JP5995595B2 - Control valve and control valve assembly method - Google Patents
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Description
本発明は、流路が形成される樹脂製の流路ブロックを有する制御弁および制御弁の組立方法に関する。 The present invention relates to a control valve having a resin flow channel block in which a flow channel is formed, and a method for assembling the control valve.
流体圧機器や、液体が塗布される被加工物に対して、流体圧源からの流体を供給する流体供給装置には、流路を開閉したり、圧力を制御したりするために制御弁が使用される。このような用途に使用される制御弁としては、流体圧源に接続される一次側配管が接続される入口流路つまり一次側流路と、流体圧機器や被加工物に流体を案内する二次側配管が接続される出口流路つまり二次側流路とを有しており、両方の流路は流路ブロックに設けられている。制御弁には一次側流路と二次側流路とを連通させる連通室が設けられており、この連通室を開閉したり、連通室の開度を調整したりするために、制御弁には弁体が設けられている。弁体を駆動するための駆動ブロックは、流路ブロックにねじ部材等により取り付けられている。 A fluid supply device that supplies fluid from a fluid pressure source to a fluid pressure device or a workpiece to which liquid is applied has a control valve for opening and closing a flow path and controlling pressure. used. Control valves used for such applications include an inlet flow path, that is, a primary flow path to which a primary side pipe connected to a fluid pressure source is connected, and a fluid pressure device and a work piece for guiding fluid to the workpiece. It has an outlet channel to which the secondary side pipe is connected, that is, a secondary side channel, and both channels are provided in the channel block. The control valve is provided with a communication chamber that communicates the primary side flow path and the secondary side flow path, and the control valve is provided to open and close the communication chamber and adjust the opening degree of the communication chamber. Is provided with a valve body. A drive block for driving the valve body is attached to the flow path block by a screw member or the like.
例えば、半導体ウエハにフォトレジスト液等の薬液を塗布するための液体供給装置に用いられる制御弁は、薬液と化学反応を起こさないように、流路ブロックはフッ素樹脂等の樹脂により形成されている。弁体を駆動するための駆動ブロックは、液体と直接接触することがないので、樹脂や金属により形成されている。 For example, in a control valve used in a liquid supply device for applying a chemical solution such as a photoresist solution to a semiconductor wafer, the flow path block is formed of a resin such as a fluororesin so as not to cause a chemical reaction with the chemical solution. . Since the drive block for driving the valve body does not come into direct contact with the liquid, it is made of resin or metal.
特許文献1には、一次側の流体圧力が変動しても二次側の流体圧を一定に保つための定圧レギュレータとも言われる制御弁が記載されており、一次側流路と二次側流路とが形成されたレギュレータ本体はPTFE等のフッ素樹脂により形成されている。駆動ブロックとしての蓋体がレギュレータ本体に取り付けられており、蓋体つまり駆動ブロックが弁体としてのダイヤフラムを駆動する。蓋体もフッ素樹脂により形成されている。 Patent Document 1 describes a control valve called a constant pressure regulator for keeping the secondary fluid pressure constant even when the primary fluid pressure fluctuates. The regulator body in which the path is formed is made of a fluororesin such as PTFE. A lid body as a drive block is attached to the regulator body, and the lid body, that is, the drive block drives a diaphragm as a valve body. The lid is also made of a fluororesin.
上述のように、一次側流路と二次側流路とが形成された樹脂製の流路ブロックと、弁体を駆動するための駆動機構が設けられた駆動ブロックとを有する制御弁においては、流路ブロックと駆動ブロックとがねじ部材により締結される。流路ブロックにねじ部材により締結力が外力として加えられると、流路ブロックには歪みが発生し、それが残留歪みとなって残ることになる。樹脂製の流路ブロックは、ねじ部材により外力が加えられると、金属製の流路ブロックの場合に比較して、歪みが増加する現象つまりクリープ現象を小さい外力でも短時間に起こすことになる。流路ブロックにクリープ現象が発生すると、外形寸法がわずかに短くなり、流路ブロックと駆動ブロックとの間に隙間が発生することがあるので、そのままでは隙間から流体が外部に漏れるおそれがある。このため、樹脂製の流路ブロックを有する制御弁を組み立てるには、流路ブロックと駆動ブロックとをねじ部材により締結した後にねじ部材のゆるみが生じるので、一定時間を経てから再度ねじ部材の増し締め作業を行う必要がある。 As described above, in a control valve having a resin flow channel block in which a primary flow channel and a secondary flow channel are formed, and a drive block provided with a drive mechanism for driving a valve body The flow path block and the drive block are fastened by the screw member. When a fastening force is applied as an external force to the flow path block by a screw member, the flow path block is distorted and remains as a residual strain. When an external force is applied to the resin channel block by a screw member, a phenomenon in which distortion increases, that is, a creep phenomenon occurs in a short time even with a small external force, as compared with a metal channel block. When the creep phenomenon occurs in the flow path block, the outer dimensions are slightly shortened, and a gap may be generated between the flow path block and the drive block, so that there is a possibility that the fluid leaks outside through the gap. For this reason, in order to assemble a control valve having a resin-made flow path block, the screw member is loosened after the flow path block and the drive block are fastened by the screw member. It is necessary to perform tightening work.
