JP5981191B2 - Pellicle frame - Google Patents
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
本発明は、例えばＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（ThinFilmTransistor，Liquid Crystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いるペリクル枠体に関する。 The present invention relates to lithography for manufacturing a semiconductor device such as an IC (Integrated Circuit), an LSI (Large Scale Integration), and a TFT LCD (Thin Film Transistor, Liquid Crystal Display). The present invention relates to a pellicle frame used for preventing foreign matter from adhering to a photomax or a reticle used in a process.
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。 2. Description of the Related Art Conventionally, in manufacturing semiconductor circuit patterns and the like, dust prevention means called a pellicle is disposed on both sides of a photomask or reticle to prevent foreign matter from adhering to the photomask or reticle.
ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、又はポリマー製のペリクル枠体の片側に、ポリマー又はガラス等の透明な薄膜を貼り付け、その反対側に、マスクに貼り付けるための貼着剤層（粘着材）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度のペリクル枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース又はセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つペリクル枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着している。 As a general structure of a pellicle, a transparent thin film such as a polymer or glass is attached to one side of a pellicle frame made of metal, ceramics, or polymer, and an adhesive for attaching to a mask on the opposite side. What provided the layer (adhesive material) is mentioned. For example, the pellicle is a transparent polymer film such as nitrocellulose or a cellulose derivative having a thickness of 10 μm or less on one edge surface of a pellicle frame having a shape matching the shape of a photomask or a reticle. A pellicle film made of is spread and bonded, and is attached to the other edge surface of the pellicle frame body on the surface of a photomask or reticle via an adhesive material.
フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。 When foreign matter adheres to the surface of a photomask or reticle, the foreign matter forms an image on the photoresist formed on the semiconductor wafer and causes a circuit pattern defect. However, the pellicle must be formed on at least the pattern surface of the photomask or reticle. When the is placed, the foreign substance adhering to the surface of the pellicle is out of focus, so that it does not form an image on the photoresist formed on the semiconductor wafer and the circuit pattern will not be defective.
また、近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質・高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できるペリクルが要望されている。 In recent years, with the widespread use of various multimedia, a pellicle applicable to a large photomask used in the photolithography process of a large color TFT LCD capable of high image quality and high definition display has been demanded.
上述のペリクル枠体は、通常、黒色となるように処理されている。例えば、特許文献１には、ペリクル枠体にアルマイト処理を施し、封孔処理を行うことで黒色化させることが開示されている。また、特許文献２には、電着塗装によってペリクル枠体を黒色化させることが開示されている。
The above-described pellicle frame is usually processed to be black. For example,
ところで、ペリクル枠体は、１枚のシート状母材を打ち抜くことにより作製され、接合部のない一体型のものが多い。これは、ペリクルの平坦性を確保する観点等に基づくものである。母材の平坦性によってはペリクル枠体の作製に使用できない母材もあり、ペリクル枠体が大型化するほど、ペリクル枠体の平坦性の精度を出すことは容易ではない。そのため、製造工程にも手間がかかり、歩留まり低下やペリクル枠体作製のコスト向上の原因となっている。これに加えて、ペリクル枠体を黒色化するべく、ペリクル枠体に対してアルマイト処理や電着塗装処理を施すためには大規模な槽が必要となるため、設備の増大によりコストの増大を招来していた。更には、大型のペリクル枠体では、均一にアルマイト処理や電着塗装処理を実施することが困難であり、平坦性の精度を向上させることが難しかった。 By the way, the pellicle frame is manufactured by punching one sheet-like base material, and is often an integral type without a joint. This is based on the viewpoint of ensuring the flatness of the pellicle. Depending on the flatness of the base material, there is a base material that cannot be used to manufacture the pellicle frame. As the size of the pellicle frame increases, it is not easy to obtain the accuracy of the flatness of the pellicle frame. For this reason, the manufacturing process is time-consuming, which causes a decrease in yield and an increase in the cost of manufacturing the pellicle frame. In addition, in order to blacken the pellicle frame body, a large-scale tank is required to subject the pellicle frame body to alumite treatment and electrodeposition coating treatment. I was invited. Furthermore, with a large pellicle frame, it is difficult to uniformly carry out an alumite treatment or an electrodeposition coating treatment, and it has been difficult to improve the accuracy of flatness.
そこで、ペリクル枠体に塗装を施すことが提案されているが、塗装材と枠部材との密着性を確保できないため剥がれ易く、また、ハンドリング治具にて操作する際に塗装が削れるため、アウトガスや異物等が発生し、現実性に乏しかった。 Therefore, it has been proposed to paint the pellicle frame. However, since the adhesion between the coating material and the frame member cannot be ensured, it is easy to peel off, and the paint is scraped when operating with a handling jig. And foreign matter were generated, and the reality was poor.
また、塗装によっては、水分等で加水分解して表面がべたつくものもあるため、長期に適度な湿度で露光を実施すると、不要になったペリクルをジグで剥離する際に、ジグに塗装がべたつき、ジグがジグ穴にうまくはまらなかったり、ジグが汚染されたりする不具合が懸念される。 Also, depending on the coating, some surfaces may become hydrolyzed with moisture, etc., and the surface may become sticky.If exposure is performed at an appropriate humidity for a long period of time, the coating will become sticky when the unnecessary pellicle is peeled off with the jig. There is a concern that the jig does not fit into the jig hole or the jig is contaminated.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a pellicle frame that can suppress damage to a coating film when coating is performed with a coating material.
