KR20140018096A

KR20140018096A - Control valve

Info

Publication number: KR20140018096A
Application number: KR1020130050053A
Authority: KR
Inventors: 료지 카나이
Original assignee: 가부시키가이샤 고가네이
Priority date: 2012-08-03
Filing date: 2013-05-03
Publication date: 2014-02-12
Also published as: KR101942903B1; JP2014031842A; JP5995595B2

Abstract

The present invention relates to a control valve capable of improving the assembly of the control valve having a resin member. The control valve comprises a flow path block (10a) with resin in which a first side flow path and a second side flow path are formed. A driving block which drives a valve body is positioned on the surface of the flow path block (10a). A pin fixing hole (37) comprising a connection pin (38) is formed on a connection block (10c) which is positioned on a lower surface of the flow path block (10a). A pin penetration hole (39) penetrated by the connection pin (38) is formed in the connection unit (32) of the driving block (10b). When the connection pin (38) penetrates through the pin penetration hole (39), residual deformation is generated by applying compression force to the flow path block (10a).

Description

The control valve {CONTROL VALVE}

본 발명은 유로가 형성된 수지제의 유로 블록을 가진 제어 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a control valve having a flow path block made of resin in which a flow path is formed.

유체압 기기나, 액체가 도포된 피가공물에 대하여, 유체압원으로부터의 유체를 공급하는 유체공급장치에는, 유로를 개폐하거나, 압력을 제어하기 위해 제어 밸브가 사용된다. 이와 같은 용도로 사용되는 제어 밸브로는, 유체압원에 접속되는 1차측 배관이 접속되는 입구유로 즉 1차측 유로와, 유체압 기기나 피가공물로 유체를 안내하는 2차측 배관이 접속되는 출구유로 즉 2차측 유로를 가지고 있으며, 양쪽의 유로는 유로 블록에 형성되어 있다. 제어 밸브에는 1차측유로와 2차측유로를 연통시키는 연통실이 형성되어 있어, 이 연통실을 개폐하거나, 연통실의 열림 정도(開度)를 조정하기 위하여, 제어 밸브에는 밸브체가 설치되어 있다. 밸브체를 구동하기 위한 구동 블록은, 유로 블록에 나사부재등에 의해 취부되어 있다.In a fluid pressure device or a fluid supply device for supplying a fluid from a fluid pressure source to a workpiece to which liquid is applied, a control valve is used to open or close a flow path or to control pressure. As a control valve used for this purpose, an inlet flow path to which a primary pipe connected to a fluid pressure source is connected, that is, an outlet flow path to which a primary flow path is connected and a secondary pipe for guiding fluid to a fluid pressure device or a workpiece, are connected. It has a secondary side flow path, and both flow paths are formed in the flow path block. The control valve is provided with a communication chamber for communicating the primary side passage and the secondary side passage. In order to open or close the communication chamber or to adjust the opening degree of the communication chamber, a valve body is provided in the control valve. The drive block for driving the valve body is attached to the flow path block by a screw member or the like.

예를 들어, 반도체 웨어퍼에 포토레지스트 액등의 약액을 도포하기위한 액체공급장치에 이용되는 제어 밸브는, 약액과 화학반응을 일으키지 않도록, 유로 블록이 불소 수지등의 수지에 의해 형성되어 있다. 밸브체를 구동하기 위한 구동 블록은, 액체와 직접 접촉하지 않기 때문에, 수지나 금속에 의해 형성되어 있다.For example, in a control valve used for a liquid supply device for applying a chemical liquid such as a photoresist liquid to a semiconductor wafer, a flow path block is formed of a resin such as a fluororesin so as not to cause a chemical reaction with the chemical liquid. Since the drive block for driving a valve body does not directly contact with a liquid, it is formed of resin or a metal.

특허문헌 1에는, 1차측의 유체압력이 변동되어도 2차측의 유체압을 일정하게 유지하기 위한 정압 레귤레이터라고도 하는 제어 밸브가 기재되어 있고, 1차측 유로와 2차측 유로가 형성된 레귤레이터 본체는 PTFE등의 불소 수지에 의해 형성되어 있다. 구동 블록으로서의 덮개가 레귤레이터 본체에 취부되어 있어서, 덮개 즉 구동 블록이 밸브체로서의 다이어프램을 구동한다. 덮개도 불소 수지에 의해 형성되어 있다.
Patent Literature 1 describes a control valve, also referred to as a constant pressure regulator, for maintaining a constant fluid pressure on the secondary side even when the fluid pressure on the primary side is varied. It is formed of a fluororesin. A cover as a drive block is attached to the regulator body, so that the cover, that is, the drive block, drives the diaphragm as the valve body. The cover is also formed of a fluororesin.

[특허문헌1] 일본 특허 공개 제2003-186546호 공보[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-186546

상술한 바와 같이, 1차측 유로와 2차측 유로가 형성된 수지제의 유로 블록과, 밸브체를 구동하기 위한 구동기구가 설치된 구동 블록을 가지는 제어 밸브에 있어서는, 유로 블록과 구동 블록이 나사부재에 의해 체결된다. 유로 블록에 나사부재에 의해 체결력이 외력으로 가해지면, 유로 블록에는 변형(歪)이 발생되고, 그것이 잔류변형이 되어 남게 된다. 수지제의 유로 블록은, 나사부재에 의해 외력이 가해지면, 금속제 유로 블록의 경우에 비하여, 변형이 증가하는 현상 즉 크리프 현상을 적은 외력으로도 단시간에 일으키게 된다. 유로 블록에 크리프 현상이 발생하면, 외형 크기가 약간 짧아지고, 유로 블록과 구동 블록 사이에 틈새가 생기는 경우가 있기 때문에, 그대로는 틈새로부터 유체가 외부로 샐 염려가 있다. 이 때문에, 수지제의 유로 블록을 가지는 제어 밸브를 조립함에 있어서는, 유로 블록과 구동 블록을 나사부재에 의해 체결한 뒤에 나사부재가 헐거워지기 때문에, 일정시간이 경과한 후 나사부재를 다시 단단하게 조이는 작업을 행할 필요가 있다.As described above, in a control valve having a resin flow path block in which a primary flow path and a secondary flow path are formed, and a drive block provided with a drive mechanism for driving the valve body, the flow path block and the drive block are formed by a screw member. Is fastened. When a fastening force is applied to the flow path block by an external force, deformation occurs in the flow path block, which remains as residual deformation. When the external flow force is applied by the screw member, the resin flow path block made of resin causes a phenomenon in which deformation increases, that is, a creep phenomenon, in a short time even with a small external force. If a creep phenomenon occurs in the flow path block, the outer size is slightly shortened, and a gap may be formed between the flow path block and the drive block, so that fluid may leak from the gap to the outside as it is. Therefore, in assembling the control valve having the resin flow block, the screw member is loosened after the flow block and the drive block are fastened by the screw member. Therefore, the screw member is tightened again after a certain time. You need to work.

