JP6044715B2 - Time-of-flight mass spectrometer - Google Patents

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    • H01J49/401Time-of-flight spectrometers characterised by orthogonal acceleration, e.g. focusing or selecting the ions, pusher electrode

Description

本発明は飛行時間型質量分析装置(Time-of-Flight Mass Spectrometer、以下「TOFMS」と略す)に関し、さらに詳しくは、直交加速方式のTOFMSに関する。   The present invention relates to a time-of-flight mass spectrometer (hereinafter abbreviated as “TOFMS”), and more particularly, to an orthogonal acceleration type TOFMS.

TOFMSでは、試料成分由来のイオンに一定の運動エネルギを付与して一定距離の空間を飛行させ、その飛行に要する時間を計測して該飛行時間からイオンの質量電荷比を求める。そのため、イオンを加速して飛行を開始させる際に、イオンの位置やイオンが持つ初期エネルギにばらつきがあると、同一質量電荷比を持つイオンの飛行時間にばらつきが生じ質量分解能や質量精度の低下に繋がる。こうした課題を解決する手法の一つとして、イオンビームの入射方向と直交する方向にイオンを加速して飛行空間に送り込む直交加速(「垂直加速」や「直交引出し」とも呼ばれる)方式のTOFMSが知られている。   In TOFMS, a constant kinetic energy is applied to ions derived from a sample component to fly in a space of a fixed distance, the time required for the flight is measured, and the mass-to-charge ratio of the ions is obtained from the flight time. For this reason, when ions are accelerated and flight is started, if there are variations in the position of ions or the initial energy of ions, variations in the flight time of ions with the same mass-to-charge ratio will result in a decrease in mass resolution and mass accuracy. It leads to. One of the techniques to solve these problems is the orthogonal acceleration (also called “vertical acceleration” or “orthogonal extraction”) method that accelerates ions in the direction perpendicular to the incident direction of the ion beam and sends them to the flight space. It has been.

直交加速方式TOFMSでは、直交加速部におけるイオンの加速方向(直交加速部へのイオンの入射方向に略直交する方向)に、入射してくるイオンの角度拡がりがあると、これが初期エネルギのばらつきとなり、質量分解能を低下させる一因となる。そのため、従来の一般的な直交加速方式TOFMSでは、直交加速部へ入射するイオンの角度拡がりを抑えるために、所定間隔離して配置された2枚又はそれ以上の枚数のスリットからなる入射ビーム制限機構が使用されている。   In the orthogonal acceleration method TOFMS, if there is an angular spread of incident ions in the acceleration direction of the ions in the orthogonal acceleration portion (the direction substantially perpendicular to the incident direction of the ions to the orthogonal acceleration portion), this causes variations in initial energy. This contributes to a decrease in mass resolution. Therefore, in the conventional general orthogonal acceleration type TOFMS, in order to suppress the angular spread of ions incident on the orthogonal acceleration unit, an incident beam limiting mechanism composed of two or more slits arranged separated by a predetermined distance. Is used.

図5はこうした入射ビーム制限機構を用いた直交加速方式TOFMSの直交加速部付近の概略構成図である(非特許文献1など参照)。
図5において、直交加速部4は平板電極41とイオンが通過可能な多数の開口が形成されたメッシュ状電極42とを含み、この直交加速部4の前段には、所定間隔Lだけ離して略平行に配置された2枚のスリット板301、302を含む入射ビーム制限機構300が配置されている。この図において、平板電極41とメッシュ状電極42とで挟まれた加速領域に入射してくるイオンビームの初期ビーム方向はX軸方向、加速方向つまり飛行時間分析方向はX軸に直交するZ軸方向である。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram in the vicinity of the orthogonal acceleration unit of the orthogonal acceleration type TOFMS using such an incident beam limiting mechanism (see Non-Patent Document 1 and the like).
In FIG. 5, the orthogonal acceleration unit 4 includes a flat plate electrode 41 and a mesh electrode 42 in which a large number of openings through which ions can pass are formed. An incident beam limiting mechanism 300 including two slit plates 301 and 302 arranged in parallel is arranged. In this figure, the initial beam direction of the ion beam incident on the acceleration region sandwiched between the plate electrode 41 and the mesh electrode 42 is the X-axis direction, and the acceleration direction, that is, the time-of-flight analysis direction is the Z-axis orthogonal to the X-axis. Direction.

入射ビーム制限機構300から直交加速部4にイオンが入射されるとき、電極41、42は同電位(例えば接地電位)であり、加速領域に電場は存在しない。十分な量のイオンが入射した時点で平板電極41にイオンと同極性の高電圧パルスが印加されると、加速領域には加速電場が形成され、イオンは大きな運動エネルギを付与されてメッシュ状電極42の開口を通過して飛行を開始する。   When ions are incident on the orthogonal acceleration unit 4 from the incident beam limiting mechanism 300, the electrodes 41 and 42 are at the same potential (for example, ground potential), and there is no electric field in the acceleration region. When a high voltage pulse having the same polarity as the ions is applied to the plate electrode 41 when a sufficient amount of ions are incident, an accelerating electric field is formed in the acceleration region, and the ions are given large kinetic energy, and the mesh electrode The flight starts through 42 openings.

