JP6021577B2 - 研磨方法 - Google Patents
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Description
一方、図4の光学顕微鏡による写真に示すように、硬度の高い材料に合わせて研磨すると、研磨剤が硬すぎて硬度の低い材料に研磨剤が埋没してしまう。そのため、観察対象と研磨剤が混在してしまい観察対象が判別できず観察をすることができない。
また、図5の光学顕微鏡による写真に示すように、研磨剤の埋没を防止するために、弾力のあるバフを用いて研磨すると、研磨剤の埋没は防止できるが硬度の高い材料の周辺の硬度の低い材料が深く削られてしまう。そのため、硬度の高い材料の輪郭が観察できなくなり正確な観察ができない。このように、硬度の大きく異なる材料で構成された複合材について研磨を行うと、平滑に研磨ができず正確な観察をすることができないという問題を有している。
本発明の一態様に係る研磨方法は、母材である超低硬度材と超高硬度材とからなる複合材の研磨方法であって、セラミック系研磨ディスクの表面にダイヤモンド砥粒を吹き付けて前記セラミック系研磨ディスクで前記複合材を研磨する精研磨工程と、該精研磨工程の後に、第一合成繊維系バフの表面にダイヤモンド砥粒を供給しながら前記第一合成繊維系バフで前記複合材を琢磨する予備琢磨工程と、該予備琢磨工程の後に、前記第一合成繊維系バフよりも弾性の小さい第二合成繊維系バフの表面に酸化物研磨剤を供給しながら前記第二合成繊維系バフで前記複合材を琢磨する琢磨工程と、を備えることを特徴とする。
本実施形態の研磨方法は、超低硬度材11であるアルミニウムと超高硬度材12であるボロンカーバイト(B4C)が混在している複合材1を光学顕微鏡で観察可能とするように表面を鏡面となるまで研磨される試料の作成に用いられる。
複合材1は、母材として超低硬度材11であるアルミニウムを有し、アルミニウム中に超高硬度材12であるボロンカーバイトの粒子が混在するように硬度の大きく異なった二種の材料で構成された材料である。
超低硬度材11であるアルミニウムは、非常に柔らかく展性の高い金属であり、ビッカース硬さが約50HV程度である。
超高硬度材12であるボロンカーバイトは、研磨剤として使用されることもあるセラミックで、ダイヤモンドに次ぐ高い高度を有し、そのビッカース硬さは約2000HV程度である。
研磨時間は30分以上とし、面出工程S10の生じた視認できる傷を除去し、次工程である予備琢磨工程S30以降で除去できる程度の僅かな傷が残った面を形成する。
琢磨時間は30分以上とし、精研磨工程S20で生じた僅かな傷を除去し、次工程である琢磨工程S40以降で除去できる程度に表面が曇った均一な面を形成する。
コロイダルシリカ系の酸化物研磨剤は、硬度がダイヤモンド砥粒よりも低く、粒径が数十nmと小さく、角の少ない形状の粒子を有機溶媒に安定的に分散させて構成されており、有機溶媒によって化学反応も生じることで化学研磨としての効果も有する。
琢磨時間は5分以内とし、表面が鏡面となるまで琢磨する。
図2(a)に示すように、面出工程S10を実施前の複合材1の表面は微視的に確認すると、母材であるアルミニウムの面が大きく波うち、さらに大きな傷がある状態となっている。また、混在するボロンカーバイトは母材であるアルミニウムの表面に対して埋没したり突出したりと均一な状態ではない。巨視的に確認しても大きな傷や変形が視認できる状態となっている。そのため、この状態では、回転研磨機に研磨ディスクやバフを設置しても複合材1の表面に対して均一に接触させることができず、研磨しても正確な観察に適した平面を形成できない。
このような状態で光学顕微鏡を用いて複合材1の表面を観察すると、図3の光学顕微鏡による写真に示すように、超低硬度材11に研磨剤が埋没することなく、超高硬度材12の輪郭を明瞭に観察することが可能となる。
これらの精研磨工程S20から琢磨工程S40まで実施することで、超低硬度材11と超高硬度材12との硬度の大きく異なる材料で構成された複合材1を平滑に研磨することが可能となる。
Claims (3)
- 母材である超低硬度材と超高硬度材とからなる複合材の研磨方法であって、
セラミック系研磨ディスクの表面にダイヤモンド砥粒を吹き付けて前記セラミック系研磨ディスクで前記複合材を研磨する精研磨工程と、
該精研磨工程の後に、第一合成繊維系バフの表面にダイヤモンド砥粒を供給しながら前記第一合成繊維系バフで前記複合材を琢磨する予備琢磨工程と、
該予備琢磨工程の後に、前記第一合成繊維系バフよりも弾性の小さい第二合成繊維系バフの表面に酸化物研磨剤を供給しながら前記第二合成繊維系バフで前記複合材を琢磨する琢磨工程と、
を備えることを特徴とする複合材の研磨方法。 - 前記琢磨工程の後に、0.25μm〜1μmの粒径のダイヤモンド砥粒を供給しながら、前記第一合成繊維系バフよりも弾性の高い第三合成繊維系バフで前記複合材を琢磨する仕上工程を備えることを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
- 前記精研磨工程の前に、砥石で前記複合材の表面を平面とする面出工程を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の研磨方法。
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