이와 같이, 수지제의 부재를 가지는 제어 밸브에 있어서는, 나사부재의 체결작업과 일정시간이 경과한 후의 재조임 작업의 2단계로 나사부재의 체결작업을 행하여, 제어 밸브가 사용되는 과정에서는 크리프 현상에 의해 틈이 발생하지 않도록 할 필요가 있다. 이 때문에 제어 밸브의 조립작업성이 좋지 않다는 문제점이 있다.As described above, in a control valve having a member made of resin, the screw member is tightened in two stages of the tightening operation of the screw member and the retightening operation after a predetermined time has elapsed. It is necessary to prevent the occurrence of gaps. For this reason, there exists a problem that the assembly workability of a control valve is not good.

본 발명의 목적은, 수지제의 부재를 가지는 제어 밸브가 장기간의 사용이나 열 사이클에 의해 크리프를 일으키더라도, 느슨해지지 않는 제어 밸브를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a control valve which does not come loose even if a control valve having a resin member causes creep due to prolonged use or a thermal cycle.

본 발명의 목적은, 수지제의 부재를 가지는 제어 밸브의 조립성을 향상시키는데 있다.An object of the present invention is to improve the assemblability of a control valve having a resin member.

본 발명의 목적은, 수지제의 부재를 가지는 제어 밸브에 있어서, 유로 블록과 구동 블록을 체결하는 나사부재를 없애고, 나사의 토르크 관리, 재조임작업을 없애어 제어 밸브의 조립성을 향상시키는데 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to improve the assembly of a control valve by eliminating a screw member for fastening a flow path block and a drive block in a control valve having a resin member and eliminating torque management and retightening of screws. .

본 발명의 제어 밸브는, 유체가 공급되는 1차측 유로 및 유체를 토출하는 2차측 유로가 형성된 수지제의 유로 블록과, 상기 유로 블록의 표면측에 취부되고, 밸브체를 구동하는 밸브체 구동기구가 설치됨과 동시에 핀 끼움공을 가진 핀 끼움부가 형성된 구동 블록과, 핀 고정공이 형성되고, 상기 유로 블록의 저면측에 배치된 체결 블록과, 상기 유로 블록의 저면측에 돌출되게 설치되고, 핀 관통공이 형성된 체결부와, 상기 유로 블록의 표면측에 상기 구동 블록을 배치하고, 상기 유로 블록의 저면측에 상기 체결 블록을 배치한 상태로, 상기 핀 끼움공과 상기 핀 고정공과 상기 핀 관통공에 삽입되는 체결 핀을 가지는 것을 특징으로 한다.
The control valve of the present invention includes a resin flow path block formed of a resin flow path formed with a primary flow path through which a fluid is supplied and a secondary flow path through which a fluid is discharged, and a valve body drive mechanism for driving the valve body on the surface side of the flow path block. And a drive block having a pin fitting portion having a pin fitting hole at the same time, a pin fixing hole is formed, the fastening block disposed at the bottom surface side of the flow path block, and protruded at the bottom surface side of the flow path block, and penetrates the pin. Inserted into the pin fitting hole, the pin fixing hole and the pin through hole in a state in which a fastening portion having a ball is formed, the drive block is disposed on a surface side of the flow path block, and the fastening block is disposed on a bottom surface side of the flow path block. Characterized in that it has a fastening pin.

이 제어 밸브에 있어서는, 개폐 밸브체를 구동하는 구동 블록이 유로 블록의 표면측에 취부되고, 유로 블록의 저면측에 체결 블록이 취부된다. 구동 블록과 체결 블록에 의해 유로 블록을 끼워넣도록 외력을 가하여, 유로 블록을 압축변형시킨 상태로, 체결 블록에 형성된 핀 고정공과 구동 블록의 핀 끼움부에 형성된 핀 끼움공에 체결 핀을 관통시킨다. 외력을 해소하면, 유로 블록에는 압축력이 가해진 상태가 되어, 유로 블록에 발생한 변형이 크리프 현상에 의해 증가해도, 유로 블록과 구동 블록의 맞닿는 면의 밀착이 확보되어, 틈새의 발생이 방지된다.In this control valve, a drive block for driving the on-off valve element is mounted on the surface side of the flow path block, and a fastening block is mounted on the bottom face side of the flow path block. An external force is applied to the channel block by the drive block and the fastening block, and the fastening pin passes through the pin fixing hole formed in the fastening block and the pin fitting hole formed in the pin fitting portion of the drive block while the flow block is compressed and deformed. . When the external force is eliminated, a compression force is applied to the flow path block. Even if the deformation generated in the flow path block increases due to the creep phenomenon, the contact between the flow path block and the driving block is secured and the gap is prevented.

