JP6007160B2 - Hole inspection method and apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、穴検査方法及び装置に関する。   The present invention relates to a hole inspection method and apparatus.

近年、工業用内視鏡を使用して、穴状の検査対象物(以下、検査穴という。)の内壁面(以下、穴壁面という。)を撮像し、穴壁面の欠陥の有無などを検査することが行われている。この際、先端に広角レンズを備えた細長い挿入シャフトを検査穴に挿入するが、レンズや穴壁面に水滴、切粉、異物等の付着物が付着していると、内視鏡で撮像した画像から欠陥の有無などを正確に検出することができない。   In recent years, using an industrial endoscope, an inner wall surface (hereinafter referred to as a hole wall surface) of a hole-shaped inspection object (hereinafter referred to as an inspection hole) is imaged, and the presence or absence of defects in the hole wall surface is inspected. To be done. At this time, an elongated insertion shaft equipped with a wide-angle lens at the tip is inserted into the inspection hole, but if an adherent such as water droplets, chips, or foreign matter adheres to the lens or the wall surface of the hole, an image taken with an endoscope Therefore, it is impossible to accurately detect the presence or absence of defects.

そこで、特許文献1には、先端に広角レンズを備えた挿入シャフトを穴へ挿入させて、広角レンズを通じた画像に基づいて穴壁面を検査する際、挿入シャフトの外周面に沿って穴の奥に向ってガスを噴出させることが開示されている。   Therefore, in Patent Document 1, when an insertion shaft having a wide-angle lens at the tip is inserted into a hole and the hole wall surface is inspected based on an image through the wide-angle lens, the depth of the hole along the outer peripheral surface of the insertion shaft is disclosed. It is disclosed that the gas is ejected toward

これによれば、ガスによって、穴壁面に付着した水滴、切粉、異物などの付着物を除去することができる。また、レンズ表面の曇りや水滴なども除去することができる。よって、検査精度を向上させることが可能となる。   According to this, deposits such as water droplets, chips, and foreign matters attached to the hole wall surface can be removed by the gas. In addition, fogging and water droplets on the lens surface can be removed. Therefore, inspection accuracy can be improved.

特開2013−88136号公報JP2013-88136A

しかしながら、特許文献1に開示された技術では、挿入シャフトの外周面に沿ってガスを噴出させているので、挿入シャフトの外周面に沿ったガスの流速は、その周りを流れるガスの流速よりも速く、穴壁面から除去された、或いは雰囲気中を浮遊する水滴や異物などは、流速の速いガスに引き寄せられる。よって、これら水滴や異物などが広角レンズに付着することがあった。   However, in the technique disclosed in Patent Document 1, gas is ejected along the outer peripheral surface of the insertion shaft. Therefore, the flow velocity of the gas along the outer peripheral surface of the insertion shaft is higher than the flow velocity of the gas flowing therearound. Water droplets or foreign matters that are quickly removed from the hole wall surface or float in the atmosphere are attracted to the gas having a high flow velocity. Therefore, these water droplets and foreign matters may adhere to the wide-angle lens.

広角レンズに付着する水滴や異物が時間経過と共に増加すると、正確な検査を行うことが困難になる。そのため、定期的に広角レンズを清掃する必要があり、長時間連続して正確な検査を行うことができないという課題があった。   If water droplets and foreign matter adhering to the wide-angle lens increase with time, it becomes difficult to perform an accurate inspection. Therefore, it is necessary to periodically clean the wide-angle lens, and there is a problem that accurate inspection cannot be performed continuously for a long time.

本発明は、以上の点に鑑み、挿入シャフトの先端に備わる広角レンズに水滴や異物などが付着しない穴検査方法及び装置を提供することを目的とする。   In view of the above, an object of the present invention is to provide a hole inspection method and apparatus in which water droplets or foreign matters do not adhere to a wide-angle lens provided at the tip of an insertion shaft.

本発明の穴検査方法は、穴の壁面を検査する方法であって、先端に広角レンズを備えた挿入シャフトを前記穴へ挿入させて、前記広角レンズを通じた画像に基づいて前記穴の壁面を検査する際、前記挿入シャフトの外周面に沿って前記穴の奥に向って第1ガスを噴出させると共に、前記第1ガスの外周部において、前記第1ガスと同方向に、前記第1ガスよりも速い流速で第2ガスを噴出させることを特徴とする。   The hole inspection method of the present invention is a method for inspecting the wall surface of a hole, wherein an insertion shaft having a wide-angle lens at the tip is inserted into the hole, and the wall surface of the hole is formed based on an image through the wide-angle lens. When inspecting, the first gas is ejected toward the back of the hole along the outer peripheral surface of the insertion shaft, and at the outer peripheral portion of the first gas, the first gas is in the same direction as the first gas. The second gas is ejected at a faster flow rate.

本発明の穴検査方法によれば、第1ガスの外周部において第1ガスと同方向に第1ガスよりも速い流速の第2ガスを噴出させるので、穴壁面から除去された、或いは雰囲気中を浮遊する水滴や異物などは、流速の速い第2ガスに引き寄せられる。よって、水滴や異物などが広角レンズの付近に滞留することが防止され、これらが広角レンズに付着することがない。これにより、広角レンズを清掃することなく、長時間連続して正確な検査を行うことが可能となる。   According to the hole inspection method of the present invention, the second gas having a faster flow rate than the first gas is ejected in the same direction as the first gas at the outer peripheral portion of the first gas. Water droplets, foreign matters, etc. floating on the surface are attracted to the second gas having a high flow velocity. Therefore, it is prevented that water droplets or foreign substances stay in the vicinity of the wide-angle lens, and these do not adhere to the wide-angle lens. This makes it possible to perform accurate inspection continuously for a long time without cleaning the wide-angle lens.

