JP5986170B2 - 収容治具及びこの収容治具を含む洗浄槽 - Google Patents

Description

本発明は収容治具及びこの収容治具を含む洗浄システムに関し、特に提供される物体が挿入して置かれ、かつ物体を所定の角度で立てるのに適した収容治具及びこの収容治具を含む洗浄槽に関する。

化学気相堆積の製造プロセス及び高温熱拡散の製造プロセスは既に半導体産業において広く使用されており、上述した製造プロセスの操作は温度が約摂氏４００度〜１２００度の範囲の間で、製造プロセスにおいて、一部の化合物は機器の部品（例えば、ヒートスプレッダ）上に膜を堆積し、部品上の膜の層が所定の厚さに達したとき、これらの部品を除去してメンテナンスを行わなければならない。メンテナンスの方法は、これらの部品を洗浄槽に直接置いて、酸洗いを以ってこれらの部品上に付着した膜の層を除去する。

特開２００６−９１０４号公報

しかし、従来の洗浄槽は各種形状の部品に適応することができないため、部品の局所的な領域は洗浄して清掃できない場合がある。従来の処理方法は二度にわたる洗浄を行って克服しているが、この方法は洗浄槽の処理能力を相当浪費して、かつ洗浄液の消費量を増加する。

本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、物体が洗浄槽の中において洗浄されて清掃される確率を高めることにより、洗浄槽内の空間利用率を高めることができる収容治具及びこの収容治具を含む洗浄槽を提供することである。

上述した課題を解決するため本発明は以下の構成を備える。複数の板部材を含む複数の物体を挿入して置くのに適する収容治具であって、互いに離れた２つの端板と、両端がそれぞれ前記２つの端板に連接すると共に、前記複数の物体が前記収容治具に挿入されて置かれたとき、前記複数の板部材の側面を支持して、前記複数の板部材を所定の角度を以って立てる複数の連接部材と、を備える。

また、前記２つの端板の間の距離を調整するために、前記複数の連接部材はそれぞれ伸縮可能である。

また、前記２つの端板のうちの一つの内側に移動可能に配置される移動部材を更に備え、
前記複数の物体は一つの前記板部材及び前記板部材に突出する複数の中空管を含み、前記物体が前記収容治具に挿入して置かれたとき、前記複数の中空管の少なくとも一つが前記移動部材に固定されるのに適し、前記移動部材が対応する前記端板に対して移動することにより、前記複数の中空管の傾斜角を調整する。

また、前記２つの端板はそれぞれグリップ部を含む。

更に、前記複数の連接部材に調整可能に設けられ、前記複数の板部材の間の向かい合う位置に固定される複数の位置決め部を含む。

また、前記２つの端板の間に位置し、かつ前記複数の連接部材によって貫かれるように設けられ、前記複数の連接部材が向かい合う位置に固定される固定部材を含む。

また、前記複数の板部材は円形を呈し、前記複数の板部材の直径は１２インチ〜１５インチの間であり、かつ前記複数の連接部材の長さは６０ｃｍ〜８０ｃｍの間である。

また、前記複数の板部材が前記収容治具に挿入して置かれたとき、前記複数の板部材は前記２つの端板に平行となる。

また、前記複数の物体はそれぞれ化学気相堆積の製造プロセス或いは高温熱拡散の製造プロセスを使用した複数のヒートスプレッダであり、且つ前記複数の物体の材料は石英或いは炭化ケイ素を含む。

更に、前記収容治具と前記物体が一緒に置かれるのに適し、かつ洗浄液は前記複数の板部材の法線に垂直な方向に沿って前記複数の物体の間の隙間に流入する。

本発明は収容治具を提供し、この収容治具は物体（例えばヒートスプレッダ）を所定の角度を以って洗浄槽の中に置き、物体が洗浄槽の中において洗浄されて清掃される確率を高め、洗浄槽内の空間利用率を高めることができる。