따라서, 유로 블록과 구동 블록을 나사부재에 의해 체결하지 않고, 유로 블록과 구동 블록의 맞닿는 면의 밀착성을 유지할 수 있으므로, 나사부재의 재조임작업이 불필요하게 되어, 제어 밸브의 조립 작업성을 향상시킬 수 있다. 게다가, 수지제의 유로 블록이 장기간의 사용이나 열 사이클에 의해 크리프를 일으켜도, 유로 블록과 구동 블록의 체결은 느슨해지지 않고, 장기간에 걸쳐 원하는 작동특성을 유지할 수 있다.
Therefore, the adhesiveness of the abutment surface of the flow path block and the drive block can be maintained without fastening the flow path block and the drive block by the screw member, thereby eliminating the need for retightening the screw member, thereby improving the workability of the control valve assembly. You can. In addition, even if the resin flow path block creeps due to prolonged use or thermal cycle, the fastening of the flow path block and the drive block is not loosened, and desired operating characteristics can be maintained for a long time.

도 1은 제어 밸브의 일 예를 정면측에서 본 종단면도이다.
도 2는 도 1의 2-2선 단면도이다.
도 3은 도 1의 3-3선 단면도이다.
도 4는 도 1의 우측면도이다.
도 5는 제어 밸브를 우측면에서 본 제어 밸브의 분해도이다.
도 6은 도 5의 6-6선 단면도이다.
도 7은 도 5의 7-7선 사시도이다.
도 8은 체결 핀을 취부하기 전 상태의 제어 밸브의 일부절취 우측면도이다.
도 9는 도 8의 참조번호 10으로 표시된 부분의 확대단면도이다.
도 10은 제어 밸브의 변형예를 나타내는 단면도이다.
도 11은 종래의 제어 밸브를 나타내는 평면도이다.1 is a longitudinal sectional view of an example of a control valve seen from the front side.
2 is a sectional view taken along the line 2-2 in Fig.
3 is a sectional view taken along line 3-3 of Fig.
4 is a right side view of Fig.
5 is an exploded view of the control valve viewed from the right side thereof.
6 is a cross-sectional view taken along line 6-6 of FIG.
7 is a perspective view taken along line 7-7 of FIG.
8 is a partially cut-out right side view of the control valve in a state before attaching the fastening pin.
9 is an enlarged cross-sectional view of a portion indicated by reference numeral 10 of FIG. 8.
10 is a cross-sectional view showing a modification of the control valve.
11 is a plan view of a conventional control valve.

이하, 본 발명의 실시예를 도면에 따라 상세하게 설명하기로 한다. 도 1에 나타나 있듯이, 제어 밸브는 불소 수지제의 유로 블록(10a)을 가진다. 유로 블록(10a)은 전체적으로 거의 직육면체 형상이고, 도 1의 상면이 표면으로 되어 있고, 하면이 저면으로 되어 있다. 유로 블록(10a)에는 1차측 유로(11)와 2차측 유로(12)가 형성되어 있다. 1차측 유로(11)는 도시되어있지 않은 액체수용 탱크 및 그 안의 액체를 토출하는 펌프 등을 가지는 액체공급원에 연통되고, 2차측 유로(12)는 도시되어있지 않은 도포 노즐등의 액체토출구에 연통된다. 예를 들어, 이 제어 밸브가 피가공물에 대하여 약액 등의 액체를 도포하는 공정에 사용될 때 에는, 펌프로부터 공급된 액체가 제어 밸브에 의해 액체토출구로 토출된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in Fig. 1, the control valve has a flow path block 10a made of fluororesin. The flow path block 10a has a substantially rectangular parallelepiped shape as a whole, the upper surface of FIG. 1 is the surface, and the lower surface is the bottom surface. The primary side flow passage 11 and the secondary side flow passage 12 are formed in the flow path block 10a. The primary side flow passage 11 communicates with a liquid supply source having a liquid receiving tank (not shown) and a pump for discharging the liquid therein, and the secondary side flow passage 12 communicates with a liquid discharge port such as an application nozzle (not shown). do. For example, when this control valve is used in a process of applying a liquid such as a chemical liquid to a workpiece, the liquid supplied from the pump is discharged to the liquid discharge port by the control valve.

유로 블록(10a)의 한 단부에는 1차측의 커플링부(繼手部)(13)가 돌출되어 설치되고, 다른 단부에는 2차측의 커플링부(14)가 돌출되어 설치되어 있어, 양쪽의 커플링부(13,14)는 동축으로 1차측 포트(13a)가 설치되고, 커플링부(14)에는, 도포 노즐등의 액체토출구에 접속된 2차측 배관에 연통하는 2차측 포트(14a)가 설치되어 있다. 1차측 유로(11)는 1차측 포트(13a)에 연통하는 1차측의 주 유로(11a)를 가지며, 2차측 유로(12)는 2차측 포트(14a)에 연통하는 2차측의 주 유로(12a)를 가지며, 양쪽의 주 유로(11a, 12a)는 동축으로 되어 있다. 유로 블록(10a)에 있어서, 주 유로(11a)는 1차측의 연통유로(11b)를 통해 유로 블록(10a)의 표면과 연통되어 있고, 연통유로(11b)는 주 유로(11a)에 대하여 거의 직각방향으로 뻗어 있다. 또한, 주 유로(12a)는 2차측의 연통유로(12b)를 통해 유로 블록(10a)의 표면과 연통되어 있다. 연통유로(12b)는 주 유로(12a)에 대하여 거의 직각방향으로 뻗어 있고, 연통유로(11b)와 평행하게 되어 있다.At one end of the flow path block 10a, a coupling portion 13 on the primary side protrudes, and on the other end, a coupling portion 14 on the secondary side protrudes and is provided. 13 and 14 are coaxially provided with the primary side port 13a, and the coupling part 14 is provided with the secondary side port 14a which communicates with the secondary side piping connected to liquid discharge ports, such as a coating nozzle. . The primary flow passage 11 has a primary flow passage 11a communicating with the primary port 13a, and the secondary flow passage 12 communicates with the secondary flow passage 12a communicating with the secondary port 14a. ), Both main flow paths 11a and 12a are coaxial. In the flow path block 10a, the main flow path 11a communicates with the surface of the flow path block 10a via the communication flow path 11b on the primary side, and the communication flow path 11b is almost in relation to the main flow path 11a. It extends in a right direction. In addition, the main flow passage 12a communicates with the surface of the flow path block 10a through the communication flow passage 12b on the secondary side. The communication flow passage 12b extends in a direction substantially perpendicular to the main flow passage 12a and is parallel to the communication flow passage 11b.