なお、穴は例えば燃料噴射装置を配置する穴である。   In addition, a hole is a hole which arrange | positions a fuel-injection apparatus, for example.

本発明の穴検査装置は、穴の壁面を検査する装置であって、先端に広角レンズを備え、前記穴に挿入される挿入シャフトと、前記挿入シャフトの外周面に沿って前記穴の奥に向ってガスを噴出すると共に、前記第1ガスの外周部において、前記第1ガスと同方向に、前記第1ガスよりも速い流速で第2ガスを噴出するガス噴出機構とを備えることを特徴とする。   A hole inspection apparatus according to the present invention is an apparatus for inspecting a wall surface of a hole, and includes a wide-angle lens at a tip, an insertion shaft to be inserted into the hole, and an inner side of the hole along the outer peripheral surface of the insertion shaft. And a gas ejection mechanism for ejecting a second gas at a flow rate faster than that of the first gas in the same direction as the first gas at the outer periphery of the first gas. And

本発明の穴検査装置によれば、ガス噴出機構は、第1ガスの外周部において第1ガスと同方向に第1ガスよりも速い流速の第2ガスを噴出させるので、穴壁面から除去された、或いは雰囲気中を浮遊する水滴や異物などは、流速の速い第2ガスに引き寄せられる。よって、水滴や異物などが広角レンズの付近に滞留することが防止され、これらが広角レンズに付着することがない。これにより、広角レンズを清掃することなく、長時間連続して正確な検査を行うことが可能となる。   According to the hole inspection apparatus of the present invention, the gas ejection mechanism ejects the second gas having a flow rate faster than that of the first gas in the same direction as the first gas at the outer peripheral portion of the first gas. Alternatively, water droplets or foreign matters floating in the atmosphere are attracted to the second gas having a high flow rate. Therefore, it is prevented that water droplets or foreign substances stay in the vicinity of the wide-angle lens, and these do not adhere to the wide-angle lens. This makes it possible to perform accurate inspection continuously for a long time without cleaning the wide-angle lens.

なお、穴は例えば燃料噴射装置を配置する穴である。   In addition, a hole is a hole which arrange | positions a fuel-injection apparatus, for example.

また、本発明の穴検査装置において、前記ガス噴出機構は、前記挿入シャフトの先端側の部分を囲繞し、その内周面と前記挿入シャフトの外周面との間に前記挿入シャフトの長手方向に延びる第1ガス噴出路を形成する内側ガイドと、前記内側ガイドの外周部を囲繞し、その内周面と前記内側ガイドとの外周面との間に前記内側ガイドの長手方向に延び、前記第1ガス噴出路より噴出部の断面積が小さな第2ガス噴出路を形成する外側ガイドと、前記第1ガス噴出路及び前記第2ガス噴出路にガスを供給するガス供給部とから構成されることが好ましい。   Further, in the hole inspection apparatus according to the present invention, the gas ejection mechanism surrounds a portion on a distal end side of the insertion shaft, and extends in a longitudinal direction of the insertion shaft between an inner circumferential surface thereof and an outer circumferential surface of the insertion shaft. An inner guide forming an extending first gas ejection path, and an outer peripheral portion of the inner guide, and extending in a longitudinal direction of the inner guide between an inner peripheral surface thereof and an outer peripheral surface of the inner guide; An outer guide that forms a second gas ejection path having a smaller cross-sectional area of the ejection part than one gas ejection path, and a gas supply part that supplies gas to the first gas ejection path and the second gas ejection path It is preferable.

この場合、第2ガスを噴出する第2ガス噴出路の噴出部の断面積が第1ガス噴出路の噴出部の断面積よりも小さい。そのため、第2ガスの流速が第1ガスの流速よりも速くなる。そして、内側ガイドと外側ガイドとによって、第1ガス噴出路及び第2ガス噴出路を簡易に構成することができる。   In this case, the cross-sectional area of the ejection part of the second gas ejection path for ejecting the second gas is smaller than the cross-sectional area of the ejection part of the first gas ejection path. Therefore, the flow rate of the second gas is faster than the flow rate of the first gas. And a 1st gas ejection path and a 2nd gas ejection path can be simply comprised by an inner side guide and an outer side guide.

また、内側ガイドと挿入シャフトの先端側の部分を、第1ガス噴出路のガス圧によって非接触で内側ガイドの内部空間の中心に支持することができる。よって、挿入シャフトの先端側の部分を軸心を合わせた状態で良好に支持することが可能となる。さらに、ガス噴出機構を備えた穴検査装置の先端部分を細く簡易な構成とすることが可能となる。   Further, the inner guide and the distal end portion of the insertion shaft can be supported in the center of the inner space of the inner guide in a non-contact manner by the gas pressure of the first gas ejection path. Therefore, it is possible to satisfactorily support the distal end portion of the insertion shaft with the axes aligned. Furthermore, the tip portion of the hole inspection device provided with the gas ejection mechanism can be made thin and simple.

また、本発明の穴検査装置において、前記ガス供給部からガスが供給され、前記内側ガイドの内部空間に連通するガス室を有する支持体を備え、前記挿入シャフトは、その長手方向において前記内側ガイドと前記ガス室とを挿通するように配置されるとともに、基端側の部分が前記支持体に支持されることが好ましい。   Further, in the hole inspection apparatus of the present invention, it is provided with a support body having a gas chamber that is supplied with gas from the gas supply unit and communicates with the internal space of the inner guide, and the insertion shaft has the inner guide in the longitudinal direction thereof. It is preferable that the base end side portion is supported by the support body while being disposed so as to pass through the gas chamber.