直交加速部4において、イオンが持つ飛行時間分析方向(Z軸方向)の初期エネルギEzは、Ez=Esin2αで与えられる。ここで、E及びαは加速領域に入射してくるイオンビームのエネルギ及びX軸となす角度である。初期エネルギEzが大きいほど、ターンアラウンドタイム(飛行時間分析方向に対し逆方向に速度成分を有するイオンが出発点を発してから該出発点にまで戻って来るまでに要する時間)に起因する飛行時間拡がりは大きくなる。初期エネルギEzを小さくするためには、エネルギE及び角度αを小さくする必要がある。入射ビーム制限機構300は角度αを小さく制限するためのものであり、図5の構成では、2枚のスリット板301、302の間隔L及びスリット板302の開口幅Hに対しビームの角度拡がりαはtan-1(H/L)で与えられる。したがって、間隔L、開口幅Hを適切に設定することでイオンビームの角度αを抑え、イオンが持つ初期エネルギのばらつきを許容範囲内に収めることができる。In the orthogonal acceleration unit 4, the initial energy Ez of the ions in the time-of-flight analysis direction (Z-axis direction) is given by Ez = Esin 2 α. Here, E and α are the energy of the ion beam incident on the acceleration region and the angle formed with the X axis. The greater the initial energy Ez, the longer the flight time due to the turnaround time (the time it takes for an ion having a velocity component in the direction opposite to the time-of-flight analysis direction to start and return to the starting point). The spread increases. In order to reduce the initial energy Ez, it is necessary to reduce the energy E and the angle α. The incident beam limiting mechanism 300 is for limiting the angle α to be small. In the configuration shown in FIG. 5, the beam angle spread α with respect to the interval L between the two slit plates 301 and 302 and the opening width H of the slit plate 302. Is given by tan -1 (H / L). Therefore, by appropriately setting the distance L and the opening width H, the angle α of the ion beam can be suppressed, and variations in the initial energy of ions can be within an allowable range.

しかしながら、上記のような従来の入射ビーム制限機構では、質量分解能を上げるために間隔Lを大きくしたり開口幅Hを狭くしたりすると、入射ビーム制限機構300を通過するイオンの量が減少し、測定感度が低下することになる。これに対し、非特許文献1には、2枚のスリット板の間の空間にイオンレンズを配置し、該イオンレンズによるイオンの収束作用を利用して、イオンの透過率が劣るために感度はそれほど高くないもののイオンビームの平行度が高い高分解能モードと、イオンビームの平行度が相対的に劣るために質量分解能はそれほど高くないもののイオンの透過率が良好である高感度モードと、を切替え可能としたビーム形状調整用のイオン光学系が開示されている。   However, in the conventional incident beam limiting mechanism as described above, when the interval L is increased or the aperture width H is decreased in order to increase the mass resolution, the amount of ions passing through the incident beam limiting mechanism 300 is reduced. Measurement sensitivity will decrease. On the other hand, in Non-Patent Document 1, an ion lens is arranged in a space between two slit plates, and the ion converging action by the ion lens is used, so that the ion transmittance is inferior, so the sensitivity is so high. It is possible to switch between a high-resolution mode in which the parallelism of the ion beam is high but a high-sensitivity mode in which the ion transmittance is good although the mass resolution is not so high because the parallelism of the ion beam is relatively poor. An ion optical system for adjusting the beam shape is disclosed.

ウガロフ(Michael Ugarov)、ほか1名、「ニュー・メソッド・オブ・イオン・ビーム・フォーメイション・フォー・インクリーズド・センシティビティ・アンド・パフォーマンス・スタビリティ・オブ・トフ・エムエス(New method of ion beam formation for increased sensitivity and performance stability of TOF MS)」、アジレント・テクノロジー(Agilent Technologies)、59th ASMS(2011年)、ポスター発表MP 097、(インターネット<URL: http://www.chem.agilent.com/Library/posters/Public/ASMS_2011_MP_97.pdf>)Michael Ugarov and one other person, “New Method of Ion Beam Formation for Increasing Sensitivity and Performance Stability of Tofu MS beam formation for increased sensitivity and performance stability of TOF MS), Agilent Technologies, 59th ASMS (2011), poster presentation MP 097 (Internet <URL: http://www.chem.agilent.com /Library/posters/Public/ASMS_2011_MP_97.pdf>)

しかしながら、上述した従来のビーム形状調整用イオン光学系では、高感度モードと高分解能モードとの感度の差はそれほど大きくなく、高感度モードにおけるイオン透過率は高分解能モードのイオン透過率の1.5倍〜2倍程度にすぎない。通常、高分解能モードは定性分析に利用され、高感度モードは定量分析に利用されるが、この程度の感度差であると、例えば含有量が微量であるために高分解能モードでは十分に観測できない成分を、高感度モードに切り替えて観測しようとしても、十分な感度で観測できないといったことがしばしば起こることになる。   However, in the conventional ion optical system for beam shape adjustment described above, the difference in sensitivity between the high-sensitivity mode and the high-resolution mode is not so large, and the ion transmittance in the high-sensitivity mode is 1. It is only about 5 to 2 times. Usually, the high-resolution mode is used for qualitative analysis, and the high-sensitivity mode is used for quantitative analysis. However, if the sensitivity difference is such a level, for example, the content is very small, so the high-resolution mode cannot be sufficiently observed. Even if the component is observed by switching to the high sensitivity mode, it often happens that the component cannot be observed with sufficient sensitivity.