각각의 연통유로(11b, 12b)가 개구하는 유로 블록(10a)의 표면에는, 다이어프램 형의 개폐 밸브체(15)가 배치되어 있다. 개폐 밸브체(15)는, 불소 수지에 의해 형성되어 있고, 연통유로(12b)의 개구부에 설치된 밸브 시트(16)에 인접하는 개폐부(15a)와, 환상(環狀)받침부(15b)를 가지며, 개폐부(15a)와 환상받침부(15b)의 사이에는 탄성변형부(15c)가 형성되어 있다. 개폐 밸브체(15)의 환상받침부(15b)는, 유로 블록(10a)과 그에 취부되는 구동 블록(10b)의 사이에 협지되어 있다. 구동 블록(10b)은, 불소 수지보다도 경도가 높은 경질 수지나 알루미늄 합금등의 경질재료에 의해 형성되어 있다. 개폐 밸브체(15)와 유로 블록(10a)에 의해 연통실(18)이 구획되어 있고, 이 연통실(18)은 1차측 유로(11)와 2차측 유로(12)를 연통시킨다.The diaphragm type opening / closing valve body 15 is arrange | positioned on the surface of the flow path block 10a which each communication flow path 11b, 12b opens. The opening / closing valve element 15 is formed of a fluorine resin, and the opening / closing portion 15a and the annular support portion 15b adjacent to the valve seat 16 provided in the opening portion of the communication passage 12b are formed. The elastic deformation part 15c is formed between the opening-closing part 15a and the annular support part 15b. The annular support part 15b of the open / close valve body 15 is sandwiched between the flow path block 10a and the drive block 10b attached thereto. The drive block 10b is formed of hard materials, such as hard resin and aluminum alloy, which are harder than fluorine resin. The communication chamber 18 is partitioned by the on-off valve body 15 and the flow path block 10a, and the communication chamber 18 communicates the primary flow path 11 and the secondary flow path 12.

구동 블록(10b)에 형성된 가이드 공(19)에는, 밸브 구동부재로서의 구동 로드(20)가 축방향으로 왕복운동자재하게 장착되고, 이 구동 로드(20)의 선단에는, 개폐 밸브체(15)의 개폐부(15a)에 일체로 설치된 축부(15d)가 나사결합되어 있다. 갸이드 공(19)에 이어 구동 블록(10b)에 형성된 시린더 공(21)에는, 구동로드(20)의 기단부에 일체로 설치된 피스톤(22)이 축방향으로 왕복운동자재하게 장착되어 있다. 구동 블록(10b)에는 스프링 실(23)이 형성되어 있고, 이 스프링 실(23)에는, 압축 코일스프링(24)이 배치되어 있다. 이 압축 코일스프링(24)에 의해, 개폐 밸브체(15)의 개폐부(15a)에 대하여 밸브 시트(16)로 향하는 탄성력이, 구동로드(20)에 의해 가해지고 있다.In the guide ball 19 formed in the drive block 10b, a drive rod 20 as a valve drive member is reciprocally mounted in the axial direction, and an open / close valve body 15 is provided at the tip of the drive rod 20. The shaft portion 15d integrally provided at the opening and closing portion 15a of the screw is screwed in. In the cylinder ball 21 formed in the drive block 10b following the guiding ball 19, a piston 22 integrally provided at the proximal end of the drive rod 20 is reciprocally mounted in the axial direction. A spring seal 23 is formed in the drive block 10b, and a compression coil spring 24 is disposed in the spring seal 23. By this compression coil spring 24, the elastic force which goes to the valve seat 16 with respect to the opening-closing part 15a of the opening / closing valve body 15 is applied by the drive rod 20. As shown in FIG.

피스톤(22)과 실린더 공(21)에 의해 공기압실(25)이 구획되어 있고, 이 공기압실(25)로 연통되는 급배 포트(26)가 구동 블록(10b)에 형성되어 있다. 이 급배 포트(26)로부터 압축공기를 공급하면, 구동 로드(20)는 탄성력에 맞서서 후퇴이동되고, 개폐부(15a)는 밸브 시트(16)로부터 떨어진다. 이에 의해, 1차측 유로(11)와 2차측 유로(12)는 연통실(18)을 통해 연통상태가 되고, 제어 밸브는 열린 상태가 된다. 이에 대해, 공기압실(25)내의 공기를 외부로 배출하면, 압축 코일스프링(24)의 탄성력에 의해 구동로드(20)는 밸브 시트(16)를 향해 전진이동하고 개폐부(15a)는 밸브 시트(16)에 맞닿는다. 이에 의해, 1차측 유로(11)와 2차측 유로(12)의 연통은 차단되고, 개폐 밸브체(15)는 닫힌 상태가 된다. 구동 블록(10b)에는 스프링 실(23)을 외부로 연통시키는 숨구멍(27)과, 공기압실(25)을 외부로 연통시키는 숨구멍(28)이 형성되어 있다.The pneumatic chamber 25 is partitioned by the piston 22 and the cylinder ball 21, and a supply / discharge port 26 communicating with the pneumatic chamber 25 is formed in the drive block 10b. When compressed air is supplied from this supply port 26, the drive rod 20 is moved back and forth against the elastic force, and the opening and closing portion 15a is separated from the valve seat 16. As shown in FIG. Thereby, the primary side flow path 11 and the secondary side flow path 12 will be in the communication state through the communication chamber 18, and a control valve will be in an open state. On the other hand, when the air in the pneumatic chamber 25 is discharged to the outside, the driving rod 20 moves forward toward the valve seat 16 by the elastic force of the compression coil spring 24, and the opening and closing portion 15a is the valve seat ( 16). As a result, the communication between the primary flow path 11 and the secondary flow path 12 is interrupted, and the on-off valve body 15 is in a closed state. The drive block 10b is formed with a pore 27 for communicating the spring seal 23 to the outside and a pore 28 for communicating the pneumatic chamber 25 to the outside.