本発明らは、鋭意研究を重ねた結果、枠部材に特定の塗装材をコーティングすることで、塗装の破損を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies, the present inventors have found that coating damage can be suppressed by coating a specific coating material on the frame member, and the present invention has been completed.
すなわち、本発明は、平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、開口部の周縁を形成する枠部材の表面に自己修復機能を有する塗膜が被覆されていることを特徴とする。 That is, the present invention provides a pellicle frame body that stretches and supports a pellicle film so as to cover an opening having a rectangular shape in plan view, and has a self-repairing function on the surface of the frame member that forms the periphery of the opening. The film is covered.
これにより、ペリクル枠体に撓みが生じた場合であっても、枠部材と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜の剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜の削れも防止できる。したがって、塗膜の亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、塗膜の破損を抑制することにより、塗膜の剥がれ等に起因するアウトガスや異物の発生を防止できる。その結果、ヘイズを抑制できる。また、大規模な装置を必要としないため、コストの低減も図れる。 As a result, even when the pellicle frame is bent, the adhesion between the frame member and the coating material can be ensured, so that the peeling of the coating film can be prevented. Moreover, since it has a predetermined strength, it is possible to prevent the coating film from being scraped by a handling jig or the like. Therefore, the occurrence of breakage such as cracks in the coating film can be suppressed. Moreover, generation | occurrence | production of the outgas resulting from peeling of a coating film, etc. and a foreign material can be prevented by suppressing the damage of a coating film. As a result, haze can be suppressed. Moreover, since a large-scale apparatus is not required, cost can be reduced.
また、枠部材の表面に自己修復機能を有する塗膜を被覆することで、多少の傷がついても自己修復して異物の発生が防止され、適度な湿度の存在下で露光する環境で長期に使用しても塗装のべたつきがないため、不要となったペリクルを剥離する際にジグに不具合が生じることなく剥離することが可能になる。 In addition, coating the surface of the frame member with a self-healing function prevents self-healing and the generation of foreign matter even if there are some scratches. Since there is no stickiness of the paint even if it is used, it becomes possible to peel the pellicle that is no longer needed without causing any trouble in the jig.
塗膜の鉛筆硬度がＢ以上５Ｈ以下であることが好ましい。このような鉛筆硬度とすることにより、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に耐え得る強度を確保することができる。また、所定の強度を有しているため、ペリクル枠体にペリクル膜を展張支持した際、ペリクル膜の余分な部分をカッティングする工程において、一般的なカミソリを使用することができる。これにより、製造過程において特殊な機器・器具等を用いなくてもよく、設備の増大を防止できる。 The pencil hardness of the coating film is preferably B or more and 5H or less. By setting it as such pencil hardness, the intensity | strength which can endure the impact during handling jigs and transportation can be ensured. Moreover, since it has a predetermined strength, it is possible to use a general razor in the process of cutting an excess part of the pellicle film when the pellicle film is spread and supported on the pellicle frame. Thereby, it is not necessary to use special equipment and instruments in the manufacturing process, and an increase in facilities can be prevented.
塗膜を形成する塗装材は、塗布型であることが好ましい。このように、塗布型の塗装材を用いることで、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコート等といった塗装方法を使用できる。これにより、塗膜を均一に形成することができ、ペリクル枠体の平坦性を確保することができる。 The coating material for forming the coating film is preferably a coating type. Thus, by using a coating type coating material, a coating method such as air spray, electrostatic coating, dip coating, roll coating or the like can be used. Thereby, a coating film can be formed uniformly and the flatness of a pellicle frame can be ensured.
塗膜を形成する塗装材は、主成分がエポキシ系、アクリル系、ウレタン系又はフッ素系のものを用いることができる。 As the coating material for forming the coating film, an epoxy-based, acrylic-based, urethane-based or fluorine-based material can be used as the main component.
本発明に係るペリクルは、上述のいずれかのペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを備えることを特徴とする。上述のペリクル枠体にペリクル膜を展張することにより、ペリクル枠体に撓みが生じた場合であっても、枠部材と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜の剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜の削れも防止できる。したがって、塗膜の亀裂等の破損の発生を抑制できる。 A pellicle according to the present invention includes any one of the above-described pellicle frame and a pellicle film that is stretched and supported so as to cover an opening of the pellicle frame. By spreading the pellicle film on the above-mentioned pellicle frame body, even if the pellicle frame body is bent, the adhesion between the frame member and the coating material can be secured, thus preventing the coating film from peeling off. it can. Moreover, since it has a predetermined strength, it is possible to prevent the coating film from being scraped by a handling jig or the like. Therefore, the occurrence of breakage such as cracks in the coating film can be suppressed.
本発明によれば、塗装材にて枠部材に塗装を行う場合において、ハンドリング時の塗膜の削れ等といった破損を抑制できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when coating a frame member with a coating material, damages, such as a coating film scraping at the time of handling, can be suppressed.
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.