本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、分析目的等に応じて質量分解能を重視した高分解能モードと測定感度を重視した高感度モードとを切り替え可能とした直交加速方式の飛行時間型質量分析装置において、十分に高い感度での分析と十分に高い質量分解能での分析を行うことをその目的としている。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and is an orthogonal acceleration method that can switch between a high-resolution mode that emphasizes mass resolution and a high-sensitivity mode that emphasizes measurement sensitivity in accordance with the purpose of analysis and the like. The purpose of the time-of-flight mass spectrometer is to perform analysis with sufficiently high sensitivity and analysis with sufficiently high mass resolution.

上記課題を解決するために成された本発明は、入射されたイオンをその入射軸と直交する方向に加速する直交加速部と、該直交加速部へイオンを送り込むイオン光学系と、を具備する直交加速方式の飛行時間型質量分析装置であって、
前記イオン光学系は、
a)イオン光軸方向に所定間隔離して二つ以上配置された、前記直交加速部における加速方向にイオンビームの幅を規制するスリットが該加速方向に複数設けられてなる入射ビーム規制部と、
b)前記二つ以上の入射ビーム規制部のうちの隣接する二つの入射ビーム規制部の間に配置され、その前段の入射ビーム規制部に複数設けられたスリットの少なくとも一つを通過してきたイオンビームが後段の入射ビーム規制部に設けられたスリットに達しないように該イオンビームを偏向させるビーム偏向部と、
を備えることを特徴としている。
The present invention made to solve the above problems comprises an orthogonal acceleration unit that accelerates incident ions in a direction orthogonal to the incident axis, and an ion optical system that sends ions to the orthogonal acceleration unit. An orthogonal acceleration time-of-flight mass spectrometer,
The ion optical system is
a) an incident beam restricting portion in which a plurality of slits for restricting the width of the ion beam in the acceleration direction in the orthogonal acceleration portion are provided in the acceleration direction, the two or more being arranged at predetermined intervals in the ion optical axis direction;
b) Ions that are disposed between two adjacent incident beam restricting portions of the two or more incident beam restricting portions, and have passed through at least one of a plurality of slits provided in the incident beam restricting portion in the preceding stage. A beam deflecting unit that deflects the ion beam so that the beam does not reach the slit provided in the incident beam regulating unit in the subsequent stage;
It is characterized by having.

本発明に係る直交加速方式の飛行時間型質量分析装置では、ビーム偏向部によりイオンビームが偏向されない場合、例えば図5に示したような複数のスリット板を用いた従来の入射ビーム規制機構と同様に、イオン光軸方向に離して複数配置された入射ビーム規制部により平行度が高められたイオンビームがイオン光学系から出射され、直交加速部へと導入される。このとき、イオン光学系では、入射ビーム規制部に設けられた複数のスリットを通してそれぞれイオンビームが出射されるので、ビーム断面積(ビーム径)は大きく、イオン量も多い。即ち、多量のイオンが質量分析に供されることになるので、測定感度が高くなる。   In the orthogonal acceleration time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, when the ion beam is not deflected by the beam deflecting unit, for example, the same as the conventional incident beam restricting mechanism using a plurality of slit plates as shown in FIG. In addition, an ion beam whose parallelism is increased by a plurality of incident beam restricting units arranged apart from each other in the ion optical axis direction is emitted from the ion optical system and introduced into the orthogonal acceleration unit. At this time, in the ion optical system, since the ion beam is emitted through a plurality of slits provided in the incident beam restricting portion, the beam cross-sectional area (beam diameter) is large and the amount of ions is large. That is, since a large amount of ions are subjected to mass spectrometry, the measurement sensitivity is increased.

一方、ビーム偏向部によりイオンビームが偏向されると、前段の入射ビーム規制部に設けられた複数のスリットの少なくとも一つを通過してきたイオンビームは後段の入射ビーム規制部に設けられたスリットを通過し得なくなる。加速方向に複数配置されたスリットのうち、端部側に位置するスリットにおいてこうしたビーム偏向によるビーム遮断が行われると、その分だけビーム断面積が小さくなる。即ち、加速方向のイオンビームの幅が狭くなるので、加速の際のイオンの初期位置のばらつきが抑えられ、同一イオン種の飛行時間の拡がりが抑えられるために質量分解能が向上する。   On the other hand, when the ion beam is deflected by the beam deflecting unit, the ion beam that has passed through at least one of the plurality of slits provided in the preceding incident beam restricting unit passes through the slit provided in the subsequent incident beam restricting unit. Cannot pass. When the beam is blocked by such beam deflection at the slit located on the end side among the plurality of slits arranged in the acceleration direction, the beam cross-sectional area is reduced accordingly. That is, since the width of the ion beam in the acceleration direction is narrowed, variations in the initial position of ions during acceleration are suppressed, and the spread of the flight time of the same ion species is suppressed, so that mass resolution is improved.

このようにして、本発明に係る飛行時間型質量分析装置では、ビーム偏向部による偏向の有無によって、高感度の測定と高分解能の測定とを切り替えることができる。特に、複数のスリットを設け、高感度測定ではそれらスリットを全て使用し、高分解能測定ではそれらスリットの一部を実質的に使用しない(イオンを通過させない)ようにしたので、質量分析に供するイオンの量を大幅に変化させることができ、感度差を十分に確保することが可能となる。   Thus, in the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, it is possible to switch between high-sensitivity measurement and high-resolution measurement depending on the presence or absence of deflection by the beam deflection unit. In particular, a plurality of slits are provided, and all of these slits are used for high-sensitivity measurement, and part of the slits are not substantially used (no ions are allowed to pass) for high-resolution measurement. This amount can be changed greatly, and a sufficient sensitivity difference can be secured.