피스톤(22)은 공기압실(25)에 공급되는 압축공기에 의해 후퇴방향으로 구동되고, 공기압실(25)내의 공기를 배출하면 탄성력에 의해 전진방향으로 구동되는 단동형으로 되어 있다. 이에 대해, 스프링 실(23)을 공기압실로 하여 피스톤(22)을 공기압에 의해 전진방향으로 구동하는 형태가 되면, 피스톤(22)은 복동형이 된다. 구동 블록(10b)을, 실린더 공(21)이 형성된 본체부와, 여기에 조립된 덮개부의 2분할구조라도 좋다.The piston 22 is driven in the retraction direction by the compressed air supplied to the pneumatic chamber 25, and has a single-acting type that is driven in the forward direction by the elastic force when the air in the pneumatic chamber 25 is discharged. In contrast, the piston 22 is double-acting when the spring seal 23 is used as the pneumatic chamber and the piston 22 is driven in the forward direction by the pneumatic pressure. The drive block 10b may have a two-split structure in which the main body portion in which the cylinder hole 21 is formed and the cover portion assembled therein.

유로 블록(10a)의 저면에는 요부(31)가 형성되고, 요부(31)의 외측은 도 2에 나타나 있듯이 요부(31)를 둘러싸듯이 거의 4변형의 체결부(32)로 되어 있고, 체결부(32)는 도 1에 도시되어 있듯이 유로 블록(10a)의 저면측에 돌출되어 있다. 체결부(32)의 저면에 형성된 ?닿음 면(33)에는, 체결 블록(10c)이 맞닿아 있고, 체결 블록(10c)이 유로 블록(10a)의 저면측에 취부된다. 체결 블록(10c)은 불소 수지보다도 경도가 높은 경질 수지나 알루미늄 합금등의 경질재료에 의해 형성되어 있다. 체결 블록(10c)의 내면 외주부에는 체결부(32)의 맞닿음 면(33)에 맞닿아진 맞닿음 면(34)이 형성되어 있고, 맞닿음 면(34)의 내측에는 요부(31)내에 들어가는 핀 고정부(35)가 체결 블록(10c)의 내면으로 돌출되어 설치되어 있다. 핀 고정부(35)의 돌출높이는, 요부(31)의 깊이보다도 짧게 되어 있어, 체결 블록(10c)이 유로 블록(10a)에 취부된 때에는, 요부(31)의 저면(31a)과 핀 고정부(35) 사이에는 틈새(36)가 형성된다.A recess 31 is formed on the bottom of the flow path block 10a, and the outer side of the recess 31 is a fastening portion 32 having a substantially quadrilateral shape as surrounding the recess 31 as shown in FIG. As shown in FIG. 1, 32 is protruded in the bottom face side of the flow path block 10a. The fastening block 10c abuts on the contact surface 33 formed on the bottom face of the fastening portion 32, and the fastening block 10c is mounted on the bottom face side of the flow path block 10a. The fastening block 10c is made of hard material such as hard resin or aluminum alloy having a higher hardness than the fluorine resin. The inner surface outer periphery of the fastening block 10c is provided with a contact surface 34 which is in contact with the contact surface 33 of the fastening portion 32, and is provided in the recess 31 inside the contact surface 34. The pin fixing part 35 to enter is protruded and provided in the inner surface of the fastening block 10c. The protruding height of the pin fixing part 35 is shorter than the depth of the recessed part 31, and when the fastening block 10c is attached to the flow path block 10a, the bottom face 31a and the pin fixing part of the recessed part 31 are fixed. A gap 36 is formed between the 35.

핀 고정부(35)에는, 도 1 및 도 2에 나타나있듯이, 2개의 핀 고정공(37)이 형성되어 있고, 각각의 핀 고정공(37)에는 체결 핀(38)이 취부되어 있다. 핀 고정공(37)은, 도 2에 나타나 있듯이, 커플링부(13,14)의 돌출방향을 좌우방향으로 하면, 이에 대해 직각의 전후방향으로 뻗어 있다. 다만, 핀 고정공(37)을 커플링부(13,14)와 평행하게 핀 고정부(35)에 설치하여도 좋다. 유로 블록(10a)의 체결부(32)에는, 도 2에 나타나 있듯이, 체결 핀(38)이 관통하는 핀 관통공(39)이 형성되어 있고, 각각의 핀 관통공(39)에는 2개의 체결 핀(38)의 단부가 관통한다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, two pin fixing holes 37 are formed in the pin fixing part 35, and a fastening pin 38 is attached to each pin fixing hole 37. As shown in FIG. 2, the pin fixing hole 37 extends in the front-rear direction at right angles when the protrusion direction of the coupling portions 13 and 14 is made to the left and right directions. However, the pin fixing hole 37 may be provided in the pin fixing part 35 in parallel with the coupling parts 13 and 14. As shown in FIG. 2, a pin through hole 39 through which the fastening pin 38 penetrates is formed in the fastening portion 32 of the flow path block 10a, and two fastening holes are formed in each pin through hole 39. The end of the pin 38 penetrates.