図１は、本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図であり、図２は、図１に示すペリクルを上から見た図である。各図に示すように、ペリクル１は、ペリクル枠体２と、ペリクル枠体２の上縁面２ｅに展張支持されたペリクル膜３とを備えている。なお、図示しないが、ペリクル１は、ペリクル枠体２の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着され、この貼着剤層を保護する保護フィルムとを更に備えている。ペリクル１は、大型ペリクルであり、ペリクル枠体２は、大型のペリクル用枠体である。
FIG. 1 is a perspective view showing a pellicle according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a top view of the pellicle shown in FIG. As shown in each figure, the
ペリクル枠体２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、鉄及び鉄系合金、セラミックス（ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｏ３等）、セラミックスと金属との複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ２Ｏ３等）、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ、ポリマー等からなり、平面視略矩形状を呈している。これらの中でも、アルミニウム、アルミニウム合金が、ペリクル枠体として利用するために密着性、耐湿性、ハンドリング時の枠体の撓みに追随する柔軟性と硬さを兼ね備えているためより好ましい。なお、平面視略矩形状を呈するとは、ペリクル膜３を展張支持した際に平面視略矩形状を呈する形状であり、ペリクル膜３の展張支持前の形状は特に制限されない。ペリクル膜３の展張支持前の具体的な形状としては、平面視略矩形状や、ペリクル枠体２の外側に湾曲した形状や、ペリクル枠体２の外側に突出した箇所を有する形状である。
The pellicle frame 2 includes, for example, aluminum, aluminum alloys (5000 series, 6000 series, 7000 series, etc.), iron and iron alloys, ceramics (SiC, AlN, Al2O3, etc.), a composite material of ceramics and metal (Al-SiC). , Al-AlN, Al-Al2O3, etc.), carbon steel, tool steel, stainless steel series, polymer, etc., and has a substantially rectangular shape in plan view. Among these, aluminum and aluminum alloys are more preferable because they have adhesion, moisture resistance, and flexibility and hardness that follow the bending of the frame during handling in order to be used as a pellicle frame. In addition, exhibiting a substantially rectangular shape in plan view means a shape exhibiting a substantially rectangular shape in plan view when the
このペリクル枠体２は、対向する一対の長辺（枠部材）２ａ，２ｂと、この長辺２ａ，２ｂよりも短い対向する一対の短辺（枠部材）２ｃ，２ｄとから構成されている。ペリクル枠体２において、長辺２ａと長辺２ｂとの長さは等しく形成されており、短辺２ｃと短辺２ｄとの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２は、矩形状の開口部４を有しており、長辺２ａ，２ｂ及び短辺２ｃ，２ｄは、開口部４の周縁を形成している。この開口部４の開口面積は、好ましくは１０００ｃｍ２以上、より好ましくは３０００ｃｍ２以上、更に好ましくは５０００ｃｍ２以上、３５０００ｃｍ２以下である。
The pellicle frame 2 is composed of a pair of opposed long sides (frame members) 2a and 2b and a pair of opposed short sides (frame members) 2c and 2d shorter than the
一対の長辺２ａ，２ｂは、幅が例えば９．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば８００ｍｍである。一対の短辺２ｃ，２ｄは、幅が例えば７．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば４８０ｍｍである。つまり、短辺２ｃ，２ｄの平面視（上面視）における幅は、長辺２ａ，２ｂの幅よりも狭い。ペリクル枠体２の角部５の曲率は、例えば、Ｒ＝２ｍｍである。なお、角部５に曲率が存しないと仮定した際の頂点を、以下、単に「頂点」と記載する。ペリクル枠体２の側面６には、溝部７が長手方向（辺方向）に沿って設けられている。
The pair of
ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅は、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺の長さに対して剛性を考慮した幅の太さになるため、各辺２ａ〜２ｄは、３ｍｍ〜２５ｍｍ程度とすることができる。
The width of each
また、ペリクル枠体２の厚みに関しても、薄ければ薄いほど軽くて扱いやすいペリクル１となるが、薄すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さに応じた両者のバランスから、ペリクル枠体２の厚みは、好ましくは４．５ｍｍ〜１２ｍｍ程度とすることができる。
Further, regarding the thickness of the pellicle frame body 2, the thinner the
ペリクル膜３は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、又はシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましい。このペリクル膜３は、ペリクル枠体２の開口部４を覆うように上縁面２ｅに展張され、ペリクル枠体２に貼着支持されている。
The
ペリクル膜３をペリクル枠体２の上縁面２ｅに接着する接着剤は、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、又は含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。
As an adhesive for adhering the
また、貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、又は発泡体を基材とした粘着テープを用いることができる。粘着材層の厚さは、ペリクル枠体２の厚さと粘着材厚さの合計が規定されたペリクル膜３とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、１０ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
In addition, as an adhesive material to support adhesion, styrene ethylene butylene styrene, styrene ethylene propylene styrene, or olefin-based hot melt adhesive material, silicone adhesive material, acrylic adhesive material, or foam-based adhesive material Tape can be used. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is set within a range not exceeding the distance between the
また、ペリクル膜３をフォトマスクに貼り付けた際に、貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、ペリクル枠体２の下縁面に粘着剤を塗布する際には、ペリクル１をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部４に粘着剤がはみ出さない程度にペリクル枠体２の開口部４内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間が粘着剤層の塗布幅の０．３５倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅はペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅に対し０．３〜０．６倍であることが好ましく、ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄに沿って塗布することが好ましい。
In addition, when the
粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、又はポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、又はフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、１ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。 As a protective film for protecting the adhesive material, a film made of polyethylene terephthalate resin or polyethylene resin can be used. Moreover, according to the adhesive force of an adhesive material, you may apply | coat a mold release agent, for example, a silicone type release agent, or a fluorine type release agent to the surface of a protective film. The thickness of the protective film is preferably, for example, 1 mm or less and 0.01 mm or more.