本発明に係る飛行時間型質量分析装置では、イオンビームを偏向させるために磁場を利用することも可能ではあるが、一般的には、電場を利用したほうが構成が簡易であり制御も容易である。
即ち、本発明の好ましい一態様として、上記ビーム偏向部は、二つの入射ビーム規制部の間に配置された偏向電極と、該偏向電極に偏向電圧を印加する偏向電圧発生部と、を含む構成とするとよい。
In the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, it is possible to use a magnetic field to deflect the ion beam. However, in general, the configuration is simpler and easier to control by using an electric field. .
That is, as a preferable aspect of the present invention, the beam deflection unit includes a deflection electrode disposed between two incident beam regulating units, and a deflection voltage generation unit that applies a deflection voltage to the deflection electrode. It is good to do.

また、この態様においては、質量分解能を優先させる高分解能モードと感度を優先させる高感度モードとを切り替え可能であり、高分解能モードが指定されたときに上記偏向電極に偏向電圧を印加し、高感度モードが指定されたときには上記偏向電極への偏向電圧の印加を停止するように上記偏向電圧発生部を制御する制御部をさらに備える構成とするとよい。   In this aspect, the high resolution mode that prioritizes mass resolution and the high sensitivity mode that prioritizes sensitivity can be switched. When the high resolution mode is designated, a deflection voltage is applied to the deflection electrode, It is preferable to further include a control unit that controls the deflection voltage generation unit so as to stop the application of the deflection voltage to the deflection electrode when the sensitivity mode is designated.

この構成によれば、制御部による制御によって、高感度モードと高分解能モードとの切替えを短時間で行うことができるので、例えば液体クロマトグラフで成分分離された特定の成分が導入されている比較的短い時間中に、高分解能測定と高感度測定とを切り替えて、それぞれの測定に対する結果(マススペクトル)を得ることも可能である。   According to this configuration, it is possible to switch between the high sensitivity mode and the high resolution mode in a short time by the control by the control unit. Therefore, for example, a comparison in which a specific component separated by a liquid chromatograph is introduced It is also possible to switch between high-resolution measurement and high-sensitivity measurement within a short time and obtain the results (mass spectrum) for each measurement.

本発明に係る飛行時間型質量分析装置によれば、例えば微量成分の定量分析など、測定感度を重視した高感度測定を行いたい場合に、質量分解能は低いものの、質量分解能を重視した高分解能測定に比べて十分に高い感度で測定を行うことができる。一方、比較的含有量が多い成分の定性分析など、質量分解能を重視した高分解能測定を行いたい場合には、感度は低いものの、高感度測定に比べて十分に高い質量分解能で測定を行うことができる。このように、感度重視又は質量分解能重視の明確な測定の切り替えが可能であるので、分析目的に応じた的確な結果を得ることができる。   According to the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, for example, when performing high-sensitivity measurement with an emphasis on measurement sensitivity, such as quantitative analysis of trace components, although the mass resolution is low, high-resolution measurement with an emphasis on mass resolution. Measurement can be performed with sufficiently high sensitivity. On the other hand, if you want to perform high-resolution measurement with an emphasis on mass resolution, such as qualitative analysis of components with a relatively high content, the sensitivity is low, but the measurement should be performed with sufficiently high mass resolution compared to high-sensitivity measurement. Can do. As described above, since it is possible to clearly switch the measurement with emphasis on sensitivity or mass resolution, it is possible to obtain an accurate result according to the analysis purpose.

本発明の一実施例である直交加速方式TOFMSの全体構成図。1 is an overall configuration diagram of an orthogonal acceleration TOFMS that is an embodiment of the present invention. FIG. 図1中のビーム形状調整用イオン光学系の概略構成図。The schematic block diagram of the ion optical system for beam shape adjustments in FIG. 図1中のビーム形状調整用イオン光学系のイオン入射部分の概略斜視図。The schematic perspective view of the ion incident part of the ion optical system for beam shape adjustments in FIG. 図1中のビーム形状調整用イオン光学系におけるイオン軌道をシミュレーションした結果を示す図。The figure which shows the result of having simulated the ion orbit in the ion optical system for beam shape adjustments in FIG. 従来の直交加速方式TOFMSの直交加速部及びその前段の入射ビーム制限機構の概略構成図。The schematic block diagram of the orthogonal acceleration part of the conventional orthogonal acceleration type TOFMS, and the incident beam limiting mechanism of the front stage.

本発明の一実施例である直交加速方式TOFMSについて、添付図面を参照して説明する。図1は本実施例の直交加速方式TOFMSの全体構成図である。図1において、すでに説明した図5中の構成要素と同一の構成要素には同じ符号を付している。   An orthogonal acceleration type TOFMS which is an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an overall configuration diagram of the orthogonal acceleration type TOFMS of the present embodiment. In FIG. 1, the same components as those already described with reference to FIG.