この場合、挿入シャフトは、基端側が支持体で、先端側がガス圧でそれぞれ支持される。よって、挿入シャフトを安定して高精度に支持し、その先端部の位置ズレを低減することが可能となる。これにより、高価で大型の高精度なブッシュ機構を用いる必要がなく、支持体の小型化及び装置の低コスト化を実現することが可能となる。   In this case, the insertion shaft is supported at the base end side by the support and at the distal end side by the gas pressure. Therefore, it is possible to stably support the insertion shaft with high accuracy and reduce the positional deviation of the tip portion. As a result, it is not necessary to use an expensive and large-sized high-precision bush mechanism, and it is possible to realize downsizing of the support and cost reduction of the apparatus.

本発明の実施形態に係る穴検査装置を示す概略断面図。The schematic sectional drawing which shows the hole inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 第1ガスと第2ガスとの流れを説明する拡大図。The enlarged view explaining the flow of 1st gas and 2nd gas.

本発明の実施形態に係る穴検査装置10について図1を参照して説明する。穴検査装置10は、穴状の検査対象物(以下、検査穴という。)の内壁面(以下、穴壁面という。)S(図2参照)に巣穴等の欠陥が存在するかなどを検査するために使用される。   A hole inspection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The hole inspection apparatus 10 inspects whether a defect such as a burrow exists on an inner wall surface (hereinafter referred to as a hole wall surface) S (see FIG. 2) of a hole-shaped inspection object (hereinafter referred to as an inspection hole). Used to do.

なお、検査穴は、例えば、直噴エンジンの燃料噴射装置(インジェクタ)を配置するために形成された穴であるが、その用途、形状、穴径、深さなどは限定されない。例えば、検査穴は、貫通穴であっても、底壁を有する穴であってもよい。また、検査穴は、穴径が一定のストレート穴であっても、穴径が漸次変化するテーパ穴であってもよい。   In addition, although an inspection hole is a hole formed in order to arrange | position the fuel-injection apparatus (injector) of a direct injection engine, for example, the use, a shape, a hole diameter, a depth, etc. are not limited. For example, the inspection hole may be a through hole or a hole having a bottom wall. Further, the inspection hole may be a straight hole having a constant hole diameter or a tapered hole in which the hole diameter gradually changes.

穴検査装置10は、挿入シャフト11、支持ブラケット(支持体)12、内側ガイド13、外側ガイド14、及びガス供給手段15を備えている。   The hole inspection device 10 includes an insertion shaft 11, a support bracket (support) 12, an inner guide 13, an outer guide 14, and a gas supply means 15.

挿入シャフト11は、全体外観として細長い棒状体であり、その長手方向(図1における上下方向。以下、上下方向ともいう。)の先端部分(下端部分)が検査時に検査穴内に挿入される。挿入シャフト11は、その最先端部に魚眼レンズなどの広角レンズ11aを備えている。   The insertion shaft 11 is an elongated rod-like body as an overall appearance, and a distal end portion (lower end portion) in the longitudinal direction (vertical direction in FIG. 1; hereinafter also referred to as vertical direction) is inserted into the inspection hole at the time of inspection. The insertion shaft 11 is provided with a wide-angle lens 11a such as a fisheye lens at its most distal end.

ここでは、挿入シャフト11は、内視鏡として構成されている。具体的には、挿入シャフト11は、ステンレス鋼などの硬質材からなる円筒状の外殻を有している。そして、挿入シャフト11は、図示しないが、広角レンズ11aを含むレンズ機構、及びCCDやCMOS等からなる撮像素子などを先端部に内蔵している。   Here, the insertion shaft 11 is configured as an endoscope. Specifically, the insertion shaft 11 has a cylindrical outer shell made of a hard material such as stainless steel. Although not shown, the insertion shaft 11 incorporates a lens mechanism including a wide-angle lens 11a, an image pickup device such as a CCD or a CMOS, and the like at the distal end.

ただし、挿入シャフト11は撮像素子などを内蔵するものに限定されない。例えば、挿入シャフト11に内蔵されたレンズ機構や光ファイバを通じて、広角レンズ11aを介した穴壁面Sの画像が穴検査装置10の外部に配置された撮像素子の撮像面に結像されるものであってもよい。   However, the insertion shaft 11 is not limited to a built-in image sensor. For example, the image of the hole wall surface S through the wide-angle lens 11a is formed on the imaging surface of the imaging device disposed outside the hole inspection device 10 through a lens mechanism or an optical fiber built in the insertion shaft 11. There may be.

撮像素子で光電変換された穴壁面画像の画像信号は、信号線を介して、挿入シャフト11内又は穴検査装置10外部に存在する図示しない画像信号処理部に伝送され、映像信号が生成される。そして、生成された映像信号は装置10外部の画像表示装置20に出力され、画像表示装置20の表示画面上に穴壁面Sの画像が表示される。   The image signal of the hole wall surface image photoelectrically converted by the image sensor is transmitted to an image signal processing unit (not shown) existing in the insertion shaft 11 or outside the hole inspection device 10 via a signal line, and a video signal is generated. . Then, the generated video signal is output to the image display device 20 outside the device 10, and an image of the hole wall surface S is displayed on the display screen of the image display device 20.

この画像を目視する検査員によって欠陥の有無等が検査される。或いは、図示しないが、生成された映像信号は映像解析装置に送信され、自動的に欠陥の有無等が判定される。   The presence or absence of a defect is inspected by an inspector who views this image. Alternatively, although not shown, the generated video signal is transmitted to the video analysis device, and the presence / absence of a defect is automatically determined.

支持ブラケット12は、ブラケット本体16と2つの支持ブッシュ17,18とからなる。ブラケット本体16は、ステンレス鋼などの硬質材からなり、第1支持部16aと第2支持部16bとが連結部16cで連結されて一体的に形成されている。   The support bracket 12 includes a bracket body 16 and two support bushes 17 and 18. The bracket body 16 is made of a hard material such as stainless steel, and the first support portion 16a and the second support portion 16b are connected by a connecting portion 16c and formed integrally.

第1支持部16aは、先端側(下方側)に位置し、内部に円柱状の空間からなるガス室16dが形成されている。ガス室16dの上方及び下方は開放されている。そして、第1支持部16aの側壁にガス室16dにガスを供給するためのガス供給口16eが形成されている。なお、ガスは、窒素などの不活性ガスや空気であることが好ましいが、特に限定されない。   The first support portion 16a is located on the distal end side (lower side), and a gas chamber 16d composed of a cylindrical space is formed therein. The upper and lower sides of the gas chamber 16d are open. And the gas supply port 16e for supplying gas to the gas chamber 16d is formed in the side wall of the 1st support part 16a. The gas is preferably an inert gas such as nitrogen or air, but is not particularly limited.

第1支持ブッシュ17は、第1支持部16aの基端側(上方側)に図示しない留めネジなどで第1支持部16aに固定的に装着され、ガス室16dの上側を密閉している。また、第1支持ブッシュ17は、その中心部に貫通穴が形成されており、この貫通穴に挿入シャフト11が気密に挿通されている。これにより、挿入シャフト11の中間部は、第1支持ブッシュ17によって固定的に支持される。   The first support bush 17 is fixedly attached to the first support portion 16a by a fastening screw (not shown) on the base end side (upper side) of the first support portion 16a, and seals the upper side of the gas chamber 16d. The first support bush 17 has a through hole formed in the center thereof, and the insertion shaft 11 is inserted in an airtight manner into the through hole. Thereby, the intermediate portion of the insertion shaft 11 is fixedly supported by the first support bush 17.

第2支持部16bは、基端側に位置し、第2支持ブッシュ18が装着される貫通穴が形成されている。第2支持ブッシュ18は、その中心部に貫通穴が形成されており、この貫通穴に挿入シャフト11が挿通されている。これにより、挿入シャフト11の基端部は、第2支持ブッシュ18によって固定的に支持される。   The 2nd support part 16b is located in the base end side, and the through-hole by which the 2nd support bush 18 is mounted | worn is formed. The second support bush 18 has a through hole formed at the center thereof, and the insertion shaft 11 is inserted through the through hole. Accordingly, the proximal end portion of the insertion shaft 11 is fixedly supported by the second support bush 18.

内側ガイド13は、挿入シャフト11の先端側の部分を囲繞しており、第1ガスG1の噴出をガイドする。内側ガイド13は、例えば、既知の樹脂材料等から形成されている。   The inner guide 13 surrounds a portion on the distal end side of the insertion shaft 11 and guides the ejection of the first gas G1. The inner guide 13 is made of, for example, a known resin material.

内側ガイド13の中心部には、挿入シャフト11の長手方向(上下方向)に貫通する円柱状の貫通穴が形成されており、この貫通穴に挿入シャフト11の先端側の部分が挿通されている。ただし、挿入シャフト11の最先端部は内側ガイド13から突出している。なお、内側ガイド13の内周面と挿入シャフト11の外周面とは、正常時は非接触であり、その間には空隙が形成されている。この上下方向に延びる円筒状の空隙が第1ガスG1を噴出させる第1ガス噴出路R1となっている。   A cylindrical through-hole penetrating in the longitudinal direction (vertical direction) of the insertion shaft 11 is formed in the center portion of the inner guide 13, and a portion on the distal end side of the insertion shaft 11 is inserted into the through-hole. . However, the most distal portion of the insertion shaft 11 protrudes from the inner guide 13. Note that the inner peripheral surface of the inner guide 13 and the outer peripheral surface of the insertion shaft 11 are not in contact with each other at normal times, and a gap is formed between them. The cylindrical gap extending in the vertical direction is a first gas ejection path R1 through which the first gas G1 is ejected.

内側ガイド13は、挿入シャフト11の外径より大径の内周面を有する円筒状のガイド本体部13aと、ガイド本体部13aの上端部に形成された円環板状の鍔部13bと、第1支持部16aのガス室16dの下方に形成された貫通孔の径と略同一の外径を有する円筒状の挿入部13cとが一体化して構成されている。なお、内側ガイド13は、図示しない留めネジなどで、ブラケット本体16に固定的に装着されている。   The inner guide 13 has a cylindrical guide body 13a having an inner peripheral surface larger than the outer diameter of the insertion shaft 11, an annular plate-shaped flange 13b formed at the upper end of the guide body 13a, A cylindrical insertion portion 13c having an outer diameter substantially the same as the diameter of the through hole formed below the gas chamber 16d of the first support portion 16a is integrally formed. The inner guide 13 is fixedly attached to the bracket body 16 with a fastening screw (not shown).

そして、ガイド本体部13aには、水平方向に貫通する複数、例えば4個の貫通孔13dが周方向に均等に形成されている。   In the guide main body 13a, a plurality of, for example, four through holes 13d penetrating in the horizontal direction are formed uniformly in the circumferential direction.

内側ガイド13は、その挿入部13cが、下方が開放されたガス室16d内の下部に挿入され、且つ、その鍔部13bの上面とブラケット本体16の下面とが当接することにより、ブラケット本体16の下側に装着されている。   The inner guide 13 is inserted into the lower portion of the gas chamber 16d whose opening 13c is opened at the lower side, and the upper surface of the flange 13b and the lower surface of the bracket main body 16 come into contact with each other. It is mounted on the underside.

外側ガイド14は、内側ガイド13のガイド本体部13aを囲繞しており、第2ガスG2の噴出をガイドする。外側ガイド14は、例えば、既知の樹脂材料等から形成されている。なお、外側ガイド14は、図示しない留めネジなどで、ブラケット本体16に固定的に取り付けられている。   The outer guide 14 surrounds the guide main body 13a of the inner guide 13, and guides the ejection of the second gas G2. The outer guide 14 is made of, for example, a known resin material. The outer guide 14 is fixedly attached to the bracket body 16 with a fastening screw (not shown).

外側ガイド14の中心部には、挿入シャフト11の長手方向(上下方向)に貫通する円柱状の貫通孔が形成されており、この貫通孔の中央に内側ガイド13のガイド本体部13aが配置される。外側ガイド14の内周面と内側ガイド13のガイド本体部13aの外周面との間には空隙が形成されている。この上下方向に延びる円筒状の空隙が第2ガスG2を噴出させる第2ガス噴出路R2となっている。第2ガス噴出路R2の噴出部の断面積は、第1ガス噴出路R1の噴出部の断面積よりも小さくなっている。   A cylindrical through-hole penetrating in the longitudinal direction (vertical direction) of the insertion shaft 11 is formed at the center of the outer guide 14, and the guide main body 13 a of the inner guide 13 is disposed at the center of the through-hole. The A gap is formed between the inner peripheral surface of the outer guide 14 and the outer peripheral surface of the guide main body 13 a of the inner guide 13. The cylindrical gap extending in the vertical direction is a second gas ejection path R2 through which the second gas G2 is ejected. The cross-sectional area of the ejection part of the second gas ejection path R2 is smaller than the cross-sectional area of the ejection part of the first gas ejection path R1.

ガス供給手段15は、ホース15a、ホース15aをガス供給口16eに接続するためのコネクタ(接続具)15b、及び例えばコンプレッサ(圧縮機)、ガスボンベ、制御弁等からなるガス供給部15cから構成されている。ガス供給部15cのコンプレッサなどは、穴検査装置10外部の制御装置30に接続され、制御装置30からの制御信号に従って作動し、ガス室16d内に高圧ガスを供給する。   The gas supply means 15 includes a hose 15a, a connector (connector) 15b for connecting the hose 15a to the gas supply port 16e, and a gas supply unit 15c including, for example, a compressor, a gas cylinder, a control valve, and the like. ing. The compressor or the like of the gas supply unit 15c is connected to the control device 30 outside the hole inspection device 10, operates according to a control signal from the control device 30, and supplies high-pressure gas into the gas chamber 16d.

以上のように構成された穴検査装置10において、ガス供給手段15からガス室16d内に供給された高圧ガスは、第1ガス噴出路R1を介して、挿入シャフト11の外周面に沿って検査穴の奥方(下方)に向って第1ガスG1として噴出する。さらに、この高圧ガスの一部は、内側ガイド13の貫通孔13dを通過し、第2ガス噴出路R2を介して、第1ガスG1の外周にて、検査穴の奥方(下方)に向って第2ガスG2として噴出する。このように、穴検査装置10におけるガス噴出機構19は、第1ガス噴出路R1、第2ガス噴出路R2、ガス室16d、ガス供給手段15から構成されている。   In the hole inspection apparatus 10 configured as described above, the high-pressure gas supplied from the gas supply means 15 into the gas chamber 16d is inspected along the outer peripheral surface of the insertion shaft 11 via the first gas ejection path R1. It ejects as the 1st gas G1 toward the back (downward) of a hole. Furthermore, a part of the high-pressure gas passes through the through hole 13d of the inner guide 13, and toward the back (downward) of the inspection hole at the outer periphery of the first gas G1 via the second gas ejection path R2. It ejects as the second gas G2. Thus, the gas ejection mechanism 19 in the hole inspection apparatus 10 includes the first gas ejection path R1, the second gas ejection path R2, the gas chamber 16d, and the gas supply means 15.

以下、本発明の実施形態に係る、穴検査装置10を使用した穴検査方法について図1及び図2を参照して説明する。   Hereinafter, a hole inspection method using the hole inspection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

まず、切削加工等によって形成された検査穴の内部を水などで検査前に洗浄しておく。そして、穴検査装置10の挿入シャフト11の先端部を自動的に又は作業者が手動的に検査穴内に挿入させる。   First, the inside of the inspection hole formed by cutting or the like is cleaned with water or the like before the inspection. Then, the operator inserts the distal end portion of the insertion shaft 11 of the hole inspection device 10 automatically or manually into the inspection hole.

この際、ガス供給手段15から高圧ガスを供給する。ガス供給手段15によって高圧ガスがガス室16dに供給されると、ガス室16dに高圧ガスが充満される。   At this time, high-pressure gas is supplied from the gas supply means 15. When the high pressure gas is supplied to the gas chamber 16d by the gas supply means 15, the gas chamber 16d is filled with the high pressure gas.

さらに、ガス室16dに充満された高圧ガスは、第1ガス噴出路R1を介して、内側ガイド13の先端から挿入シャフト11の外周に沿って検査穴の奥に向って、第1ガスG1として噴出する。さらに、この高圧ガスの一部は、第2ガス噴出路R2を介して、第1ガスの外周にて、検査穴の奥に向って、第2ガスG2として噴出する。また、第2ガスG2の噴出によって、第2ガスG2の外周には、第2ガスG2の流速より遅い流速を有するガスの流れが生じる。   Furthermore, the high-pressure gas filled in the gas chamber 16d passes through the first gas ejection path R1 from the tip of the inner guide 13 toward the back of the inspection hole along the outer periphery of the insertion shaft 11, and becomes the first gas G1. Erupts. Further, a part of the high-pressure gas is ejected as the second gas G2 toward the back of the inspection hole on the outer periphery of the first gas via the second gas ejection path R2. Further, due to the ejection of the second gas G2, a gas flow having a flow velocity slower than the flow velocity of the second gas G2 is generated on the outer periphery of the second gas G2.

そして、挿入シャフト11を必要に応じて検査穴の奥に徐々に移動させながら、穴壁面Sを撮像する。撮像した画像を展開処理などの適宜な画像処理を行った上で、画像表示装置20に表示させた画像に基づいて検査員が目視で、又は図示しない映像解析装置で自動的に、巣穴等の欠陥の有無などを検査する。   And the hole wall surface S is imaged, moving the insertion shaft 11 to the back of an inspection hole gradually as needed. After performing appropriate image processing such as development processing on the captured image, an inspector visually confirms the image displayed on the image display device 20 or automatically by a video analysis device (not shown). Inspect for any defects.

ところで、加工、洗浄後の穴壁面Sには、洗浄に使用した水滴、洗浄で除去されなかった切粉や異物などの付着物が付着していることがある。穴壁面Sに付着物が付着している場合、過検出が生じるおそれがあり、検査精度が低下する。さらに、洗浄直後の検査穴内は、高温、高湿度であり、広角レンズ11aの表面に曇りが発生しているおそれがある。レンズ表面に曇りが存在する場合、正確な画像を撮影することが困難になり、検査精度が低下する。   By the way, on the hole wall surface S after processing and cleaning, there are cases in which deposits such as water droplets used for cleaning, chips and foreign matters not removed by cleaning are attached. When an adhering substance adheres to the hole wall surface S, there is a possibility that overdetection may occur, and the inspection accuracy is lowered. Further, the inside of the inspection hole immediately after the cleaning is high temperature and high humidity, and there is a possibility that the surface of the wide-angle lens 11a is fogged. When fogging exists on the lens surface, it becomes difficult to capture an accurate image, and the inspection accuracy decreases.

しかし、穴検査装置10を使用した本穴検査方法では、挿入シャフト11の先端部を検査穴内に挿入しながら第2ガス噴出路R2から第2ガスG2を噴出させて、挿入シャフト11の先端部の外周面全体に沿って層流の第2ガスG2を検査穴の奥に向って流す。これにより、図2に白抜き矢印で示すように負圧が発生し、穴壁面Sに付着した水滴、切粉、異物などの付着物は、挿入シャフト11側に吸引され、確実に除去することができる。よって、検査精度を向上させることが可能となる。   However, in the hole inspection method using the hole inspection device 10, the second gas G <b> 2 is ejected from the second gas ejection path R <b> 2 while inserting the distal end portion of the insertion shaft 11 into the inspection hole, and the distal end portion of the insertion shaft 11. The second gas G2 in a laminar flow is caused to flow toward the back of the inspection hole along the entire outer peripheral surface of the. As a result, a negative pressure is generated as shown by the white arrow in FIG. 2, and adhering substances such as water droplets, chips and foreign matters adhering to the hole wall surface S are sucked to the insertion shaft 11 side and reliably removed. Can do. Therefore, inspection accuracy can be improved.

さらに、検査穴外からエアブローして付着物を除去する方法と比べて、穴壁面Sの付着物を除去する効果を同等以上とすることも可能である。よって、検査前に検査穴内をエアブローする作業を廃止することも可能となる。   Furthermore, the effect of removing the deposit on the hole wall surface S can be made equal to or greater than the method of removing the deposit by air blowing from outside the inspection hole. Therefore, it is possible to abolish the work of air blowing in the inspection hole before the inspection.

また、第1ガス噴出路R1から第1ガスG1を噴出させるので、広角レンズ11aの表面近傍に、図2に矢印で示すように気流の渦が生じる。これにより、図2に白抜き矢印で示すように、レンズ表面の付着物を引き剥がすような負圧が発生するので、レンズ表面の水滴や曇りなどを確実に除去することができる。よって、高温高湿の環境下であっても、広角レンズ11aがクリアな状態で撮像することができ、検査精度を向上させることが可能となる。   Further, since the first gas G1 is ejected from the first gas ejection path R1, an air current vortex is generated in the vicinity of the surface of the wide-angle lens 11a as indicated by an arrow in FIG. As a result, as shown by the white arrow in FIG. 2, a negative pressure that peels off the adhered matter on the lens surface is generated, so that water droplets and cloudiness on the lens surface can be reliably removed. Therefore, even in an environment of high temperature and high humidity, the wide-angle lens 11a can take an image with a clear state, and the inspection accuracy can be improved.

そして、第1ガスG1の外周部において第1ガスG1と同方向に第1ガスG1よりも速い流速の第2ガスG2を噴出させるので、穴壁面Sから除去された、或いは雰囲気中を浮遊する水滴や異物などは、流速の速い第2ガスG2に引き寄せられる。よって、第2ガスG2によって水滴や異物が広角レンズ11aの付近に滞留することが防止され、これらが広角レンズ11aに付着することがない。これにより、広角レンズ11aを清掃することなく、長時間連続して正確な検査を行うことが可能となる。   And since the 2nd gas G2 of the flow velocity faster than the 1st gas G1 is spouted in the outer peripheral part of the 1st gas G1 in the same direction as the 1st gas G1, it was removed from the hole wall surface S or floated in atmosphere Water droplets and foreign matters are attracted to the second gas G2 having a high flow rate. Therefore, the second gas G2 prevents water droplets and foreign matter from staying in the vicinity of the wide-angle lens 11a, and these do not adhere to the wide-angle lens 11a. Thereby, it becomes possible to perform an accurate inspection continuously for a long time without cleaning the wide-angle lens 11a.

さらに、これらにより、水などで検査穴内を洗浄した場合であっても、乾燥するまで待機する必要がなく、洗浄直後に検査(撮像)することができる。よって、検査完了までに必要な時間を短縮化することが可能となる。   Furthermore, even when the inside of the inspection hole is cleaned with water or the like, it is not necessary to wait until it is dried, and inspection (imaging) can be performed immediately after cleaning. Therefore, it is possible to shorten the time required to complete the inspection.

また、穴壁面Sやレンズ表面に付着した付着物を撮像と同時又は略同時に除去することができる。よって、洗浄後から撮像までの間に異物などが検査穴内に流入して、穴壁面Sやレンズ表面に付着物が付着するおそれは非常に小さい。   Further, the adhering matter adhering to the hole wall surface S and the lens surface can be removed at the same time or substantially simultaneously with the imaging. Therefore, there is very little possibility that foreign matter or the like will flow into the inspection hole after cleaning until imaging, and deposits adhere to the hole wall surface S or the lens surface.

