JP6002561B2 - electronic microscope - Google Patents
electronic microscope Download PDFInfo
- Publication number
- JP6002561B2 JP6002561B2 JP2012265912A JP2012265912A JP6002561B2 JP 6002561 B2 JP6002561 B2 JP 6002561B2 JP 2012265912 A JP2012265912 A JP 2012265912A JP 2012265912 A JP2012265912 A JP 2012265912A JP 6002561 B2 JP6002561 B2 JP 6002561B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- electron microscope
- stage
- sample
- sample holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
本発明は、電子顕微鏡に関し、特に、試料移動装置である試料ホルダ部分に照射される音響低減を可能とする構造に関する。 The present invention relates to an electron microscope, and more particularly to a structure capable of reducing sound applied to a sample holder portion that is a sample moving device.
電子顕微鏡は試料の分析・観察・描画像等の精密作業を行う装置であり、装置としての主性能は画像分解能である。しかし、電子顕微鏡は拡大倍率が非常に高いため、些細な外乱でも画像障害が発生し、画像分解能を低下させる。例えば、設置された環境や電子顕微鏡自身が発生させる振動などによって、電子顕微鏡の構造各部が加振されて、最終的に電子銃と試料が相対変位を持つような振動が発生すると、画像障害が発生して、画像分解能を低下させる。画像障害の原因のうち、床振動に関しては、現在ではほとんどの電子顕微鏡で床下に防振材が設置されている。
一方で、画像分解能の向上に伴い、設置した環境音によって発生する画像の揺れが顕著になってきている。その対策の一つとして、装置全体を覆うような防音カバーが設置された製品もある。
しかし、この防音カバーは、装置内の内部温度上昇を防ぐため、下部に排熱のための隙間を設けている。そのため、防音カバー外で発生した環境音がこの隙間を侵入してしまう。
また、防音カバー自体も環境音を透過してしまい、環境音が防音カバー内に伝わってしまう。これらの音が、試料室内での試料移動のために取り付けられている試料ホルダに照射して振動し、さらに試料ホルダに固定されたステージに振動が伝播し、ステージ上の試料が振動してしまい、画像分解能低下の原因となる。
そこで、音の伝播経路を遮断する方法として、試料ホルダ全体を覆うような構造(以降、ステージカバーと称する)が考えられ、実際に試料室壁に取り付けられている製品もある。例として、特許文献１を示す。
The electron microscope is a device that performs precision work such as analysis, observation, and drawing image of a sample, and the main performance of the device is image resolution. However, since the magnification of the electron microscope is very high, an image failure occurs even with a slight disturbance, and the image resolution is lowered. For example, if each part of the structure of the electron microscope is vibrated due to the installed environment or vibration generated by the electron microscope itself, and finally the vibration that causes relative displacement between the electron gun and the sample occurs, the image failure may occur. Occurs to reduce the image resolution. Among the causes of image defects, with regard to floor vibration, most electronic microscopes now have a vibration isolator installed under the floor.
On the other hand, with the improvement of the image resolution, the shaking of the image generated by the installed environmental sound has become remarkable. As one of countermeasures, there is a product in which a soundproof cover that covers the entire apparatus is installed.
However, this soundproof cover is provided with a gap for exhaust heat in the lower part in order to prevent an internal temperature rise in the apparatus. Therefore, environmental sound generated outside the soundproof cover enters this gap.
Further, the soundproof cover itself also transmits the environmental sound, and the environmental sound is transmitted into the soundproof cover. These sounds irradiate and vibrate the sample holder attached for sample movement in the sample chamber, and further, the vibration propagates to the stage fixed to the sample holder, causing the sample on the stage to vibrate. This causes a reduction in image resolution.
Therefore, as a method for blocking the sound propagation path, a structure (hereinafter referred to as a stage cover) covering the entire sample holder is conceivable, and some products are actually attached to the sample chamber wall. As an example, Patent Document 1 is shown.
引用文献１で開示された発明の場合、ステージカバーが試料室壁と接触しているため、防音カバー内に侵入した音が試料ホルダ自体に直接的には伝わらないが、ステージカバーに伝播して振動し、その振動が試料室壁を介してステージに伝播して、試料が振動してしまう問題が生じる。 In the case of the invention disclosed in the cited document 1, since the stage cover is in contact with the sample chamber wall, the sound entering the soundproof cover is not directly transmitted to the sample holder itself, but is propagated to the stage cover. There arises a problem that the sample is vibrated due to vibration and the vibration propagates to the stage through the sample chamber wall.
本発明は、電子顕微鏡の画像分解能向上のため、環境音起因の試料振動を低減することを目的とする。 It is an object of the present invention to reduce sample vibration caused by environmental sound in order to improve image resolution of an electron microscope.
電子顕微鏡の試料ホルダを覆うステージカバーに関し、ステージカバーを大きさの異なる物を互い違いに組み入れた入れ子構造にし、さらにステーカバー外側は試料室壁と隙間を設けるように配置した構造を有した電子顕微鏡。 Regarding the stage cover that covers the sample holder of the electron microscope, an electron microscope having a structure in which the stage cover has a nested structure in which objects of different sizes are alternately incorporated, and the outside of the stay cover is disposed so as to provide a gap with the sample chamber wall. .
本発明のステージカバーにより、試料ホルダに直接照射される音を低減することができる。また、ステージカバーのうち、外側は試料室壁とは非接触のため、ステージカバー自体が音により振動されても、電子顕微鏡装置本体には伝播しない。このため、試料ホルダの振動を低減することが可能となる。また、試料ホルダに固定されたステージの振動も低減するため、ステージ上の試料振動は低減し、画像分解能が向上する。 With the stage cover of the present invention, it is possible to reduce the sound directly irradiated to the sample holder. Further, since the outside of the stage cover is not in contact with the sample chamber wall, even if the stage cover itself is vibrated by sound, it does not propagate to the electron microscope apparatus main body. For this reason, it becomes possible to reduce the vibration of the sample holder. Further, since the vibration of the stage fixed to the sample holder is also reduced, the sample vibration on the stage is reduced and the image resolution is improved.
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図２は、本発明の対象である、電子顕微鏡装置本体１００の概略構成を示す図である。
電子顕微鏡装置の外側には環境音を遮蔽する目的で、防音カバー１０が備え付けられている。この防音カバー１０は試料を装置内に取り付ける際、外から試料を入れられるように、防音カバーの前扉部分１０１が開閉可能になっている。なお、この防音カバー１０の下部には隙間が設けられている。これは電子顕微鏡装置から発生する熱の排出と設置床の凹凸や床面に設置された配管を避けることを目的にしており、隙間の調節は防音カバー１０をｚ方向に移動することで可能である。
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of the electron microscope apparatus main body 100, which is an object of the present invention.
A soundproof cover 10 is provided outside the electron microscope apparatus for the purpose of shielding environmental sounds. The soundproof cover 10 is configured such that the front door portion 101 of the soundproof cover can be opened and closed so that the sample can be inserted from the outside when the sample is mounted in the apparatus. A clearance is provided at the lower part of the soundproof cover 10. The purpose of this is to discharge heat generated from the electron microscope apparatus and avoid unevenness of the installation floor and piping installed on the floor surface. The clearance can be adjusted by moving the soundproof cover 10 in the z direction. is there.
図３は、図２に示される防音カバー１０内部の電子顕微鏡装置の概略を示す図である。
電子顕微鏡装置は電子銃を搭載したカラム２０、電子ビームを調節する収束器２１、試料を格納する試料室２２、外から試料室内の試料を移動するための試料ホルダ２３、試料室を支持する荷重板２４と架台２５、床下から伝わる振動を低減する防振材２６、試料室内を超高真空に保つイオンポンプ２７やターボ分子ポンプ２８などから構成されている。カラム２０内にある電子銃から放出された電子が、試料ホルダ２３に固定されたステージ２３１の先端に設置された試料に照射される。そして照射された電子が散乱または透過して電子検出器２９で検出される。収束器２１での電磁場の与え方を変化させると電子銃から射出される電子の軌道が僅かに歪むため、電子の照射される位置が変化し、それに伴って電子検出器２９で検出される電子の強度が変化する。このようにして電子の強度を対応する座標に対する濃淡として画像化することで試料の微細構造の拡大像を得ることができる。
FIG. 3 is a diagram showing an outline of the electron microscope apparatus inside the soundproof cover 10 shown in FIG.
The electron microscope apparatus includes a column 20 equipped with an electron gun, a converging device 21 for adjusting an electron beam, a sample chamber 22 for storing a sample, a sample holder 23 for moving a sample in the sample chamber from the outside, and a load for supporting the sample chamber. The plate 24 and the base 25, a vibration isolating material 26 for reducing vibration transmitted from under the floor, an ion pump 27 and a turbo molecular pump 28 for keeping the sample chamber in an ultra-high vacuum, and the like. Electrons emitted from the electron gun in the column 20 are irradiated to the sample installed at the tip of the stage 231 fixed to the sample holder 23. The irradiated electrons are scattered or transmitted and detected by the electron detector 29. When the method of applying the electromagnetic field at the converging device 21 is changed, the trajectory of electrons emitted from the electron gun is slightly distorted, so that the position where the electrons are irradiated changes, and the electrons detected by the electron detector 29 accordingly. The intensity of changes. In this manner, an enlarged image of the fine structure of the sample can be obtained by imaging the electron intensity as light and shade with respect to the corresponding coordinates.
図４は、図２に示されるＢ−Ｂ’ 部の、試料ホルダ２３の拡大断面図である。試料ホルダ２３は内部にステージ２３１が組み込まれており、試料ホルダ２３のステージ２３１側は試料室壁２２１を貫通して気密をとって電子顕微鏡装置に取り付けられている。試料ホルダ２３にはマイクロメータヘッド２３２が付いており、試料の位置や電子線の照射角度を調節することができる。 FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the sample holder 23 at the B-B ′ portion shown in FIG. 2. The sample holder 23 has a stage 231 incorporated therein, and the stage 231 side of the sample holder 23 passes through the sample chamber wall 221 and is hermetically attached to the electron microscope apparatus. The sample holder 23 is provided with a micrometer head 232, and the position of the sample and the irradiation angle of the electron beam can be adjusted.
図１は、本発明によって試料ホルダ２３部分にステージカバー３０を取り付けた断面図である。ステージカバー３０を、大きさの異なる物を互い違いに組み入れた入れ子構造にし、ステージカバー外側３００は防音カバー前扉１０１と一体となり、試料室壁２２１と隙間を設けて配置し、もう一方のステージカバー内側３０１は試料室壁２２１と一体となり、防音カバー前扉１０１およびステージカバー外側３００と隙間を設けて配置した構造を有する。
本構造にすると、防音カバー１０１と一体となるステージカバー外側３００が音響振動しても、試料室壁２２１およびステージカバー内側３０１とは非接触のため、振動は試料ホルダ２３やステージ２３１そして試料には伝播しない。
また、ステージカバー３０を入れ子構造にすることにより、環境音源から試料ホルダ２３までの伝播距離を長くすることができる。これにより、防音カバー１０の下部にある隙間から侵入した音は減衰し、試料ホルダ２３に照射する音響振動を低減することが可能になる。
さらに、試料室壁２２１と一体となり、防音カバー前扉１０１およびステージカバー外側３００と隙間を設けて配置しているステージカバー内側３０１により、試料ホルダ２３自体の曝露面積が減少する。このことにより、試料取り換え時といった、防音カバー前扉１０１開口時にも試料ホルダ部２３の温度変化を抑えることができ、温度変化による試料ホルダ２３の熱膨張によって発生する画像の移動、いわゆるドリフトを抑えることができる。
FIG. 1 is a sectional view in which a stage cover 30 is attached to a sample holder 23 according to the present invention. The stage cover 30 has a nested structure in which objects of different sizes are alternately incorporated. The stage cover outer side 300 is integrated with the front door 101 of the soundproof cover, and is disposed with a gap from the sample chamber wall 221. The other stage cover The inner side 301 is integrated with the sample chamber wall 221 and has a structure in which a clearance is provided between the soundproof cover front door 101 and the stage cover outer side 300.
With this structure, even if the stage cover outer side 300 integrated with the soundproof cover 101 is acoustically vibrated, the sample chamber wall 221 and the stage cover inner side 301 are not in contact with each other, so that vibration is applied to the sample holder 23, the stage 231 and the sample. Does not propagate.
Further, the propagation distance from the environmental sound source to the sample holder 23 can be increased by providing the stage cover 30 with a nested structure. As a result, the sound that has entered from the gap under the soundproof cover 10 is attenuated, and the acoustic vibration irradiated to the sample holder 23 can be reduced.
Furthermore, the exposure area of the sample holder 23 itself is reduced by the stage cover inner side 301 that is integrated with the sample chamber wall 221 and is disposed with a clearance from the soundproof cover front door 101 and the stage cover outer side 300. As a result, the temperature change of the sample holder 23 can be suppressed even when the soundproof cover front door 101 is opened, such as when the sample is replaced, and the movement of the image caused by the thermal expansion of the sample holder 23 due to the temperature change, so-called drift is suppressed. be able to.
図５は、図１をＡの方向から見た、防音カバー前扉１０１と一体となるステージカバー外側３００の図である。このステージカバー外側３００は、防音カバー前扉１０１に取り付けられるステージカバー取り付けレール（ｙ方向）３１１およびステージカバー取り付けレール（ｚ方向）３１２に取り付けられている。これにより、防音カバー前扉１０１と一体となるステージカバー外側３００は位置の微調整が可能になり、試料室壁２２１およびステージカバー内側３０１と非接触に設置することがより容易にできる。なお、ステージカバー外側３００の防音カバー前扉１０１への取り付けは、レール以外でも可能であり、防音カバー前扉１０１の開閉の妨げにならず、かつステージカバー外側３００とステージカバー内側３０１が非接触であればどの手段で固定されていてもよい。 FIG. 5 is a view of the stage cover outer side 300 integrated with the soundproof cover front door 101 as viewed from the direction A in FIG. The stage cover outer side 300 is attached to a stage cover attachment rail (y direction) 311 and a stage cover attachment rail (z direction) 312 attached to the soundproof cover front door 101. Thereby, the position of the stage cover outer side 300 integrated with the soundproof cover front door 101 can be finely adjusted, and it can be more easily installed in a non-contact manner with the sample chamber wall 221 and the stage cover inner side 301. Note that the stage cover outer side 300 can be attached to the soundproof cover front door 101 other than the rail, and does not interfere with the opening and closing of the soundproof cover front door 101, and the stage cover outer side 300 and the stage cover inner side 301 are not in contact. Any means may be used.
図６は、本発明によって試料ホルダ２３にステージカバー３０を取り付け、ステージカバー外側３００が防音カバー前扉１０１には取り付けず、ステージカバー外側３００の一部が接続台３２を介して荷重板２４と一体となるような構造を有した断面図である。ステージカバー外側３００は、試料室壁２２１と隙間を設けて配置し、もう一方のステージカバー内側３０１は試料室壁２２１と一体となり、防音カバー前扉１０１およびステージカバー外側３００と隙間を設けて配置した構造を有する。
図７は、図６に示されるＣから見た概略図である。ステージカバー３０のうち、ステージカバー外側３００の下部および側面の一部が接続台３２を介して荷重板２４に取り付けられる。ステージカバー外側３００の上部およびｘ方向の側面は蓋になっており、試料を取り出す際に取り外しが可能である。
本構造にすると、ステージカバー３０のうち、荷重板２４と一体となるステージカバー外側３００に環境音および床からの振動が伝播しても、試料室壁２２１およびステージカバー内側３０１とは非接触のため、振動は試料ホルダ２３や試料には伝播しない。
また、ステージカバー３０を入れ子構造にすることにより、環境音源から試料ホルダ２３までの伝播距離を長くすることができる。このため防音カバー１０の下部にある隙間から侵入した音は減衰し、試料ホルダ２３に照射する音響振動を低減することが可能になる。
さらに、試料室壁２２１と一体となり、防音カバー前扉１０１およびステージカバー外側３００と隙間を設けて配置しているステージカバー内側３０１により、試料ホルダ２３自体の曝露面積が減少する。このことにより、試料取り換え時などの防音カバー前扉１０１開口時にも試料ホルダ２３部の温度変化を抑えることができ、温度変化による試料ホルダ２３の熱膨張によって発生する像の移動、いわゆるドリフトを抑えることができる。
なお、ステージカバー外側３００と荷重板２４との接続台３２はz方向に微調整が可能なように、駆動機構を組み込んでもよい。微調整が可能になると、試料室壁２２１およびステージカバー内側３０１と非接触に設置することがより容易にできる。
FIG. 6 shows that the stage cover 30 is attached to the sample holder 23 according to the present invention, the stage cover outer side 300 is not attached to the soundproof cover front door 101, and a part of the stage cover outer side 300 is connected to the load plate 24 via the connection base 32. It is sectional drawing with the structure which becomes united. The stage cover outer side 300 is arranged with a gap from the sample chamber wall 221, and the other stage cover inner side 301 is integrated with the sample chamber wall 221 and arranged with a gap from the soundproof cover front door 101 and the stage cover outer side 300. Has the structure.