구동 블록(10b)에는, 도 2 및 도 3에 나타나 있듯이, 유로 블록(10a)의 양측면을 덮는 커버 부가 형성되어 있고, 커버 부는 핀 끼움부(41)로 되어 있다. 이 핀 끼움부(41)에 형성된 핀 끼움공(42)에는, 체결 핀(38)의 단부가 끼워진다. 도시된 핀 고정공(37), 핀 관통공(39) 및 핀 끼움공(42)의 지름은, 체결 핀(38)의 외경과 거의 동일하게 되어 있다. As shown in FIG.2 and FIG.3, the drive block 10b is provided with the cover part which covers both side surfaces of the flow path block 10a, and the cover part is the pin fitting part 41. As shown in FIG. The end of the fastening pin 38 is fitted into the pin fitting hole 42 formed in the pin fitting portion 41. The diameters of the pin fixing hole 37, the pin through hole 39, and the pin fitting hole 42 shown are almost the same as the outer diameter of the fastening pin 38. As shown in FIG.

제어 밸브는, 도 5에 나타나 있듯이, 유로 블록(10a)과 구동 블록(10b)과 체결 블록(10c)을 연결함으로써 조립할 수 있다. 유로 블록(10a)과 구동 블록(10b)을 연결함에 있어서는, 유로 블록(10a)을 구동 블록(10b)의 좌우 핀 끼움부(41)의 사이에 삽입한다.As shown in FIG. 5, the control valve can be assembled by connecting the flow path block 10a, the drive block 10b, and the fastening block 10c. In connecting the flow path block 10a and the drive block 10b, the flow path block 10a is inserted between the left and right pin fitting portions 41 of the drive block 10b.

도 8 및 도 9는, 체결 블록(10c)이 유로 블록(10a)의　저면측에 맞닿아 있고, 유로 블록(10a)이 구동 블록(10b)에 연결된 상태를 나타낸다. 이 상태에서는, 체결 블록(10c)의 맞닿음 면(34)이 유로 블록(10a)의 맞닿음 면(33)에 맞닿게 된다. 이 때에는, 도 9에 나타나 있듯이, 체결부(32)의 핀 관통공(39)의 중심축(O2)은, 핀 고정부(35)의 핀 고정공(37)의 중심축(O1)보다도 유로 블록(10a)의 표면측(E1)으로 어긋나 있다. 나아가, 핀 끼움부(41)의 핀 끼움공(42)의 중심축(O3)은, 중심축(O2)보다도 유로 블록(10a)의 표면측(E2)으로 어긋나 있다. 각각의 중심축이 상술한 위치관계가 되도록, 유로 블록(10a), 구동 블록(10b) 및 체결 블록(10c)에는, 미리 핀 고정공(37), 핀 관통공(39) 및 핀 끼움공(42)이 각각 형성된다.8 and 9 show a state in which the fastening block 10c is in contact with the bottom surface side of the flow path block 10a and the flow path block 10a is connected to the drive block 10b. In this state, the contact surface 34 of the fastening block 10c comes into contact with the contact surface 33 of the flow path block 10a. At this time, as shown in FIG. 9, the central axis O2 of the pin through hole 39 of the fastening part 32 has a flow path more than that of the central axis O1 of the pin fixing hole 37 of the pin fixing part 35. It is shift | deviated to the surface side E1 of the block 10a. Further, the central axis O3 of the pin fitting hole 42 of the pin fitting portion 41 is shifted to the surface side E2 of the flow path block 10a than the central axis O2. The pinned hole 37, the pin through hole 39, and the pin fitting hole are previously formed in the flow path block 10a, the drive block 10b, and the fastening block 10c so that each central axis becomes the above-described positional relationship. 42) are formed respectively.

도 8에 나타나 있듯이, 유로 블록(10a)등의 3개의 블록이 합쳐진 상태로서,체결 블록(10c)과 구동 블록(10b)이 유로 블록(10a)에 끼워 넣어져서, 도 9의　어긋남(E1, E2)이 0이 되도록 외력이 가해진다. 유로 블록(10a)은 이 외력에 의해 압축력을 받아 변형된다. 이 외력에 의해 핀 고정공(37), 핀 관통공(39) 및 핀 끼움공(42)의 중심축이 동축이 된 상태에서, 체결 핀(38)을 삽입한다.As shown in FIG. 8, three blocks, such as the flow path block 10a, are put together, and the fastening block 10c and the drive block 10b are sandwiched in the flow path block 10a, and the displacement E1 of FIG. External force is applied so that E2) becomes zero. The flow path block 10a is deformed by the compressive force by this external force. The fastening pin 38 is inserted in a state where the central axes of the pin fixing hole 37, the pin through hole 39 and the pin fitting hole 42 are coaxial by this external force.

체결 핀(38)이 핀 끼움공(42)에 끼워지면, 가해진 외력을 해제한 후에도 유로 블록(10a)은 체결 블록(10c)으로부터 압축력을 받아 크기가 변하지 않고, 변형된 상태가 된다. 이와 같이, 핀 고정공(37)과 핀 끼움공(42)을 편심시켜서 체결 블록(10c)과 구동 블록(10b)을 제조하고, 유로 블록(10a)을 압축변형시킨 상태로, 체결 핀(38)을 핀 끼움공(42)에 고정함과 동시에 핀 관통공(39)에 관통시켜서 핀 고정공(37)과 핀 끼움공(42)이 동축이 되도록, 유로 블록(10a)이 압축변형을 일으킨 상태의 크기를 유지시킨다. 이에 의해, 체결 핀(38)을 핀 고정공(37)과 핀 끼움공(42)에 삽입한 상태에서는, 유로 블록(10a)에 압축방향의 단단히 죄는 힘 즉 압축력이 가해지기 때문에, 수지제의 유로 블록(10a)이 크리프 현상에 의해 뒤틀림이 증가해도, 유로 블록(10a)과 구동 블록(10b)사이의 틈새가 발생하는 것이 방지된다.When the fastening pin 38 is fitted into the pin fitting hole 42, the flow path block 10a receives the compressive force from the fastening block 10c and is deformed even after releasing the applied external force. In this way, the fastening pin 10 and the pin fitting hole 42 are eccentric to produce the fastening block 10c and the drive block 10b, and the fastening pin 38 in a state in which the flow path block 10a is deformed in compression. ) Is fixed to the pin fitting hole 42 and penetrates the pin through hole 39 so that the pin fixing hole 37 and the pin fitting hole 42 are coaxial, so that the flow path block 10a causes compression deformation. Maintain the size of the state. Thereby, in the state which inserted the fastening pin 38 into the pin fixing hole 37 and the pin fitting hole 42, since the clamping force of the compression direction is firmly applied to the flow path block 10a, that is, a compression force is made of resin, Even if the flow path block 10a is warped due to the creep phenomenon, the gap between the flow path block 10a and the drive block 10b is prevented from occurring.

체결 핀(38)에는 잘록부(43)가 형성되어 있고, 상술한 바와 같이 관통공(39)의 지름이 체결 핀(38)의 외경과 거의 동일하게 되어 있다. 따라서, 체결 핀(38)을 유로 블록(10a)의 핀 고정공(37)에 취부함으로써, 체결 핀(38)을 핀 관통공(39)에 관통시키면, 체결 핀(38)은 핀 관통공(39)의 내면에 밀착되어, 수지제의 유로 블록(10a)의 일부가 변형에 의해 잘록부(43)로 들어간다. 이에 의해, 체결 핀(38)의 벗어남이 방지된다. 잘록부(43)에 유로 블록(10a)의 일부가 파고들어가지 않게 한 형태에 있어서는, 핀 관통공(39)의 지름을 체결 핀(38)의 외경보다도 크게 하는 것이 가능하다. 구동 블록(10b)의 핀 끼움부(41)의 선단에는, 도 4 및 도 5에 나타나 있듯이, 돌기(44)가 형성되어 있고, 돌기(44)에 마주보게 돌기(45)가 체결 블록(10c)의 양측에 형성되어 있다. 양쪽의 돌기(44,45)가 맞닿음으로써, 체결 블록(10c)이 구동 블록(10b)으로부터 어긋나는 것이 방지된다.The fastening part 38 is formed in the fastening pin 38, and the diameter of the through-hole 39 is made substantially the same as the outer diameter of the fastening pin 38 as mentioned above. Therefore, by attaching the fastening pin 38 to the pin fixing hole 37 of the flow path block 10a, when the fastening pin 38 penetrates through the pin through hole 39, the fastening pin 38 becomes a pin through hole ( It adheres to the inner surface of 39, and a part of the flow path block 10a made of resin enters the cutoff portion 43 by deformation. As a result, the detachment of the fastening pin 38 is prevented. In the form in which a part of the flow path block 10a does not penetrate into the narrow part 43, it is possible to make the diameter of the pin through-hole 39 larger than the outer diameter of the fastening pin 38. As shown in FIG. At the distal end of the pin fitting portion 41 of the drive block 10b, as shown in FIGS. 4 and 5, the protrusions 44 are formed, and the protrusions 45 face the protrusions 44 to the fastening block 10c. It is formed on both sides of). By engaging both projections 44 and 45, the fastening block 10c is prevented from being shifted from the drive block 10b.

도 11은 종래의 제어 밸브의 평면도로서, 도 11은 도 1에 나타낸 제어 밸브의 상면에 대응한 부분을 나타내고 있다. 종래와 같이, 구동 블록(10b)에 취부되는 나사부재(17)에 의해 구동 블록(10b)과 유로 블록(10a)을 체결하면, 구동 블록(10b)과 유로 블록(10a)을 나사부재(17)에 의해 연결작업이 행해진 후에, 어느 정도의 시간이 지나면 나사부재(17)의 재조임작업을 행할 필요가 있다.FIG. 11 is a plan view of a conventional control valve, and FIG. 11 shows a portion corresponding to the upper surface of the control valve shown in FIG. 1. As in the related art, when the drive block 10b and the flow path block 10a are fastened by the screw member 17 attached to the drive block 10b, the drive block 10b and the flow path block 10a are screwed together. After the connection work is carried out by), it is necessary to retighten the screw member 17 after a certain time has elapsed.

이에 대해, 도 1에 나타낸 제어 밸브는, 유로 블록(10a)과 구동 블록(10b)에 체결 블록(10c)을 체결 핀(38)으로 연결하면, 상술한 바와 같이, 유로 블록(10a)은 구동 블록(10b)과 체결 블록(10c)에 의해 압축력을 받은 압축변형이 발생한 상태가 된다. 이에 의해, 유로 블록(10a)과 구동 블록(10b)을 나사부재를 이용하여 체결하는 것이 불필요하게 되고, 나사부재의 체결 토르크의 관리, 재조임작업이 불필요하게 되어, 제어 밸브의 조립을 적은 작업공정으로 용이하게 행할 수 있다.On the other hand, when the control valve shown in FIG. 1 connects the fastening block 10c with the fastening pin 38 to the flow path block 10a and the drive block 10b, the flow path block 10a will drive as mentioned above. Compression deformation under compressive force is generated by the block 10b and the fastening block 10c. As a result, it is unnecessary to fasten the flow path block 10a and the drive block 10b by using the screw member, and management and retightening of the fastening torque of the screw member are unnecessary, thereby reducing the assembly of the control valve. It can be performed easily at a process.

상술했듯이, 체결 핀(38)의 중앙부분이 체결 블록(10c)에 고정되고, 체결 핀(38)의 양단부가 핀 관통공(39)을 관통하고 있어서, 체결 핀(38)에는 비스듬한 방향의 외력이 가해지지 않는다. 체결 핀(38)의 양단부를 체결 블록(10c)에 고정하고, 체결 핀(38)의 축방향 중앙부분이 유로 블록(10a)을 관통하도록 하여도 좋다.As described above, the central portion of the fastening pin 38 is fixed to the fastening block 10c, and both ends of the fastening pin 38 penetrate through the pin through-holes 39, so that the fastening pin 38 has an external force in an oblique direction. This is not applied. Both ends of the fastening pin 38 may be fixed to the fastening block 10c, and the axial center portion of the fastening pin 38 may pass through the flow path block 10a.