図３に示すように、上述の構成を有するペリクル枠体２の表面全体には、塗膜Ｐが形成（被覆）されている。ペリクル枠体２の表面をコーティング（被覆）する塗膜Ｐは、塗装材によって形成されている。図３は、図２におけるIII-III線断面図である。 As shown in FIG. 3, a coating film P is formed (coated) on the entire surface of the pellicle frame body 2 having the above-described configuration. The coating film P that coats (covers) the surface of the pellicle frame 2 is formed of a coating material. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
ここで、塗装材は、ペリクル１のハンドリング中にペリクル枠体２が撓んだり、ハンドリング冶具の接触や輸送中の衝撃に耐え得る材料でなければならない。ペリクル枠体２の撓みによる接触や衝撃に耐え得るためには、塗装材に柔軟性がなくてはならない。一方で、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に塗膜Ｐが耐え得るためには、硬さを兼ね備えておく必要もある。つまり、塗装材の物性には、柔軟性と硬さの相反する特性が必要とされる。
Here, the coating material must be a material that can withstand the impact of the pellicle frame body 2 during the handling of the
しかし、ハンドリング治具は耐食性を持たせるとともにペリクルに撓みを起こさせないようにＳＵＳ等の硬い素材で作製されることが多いため、ハンドリング治具の溝への出し入れにおいて多少の傷がつく場合がある。そのため、塗膜をガラスのように硬くしてそもそも傷が入らないようにする方法や、ペリクルの塗膜表面を滑らせるようにして傷が入りにくくする方法等が考えられる。しかし、塗膜を硬くしすぎるとペリクルのハンドリング時の撓りで塗膜に割れや剥れが生じて逆に異物になる可能性がある。また、塗膜表面を滑らせるようにするとペリクル膜接着剤等の液だれが生じる恐れがある。 However, since the handling jig is often made of a hard material such as SUS so as to give corrosion resistance and not cause the pellicle to bend, there are cases where some damage is caused when the handling jig is put in and out of the groove. . Therefore, a method of making the coating film hard like glass and preventing scratches in the first place, a method of making the scratches difficult to enter by sliding the surface of the coating film of the pellicle, etc. are conceivable. However, if the coating film is too hard, there is a possibility that the coating film will be cracked or peeled off due to bending during handling of the pellicle, resulting in a foreign substance. Further, if the surface of the coating film is slid, there is a risk of dripping of the pellicle film adhesive or the like.
そこで、塗装材は、多少の傷がついても自己修復することで異物の発生を防ぐことを目的として、傷を自己修復する自己修復機能を有する塗膜を形成する塗装材を使用する。しかも、自己修復機能を有する塗膜を形成する塗装材は、適度な湿度の環境中で長期間（約１年から長いものでは１０年と言われている）使用しても加水分解等が起こらないためべたつきが生じず、不要になったペリクルを剥離する際にジグへの不具合が発生しないことが判明した。また、自己修復機能を有する塗膜を形成する塗装材は密着性も良いため剥れる恐れも無い。 Therefore, the coating material is a coating material that forms a coating film having a self-healing function for self-healing scratches for the purpose of preventing the generation of foreign matter by self-healing even if some scratches are present. Moreover, a coating material that forms a coating film having a self-healing function does not undergo hydrolysis or the like even if it is used for a long time (about 1 year to 10 years for a long one) in an environment of moderate humidity. Therefore, no stickiness occurs, and it has been found that there is no problem with the jig when peeling a pellicle that is no longer needed. Moreover, since the coating material which forms the coating film which has a self-restoration function is also excellent in adhesiveness, there is no fear of peeling off.
また、塗装材を塗布して形成された塗膜Ｐの鉛筆硬度は、Ｂ以上で５Ｈ以下となることが好ましく、Ｂ以上４Ｈ以下となることがより好ましく、Ｂ以上３Ｈ以下であることが更に好ましい。Ｂよりも大きいと、塗膜が柔らかくなりすぎることを防ぐため、ハンドリング治具と擦れ難くなり異物の発生を抑止することができる。また、５Ｈより小さいと、硬すぎないため、瞬間的な伸縮運動に耐えることができ、ハンドリング時の撓みに追随できて割れや剥れ等の恐れが生じない。 The pencil hardness of the coating film P formed by applying a coating material is preferably B or more and 5H or less, more preferably B or more and 4H or less, and further preferably B or more and 3H or less. preferable. When it is larger than B, the coating film is prevented from becoming too soft, so that it is difficult to rub against the handling jig and the generation of foreign matters can be suppressed. On the other hand, if it is smaller than 5H, it is not too hard, so it can endure momentary expansion and contraction, can follow the bending during handling, and does not suffer from cracking or peeling.
このような物性を有する塗装材は、塗布型であることが好ましい。ここで言う塗布型の塗装材とは、液体状のままでコーティングを行い、その後加熱することで重合が進み塗膜Ｐを形成するものである。塗装材を液体状のままコーティングする方法としては、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコートが望ましく、その中でもエアスプレー方式の塗装方法が好ましい。 The coating material having such physical properties is preferably a coating type. The coating-type coating material referred to here is one in which coating is carried out in a liquid state, followed by heating, whereby polymerization proceeds and a coating film P is formed. As a method of coating the coating material in a liquid state, air spray, electrostatic coating, dip coating, and roll coating are desirable, and among these, an air spray method is preferable.
最良の塗装のためには、塗装材として、主成分がエポキシ系、アクリル系、フッ素系またはウレタン系の材料を用いることが好ましく、アクリル系またはウレタン系の材料の使用が最も好ましい。塗膜Ｐは一層でもよいし、多層コーティングでもよい。多層コーティングであれば、アルミニウムとの密着性を向上させることができる。また多層コーティングであれば、レーザーで特定の色層を除去、もしくは局所的に塗膜を積層することで、文字、記号、模様、等を印字、印刷することができる。 For the best coating, it is preferable to use an epoxy-based, acrylic-based, fluorine-based or urethane-based material as the coating material, and most preferable to use an acrylic-based or urethane-based material. The coating film P may be a single layer or a multilayer coating. If it is a multilayer coating, adhesiveness with aluminum can be improved. In the case of multilayer coating, characters, symbols, patterns, etc. can be printed and printed by removing a specific color layer with a laser or locally laminating a coating film.