本実施例の直交加速方式TOFMSは、目的試料をイオン化するイオン源1と、反射器51を備えるTOF分析器5と、イオンを加速してTOF分析器5に送り込む直交加速部4と、イオン源1から出射されたイオンを案内するイオンガイド2と、イオンガイド2によって案内されたイオンビームの断面内のサイズを調整して直交加速部4へ送り込むビーム形状調整用イオン光学系3と、TOF分析器5の飛行空間を飛行して来たイオンを検出する検出器6と、該検出器6で得られたデータを処理して例えばマススペクトル等を作成するデータ処理部16と、ビーム形状調整用イオン光学系3に含まれる電極に所定の電圧を印加する偏向電圧発生部12と、直交加速部4に含まれる電極41、42に所定の電圧を印加する直交加速電源部13と、反射器51に所定の電圧を印加する反射器電源部14と、各部の動作を制御する制御部10と、分析条件などをユーザが指定するための入力部15と、を備える。また、制御部10は、機能ブロックとして分析モード切替部11を含む。   The orthogonal acceleration type TOFMS of this embodiment includes an ion source 1 that ionizes a target sample, a TOF analyzer 5 that includes a reflector 51, an orthogonal acceleration unit 4 that accelerates ions and sends them to the TOF analyzer 5, and an ion source. An ion guide 2 for guiding ions emitted from 1, an ion optical system 3 for adjusting the shape of the ion beam guided by the ion guide 2 and feeding it to the orthogonal acceleration unit 4, and TOF analysis A detector 6 for detecting ions flying in the flight space of the detector 5, a data processor 16 for processing data obtained by the detector 6 to create, for example, a mass spectrum, and the like for beam shape adjustment A deflection voltage generator 12 that applies a predetermined voltage to the electrodes included in the ion optical system 3, and an orthogonal acceleration power supply unit 13 that applies a predetermined voltage to the electrodes 41 and 42 included in the orthogonal acceleration unit 4. Comprises a reflector power unit 14 for applying a predetermined voltage to the reflector 51, a control unit 10 which controls the operation of each unit, and the analysis condition input unit 15 for a user to specify, the. The control unit 10 includes an analysis mode switching unit 11 as a functional block.

イオン源1におけるイオン化法は特に限定されず、例えば、試料が液体状である場合にはエレクトロスプレイイオン化(ESI)法や大気圧化学イオン化(APCI)法などの大気圧イオン化法が用いられ、また試料が固体状である場合にはマトリクス支援レーザ脱離イオン化(MALDI)法などが用いられる。   The ionization method in the ion source 1 is not particularly limited. For example, when the sample is in a liquid state, an atmospheric pressure ionization method such as an electrospray ionization (ESI) method or an atmospheric pressure chemical ionization (APCI) method is used. When the sample is in a solid state, a matrix-assisted laser desorption ionization (MALDI) method or the like is used.

本実施例の直交加速方式TOFMSにおける基本的な分析動作は次の通りである。
例えばESI法によるイオン源1において生成された各種イオンはイオンガイド2を通してビーム形状調整用イオン光学系3に導入され、ビーム形状調整用イオン光学系3を通してほぼX軸方向に直交加速部4に導入される。イオンが直交加速部4に導入される際には該直交加速部4には加速電場は形成されておらず、十分な量のイオンが直交加速部4に導入された時点で、直交加速電源部13から平板電極41及びメッシュ状電極42に所定電圧が印加されることで加速電場が形成される。この加速電場の作用によってイオンはZ軸方向に運動エネルギを付与され、TOF分析器5の飛行空間へ送り込まれる。
The basic analysis operation in the orthogonal acceleration type TOFMS of the present embodiment is as follows.
For example, various ions generated in the ion source 1 by the ESI method are introduced into the ion optical system 3 for beam shape adjustment through the ion guide 2 and introduced into the orthogonal acceleration unit 4 in the X-axis direction through the ion optical system 3 for beam shape adjustment. Is done. When ions are introduced into the orthogonal acceleration unit 4, an acceleration electric field is not formed in the orthogonal acceleration unit 4, and when a sufficient amount of ions are introduced into the orthogonal acceleration unit 4, the orthogonal acceleration power supply unit An accelerating electric field is formed by applying a predetermined voltage from 13 to the plate electrode 41 and the mesh electrode 42. Ions are given kinetic energy in the Z-axis direction by the action of this acceleration electric field, and are sent into the flight space of the TOF analyzer 5.

図1中に2点鎖線で示すように、直交加速部4の加速領域から飛行を開始したイオンは反射器電源部14から反射器51に印加される電圧により形成される電場によって折り返され、最終的に検出器6に到達する。検出器6は到達したイオンの量に応じた検出信号を時間経過に伴い順次生成する。データ処理部16はこの検出信号から飛行時間スペクトルを求め、さらに飛行時間を質量電荷比m/zに換算することでマススペクトルを求める。   As shown by a two-dot chain line in FIG. 1, ions that have started flying from the acceleration region of the orthogonal acceleration unit 4 are folded back by an electric field formed by a voltage applied from the reflector power supply unit 14 to the reflector 51. Automatically reaches the detector 6. The detector 6 sequentially generates a detection signal corresponding to the amount of ions that have reached with time. The data processing unit 16 obtains a time-of-flight spectrum from this detection signal, and further obtains a mass spectrum by converting the flight time to a mass-to-charge ratio m / z.

図2は、イオンガイド2と直交加速部4との間に配置されているビーム形状調整用イオン光学系3の概略構成図である。図2(a)には高感度モードのときのイオン軌道を、図2(b)には高分解能モードのときのイオン軌道を、それぞれ概略的に示している。また、図3はこのビーム形状調整用イオン光学系3のイオン入射部分の概略斜視図である。なお、このイオン入射部分の右側はX軸、Z軸を含む平面で切断した断面で示している。   FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a beam shape adjusting ion optical system 3 disposed between the ion guide 2 and the orthogonal acceleration unit 4. FIG. 2A schematically shows an ion trajectory in the high sensitivity mode, and FIG. 2B schematically shows an ion trajectory in the high resolution mode. FIG. 3 is a schematic perspective view of an ion incident portion of the ion optical system 3 for beam shape adjustment. The right side of the ion incident portion is shown by a cross section cut along a plane including the X axis and the Z axis.

このビーム形状調整用イオン光学系3は、イオン光軸方向であるX軸方向に所定間隔離して平行に配置された2枚のスリット板31、32を含む。前段のスリット板31には、直交加速部4におけるイオンの加速方向であるZ軸方向に狭い幅であって、Z軸に直交するY軸方向に延伸する、三つのスリット開口31a、31b、31cが、Z軸方向に沿って設けられている。後段のスリット板32にも同様に、三つのスリット開口32a、32b、32cが、Z軸方向に沿って設けられている。   The beam shape adjusting ion optical system 3 includes two slit plates 31 and 32 arranged in parallel with a predetermined distance in the X-axis direction which is the ion optical axis direction. The slit plate 31 at the front stage has three slit openings 31a, 31b, 31c that are narrow in the Z-axis direction, which is the acceleration direction of ions in the orthogonal acceleration unit 4, and extend in the Y-axis direction orthogonal to the Z-axis. Are provided along the Z-axis direction. Similarly, the slit plate 32 at the rear stage is provided with three slit openings 32a, 32b, and 32c along the Z-axis direction.

スリット開口31a、32aとスリット開口31b、32bとの間、及び、スリット開口31b、32bとスリット開口31c、32cとの間には、それぞれ、前後のスリット板31、32の間を繋ぐ導電体である仕切壁33、34が設けられている。また、前段のスリット板31のスリット開口31a上縁部の後方には、仕切壁33を挟んで対向するように平板状の電極35が配置され、同じく前段のスリット板31のスリット開口31c下縁部の後方には、仕切壁34を挟んで対向するように平板状の電極36が配置されている。   Between the slit openings 31a and 32a and the slit openings 31b and 32b, and between the slit openings 31b and 32b and the slit openings 31c and 32c, conductors that connect between the front and rear slit plates 31, 32, respectively. Certain partition walls 33 and 34 are provided. A flat electrode 35 is disposed behind the upper edge of the slit opening 31a of the front slit plate 31 so as to face each other across the partition wall 33, and the lower edge of the slit opening 31c of the front slit plate 31 is also provided. A flat plate electrode 36 is arranged behind the unit so as to face each other with the partition wall 34 interposed therebetween.

ここでは、仕切壁33と電極35とが一対の偏向電極を構成し、仕切壁34と電極36とが他の一対の偏向電極を構成している。例えば、仕切壁33及び仕切壁34は接地され、電極35及び電極36に偏向電圧発生部12から所定の直流偏向電圧が印加される。   Here, the partition wall 33 and the electrode 35 constitute a pair of deflection electrodes, and the partition wall 34 and the electrode 36 constitute another pair of deflection electrodes. For example, the partition wall 33 and the partition wall 34 are grounded, and a predetermined DC deflection voltage is applied to the electrode 35 and the electrode 36 from the deflection voltage generator 12.

本実施例のTOFMSでは、分析モードとして、高感度モードと高分解能モードとが用意されており、例えば入力部15を介した分析者の指示により、いずれかの分析モードでの測定が可能となっている。また、予め分析条件を設定したメソッドファイルに従って自動的に分析を遂行させる場合には、高感度モードと高分解能モードとを自動的に切り替えながら測定を行うこともできるようになっている。いずれにしても、制御部10において分析モード切替部11が偏向電圧発生部12に分析モードを指示し、高感度モードでは偏向電圧発生部12は偏向電圧を生成せず、高分解能モードでは偏向電圧発生部12は所定の偏向電圧を生成する。   In the TOFMS of the present embodiment, a high sensitivity mode and a high resolution mode are prepared as analysis modes. For example, measurement in any analysis mode is possible by an instruction from the analyst via the input unit 15. ing. In addition, when the analysis is automatically performed according to the method file in which the analysis conditions are set in advance, the measurement can be performed while automatically switching between the high sensitivity mode and the high resolution mode. In any case, in the control unit 10, the analysis mode switching unit 11 instructs the deflection voltage generation unit 12 in the analysis mode. In the high sensitivity mode, the deflection voltage generation unit 12 does not generate the deflection voltage, and in the high resolution mode, the deflection voltage. The generator 12 generates a predetermined deflection voltage.

高感度モードでは、2対の偏向電極に偏向電圧が印加されないので、仕切壁33と電極35との間及び仕切壁34と電極36との間のいずれにも偏向電場は形成されない。図2(a)及び図3に示したように、スリット板31のスリット開口31a〜31c全体をほぼカバーするように、前段からイオンは入射してくる。前段のスリット板31の面上でスリット開口31a〜31c部分に到達したイオンは該スリット開口31a〜31cを通過し、そのまま直進する。そして、後段のスリット板32のスリット開口32a〜32cをそれぞれ通過して出てゆく。
図2(a)では、X軸に平行な軌道を有するイオンしか描いていないが、X軸に対し所定以上の角度を有して入射してくるイオンはスリット開口31a〜31cを通過したとしてもスリット開口32a〜32cを通過しない(途中で仕切壁33、34やスリット板32に接触し消滅する)ため、スリット開口32a〜32cからは或る程度の平行度を有したイオンビームが出射する。
In the high sensitivity mode, since no deflection voltage is applied to the two pairs of deflection electrodes, no deflection electric field is formed between the partition wall 33 and the electrode 35 and between the partition wall 34 and the electrode 36. As shown in FIGS. 2A and 3, ions are incident from the previous stage so as to substantially cover the entire slit openings 31 a to 31 c of the slit plate 31. The ions that have reached the slit openings 31a to 31c on the surface of the front slit plate 31 pass through the slit openings 31a to 31c and go straight. And it passes through slit opening 32a-32c of the slit plate 32 of a back | latter stage, respectively, and comes out.
In FIG. 2 (a), only ions having a trajectory parallel to the X axis are drawn, but even if ions entering at an angle greater than a predetermined angle with respect to the X axis pass through the slit openings 31a to 31c. Since they do not pass through the slit openings 32a to 32c (contact with the partition walls 33 and 34 and the slit plate 32 on the way and disappear), an ion beam having a certain degree of parallelism is emitted from the slit openings 32a to 32c.