도 10은 변형예인 제어 밸브를 나타낸 단면도로서, 상술한 제어 밸브의 도 3에 상당하는 부분을 나타낸다. 도 10에는, 상술한 제어 밸브의 부재와 공통된 부재에는 동일한 부호가 붙여져 있다. 도 10에 나타낸 제어 밸브에 있어서는, 유로 블록(10a)의 저부중앙부에 체결부(32)가 돌출되게 형성되고, 체결 블록(10c)에는 체결부(32)가 들어가는 요부(31)가 형성되어 있다. 체결 핀(38)은, 그 축방향 중앙부분이 유로 블록(10a)의 체결부(32)에 형성된 핀관통공(39)을 관통하고, 양단부가 체결 블록(10c)의 핀 고정부(35)에 형성된 핀 고정공(37)에 고정된다.10 is a cross-sectional view showing a control valve as a modification, and shows a portion corresponding to FIG. 3 of the control valve described above. In FIG. 10, the same code | symbol is attached | subjected to the member common to the member of the control valve mentioned above. In the control valve shown in FIG. 10, the fastening part 32 protrudes in the center part of the bottom part of the flow path block 10a, and the recessed part 31 which the fastening part 32 enters is formed in the fastening block 10c. . The fastening pin 38 has an axial center portion thereof penetrating through the pin through hole 39 formed in the fastening portion 32 of the flow path block 10a, and both ends thereof are pin fixing portions 35 of the fastening block 10c. It is fixed to the pin fixing hole 37 formed in.

이와 같이, 유로 블록(10a)에 형성되는 체결부(32)와, 체결 블록(10c)에 형성되는 핀 고정부(35)의 요철관계는, 도 3에 나타낸 형태로 하여도 좋고, 도 10에 나타나 있는 형태로 하여도 좋다.Thus, the uneven | corrugated relationship of the fastening part 32 formed in the flow path block 10a, and the pin fixing part 35 formed in the fastening block 10c may be made into the form shown in FIG. You may make it the form shown.

제어 밸브에 설치되는 체결 핀(38)의 갯수는, 2개이상으로 해도 1개로 하여도 좋지만, 갯수를 증가시키면, 잔류변형을 유로 블록(10a)의 넓은 범위에 분포시킬 수 있다.Although the number of the fastening pins 38 provided in the control valve may be two or more, it is good also as one. However, if the number is increased, residual strain can be distributed over the wide range of the flow path block 10a.

본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경가능하다. 예를 들어, 개폐 밸브체(15)는 다이어프램 형이지만, 포핏 형의 개폐 밸브체를 설치하도록 하여도 좋다. 또한, 도시한 제어 밸브는 1차측 유로와 2차측 유로를 연통형태와 차단상태로 전환하도록 한 개폐 밸브이지만, 밸브체의 열림 정도를 변화시킴으로써, 1차측 유로로부터 2차측 유로로 유입되는 유체의 유량이나 압력을 제어하기 위한 밸브로 하여도 본 발명을 적용할 수 있다.
This invention is not limited to said embodiment, It can change variously in the range which does not deviate from the summary. For example, although the on-off valve body 15 is a diaphragm type, you may provide the poppet type on-off valve body. In addition, although the control valve shown is an opening / closing valve which changed the primary flow path and the secondary flow path into the communication form and the interruption | blocking state, the flow volume of the fluid which flows into a secondary flow path from a primary flow path by changing the opening degree of a valve body. In addition, the present invention can also be applied as a valve for controlling pressure.

10a 유로 블록
10b 구동 블록
10c 체결 블록
11 1차측 유로
12 2차측 유로
15 개폐 밸브체
16 밸브 시트
17 나사부재
20 구동 로드
22 피스톤
24 압축 코일스프링　
25 공기압실
31 요부(凹部)
32 체결부
35 핀 고정부
36 틈새
37 핀 고정공
38 체결 핀
39 핀 관통공
41 핀 끼움부
42 핀 끼움공
43 잘록부10a euro block
10b drive block
10c fastening block
11 Primary side flow path
12 Secondary flow path
15 on-off valve body
16 valve seat
17 Screw member
20 drive rod
22 piston
24 Compression Coil Springs
25 pneumatic chamber
31 Yobu
32 Fasteners
35 pin retainer
36 niches
37 pin fastener
38 fastening pins
39 pin through hole
41 pin fitting
42 pin hole
43 Shallow

Claims

A resin flow path block formed with a primary flow path through which fluid is supplied and a secondary flow path through which the fluid is discharged, and a valve body drive mechanism mounted on the surface side of the flow path block to drive the valve body, are provided with pin fitting holes. A drive block having a pin fitting portion having a pin, a pin fixing hole formed thereon, a fastening block disposed at a bottom surface side of the flow path block, a fastening portion protruding at a bottom surface side of the flow path block, and a fastening portion having a pin through hole formed therein; And a fastening pin inserted into the pin fitting hole, the pin fixing hole and the pin through hole while the driving block is disposed on the surface side of the flow path block and the fastening block is disposed on the bottom surface side of the flow path block. Characterized in that the control valve.

The pinning hole is shifted to the surface side of the flow path block than the pin fixing hole and the pin through hole when the fastening block is brought into contact with the flow path block in which the drive block is assembled. And a compressive force is applied to the flow path block by the drive block and the fastening block while a pin is inserted into the pin fixing hole, the pin through hole, and the pin fitting hole.

The pinning hole is shifted to the surface side of the flow path block than the pin fixing hole, and the fastening pin is fixed to the pin fixing hole, the pin through hole, and the pinning hole. And the fastening pin is brought into close contact with the pin through hole while being inserted into the pin fitting hole.

The control valve according to any one of claims 1 to 3, wherein the fastening pin is provided with a cutoff portion into which the flow path block is inserted.