JP6013731B2 - Contact probe and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

この発明は、第1電気部品と第2電気部品とを電気的に接続するためのコンタクトプローブ(導電性接触子)と、このコンタクトプローブの製造方法とに関するものである。   The present invention relates to a contact probe (conductive contactor) for electrically connecting a first electrical component and a second electrical component, and a method for manufacturing the contact probe.

従来からこの種のコンタクトプローブは、第1電気部品に接触する導電性の第1接触部材と、第2電気部品に接触する導電性の第2接触部材と、これらの第1接触部材および第2接触部材の少なくとも一方が内部に移動自在に嵌合する導電性の筒体と、第1接触部材と第2接触部材とを互いに離反する方向へ弾性的に付勢するスプリングとを備えている。   Conventionally, this type of contact probe includes a first conductive contact member that contacts the first electrical component, a second conductive contact member that contacts the second electrical component, and the first and second contact members. At least one of the contact members is provided with a conductive cylinder that is movably fitted therein, and a spring that elastically biases the first contact member and the second contact member away from each other.

このコンタクトプローブとしては、第1接触部材と第2接触部材の一方に筒体が一体に形成され、他方がその筒体に対して移動自在に保持された、いわゆる片端摺動型のものや、第1接触部材と第2接触部材の双方が筒体に対して移動自在に保持された、いわゆる両端摺動型のものがある(例えば、特許文献1参照)。   As this contact probe, a cylindrical body is integrally formed on one of the first contact member and the second contact member, and the other is held so as to be movable with respect to the cylindrical body. There is a so-called both-end sliding type in which both the first contact member and the second contact member are held movably with respect to the cylinder (see, for example, Patent Document 1).

そして、このコンタクトプローブでは、第1接触部材、第2接触部材と筒体との内部短絡を改善するため、スプリングの端部(第1接触部材、第2接触部材に接触する端部)の巻き形状や、第1接触部材、第2接触部材の後端部(スプリングに接触する端部)の形状を工夫して、第1接触部材、第2接触部材を筒体に対して傾斜させて電路を形成することにより、第1接触部材、第2接触部材と筒体との接触状態を確保しようとしていた。   In this contact probe, in order to improve an internal short circuit between the first contact member and the second contact member and the cylindrical body, winding of the end portions of the spring (end portions contacting the first contact member and the second contact member) is performed. By devising the shape and the shape of the first contact member and the rear end of the second contact member (the end contacting the spring), the first contact member and the second contact member are inclined with respect to the cylinder, and the electric circuit The contact state of the first contact member, the second contact member, and the cylindrical body was to be ensured by forming.

実用新案登録第3088866号公報Utility Model Registration No. 3088866

しかしながら、このような従来のものにあっては、第1接触部材、第2接触部材が筒体に対して傾斜して接触する形で電路を形成するため、片端摺動型であると両端摺動型であるとを問わず、第1接触部材、第2接触部材と筒体との接触箇所において、その接触状態が不安定となり、内部短絡が必ずしも確実ではない。その結果、とりわけ高電流のデバイスのバーンイン試験に使用する場合には、コンタクトプローブを確実に内部短絡させたいという要望があった。   However, in such a conventional device, the first contact member and the second contact member form an electric circuit in contact with the cylindrical body in an inclined manner. Regardless of the movable type, the contact state becomes unstable at the contact portion between the first contact member, the second contact member, and the cylindrical body, and an internal short circuit is not necessarily reliable. As a result, there has been a demand for ensuring that the contact probe is internally short-circuited, particularly when used for burn-in testing of high current devices.

そこで、この発明は、こうした要望に応えるべく、確実に内部短絡させることが可能なコンタクトプローブおよびその製造方法を提供することを課題としている。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a contact probe capable of reliably causing an internal short circuit and a method for manufacturing the same in order to meet such a demand.

かかる課題を達成するために、請求項1に記載の発明は、第1電気部品に接触する導電性の第1接触部材と、第2電気部品に接触する導電性の第2接触部材と、前記第1接触部材および前記第2接触部材の少なくとも一方が内部に移動自在に嵌合する導電性の筒体と、前記筒体内に配置され、前記第1接触部材と前記第2接触部材とを互いに離反する方向へ弾性的に付勢するスプリングとを備えたコンタクトプローブであって、前記第1接触部材又は前記第2接触部材の一方には、細径部が形成されており、前記筒体の一部には、前記第1接触部材又は前記第2接触部材の一方に当接する板ばねが、前記当接される一方の第1又は第2接触部材が出入りする前記筒体の口の方向に向かって延出して形成されており、前記板ばねの先端部には前記細径部を係脱可能とする当接部が形成され、該係止状態で、前記筒体に前記一方の第1又は第2接触部材が保持され、該係止状態から前記一方の第1又は第2接触部材を前記筒体内に押込むことにより、および前記一方の第1又は第2接触部材を前記筒体から引き抜くことにより、係止状態が解除されるように構成されたコンタクトプローブとしたことを特徴とする。 In order to achieve such an object, the invention described in claim 1 includes a conductive first contact member that contacts the first electrical component, a conductive second contact member that contacts the second electrical component, An electrically conductive cylinder in which at least one of the first contact member and the second contact member is movably fitted inside, and the first contact member and the second contact member are disposed in the cylinder, and the first contact member and the second contact member are mutually connected. a contact probe comprising a spring which resiliently biased in a direction away, the one on the first contact element or the second contact member, the small-diameter portion is formed, of the cylindrical body some, direction of the abutting plate spring on one hand of the first contact member and the second contact member, the mouth of the tubular body one of the first or second contact member that is the contact in and out The tip of the leaf spring is An abutting portion that allows the small-diameter portion to be engaged and disengaged is formed, and in the locked state, the one first or second contact member is held in the cylindrical body, and the one first first is released from the locked state. or by pushing it a second contact member to the cylinder body, and by pulling out the first or second contact member of the one from the cylindrical body, and a contact probe that the locked state is configured so that the release It is characterized by that.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の構成に加え、前記第1接触部材および前記筒体が一体に形成され、前記第2接触部材が前記筒体に移動自在に嵌合していることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect, the first contact member and the cylindrical body are integrally formed, and the second contact member is movably fitted to the cylindrical body. It is characterized by.

請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の構成に加え、前記板ばねの先端部に、前記第2接触部材に接触する当接部が前記筒体の中心に向けて突出するように形成されていることを特徴とする。 Invention according to claim 3, in addition to the configuration of claim 2, the distal end of the plate spring contact portion in contact with the front Stories second contact member toward the center of the cylindrical body protrudes It is formed so that it may do.

請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載の構成に加え、前記板ばねの先端には、外側に向けて折曲され、前記第2接触部材が前記筒体に挿入されたときに当該第2接触部材摺動するガイド部が形成されていることを特徴とする。 The invention according to claim 4, in addition to the configuration according to claim 2 or 3, the tip of it if the plate is bent toward the outside, the second contact member is inserted into the cylindrical body A guide portion that slides on the second contact member when formed is formed.

請求項5に記載の発明は、請求項2乃至4のいずれかに記載の構成に加え、前記第2接触部材が前記細径部を有し、前記板ばねの前記当接部が前記細径部を係止することにより、前記筒体からの前記第2接触部材の突出量が規制されるように構成されていることを特徴とする。 In addition to the structure in any one of Claims 2 thru | or 4, the invention of Claim 5 has the said small diameter part, and the said contact part of the said leaf | plate spring has the said small diameter. By locking the part , the protruding amount of the second contact member from the cylindrical body is regulated.