一般的に使用されているペリクル枠体は、アルミニウム合金であり、アルミニウム合金の熱膨張係数から、塗装材に用いられる塗装材としては伸びが大きい樹脂がよいが、塗膜の硬さの低下を抑制する必要もあるため上記塗装材が好ましいといえる。更に、上記アルミニウム合金は化学的、物理的な吸着水で覆われていると考えられるため、吸着水（表面のＯＨ基）と架橋反応や水素結合を示す化合物が上記塗装材の末端や側鎖にあることが好ましい。例えば有機珪素化合物等をもつ場合は、有機珪素化合物の加水分解、縮合反応等により、吸着水とシロキサン結合を形成することで、密着性をよくしている。また、カルボキシル基等の極性基をもつ場合は、吸着水に対して強い相互作用、例えば水素結合や酸―塩基相互作用等により密着性がよくなると考えられる。極性基としては、カルボキシル基が最も好ましく、水酸基、カルボン酸の金属塩（例えば、ナトリウム塩、マグネシウム塩など）やアルキルエステル類、フェノール類、アミノ酸類、脂肪族アミン等が挙げられる。これらの化合物は、表面のＯＨ基の数と同等であることが好ましい。ここでいう同等とは、極性基：ＯＨ基＝１：０．８〜１．２の範囲である。上記化合物が過剰に存在すると界面において水分を吸着し、塗膜の膨潤や剥離等を生じる恐れがある。 A commonly used pellicle frame is an aluminum alloy. From the viewpoint of the thermal expansion coefficient of the aluminum alloy, a resin having a large elongation is good as a coating material used for the coating material, but the hardness of the coating film is reduced. Since it is necessary to suppress, it can be said that the said coating material is preferable. Further, since the aluminum alloy is considered to be covered with chemically and physically adsorbed water, the adsorbed water (surface OH group) and the compound showing a crosslinking reaction or hydrogen bond may be present at the end or side chain of the coating material. It is preferable that it exists in. For example, in the case of having an organosilicon compound, adhesion is improved by forming adsorbed water and a siloxane bond by hydrolysis or condensation reaction of the organosilicon compound. In addition, in the case of having a polar group such as a carboxyl group, it is considered that the adhesion is improved due to a strong interaction with adsorbed water, such as a hydrogen bond or an acid-base interaction. The polar group is most preferably a carboxyl group, and examples thereof include a hydroxyl group, a metal salt of a carboxylic acid (for example, sodium salt, magnesium salt, etc.), an alkyl ester, a phenol, an amino acid, an aliphatic amine, and the like. These compounds are preferably equivalent to the number of OH groups on the surface. The equivalent here is a range of polar group: OH group = 1: 0.8 to 1.2. If the above compound is present in an excessive amount, moisture is adsorbed at the interface, which may cause swelling or peeling of the coating film.
また、塗膜に自己修復機能を持たせるためには、修復剤を含むことが好ましい。修復剤としては、例えば、塗装材に軟質系樹脂を添加して塗膜自体に高弾性を付与したものがある。例えば塗装材としてのアクリルウレタン系樹脂に軟質系樹脂を添加する場合、アクリルウレタン系樹脂中の硬いアクリル系樹脂と柔らかいウレタン系樹脂との間に軟質系樹脂が入り込み高密度の網目構造になって柔軟性と強靭性をもち、傷が入った場合も、軟質系樹脂がゴムのような役割をして自己修復機能を発揮することが可能になる。 Moreover, in order to give a coating film a self-repair function, it is preferable that a repair agent is included. As the restoration agent, for example, there is one in which a soft resin is added to a coating material to impart high elasticity to the coating film itself. For example, when a soft resin is added to an acrylic urethane resin as a coating material, the soft resin enters between the hard acrylic resin and the soft urethane resin in the acrylic urethane resin, resulting in a high-density network structure. It has flexibility and toughness, and even when scratched, the soft resin can play a role like rubber and exhibit a self-repair function.
アクリル系樹脂としては、アルキル鎖の長さの調整とエーテル結合を持たせることが重要になる。具体的なアクリル系樹脂としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキブチルメタアクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等が挙げられる。 As an acrylic resin, it is important to adjust the length of the alkyl chain and to have an ether bond. Specific acrylic resins include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, and polyethylene glycol mono (meth) acrylate. And polypropylene glycol mono (meth) acrylate.
また、通常のウレタン系樹脂はエステル結合を有するため加水分解しやすい性質があるが、主鎖骨格にエステル基やエーテル基をもたないものや、耐加水分解添加剤等を配合したウレタン系樹脂は、加水分解を抑制することができるため好ましい。また、ウレタン系樹脂骨格中にポリカーボネートジオールを配合するとＯＨ基含有量が高くなるため架橋密度を上げやすく、耐擦り傷性に優れる傾向があるため好ましい。具体的なウレタン系樹脂としては、例えばポリオール化合物とポリイソシアネート化合物とを反応させることによって得られる。ポリオール化合物としては、破断強度が高いウレタン樹脂を得ることができることから、ポリエステル系ポリオール化合物、ポリエーテル系ポリオール化合物、ポリカーボネート系ポリオール化合物が挙げられる。 In addition, normal urethane resins have ester bonds and are easily hydrolyzed, but those that do not have ester or ether groups in the main chain skeleton or urethane resins that contain hydrolysis resistance additives, etc. Is preferable because hydrolysis can be suppressed. In addition, it is preferable to add polycarbonate diol to the urethane resin skeleton because the OH group content is high, so that the crosslinking density is easily increased and the scratch resistance tends to be excellent. A specific urethane-based resin can be obtained, for example, by reacting a polyol compound and a polyisocyanate compound. Examples of the polyol compound include a polyester polyol compound, a polyether polyol compound, and a polycarbonate polyol compound because a urethane resin having a high breaking strength can be obtained.
ポリエステル系ポリオール化合物としては、ポリカルボン酸と多価アルコールとのエステル反応で得られるものが挙げられる。ポリカルボン酸としては、例えば、フタル酸、イソフタル酸、テトラヒドロフタル酸、マレイン酸、フマル酸、メタコン酸、シトラコン酸、イタコン酸、アジピン酸、セバシン酸などが挙げられる。これらは単独で、または２種以上を併せて用いることができる。多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、ジメチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、１，６−ヘキサジオール、トリメチロールプロパン、グリセリン、ペンタエリスリトール、シクロヘキサンジメタノール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン、Ｎ−アルキルジエタノールアミン、これらの多量体（２量体、３量体等）などが挙げられる。これらは単独で、または２種以上併せて用いることができる。 Examples of the polyester polyol compound include those obtained by an ester reaction between a polycarboxylic acid and a polyhydric alcohol. Examples of the polycarboxylic acid include phthalic acid, isophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, maleic acid, fumaric acid, methaconic acid, citraconic acid, itaconic acid, adipic acid, and sebacic acid. These may be used alone or in combination of two or more. Examples of the polyhydric alcohol include ethylene glycol, dimethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, 1,6-hexadiol, trimethylolpropane, glycerin, pentaerythritol, cyclohexanedimethanol, bishydroxyethoxybenzene, and N-alkyl. Examples include diethanolamine and multimers thereof (dimer, trimer, etc.). These may be used alone or in combination of two or more.
ポリエーテル系ポリオール化合物としては、上記多価アルコールにエチレンオキシド、プロピレンオキシド、ブチレンオキシド、スチレンオキシド等のアルキレンオキシドを付加重合させることによって得られるものが挙げられる。 Examples of polyether polyol compounds include those obtained by addition polymerization of alkylene oxides such as ethylene oxide, propylene oxide, butylene oxide, and styrene oxide to the polyhydric alcohol.
ポリカーボネート系ポリオール化合物としては、例えば、ポリテトラメチレンカーボネートジオール、ポリヘキサメチレンカーボネートジオール、ポリ−１，４−シクロヘキサンメチレンカーボネートジオールなどが挙げられる。 Examples of the polycarbonate polyol compound include polytetramethylene carbonate diol, polyhexamethylene carbonate diol, poly-1,4-cyclohexane methylene carbonate diol, and the like.
また、これらポリオール化合物は単独で、または２種以上を併せて用いることができる。 Moreover, these polyol compounds can be used individually or in combination of 2 or more types.
ポリイソシアネート化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、メタキシレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、４，４−メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、ダイマー酸ジイソシアネート等の有機ジイソイアネート、これらの化合物と多価アルコールとの反応生成物が挙げられる。これらは単独で、または２種以上を併せて用いることができる。 Examples of the polyisocyanate compound include hexamethylene diisocyanate, meta-xylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), organic diisocyanates such as dimer acid diisocyanate, and these compounds and polyhydric alcohols. Reaction products are mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.
また、特殊なアクリル系樹脂の場合、アクリル系樹脂の官能基側鎖（架橋点とアクリル主鎖との間の鎖）が一般のアクリル系樹脂に比べて長くなっている。そのため、アクリル主鎖とアクリル主鎖の間の架橋部分の力学的自由度が高い構造になっており、長い側鎖が外圧に対してバネの働きをして、弾性機構を発揮するため好ましい。具体的な特殊なアクリル系樹脂として、アクリル系樹脂にラクトン含有多価アルコールを用いて弾性力を上げているものがある。 In the case of a special acrylic resin, the functional group side chain of the acrylic resin (the chain between the crosslinking point and the acrylic main chain) is longer than that of a general acrylic resin. Therefore, it has a structure in which the degree of mechanical freedom of the cross-linked portion between the acrylic main chain and the acrylic main chain is high, and a long side chain acts as a spring against an external pressure and is preferable because it exhibits an elastic mechanism. As a specific special acrylic resin, there is a resin whose elastic force is increased by using a lactone-containing polyhydric alcohol in the acrylic resin.
また、塗装材中にマイクロカプセルなどを配合し、そのカプセルの中に塗装を修復する成分を含有し、外力によって破裂することで修復する成分を付与して自己修復機能をはっきするものもあり、好ましく用いられる。 In addition, there are those that contain microcapsules etc. in the coating material, contain components that restore the coating in the capsules, add components that repair by rupturing by external force, and clear the self-repair function, Preferably used.
また、ペリクル枠体２は、長辺２ａ，２ｂ又は短辺２ｃ，２ｄの所定部分（角部５）の塗膜Ｐの厚みを、他の部分（中央部）の２０倍以下程度の厚みとすることが好ましい。角部には、ハンドリング治具の装着等で無理な力が加わることがある。また、角部は剛性が高いために、マスクに強度に貼り付けられている傾向があり、マスクからペリクルを剥離する際、中央付近よりも角部に強い力が加わる可能性がある。このとき、角部の塗膜が他の部分より２０倍以上厚いと、密着性が悪くなるために塗膜の剥がれ等が生じる可能性がある。したがって、角部５の塗膜Ｐの厚みとしては、他の部分の２０倍以下とすることが好ましく、より好ましくは他の部分の０．０５倍〜２０倍である。また、塗膜Ｐの膜厚そのものとしては、５μｍ〜１００μｍあればよい。膜厚が５μｍ以上であれば、下地の影響を極力抑えることができ、下地の欠陥による密着性の低下を抑え、また、塗膜面の平坦性が十分となる。１００μｍ以下であれば、塗膜中への気泡の巻き込みを抑止でき、気泡が割れたり膨れたりすることによる剥れ等の発生を抑えることができる。この特異的な特性を施す箇所は、ペリクル枠体２の角部５であることが好ましく、更には４つの角部５よりも１つの角部５であれば好ましいが、特に個数を限定するものではなく１箇所以上であるとより効果が顕著となる。
The pellicle frame 2 has a coating film P thickness of a predetermined portion (corner portion 5) of the
続いて、ペリクル枠体２の製造方法について説明する。まず、例えばアルミミウム又はアルミニウム合金から成る長辺２ａ，２ｂ及び短辺２ｃ，２ｄを有する枠部材を準備する。次に、枠部材に対して、上述の塗装材を例えばエアスプレー方式によって塗布する。このとき、角部５においては、塗装厚みを他の部分よりも厚くする。そして、塗装材が塗布された枠部材に加熱処理を施し、枠部材の表面に塗膜Ｐを形成する。以上により、ペリクル枠体２が形成される。その後、ペリクル枠体２にペリクル膜３が展張されることで、ペリクル１が形成される。
Then, the manufacturing method of the pellicle frame 2 is demonstrated. First, a frame member having
以上説明したように、ペリクル１のペリクル枠体２は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上３５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、塗膜Ｐの破損を抑制することにより、塗膜Ｐの剥がれ等に起因するアウトガスや異物の発生を防止できる。その結果、ヘイズを抑制できる。また、大規模な装置を必要としないため、コストの低減も図れる。特に、ペリクル１が大型の場合には、本実施形態の構成が更に効果的となる。
As described above, in the pellicle frame body 2 of the
また、塗装材を用いることで、塗装のムラも少なくなり、平坦性を維持することができる。更に、熱を加えて塗装材を重合させることが多いため、アルミニウムの熱処理も同時に行うことができ、ペリクルの使用中に熱が加わって寸法が変形してしまうことを防止できる。 In addition, by using a coating material, unevenness in coating is reduced and flatness can be maintained. Furthermore, since the coating material is often polymerized by applying heat, the heat treatment of aluminum can be performed at the same time, and the deformation of the dimensions due to the application of heat during the use of the pellicle can be prevented.
また、塗膜Ｐの鉛筆硬度がＢ以上５Ｈ以下である。このような鉛筆硬度とすることにより、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に耐え得る強度を確保することができる。また、所定の強度を有しているため、ペリクル枠体２にペリクル膜３を展張支持した際、ペリクル膜３の余分な部分をカッティングする工程において、一般的なカミソリを使用することができる。これにより、製造過程において特殊な機器・器具等を用いなくてもよく、設備の増大を防止できる。
Moreover, the pencil hardness of the coating film P is B or more and 5H or less. By setting it as such pencil hardness, the intensity | strength which can endure the impact during handling jigs and transportation can be ensured. Further, since the
塗膜Ｐの形成に用いられる塗装材は、塗布型である。このように、塗布型の塗装材を用いることで、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコート等といった塗装方法を使用できる。これにより、塗膜Ｐを均一に形成することができ、ペリクル枠体２の平坦性を確保することができる。 The coating material used for forming the coating film P is a coating type. Thus, by using a coating type coating material, a coating method such as air spray, electrostatic coating, dip coating, roll coating or the like can be used. Thereby, the coating film P can be formed uniformly and the flatness of the pellicle frame 2 can be ensured.
ペリクル枠体２は、対向する一対の長辺２ａ，２ｂと、対向する一対の短辺２ｃ，２ｄとから構成されており、長辺２ａ，２ｂ及び短辺２ｃ，２ｄによって形成される少なくとも一つの角部５の塗膜Ｐの厚みは、長辺２ａ，２ｂ又は短辺２ｃ，２ｄの中央部の厚みの２０倍以下である。このような構成によれば、角部５に無理な力が加わった場合でも密着性がよいため、剥がれやクラック等を抑制できる。
The pellicle frame 2 is composed of a pair of opposing
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、ペリクル枠体２を１枚のシート状母材から切り出した接合部を有さない構成としていが、ペリクル枠体は、少なくとも一箇所の接合部を有する分割枠体であってもよい。 The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above embodiment, the pellicle frame 2 is configured not to have a joint cut out from a single sheet-like base material, but the pellicle frame is a divided frame having at least one joint. There may be.
次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施の形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。 Next, the present embodiment will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. However, the present embodiment is not limited to the following examples unless it exceeds the gist.
［実施例１］
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、厚みを４．０ｍｍ、長辺の幅を６．０ｍｍ、長さを４３０ｍｍとした。また、短辺は、幅を６．０ｍｍ、長さを３００ｍｍとし、短辺側全長に渡って溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。また、角部の曲率をＲ＝２ｍｍとした。その他の構成は、図２に示す構成にてペリクル枠体を形成した。塗装材には、ウレタンアクリレート塗料（株式会社トクシキ社製 ＵＶ硬化型自己修復塗料）を使用した。鉛筆硬度をＨＢとした塗膜を形成した。評価結果を表１に示す。
[Example 1]
The pellicle frame was made of an aluminum alloy and had a thickness of 4.0 mm, a long side width of 6.0 mm, and a length of 430 mm. In addition, the short side had a width of 6.0 mm, a length of 300 mm, a groove was provided over the entire length of the short side, the groove depth was 2 mm, and the groove height was 1.5 mm. The curvature of the corner was R = 2 mm. In other configurations, a pellicle frame was formed as shown in FIG. As the coating material, urethane acrylate paint (UV curable self-healing paint manufactured by Tokushi Co., Ltd.) was used. A coating film having a pencil hardness of HB was formed. The evaluation results are shown in Table 1.
[アウトガス評価]
１０ｃｍの棒状をサンプルとして作製し、加熱脱着法にてＧＣ−ＭＳ（SUPELCO製）で測定した。加熱温度５０℃、加熱時間６０分、吸着剤 CarbopackB+CarbosieveSIII、キャリアガス(Ｈｅ)の条件とした。
[Outgas evaluation]
A 10 cm rod shape was prepared as a sample and measured by GC-MS (manufactured by SUPELCO) by a heat desorption method. The conditions were a heating temperature of 50 ° C., a heating time of 60 minutes, an adsorbent Carbopack B + Carbosieve SIII, and a carrier gas (He).
[ハンドリング性]
ハンドリングジグで装着作業を行い、装着時の削れ等を集光灯にて目視検査した。５回とも結果が良いものを○、１回傷が生じたがペリクルとして問題ないレベルを△、１回以上削れが発生し、ペリクルとして不具合があるものを×とした。
The mounting work was performed with a handling jig, and the wear at the time of mounting was visually inspected with a condenser lamp. Good results were obtained in all five cases, and a level where there was a flaw in the pellicle but no problem as a pellicle was evaluated as Δ.
［比較例１］
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、厚みを４．０ｍｍ、長辺の幅を６．０ｍｍ、長さを４３０ｍｍとした。また、短辺は、幅を６．０ｍｍ、長さを３００ｍｍとし、短辺側全長に渡って溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。また、角部の曲率をＲ＝２ｍｍとした。その他の構成は、図２に示す構成にてペリクル枠体を形成した。塗装材には、ウレタン系樹脂塗料（商品名「ＢＹＫＥＴＯＬ 住友バイエルウレタン社製）を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、１４０℃の加熱を３０分行うことでガラス転移点を４０℃、鉛筆硬度を３Ｂとした塗膜を形成した。評価結果を表１に示す。
[Comparative Example 1]
The pellicle frame was made of an aluminum alloy and had a thickness of 4.0 mm, a long side width of 6.0 mm, and a length of 430 mm. In addition, the short side had a width of 6.0 mm, a length of 300 mm, a groove was provided over the entire length of the short side, the groove depth was 2 mm, and the groove height was 1.5 mm. The curvature of the corner was R = 2 mm. In other configurations, a pellicle frame was formed as shown in FIG. For the coating material, use urethane resin paint (trade name "BYKETOL" manufactured by Sumitomo Bayer Urethane Co., Ltd.), spray coating so as not to cause uneven coating and material sag, and heating at 140 ° C for 30 minutes A coating film having a glass transition point of 40 ° C. and a pencil hardness of 3B was formed, and the evaluation results are shown in Table 1.
［比較例２］
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を９．０ｍｍ、長さを８００ｍｍとし、短辺の幅を７．０ｍｍ、長さを４８０ｍｍとして、角部の曲率をＲ＝０ｍｍとした。それ以外の溝の長さ・深さ、枠体の厚みは実施例１と同様に作製した。塗装材には、エポキシ系樹脂塗料（商品名「オーデックス」 神東塗料社製）を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、１２０℃の加熱を２０分の行うことでガラス転移点を３０℃、鉛筆硬度を２Ｂとした塗膜を形成した。評価結果を表１に示す。
[Comparative Example 2]
The pellicle frame is made of an aluminum alloy, the width of the long side is 9.0 mm, the length is 800 mm, the width of the short side is 7.0 mm, the length is 480 mm, and the curvature of the corner is R = 0 mm. It was. The length and depth of the other grooves and the thickness of the frame were produced in the same manner as in Example 1. Use epoxy resin paint (trade name “ODEX” manufactured by Shinto Paint Co., Ltd.) as the coating material, spray coating to prevent coating unevenness and material sagging, and heat at 120 ° C. for 20 minutes By performing, a coating film having a glass transition point of 30 ° C. and a pencil hardness of 2B was formed. The evaluation results are shown in Table 1.
１…ペリクル、２…ペリクル枠体、３…ペリクル膜、４…開口部、２ａ，２ｂ…長辺（枠部材）、２ｃ，２ｄ…短辺（枠部材）、Ｐ…塗膜。
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記開口部の周縁を形成する枠部材の表面に自己修復機能を有する塗膜が被覆されており、
前記塗膜の鉛筆硬度がＢ以上５Ｈ以下である、ペリクル枠体。 A pellicle frame body that stretches and supports a pellicle film so as to cover an opening having a rectangular shape in plan view,
A coating film having a self-healing function is coated on the surface of the frame member that forms the periphery of the opening ,
The pellicle frame body whose pencil hardness of the said coating film is B or more and 5H or less .
2. The pellicle frame according to claim 1, wherein a main component of the coating material forming the coating film is an epoxy-based, acrylic-based, fluorine-based, or urethane-based material.
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