このように、樹脂製の部材を有する制御弁においては、ねじ部材の締結作業と一定時間が経過した後の増し締め作業との二段階でねじ部材の締結作業を行い、制御弁が使用される過程ではクリープ現象によって隙間が発生しないようにする必要がある。このため、制御弁の組立作業性が悪いという問題点がある。 Thus, in the control valve having a resin member, the screw member is tightened in two stages, that is, the screw member tightening operation and the retightening operation after a predetermined time has elapsed, and the control valve is used. In the process, it is necessary to prevent gaps from occurring due to the creep phenomenon. For this reason, there exists a problem that the assembly workability | operativity of a control valve is bad.
本発明の目的は、樹脂製の部材を有する制御弁が長期の使用や熱サイクルによってクリープを起こしても、緩みを生じない制御弁を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a control valve that does not loosen even when the control valve having a resin member creeps due to long-term use or thermal cycle.
本発明の目的は、樹脂製の部材を有する制御弁の組立性を向上することにある。 The objective of this invention is improving the assembly property of the control valve which has a resin-made member.
本発明の目的は、樹脂製の部材を有する制御弁において、流路ブロックと駆動ブロックとを締結するねじ部材を廃止し、ねじのトルク管理、増し締め作業を廃止して制御弁の組立性を向上することにある。 The object of the present invention is to eliminate the screw member that fastens the flow path block and the drive block in the control valve having a resin member, and eliminate the torque management and retightening work of the screw to improve the assemblability of the control valve. It is to improve.
本発明の制御弁は、流体が供給される一次側流路および流体を吐出する二次側流路が形成された樹脂製の流路ブロックと、前記流路ブロックの表面側に配置され、弁体を駆動する弁体駆動機構が設けられるとともにピン嵌合孔を有するピン嵌合部が設けられた駆動ブロックと、ピン固定孔が形成され、前記流路ブロックの底面側に配置される締結ブロックと、前記流路ブロックの底面側に突出して設けられ、ピン貫通孔が形成された締結部と、前記ピン嵌合孔と前記ピン固定孔と前記ピン貫通孔とに挿入される締結ピンと、を有し、前記流路ブロックが前記駆動ブロックと前記締結ブロックとに前記締結ピンより締結されることを特徴とする。本発明の制御弁の組立方法は、流体が供給される一次側流路および流体を吐出する二次側流路が形成された樹脂製の流路ブロックと、前記流路ブロックの表面側に取り付けられ、弁体を駆動する弁体駆動機構が設けられるとともにピン嵌合孔を有するピン嵌合部が設けられた駆動ブロックと、ピン固定孔が形成され、前記流路ブロックの底面側に配置される締結ブロックと、前記流路ブロックの底面側に突出して設けられ、ピン貫通孔が形成された締結部と、を有する制御弁の組立方法であって、前記流路ブロック、前記駆動ブロック、および前記締結ブロックに、組み合わせた状態で外力を加え、前記ピン嵌合孔、前記ピン固定孔および前記ピン貫通孔の中心軸が同軸となった状態のもとで、前記ピン嵌合孔、前記ピン固定孔および前記ピン貫通孔に締結ピンを挿入し、前記流路ブロック、前記駆動ブロック、および前記締結ブロックを締結することを特徴とする。 The control valve of the present invention is disposed on the surface side of the flow path block, a resin flow path block formed with a primary flow path to which a fluid is supplied and a secondary flow path for discharging the fluid, A drive block provided with a valve body drive mechanism for driving the valve body and provided with a pin fitting portion having a pin fitting hole, and a fastening formed with a pin fixing hole and disposed on the bottom surface side of the flow path block A block, a fastening portion provided protruding from the bottom surface side of the flow channel block, and having a pin through hole formed therein; a fastening pin inserted into the pin fitting hole, the pin fixing hole, and the pin through hole; The flow path block is fastened to the drive block and the fastening block by the fastening pin . The control valve assembly method of the present invention includes a resin-made flow channel block in which a primary flow channel to which fluid is supplied and a secondary flow channel for discharging fluid are formed, and is attached to the surface side of the flow channel block. And a drive block provided with a pin fitting portion having a pin fitting hole and a valve body driving mechanism for driving the valve body, and a pin fixing hole are formed and arranged on the bottom side of the flow path block. A control block having a fastening block and a fastening portion provided protruding from the bottom surface side of the flow path block and having a pin through hole, the flow path block, the drive block, and An external force is applied to the fastening block in a combined state, and the pin fitting hole, the pin fixing hole, and the pin through hole are in a state where the central axes are coaxial. Fixing holes and Insert the fastening pin into the through hole, characterized in that fastening the channel block, said driving block, and the fastening block.
この制御弁においては、開閉弁体を駆動する駆動ブロックが流路ブロックの表面側に取り付けられ、流路ブロックの底面側に締結ブロックが取り付けられる。駆動ブロックと締結ブロックにより流路ブロックを挟み込むように外力を加えて、流路ブロックを圧縮変形させた状態で、締結ブロックに形成されたピン固定孔と駆動ブロックのピン嵌合部に形成されたピン嵌合孔に締結ピンを貫通させる。外力を解除すると、流路ブロックには圧縮力が加えられた状態となり、流路ブロックに発生した歪みがクリープ現象によって増加しても、流路ブロックと駆動ブロックの突き当て面の密着が確保されて、隙間の発生が防止される。 In this control valve, a drive block for driving the on-off valve body is attached to the surface side of the flow path block, and a fastening block is attached to the bottom surface side of the flow path block. An external force is applied so as to sandwich the flow path block between the drive block and the fastening block, and the flow path block is compressed and deformed, and the pin fixing hole formed in the fastening block and the pin fitting portion of the drive block are formed. The fastening pin is passed through the pin fitting hole. When the external force is released, a compressive force is applied to the flow path block, and even if the strain generated in the flow path block increases due to the creep phenomenon, the contact surface between the flow path block and the drive block is secured. Thus, the generation of a gap is prevented.
したがって、流路ブロックと駆動ブロックとをねじ部材により締結することなく、流路ブロックと駆動ブロックの突き当て面の密着性を維持することができるので、ねじ部材の増し締め作業が不要となり、制御弁の組み立て作業性を向上させることができる。さらに、樹脂製の流路ブロックが長期の使用や熱サイクルによってクリープを起こしても、流路ブロックと駆動ブロックの締結は緩むことなく、長期間に渡って所望の作動特性を維持することができる。 Therefore, the tightness of the abutment surfaces of the flow path block and the drive block can be maintained without fastening the flow path block and the drive block with the screw member, so that the tightening work of the screw member is not required and control is performed. The assembling workability of the valve can be improved. Furthermore, even if the resin flow path block creeps due to long-term use or thermal cycle, the desired operation characteristics can be maintained for a long time without loosening the connection between the flow path block and the drive block. .
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1に示されるように、制御弁はフッ素樹脂製の流路ブロック10aを有している。流路ブロック10aは全体的にほぼ直方体形状であり、図1において上面が表面となっており、下面が底面となっている。流路ブロック10aには一次側流路11と二次側流路12が形成されている。一次側流路11は図示しない液体収容タンクおよびこの中の液体を吐出するポンプ等を有する液体供給源に連通され、二次側流路12は図示しない塗布ノズル等の液体吐出具に連通される。例えば、この制御弁が被加工物に対して薬液等の液体を塗布する工程に使用されるときには、ポンプから供給された液体が制御弁により液体吐出具に吐出される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the control valve has a
流路ブロック10aの一端部には一次側の継手部13が突設され、他端部には二次側の継手部14が突設されており、両方の継手部13,14は同軸となっている。継手部13には、ポンプ等の液体供給源に接続された一次側の配管に連通する一次側ポート13aが設けられ、継手部14には、塗布ノズル等の液体吐出具に接続された二次側の配管に連通する二次側ポート14aが設けられている。一次側流路11は一次側ポート13aに連通する一次側の主流路11aを有し、二次側流路12は二次側ポート14aに連通する二次側の主流路12aを有し、両方の主流路11a,12aは同軸となっている。流路ブロック10aにおいて、主流路11aは一次側の連通流路11bを介して流路ブロック10aの表面と連通しており、連通流路11bは主流路11aに対してほぼ直角方向に伸びている。また、主流路12aは二次側の連通流路12bを介して流路ブロック10aの表面と連通している。連通流路12bは主流路12aに対してほぼ直角方向に伸びており、連通流路11bと平行となっている。
A
それぞれの連通流路11b,12bが開口する流路ブロック10aの表面には、ダイヤフラム型の開閉弁体15が配置されている。開閉弁体15は、フッ素樹脂により形成されており、連通流路12bの開口部に設けられた弁座16に当接する開閉部15aと、環状基部15bとを有し、開閉部15aと環状基部15bとの間には弾性変形部15cが設けられている。開閉弁体15の環状基部15bは、流路ブロック10aとこれに取り付けられる駆動ブロック10bとの間に挟持されている。駆動ブロック10bは、フッ素樹脂よりも硬度が高い硬質樹脂やアルミニウム合金等の硬質材料により形成されている。開閉弁体15と流路ブロック10aとにより連通室18が区画されており、この連通室18は一次側流路11と二次側流路12とを連通させる。
A diaphragm type on-off
駆動ブロック10bに形成されたガイド孔19には、弁駆動部材としての駆動ロッド20が軸方向に往復動自在に装着され、この駆動ロッド20の先端には、開閉弁体15の開閉部15aに一体に設けられた軸部15dがねじ結合されている。ガイド孔19に連なって駆動ブロック10bに形成されたシリンダ孔21には、駆動ロッド20の基端部に一体に設けられたピストン22が軸方向に往復動自在に装着されている。駆動ブロック10bにはばね室23が形成されており、このばね室23には、圧縮コイルばね24が配置されている。この圧縮コイルばね24によって、開閉弁体15の開閉部15aに対して弁座16に向かうばね力が、駆動ロッド20を介して付勢されている。
A
ピストン22とシリンダ孔21とにより空気圧室25が区画されており、この空気圧室25に連通する給排ポート26が駆動ブロック10bに形成されている。この給排ポート26から圧縮空気を供給すると、駆動ロッド20はばね力に抗して後退移動し、開閉部15aは弁座16から離れる。これにより、一次側流路11と二次側流路12は連通室18を介して連通状態となり、制御弁は開弁状態となる。これに対し、空気圧室25内の空気を外部に排出すると、圧縮コイルばね24のばね力により駆動ロッド20は弁座16に向けて前進移動して開閉部15aは弁座16に当接する。これにより、一次側流路11と二次側流路12の連通は遮断され、開閉弁体15は閉じた状態となる。駆動ブロック10bにはばね室23を外部に連通させる息付き孔27と、空気圧室25を外部に連通させる息付き孔28とが形成されている。
A
ピストン22は空気圧室25に供給される圧縮空気により後退方向に駆動され、空気圧室25内の空気を排出するとばね力により前進方向に駆動される単動型となっている。これに対し、ばね室23を空気圧室としてピストン22を空気圧により前進方向に駆動する形態とすると、ピストン22は複動型となる。駆動ブロック10bを、シリンダ孔21が形成された本体部と、これに組み付けられる蓋部との2分割構造としてしても良い。
The
流路ブロック10aの底面には凹部31が形成され、凹部31の外側は図2に示されるように凹部31を囲むようにほぼ四辺形の締結部32となっており、締結部32は図1に示されるように流路ブロック10aの底面側に突出している。締結部32の底面に設けられた突き当て面33には、締結ブロック10cが突き当てられており、締結ブロック10cが流路ブロック10aの底面側に取り付けられる。締結ブロック10cはフッ素樹脂よりも硬度が高い硬質樹脂やアルミニウム合金等の硬質材料により形成されている。締結ブロック10cの内面外周部には締結部32の突き当て面33に突き当てられる突き当て面34が設けられており、突き当て面34の内側には凹部31内に入り込むピン固定部35が締結ブロック10cの内面に突出して設けられている。ピン固定部35の突出高さは、凹部31の深さよりも短くなっており、締結ブロック10cが流路ブロック10aに取り付けられたときには、凹部31の底面31aとピン固定部35の間には隙間36が形成される。
A
ピン固定部35には、図1および図2に示されるように、2つのピン固定孔37が形成されており、それぞれのピン固定孔37には締結ピン38が取り付けられる。ピン固定孔37は、図2に示されるように、継手部13,14の突出方向を左右方向とすると、これに対して直角となった前後方向に伸びている。ただし、ピン固定孔37を継手部13,14と平行にピン固定部35に設けても良い。流路ブロック10aの締結部32には、図2に示されるように、締結ピン38が貫通するピン貫通孔39が形成されており、それぞれのピン貫通孔39には2本の締結ピン38の端部が貫通する。
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, two
駆動ブロック10bには、図2および図3に示されるように、流路ブロック10aの両側面を覆うカバー部が設けられており、カバー部はピン嵌合部41となっている。このピン嵌合部41に形成されたピン嵌合孔42には、締結ピン38の端部が嵌合される。図示するピン固定孔37,ピン貫通孔39およびピン嵌合孔42の径は、締結ピン38の外径とほぼ同一となっている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
制御弁は、図5に示されるように、流路ブロック10aと駆動ブロック10bと締結ブロック10cとを組み付けることにより組み立てられる。流路ブロック10aと駆動ブロック10bとを組み付けるには、流路ブロック10aを駆動ブロック10bの左右のピン嵌合部41の間に挿入する。
As shown in FIG. 5, the control valve is assembled by assembling the
図8および図9は、締結ブロック10cが流路ブロック10aの底面側に突き当てられ、流路ブロック10aが駆動ブロック10bに組み付けられた状態を示す。この状態のもとでは、締結ブロック10cの突き当て面34が流路ブロック10aの突き当て面33に突き当てられる。このときには、図9に示されるように、締結部32のピン貫通孔39の中心軸O2は、ピン固定部35のピン固定孔37の中心軸O1よりも流路ブロック10aの表面側にE1ずれている。さらに、ピン嵌合部41のピン嵌合孔42の中心軸O3は、中心軸O2よりも流路ブロック10aの表面側にE2ずれている。それぞれの中心軸が上述した位置関係となるように、流路ブロック10a,駆動ブロック10bおよび締結ブロック10cには、予め、ピン固定孔37,ピン貫通孔39およびピン嵌合孔42がそれぞれ形成される。
8 and 9 show a state where the
図8に示されるように、流路ブロック10a等の3つのブロックが合わせられた状態で、締結ブロック10cと駆動ブロック10bとが流路ブロック10aを挟み込んで、図9のずれE1とE2がゼロになるように外力が加えられる。流路ブロック10aはこの外力によって圧縮力を受けて歪む。この外力によりピン固定孔37,ピン貫通孔39およびピン嵌合孔42の中心軸が同軸となったところで、締結ピン38を挿入する。
As shown in FIG. 8, the
締結ピン38がピン嵌合孔42に嵌合されると、加えられた外力を取り除いた後も流路ブロック10aは締結ブロック10cから圧縮力を受けて寸法が変わることがなく、歪んだままとなる。このように、ピン固定孔37とピン嵌合孔42とを偏心させて締結ブロック10cと駆動ブロック10bとを製造し、流路ブロック10aを圧縮変形させた状態のもとで、締結ピン38をピン嵌合孔42に固定するとともにピン貫通孔39に貫通させてピン固定孔37とピン嵌合孔42とが同軸となるように、流路ブロック10aが圧縮歪みを起こした状態の寸法を維持させる。これにより、締結ピン38をピン固定孔37とピン嵌合孔42に挿入した状態のもとでは、流路ブロック10aに圧縮方向の締め付け力つまり圧縮力が加えられるので、樹脂製の流路ブロック10aがクリープ現象により歪みが増加しても、流路ブロック10aと駆動ブロック10bとの間に隙間が発生することが防止される。
When the
締結ピン38には括れ部43が設けられており、上述のようにピン貫通孔39の径は締結ピン38の外径とほぼ同一となっている。したがって、締結ピン38を流路ブロック10aのピン固定孔37に取り付けることにより、締結ピン38をピン貫通孔39に貫通させると、締結ピン38はピン貫通孔39の内面に密着し、樹脂製の流路ブロック10aの一部が歪みによって括れ部43に入り込む。これにより、締結ピン38の抜けが防止される。括れ部43に流路ブロック10aの一部を食い込ませない形態においては、ピン貫通孔39の径を締結ピン38の外径よりも大きくすることができる。駆動ブロック10bのピン嵌合部41の先端には、図4および図5に示されるように、突起44が設けられ、突起44に対向して突起45が締結ブロック10cの両側に設けられている。両方の突起44,45が当接することよって、締結ブロック10cが駆動ブロック10bからずれることが防止される。
The
図11は従来の制御弁の平面図であり、図11は図1に示した制御弁における上面に対応した部分を示している。従来のように、駆動ブロック10bに取り付けられるねじ部材17により駆動ブロック10bと流路ブロック10aとを締結すると、駆動ブロック10bと流路ブロック10aとをねじ部材17により組み付け作業が行われた後に、時間をおいてねじ部材17の増し締め作業を行う必要があった。
FIG. 11 is a plan view of a conventional control valve, and FIG. 11 shows a portion corresponding to the upper surface of the control valve shown in FIG. When the
これに対し、図1に示した制御弁においては、流路ブロック10aと駆動ブロック10bとに締結ブロック10cを締結ピン38により組み付けると、上述のように、流路ブロック10aは駆動ブロック10bと締結ブロック10cとにより圧縮力を受けた圧縮歪みが発生した状態となる。これにより、流路ブロック10aと駆動ブロック10bとをねじ部材を用いて締結することが不要となり、ねじ部材の締め付けトルクの管理、増し締め作業が不要となり、制御弁の組立を少ない作業工程で容易に行うことができる。
On the other hand, in the control valve shown in FIG. 1, when the
上述のように、締結ピン38の中央部分が締結ブロック10cに固定され、締結ピン38の両端部がピン貫通孔39を貫通しており、締結ピン38には傾斜する方向の外力が加わらない。締結ピン38の両端部を締結ブロック10cに固定し、締結ピン38の軸方向中央部分が流路ブロック10aを貫通するようにしても良い。
As described above, the central portion of the
図10は変形例である制御弁を示す断面図であり、上述した制御弁における図3に相当する部分を示す。図10においては、上述した制御弁における部材と共通する部材には同一の符号が付されている。図10に示される制御弁においては、流路ブロック10aの底部中央部に締結部32が突出して設けられ、締結ブロック10cには締結部32が入り込む凹部31が設けられている。締結ピン38は、その軸方向中央部分が流路ブロック10aの締結部32に形成されたピン貫通孔39を貫通し、両端部が締結ブロック10cのピン固定部35に形成されたピン固定孔37に固定される。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a modified control valve, and shows a portion corresponding to FIG. 3 in the above-described control valve. In FIG. 10, members that are the same as those in the control valve described above are given the same reference numerals. In the control valve shown in FIG. 10, a
このように、流路ブロック10aに設けられる締結部32と、締結ブロック10cに設けられるピン固定部35の凹凸関係は、図3に示される形態としても良く、図10に示される形態としても良い。
As described above, the concavo-convex relationship between the
制御弁に設けられる締結ピン38の本数は、2本以上としても1本としても良いが、本数を増加させると、残留歪みを流路ブロック10aの広い範囲に分布させることができる。
The number of fastening pins 38 provided in the control valve may be two or more or one, but if the number is increased, residual strain can be distributed over a wide range of the
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、開閉弁体15はダイヤフラム型であるが、ポペット型の開閉弁体を設けるようにしても良い。また、図示する制御弁は一次側流路と二次側流路とを連通状態と遮断状態とに切り換えるようにした開閉弁であるが、弁体の開度を変化させることにより、一次側流路から二次側流路に流入する流体の流量や圧力を制御するための弁としても本発明を適用することができる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, the on-off
10a 流路ブロック
10b 駆動ブロック
10c 締結ブロック
11 一次側流路
12 二次側流路
15 開閉弁体
16 弁座
17 ねじ部材
20 駆動ロッド
22 ピストン
24 圧縮コイルばね
25 空気圧室
31 凹部
32 締結部
35 ピン固定部
36 隙間
37 ピン固定孔
38 締結ピン
39 ピン貫通孔
41 ピン嵌合部
42 ピン嵌合孔
43 括れ部
10a Flow path block
Claims (7)
前記流路ブロックの表面側に配置され、弁体を駆動する弁体駆動機構が設けられるとともにピン嵌合孔を有するピン嵌合部が設けられた駆動ブロックと、
ピン固定孔が形成され、前記流路ブロックの底面側に配置される締結ブロックと、
前記流路ブロックの底面側に突出して設けられ、ピン貫通孔が形成された締結部と、
前記ピン嵌合孔と前記ピン固定孔と前記ピン貫通孔とに挿入される締結ピンと、
を有し、
前記流路ブロックが前記駆動ブロックと前記締結ブロックとに前記締結ピンより締結されることを特徴とする制御弁。 A flow path block made of resin in which a primary flow path to which fluid is supplied and a secondary flow path for discharging fluid are formed;
A drive block disposed on the surface side of the flow path block, provided with a valve body driving mechanism for driving the valve body and provided with a pin fitting portion having a pin fitting hole;
A fastening block in which a pin fixing hole is formed and disposed on the bottom side of the flow path block;
A fastening portion provided to protrude from the bottom surface side of the flow path block and having a pin through hole formed therein;
Fastening pins inserted into the pin fitting holes, the pin fixing holes, and the pin through holes,
Have
The control valve, wherein the flow path block is fastened to the drive block and the fastening block by the fastening pin.
を有する制御弁の組立方法であって、
前記流路ブロック、前記駆動ブロック、および前記締結ブロックに、組み合わせた状態で外力を加え、
前記ピン嵌合孔、前記ピン固定孔および前記ピン貫通孔の中心軸が同軸となった状態のもとで、前記ピン嵌合孔、前記ピン固定孔および前記ピン貫通孔に締結ピンを挿入し、
前記流路ブロック、前記駆動ブロック、および前記締結ブロックを締結することを特徴とする制御弁の組立方法。 A flow path made of resin in which a primary flow path for supplying fluid and a secondary flow path for discharging fluid are formed, and a valve body drive that is attached to the surface side of the flow path block and drives the valve body A driving block provided with a pin fitting portion having a mechanism and a pin fitting hole; a fastening block in which a pin fixing hole is formed and disposed on a bottom surface side of the flow channel block; and A fastening portion provided protruding from the bottom side and having a pin through hole formed thereon,
A control valve assembly method comprising:
Apply external force in a combined state to the flow path block, the drive block, and the fastening block,
A fastening pin is inserted into the pin fitting hole, the pin fixing hole and the pin through hole under a state where the central axes of the pin fitting hole, the pin fixing hole and the pin through hole are coaxial. ,
A method of assembling a control valve, wherein the flow path block, the drive block, and the fastening block are fastened.
前記ピン嵌合孔、前記ピン固定孔および前記ピン貫通孔に挿入される前記締結ピンにより、前記駆動ブロックと前記締結ブロックとにより前記流路ブロックに圧縮力を加えることを特徴とする制御弁の組立方法。 6. The method of assembling a control valve according to claim 5 , wherein when the fastening block is abutted and combined with the flow path block in which the drive block is assembled, the pin fitting is more than the pin fixing hole and the pin through hole. The hole is shifted to the surface side of the flow path block,
A control valve characterized in that a compression force is applied to the flow path block by the drive block and the fastening block by the fastening pin inserted into the pin fitting hole, the pin fixing hole, and the pin through hole. Assembly method.
前記締結ピンを前記ピン固定孔と前記ピン貫通孔と前記ピン嵌合孔に挿入した状態のもとで、前記ピン貫通孔に前記締結ピンを密着させ、前記締結ピンに形成された括れ部に前記流路ブロックが食い込まれることを特徴とする制御弁の組立方法。 6. The method of assembling a control valve according to claim 5 , wherein when the fastening block is abutted and combined with the flow path block in which the drive block is assembled, the pin fitting is more than the pin fixing hole and the pin through hole. The hole is shifted to the surface side of the flow path block,
Under the state where the fastening pin is inserted into the pin fixing hole, the pin through hole, and the pin fitting hole, the fastening pin is brought into close contact with the pin through hole, and a constriction formed on the fastening pin A method for assembling a control valve, wherein the flow path block is bitten.
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