この場合、三つのスリット開口32a〜32cの全てからイオンが出射するため、直交加速部4へ導入されるイオンビームはZ軸方向に広いものとなる。そのため、直交加速部4でイオンが加速される際の初期位置のばらつきは大きく、それが質量分解能を下げる要因となるために、質量分解能はあまり高くない。その反面、ビーム形状調整用イオン光学系3で遮断されるイオン量は少なく、それだけ多くの量のイオンが直交加速部4へ導入されて質量分析に供されるので、高い感度が実現できる。   In this case, since ions are emitted from all of the three slit openings 32a to 32c, the ion beam introduced into the orthogonal acceleration unit 4 is wide in the Z-axis direction. For this reason, the initial position variation when ions are accelerated by the orthogonal acceleration unit 4 is large, and this causes a decrease in the mass resolution. Therefore, the mass resolution is not so high. On the other hand, the amount of ions blocked by the ion optical system 3 for adjusting the beam shape is small, and a larger amount of ions are introduced into the orthogonal acceleration unit 4 and used for mass analysis, so that high sensitivity can be realized.

一方、高分解能モードでは、2対の偏向電極に偏向電圧が印加され、仕切壁33と電極35との間及び仕切壁34と電極36との間にそれぞれ偏向電場が形成される。高感度モード時と同様に、スリット板31のスリット開口31a〜31c全体をほぼカバーするように入射してきたイオンのうち、前段のスリット板31の面上でスリット開口31a〜31c部分に到達したイオンは該スリット開口31a〜31cを通過する。スリット開口31bを通過したイオンは偏向電場の影響を受けずにそのまま直進し、後段のスリット板32のスリット開口32bを通過して出てゆく。これに対し、上下の二つのスリット開口31a、31cを通過したイオンはその直後に偏向電場によるZ軸方向の力を受け、図2(b)に示すように、その軌道を曲げる。その結果、それらイオンは後段のスリット板32のスリット開口32a、32cには到達せず、それらスリット開口32a、32cからはイオンは出射しない。   On the other hand, in the high resolution mode, a deflection voltage is applied to the two pairs of deflection electrodes, and a deflection electric field is formed between the partition wall 33 and the electrode 35 and between the partition wall 34 and the electrode 36, respectively. As in the high-sensitivity mode, ions that have entered the slit openings 31a to 31c on the surface of the previous slit plate 31 out of the ions that have substantially entered the slit openings 31a to 31c of the slit plate 31. Passes through the slit openings 31a to 31c. The ions that have passed through the slit opening 31b travel straight without being influenced by the deflection electric field, and pass through the slit opening 32b of the slit plate 32 at the subsequent stage and exit. On the other hand, the ions that have passed through the upper and lower slit openings 31a and 31c receive a force in the Z-axis direction due to the deflection electric field immediately after that, and bend their trajectories as shown in FIG. As a result, the ions do not reach the slit openings 32a and 32c of the subsequent slit plate 32, and ions are not emitted from the slit openings 32a and 32c.

この場合、三つのスリット開口32a〜32cのうち中央のスリット開口32bのみからイオンが出射するため、直交加速部4へ導入されるイオンビームはZ軸方向に狭いものとなる。そのため、直交加速部4でイオンが加速される際の初期位置のばらつきは小さくなり、高い質量分解能を達成できる。その反面、ビーム形状調整用イオン光学系3で遮断されるイオン量が多いため、直交加速部4へ導入されて質量分析に供されるイオンの量は少なくなり、感度は低くなる。   In this case, since ions are emitted from only the central slit opening 32b among the three slit openings 32a to 32c, the ion beam introduced into the orthogonal acceleration unit 4 is narrow in the Z-axis direction. For this reason, variations in the initial position when ions are accelerated by the orthogonal acceleration unit 4 are reduced, and high mass resolution can be achieved. On the other hand, since the amount of ions blocked by the ion optical system 3 for beam shape adjustment is large, the amount of ions introduced into the orthogonal acceleration unit 4 and used for mass analysis is small, and the sensitivity is low.

図4はビーム形状調整用イオン光学系3におけるイオン軌道をシミュレーションした結果を示す図である。図4(b)によると、高分解能モードでは前段のスリット板31を通過したイオンの一部の軌道が大きく曲げられ、後段のスリット板32で遮断されていることが確認できる。各分析モードでのイオン透過率を計算したところ、高感度モードにおけるイオン透過率は高分解能モードの約3.4倍である。これは、ほぼそのまま感度の差になる。このことから、本実施例の直交加速方式TOFMSでは、従来のビーム形状調整用イオン光学系を用いた場合に比べて、高感度モードと高分解能モードとの感度差を十分に大きくできることが確認できた。   FIG. 4 is a diagram showing the result of simulating ion trajectories in the beam shape adjusting ion optical system 3. According to FIG. 4B, in the high resolution mode, it can be confirmed that some orbits of ions that have passed through the front slit plate 31 are greatly bent and blocked by the rear slit plate 32. When the ion transmittance in each analysis mode is calculated, the ion transmittance in the high sensitivity mode is about 3.4 times that in the high resolution mode. This becomes a difference in sensitivity almost as it is. From this, it can be confirmed that the orthogonal acceleration method TOFMS of the present embodiment can sufficiently increase the sensitivity difference between the high sensitivity mode and the high resolution mode as compared with the case of using the conventional ion optical system for beam shape adjustment. It was.

なお、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜変更、修正、追加などを行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。
例えば、スリット板の枚数や1枚のスリット板に形成するスリット開口の数、或いはスリット開口の形状などは適宜定めることができる。また、偏向電極の位置や形状なども適宜変更することができる。また、偏向電場ではなく磁場によってイオンを偏向させるようにすることもできる。
It should be noted that the above embodiment is an example of the present invention, and it is obvious that any changes, modifications, additions, etc. within the scope of the present invention are included in the claims of the present application.
For example, the number of slit plates, the number of slit openings formed in one slit plate, or the shape of the slit openings can be determined as appropriate. Further, the position and shape of the deflection electrode can be appropriately changed. It is also possible to deflect ions by a magnetic field instead of a deflection electric field.

1…イオン源
2…イオンガイド
3…ビーム形状調整用イオン光学系
4…直交加速部
41…平板電極
42…メッシュ状電極
5…TOF分析器
51…反射器
6…検出器
10…制御部
11…分析モード切替部
12…偏向電圧発生部
13…直交加速電源部
14…反射器電源部
15…入力部
16…データ処理部
31、32…スリット板
31a〜31c、32a〜32c…スリット開口
33、34…仕切壁(偏向電極)
35、36…電極(偏向電極)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ion source 2 ... Ion guide 3 ... Ion optical system 4 for beam shape adjustment ... Orthogonal acceleration part 41 ... Flat plate electrode 42 ... Mesh electrode 5 ... TOF analyzer 51 ... Reflector 6 ... Detector 10 ... Control part 11 ... Analysis mode switching unit 12 ... deflection voltage generation unit 13 ... orthogonal acceleration power supply unit 14 ... reflector power supply unit 15 ... input unit 16 ... data processing units 31 and 32 ... slit plates 31a to 31c, 32a to 32c ... slit openings 33 and 34 ... Partition wall (deflection electrode)
35, 36 ... Electrode (deflection electrode)

Claims (3)

入射されたイオンをその入射軸と直交する方向に加速する直交加速部と、該直交加速部へイオンを送り込むイオン光学系と、を具備する直交加速方式の飛行時間型質量分析装置であって、
前記イオン光学系は、
a)イオン光軸方向に所定間隔離して二つ以上配置された、前記直交加速部における加速方向にイオンビームの幅を規制するスリットが該加速方向に複数設けられてなる入射ビーム規制部と、
b)前記二つ以上の入射ビーム規制部のうちの隣接する二つの入射ビーム規制部の間に配置され、その前段の入射ビーム規制部に複数設けられたスリットの少なくとも一つを通過してきたイオンビームが後段の入射ビーム規制部に設けられたスリットに達しないように該イオンビームを偏向させるビーム偏向部と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
An orthogonal acceleration type time-of-flight mass spectrometer comprising: an orthogonal acceleration unit that accelerates incident ions in a direction orthogonal to the incident axis; and an ion optical system that sends ions to the orthogonal acceleration unit,
The ion optical system is
a) an incident beam restricting portion in which a plurality of slits for restricting the width of the ion beam in the acceleration direction in the orthogonal acceleration portion are provided in the acceleration direction, the two or more being arranged at predetermined intervals in the ion optical axis direction;
b) Ions that are disposed between two adjacent incident beam restricting portions of the two or more incident beam restricting portions, and have passed through at least one of a plurality of slits provided in the incident beam restricting portion in the preceding stage. A beam deflecting unit that deflects the ion beam so that the beam does not reach the slit provided in the incident beam regulating unit in the subsequent stage;
A time-of-flight mass spectrometer.
請求項1に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記ビーム偏向部は、二つの入射ビーム規制部の間に配置された偏向電極と、該偏向電極に偏向電圧を印加する偏向電圧発生部と、を含むことを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
The time-of-flight mass spectrometer according to claim 1,
The beam deflection unit includes a deflection electrode disposed between two incident beam restricting units, and a deflection voltage generation unit that applies a deflection voltage to the deflection electrode. .
請求項2に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
質量分解能を優先させる高分解能モードと感度を優先させる高感度モードとを切り替え可能であり、高分解能モードが指定されたときに前記偏向電極に偏向電圧を印加し、高感度モードが指定されたときには前記偏向電極への偏向電圧の印加を停止するように前記偏向電圧発生部を制御する制御部をさらに備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
The time-of-flight mass spectrometer according to claim 2,
The high resolution mode giving priority to mass resolution and the high sensitivity mode giving priority to sensitivity can be switched. When the high resolution mode is designated, a deflection voltage is applied to the deflection electrode, and when the high sensitivity mode is designated. A time-of-flight mass spectrometer further comprising a control unit that controls the deflection voltage generation unit so as to stop application of the deflection voltage to the deflection electrode.
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