本発明の一実施例に基づいた収容治具の斜視図である。 図１の右側面図である。 物体が図１の収容治具に挿入された斜視図である。 図３を他の角度から示した斜視図である。 物体が図１の収容治具に挿入された後、一緒に洗浄槽に置かれた状態を示す斜視図である。

本発明の上述した特徴と利点を更に明確にして分かり易くさせるため、以下実施例を挙げて、添付した図面と共に説明する。

図１は本発明の一実施例に基づいた収容治具の斜視図である。図２は図１の右側面図である。図３は物体が図１の収容治具に挿入された斜視図である。図４は図３を他の角度から示した斜視図である。図５は物体が図１の収容治具に挿入された後、一緒に洗浄槽に置かれた状態を示す斜視図である。

図１〜図５を参照して、本実施例の収容治具１００は、複数の物体１０を挿入して置くのに適している。これらの物体１０は、所定の角度を以って収容治具１００に立てられた後、これらの物体１０は収容治具１００と共に洗浄槽２０内に置かれるとき、物体１０は洗浄槽２０内で所定の角度を維持することができ、洗浄槽２０内の洗浄液に全体的に物体１０を洗浄させることができる。

本実施例において、これらの物体１０は例えば化学気相堆積の製造プロセス或いは高温熱拡散の製造プロセスを使用した複数のヒートスプレッダである。物体１０の材料は石英或いは炭化ケイ素を含む。図３〜図５に示すように、これらの物体１０は複数の板部材１２を含み、板部材１２は円形を呈し、板部材１２の直径は約１２インチから１５インチの間であり、これらのうちの１つの物体１０は、１つの板部材１２及び板部材１２に突出する複数の中空管１４を含む。なお、物体１０の種類、材料、寸法、形状、及び板部材の直径は、使用者の需要に基づいて適宜変更しても差し支えなく、異なる要求に適合ささるべく、上述した寸法の数値に限られるものではない。

また、本実施例において洗浄槽２０は酸洗い槽であり、洗浄液は硝酸、硫酸、或いはフッ化水素酸等を含み、酸洗いによって化学気相堆積の製造プロセス或いは高温熱拡散の製造プロセスを経た後に物体１０に堆積した膜層を清掃することができる。

収容治具１００を酸洗いのプロセスに耐えさせることができるようにするため、本実施例においては、収容治具１００の材料はテフロン（登録商標）を含み、テフロン（登録商標）は酸・アルカリの環境に耐える特質を有する。当然、収容治具１００の材料の種類はこれに限定されず、洗浄槽２０内の環境に耐える材料でありさえすれば差し支えない。

図１に戻り、収容治具１００は２つの端板１１０及び複数の連接部材１２０を含む。２つの端板１１０は互いに離れている。各連接部材１２０の両端はそれぞれ２つの端板１１０に連接されている。本実施例において、端板１１０の形状は逆台形に近く、連接部材１２０の数量は４個である。４個の連接部材１２０はそれぞれ端板１１０の縁の頂点に近い位置に連接される。当然、その他の実施例において、端板１１０の形状は半円形或るいはその他の形状でも差し支えなく、連接部材１２０の数量及び連接位置もこれに限定されるわけではない。

また、収容治具１００は更に複数の位置決め部１３０を含み、これらの連接部材１２０に設けられる。収容部材１００を製作するとき、設計者は必要とされる収容される物体１０の寸法と必要とされる間隔を予め量ることができ、位置決め部１３０を連接部材１２０と一体形成するように製作することができる。或いは、位置決め部１３０は連接部材１２０に可変可能に設けることができ、実際上の物体１０の間の距離に基づいて位置決め部１３０の間の位置を調整することができる。

図３〜図５に示すように、本実施例において、物体１０は３つのセットに分けられ、これらの中の２つのセットの物体１０は４個の相重なる板部材１２であり、これらの板部材１２の間はそれぞれ間隔が空いており、各セットの４個の物体１０は２つの相隣り合う位置決め部材１３０の間に一緒に挿入して置かれる。他の一組の物体１０は３個の板部材１２、及び板部材１２に突出する４つの中空管１４であり、このセットのこれらの物体１０は同様に板部材１２が２つの相隣り合う位置決め部材１３０の間に挿入して置かれ、互いの間の位置が固定される。

これらの物体１０が収容治具１００に挿入して置かれるとき、連接部材１２０はこれらの板部材１２の側面を支え、板部材１２を所定の角度（例えば９０度）を以って収容治具１００に立てることができ、これらの板部材１２が収容治具１００に挿入して置かれたとき、これらの板部材１２は２つの端板１００に平行な角度で立てることができる。

周知の洗浄方法において、物体１０は洗浄槽２０内に直接置かれる。更に詳細には、最も下方の数個の物体１０は全ての板部材１２が洗浄槽２０の内側の底面上に接触し、この空間配置は１つの洗浄槽２０において幾つかの物体１０を置くことのみが可能であり、その他の物体１０は再び洗浄槽２０の内側の底面上と接触する板部材１２上に重ね、これらの互いに重なった板部材１２は洗浄槽２０の底面と平行であり、洗浄液が洗浄槽２０の底面から上に向けて噴出するとき、洗浄液の一部は最も下方に位置する板部材１２に遮られ、上方に位置する板部材１２を噴射して洗浄することができるとはかぎられない。

これに対し、本実施例においては、図５に示すように、物体１０は直立（洗浄槽２０の内側の底面に垂直に近い角度であるという意味も含む。）するように収容治具１００上に挿入して置かれるので、物体１０が収容治具１００と一緒に洗浄槽２０に置かれたとき、この配置は洗浄槽２０の有限の空間において、更に多くのセットの物体１０を置くことができるようになる上、洗浄槽２０内の空間利用率が高められる。物体１０が収容治具１００と一緒に洗浄槽２０内に置かれて酸洗いのプロセスが行われているとき、洗浄槽２０の洗浄液は図５の底面から上に向けて流出し、物体１０の板部材１２は洗浄槽２０の内側の底面にほぼ９０度の角度で立てられ、洗浄槽２０の洗浄液を、これらの板部材１２の法線に垂直な方向に沿って、これらの物体１０の間の隙間に流入させることができる。

特に、本実施例において、収容治具１００を更に多く種類の物体１０を収容させることができるようにするため、これらの連接部材１２０はそれぞれ複数の伸縮可能な連接部材であり、すなわち、２つの端板１１０の間の距離は調整されることができる。物体１０の数量が比較的多いとき、若しくは中空管１４の長さが比較的長いときでも、なおも収容治具１００の中に置くことができる。本実施例において、これらの連接部材１２０の長さは約６０ｃｍ〜８０ｃｍの間であるが、連接部材１２０の長さの範囲はこれに限られるものではない。

再び、図１を参照すると、本実施例において、各端板１１０はグリップ部１１２を含む。２つの端板１１０上の２つのグリップ部１１２は操作者の両手で掴むのに供され、収容治具１００及びその上に位置するこれらの物体１０が持ち上げられる。従来の収容治具１００を有さないときと比較して、操作者はこれらの物体１０を簡単に洗浄槽２０に移動でき、本発明によれば、これらの物体１０を先ず収容治具１００上に配列しさえすれば、その後に洗浄槽２０へ一緒に入れることができ、操作上便利である。

また、これらの連接部材１２０が更に優れた支持強度を具備することができるようにするため、本実施例においては、収容治具１００は更に固定部材１４０を含み、２つの端板１１０の間で且つこれらの連接部材１２が固定部材１４０を貫くように設けられ、これらの連接部材１２０の間の向かい合う位置に固定される。

また、これらの中の１つの物体１０は４本の中空管１４を具備するため、清掃した後の洗浄液が中空管１４内に残留することを避けるため、本実施例においては、収容治具１００は更に移動部材１５０を含み、１つの端板１１０の内側に上下に移動可能に配置される。中空管１４を具備する物体１０の板部材１２が収容治具１００に挿入されて置かれるとき、これらの中空管１４の少なくとも一つは移動部材１５０に固定されるのに適しており（本実施例において、下の方の２つの中空管１４は移動部材１５０に固定される。）、移動部材１５０が対応する端板１１０に対して上下に移動することにより、これらの中空管１４の傾斜角度を調整することができる。したがって、これらの中空管１４は更に若干の傾斜角を有することができ、洗浄後の洗浄液を流出させることができ、中空管１４に酸が残る問題を回避することができる。

以上のように、本発明の収容治具は２つの端板に連接する複数の連接部材によって物体を支持し、物体を所定の角度（例えば直立）を以って収容治具上に挿入して置かせ、物体を洗浄するとき、物体を収容治具と一緒に洗浄槽に置きさえすれば、更に物体を洗浄槽内で所定の角度に維持することが可能となり、洗浄槽の洗浄液は更に板部材の法線に垂直な方向に沿って、これらの物体の隙間に流入することができるので、物体が洗浄されて清掃される程度を高めることができる。しかも、物体は本発明の収容治具上に直立するように挿入されて置かれるので、洗浄槽内で占有する空間を減らすことができ、洗浄槽内の空間利用率を高めることができる。また、本発明の収容治具の連接部材は長さを調整可能であり、異なる種類の物体の寸法に対応できる。また、中空管を具備する物体を洗浄して清掃させることによって酸が残ることを回避するため、少なくとも一つの中空管を移動部材に固定して、この移動部材を対応する端板に対して上下に移動させることにより、これらの中空管１４の傾斜角を調整することができる。

本発明は以下の効果を奏する。本発明の収容治具は、複数の物体を挿入して置くのに適しており、これらの物体は複数の板部材を含む。収容治具は２つの端板及び複数の連接部材を含む。２つの端板は互いに離れている。各連接部材の両端はそれぞれ２つの端板に連接されている。これらの物体が収容治具に挿入しておかれたとき、連接部材はこれらの板部材の側面を支持して、これらの板部材を所定の角度を以って該収容治具に立たせることができる。

本発明の一実施例において、上述の連接部材はそれぞれ複数の収縮可能な連接部材であり、２つの端板の間の距離を調整することができる。

本発明の一実施例において、上述の収容治具は更に移動部材を含み、移動部材は１つの端板の内側に移動可能に配置される。物体は１つの板部材及び板部材に突出した複数の中空管を有する。この物体が収容治具に挿入されて置かれたとき、これらの中空管の少なくとも一つが移動部材に固定されるのに適し、移動部材が対応する端板に対して移動することにより、これらの中空管の傾斜角を調整する。

本発明の一実施例において、上述の各端板はグリップ部を含む。

本発明の一実施例において、上述の収容治具は更に複数の固定部材を含み、これらの固定部材は複数の連接部材に調整可能に設けられ、これらの板部材が向かい合う位置に固定される。

本発明の一実施例において、上述の板部材は円形を呈し、これらの板部材の直径は約１２インチから１５インチの間であり、且つこれらの連接部材の長さは約６０ｃｍ〜８０ｃｍの間である。なお、板部材の直径と連接部材の両者の寸法は、使用者の需要に基づいて適宜変更しても差し支えなく、異なる要求に適合させるべく、上述した寸法の数値に限られるものではない。

本発明の一実施例において、上述の収容治具は更に固定部材を含み、この固定部材は、２つの端板の間に位置し、且つ、これらの連接部材は固定部材に挿し込まれるように設けられ、これらの連接部材の間が向かい合う位置に固定される。

本発明の一実施例において、これらの板部材が該収容治具に挿入して置かれるとき、これらの板部材は２つの端板に平行である。

本発明の一実施例において、上述のこれらの物体は、それぞれ化学気相堆積の製造プロセス或いは高温熱拡散の製造プロセスを使用した複数のヒートスプレッダであり、且つこれらの物体の材料は石英或いは炭化ケイ素を含む。

本発明の一実施例において、上述の収容治具とこれらの物体は一緒に洗浄槽内に置かれるのに適しており、且つ洗浄槽の洗浄液はこれらの板体の法線に垂直な方向に沿ってこれらの物体の隙間に流入するのに適している。

本発明の収容治具は、２つの端板に連接される複数の連接部材により物体を支え、物体を所定の角度（例えば直立）を以って収容治具上に挿入して置き、物体を洗浄するとき、物体を収容治具と一緒に洗浄槽に置きさえすれば、物体を洗浄槽内で所定の角度に維持することが可能であり、洗浄槽の洗浄液は板部材の法線に垂直な方向に沿ってこれらの物体の隙間に流入することにより、物体が洗浄されて清掃される程度を高めることができる。しかも、物体は本発明の収容治具上に直立するように挿入されて置かれるので、洗浄槽内で占有する空間を減らすことができ、洗浄槽内の空間利用率を高めることができる。

本発明は実施例を以って上述のように説明したが、本発明を限定するものではなく、如何なる技術領域における当業者が、本発明の精神と範囲を逸脱しなければ、変更、置き換えを行うことができる。本発明の保護範囲は、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に及ぶものとする。

１０ 物体
１２ 板部材
１４ 中空管体
２０ 洗浄層
１００ 収容治具
１１０ 端板
１１２ グリップ部
１２０ 連接部材
１３０ 位置決め部
１４０ 固定部材
１５０ 移動部材

Claims (9)

1. 複数の板部材を含む複数の物体を挿入して置くのに適する収容治具であって、
   互いに離れた２つの端板と、
   両端がそれぞれ前記２つの端板に連接すると共に、前記複数の物体が前記収容治具に挿入されて置かれたとき、前記複数の板部材の側面を支持して、前記複数の板部材を所定の角度を以って立てる複数の連接部材と、
   前記２つの端板のうちの一つの内側に移動可能に配置される移動部材と、
   を備え、
   前記複数の物体は一つの前記板部材及び前記板部材に突出する複数の中空管を含み、前記物体が前記収容治具に挿入して置かれたとき、前記複数の中空管の少なくとも一つは前記移動部材に固定されるのに適し、前記移動部材が対応する前記端板に対して移動することにより、前記複数の中空管の傾斜角を調整する、
   ことを特徴とする収容治具。
2. 前記２つの端板の間の距離を調整するために、前記複数の連接部材はそれぞれ伸縮可能である、
   ことを特徴とする請求項１記載の収容治具。
3. 前記２つの端板はそれぞれグリップ部を含む、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の収容治具。
4. 前記複数の連接部材に調整可能に設けられ、前記複数の板部材の間の向かい合う位置に固定される複数の位置決め部を含む、
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の収容治具。
5. 前記２つの端板の間に位置し、かつ前記複数の連接部材によって貫かれるように設けられ、前記複数の連接部材が向かい合う位置に固定される固定部材を含む、
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の収容治具。
6. 前記複数の板部材は円形を呈し、前記複数の板部材の直径は１２インチ〜１５インチの間であり、かつ前記複数の連接部材の長さは６０ｃｍ〜８０ｃｍの間である、
   ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の収容治具。
7. 前記複数の板部材が前記収容治具に挿入して置かれたとき、前記複数の板部材は前記２つの端板に平行となる、
   ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の収容治具。
8. 前記複数の物体はそれぞれ化学気相堆積の製造プロセス或いは高温熱拡散の製造プロセスを使用した複数のヒートスプレッダであり、且つ前記複数の物体の材料は石英或いは炭化ケイ素を含む、
   ことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の収容治具。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の収容治具を含み、
   前記収容治具と前記物体が一緒に置かれるのに適し、かつ洗浄液は前記複数の板部材の法線に垂直な方向に沿って前記複数の物体の間の隙間に流入する、
   ことを特徴とする洗浄槽。

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