP6045939B2 (ja) | 2012-02-28 | 2013-02-27 | 眼科用レンズの機能化層へのウェーハ上にリングセグメントを配列する方法 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2633980B1 (ja) |
JP (1) | JP6045939B2 (ja) |
KR (1) | KR101965557B1 (ja) |
CN (1) | CN103286967B (ja) |
AU (1) | AU2013201169B2 (ja) |
BR (1) | BR102013004905A2 (ja) |
CA (1) | CA2807715A1 (ja) |
IL (1) | IL224910A0 (ja) |
RU (1) | RU2559158C2 (ja) |
SG (1) | SG193124A1 (ja) |
TW (1) | TWI586521B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104952810B (zh) * | 2014-03-26 | 2019-05-21 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种接合晶圆及其制备方法 |
KR102640615B1 (ko) * | 2021-06-09 | 2024-02-27 | 한국과학기술원 | 포토다이오드 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5618474A (en) * | 1992-06-19 | 1997-04-08 | Massachusetts Institute Of Technology | Method of forming curved surfaces by etching and thermal processing |
JP4238390B2 (ja) * | 1998-02-27 | 2009-03-18 | 株式会社ニコン | 照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法 |
US6652095B2 (en) * | 2000-11-17 | 2003-11-25 | Hsiao-Ching Tung | Orthokeratology and bi-focal contact lens |
US7289260B2 (en) * | 2003-10-03 | 2007-10-30 | Invisia Ltd. | Multifocal lens |
CN100541747C (zh) * | 2004-11-05 | 2009-09-16 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 从晶片背面切割以制成封装构造的方法 |
KR20080053500A (ko) * | 2005-12-21 | 2008-06-13 | 가부시키가이샤 니콘 | 옵티컬 인테그레이터, 조명광학장치, 노광장치 및디바이스의 제조방법 |
AR064985A1 (es) * | 2007-01-22 | 2009-05-06 | E Vision Llc | Lente electroactivo flexible |
US9296158B2 (en) * | 2008-09-22 | 2016-03-29 | Johnson & Johnson Vision Care, Inc. | Binder of energized components in an ophthalmic lens |
US9427920B2 (en) * | 2008-09-30 | 2016-08-30 | Johnson & Johnson Vision Care, Inc. | Energized media for an ophthalmic device |
US9375886B2 (en) * | 2008-10-31 | 2016-06-28 | Johnson & Johnson Vision Care Inc. | Ophthalmic device with embedded microcontroller |
JP5352392B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2013-11-27 | 富士フイルム株式会社 | ウェハレベルレンズアレイの製造方法、ウェハレベルレンズアレイ、レンズモジュール及び撮像ユニット |
US9165833B2 (en) * | 2010-01-18 | 2015-10-20 | Semiconductor Components Industries, Llc | Method of forming a semiconductor die |
JP5960389B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2016-08-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体集積回路チップを分離および搬送する方法 |
IL224797A (en) * | 2012-02-22 | 2017-03-30 | Johnson & Johnson Vision Care | An eyepiece lens with annular layers divided by a functional implant |
-
2013
- 2013-02-26 IL IL224910A patent/IL224910A0/en active IP Right Grant
- 2013-02-26 SG SG2013014626A patent/SG193124A1/en unknown
- 2013-02-27 CA CA2807715A patent/CA2807715A1/en not_active Abandoned
- 2013-02-27 RU RU2013108885/28A patent/RU2559158C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2013-02-27 JP JP2013036961A patent/JP6045939B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-02-27 TW TW102106917A patent/TWI586521B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-02-28 AU AU2013201169A patent/AU2013201169B2/en not_active Ceased
- 2013-02-28 BR BR102013004905A patent/BR102013004905A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2013-02-28 EP EP13157299.2A patent/EP2633980B1/en not_active Not-in-force
- 2013-02-28 KR KR1020130021672A patent/KR101965557B1/ko active IP Right Grant
- 2013-02-28 CN CN201310063257.7A patent/CN103286967B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2013108885A (ru) | 2014-09-10 |
CA2807715A1 (en) | 2013-08-28 |
IL224910A0 (en) | 2013-07-31 |
KR20130098933A (ko) | 2013-09-05 |
EP2633980B1 (en) | 2018-09-19 |
KR101965557B1 (ko) | 2019-08-13 |
RU2559158C2 (ru) | 2015-08-10 |
CN103286967B (zh) | 2017-06-23 |
SG193124A1 (en) | 2013-09-30 |
AU2013201169B2 (en) | 2016-11-24 |
JP2013178518A (ja) | 2013-09-09 |
CN103286967A (zh) | 2013-09-11 |
AU2013201169A1 (en) | 2013-09-12 |
EP2633980A3 (en) | 2016-10-19 |
TWI586521B (zh) | 2017-06-11 |
BR102013004905A2 (pt) | 2015-12-01 |
EP2633980A2 (en) | 2013-09-04 |
TW201350313A (zh) | 2013-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6505785B2 (ja) | 機能化挿入部材内に分割リング層を有する眼用レンズ | |
US9195075B2 (en) | Full rings for a functionalized layer insert of an ophthalmic lens | |
US9102111B2 (en) | Method of forming a functionalized insert with segmented ring layers for an ophthalmic lens | |
US9134546B2 (en) | Ophthalmic lens with segmented ring layers in a functionalized insert | |
US20130215380A1 (en) | Method of using full rings for a functionalized layer insert of an ophthalmic device | |
JP6173712B2 (ja) | 眼用レンズの機能化層挿入部材のための完全リング | |
JP6045939B2 (ja) | 眼科用レンズの機能化層へのウェーハ上にリングセグメントを配列する方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151030 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160616 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160621 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6045939 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |