JP5993781B2 - 計測方法および計測装置 - Google Patents
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Description
画像の撮像を行うSEM101と,全体の制御を行う制御部102,磁気ディスクや半導体メモリなどに情報を記憶する記憶部103,プログラムに従い演算を行う演算部104,装置に接続された外部の記憶媒体との情報の入出力を行う外部記憶媒体入出力部105,ユーザとの情報の入出力を制御するユーザインターフェース部106,ネットワークを介して他の装置などと通信を行うネットワークインターフェース部107を備えて構成される。
SEM101は,試料ウェハ108を搭載する可動ステージ109,試料ウェハ108に電子ビームを照射するため電子源110,試料ウェハから発生した2次電子や反射電子などを検出する検出器111の他,電子ビームを試料上に収束させる電子レンズ(図示せず)や,電子ビームを試料ウェハ上で走査するための偏向器(図示せず)や,検出器111からの信号をデジタル変換してデジタル画像を生成する画像生成部112等から構成される。なお,これらはバス114を介して接続され,相互に情報をやり取りすることが可能である。
制御部はウェハの搬送を制御するウェハ搬送制御部201,ステージの制御を行うステージ制御部202,電子ビームの照射位置を制御するビームシフト制御部203,電子ビームの走査を制御するビームスキャン制御部204を備えて構成される。
演算部104は撮像画像をもとに基準画像を合成する基準画像合成部208,基準画像と被計測画像の差異を定量化する画像差異定量化部209,オーバーレイを算出するオーバーレイ算出210,回路パターンの寸法変動の中心点あるいは中心軸を算出する単位の領域に分割する領域分割部211,回路パターンの寸法変動の中心点あるいは中心軸を算出するパターン中心算出部212を備えて構成される。
図3はチップ座標系とウェハ座標系を表した図で、半導体ウェハ上のチップ301とウェハ302を表したものである。チップ座標系とはチップ上の一点を原点とした座標系であり,ウェハ座標系とはウェハ上の一点を原点とした座標系である。通常,ウェハにはチップが複数レイアウトされており,位置(u,v)にあるチップにおける,チップ座標(cx,cy)とウェハ座標(x,y)の関係は(数1)で表され,相互の変換は容易に行える。ただし,W,Hは1チップの幅と高さ,ox,oyはオフセットを表す。そのため,ユーザはオーバーレイ計測対象のチップ座標と,計測対象チップを指定すれば良い。例えば,チップ座標をn点,計測対象チップをm箇所指定した場合,計測座標はn×m点得られる。本実施例に係るオーバーレイ計測手法は同一のチップ座標をもつ画像を1グループとして扱う。画像をグルーピングするため,画像撮像時において画像の付帯情報としてチップ座標ごとに割り当てた位置IDを付与する(先ほどの例で言えば,位置ID:1〜n)
図4は、計測するオーバーレイに関する説明図である。401は402に示す断面形状を持つ回路パターンを撮像したSEM画像の模式図である。本例の回路パターンは下地403の上に第1の露光により回路パターン404が形成された後,第2の露光により回路パターン405が形成されている。SEM画像406はSEM画像401と同じレイアウトの異なる場所を撮像したものである。同様に,下地408の上に第1の露光により回路パターン409が形成された後,第2の露光により回路パターン410が形成されている。ただし,SEM画像406を撮像した箇所においては,SEM画像401を撮像した箇所と比較し,第2の露光により形成される回路パターン410がx方向にdx(412)ずれている様子を表している。本実施例に係る手法では,任意の画像(例えばSEM画像401)を基準画像とし,被計測画像(例えばSEM画像406)におけるx方向の回路パターンの形成位置と,基準画像におけるx方向の回路パターンの形成位置の差異を,各露光により形成される回路パターンごとに独立に定量化することによりx方向のオーバーレイを計測する。オーバーレイは各露光における回路パターンの形成位置の差異の差分で算出できる。算出の具体的な計算式は後述する。y方向についても同じように,被計測画像における回路パターンのy方向の形成位置と,基準画像における回路パターンのy方向の形成位置の差異を,各露光により形成される回路パターンごとに独立に定量化することにより,y方向のオーバーレイを計測可能である。図4は,第1の露光により形成された回路パターンを基準パターンとして第2の露光におけるオーバーレイを計測した例を表しているが,第2の露光により形成された回路パターンを基準パターンとしても良い。ずれ量の大きさは変わらないが,算出される値の正負の符号が反転する。なお,第nの露光とはn回目の露光とは限らず,単に露光工程の違いを表すインデックスであり,以降nを露光インデックスと記載する。また,「露光により形成される回路パターン」とは,露光工程のみにより形成される回路パターンに限定されるわけではなく,露光工程後のエッチング工程や成膜工程なども含めて形成される回路パターンを指す。
ここで,SEM画像401を基準画像,SEM画像601被計測画像とした際,前述のとおり,第2の露光におけるx方向の座標のずれ量を回路パターン405の中心点606と回路パターン605の中心点607のx方向の形成位置の差異とすれば良い。中心点の求め方及び形成位置の差異の算出方法の詳細については後述する。y方向についてもx方向と同様,中心点のy座標のずれ量をパターン形成位置の差として算出することができる。また,画像内でパターンが斜めに配置されている場合もパターンの中心軸が求まれば,同様の処理で計測が可能である。また,パターンが斜めに配置されている場合は,画像を回転させて処理しても良い。中心軸の求め方については後述する。
また,回路パターン714,715は画像上方に(y方向)続いている例のみを説明したが,パターンが画像の下方向やx方向(左右方向),斜め方向に続いている場合でもパターンの中心軸が求まれば,同様の処理で形成位置の差異を計測可能である。
なお,半導体パターン形成のメカニズム上,パターンの寸法が変動しても,近傍領域については同じ露光で形成されたパターン同士の位置関係は変化しない。そのため,複数のパターンが基準画像や被計測画像内に存在し,各パターンの寸法変動の中心あるいは中心軸が複数ある場合,それぞれのパターンについてパターン形成位置の差異は同じになる。そこで,それぞれのパターンについてパターン形成位置の差異を計測して平均を画像のパターン形成位置の代表としても良い。
各パターンで算出された形成位置の差異を複数のパターンで平均化することによって計測精度が向上する。
SDPのプロセスの詳細は非特許文献2に示されており,まずは第2の露光が行われ,パターン間824の部分にパターンが形成される。そのパターンを成膜し,エッチングすると,824の部分にあったパターンがエッチングされ,824の両側の部分がパターンとして残り,その残ったパターンが823となる。そのため,821の例では,第2の露光のパターン形成位置の差異を算出するには,パターン間824の中心軸を算出の基準とすればよい。
図9(a)のSEM画像901は第一の露光によって形成されたパターン903の上に第二の露光によって形成されたパターン904と905が形成されており,第二の露光によって形成されたパターンの寸法変動の中心点を求める例を示している。901に対して,前述の濃淡値ヒストグラムを利用した回路パターン領域認識処理によって,第二の露光によって形成されたパターン領域を抽出した認識結果を902に示す。904及び905の回路パターン領域の認識結果が906及び907で示されている。901の例では,認識された領域906及び907が得られている。この例では図5及び図7で説明したとおり,906及び907でそれぞれ回路パターン寸法変動の中心点を算出すれば良い。以下,これら中心点や中心軸を算出する領域を回路パターン寸法変動の中心点あるいは中心軸を算出する単位の領域と呼ぶ。ラベリングなどの処理によってそれぞれ906および907で示す様なこれらの領域を得ることができる。ラベリングされた領域(906及び907)ごとに領域の重心を算出することでパターン形状の中心点908及び909を精度よく算出することができる。
パターン寸法変動の中心点はこれら断片化されたパターンをひとまとまりとし,パターン寸法変動の中心を求める単位のパターンとして取扱い,中心点を算出する必要がある。そのためには,923の例と同様に,あらかじめ931をパターン寸法変動の中心点を算出する単位の領域に分割しておく。回路パターン933に対して分割領域935が与えられれば,それぞれの領域内の断片化された回路パターン領域認識結果を一つのグループとしてグルーピングでき,グルーピングされた領域の重心を算出するなどの方法によって,中心点937を算出することが可能となる。パターン寸法変動の中心点を算出する単位に領域分割する方法についての詳細は後述する。
まず,画像に対してノイズ除去などの前処理を行う(S1001)。
次に,画像のヒストグラムを作成する(S1002)。