請求項6に記載の発明は、請求項2乃至5のいずれかに記載の構成に加え、前記板ばねが複数であり、これらの板ばねが前記第2接触部材に当接した状態で、当該第2接触部材の軸心が前記筒体の軸心に略一致していることを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, in addition to the configuration according to any of the second to fifth aspects, a plurality of the leaf springs are provided, and the leaf springs are in contact with the second contact member. The axial center of the second contact member substantially coincides with the axial center of the cylindrical body.

請求項7に記載の発明は、請求項1乃至6のいずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法であって、導電性を有する平板材に略U字状の切り込みを形成して前記板ばねを形成し、その後、前記平板材を筒状に曲げ加工することにより、前記コンタクトプローブの前記筒体を作製するコンタクトプローブの製造方法としたことを特徴とする。   The invention according to claim 7 is the method for manufacturing the contact probe according to any one of claims 1 to 6, wherein the plate spring is formed by forming a substantially U-shaped cut in a conductive flat plate material. Then, the flat plate member is bent into a cylindrical shape, and the contact probe manufacturing method for manufacturing the cylindrical body of the contact probe is provided.

請求項1に記載の発明によれば、筒体に形成された板ばねを、その弾性力を利用して第1接触部材および第2接触部材の少なくとも一方に機械的に当接させるようにしているため、第1接触部材および第2接触部材の少なくとも一方と筒体との接触状態を安定させ、コンタクトプローブを確実に内部短絡させることが可能となる。   According to the first aspect of the present invention, the leaf spring formed in the cylindrical body is mechanically brought into contact with at least one of the first contact member and the second contact member using its elastic force. Therefore, the contact state between at least one of the first contact member and the second contact member and the cylindrical body can be stabilized, and the contact probe can be reliably internally short-circuited.

請求項2に記載の発明によれば、筒体に形成された板ばねを、その弾性力を利用して第2接触部材に機械的に当接させるようにしているため、第2接触部材と筒体との接触状態を安定させ、コンタクトプローブを確実に内部短絡させることが可能となる。   According to the second aspect of the present invention, since the leaf spring formed in the cylindrical body is mechanically brought into contact with the second contact member using its elastic force, the second contact member and It is possible to stabilize the contact state with the cylindrical body and reliably short-circuit the contact probe.

請求項3に記載の発明によれば、筒体の中心に向けて板ばねに形成された当接部が第2接触部材に接触するため、コンタクトプローブの内部短絡をより確実なものとすることができる。   According to the invention described in claim 3, since the contact portion formed on the leaf spring contacts the second contact member toward the center of the cylindrical body, the internal short circuit of the contact probe is made more reliable. Can do.

請求項4に記載の発明によれば、コンタクトプローブの組付けに際して、筒体に対する第2接触部材の挿入が容易になるため、コンタクトプローブの生産性を高めることができる。   According to the fourth aspect of the present invention, when the contact probe is assembled, the second contact member can be easily inserted into the cylindrical body, so that the productivity of the contact probe can be increased.

請求項5に記載の発明によれば、第2接触部材が、その細径部に板ばねが係合して突出量が規制されるため、コンタクトプローブの使用時の全長を確保することが可能となる。   According to the invention described in claim 5, since the protrusion amount is regulated by the leaf spring engaging the thin diameter portion of the second contact member, it is possible to ensure the full length when the contact probe is used. It becomes.

請求項6に記載の発明によれば、第2接触部材の軸心が筒体の軸心に略一致しているため、筒体に対する第2接触部材の摺動抵抗が小さくなり、第2接触部材が筒体に対して円滑に上下動することができる。   According to the sixth aspect of the present invention, since the axis of the second contact member substantially coincides with the axis of the cylinder, the sliding resistance of the second contact member with respect to the cylinder is reduced, and the second contact The member can move up and down smoothly with respect to the cylinder.

請求項7に記載の発明によれば、カーリングによって筒体を容易に作製することができるため、切削その他の作製方法に比べて、板ばねが形成されたコンタクトプローブを、その工程数を増加させることなく安価に製造することが可能となる。   According to the seventh aspect of the present invention, since the cylindrical body can be easily manufactured by curling, the number of steps of the contact probe in which the leaf spring is formed is increased as compared with cutting and other manufacturing methods. It becomes possible to manufacture at low cost without any problems.

この発明の実施の形態1に係るコンタクトプローブを示す図であって、(a)はその斜視図、(b)は(a)のA−A線に沿う拡大断面図である。It is a figure which shows the contact probe which concerns on Embodiment 1 of this invention, Comprising: (a) is the perspective view, (b) is an expanded sectional view which follows the AA line of (a). 同実施の形態1に係るコンタクトプローブの製造方法を示す図であって、(a)は板ばね形成工程を示すバレルの展開図、(b)〜(f)はプランジャ挿入工程を示すコンタクトプローブの縦断面図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the contact probe which concerns on the same Embodiment 1, Comprising: (a) is an expanded view of the barrel which shows a leaf | plate spring formation process, (b)-(f) is a contact probe which shows a plunger insertion process. It is a longitudinal cross-sectional view. 同実施の形態1に係るコンタクトプローブの使用状態を示す断面図であって、(a)はコンタクトプローブがソケット本体に組み付けられてICソケットが構成された状態図、(b)はICソケットが配線基板上に配設された状態図、(c)はICソケットにICパッケージが収容された状態図である。It is sectional drawing which shows the use condition of the contact probe which concerns on the same Embodiment 1, Comprising: (a) is a state figure by which the contact probe was assembled | attached to the socket main body, and the IC socket was comprised, (b) is IC socket wiring FIG. 6C is a state diagram in which the IC package is accommodated in the IC socket. 同実施の形態1に係るコンタクトプローブのプランジャがバレルに挿入されていくときにプランジャが板ばねから受ける荷重の変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the load which a plunger receives from a leaf | plate spring when the plunger of the contact probe which concerns on the same Embodiment 1 is inserted in a barrel. この発明の実施の形態2に係るコンタクトプローブの水平断面図である。It is a horizontal sectional view of a contact probe according to Embodiment 2 of the present invention. 同実施の形態2に係るコンタクトプローブの製造方法を示す図であって、(a)は板ばね形成工程を示すバレルの展開図、(b)〜(f)はプランジャ挿入工程を示すコンタクトプローブの縦断面図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the contact probe which concerns on the same Embodiment 2, Comprising: (a) is an expanded view of the barrel which shows a leaf | plate spring formation process, (b)-(f) is a contact probe which shows a plunger insertion process. It is a longitudinal cross-sectional view. この発明の実施の形態3に係るコンタクトプローブを示す図であって、(a)はその水平断面図、(b)はバレルの展開図である。It is a figure which shows the contact probe which concerns on Embodiment 3 of this invention, Comprising: (a) is the horizontal sectional view, (b) is an expanded view of a barrel. この発明の実施の形態4に係るコンタクトプローブを示す図であって、(a)はその水平断面図、(b)はバレルの展開図である。It is a figure which shows the contact probe which concerns on Embodiment 4 of this invention, Comprising: (a) is the horizontal sectional view, (b) is the expanded view of a barrel. この発明の実施の形態5に係るコンタクトプローブを示す正面図である。It is a front view which shows the contact probe which concerns on Embodiment 5 of this invention. 同実施の形態5に係るコンタクトプローブの製造方法のプランジャ挿入工程を示すコンタクトプローブの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the contact probe which shows the plunger insertion process of the manufacturing method of the contact probe which concerns on the same Embodiment 5.

以下、この発明の実施の形態について説明する。
[発明の実施の形態1]
Embodiments of the present invention will be described below.
Embodiment 1 of the Invention

図1乃至図4には、この発明の実施の形態1を示す。   1 to 4 show a first embodiment of the present invention.

まず、構成を説明すると、図1中符号11は、いわゆる片端摺動型のコンタクトプローブで、図3に示すように、複数のコンタクトプローブ11がソケット本体14に組み付けられて「電気部品用ソケット」であるICソケット15が構成された状態で、「第2電気部品」である配線基板13上に配設されるようになっており、「第1電気部品」であるICパッケージ12のバーンイン試験等を行うために、このICパッケージ12の球状端子12aと配線基板13との電気的接続を図るものである。   First, the configuration will be described. Reference numeral 11 in FIG. 1 is a so-called one-end sliding contact probe. As shown in FIG. 3, a plurality of contact probes 11 are assembled to the socket body 14 to “electrical component socket”. In the state where the IC socket 15 is configured, it is arranged on the wiring board 13 which is the “second electrical component”, and the burn-in test of the IC package 12 which is the “first electrical component” or the like For this purpose, the spherical terminal 12a of the IC package 12 and the wiring board 13 are electrically connected.

このコンタクトプローブ11は、例えば、ベリリウム銅から形成されており、図1および図3(c)に示すように、ICパッケージ12の球状端子12aに接触する導電性のバレル16の「第1接触部材」である第1接触部16bと、配線基板13に接触する導電性の「第2接触部材」であるプランジャ17と、このプランジャ17が内部に移動自在に嵌合する導電性のバレル16の「筒体」であるバレル本体16aと、このバレル本体16a内に配置され、バレル16とプランジャ17とを互いに離反する方向(図3(c)上下方向)へ弾性的に付勢するスプリング18とを備えている。   The contact probe 11 is made of, for example, beryllium copper. As shown in FIGS. 1 and 3C, the “first contact member” of the conductive barrel 16 that contacts the spherical terminal 12a of the IC package 12 is used. "A first contact portion 16b", a plunger 17 which is a conductive "second contact member" that contacts the wiring board 13, and a conductive barrel 16 in which this plunger 17 is movably fitted. A barrel main body 16a which is a “cylindrical body” and a spring 18 which is disposed in the barrel main body 16a and elastically biases the barrel 16 and the plunger 17 in a direction separating from each other (vertical direction in FIG. 3C). I have.

ここで、バレル16は、図1(a)に示すように、太径円筒状のバレル本体16aを有しており、バレル本体16aの一端部(図3上側の端部)には、細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されている。また、バレル本体16aには、プランジャ17に当接する3本の板ばね16cが、図1(b)に示すように、等角度間隔(つまり、120°間隔)で配置された形でバレル本体16aの軸方向(図3上下方向)に沿って延びるように形成されている。各板ばね16cにはそれぞれ、プランジャ17に接触する当接部16dがバレル本体16aの中心に向けて斜めに突出するように形成されていると共に、板ばね16cの先端(プランジャ17側の端部)に、外側(バレル本体16aの中心から離れる向き)に向けて斜めに折曲され、プランジャ17がバレル本体16aに挿入されたときにプランジャ17に摺動するガイド部16eが形成されている。   Here, as shown in FIG. 1A, the barrel 16 has a barrel body 16a having a large cylindrical shape, and one end portion (the upper end portion in FIG. 3) of the barrel body 16a has a small diameter. A cylindrical first contact portion 16b is integrally formed. Further, the barrel body 16a has three leaf springs 16c that are in contact with the plunger 17, as shown in FIG. 1B, arranged at equiangular intervals (that is, 120 ° intervals). Are formed so as to extend along the axial direction (vertical direction in FIG. 3). Each leaf spring 16c is formed with a contact portion 16d that contacts the plunger 17 so as to protrude obliquely toward the center of the barrel body 16a, and the tip of the leaf spring 16c (the end portion on the plunger 17 side). ), A guide portion 16e that is bent obliquely outward (in a direction away from the center of the barrel main body 16a) and slides on the plunger 17 when the plunger 17 is inserted into the barrel main body 16a is formed.

また、プランジャ17は、図3(a)に示すように、ほぼ円柱状の第2接触部17aと、ほぼ円柱状の細径部17bと、ほぼ円錐状の太径部17cとが順に一体に連結されて構成されている。なお、細径部17bの直径は、第2接触部17aの直径より小さくなっており、太径部17cの最大直径(円錐底面の直径)は、第2接触部17aの直径と同程度になっている。   In addition, as shown in FIG. 3A, the plunger 17 has a substantially cylindrical second contact portion 17a, a substantially cylindrical small-diameter portion 17b, and a substantially conical large-diameter portion 17c integrated in order. Concatenated. The diameter of the small diameter portion 17b is smaller than the diameter of the second contact portion 17a, and the maximum diameter (diameter of the bottom surface of the cone) of the large diameter portion 17c is approximately the same as the diameter of the second contact portion 17a. ing.

そして、図2(d)に示すように、バレル16の3本の板ばね16cの当接部16dがプランジャ17の細径部17b係合することにより、バレル本体16aからのプランジャ17の突出量L1が規制されるように構成されている。また、上述した通り、3本の板ばね16cは等角度間隔で配置されているため、これらの板ばね16cがプランジャ17に当接した状態では、プランジャ17の軸心CT1は、バレル本体16aの軸心CT2に略一致している。 As shown in FIG. 2D, the plunger 17 protrudes from the barrel body 16a when the contact portions 16d of the three leaf springs 16c of the barrel 16 engage the small diameter portion 17b of the plunger 17. The amount L1 is configured to be regulated. Further, as described above, since the three leaf springs 16c are arranged at equiangular intervals, in the state where these leaf springs 16c are in contact with the plunger 17, the axis CT1 of the plunger 17 is in the barrel main body 16a. It substantially coincides with the axis CT2.

以上のような構成を有するコンタクトプローブ11においては、図2(d)に示すように、バレル16のバレル本体16aに形成された3本の板ばね16cの当接部16dが、板ばね16cの弾性力を利用してプランジャ17に機械的に当接しているため、プランジャ17とバレル16との接触状態を安定させ、コンタクトプローブ11を確実に内部短絡させることが可能となる。   In the contact probe 11 having the above-described configuration, as shown in FIG. 2D, the contact portions 16d of the three leaf springs 16c formed on the barrel main body 16a of the barrel 16 are formed on the leaf spring 16c. Since it is in mechanical contact with the plunger 17 using elastic force, the contact state between the plunger 17 and the barrel 16 can be stabilized, and the contact probe 11 can be reliably internally short-circuited.

そして、このコンタクトプローブ11は、以下に説明する通り、カーリングによってバレル16を作製した後、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。   The contact probe 11 can be manufactured by preparing a barrel 16 by curling and then incorporating a spring 18 and a plunger 17 in this barrel 16 in order, as will be described below.

まず、カーリングによってバレル16を作製すべく、図2(a)に示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材19を用意し、この平板材19に、略U字状の切り込み20を3つ形成して3本の板ばね16cを形成する。このとき、これらの切り込み20を等間隔で配置する。   First, in order to produce the barrel 16 by curling, as shown in FIG. 2A, a conductive flat plate material 19 punched into a predetermined shape by a press is prepared, and the flat plate material 19 has a substantially U-shaped shape. Three incisions 20 are formed to form three leaf springs 16c. At this time, these cuts 20 are arranged at equal intervals.

次いで、これら3本の板ばね16cを同じ向き(図2(a)紙面に直角な方向で手前向き)に折り曲げて当接部16dを形成すると共に、これらの板ばね16cの先端を逆向き(図2(a)紙面に直角な方向で向こう向き)に折り曲げてガイド部16eを形成する(図2(b)参照)。これらの折曲加工は3本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を1本ずつ順に行う場合に比べて、3本の板ばね16cの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ11の生産性を高めることができる。   Next, the three leaf springs 16c are bent in the same direction (frontward in a direction perpendicular to the plane of FIG. 2A) to form a contact portion 16d, and the tips of these leaf springs 16c are reversed ( FIG. 2 (a) is bent in a direction perpendicular to the paper surface to form a guide portion 16e (see FIG. 2 (b)). These three bending processes are performed simultaneously. As a result, the time required for bending the three leaf springs 16c can be shortened and the productivity of the contact probe 11 can be increased as compared with the case where these bending processes are performed one by one.

その後、平板材19を筒状に曲げ加工(カーリング)する。このとき、板ばね16cの当接部16dが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体16aに細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されたバレル16が得られる。   Thereafter, the flat plate 19 is bent into a cylindrical shape (curling). At this time, the side where the contact portion 16d of the leaf spring 16c is bent is set inward. As a result, a barrel 16 is obtained in which a thin cylindrical first contact portion 16b is integrally formed with a large cylindrical barrel body 16a.

次に、図2(b)に示すように、このバレル16のバレル本体16a内にスプリング18を挿入した後、図2(b)〜(d)に示すように、このバレル本体16aの下端部にプランジャ17を挿入していく。   Next, as shown in FIG. 2 (b), after inserting the spring 18 into the barrel body 16a of the barrel 16, as shown in FIGS. 2 (b) to 2 (d), the lower end of the barrel body 16a. Then, the plunger 17 is inserted.

なお、図2(e)、(f)に示すように、プランジャ17が必要以上に挿入されたとしても、スプリング18の付勢力によって押し返される。そのため、プランジャ17は、図2(d)に示すように、バレル16の当接部16dが細径部17bの上端に当たったところで、安定して支持された状態となり、この状態で所定の突出量L1が確保される。   2E and 2F, even if the plunger 17 is inserted more than necessary, it is pushed back by the urging force of the spring 18. Therefore, as shown in FIG. 2 (d), the plunger 17 is stably supported when the abutting portion 16d of the barrel 16 hits the upper end of the small-diameter portion 17b. A quantity L1 is ensured.

このとき、バレル16の各板ばね16cは、上述した通り、バレル本体16aの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね16cの先端にガイド部16eが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体16aに対するプランジャ17の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ11の組付け性を高めることができる。   At this time, each leaf spring 16c of the barrel 16 is formed so as to extend along the axial direction of the barrel body 16a as described above, and the guide portion 16e is bent obliquely toward the outside at the tip of each leaf spring 16c. Has been formed. As a result, the plunger 17 can be easily inserted into the barrel body 16a, so that the assembly of the contact probe 11 can be improved.

また、プランジャ17は、上述した通り、ほぼ円柱状の第2接触部17aと、この第2接触部17aより小径のほぼ円柱状の細径部17bと、第2接触部17aとほぼ同じ直径のほぼ円錐状の太径部17cとが順に連結されているため、図4に示すように、バレル16の板ばね16cから受ける荷重が変化する。すなわち、バレル16の当接部16dがプランジャ17に当たる部位が、太径部17cの途中から円錐底面近傍に至るまで(図2(b)〜(c)参照)は、この荷重が直線的に増加し、そこから細径部17bの上端に至るまで(図2(c)〜(d)参照)は、この荷重が直線的に減少し、細径部17bの上端から下端に至るまで(図2(d)〜(e)参照)は、この荷重が一定に保たれ、細径部17bの下端から第2接触部17aの上端に至るまで(図2(e)〜(f)参照)は、この荷重が再び直線的に増加し、それ以降は、この荷重が一定に保たれる。なお、図4のグラフにおいて、横軸はバレル本体16aに対するプランジャ17の挿入量を表し、縦軸はプランジャ17が板ばね16cから受ける荷重を表す。   Further, as described above, the plunger 17 has a substantially cylindrical second contact portion 17a, a substantially cylindrical small diameter portion 17b having a smaller diameter than the second contact portion 17a, and a diameter substantially the same as that of the second contact portion 17a. Since the substantially conical large-diameter portion 17c is connected in order, the load received from the leaf spring 16c of the barrel 16 changes as shown in FIG. That is, this load increases linearly until the portion where the abutting portion 16d of the barrel 16 hits the plunger 17 reaches from the middle of the large diameter portion 17c to the vicinity of the conical bottom surface (see FIGS. 2B to 2C). From this point, the load decreases linearly until reaching the upper end of the small-diameter portion 17b (see FIGS. 2C to 2D), from the upper end to the lower end of the small-diameter portion 17b (FIG. 2). (See (d) to (e)), this load is kept constant and from the lower end of the small diameter portion 17b to the upper end of the second contact portion 17a (see FIGS. 2 (e) to (f)), This load increases linearly again, and thereafter the load is kept constant. In the graph of FIG. 4, the horizontal axis represents the amount of insertion of the plunger 17 into the barrel body 16a, and the vertical axis represents the load that the plunger 17 receives from the leaf spring 16c.

ここで、コンタクトプローブ11が完成し、コンタクトプローブ11の製造が終了する。   Here, the contact probe 11 is completed, and the manufacture of the contact probe 11 is completed.

このように、このコンタクトプローブ11では、カーリングによってバレル16を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ11を安価に製造することが可能となる。   Thus, with this contact probe 11, the barrel 16 can be easily manufactured by curling. Therefore, it is possible to manufacture the contact probe 11 at a lower cost than cutting and other manufacturing methods.

次に、このコンタクトプローブ11の使用方法について、図3を用いて説明する。   Next, a method of using the contact probe 11 will be described with reference to FIG.

まず、図3(a)に示すように、上側プレート21および下側プレート22を備えたソケット本体14に、複数のコンタクトプローブ11を上下方向に組み付けて、ICソケット15を構成する。このICソケット15では、バレル16が上側プレート21の段付き挿通孔21aに上下動自在に嵌合すると共に、プランジャ17が下側プレート22の段付き挿通孔22aに上下動自在に嵌合しており、バレル16の第1接触部16bの上部が上側プレート21の上面21bから上方へ突出すると共に、プランジャ17の第2接触部17aの下部が下側プレート22の下面22bから下方へ突出した状態になっている。   First, as shown in FIG. 3A, an IC socket 15 is configured by assembling a plurality of contact probes 11 in a vertical direction on a socket body 14 having an upper plate 21 and a lower plate 22. In this IC socket 15, the barrel 16 is fitted to the stepped insertion hole 21a of the upper plate 21 so as to be movable up and down, and the plunger 17 is fitted to the stepped insertion hole 22a of the lower plate 22 so as to be movable up and down. The upper portion of the first contact portion 16b of the barrel 16 protrudes upward from the upper surface 21b of the upper plate 21, and the lower portion of the second contact portion 17a of the plunger 17 protrudes downward from the lower surface 22b of the lower plate 22 It has become.

次いで、図3(b)に示すように、このICソケット15を配線基板13上に配設する。すると、各コンタクトプローブ11はそれぞれ、プランジャ17が配線基板13に押し上げられる形でスプリング18の付勢力に抗して上昇し、プランジャ17の第2接触部17aと配線基板13の図示省略の各電極とが所定の接圧で接触した状態となる。   Next, as shown in FIG. 3B, the IC socket 15 is disposed on the wiring board 13. Then, each contact probe 11 rises against the urging force of the spring 18 in such a manner that the plunger 17 is pushed up to the wiring board 13, and the second contact portion 17 a of the plunger 17 and each electrode (not shown) of the wiring board 13 are not shown. Are brought into contact with each other at a predetermined contact pressure.

このとき、コンタクトプローブ11は、上述した通り、プランジャ17の軸心CT1がバレル本体16aの軸心CT2に略一致している。従って、バレル本体16aに対するプランジャ17の摺動抵抗が小さくなり、プランジャ17がバレル本体16aにして円滑に上下動することができる。   At this time, as described above, in the contact probe 11, the axial center CT1 of the plunger 17 substantially coincides with the axial center CT2 of the barrel body 16a. Accordingly, the sliding resistance of the plunger 17 with respect to the barrel main body 16a is reduced, and the plunger 17 can be smoothly moved up and down as the barrel main body 16a.

この状態で、図3(c)に示すように、このICソケット15の上側にICパッケージ12を収容し、図示省略の押圧機構により、このICパッケージ12を下方に押圧する。すると、各コンタクトプローブ11はそれぞれ、バレル16がICパッケージ12に押し下げられる形でスプリング18の付勢力に抗して下降し、バレル16の第1接触部16bとICパッケージ12の各球状端子12aとが所定の接圧で接触した状態となる。   In this state, as shown in FIG. 3C, the IC package 12 is accommodated above the IC socket 15, and the IC package 12 is pressed downward by a pressing mechanism (not shown). Then, each contact probe 11 descends against the urging force of the spring 18 in such a manner that the barrel 16 is pushed down by the IC package 12, and the first contact portion 16 b of the barrel 16 and each spherical terminal 12 a of the IC package 12. Are in contact with each other at a predetermined contact pressure.

その結果、ICパッケージ12の球状端子12aと配線基板13の電極とがコンタクトプローブ11を介して互いに導通した状態になる。   As a result, the spherical terminal 12 a of the IC package 12 and the electrode of the wiring board 13 are in a state of being electrically connected to each other via the contact probe 11.

この状態で、ICパッケージ12に電流を流してバーンイン試験等を行う。   In this state, a current is passed through the IC package 12 to perform a burn-in test or the like.

このとき、コンタクトプローブ11は、上述した通り、確実に内部短絡しているので、ICパッケージ12に高電流を流す場合であっても、このICパッケージ12のバーンイン試験等を適正に行うことが可能となる。   At this time, as described above, the contact probe 11 is securely short-circuited internally, so that it is possible to properly perform a burn-in test or the like of the IC package 12 even when a high current is passed through the IC package 12. It becomes.

また、コンタクトプローブ11は、上述した通り、バレル16の3本の板ばね16cがプランジャ17の細径部17bに係合することにより、バレル本体16aからのプランジャ17の突出量L1が規制されるように構成されている。その結果、コンタクトプローブ11の全長(例えば、3mm)を確保することができるため、ICパッケージ12のバーンイン試験等を支障なく行うことが可能となる。
[発明の実施の形態2]
Further, as described above, in the contact probe 11, the protrusion amount L1 of the plunger 17 from the barrel main body 16a is regulated by the three leaf springs 16c of the barrel 16 engaging the narrow diameter portion 17b of the plunger 17. It is configured as follows. As a result, since the full length (for example, 3 mm) of the contact probe 11 can be ensured, a burn-in test or the like of the IC package 12 can be performed without any trouble.
[Embodiment 2 of the Invention]

図5および図6には、この発明の実施の形態2を示す。   5 and 6 show a second embodiment of the present invention.

この実施の形態2は、バレル16の板ばね16cが3本ではなく4本である点を除き、上述した実施の形態1と同じ構成を有している。   The second embodiment has the same configuration as that of the first embodiment described above except that the number of leaf springs 16c of the barrel 16 is four instead of three.

すなわち、このコンタクトプローブ11においては、図5に示すように、バレル16のバレル本体16aに4本の板ばね16cが、等角度間隔(つまり、90°間隔)で配置された形でバレル本体16aの軸方向(図5紙面に直角な方向)に沿って延びるように形成されている。   That is, in the contact probe 11, as shown in FIG. 5, the barrel body 16a is formed in such a manner that four leaf springs 16c are arranged on the barrel body 16a of the barrel 16 at equiangular intervals (that is, 90 ° intervals). Is formed so as to extend along the axial direction (direction perpendicular to the plane of FIG. 5).

その他の構成については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態2では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。   About another structure, it is the same as that of Embodiment 1 mentioned above. Therefore, the second embodiment has the same effects as the first embodiment described above.

また、このコンタクトプローブ11は、上述した実施の形態1と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル16を作製した後、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。   Further, as described in the first embodiment, the contact probe 11 is manufactured by manufacturing the barrel 16 by curling and then incorporating the spring 18 and the plunger 17 in this barrel 16 in order, as described below. Can do.

まず、カーリングによってバレル16を作製すべく、図6(a)に示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材19を用意し、この平板材19に、略U字状の切り込み20を4つ形成して4本の板ばね16cを形成する。このとき、これらの切り込み20を等間隔で配置する。   First, in order to produce the barrel 16 by curling, as shown in FIG. 6A, a conductive flat plate material 19 punched into a predetermined shape by a press is prepared, and the flat plate material 19 has a substantially U-shaped shape. Four cuts 20 are formed to form four leaf springs 16c. At this time, these cuts 20 are arranged at equal intervals.

次いで、これら4本の板ばね16cを同じ向き(図6(a)紙面に直角な方向で手前向き)に折り曲げて当接部16dを形成すると共に、これらの板ばね16cの先端を逆向き(図6(a)紙面に直角な方向で向こう向き)に折り曲げてガイド部16eを形成する(図6(b)参照)。これらの折曲加工は4本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を1本ずつ順に行う場合に比べて、4本の板ばね16cの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ11の生産性を高めることができる。   Next, the four leaf springs 16c are bent in the same direction (FIG. 6 (a) toward the front in the direction perpendicular to the paper surface) to form a contact portion 16d, and the tips of these leaf springs 16c are reversed ( FIG. 6 (a) is bent in a direction perpendicular to the paper surface to form a guide portion 16e (see FIG. 6 (b)). These four bending processes are performed simultaneously. As a result, the time required for bending the four leaf springs 16c can be shortened and the productivity of the contact probe 11 can be increased as compared with the case where these bending processes are sequentially performed one by one.

その後、平板材19を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね16cの当接部16dが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体16aに細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されたバレル16が得られる。   Thereafter, the flat plate material 19 is bent into a cylindrical shape. At this time, the side where the contact portion 16d of the leaf spring 16c is bent is set inward. As a result, a barrel 16 is obtained in which a thin cylindrical first contact portion 16b is integrally formed with a large cylindrical barrel body 16a.

次に、図6(b)に示すように、このバレル16のバレル本体16a内にスプリング18を挿入した後、図6(b)〜(d)に示すように、このバレル本体16aの下端部にプランジャ17を挿入していく。   Next, as shown in FIG. 6 (b), after inserting the spring 18 into the barrel body 16a of the barrel 16, as shown in FIGS. 6 (b) to 6 (d), the lower end of the barrel body 16a. Then, the plunger 17 is inserted.

なお、図6(e)、(f)に示すように、プランジャ17が必要以上に挿入されたとしても、スプリング18の付勢力によって押し返される。そのため、プランジャ17は、図6(d)に示すように、バレル16の当接部16dが細径部17bの上端に当たったところで、安定して支持された状態となり、この状態で所定の突出量L1が確保される。   As shown in FIGS. 6E and 6F, even if the plunger 17 is inserted more than necessary, it is pushed back by the urging force of the spring 18. Therefore, as shown in FIG. 6D, the plunger 17 is stably supported when the abutting portion 16d of the barrel 16 hits the upper end of the small-diameter portion 17b. A quantity L1 is ensured.

このとき、バレル16の各板ばね16cは、バレル本体16aの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね16cの先端にガイド部16eが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体16aに対するプランジャ17の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ11の組付け性を高めることができる。   At this time, each leaf spring 16c of the barrel 16 is formed so as to extend along the axial direction of the barrel main body 16a, and a guide portion 16e is bent obliquely toward the outside at the tip of each leaf spring 16c. ing. As a result, the plunger 17 can be easily inserted into the barrel body 16a, so that the assembly of the contact probe 11 can be improved.

ここで、コンタクトプローブ11が完成し、コンタクトプローブ11の製造が終了する。   Here, the contact probe 11 is completed, and the manufacture of the contact probe 11 is completed.

このように、このコンタクトプローブ11では、カーリングによってバレル16を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ11を安価に製造することが可能となる。   Thus, with this contact probe 11, the barrel 16 can be easily manufactured by curling. Therefore, it is possible to manufacture the contact probe 11 at a lower cost than cutting and other manufacturing methods.

また、このコンタクトプローブ11の使用方法については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態2では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。
[発明の実施の形態3]
The method of using the contact probe 11 is the same as that in the first embodiment. Therefore, the second embodiment has the same effects as the first embodiment described above.
Embodiment 3 of the Invention

図7には、この発明の実施の形態3を示す。   FIG. 7 shows a third embodiment of the present invention.

この実施の形態3は、バレル16の板ばね16cが3本ではなく1本であると共に、プランジャ17の軸心CT1がバレル本体16aの軸心CT2から偏心している点を除き、上述した実施の形態1と同じ構成を有している。   In the third embodiment, the number of leaf springs 16c of the barrel 16 is not one, but one, and the axis CT1 of the plunger 17 is eccentric from the axis CT2 of the barrel body 16a. The configuration is the same as that of Form 1.

すなわち、このコンタクトプローブ11においては、図7(a)に示すように、バレル16のバレル本体16aに1本の板ばね16cが、バレル本体16aの軸方向(図7(a)紙面に直角な方向)に沿って延びるように形成されている。また、プランジャ17は、その軸心CT1がバレル本体16aの軸心CT2から図7(a)下方に偏心している。   That is, in this contact probe 11, as shown in FIG. 7A, one leaf spring 16c is formed on the barrel body 16a of the barrel 16 in the axial direction of the barrel body 16a (FIG. 7A). Direction). Further, the plunger 17 has its axis CT1 eccentric from the axis CT2 of the barrel body 16a downward in FIG. 7 (a).

その他の構成については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態3では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。これに加えて、この実施の形態3では、板ばね16cが1本であるため、板ばね16cが複数(2本以上)である場合に比べて、板ばね16cの寸法制御が容易になり、従って、コンタクトプローブ11の設計の自由度を高めることが可能となる。   About another structure, it is the same as that of Embodiment 1 mentioned above. Therefore, the third embodiment has the same effects as the first embodiment described above. In addition to this, in the third embodiment, since the number of leaf springs 16c is one, the size control of the leaf springs 16c becomes easier than in the case where there are a plurality (two or more) of leaf springs 16c. Accordingly, the degree of freedom in designing the contact probe 11 can be increased.

また、このコンタクトプローブ11は、上述した実施の形態1と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル16を作製した後、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。   Further, as described in the first embodiment, the contact probe 11 is manufactured by manufacturing the barrel 16 by curling and then incorporating the spring 18 and the plunger 17 in this barrel 16 in order, as described below. Can do.

まず、カーリングによってバレル16を作製すべく、図7(b)に示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材19を用意し、この平板材19に、略U字状の切り込み20を1つ形成して1本の板ばね16cを形成する。   First, in order to produce the barrel 16 by curling, as shown in FIG. 7B, a conductive flat plate material 19 punched into a predetermined shape by a press is prepared. One notch 20 is formed to form one leaf spring 16c.

次いで、この板ばね16cを図7(b)紙面に直角な方向で手前向きに折り曲げて当接部16dを形成すると共に、この板ばね16cの先端を逆向き(図7(b)紙面に直角な方向で向こう向き)に折り曲げてガイド部16eを形成する。   Next, the leaf spring 16c is bent forward in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 7 (b) to form a contact portion 16d, and the tip of the leaf spring 16c is reversely directed (perpendicular to the paper surface of FIG. 7 (b)). The guide portion 16e is formed by being bent in the opposite direction.

その後、平板材19を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね16cの当接部16dが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体16aに細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されたバレル16が得られる。   Thereafter, the flat plate material 19 is bent into a cylindrical shape. At this time, the side where the contact portion 16d of the leaf spring 16c is bent is set inward. As a result, a barrel 16 is obtained in which a thin cylindrical first contact portion 16b is integrally formed with a large cylindrical barrel body 16a.

次に、このバレル16のバレル本体16a内にスプリング18を挿入した後、このバレル本体16aの下端部にプランジャ17を挿入していく。   Next, after inserting the spring 18 into the barrel body 16a of the barrel 16, the plunger 17 is inserted into the lower end of the barrel body 16a.

このとき、バレル16の板ばね16cは、バレル本体16aの軸方向に沿って延びるように形成され、板ばね16cの先端にガイド部16eが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体16aに対するプランジャ17の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ11の組付け性を高めることができる。   At this time, the leaf spring 16c of the barrel 16 is formed so as to extend along the axial direction of the barrel body 16a, and the guide portion 16e is bent obliquely toward the outside at the tip of the leaf spring 16c. . As a result, the plunger 17 can be easily inserted into the barrel body 16a, so that the assembly of the contact probe 11 can be improved.

ここで、コンタクトプローブ11が完成し、コンタクトプローブ11の製造が終了する。   Here, the contact probe 11 is completed, and the manufacture of the contact probe 11 is completed.

このように、このコンタクトプローブ11では、カーリングによってバレル16を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ11を安価に製造することが可能となる。   Thus, with this contact probe 11, the barrel 16 can be easily manufactured by curling. Therefore, it is possible to manufacture the contact probe 11 at a lower cost than cutting and other manufacturing methods.

また、このコンタクトプローブ11の使用方法については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態3では、プランジャ17の軸心CT1がバレル本体16aの軸心CT2に略一致していることによる作用効果を除いて、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。
[発明の実施の形態4]
The method of using the contact probe 11 is the same as that in the first embodiment. Therefore, in the third embodiment, the same operational effects as those of the above-described first embodiment are obtained except for the operational effects due to the fact that the axial center CT1 of the plunger 17 substantially coincides with the axial center CT2 of the barrel main body 16a.
[Embodiment 4 of the Invention]

図8には、この発明の実施の形態4を示す。   FIG. 8 shows a fourth embodiment of the present invention.

この実施の形態4は、バレル16の板ばね16cが3本ではなく2本である点を除き、上述した実施の形態1と同じ構成を有している。   The fourth embodiment has the same configuration as that of the above-described first embodiment except that the number of leaf springs 16c of the barrel 16 is two instead of three.

すなわち、このコンタクトプローブ11においては、図8(a)に示すように、バレル16のバレル本体16aに2本の板ばね16cが、等角度間隔(つまり、180°間隔)で配置された形でバレル本体16aの軸方向(図8(a)紙面に直角な方向)に沿って延びるように形成されている。   That is, in the contact probe 11, as shown in FIG. 8A, two leaf springs 16c are arranged on the barrel body 16a of the barrel 16 at equiangular intervals (ie, 180 ° intervals). It is formed so as to extend along the axial direction of the barrel body 16a (the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 8A).

その他の構成については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態4では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。   About another structure, it is the same as that of Embodiment 1 mentioned above. Therefore, the fourth embodiment has the same effects as the first embodiment described above.

また、このコンタクトプローブ11は、上述した実施の形態1と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル16を作製した後、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。   Further, as described in the first embodiment, the contact probe 11 is manufactured by manufacturing the barrel 16 by curling and then incorporating the spring 18 and the plunger 17 in this barrel 16 in order, as described below. Can do.

まず、カーリングによってバレル16を作製すべく、図8(b)に示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材19を用意し、この平板材19に、略U字状の切り込み20を2つ形成して2本の板ばね16cを形成する。   First, in order to produce the barrel 16 by curling, as shown in FIG. 8B, a conductive flat plate material 19 punched into a predetermined shape by a press is prepared, and the flat plate material 19 has a substantially U-shaped shape. Two notches 20 are formed to form two leaf springs 16c.

次いで、これら2本の板ばね16cを同じ向き(図8(b)紙面に直角な方向で手前向き)に折り曲げて当接部16dを形成すると共に、これらの板ばね16cの先端を逆向き(図8(b)紙面に直角な方向で向こう向き)に折り曲げてガイド部16eを形成する。これらの折曲加工は2本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を1本ずつ順に行う場合に比べて、2本の板ばね16cの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ11の生産性を高めることができる。   Next, these two leaf springs 16c are bent in the same direction (FIG. 8 (b) toward the front in the direction perpendicular to the paper surface) to form a contact portion 16d, and the tips of these leaf springs 16c are reversed ( FIG. 8B is bent in a direction perpendicular to the paper surface to form the guide portion 16e. These two bending processes are performed simultaneously. As a result, the time required for bending the two leaf springs 16c can be shortened and the productivity of the contact probe 11 can be increased as compared with the case where these bending processes are sequentially performed one by one.

その後、平板材19を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね16cの当接部16dが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体16aに細径円筒状の第1接触部16bが一体に形成されたバレル16が得られる。   Thereafter, the flat plate material 19 is bent into a cylindrical shape. At this time, the side where the contact portion 16d of the leaf spring 16c is bent is set inward. As a result, a barrel 16 is obtained in which a thin cylindrical first contact portion 16b is integrally formed with a large cylindrical barrel body 16a.

次に、このバレル16のバレル本体16a内にスプリング18を挿入した後、このバレル本体16aの下端部にプランジャ17を挿入していく。   Next, after inserting the spring 18 into the barrel body 16a of the barrel 16, the plunger 17 is inserted into the lower end of the barrel body 16a.

このとき、バレル16の各板ばね16cは、バレル本体16aの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね16cの先端にガイド部16eが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体16aに対するプランジャ17の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ11の組付け性を高めることができる。   At this time, each leaf spring 16c of the barrel 16 is formed so as to extend along the axial direction of the barrel main body 16a, and a guide portion 16e is bent obliquely toward the outside at the tip of each leaf spring 16c. ing. As a result, the plunger 17 can be easily inserted into the barrel body 16a, so that the assembly of the contact probe 11 can be improved.

ここで、コンタクトプローブ11が完成し、コンタクトプローブ11の製造が終了する。   Here, the contact probe 11 is completed, and the manufacture of the contact probe 11 is completed.

このように、このコンタクトプローブ11では、カーリングによってバレル16を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ11を安価に製造することが可能となる。   Thus, with this contact probe 11, the barrel 16 can be easily manufactured by curling. Therefore, it is possible to manufacture the contact probe 11 at a lower cost than cutting and other manufacturing methods.

また、このコンタクトプローブ11の使用方法については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態4では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。
[発明の実施の形態5]
The method of using the contact probe 11 is the same as that in the first embodiment. Therefore, the fourth embodiment has the same effects as the first embodiment described above.
Embodiment 5 of the Invention

図9および図10には、この発明の実施の形態5を示す。   9 and 10 show a fifth embodiment of the present invention.

この実施の形態5は、カーリングではなく切削によってバレル16を作製したものである点を除き、上述した実施の形態2と基本的に同じ構成を有している。   The fifth embodiment has basically the same configuration as that of the second embodiment described above except that the barrel 16 is manufactured by cutting instead of curling.

すなわち、このコンタクトプローブ11においては、図9,図10(b)に示すように、バレル16の第1接触部16bがバレル本体16aと同じ外径に形成されていると共に、バレル本体16aの上部に、バレル16を上側プレート21に係止するためのリング状の突起16fが周設されており、さらに、板ばね16cの当接部16dおよびガイド部16eが折り曲げられることなく下向きにまっすぐ形成されている。   That is, in the contact probe 11, as shown in FIGS. 9 and 10B, the first contact portion 16b of the barrel 16 is formed to have the same outer diameter as the barrel main body 16a, and the upper portion of the barrel main body 16a. Further, a ring-shaped protrusion 16f for locking the barrel 16 to the upper plate 21 is provided in a circle, and the contact portion 16d and the guide portion 16e of the leaf spring 16c are straightly formed downward without being bent. ing.

その他の構成については、上述した実施の形態2と同様である。従って、この実施の形態5では、上述した実施の形態2と同じ作用効果を奏する。   About another structure, it is the same as that of Embodiment 2 mentioned above. Therefore, the fifth embodiment has the same effects as the second embodiment described above.

また、このコンタクトプローブ11は、切削によってバレル16を作製した後、図10(a)〜(d)に示すように、このバレル16にスプリング18およびプランジャ17を順に組み込むことにより、製造することができる。   Further, the contact probe 11 can be manufactured by incorporating the spring 18 and the plunger 17 in this barrel 16 in order as shown in FIGS. 10A to 10D after the barrel 16 is manufactured by cutting. it can.

このように、このコンタクトプローブ11では、バレル16が切削によって作製されたものであるため、カーリングに比べて、バレル16を寸法通り高精度に作製することができる。   Thus, in this contact probe 11, since the barrel 16 is produced by cutting, the barrel 16 can be produced with higher precision as compared to the curling.

また、このコンタクトプローブ11の使用方法については、上述した実施の形態1と同様である。従って、この実施の形態5では、上述した実施の形態1と同じ作用効果を奏する。
[発明のその他の実施の形態]
The method of using the contact probe 11 is the same as that in the first embodiment. Therefore, the fifth embodiment has the same effects as the first embodiment described above.
[Other Embodiments of the Invention]

なお、上記実施の形態1、2、3、4では、バレル16の板ばね16cがそれぞれ3本、4本、1本、2本である場合について説明したが、この板ばね16cの本数は、1本以上であれば特に限定されるわけではない。板ばね16cが複数(2本以上)である場合、通常は、上述した通り、これらの板ばね16cを等角度間隔で配設し、プランジャ17をその軸心CT1がバレル16のバレル本体16aの軸心CT2に略一致した状態で支持するのが、バレル本体16aに対するプランジャ17の上下動を円滑にする点で望ましい。但し、コンタクトプローブ11の用途その他の状況によっては、複数の板ばね16cを不等角度間隔で配設したり、それぞれの板ばね16cの押圧力を適宜調整したりすることにより、プランジャ17をその軸心CT1がバレル16のバレル本体16aの軸心CT2から偏心した状態で支持することも可能である。   In the first, second, third, and fourth embodiments, the case where the leaf springs 16c of the barrel 16 are 3, 4, 1, and 2, respectively, the number of the leaf springs 16c is as follows. If it is one or more, it will not specifically limit. When there are a plurality (two or more) of the leaf springs 16c, normally, as described above, these leaf springs 16c are arranged at equal angular intervals, and the plunger 17 has an axis CT1 of the barrel body 16a of the barrel 16 as the center. It is desirable to support in a state substantially coincident with the axial center CT2 in terms of smoothing up and down movement of the plunger 17 with respect to the barrel body 16a. However, depending on the use of the contact probe 11 and other situations, the plunger 17 can be moved by disposing a plurality of leaf springs 16c at unequal angular intervals or appropriately adjusting the pressing force of each leaf spring 16c. It is also possible to support the shaft center CT1 in a state of being eccentric from the shaft center CT2 of the barrel body 16a of the barrel 16.

また、上記実施の形態1〜5では、ほぼ円柱状の第2接触部17aと、この第2接触部17aより小径のほぼ円柱状の細径部17bと、第2接触部17aとほぼ同じ直径のほぼ円錐状の太径部17cとを有するプランジャ17、つまり、軸方向に沿って直径が不均一なプランジャ17を用いる場合について説明したが、軸方向の全長にわたって直径が均一なストレート形状のプランジャ17、つまり、円柱状のプランジャ17を代用することもできる。   Moreover, in the said Embodiment 1-5, the substantially cylindrical 2nd contact part 17a, the substantially cylindrical small diameter part 17b smaller in diameter than this 2nd contact part 17a, and the diameter substantially the same as the 2nd contact part 17a In the above description, the plunger 17 having the substantially conical large-diameter portion 17c, that is, the plunger 17 having a non-uniform diameter along the axial direction has been described. However, a straight-shaped plunger having a uniform diameter over the entire length in the axial direction. 17, that is, a cylindrical plunger 17 can be substituted.

また、上記実施の形態1〜5では、いわゆる片端摺動型のコンタクトプローブ11について説明したが、いわゆる両端摺動型のコンタクトプローブ11にもこの発明を同様に適用することができる。   In the first to fifth embodiments, the so-called one-end sliding contact probe 11 has been described. However, the present invention can be similarly applied to a so-called both-end sliding contact probe 11.

また、上記実施の形態1〜5では、ベリリウム銅からなるコンタクトプローブ11について説明したが、ベリリウム銅以外の材質(例えば、真ちゅう、リン青銅など)からなるコンタクトプローブ11にもこの発明を同様に適用することができる。   In the first to fifth embodiments, the contact probe 11 made of beryllium copper has been described. However, the present invention is similarly applied to a contact probe 11 made of a material other than beryllium copper (for example, brass, phosphor bronze, etc.). can do.

さらに、上記実施の形態1〜5では、コンタクトプローブ11を「電気部品用ソケット」としてのICソケット15に適用したが、これに限らず、他の電気部品用ソケットにコンタクトプローブ11を適用することも勿論できる。この電気部品用ソケットとしては、いわゆるオープントップタイプあるいはクラムシェルタイプのICソケット、あるいは電気部品を押圧するプッシャーが自動機側に設けられたもの等であっても構わない。   Further, in the first to fifth embodiments, the contact probe 11 is applied to the IC socket 15 as the “electrical component socket”. However, the contact probe 11 is not limited to this, and the contact probe 11 is applied to other electric component sockets. Of course you can. The electrical component socket may be a so-called open top type or clamshell type IC socket, or a pusher for pressing the electrical component provided on the automatic machine side.

11 コンタクトプローブ
12 ICパッケージ(第1電気部品)
13 配線基板(第2電気部品)
16 バレル
16a バレル本体(筒体)
16b 第1接触部(第1接触部材)
16c 板ばね
16d 当接部
16e ガイド
17 プランジャ(第2接触部材)
17b 細径
17c 太径部
18 スプリング
19 平板材
20 切り込み
CT1 プランジャの軸心(第2接触部材の軸心)
CT2 バレル本体の軸心(筒体の軸心)
11 Contact probe
12 IC package (first electrical component)
13 Wiring board (second electrical component)
16 barrels
16a Barrel body (cylinder)
16b 1st contact part (1st contact member)
16c leaf spring
16d contact part
16e Guide section
17 Plunger (second contact member)
17b Small diameter part
17c Large diameter part
18 Spring
19 Flat plate
20 notches
CT1 Plunger shaft center (axis of second contact member)
CT2 barrel body axis (tubular axis)

Claims (7)

第1電気部品に接触する導電性の第1接触部材と、第2電気部品に接触する導電性の第2接触部材と、前記第1接触部材および前記第2接触部材の少なくとも一方が内部に移動自在に嵌合する導電性の筒体と、前記筒体内に配置され、前記第1接触部材と前記第2接触部材とを互いに離反する方向へ弾性的に付勢するスプリングとを備えたコンタクトプローブであって、
前記第1接触部材又は前記第2接触部材の一方には、細径部が形成されており、
前記筒体の一部には、前記第1接触部材又は前記第2接触部材の一方に当接する板ばねが、前記当接される一方の第1又は第2接触部材が出入りする前記筒体の口の方向に向かって延出して形成されており、前記板ばねの先端部には、前記細径部を係脱可能とする当接部が形成され、該係止状態で、前記筒体に前記一方の第1又は第2接触部材が保持され、前記一方の第1又は第2接触部材を前記筒体内に押込むことにより、または前記一方の第1又は第2接触部材を前記筒体から引き抜くことにより、前記係止状態が解除されるように構成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
A conductive first contact member that contacts the first electrical component, a conductive second contact member that contacts the second electrical component, and at least one of the first contact member and the second contact member move inside. A contact probe comprising a conductive cylinder that fits freely, and a spring that is disposed in the cylinder and elastically biases the first contact member and the second contact member in a direction away from each other. Because
One of the first contact member and the second contact member is formed with a small diameter portion,
Some of the cylindrical body, the abutting plate spring to one of the first contact member and the second contact member, said tubular body said abutment is the one of the first or second contact member and out An abutting portion that allows the small diameter portion to be engaged and disengaged is formed at the distal end portion of the leaf spring. The one first or second contact member is held, and the one first or second contact member is pushed into the cylinder, or the one first or second contact member is removed from the cylinder. A contact probe configured to be released from the locked state by being pulled out .
前記第1接触部材および前記筒体が一体に形成され、前記第2接触部材が前記筒体に移動自在に嵌合していることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。   The contact probe according to claim 1, wherein the first contact member and the cylindrical body are integrally formed, and the second contact member is movably fitted to the cylindrical body. 前記板ばねの先端部に、前記第2接触部材と接触する当接部が前記筒体の中心に向けて突出するように形成されていることを特徴とする請求項2に記載のコンタクトプローブ。 The distal end portion of the plate spring contact of claim 2, contact portion for contacting a pre-Symbol second contact member is characterized in that it is formed so as to protrude toward the center of the cylindrical body probe. 前記板ばねの先端には、外側に向けて折曲され、前記第2接触部材が前記筒体に挿入されたときに当該第2接触部材摺動するガイド部が形成されていることを特徴とする請求項2または3に記載のコンタクトプローブ。 The tip of it if the plate is bent outwardly, that guide portion slides is formed the second contact member when said second contact member is inserted into the cylindrical body The contact probe according to claim 2 or 3, characterized in that: 前記第2接触部材が前記細径部を有し、前記板ばねの前記当接部が前記細径部を係止することにより、前記筒体からの前記第2接触部材の突出量が規制されるように構成されていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載のコンタクトプローブ。 Having said second contact member is a small diameter portion, by the abutment of the plate spring is engaged with the small-diameter portion, the amount of projection of the second contact member from the cylinder is restricted The contact probe according to claim 2, wherein the contact probe is configured as described above. 前記板ばねが複数であり、これらの板ばねが前記第2接触部材に当接した状態で、当該第2接触部材の軸心が前記筒体の軸心に略一致していることを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載のコンタクトプローブ。   A plurality of the leaf springs, and in a state where these leaf springs are in contact with the second contact member, an axis of the second contact member substantially coincides with an axis of the cylindrical body. The contact probe according to claim 2. 請求項1乃至6のいずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法であって、
導電性を有する平板材に略U字状の切り込みを形成して前記板ばねを形成し、その後、前記平板材を筒状に曲げ加工することにより、前記コンタクトプローブの前記筒体を作製することを特徴とするコンタクトプローブの製造方法。
A method of manufacturing a contact probe according to any one of claims 1 to 6,
Forming the cylindrical body of the contact probe by forming a substantially U-shaped cut in the flat plate material having conductivity to form the leaf spring, and then bending the flat plate material into a cylindrical shape. A method of manufacturing a contact probe.
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