さらに、第1ガス噴出路R1には、パスカルの原理によって、挿入シャフト11の外周面全周に亘って高いガス圧が等しく作用する。よって、挿入シャフト11の先端側の部分をガス圧により非接触で内側ガイド13の内部空間の中心に支持させることでき、挿入シャフト11を軸心を合わせた状態で良好に支持することが可能となる。   Furthermore, a high gas pressure acts equally on the first gas ejection path R1 over the entire outer circumference of the insertion shaft 11 by Pascal's principle. Therefore, the distal end portion of the insertion shaft 11 can be supported in the center of the inner space of the inner guide 13 in a non-contact manner by the gas pressure, and the insertion shaft 11 can be favorably supported with the axes aligned. Become.

そして、挿入シャフト11の中間部及び基端側を2つの支持ブッシュ17,18でそれぞれ支持し、挿入シャフト11の先端側をガス圧で支持している。これにより、挿入シャフト11の軸心ズレが防止され、軸心ズレが生じても自動的に補正され、ガタ付きを低減することができる。   And the intermediate part and proximal end side of the insertion shaft 11 are each supported by the two support bushes 17 and 18, and the front end side of the insertion shaft 11 is supported by the gas pressure. Thereby, the axial misalignment of the insertion shaft 11 is prevented, and even if the axial misalignment occurs, it is automatically corrected and the backlash can be reduced.

なお、この効果は、ガス室16dの内壁面及び内側ガイド13の内壁面の垂直加工精度が良好であれば高い。よって、これらの加工精度を十分に確保することによって、高価で大型の高精度なブッシュ機構を用いる必要がなくなる。そのため、支持ブラケット12の小型化、挿入シャフト11の先端部の位置ズレ低減、及び低コスト化を実現することができる。   This effect is high if the vertical machining accuracy of the inner wall surface of the gas chamber 16d and the inner wall surface of the inner guide 13 is good. Therefore, it is not necessary to use an expensive and large-sized high-precision bush mechanism by sufficiently securing these processing accuracy. Therefore, it is possible to achieve downsizing of the support bracket 12, reduction in positional deviation of the distal end portion of the insertion shaft 11, and cost reduction.

例えば、挿入シャフト11の先端側を従来のようにブッシュ機構で支持した場合、ブッシュ機構を有する部分は大型化し、検査穴が細いと挿入することができない。そのため、特に深部まで細穴の壁面Sを検査する場合には、挿入シャフト11の先端部に位置ズレが少なからず発生する。一方、穴検査装置10では、外側ガイド14を検査穴内に挿入できる範囲の細穴であれば、挿入シャフト11の先端部付近での位置ズレを大幅に低減することができる。   For example, when the distal end side of the insertion shaft 11 is supported by a bush mechanism as in the prior art, the portion having the bush mechanism is enlarged and cannot be inserted if the inspection hole is thin. For this reason, in particular, when the wall surface S of the narrow hole is inspected to the deep part, there is not a little misalignment at the tip of the insertion shaft 11. On the other hand, in the hole inspection device 10, if the outer guide 14 is a narrow hole that can be inserted into the inspection hole, the positional deviation in the vicinity of the distal end portion of the insertion shaft 11 can be greatly reduced.

さらに、第1ガス噴出路R1及び第2ガス噴出路R2の長さが長くなるように内側ガイド13及び外側ガイド14を長く設定することにより、乱流が発生せずに低損失で第1ガスG1及び第2ガスG2を噴出させることが可能になる。これにより、曇り止めや付着物の除去を効果的に行うことができる。   Furthermore, by setting the inner guide 13 and the outer guide 14 to be long so that the lengths of the first gas ejection path R1 and the second gas ejection path R2 are increased, the first gas can be generated with low loss without generating turbulence. G1 and the second gas G2 can be ejected. As a result, it is possible to effectively prevent fogging and remove deposits.

なお、挿入シャフト11の突出量が短くなるように内側ガイド13及び外側ガイド14の長さを設定すれば、挿入シャフト11と穴壁面Sとの接触をより確実に防止することができる。ただし、この場合、穴検査装置10の先端部付近の外径が大きくなり、外側ガイド14が穴壁面Sに接触するおそれが高くなる。よって、検査穴のテーパ角度などに応じて、挿入シャフト11の突出量を適宜設定することが好ましい。   If the lengths of the inner guide 13 and the outer guide 14 are set so that the protruding amount of the insertion shaft 11 is shortened, the contact between the insertion shaft 11 and the hole wall surface S can be more reliably prevented. However, in this case, the outer diameter near the tip of the hole inspection device 10 is increased, and the possibility that the outer guide 14 contacts the hole wall surface S is increased. Therefore, it is preferable to appropriately set the protruding amount of the insertion shaft 11 according to the taper angle of the inspection hole.

以上のように、穴検査装置10を用いた穴検査方法では、穴壁面Sやレンズ表面の付着物除去、レンズ曇り止め防止、挿入シャフト11の安定した支持という3つの効果を実現することができる。よって、穴壁面Sの検査精度が向上する。   As described above, in the hole inspection method using the hole inspection device 10, three effects of removing the deposits on the hole wall surface S and the lens surface, preventing the anti-fogging of the lens, and stably supporting the insertion shaft 11 can be realized. . Therefore, the inspection accuracy of the hole wall surface S is improved.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、支持ブラケット12が第2支持部16bを有さず、挿入シャフト11の基端側が支持ブッシュ18で支持されていなくてもよい。また、挿入シャフト11、内側ガイド13、外側ガイド14及びガス室16dの断面が円形である場合について説明したが、これらの断面は円形に限定されず、多角形などの任意形状であってもよい。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this. For example, the support bracket 12 does not have the second support portion 16 b, and the proximal end side of the insertion shaft 11 may not be supported by the support bush 18. Moreover, although the case where the cross section of the insertion shaft 11, the inner side guide 13, the outer side guide 14, and the gas chamber 16d was circular was demonstrated, these cross sections are not limited to circular, Arbitrary shapes, such as a polygon, may be sufficient. .

10…穴検査装置、 11…挿入シャフト、 11a…広角レンズ、 12…支持ブラケット(支持体)、 13…内側ガイド、 13a…ガイド本体、 13b…鍔部、 13c…挿入部、 13d…貫通孔、 14…外側ガイド、 15…供給手段、 15a…ホース、 15b…コネクタ、 15c…ガス供給部、 16…ブラケット本体、 16a…第1支持部、 16b…第2支持部、 16c…連結部、 16d…ガス室、 16e…ガス供給口、 17…第1支持ブッシュ、 18…第2支持ブッシュ、 19…ガス噴出機構、 20…画像表示装置、 30…制御装置、 51…タービン羽根、 54…ロータリエンコーダ、 G1…第1ガス、 G2…第2ガス、 R1…第1ガス噴出路、 R2…第2ガス噴出路、 S…穴壁面。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Hole test | inspection apparatus, 11 ... Insertion shaft, 11a ... Wide angle lens, 12 ... Support bracket (support body), 13 ... Inner guide, 13a ... Guide main body, 13b ... Gutter part, 13c ... Insertion part, 13d ... Through-hole, DESCRIPTION OF SYMBOLS 14 ... Outer guide, 15 ... Supply means, 15a ... Hose, 15b ... Connector, 15c ... Gas supply part, 16 ... Bracket main body, 16a ... First support part, 16b ... Second support part, 16c ... Connection part, 16d ... Gas chamber, 16e ... Gas supply port, 17 ... First support bush, 18 ... Second support bush, 19 ... Gas ejection mechanism, 20 ... Image display device, 30 ... Control device, 51 ... Turbine blade, 54 ... Rotary encoder, G1 ... 1st gas, G2 ... 2nd gas, R1 ... 1st gas ejection path, R2 ... 2nd gas ejection path, S ... Hole wall surface.

Claims (4)

穴の壁面を検査する方法であって、
先端に広角レンズを備えた挿入シャフトを前記穴へ挿入させて、前記広角レンズを通じた画像に基づいて前記穴の壁面を検査する際、
前記挿入シャフトの外周面に沿って前記穴の奥に向って第1ガスを噴出させると共に、
前記第1ガスの外周部において、前記第1ガスと同方向に、前記第1ガスよりも速い流速で第2ガスを噴出させることを特徴とする穴検査方法。
A method for inspecting the wall of a hole,
When inserting the insertion shaft having a wide-angle lens at the tip into the hole and inspecting the wall surface of the hole based on the image through the wide-angle lens,
And spouting the first gas along the outer peripheral surface of the insertion shaft toward the back of the hole,
A hole inspection method in which a second gas is ejected at a flow rate faster than the first gas in the same direction as the first gas at the outer periphery of the first gas.
穴の壁面を検査する装置であって、
先端に広角レンズを備え、前記穴に挿入される挿入シャフトと、
前記挿入シャフトの外周面に沿って前記穴の奥に向って第1ガスを噴出すると共に、前記第1ガスの外周部において、前記第1ガスと同方向に、前記第1ガスよりも速い流速で第2ガスを噴出するガス噴出機構とを備えることを特徴とする穴検査装置。
A device for inspecting the wall of a hole,
A wide-angle lens at the tip, an insertion shaft inserted into the hole;
The first gas is ejected along the outer peripheral surface of the insertion shaft toward the back of the hole, and at the outer peripheral portion of the first gas, the flow velocity is faster than the first gas in the same direction as the first gas. And a gas jetting mechanism for jetting the second gas.
前記ガス噴出機構は、
前記挿入シャフトの先端側の部分を囲繞し、その内周面と前記挿入シャフトの外周面との間に前記挿入シャフトの長手方向に延びる第1ガス噴出路を形成する内側ガイドと、
前記内側ガイドの外周部を囲繞し、その内周面と前記内側ガイドとの外周面との間に前記内側ガイドの長手方向に延び、前記第1ガス噴出路より噴出部の断面積が小さな第2ガス噴出路を形成する外側ガイドと、
前記第1ガス噴出路及び前記第2ガス噴出路にガスを供給するガス供給部とから構成されることを特徴とする請求項2に記載の穴検査装置。
The gas ejection mechanism is
An inner guide surrounding a portion on the distal end side of the insertion shaft and forming a first gas ejection path extending in the longitudinal direction of the insertion shaft between an inner peripheral surface thereof and an outer peripheral surface of the insertion shaft;
Surrounding the outer peripheral portion of the inner guide, extending in the longitudinal direction of the inner guide between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the inner guide, and having a smaller cross-sectional area of the ejection portion than the first gas ejection path An outer guide forming a two-gas ejection path;
The hole inspection apparatus according to claim 2, comprising a gas supply unit that supplies gas to the first gas ejection path and the second gas ejection path.
前記ガス供給部からガスが供給され、前記内側ガイドの内部空間に連通するガス室を有する支持体を備え、
前記挿入シャフトは、その長手方向において前記内側ガイドと前記ガス室とを挿通するように配置されるとともに、基端側の部分が前記支持体に支持されることを特徴とする請求項3に記載の穴検査装置。
Gas is supplied from the gas supply unit, comprising a support having a gas chamber communicating with the internal space of the inner guide,
The said insertion shaft is arrange | positioned so that the said inner side guide and the said gas chamber may be penetrated in the longitudinal direction, The part by the side of a proximal end is supported by the said support body. Hole inspection equipment.
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