作成したヒストグラムにおいては図11に示すように,露光インデックスに応じた複数の分布が混在して観察される。このヒストグラムから各分布を分離するしきい値を算出する(S1003)。
次に,画像中の各画素について濃淡しきい値を適用し,画素ごとに露光インデックスを認識する(S1004)。
各画素に独立にしきい値を適用した後では,ノイズなどの影響により微小な誤認識領域が発生する場合がある。そこで,膨張・縮退処理などを行い,領域を整形する(S1005)。なお,回路パターン領域の認識手法は図10に示した方法に限らない。例えば,画像からエッジを検出し,エッジで囲まれた閉じた領域について外観特徴を定量化し,外観特徴からそれぞれ閉じた領域の露光インデックスを認識しても良い。
通常の回路パターンの様に回路パターンが周辺に比べて濃淡値が高い場合,1307で回路パターンを選択することで,中心あるいは中心軸を回路パターン領域認識の中心とできる。また,中心点あるいは中心軸を計算する対象が,図8(c)で示したようなSDPで形成されたパターンなどの様にパターンの間や穴など,濃淡値が周辺より低い領域の場合,1307でパターン間,穴を選択することで,回路パターン認識の領域外をから中心点,あるいは中心軸を算出できる。
回路パターン領域の認識が難しい場合は,前述の手法で中心点及び中心軸を算出し,基準画像1301と共に1308に表示すればよい。回路パターン領域認識が可能かどうかの判定は,領域1305内の濃淡値ヒストグラムから指定されたパターン領域が認識可能か否かを判定しても良いし,GUI上のチェックボックス(図示せず)などでユーザにより指定させても良い。
被計測画像の取得後,位置IDごとに処理を行うため,同一の位置IDをもつ画像を抽出する(S1402)。なお,位置IDごとの処理順序は任意に設定されても良いし,ユーザが指定した位置IDの画像のみについて処理するようにしても良い。抽出された画像はチップ座標が同じため,同様の回路パターンが撮像されている。
次に,オーバーレイ計測に用いる基準画像を選択する(S1403)。基準画像は被計測画像の中からユーザが選択しても良いし,基準画像合成部208を用いて被計測画像から基準画像を合成したものを選択しても良い。合成する方法としては例えば,画像の位置合わせをした後,対応する画素の平均濃淡値を合成画像の濃淡値とすれば良い。また,露光ごとに形成された回路パターン領域を合成しても良い。また,基準画像選択時に,基準パターンの露光インデックスを指定しても良い。
S1404及びS1405は対象とするパターンを形成する露光ごとに行われる(S1406)。例えば第一の露光と第二の露光のオーバーレイを計測したい場合は,第一の露光で形成された回路パターンに対してS1404及びS1405を実行し,続いて第二の露光によって形成された回路パターンに対してS1404及びS1405を実行すればよい。処理する露光の順番は任意であり,どの露光を対象とするかはユーザ入力やあらかじめ定義されたファイルを読み込むことによって入力されれば良い。今回は第一と第二の露光についてオーバーレイを計測する例を示したが,対象とする露光が3以上でも適用可能である。また,対象とする露光が3以上の場合は,全ての露光の組み合わせに対してオーバーレイを計測しても良い。
S1404及びS1405の処理は図13で説明したGUIを用いて行えばよく,S1404の処理は領域分割部211,S1405の処理はパターン中心算出部212を用いて行われる。なお,S1403〜1405で設定済みの基準画像と同じレイアウトの回路パターンにおけるオーバーレイを計測する場合は,ここで設定した情報を流用することで,S1403〜S1405のステップを省略することができる。
基準画像設定後,被計測画像と基準画像の差異を定量化し(S1407),定量化結果をもとにオーバーレイを算出する(S1408)。この際,被計測画像に基準画像を含んでいても良い。
以上の処理S1407〜S1408をすべての抽出画像について完了するまで繰り返し行う(S14909)。
そして,処理S1402〜S1409を対象の位置IDについて完了するまで繰り返し行う(S1410)。
以降において処理S1401,S1407〜S1408の詳細について説明する。 図15は画像撮像処理のフローを表した図である。図15を用いて被計測画像の取得処理(S1401)について説明する。
まず,計測対象のウェハ108をステージ109上にロードし(S1501),ウェハに対応したレシピをレシピ記憶部206から読み込む(S1502)。
次に,計測座標を計測座標記憶部207から読み込む(S1503)。
座標読み込み後(もしくは並行して),ウェハアライメントを行う(S1504)。
ウェハアライメント後,前述の方法によりSEM101を制御し,指定した座標の画像を撮像する(S1505)。この時,撮像した画像には位置IDを付帯情報として付与する。
全ての撮像が完了するまで繰り返し行い(S1506),最後にウェハをアンロード(S1507)する。
図16は実施例1における画像差異定量化部209とオーバーレイ算出部210の構成を表した図である。図16の1701は本実施例に係る画像差異定量化部209の構成を示したものである。
図16の例では第pの露光と第q(q<p)の露光によって形成されたオーバーレイを計測する例を示す。p,qは任意の数値であり,ユーザ入力あるいはあらかじめ定義されたファイルを読み込むことで入力されれば良い。
図18の例では,露光pについての処理例を示すが,露光qについても同様の処理を行えばよい。1903はS1403で得られた基準画像1901の寸法変動の中心あるいは中心軸を算出する単位領域,1904及び1905は算出された中心点及び中心軸である。
また,本発明の手法は基準画像に対して相対的なオーバーレイを計測する手法であるため,基準画像のパターンに初めからオーバーレイのオフセットがある場合,そのオフセット分だけ計測値がずれる。その場合は,ユーザ入力やあらかじめ用意されたテキストファイルなどからオフセットの値を読み取り,dx及びdyの値から引くことで正しいオーバーレイを計測することができる。
(数2)
dx=dux−dlx
(数3)
dy=duy−dly
テンプレートマッチング部1705における処理について説明する。本処理では2枚の画像のずれ量を変化させながら,2画像の重複領域における画像濃淡の一致度を評価し,画像の一致度が最大となった時のずれ量を出力する。一致度の評価値としては正規化相互相関値を用いても良いし,差の二乗和などを用いても良い。
図19は回路パターン寸法変動の中心点あるいは中心軸を比較しパターン形成位置の差異を算出する手法の説明図である。
2001を基準画像,2002を被計測画像とし,基準画像及び被計測画像のパターン寸法変動の中心点(2004,2008)及び中心軸(2005,2007)が算出済みとする。2003と2006は基準画像及び被計測画像のパターン寸法変動の中心点あるいは中心軸を算出する単位の領域とする。基準画像と被計測画像の中心点及び中心軸のy座標を対応するものどうしで比較し,ずれ量を算出する。
なお,撮像位置のずれによって対応する中心点及び中心軸が画像外にある場合もあるため,必ずしもすべての中心点及び中心軸を対応付けなければならないわけではない。ただし,対応づけできなかった中心点及び中心軸からはy座標のずれを計算できない。対応付けができた中心軸及び中心点が1セットであるならば,そのy座標のずれをパターンの形成位置の差異(duy)として出力すれば良い。対応付けができた中心軸及び中心点が複数セットあるならばその平均値を形成位置の差異(duy)として出力する方法もあるし,前述の中心点及び中心軸ごとに算出される信頼性から,信頼性の高い中心点及び中心軸のy座標ずれ量に重みをつけて平均化するなどの方法も考えられる。ここではy方向の回路パターンの形成位置の差異(duy)を算出する例を示したが,同様の方法でx方向の回路パターンの形成位置の差異(dux)も算出可能である。
本処理では,基準画像を入力2102,被計測画像を入力2103,基準画像における回路パターン寸法変動の中心点あるいは中心軸を算出する単位の領域と中心点及び中心軸を入力2111とする。以降,説明のための画像例として図22に示した基準画像2301と被計測画像2302を用い,第pの露光及び第q(q<p)の露光によって形成された回路パターンのオーバーレイ計測を行う例を示す。
2303は基準画像における第qの露光の回路パターン寸法変動の中心点あるいは中心軸を算出する単位の領域,2304は領域2303における第qの露光における寸法変動の中心点を示している。ここで,qはp未満の任意のインデックスとする。
次に,濃淡値抽出部2105を用いて,回路パターン領域の認識結果をもとに,基準画像から第p以降の露光により形成される回路パターン領域の濃淡値を抽出した画像BU(2106)を作成し(S2202),基準画像から第(p−1)以前の露光により形成される回路パターン領域の濃淡値を抽出した画像BL(2107)を作成する(S2203)。画像BUと画像BLの例を図23のそれぞれ画像2401と画像2402に示す。
被計測画像についても同様に回路パターン領域の認識を行い(S2204),被計測画像から第p以降の露光により形成される回路パターン領域の濃淡値を抽出した画像TU(2108)を作成し(S2205),被計測画像から第(p−1)以前の露光により形成される回路パターン領域の濃淡値を抽出した画像TL(2109)を作成する(S2206)。画像TUと画像TLの例をそれぞれ図23の画像2403と画像2404に示す。
次に,拡大・縮小テンプレートマッチング部2110を用いて,画像TU(2108)に含まれるパターンの画像BU(2106)寸法変動率を推定する(S2207)。寸法変動率の推定には,基準画像のパターン変動の中心点2405を基準として,BUの領域2406内を拡大・縮小処理を行い,拡大・縮小した画像をテンプレートとして,TUと正規化相関などでマッチングさせ,高い相関値となったテンプレートの拡大・縮小率を寸法変動率とすれば良い。拡大・縮小処理はバイリニア補間やバイキュービック補間などの手法で行えば良い。また,ここでいう拡大・縮小処理とは,単に回路パターンの画像を画像処理で拡大・縮小する方法だけに限定せず,パターンエッジをエッジ法線方向の外側あるいは内側にシフトさせてパターンを変形させる方法なども含む。
実施例3では,基準画像及び被計測画像のそれぞれで対象とする露光によって形成された回路パターンの寸法変動の中心位置の距離を算出し,基準画像及び被計測画像で算出した距離の差分をとることでオーバーレイを計測する手法について述べる。
実施例1と同じ構成およびフローについては同じ番号が振ってあり,ここでは詳しく説明しない。
図27は異なる露光により形成された回路パターンの中心点あるいは中心軸の距離を算出する手法の説明図である。2801は基準画像あるいは被計測画像であり,第qの露光で形成された回路パターン2802及び2803の上に露光pによって形成された回路パターン2804が積層している図である。なお,各露光で形成されたパターンに対してパターン寸法変動の中心点あるいは中心軸を算出する単位の領域を2805〜2807,対応する中心点を2808〜2810とする。図27の例にて,異なる露光における一番近い寸法変動の中心点は2809(第qの露光)と2810(第pの露光)である。この二つの中心点をペアとして対応づけた場合,対応付けしたパターン中心点及び中心軸のx,y方向の距離bx(2606),by(2607)は図示された距離となる。また,異なる露光における寸法変動の中心点の全組み合わせをペアとする場合,2809(第qの露光)と2810(第pの露光)ペアの他に2808(第qの露光)2810(第pの露光)の2つのペアができる。
(数4)
dx=tx−bx
(数5)
dy=ty−by
なお,以上実施例3では実施例1をベースに説明したが,基準画像及び被計測画像の各露光で形成されたパターンの寸法変動の中心点あるいは中心軸が求まっていれば,実施例2にも適用可能である。
Claims (13)
- 半導体デバイスの異なる露光により形成された回路パターンの一以上の座標について被計測画像を撮像する第一の画像撮像ステップと、
前記第一の画像撮像ステップにて撮像された該被計測画像から基準画像を選択する第一の選択ステップと、
前記第一の選択ステップにて選択された該基準画像をパターン寸法変動の中心点または中心軸を算出する単位に領域分割する第一の領域分割ステップと、
前記第一の領域分割ステップにより領域分割された領域ごとにパターン寸法変動の中心点または中心軸を算出する第一の中心算出ステップと、
前記第一の中心算出ステップにて算出した該基準画像の中心点または中心軸の情報を用いて、前記第一の選択ステップにて選択された該基準画像と前記第一の画像撮像ステップにて撮像された該被計測画像との差異を定量化する差異定量化ステップと、
前記差異定量化ステップにて定量化した差異をもとに該被計測画像と該基準画像との位置ずれ量を算出する位置ずれ算出ステップと、を有する計測方法。 - 前記第一の中心算出ステップにより算出された中心点または中心軸を表示する第一の表示ステップと、を有することを特徴とする請求項1記載の計測方法。
- 前記第一の領域分割ステップでは、一の回路パターンよりも該半導体デバイスの表面に近い側に設けられた回路パターンである上層の回路パターンによって見かけ上断片化した複数の回路パターン一の単位として領域分割することを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記第一の領域分割ステップでは、指定された範囲またはパターン中心付近の座標のユーザによる入力により分割領域を決定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記第一の領域分割ステップは、濃淡値または特徴量に基づき複数の分割領域に分割する複数領域分割ステップと、前記複数領域分割ステップにより分割された複数分割領域をグルーピングするグルーピングステップと、を含み、
前記算出ステップは、前記グルーピングステップによりグルーピングされた該複数の分割領域ごとに中心点あるいは中心軸を算出することを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の計測方法。 - 前記差異定量化ステップは、前記第一の画像撮像ステップにて撮像された該被計測画像をパターン寸法変動の中心点または中心軸を算出する単位に領域分割する第二の領域分割ステップと、前記第二の領域分割ステップにより領域分割された領域ごとに該被計測画像のパターン寸法変動の中心点または中心軸を算出する第二の中心算出ステップと、前記第一の中心算出ステップにて算出した該基準画像の中心点または中心軸と前記第二の中心算出ステップにて算出した該被計測画像の中心点または中心軸との差異を算出する差異算出ステップと、を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記差異定量化ステップは、該基準画像の回路パターンに対する該被計測画像の回路パターンの寸法変動率を推定する寸法変動率推定ステップと、前記寸法変動率推定ステップにより推定された寸法変動率によって、前記第一の中心算出ステップにて算出した該基準画像の中心点または中心軸を基準として該基準画像に対応するパターンを拡大または縮小し、該被計測画像のパターンと位置合わせすることで差異を算出する差異算出ステップと、を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記差異定量化ステップは、該基準画像に対して異なる露光により形成された2つの回路パターン寸法変動の中心点あるいは中心軸間の距離を算出する第一の2回路中心算出ステップと、該被計測画像に対して異なる露光によって形成された2つの回路パターン寸法変動の中心点あるいは中心軸間の距離を算出する第二の2回路中心算出ステップと、を有することを特徴する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記差異算出ステップは、前記第一の領域分割ステップにより領域分割された単位の領域ごとに実行されることを特徴とする請求項7記載の計測方法。
- 前記第一の中心算出ステップは、前記第一の領域分割ステップにより領域分割された単位の領域に含まれる回路パターンの対になるエッジの有無から計測の信頼性を分割された領域ごとに算出する信頼性算出ステップを含むことを特徴とした請求項1乃至5のいずれか1項に記載の計測方法。
- さらに、前記位置ずれ算出ステップにて算出された位置ずれ量を表示する第二の表示ステップを有し、
前記第二の表示ステップでは,前記信頼性算出ステップにて算出した信頼性が所定の値よりも低い、または、前記位置ずれ算出ステップにより位置ずれ量を算出できない計測点については、該計測点の周辺の計測点の位置ずれ量に基づき算出した値を表示することを特徴とする請求項10記載の計測方法。 - 前記第一の領域分割ステップは、該ユーザにより入力された範囲またはパターン中心付近の座標周辺領域をテンプレートとして該基準画像をマッチングし、類似した範囲を分割領域として分割することを特徴とする請求項4記載の計測方法。
- 半導体デバイスの異なる露光により形成された回路パターンの一以上の座標について被計測画像を撮像する第一の画像撮像部と、
前記第一の画像撮像部にて撮像された該被計測画像から基準画像を選択する第一の選択部と、
前記第一の選択部にて選択された該基準画像をパターン寸法変動の中心点または中心軸を算出する単位に領域分割する第一の領域分割部と、
前記第一の領域分割部により領域分割された領域ごとにパターン寸法変動の中心点または中心軸を算出する第一のパターン中心算出部と、
前記第一の中心算出部にて算出した該基準画像の中心点または中心軸の情報を用いて、前記第一の選択部にて選択された該基準画像と前記第一の画像撮像部にて撮像された該被計測画像との差異を定量化する差異定量化部と、
前記差異定量化部にて定量化した差異をもとに該被計測画像と該基準画像との位置ずれ量を算出する位置ずれ算出部と、を有する計測装置。
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