FIG. 7 is a schematic view seen from C shown in FIG. Of the stage cover 30, a lower part and a part of the side surface of the stage cover outer side 300 are attached to the load plate 24 via the connection base 32. The upper part of the stage cover outer side 300 and the side surface in the x direction are lids, which can be removed when taking out the sample.
With this structure, even if environmental sound and vibration from the floor propagate to the stage cover outer side 300 integrated with the load plate 24 in the stage cover 30, the sample chamber wall 221 and the stage cover inner side 301 are not in contact with each other. Therefore, vibration does not propagate to the sample holder 23 or the sample.
Further, the propagation distance from the environmental sound source to the sample holder 23 can be increased by providing the stage cover 30 with a nested structure. For this reason, the sound that has entered from the gap at the lower part of the soundproof cover 10 is attenuated, and it is possible to reduce the acoustic vibration applied to the sample holder 23.
Furthermore, the exposure area of the sample holder 23 itself is reduced by the stage cover inner side 301 that is integrated with the sample chamber wall 221 and is disposed with a clearance from the soundproof cover front door 101 and the stage cover outer side 300. As a result, the temperature change of the sample holder 23 can be suppressed even when the front door 101 of the soundproof cover is opened, such as when the sample is replaced, and the movement of the image caused by the thermal expansion of the sample holder 23 due to the temperature change, so-called drift is suppressed. be able to.
In addition, the connection base 32 between the stage cover outer side 300 and the load plate 24 may incorporate a drive mechanism so that fine adjustment is possible in the z direction. When fine adjustment is possible, the sample chamber wall 221 and the stage cover inner side 301 can be more easily installed without contact.
図８は、実施例１の構造に、さらにステージカバー３０内部に吸音材３３を取り付けた構造を有した断面図である。
防音カバー１０やステージカバー３０を透過する音を低減するために、防音カバー前扉１０１と一体となるステージカバー外側３００の面あるいは試料室壁２２１と一体となり、防音カバー前扉１０１と隙間を設けて配置したステージカバー内側３０１の面あるいは両面に吸音材３３を貼り付けてもよい。吸音材３３により、音を熱エネルギーに変換し、試料ホルダ２３に照射される音を低減することができる。また、吸音材３３は断熱効果も期待できる断熱吸音材を用いてもよい。断熱吸音材により試料ホルダ２３の温度変化を抑えることができ、温度変化による試料ホルダ２３の熱膨張によって発生する像の移動、いわゆるドリフトを抑えることができる。
FIG. 8 is a cross-sectional view in which the sound absorbing material 33 is further attached to the inside of the stage cover 30 in the structure of the first embodiment.
In order to reduce the sound transmitted through the soundproof cover 10 and the stage cover 30, it is integrated with the surface of the stage cover outer side 300 integrated with the soundproof cover front door 101 or the sample chamber wall 221 to provide a gap with the soundproof cover front door 101. The sound absorbing material 33 may be affixed to the surface or both surfaces of the stage cover inner side 301 arranged in the manner described above. The sound absorbing material 33 can convert sound into heat energy and reduce the sound irradiated on the sample holder 23. The sound absorbing material 33 may be a heat insulating sound absorbing material that can also be expected to have a heat insulating effect. The temperature change of the sample holder 23 can be suppressed by the heat insulating sound-absorbing material, and the movement of the image caused by the thermal expansion of the sample holder 23 due to the temperature change, so-called drift can be suppressed.
図９は、実施例１の構造に、さらにステージカバー３０同士の隙間部に凹凸を何段にも組み合わせたラビリンス構造３４を有した断面図である。
入れ子構造のステージカバー３０同士の隙間を侵入する音のエネルギー損失を増加させるために、隙間をラビリンス構造３４にしてもよい。防音カバー１０の下部にある隙間から侵入した音は減衰し、試料ホルダ２３に照射する音響振動を低減することができる。なお、実施例３〜４で示したステージカバー３０内構造は図６のようにステージカバー外側３００が接続台３２を介して荷重板２４に取り付けられる場合でも良い。また、実施例３〜４の形態では、それぞれ別に説明したが、これに限定したものではない。例えば、ステージカバーに対して吸音材３３およびラビリンス構造３４を有しても良い。
FIG. 9 is a cross-sectional view having a labyrinth structure 34 in which the structure of the first embodiment is combined with unevenness in the gap portion between the stage covers 30.
In order to increase the energy loss of sound entering the gap between the nested stage covers 30, the gap may be a labyrinth structure 34. The sound that has entered through the gap at the lower part of the soundproof cover 10 is attenuated, and the acoustic vibration applied to the sample holder 23 can be reduced. Note that the internal structure of the stage cover 30 shown in the third to fourth embodiments may be such that the stage cover outer side 300 is attached to the load plate 24 via the connection base 32 as shown in FIG. Moreover, although demonstrated separately in the form of Examples 3-4, it is not limited to this. For example, you may have the sound-absorbing material 33 and the labyrinth structure 34 with respect to a stage cover.
本発明のステージカバーにより、試料ホルダに直接照射される音を低減することができる。また、ステージカバーのうち、外側は試料室壁とは非接触のため、ステージカバー自体が音により振動されても、電子顕微鏡装置本体には伝播しない。このため、試料ホルダの振動を低減することが可能となる。また、試料ホルダに固定されたステージの振動も低減するため、ステージ上の試料振動は低減し、画像分解能が向上する。
また、別の効果として、ステージカバーのうち、試料室壁と一体としている内側は、試料ホルダ自体の曝露面積が、ステージカバーの無い状態よりも減少するため、防音カバー開口時には試料ホルダ部分の温度変化を抑えられる。このため、試料ホルダの熱膨張によって発生する画像の移動、いわゆるドリフトも抑えることができる。
With the stage cover of the present invention, it is possible to reduce the sound directly irradiated to the sample holder. Further, since the outside of the stage cover is not in contact with the sample chamber wall, even if the stage cover itself is vibrated by sound, it does not propagate to the electron microscope apparatus main body. For this reason, it becomes possible to reduce the vibration of the sample holder. Further, since the vibration of the stage fixed to the sample holder is also reduced, the sample vibration on the stage is reduced and the image resolution is improved.
As another effect, the inside of the stage cover that is integrated with the sample chamber wall reduces the exposure area of the sample holder itself as compared to the state without the stage cover. Change can be suppressed. For this reason, the movement of the image caused by the thermal expansion of the sample holder, so-called drift can also be suppressed.
１００ 電子顕微鏡装置本体
１０ 防音カバー
１０１ 防音カバー前扉
２０ カラム
２１ 収束器
２２ 試料室
２２１ 試料室壁
２３ 試料ホルダ
２３１ ステージ
２３２ マイクロメータヘッド
２４ 荷重板
２５ 架台
２６ 防振材
２７ イオンポンプ
２８ ターボ分子ポンプ
２９ 電子検出器
３０ ステージカバー
３００ ステージカバー外側
３０１ ステージカバー内側
３１１ ステージカバー取り付けレール（ｙ方向）
３１２ ステージカバー取り付けレール（ｚ方向）
３２ ステージカバー外側と荷重板との接続台
３３ 吸音材
３４ ラビリンス構造
100 Electron Microscope Device Body 10 Soundproof Cover 101 Soundproof Cover Front Door 20 Column 21 Converging Device
22 Sample chamber 221 Sample chamber wall 23 Sample holder 231 Stage 232 Micrometer head 24 Load plate 25 Mounting base 26 Anti-vibration material 27 Ion pump 28 Turbo molecular pump 29 Electron detector 30 Stage cover 300 Stage cover outside 301 Stage cover inside 311 Stage cover Mounting rail (y direction)
312 Stage cover mounting rail (z direction)
32 Connecting stage between stage cover outer side and load plate 33 Sound absorbing material 34 Labyrinth structure
Claims (6)
前記試料台を取り囲む第一のカバーと、前記第一のカバー及び前記試料台を覆う第二のカバーから構成され、
前記第二のカバーは、前記第一のカバーを間隙を介して覆い、
さらに、前記電子顕微鏡は防音カバーを備え、
前記第二のカバーは前記防音カバーに備えられたことを特徴とする電子顕微鏡。 An electron microscope that irradiates a sample fixed to a sample stage with a charged particle beam, detects a charged particle beam emitted from the sample, and acquires a sample image;
A first cover that surrounds the sample stage; and a second cover that covers the first cover and the sample stage,
Said second cover, the first cover has covered with a gap,
Furthermore, the electron microscope includes a soundproof cover,
The electron microscope, wherein the second cover is provided on the soundproof cover .
前記電子顕微鏡は透過型電子顕微鏡であることを特徴とする電子顕微鏡。 The electron microscope according to claim 1,
The electron microscope is a transmission electron microscope.
前記電子顕微鏡は防音カバーを備え、
前記第二のカバーは前記防音カバーにレールを介して備えられ、
前記第二のカバーは前記レール上で位置の移動が可能であることを特徴とする電子顕微鏡。 The electron microscope according to claim 2, wherein
The electron microscope includes a soundproof cover,
The second cover is provided on the soundproof cover via a rail,
An electron microscope characterized in that the position of the second cover can be moved on the rail.
前記電子顕微鏡は荷重板を備え、
前記第二のカバーは前記荷重板に備えられたことを特徴とする電子顕微鏡。 The electron microscope according to claim 1,
The electron microscope includes a load plate,
The electron microscope, wherein the second cover is provided on the load plate.
前記第一のカバーの外側及び／又は前記第二のカバーの内側に吸音材を備えることを特徴とする電子顕微鏡。 The electron microscope according to claim 1,
An electron microscope comprising a sound absorbing material outside the first cover and / or inside the second cover.
前記第一のカバーの外側及び／又は前記第二のカバーの内側にラビリンス構造を備えることを特徴とする電子顕微鏡。 The electron microscope according to claim 1,
An electron microscope comprising a labyrinth structure outside the first cover and / or inside the second cover.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012265912A JP6002561B2 (en) | 2012-12-05 | 2012-12-05 | electronic microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012265912A JP6002561B2 (en) | 2012-12-05 | 2012-12-05 | electronic microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014112471A JP2014112471A (en) | 2014-06-19 |
| JP6002561B2 true JP6002561B2 (en) | 2016-10-05 |
Family
ID=51169480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012265912A Expired - Fee Related JP6002561B2 (en) | 2012-12-05 | 2012-12-05 | electronic microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6002561B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6295141B2 (en) * | 2014-05-23 | 2018-03-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | electronic microscope |
| JP6749544B2 (en) * | 2018-08-10 | 2020-09-02 | 株式会社メルビル | cover |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02123057U (en) * | 1989-03-20 | 1990-10-09 | ||
| JPH0992192A (en) * | 1995-09-25 | 1997-04-04 | Hitachi Ltd | Charge particulate beam device |
| JPH1140095A (en) * | 1997-07-22 | 1999-02-12 | Jeol Ltd | Sample moving device for electron microscope |
| JP5537386B2 (en) * | 2010-11-09 | 2014-07-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Charged particle beam equipment |
-
2012
- 2012-12-05 JP JP2012265912A patent/JP6002561B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2014112471A (en) | 2014-06-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8822952B2 (en) | Charged particle beam apparatus having noise absorbing arrangements | |
| JP5645934B2 (en) | Charged particle beam device and soundproof cover | |
| JP6002561B2 (en) | electronic microscope | |
| WO2010146790A1 (en) | Charged particle radiation device | |
| JP6620147B2 (en) | Vacuum linear feedthrough and vacuum system having the vacuum linear feedthrough | |
| JP5947128B2 (en) | Apparatus and method for imaging, inspecting or processing a sample using charged particles | |
| JP5838106B2 (en) | Soundproof cover for charged particle beam device and charged particle beam device | |
| JP2018005975A (en) | Vibration suppression mechanism mounted in charged particle beam device, and charged particle beam device | |
| JP2019212559A (en) | Stage device and charged particle beam device | |
| JP6362941B2 (en) | Charged particle beam equipment | |
| JP6295141B2 (en) | electronic microscope | |
| JP2006079870A (en) | Charged particle beam device | |
| KR101364289B1 (en) | Scanning electron microscope | |
| JP2016051535A (en) | Charged particle beam device | |
| US9734983B2 (en) | Charged particle radiation apparatus | |
| JP7279207B2 (en) | Charged particle beam device and vibration suppression mechanism | |
| JP7336594B2 (en) | Charged particle beam device | |
| JP2005032505A (en) | Magnetic shield structure and exposure device | |
| WO2015093156A1 (en) | Soundproofing cover for charged particle beam device, and charged particle beam device | |
| JP2005061877A (en) | Sound insulation box and probe microscope using the same | |
| JP2014216207A (en) | Charged particle beam device | |
| JP2005277293A (en) | Electron beam device | |
| JP2016134321A (en) | Charged particle beam device | |
| JP2011124145A (en) | Charged particle beam device | |
| JP2010286684A5 (en) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150225 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150225 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160209 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160226 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160809 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160905 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6002561 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |